2024-159812 ＲＦプラズマ・ツールにおける複数レベルのパルス化のためのシステム及び方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024159812

(43)【公開日】2024-11-08

(54)【発明の名称】ＲＦプラズマ・ツールにおける複数レベルのパルス化のためのシステム及び方法

(51)【国際特許分類】

   H05H 1/46 20060101AFI20241031BHJP

   H01L 21/3065 20060101ALI20241031BHJP

   H01L 21/205 20060101ALI20241031BHJP

【ＦＩ】

H05H1/46 R

H01L21/302 101C

H01L21/205

【審査請求】有

【請求項の数】35

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2024137489

(22)【出願日】2024-08-19

(62)【分割の表示】P 2021562958の分割

【原出願日】2020-04-24

(31)【優先権主張番号】62/840,335

(32)【優先日】2019-04-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】592010081

【氏名又は名称】ラム リサーチ コーポレーション

【氏名又は名称原語表記】ＬＡＭ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ

(74)【代理人】

【識別番号】110000028

【氏名又は名称】弁理士法人明成国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ウー・イン

(72)【発明者】

【氏名】ロング・マオリン

(72)【発明者】

【氏名】ドルワリー・ジョン

(72)【発明者】

【氏名】シング・ヴィクラム

(57)【要約】

【解決手段】複数レベルのパルス化のためのシステム及び方法を記載する。システム及び方法は、４つ以上の状態を生成することを含む。４つ以上の状態のそれぞれの間、無線周波（ＲＦ）生成器は、ＲＦ信号を生成する。ＲＦ信号は、４つ以上の電力レベルを有し、４つ以上の電力レベルのそれぞれは、４つ以上の状態に対応する。複数レベルのパルス化は、基板を処理する際のより微細な制御を促進する。
【選択図】図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成する方法であって、前記方法は、
周期的に繰り返す複数のサイクルを有する同期信号を受信することと、
第１の無線周波（ＲＦ）信号を第１のＲＦ生成器によって生成することであって、前記第１のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの１つのサイクルの中に少なくとも２つのパラメータ・レベルを含む、生成することと、
第２のＲＦ信号を第２のＲＦ生成器によって生成することであって、前記第２のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの中に少なくとも３つのパラメータ・レベルを含む、生成することと
を含む、方法。

【請求項2】

請求項１に記載の方法であって、
プラズマ・チャンバの第１の電極に結合したインピーダンス整合網に前記第１のＲＦ信号を供給することと、
前記プラズマ・チャンバの第２の電極に結合したインピーダンス整合網に前記第２のＲＦ信号を供給することと
を更に含む、方法。

【請求項3】

請求項１に記載の方法であって、前記同期信号は、デューティ・サイクルを有するデジタル・パルス信号であり、前記デューティ・サイクルは、前記複数のサイクルの間に繰り返される、方法。

【請求項4】

請求項１に記載の方法であって、前記同期信号は、前記複数のサイクルの間、第１の論理レベルと第２の論理レベルとの間を繰り返し遷移し、前記第１の論理レベルは、前記第２の論理レベルよりも大きい、方法。

【請求項5】

請求項１に記載の方法であって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１の正のパラメータ・レベル及び第２の正のパラメータ・レベルを含み、前記第１のＲＦ信号の前記第２の正のパラメータ・レベルは、前記第１のＲＦ信号の前記第１の正のパラメータ・レベルよりも大きく、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、ゼロのパラメータ・レベル、第１の正のパラメータ・レベル、及び第２の正のパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記第２の正のパラメータ・レベルは、前記第２のＲＦ信号の前記第１の正のパラメータ・レベルよりも小さい、方法。

【請求項6】

請求項１に記載の方法であって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルの１つと、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルの１つとの組合せは、プラズマ・インピーダンス状態を規定する、方法。

【請求項7】

請求項１に記載の方法であって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル及び第２のパラメータ・レベルを含む２つのパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル、第２のパラメータ・レベル、及び第３のパラメータ・レベルを含む３つのパラメータ・レベルを含み、前記第１のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、２つの遷移時間で、前記第１のパラメータ・レベルと前記第２のパラメータ・レベルとの間で遷移し、前記第２のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、３つの遷移時間で、前記第１のパラメータ・レベルと前記第２のパラメータ・レベルと前記第３のパラメータ・レベルとの間で遷移し、前記第２のＲＦ信号の前記３つの遷移時間の少なくとも１つの遷移時間は、前記複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するため、前記第１のＲＦ信号の前記２つの遷移時間の少なくとも１つの遷移時間とは異なる、方法。

【請求項8】

請求項１に記載の方法であって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル及び第２のパラメータ・レベルを含む２つのパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、ゼロのパラメータ・レベル、第２のパラメータ・レベル及び第１のパラメータ・レベルを含む３つのパラメータ・レベルを含み、前記方法は、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第１の遷移時間で前記第２のパラメータ・レベルから前記第１のパラメータ・レベルに前記第１のＲＦ信号を遷移させることと、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第２の遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルから前記第２のパラメータ・レベルに前記第１のＲＦ信号を遷移させることと、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第３の遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルから前記ゼロのパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させることと、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第４の遷移時間で前記ゼロのパラメータ・レベルから前記第２のパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させることと、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第５の遷移時間で前記第２のパラメータ・レベルから前記第１のパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させることと
を更に含み、前記第１の遷移時間及び前記第２の遷移時間の少なくとも１つは、前記複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するため、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記第３の遷移時間、前記第４の遷移時間及び前記第５の遷移時間の少なくとも１つとは異なる、方法。

【請求項9】

複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成する制御器システムであって、前記制御器システムは、
周期的に繰り返す複数のサイクルを有する同期信号を受信するように構成された、第１の無線周波（ＲＦ）生成器の第１のプロセッサと、
前記同期信号を受信するように構成された、第２のＲＦ生成器の第２のプロセッサと
を備え、
前記第１のプロセッサは、第１のＲＦ信号を生成するため、前記第１のＲＦ生成器の第１のＲＦ電源を制御するように構成され、前記第１のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの１つのサイクル内に少なくとも２つのパラメータ・レベルを含み、
前記第２のプロセッサは、第２のＲＦ信号を生成するため、前記第２のＲＦ生成器の第２のＲＦ電源を制御するように構成され、前記第２のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクル内に少なくとも３つのパラメータ・レベルを含む、制御器システム。

【請求項10】

請求項９に記載の制御器システムであって、前記第１のＲＦ電源は、プラズマ・チャンバの第１の電極に結合したインピーダンス整合網に前記第１のＲＦ信号を供給するように構成され、前記第２のＲＦ電源は、前記プラズマ・チャンバの第２の電極に結合したインピーダンス整合網に前記第２のＲＦ信号を供給するように構成される、制御器システム。

【請求項11】

請求項９に記載の制御器システムであって、前記同期信号は、デューティ・サイクルを有するデジタル・パルス信号であり、前記デューティ・サイクルは、前記複数のサイクルの間に繰り返される、制御器システム。

【請求項12】

請求項９に記載の制御器システムであって、前記同期信号は、前記複数のサイクルの間、第１の論理レベルと第２の論理レベルとの間を繰り返し遷移し、前記第１の論理レベルは、前記第２の論理レベルよりも大きい、制御器システム。

【請求項13】

請求項９に記載の制御器システムであって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１の正のパラメータ・レベル及び第２の正のパラメータ・レベルを含み、前記第１のＲＦ信号の前記第２の正のパラメータ・レベルは、前記第１のＲＦ信号の前記第１の正のパラメータ・レベルよりも大きく、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、ゼロのパラメータ・レベル、第１の正のパラメータ・レベル、及び第２の正のパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記第２の正のパラメータ・レベルは、前記第２のＲＦ信号の前記第１の正のパラメータ・レベルよりも小さい、制御器システム。

【請求項14】

請求項９に記載の制御器システムであって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルの１つと前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルの１つとの組合せは、プラズマ・インピーダンス状態を規定する、制御器システム。

【請求項15】

請求項９に記載の制御器システムであって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル及び第２のパラメータ・レベルを含む２つのパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル、第２のパラメータ・レベル、及び第３のパラメータ・レベルを含む３つのパラメータ・レベルを含み、前記第１のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、２つの遷移時間で、前記第１のパラメータ・レベルと前記第２のパラメータ・レベルとの間で遷移し、前記第２のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、３つの遷移時間で、前記第１のパラメータ・レベルと前記第２のパラメータ・レベルと前記第３のパラメータ・レベルとの間で遷移し、前記第２のＲＦ信号の前記３つの遷移時間の少なくとも１つは、前記複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するため、前記第１のＲＦ信号の前記２つの遷移時間の少なくとも１つとは異なる、制御器システム。

【請求項16】

請求項９に記載の制御器システムであって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル及び第２のパラメータ・レベルを含む２つのパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、ゼロのパラメータ・レベル、第２のパラメータ・レベル及び第１のパラメータ・レベルを含む３つのパラメータ・レベルを含み、前記第１のプロセッサは、
前記第１のＲＦ電源を制御し、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第１の遷移時間で前記第２のパラメータ・レベルから前記第１のパラメータ・レベルに前記第１のＲＦ信号を遷移させ、
前記第１のＲＦ電源を制御し、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第２の遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルから前記第２のパラメータ・レベルに前記第１のＲＦ信号を遷移させる
ように更に構成され、前記第２のプロセッサは、
前記第２のＲＦ電源を制御し、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第３の遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルから前記ゼロのパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させ、
前記第２のＲＦ電源を制御し、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第４の遷移時間で前記ゼロのパラメータ・レベルから前記第２のパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させ、
前記第２のＲＦ電源を制御し、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第５の遷移時間で前記第２のパラメータ・レベルから前記第１のパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させる
ように構成され、
前記第１の遷移時間及び前記第２の遷移時間の少なくとも１つは、前記複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するため、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記第３の遷移時間、前記第４の遷移時間及び前記第５の遷移時間の少なくとも１つとは異なる、制御器システム。

【請求項17】

複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するプラズマ・システムであって、前記プラズマ・システムは、
第１の無線周波（ＲＦ）信号を生成するように構成された第１のＲＦ生成器と、
第２のＲＦ信号を生成するように構成された第２のＲＦ生成器と
を備え、前記第１のＲＦ生成器及び前記第２のＲＦ生成器のそれぞれは、周期的に繰り返す複数のサイクルを有する同期信号を受信するように構成され、
前記第１のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの１つのサイクルの中に少なくとも２つのパラメータ・レベルを含み、
前記第２のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの中に少なくとも３つのパラメータ・レベルを含む、プラズマ・システム。

【請求項18】

請求項１７に記載のプラズマ・システムであって、前記第１のＲＦ生成器は、第１のインピーダンス整合網を介してプラズマ・チャンバのＲＦコイルに結合され、前記第１のＲＦ生成器は、前記第１のＲＦ信号を前記第１のインピーダンス整合網に供給するように構成され、前記第２のＲＦ電力生成器は、第２のインピーダンス整合網を介して前記プラズマ・チャンバの基板支持体に結合され、前記第２のＲＦ生成器は、前記第２のＲＦ信号を前記第２のインピーダンス整合網に供給するように構成される、プラズマ・システム。

【請求項19】

請求項１７に記載のプラズマ・システムであって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル及び第２のパラメータ・レベルを含む２つのパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル、第２のパラメータ・レベル、及び第３のパラメータ・レベルを含む３つのパラメータ・レベルを含み、前記第１のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、２つの遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルと前記第２のパラメータ・レベルとの間で遷移し、前記第２のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、３つの遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルと前記第２のパラメータ・レベルと前記第３のパラメータ・レベルとの間で遷移し、前記第２のＲＦ信号の前記３つの遷移時間の少なくとも１つは、前記複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するため、前記第１のＲＦ信号の前記２つの遷移時間の少なくとも１つとは異なる、プラズマ・システム。

【請求項20】

請求項１７に記載のプラズマ・システムであって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル及び第２のパラメータ・レベルを含む２つのパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、ゼロのパラメータ・レベル、第２のパラメータ・レベル及び第１のパラメータ・レベルを含む３つのパラメータ・レベルを含み、前記第１のＲＦ生成器は、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第１の遷移時間で前記第２のパラメータ・レベルから前記第１のパラメータ・レベルに前記第１のＲＦ信号を遷移させ、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第２の遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルから前記第２のパラメータ・レベルに前記第１のＲＦ信号を遷移させる
ように構成され、前記第２のＲＦ生成器は、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第３の遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルから前記ゼロのパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させ、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第４の遷移時間で前記ゼロのパラメータ・レベルから前記第２のパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させ、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第５の遷移時間で前記第２のパラメータ・レベルから前記第１のパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させる
ように構成され、
前記第１の遷移時間及び前記第２の遷移時間の少なくとも１つは、前記複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するため、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記第３の遷移時間、前記第４の遷移時間及び前記第５の遷移時間の少なくとも１つとは異なる、プラズマ・システム。

【請求項21】

複数状態のパルス化方法であって、前記方法は、
同期信号を受信することと、
前記同期信号から複数のサイクルを識別することと、
前記複数のサイクルの１つのサイクルの間、４つ以上の変数レベルを有する無線周波（ＲＦ）信号を生成することと
を含み、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最大振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルは、前記複数のサイクルの別の１つのサイクルの間、繰り返される、方法。

【請求項22】

請求項２１に記載の方法であって、前記受信することは、ＲＦ生成器によって実施され、前記同期信号は、デジタル・パルス信号であり、前記デジタル・パルス信号は、周期的に繰り返され、前記複数のサイクルを有し、前記複数のサイクルのそれぞれは、デューティ・サイクルを有する、方法。

【請求項23】

請求項２１に記載の方法であって、前記複数のサイクルを識別することは、前記複数のサイクルの第１のサイクル及び前記複数のサイクルの第２のサイクルを識別することを含み、前記複数のサイクルの前記第１のサイクル及び前記複数のサイクルの前記第２のサイクルを識別することは、前記複数のサイクルの前記第１のサイクルの開始時間及び停止時間、並びに前記複数のサイクルの前記第２のサイクルの開始時間及び停止時間を識別することを含む、方法。

【請求項24】

請求項２１に記載の方法であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、パラメータ・レベルであり、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれは、複数の振幅を有し、前記最大振幅は、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれにおける前記複数の振幅の最大振幅であり、前記最大振幅は、前記ＲＦ信号の包絡線である、方法。

【請求項25】

請求項２１に記載の方法であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、別個の水平レベルであり、前記ＲＦ信号は、発振信号である、方法。

【請求項26】

請求項２１に記載の方法であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、周波数又は電力である、方法。

【請求項27】

請求項２１に記載の方法であって、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記ＲＦ信号は、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルに遷移し、前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第３の変数レベルに遷移し、前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第４の変数レベルに遷移する、方法。

【請求項28】

請求項２１に記載の方法であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最小振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルの前記最小振幅は、前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルの前記最大振幅よりも大きい、方法。

【請求項29】

請求項２１に記載の方法であって、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記ＲＦ信号は、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルに遷移し、前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第３の変数レベルに遷移し、前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第４の変数レベルに遷移し、前記方法は、
前記４つ以上の変数レベルの前記第１の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルへの遷移勾配を制御することと、
前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルへの遷移勾配を制御することと、
前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの前記第４の変数レベルへの遷移勾配を制御することと
を更に含む、方法。

【請求項30】

複数状態のパルス化のための無線周波（ＲＦ）生成器であって、前記ＲＦ生成器は、
同期信号を受信するように構成されたプロセッサであって、前記同期信号から複数のサイクルを識別するように構成されたプロセッサと、
ＲＦ電源と
を備え、前記プロセッサは、前記複数のサイクルの１つのサイクルの間、４つ以上の変数レベルを有する無線周波（ＲＦ）信号を生成するため、前記ＲＦ電源を制御するように構成され、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最大振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルは、前記複数のサイクルの別の１つのサイクルの間、繰り返される、ＲＦ生成器。

【請求項31】

請求項３０に記載のＲＦ生成器であって、前記同期信号は、デジタル・パルス信号であり、前記デジタル・パルス信号は、周期的に繰り返され、前記複数のサイクルを有し、前記複数のサイクルのそれぞれは、デューティ・サイクルを有する、ＲＦ生成器。

【請求項32】

請求項３０に記載のＲＦ生成器であって、前記複数のサイクルを識別するため、前記プロセッサは、前記複数のサイクルの第１のサイクル及び前記複数のサイクルの第２のサイクルを識別するように構成され、前記複数のサイクルの前記第１のサイクル及び前記複数のサイクルの前記第２のサイクルを識別するため、前記プロセッサは、前記複数のサイクルの前記第１のサイクルの開始時間及び停止時間、並びに前記複数のサイクルの前記第２のサイクルの開始時間及び停止時間を識別するように構成される、ＲＦ生成器。

【請求項33】

請求項３０に記載のＲＦ生成器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、パラメータ・レベルであり、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれは、複数の振幅を有し、前記最大振幅は、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれにおける前記複数の振幅の最大振幅であり、前記最大振幅は、前記ＲＦ信号の包絡線である、ＲＦ生成器。

【請求項34】

請求項３０に記載のＲＦ生成器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、別個の水平レベルであり、前記ＲＦ信号は、発振信号である、ＲＦ生成器。

【請求項35】

請求項３０に記載のＲＦ生成器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、周波数又は電力である、ＲＦ生成器。

【請求項36】

請求項３０に記載のＲＦ生成器であって、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記プロセッサは、前記ＲＦ電源を制御し、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルに遷移させ、前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第３の変数レベルに遷移させ、前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第４の変数レベルに遷移させるように構成される、ＲＦ生成器。

【請求項37】

請求項３０に記載のＲＦ生成器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最小振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルの前記最小振幅は、前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルの前記最大振幅よりも大きい、ＲＦ生成器。

【請求項38】

複数状態のパルス化のための制御器であって、前記制御器は、
複数のサイクルを含む同期信号を生成するように構成されたプロセッサと、
前記プロセッサに結合されたメモリ・デバイスと
を備え、前記プロセッサは、無線周波（ＲＦ）生成器を制御し、前記複数のサイクルの１つのサイクルの間、４つ以上の変数レベルを有するＲＦ信号を生成するように構成され、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最大振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルは、前記複数のサイクルの別の１つのサイクルの間、繰り返される、制御器。

【請求項39】

請求項３８に記載の制御器であって、前記同期信号は、デジタル・パルス信号であり、前記デジタル・パルス信号は、周期的に繰り返され、前記複数のサイクルを有し、前記複数のサイクルのそれぞれは、デューティ・サイクルを有する、制御器。

【請求項40】

請求項３８に記載の制御器であって、前記複数のサイクルは、前記複数のサイクルの第１のサイクル、及び前記複数のサイクルの第２のサイクルを含み、前記複数のサイクルの前記第１のサイクルは、開始時間及び停止時間を含み、前記複数のサイクルの前記第２のサイクルは、開始時間及び停止時間を含む、制御器。

【請求項41】

請求項３８に記載の制御器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、パラメータ・レベルであり、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれは、複数の振幅を有し、前記最大振幅は、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれにおける前記複数の振幅の最大振幅であり、前記最大振幅は、前記ＲＦ信号の包絡線である、制御器。

【請求項42】

プラズマ・ツールの複数の構成要素間で情報を通信する方法であって、前記方法は、
無線周波（ＲＦ）生成器で、１つ又は複数のＥｔｈｅｒｎｅｔ ｆｏｒ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ（ＥｔｈｅｒＣＡＴ）フレームを受信することであって、前記ＲＦ生成器は、前記プラズマ・ツールの前記複数の構成要素の１つである、受信することと、
前記ＲＦ生成器によって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームから複数の変数レベルを抽出することと、
前記ＲＦ生成器によって、同期信号の１つのサイクルに対して前記複数の変数レベルを有するＲＦ信号を生成することと、
前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの行先アドレスを識別することと、
前記行先アドレスで、前記複数の構成要素の別の１つの構成要素に前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを送信することと
を含む、方法。

【請求項43】

請求項４２に記載の方法であって、前記複数の変数レベルは、第１の変数レベル、第２の変数レベル、第３の変数レベル、及び第４の変数レベルを含み、前記ＲＦ信号は、前記サイクルの間、前記第１の変数レベルから前記第２の変数レベルに遷移し、前記第２の変数レベルから前記第３の変数レベルに遷移し、前記第３の変数レベルから前記第４の変数レベルに遷移する、方法。

【請求項44】

請求項４２に記載の方法であって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの１つのフレーム内で前記ＲＦ生成器のアドレスを識別することを更に含み、前記抽出することは、前記アドレスを有するフィールドと、前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素の別のアドレスを有するフィールドとの間のフィールドから前記複数の変数レベルを得ることを含む、方法。

【請求項45】

請求項４２に記載の方法であって、前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素は、前記ＲＦ生成器に結合したインピーダンス整合回路を含む、方法。

【請求項46】

請求項４２に記載の方法であって、前記複数の変数レベルのそれぞれは、周波数レベル又は電力レベルである、方法。

【請求項47】

請求項４２に記載の方法であって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームは、プロセッサによって受信され、前記方法は、
前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素から前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを受信することと、
前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを前記プロセッサに送信することと
を更に含む、方法。

【請求項48】

請求項４２に記載の方法であって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームのそれぞれは、前記ＲＦ生成器から測定データを受信するフィールド、及び前記ＲＦ生成器に供給する前記複数の変数レベルを含むフィールドを有する、方法。

【請求項49】

無線周波（ＲＦ）生成器であって、前記ＲＦ生成器は、
１つ又は複数のＥｔｈｅｒｎｅｔ ｆｏｒ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ（ＥｔｈｅｒＣＡＴ）フレームを受信するように構成された通信制御器であって、前記ＲＦ生成器は、プラズマ・ツールの複数の構成要素の１つである、通信制御器と、
前記通信制御器に結合したＲＦ電源と
を備え、前記通信制御器は、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームから複数の変数レベルを抽出するように構成され、
前記ＲＦ電源は、同期信号の１つのサイクルの間、前記複数の変数レベルを有するＲＦ信号を生成するように構成され、
前記通信制御器は、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの行先アドレスを識別するように構成され、
前記通信制御器は、前記行先アドレスで、前記複数の構成要素の別の１つの構成要素に前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを送信するように構成される、ＲＦ生成器。

【請求項50】

請求項４９に記載のＲＦ生成器であって、前記複数の変数レベルは、第１の変数レベル、第２の変数レベル、第３の変数レベル、及び第４の変数レベルを含み、前記ＲＦ信号は、前記サイクルの間、前記第１の変数レベルから前記第２の変数レベルに遷移し、前記第２の変数レベルから前記第３の変数レベルに遷移し、前記第３の変数レベルから前記第４の変数レベルに遷移する、ＲＦ生成器。

【請求項51】

請求項４９に記載のＲＦ生成器であって、前記通信制御器は、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの１つのフレーム内で前記ＲＦ生成器のアドレスを識別するように構成され、前記複数の変数を抽出するため、前記通信制御器は、前記アドレスを有するフィールドと、前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素の別のアドレスを有するフィールドとの間のフィールドから前記複数の変数レベルを得るように構成される、ＲＦ生成器。

【請求項52】

請求項４９に記載のＲＦ生成器であって、前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素は、前記ＲＦ生成器に結合したインピーダンス整合回路を含む、ＲＦ生成器。

【請求項53】

請求項４９に記載のＲＦ生成器であって、前記複数の変数レベルのそれぞれは、周波数レベル又は電力レベルである、ＲＦ生成器。

【請求項54】

請求項４９に記載のＲＦ生成器であって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームは、プロセッサによって受信され、前記通信制御器は、
前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素から前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを受信し、
前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを前記プロセッサに送信する
ように構成される、ＲＦ生成器。

【請求項55】

請求項４９に記載のＲＦ生成器であって、前記ＲＦ生成器は、前記通信制御器に結合したプロセッサを含み、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームのそれぞれは、前記ＲＦ生成器の前記プロセッサからデータを受信するフィールド、及び前記ＲＦ生成器の前記プロセッサに供給する前記複数の変数レベルを含むフィールドを有する、ＲＦ生成器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本実施形態は、無線周波（ＲＦ）プラズマ・ツールにおける複数レベルのパルス化のためのシステム及び方法に関する。

【背景技術】

【0002】

本項で提供する背景は、本開示の状況を一般的に提示する目的で説明する。本背景技術の項で名前を挙げる発明者等の著作は、本項、及び出願時に通常ならば従来技術として適格ではない可能性がある説明の態様において説明する限り、本開示に対する従来技術として明示的にも、暗示的にも認めるものではない。

【0003】

プラズマ・ツールにおいて、１つ又は複数の無線周波（ＲＦ）生成器は、インピーダンス整合回路に結合される。インピーダンス整合回路は、プラズマ・チャンバに結合される。ＲＦ信号は、ＲＦ生成器からインピーダンス整合回路に供給される。インピーダンス整合回路は、ＲＦ信号を受信すると、ＲＦ信号を出力する。ＲＦ信号は、プラズマ・チャンバ内でウエハを処理するため、インピーダンス整合回路からプラズマ・チャンバに供給される。しかし、ウエハは、所望の詳細なレベルには処理されない。

【0004】

本開示で説明する実施形態が生じるのは、この背景においてである。

【発明の概要】

【0005】

本開示の実施形態は、無線周波（ＲＦ）プラズマ・ツールにおける複数レベルのパルス化のための装置、方法及びコンピュータ・プログラムを提供する。本実施形態は、複数の様式、例えば、工程、装置、システム、１つのハードウェア、又はコンピュータ可読媒体上の方法で実施し得ることを了解されたい。いくつかの実施形態を以下で説明する。

【0006】

以下の説明において、複数レベルのパルス化のいくつかの実施形態を提供する。また、複数レベルのパルス化に関連するいくつかの利益を提供する。本明細書で説明する２つ以上の実施形態は、互いと動作するように組み合わせることができるか、又は本明細書で説明する実施形態のそれぞれは、複数レベルのパルス化に関連する特定の実施形態を提供するように、互いに独立して動作することができる。

【0007】

複数レベルのパルス化を促進するＲＦ生成器を説明する。ＲＦ生成器は、４つ以上の電力レベルを有するＲＦ信号を生成し、ＲＦ信号をインピーダンス整合回路に供給し、インピーダンス整合回路は、プラズマ・チャンバの電極に結合される。ＲＦ信号は、クロック・サイクルの間、複数レベルのパルス化を達成する。例えば、ＲＦ信号は、１つのクロック・サイクルの間、第１の電力レベルから第２の電力レベルに遷移し、第２の電力レベルから第３の電力レベルに更に遷移し、第３の電力レベルから第４の電力レベルに遷移する。ＲＦ信号は、クロック・サイクルの終了時、第４の電力レベルから第１の電力レベルに戻って遷移する。複数レベルのパルス化は、複数のクロック・サイクルの間、周期的に繰り返す。

【0008】

第１の電力レベル、第２の電力レベル、第３の電力レベル及び第４の電力レベルのそれぞれは、個別の電力レベルである。例えば、第１の電力レベルの１つ又は複数の電力値は、専用であるか、又は第２の電力レベルの１つ若しくは複数の電力値、第３の電力レベルの１つ若しくは複数の電力値、及び第４の電力レベルの１つ若しくは複数の電力値とは異なる。また、第２の電力レベルの１つ又は複数の電力値は、第３の電力レベルの１つ若しくは複数の電力値、及び第４の電力レベルの１つ若しくは複数の電力値とは異なる。第３の電力レベルの１つ又は複数の電力値は、第４の電力レベルの１つ若しくは複数の電力値とは異なる。

【0009】

複数状態のパルス化は、４つの電力レベルに限定されない。例えば、３つ以下のいくつかの電力レベルが生成される。例示すると、２又は３つの電力レベルがＲＦ生成器によって生成される。別の例として、５つ又は６つ又は７つの電力レベル等、５以上のいくつかの電力レベルがＲＦ生成器によって生成される。

【0010】

複数状態のパルス化は、エッチング動作の間の堆積段階とエッチング動作の間のエッチング段階との間の平衡等、様々な段階の処理動作の間の平衡を達成するように実施される。例えば、２つの電力レベルの複数状態のパルス化は、堆積段階を実施するために適用され、より高い２つの電力レベルの複数状態のパルス化は、エッチング段階を実施するように適用される。２つのより低い電力レベルは、より高い電力レベルよりも低い電力を有する。一例として、エッチング動作は、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）チャンバ内で実施される導体エッチングである。ＲＦ生成器は、インピーダンス整合回路を介して、トランス結合プラズマ（ＴＣＰ）電極又はバイアス電極等、ＩＣＰプラズマ・チャンバの電極に結合される。

【0011】

一実施形態では、線路内の電力損失を低減するパルス列較正方法を説明する。パルス列較正方法は、生成すべき複数状態の電力パルス列をシミュレーションすることと、既知の５０オーム負荷に列を適用することと、複数状態電力パルス列の電圧又は電力を測定することとを含む。例えば、電圧又は電力は、複数状態の電力パルス列の各状態で測定される。電力パルス列の各状態の電力は、測定した電圧若しくは電力ライン又は測定した複素電圧及び電流に基づく損失を考慮するように変更することができる。線路の一例は、ＲＦ生成器の出力を整合器の入力に結合する無線周波（ＲＦ）ケーブル、又は整合器の出力をプラズマ・チャンバの電極に結合するＲＦケーブルとＲＦ伝送線路との組合せを含む。

【0012】

一実施形態では、線路電力損失を低減する電圧パルス均一化方法を説明する。電圧パルス均一化方法は、既知の負荷でパルス形状を測定又は決定することと、正方形ＲＦパルス応答が得られるように電力を補償することとを含む。パルス形状は、電圧プローブ若しくは電力プローブ、又は複素電圧・電力プローブの使用によって測定される。このことは、パルス内での電圧制御である。パルスは、複数の下位パルスに分割される。各下位パルスに対して、電圧又は電力制御が実施される。例えば、電圧又は電力が低すぎるパルスの部分に対して、電力が正方形である平坦なパルスを達成するように変更する。電圧パルス均一化方法は、線路内の電力損失を考慮するように実行される。

【0013】

一実施形態では、線路での電力損失を低減するデューティ・サイクル較正方法を説明する。デューティ・サイクル較正方法は、デューティ・サイクルを測定することと、複数状態のパルス化における各状態のデューティ・サイクルの持続時間を線路電力損失を考慮するように調節することとを含む。

【0014】

複数レベル（例えば、４つ以上の数の電力レベル）のパルス化の場合、整合器にとって、反射電力の低減が困難であることがある。

【0015】

一実施形態では、トランス結合容量性同調（ＴＣＣＴ）整合器は、複数状態のパルス化の間、反射電力を低減するために設けられる。ＴＣＣＴ整合器は、ソースＲＦ生成器と共に使用され、４つ以上のレベルのパルス化等、複数レベルのパルス化で使用するように修正される。ＴＣＣＴ整合器は、複数レベルのパルス化に関するタイミング情報をもたらし、このため、ＴＣＣＴ整合器を複数レベルのパルス化に同調することができる。

【0016】

一実施形態では、状態の整合器同調方法を説明する。状態の同調方法は、１つの状態の間、ＴＣＣＴ整合器を同調することと、他の３又は４又は５つの残りの状態の間、反射電力を低減するように周波数を同調することとを含む（例えば、ＲＦ生成器の同調）。

【0017】

一実施形態では、ソースＴＣＣＴ整合器又はバイアス整合器ではなく、ソリッド・ステート整合デバイスを使用し、複数状態のパルス化により迅速に同調し、反射電力を低減できるようにする。ソリッド・ステート整合デバイスは、トランジスタ又は半導体ダイオード又はそれらの組合せから作製される。

【0018】

複数レベルのパルス化の場合、整合器にとって、複数レベルのパルス化に対処し、反射電力を最小化することは困難である。

【0019】

一実施形態では、固定周波数を伴う整合器同調方法を説明する。４つの状態のシナリオにおいて、整合器は、第１の状態で同調され、ＲＦ生成器の固定周波数は、他の３つの状態で維持される。周波数は、４つの状態に関する重みと反射電力との積和を最小化するように決定される。例えば、周波数は、Ｃ１Ｐ１＋Ｃ２Ｐ２＋Ｃ３Ｐ３＋Ｃ４Ｐ４が、状態１から４を通じて最小であるようなものであり、Ｃ１からＣ４は、重みであり、Ｐ１からＰ４は、各状態の間の反射電力である。重みＣ１からＣ４は、各状態の間のデューティ・サイクルの割合とし得る。反射電力の代わりに、電力反射係数を最小化することができる。

【0020】

１つ又は複数のＴＣＰコイル等のトランス結合プラズマ（ＴＣＰ）電極及びバイアス電極が、複数状態（例えば、４つ以上の電力レベル）を有するようにパルス化する際、エッチング率又は堆積率等の処理率の均一性を達成することが望ましい。

【0021】

一実施形態では、ＴＣＰとバイアス電極との間のクロック同期方法が提供される。クロック同期方法において、複数状態に対する細かい分解能クロックがもたらされる。細かい分解能クロックは、４つ以上の状態等の複数状態を有するパルス信号をＲＦ生成器に供給し、ＲＦ生成器は、電力をＴＣＰ電極及びバイアス電極に供給する。同期により、均一性の達成が促進される。

【0022】

一実施形態では、Ｅｔｈｅｒｎｅｔ ｆｏｒ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（ＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標。以下同じ））同期方法及びシステムを提供し、均一性を達成する。ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルを使用し、ＴＣＰ ＲＦ生成器、バイアスＲＦ生成器及び整合器等の様々なデバイスを同期する。ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルを使用し、通信パルス列を伝送し、様々なデバイスと通信する。一例として、通信パルス列は、開始時間及び停止時間を有する。開始時間は、一連のパルスの開始であり、停止時間は、一連のパルスが停止した時間である。開始時間及び停止時間は繰り返される。パルス列には、様々なデバイスの複数状態に関する情報を埋め込むことができる。情報は、各デバイスの各状態に関する開始時間及び停止時間を含む。また、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルを同期のために使用すると、様々なデバイスを同期するためにＴＴＬ信号を複数の同期ケーブルを介して様々なデバイスに供給する必要がなくなる。各同期ケーブルは、ＴＴＬ信号を搬送する。同期ケーブルはもはや必要ではない。ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルの一例は、イーサネット・ケーブルである。

【0023】

また、処理の均一性を制御し、複数状態（例えば、４つ以上の状態）のパルス化における処理率又はエッチング深度を達成することが望ましい。

【0024】

一実施形態では、パルス・マスタ等の同期マスタを提供し、処理の均一性を制御し、処理率を達成する。一例として、パルス・マスタは、ＴＣＰ生成器及びバイアスＲＦ生成器を同期するアナログ－デジタル電圧制御インターフェース（ＡＤＶＣＩ）を含む。例えば、ＡＤＶＣＩは、２つの状態を有するデジタル・パルス信号又はＴＴＬ信号を生成し、ＴＣＰ ＲＦ生成器に供給することができ、４つの状態を有する別のデジタル・パルス信号又は別のＴＴＬ信号を生成し、バイアスＲＦ生成器に供給することができる。２つの状態及び４つの状態は、クロック信号のクロック・サイクルの間に生成される。別の例として、ＡＤＶＣＩは、４つの状態を有するデジタル・パルス信号又はＴＴＬ信号を生成し、ＴＣＰ ＲＦ生成器に供給することができ、４つの状態を有する別のデジタル・パルス信号又は別のＴＴＬ信号を生成し、バイアスＲＦ生成器に供給することができる。４つの状態は、クロック信号のクロック・サイクルの間に生成される。

【0025】

一実施形態では、パルス・マスタは、終了点検出を伴って使用され、処理均一性を制御し、処理率を達成する。パルス・マスタは、複数レベル等の複数状態のパルス化により、発光分光分析装置（ＯＥＳ）及びＬａｍ分光反射率計測装置を同期するために使用される。終了点又は処理点の検出は、ＯＥＳ及びＬａｍ分光反射率計測装置により行われる。Ｌａｍ分光反射率計測装置（ＬＳＲ）又はＯＥＳは、ウエハから反射された光の強度を測定する。

【0026】

一実施形態では、ソースＲＦ生成器とバイアスＲＦ生成器との間の選択的同期によるオンオフ時間修正方法を提供する。オンオフ時間修正方法は、２つのプラズマ・インピーダンス状態を４つのプラズマ・インピーダンス状態に変化させる、又は４つのプラズマ・インピーダンス状態を８つのプラズマ・インピーダンス状態に変化させる、又は各状態におけるＲＦ電力のオン時間及びオフ時間の遅延又は前進等の変更を含む。オンオフ時間は、各状態内で、２つのプラズマ・インピーダンス状態から４つのプラズマ・インピーダンス状態を達成するように調節又は変更することができる。例えば、ＲＦ電力を印加するオン時間が、状態Ｓ１でわずかに遅延する、及び／又はオフ時間が状態Ｓ１でわずかに早期に達成される。ＴＣＰ生成器及びバイアスＲＦ生成器の両方に関するＲＦ電力のオン時間及びオフ時間が変化した場合、ＴＣＰ生成器及びバイアス生成器の両方が互いに同期される。一例として、４つの状態又は８つの状態を有する複数状態の電力がソースＲＦ生成器によって生成された場合、バイアスＲＦ生成器は、連続波（ＣＷ）モードで動作する。別の例として、４つの状態又は８つの状態を有する複数状態の電力がバイアスＲＦ生成器によって生成された場合、ソースＲＦ生成器は、連続波（ＣＷ）モードで動作する。また、一例として、様々な処理が各状態で実施される。例えば、ウエハへの堆積が一方の状態で生じ、ウエハのエッチングが別の状態で生じることがある。

【0027】

処理は、遷移の縁端におけるスパイクによるウエハへの欠陥を最小化し、ＲＦ生成器が４つ以上の状態で動作する際にＲＦ生成器を保護するように制御される。

【0028】

一実施形態では、パルス整形方法を提供し、処理制御を達成する。一例として、パルス整形方法は、ＲＦ生成器が生成したＲＦ信号の電力の立ち上がりエッジ及び／又は電力の立ち下がりエッジの整形を含む。また、別の例として、パルス整形方法は、ＲＦ信号の周波数上昇縁部及び／又は周波数降下縁部の整形を含む。また別の例として、パルス整形方法は、ＲＦ信号の電力の立ち上がりエッジ及び／又は立ち下がりエッジの整形、並びに周波数の立ち上がりエッジ及び／又は立ち下がりエッジの整形を含む。

【0029】

基板を処理する際に均一性を達成する処理を制御することが更に望ましい。

【0030】

一実施形態では、均一性を達成するため、複数の電力制御器及び複数の自動周波数同調器（ＡＦＴ）を有するシステムが提供される。

【0031】

一実施形態では、均一性を達成するマイクロ秒レベルで軌道の周波数を同調する方法を記載する。この方法では、各ＲＦ信号の周波数は、マイクロ秒レベルで同調し、各レシピに対する反射電力を低減してＲＦ信号の軌道を生成し、軌道は、ウエハを処理するレシピを施す間、適用される。軌道は、ウエハ処理中に次に適用される軌道を学習するように生成される。

【0032】

一実施形態では、オフ状態を置く方法を説明する。オフ状態を置く方法では、オフ状態は、複数レベルのパルス・シーケンスの任意の場所で提供される。オフ状態は、パルス・シーケンスの任意の場所とすることができる。パルス・シーケンスで第１の状態を繰り返す前にオフ状態を達成する必要はない。

【0033】

本明細書で説明するシステム及び方法のいくつかの利点は、例えば、４つ以上のプラズマ・インピーダンス状態等、複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成する２つの状態のＲＦ生成器を使用することを含む。ソースＲＦ生成器及びバイアスＲＦ生成器に対して様々な組合せのパラメータ・レベルを生成することによって、複数状態のプラズマ・インピーダンスが生成される。複数状態のプラズマ・インピーダンスは、基板を処理する際の均一性を達成するために使用され、基板を処理する間のより微細な制御のためにも使用される。

【0034】

また、複数状態のパルス化に関して本明細書で説明するシステム及び方法のいくつかの利点は、基板処理制御レベルを増大させることを含む。基板処理中に４つ以上の状態の変数レベルを実施することによって、より微細な制御の基板処理が達成される。更に、変数レベルの２つの間を遷移する状態遷移を制御することによって、所定の処理結果を得るために更により微細な制御の基板処理が達成される。

【0035】

本明細書で説明する、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルを使用するシステム及び方法の利点は、プラズマ・ツール又はプラズマ・システムの様々な構成要素間での迅速な情報伝送の達成を含む。４つ以上の状態の間に測定したパラメータ・レベル等のデータは、プロセッサからＥｔｈｅｒＣＡＴフレームに迅速に伝送される。また、４つ以上の状態を生成するパラメータ・レベル等のデータは、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレームからプロセッサに迅速に伝送される。速く伝送することにより、複数状態のパルス化を使用する際により迅速なデータ伝送を可能にし、これにより、基板処理中の制御を可能にする。

【0036】

他の態様は、添付の図面と組み合わせられる以下の詳細な説明から明らかになるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0037】

実施形態は、添付の図面と組み合わせられる以下の説明を参照して理解される。

【0038】

【図1】図１は、プラズマ・システムの一実施形態の図であり、複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成する２つの状態の無線周波（ＲＦ）生成器の使用を示す。

【0039】

【図2】図２は、システムの一実施形態の図であり、ＲＦ生成器の細部を示す。

【0040】

【図3A】図３Ａは、同期信号を示す一実施形態のグラフである。

【0041】

【図3B】図３Ｂは、ソース信号のパラメータ対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0042】

【図3C】図３Ｃは、バイアスＲＦ信号のパラメータ対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0043】

【図4A】図４Ａは、図３Ａの同期信号を示す図３Ａの一実施形態のグラフである。

【0044】

【図4B】図４Ｂは、図３Ｂの一実施形態のグラフである。

【0045】

【図4C】図４Ｃは、別のバイアスＲＦ信号のパラメータ対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0046】

【図5A】図５Ａは、同期信号を示す一実施形態のグラフである。

【0047】

【図5B】図５Ｂは、ソースＲＦ信号のパラメータ対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0048】

【図5C】図５Ｃは、バイアスＲＦ信号のパラメータ対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0049】

【図6A】図６Ａは、同期信号を示す一実施形態のグラフである。

【0050】

【図6B】図６Ｂは、ソースＲＦ信号のパラメータ対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0051】

【図6C】図６Ｃは、バイアスＲＦ信号のパラメータ対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0052】

【図6D】図６Ｄは、ソースＲＦ生成器とバイアスＲＦ生成器との間の選択的同期によるオンオフ時間修正に対する一実施形態の図である。

【0053】

【図7】図７は、プラズマ・システムの一実施形態の図であり、複数レベルのパラメータのパルス化を示す。

【0054】

【図8】図８は、プラズマ・システムの一実施形態の図であり、複数レベルの周波数のパルス化を示す。

【0055】

【図9】図９は、プラズマ・システムの一実施形態の図であり、同時複数レベルのパラメータのパルス化及び周波数のパルス化を示す。

【0056】

【図10A】図１０Ａは、図３Ａの同期信号を示す図３Ａの一実施形態のグラフである。

【0057】

【図10B】図１０Ｂは、図９のＲＦ信号の変数対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0058】

【図10C】図１０Ｃは、図９のＲＦ信号の変数対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0059】

【図10D】図１０Ｄは、図９のＲＦ信号の変数対時間ｔを示す一実施形態のグラフである。

【0060】

【図10E】図１０Ｅは、図９のＲＦ信号の変数対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0061】

【図10F】図１０Ｆは、図９のＲＦ信号の変数対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0062】

【図10G】図１０Ｇは、図９のＲＦ信号の変数対時間ｔを示す一実施形態のグラフである。

【0063】

【図10H】図１０Ｈは、図９のＲＦ信号の変数対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0064】

【図10I】図１０Ｉは、図９のＲＦ信号の変数対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0065】

【図10J】図１０Ｊは、複数の電力制御器及び複数の自動周波数同調器（ＡＦＴ）を有するシステムの一実施形態の図である。

【0066】

【図10K】図１０Ｋは、４つの状態Ｓ（ｎ－３）、Ｓ（ｎ－２）、Ｓ（ｎ－１）及びＳｎを有するＲＦ信号を示す一実施形態の図であり、ＲＦ信号の電力レベルを示す。

【0067】

【図10L】図１０Ｌは、４つの状態Ｓ（ｎ－３）、Ｓ（ｎ－２）、Ｓ（ｎ－１）及びＳｎを有する別のＲＦ信号を示す一実施形態の図であり、ＲＦ信号の電力レベルを示す。

【0068】

【図10M】図１０Ｍは、４つの状態Ｓ（ｎ－３）、Ｓ（ｎ－２）、Ｓ（ｎ－１）及びＳｎを有するまた別のＲＦ信号を示す一実施形態の図であり、ＲＦ信号の電力レベルを示す。

【0069】

【図10N】図１０Ｎは、４つの状態Ｓ（ｎ－３）、Ｓ（ｎ－２）、Ｓ（ｎ－１）及びＳｎを有する別のＲＦ信号を示す一実施形態の図であり、ＲＦ信号の電力レベルを示す。

【0070】

【図10O】図１０Ｏは、４つの状態Ｓ（ｎ－３）、Ｓ（ｎ－２）、Ｓ（ｎ－１）及びＳｎを有するまだ別のＲＦ信号を示す一実施形態の図であり、ＲＦ信号の電力レベルを示す。

【0071】

【図10P】図１０Ｐは、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの１つ又は複数の間、ゼロの電力レベルが達成されることを示す方法の一実施形態の図であり、（ｎ－Ａ）は、ｎよりも小さい整数である。

【0072】

【図11A】図１１Ａは、プラズマ・システムの一実施形態の図であり、状態遷移の勾配制御を示す。

【0073】

【図11B】図１１Ｂは、図１１Ａのシステムの一実施形態の図であり、システムの機能を示す。

【0074】

【図12A】図１２Ａは、図３Ａの同期信号を示す一実施形態のグラフである。

【0075】

【図12B】図１２Ｂは、図１１Ａ及び図１１ＢのＲＦ信号の変数対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0076】

【図12C】図１２Ｃは、図１１Ａ及び図１１ＢのＲＦ信号の変数対時間を示す一実施形態のグラフである。

【0077】

【図12D】図１２Ｄは、図１１Ａ及び図１１ＢのＲＦ信号の変数対時間に対する様々な種類の遷移を示す一実施形態のグラフである。

【0078】

【図12E】図１２Ｅは、図１１Ａ及び図１１ＢのＲＦ信号の変数対時間に対する様々な種類の遷移を示す一実施形態のグラフである。

【0079】

【図12F】図１２Ｆは、パルス整形方法の一実施形態の図である。

【0080】

【図12G】図１２Ｇは、別のパルス整形方法の一実施形態の図である。

【0081】

【図12H】図１２Ｈは、また別のパルス整形方法の一実施形態の図である。

【0082】

【図12I】図１２Ｉは、まだ別のパルス整形方法の一実施形態の図である。

【0083】

【図12J】図１２Ｊは、別のパルス整形方法の一実施形態の図である。

【0084】

【図12K】図１２Ｋは、また別のパルス整形方法の一実施形態の図である。

【0085】

【図12L】図１２Ｌは、別のパルス整形方法の一実施形態の図である。

【0086】

【図13A】図１３Ａは、システムの一実施形態の図であり、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルを介したプラズマ・システムの様々な構成要素の間の情報の伝送を示す。

【0087】

【図13B】図１３Ｂは、システムの一実施形態の図であり、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルを介したプラズマ・システムの様々な構成要素の間の情報の伝送を示す。

【0088】

【図14】図１４は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの一実施形態の図である。

【0089】

【図15A】図１５Ａは、システムの一実施形態の図であり、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルを介したプラズマ・システムの様々な構成要素の間の情報の伝送を示す。

【0090】

【図15B】図１５Ｂは、システムの一実施形態の図であり、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルを介したプラズマ・システムの様々な構成要素の間の情報の伝送を示す。

【0091】

【図16】図１６は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの一実施形態の図である。

【0092】

【図17】図１７は、システムの一実施形態の図であり、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルに結合したＲＦ生成器を示す。

【0093】

【図18】図１８は、整合器を示すシステムの一実施形態の図であり、整合器は、ＲＦケーブルを介して図１７のＲＦ生成器に結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルに結合される。

【0094】

【図19A】図１９Ａは、ＥｔｈｅｒＣＡＴ同期システムの一実施形態の図であり、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、プラズマ・システムの２つの構成要素の間に結合されている。

【0095】

【図19B】図１９Ｂは、ＥｔｈｅｒＣＡＴ同期システムの一実施形態の図であり、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、ソース無線周波（ＲＦ）生成器とバイアスＲＦ生成器との間に結合され、別のＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、ソースＲＦ生成器とソース整合器との間に結合される。

【0096】

【図19C】図１９Ｃは、ＥｔｈｅｒＣＡＴ同期システムの一実施形態の図であり、プラズマ・システムの構成要素は、数珠つなぎに結合される。

【0097】

【図19D】図１９Ｄは、ＥｔｈｅｒＣＡＴ同期システムの一実施形態の図であり、プラズマ・システムの構成要素は、数珠つなぎに結合される。

【0098】

【図20】図２０は、パルス列較正方法を示すシステムの一実施形態の図である。

【0099】

【図21】図２１は、電圧パルス水平化方法を示すシステムの一実施形態の図である。

【0100】

【図22】図２２は、デューティ・サイクル較正方法を示すシステムの一実施形態の図である。

【0101】

【図23】図２３は、トランス結合容量性同調（ＴＣＣＴ）整合器の使用を示すシステムの図である。

【0102】

【図24A】図２４Ａは、状態の整合器同調方法を示すシステムの一実施形態の図である。

【0103】

【図24B】図２４Ｂは、別の状態の整合器同調方法を示すシステムの一実施形態の図である。

【0104】

【図25A】図２５Ａは、ソース・ソリッド・ステート整合器を示すシステムの一実施形態の図である。

【0105】

【図25B】図２５Ｂは、バイアス整合器ではなく、バイアス・ソリッド・ステート整合器を使用することを示すシステムの一実施形態の図である。

【0106】

【図26A】図２６Ａは、固定周波数を伴う整合器同調方法を示すシステムの一実施形態の図である。

【0107】

【図26B】図２６Ｂは、固定周波数を伴う整合器同調方法を示すシステムの一実施形態の図である。

【0108】

【図27】図２７は、トランス結合プラズマ（ＴＣＰ）電極とバイアス電極との間のクロック同期方法を示すシステムの一実施形態の図である。

【0109】

【図28A】図２８Ａは、同期マスタを示すシステムの一実施形態の図である。

【0110】

【図28B】図２８Ｂは、同期マスタを示すシステムの一実施形態の図である。

【0111】

【図29】図２９は、システムの一実施形態の図であり、終了点検出を伴う複数状態の制御の使用を示す。

【0112】

【図30】図３０は、電力制御器と、自動周波数同調器と、プロセッサと、電源とを含むシステムの図であり、マイクロ秒レベルで軌道の周波数を同調するか又は電力を同調する方法を示す。

【発明を実施するための形態】

【0113】

以下の実施形態は、無線周波（ＲＦ）プラズマ・ツールにおける複数レベルのパルス化システム及び方法を説明する。本実施形態は、実施形態の特定の詳細の一部又は全てを伴わずに実行し得ることは明らかであろう。他の例では、周知の工程動作は、本実施形態を不必要に不明瞭にしないように、詳細に説明しない。

【0114】

以下の説明において、複数レベルのパルス化のためのいくつかの実施形態を提供する。本明細書で説明する２つ以上の実施形態は、互いに動作するように組み合わせることができるか、又は本明細書で説明する実施形態のそれぞれは、複数レベルのパルス化に関連する特定の実施形態を提供するように、互いに独立して動作することができる。

【0115】

複数レベルのパルス化を促進するＲＦ生成器を説明する。ＲＦ生成器は、４つ以上の電力レベルを有するＲＦ信号を生成し、ＲＦ信号をインピーダンス整合回路に供給し、インピーダンス整合回路は、プラズマ・チャンバの電極に結合される。ＲＦ信号は、クロック・サイクルの間、複数レベルのパルス化を達成する。例えば、ＲＦ信号は、単一クロック・サイクルの間、第１の電力レベルから第２の電力レベルに遷移し、第２の電力レベルから第３の電力レベルに更に遷移し、第３の電力レベルから第４の電力レベルに遷移する。複数レベルのパルス化は、複数のクロック・サイクルの間、周期的に繰り返す。

【0116】

第１の電力レベル、第２の電力レベル、第３の電力レベル及び第４の電力レベルのそれぞれは、個別の電力レベルである。例えば、第１の電力レベルの１つ又は複数の電力値は、専用である、又は第２の電力レベルの１つ若しくは複数の電力値、第３の電力レベルの１つ若しくは複数の電力値、及び第４の電力レベルの１つ若しくは複数の電力値とは異なる。また、第２の電力レベルの１つ又は複数の電力値は、第３の電力レベルの１つ若しくは複数の電力値、及び第４の電力レベルの１つ若しくは複数の電力値とは異なる。第３の電力レベルの１つ又は複数の電力値は、第４の電力レベルの１つ若しくは複数の電力値とは異なる。例示すると、ＲＦ信号の電力レベルの最高電力値と、ＲＦ信号の電力レベルの最低電力値との間の差は、所定の割合よりも小さい。例えば、第１の電力レベルの最高電力値は、第１の電力レベルの最低電力値より多くとも２０％大きい。同様に、第２の電力レベルの最高電力値は、第２の電力レベルの最低電力値より多くとも２０％大きい。

【0117】

一実施形態では、２つ以上の状態の間に同じ電力レベルが印加される。例えば、第１の状態及び第２の状態の間、１つの電力レベルが印加され、第３の状態の間、異なる電力レベルが印加され、第４の状態の間、また別の電力レベルが印加される。

【0118】

複数状態のパルス化は、堆積動作、エッチング動作、洗浄動作及びスパッタリング動作等の処理動作中、様々な段階の間の均衡を達成するように実施される。例えば、ＲＦ信号の第１の電力レベル及び第２の電力レベルは、エッチング動作中、堆積段階を実施するように使用され、第３の電力レベル及び第４の電力レベルは、エッチング動作中、エッチング段階を実施するように使用される。別の例として、複数状態のパルス化の各状態の間、異なる段階を実施する。また別の例として、複数状態のパルス化の１つ又は複数状態の間、１つの段階を実施し、複数状態のパルス化の残りの状態の１つ又は複数状態間、別の段階を実施する。一例として、エッチング動作は、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）チャンバ内で実施される導体エッチングである。ＲＦ生成器は、インピーダンス整合回路を介して、トランス結合プラズマ（ＴＣＰ）電極又はバイアス電極等、ＩＣＰプラズマ・チャンバの電極に結合される。

【0119】

ＲＦ生成器は、ＲＦ生成器が生成するＲＦ信号の電力レベルのそれぞれに対する、継続時間等のデューティ・サイクルを示すデジタル・パルス信号を受信する。デジタル・パルス信号は、電力レベルのそれぞれをＲＦ生成器から供給する時間期間を示す。デジタル・パルス信号は、４つ以上の状態等、複数状態を有する。例えば、デジタル・パルス信号は、第１の状態の間、第１の論理レベルを有し、第２の状態の間、第２の論理レベルを有し、第３の状態の間、第３の論理レベルを有し、第４の状態の間、第４の論理レベルを有する。各論理レベルは、デジタル・パルス・ソースが生成する電圧信号の電圧レベルによって規定される。デジタル・パルス・ソースは、ＲＦ生成器に結合され、デジタル・パルス信号をＲＦ生成器に供給する。更に、ＲＦ生成器は、複数のクロック・サイクルを有するクロック信号を受信し、複数レベルのパルス化の繰返しを促進する。クロック信号は、デジタル・パルス・ソース又はクロック・ソースによって生成され、クロック・ソースは、ＲＦ生成器にクロック信号を供給するようにＲＦ生成器に結合される。

【0120】

４つの電力レベルに対する上記の説明は、一例であることに留意されたい。一実施形態では、ＲＦ生成器は、クロック・サイクルの間、５又は６又は７又は８つの電力レベル等、更なる数の電力レベルを生成し、電力レベルは、複数のクロック・サイクルで繰り返される。電力レベルの数が増大すると、プラズマ・チャンバ内で基板を処理する間、より細かい制御が達成される。例えば、あるクロック・サイクルの間、電力レベルの数が増大すると、基板の最適なエッチング、又は基板への材料の最適な堆積、又はそれらの組合せが達成される。一実施形態では、３つの電力レベル又は２つの電力レベル等、３つ以下の電力レベルが生成される。

【0121】

また、プラズマ・チャンバは、ＩＣＰチャンバとしてよい。例えば、ＲＦ生成器は、インピーダンス整合回路を介して、ＴＣＰ電極又はバイアス電極等、プラズマ・チャンバの電極に結合される。複数レベル等の複数状態を例示するため、ＲＦ信号を整合器を介してＴＣＰ電極に供給する一方で、連続波（ＣＷ）ＲＦ信号又は二重状態ＲＦ信号を別の整合器を介してバイアス電極に供給する。別の例として、複数レベルのＲＦ信号を整合器を介してバイアス電極に供給する一方で、ＣＷ ＲＦ信号又は二重状態ＲＦ信号を別の整合器を介してＴＣＰ電極に供給する。また別の例として、複数レベルのＲＦ信号を整合器を介してバイアス電極に供給し、複数レベルのＲＦ信号を別の整合器を介してＴＣＰ電極に供給する。バイアス電極は、プラズマ・チャンバのチャック又は基板支持体内に位置する下電極である。

【0122】

４つ以上のプラズマ・インピーダンス状態を生成する２つの状態のＲＦ生成器

【0123】

図１は、プラズマ・システム１００の一実施形態の図であり、４つ以上の状態を有するプラズマ・インピーダンスを生成するソース無線周波（ＲＦ）生成器１０２又はバイアスＲＦ生成器１０４等、２つの状態のＲＦ生成器の使用を例示する。システム１００は、ホスト・コンピュータ１０６と、ソースＲＦ生成器１０２と、バイアスＲＦ生成器１０４と、ソース整合器１０８と、バイアス整合器１１０と、プラズマ・チャンバ１１２とを含む。

【0124】

本明細書で使用するホスト・コンピュータの例は、デスクトップ・コンピュータ、タブレット、スマート・フォン及びラップトップ・コンピュータを含む。本明細書で使用するＲＦ生成器の例は、４００キロヘルツ（ｋＨｚ）の動作周波数、又は２メガヘルツ（ＭＨｚ）の動作周波数、又は２７ＭＨｚの動作周波数、又は６０ＭＨｚの動作周波数を有するＲＦ生成器を含む。例示すると、バイアス生成器１０４は、２ＭＨｚの動作周波数を有し、ソースＲＦ生成器１０２は、６０ＭＨｚの動作周波数を有し、その逆も同様である。別の例示として、バイアス生成器１０４は、４００ｋＨｚの動作周波数を有し、ソースＲＦ生成器１０２は、６０ＭＨｚの動作周波数を有し、その逆も同様である。

【0125】

本明細書で使用する整合器の例は、インダクタ、キャパシタ及び抵抗器等、互いに結合される構成要素網を含む。例えば、整合器は、複数の直列回路と、複数の分岐回路とを含み、直列回路のそれぞれは、キャパシタ、又はインダクタ、又はそれらの組合せを含み、分岐回路のそれぞれは、キャパシタ、又はインダクタ、又はそれらの組合せを含む。一実施形態では、整合器、インピーダンス整合回路、及びインピーダンス整合網という用語は、本明細書で互換的に使用することに留意されたい。プラズマ・チャンバ１１２の例は、トランス結合プラズマ（ＴＣＰ）プラズマ・チャンバ、及び誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）プラズマ・チャンバを含む。

【0126】

ホスト・コンピュータ１０６は、プロセッサ１１８と、メモリ・デバイス１２０とを含み、プロセッサ１１８は、メモリ・デバイス１２０に結合される。本明細書で使用するプロセッサの例は、中央処理ユニット（ＣＰＵ）、マイクロコントローラ、制御器、マイクロプロセッサ、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、及びプログラマブル論理デバイス（ＰＬＤ）を含む。本明細書で使用するメモリ・デバイスの例は、読取り専用メモリ、ランダム・アクセス・メモリ、又はそれらの組合せを含む。例示すると、メモリ・デバイスは、フラッシュ・メモリ又はリダンダント・アレイ・オブ・インエクスペンシブ・ディスクズである。

【0127】

プラズマ・チャンバ１１２は、誘電体窓１２４を含み、誘電体窓１２４の上は、ＴＣＰコイル１２６である。例えば、誘電体窓１２４は、プラズマ・チャンバ１１２の上面を形成する。ＴＣＰコイル１２６は、プラズマ・チャンバ１１２の電極の一例である。プラズマ・チャンバ１１２は、基板Ｓを処理のために置く、チャック等の基板支持体１２８を更に含む。基板支持体１２８は、プラズマ・チャンバ１１２の電極の一例である。基板Ｓは、基板支持体１２８の上面に置かれる。基板支持体１２８は、下電極内に埋め込まれる。一例として、下電極は、アルミニウム又はアルミニウム合金等の金属から作製される。

【0128】

プロセッサ１１８は、伝送ケーブル・システム１３０を介してソースＲＦ生成器１０２に結合される。同様に、プロセッサ１１８は、伝送ケーブル・システム１３４を介してバイアスＲＦ生成器１０４に結合される。本明細書で使用する伝送ケーブル・システムは、１つ又は複数の伝送ケーブルを含む。一例として、本明細書で使用する伝送ケーブルは、プロセッサ１１８とプロセッサ１１８に結合されるＲＦＧとの間でデータを直列伝送する直列伝送ケーブルを含む。データを直列伝送する際、一度に１ビットが伝送される。伝送ケーブルの別の例は、プロセッサ１１８とプロセッサ１１８に結合されるＲＦＧとの間でデータを並行伝送する並行伝送ケーブルを含む。データを並行伝送する際、複数のビットが同時に伝送される。伝送ケーブルのまた別の例は、ユニバーサル・シリアル・バス（ＵＳＢ）ケーブルを含む。

【0129】

ソースＲＦ生成器１０２の出力１５４は、ＲＦケーブル１３８を介してソース整合器１０８の入力１５６に結合され、ソース整合器１０８の出力１５８は、ＲＦ伝送線路１４０を介してＴＣＰコイル１２６に結合される。同様に、バイアスＲＦ生成器１０４の出力１６０は、ＲＦケーブル１４２を介してバイアス整合器の入力１６２に結合され、バイアス整合器１１０の出力１６４は、ＲＦ伝送線路１４４を介して基板支持体１２８に結合される。ＲＦ伝送線路の一例は、ＲＦロッドを含む。ＲＦロッドは、絶縁材料によって囲まれ、絶縁材料は、ＲＦ伝送線路のＲＦシースによって更に囲まれる。ＲＦ伝送線路の絶縁材料は、ＲＦロッドとＲＦシースとの間にある。ＲＦ伝送線路の別の例は、絶縁材料、ＲＦロッド及びＲＦロッドに結合される１つ又は複数のＲＦストラップを囲むＲＦシースを含む。ＲＦ伝送線路のまた別の例は、絶縁材料、ＲＦロッド、１つ又は複数のＲＦストラップ、及び１つ又は複数のＲＦストラップの少なくとも１つを介してＲＦシースに結合されるＲＦシリンダを囲むＲＦシースを含む。

【0130】

プロセッサ１１８は、クロック・ソースを含み、クロック・ソースは、デジタル・クロック信号又はデジタル・パルス信号等の同期信号１４６を生成し、伝送ケーブル・システム１３０を介してソースＲＦ生成器１０２に送信する。クロック・ソースの一例は、５０％のデューティ・サイクルを有する同期信号を生成する位相ロック・ループ回路を含む。クロック・ソースの別の例は、出力でデューティ・サイクル制御回路と共に結合される位相ロック・ループ回路を含み、同期信号のデューティ・サイクルを、８０％又は１０％等、５０％から、５０％超又は５０％未満に変更し、デューティ・サイクルを変更した同期信号を出力する。プロセッサ１１８のクロック・ソースは、伝送ケーブル・システム１３４を介してバイアスＲＦ生成器１０４にも同期信号１４６を送信する。

【0131】

更に、プロセッサ１１８は、生成すべきＲＦ信号１５２の周波数、又はＲＦ信号１５２のパラメータ等のソース変数を、伝送ケーブル・システム１３０を介してソースＲＦ生成器１０２に送信する。本明細書で使用する変数の例は、周波数及びパラメータを含む。例示すると、変数は、周波数又は電力である。本明細書で使用するパラメータの例は、電圧及び電力を含む。例示すると、パラメータは、電圧又は電力である。また、プロセッサ１１８は、ＲＦ信号１６８の周波数及びＲＦ信号１６８のパラメータ等のバイアス変数を、伝送ケーブル・システム１３４を介してバイアスＲＦ生成器１０４に送信する。

【0132】

ソースＲＦ生成器１０２は、伝送ケーブル・システム１３０を介して同期信号１４６及びソース変数を受信すると、ＲＦ信号１５２を生成する。ＲＦ信号１５２は、ソースＲＦ生成器１０２によってプロセッサ１１８から受信した、周波数及び電力又は電圧等のソース変数を有する。ＲＦ信号１５２は、ＲＦケーブル１３８を介してソースＲＦ生成器１０２の出力１５４からソース整合器１０８の入力１５６に送信される。ソース整合器１０８は、ＲＦ信号１５２を受信し、ＲＦ信号１５２のインピーダンスを修正し、ソース整合器１０８の出力１５８に結合される負荷のインピーダンスと、ソース整合器１０８の入力１５６に結合されるソースのインピーダンスとを整合する。ソース整合器１０８は、ＲＦ信号１５２のインピーダンスを修正し、ソース整合器１０８の出力１５８で修正ＲＦ信号１６６を出力する。修正ＲＦ信号１６６は、ＲＦ伝送線路１４０を介して出力１５８からＴＣＰコイル１２６に送信される。

【0133】

同様に、バイアスＲＦ生成器１０４は、伝送ケーブル１３４を介して同期信号１４６及びソース変数を受信すると、ＲＦ信号１６８を生成する。ＲＦ信号１６８は、バイアスＲＦ生成器１０４によってプロセッサ１１８から受信した、周波数及び電力又は電圧等のバイアス変数を有する。ＲＦ信号１６８は、ＲＦケーブル１４２を介してバイアスＲＦ生成器１０４の出力１６０からバイアス整合器１１０の入力１６２に送信される。バイアス整合器１１０は、ＲＦ信号１６８を受信し、ＲＦ信号１６８のインピーダンスを修正し、バイアス整合器１１０の出力１６４に結合される負荷のインピーダンスと、バイアス整合器１１０の入力１６２に結合されるソースのインピーダンスとを整合する。バイアス整合器１１０は、ＲＦ信号１６８のインピーダンスを修正し、バイアス整合器１１０の出力１６４で修正ＲＦ信号１７０を出力する。修正ＲＦ信号１７０は、ＲＦ伝送線路１４４のＲＦロッドを介して出力１６４から基板１２８内に埋め込んだ下電極に送信される。

【0134】

一実施形態では、修正ＲＦ信号１６６は、ＲＦ信号１５２と同じ数のパラメータ・レベルを有し、ＲＦ信号１５２から修正ＲＦ信号１６６を生成することに留意されたい。例えば、ＲＦ信号１５２及び１６６のそれぞれは、同期信号１４６のサイクルの間、２つのパラメータ・レベルを有する。また、一実施形態では、ＲＦ信号１５２及び修正ＲＦ信号１６６のそれぞれは、一方のパラメータ・レベルからもう一方のパラメータ・レベルに同時に遷移する。例えば、ＲＦ信号１５２が一方のパラメータ・レベルからもう一方のパラメータ・レベルに遷移する際、修正ＲＦ信号１６６は、一方のパラメータ・レベルからもう一方のパラメータ・レベルに遷移する。一実施形態では、修正ＲＦ信号１６６は、ＲＦ信号１５２のパラメータ・レベルと同じパラメータ・レベルを有する。例えば、ＲＦ信号１５２が第１のパラメータ・レベルを有する場合、修正ＲＦ信号は、同じ第１のパラメータ・レベルを有する。

【0135】

一実施形態では、修正ＲＦ信号１７０は、ＲＦ信号１６８と同じ数のパラメータ・レベルを有し、ＲＦ信号１６８から修正ＲＦ信号１７０を生成することに留意されたい。例えば、ＲＦ信号１６８及び１７０のそれぞれは、同期信号１４６のサイクルの間、３つのパラメータ・レベルを有する。また、一実施形態では、ＲＦ信号１６８及び修正ＲＦ信号１７０のそれぞれは、一方のパラメータ・レベルからもう一方のパラメータ・レベルに同時に遷移する。例えば、ＲＦ信号１６８が一方のパラメータ・レベルからもう一方のパラメータ・レベルに遷移する際、修正ＲＦ信号１７０は、一方のパラメータ・レベルからもう一方のパラメータ・レベルに遷移する。一実施形態では、修正ＲＦ信号１７０は、ＲＦ信号１６８のパラメータ・レベルと同じパラメータ・レベルを有する。例えば、ＲＦ信号１６８が第１のパラメータ・レベルを有する場合、修正ＲＦ信号は、同じ第１のパラメータ・レベルを有する。

【0136】

修正ＲＦ信号１６６及び１７０に加えて、酸素含有ガス、又はフッ素含有ガス、又はそれらの組合せ等の１つ又は複数のプロセス・ガスをプラズマ・チャンバ１１２の筐体又はハウジングに供給すると、プラズマ・チャンバ１１２の筐体又はハウジング内にプラズマが生成又は維持される。プラズマは、基板Ｓを処理するために使用され、あるインピーダンスを有する。例えば、プラズマは、材料を基板Ｓ上に堆積する、又は基板Ｓをエッチングする、又は基板Ｓをスパッタリングする、又は基板Ｓを洗浄する、又はそれらの組合せのために使用される。

【0137】

一実施形態では、ＴＣＰコイル１２６ではなく、複数のＴＣＰコイルを誘電体窓１２４の上に置く。一実施形態では、ＴＣＰコイル１２６に加えて、１つ又は複数のＴＣＰコイルをプラズマ・チャンバ１１２の側部に置く。

【0138】

図２は、システム２００の一実施形態の図であり、ＲＦ生成器２０２の詳細を示す。システム２００は、ＲＦ生成器２０２とホスト・コンピュータ１０６とを含む。システム２００は、整合器２１６とＲＦケーブル２１８とを更に含む。ＲＦ生成器２０２は、ソースＲＦ生成器１０２又はバイアスＲＦ生成器１０４の一例である（図１）。整合器２１６は、ソース整合器１０８又はバイアス整合器１１０の一例である（図１）。ＲＦケーブル２１８は、ＲＦケーブル１３８又はＲＦケーブル１４２の一例であり（図１）、ＲＦ電源２２２の出力２１７に結合される。ＲＦ生成器２０２は、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）２０４と、電力制御器（ＰＲＳ１）２０６と、電力制御器（ＰＲＳ２）２０８と、周波数制御器（ＦＣ）２１０と、ドライバ・システム２１２と、ＲＦ電源２２２とを含む。

【0139】

本明細書で使用するデジタル信号プロセッサの例は、制御器、マイクロプロセッサ、及びマイクロコントローラを含み、これらの用語は、本明細書で互換的に使用されることがある。本明細書で使用するパラメータ制御器の例は、プロセッサとメモリ・デバイスとの組合せを含む。パラメータ制御器のプロセッサは、パラメータ制御器のメモリ・デバイスに結合される。同様に、本明細書で使用する周波数制御器の例は、プロセッサとメモリ・デバイスとの組合せを含む。周波数制御器のプロセッサは、周波数制御器のメモリ・デバイスに結合される。本明細書で使用するドライバ・システムの一例は、互いに結合される１つ又は複数のトランジスタ等、１つ又は複数のドライバを有する回路を含む。本明細書で使用するＲＦ電源の例は、正弦波等の周期発振ＲＦ信号を生成する電子発振器を含む。

【0140】

プロセッサ１１８は、伝送ケーブル・システム２１４を介してＤＳＰ２０４に結合される。伝送ケーブル・システム２１４は、伝送ケーブル・システム１３０又は伝送ケーブル・システム１３４（図１）の一例である。デジタル信号プロセッサ２０２は、パラメータ制御器２０６及び２０８、並びに周波数制御器２１０に結合される。パラメータ制御器２０６及び２０８は、ドライバ・システム２１２に結合され、ドライバ・システム２１２は、ＲＦ電源２２２に結合される。また、周波数制御器２１０は、ドライバ・システム２１２に結合される。ＲＦ電源２２２は、ＲＦケーブル２１８を介して整合器２１６に結合される。

【0141】

プロセッサ１１８は、ソース変数又はバイアス変数等の変数、及び同期信号１４６を伝送ケーブル・システム２１４を介してＤＳＰ２０４に供給する。変数を受信すると、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号２２０の状態Ｓ１の電力レベル又は電圧レベル等のパラメータをパラメータ制御器２０６に供給し、パラメータ制御器２０６のメモリ・デバイス内に状態Ｓ１のパラメータを記憶する。一例として、電力レベル又は電圧レベル等のパラメータ・レベルは、ＲＦ信号の包絡線である。一例として、パラメータ・レベルは、別個の水平レベルであり、別のパラメータ・レベルの別個の水平レベルよりも高いか又は低い。別の例として、パラメータ・レベルは、ＲＦ信号の１つ若しくは複数のゼロからピークまでの大きさであるか、又は１つ若しくは複数のピーク間の大きさであるか、又は１つ若しくは複数のピーク間の大きさである。パラメータ・レベルの振幅は、互いから０から５％等の所定の範囲内であり、別の又は異なるパラメータ・レベルの振幅を除外する。別の例として、パラメータ・レベルは、最大値及び最小値を有する。最大値は、パラメータ・レベルの値の全ての値の最大であり、最小値は、パラメータ・レベルの値の全ての最小である。第１のパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベルの最大値が第２のパラメータ・レベルの最小値よりも小さい場合、第２のパラメータ・レベルよりも小さく、第１のパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベルの最小値が第２のパラメータ・レベルの最大値よりも大きい場合、第２のパラメータ・レベルよりも大きい。

【0142】

また、変数の受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号２２０の状態Ｓ２の電力レベル又は電圧レベル等のパラメータをパラメータ制御器２０８に供給し、パラメータ制御器２０８のメモリ・デバイス内に状態Ｓ１のパラメータを記憶する。同様に、変数を受信すると、ＤＳＰ２０４は、周波数レベルを周波数制御器２１０に供給し、周波数制御器２１０のメモリ・デバイス内に記憶する。

【0143】

一実施形態では、変数の１つのレベル等のレベルは、１つ又は複数の値を含む。例えば、電力レベルは、互いに所定範囲内にある１つ又は複数の電力値を含み、電圧レベルは、互いに予め設定した範囲内にある１つ又は複数の電圧値を含む。別の例として、ＲＦ信号の変数レベルは、ＲＦ信号の１つ若しくは複数のゼロからピークまでの大きさであるか、又は１つ若しくは複数のピーク間の大きさであるか、又は１つ若しくは複数のピーク間の大きさである。変数レベルの振幅は、互いから０から５％等の所定の範囲内であり、別の又は異なるパラメータ・レベルの振幅を除外する。また別の例として、変数レベルは、別個の水平レベルであり、別の変数レベルの別個の水平レベルよりも高い又は低い。

【0144】

一実施形態では、第１の変数レベルの値は、第２の変数レベルの値とは異なる。例えば、第１の変数レベルの値は、第２の変数レベルの値を除外する。別の例として、第１の変数レベルの値のいずれも、第２の変数レベルの値のいずれとも同じではない。

【0145】

同期信号１４６を受信すると、ＤＳＰ２０４は、同期信号１４６のサイクルを識別する。例えば、ＤＳＰ２０４は、同期信号１４６のサイクル１が、第１の時間で開始され、第２の時間で終了又は停止したこと、及び同期信号１４６のサイクル２が第２の時間で開始され、第３の時間で終了又は停止したことを決定する。例示すると、ＤＳＰ２０４は、同期信号１４６の論理レベルが、開始時間で０から１に遷移し、再度、停止時間で０から１に遷移したこと、及び開始時間と停止時間との間の遷移の間、同期信号１４６のサイクルを識別する０から１への他の遷移がないことを決定する。ＤＳＰ２０４は、各サイクルを計数し、同期信号１４６のいくつかのサイクルを決定する。

【0146】

また、サイクルを識別すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ１の命令信号をパラメータ制御器２０６に送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ１の命令信号を、状態Ｓ２からの遷移時、又は状態Ｓ０から状態Ｓ１への遷移時にパラメータ制御器２０６に送信する。パラメータ制御器２０６に送信される状態Ｓ１の命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓ１の時間期間を含み、パラメータ制御器２０６は、状態Ｓ１のパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に供給する。状態Ｓ１の命令信号を受信すると、パラメータ制御器２０６は、パラメータ制御器２０６のメモリ・デバイスから状態Ｓ１のパラメータ・レベルにアクセスし、状態Ｓ１の時間期間に関するパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に送信する。例えば、パラメータ制御器２０６は、状態Ｓ２からの遷移時、又は状態Ｓ０から状態Ｓ１への遷移時、状態Ｓ１のパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に送信する。状態Ｓ１の時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、パラメータ制御器２０６は、状態Ｓ１のパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に送信しない。

【0147】

同様に、同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ２の命令信号をパラメータ制御器２０８に送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ２の命令信号を、状態Ｓ１からの遷移時、又は状態Ｓ０から状態Ｓ２への遷移時にパラメータ制御器２０８に送信する。パラメータ制御器２０８に送信される状態Ｓ２の命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓ２の時間期間を含み、パラメータ制御器２０８は、状態Ｓ２のパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に供給する。状態Ｓ２の命令信号を受信すると、パラメータ制御器２０８は、パラメータ制御器２０８のメモリ・デバイスから状態Ｓ２のパラメータ・レベルにアクセスし、状態Ｓ２の時間期間に関するパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に送信する。例えば、パラメータ制御器２０６は、状態Ｓ１からの遷移時、又は状態Ｓ０から状態Ｓ２への遷移時に、状態Ｓ２のパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に送信する。状態Ｓ２の時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、パラメータ制御器２０８は、状態Ｓ２のパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に送信しない。

【0148】

また、同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、命令信号を周波数制御器２１０に送信する。命令信号を受信すると、周波数制御器２１０は、周波数制御器２１０のメモリ・デバイスから周波数レベルにアクセスし、周波数レベルをドライバ・システム２１２に送信する。

【0149】

状態Ｓ１のパラメータ・レベル及び周波数レベルの受信に応じて、ドライバ・システム２１２は、状態Ｓ１の時間期間の間で状態Ｓ１の駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、Ｓ２からの遷移時、又は状態Ｓ０から状態Ｓ１への遷移時、状態Ｓ１のパラメータ・レベル及び周波数レベルを受信すると、ドライバ・システム２１２は、状態Ｓ１の時間期間の間で状態Ｓ１の駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、状態Ｓ１の駆動信号をドライバ・システム２１２から受信すると、ＲＦ信号２２０の状態Ｓ１を生成する。例えば、状態Ｓ１の駆動信号をドライバ・システム２１２から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号２２０を状態Ｓ０又は状態Ｓ２から状態Ｓ１に遷移させる。ＲＦ信号２２０の状態Ｓ１は、状態Ｓ１の時間期間の間、状態Ｓ１のパラメータ・レベル及び周波数レベルを有する。

【0150】

同様に、状態Ｓ２の周波数レベル及びパラメータ・レベルの受信に応じて、ドライバ・システム２１２は、状態Ｓ２の時間期間の間で状態Ｓ２の駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、Ｓ１からの遷移時、又は状態Ｓ０から状態Ｓ２への遷移時、状態Ｓ２のパラメータ・レベル及び周波数レベルを受信すると、ドライバ・システム２１２は、状態Ｓ２の時間期間の間で状態Ｓ２の駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、状態Ｓ２の駆動信号をドライバ・システム２１２から受信すると、ＲＦ信号２２０の状態Ｓ２を生成する。例えば、状態Ｓ２の駆動信号をドライバ・システム２１２から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号２２０を状態Ｓ０又は状態Ｓ１から状態Ｓ２に遷移させる。ＲＦ信号２２０の状態Ｓ２は、状態Ｓ２の時間期間の間、状態Ｓ２のパラメータ・レベル及び周波数レベルを有する。

【0151】

また、一実施形態では、同期信号１４６の各サイクルの間、ＲＦ信号２２０がゼロのパラメータ・レベルを有する時間期間がある。ＲＦ信号２２０は、状態Ｓ０等の状態なし（ＮＳ）の間、ゼロのパラメータ・レベルを有する。一例として、本明細書で説明するＲＦ信号のパラメータ・レベルは、パラメータ・レベルがゼロに近い又は実質的にゼロである場合、ゼロである。例示すると、パラメータ・レベルは、パラメータ・レベルが所定の値未満である場合、ゼロである。パラメータ・レベルの所定の値の一例は、１ワットである。パラメータ・レベルの所定の値の別の例は、０．２５ワットである。パラメータ・レベルの所定の値のまた別の例は、０．５ワットである。同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態なしの間の時間期間の間、状態Ｓ１及びＳ２の命令信号をパラメータ制御器２０６及び２０８に送信しない。

【0152】

状態Ｓ１及びＳ２の命令信号を受信しない状態なしの間の時間期間の間、パラメータ制御器２０６及び２０８は、状態Ｓ１及びＳ２のパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に送信しないか、又は送信を停止する。例えば、状態Ｓ１の時間期間の後、パラメータ制御器２０６は、状態Ｓ１のパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に送信しない。別の例として、状態Ｓ２の時間期間の後、パラメータ制御器２０８は、状態Ｓ２のパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に送信しない。

【0153】

状態Ｓ１及びＳ２のパラメータ・レベルを受信しない場合、ドライバ・システム２１２は、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信しない。状態なしの時間期間の間に駆動信号を受信しない場合、ＲＦ電源２２２は、状態なしの間、ゼロのパラメータ・レベルを有するＲＦ信号２２０を生成する。例えば、駆動信号を受信しない場合、電源２２２は、ＲＦ信号２２０を状態Ｓ１又は状態Ｓ２から無状態Ｓ０に遷移させる。

【0154】

一実施形態では、パラメータ制御器２０６ではなく、パラメータ制御器２０８及び周波数制御器２１０、１つ又は複数のプロセッサ等の１つ又は複数の制御器を使用し、本明細書で説明する、パラメータ制御器２０６及び２０８並びに周波数制御器２１０によって実施される機能を実施する。１つ又は複数の制御器のそれぞれは、プロセッサと、メモリ・デバイスとを含み、プロセッサは、メモリ・デバイスに結合される。

【0155】

一実施形態では、ＤＳＰ２０４ではなく、パラメータ制御器２０６、パラメータ制御器２０８及び周波数制御器２１０、１つ又は複数のプロセッサ等の１つ又は複数の制御器を使用し、本明細書で説明する、ＤＳＰ２０４、パラメータ制御器２０６及び２０８並びに周波数２１０によって実施される機能を実施する。１つ又は複数の制御器のそれぞれは、プロセッサと、メモリ・デバイスとを含み、プロセッサは、メモリ・デバイスに結合される。

【0156】

図３Ａは、同期信号３０２を示す一実施形態のグラフ３００である。グラフ３００は、同期信号３０２の論理レベル対時間ｔをグラフ化したものである。同期信号３０２は、同期信号１４６の一例である（図１）。同期信号３０２の論理レベルは、ｙ軸上でグラフ化され、時間ｔは、ｘ軸上でグラフ化される。本明細書で使用する論理レベルは、０から１までの範囲に及び、論理レベル０は、０ボルト（Ｖ）の直流電流（ＤＣ）に対応し、論理レベル１は、５ボルトＤＣに対応する。本明細書で使用する同期信号は、論理レベル１及び０を有する方形波等のデジタル・パルス信号である。

【0157】

同期信号３０２は、５０％のデューティ・サイクルを有する。例えば、同期信号３０２は、時間ｔ０から時間ｔ５まで論理レベル１を有する。同期信号３０２は、時間ｔ５から時間ｔ１０まで０論理レベルを有し、時間ｔ１０から時間ｔ１５まで１論理レベルを有し、時間ｔ１５から時間ｔ２０まで論理レベル０を有する。

【0158】

時間ｔ０とｔ２０との間の時間間隔は、等しい時間間隔に分割される。例えば、時間ｔ０とｔ２０との間の時間間隔は、時間ｔ０と時間ｔ１との間の第１の時間間隔、時間ｔ１と時間ｔ２との間の第２の時間間隔、時間ｔ２と時間ｔ３との間の第３の時間間隔、時間ｔ３と時間ｔ４との間の第４の時間間隔、時間ｔ４と時間ｔ５との間の第５の時間間隔、時間ｔ５と時間ｔ６との間の第６の時間間隔、時間ｔ６と時間ｔ７との間の第７の時間間隔、時間ｔ７と時間ｔ８との間の第８の時間間隔、時間ｔ８と時間ｔ９との間の第９の時間間隔、時間ｔ９と時間ｔ１０との間の第１０の時間間隔、時間ｔ１０と時間ｔ１１との間の第１１の時間間隔、時間ｔ１１と時間ｔ１２との間の第１２の時間間隔、時間ｔ１２と時間ｔ１３との間の第１３の時間間隔、時間ｔ１３と時間ｔ１４との間の第１４の時間間隔、時間ｔ１４と時間ｔ１５との間の第１５の時間間隔、時間ｔ１５と時間ｔ１６との間の第１６の時間間隔、時間ｔ１６と時間ｔ１７との間の第１７の時間間隔、時間ｔ１７と時間ｔ１８との間の第１８の時間間隔、時間ｔ１８と時間ｔ１９との間の第１９の時間間隔、時間ｔ１９と時間ｔ２０との間の第２０の時間間隔に分割される。第１から第１２の時間間隔のそれぞれは、等しい又は同じである。

【0159】

同期信号３０２は、サイクル１及びサイクル２等の複数のサイクルを有し、各サイクルの間、論理レベル１及び０を繰り返す。例えば、同期信号３０２は、サイクル１の間、時間ｔ５で論理レベル１から論理レベル０に遷移し、サイクル２の間、時間ｔ１５で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。別の例として、サイクル１の時間ｔ０において、同期信号３０２は、サイクル０の論理レベル０からサイクル１の論理レベル１に遷移する。サイクル０は、同期信号３０２であり、同期信号３０２のサイクル１に先行する。同様に、サイクル１の時間ｔ１０において、同期信号３０２は、サイクル１の論理レベル０からサイクル２の論理レベル１に遷移する。時間ｔ０からｔ１０は、本明細書で説明する同期信号のサイクル１の間に発生し、時間ｔ１０からｔ２０は、同期信号のサイクル２の間に発生する。サイクル１は、時間ｔ０で開始し、時間ｔ１０で終了し、サイクル２は、時間ｔ１０で開始し、時間ｔ２０で終了する。

【0160】

本明細書で説明する同期信号の各サイクルは、周期的に繰り返される。例えば、同期信号のサイクル２が後に続き、同期信号のサイクル１に連続し、同期信号のサイクル２が後に続き、同期信号のサイクル０に連続する。

【0161】

図３Ｂは、一実施形態のグラフ３０４であり、ＲＦ信号であるＲＦ信号１５２のパラメータ３０６対時間ｔを示す。パラメータ３０６は、ｙ軸上でグラフ化され、時間ｔは、ｘ軸上でグラフ化される。

【0162】

パラメータ３０６は、同期信号３０２と同期する状態でパラメータ・レベルＰＲ１とＰＲ２との間で周期的に遷移する。例えば、パラメータ３０６は、同期信号３０２のサイクル１の間、パラメータ・レベルＰＲ１とＰＲ２との間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、パラメータ・レベルＰＲ１とＰＲ２との間で遷移する。例示すると、パラメータ３０６は、時間ｔ０から時間ｔ５まで状態Ｓ１のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ１を有し、時間ｔ５から時間ｔ１０まで状態Ｓ２のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ２を有し、時間ｔ１０から時間ｔ１５まで状態Ｓ１の別のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ１を有し、時間ｔ１５から時間ｔ２０まで状態Ｓ２の別のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ２を有する。同期信号３０２のサイクル１の間、パラメータ３０６は、時間ｔ０でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ５でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、パラメータ３０６は、やはり、時間ｔ１０でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ１５でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移する。パラメータ・レベルＰＲ１は、ＲＦ信号１５２の状態Ｓ１のパラメータ・レベルの一例であり、パラメータ・レベルＰＲ２は、ＲＦ信号１５２の状態Ｓ２のパラメータ・レベルの一例である。

【0163】

パラメータ・レベルＰＲ１は、パラメータ・レベルＰＲ２よりも小さい。例えば、パラメータ・レベルＰＲ１の電力値は、パラメータ・レベルＰＲ２の電力値よりも小さい。別の例として、パラメータ・レベルＰＲ１の電力値のいずれも、パラメータ・レベルＰＲ２の電力値を超えない。パラメータ・レベルＰＲ１は、ゼロより大きい。

【0164】

一実施形態では、２つのパラメータ・レベルの間を遷移する時間である遷移時間は、２つの時間の間の時間期間である。例えば、時間ｔ５で電力レベルＰＲ１から電力レベルＰＲ２へ遷移するのではなく、パラメータ３０６は、第１の時間でパラメータ・レベルＰＲ１からの遷移を開始し、第２の時間でパラメータ・レベルＰＲ２への遷移を終了する。第１の時間は、時間ｔ５の前で、時間ｔ２とｔ５との間であり、第２の時間は、時間ｔ５の後で、時間ｔ５とｔ８との間である。遷移時間期間は、第１の時間と第２の時間との間の遷移時間である。

【0165】

一実施形態では、パラメータ・レベルＰＲ１とＰＲ２との間を遷移するのではなく、パラメータ３０６は、パラメータ・レベル０とＰＲ２との間、又はパラメータ・レベル０とＰＲ１との間を遷移する。

【0166】

一実施形態では、同期信号３０２に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号３０２は、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、２つの論理レベルの間で同様に周期的に遷移し、パラメータ３０６は、パラメータ・レベルＰＲ１とＰＲ２との間を遷移する。例えば、同期信号３０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ０で論理レベル１から論理レベル０に遷移し、時間ｔ５で論理レベル０から論理レベル１に遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１０で論理レベル１から論理レベル０に遷移し、時間ｔ１５で論理レベル０から論理レベル１に遷移する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、パラメータ３０６のＳ１及びＳ２の時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、パラメータ３０６の状態Ｓ１の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル１の時間期間と同じであり、パラメータ３０６の状態Ｓ２の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル２の時間期間と同じである。

【0167】

図３Ｃは、一実施形態のグラフ３０８であり、ＲＦ信号であるＲＦ信号１６８（図１）のパラメータ３１０対時間ｔを示す。パラメータ３１０は、ｙ軸上でグラフ化され、時間ｔは、ｘ軸上でグラフ化される。パラメータ３１０は、同期信号３０２と同期する状態でパラメータ・レベル０とＰＲ１とＰＲ２との間で周期的に遷移する。例えば、パラメータ３１０は、同期信号３０２のサイクル１の間、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で遷移する。例示すると、パラメータ３０６は、時間ｔ０から時間ｔ２まで状態Ｓ０のインスタンスの間、パラメータ・レベル０を有し、時間ｔ２から時間ｔ８まで状態Ｓ１のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ２を有し、時間ｔ８から時間ｔ１０まで状態Ｓ２のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ１を有する。０、ＰＲ２及びＰＲ１のパラメータ・レベルは、同期信号３０２のサイクル２の間繰り返される。同期信号４０２のサイクル１の間、パラメータ３１０は、時間ｔ０でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移し、時間ｔ２でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ８でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ１０でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、パラメータ３１０は、やはり、時間ｔ１０でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移し、時間ｔ１２でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ１８でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ２０でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。

【0168】

パラメータ・レベル０は、ＲＦ信号１６８の状態Ｓ０のパラメータ・レベルであり、パラメータ・レベルＰＲ１は、ＲＦ信号１６８の状態Ｓ１のパラメータ・レベルの一例であり、パラメータ・レベルＰＲ２は、ＲＦ信号１６８の状態Ｓ２のパラメータ・レベルの一例である。

【0169】

第１の時間期間の間、パラメータ３０６及び３１０というパラメータ・レベルの組合せが、第２の時間期間の間、パラメータ３０６及び３１０というパラメータ・レベルの組合せとは異なる場合、第１の時間期間の間のプラズマ・インピーダンス状態は、第２の時間期間の間のプラズマ・インピーダンス状態とは異なる。例えば、時間ｔ０とｔ２との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ３０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、時間ｔ０とｔ２との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ３１０のパラメータ・レベルは、０であり、プラズマ・チャンバ１１２（図１）内でプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１を規定する。本明細書において、プラズマ・チャンバ１１２内のプラズマ・インピーダンス状態は、プラズマ・インピーダンス状態（ＰＳ）と呼ぶことがある。時間ｔ２とｔ５との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ３０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、時間ｔ２とｔ５との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ３１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ２を規定する。

【0170】

別の例として、時間ｔ５とｔ８との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ３０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、時間ｔ５とｔ８との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ３１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ３を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ３は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１及びＰＳ２のそれぞれとは異なる。

【0171】

また別の例として、時間ｔ８とｔ１０との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ３０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、時間ｔ８とｔ１０との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ３１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ４を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ４は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１、ＰＳ２及びＰＳ３のそれぞれとは異なる。したがって、同期信号３０２の各サイクルの間、バイアスＲＦ信号及びソースＲＦ信号のパラメータ・レベルの変化のため、４つのプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１からＰＳ４等の複数のプラズマ・インピーダンス状態が生成される。複数のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１からＰＳ４を有するプラズマ・チャンバ１１２（図１）内のプラズマ・インピーダンスは、複数状態のプラズマ・インピーダンスの一例である。

【0172】

一実施形態では、パラメータ３０６は、ＲＦ信号１６８のものであり、パラメータ３１０は、ＲＦ信号１５２のものである。

【0173】

一実施形態では、同期信号３０２に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号３０２は、第１の伝送ケーブルは、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、３つの論理レベルの間で同様に周期的に遷移し、パラメータ３１０は、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間を遷移する。例えば、同期信号３０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ０で論理レベル１から論理レベル０に遷移し、時間ｔ２で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ８で論理レベル２から論理レベル１に遷移する。論理レベル２は、論理レベル１よりも大きい。例示すると、論理レベル１は、論理レベル１よりも大きいＤＣ電圧を有する。同期信号３０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１０で論理レベル１から論理レベル０に遷移し、時間ｔ１２で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ１８で論理レベル２から論理レベル１に遷移する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、パラメータ３１０のＳ０、Ｓ２及びＳ１の時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、パラメータ３１０の状態Ｓ０の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル０の時間期間と同じであり、パラメータ３１０の状態Ｓ１の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル１の時間期間と同じであり、パラメータ３１０の状態Ｓ２の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル２の時間期間と同じである。

【0174】

図４Ａは、一実施形態のグラフ３００である。

【0175】

図４Ｂは、一実施形態のグラフ３０４である。

【0176】

図４Ｃは、一実施形態のグラフ４００であり、ＲＦ信号であるＲＦ信号１６８のパラメータ４０２対時間ｔを示す（図１）。パラメータ４０２は、ｙ軸上でグラフ化され、時間ｔは、ｘ軸上でグラフ化される。パラメータ４０２は、同期信号３０２と同期する状態でパラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で周期的に遷移する。例えば、パラメータ４０２は、同期信号３０２のサイクル１の間、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で遷移し、再度、同期信号３０２のサイクル２の間、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で遷移する。例示すると、パラメータ４０２は、時間ｔ０から時間ｔ２まで状態Ｓ０のインスタンスの間、パラメータ・レベル０を有し、時間ｔ２から時間ｔ８まで状態Ｓ１のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ２を有し、時間ｔ８から時間ｔ９まで状態Ｓ２のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ１を有し、時間ｔ９から時間ｔ１０まで状態Ｓ０の別のインスタンスの間、パラメータ・レベル０を有する。０、ＰＲ２及びＰＲ１のパラメータ・レベルは、同期信号３０２のサイクル２の間繰り返される。同期信号３１０のサイクル１の間、パラメータ４０２は、時間ｔ２でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ８でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ９でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。同期信号３１０のサイクル２の間、パラメータ４０２は、やはり、時間ｔ１２でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ１８でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ１９でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。

【0177】

第１の時間期間の間のパラメータ３０６及び４０２というパラメータ・レベルの組合せが、第２の時間期間の間のパラメータ３０６及び４０２というパラメータ・レベルの組合せとは異なる場合、第１の時間期間の間のプラズマ・インピーダンス状態は、第２の時間期間の間のプラズマ・インピーダンス状態とは異なる。例えば、時間ｔ０とｔ２との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ３０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、時間ｔ０とｔ２との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ４０２のパラメータ・レベルは、０であり、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１を規定する。時間ｔ２とｔ５との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ３０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、時間ｔ２とｔ５との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ４０２のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ２を規定する。

【0178】

別の例として、時間ｔ５とｔ８との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ３０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、時間ｔ５とｔ８との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ４０２のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ３を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ３は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１及びＰＳ２のそれぞれとは異なる。

【0179】

また別の例として、時間ｔ８とｔ９との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ３０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、時間ｔ８とｔ９との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ４０２のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ４を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ４は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１、ＰＳ２及びＰＳ３のそれぞれとは異なる。

【0180】

別の例として、時間ｔ９とｔ１０との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ３０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、時間ｔ９とｔ１０との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ４０２のパラメータ・レベルは、０であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ５を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ５は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１、ＰＳ２、ＰＳ３及びＰＳ４のそれぞれとは異なる。

【0181】

したがって、同期信号３０２の各サイクルの間、バイアスＲＦ信号及びソースＲＦ信号のパラメータ・レベルの変化のため、５つのプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１からＰＳ５等の複数のプラズマ・インピーダンス状態が生成される。複数のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１からＰＳ５を有するプラズマ・チャンバ１１２（図１）内のプラズマ・インピーダンスは、複数状態のプラズマ・インピーダンスの一例である。

【0182】

一実施形態では、パラメータ３０６は、ＲＦ信号１６８のものであり、パラメータ４０２は、ＲＦ信号１５２のものである。

【0183】

一実施形態では、同期信号３１０に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号３０２は、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、３つの論理レベルの間で同様に周期的に遷移し、パラメータ４０２は、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間を遷移する。例えば、同期信号３０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ２で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ８で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ９で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１２で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ１８で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ１９で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、パラメータ４０２のＳ０、Ｓ２及びＳ１の時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、パラメータ４０２の状態Ｓ０の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル０の時間期間と同じであり、パラメータ４０２の状態Ｓ１の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル１の時間期間と同じであり、パラメータ４０２の状態Ｓ２の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル２の時間期間と同じである。

【0184】

図５Ａは、同期信号５０２を示す一実施形態のグラフ５００である。グラフ５００は、同期信号５０２の論理レベル対時間ｔをグラフ化したものである。同期信号５０２は、同期信号１４６（図１）の一例である。同期信号５０２の論理レベルは、ｙ軸上でグラフ化され、時間ｔは、ｘ軸上でグラフ化される。

【0185】

同期信号５０２は、７０％のデューティ・サイクルを有する。例えば、同期信号５０２は、時間ｔ０から時間ｔ７まで論理レベル１を有する。同期信号３０２は、時間ｔ７から時間ｔ１０まで論理レベル０を有し、時間ｔ１０から時間ｔ１７まで論理レベル１を有し、時間ｔ１７から時間ｔ２０まで論理レベル０を有する。

【0186】

同期信号５０２は、複数のサイクルを有し、各サイクルの間、論理レベル１及び０を繰り返す。例えば、同期信号５０２は、サイクル１の間、時間ｔ７で論理レベル１から論理レベル０に遷移し、サイクル２の間、時間ｔ１７で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。別の例として、サイクル１の時間ｔ０において、同期信号５０２は、同期信号５０２のサイクル０の論理レベル０からサイクル１の論理レベル１に遷移する。同様に、サイクル１の時間ｔ１０において、同期信号５０２は、サイクル１の論理レベル０からサイクル２の論理レベル１に遷移する。同期信号５０２のサイクル０は同期信号５０２のサイクル１に先行し、同期信号５０２のサイクル１は、同期信号５０２のサイクル２に先行する。

【0187】

一実施形態では、同期信号５０２は、７０％のデューティ・サイクルではなく、５０％のデューティ・サイクル又は６０％のデューティ・サイクル等、別のデューティ・サイクルを有する。

【0188】

図５Ｂは、一実施形態のグラフ５０４であり、ＲＦ信号であるＲＦ信号１５２のパラメータ５０６対時間ｔを示す。パラメータ５０６は、ｙ軸上でグラフ化され、時間ｔは、ｘ軸上でグラフ化される。

【0189】

パラメータ５０６は、同期信号５０２と同期する状態でパラメータ・レベル０とＰＲ１とＰＲ２との間で周期的に遷移する。例えば、パラメータ５０６は、同期信号５０２のサイクル１の間、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で遷移し、やはり、同期信号５０２のサイクル２の間、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で遷移する。例示すると、パラメータ５０６は、時間ｔ０から時間ｔ３まで状態Ｓ０のインスタンスの間、パラメータ・レベル０を有し、時間ｔ３から時間ｔ８まで状態Ｓ１の間、パラメータ・レベルＰＲ２を有し、時間ｔ８から時間ｔ９まで状態Ｓ２の別の間、パラメータ・レベルＰＲ１を有し、時間ｔ９から時間ｔ１０まで状態Ｓ０の別のインスタンスの間、パラメータ・レベル０を有する。パラメータ５０６は、同期信号５０２のサイクル２の間、状態Ｓ０、Ｓ２、Ｓ１及びＳ０の発生シーケンスを繰り返す。同期信号５０２のサイクル１の間、パラメータ５０６は、時間ｔ３でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ８でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ９でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。パラメータ５０６は、同期信号５０２のサイクル２の間、パラメータ・レベル０、ＰＲ２及びＰＲ１の間の遷移を繰り返す。

【0190】

一実施形態では、同期信号５０２に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号５０２は、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、３つの論理レベルの間を同様に周期的に遷移し、パラメータ５０６は、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間を遷移する。例えば、同期信号５０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ３で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ８で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ９で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。同期信号５０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１３で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ１８で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ１９で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、パラメータ５０２のＳ０、Ｓ２及びＳ１の時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、パラメータ５０６の状態Ｓ０の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル０の時間期間と同じであり、パラメータ５０６の状態Ｓ２の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル２の時間期間と同じであり、パラメータ５０６の状態Ｓ１の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル１の時間期間と同じである。

【0191】

図５Ｃは、一実施形態のグラフ５０８であり、ＲＦ信号であるＲＦ信号１６８（図１）のパラメータ５１０対時間ｔを示す。パラメータ５１０は、ｙ軸上でグラフ化され、時間ｔは、ｘ軸上でグラフ化される。パラメータ５１０は、同期信号５０２と同期する状態でパラメータ・レベルＰＲ１とＰＲ２と０との間で周期的に遷移する。例えば、パラメータ５１０は、同期信号５０２のサイクル１の間、パラメータ・レベルＰＲ１とＰＲ２と０との間で遷移し、やはり、同期信号５０２のサイクル２の間、パラメータ・レベルＰＲ１とＰＲ２と０との間で遷移する。例示すると、パラメータ５１０は、時間ｔ０から時間ｔ２まで状態Ｓ１のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ１を有し、時間ｔ２から時間ｔ５まで状態Ｓ２の間、パラメータ・レベルＰＲ２を有し、時間ｔ５から時間ｔ９まで状態Ｓ１の別のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ１を有し、時間ｔ９から時間ｔ１０まで状態Ｓ０の間、パラメータ・レベル０を有する。ＰＲ１、ＰＲ２及び０のパラメータ・レベルは、同期信号５０２のサイクル２の間繰り返される。同期信号５０２のサイクル１の間、パラメータ５１０は、時間ｔ０でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ２でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ５でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ９でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。同期信号５０２のサイクル２の間、パラメータ５１０は、やはり、時間ｔ１０でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ１２でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ１５でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ１９でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。

【0192】

第１の時間期間の間のパラメータ５０６及び５１０というパラメータ・レベルの組合せが、第２の時間期間の間のパラメータ５０６及び５１０というパラメータ・レベルの組合せとは異なる場合、第１の時間期間の間のプラズマ・インピーダンス状態は、第２の時間期間の間のプラズマ・インピーダンス状態とは異なる。例えば、時間ｔ０とｔ２との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ５０６のパラメータ・レベルは、０であり、時間ｔ０とｔ２との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ５１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１を規定する。時間ｔ２とｔ３との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ５０６のパラメータ・レベルは、０であり、時間ｔ２とｔ３との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ５１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ２を規定する。

【0193】

別の例として、時間ｔ３とｔ５との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ５０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、時間ｔ３とｔ５との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ５１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ３は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１及びＰＳ２のそれぞれとは異なる。また別の例として、時間ｔ５とｔ８との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ５０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、時間ｔ５とｔ８との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ５１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ４を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ４は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１、ＰＳ２及びＰＳ３のそれぞれとは異なる。

【0194】

別の例として、時間ｔ８とｔ９との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ５０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、時間ｔ８とｔ９との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ５１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ５を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ５は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１、ＰＳ２、ＰＳ３及びＰＳ４のそれぞれとは異なる。また別の例として、時間ｔ９とｔ１０との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ５０６のパラメータ・レベルは、０であり、時間ｔ９とｔ１０との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ５１０のパラメータ・レベルは、０であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ６を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ６は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１、ＰＳ２、ＰＳ３、ＰＳ４及びＰＳ５のそれぞれとは異なる。したがって、同期信号５０２の各サイクルの間、バイアスＲＦ信号及びソースＲＦ信号のパラメータ・レベルの変化のため、６つのプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１からＰＳ６等の複数のプラズマ・インピーダンス状態が生成される。複数のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１からＰＳ６を有するプラズマ・チャンバ１１２（図１）内のプラズマ・インピーダンスは、複数状態のプラズマ・インピーダンスの一例である。

【0195】

一実施形態では、パラメータ５０６は、ＲＦ信号１６８のものであり、パラメータ５１０は、ＲＦ信号１５２のものである。

【0196】

一実施形態では、同期信号５０２に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号５０２は、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、３つの論理レベルの間で同様に周期的に遷移し、パラメータ５１０は、パラメータ・レベル０とＰＲ１とＰＲ２との間を遷移する。例えば、同期信号５０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ０で論理レベル０から論理レベル１に遷移し、時間ｔ２で論理レベル１から論理レベル２に遷移し、時間ｔ５で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ９で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。同期信号５０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１０で論理レベル０から論理レベル１に遷移し、時間ｔ１２で論理レベル１から論理レベル２に遷移し、時間ｔ１５で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ１９で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、パラメータ５１０のＳ０、Ｓ１及びＳ２の時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、パラメータ５１０の状態Ｓ０の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル０の時間期間と同じであり、パラメータ５１０の状態Ｓ２の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル２の時間期間と同じであり、パラメータ５１０の状態Ｓ１の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル１の時間期間と同じである。

【0197】

図６Ａは、同期信号６０２を示す一実施形態のグラフ６００である。グラフ６００は、同期信号６０２の論理レベル対時間ｔをグラフ化したものである。同期信号６０２は、同期信号１４６（図１）の一例である。同期信号６０２の論理レベルは、ｙ軸上でグラフ化され、時間ｔは、ｘ軸上でグラフ化される。

【0198】

同期信号６０２は、３０％のデューティ・サイクルを有する。例えば、同期信号６０２は、時間ｔ０から時間ｔ３までの論理レベル１を有する。同期信号６０２は、時間ｔ３から時間ｔ１０まで論理レベル０を有し、時間ｔ１０から時間ｔ１３まで論理レベル１を有し、時間ｔ１３から時間ｔ２０まで論理レベル０を有する。

【0199】

同期信号６０２は、複数のサイクルを有し、各サイクルの間、論理レベル１及び０を繰り返す。例えば、同期信号６０２は、サイクル１の間、時間ｔ３で論理レベル１から論理レベル０に遷移し、サイクル２の間、時間ｔ１３で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。別の例として、サイクル１の時間ｔ０において、同期信号６０２は、同期信号６０２のサイクル０の論理レベル０からサイクル１の論理レベル１に遷移する。同様に、サイクル１の時間ｔ１０において、同期信号６０２は、サイクル１の論理レベル０からサイクル２の論理レベル１に遷移する。同期信号６０２のサイクル０は同期信号６０２のサイクル１に先行し、同期信号６０２のサイクル１は、同期信号６０２のサイクル２に先行する。

【0200】

一実施形態では、同期信号６０２は、３０％のデューティ・サイクルではなく、５０％のデューティ・サイクル又は６０％のデューティ・サイクル等、別のデューティ・サイクルを有する。

【0201】

図６Ｂは、一実施形態のグラフ６０４であり、ＲＦ信号であるＲＦ信号１５２のパラメータ６０６対時間ｔを示す。パラメータ６０６は、ｙ軸上でグラフ化され、時間ｔは、ｘ軸上でグラフ化される。

【0202】

パラメータ６０６は、同期信号６０２と同期する状態でパラメータ・レベルＰＲ２とＰＲ１と０との間で周期的に遷移する。例えば、パラメータ６０６は、同期信号６０２のサイクル１の間、パラメータ・レベルＰＲ２とＰＲ１と０との間で遷移し、やはり、同期信号６０２のサイクル２の間、パラメータ・レベルＰＲ２とＰＲ１と０との間で遷移する。例示すると、パラメータ６０６は、時間ｔ０から時間ｔ３まで状態Ｓ２の間、パラメータ・レベルＰＲ２を有し、時間ｔ３から時間ｔ７まで状態Ｓ１の間、パラメータ・レベルＰＲ１を有し、時間ｔ７から時間ｔ１０まで状態Ｓ０の間、パラメータ・レベル０を有する。パラメータ６０６は、同期信号６０２のサイクル２の間、状態Ｓ２、Ｓ１及びＳ０の発生シーケンスを繰り返す。また、同期信号６０２のサイクル１の間、パラメータ６０６は、時間ｔ０でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ３でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ７でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。パラメータ５０６は、同期信号６０２のサイクル２の間、パラメータ・レベルＰＲ２、ＰＲ１及びＰ０の間の遷移を繰り返す。例えば、同期信号６０２のサイクル２の間、パラメータ６０６は、時間ｔ１０でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ１３でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ１７でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。

【0203】

一実施形態では、同期信号６０２に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号６０２は、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、３つの論理レベルの間で同様に周期的に遷移し、パラメータ６０６は、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間を遷移する。例えば、同期信号６０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ０で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ３で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ７で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。同期信号６０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１０で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ１３で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ１７で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、パラメータ６０２のＳ２、Ｓ１及びＳ０の時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、パラメータ６０６の状態Ｓ０の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル０の時間期間と同じであり、パラメータ６０６の状態Ｓ２の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル２の時間期間と同じであり、パラメータ６０６の状態Ｓ１の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル１の時間期間と同じである。

【0204】

図６Ｃは、一実施形態のグラフ６０８であり、ＲＦ信号であるＲＦ信号１６８（図１）のパラメータ６１０対時間ｔを示す。パラメータ６１０は、ｙ軸上でグラフ化され、時間ｔは、ｘ軸上でグラフ化される。パラメータ６１０は、同期信号６０２と同期する状態でパラメータ・レベル０とＰＲ１とＰＲ２との間で周期的に遷移する。例えば、パラメータ６１０は、同期信号６０２のサイクル１の間、パラメータ・レベル０とＰＲ１とＰＲ２との間で遷移し、やはり、同期信号６０２のサイクル２の間、パラメータ・レベル０とＰＲ１とＰＲ２との間で遷移する。例示すると、パラメータ６１０は、時間ｔ０から時間ｔ１まで状態Ｓ０の間、パラメータ・レベル０を有し、時間ｔ１から時間ｔ５まで状態Ｓ１の間、パラメータ・レベルＰＲ１を有し、時間ｔ５から時間ｔ８まで状態Ｓ２の別のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ２を有し、時間ｔ８から時間ｔ１０まで状態Ｓ０の別のインスタンスの間、パラメータ・レベル０を有する。パラメータ・レベルの０、ＰＲ１及びＰＲ２は、同期信号６０２のサイクル２の間繰り返される。同期信号６０２のサイクル１の間、パラメータ６１０は、時間ｔ１でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ５でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ８でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベル０に遷移する。同期信号６０２のサイクル２の間、パラメータ６１０は、やはり、時間ｔ１１でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ１５でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ１８でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベル０に遷移する。

【0205】

第１の時間期間の間のパラメータ６０６及び６１０というパラメータ・レベルの組合せが、第２の時間期間の間のパラメータ６０６及び６１０というパラメータ・レベルの組合せとは異なる場合、第１の時間期間の間のプラズマ・インピーダンス状態は、第２の時間期間の間のプラズマ・インピーダンス状態とは異なる。例えば、時間ｔ０とｔ１との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ６０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、時間ｔ０とｔ１との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ６１０のパラメータ・レベルは、０であり、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１を規定する。時間ｔ１とｔ３との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ６０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、時間ｔ１とｔ３との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ６１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ２を規定する。

【0206】

別の例として、時間ｔ３とｔ５との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ６０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、時間ｔ３とｔ５との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ６１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ３を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ３は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１及びＰＳ２のそれぞれとは異なる。また別の例として、時間ｔ５とｔ７との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ６０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、時間ｔ５とｔ７との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ６１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ４を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ４は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１、ＰＳ２及びＰＳ３のそれぞれとは異なる。

【0207】

別の例として、時間ｔ７とｔ８との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ６０６のパラメータ・レベルは、０であり、時間ｔ７とｔ８との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ６１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ５を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ５は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１、ＰＳ２、ＰＳ３及びＰＳ４のそれぞれとは異なる。また別の例として、時間ｔ８とｔ１０との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ６０６のパラメータ・レベルは、０であり、時間ｔ８とｔ１０との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ６１０のパラメータ・レベルは、０であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ６を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ６は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１、ＰＳ２、ＰＳ３、ＰＳ４及びＰＳ５のそれぞれとは異なる。したがって、同期信号６０２の各サイクルの間、バイアスＲＦ信号及びソースＲＦ信号のパラメータ・レベルの変化のため、６つのプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１からＰＳ６等の複数のプラズマ・インピーダンス状態が生成される。複数のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１からＰＳ６を有するプラズマ・チャンバ１１２（図１）内のプラズマ・インピーダンスは、複数状態のプラズマ・インピーダンスの一例である。

【0208】

一実施形態では、パラメータ６０６は、ＲＦ信号１６８のものであり、パラメータ６１０は、ＲＦ信号１５２のものである。

【0209】

一実施形態では、同期信号６０２に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号６０２は、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、３つの論理レベルの間で同様に周期的に遷移し、パラメータ６１０は、パラメータ・レベル０とＰＲ１とＰＲ２との間を遷移する。例えば、同期信号５０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１で論理レベル０から論理レベル１に遷移し、時間ｔ５で論理レベル１から論理レベル２に遷移し、時間ｔ８で論理レベル２から論理レベル１に遷移する。同期信号６０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１１で論理レベル０から論理レベル１に遷移し、時間ｔ１５で論理レベル１から論理レベル２に遷移し、時間ｔ１８で論理レベル２から論理レベル１に遷移する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、パラメータ６１０のＳ０、Ｓ２及びＳ１の時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、パラメータ６１０の状態Ｓ０の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル０の時間期間と同じであり、パラメータ６１０の状態Ｓ２の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル２の時間期間と同じであり、パラメータ６１０の状態Ｓ１の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル１の時間期間と同じである。

【0210】

一実施形態では、パラメータ３１０（図３Ｃ）、４０２（図４Ｃ）、５１０（図５Ｃ）及び６１０（図６Ｃ）のいずれかに対し、パラメータ・レベルＰＲ１ではなく、パラメータ・レベルＰＲ３が使用される。パラメータ・レベルＰＲ３は、パラメータ・レベルＰＲ１よりも大きいか又は小さい。同様に、パラメータ３１０、４０２、５１０及び６１０のいずれかに対し、パラメータ・レベルＰＲ２ではなく、パラメータ・レベルＰＲ４が使用される。パラメータ・レベルＰＲ４は、パラメータ・レベルＰＲ３よりも大きいか又は小さい。

【0211】

図６Ｄは、ソースＲＦ生成器とバイアスＲＦ生成器との間の選択的同期によるオンオフ時間修正に対する一実施形態の図である。図６Ｄに関して図示するように、ソースＲＦ生成器又はバイアスＲＦ生成器等の第１のＲＦ生成器が生成するＲＦ信号を同調する際、バイアスＲＦ生成器又はソースＲＦ生成器等の第２のＲＦ生成器と比較して、時間ｔ１から時間ｔ２まで時間遅延がある。また、第１のＲＦ生成器が供給されるＲＦ電力がオフになる時間は、時間ｔ４から時間ｔ３に前進している。したがって、２つのプラズマ・インピーダンス状態Ｓ１及びＳ０ではなく、６又は８又は１０又は２０個のプラズマ・インピーダンス状態等、３つ以上のプラズマ・インピーダンス状態が生成される。

【0212】

複数状態のパルス化構成要素

【0213】

図７は、プラズマ・システム７００の一実施形態の図であり、複数レベルのパラメータのパルス化を示す。プラズマ・システム７００は、ＲＦ生成器７０２とホスト・コンピュータ１０６とを含む。ＲＦ生成器７０２は、ソースＲＦ生成器１０２（図１）又はバイアスＲＦ生成器１０４（図１）の一例である。ＲＦ生成器７０２は、ＤＳＰ２０４と、複数のパラメータ制御器ＰＲＳ１ａ、ＰＲＳ２ａ、ＰＲＳ３ａ・・・ＰＲＳｎａとを含み、ｎは、４以上の整数である。例えば、ｎは、４以上である。一例として、ＲＦ生成器７０２は、４つのパラメータ制御器を含み、１つのパラメータ制御器は状態Ｓ１ａのものであり、もう１つのパラメータ制御器は状態Ｓ２ａのものであり、また別のパラメータ制御器は状態Ｓ３ａのものであり、別のパラメータ制御器は、状態Ｓ４ａのものである。別の例として、ＲＦ生成器７０２は、５つのパラメータ制御器を含み、１つのパラメータ制御器は状態Ｓ１ａのものであり、もう１つのパラメータ制御器は状態Ｓ２ａのものであり、また別のパラメータ制御器は状態Ｓ３ａのものであり、別のパラメータ制御器は状態Ｓ４ａのものであり、１つのパラメータ制御器は状態Ｓ５ａのものである。ＲＦ生成器７０２は、周波数制御器ＦＣ２１０と、ドライバ・システム７１０と、ＲＦ電源２２２とを更に含む。

【0214】

ＤＳＰ２０４は、ＲＦ生成器７０２のパラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａのそれぞれに結合される。パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａは、ドライバ・システム７１０に結合され、ドライバ・システム７１０は、ＲＦ電源２２２に結合される。また、周波数制御器２１０は、ドライバ・システム７１０に結合される。

【0215】

プロセッサ１１８は、状態Ｓ１ａからＳｎａのためのパラメータ・レベル等のパラメータ及び同期信号１４６を、伝送ケーブル・システム２１４を介してＤＳＰ２０４に供給する。状態Ｓ１ａからＳｎａのためのパラメータ・レベルを受信すると、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号７１２の状態Ｓ１ａの電力レベル又は電圧レベル等のパラメータをパラメータ制御器ＰＲＳ１ａに供給し、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａのメモリ・デバイス内に状態Ｓ１ａのパラメータを記憶する。ＲＦ信号７１２は、ＲＦ信号１５２又はＲＦ信号１６８（図１）の一例である。

【0216】

また、状態Ｓ１ａからＳｎａのためのパラメータ・レベルの受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号７１２の状態Ｓ２ａの電力レベル又は電圧レベル等のパラメータ・レベルをパラメータ制御器Ｓ２ａに供給し、パラメータ制御器Ｓ２ａのメモリ・デバイス内に状態Ｓ２ａのパラメータ・レベルを記憶する。更に、状態Ｓ１ａからＳｎａのためのパラメータ・レベルの受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号７１２の状態Ｓ３ａの電力レベル又は電圧レベル等のパラメータ・レベルをパラメータ制御器ＰＲＳ３ａに供給し、パラメータ制御器Ｓ３ａのメモリ・デバイス内に状態ＰＲＳ３ａのパラメータを記憶する。状態Ｓ１ａからＳｎａのためのパラメータの受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号７１２の状態Ｓｎａの電力レベル又は電圧レベル等のパラメータ・レベルをパラメータ制御器ＰＲＳｎａに供給し、パラメータ制御器ＰＲＳｎａのメモリ・デバイス内に状態Ｓｎａのパラメータを記憶する。同様に、状態Ｓ１ａからＳｎａのパラメータを受信すると、ＤＳＰ２０４は、全ての状態Ｓ１ａからＳｎａのための単一周波数レベル等の周波数レベルを周波数制御器２１０に供給し、周波数制御器２１０のメモリ・デバイス内に記憶する。

【0217】

一実施形態では、第（ｎ－１）のパラメータ・レベルの値は、第ｎのパラメータ・レベルの値とは異なる。例えば、第（ｎ－１）の変数レベルの値は、第ｎのパラメータ・レベルの値を除外する。別の例として、第（ｎ－１）のパラメータ・レベルの値のいずれも、第ｎのパラメータ・レベルの値のいずれとも同じではない。

【0218】

同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ１ａの命令信号をパラメータ制御器ＰＲＳ１ａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ１ａの命令信号を、状態Ｓｎａ若しくは状態Ｓ０等の状態Ｓ１ａとは異なる又は状態Ｓ１ａ以外の状態から状態Ｓ１ａに遷移する際、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａに送信する。パラメータ制御器ＰＲＳ１ａに送信される状態Ｓ１ａの命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓ１ａの時間期間を含み、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａは、状態Ｓ１ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に供給する。状態Ｓ１ａの命令信号を受信すると、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａは、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａのメモリ・デバイスから状態Ｓ１ａのパラメータ・レベルにアクセスし、状態Ｓ１ａの時間期間に関するパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信する。例えば、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａは、状態Ｓ１ａとは異なる状態から状態Ｓ１ａに遷移する際、状態Ｓ１ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信する。状態Ｓ１ａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａは、状態Ｓ１ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信しない。

【0219】

同様に、同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ２ａの命令信号をパラメータ制御器ＰＲＳ２ａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ２ａの命令信号を、状態Ｓ１ａ若しくは状態Ｓ３ａ若しくは状態Ｓ０等の状態Ｓ２ａとは異なる又は状態Ｓ２ａ以外の状態から状態Ｓ２ａに遷移する際、パラメータ制御器ＰＲＳ２ａに送信する。パラメータ制御器ＰＲＳ２ａに送信される状態Ｓ２ａの命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓ２ａの時間期間を含み、パラメータ制御器ＰＲＳ２ａは、状態Ｓ２ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に供給する。状態Ｓ２ａの命令信号を受信すると、パラメータ制御器ＰＲＳ２ａは、パラメータ制御器ＰＲＳ２ａのメモリ・デバイスから状態Ｓ２ａのパラメータ・レベルにアクセスし、状態Ｓ２ａの時間期間に関するパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信する。例えば、パラメータ制御器ＰＲＳ２ａは、状態Ｓ２ａとは異なる状態から状態Ｓ２ａに遷移する際、状態Ｓ２ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信する。状態Ｓ２ａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、パラメータ制御器ＰＲＳ２ａは、状態Ｓ２ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信しない。

【0220】

また、同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ３ａの命令信号をパラメータ制御器ＰＲＳ３ａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ３ａの命令信号を、状態Ｓ２ａ若しくは状態Ｓ１ａ若しくは状態Ｓ０等の状態Ｓ３ａとは異なる又は状態Ｓ３ａ以外の状態から状態Ｓ３ａに遷移する際、パラメータ制御器ＰＲＳ３ａに送信する。パラメータ制御器ＰＲＳ３ａに送信される状態Ｓ３ａの命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓ３ａの時間期間を含み、パラメータ制御器ＰＲＳ３ａは、状態Ｓ３ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に供給する。状態Ｓ３ａの命令信号を受信すると、パラメータ制御器ＰＲＳ３ａは、パラメータ制御器ＰＲＳ３ａのメモリ・デバイスから状態Ｓ３ａのパラメータ・レベルにアクセスし、状態Ｓ３ａの時間期間に関するパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信する。例えば、パラメータ制御器ＰＲＳ３ａは、状態Ｓ３ａとは異なる状態から状態Ｓ３ａに遷移する際、状態Ｓ３ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信する。状態Ｓ３ａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、パラメータ制御器ＰＲＳ３ａは、状態Ｓ３ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信しない。

【0221】

更に、同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓｎａの命令信号をパラメータ制御器ＰＲＳｎａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓｎａの命令信号を、状態Ｓ（ｎ－１）ａ若しくは状態Ｓ０等の状態Ｓｎａとは異なる又は状態Ｓｎａ以外の状態から状態Ｓｎａに遷移する際、パラメータ制御器ＰＲＳｎａに送信する。パラメータ制御器ＰＲＳｎａに送信される状態Ｓｎａの命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓｎａの時間期間を含み、パラメータ制御器ＰＲＳｎａは、状態Ｓｎａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に供給する。状態Ｓｎａの命令信号を受信すると、パラメータ制御器ＰＲＳｎａは、パラメータ制御器ＰＲＳｎａのメモリ・デバイスから状態Ｓｎａのパラメータ・レベルにアクセスし、状態Ｓｎａの時間期間に関するパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信する。例えば、パラメータ制御器ＰＲＳｎａは、状態Ｓｎａとは異なる状態から状態Ｓｎａに遷移する際、状態Ｓｎａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信する。状態Ｓｎａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、パラメータ制御器ＰＲＳｎａは、状態Ｓｎａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信しない。

【0222】

また、同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、命令信号を周波数制御器２１０に送信する。命令信号を受信すると、周波数制御器２１０は、周波数制御器２１０のメモリ・デバイスから周波数レベルにアクセスし、周波数レベルをドライバ・システム７１０に送信する。

【0223】

状態Ｓ１ａのパラメータ・レベル及び周波数レベルの受信に応じて、ドライバ・システム７１０は、状態Ｓ１ａの時間期間の間で状態Ｓ１ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、状態Ｓｎａ若しくは状態Ｓ２ａ若しくは状態Ｓ３ａ若しくは状態Ｓ０等、状態Ｓ１ａとは異なる又は状態Ｓ１ａ以外の状態から状態Ｓ１ａに遷移する際、状態Ｓ１ａのパラメータ・レベル及び周波数レベルを受信すると、ドライバ・システム７１０は、状態Ｓ１ａの時間期間の間で状態Ｓ１ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、状態Ｓ１ａの駆動信号をドライバ・システム７１０から受信すると、ＲＦ信号７１２の状態Ｓ１ａを生成する。例えば、状態Ｓ１ａの駆動信号をドライバ・システム７１０から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号７１２を状態Ｓ１ａとは異なる状態から状態Ｓ１ａに遷移させる。ＲＦ信号７１２の状態Ｓ１ａは、状態Ｓ１ａの時間期間の間、状態Ｓ１ａのパラメータ・レベル及び周波数レベルを有する。

【0224】

同様に、状態Ｓ２ａのパラメータ・レベル及び周波数レベルの受信に応じて、ドライバ・システム７１０は、状態Ｓ２ａの時間期間の間で状態Ｓ２ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、状態Ｓ１ａ若しくは状態Ｓ３ａ若しくは状態Ｓｎａ若しくは状態Ｓ０等、状態Ｓ２ａとは異なる又は状態Ｓ２ａ以外の状態から状態Ｓ２ａに遷移する際、状態Ｓ２ａのパラメータ・レベル及び周波数レベルを受信すると、ドライバ・システム７１０は、状態Ｓ２ａの時間期間の間で状態Ｓ２ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、状態Ｓ２ａの駆動信号をドライバ・システム７１０から受信すると、ＲＦ信号７１２の状態Ｓ２ａを生成する。例えば、状態Ｓ２ａの駆動信号をドライバ・システム７１０から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号７１２を状態Ｓ２ａとは異なる状態から状態Ｓ２ａに遷移させる。ＲＦ信号７１２の状態Ｓ２ａは、状態Ｓ２ａの時間期間の間、状態Ｓ２ａのパラメータ・レベル及び周波数レベルを有する。

【0225】

また、状態Ｓ３ａのパラメータ・レベル及び周波数レベルの受信に応じて、ドライバ・システム７１０は、状態Ｓ３ａの時間期間の間で状態Ｓ３ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、状態Ｓ２ａ若しくは状態Ｓ４ａ若しくは状態Ｓｎａ若しくは状態Ｓ０等、状態Ｓ３ａとは異なる又は状態Ｓ３ａ以外の状態から状態Ｓ３ａに遷移する際、状態Ｓ３ａのパラメータ・レベル及び周波数レベルを受信すると、ドライバ・システム７１０は、状態Ｓ３ａの時間期間の間で状態Ｓ３ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、状態Ｓ３ａの駆動信号をドライバ・システム７１０から受信すると、ＲＦ信号７１２の状態Ｓ３ａを生成する。例えば、状態Ｓ３ａの駆動信号をドライバ・システム７１０から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号７１２を状態Ｓ３ａとは異なる状態から状態Ｓ３ａに遷移させる。ＲＦ信号７１２の状態Ｓ３ａは、状態Ｓ３ａの時間期間の間、状態Ｓ３ａのパラメータ・レベル及び周波数レベルを有する。

【0226】

更に、状態Ｓｎａのパラメータ・レベル及び周波数レベルの受信に応じて、ドライバ・システム７１０は、状態Ｓｎａの時間期間の間で状態Ｓｎａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、状態Ｓ（ｎ－１）ａ若しくは状態Ｓ０若しくは状態Ｓ３若しくは状態Ｓ２等、状態Ｓｎａとは異なる又は状態Ｓｎａ以外の状態から状態Ｓｎａに遷移する際、状態Ｓｎａのパラメータ・レベル及び周波数レベルを受信すると、ドライバ・システム７１０は、状態Ｓｎａの時間期間の間で状態Ｓｎａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、状態Ｓｎａの駆動信号をドライバ・システム７１０から受信すると、ＲＦ信号７１２の状態Ｓｎａを生成する。例えば、状態Ｓｎａの駆動信号をドライバ・システム７１０から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号７１２を状態Ｓｎａとは異なる状態から状態Ｓｎａに遷移させる。ＲＦ信号７１２の状態Ｓｎａは、状態Ｓｎａの時間期間の間、状態Ｓｎａのパラメータ・レベル及び周波数レベルを有する。

【0227】

また、一実施形態では、同期信号１４６の各サイクルの間、ＲＦ信号７１２がゼロのパラメータ・レベルを有する時間期間がある。ＲＦ信号７１２は、状態Ｓ０等の状態なしの間、ゼロのパラメータ・レベルを有する。同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態なしの間の時間期間の間、状態Ｓ１ａからＳｎａの命令信号をパラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａに送信しない。

【0228】

状態Ｓ１ａからＳｎａの命令信号を受信しない状態なしの間の時間期間の間、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａは、状態Ｓ１ａからＳｎａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信しないか、又は送信を停止する。例えば、状態Ｓ１ａの時間期間の後、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａは、状態Ｓ１ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信しない。別の例として、状態Ｓ２ａの時間期間の後、パラメータ制御器ＰＲＳ２ａは、状態Ｓ２ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム７１０に送信しない。

【0229】

状態Ｓ１ａからＳｎａのパラメータ・レベルを受信しない場合、ドライバ・システム７１０は、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信しない。状態なしの時間期間の間に駆動信号を受信しない場合、ＲＦ電源７１０は、状態なしの間、ゼロのパラメータ・レベルを有するＲＦ信号７１２を生成する。例えば、駆動信号を受信しない場合、電源２２２は、ＲＦ信号７１２を、状態Ｓ１ａ若しくは状態Ｓ２ａ若しくは状態Ｓｎａ等、状態なしＳ０とは異なる又は状態なしＳ０以外の状態から状態なしＳ０に遷移させる。

【0230】

状態Ｓ１ａからＳｎａ及び状態なしは、ＲＦ信号７１２のパラメータの状態である。例えば、図７を参照して説明する各状態Ｓ１ａからＳｎａ及び状態なしは、ＲＦ信号７１２のパラメータ・レベルを表す。例示すると、ＲＦ信号７１２の状態Ｓ１ａは、ＲＦ信号７１２の第１のパラメータ・レベルを識別し、ＲＦ信号７１２の状態Ｓ２ａは、ＲＦ信号７１２の第２のパラメータ・レベルを識別する。

【0231】

一実施形態では、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａ及び周波数制御器２１０ではなく、１つ又は複数のプロセッサ等の１つ又は複数の制御器を使用し、本明細書で説明する、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａ及び周波数制御器２１０によって実施される機能を実施する。

【0232】

一実施形態では、ＤＳＰ２０４、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａ及び周波数制御器２１０ではなく、１つ又は複数のプロセッサ等の１つ又は複数の制御器を使用し、本明細書で説明する、ＤＳＰ２０４、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａ及び周波数制御器２１０によって実施される機能を実施する。

【0233】

図８は、プラズマ・システム８００の一実施形態の図であり、複数レベルの周波数のパルス化を示す。プラズマ・システム８００は、ＲＦ生成器８０２とホスト・コンピュータ１０６とを含む。ＲＦ生成器８０２は、ソースＲＦ生成器１０２（図１）又はバイアスＲＦ生成器１０４（図１）の一例である。ＲＦ生成器８０２は、ＤＳＰ２０４と、複数の周波数制御器ＦＣＳ１ａ、ＦＣＳ２ａ、ＦＣＳ３ａ・・・ＦＣＳｎａとを含み、ｎは、４以上の整数である。例えば、ｎは、４以上である。一例として、ＲＦ生成器８０２は、４つの周波数制御器を含み、１つの周波数制御器は状態Ｓ１ａのものであり、もう１つの周波数制御器は状態Ｓ２ａのものであり、また別の周波数制御器は状態Ｓ３ａのものであり、別の周波数制御器は状態Ｓ４ａのものである。別の例として、ＲＦ生成器８０２は、５つの周波数制御器を含み、１つの周波数制御器は状態Ｓ１ａのものであり、もう１つの周波数制御器は状態Ｓ２ａのものであり、また別の周波数制御器は状態Ｓ３ａのものであり、別の周波数制御器は状態Ｓ４ａのものであり、１つの周波数制御器は状態Ｓ５ａのものである。ＲＦ生成器８０２は、パラメータ制御器８１４と、ドライバ・システム８１０と、ＲＦ電源２２２とを更に含む。

【0234】

ＤＳＰ２０４は、ＲＦ生成器８０２の周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａのそれぞれに結合される。周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａは、ドライバ・システム８１０に結合され、ドライバ・システム８１０は、ＲＦ電源２２２に結合される。また、パラメータ制御器８１４は、ドライバ・システム８１０に結合される。

【0235】

プロセッサ１１８は、状態Ｓ１ａからＳｎａのための周波数レベル等の周波数、及び同期信号１４６を、伝送ケーブル・システム２１４を介してＤＳＰ２０４に供給する。状態Ｓ１ａからＳｎａのための周波数レベルを受信すると、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号８１２の状態Ｓ１ａの周波数レベル等の周波数を周波数制御器ＦＣＳ１ａに供給し、周波数制御器ＦＣＳ１ａのメモリ・デバイス内に状態Ｓ１ａの周波数を記憶する。ＲＦ信号８１２は、ＲＦ信号１５２又はＲＦ信号１６８（図１）の一例である。

【0236】

また、状態Ｓ１ａからＳｎａのための周波数レベルの受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号８１２の状態Ｓ２ａの周波数レベルを周波数制御器ＦＣＳ２ａに供給し、周波数制御器ＦＣＳ２ａのメモリ・デバイス内に状態Ｓ２ａの周波数レベルを記憶する。更に、状態Ｓ１ａからＳｎａのための周波数レベルの受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号８１２の状態Ｓ３ａの周波数レベルを周波数制御器ＦＣＳ３ａに供給し、周波数制御器ＦＣＳ３ａのメモリ・デバイス内に状態Ｓ３ａの周波数レベルを記憶する。更に、状態Ｓ１ａからＳｎａのための周波数レベルの受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号８１２の状態Ｓｎａの周波数レベルを周波数制御器ＦＣＳｎａに供給し、周波数制御器ＦＣＳｎａのメモリ・デバイス内に状態Ｓｎａの周波数レベルを記憶する。同様に、状態Ｓ１ａからＳｎａの全てに関する単一パラメータ・レベル等のパラメータ・レベルを受信すると、ＤＳＰ２０４は、パラメータ・レベルをパラメータ制御器８１４に供給し、パラメータ制御器８１４のメモリ・デバイス内に記憶する。

【0237】

一実施形態では、第（ｎ－１）の周波数レベルの値は、第ｎの周波数レベルの値とは異なる。例えば、第（ｎ－１）の周波数レベルの値は、第ｎの周波数レベルの値を除く。別の例として、第（ｎ－１）の周波数レベルの値のいずれも、第ｎの周波数レベルの値のいずれとも同じではない。

【0238】

同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ１ａの命令信号を周波数制御器ＦＣＳ１ａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ１ａの命令信号を、状態Ｓ２ａ若しくは状態Ｓ０若しくは状態Ｓ３ａ等の状態Ｓ１ａとは異なる又は状態Ｓ１ａ以外の状態から状態Ｓ１ａに遷移する際、周波数制御器ＦＣＳ１ａに送信する。周波数制御器ＦＣＳ１ａに送信される状態Ｓ１ａの命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓ１ａの時間期間を含み、周波数制御器ＦＣＳ１ａは、状態Ｓ１ａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に供給する。状態Ｓ１ａの命令信号を受信すると、周波数制御器ＦＣＳ１ａは、周波数制御器ＦＣＳ１ａのメモリ・デバイスから状態Ｓ１ａのパラメータ・レベルにアクセスし、状態Ｓ１ａの時間期間に関する周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信する。例えば、周波数制御器ＦＣＳ１ａは、状態Ｓ１ａとは異なる状態から状態Ｓ１ａに遷移する際、状態Ｓ１ａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信する。状態Ｓ１ａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、周波数制御器ＦＣＳ１ａは、状態Ｓ１ａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信しない。

【0239】

同様に、同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ２ａの命令信号を周波数制御器ＦＣＳ２ａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ２ａの命令信号を、状態Ｓ１ａ若しくは状態Ｓ０若しくは状態Ｓ３ａ等の状態Ｓ２ａとは異なる又は状態Ｓ２ａ以外の状態から状態Ｓ２ａに遷移する際、周波数制御器ＦＣＳ２ａに送信する。周波数制御器ＦＣＳ２ａに送信される状態Ｓ２ａの命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓ２ａの時間期間を含み、周波数制御器ＦＣＳ２ａは、状態Ｓ２ａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に供給する。状態Ｓ２ａの命令信号を受信すると、周波数制御器ＦＣＳ２ａは、周波数制御器ＦＣＳ２ａのメモリ・デバイスから状態Ｓ２ａのパラメータ・レベルにアクセスし、状態Ｓ２ａの時間期間に関する周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信する。例えば、周波数制御器ＦＣＳ２ａは、状態Ｓ２ａとは異なる状態から状態Ｓ２ａに遷移する際、状態Ｓ２ａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信する。状態Ｓ２ａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、周波数制御器ＦＣＳ２ａは、状態Ｓ２ａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信しない。

【0240】

また、同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ３ａの命令信号を周波数制御器ＦＣＳ３ａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ３ａの命令信号を、状態Ｓ２ａ若しくは状態Ｓ１ａ若しくは状態Ｓ０等の状態Ｓ３ａとは異なる又は状態Ｓ３ａ以外の状態から状態Ｓ３ａに遷移する際、周波数制御器ＦＣＳ３ａに送信する。周波数制御器ＦＣＳ３ａに送信される状態Ｓ３ａの命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓ３ａの時間期間を含み、周波数制御器ＦＣＳ３ａは、状態Ｓ３ａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に供給する。状態Ｓ３ａの命令信号を受信すると、周波数制御器ＦＣＳ３ａは、周波数制御器ＦＣＳ３ａのメモリ・デバイスから状態Ｓ３ａのパラメータ・レベルにアクセスし、状態Ｓ３ａの時間期間に関する周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信する。例えば、周波数制御器ＦＣＳ３ａは、状態Ｓ３ａとは異なる状態から状態Ｓ３ａに遷移する際、状態Ｓ３ａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信する。状態Ｓ３ａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、周波数制御器ＦＣＳ３ａは、状態Ｓ３ａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信しない。

【0241】

更に、同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓｎａの命令信号を周波数制御器ＦＣＳｎａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓｎａの命令信号を、状態Ｓ（ｎ－１）ａ若しくは状態Ｓ０等の状態Ｓｎａとは異なる又は状態Ｓｎａ以外の状態から状態Ｓｎａに遷移する際、周波数制御器ＦＣＳｎａに送信する。周波数制御器ＦＣＳｎａに送信される状態Ｓｎａの命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓｎａの時間期間を含み、周波数制御器ＦＣＳｎａは、状態Ｓｎａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に供給する。状態Ｓｎａの命令信号を受信すると、周波数制御器ＦＣＳｎａは、周波数制御器ＦＣＳｎａのメモリ・デバイスから状態Ｓｎａのパラメータ・レベルにアクセスし、状態Ｓｎａの時間期間に関する周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信する。例えば、周波数制御器ＦＣＳｎａは、状態Ｓｎとは異なる又は状態Ｓｎ以外の状態から状態Ｓｎａに遷移する際、状態Ｓｎａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信する。状態Ｓｎａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、周波数制御器ＦＣＳｎａは、状態Ｓｎａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信しない。

【0242】

また、同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、命令信号をパラメータ制御器８１４に送信する。命令信号を受信すると、パラメータ制御器８１４は、パラメータ制御器８１４のメモリ・デバイスからパラメータ・レベルにアクセスし、パラメータ・レベルをドライバ・システム８１０に送信する。

【0243】

状態Ｓ１ａの周波数レベル及びパラメータ・レベルの受信に応じて、ドライバ・システム８１０は、状態Ｓ１ａの時間期間の間で状態Ｓ１ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、状態Ｓ２ａ若しくは状態Ｓ３ａ若しくは状態Ｓｎａ若しくは状態Ｓ０等、状態Ｓ１ａとは異なる又は状態Ｓ１ａ以外の状態から状態Ｓ１ａに遷移する際、状態Ｓ１ａの周波数レベル及びパラメータ・レベルを受信すると、ドライバ・システム８１０は、状態Ｓ１ａの時間期間の間で状態Ｓ１ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、状態Ｓ１ａの駆動信号をドライバ・システム８１０から受信すると、ＲＦ信号８１２の状態Ｓ１ａを生成する。例えば、状態Ｓ１ａの駆動信号をドライバ・システム８１０から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号８１２を状態Ｓ１ａとは異なる状態から状態Ｓ１ａに遷移させる。ＲＦ信号８１２の状態Ｓ１ａは、状態Ｓ１ａの時間期間の間、状態Ｓ１ａの周波数レベル及びパラメータ・レベルを有する。

【0244】

同様に、状態Ｓ２ａの周波数レベル及びパラメータ・レベルの受信に応じて、ドライバ・システム８１０は、状態Ｓ２ａの時間期間の間で状態Ｓ２ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、状態Ｓ１ａ若しくは状態Ｓ０若しくは状態Ｓ３ａ等、状態Ｓ２ａとは異なる又は状態Ｓ２ａ以外の状態から状態Ｓ２ａに遷移する際、状態Ｓ２ａの周波数レベル及びパラメータ・レベルを受信すると、ドライバ・システム８１０は、状態Ｓ２ａの時間期間の間で状態Ｓ２ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、状態Ｓ２ａの駆動信号をドライバ・システム８１０から受信すると、ＲＦ信号８１２の状態Ｓ２ａを生成する。例えば、状態Ｓ２ａの駆動信号をドライバ・システム８１０から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号８１２を状態Ｓ２ａとは異なる状態から状態Ｓ２ａに遷移させる。ＲＦ信号７１２の状態Ｓ２ａは、状態Ｓ２ａの時間期間の間、状態Ｓ２ａの周波数レベル及びパラメータ・レベルを有する。

【0245】

また、状態Ｓ３ａの周波数レベル及びパラメータ・レベルの受信に応じて、ドライバ・システム８１０は、状態Ｓ３ａの時間期間の間で状態Ｓ３ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、状態Ｓ２ａ若しくは状態Ｓ０若しくは状態Ｓ１ａ若しくは状態Ｓ４ａ等、状態Ｓ３ａとは異なる又は状態Ｓ３ａ以外の状態から状態Ｓ３ａに遷移する際、状態Ｓ３ａの周波数レベル及びパラメータ・レベルを受信すると、ドライバ・システム８１０は、状態Ｓ３ａの時間期間の間で状態Ｓ３ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、状態Ｓ３ａの駆動信号をドライバ・システム８１０から受信すると、ＲＦ信号８１２の状態Ｓ３ａを生成する。例えば、状態Ｓ３ａの駆動信号をドライバ・システム８１０から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号８１２を状態Ｓ３ａとは異なる状態から状態Ｓ３ａに遷移させる。ＲＦ信号８１２の状態Ｓ３ａは、状態Ｓ３ａの時間期間の間、状態Ｓ３ａの周波数レベル及びパラメータ・レベルを有する。

【0246】

更に、状態Ｓｎａの周波数レベル及びパラメータ・レベルの受信に応じて、ドライバ・システム８１０は、状態Ｓｎａの時間期間の間で状態Ｓｎａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、状態Ｓ（ｎ－１）ａ若しくは状態Ｓ０等、状態Ｓｎａとは異なる又は状態Ｓｎａ以外の状態から状態Ｓｎａに遷移する際、状態Ｓｎａの周波数レベル及びパラメータ・レベルを受信すると、ドライバ・システム８１０は、状態Ｓｎａの時間期間の間で状態Ｓｎａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、状態Ｓｎａの駆動信号をドライバ・システム８１０から受信すると、ＲＦ信号８１２の状態Ｓｎａを生成する。例えば、状態Ｓｎａの駆動信号をドライバ・システム８１０から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号８１２を状態Ｓｎａとは異なる状態から状態Ｓｎａに遷移させる。ＲＦ信号８１２の状態Ｓｎａは、状態Ｓｎａの時間期間の間、状態Ｓｎａの周波数レベル及びパラメータ・レベルを有する。

【0247】

また、一実施形態では、同期信号１４６の各サイクルの間、ＲＦ信号８１２がゼロの周波数レベルを有する時間期間がある。ＲＦ信号８１２は、状態Ｓ０等の状態なしの間、ゼロの周波数レベルを有する。同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態なしの間の時間期間の間、状態Ｓ１ａからＳｎａの命令信号を周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａ及びパラメータ制御器８１４に送信しない。

【0248】

状態Ｓ１ａからＳｎａの命令信号を受信しない状態なしの間の時間期間の間、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａは、状態Ｓ１ａからＳｎａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信しないか、又は送信を停止し、パラメータ制御器８１４は、ドライバ・システム８１０にパラメータ・レベルを送信するのを停止する。例えば、状態Ｓ１ａの時間期間の後、周波数制御器ＦＣＳ１ａは、状態Ｓ１ａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信しない。別の例として、状態Ｓ２ａの時間期間の後、周波数制御器ＦＣＳ２ａは、状態Ｓ２ａの周波数レベルをドライバ・システム８１０に送信しない。

【0249】

状態Ｓ１ａからＳｎａの周波数レベル及びパラメータ・レベルを受信しない場合、ドライバ・システム８１０は、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信しない。状態なしの時間期間の間に駆動信号を受信しない場合、ＲＦ電源８１０は、状態なしの間、ゼロのパラメータ・レベルを有するＲＦ信号８１２を生成する。例えば、駆動信号を受信しない場合、電源２２２は、ＲＦ信号８１２を、状態Ｓ１ａ若しくは状態Ｓ２ａ若しくは状態Ｓｎａ等、状態なしＳ０とは異なる又は状態なしＳ０以外の状態から状態なしＳ０に遷移させる。

【0250】

状態Ｓ１ａからＳｎａ及び状態なしは、ＲＦ信号８１２の周波数の状態である。例えば、図８を参照して説明する各状態Ｓ１ａからＳｎａ及び状態なしは、ＲＦ信号８１２の周波数レベルを表す。例示すると、ＲＦ信号８１２の状態Ｓ１は、ＲＦ信号８１２の第１の周波数レベルを識別し、ＲＦ信号８１２の状態Ｓ２は、ＲＦ信号８１２の第２の周波数レベルを識別する。

【0251】

一実施形態では、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａ及びパラメータ制御器８１４ではなく、１つ又は複数のプロセッサ等の１つ又は複数の制御器を使用し、本明細書で説明する、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａ及びパラメータ制御器８１４によって実施される機能を実施する。

【0252】

一実施形態では、ＤＳＰ２０４、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａ及びパラメータ制御器８１４ではなく、１つ又は複数のプロセッサ等の１つ又は複数の制御器を使用し、本明細書で説明する、ＤＳＰ２０４、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａ及びパラメータ制御器８１４によって実施される機能を実施する。

【0253】

図９は、プラズマ・システム９００の一実施形態の図であり、同時複数レベルのパラメータのパルス化及び複数レベルの周波数パルス化を示す。プラズマ・システム９００は、ＲＦ生成器９０２とホスト・コンピュータ１０６とを含む。ＲＦ生成器９０２は、ソースＲＦ生成器１０２（図１）又はバイアスＲＦ生成器１０４（図１）の一例である。ＲＦ生成器９０２は、ＤＳＰ２０４と、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａと、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａとを含む。ＲＦ生成器９０２は、ドライバ・システム９１０と、ＲＦ電源２２２とを更に含む。

【0254】

ＤＳＰ２０４は、ＲＦ生成器９０２の周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａのそれぞれ及びパラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａのそれぞれに結合される。周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａ及び電力制御器ＰＲＳ１からＰＲＳｎａは、ドライバ・システム９１０に結合され、ドライバ・システム９１０は、ＲＦ電源２２２に結合される。

【0255】

プロセッサ１１８は、状態Ｓ１ａからＳｎａの周波数レベル、及び状態Ｓ１ａからＳｎａのパラメータ・レベル、並びに同期信号１４６を、伝送ケーブル・システム２１４を介してＤＳＰ２０４に供給する。図８を参照して上記で説明したように、状態Ｓ１ａからＳｎａのための周波数レベルの受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号９１２の状態Ｓ１ａからＳｎａの周波数レベルを周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａに供給し、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａのメモリ・デバイス内に状態Ｓ１ａからＳｎａの周波数レベルを記憶する。ＲＦ信号９１２は、ＲＦ信号１５２又はＲＦ信号１６８（図１）の一例である。同様に、図７を参照して上記で説明したように、状態Ｓ１ａからＳｎａのためのパラメータ・レベルの受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号９１２の状態Ｓ１ａからＳｎａのパラメータ・レベルをパラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａに供給し、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａのメモリ・デバイス内に状態Ｓ１ａからＳｎａのパラメータ・レベルを記憶する。

【0256】

同期信号１４６を受信すると、図８を参照して上記で説明したように、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ１ａからＳｎａの命令信号を周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａに送信する。更に、同期信号１４６を受信すると、図７を参照して上記で説明したように、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ１ａからＳｎａの命令信号をパラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａに送信する。

【0257】

図８を参照して上記で説明したように、状態Ｓ１ａからＳｎａの命令信号を受信すると、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａは、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａのメモリ・デバイスから状態Ｓ１ａからＳｎａの周波数レベルにアクセスし、状態Ｓ１ａからＳｎａの時間期間に関する周波数レベルをドライバ・システム９１０に送信する。同様に、図７を参照して上記で説明したように、状態Ｓ１ａからＳｎａの命令信号を受信すると、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａは、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａのメモリ・デバイスから状態Ｓ１ａからＳｎａのパラメータ・レベルにアクセスし、状態Ｓ１ａからＳｎａの時間期間に関するパラメータ・レベルをドライバ・システム９１０に送信する。

【0258】

図７及び図８を参照して上記で説明したように、状態Ｓ１ａからＳｎａの周波数レベル及び状態Ｓ１ａからＳｎａのパラメータ・レベルの受信に応じて、ドライバ・システム８１０は、周波数レベルの状態Ｓ１ａからＳｎａ及びパラメータ・レベルの状態Ｓ１ａからＳｎａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、状態Ｓ（ｎ－１）ａ若しくは状態Ｓ０等、状態Ｓｎａとは異なる又は状態Ｓｎａ以外の状態から状態Ｓｎａに遷移する際、状態Ｓｎａの周波数レベル及びパラメータ・レベルを受信すると、ドライバ・システム９１０は、状態Ｓｎａの時間期間の間で周波数レベルの状態Ｓｎａ及びパラメータ・レベルの状態Ｓｎａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、ドライバ・システム９１０から周波数レベル及びパラメータ・レベルの状態Ｓｎａの駆動信号を受信すると、ＲＦ信号９１２の周波数レベルの状態Ｓｎａ及びパラメータ・レベルの状態Ｓｎａを生成する。例えば、周波数レベルの状態Ｓｎａの駆動信号をドライバ・システム９１０から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号９１２の周波数レベルを状態Ｓｎａとは異なる状態又は状態Ｓｎａ以外の状態から状態Ｓｎａに遷移させる。ＲＦ信号９１２の状態Ｓｎａは、状態Ｓｎａの周波数レベルを有する。パラメータ・レベルの状態Ｓｎａの駆動信号をドライバ・システム９１０から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号９１２のパラメータ・レベルを状態Ｓｎａとは異なる状態から状態Ｓｎａに遷移させる。ＲＦ信号９１２の状態Ｓｎａは、状態Ｓｎａのパラメータ・レベルを有する。

【0259】

また、一実施形態では、同期信号１４６の各サイクルの間、ＲＦ信号９１２がゼロの周波数レベル及びゼロのパラメータ・レベルを有する時間期間がある。ＲＦ信号９１２は、状態Ｓ０等の状態なしの間、ゼロの周波数レベル及びゼロのパラメータ・レベルを有する。同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態なしの間の時間期間の間、状態Ｓ１ａからＳｎａの命令信号を周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａに送信せず、状態Ｓ１ａからＳｎａの命令信号をパラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａに送信しない。

【0260】

図８を参照して上記で説明したように、周波数レベルの状態Ｓ１ａからＳｎａの命令信号を受信しない状態なしの間の時間期間の間、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａは、状態Ｓ１ａからＳｎａの周波数レベルをドライバ・システム９１０に送信しないか、又は送信を停止する。同様に、図７を参照して上記で説明したように、パラメータ・レベルの状態Ｓ１ａからＳｎａの命令信号を受信しない状態なしの間の時間期間の間、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａは、状態Ｓ１ａからＳｎａのパラメータ・レベルをドライバ・システム９１０に送信しないか、又は送信を停止する。

【0261】

状態Ｓ１ａからＳｎａの周波数レベル及び状態Ｓ１ａからＳｎａのパラメータ・レベルを受信しない場合、ドライバ・システム９１０は、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信しない。状態なしの時間期間の間に駆動信号を受信しない場合、ＲＦ電源２２２は、状態なしの間、ゼロのパラメータ・レベル及びゼロの周波数レベルを有するＲＦ信号９１２を生成する。例えば、駆動信号を受信しない場合、電源２２２は、ＲＦ信号９１２を、周波数レベルの状態Ｓ１ａ若しくは周波数レベルの状態Ｓ２ａ若しくは周波数レベルの状態Ｓｎａ等、状態なしＳ０とは異なる又は状態なしＳ０以外の状態から周波数レベルの状態なしＳ０に遷移させる。同様に、駆動信号を受信しない場合、電源２２２は、ＲＦ信号９１２を、パラメータ・レベルの状態Ｓ１ａ若しくはパラメータ・レベルの状態Ｓ２ａ若しくはパラメータ・レベルの状態Ｓｎａ等、パラメータ・レベルの状態なしとは異なる又は状態なしＳ０以外の状態からパラメータ・レベルの状態なしＳ０に遷移させる。

【0262】

一実施形態では、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａ及びパラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａではなく、１つ又は複数のプロセッサ等の１つ又は複数の制御器を使用し、本明細書で説明する、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａ及びパラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａによって実施される機能を実施する。

【0263】

一実施形態では、ＤＳＰ２０４、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａ及びパラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａではなく、１つ又は複数のプロセッサ等の１つ又は複数の制御器を使用し、本明細書で説明する、ＤＳＰ２０４、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａ及びパラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａによって実施される機能を実施する。

【0264】

一実施形態では、ソースＲＦ生成器が生成するＲＦ信号１５２（図１）は、４つの変数レベル等の複数の変数レベルを有する場合、バイアスＲＦ生成器１０４は、連続波信号であるＲＦ信号１６８を生成し、ＲＦ信号１６８は、ＲＦ信号１５２の単一変数レベル、又は２若しくは３若しくは８若しくは１０個等の異なる数の変数レベルを有する。別の例として、バイアスＲＦ生成器が生成するＲＦ信号１６８（図１）は、４つの変数レベル等の複数の変数レベルを有する場合、ソースＲＦ生成器１０２は、連続波信号であるＲＦ信号１５２を生成し、ＲＦ信号１５２は、ＲＦ信号１６８の単一変数レベル、又は２若しくは３個の変数レベル若しくは８若しくは１０個等の異なる数の変数レベルを有する。

【0265】

一実施形態では、ＲＦ信号１５２及び１６８は、６つの変数レベル又は８つの変数レベル等、同数の変数レベルを有する。

【0266】

図１０Ａは、同期信号３０２を示す一実施形態のグラフ３００である。

【0267】

図１０Ｂは、一実施形態のグラフ１００４であり、ＲＦ信号９１２（図９）の変数１００６対時間ｔを示す。変数１００６は、ｙ軸上でグラフ化され、時間ｔは、ｘ軸上でグラフ化される。

【0268】

変数１００６は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶ８ａと０とＶ６ａとＶ２ａとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１００６は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶ８ａと０とＶ６ａとＶ２ａとの間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、変数レベルＶ８ａと０とＶ６ａとＶ２ａとの間で遷移する。例示すると、変数１００６は、時間ｔ０から時間ｔ２．５まで状態Ｓ４ａの間、変数レベルＶ８ａを有し、時間ｔ２．５から時間ｔ５まで状態なしの間、ゼロの変数レベルを有し、時間ｔ５から時間ｔ７．５まで状態Ｓ３ａの間、変数レベルＶ６ａを有し、時間ｔ７．５から時間ｔ１０まで状態Ｓ１ａの間、変数レベルＶ２ａを有する。時間ｔ２．５は、時間ｔ２とｔ３との間に生じる。同様に、時間ｔ７．５は、時間ｔ７とｔ８との間に生じる。同期信号３０２のサイクル１の間、変数１００６は、時間ｔ０で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ２．５で変数レベルＶ８ａからゼロの変数レベルに遷移し、時間ｔ５でゼロの変数レベルから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ７．５で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ２ａに遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、変数１００６は、やはり、時間ｔ１０で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ１２．５で変数レベルＶ８ａからゼロの変数レベルに遷移し、時間ｔ１５でゼロの変数レベルから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ１７．５で変数レベルＶ６ａから変数レベル２ａに遷移する。時間ｔ１２．５は、時間ｔ１２とｔ１３との間に生じる。同様に、時間ｔ１７．５は、時間ｔ１７とｔ１８との間に生じる。変数レベルＶ８ａは、ＲＦ信号９１２の状態Ｓ４ａの変数レベルであり、ゼロの変数レベルは、ＲＦ信号９１２の状態０の変数レベルの一例であり、変数レベルＶ６ａは、ＲＦ信号９１２の状態Ｓ３ａの変数レベルの一例であり、変数レベルＶ２ａは、ＲＦ信号９１２の状態Ｓ１ａの変数レベルの一例である。

【0269】

変数レベルＶ２ａは、変数レベル０よりも大きい。また、変数レベルＶ６ａは、変数レベルＶ２ａよりも大きく、変数レベルＶ８ａは、変数レベルＶ６ａよりも大きい。例えば、変数レベルＶ６ａの電力値は、変数レベルＶ８ａの電力値よりも小さい。別の例として、変数レベルＶ６ａの電力値のいずれも、変数レベルＶ８ａの電力値を超えない。別の例として、変数レベルは、最大値及び最小値を有する。最大値は、変数レベルの値の全ての値の最大であり、最小値は、変数レベルの値の全ての値の最小である。第１の変数レベルは、第１の変数レベルの最大値が第２の変数レベルの最小値よりも小さい場合、第２の変数レベルよりも小さく、第１の変数レベルは、第１の変数レベルの最小値が第２の変数レベルの最大値よりも大きい場合、第２の変数レベルよりも大きい。

【0270】

一実施形態では、変数レベルＶ２ａを達成するのではなく、変数１００６は、ゼロの変数レベルを有する。例えば、変数１００６は、時間ｔ７．５から時間ｔ１０まで及び時間ｔ１７．５から時間ｔ２０までゼロの変数レベルを有する。

【0271】

一実施形態では、２つの変数レベルの間の遷移時間である遷移時間は、遷移開始時間と遷移終了時間との間の時間期間である。例えば、時間ｔ２．５で変数レベルＶ８ａからゼロの変数レベルに遷移するのではなく、変数１００６は、第１の時間で変数レベルＶ８ａからの遷移を開始し、第２の時間でゼロの変数レベルへの遷移を終了する。第１の時間は、時間ｔ２．５の前で、時間ｔ１とｔ２．５との間であり、第２の時間は、時間ｔ２．５の後で、時間ｔ２．５とｔ４との間である。遷移時間期間は、第１の時間と第２の時間との間の遷移時間である。

【0272】

一実施形態では、同期信号３０２に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号３０２は、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、４つの変数レベルの間で同様に周期的に遷移し、パラメータ１００６は、変数レベルＶ８ａとゼロとＶ６ａとＶ２ａとの間を遷移する。例えば、同期信号３０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ０で論理レベル１から論理レベル３に遷移し、時間ｔ２．５で論理レベル３から論理レベル０に遷移し、時間ｔ５で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ７．５で論理レベル２から論理レベル１に遷移する。論理レベル３は、論理レベル２よりも大きい。例えば、論理レベル３は、論理レベル２のＤＣ電圧よりも大きいＤＣ電圧を有する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、変数１００６のＳ４ａ、状態なし、Ｓ３ａ及びＳ１ａの時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、変数１００６の状態Ｓ４ａの時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル３の時間期間と同じであり、変数１００６の状態Ｓ０の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル０の時間期間と同じであり、変数１００６の状態Ｓ３ａの時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル２の時間期間と同じであり、変数１００６の状態Ｓ１ａの時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル１の時間期間と同じである。

【0273】

図１０Ｃは、一実施形態のグラフ１００８であり、ＲＦ信号９１２（図９）の変数１０１０対時間ｔを示す。変数１０１０はｙ軸上にグラフ化し、時間ｔはｘ軸上にグラフ化する。

【0274】

変数１０１０は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１０１０は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で遷移する。例示すると、変数１０１０は、時間ｔ０から時間ｔ２．５までの状態Ｓ４ａの間の変数レベルＶ８ａ、時間ｔ２．５から時間ｔ５までの状態Ｓ３ａの間の変数レベルＶ６ａ、時間ｔ５から時間ｔ７．５までの状態Ｓ２ａの間の変数レベルＶ４ａ、及び時間ｔ７．５から時間ｔ１０までの状態Ｓ１ａの間の変数レベルＶ２ａを有する。同期信号３０２のサイクル１の間、変数１０１０は、時間ｔ０で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ２．５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ５で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ７．５で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａに遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、変数１０１０は、やはり、時間ｔ１０で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ１２．５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ１５で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ１７．５で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａに遷移する。変数レベルＶ４ａは、ＲＦ信号９１２の状態Ｓ２ａの変数レベルの一例である。

【0275】

変数レベルＶ４ａは、変数レベルＶ２ａよりも大きく、変数レベルＶ６ａよりも小さい。例えば、変数レベルＶ４ａの電力値は、変数レベルＶ６ａの電力値よりも小さく、変数レベルＶ２ａの電力値よりも大きい。別の例として、変数レベルＶ４ａの電力値のいずれも、変数レベルＶ６ａの電力値よりも大きくなく、変数レベルＶ２ａの電力値のいずれも、変数レベルＶ４ａの電力値より大きくはない。

【0276】

一実施形態では、変数レベルＶ２ａを達成するのではなく、変数１０１０は、ゼロの変数レベルを有する。例えば、変数１０１０は、時間ｔ７．５から時間ｔ１０まで及び時間ｔ１７．５から時間ｔ２０までゼロの変数レベルを有する。

【0277】

図１０Ｄは、一実施形態のグラフ１０１２であり、ＲＦ信号９１２（図９）の変数１０１４対時間ｔを示す。変数１０１４はｙ軸上にグラフ化し、時間ｔはｘ軸上にグラフ化する。

【0278】

変数１０１４は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶ８ａとＶ２ａとＶ６ａとゼロとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１０１４は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶ８ａとＶ２ａとＶ６ａとゼロとの間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、変数レベルＶ８ａとＶ２ａとＶ６ａとゼロとの間で遷移する。例示すると、変数１０１４は、時間ｔ０から時間ｔ２．５まで状態Ｓ４ａの間、変数レベルＶ８ａを有し、時間ｔ２．５から時間ｔ５まで状態Ｓ１ａの間、変数レベルＶ２ａを有し、時間ｔ５から時間ｔ７．５まで状態Ｓ３ａの間、変数レベルＶ６ａを有し、時間ｔ７．５から時間ｔ１０まで状態Ｓ０の間、ゼロの変数レベルを有する。同期信号３０２のサイクル１の間、変数１０１４は、時間ｔ０でゼロの変数レベルから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ２．５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ２ａに遷移し、時間ｔ５で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ７．５で変数レベルＶ６ａからゼロの変数レベルに遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、変数１０１４は、やはり、時間ｔ１０でゼロの変数レベルから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ１２．５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ２ａに遷移し、時間ｔ１５で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ１７．５で変数レベルＶ６ａからゼロの変数レベルに遷移する。

【0279】

図１０Ｅは、一実施形態のグラフ１０１６であり、ＲＦ信号９１２（図９）の変数１０１８対時間ｔを示す。変数１０１８はｙ軸上にグラフ化し、時間ｔはｘ軸上にグラフ化する。

【0280】

変数１０１８は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ２ａとＶ４ａとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１０１８は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ２ａとＶ４ａとの間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ２ａとＶ４ａとの間で遷移する。例示すると、変数１０１８は、時間ｔ０から時間ｔ２．５まで状態Ｓ４ａの間、変数レベルＶ８ａを有し、時間ｔ２．５から時間ｔ５まで状態Ｓ３ａの間、変数レベルＶ６ａを有し、時間ｔ５から時間ｔ７．５まで状態Ｓ１ａの間、変数レベルＶ２ａを有し、時間ｔ７．５から時間ｔ１０まで状態Ｓ２ａの間、変数レベルＶ４ａを有する。同期信号３０２のサイクル１の間、変数１０１８は、時間ｔ０で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ２．５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ５で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ２ａに遷移し、時間ｔ７．５で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ４ａに遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、変数１０１８は、やはり、時間ｔ１０で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ１２．５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ１５で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ２ａに遷移し、時間ｔ１７．５で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ４ａに遷移する。

【0281】

一実施形態では、変数レベルＶ２ａを達成するのではなく、変数１０１８は、ゼロの変数レベルを有する。例えば、変数１０１８は、時間ｔ５から時間ｔ７．５まで及び時間ｔ１５から時間ｔ１７．５までゼロの変数レベルを有する。

【0282】

図１０Ｆは、一実施形態のグラフ１０２０であり、ＲＦ信号９１２（図９）の変数１０２２対時間ｔを示す。変数１０２２はｙ軸上にグラフ化し、時間ｔはｘ軸上にグラフ化する。

【0283】

変数１０２２は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶ６ａとＶ８ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１０２２は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶ６ａとＶ８ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、変数レベルＶ６ａとＶ８ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で遷移する。例示すると、変数１０２２は、時間ｔ０から時間ｔ２．５まで状態Ｓ３ａの間、変数レベルＶ６ａを有し、時間ｔ２．５から時間ｔ５まで状態Ｓ４ａの間、変数レベルＶ８ａを有し、時間ｔ５から時間ｔ７．５まで状態Ｓ２ａの間、変数レベルＶ４ａを有し、時間ｔ７．５から時間ｔ１０まで状態Ｓ１ａの間、変数レベルＶ２ａを有する。同期信号３０２のサイクル１の間、変数１０２０は、時間ｔ０で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ２．５で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ７．５で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａに遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、変数１０１８は、やはり、時間ｔ１０で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ１２．５で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ１５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ１７．５で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａに遷移する。

【0284】

図１０Ｇは、一実施形態のグラフ１０２４であり、ＲＦ信号９１２（図９）の変数１０２６対時間ｔを示す。変数１０２６はｙ軸上にグラフ化し、時間ｔはｘ軸上にグラフ化する。

【0285】

変数１０２６は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶ４ａとＶ６ａとＶ８ａとＶ２ａとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１０２６は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶ４ａとＶ６ａとＶ８ａとＶ２ａとの間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、変数レベルＶ４ａとＶ６ａとＶ８ａとＶ２ａとの間で遷移する。例示すると、変数１０２４は、時間ｔ０から時間ｔ２．５まで状態Ｓ２ａの間、変数レベルＶ４ａを有し、時間ｔ２．５から時間ｔ５まで状態Ｓ３ａの間、変数レベルＶ６ａを有し、時間ｔ５から時間ｔ７．５まで状態Ｓ４ａの間、変数レベルＶ８ａを有し、時間ｔ７．５から時間ｔ１０まで状態Ｓ１ａの間、変数レベルＶ２ａを有する。同期信号３０２のサイクル１の間、変数１０２６は、時間ｔ０で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ２．５で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ５で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ７．５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ２ａに遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、変数１０２６は、やはり、時間ｔ１０で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ１２．５で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ１５で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ１７．５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ２ａに遷移する。

【0286】

一実施形態では、変数レベルＶ２ａを達成するのではなく、変数１０２６は、ゼロの変数レベルを有する。例えば、変数１０２６は、時間ｔ７．５から時間ｔ１０まで及び時間ｔ１７．５から時間ｔ２０までゼロの変数レベルを有する。

【0287】

図１０Ｈは、一実施形態のグラフ１０２８であり、ＲＦ信号９１２（図９）の変数１０３０対時間ｔを示す。変数１０３０はｙ軸上にグラフ化し、時間ｔはｘ軸上にグラフ化する。

【0288】

変数１０３０は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとゼロとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１０３０は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとゼロとの間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとゼロとの間で遷移する。例示すると、変数１０３０は、時間ｔ０から時間ｔ２まで状態Ｓ４ａの間、変数レベルＶ８ａを有し、時間ｔ２から時間ｔ４まで状態Ｓ３ａの間、変数レベルＶ６ａを有し、時間ｔ４から時間ｔ６まで状態Ｓ２ａの間、変数レベルＶ４ａを有し、時間ｔ６から時間ｔ８まで状態Ｓ１ａの間、変数レベルＶ２ａを有し、時間ｔ８から時間ｔ１０まで状態なしの間、変数レベル０を有する。同期信号３０２のサイクル１の間、変数１０３０は、時間ｔ０でゼロの変数レベルから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ２で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ４で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ６で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａに遷移し、時間ｔ８で変数レベルＶ２ａからゼロの変数レベルに遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、変数１０３０は、やはり、時間ｔ１０でゼロの変数レベルから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ１２で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ１４で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ１６で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａに遷移し、時間ｔ１８で変数レベルＶ２ａからゼロの変数レベルに遷移する。

【0289】

一実施形態では、変数レベルの段階的減少変化をグラフ１０２８内に示すが、変数レベルの段階的増加変化が生じる得ることを留意されたい。例えば、同期信号の各サイクルの間、ＲＦ信号９１２の変数は、ゼロから変数レベルＶ２ａまで、変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ４ａまで、変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ６ａまで、変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ８ａまで、増大することができる。

【0290】

図１０Ｉは、一実施形態のグラフ１０３２であり、ＲＦ信号９１２（図９）の変数１０３４対時間ｔを示す。変数１０３４はｙ軸上にグラフ化し、時間ｔはｘ軸上にグラフ化する。

【0291】

変数１０３４は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶ８ａとＶ１６ａとＶ１４ａとＶ１２ａとＶ１０ａとＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとゼロとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１０３４は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶ１８ａとＶ１６ａとＶ１４ａとＶ１２ａとＶ１０ａとＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとゼロとの間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、変数レベルＶ１８ａとＶ１６ａとＶ１４ａとＶ１２ａとＶ１０ａとＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとゼロとの間で遷移する。例示すると、変数１０３４は、時間ｔ０から時間ｔ１まで状態Ｓ９ａの間、変数レベルＶ１８ａを有し、時間ｔ１から時間ｔ２まで状態Ｓ８ａの間、変数レベルＶ１６ａを有し、時間ｔ２から時間ｔ３まで状態Ｓ７ａの間、変数レベルＶ１４ａを有し、時間ｔ３から時間ｔ４まで状態Ｓ６ａの間、変数レベルＶ１２ａを有し、時間ｔ４から時間ｔ５まで状態Ｓ５ａの間、変数レベルＶ１０ａを有し、時間ｔ５から時間ｔ６まで状態Ｓ４ａの間、変数レベルＶ８ａを有し、時間ｔ６から時間ｔ７まで状態Ｓ３ａの間、変数レベルＶ６ａを有し、時間ｔ７から時間ｔ８まで状態Ｓ２ａの間、変数レベルＶ４ａを有し、時間ｔ８から時間ｔ９まで状態Ｓ１ａの間、変数レベルＶ２ａを有し、時間ｔ９から時間ｔ１０まで状態Ｓ０の間、ゼロの変数レベルを有する。同期信号３０２のサイクル１の間、変数１０３４は、時間ｔ０でゼロの変数レベルから変数レベルＶ１８ａに遷移し、時間ｔ１で変数レベルＶ１８ａから変数レベルＶ１６ａに遷移し、時間ｔ２で変数レベルＶ１６ａから変数レベルＶ１４ａに遷移し、時間ｔ３で変数レベルＶ１４ａから変数レベルＶ１２ａに遷移し、時間ｔ４で変数レベルＶ１２ａから変数レベルＶ１０ａに遷移し、時間ｔ５で変数レベルＶ１０ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ６で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ７で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ８で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａに遷移し、時間ｔ９で変数レベルＶ２ａからゼロの変数レベルに遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、変数１０３０は、時間ｔ１０でゼロの変数レベルから変数レベルＶ１８ａに遷移し、時間ｔ１１で変数レベルＶ１８ａから変数レベルＶ１６ａに遷移し、時間ｔ１２で変数レベルＶ１６ａから変数レベルＶ１４ａに遷移し、時間ｔ１３で変数レベルＶ１４ａから変数レベルＶ１２ａに遷移し、時間ｔ１４で変数レベルＶ１２ａから変数レベルＶ１０ａに遷移し、時間ｔ１５で変数レベルＶ１０ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ１６で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ１７で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ１８で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａに遷移する。時間ｔ１９で変数レベルＶ２ａからゼロの変数レベルに遷移する。

【0292】

変数レベルＶ１０ａは、変数レベルＶ８ａよりも大きい。また、変数レベルＶ１２ａは、変数レベルＶ１０ａよりも大きく、変数レベルＶ１４ａは、変数レベルＶ１２ａよりも大きい。変数レベルＶ１６ａは、変数レベルＶ１４ａよりも大きく、変数レベルＶ１８ａは、変数レベルＶ１６ａよりも大きい。例えば、変数レベルＶ１４ａの電力値は、変数レベルＶ１６ａの電力値よりも小さい。別の例として、変数レベルＶ１４ａの電力値のいずれも、変数レベルＶ１６ａの電力値を超えない。

【0293】

一実施形態では、変数レベルの段階的減少変化をグラフ１０３２内に示すが、変数レベルの段階的増加変化が生じる得ることを留意されたい。例えば、同期信号の各サイクルの間、ＲＦ信号９１２の変数は、ゼロから変数レベルＶ２ａまで、変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ４ａまで、変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ６ａまで、変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ８ａまで、変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ１０ａまで、以下同様に変数レベルＶ１８ａまで増大することができる。

【0294】

図１０Ｊは、複数の電力制御器及び複数の自動周波数同調器（ＡＦＴ）を有するＲＦ生成器１０７０が提供される一実施形態の図である。ＲＦ生成器１０７０は、ソースＲＦ生成器１０２又はバイアスＲＦ生成器１０４の一例である（図１）。システム１０７０は、ＤＳＰ２０４と、ＲＦ電源２２２とを更に含む。ＤＳＰ２０４は、受信器の一例である。電力制御器は、電力制御器ＰＷＲ_S(n-A)と、別の電力制御器ＰＷＲ_S(n-1)とを、電力制御器ＰＷＲ_Snが含まれるまで、以下同様に含む。ＡＦＴは、自動周波数同調器ＡＦＴ_S(n-A)と、別の自動周波数同調器ＡＦＴ_S(n-1)とを、自動周波数同調器ＡＦＴ_Snが含まれるまで、以下同様に含む。本明細書で使用する自動周波数同調器は、周波数制御器でもある。

【0295】

状態Ｓ（ｎ－Ａ）の間、自動周波数同調器ＡＦＴ_S(n-A)は、ＲＦ電源２２２が生成したＲＦ信号２２０の周波数を同調するか、又は電力制御器ＰＷＲ_S(n-A)は、ＲＦ信号２２０の電力を修正するか、又は周波数及び電力の両方を修正し、（ｎ－Ａ）は、整数ｎよりも小さい整数であり、Ａは整数である。例えば、ｎが４又は５又は１０である場合、（ｎ－Ａ）は１である。例えば、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の間、ＤＳＰ２０４は、制御信号を自動周波数同調器ＡＦＴ_S(n-A)に供給し、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の電圧レベル等の論理レベルを示す。制御信号をＤＳＰ２０４から受信すると、自動周波数同調器ＡＦＴ_S(n-A)は、自動周波数同調器ＡＦＴ_S(n-A)のメモリ・デバイス内のデータベースから、状態Ｓ（ｎ－Ａ）に関する周波数レベルにアクセスする。自動周波数同調器ＡＦＴ_S(n-A)は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）に関する周波数レベルをＲＦ電源２２２に供給する。状態Ｓ（ｎ－Ａ）に関する周波数レベルを受信すると、ＲＦ電源２２２は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の間の周波数レベルを有するＲＦ信号２２０を生成する。同様に、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の間、ＤＳＰ２０４は、制御信号を電力制御器ＰＷＲ_S(n-A)に供給し、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の論理レベルを示す。制御信号をＤＳＰ２０４から受信すると、電力制御器ＰＷＲ_S(n-A)は、電力制御器ＰＷＲ_S(n-A)のメモリ・デバイス内のデータベースから、状態Ｓ（ｎ－Ａ）に関する電力レベルＰＬ_S(n-A)にアクセスする。電力制御器ＰＷＲ_S(n-A)は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）に関する電力レベルＰＬ_S(n-A)をＲＦ電源２２２に供給する。状態Ｓ（ｎ－Ａ）に関する電力レベルＰＬ_S(n-A)を受信すると、ＲＦ電源２２２は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の間の電力レベルＰＬ_S(n-A)を有するＲＦ信号２２０を生成する。

【0296】

同様に、状態Ｓ（ｎ－１）の間、自動周波数同調器ＡＦＴ_S(n-1)は、ＲＦ電源２２２が生成したＲＦ信号２２０の周波数を同調するか、又は電力制御器ＰＷＲ_S(n-1)は、ＲＦ信号２２０の電力を修正するか、又は周波数及び電力の両方を修正する。また、状態Ｓｎの間、自動周波数同調器ＡＦＴ_Snは、ＲＦ電源２２２が生成したＲＦ信号２２０の周波数を同調するか、又は電力制御器ＰＷＲ_Snは、ＲＦ信号２２０の電力を修正するか、又は周波数及び電力の両方を修正する。

【0297】

ＲＦ信号２２０は、ＲＦ生成器１０７０のＲＦ出力ポート等の出力を介してインピーダンス整合回路２１６に供給され、インピーダンス整合回路２１６は、ＲＦ信号２２０に基づき修正信号を生成し、修正ＲＦ信号を、プラズマ・チャンバ１１２（図１）のＴＣＰ電極又は底電極等の電極に供給する。底電極は、プラズマ・チャンバ１１２のチャック内に位置する。電極又はプラズマ・チャンバ１１２は、負荷の一例である。

【0298】

ＲＦ信号２２０は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎを有するデジタル・パルス信号が、ホスト制御器若しくはホスト・コンピュータ１０６（図１）若しくは制御器の別のプロセッサから、又はアナログデジタル電圧制御インターフェース（ＡＤＶＣＩ）からＤＳＰ２０４によって受信された際に生成される。デジタル・パルス信号は、入力ポート等、図１０Ｊに示すＤＳＰ２０４の入力で受信される。ＤＳＰ２０４がＲＦ生成器１０７０内に位置する場合、デジタル・パルス信号は、ＲＦ生成器１０７０の入力ポートによって受信される。デジタル・パルス信号は、入力信号の一例であり、他のプロセッサ又はＡＤＶＣＩによって生成される。持続時間等、４つの状態Ｓ（ｎ－４）からＳｎまでのそれぞれのデューティ・サイクルは、デジタル・パルス信号によって識別される。４つの状態は、プロセッサの別の入力ポート等、図１０Ｊで示す別の入力で受信したクロック信号のクロック・サイクルの間に生じる。クロック信号は、他のプロセッサ又はＡＤＶＣＩによって生成される。

【0299】

一実施形態では、電力レベル又は周波数レベル等のレベルは、所定の範囲内にある１つ若しくは複数の値又は量を含む。例えば、第１の電力レベルは、所定の範囲内にある電力の１つ又は複数の値、及び所定の範囲内にある１つ又は複数の値を有する第２の電力レベルを有する。第２の電力レベルは、第１の電力レベルを除く。例えば、第２の電力レベルの電力値のいずれも、第１の電力レベルの電力値とは同じではない。

【0300】

図１０Ｋは、ＲＦ信号を示す一実施形態の図であり、ＲＦ信号は、ＲＦ信号の電力レベルＰＬ_S(n-3)、ＰＬ_S(n-2)、ＰＬ_S(n-1)及びＰＬ_Snを示す４つの状態Ｓ（ｎ－３）、Ｓ（ｎ－２）、Ｓ（ｎ－１）及びＳｎを有する。段階的減少は、状態Ｓ（ｎ－３）から状態Ｓｎまで生じる。例えば、状態Ｓｎの間のソースＲＦ生成器１０２又はバイアスＲＦ生成器１０４（図１）等のＲＦ生成器が生成するＲＦ信号の電力レベルＰＬ_Snは、状態Ｓ（ｎ－１）の間のＲＦ信号の電力レベルＰＬ_S(n-1)よりも低い。同様に、状態Ｓ（ｎ－１）の間のＲＦ信号の電力レベルＰＬ_S(n-1)は、状態Ｓ（ｎ－２）の間のＲＦ信号の電力レベルＰＬ_S(n-2)よりも低く、状態Ｓ（ｎ－２）の間のＲＦ信号の電力レベルＰＬ_S(n-2)は、状態Ｓ（ｎ－３）の間のＲＦ信号の電力レベルＰＬ_S(n-3)よりも低い。

【0301】

図１０Ｌは、４つの状態Ｓ（ｎ－３）、Ｓ（ｎ－２）、Ｓ（ｎ－１）及びＳｎを有する別のＲＦ信号を示す一実施形態の図である。図１０Ｌに示すＲＦ信号も、状態Ｓ（ｎ－１）の間のＲＦ信号が、状態Ｓ（ｎ－２）の間の電力レベルＰＬ_S(n-2)よりも高い電力レベルＰＬ_S(n-1)を有することを除き、段階的に減少する信号である。

【0302】

図１０Ｍは、４つの状態Ｓ（ｎ－３）、Ｓ（ｎ－２）、Ｓ（ｎ－１）及びＳｎを有する別のＲＦ信号を示す一実施形態の図である。図１０Ｍに示すＲＦ信号も、状態Ｓｎの間のＲＦ信号が、状態Ｓ（ｎ－１）の間の電力レベルＰＬ_S(n-1)よりも高い電力レベルＰＬ_Snを有することを除き、段階的に減少する信号である。

【0303】

図１０Ｎは、４つの状態Ｓ（ｎ－３）、Ｓ（ｎ－２）、Ｓ（ｎ－１）及びＳｎを有するまた別のＲＦ信号を示す一実施形態の図である。図１４Ｄに示すＲＦ信号は、状態Ｓ（ｎ－２）の間のＲＦ信号が、状態Ｓ（ｎ－３）の間の電力レベルＰＬ_S(n-3)よりも高い電力レベルＰＬ_S(n-2)を有することを除き、段階的に減少する信号である。

【0304】

図１０Ｏは、４つの状態Ｓ（ｎ－３）、Ｓ（ｎ－２）、Ｓ（ｎ－１）及びＳｎを有するまだ別のＲＦ信号を示す一実施形態の図である。ＲＦ信号は、状態Ｓ（ｎ－３）からＳ（ｎ－１）までの間、電力レベルＰＬ_S(n-3)からＰＬ_S(n-1)まで段階的に増加させ、状態Ｓｎの間、状態Ｓ（ｎ－１）からの電力レベルＰＬ_S(n-1)を電力レベルＰＬ_Snまで段階的に減少させる。

【0305】

図１４Ａに示すＲＦ生成器のプロセッサが受信したクロック信号の各クロック・サイクルの間、電力レベルＰＬ_S(n-4)からＰＬ_Snまで繰り返される。複数のクロック・サイクルの間、電力レベルＰＬ_S(n-4)からＰＬ_Snが繰り返される。クロック信号は、クロック・ソース、又はホスト・コンピュータのプロセッサ、又はホスト制御器、又はＡＤＶＣＩから受信する。クロック信号は、クロック・ソース、又はホスト・コンピュータのプロセッサ、又はホスト制御器のプロセッサ、又はＡＤＶＣＩによって生成される。同様に、電力レベルＰＬ_S(n-A)からＰＬ_Snは、クロック・サイクルの間に生じる状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの間に繰り返される。複数のクロック・サイクルの間、電力レベルＰＬ_S(n-A)からＰＬ_Snまでが繰り返される。電力レベルＰＬ_S(n-A)からＰＬ_Snは、クロック・サイクルのインスタンスの間に一度生じ、クロック・サイクルのそれぞれの次のインスタンスの間に繰り返される。

【0306】

図１４Ｂ～図１４Ｆのいずれかに示すＲＦ信号は、ソースＲＦ生成器１０２又はバイアスＲＦ生成器１０４（図１）が、ＲＦ生成器が生成する正弦曲線ＲＦ信号の包絡線であることに留意されたい。

【0307】

図１０Ｐは、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでのいずれかの間、ゼロの電力レベルが達成されることを示す方法の一実施形態の図である。図１０Ｐに示すように、ＲＦ信号が状態Ｓｎの間にゼロの電力レベルを有するのではなく、ＲＦ信号は、Ｓ２又はＳ３等別の状態でゼロの電力レベルを有する。

【0308】

一実施形態では、電力に関する図１０Ｋから図１０Ｐにおける本明細書で説明する実施形態は、周波数に対しても等しく適用される。例えば、複数の電力レベルの代わりに又は複数の電力レベルに加えて、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの間に複数の周波数レベルが達成される。

【0309】

一実施形態では、ゼロの電力レベルは、電力レベルがゼロの際に達成されることに留意されたい。一実施形態では、ゼロの電力レベルは、予め設定した範囲内等、ＲＦ電力レベルがゼロに近い又は実質的にゼロである際に達成される。予め設定した範囲の値の一例は、０．１ワットと１ワットとの間の範囲である。予め設定した範囲の値の別の例は、０．１ワットと０．２５ワットとの間の範囲である。予め設定した範囲の値のまた別の例は、０．１ワットと０．５ワットとの間の範囲である。

【0310】

遷移制御

【0311】

図１１Ａは、プラズマ・システム１１００の一実施形態の図であり、状態遷移の勾配制御を示す。プラズマ・システム１１００は、ＲＦ生成器１１０２とホスト・コンピュータ１０６とを含む。ＲＦ生成器１１０２は、ソースＲＦ生成器１０２（図１）又はバイアスＲＦ生成器１０４（図１）の一例である。ＲＦ生成器１１０２は、ＤＳＰ２０４と、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａと、複数の遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴ１ａ、ＰＲＴＳ２ａ、ＰＲＳＴ（ｎ－１）ａ及びＰＲＳＴｎａとを含み、ｎは４以上の整数である。例えば、ｎは、４以上である。一例として、ＲＦ生成器７０２は、４つの遷移パラメータ制御器を含み、１つの遷移パラメータ制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の、パラメータの状態Ｓ１ａとＳ２ａとの間の状態遷移ＳＴ１ａのためのものであり、別の遷移パラメータ制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の、パラメータの状態Ｓ２ａとＳ３ａとの間の状態遷移ＳＴ２ａのためのものであり、また別の遷移パラメータ制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の、パラメータの状態Ｓ（ｎ－１）ａとＳｎａとの間の状態遷移ＳＴ（ｎ－１）ａのためのものであり、別の遷移パラメータ制御器は、同期信号の現在のサイクルの間のパラメータの状態Ｓｎａと同期信号の次のサイクルの間のパラメータの状態Ｓ１ａとの間の状態遷移ＳＴｎａのためのものである。現在のサイクルは、次のサイクルに先行する。例えば、現在のサイクルと次のサイクルの間、同期信号のサイクルはない。別の例として、ＲＦ生成器１１０２は、５つの遷移パラメータ制御器を含む。

【0312】

ＲＦ生成器１１０２は、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａと、複数の遷移周波数制御器ＦＣＳＴ１ａ、ＦＣＴＳ２ａ、ＦＣＳＴ（ｎ－１）ａ及びＦＣＳＴｎａとを更に含み、ｎは４以上の整数である。例えば、ｎは、４以上である。一例として、ＲＦ生成器１１０２は、４つの遷移周波数制御器を含み、１つの遷移周波数制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の、周波数の状態Ｓ１ａとＳ２ａとの間の状態遷移ＳＴ１のためのものであり、別の遷移周波数制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の、周波数の状態Ｓ２ａとＳ３ａとの間の状態遷移ＳＴ２のためのものであり、また別の遷移周波数制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の、周波数の状態Ｓ（ｎ－１）ａとＳｎａとの間の状態遷移ＳＴ（ｎ－１）ａのためのものであり、別の遷移周波数制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の周波数の状態Ｓｎａと同期信号の次のサイクルの間の周波数の状態Ｓ１ａとの間の状態遷移ＳＴｎａのためのものである。別の例として、ＲＦ生成器１１０２は、５つの遷移周波数制御器を含む。ＲＦ生成器１１０２は、ドライバ・システム１１０４と、ＲＦ電源２２２とを更に含む。

【0313】

ＤＳＰ２０４は、ＲＦ生成器１１０２のパラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａのそれぞれ、及び遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴ１ａからＰＲＳＴｎａのそれぞれに結合される。パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａ及び遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴ１ａからＰＲＳＴｎａは、ドライバ・システム１１０４に結合され、ドライバ・システム１１０４は、ＲＦ電源２２２に結合される。

【0314】

また、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ生成器１１０２の周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａのそれぞれ、及び遷移周波数制御器ＦＣＳＴ１ａからＦＣＳＴｎａのそれぞれに結合される。周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａ及び遷移周波数制御器ＦＣＳＴ１ａからＦＣＳＴｎａは、ドライバ・システム１１０４に結合される。システム１１１０の機能は、図１１Ｂを参照して以下で説明する。

【0315】

図１１Ｂは、システム１１００の一実施形態の図であり、システム１１００の機能を示す。システム１１００は、ＲＦ生成器１１０２とホスト・コンピュータ１０６とを含む。ＲＦ生成器１１０２は、ＤＳＰ２０４と、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａと、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａと、パラメータ制御器ＰＲＳＮａとを含み、Ｎは、１以上の整数であり、Ｎ±Ｍは、Ｎとは異なる整数である。例えば、Ｎが１である場合、Ｎ±Ｍは２又は３又は４であり、Ｎが３である場合、Ｎ±Ｍは４又は２又は１である。整数Ｎ±Ｍは、正の整数であるＭを規定する。パラメータ制御器ＰＲＳＮａの例は、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａ又はＰＲＳ２ａ又はＰＲＳ３ａ又はＰＲＳｎａ（図１１Ａ）を含む。パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａの例は、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａ又はＰＲＳ２ａ又はＰＲＳ３ａ又はＰＲＳｎａ（図１１Ａ）を含み、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）は、パラメータ制御器ＰＲＳＮａとは異なる。例えば、パラメータ制御器ＰＲＳＮａがＰＲＳ４ａである場合、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａはＰＲＳ２ａ又はＰＲＳ１ａである。

【0316】

遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａの例は、パラメータ制御器ＰＲＳＴ１ａ又はＰＲＳＴ２ａ又はＰＲＳＴ３ａ又はＰＲＳＴ（ｎ－１）又はＰＲＳＴｎａ（図１１Ａ）を含む。例示すると、パラメータ制御器ＰＲＳＮａがパラメータ制御器ＰＲＳ１ａであり、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａがパラメータ制御器ＰＲＳ２ａである場合、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａは、パラメータの状態Ｓ１ａとＳ２ａとの間の遷移を制御するＰＲＳＴ１ａである。別の例示として、パラメータ制御器ＰＲＳＮａがパラメータ制御器ＰＲＳ３ａであり、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａがパラメータ制御器ＰＲＳ５ａである場合、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａは、パラメータの状態Ｓ３ａとＳ５ａとの間の遷移を制御するＰＲＳＴ３ａである。

【0317】

ＲＦ生成器１１０２は、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａ等、任意の数の遷移パラメータ制御器を含むことを留意されたい。例えば、パラメータが、同期信号１４６の前のサイクルの状態Ｓ４ａから現在のサイクルの状態Ｓ１ａまで遷移し、現在のサイクルの状態Ｓ１ａから現在のサイクルの状態Ｓ２ａまで遷移し、現在のサイクルの状態Ｓ２ａから現在のサイクルの状態Ｓ３ａまで遷移し、現在のサイクルの状態Ｓ３ａから現在のサイクルの状態Ｓ４ａまで遷移する場合、ＲＦ生成器１１０２は、４つの遷移パラメータ制御器を含む。４つの遷移パラメータ制御器は、同期信号１４６の前のサイクルの状態Ｓ４ａから現在のサイクルの状態Ｓ１ａまでの遷移を制御する１つの遷移パラメータ制御器と、現在のサイクルの状態Ｓ１ａから現在のサイクルの状態Ｓ２ａまでの遷移を制御する別の遷移パラメータ制御器と、現在のサイクルの状態Ｓ２ａから現在のサイクルの状態Ｓ３ａまでの遷移を制御するまた別の遷移パラメータ制御器と、現在のサイクルの状態Ｓ３ａから現在のサイクルの状態Ｓ４ａまでの遷移を制御する別の遷移パラメータ制御器とを含む。同期信号１４６の前のサイクルは、同期信号１４６の現在のサイクルに先行する。

【0318】

ＲＦ生成器１１０２は、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａと、遷移周波数制御器ＦＣＳＴａと、周波数制御器ＦＣＳＮａとを更に含み、Ｍ及びＮは上記で規定されている。周波数制御器ＦＣＳＮａの例は、周波数制御器ＦＣＳ１ａ又はＦＣＳ２ａ又はＦＣＳ３ａ又はＦＣＳｎａ（図１１Ａ）を含む。周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａの例は、周波数制御器ＦＣＳ１ａ又はＦＣＳ２ａ又はＦＣＳ３ａ又はＦＣＳｎａ（図１１Ａ）を含み、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）は、周波数制御器ＦＣＳＮａとは異なる。

【0319】

遷移周波数制御器ＦＣＳＴａの例は、周波数制御器ＦＣＳＴ１ａ又はＦＣＳＴ２ａ又はＦＣＳＴ３ａ又はＦＣＳＴ（ｎ－１）又はＦＣＳＴｎａを含む。例示すると、周波数制御器ＦＣＳＮａが周波数制御器ＦＣＳ１ａであり、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａが周波数制御器ＦＣＳ２ａである場合、遷移周波数制御器ＦＣＳＴａは、周波数の状態Ｓ１ａとＳ２ａとの間の遷移を制御するＦＣＳＴ１ａである。別の例示として、周波数制御器ＦＣＳＮａが周波数制御器ＦＣＳ３ａであり、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａが周波数制御器ＦＣＳ５ａである場合、遷移周波数制御器ＦＣＳＴａは、周波数の状態Ｓ３ａとＳ５ａとの間の遷移を制御するＦＣＳＴ３ａである。

【0320】

ＲＦ生成器１１０２は、遷移周波数制御器ＦＣＳＴａ等、任意の数の遷移周波数制御器を含むことを留意されたい。例えば、周波数が、同期信号１４６の前のサイクルの状態Ｓ４ａから現在のサイクルの状態Ｓ１ａまで遷移し、現在のサイクルの状態Ｓ１ａから現在のサイクルの状態Ｓ２ａまで遷移し、現在のサイクルの状態Ｓ２ａから現在のサイクルの状態Ｓ３ａまで遷移し、現在のサイクルの状態Ｓ３ａから現在のサイクルの状態Ｓ４ａまで遷移する場合、ＲＦ生成器１１０２は、４つの遷移周波数制御器を含む。４つの遷移周波数制御器は、同期信号１４６の前のサイクルの状態Ｓ４ａから現在のサイクルの状態Ｓ１ａまでの遷移を制御する１つの遷移周波数制御器と、現在のサイクルの状態Ｓ１ａから現在のサイクルの状態Ｓ２ａまでの遷移を制御する別の遷移周波数制御器と、現在のサイクルの状態Ｓ２ａから現在のサイクルの状態Ｓ３ａまでの遷移を制御するまた別の遷移周波数制御器と、現在のサイクルの状態Ｓ３ａから現在のサイクルの状態Ｓ４ａまでの遷移を制御する別の遷移周波数制御器とを含む。

【0321】

ＤＳＰ２０４は、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）及びＰＲＳＮａ並びに遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａに結合される。また、ＤＳＰ２０４は、周波数制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）及びＦＣＳＮａ並びに遷移周波数制御器ＦＣＳＴａに結合される。パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａ及びＰＲＳＮａ、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａ、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａ及びＦＣＳＮａ、並びに遷移周波数制御器ＦＣＳＴａは、ドライバ・システム１１０４に結合され、ドライバ・システム１１０４は、ＲＦ電源２２２に結合される。

【0322】

プロセッサ１１８は、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）及びＳＮａのためのパラメータ・レベル及び同期信号１４６を伝送ケーブル・システム２１４を介してＤＳＰ２０４に供給する。更に、プロセッサ１１８は、パラメータの状態遷移ＳＴａのための１つ又は複数のパラメータ値を伝送ケーブル・システム２１４を介してＤＳＰ２０４に供給する。例えば、プロセッサ１１８は、パラメータの状態遷移ＳＴ１ａの間に達成すべき１つ又は複数のパラメータ値、パラメータの状態遷移ＳＴ２ａの間に達成すべき１つ又は複数のパラメータ値、パラメータの状態遷移ＳＴ（ｎ－１）ａの間に達成すべき１つ又は複数のパラメータ値、及びパラメータの状態遷移ＳＴｎａの間に達成すべき１つ又は複数のパラメータ値を供給する。

【0323】

パラメータの状態遷移ＳＴａは、パラメータの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）とＳＮａとの間の遷移である。例えば、パラメータの状態遷移ＳＴａは、パラメータの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａからパラメータの状態ＳＮａまでの遷移であるか、又はパラメータの状態ＳＮａからパラメータの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａまでの遷移である。

【0324】

また、プロセッサ１１８は、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）及びＳＮａのための周波数レベルを、伝送ケーブル・システム２１４を介してＤＳＰ２０４に供給する。更に、プロセッサ１１８は、周波数の状態遷移ＳＴａのための周波数値を、伝送ケーブル・システム２１４を介してＤＳＰ２０４に供給する。例えば、プロセッサ１１８は、周波数の状態遷移ＳＴ１ａの間に達成すべき１つ又は複数の周波数値、周波数の状態遷移ＳＴ２ａの間に達成すべき１つ又は複数の周波数値、周波数の状態遷移ＳＴ２ａの間に達成すべき１つ又は複数の周波数値、周波数の状態遷移ＳＴ（ｎ－１）ａの間に達成すべき１つ又は複数の周波数値、及び周波数の状態遷移ＳＴｎａの間に達成すべき１つ又は複数の周波数値を供給する。

【0325】

周波数の状態遷移ＳＴａは、周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）とＳＮａとの間の遷移である。例えば、周波数の状態遷移ＳＴａは、周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａから周波数状態ＳＮａまでの遷移であるか、又は周波数の状態ＳＮａから周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａまでの遷移である。

【0326】

状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ及びＳＮａのためのパラメータ・レベルを受信すると、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号１１０６の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａのパラメータ・レベルをパラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａに供給し、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａのパラメータ・レベルをパラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａのメモリ・デバイス内に記憶する。ＲＦ信号１１０６は、ＲＦ信号１５２又はＲＦ信号１６８（図１）の一例である。また、パラメータの遷移状態ＳＴａの１つ又は複数のパラメータ値を受信すると、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号１１０６のパラメータの遷移状態ＳＴａの１つ又は複数のパラメータ値を遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａに供給し、遷移状態ＳＴａのパラメータ値を遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａのメモリ・デバイス内に記憶する。状態遷移ＳＴａの間のパラメータ値の一例は、状態遷移ＳＴａの間のＲＦ信号１１０６のパラメータの、ゼロからピークまでの振幅、又はピークからピークまでの振幅等の包絡線である。また、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａからＳＮａのためのパラメータ・レベルの受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号１１０６の状態ＳＮａのパラメータ・レベルをパラメータ制御器ＰＲＳＮａに供給し、パラメータ制御器ＰＲＳＮａのメモリ・デバイス内に状態ＳＮａのパラメータ・レベルを記憶する。

【0327】

同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、パラメータの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの命令信号をパラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ－１）ａ又は状態Ｓ０等の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａとは異なる又は状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ以外の状態から状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａまでの遷移時間終了時、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの命令信号をパラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａに送信する。パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａに送信される状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの時間期間を含み、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａは、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム１１０４に供給する。状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの命令信号を受信すると、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａは、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａのメモリ・デバイスから状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａのパラメータ・レベルにアクセスし、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの時間期間に関するパラメータ・レベルをドライバ・システム１１０４に送信する。例えば、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａは、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａとは異なる状態から状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａへの遷移時間の終了時、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム１１０４に送信する。状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａは、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａのパラメータ・レベルをドライバ・システム１１０４に送信しない。

【0328】

同様に、同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態遷移ＳＴａの命令信号を遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａから状態ＳＮａへの遷移時間開始時、又は状態Ｓ０から状態ＳＮａへの遷移時間開始時、状態遷移ＳＴａの命令信号を遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａに送信する。遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａに送信される状態遷移ＳＴａの命令信号は、各サイクルの間の状態遷移ＳＴａの時間期間を含み、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａは、状態遷移ＳＴａの１つ又は複数のパラメータ値をドライバ・システム１１０４に供給する。状態遷移ＳＴａの命令信号を受信すると、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａは、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａのメモリ・デバイスから状態遷移ＳＴａの１つ又は複数のパラメータ値にアクセスし、状態遷移ＳＴａの時間期間の間、１つ又は複数のパラメータ値をドライバ・システム１１０４に送信する。例えば、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａは、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ時間の終了時、状態遷移ＳＴａの１つ又は複数のパラメータ値をドライバ・システム１１０４に送信する。状態遷移ＳＴａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａは、状態遷移ＳＴａの１つ又は複数のパラメータ・レベルをドライバ・システム１１０４に送信しない。

【0329】

同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態ＳＮａの命令信号をパラメータ制御器ＰＲＳＮａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａから状態ＳＮａへの遷移時間終了時、状態遷移ＳＮａの命令信号をパラメータ制御器ＰＲＳＮａに送信する。パラメータ制御器ＰＲＳｎａに送信される状態ＳＮａの命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓｎａの時間期間を含み、パラメータ制御器ＰＲＳＮａは、状態ＳＮａのパラメータ・レベルをドライバ・システム１１０４に供給する。状態ＳＮａの命令信号を受信すると、パラメータ制御器ＰＲＳＮａは、パラメータ制御器ＰＲＳｎａのメモリ・デバイスから状態ＳＮａのパラメータ・レベルにアクセスし、状態ＳＮａの時間期間の間、パラメータ・レベルをドライバ・システム１１０４に送信する。例えば、パラメータ制御器ＰＲＳＮａは、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａから状態ＳＮａへの遷移時間終了時、状態ＳＮａのパラメータ・レベルをドライバ・システム１１０４に送信する。状態ＳＮａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、パラメータ制御器ＰＲＳＮａは、状態ＳＮａのパラメータ・レベルをドライバ・システム１１０４に送信しない。

【0330】

同様に、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ及びＳＮａのための周波数レベルを受信すると、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号１１０６の周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの周波数レベルを周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａに供給し、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの周波数レベルを周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａのメモリ・デバイス内に記憶する。また、周波数の状態遷移ＳＴａの１つ又は複数の周波数値を受信すると、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号１１０６の周波数の状態遷移ＳＴａの１つ又は複数の周波数値を遷移周波数制御器ＦＣＳＴａに供給し、状態遷移ＳＴａの周波数値を遷移周波数制御器ＦＣＳＴａのメモリ・デバイス内に記憶する。状態遷移ＳＴａの間の周波数値の一例は、状態遷移ＳＴａの間のＲＦ信号１１０６の周波数の、ゼロからピークまでの振幅、又はピークからピークまでの振幅等の包絡線である。また、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａからＳＮａのための周波数レベルの受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号１１０６の状態ＳＮａの周波数レベルを周波数制御器ＦＣＳＮａに供給し、周波数制御器ＦＣＳＮａのメモリ・デバイス内に状態ＳＮａの周波数レベルを記憶する。

【0331】

同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの命令信号を周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ－１）ａ若しくは状態Ｓ０等の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａとは異なる又は状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ以外の状態から状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａへの遷移時間終了時、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの命令信号を周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａに送信する。周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａに送信される状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの時間期間を含み、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａは、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの周波数レベルをドライバ・システム１１０４に供給する。状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの命令信号を受信すると、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａは、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａのメモリ・デバイスから状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの周波数レベルにアクセスし、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの時間期間に関する周波数レベルをドライバ・システム１１０４に送信する。例えば、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａは、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａとは異なる状態から状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａへの遷移時間の終了時、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの周波数レベルをドライバ・システム１１０４に送信する。状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａは、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの周波数レベルをドライバ・システム１１０４に送信しない。

【0332】

同様に、同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、周波数の状態遷移ＳＴａの命令信号を遷移周波数制御器ＦＣＳＴａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａから状態ＳＮａへの遷移時間開始時、又は状態Ｓ０から状態ＳＮａへの遷移時間開始時、状態遷移ＳＴａの命令信号を遷移周波数制御器ＦＣＳＴａに送信する。遷移周波数制御器ＦＣＳＴａに送信される状態遷移ＳＴａの命令信号は、各サイクルの間の状態遷移ＳＴａの時間期間を含み、遷移周波数制御器ＦＣＳＴａは、状態遷移ＳＴａの１つ又は複数の周波数値をドライバ・システム１１０４に供給する。状態遷移ＳＴａの命令信号を受信すると、遷移周波数制御器ＦＣＳＴａは、遷移周波数制御器ＦＣＳＴａのメモリ・デバイスから状態遷移ＳＴａの１つ又は複数のパラメータ値にアクセスし、状態遷移ＳＴａの時間期間の間、１つ又は複数の周波数値をドライバ・システム１１０４に送信する。例えば、遷移周波数制御器ＦＣＳＴａは、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ時間の終了時、状態遷移ＳＴａの１つ又は複数の周波数値をドライバ・システム１１０４に送信する。状態遷移ＳＴａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、遷移周波数制御器ＦＣＳＴａは、状態遷移ＳＴａの１つ又は複数の周波数値をドライバ・システム１１０４に送信しない。

【0333】

同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態ＳＮａの命令信号を周波数制御器ＦＣＳＮａに送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａから状態ＳＮａへの遷移時間終了時、状態遷移ＳＮａの命令信号を周波数制御器ＦＣＳＮａに送信する。周波数制御器ＦＣＳＮａに送信される状態Ｓｎａの命令信号は、各サイクルの間の状態ＳＮａの時間期間を含み、周波数制御器ＦＣＳＮａは、状態ＳＮａの周波数レベルをドライバ・システム１１０４に供給する。状態ＳＮａの命令信号を受信すると、周波数制御器ＦＣＳＮａは、周波数制御器ＦＣＳＮａのメモリ・デバイスから状態ＳＮａの周波数レベルにアクセスし、状態ＳＮａの時間期間の間、パラメータ・レベルをドライバ・システム１１０４に送信する。例えば、周波数制御器ＦＣＳＮａは、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａから状態ＳＮａへの遷移時間終了時、状態ＳＮａの周波数レベルをドライバ・システム１１０４に送信する。状態ＳＮａの時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、周波数制御器ＦＣＳＮａは、状態ＳＮａの周波数レベルをドライバ・システム１１０４に送信しない。

【0334】

状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａのパラメータ・レベル及び状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの周波数レベルの受信に応じて、ドライバ・システム１１０４は、パラメータ・レベルの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ及び周波数レベルの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの時間期間の間、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、パラメータの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ－１）ａ又は状態Ｓ０から状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａへの遷移時間の終了時、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａのパラメータ・レベルを受信し、周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ－１）ａ又は状態Ｓ０から状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａへの遷移時間の終了時、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの周波数レベルを受信すると、ドライバ・システム１１０４は、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの時間期間の間、パラメータ・レベルの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ及び周波数レベルの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、ドライバ・システム１１０４から状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの駆動信号を受信すると、ＲＦ信号１１０６のパラメータの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ及び周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａを生成する。例えば、ドライバ・システム１１０４からパラメータの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ及び周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの駆動信号を受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号１１０６のパラメータの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ及び周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａを生成する。ＲＦ信号１１０６のパラメータの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａは、パラメータの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの時間期間の間、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａのパラメータ・レベルを有する。また、ＲＦ信号１１０６の周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａは、周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの時間期間の間、状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａの周波数レベルを有する。

【0335】

同様に、状態遷移ＳＴａの１つ又は複数のパラメータ値及び状態遷移ＳＴａの１つ又は複数の周波数値の受信に応じて、ドライバ・システム１１０４は、ＲＦ信号１１０６のパラメータの状態遷移ＳＴａ及び周波数の状態遷移ＳＴａの時間期間の間、状態遷移ＳＴａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、パラメータの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ又は状態Ｓ０の時間の終了時、パラメータの状態遷移ＳＴａの１つ又は複数のパラメータ値を受信し、周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ又は状態Ｓ０の時間の終了時、周波数の状態遷移ＳＴａの１つ又は複数の周波数値を受信すると、ドライバ・システム１１０４は、周波数及びパラメータの状態遷移ＳＴａの時間期間の間、パラメータの状態遷移ＳＴａ及び周波数の状態遷移ＳＴａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、ドライバ・システム１１０４から周波数及びパラメータの状態遷移ＳＴａの駆動信号を受信すると、ＲＦ信号１１０６のパラメータの状態遷移ＳＴａ及び周波数の状態遷移ＳＴａを生成する。例えば、ドライバ・システム１１０４からパラメータの状態遷移ＳＴａ及び周波数の状態遷移ＳＴａの駆動信号を受信すると、ＲＦ電源２２２は、パラメータの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ又はパラメータの状態Ｓ０からパラメータの状態ＳＮａへ、及び周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ又は周波数の状態Ｓ０から周波数の状態ＳＮａへのＲＦ信号１１０６の遷移を開始する。ＲＦ信号１１０６のパラメータの状態ＳＴａは、パラメータの状態遷移ＳＴａの時間期間の間、状態遷移ＳＴａの１つ又は複数のパラメータ値を有する。また、ＲＦ信号１１０６の周波数の状態ＳＴａは、周波数の状態遷移ＳＴａの時間期間の間、状態遷移ＳＴａの周波数レベルを有する。

【0336】

状態ＳＮａのパラメータ・レベル及び状態ＳＮａの周波数レベルの受信に応じて、ドライバ・システム１１０４は、パラメータ・レベルの状態ＳＮａ及び周波数レベルの状態ＳＮａの時間期間の間の駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、パラメータの状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ又は状態Ｓ０から状態ＳＮａへの遷移時間の終了時、状態ＳＮａのパラメータ・レベルを受信し、周波数の状態Ｓ（Ｎ±Ｍ）ａ又は状態Ｓ０から状態ＳＮａへの遷移時間の終了時、状態ＳＮａの周波数レベルを受信すると、ドライバ・システム１１０４は、状態ＳＮａの時間期間の間、パラメータ・レベルの状態ＳＮａ及び周波数レベルの状態ＳＮａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、ドライバ・システム１１０４から状態ＳＮａの駆動信号を受信すると、ＲＦ信号１１０６のパラメータ・レベルの状態ＳＮａ及び周波数レベルの状態ＳＮａを生成する。例えば、ドライバ・システム１１０４からパラメータの状態ＳＮａ及び周波数の状態ＳＮａの駆動信号を受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号１１０６のパラメータの状態ＳＮａ及び周波数の状態ＳＮａを生成する。ＲＦ信号１１０６のパラメータの状態ＳＮａは、パラメータの状態ＳＮａの時間期間の間、状態ＳＮａのパラメータ・レベルを有する。また、ＲＦ信号１１０６の周波数の状態ＳＮａは、周波数の状態ＳＮａの時間期間の間、状態ＳＮａの周波数レベルを有する。

【0337】

一実施形態では、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａ及びＰＲＳＮａ、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａ、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａ及びＦＣＳＮａ並びに遷移周波数制御器ＦＣＳＴａではなく、１つ又は複数のプロセッサ等の１つ又は複数の制御器を使用し、本明細書で説明する、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａ及びＰＲＳＮａ、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａ、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａ及びＦＣＳＮａ並びに遷移周波数制御器ＦＣＳＴａが実施する機能を実施させる。

【0338】

一実施形態では、ＤＳＰ２０４、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａ及びＰＲＳＮａ、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａ、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａ及びＦＣＳＮａ並びに遷移周波数制御器ＦＣＳＴａではなく、１つ又は複数のプロセッサ等の１つ又は複数の制御器を使用し、本明細書で説明する、ＤＳＰ２０４、パラメータ制御器ＰＲＳ（Ｎ±Ｍ）ａ及びＰＲＳＮａ、遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴａ、周波数制御器ＦＣＳ（Ｎ±Ｍ）ａ及びＦＣＳＮａ並びに遷移周波数制御器ＦＣＳＴａが実施する機能を実施する。

【0339】

図１２Ａは、同期信号３０２を示す一実施形態のグラフ３００である。

【0340】

図１２Ｂは、一実施形態のグラフ１２０４であり、周波数又はパラメータ等のＲＦ信号１１０６（図１１Ａ及び図１１Ｂ）の変数１２０６対時間ｔを示す。変数１２０６はｙ軸上にグラフ化し、時間ｔはｘ軸上にグラフ化する。

【0341】

変数１２０６は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１２０６は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で遷移する。例示すると、変数１２０６は、時間ｔ０から時間ｔ１．５までＲＦ信号１１０６の変数の状態Ｓ４ａの間、変数レベルＶ８ａを有し、時間ｔ１．５から時間ｔ２．５まで変数の状態遷移ＳＴ３ａの間、１つ又は複数の変数値を有し、時間ｔ２．５から時間ｔ４まで状態Ｓ３ａの間、変数レベルＶ６ａを有し、時間ｔ４から時間ｔ５まで変数の状態遷移ＳＴ２ａの間、１つ又は複数の変数値を有し、時間ｔ５から時間ｔ６．５まで状態Ｓ２ａの間、変数レベルＶ４ａを有し、時間ｔ６．５から時間ｔ７．５まで変数の状態遷移ＳＴ１ａの間、１つ又は複数の変数値を有し、時間ｔ７．５から時間ｔ９まで状態Ｓ１ａの間、変数レベルＶ２ａを有し、時間ｔ９から時間ｔ１０まで変数の状態遷移ＳＴ４ａの間、１つ又は複数の変数値を有する。時間ｔ１．５は時間ｔ１とｔ２との間であり、時間６．５は時間ｔ６とｔ７との間であることを留意されたい。

【0342】

同期信号３０２のサイクル１の間、変数１２０６は、時間ｔ１．５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａまでの遷移を開始し、時間ｔ２．５で遷移を終了する。また、同期信号３０２のサイクル１の間、変数１２０６は、時間ｔ４で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａまでの遷移を開始し、時間ｔ５で遷移を終了する。同期信号３０２のサイクル１の間、変数１２０６は、時間ｔ６．５で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａまでの遷移を開始し、時間ｔ７．５で遷移を終了する。また、同期信号３０２のサイクル１の間、変数１２０６は、時間ｔ９で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａまでの遷移を開始し、時間ｔ１０で遷移を終了する。

【0343】

同期信号３０２のサイクル２の間、変数１２０６は、時間ｔ１１．５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａまでの遷移を開始し、時間ｔ１２．５で遷移を終了する。また、同期信号３０２のサイクル２の間、変数１２０６は、時間ｔ１４で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａまでの遷移を開始し、時間ｔ１５で遷移を終了する。同期信号３０２のサイクル２の間、変数１２０６は、時間ｔ１６．５で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａまでの遷移を開始し、時間ｔ１７．５で遷移を終了する。また、同期信号３０２のサイクル２の間、変数１２０６は、時間ｔ１９で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａまでの遷移を開始し、時間ｔ２０で遷移を終了する。時間ｔ１１．５は時間ｔ１１とｔ１２との間であり、時間１６．５は時間ｔ１６とｔ１７との間であることを留意されたい。

【0344】

変数レベルＶ８ａとＶ６ａとの間の状態遷移ＳＴ３ａの１つ又は複数の変数値は、変数レベルＶ８ａよりも小さく、変数レベルＶ６ａよりも大きい。同様に、変数レベルＶ６ａとＶ４ａとの間の状態遷移ＳＴ２ａの１つ又は複数の変数値は、変数レベルＶ６ａよりも小さく、変数レベルＶ４ａよりも大きい。また、変数レベルＶ４ａとＶ２ａとの間の状態遷移ＳＴ１ａの１つ又は複数の変数値は、変数レベルＶ４ａよりも小さく、変数レベルＶ２ａよりも大きい。変数レベルＶ２ａとＶ８ａとの間の状態遷移ＳＴ４ａの１つ又は複数の変数値は、変数レベルＶ８ａよりも小さく、変数レベルＶ２ａよりも大きい。

【0345】

一実施形態では、状態Ｓ１ａの変数レベルＶ２ａへの遷移ではなく、ＲＦ信号１１０６の変数は、ゼロの変数レベルに遷移する。

【0346】

一実施形態では、同期信号３０２に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４（図１１Ｂ）を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号３０２は、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、４つの論理レベル８、６、４及び２の間で同様に周期的に遷移し、変数１２０６は、変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとの間を遷移する。例えば、同期信号３０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１．５で論理レベル８から論理レベル６までの遷移を開始し、時間ｔ２．５で遷移を終了する。また、同期信号３０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ４で論理レベル６から論理レベル４までの遷移を開始し、時間ｔ５で遷移を終了する。同期信号３０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ６．５で論理レベル４から論理レベル２までの遷移を開始し、時間ｔ７．５で遷移を終了する。また、同期信号３０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ９で論理レベル２から論理レベル８までの遷移を開始し、時間ｔ１０で遷移を終了する。論理レベル８は、論理レベル６よりも大きく、論理レベル６は、論理レベル４よりも大きい。論理レベル４は、論理レベル２よりも大きい。例えば、論理レベル８のＤＣ電圧は、論理レベル６のＤＣ電圧よりも大きく、論理レベル６のＤＣ電圧は、論理レベル４のＤＣ電圧よりも大きい。論理レベル４のＤＣ電圧は、論理レベル２のＤＣ電圧よりも大きい。

【0347】

実施形態では、同期信号３０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１１．５で論理レベル８から論理レベル６までの遷移を開始し、時間ｔ１２．５で遷移を終了する。また、同期信号３０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１４で論理レベル６から論理レベル４までの遷移を開始し、時間ｔ１５で遷移を終了する。同期信号３０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１６．５で論理レベル４から論理レベル２までの遷移を開始し、時間ｔ１７．５で遷移を終了する。また、同期信号３０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１９で論理レベル２から論理レベル８までの遷移を開始し、時間ｔ２０で遷移を終了する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、変数１２０６の状態Ｓ１ａからＳ４ａ及び状態遷移ＳＴ１ａからＳＴ４ａの時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、変数１２０６の状態遷移ＳＴ１の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル４から論理レベル２への遷移時間期間と同じであり、変数１２０６の状態ＳＴ２の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル６から論理レベル４への遷移時間期間と同じである。

【0348】

図１２Ｃは、一実施形態のグラフ１２０８であり、周波数又はパラメータ等のＲＦ信号１１０６（図１１Ａ及び図１１Ｂ）の変数１２１０対時間ｔを示す。変数１２１０はｙ軸上にグラフ化し、時間ｔはｘ軸上にグラフ化する。

【0349】

変数１２１０は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１２１０は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、変数レベルＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で遷移する。例示すると、変数１２１０は、時間ｔ０から時間ｔ１．５までＲＦ信号１１０６の変数の状態Ｓ４ａの間、変数レベルＶ８ａを有し、時間ｔ１．５から時間ｔ３．５まで変数の状態遷移ＳＴ３ａの間、１つ又は複数の変数値を有し、時間ｔ３．５から時間ｔ４まで状態Ｓ３ａの間、変数レベルＶ６ａを有し、時間ｔ４から時間ｔ５まで変数の状態遷移ＳＴ２ａの間、１つ又は複数の変数値を有し、時間ｔ５から時間ｔ６．５まで状態Ｓ２ａの間、変数レベルＶ４ａを有し、時間ｔ６．５から時間ｔ７．５まで変数の状態遷移ＳＴ１ａの間、１つ又は複数の変数値を有し、時間ｔ７．５から時間ｔ９まで状態Ｓ１ａの間、変数レベルＶ２ａを有し、時間ｔ９から時間ｔ１０まで変数の状態遷移ＳＴ４ａの間、１つ又は複数の変数値を有する。時間ｔ３．５は、時間ｔ３とｔ４との間であることを留意されたい。

【0350】

同期信号３０２のサイクル１の間、変数１２１０は、時間ｔ１．５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａまでの遷移を開始し、時間ｔ３．５で遷移を終了する。また、同期信号３０２のサイクル１の間、変数１２１０の残りの遷移は、変数１２０６（図１２Ｂ）の遷移と同じである。

【0351】

同期信号３０２のサイクル２の間、変数１２１０は、時間ｔ１１．５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａまでの遷移を開始し、時間ｔ１３．５で遷移を終了する。また、同期信号３０２のサイクル２の間、変数１２１０の残りの遷移は、変数１２０６の遷移と同じである。時間ｔ１３．５は、時間ｔ１３とｔ１４との間であることを留意されたい。状態遷移ＳＴ３ａの勾配は、状態遷移ＳＴ２ａの勾配及び状態遷移ＳＴ１ａの勾配よりも大きい。

【0352】

一実施形態では、状態Ｓ１ａの変数レベルＶ２ａへの遷移ではなく、変数１２１０は、ゼロの変数レベルに遷移する。

【0353】

一実施形態では、状態遷移ＳＴ３ａの勾配は、状態遷移ＳＴ２ａの勾配及び状態遷移ＳＴ１ａの勾配よりも小さい。

【0354】

一実施形態では、本明細書で説明する変数の状態遷移ＳＴ１ａからＳＴｎａまでの１つ又は複数は、状態遷移ＳＴ１ａからＳＴｎａまでの残りの１つ又は複数とは異なる勾配を有する。例えば、状態遷移ＳＴ１ａは、状態遷移ＳＴ２ａの勾配、状態遷移ＳＴ３ａの勾配及び状態遷移ＳＴ４ａの勾配よりも大きな勾配又はより小さな勾配等、異なる勾配を有する。例示すると、状態遷移ＳＴ１ａは、状態遷移ＳＴ２ａの角度及び状態遷移ＳＴ３ａの角度よりも大きな角度、並びに状態遷移ＳＴ４ａの角度よりも小さな角度を有する。

【0355】

図１２Ｄは、一実施形態のグラフ１２１２であり、ＲＦ信号１１０６（図１１Ａ及び図１１Ｂ）の、周波数又はパラメータ等の変数１２１４の様々な種類の遷移対時間ｔを示す。変数１２１４はｙ軸上にグラフ化し、時間ｔはｘ軸上にグラフ化する。

【0356】

変数１２１４は、変数レベルＶＲａとＶＳａとの間で、同期信号３０２と同期する状態で周期的に遷移し、Ｒ及びＳのそれぞれは、実数であり、ＳはＲよりも大きい。例えば、変数１２１４は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶＲａとＶＳａとの間で遷移し、やはり、サイクル２等の同期信号３０２（図１２Ａ）の残りのサイクルの間、変数レベルＶＲａとＶＳａとの間で遷移する。例示すると、変数１２１４は、時間ｔ１から時間ｔ２．５までＲＦ信号１１０６の変数の状態１２１６の間、変数レベルＶＳａを有し、時間ｔ２．５から時間ｔ３．５まで変数の状態遷移１２２０の間、１つ又は複数の変数値を有し、時間ｔ３．５から時間ｔ５まで状態１２１８の間、変数レベルＶＲａを有する。

【0357】

状態遷移１２２０の間、変数１２１４は、状態１２１６と１２１８との間の状態遷移１２２０の負の線形勾配を規定する複数の値１２２２及び１２２４を有する。値１２２２及び１２２４は、変数レベルＶＳａの値よりも小さく、変数レベルＶＲａの値よりも大きい。変数１２１４は、状態遷移１２２０の間、２つの値よりも多い又はより少ない値を有し得ることを留意されたい。

【0358】

一実施形態では、状態遷移１２２０の間、変数１２１４は、状態１２１６と１２１８との間の状態遷移１２２０の凸形勾配を規定する複数の値１２２６及び１２２８を有する。

【0359】

一実施形態では、状態遷移１２２０の間、変数１２１４は、状態１２１６と１２１８との間の状態遷移１２２０の凹形勾配を規定する複数の値１２３０及び１２３２を有する。変数１２１４の凸形勾配及び凸形勾配のそれぞれは、湾曲勾配の一例である。

【0360】

図１２Ｅは、一実施形態のグラフ１２５０であり、周波数又はパラメータ等のＲＦ信号１１０６（図１１Ａ及び図１１Ｂ）の変数１２５２の様々な種類の遷移対時間ｔを示す。変数１２５２はｙ軸上にグラフ化し、時間ｔはｘ軸上にグラフ化する。

【0361】

変数１２５２は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶＲａとＶＳａとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１２５２は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶＲａとＶＳａとの間で遷移し、やはり、サイクル２等の同期信号３０２（図１２Ａ）の残りのサイクルの間、変数レベルＶＲａとＶＳａとの間で遷移する。例示すると、変数１２５２は、時間ｔ１から時間ｔ２．５までＲＦ信号１１０６の変数の状態１２１８の間、変数レベルＶＳａを有し、時間ｔ２．５から時間ｔ３．５まで変数の状態遷移１２６０の間、１つ又は複数の変数値を有し、時間ｔ３．５から時間ｔ５まで状態１２１６の間、変数レベルＶＳａを有する。

【0362】

状態遷移１２６０の間、変数１２５２は、状態１２１６と１２１８との間の状態遷移１２６０の正の線形勾配を規定する複数の値１２６２及び１２６４を有する。値１２６２及び１２６４は、変数レベルＶＳａの値よりも小さく、変数レベルＶＲａの値よりも大きい。変数１２５２は、状態遷移１２６０の間、２つの値よりも多い又はより少ない値を有し得ることを留意されたい。

【0363】

一実施形態では、状態遷移１２６０の間、変数１２５２は、状態１２１６と１２１８との間の状態遷移１２６０の凸形勾配を規定する複数の値１２６６及び１２６８を有する。

【0364】

一実施形態では、状態遷移１２６０の間、変数１２５２は、状態１２１６と１２１８との間の状態遷移１２６０の凹形勾配を規定する複数の値１２７０及び１２７２を有する。変数１２５２の凸形勾配及び凸形勾配のそれぞれは、湾曲勾配の一例である。

【0365】

図１２Ｆは、パルス整形方法の一実施形態の図である。図１２Ｆに関して示すように、ＲＦ生成器１１０２（図１１Ｂ）が生成するＲＦ信号１１０６（図１１Ｂ）の遷移は、負の勾配を有し、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの１つ又は複数のパルス幅を低減するように変更される。例えば、状態Ｓ（ｎ－１）から状態Ｓｎへの垂直又は実質的に垂直な遷移ではなく、負の勾配を有する勾配遷移が、状態Ｓ（ｎ－１）とＳｎとの間に提供される。負の勾配のため、ＲＦ信号１１０６の電力レベルＰＬ_S(n-1)のパルス幅は、状態Ｓ（ｎ－１）の間、低減する。勾配遷移を達成する電力レベルは、ホスト・コンピュータ又はホスト制御器からＲＦ生成器１１０２に供給され、勾配遷移を達成する。

【0366】

一実施形態では、周波数レベルの間の勾配遷移が生じる。例えば、１つの周波数レベルは、正の勾配遷移又は負の勾配遷移を介して別の周波数レベルに遷移する。勾配遷移の間の周波数レベルは、ホスト・コンピュータからＲＦ生成器１１０２に供給され、この周波数レベルを有するＲＦ信号１１０６を生成する。

【0367】

図１２Ｇは、別のパルス整形方法の一実施形態の図である。図１２Ｇに示すように、ＲＦ生成器１１０２（図１１Ｂ）が生成するＲＦ信号１１０６（図１１Ｂ）の状態Ｓ（ｎ－Ａ）から状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）への遷移勾配は、状態Ｓ（ｎ－１）から状態ＳｎへのＲＦ信号１１０６の遷移勾配よりも大きい等、より急峻である。

【0368】

一実施形態では、ＲＦ生成器１１０２が生成するＲＦ信号１１０６の状態Ｓ（ｎ－Ａ）から状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）への遷移勾配は、状態Ｓ（ｎ－１）から状態ＳｎへのＲＦ信号１１０６の遷移勾配よりも小さい等、あまり急峻ではない。

【0369】

図１２Ｈは、また別のパルス整形方法の一実施形態の図である。図１２Ｈでは、ＲＦ生成器１１０２（図１１Ｂ）が生成するＲＦ信号１１０６（図１１Ｂ）の状態Ｓ（ｎ－Ａ）から状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）への遷移勾配は、半放物線状又は指数関数的等、湾曲している。また、ＲＦ信号１１０６の状態Ｓ（ｎ－１）から状態Ｓｎへの遷移勾配は、湾曲している。

【0370】

図１２Ｉは、別のパルス整形方法の一実施形態の図である。図１２Ｉに示すように、ＲＦ生成器１１０２（図１１Ｂ）が生成するＲＦ信号１１０６（図１１Ｂ）の状態Ｓ（ｎ－Ａ）から状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）への遷移勾配は湾曲し、ＲＦ信号１１０６の状態Ｓ（ｎ－１）から状態Ｓｎへの遷移勾配は線形である。

【0371】

図１２Ｊは、まだ別のパルス整形方法の別の実施形態の図である。図１２Ｊに関して示すように、ＲＦ生成器１１０２（図１１Ｂ）が生成するＲＦ信号１１０６（図１１Ｂ）の遷移は、正の勾配又は負の勾配を有し、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎへの１つ又は複数のＲＦ信号１１０６のパルス幅を低減するように変更される。例えば、状態Ｓ（ｎ－１）から状態Ｓｎへの垂直又は実質的に垂直な遷移ではなく、負の勾配を有する勾配遷移は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）とＳ（ｎ－Ａ＋１）との間に提供される。負の勾配のため、ＲＦ信号１１０６の電力レベルＰＬ_S(n-A)のパルス幅は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の間に低減する。別の例として、状態Ｓ（ｎ－１）から状態Ｓｎへの垂直又は実質的に垂直な遷移ではなく、正の勾配を有する勾配遷移は、状態Ｓ（ｎ－１）とＳｎとの間に提供される。正の勾配のため、ＲＦ信号１１０６の電力レベルＰＬ_Snのパルス幅は、状態Ｓｎの間に低減する。

【0372】

図１２Ｋは、別のパルス整形方法の一実施形態の図である。図１２Ｋでは、ＲＦ生成器１１０２（図１１Ｂ）が生成するＲＦ信号１１０６（図１１Ｂ）の状態Ｓ（ｎ－Ａ）から状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）への遷移は、負の直線勾配等、線形勾配を有し、ＲＦ信号１１０６の状態Ｓ（ｎ－１）から状態Ｓｎへの遷移は、凹形勾配等、湾曲勾配を有する。曲線勾配は、正の勾配を有する。

【0373】

図１２Ｌは、別のパルス整形方法の一実施形態の図である。図１２Ｌでは、ＲＦ生成器１１０２（図１１Ｂ）が生成するＲＦ信号１１０６（図１１Ｂ）の状態Ｓ（ｎ－Ａ）から状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）への遷移は、負の直線勾配等、線形勾配を有し、ＲＦ信号１１０６の状態Ｓ（ｎ－１）から状態Ｓｎへの遷移は、凸形勾配等、湾曲勾配を有する。曲線勾配は、正の勾配を有する。

【0374】

ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル

【0375】

図１３Ａは、システム１３００の一実施形態の図であり、１つ又は複数のＥｔｈｅｒｎｅｔ ｆｏｒ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ（ＥｔｈｅｒＣＡＴ）ケーブルを介したプラズマ・システムの様々な構成要素の間の情報の伝送を示す。ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルの一例は、イーサネット・ケーブルである。ＥｔｈｅｒＣＡＴは、イーサネットベースのプロトコルであり、情報をリアルタイムで分散制御するために使用され、自動化技術に適している。ＥｔｈｅｒＣＡＴスレーブ・デバイスは、対処されるデータを読み取る一方で、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム又はパケットは、ＥｔｈｅｒＣＡＴスレーブ・デバイスを通過し、データをその場で処理する。同様に、入力データは、ＥｔｈｅｒＣＡＴスレーブ・デバイスからＥｔｈｅｒＣＡＴフレームに挿入される一方で、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレームは、ＥｔｈｅｒＣＡＴスレーブ・デバイスを通過する。ＥｔｈｅｒＣＡＴフレームは、処理されるまでＥｔｈｅｒＣＡＴスレーブ・デバイスによって完全に受信されず、代わりに、可能な限り迅速に処理を開始する。ＥｔｈｅｒＣＡＴスレーブ・デバイスからの入力データの送信は、わずかなビット時間の最小の遅延で行われる。

【0376】

システム１３００は、ホスト・コンピュータ１０６と、ソースＲＦ生成器１０２と、バイアスＲＦ生成器１０４と、ソース整合器１０８と、バイアス整合器１１０とを含み、それぞれ、プラズマ・ツール又はプラズマ・システムの一構成要素の一例である。１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを送信するプラズマ・ツールの一構成要素を本明細書でマスタＥｔｈｅｒＣＡＴデバイスと呼び、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを受信するプラズマ・ツールの一構成要素を本明細書でスレーブＥｔｈｅｒＣＡＴデバイスと呼ぶ。例えば、バイアスＲＦ生成器１０４、ソース整合器１０８、バイアス整合器１１０のそれぞれは、スレーブＥｔｈｅｒＣＡＴデバイスの一例であり、ソースＲＦ生成器１０２は、マスタＥｔｈｅｒＣＡＴデバイスの一例である。ソースＲＦ生成器１０２、バイアスＲＦ生成器１０４、ソース整合器１０８、及びバイアス整合器１１０のそれぞれは、プラズマ・システムの一構成要素の一例である。１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームは、本明細書でパルス列と呼ぶことがある。

【0377】

ホスト・コンピュータ１０６は、プロセッサ１１８と通信制御器１３０２とを含む。本明細書で使用する通信制御器の例は、ＡＳＩＣ、ＰＬＤ、制御器及びプロセッサを含む。

【0378】

プロセッサ１１８は、通信制御器１３０２に結合される。通信制御器１３０２は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０４を介してソースＲＦ生成器１０２のポート１３０８に結合される。本明細書で使用するイーサネット・ケーブルの例は、ツイスト・ペア・ケーブルを含む。例示すると、イーサネット・ケーブルは、１００ＢＡＳＥ－ＴＸ（商標）又は１００ＢＡＳＥ－Ｔ４（商標）ケーブルであり、毎秒１００メガビット（Ｍｂｐｓ）以上の速度でデータを伝送することができる。更に、ソースＲＦ生成器１０２の別のポート１３１０は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０６を介してバイアスＲＦ生成器１０４のポート１３１２に結合される。

【0379】

プロセッサ１１８は、同期信号１４６（図７）のタイミング情報、ソースＲＦ生成器の変数情報及びバイアスＲＦ変数情報等のプロセッサ・データ１３１１を通信制御器１３０２に送信する。同期信号１４６のタイミング情報の例は、１から０へ又は０から１等、同期信号１４６が論理レベルを変更した時間、同期信号１４６の各サイクルの間、及び同期信号１４６のいくつかのサイクルを含む。タイミング情報は、同期信号１４６の論理レベル０及び１も含む。ソースＲＦ生成器の変数情報の例は、ソースＲＦ生成器１０２の各動作状態に対するパラメータ・レベル又は周波数レベル等、変数レベルを含む。例示すると、ソースＲＦ生成器の変数情報は、ソースＲＦ生成器１０２が生成したＲＦ信号１５２の変数の状態Ｓ１ａからＳｎａまでの電力レベル及び周波数レベルを含む。バイアスＲＦ生成器の変数情報の例は、バイアスＲＦ生成器１０４の各動作状態に対するパラメータ・レベル又は周波数レベル等、変数レベルを含む。例示すると、バイアスＲＦ生成器の変数情報は、バイアスＲＦ生成器１０４が生成したＲＦ信号１６８の変数の状態Ｓ１ａからＳｎａまでの電力レベル及び周波数レベルを含む。

【0380】

通信制御器１３０２は、プロセッサ・データ１３１１を受信し、ＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、プロセッサ・データ１３１１を埋め込み、プロセッサ・データ１３１１を有する１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４を生成し、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０４を介してソースＲＦ生成器１０２のポート１３０８に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４を送信する。ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器は、ポート１３０８を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４を受信し、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４からソースＲＦ生成器変数情報及び同期信号１４６のタイミング情報を識別し、ソースＲＦ生成器変数情報及びタイミング情報をソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４に送信する。

【0381】

更に、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器は、ソースＲＦ生成器測定情報等の情報に対する要求をソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４に送信する。ソースＲＦ生成器測定情報の一例は、ソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４が決定又は識別した因子を含む。ソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４が識別する因子の一例は、複素電圧・電流又は複素電圧又は複素電力又は複素電流又は複素インピーダンス等の基準を含む。基準は、ＲＦ信号１５２の各状態に対してセンサによって測定される。基準を測定するセンサは、ソースＲＦ生成器１０２の内部又は外部に位置し、ソースＲＦ生成器１０２の出力１５４に結合される。複素因子は、大きさ及び位相を含む。例えば、複素電圧は、複素電圧の大きさ及び複素電圧の位相を含む。複素電圧・電流は、電圧の大きさ、電流の大きさ、及び電圧と電流との間の位相を含む。センサは、基準を測定し、基準をソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４に供給する。ソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号１５２の各状態に対し、測定基準から基準を識別する及び／又は基準周波数を決定する。例えば、ソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４は、フーリエ変換を基準値に適用し、基準周波数を決定する。基準周波数は、因子の一例である。

【0382】

情報に対する要求を受信すると、ソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４は、ソースＲＦ生成器測定情報をソースＲＦ生成器１０２の通信制御器に供給する。ソースＲＦ生成器測定情報を受信すると、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器は、ソースＲＦ生成器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４内に埋め込み、ソースＲＦ生成器１０２のポート１３１０及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０６を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４をバイアスＲＦ生成器１０４のポート１３１２に送信する。

【0383】

バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器は、ポート１３１２を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４を受信し、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４からバイアスＲＦ生成器変数情報及び同期信号１４６のタイミング情報を識別し、バイアスＲＦ生成器変数情報及びタイミング情報をバイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４に送信する。

【0384】

更に、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器は、バイアスＲＦ生成器測定情報等の情報に対する要求をバイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４に送信する。バイアスＲＦ生成器測定情報の一例は、バイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４が決定又は識別した因子を含む。バイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４が識別する因子の一例は、複素電圧・電流又は複素電圧又は複素電力又は複素電流又は複素インピーダンス等の基準を含む。基準は、ＲＦ信号１６８の各状態に対してセンサによって測定される。基準を測定するセンサは、バイアスＲＦ生成器１０４の内部又は外部に位置し、バイアスＲＦ生成器１０４の出力１６０に結合される。センサは、基準を測定し、基準をバイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４に供給する。バイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号１６８の各状態に対し、測定基準から基準を識別し、基準周波数を決定する。例えば、バイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４は、フーリエ変換を基準値に適用し、基準周波数を決定する。

【0385】

情報に対する要求を受信すると、バイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４は、バイアスＲＦ生成器測定情報をソースＲＦ生成器１０４の通信制御器に供給する。バイアスＲＦ生成器測定情報を受信すると、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器は、バイアスＲＦ生成器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４内に埋め込み、バイアスＲＦ生成器１０４のポート１３１２及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０６を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４をソースＲＦ生成器１０２のポート１３１０に送信する。ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器は、ポート１３１０を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４を受信し、ポート１３０８及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０４を介してホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４を送信する。

【0386】

ホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２は、ＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４に適用し、ソースＲＦ信号１５２の変数の各状態に関するソースＲＦ生成器測定情報、及びバイアスＲＦ信号１６８の変数の各状態に関するバイアスＲＦ生成器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４から得る又は抽出する。通信制御器１３０２は、ソースＲＦ生成器測定情報及びバイアスＲＦ生成器測定情報をプロセッサに供給する。プロセッサ１１８は、ソースＲＦ生成器測定情報又はバイアスＲＦ生成器測定情報又はそれらの組合せに基づき、ＲＦ信号１５２の変数の各状態の間のソースＲＦ生成器１０２の変数、又はＲＦ信号１６８の変数の各状態の間のバイアスＲＦ生成器１０４の変数、又はそれらの組合せを修正するかどうかを決定する。プロセッサ１１８は、状態に関し、ソースＲＦ生成器１０２の修正変数に基づきソースＲＦ生成器１０２が生成したＲＦ信号１５２の変数の各状態を制御する、及び／又は状態に関し、バイアスＲＦ生成器１０４の修正変数に基づきバイアスＲＦ生成器１０４が生成したＲＦ信号１６８の変数の各状態を制御する。

【0387】

一実施形態では、ソースＲＦ生成器１０２内に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４の記憶域がなく、バイアスＲＦ生成器１０４内に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４の記憶域がないことに留意されたい。例えば、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４は、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器のメモリ・デバイス内で一定の移動状態にあり、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４は、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器のメモリ・デバイス内で一定の移動状態にある。例示すると、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４は、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器のレジスタ列の一方のレジスタからもう一方のレジスタへの移動等、メモリ・デバイス内で移動する一方で、ソースＲＦ生成器変数情報及びソースＲＦ生成器測定情報は、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器とソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４との間を伝送される。別の例示として、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４は、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器のレジスタ列の一方のレジスタからもう一方のレジスタへの移動等、メモリ・デバイス内で移動する一方で、バイアスＲＦ生成器変数情報及びバイアスＲＦ生成器測定情報は、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器とバイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４との間を伝送される。

【0388】

図１３Ｂは、システム１３５０の一実施形態の図であり、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルを介したプラズマ・システムの様々な構成要素の間の情報伝送を示す。システム１３５０は、ホスト・コンピュータ１０６と、ソースＲＦ生成器１０２と、バイアスＲＦ生成器１０４と、ソース整合器１０８と、バイアス整合器１１０とを含む。通信制御器１３０２は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０６を介してバイアスＲＦ生成器１０４のポート１３１２に結合される。

【0389】

プロセッサ１１８は、プロセッサ・データ１３１１を通信制御器１３０２に送信する。通信制御器１３０２は、プロセッサ・データ１３１１を受信し、ＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、同期信号１４６のタイミング情報及びプロセッサ・データ１３１１のソースＲＦ生成器変数情報を埋め込み、同期信号１４６のタイミング情報及びソースＲＦ生成器変数情報を有する１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２を生成し、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０４を介してソースＲＦ生成器１０２のポート１３０８に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２を送信する。ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器は、ポート１３０８を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２を受信し、ソースＲＦ生成器変数情報を識別し、ソースＲＦ生成器測定情報がソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４から受信するまで図１３Ａを参照して上記で説明したものと同じ機能を実施する。ソースＲＦ生成器測定情報を受信すると、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器は、ソースＲＦ生成器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２内に埋め込み、ソースＲＦ生成器１０２のポート１３０８及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０６を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２をホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２に送信する。

【0390】

同様の様式で、通信制御器１３０２は、プロセッサ・データ１３１１を受信し、ＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、同期信号１４６のタイミング情報及びプロセッサ・データ１３１１のバイアスＲＦ生成器変数情報を埋め込み、同期信号１４６のタイミング情報及びバイアスＲＦ生成器変数情報を有する１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５４を生成し、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０６を介してバイアスＲＦ生成器１０４のポート１３１２に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５４を送信する。バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器は、ポート１３１２を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５４を受信し、バイアスＲＦ生成器変数情報を識別し、バイアスＲＦ生成器測定情報がバイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４から受信するまで図１３Ａを参照して上記で説明したものと同じ機能を実施する。バイアスＲＦ生成器測定情報を受信すると、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器は、バイアスＲＦ生成器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５４内に埋め込み、バイアスＲＦ生成器１０４のポート１３１２及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０６を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５４をホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２に送信する。

【0391】

ホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２にＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、ソースＲＦ生成器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２から得る又は抽出する。通信制御器１３０２は、ソースＲＦ生成器測定情報をプロセッサ１１８に供給する。

【0392】

同様に、ホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５４にＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、バイアスＲＦ生成器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５４から得る又は抽出する。通信制御器１３０２は、バイアスＲＦ生成器測定情報をプロセッサ１１８に供給する。プロセッサ１１８は、図１３Ａを参照して上記で説明したものと同じ機能を実施する。

【0393】

一実施形態では、ソースＲＦ生成器１０２内に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２の記憶域がなく、バイアスＲＦ生成器１０４内に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５４の記憶域がないことに留意されたい。例えば、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２は、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器のメモリ・デバイス内で一定の移動状態にあり、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５４は、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器のメモリ・デバイス内で一定の移動状態にある。例示すると、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２は、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器のレジスタ列の一方のレジスタからもう一方のレジスタへの移動等、メモリ・デバイス内で移動する一方で、ソースＲＦ生成器変数情報及びソースＲＦ生成器測定情報は、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器とソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４との間を伝送される。別の例示として、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２は、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器のレジスタ列の一方のレジスタからもう一方のレジスタへの移動等、メモリ・デバイス内で移動する一方で、バイアスＲＦ生成器変数情報及びバイアスＲＦ生成器測定情報は、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器とバイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４との間を伝送される。

【0394】

図１４は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００の一実施形態の図である。ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４（図１３Ａ）の一例である。また、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２（図１３Ｂ）のいずれか、及び１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５４（図１３Ｂ）のいずれかの一例である。

【0395】

一実施形態では、用語フレーム及びパケットは、本明細書で互換的に使用する。ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００は、フィールド１４０１、１４０３、１４０２、１４０４、１４０６、１４０８、１４１０、１４１２、１４１４、１４１６、及び１４１８を含む。

【0396】

フィールド１４０１は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００の開始を識別するフレーム・デリミタの開始を含む。フィールド１４０２は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００のソース・アドレスを含む。ソース・アドレスの一例は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００を生成するホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２のアドレスである。ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００のフィールド１４０３は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００をプラズマ・システムの様々な構成要素に循環させる順序を含む。順序の一例は、通信制御器１３０２からソースＲＦ生成器１０２に至り、ソースＲＦ生成器１０２からバイアスＲＦ生成器１０４に至り、バイアスＲＦ生成器１０４からソースＲＦ生成器１０２に戻り、ソースＲＦ生成器１０２からプロセッサ１０２に至るシーケンスを含む。順序の別の例は、通信制御器１３０２からソースＲＦ生成器１０２に至り、ソースＲＦ生成器１０２から通信制御器１３０２に戻るシーケンスを含む。

【0397】

フィールド１４０４は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００の行先アドレスを含む。行先アドレスの一例は、ホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２のアドレスであり、通信制御器１３０２のアドレスは、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００の最終行先である。

【0398】

フィールド１４０６は、媒体アクセス制御（ＭＡＣ）アドレス等、プラズマ・システムの他のＲＦ生成器からソースＲＦ生成器１０２を区別するソースＲＦ生成器１０２（図１３Ａ）を識別するアドレスを含む。フィールド１４０８は、ソースＲＦ生成器変数情報を含み、フィールド１４１０は、ソースＲＦ生成器測定情報を含む。ソースＲＦ生成器１０２を識別するアドレスは、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器によって使用され、フィールド１４０８内のデータをソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４に供給すべきかを決定し、ソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４から受信したデータをフィールド１４１０内に記憶すべきかを決定する。

【0399】

フィールド１４１２は、ＭＡＣアドレス等、プラズマ・システムの他のＲＦ生成器からバイアスＲＦ生成器１０４を区別するバイアスＲＦ生成器１０４（図１３Ａ）を識別するアドレスを含む。フィールド１４１４は、バイアスＲＦ生成器変数情報を含み、フィールド１４１６は、バイアスＲＦ生成器測定情報を含む。バイアスＲＦ生成器１０４を識別するアドレスは、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器によって使用され、フィールド１４１４内のデータをバイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４に供給すべきかを決定し、バイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４から受信したデータをフィールド１４１６内に記憶すべきかを決定する。

【0400】

フィールド１４１８は、フィールド１４０８及び１４１４の１つ又は複数のための巡回冗長検査（ＣＲＣ）を含む。例えば、ＣＲＣは、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００を受信した後、通信制御器１３０２（図１３Ａ）によって実施し、通信制御器１３０２が送信したフィールド１４０８内のソースＲＦ生成器変数情報が、通信制御器１３０２が受信したフィールド１４０８内のソースＲＦ生成器変数情報に一致するかどうかを決定し、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００の妥当性を決定する。

【0401】

一実施形態では、フィールド１４０６、１４０８及び１４１０、又はフィールド１４１２、１４１４及び１４１６のいずれかは、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００内に含まれない。例えば、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００が、ソースＲＦ生成器１０２（図１３Ｂ）に送信された１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４５２のいずれかの一例である場合、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００は、バイアスＲＦ生成器１０４のフィールド１４１２、１４１４及び１４１６を除外する。

【0402】

一実施形態では、フィールド１４０６、１４０８及び１４１０、又はフィールド１４１２、１４１４及び１４１６のいずれは、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００内に含まれるが、空である。例えば、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００が、ソースＲＦ生成器１０２（図１３Ｂ）に送信された１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４５２のいずれかの一例である場合、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００は、バイアスＲＦ生成器１０４のフィールド１４１２、１４１４及び１４１６のデータ又は情報を一切除外する。

【0403】

図１５Ａは、システム１５００の一実施形態の図であり、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルを介したプラズマ・システムの様々な構成要素の間の情報伝送を示す。システム１５００は、ホスト・コンピュータ１０６と、ソースＲＦ生成器１０２と、バイアスＲＦ生成器１０４と、ソース整合器１０８と、バイアス整合器１１０とを含む。

【0404】

ソースＲＦ生成器１０２のポート１３１０は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０６を介してソース整合器１０８のポート１５０２に結合される。また、ソース整合器１０８の別のポート１５０５は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０４を介してバイアスＲＦ生成器１０４のポート１３１２に結合される。バイアスＲＦ生成器１０４の別のポート１５０６は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０８を介してバイアス整合器１１０のポート１５１０に結合される。

【0405】

プロセッサ１１８は、プロセッサ・データ１５０１を送信し、プロセッサ・データ１５０１は、ソースＲＦ生成器１０２及びバイアスＲＦ生成器１０４のプロセッサ・データ１３０２（図１３Ａ）、並びにバイアス整合器データ又はソース整合器データ又はそれらの組合せ等の整合器データを含む。プロセッサ・データ１５０１は、通信制御器１３０２に送信される。ソース整合器データの一例は、ソース整合器１０８の１つ若しくは複数の構成要素の１つ又は複数の規格を含み、バイアス整合器１１０の１つ若しくは複数の構成要素の１つ又は複数の規格を含む。ソース整合器１０８の１つ若しくは複数の構成要素の１つ又は複数の規格の例は、ソース整合器１０８のキャパシタの静電容量値、及びソース整合器１０８のインダクタのインダクタンス値を含む。バイアス整合器１１０の１つ若しくは複数の構成要素の１つ又は複数の規格の例は、バイアス整合器１１０のキャパシタの静電容量値、及びバイアス整合器１１０のインダクタのインダクタンス値を含む。

【0406】

通信制御器１３０２は、プロセッサ・データ１５０１を受信し、ＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、プロセッサ・データ１５０１を埋め込み、プロセッサ・データ１５０１を有する１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２を生成し、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０４を介してソースＲＦ生成器１０２のポート１３０８に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２を送信する。ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器は、ポート１３０８を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２を受信し、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２からソースＲＦ生成器変数情報及び同期信号１４６のタイミング情報を識別し、ソースＲＦ生成器変数情報及びタイミング情報をソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４に送信する。

【0407】

更に、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器は、ソースＲＦ生成器測定情報、及びＲＦ信号１５２のソース状態情報等の情報に対する要求をソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４に送信する。ＲＦ信号１５２のソース状態情報の一例は、ＲＦ信号１５２の状態のタイミング情報及び／又は状態遷移のタイミング情報を含む。一例として、ＲＦ信号１５２の状態のタイミング情報は、ＲＦ信号１５２が変数レベルを変更する時間、及びＲＦ信号１５２がその変数レベルで留まる間の時間を含む。図１０Ｂを参照して更に例示すると、ＲＦ信号１５２の状態Ｓ４ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１５２の変数１００６が変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａに遷移する時間ｔ０、ＲＦ信号１５２の変数１００６が変数レベルＶ８ａで留まる時間ｔ０とｔ２．５との間の時間期間、ＲＦ信号１５２の変数１００６が変数レベルＶ８ａからゼロの変数レベルに遷移する時間ｔ２．５、変数１００６がゼロの変数レベルから変数レベルＶ６ａに遷移する時間ｔ５、ＲＦ信号１５２の変数１００６が変数レベルＶ６ａで留まる時間ｔ５とｔ７．５との間の時間期間、変数１００６が変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ２ａに遷移する時間ｔ７．５、及びＲＦ信号１５２の変数１００６が変数レベルＶ２ａで留まる時間ｔ７．５とｔ１０との間の時間期間を含む。

【0408】

図１２Ｂを参照する別の例として、ＲＦ信号１５２の状態Ｓ４ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１５２の変数１２０６が変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａに遷移する時間ｔ０、及びＲＦ信号１５２の変数１２０６が変数レベルＶ８ａで留まる時間ｔ０とｔ１．５との間の時間期間を含む。ＲＦ信号１５２の変数１２０６の状態遷移ＳＴ４ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１５２の変数が変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａまでの遷移を開始する時間ｔ１．５、及びＲＦ信号１５２の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ２．５を含む。同様に、ＲＦ信号１５２の変数１２０６の状態遷移ＳＴ３ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１５２の変数１２０６が変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａまでの遷移を開始する時間ｔ４、及びＲＦ信号１５２の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ５を含み、ＲＦ信号１５２の変数１２０６の状態遷移ＳＴ２ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１５２の変数１２０６が変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａまでの遷移を開始する時間ｔ６．５、及びＲＦ信号１５２の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ７．５を含み、ＲＦ信号１５２の変数１２０６の状態遷移ＳＴ４ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１５２の変数１２０６が変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａまでの遷移を開始する時間ｔ９、及びＲＦ信号１５２の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ１０を含む。

【0409】

情報に対する要求を受信すると、ソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４は、ソースＲＦ生成器測定情報及びソース状態情報をソースＲＦ生成器１０２の通信制御器に供給する。ソースＲＦ生成器測定情報及びソース状態情報を受信すると、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器は、ソースＲＦ生成器測定情報及びソース状態情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２内に埋め込み、ソースＲＦ生成器１０２のポート１３１０及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０６を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２をソース整合器１０８のポート１５０２に送信する。

【0410】

ソース整合器１０８の通信制御器は、ソース整合器１０８のポート１５０２を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２を受信し、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２からソース整合データ及びソース状態情報を抽出し、ソース整合データ及びソース状態情報をソース整合器１０８のプロセッサに送信する。ソース整合器１０８のプロセッサは、ソース整合データ及びソース状態情報に従ってソース整合器１０８の１つ又は複数の構成要素を制御する。例えば、ソース整合器１０８のプロセッサは、状態Ｓ１ａからＳｎａの１つ又は複数の間、ソース整合器１０８の構成要素を制御しないが、状態Ｓ１ａからＳｎａの残りの間、構成要素を制御する。ソース整合器１０８のプロセッサは、ソース整合器１０８の構成要素を制御し、ソース整合データ内の静電容量値及びインダクタンス値を達成する。

【0411】

また、ソース整合器１０８の通信制御器は、ソース整合器測定情報等の情報に関する要求をソース整合器１０８のプロセッサに送信する。ソース整合器測定情報の一例は、ソース整合器１０８の構成要素又はソース整合器１０８の出力１５８に結合したセンサが測定する基準を含む。センサは、ソース整合器１０８の内部又は外部に位置する。情報に対する要求を受信すると、ソース整合器１０８のプロセッサは、ソース整合器測定情報をソース整合器１０８の通信制御器に供給する。ソース整合器１０８の通信制御器は、ソース整合器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２内に埋め込み、ポート１５０５及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０４を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２をバイアスＲＦ生成器１０４のポート１３１２に送信する。

【0412】

バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器は、ポート１３１２を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２を受信し、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２からバイアスＲＦ生成器変数情報及び同期信号１４６のタイミング情報を識別し、バイアスＲＦ生成器変数情報及びタイミング情報をバイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４に送信する。

【0413】

更に、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器は、バイアスＲＦ生成器測定情報、及びＲＦ信号１６８のバイアス状態情報等の情報に対する要求をバイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４に送信する。ＲＦ信号１６８のバイアス状態情報の一例は、ＲＦ信号１６８の状態のタイミング情報及び／又は状態遷移のタイミング情報を含む。一例として、ＲＦ信号１６８の状態のタイミング情報は、ＲＦ信号１６８が変数レベルを変更する時間、及びＲＦ信号１６８がその変数レベルで留まる間の時間を含む。図１０Ｂを参照して更に例示すると、ＲＦ信号１６８の状態Ｓ４ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１６８の変数１００６が変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａに遷移する時間ｔ０、ＲＦ信号１６８の変数１００６が変数レベルＶ８ａで留まる時間ｔ０とｔ２．５との間の時間期間、ＲＦ信号１６８の変数１００６が変数レベルＶ８ａからゼロの変数レベルに遷移する時間ｔ２．５、変数１００６がゼロの変数レベルから変数レベルＶ６ａに遷移する時間ｔ５、ＲＦ信号１６８の変数１００６が変数レベルＶ６ａで留まる時間ｔ５とｔ７．５との間の時間期間、変数１００６が変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ２ａに遷移する時間ｔ７．５、及びＲＦ信号１６８の変数１００６が変数レベルＶ２ａで留まる時間ｔ７．５とｔ１０との間の時間期間を含む。

【0414】

図１２Ｂを参照する別の例として、ＲＦ信号１６８の状態Ｓ４ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１６８の変数１２０６が変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａに遷移する時間ｔ０、及びＲＦ信号１６８の変数１２０６が変数レベルＶ８ａで留まる時間ｔ０とｔ１．５との間の時間期間を含む。ＲＦ信号１６８の変数１２０６の状態遷移ＳＴ４ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１６８の変数が変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａまでの遷移を開始する時間ｔ１．５、及びＲＦ信号１６８の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ２．５を含む。同様に、ＲＦ信号１６８の変数１２０６の状態遷移ＳＴ３ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１６８の変数１２０６が変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａまでの遷移を開始する時間ｔ４、及びＲＦ信号１６８の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ５を含み、ＲＦ信号１６８の変数１２０６の状態遷移ＳＴ２ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１６８の変数１２０６が変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａへの遷移を開始する時間ｔ６．５、及びＲＦ信号１６８の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ７．５を含み、ＲＦ信号１６８の変数１２０６の状態遷移ＳＴ４ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１６８の変数１２０６が変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａへの遷移を開始する時間ｔ９、及びＲＦ信号１６８の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ１０を含む。

【0415】

情報に対する要求を受信すると、バイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４は、バイアスＲＦ生成器測定情報及びバイアス状態情報をバイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器に供給する。バイアスＲＦ生成器測定情報及びバイアス状態情報を受信すると、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器は、バイアスＲＦ生成器測定情報及びバイアス状態情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２内に埋め込み、バイアスＲＦ生成器１０４のポート１５０６及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０８を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２をバイアス整合器１１０のポート１５１０に送信する。

【0416】

バイアス整合器１１０の通信制御器は、バイアス整合器１１０のポート１５１０を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２を受信し、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２からバイアス整合器データ及びバイアス状態情報を抽出し、バイアス整合器データ及びバイアス状態情報をソース整合器１１０のプロセッサに送信する。バイアス整合器１１０のプロセッサは、バイアス整合器データ及びバイアス状態情報に従ってバイアス整合器１１０の１つ又は複数の構成要素を制御する。例えば、バイアス整合器１１０のプロセッサは、状態Ｓ１ａからＳｎａの１つ又は複数の間、バイアス整合器１１０の構成要素を制御しないが、状態Ｓ１ａからＳｎａの残りの間、構成要素を制御する。バイアス整合器１１０のプロセッサは、バイアス整合器１１０の構成要素を制御し、バイアス整合器データ内の静電容量値及びインダクタンス値を達成する。

【0417】

また、バイアス整合器１１０の通信制御器は、バイアス整合器測定情報等の情報に関する要求をバイアス整合器１１０のプロセッサに送信する。バイアス整合器測定情報の一例は、バイアス整合器１１０の構成要素又はバイアス整合器１１０の出力１６４に結合したセンサが測定する基準を含む。センサは、バイアス整合器１１０の内部又は外部に位置する。情報に対する要求を受信すると、バイアス整合器１１０のプロセッサは、バイアス整合器測定情報をバイアス整合器１１０の通信制御器に供給する。バイアス整合器１１０の通信制御器は、バイアス整合器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２内に埋め込み、ポート１５１０及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０８を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２をバイアスＲＦ生成器１０４のポート１５０６に送信する。

【0418】

バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器は、バイアス整合器１１０からポート１５０６を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２を受信し、ポート１３１２及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０４を介してソース整合器１０８のポート１５０５に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２を送信する。ソース整合器１０８の通信制御器は、バイアスＲＦＧ１０４からポート１５０５を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２を受信し、ポート１５０２及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０６を介してソースＲＦ生成器１０２のポート１３１０に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２を送信する。ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器は、ポート１３１０を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２を受信し、ポート１３０８及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０４を介してホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２を送信する。

【0419】

ホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２にＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、ソースＲＦ生成器測定情報及びバイアスＲＦ生成器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４から得る又は抽出する。通信制御器１３０２は、ソースＲＦ生成器測定情報及びバイアスＲＦ生成器測定情報をプロセッサ１１８に供給する。

【0420】

図１５Ｂは、システム１５５０の一実施形態の図であり、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルを介したプラズマ・システムの様々な構成要素の間の情報伝送を示す。システム１５５０は、ホスト・コンピュータ１０６と、ソースＲＦ生成器１０２と、バイアスＲＦ生成器１０４と、ソース整合器１０８と、バイアス整合器１１０とを含む。通信制御器１３０２は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０８を介してソース整合器１０８のポート１５０５に結合され、通信制御器１３０２は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０４を介してバイアス整合器１１０のポート１５１０に結合される。

【0421】

プロセッサ１１８は、プロセッサ・データ１５０１を通信制御器１３０２に送信する。通信制御器１３０２は、プロセッサ・データ１５０１を受信し、ＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、プロセッサ・データ１３１１の同期信号１４６のタイミング情報及びソース整合器データを埋め込み、同期信号１４６のタイミング情報及びソース整合器データを有する１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２を生成し、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０８を介してソース整合器１０８のポート１５０５に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２を送信する。ソース整合器１０８の通信制御器は、ポート１５０５を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２を受信し、ソース整合器データを識別し、ソース整合器測定情報がソース整合器１０８のプロセッサから受信するまで図１５Ａを参照して上記で説明したものと同じ機能を実施する。ソース整合器測定情報を受信すると、ソース整合器１０８の通信制御器は、ソース整合器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２内に埋め込み、ソース整合器１０８のポート１５０５及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０８を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２をホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２に送信する。

【0422】

同様に、通信制御器１３０２は、プロセッサ・データ１５０１を受信し、ＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、プロセッサ・データ１３１１の同期信号１４６のタイミング情報及びバイアス整合器データを埋め込み、同期信号１４６のタイミング情報及びバイアス整合器データを有する１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４を生成し、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０４を介してバイアス整合器１１０のポート１５１０に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４を送信する。バイアス整合器１１０の通信制御器は、ポート１５１０を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４を受信し、バイアス整合器データを識別し、バイアス整合器測定情報がバイアス整合器１１０のプロセッサから受信するまで図１５Ａを参照して上記で説明したものと同じ機能を実施する。バイアス整合器測定情報を受信すると、バイアス整合器１１０の通信制御器は、ソース整合器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４内に埋め込み、バイアス整合器１１０のポート１５１０及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０４を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４をホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２に送信する。

【0423】

ホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２にＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、ソース整合器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２から得る又は抽出する。通信制御器１３０２は、ソース整合器測定情報をプロセッサ１１８に供給する。ソース整合器測定情報を受信すると、プロセッサ１１０８は、ソース整合器測定情報に基づき、ソースＲＦ生成器１０２、ソース整合器１０８、バイアスＲＦ生成器１０４及びバイアス整合器１１０の１つ又は複数を制御する。

【0424】

同様に、ホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４にＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、バイアス整合器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４から得る又は抽出する。通信制御器１３０２は、バイアス整合器測定情報をプロセッサ１１８に供給する。バイアス整合器測定情報を受信すると、プロセッサ１１０８は、バイアス整合器測定情報に基づき、ソースＲＦ生成器１０２、ソース整合器１０８、バイアスＲＦ生成器１０４及びバイアス整合器１１０の１つ又は複数を制御する。

【0425】

一実施形態では、ソース整合器１０８内に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２の記憶域がなく、バイアス整合器１１０内に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４の記憶域がないことに留意されたい。例えば、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２は、ソース整合器１０８内で一定の移動状態にあり、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４は、バイアス整合器１１０内で一定の移動状態にある。例示すると、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２は、ソース整合器１０８の通信制御器のレジスタ列の一方のレジスタからもう一方のレジスタへの移動等、メモリ・デバイス内で移動する一方で、ソース整合器データ及びソース整合器測定情報は、ソース整合器１０８の通信制御器とソース整合器１０８のプロセッサとの間を伝送される。別の例として、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４は、バイアス整合器１１０の通信制御器のレジスタ列の一方のレジスタからもう一方のレジスタへの移動等、メモリ・デバイス内で移動する一方で、バイアス整合器データ及びバイアス整合器測定情報は、バイアス整合器１１０の通信制御器とバイアス整合器１１０のプロセッサとの間を伝送される。

【0426】

図１６は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００の一実施形態の図である。ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２（図１５Ａ）の一例である。ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２（図１５Ｂ）の一例である。また、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４（図１５Ｂ）の一例である。

【0427】

ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００は、複数のフィールド１４０１、１４０３、１４０２、１４０４、１４０６、１４０８、１４１０、１６０２、１６０４、１６０６、１６０８、１４１２、１４１４、１４１６、１６１０、１６１２、１６１４、１６１６及び１４１８を含む。フィールド１４０１は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００の開始を識別するフレーム・デリミタの開始を含む。フィールド１４０２は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００のソース・アドレスを含む。ソース・アドレスの一例は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００を生成するホスト・コンピュータ１０６のアドレスである。

【0428】

ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００のフィールド１４０３は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００をプラズマ・システムの様々な構成要素に循環させる順位を含む。ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００を循環させる順序の一例は、通信制御器１３０２からソースＲＦ生成器１０２に至り、ソースＲＦ生成器１０２からソース整合器１０８に至り、ソース整合器１０８からバイアスＲＦ生成器１０４に至り、バイアスＲＦ生成器１０４からバイアス整合器１１０に至り、バイアス整合器１１０からバイアスＲＦ生成器１０４に戻り、バイアスＲＦ生成器１０４からソース整合器１０８に至り、ソース整合器１０８からソースＲＦ生成器１０２に至り、ソースＲＦ生成器１０２から通信制御器１３０２に至るシーケンスを含む。ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００を循環させる順序の別の例は、通信制御器１３０２からソースＲＦ生成器１０２に至り、ソースＲＦ生成器１０２から通信制御器１３０２に戻るシーケンスを含む。

【0429】

フィールド１４０４は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００の行先アドレスを含む。行先アドレスの一例は、ホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２のアドレスであり、通信制御器１３０２のアドレスは、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００の最終行先である。

【0430】

フィールド１６０２は、ソース状態情報を含む。ソースＲＦ生成器１０２を識別するアドレスは、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器によって使用され、ソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４から受信したデータをフィールド１６０２内に記憶すべきかを決定する。

【0431】

フィールド１６０４は、ＭＡＣアドレス等、プラズマ・システムの他のＲＦ生成器からソース整合器１０８を区別するソース整合器１０８（図１３Ａ）を識別するソース整合器１０８のアドレスを含む。フィールド１６０６は、ソース整合器データを含み、フィールド１６０８は、ソース整合器測定情報を含む。ソースＲＦ生成器１０８を識別するアドレスは、ソース整合器１０８の通信制御器によって使用され、フィールド１６０６内のデータをソース整合器１０８のプロセッサに供給すべきか、及びソース整合器１０８のプロセッサから受信したデータをフィールド１６０８内に記憶すべきかを決定する。

【0432】

フィールド１６１０は、バイアス状態情報を含む。バイアスＲＦ生成器１０４を識別するアドレスは、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器によって使用され、バイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４から受信したデータをフィールド１６１０内に記憶すべきかを決定する。

【0433】

フィールド１６１２は、ＭＡＣアドレス等、プラズマ・システムの他のＲＦ生成器からバイアス整合器１１０を区別するバイアス整合器１１０（図１３Ａ）を識別するバイアス整合器１１０のアドレスを含む。フィールド１６１４は、バイアス整合器データを含み、フィールド１６１６は、バイアス整合器測定情報を含む。バイアス整合器１１０を識別するアドレスは、バイアス整合器１１０の通信制御器によって使用され、フィールド１６１４内のデータをバイアス整合器１１０のプロセッサに供給すべきか、及びバイアス整合器１１０のプロセッサから受信したデータをフィールド１６１６内に記憶すべきかを決定する。

【0434】

フィールド１４１８は、フィールド１４０８、１４１０、１６０２、１６０６、１６０８、１４１４、１４１６、１６１０、１６１４、及び１６１６の１つ又は複数のためのＣＲＣを含む。例えば、ＣＲＣは、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００を受信した後、通信制御器１３０２（図１３Ａ）によって実施し、通信制御器１３０２が送信したフィールド１４０８内のソースＲＦ生成器変数情報が、通信制御器１３０２が受信したフィールド１４０８内のソースＲＦ生成器変数情報に一致するかどうかを決定し、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００の妥当性を決定する。

【0435】

一実施形態では、フィールド１４０８、１４１０及び１６０２、又はフィールド１６０６及び１６０８、又はフィールド１４１４、１４１６及び１６１０、又はフィールド１６１４及び１６１６、又はそれらの組合せは、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００内に含まれない。例えば、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００が、ソース整合器１０８（図１５Ｂ）に送信された１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２（図１５Ｂ）のいずれかの一例である場合、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００は、ソースＲＦ生成器１０２、バイアスＲＦ生成器１０４及びバイアス整合器１１０のフィールド１４０８、１４１０、１６０２、１４１４、１４１６、１６１０、１６１４及び１６１６を除外する。

【0436】

一実施形態では、フィールド１４０８、１４１０及び１６０２、又はフィールド１６０６及び１６０８、又はフィールド１４１４、１４１６及び１６１０、又はフィールド１６１４及び１６１６、又はそれらの組合せは、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００内に含まれるが、空である。例えば、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００が、ソース整合器１０８に送信された１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２のいずれかの一例である場合、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００は、ソースＲＦ生成器１０２、バイアスＲＦ生成器１０４及びバイアス整合器１１０のフィールド１４０８、１４１０、１６０２、１４１４、１４１６、１６１０、１６１４及び１６１６内のデータ又は情報を一切除外する。

【0437】

一実施形態では、本明細書で説明するプラズマ・システムの構成要素のアドレスは、構成要素の通信制御器のアドレスであることを留意されたい。例えば、ソースＲＦ生成器１０２のＭＡＣアドレスは、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器のアドレスであり、バイアスＲＦ生成器１０４のＭＡＣアドレスは、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器のアドレスであり、ソース整合器１０８のＭＡＣアドレスは、ソース整合器１０８の通信制御器のアドレスであり、バイアス整合器１１０のＭＡＣアドレスは、バイアス整合器１１０の通信制御器のアドレスである。

【0438】

図１７は、システム１７００の一実施形態の図であり、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１７０６及び１７０８に結合したＲＦ生成器１７０２を示す。ＲＦ生成器１７０２は、ソースＲＦ生成器１０２又はバイアスＲＦ生成器１０４（図１５Ａ）の一例である。ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１７０６は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０４（図１３Ａ）、１３０６（図１３Ｂ）及び１５０４（図１５Ａ）のいずれかの一例である。ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１７０８は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０６及び１５０８（図１３Ａ及び図１５Ａ）のいずれかの一例である。

【0439】

ＲＦ生成器１７０２は、通信制御器１７０４と、ＤＳＰ２０４と、ＲＦ電源２２２と、センサ１７１０とを含む。センサ１７１０の例は、複素電圧・電流センサ、複素インピーダンス・センサ、複素電力センサ及び複素電圧センサを含む。ＲＦ生成器２０２（図２）は、ＲＦ生成器１７０２内で、ＤＳＰ２０４が通信制御器１７０４を介してホスト・コンピュータ１０６のプロセッサ１１８に結合されていることを除き、ＲＦ生成器１７０２の一例である。また、ＲＦ生成器７０２（図７）、８０２（図８）及び９０２（図９）、１１０２（図１１Ａ）のいずれかは、ＲＦ生成器１７０２内で、ＤＳＰ２０４が通信制御器１７０４を介してホスト・コンピュータ１０６のプロセッサ１１８に結合されていることを除き、ＲＦ生成器１７０２の一例である。

【0440】

通信制御器１７０４は、通信制御器１７０４のポート１７１４を介してＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１７０６に結合され、通信制御器１７０４の別のポート１７１６を介してＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１７０８に結合される。通信制御器１７０４は、ＤＳＰ２０４にも結合される。センサ１７１０は、ＤＳＰ２０４、及びＲＦ生成器１７０２の出力１７１２に結合される。出力１５８及び１６４（図１）のいずれかは、出力１７１２の一例である。

【0441】

通信制御器１７０４は、プラズマ・システムの構成要素からポート１７１４を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２を受信する。例えば、通信制御器１７０４は、プラズマ・システムの構成要素からポート１７１４を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３１４（図１３Ａ）又は１３５２（図１３Ｂ）又は１３５４（図１３Ｃ）又は１５１２（図１５Ａ）を受信する。通信制御器１７０４は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２を処理し、ＲＦ生成器１７０２のアドレスを識別する。例えば、通信制御器１７０４は、ＲＦ生成器１７０２のアドレスと、通信制御器１７０４のメモリ・デバイス内に予め記憶したＲＦ生成器１７０２のアドレスとを比較し、２つのアドレスが整合するかどうかを決定する。２つのアドレスが整合することを決定すると、通信制御器１７０４は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２からＲＦ生成器１７０２のアドレスを識別する。

【0442】

アドレスを識別すると、通信制御器１７０４は、データを識別し、データを１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２から抽出し、ＤＳＰ２０４に供給する。一例として、ＲＦ生成器１７０２のＤＳＰ２０４に供給されるデータは、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２内のＲＦ生成器１７０２のアドレスと、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２内の次のアドレスとの間のデータとして識別される。図１４に関して例示すると、フィールド１４０８内のソースＲＦ生成器変数情報は、フィールド１４０６内のソースＲＦ生成器アドレスと、フィールド１４１２内のバイアスＲＦ生成器アドレスとの間である。ＤＳＰ２０４に供給されるデータの一例は、フィールド１４０８のソースＲＦ生成器変数情報、又はフィールド１４１４のバイアスＲＦ生成器変数情報を含む。データを識別すると、通信制御器１７０４は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２からＤＳＰ２０４に供給すべきデータを抽出し（得る又は読み出す又はコピーする等）、データをＤＳＰ２０４に送信する。

【0443】

センサ１７１０は、上記で説明した状態の１つ又は複数に対する基準を測定し、基準をＤＳＰ２０４に供給する。ＤＳＰ２０４は、基準を通信制御器１７１４に供給する、又は基準からの因子を計算し、因子を通信制御器１７１４に供給する、又はそれらの組合せを行う。また、通信制御器１７０４は、ＤＳＰ２０４からデータを受信し、ＲＦ生成器１７０２のフィールド内のデータを１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２内に含める。例えば、通信制御器１７０４は、ＤＳＰ２０４から因子を受信し、因子を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２内に埋め込み、ポート１７１４及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１７０６を介して因子を、プラズマ・システムのプロセッサ１１８又はソースＲＦ生成器１０２又はソース整合器１０８等のソース構成要素に送信する、又は１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２を、ポート１７１６を介してプラズマ・システムのソース整合器１０８又はバイアスＲＦ生成器１０４等の行先構成要素に送信する。例示すると、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２をプラズマ・システムのソース構成要素又は行先構成要素又はあらゆる他の構成要素等の構成要素に送信するため、通信制御器１７０４は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２の順序フィールド１４０３を読み取り、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２から構成要素のアドレスを識別する。更に例示すると、構成要素のアドレスを識別するため、通信制御器１７０４は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２内に記憶した行先構成要素のアドレスと、通信制御器１７０４のメモリ・デバイス内に予め記憶した構成要素のアドレスとを比較し、２つのアドレスが整合するかどうかを決定する。２つのアドレスが整合することを決定すると、通信制御器１７０４は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２から構成要素のアドレスを識別し、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２を構成要素に送信する。ソース構成要素は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２がＲＦ生成器１７０２によって受信される構成要素であり、行先構成要素は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２がＲＦ生成器１７０２によって送信される構成要素である。１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２がポート１７１６を介してプラズマ・システムの行先構成要素に送信されると、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２は、その後、行先構成要素からポート１７１６を介して受信され、通信制御器１７０４によってポート１７１４を介して行先構成要素に送信される。

【0444】

一実施形態では、複数のセンサは、ＲＦ生成器１７０２と関連付けられる。例えば、別のセンサは、ＲＦケーブル１３８又は１４２（図１）上の点に結合され、ＤＳＰ２０４にも結合され、基準を測定し、ＤＳＰ２０４に供給する。

【0445】

一実施形態では、システム１７００は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１７０８を除外し、通信制御器１７０２は、ポート１７１６を除外する。

【0446】

図１８は、整合器１８０２を示すシステム１８００の一実施形態の図であり、整合器１８０２は、ＲＦケーブル１８０４を介してＲＦ生成器１７０２（図１７）に結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１８０６及び１８０８に結合される。ＲＦケーブル１８０４は、ＲＦケーブル１３８及び１４２（図１）並びに２１８（図２）のいずれかの一例である。整合器１８０２は、ソース整合器１０８（図１５Ａ）又はバイアス整合器１１０（図１５Ｂ）の一例である。ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１８０６は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０６（図１５Ａ）、１５０８（図１５Ｂ）及び１５０４（図１５Ａ及び図１５Ｂ）のいずれかの一例である。ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１８０８は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０４（図１５Ａ）の一例である。

【0447】

整合器１８０２は、通信制御器１８１０と、プロセッサ１８１２と、ドライバ・システム１８１４と、センサ・システム１８１６と、回路構成要素システム１８１８と、モータ・システム１８２０とを含む。センサ・システム１８１６の一例は、センサ１７１０（図１７）等の１つ又は複数のセンサを含む。ドライバ・システム１８１４の一例は、互いに結合される１つ又は複数のトランジスタ等、１つ又は複数のドライバを含む。回路構成要素システム１８１８の一例は、互いに結合される１つ又は複数のインダクタ及びキャパシタ等、１つ又は複数の回路構成要素を含む。モータ・システム１８２０の一例は、１つ又は複数の電気モータを含む。各電気モータは、回路構成要素システム１８１８の、インダクタ又はキャパシタ等のそれぞれの回路構成要素に結合される。

【0448】

ソース整合器１０８又はバイアス整合器１１０は、整合器１８０２が通信制御器１８１０とプロセッサ１８１２とを含むことを除き、整合器１８０２の一例である。通信制御器１８１０は、通信制御器１８１０のポート１８２６を介してＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１８０６に結合され、通信制御器１８１０のポート１８２８を介してＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１８０８に結合される。通信制御器１８１０は、プロセッサ１８１２にも結合される。プロセッサ１８１２は、センサ・システム１８１６及びドライバ・システム１８１４に結合され、ドライバ・システム１８１４は、モータ・システム１８２０に結合される。モータ・システム１８２０は、回路構成要素システム１８１８に結合され、回路構成要素システム１８１８は、ＲＦ伝送線路１８２２を介してＲＦケーブル１８０４及びプラズマ・チャンバ１１２に結合される。回路構成要素システム１８１８は、センサ・システム１８１６に結合される。例えば、センサ・システム１８１６の第１のセンサは、回路構成要素システム１８１８の第１の回路構成要素に結合され、センサ・システム１８１６の第２のセンサは、回路構成要素システム１８１８の第２の回路構成要素に結合される。伝送線路１４０及び１４４（図１）のいずれかは、ＲＦ伝送線路１８２２の一例である。

【0449】

通信制御器１８１０は、プラズマ・システムの構成要素からポート１８２６を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４を受信する。例えば、通信制御器１８１０は、プラズマ・システムの構成要素からポート１８２６を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２（図１５Ａ）又は１５５２（図１５Ｂ）又は１５５４（図１５Ｃ）を受信する。通信制御器１８１０は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４を処理し、整合器１８０２のアドレスを識別する。例えば、通信制御器１８１０は、整合器１８０２のアドレスと、通信制御器１８１０のメモリ・デバイス内に予め記憶した整合器１８０２のアドレスとを比較し、２つのアドレスが整合するかどうかを決定する。２つのアドレスが整合することを決定すると、通信制御器１８１０は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４から整合器１８０２のアドレスを識別する。

【0450】

アドレスを識別すると、通信制御器１８１０は、データを識別し、データを１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４から抽出し、プロセッサ１８１２に供給する。一例として、整合器１８０２のプロセッサ１８１２に供給されるデータは、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４内の整合器１８０２のアドレスと、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４内の次のアドレスとの間のデータとして識別される。図１６に関して例示すると、フィールド１６０６内のソース整合器データは、フィールド１６０４内のソース整合器アドレスと、フィールド１４１２内のバイアスＲＦ生成器アドレスとの間である。プロセッサ１８１２に供給されるデータの一例は、フィールド１６０６のソース整合器データ、又はフィールド１６１４のバイアス整合器データを含む。通信制御器１８１０は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２からプロセッサ１８１２に供給すべきデータを抽出し（読み出す又は得る又はコピーする等）、データをプロセッサ１８１２に送信する。

【0451】

センサ・システム１８１６は、回路構成要素システム１８１８の１つ又は複数の回路構成要素の１つ又は複数の出力で基準を測定し、プロセッサ１８１２に基準を供給する。プロセッサ１８１２は、通信制御器１８１０に基準を供給する。また、通信制御器１８１０は、プロセッサ１８１２からデータを受信し、整合器１８０２のフィールド内のデータを１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４内に含める。例えば、通信制御器１８１０は、プロセッサ１８１２から基準を受信し、基準を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４内に埋め込み、ポート１８２６及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１８０６を介して基準を、プラズマ・システムのソースＲＦ生成器１０８又はバイアスＲＦ生成器１０４又はホスト・コンピュータ１０６等のソース構成要素に送信する、又は１つ若しくは複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４をポート１８２８を介してプラズマ・システムのバイアスＲＦ生成器１０４等の行先構成要素に送信する。例えば、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４をプラズマ・システムのソース構成要素又は行先構成要素又はあらゆる他の構成要素等の構成要素に送信するため、通信制御器１８１０は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４の順序フィールド１４０３を読み取り、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４から行先のアドレスを識別する。例示すると、行先構成要素のアドレスを識別するため、通信制御器１８１０は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４内に記憶した行先構成要素のアドレスと、通信制御器１８１０のメモリ・デバイス内に予め記憶した行先構成要素のアドレスとを比較し、２つのアドレスが整合するかどうかを決定する。２つのアドレスが整合することを決定すると、通信制御器１８１０は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４から行先構成要素のアドレスを識別し、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４を行先構成要素に送信する。

【0452】

ソース構成要素は、１つの構成要素であり、この構成要素から、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４が整合器１８０２によって受信される。行先構成要素は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４が整合器１８０２によって送信される構成要素である。１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４がポート１８２８を介してプラズマ・システムの行先構成要素に送信されると、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４は、その後、行先構成要素からポート１８２８を介して受信され、通信制御器１８１０によってポート１８２６を介して行先構成要素に送信される。

【0453】

一実施形態では、複数のセンサは、整合器１８０２と関連付けられる。例えば、別のセンサは、ＲＦ伝送線路１８０４上の点に結合され、プロセッサ１８１２にも結合され、基準を測定し、プロセッサ１８１２に供給する。

【0454】

一実施形態では、システム１８００は、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１８０８を除外し、通信制御器１８１０は、ポート１８２８を除外する。

【0455】

図１９Ａは、プラズマ・システム等のＥｔｈｅｒＣＡＴ同期システム１９２０の別の実施形態を示し、複数のＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、ＥｔｈｅｒＣＡＴ同期システム１９２０の任意の２つの構成要素の間に結合される。例えば、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、マスタ制御器の出力ポートからソースＲＦ生成器１０２の入力ポートに結合され、別のＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、マスタ制御器の別の出力ポートからバイアスＲＦ生成器１０４の入力ポートに結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、ソースＲＦ生成器１０２の出力ポートからソース整合器１０８の入力ポートに結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、バイアスＲＦ生成器１０４の出力ポートからバイアス整合器１１０の入力ポートに結合される。マスタ制御器の例は、ホスト制御器又はホスト・コンピュータ１０６（図１）又はＡＤＶＣＩ又は別の制御器を含む。

【0456】

ソースＲＦ生成器１０２及びソース整合器１０８の状態情報は、パルス列で供給され、パルス列は、マスタ制御器からソースＲＦ生成器１０２に送信され、ソースＲＦ生成器１０２からソース整合器１０８に送信される。例えば、ソースＲＦ生成器１０２が生成するＲＦ信号１５２の変数の状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでのデューティ・サイクル、電力レベル及び周波数レベル、並びにソース整合器データは、マスタ制御器からソースＲＦ生成器１０２に送信されるパルス列で供給され、変数の状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでのデューティ・サイクルは、ソースＲＦ生成器１０２からソース整合器１０８に送信されるパルス列で供給される。同様に、ＲＦ信号１６８の変数の状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでのデューティ・サイクル、電力レベル及び周波数レベル、並びにバイアス整合器データは、マスタ制御器からソースＲＦ生成器１０４に送信される別のパルス列で供給され、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでのデューティ・サイクルは、バイアスＲＦ生成器１０４からバイアス整合器１１０に送信される他のパルス列で供給される。

【0457】

図１９Ｂは、プラズマ・システム等のＥｔｈｅｒＣＡＴ同期システム１９３０の一実施形態の図であり、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、マスタ制御器の出力ポートとソースＲＦ生成器１０２の入力ポートとの間に結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、ソースＲＦ生成器１０２の出力ポートとバイアスＲＦ生成器１０４の入力ポートとの間に結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、ソースＲＦ生成器１０２の出力ポートとソース整合器１０８の入力ポートとの間に結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、ソース整合器１０８の出力ポートからバイアス整合器１１０の入力ポートに結合される。

【0458】

ソースＲＦ生成器１０２、ソース整合器１０８、バイアスＲＦ生成器１０４及びバイアス整合器１１０の状態情報は、マスタ制御器からソースＲＦ生成器１０２に送信されるパルス列で供給される。例えば、ＲＦ信号１５２及び１６８の変数の状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでのデューティ・サイクル、電力レベル及び周波数レベル、ソース整合器データ、並びにバイアス整合器データは、マスタ制御器からソースＲＦ生成器１０２に送信されるパルス列で供給される。パルス列は、ソースＲＦ生成器１０２からバイアスＲＦ生成器１０４に伝送される。また、ソースＲＦ生成器１０２からソース整合器１０８に送信されたパルス列は、ソース整合器１０８からバイアス整合器１１０に送信される。

【0459】

一実施形態では、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、バイアスＲＦ生成器１０４の出力ポートからソースＲＦ生成器１０２の入力に結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、バイアス整合器１１０の出力ポートからソース整合器１０８の入力ポートに結合される。本実施形態では、マスタ制御器をソースＲＦ生成器１０２に結合するＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルではなく、マスタ制御器の出力ポートをバイアスＲＦ生成器１０４の入力ポートに結合するＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルが使用される。また、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、バイアスＲＦ生成器１０４の出力ポートからバイアス整合器１１０の入力ポートに結合される。ソースＲＦ生成器１０２、ソース整合器１０８、バイアスＲＦ生成器１０４及びバイアス整合器１１０の状態情報は、マスタ制御器からバイアスＲＦ生成器１０４に送信されるパルス列で供給される。例えば、パルス列は、マスタ制御器からバイアスＲＦ生成器１０４に送信され、バイアスＲＦ生成器１０４からソースＲＦ生成器１０２に伝送され、バイアスＲＦ生成器１０４からバイアス整合器１１０に伝送され、バイアス整合器１１０からソース整合器１０８に伝送される。

【0460】

図１９Ｃは、プラズマ・システム等のＥｔｈｅｒＣＡＴ同期システム１９５０の一実施形態の図であり、構成要素は、数珠つなぎに結合される。例えば、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、マスタ制御器の出力ポートからソースＲＦ生成器１０２の入力ポートに結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、ソースＲＦ生成器１０２の出力ポートからソース整合器１０８の入力ポートに結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、ソース整合器１０８の出力ポートからバイアス整合器１１０の入力ポートに結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、バイアス整合器１１０の出力ポートからバイアスＲＦ生成器１０４の入力ポートに結合される。

【0461】

ソースＲＦ生成器１０２、ソース整合器１０８、バイアスＲＦ生成器１０４及びバイアス整合器１１０の状態情報は、マスタ制御器からソースＲＦ生成器１０２に送信されるパルス列で供給される。次に、パルス列は、ソースＲＦ生成器１０２からソース整合器１０８に送信され、次に、ソース整合器１０８からバイアス整合器１１０に送信され、バイアス整合器１１０からバイアスＲＦ生成器１０４に送信される。

【0462】

図１９Ｄは、プラズマ・システム等のＥｔｈｅｒＣＡＴ同期システム１９６０の一実施形態の図であり、構成要素は、数珠つなぎに結合される。例えば、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、マスタ制御器の出力ポートからバイアスＲＦ生成器１０４の入力ポートに結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、バイアスＲＦ生成器１０４の出力ポートからバイアス整合器１１０の入力ポートに結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、バイアス整合器１１０の出力ポートからソース整合器１０８の入力ポートに結合され、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブルは、ソース整合器１０８の出力ポートからソースＲＦ生成器１０２の入力ポートに結合される。

【0463】

ソースＲＦ生成器１０２、ソース整合器１０８、バイアスＲＦ生成器１０４及びバイアス整合器１１０の状態情報は、マスタ制御器からバイアスＲＦ生成器１０４に送信されるパルス列で供給される。次に、パルス列は、バイアスＲＦ生成器１０４からバイアス整合器１１０に送信され、次に、バイアス整合器１１０からソース整合器１０８に送信され、ソース整合器１０８からソースＲＦ生成器１０２に送信される。

【0464】

較正

【0465】

図２０は、パルス列較正方法を示すシステム２０００の一実施形態の図である。図２０に関して示すように、ホスト・コンピュータ１０６（図１）又はデジタル信号プロセッサ又はＡＤＶＣＩ等の無線周波生成器（ＲＦＧ）生成器は、複数状態Ｓ（ｎ－Ａ）、Ｓ（ｎ－Ａ＋１）・・・Ｓ（ｎ－１）及びＳｎに対する無線周波生成器ＲＦＧにＰＬ_S(n-A)、ＰＬ_S(n-A+1)・・・ＰＬ_S(n-1)及びＰＬ_Sn等の電力レベルを供給する。Ａは正の整数である。一例として、いくつかの状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎは、４から３６の範囲に及ぶ。例示すると、状態の数は、４つの状態、又は５つの状態、又は６つの状態、又は７つの状態、又は８つの状態、又は９つの状態、又は１０個の状態、又は１１個の状態、又は１２個の状態、１３個の状態、又は１４個の状態、又は１５個の状態、又は１６個の状態である。各状態は、１マイクロ秒以上の間生じる。例えば、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでのそれぞれのデューティ・サイクルは、同じである。例示すると、状態Ｓ（ｎ－Ａ）は、数マイクロ秒の間生じ、状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）は、同じマイクロ秒の間生じ、状態Ｓｎが同じマイクロ秒の間生じるまで、以下同様である。別の例として、１つ又は複数状態のデューティ・サイクルは、残りの状態の１つ又は複数のデューティ・サイクルとは異なる。例示すると、状態Ｓ（ｎ－Ａ）は、第１のマイクロ秒の間生じ、状態Ｓｎは第２のマイクロ秒の間生じる。別の例として、状態Ｓ（ｎ－Ａ）は、第１のマイクロ秒の間生じ、状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）は、第２のマイクロ秒の間生じ、状態Ｓｎは、第３のマイクロ秒の間生じる。無線周波生成器ＲＦＧの一例は、ＲＦ生成器７０２（図７）である。無線周波生成器ＲＦＧの別の例は、ＲＦ生成器９０２（図９）である。

【0466】

無線周波生成器ＲＦＧは、電力レベルＰＬ_S(n-A)、ＰＬ_S(n-A+1)・・・ＰＬ_S(n-1)及びＰＬ_Snを有するＲＦ信号を生成し、ＲＦ信号を５０オームの負荷等、既知の負荷に供給する。既知の負荷に結合される電圧センサは、電圧値を測定し、電圧値をＲＦＧ制御器に供給する。例えば、電圧センサは、既知の負荷の入力に結合される。別の例として、電圧センサは、ＲＦケーブルに結合され、ＲＦケーブルは、無線周波生成器ＲＦＧと既知の負荷との間に結合される。ＲＦＧ制御器は、電圧センサから受信した電圧値から状態Ｓ（ｎ－Ａ）、Ｓ（ｎ－Ａ＋１）に関するＶ_S(n-A)、Ｖ_S(n-A+1)・・・Ｖ_S(n-1)、ＶＳｎ等の電圧値を決定する。各状態に対し、ＲＦＧ制御器は、状態の電圧値に基づき、状態の電力レベルを変更すべきかどうかを決定し、決定に基づき、電力レベルＰＬ_S(n-A)、ＰＬ_S(n-A+1)・・・ＰＬ_S(n-1)及びＰＬ_Snの１つ又は複数を調節する。一例として、ＲＦＧ制御器は、状態の電圧値が予め設定した範囲外かどうかを決定し、電圧値が予め設定した範囲内になるまで状態の電力レベルを調節する。

【0467】

図２１は、電圧パルス水平化方法を示すシステム２０００の一実施形態の図である。図２０のシステム２０００に関して上記で説明したように、電力レベルＰＬ_S(n-A)、ＰＬ_S(n-A+1)・・・ＰＬ_S(n-1)及びＰＬ_Snを有するＲＦ信号は、既知の負荷に供給され、電圧センサは、電圧値を測定する。電圧値は、ＲＦＧ制御器に供給される。図２１のシステム２０００に戻り参照すると、ＲＦＧ制御器は、各状態を複数の下位状態又は下位パルスに分割する。例えば、状態Ｓ（ｎ－Ａ）は、下位状態Ｓ（ｎ－Ａ）１、Ｓ（ｎ－Ａ）２、及び下位状態Ｓ（ｎ－Ａ）ｍが決定されるまで、以下同様に分割され、ｍは３以上の整数である。別の例として、状態Ｓ（ｎ－１）は、下位状態Ｓ（ｎ－１）１、Ｓ（ｎ１－１）２に分割され、状態Ｓｎは、下位状態Ｓｎ１、Ｓｎ２、及び下位状態Ｓｎｍが決定されるまで、以下同様に分割される。各下位状態に関し、ＲＦＧ制御器は、電圧センサから受信した測定電圧値から電圧値を決定する。一例として、ＲＦＧ制御器は、電圧値Ｖ_S(n-A)1、Ｖ_S(n-A)2及び下位状態Ｓ（ｎ－Ａ）１から状態Ｓ（ｎ－Ａ）ｍの電圧値Ｖ_S(n-A)mを計算するまで、以下同様に計算する。例示すると、電圧値Ｖ_S(n-A)1は、下位状態Ｓ（ｎ－Ａ）１の間に測定される平均又は中央値等の電圧値の統計測定値であり、電圧値Ｖ_S(n-A)2は、下位状態Ｓ（ｎ－Ａ）２の間に測定される電圧値の統計測定値である。同様に、ＲＦＧ制御器は、電圧値Ｖ_S(n-1)1、Ｖ_S(n-1)2、及び下位状態Ｓ（ｎ－１）１からＳ（ｎ－１）ｍの電圧値Ｖ_S(n-1)mが計算されるまで、以下同様に計算され、電圧値Ｖ_Sn1、Ｖ_Sn2、及び下位状態Ｓｎ１から状態Ｓｎｍの電圧値Ｖ_Snmが計算されるまで、以下同様に計算する。各下位状態の計算した電圧値に基づき、ＲＦＧ制御器は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の下位状態Ｓ（ｎ－Ａ）２の電力レベルＰＬ_S(n-A)2、及び状態Ｓ（ｎ－１）下位状態Ｓ（ｎ－１）１の電力レベルＰＬ_S(n-1)1等、下位状態の電力レベルを、電圧値が所定の範囲内になるまで調節する。このようにして、ＲＦＧ制御器は、電力レベルＰＬ_S(n-A)、ＰＬ_S(n-A+1)・・・ＰＬ_S(n-1)及びＰＬ_Snの１つ又は複数を調節する。

【0468】

図２２は、デューティ・サイクル較正方法を示すシステム２０００の一実施形態の図である。図２０に関して説明するように、電圧センサは、電圧値を測定し、電圧値をＲＦＧ制御器に供給する。システム１００を参照すると、ＲＦＧ制御器は、状態の電圧値に基づき、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの電力レベルＰＬ_S(n-A)、ＰＬ_S(n-A+1)・・・ＰＬ_S(n-1)及びＰＬ_Snのデューティ・サイクルを決定する。例えば、状態Ｓｎの複数の電圧値は、継続時間の間測定され、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の複数の電圧値は、同じ又は異なる継続時間の間測定される。状態Ｓ（ｎ－Ａ）の電圧値は、状態Ｓｎの電圧値とは異なる。

【0469】

決定されたデューティ・サイクルは、電力レベルＰＬ_S(n-A)の状態Ｓ（ｎ－Ａ）のデューティ・サイクルＤＣ_S(n-1)等を、電力レベルＰＬ_S(n-1)の状態Ｓ（ｎ－１）のデューティ・サイクルＤＣ_S(n-1)及び電力レベルＰＬ_Snの状態Ｓｎのデューティ・サイクルＤＣ_Snが決定されるまで、以下同様に含む。ＲＦＧ制御器は、対応する状態のデューティ・サイクルのそれぞれが予め設定したデューティ・サイクル範囲にあるかどうかを決定する。ＲＦＧ制御器は、対応する状態の１つ又は複数のデューティ・サイクルの１つ又は複数を、１つ又は複数のデューティ・サイクルが対応する１つ又は複数の予め設定したデューティ・サイクル範囲内になるまで調節する。例えば、ＲＦＧ制御器は、デューティ・サイクルＤＣ_Snが、状態Ｓｎの予め設定したデューティ・サイクル範囲内にないという決定に応じて、電力レベルＰＬ_Snに関する状態Ｓｎのデューティ・サイクルＤＣ_Snを増大又は低減させる。

【0470】

一実施形態では、図２０、図２１又は図２２のシステム内の電圧センサを使用するのではなく、電力を測定する電力センサ、又は複素電圧・電流を測定する複素電圧・電流センサを使用し得ることを留意されたい。

【0471】

４つ以上の状態の同調（ＴＣＣＴ整合器を平均インピーダンスに同調する）

【0472】

図２３は、制御器（ＣＴＲＬ）と、ソース・トランス結合容量性同調（ＴＣＣＴ）整合器等のソース整合器１０８とを含むシステム２３００を示す。制御器の一例は、ＲＦＧ制御器（図２０）を含む。制御器ＣＲＴＬの更なる例は、ホスト・コンピュータ１０６（図１）及びホスト制御器を含む。ＴＣＣＴ整合器の一例は、米国特許第１０，０５６，２３１号に提供されており、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。

【0473】

制御器ＣＴＲＬは、ソースＲＦ生成器１０２、バイアスＲＦ生成器１０４、ソース整合器１０８、及びバイアス整合器１１０に結合される。ソース整合器１０８は、プラズマ・チャンバ１１２のＴＣＰコイル１２６に結合される。基板支持体１２８又は基板支持体１２８の下電極は、本明細書でバイアス電極と呼ぶことがある。

【0474】

制御器ＣＴＲＬは、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎに関するタイミング情報をソース整合器１０８に供給する。例えば、制御器ＣＴＲＬは、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでのそれぞれに対する開始時間及び終了時間を含むデューティ・サイクルをソース整合器１０８に供給する。タイミング情報は、ソース整合器１０８に供給し、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの１つ又は複数の間、ソース整合器１０８を同調可能にし、ソース整合器１０８の出力に結合した負荷のインピーダンスと、ソース整合器１０８の入力に結合したソースのインピーダンスとを整合し、ソースＲＦ生成器１０２に向かう反射電力を低減する。負荷の一例は、プラズマ・チャンバ１１２、及びソース整合器１０８をＴＣＰコイル１２６に結合するＲＦ伝送線路１４０を含み、ソースの一例は、ソースＲＦ生成器１０２、及びソースＲＦ生成器１０２をソース整合器１０８に結合するＲＦケーブル１３８を含む。

【0475】

制御器ＣＴＲＬは、１つ又は複数のモータ・ドライバ及び対応する１つ又は複数のモータを介してソース整合器１０８を制御し、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの１つ又は複数の静電容量又は誘導係数又はそれらの組合せを調節し、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの１つ又は複数のソースＲＦ生成器１０２に向かう反射電力を更に低減する。例えば、ソース整合器１０８は、クロック信号の複数のクロック・サイクルにわたり、ある状態の静電容量又は誘導係数又はそれらの組合せを変更し、ソース整合器１０８の出力１５８に結合した負荷のインピーダンスと、ソース整合器１０８の入力１５６に結合したソースのインピーダンスとを整合するようにする。状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎは、クロック信号の各クロック・サイクルにわたり生じ、各クロック・サイクルで繰り返す。クロック信号は、制御器ＣＴＲＬ、又はクロック発振器等のクロック・ソースから受信される。ソースＲＦ生成器１０２が、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎを有するＲＦ信号１５２を生成する一方で、バイアスＲＦ生成器１０４は、ＲＦ信号１６８を生成することができ、ＲＦ信号１６８は、連続的であるか、又は２つの状態又は３つ以上の状態を有する。

【0476】

一実施形態では、バイアスＲＦ生成器１０４に加えて、１つ又は複数の更なるバイアスＲＦ生成器は、バイアス整合器１１０を介してプラズマ・チャンバ１１２に結合される。

【0477】

一実施形態では、バイアス整合器１１０は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎと同期する状態で動作する。バイアス整合器１１０も、制御器ＣＴＲＬによる状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎに関するタイミング情報を備える。タイミング情報は、バイアス整合器１１０に供給し、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの１つ又は複数の間、バイアス整合器１１０を同調可能にし、バイアス整合器１１０の出力１６４に結合した負荷のインピーダンスと、バイアス整合器１１０の入力１６２に結合したソースのインピーダンスとを整合する。負荷の一例は、プラズマ・チャンバ１１２、及びバイアス整合器１１０をプラズマ・チャンバ１１２の基板支持体１２８に結合するＲＦ伝送線路１４４を含み、ソースの一例は、バイアスＲＦ生成器１０４、及びバイアスＲＦ生成器１０４をバイアス整合器１１０に結合するＲＦケーブル１４２を含む。

【0478】

一実施形態では、キャパシタ、インダクタ及び抵抗器等のソースＴＣＣＴ整合器の１つ又は複数の回路構成要素は、ＴＣＰコイル１２６を通過する電流と別のＴＣＰコイル（図示せず）を通過する別の電流との間の比率を達成するように調節される。他のＴＣＰコイルは、同じ水平面内に位置し、ＴＣＰコイル１２６は、ＴＣＰコイル１２６の水平面の上又は下の異なる水平面に位置する。ＴＣＰコイルの両方は、一緒にＴＣＰ電極を形成する。

【0479】

一実施形態では、ソースＲＦ生成器１０２に加えて、１つ又は複数の更なるソースＲＦ生成器は、ソースＴＣＣＴ整合器を介して他のＴＣＰコイルに結合される。

【0480】

整合器の選択的同調（１つの状態の間のＴＣＣＴ整合器の同調、及び他の状態の間のＲＦＧの同調）

【0481】

図２４Ａは、状態の整合器同調方法を示すシステム２４００の一実施形態の図である。ソース整合器１０８は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの１つの間に同調され、ソースＲＦ生成器１０２は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの残りの１つ又は複数の間に同調される。例えば、ソース整合器１０８の静電容量又は誘導係数又はそれらの組合せは、１つ又は複数のモータ・ドライバ及び対応する１つ又は複数のモータを介して制御器ＣＴＲＬによって修正され、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の間ソース整合器１０８を同調し、ソースＲＦ生成器１０２に向かう反射電力を低減する。また、残りの状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）からＳｎまでの１つ又は複数の間、ソースＲＦ生成器１０２の周波数又は電力レベル又はそれらの組合せを修正し、ソースＲＦ生成器１０２を同調し、残りの状態の１つ又は複数の間にソースＲＦ生成器１０２に向かう反射電力を低減する。

【0482】

反射電力は、ソースＲＦ生成器１０２の出力に結合した電圧センサ又は複素電圧・電流センサ等のセンサによって測定し、反射電力を低減したかどうかを決定することができる。測定電力は、センサから制御器ＣＴＲＬに供給し、ソースＲＦ生成器１０２が供給すべき電力量を決定し、測定電力を更に低減する。

【0483】

一実施形態では、電力の測定ではなく、電圧反射係数を使用し、ソースＲＦ生成器１０２が供給する電力を変更するかどうかを決定する。

【0484】

図２４Ｂは、状態の整合器同調方法を示すシステム２４００の一実施形態の図である。バイアス整合器１１０は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの１つの間に同調され、バイアスＲＦ生成器１０４は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの残りの１つ又は複数の間に同調される。例えば、バイアス整合器１１０の静電容量又は誘導係数又はそれらの組合せは、１つ又は複数のモータ・ドライバ及び対応する１つ又は複数のモータを介して制御器ＣＴＲＬによって修正され、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の間バイアス整合器１１０を同調し、バイアスＲＦ生成器１０４に向かう反射電力を低減する。また、残りの状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）からＳｎまでの１つ又は複数の間、バイアスＲＦ生成器１０４の周波数又は電力レベル又はそれらの組合せを修正し、バイアスＲＦ生成器１０４を同調し、残りの状態の１つ又は複数の間にバイアスＲＦ生成器１０４の方に向かう反射電力を低減する。

【0485】

反射電力は、バイアスＲＦ生成器１０４の出力に結合した電圧センサ又は複素電圧・電流センサ等のセンサによって測定し、反射電力を低減したかどうかを決定することができる。測定電力は、センサから制御器ＣＴＲＬに供給し、バイアスＲＦ生成器１０４が供給すべき電力量を決定し、測定電力を更に低減する。

【0486】

一実施形態では、電力の測定ではなく、電圧反射係数を使用し、バイアスＲＦ生成器１０４が供給する電力を変更するかどうかを決定する。

【0487】

ソリッド・ステート整合器

【0488】

図２５Ａは、ソリッド・ステート整合器を示すシステム２５００の一実施形態の図であり、本明細書では電子整合器と呼ぶことがある。ソース整合器１０８ではなく、図２５Ａに関して示すように、ソリッド・ステート整合器を使用する。図２５Ａのシステム２５００は、図２５Ａではソース整合器１０８をソリッド・ステート整合器に取り替えたことを除き、図２４Ａのシステム２４００と同じ構成要素を有する。ソース・ソリッド・ステート整合器は、プラズマ・チャンバ１１２のＴＣＰ電極のＴＣＰコイル１２６の電流と、ＴＣＰ電極の他のＴＣＰコイルとの間の電流比の達成を促進する。状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでのタイミング情報等の状態情報は、制御器ＣＴＲＬによってソース・ソリッド・ステート整合器に供給される。状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでのそれぞれの間、ソース・ソリッド・ステート整合器は、ソリッド・ステート整合器の出力２５０２に結合した負荷のインピーダンスと、ソリッド・ステート整合器の入力２５０４に結合したソースのインピーダンスとを整合し、ソースＲＦ生成器１０２に向かう反射電力を低減する。ソリッド・ステート整合器の出力２５０２に結合した負荷の一例は、ＲＦ伝送線路１４０及びプラズマ・チャンバ１１２を含み、入力２５０４に結合したソースの一例は、ＲＦケーブル１３８及びソースＲＦ生成器１０２を含む。ＲＦケーブル１３８は、入力２５０４に結合され、ＲＦ伝送線路１４０は、出力２５０２に結合される。バイアスＲＦ生成器１０４は、連続波（ＣＷ）モード又は２つの状態のモード又は複数状態のモードで動作する。複数状態のモードの一例は、複数のレベルのパルスを印加するモードである。

【0489】

図２５Ｂは、バイアス整合器１１０ではなく、バイアス・ソリッド・ステート整合器を使用することを示すシステム２５５０の一実施形態の図である。システム２５５０は、バイアス整合器１１０ではなくバイアス・ソリッド・ステート整合器を使用し、ソース・ソリッド・ステート整合器ではなくソース整合器１０８を使用することを除き、システム２５００と同じである。状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでのタイミング情報等の状態情報は、制御器ＣＴＲＬによってバイアス・ソリッド・ステート整合器に供給される。状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでのそれぞれの間、バイアス・ソリッド・ステート整合器は、ソリッド・ステート整合器の出力２５５２に結合した負荷のインピーダンスと、バイアス・ソリッド・ステート整合器の入力２５５４に結合したソースのインピーダンスとを整合し、バイアスＲＦ生成器１０４に向かう反射電力を低減する。バイアス・ソリッド・ステート整合器の出力２５５２に結合した負荷の一例は、プラズマ・チャンバ１１２、及びバイアス・ソリッド・ステート整合器をプラズマ・チャンバ１１２に結合するＲＦ伝送線路１４４を含む。バイアス・ソリッド・ステート整合器の入力２５５４に結合されるソースの一例は、ＲＦケーブル１４２及びバイアスＲＦ生成器１０４を含む。出力２５５２は、ＲＦ伝送線路１４４に結合され、入力２５５４は、ＲＦケーブル１４２に結合される。バイアスＲＦ生成器１０４が複数状態モードで動作する場合、ソースＲＦ生成器１０２は、連続波（ＣＷ）モード又は二重状態モード又は複数状態モードで動作する。

【0490】

ＲＦ生成器の選択的同調（他の複数の状態の間ではなく、１つの状態の間にＲＦ生成器を同調する）

【0491】

図２６Ａは、固定周波数を伴う整合器同調方法を示すシステム２６００の一実施形態の図である。図２６Ａに関して示すシステム７００は、システム２６００において、センサ１７１０がソースＲＦ生成器１０２の出力に結合されることを除き、図２３を参照して示す構成要素と同じ構成要素を有する。センサ１７１０は、ソースＲＦ生成器１０２に向かう反射電力を測定する。制御器ＣＴＲＬは、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の間、ソース整合器１０８を同調する。更に、制御器ＣＴＲＬは、残りの状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）からＳｎまでの間、ソースＲＦ生成器１０２の一定の周波数を維持する。一定の周波数は、ソースＲＦ生成器１０２に向かう反射電力の和

【数1】

が最小であるように、制御器ＣＴＲＬによって決定され、式中、Ｃｖは、状態の重みであり、Ｐｖは、ソースＲＦ生成器１０２に向かう、この状態の反射電力であり、ｖは、状態の状態数である。例えば、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の状態数は１であり、状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）の状態数は２であり、状態Ｓｎの状態数がｗであるまで、以下同様であり、ｗは正の整数である。ソースＲＦ生成器１０２が複数状態モードで動作する場合、バイアスＲＦ生成器１０４は、連続波（ＣＷ）モード又は２つの状態又は複数状態モードで動作する。

【0492】

図２６Ｂは、固定周波数による整合器同調方法を示すシステム２６５０の一実施形態の図である。制御器ＣＴＲＬは、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の間、バイアス整合器１１０を同調する。更に、制御器ＣＴＲＬは、残りの状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）からＳｎまでの間、バイアスＲＦ生成器１０４の一定の周波数を維持する一定の周波数は、バイアスＲＦ生成器１０４に向かう反射電力の和

【数2】

が最小であるように、制御器ＣＴＲＬによって決定され、式中、Ｃｖは、状態の重みであり、Ｐｖは、バイアスＲＦ生成器１０４に向かう、この状態の反射電力であり、ｖは、状態の状態数である。例えば、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の状態数は１であり、状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）の状態数は２であり、状態Ｓｎの状態数がｗになるまで、以下同様である。センサ１７１０は、バイアスＲＦ生成器１０４の出力１６０に結合され、バイアスＲＦ生成器１０４に向かう反射電力を測定する。バイアスＲＦ生成器１０４が複数状態モードで動作する場合、ソースＲＦ生成器１０２は、連続波（ＣＷ）モード又は２つの状態又は複数状態モードで動作する。

【0493】

一実施形態では、ソースＲＦ生成器１０２及びバイアスＲＦ生成器１０４の両方が複数状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまで動作する。

【0494】

一実施形態では、ソースＲＦ生成器１０２は、バイアスＲＦ生成器１０４とは異なる数の状態で動作する。

【0495】

マスタ同期制御器（ＡＤＶＣＩ又はパルス・マスタ制御器）

【0496】

図２７は、ＴＣＰ電極とバイアス電極との間のクロック同期方法を示すシステム２７００の一実施形態の図である。図２７に示すように、デジタル・パルス・ソース又はデジタル信号プロセッサ又はホスト・コンピュータ１０６又はホスト制御器又はＡＤＶＣＩ等のパルス・マスタ制御器は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎを有するトランジスタ－トランジスタ論理（ＴＴＬ）信号を生成し、ＴＴＬ信号をバイアスＲＦ生成器１０４に供給する。パルス・マスタ制御器は、本明細書では外部パルス・マスタ制御器と呼ぶことがある。ＴＴＬ信号を受信すると、バイアスＲＦ生成器１０４は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの電力レベルＰＬ_S(n-A)からＰＬ_Snまでを有するＲＦ信号を生成する。更に、パルス・マスタ制御器は、ＴＴＬ信号をソースＲＦ生成器１０２に供給する。ＴＴＬ信号を受信すると、ソースＲＦ生成器１０２は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの複数の電力レベルＰＬ_S(n-A)からＰＬ_Snまでを有するＲＦ信号を生成する。状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでのそれぞれに対し、ソースＲＦ生成器１０２が生成する１つの電力レベルがある。例えば、第１の電力レベルは、状態Ｓ（ｎ－Ａ）のために生成され、第２の電力レベルは、状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）のために生成され、第３の電力レベルは、状態Ｓ（ｎ－１）のために生成され、第４の電力レベルは、状態Ｓｎのために生成される。

【0497】

一実施形態では、１つの状態の間にソースＲＦ生成器１０２が生成する電力レベルは、この状態の間にバイアスＲＦ生成器１０４が生成する電力レベルとは異なる。例えば、１つの状態の間にソースＲＦ生成器１０２が生成する電力レベルＰＬ_Snは、この状態の間にバイアスＲＦ生成器１０４が生成する電力レベルとは異なる、例えば、より大きいか又はより小さい。

【0498】

一実施形態では、ソースＲＦ生成器１０２に、バイアスＲＦ生成器１０４に供給されるＴＴＬ信号とは異なる数の状態を有するＴＴＬ信号が供給される。例えば、ソースＲＦ生成器１０２に、４つの状態を有するＴＴＬ信号が供給され、バイアスＲＦ生成器１０４に、５つの状態を有するＴＴＬ信号が供給される。別の例として、ソースＲＦ生成器１０２に、５つの状態を有するＴＴＬ信号が供給され、バイアスＲＦ生成器１０４に、４つの状態を有するＴＴＬ信号が供給される。

【0499】

図２８Ａは、同期マスタを示すシステム２８００の一実施形態の図である。図２８Ａに示すシステム２８００は、ＡＤＶＣＩ等の同期マスタを含み、ソースＲＦ生成器１０２とバイアスＲＦ生成器１０４とを更に含む。ＡＤＶＣＩは、アナログ電圧信号等のアナログ信号をデジタル電圧信号等のデジタル信号に変換する。また、ＡＤＶＣＩは、電圧ピーク検出、及び複数状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでを有する状態の生成等の１つ又は複数の他の機能を実施する。例えば、ＡＤＶＣＩは、ＤＣ電圧レベル等の複数の論理レベルを有する状態信号を生成する。同期マスタは、ソースＲＦ生成器１０２及びバイアスＲＦ生成器１０４に結合される。

【0500】

同期マスタは、２つの状態Ｓ１及びＳ０を有するＴＴＬ信号等のクロック信号を生成し、クロック信号をバイアスＲＦ生成器１０４に供給する。クロック信号を受信すると、バイアスＲＦ生成器１０４は、２つの状態Ｓ（ｎ－１）及びＳｎの２つの電力レベルを有するＲＦ信号を生成する。例えば、バイアスＲＦ生成器１０４が生成するＲＦ信号は、高電力レベル及び低電力レベルを有する。低電力レベルは、電力値が高電力レベルである電力レベルよりも低い１つ又は複数の電力値を有する。高電力レベルは、１つ又は複数の電力値を有する。また、同期マスタは、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでを有するデジタル・パルス信号を生成し、デジタル・パルス信号をソースＲＦ生成器１０２に送信する。デジタル・パルス信号の一例は、複数状態の波形である。デジタル・パルス信号を受信すると、ソースＲＦ生成器１０２は、４つ以上の状態等、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの電力レベルを有するＲＦ信号を生成する。例えば、ソースＲＦ生成器１０２が生成するＲＦ信号は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの数と同じ数の電力レベルを有する。

【0501】

一実施形態では、クロック信号ではなく、状態Ｓ（ｎ－１）及びＳｎまでの数とは異なる数の状態を有するデジタル・パルス信号を同期マスタからバイアスＲＦ生成器１０４に供給することを留意されたい。

【0502】

図２８Ｂは、同期マスタを示すシステム２８００の一実施形態の図である。同期マスタは、２つの状態Ｓ（ｎ－１）及びＳｎを有するＴＴＬ信号等のクロック信号を生成し、クロック信号をソースＲＦ生成器１０２に供給する。クロック信号を受信すると、ソースＲＦ生成器１０２は、２つの状態Ｓ（ｎ－１）及びＳｎの２つの電力レベルを有するＲＦ信号を生成する。例えば、ソースＲＦ生成器１０２が生成するＲＦ信号は、高電力レベル及び低電力レベルを有する。低電力レベルは、電力値が高電力レベルである電力レベルよりも低い１つ又は複数の電力値を有する。高電力レベルは、１つ又は複数の電力値を有することができる。また、同期マスタは、４つ以上の状態等、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からまでＳｎを有するデジタル・パルス信号を生成し、デジタル・パルス信号をバイアスＲＦ生成器１０４に送信する。デジタル・パルス信号を受信すると、バイアスＲＦ生成器１０４は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの電力レベルを有するＲＦ信号を生成する。例えば、バイアスＲＦ生成器１０４が生成するＲＦ信号は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの数と同じ数の電力レベルを有する。

【0503】

一実施形態では、クロック信号ではなく、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの数とは異なる数の状態を有するデジタル・パルス信号を同期マスタからソースＲＦ生成器１０２に供給し得ることを留意されたい。

【0504】

終了点検出を伴うマスタ同期制御器

【0505】

図２９は、システム２９００の一実施形態の図であり、終了点検出を伴う複数状態の制御の使用を示す。システム２９００は、終了点検出制御器と、ＡＤＶＣＩと、ソースＲＦ生成器１０２と、バイアスＲＦ生成器１０４と、ソース整合器１０８と、バイアス整合器１１０と、プラズマ・チャンバ１１２とを含む。ソースＲＦ生成器１０２が、１つ又は複数状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでを有するＲＦ信号１５２を生成する場合、バイアスＲＦ生成器１０４は、基板Ｓを処理する状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの１つ又は複数を有するＲＦ信号１６８を生成する。一例として、ソースＲＦ生成器１０２が生成するＲＦ信号１５２は、バイアスＲＦ生成器１０４が生成するＲＦ信号１６８と同じ数の状態を有する。別の例として、ソースＲＦ生成器１０２が生成するＲＦ信号１５２は、バイアスＲＦ生成器１０４が生成するＲＦ信号１６８の状態の数と異なる数の状態を有する。

【0506】

発光分光分析、又はＬａｍ分光反射率計測装置（ＬＳＲ）は、プラズマ・チャンバ１１２の外部に位置し、プラズマ・チャンバ１２２から反射される光の強度を決定する一方で、基板Ｓは、プラズマ・チャンバ１１２内で処理される。終了点検出制御器は、発光分光分析又はＬＳＲから強度を示す電気信号を受信し、処理内の終了点又は処理点に到達したかどうかを決定する。基板Ｓ上で実施される処理の例は、堆積処理、エッチング処理、洗浄処理、及びスパッタリング処理を含む。終了点又は処理点又はそれらの組合せがまだ達成されていないことを決定すると、終了点検出制御器は、調節信号をＡＤＶＣＩに送信する。調節信号を受信すると、ＡＤＶＣＩは、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの間、ソースＲＦ生成器１０２の電力レベルを制御するか、又は状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの間、バイアスＲＦ生成器１０４の電力レベルを制御するか、又はそれらの組合せで制御する。終了点又は処理点が達成されたことを決定すると、終了点検出制御器は、停止信号をＡＤＶＣＩに送信する。停止信号を受信すると、ＡＤＶＣＩは、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの間、ソースＲＦ生成器１０２の電力レベルをゼロに制御し、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの間、バイアスＲＦ生成器１０４の電力レベルをゼロに制御する。

【0507】

複数状態のパルス化のための反射電力の低減

【0508】

図３０は、ＲＦ生成器１０７０を含むシステム３０００を示し、ＲＦ生成器１０７０は、電力制御器ＰＷＲ_S(n-A)からＰＷＲ_Snと、自動周波数同調器ＡＦＴ_S(n-A)からＡＦＴ_Snと、ＤＳＰ２０４と、ＲＦ電源２２２とを含み、マイクロ秒レベルで軌道を周波数同調する方法を示す。システム３０００は、ソース整合器１０８又はバイアス整合器１１０等の整合器２１６を更に含み、プラズマ・チャンバ１１２を含む。センサ１７１０は、ＲＦ電源２２２の出力２１７に結合される。ＲＦ電源２２２は、ソースＲＦ生成器１０２又はバイアスＲＦ生成器１０４の電源である。

【0509】

センサ１７１０は、出力２１７で基準を測定し、基準をＤＳＰ２０４に供給する。ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの１つ又は複数の周波数及び／又は状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの１つ又は複数の電力の変更を決定し、状態の１つ又は複数の間の反射電力を低減する。図１０Ｊを参照して上記で説明したように、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの１つ又は複数の周波数を変更するため、ＤＳＰ２０４は、自動周波数同調器ＡＦＴ_S(n-A)からＡＦＴ_Snまでの対応する１つ又は複数を制御し、状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの１つ又は複数の電力を変更するため、ＤＳＰ２０４は、電力制御器ＰＷＲ_S(n-A)からＰＷＲ_Snの対応する１つ又は複数を制御する。

【0510】

一実施形態では、ＲＦ生成器同調方法を説明する。方法は、４つ以上の状態を有するデジタル・パルス信号を生成することと、デジタル・パルス信号をＲＦ生成器に供給することと、デジタル・パルス信号の４つ以上の状態と同期される４つ以上の状態を有するＲＦ信号を生成することとを含む。

【0511】

一実施形態では、４つ以上の状態の第１の状態は、４つ以上の電力レベルの第１の電力レベルの発生の持続時間を規定し、４つ以上の状態の第２の状態は、４つ以上の電力レベルの第２の電力レベルの発生の持続時間を規定し、４つ以上の状態の第３の状態は、４つ以上の電力レベルの第３の電力レベルの発生の持続時間を規定し、４つ以上の状態の第４の状態は、４つ以上の電力レベルの第４の電力レベルの発生の持続時間を規定する。

【0512】

一実施形態では、半導体作製用プラズマ生成に使用する生成器を説明する。生成器は、複数状態の波形を規定する入力信号を処理する受信器を含む。複数状態の波形は、複数状態の波形の複数状態のそれぞれの間に生成器が印加するそれぞれの電力レベルと関連付けられる。生成器は、ＲＦ生成器の負荷にＲＦ電力信号を送出する出力を更に含む。ＲＦ電力信号は、複数状態の波形に関連付けた電力レベルを使用する。電力レベルは、複数のクロック・サイクルの各クロック・サイクルの間、繰り返される。

【0513】

一実施形態では、電力レベルは、４つのレベル、又は５つのレベル、又は６つのレベル、又は７つのレベル、又は８つのレベルを含む。

【0514】

一実施形態では、電力レベルの１つの電力レベルは、電力レベルの別の電力レベルに遷移し、電力レベルの他の電力レベルのパルス幅を低減する。

【0515】

一実施形態では、電力レベルの１つの電力レベルは、電力レベルの別の電力レベルに遷移し、電力レベルの１つの電力レベルのパルス幅を低減する。

【0516】

一実施形態では、負荷は、ＴＣＰ電極であり、複数状態の波形は、バイアス電極に結合される別の生成器に印加される。

【0517】

一実施形態では、電極を有するプラズマ処理チャンバに電力を供給する際に使用する生成器を説明する。生成器は、少なくとも４つの状態を含む複数状態の信号を受信する入力と、ＲＦ信号を供給する出力とを含み、ＲＦ信号は、複数状態の信号に基づき、複数レベルの電力を供給する。ＲＦ信号は、プラズマ処理チャンバの電極に接続した整合器に送出される。

【0518】

一実施形態では、複数状態の電力をプラズマ処理チャンバの電極に供給する方法を説明する。方法は、少なくとも４つの状態を有するデジタル・パルス信号を生成することと、複数状態のＲＦ信号を生成するため、デジタル・パルス信号を処理することとを含む。複数状態のＲＦ信号は、少なくとも４つの状態のそれぞれに対応する複数の電力レベルを有する。方法は、複数状態のＲＦ信号を、電力を電極に伝送する負荷に出力することを含む。

【0519】

一実施形態では、少なくとも４つの状態は、複数のクロック・サイクルの各クロック・サイクルの間、繰り返される。

【0520】

本明細書で説明する実施形態は、ハンドヘルド・ハードウェア・ユニット、マイクロプロセッサ・システム、マイクロプロセッサベースの民生用電子機器又はプログラム可能民生用電子機器、ミニコンピュータ、汎用コンピュータ等を含む様々なコンピュータ・システム構成で実行することができる。本明細書で説明する実施形態は、コンピュータ・ネットワークを通じて結合された遠隔処理ハードウェア・ユニットによってタスクが実施される、分散コンピューティング環境内で実行することもできる。

【0521】

いくつかの実施形態では、制御器は、システムの一部であり、上記例の一部であってよい。システムは、処理構成要素及び／又は特定処理構成要素（ウエハ・ペデスタル、ガス流システム等）のための１つ又は複数の処理ツール、１つ又は複数のチャンバ、１つ又は複数のプラットフォームを含め、半導体処理機器を含むことができる。システムは、半導体ウエハ又は基板を処理する前、その間、及びその後に動作を制御する電子機器と統合される。これらの電子機器は、「制御器」と呼び、システムの様々な構成要素又は下位部品を制御し得る。制御器は、処理要件及び／又はシステムの種類に応じて、処理ガスの送出、温度設定（例えば加熱及び／又は冷却）、圧力設定、真空設定、電力設定、ＲＦ生成器設定、ＲＦ整合回路設定、周波数設定、流量設定、流体送出設定、位置及び動作設定、ツール間のウエハ搬送、並びに他の搬送ツール及び／又はロードロックを含め、本明細書で開示する工程のいずれかを制御するようにプログラムしてよく、これらは、システムに接続又はインターフェース接続される。

【0522】

広範に言うと、様々な実施形態では、制御器は、様々な集積回路、論理、メモリ及び／又はソフトウェアを有する電子機器と定義され、これらは、命令を受信し、命令を発行し、動作を制御し、洗浄動作を可能にし、終了点測定を可能にする、等である。集積回路は、プログラム命令を記憶するファームウェアの形態のチップ、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）として定義されるチップ、プログラマブル論理デバイス（ＰＬＤ）、又はプログラム命令（例えばソフトウェア）を実行する１つ又は複数のマイクロプロセッサ若しくはマイクロコントローラを含む。プログラム命令は、様々な個々の設定（又はプログラム・ファイル）の形態で制御器と通信し、半導体ウエハ上で若しくは半導体ウエハのために処理を実行する動作パラメータを定義する命令である。動作パラメータは、いくつかの実施形態では、１つ又は複数の層、材料、金属、酸化物、ケイ素、二酸化ケイ素、面、回路及び／又はウエハ・ダイの作製中、１つ又は複数の処理ステップを達成するように工程技師によって定義されたレシピの一部である。

【0523】

制御器は、いくつかの実施形態では、統合されるコンピュータの一部であるか、又は統合されるコンピュータに結合されるか、システムに結合されるか、又はシステムにネットワーク化されるか、又はそれらの組合せである。例えば、制御器は、「クラウド」、又は工場ホスト・コンピュータ・システムの全て若しくは一部の中にあり、ウエハ処理に遠隔でアクセス可能である。コンピュータは、システムへの遠隔アクセスを可能にし、製造動作に対する現在の進行を監視し、過去の製造動作履歴を調査し、複数の製造動作から傾向又は性能メトリックを調査し、現在の処理のパラメータを変更し、処理ステップを設定し、現在の処理に追従するか、又は新たな処理を開始する。

【0524】

いくつかの実施形態では遠隔コンピュータ（例えばサーバ）は、ローカル・ネットワーク又はインターネットを含むコンピュータ・ネットワーク上で工程レシピをシステムに提供する。遠隔コンピュータは、パラメータ及び／又は設定の入力又はプログラミングを可能にするユーザ・インターフェースを含み、パラメータ及び／又は設定は、遠隔コンピュータからシステムに伝送される。いくつかの例では、制御器は、ウエハを処理する設定の形態で命令を受信する。設定は、ウエハ上で実施される処理の種類、及び制御器がインターフェース接続する、又は制御器が制御するツールの種類に固有であることを理解されたい。したがって、上記のように、制御器は、一緒にネットワーク化し、本明細書で説明した履行処理等の共通の目的に向けて働く１つ又は複数の個別の制御器を含む等によって分散される。そのような目的の分散制御器の一例は、チャンバ内での処理を制御するように組み合わせた（プラットフォームレベルで、又は遠隔コンピュータの一部として）遠隔に位置する１つ又は複数の集積回路と通信する、チャンバ上の１つ又は複数の集積回路である。

【0525】

限定はしないが、様々な実施形態では、システムは、プラズマ・エッチング・チャンバ、堆積チャンバ、スピンリンス・チャンバ、金属めっきチャンバ、洗浄チャンバ、斜縁エッチング・チャンバ、物理蒸着（ＰＶＤ）チャンバ、化学蒸着（ＣＶＤ）チャンバ、原子層堆積（ＡＬＤ）チャンバ、原子層エッチング（ＡＬＥ）チャンバ、イオン注入チャンバ、トラック・チャンバ、並びに半導体ウエハの作製及び／又は製造に関連する又は作製及び／又は製造で使用されるあらゆる他の半導体処理システムを含む。

【0526】

上記の動作は、トランス結合プラズマ（ＴＣＰ）反応器に関して説明したが、いくつかの実施形態では、上記の動作は、他の種類のプラズマ・チャンバ、例えば、平行板プラズマ・チャンバ、例えば、容量結合プラズマ・チャンバ等、誘電体ツール、電子サイクロトロン共鳴反応器を含むプラズマ・チャンバ等に適用されることを更に留意されたい。ＴＣＰ反応器の一例は、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）反応器を含む。ＴＣＰ反応器の別の例は、導体ツールを含む。用語反応器及びプラズマ・チャンバは、本明細書で互換的に使用する。

【0527】

上記のように、ツールによって実施すべき処理動作に応じて、制御器は、他のツール回路又はモジュール、他のツール構成要素、クラスタ・ツール、他のツール・インターフェース、隣接ツール、近接ツール、工場全体を通じて位置するツール、主コンピュータ、ウエハ容器を半導体製造工場内のツールの場所及び／又はロード・ポートに持って来る材料搬送で使用される別の制御器又はツールの１つ又は複数と通信する。

【0528】

上記実施形態を念頭において、実施形態の一部は、コンピュータ・システム内に記憶したデータを伴う様々なコンピュータ実装動作を採用することを理解されたい。これらのコンピュータ実装動作は、物理量を扱う動作である。

【0529】

実施形態の一部は、これらの動作を実施するハードウェア・ユニット又は装置に関連する。装置は、専用コンピュータ用に特別に構成される。専用コンピュータとして定義する場合、コンピュータは、特定の目的の一部ではない他の処理、プログラム実行、又はルーチンを実施する一方で、依然として、特定の目的のために動作することができる。

【0530】

いくつかの実施形態では、本明細書で説明する動作は、選択的に起動したコンピュータによって実施されるか、又はコンピュータ・メモリ内に記憶した１つ又は複数のコンピュータ・プログラムによって構成されるか、又はコンピュータ・ネットワーク上で得られる。データをコンピュータ・ネットワーク上で得る際、データは、コンピュータ・ネットワーク、例えば、計算リソースのクラウド上で他のコンピュータによって処理してよい。

【0531】

本明細書で説明する１つ又は複数の実施形態は、非一時的コンピュータ可読媒体上でコンピュータ可読コードとして作製することもできる。非一時的コンピュータ可読媒体は、任意のデータ記憶ハードウェア・ユニット、例えば、データを記憶するメモリ・デバイス等であり、その後、データは、コンピュータ・システムによって読み取られる。非一時的コンピュータ可読媒体の例は、ハード・ドライブ、ネットワーク・アタッチド・ストレージ（ＮＡＳ）、ＲＯＭ、ＲＡＭ、コンパクト・ディスク－ＲＯＭ（ＣＤ－ＲＯＭ）、記録可能ＣＤ（ＣＤ－Ｒ）、書換え可能ＣＤ（ＣＤ－ＲＷ）、磁気テープ、並びに他の光学及び非光学データ記憶域ハードウェア・ユニットを含む。いくつかの実施形態では、非一時的コンピュータ可読媒体は、ネットワーク結合コンピュータ・システム上に分散したコンピュータ可読有形媒体を含み、コンピュータ可読コードを分散様式で記憶、実行されるようにする。

【0532】

上記で説明したいくつかの方法動作は、特定の順序で提示したが、様々な実施形態では、他のハウスキーピング動作は、方法動作の間に実施される、又は方法動作は、方法動作がわずかに異なる時間で生じるか若しくは様々な間隔で方法動作の発生を可能にするシステム内に分散するように調節される、又は上記で説明した順序とは異なる順序で実施されることを理解されたい。

【0533】

一実施形態では、上記で説明したあらゆる実施形態からの１つ又は複数の特徴は、本開示に記載する様々な実施形態で説明した範囲から逸脱することなく、あらゆる他の実施形態の１つ又は複数の特徴と組み合わせられることを更に留意されたい。

【0534】

上記実施形態を、理解を明確にするためにある程度詳細に説明してきたが、添付の特許請求の範囲内で特定の変更及び修正を実行し得ることは明らかであろう。したがって、本実施形態は、例示的であって、限定的と見なすべきではなく、実施形態は、本明細書で示した詳細に限定されず、添付の特許請求の範囲の範囲及び等価物内で修正してよい。

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図5A】

【図5B】

【図5C】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図6D】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10A】

【図10B】

【図10C】

【図10D】

【図10E】

【図10F】

【図10G】

【図10H】

【図10I】

【図10J】

【図10K】

【図10L】

【図10M】

【図10N】

【図10O】

【図10P】

【図11A】

【図11B】

【図12A】

【図12B】

【図12C】

【図12D】

【図12E】

【図12F】

【図12G】

【図12H】

【図12I】

【図12J】

【図12K】

【図12L】

【図13A】

【図13B】

【図14】

【図15A】

【図15B】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19A】

【図19B】

【図19C】

【図19D】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24A】

【図24B】

【図25A】

【図25B】

【図26A】

【図26B】

【図27】

【図28A】

【図28B】

【図29】

【図30】

【手続補正書】

【提出日】2024-09-09

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数状態のパルス化方法であって、前記方法は、
同期信号を受信することと、
前記同期信号から複数のサイクルを識別することと、
前記複数のサイクルの１つのサイクルの間、４つ以上の変数レベルを有する無線周波（ＲＦ）信号を生成することと
を含み、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最大振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルは、前記複数のサイクルの別の１つのサイクルの間、繰り返される、方法。

【請求項2】

請求項１に記載の方法であって、前記受信することは、ＲＦ生成器によって実施され、前記同期信号は、デジタル・パルス信号であり、前記デジタル・パルス信号は、周期的に繰り返され、前記複数のサイクルを有し、前記複数のサイクルのそれぞれは、デューティ・サイクルを有する、方法。

【請求項3】

請求項１に記載の方法であって、前記複数のサイクルを識別することは、前記複数のサイクルの第１のサイクル及び前記複数のサイクルの第２のサイクルを識別することを含み、前記複数のサイクルの前記第１のサイクル及び前記複数のサイクルの前記第２のサイクルを識別することは、前記複数のサイクルの前記第１のサイクルの開始時間及び停止時間、並びに前記複数のサイクルの前記第２のサイクルの開始時間及び停止時間を識別することを含む、方法。

【請求項4】

請求項１に記載の方法であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、パラメータ・レベルであり、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれは、複数の振幅を有し、前記最大振幅は、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれにおける前記複数の振幅の最大振幅であり、前記最大振幅は、前記ＲＦ信号の包絡線である、方法。

【請求項5】

請求項１に記載の方法であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、別個の水平レベルであり、前記ＲＦ信号は、発振信号である、方法。

【請求項6】

請求項１に記載の方法であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、周波数レベル又は電力レベルである、方法。

【請求項7】

請求項１に記載の方法であって、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記ＲＦ信号は、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルに遷移し、前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第３の変数レベルに遷移し、前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第４の変数レベルに遷移する、方法。

【請求項8】

請求項１に記載の方法であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最小振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルの前記最小振幅は、前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルの前記最大振幅よりも大きい、方法。

【請求項9】

請求項１に記載の方法であって、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記ＲＦ信号は、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルに遷移し、前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第３の変数レベルに遷移し、前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第４の変数レベルに遷移し、前記方法は、
前記４つ以上の変数レベルの前記第１の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルへの遷移勾配を制御することと、
前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルへの遷移勾配を制御することと、
前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの前記第４の変数レベルへの遷移勾配を制御することと
を更に含む、方法。

【請求項10】

複数状態のパルス化のための無線周波（ＲＦ）生成器であって、前記ＲＦ生成器は、
同期信号を受信するように構成されたプロセッサであって、前記同期信号から複数のサイクルを識別するように構成されたプロセッサと、
ＲＦ電源と
を備え、前記プロセッサは、前記複数のサイクルの１つのサイクルの間、４つ以上の変数レベルを有する無線周波（ＲＦ）信号を生成するため、前記ＲＦ電源を制御するように構成され、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最大振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルは、前記複数のサイクルの別の１つのサイクルの間、繰り返される、ＲＦ生成器。

【請求項11】

請求項１０に記載のＲＦ生成器であって、前記同期信号は、デジタル・パルス信号であり、前記デジタル・パルス信号は、周期的に繰り返され、前記複数のサイクルを有し、前記複数のサイクルのそれぞれは、デューティ・サイクルを有する、ＲＦ生成器。

【請求項12】

請求項１０に記載のＲＦ生成器であって、前記複数のサイクルを識別するため、前記プロセッサは、前記複数のサイクルの第１のサイクル及び前記複数のサイクルの第２のサイクルを識別するように構成され、前記複数のサイクルの前記第１のサイクル及び前記複数のサイクルの前記第２のサイクルを識別するため、前記プロセッサは、前記複数のサイクルの前記第１のサイクルの開始時間及び停止時間、並びに前記複数のサイクルの前記第２のサイクルの開始時間及び停止時間を識別するように構成される、ＲＦ生成器。

【請求項13】

請求項１０に記載のＲＦ生成器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、パラメータ・レベルであり、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれは、複数の振幅を有し、前記最大振幅は、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれにおける前記複数の振幅の最大振幅であり、前記最大振幅は、前記ＲＦ信号の包絡線である、ＲＦ生成器。

【請求項14】

請求項１０に記載のＲＦ生成器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、別個の水平レベルであり、前記ＲＦ信号は、発振信号である、ＲＦ生成器。

【請求項15】

請求項１０に記載のＲＦ生成器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、周波数レベル又は電力レベルである、ＲＦ生成器。

【請求項16】

請求項１０に記載のＲＦ生成器であって、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記プロセッサは、前記ＲＦ電源を制御し、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルに遷移させ、前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第３の変数レベルに遷移させ、前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第４の変数レベルに遷移させるように構成される、ＲＦ生成器。

【請求項17】

請求項１０に記載のＲＦ生成器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最小振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルの前記最小振幅は、前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルの前記最大振幅よりも大きい、ＲＦ生成器。

【請求項18】

複数状態のパルス化のための制御器であって、前記制御器は、
複数のサイクルを含む同期信号を生成するように構成されたプロセッサと、
前記プロセッサに結合されたメモリ・デバイスと
を備え、前記プロセッサは、無線周波（ＲＦ）生成器を制御し、前記複数のサイクルの１つのサイクルの間、４つ以上の変数レベルを有するＲＦ信号を生成するように構成され、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最大振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルは、前記複数のサイクルの別の１つのサイクルの間、繰り返される、制御器。

【請求項19】

請求項１８に記載の制御器であって、前記同期信号は、デジタル・パルス信号であり、前記デジタル・パルス信号は、周期的に繰り返され、前記複数のサイクルを有し、前記複数のサイクルのそれぞれは、デューティ・サイクルを有する、制御器。

【請求項20】

請求項１８に記載の制御器であって、前記複数のサイクルは、前記複数のサイクルの第１のサイクル、及び前記複数のサイクルの第２のサイクルを含み、前記複数のサイクルの前記第１のサイクルは、開始時間及び停止時間を含み、前記複数のサイクルの前記第２のサイクルは、開始時間及び停止時間を含む、制御器。

【請求項21】

請求項１８に記載の制御器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、パラメータ・レベルであり、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれは、複数の振幅を有し、前記最大振幅は、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれにおける前記複数の振幅の最大振幅であり、前記最大振幅は、前記ＲＦ信号の包絡線である、制御器。

【請求項22】

プラズマ・ツールの複数の構成要素間で情報を通信する方法であって、前記方法は、
無線周波（ＲＦ）生成器で、１つ又は複数のＥｔｈｅｒｎｅｔ ｆｏｒ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ（ＥｔｈｅｒＣＡＴ）フレームを受信することであって、前記ＲＦ生成器は、前記プラズマ・ツールの前記複数の構成要素の１つである、受信することと、
前記ＲＦ生成器によって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームから複数の変数レベルを抽出することと、
前記ＲＦ生成器によって、同期信号の１つのサイクルに対して前記複数の変数レベルを有するＲＦ信号を生成することと、
前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの行先アドレスを識別することと、
前記行先アドレスで、前記複数の構成要素の別の１つの構成要素に前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを送信することと
を含む、方法。

【請求項23】

請求項２２に記載の方法であって、前記複数の変数レベルは、第１の変数レベル、第２の変数レベル、第３の変数レベル、及び第４の変数レベルを含み、前記ＲＦ信号は、前記サイクルの間、前記第１の変数レベルから前記第２の変数レベルに遷移し、前記第２の変数レベルから前記第３の変数レベルに遷移し、前記第３の変数レベルから前記第４の変数レベルに遷移する、方法。

【請求項24】

請求項２２に記載の方法であって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの１つのフレーム内で前記ＲＦ生成器のアドレスを識別することを更に含み、前記抽出することは、前記アドレスを有するフィールドと、前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素の別のアドレスを有するフィールドとの間のフィールドから前記複数の変数レベルを得ることを含む、方法。

【請求項25】

請求項２２に記載の方法であって、前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素は、前記ＲＦ生成器に結合したインピーダンス整合回路を含む、方法。

【請求項26】

請求項２２に記載の方法であって、前記複数の変数レベルのそれぞれは、周波数レベル又は電力レベルである、方法。

【請求項27】

請求項２２に記載の方法であって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームは、プロセッサによって受信され、前記方法は、
前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素から前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを受信することと、
前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを前記プロセッサに送信することと
を更に含む、方法。

【請求項28】

請求項２２に記載の方法であって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームのそれぞれは、前記ＲＦ生成器から測定データを受信するフィールド、及び前記ＲＦ生成器に供給する前記複数の変数レベルを含むフィールドを有する、方法。

【請求項29】

無線周波（ＲＦ）生成器であって、前記ＲＦ生成器は、
１つ又は複数のＥｔｈｅｒｎｅｔ ｆｏｒ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ（ＥｔｈｅｒＣＡＴ）フレームを受信するように構成された通信制御器であって、前記ＲＦ生成器は、プラズマ・ツールの複数の構成要素の１つである、通信制御器と、
前記通信制御器に結合したＲＦ電源と
を備え、前記通信制御器は、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームから複数の変数レベルを抽出するように構成され、
前記ＲＦ電源は、同期信号の１つのサイクルの間、前記複数の変数レベルを有するＲＦ信号を生成するように構成され、
前記通信制御器は、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの行先アドレスを識別するように構成され、
前記通信制御器は、前記行先アドレスで、前記複数の構成要素の別の１つの構成要素に前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを送信するように構成される、ＲＦ生成器。

【請求項30】

請求項２９に記載のＲＦ生成器であって、前記複数の変数レベルは、第１の変数レベル、第２の変数レベル、第３の変数レベル、及び第４の変数レベルを含み、前記ＲＦ信号は、前記サイクルの間、前記第１の変数レベルから前記第２の変数レベルに遷移し、前記第２の変数レベルから前記第３の変数レベルに遷移し、前記第３の変数レベルから前記第４の変数レベルに遷移する、ＲＦ生成器。

【請求項31】

請求項２９に記載のＲＦ生成器であって、前記通信制御器は、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの１つのフレーム内で前記ＲＦ生成器のアドレスを識別するように構成され、前記複数の変数を抽出するため、前記通信制御器は、前記アドレスを有するフィールドと、前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素の別のアドレスを有するフィールドとの間のフィールドから前記複数の変数レベルを得るように構成される、ＲＦ生成器。

【請求項32】

請求項２９に記載のＲＦ生成器であって、前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素は、前記ＲＦ生成器に結合したインピーダンス整合回路を含む、ＲＦ生成器。

【請求項33】

請求項２９に記載のＲＦ生成器であって、前記複数の変数レベルのそれぞれは、周波数レベル又は電力レベルである、ＲＦ生成器。

【請求項34】

請求項２９に記載のＲＦ生成器であって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームは、プロセッサによって受信され、前記通信制御器は、
前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素から前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを受信し、
前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを前記プロセッサに送信する
ように構成される、ＲＦ生成器。

【請求項35】

請求項２９に記載のＲＦ生成器であって、前記ＲＦ生成器は、前記通信制御器に結合したプロセッサを含み、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームのそれぞれは、前記ＲＦ生成器の前記プロセッサからデータを受信するフィールド、及び前記ＲＦ生成器の前記プロセッサに供給する前記複数の変数レベルを含むフィールドを有する、ＲＦ生成器。

【手続補正2】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0010】

複数状態のパルス化は、エッチング動作の間の堆積段階とエッチング動作の間のエッチング段階との間の平衡等、様々な段階の処理動作の間の平衡を達成するように実施される。例えば、２つのより低い電力レベルの複数状態のパルス化は、堆積段階を実施するために適用され、より高い２つの電力レベルの複数状態のパルス化は、エッチング段階を実施するように適用される。２つのより低い電力レベルは、より高い電力レベルよりも低い電力を有する。一例として、エッチング動作は、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）チャンバ内で実施される導体エッチングである。ＲＦ生成器は、インピーダンス整合回路を介して、トランス結合プラズマ（ＴＣＰ）電極又はバイアス電極等、ＩＣＰプラズマ・チャンバの電極に結合される。

【手続補正3】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１３３

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0133】

同様に、バイアスＲＦ生成器１０４は、伝送ケーブル・システム１３４を介して同期信号１４６及びソース変数を受信すると、ＲＦ信号１６８を生成する。ＲＦ信号１６８は、バイアスＲＦ生成器１０４によってプロセッサ１１８から受信した、周波数及び電力又は電圧等のバイアス変数を有する。ＲＦ信号１６８は、ＲＦケーブル１４２を介してバイアスＲＦ生成器１０４の出力１６０からバイアス整合器１１０の入力１６２に送信される。バイアス整合器１１０は、ＲＦ信号１６８を受信し、ＲＦ信号１６８のインピーダンスを修正し、バイアス整合器１１０の出力１６４に結合される負荷のインピーダンスと、バイアス整合器１１０の入力１６２に結合されるソースのインピーダンスとを整合する。バイアス整合器１１０は、ＲＦ信号１６８のインピーダンスを修正し、バイアス整合器１１０の出力１６４で修正ＲＦ信号１７０を出力する。修正ＲＦ信号１７０は、ＲＦ伝送線路１４４のＲＦロッドを介して出力１６４から基板１２８内に埋め込んだ下電極に送信される。

【手続補正4】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１３８

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0138】

図２は、システム２００の一実施形態の図であり、ＲＦ生成器２０２の詳細を示す。システム２００は、ＲＦ生成器２０２とホスト・コンピュータ１０６とを含む。システム２００は、整合器２１６とＲＦケーブル２１８とを更に含む。ＲＦ生成器２０２は、ソースＲＦ生成器１０２又はバイアスＲＦ生成器１０４の一例である（図１）。整合器２１６は、ソース整合器１０８又はバイアス整合器１１０の一例である（図１）。ＲＦケーブル２１８は、ＲＦケーブル１３８又はＲＦケーブル１４２の一例であり（図１）、ＲＦ電源２２２の出力２１７に結合される。ＲＦ生成器２０２は、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）２０４と、パラメータ制御器（ＰＲＳ１）２０６と、パラメータ制御器（ＰＲＳ２）２０８と、周波数制御器（ＦＣ）２１０と、ドライバ・システム２１２と、ＲＦ電源２２２とを含む。

【手続補正5】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１４０

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0140】

プロセッサ１１８は、伝送ケーブル・システム２１４を介してＤＳＰ２０４に結合される。伝送ケーブル・システム２１４は、伝送ケーブル・システム１３０又は伝送ケーブル・システム１３４（図１）の一例である。デジタル信号プロセッサ２０４は、パラメータ制御器２０６及び２０８、並びに周波数制御器２１０に結合される。パラメータ制御器２０６及び２０８は、ドライバ・システム２１２に結合され、ドライバ・システム２１２は、ＲＦ電源２２２に結合される。また、周波数制御器２１０は、ドライバ・システム２１２に結合される。ＲＦ電源２２２は、ＲＦケーブル２１８を介して整合器２１６に結合される。

【手続補正6】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１４２

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0142】

また、変数の受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号２２０の状態Ｓ２の電力レベル又は電圧レベル等のパラメータをパラメータ制御器２０８に供給し、パラメータ制御器２０８のメモリ・デバイス内に状態Ｓ２のパラメータを記憶する。同様に、変数を受信すると、ＤＳＰ２０４は、周波数レベルを周波数制御器２１０に供給し、周波数制御器２１０のメモリ・デバイス内に記憶する。

【手続補正7】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１４７

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0147】

同様に、同期信号１４６を受信すると、同期信号１４６の各サイクルの間、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ２の命令信号をパラメータ制御器２０８に送信する。例えば、ＤＳＰ２０４は、状態Ｓ２の命令信号を、状態Ｓ１からの遷移時、又は状態Ｓ０から状態Ｓ２への遷移時にパラメータ制御器２０８に送信する。パラメータ制御器２０８に送信される状態Ｓ２の命令信号は、各サイクルの間の状態Ｓ２の時間期間を含み、パラメータ制御器２０８は、状態Ｓ２のパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に供給する。状態Ｓ２の命令信号を受信すると、パラメータ制御器２０８は、パラメータ制御器２０８のメモリ・デバイスから状態Ｓ２のパラメータ・レベルにアクセスし、状態Ｓ２の時間期間に関するパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に送信する。例えば、パラメータ制御器２０８は、状態Ｓ１からの遷移時、又は状態Ｓ０から状態Ｓ２への遷移時に、状態Ｓ２のパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に送信する。状態Ｓ２の時間期間の後、同期信号１４６のサイクルの間、パラメータ制御器２０８は、状態Ｓ２のパラメータ・レベルをドライバ・システム２１２に送信しない。

【手続補正8】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１６０

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0160】

本明細書で説明する同期信号の各サイクルは、周期的に繰り返される。例えば、同期信号のサイクル２が後に続き、同期信号のサイクル１に連続し、同期信号のサイクル１が後に続き、同期信号のサイクル０に連続する。

【手続補正9】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１６７

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0167】

図３Ｃは、一実施形態のグラフ３０８であり、ＲＦ信号であるＲＦ信号１６８（図１）のパラメータ３１０対時間ｔを示す。パラメータ３１０は、ｙ軸上でグラフ化され、時間ｔは、ｘ軸上でグラフ化される。パラメータ３１０は、同期信号３０２と同期する状態でパラメータ・レベル０とＰＲ１とＰＲ２との間で周期的に遷移する。例えば、パラメータ３１０は、同期信号３０２のサイクル１の間、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で遷移する。例示すると、パラメータ３１０は、時間ｔ０から時間ｔ２まで状態Ｓ０のインスタンスの間、パラメータ・レベル０を有し、時間ｔ２から時間ｔ８まで状態Ｓ２のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ２を有し、時間ｔ８から時間ｔ１０まで状態Ｓ１のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ１を有する。０、ＰＲ２及びＰＲ１のパラメータ・レベルは、同期信号３０２のサイクル２の間繰り返される。同期信号４０２のサイクル１の間、パラメータ３１０は、時間ｔ０でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移し、時間ｔ２でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ８でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ１０でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、パラメータ３１０は、やはり、時間ｔ１０でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移し、時間ｔ１２でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ１８でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ２０でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。

【手続補正10】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１７３

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0173】

一実施形態では、同期信号３０２に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号３０２は、第１の伝送ケーブルは、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、３つの論理レベルの間で同様に周期的に遷移し、パラメータ３１０は、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間を遷移する。例えば、同期信号３０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ０で論理レベル１から論理レベル０に遷移し、時間ｔ２で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ８で論理レベル２から論理レベル１に遷移する。論理レベル２は、論理レベル１よりも大きい。例示すると、論理レベル２は、論理レベル１よりも大きいＤＣ電圧を有する。同期信号３０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１０で論理レベル１から論理レベル０に遷移し、時間ｔ１２で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ１８で論理レベル２から論理レベル１に遷移する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、パラメータ３１０のＳ０、Ｓ２及びＳ１の時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、パラメータ３１０の状態Ｓ０の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル０の時間期間と同じであり、パラメータ３１０の状態Ｓ１の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル１の時間期間と同じであり、パラメータ３１０の状態Ｓ２の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル２の時間期間と同じである。

【手続補正11】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１７６

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0176】

図４Ｃは、一実施形態のグラフ４００であり、ＲＦ信号であるＲＦ信号１６８のパラメータ４０２対時間ｔを示す（図１）。パラメータ４０２は、ｙ軸上でグラフ化され、時間ｔは、ｘ軸上でグラフ化される。パラメータ４０２は、同期信号３０２と同期する状態でパラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で周期的に遷移する。例えば、パラメータ４０２は、同期信号３０２のサイクル１の間、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で遷移し、再度、同期信号３０２のサイクル２の間、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で遷移する。例示すると、パラメータ４０２は、時間ｔ０から時間ｔ２まで状態Ｓ０のインスタンスの間、パラメータ・レベル０を有し、時間ｔ２から時間ｔ８まで状態Ｓ２のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ２を有し、時間ｔ８から時間ｔ９まで状態Ｓ１のインスタンスの間、パラメータ・レベルＰＲ１を有し、時間ｔ９から時間ｔ１０まで状態Ｓ０の別のインスタンスの間、パラメータ・レベル０を有する。０、ＰＲ２及びＰＲ１のパラメータ・レベルは、同期信号３０２のサイクル２の間繰り返される。同期信号３０２のサイクル１の間、パラメータ４０２は、時間ｔ２でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ８でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ９でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。同期信号３１０のサイクル２の間、パラメータ４０２は、やはり、時間ｔ１２でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ１８でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ１９でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。

【手続補正12】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１８３

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0183】

一実施形態では、同期信号３０２に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号３０２は、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、３つの論理レベルの間で同様に周期的に遷移し、パラメータ４０２は、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間を遷移する。例えば、同期信号３０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ２で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ８で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ９で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１２で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ１８で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ１９で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、パラメータ４０２のＳ０、Ｓ２及びＳ１の時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、パラメータ４０２の状態Ｓ０の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル０の時間期間と同じであり、パラメータ４０２の状態Ｓ１の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル１の時間期間と同じであり、パラメータ４０２の状態Ｓ２の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル２の時間期間と同じである。

【手続補正13】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１８５

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0185】

同期信号５０２は、７０％のデューティ・サイクルを有する。例えば、同期信号５０２は、時間ｔ０から時間ｔ７まで論理レベル１を有する。同期信号５０２は、時間ｔ７から時間ｔ１０まで論理レベル０を有し、時間ｔ１０から時間ｔ１７まで論理レベル１を有し、時間ｔ１７から時間ｔ２０まで論理レベル０を有する。

【手続補正14】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１８９

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0189】

パラメータ５０６は、同期信号５０２と同期する状態でパラメータ・レベル０とＰＲ１とＰＲ２との間で周期的に遷移する。例えば、パラメータ５０６は、同期信号５０２のサイクル１の間、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で遷移し、やはり、同期信号５０２のサイクル２の間、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間で遷移する。例示すると、パラメータ５０６は、時間ｔ０から時間ｔ３まで状態Ｓ０のインスタンスの間、パラメータ・レベル０を有し、時間ｔ３から時間ｔ８まで状態Ｓ２の間、パラメータ・レベルＰＲ２を有し、時間ｔ８から時間ｔ９まで状態Ｓ１の別の間、パラメータ・レベルＰＲ１を有し、時間ｔ９から時間ｔ１０まで状態Ｓ０の別のインスタンスの間、パラメータ・レベル０を有する。パラメータ５０６は、同期信号５０２のサイクル２の間、状態Ｓ０、Ｓ２、Ｓ１及びＳ０の発生シーケンスを繰り返す。同期信号５０２のサイクル１の間、パラメータ５０６は、時間ｔ３でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ８でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ９でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。パラメータ５０６は、同期信号５０２のサイクル２の間、パラメータ・レベル０、ＰＲ２及びＰＲ１の間の遷移を繰り返す。

【手続補正15】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１９０

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0190】

一実施形態では、同期信号５０２に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号５０２は、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、３つの論理レベルの間を同様に周期的に遷移し、パラメータ５０６は、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間を遷移する。例えば、同期信号５０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ３で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ８で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ９で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。同期信号５０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１３で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ１８で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ１９で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、パラメータ５０６のＳ０、Ｓ２及びＳ１の時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、パラメータ５０６の状態Ｓ０の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル０の時間期間と同じであり、パラメータ５０６の状態Ｓ２の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル２の時間期間と同じであり、パラメータ５０６の状態Ｓ１の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル１の時間期間と同じである。

【手続補正16】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１９３

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0193】

別の例として、時間ｔ３とｔ５との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ５０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、時間ｔ３とｔ５との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ５１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ３を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ３は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１及びＰＳ２のそれぞれとは異なる。また別の例として、時間ｔ５とｔ８との間の時間期間の間、ソースＲＦ信号のパラメータ５０６のパラメータ・レベルは、ＰＲ２であり、時間ｔ５とｔ８との間の時間期間の間、バイアスＲＦ信号のパラメータ５１０のパラメータ・レベルは、ＰＲ１であり、別のプラズマ・インピーダンス状態ＰＳ４を規定し、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ４は、プラズマ・インピーダンス状態ＰＳ１、ＰＳ２及びＰＳ３のそれぞれとは異なる。

【手続補正17】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２０２

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0202】

パラメータ６０６は、同期信号６０２と同期する状態でパラメータ・レベルＰＲ２とＰＲ１と０との間で周期的に遷移する。例えば、パラメータ６０６は、同期信号６０２のサイクル１の間、パラメータ・レベルＰＲ２とＰＲ１と０との間で遷移し、やはり、同期信号６０２のサイクル２の間、パラメータ・レベルＰＲ２とＰＲ１と０との間で遷移する。例示すると、パラメータ６０６は、時間ｔ０から時間ｔ３まで状態Ｓ２の間、パラメータ・レベルＰＲ２を有し、時間ｔ３から時間ｔ７まで状態Ｓ１の間、パラメータ・レベルＰＲ１を有し、時間ｔ７から時間ｔ１０まで状態Ｓ０の間、パラメータ・レベル０を有する。パラメータ６０６は、同期信号６０２のサイクル２の間、状態Ｓ２、Ｓ１及びＳ０の発生シーケンスを繰り返す。また、同期信号６０２のサイクル１の間、パラメータ６０６は、時間ｔ０でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ３でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ７でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。パラメータ６０６は、同期信号６０２のサイクル２の間、パラメータ・レベルＰＲ２、ＰＲ１及び０の間の遷移を繰り返す。例えば、同期信号６０２のサイクル２の間、パラメータ６０６は、時間ｔ１０でパラメータ・レベル０からパラメータ・レベルＰＲ２に遷移し、時間ｔ１３でパラメータ・レベルＰＲ２からパラメータ・レベルＰＲ１に遷移し、時間ｔ１７でパラメータ・レベルＰＲ１からパラメータ・レベル０に遷移する。

【手続補正18】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２０３

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0203】

一実施形態では、同期信号６０２に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号６０２は、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、３つの論理レベルの間で同様に周期的に遷移し、パラメータ６０６は、パラメータ・レベル０とＰＲ２とＰＲ１との間を遷移する。例えば、同期信号６０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ０で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ３で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ７で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。同期信号６０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１０で論理レベル０から論理レベル２に遷移し、時間ｔ１３で論理レベル２から論理レベル１に遷移し、時間ｔ１７で論理レベル１から論理レベル０に遷移する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、パラメータ６０６のＳ２、Ｓ１及びＳ０の時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、パラメータ６０６の状態Ｓ０の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル０の時間期間と同じであり、パラメータ６０６の状態Ｓ２の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル２の時間期間と同じであり、パラメータ６０６の状態Ｓ１の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル１の時間期間と同じである。

【手続補正19】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２０９

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0209】

一実施形態では、同期信号６０２に加えて、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４を介してプロセッサ１１８からＤＳＰ２０４によって受信される。例えば、同期信号６０２は、伝送ケーブル・システム２１４の第１の伝送ケーブルを介して受信し、デジタル・パルス信号は、伝送ケーブル・システム２１４の第２の伝送ケーブルを介して受信する。デジタル・パルス信号は、３つの論理レベルの間で同様に周期的に遷移し、パラメータ６１０は、パラメータ・レベル０とＰＲ１とＰＲ２との間を遷移する。例えば、同期信号６０２のサイクル１の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１で論理レベル０から論理レベル１に遷移し、時間ｔ５で論理レベル１から論理レベル２に遷移し、時間ｔ８で論理レベル２から論理レベル１に遷移する。同期信号６０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１１で論理レベル０から論理レベル１に遷移し、時間ｔ１５で論理レベル１から論理レベル２に遷移し、時間ｔ１８で論理レベル２から論理レベル１に遷移する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、パラメータ６１０のＳ０、Ｓ２及びＳ１の時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、パラメータ６１０の状態Ｓ０の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル０の時間期間と同じであり、パラメータ６１０の状態Ｓ２の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル２の時間期間と同じであり、パラメータ６１０の状態Ｓ１の時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル１の時間期間と同じである。

【手続補正20】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２１０

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0210】

一実施形態では、パラメータ３１０（図３Ｃ）、４０２（図４Ｃ）、５１０（図５Ｃ）及び６１０（図６Ｃ）のいずれかに対し、パラメータ・レベルＰＲ１ではなく、パラメータ・レベルＰＲ３が使用される。パラメータ・レベルＰＲ３は、パラメータ・レベルＰＲ１よりも大きいか又は小さい。同様に、パラメータ３１０、４０２、５１０及び６１０のいずれかに対し、パラメータ・レベルＰＲ２ではなく、パラメータ・レベルＰＲ４が使用される。パラメータ・レベルＰＲ４は、パラメータ・レベルＰＲ２よりも大きいか又は小さい。

【手続補正21】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２１１

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0211】

図６Ｄは、ソースＲＦ生成器とバイアスＲＦ生成器との間の選択的同期によるオンオフ時間修正に対する一実施形態の図である。図６Ｄに関して図示するように、ソースＲＦ生成器又はバイアスＲＦ生成器等の第１のＲＦ生成器が生成するＲＦ信号をオンにする際、バイアスＲＦ生成器又はソースＲＦ生成器等の第２のＲＦ生成器と比較して、時間ｔ１から時間ｔ２まで時間遅延がある。また、第１のＲＦ生成器が供給されるＲＦ電力がオフになる時間は、時間ｔ４から時間ｔ３に前進している。したがって、２つのプラズマ・インピーダンス状態Ｓ１及びＳ０ではなく、６又は８又は１０又は２０個のプラズマ・インピーダンス状態等、３つ以上のプラズマ・インピーダンス状態が生成される。

【手続補正22】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２１６

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0216】

また、状態Ｓ１ａからＳｎａのためのパラメータ・レベルの受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号７１２の状態Ｓ２ａの電力レベル又は電圧レベル等のパラメータ・レベルをパラメータ制御器ＰＲＳ２ａに供給し、パラメータ制御器ＰＲＳ２ａのメモリ・デバイス内に状態Ｓ２ａのパラメータ・レベルを記憶する。更に、状態Ｓ１ａからＳｎａのためのパラメータ・レベルの受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号７１２の状態Ｓ３ａの電力レベル又は電圧レベル等のパラメータ・レベルをパラメータ制御器ＰＲＳ３ａに供給し、パラメータ制御器Ｓ３ａのメモリ・デバイス内に状態ＰＲＳ３ａのパラメータを記憶する。状態Ｓ１ａからＳｎａのためのパラメータの受信に応じて、ＤＳＰ２０４は、ＲＦ信号７１２の状態Ｓｎａの電力レベル又は電圧レベル等のパラメータ・レベルをパラメータ制御器ＰＲＳｎａに供給し、パラメータ制御器ＰＲＳｎａのメモリ・デバイス内に状態Ｓｎａのパラメータを記憶する。同様に、状態Ｓ１ａからＳｎａのパラメータを受信すると、ＤＳＰ２０４は、全ての状態Ｓ１ａからＳｎａのための単一周波数レベル等の周波数レベルを周波数制御器２１０に供給し、周波数制御器２１０のメモリ・デバイス内に記憶する。

【手続補正23】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２２６

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0226】

更に、状態Ｓｎａのパラメータ・レベル及び周波数レベルの受信に応じて、ドライバ・システム７１０は、状態Ｓｎａの時間期間の間で状態Ｓｎａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、状態Ｓ（ｎ－１）ａ若しくは状態Ｓ０若しくは状態Ｓ３ａ若しくは状態Ｓ２ａ等、状態Ｓｎａとは異なる又は状態Ｓｎａ以外の状態から状態Ｓｎａに遷移する際、状態Ｓｎａのパラメータ・レベル及び周波数レベルを受信すると、ドライバ・システム７１０は、状態Ｓｎａの時間期間の間で状態Ｓｎａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、状態Ｓｎａの駆動信号をドライバ・システム７１０から受信すると、ＲＦ信号７１２の状態Ｓｎａを生成する。例えば、状態Ｓｎａの駆動信号をドライバ・システム７１０から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号７１２を状態Ｓｎａとは異なる状態から状態Ｓｎａに遷移させる。ＲＦ信号７１２の状態Ｓｎａは、状態Ｓｎａの時間期間の間、状態Ｓｎａのパラメータ・レベル及び周波数レベルを有する。

【手続補正24】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２２９

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0229】

状態Ｓ１ａからＳｎａのパラメータ・レベルを受信しない場合、ドライバ・システム７１０は、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信しない。状態なしの時間期間の間に駆動信号を受信しない場合、ＲＦ電源２２２は、状態なしの間、ゼロのパラメータ・レベルを有するＲＦ信号７１２を生成する。例えば、駆動信号を受信しない場合、電源２２２は、ＲＦ信号７１２を、状態Ｓ１ａ若しくは状態Ｓ２ａ若しくは状態Ｓｎａ等、状態なしＳ０とは異なる又は状態なしＳ０以外の状態から状態なしＳ０に遷移させる。

【手続補正25】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２４９

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0249】

状態Ｓ１ａからＳｎａの周波数レベル及びパラメータ・レベルを受信しない場合、ドライバ・システム８１０は、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信しない。状態なしの時間期間の間に駆動信号を受信しない場合、ＲＦ電源２２２は、状態なしの間、ゼロのパラメータ・レベルを有するＲＦ信号８１２を生成する。例えば、駆動信号を受信しない場合、電源２２２は、ＲＦ信号８１２を、状態Ｓ１ａ若しくは状態Ｓ２ａ若しくは状態Ｓｎａ等、状態なしＳ０とは異なる又は状態なしＳ０以外の状態から状態なしＳ０に遷移させる。

【手続補正26】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２５８

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0258】

図７及び図８を参照して上記で説明したように、状態Ｓ１ａからＳｎａの周波数レベル及び状態Ｓ１ａからＳｎａのパラメータ・レベルの受信に応じて、ドライバ・システム９１０は、周波数レベルの状態Ｓ１ａからＳｎａ及びパラメータ・レベルの状態Ｓ１ａからＳｎａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。例えば、状態Ｓ（ｎ－１）ａ若しくは状態Ｓ０等、状態Ｓｎａとは異なる又は状態Ｓｎａ以外の状態から状態Ｓｎａに遷移する際、状態Ｓｎａの周波数レベル及びパラメータ・レベルを受信すると、ドライバ・システム９１０は、状態Ｓｎａの時間期間の間で周波数レベルの状態Ｓｎａ及びパラメータ・レベルの状態Ｓｎａの駆動信号を生成し、駆動信号をＲＦ電源２２２に送信する。ＲＦ電源２２２は、ドライバ・システム９１０から周波数レベル及びパラメータ・レベルの状態Ｓｎａの駆動信号を受信すると、ＲＦ信号９１２の周波数レベルの状態Ｓｎａ及びパラメータ・レベルの状態Ｓｎａを生成する。例えば、周波数レベルの状態Ｓｎａの駆動信号をドライバ・システム９１０から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号９１２の周波数レベルを状態Ｓｎａとは異なる状態又は状態Ｓｎａ以外の状態から状態Ｓｎａに遷移させる。ＲＦ信号９１２の状態Ｓｎａは、状態Ｓｎａの周波数レベルを有する。パラメータ・レベルの状態Ｓｎａの駆動信号をドライバ・システム９１０から受信すると、ＲＦ電源２２２は、ＲＦ信号９１２のパラメータ・レベルを状態Ｓｎａとは異なる状態から状態Ｓｎａに遷移させる。ＲＦ信号９１２の状態Ｓｎａは、状態Ｓｎａのパラメータ・レベルを有する。

【手続補正27】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２８３

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0283】

変数１０２２は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶ６ａとＶ８ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１０２２は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶ６ａとＶ８ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、変数レベルＶ６ａとＶ８ａとＶ４ａとＶ２ａとの間で遷移する。例示すると、変数１０２２は、時間ｔ０から時間ｔ２．５まで状態Ｓ３ａの間、変数レベルＶ６ａを有し、時間ｔ２．５から時間ｔ５まで状態Ｓ４ａの間、変数レベルＶ８ａを有し、時間ｔ５から時間ｔ７．５まで状態Ｓ２ａの間、変数レベルＶ４ａを有し、時間ｔ７．５から時間ｔ１０まで状態Ｓ１ａの間、変数レベルＶ２ａを有する。同期信号３０２のサイクル１の間、変数１０２２は、時間ｔ０で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ２．５で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ７．５で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａに遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、変数１０２２は、やはり、時間ｔ１０で変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ１２．５で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ１５で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ１７．５で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａに遷移する。

【手続補正28】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２９１

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0291】

変数１０３４は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶ８ａとＶ１６ａとＶ１４ａとＶ１２ａとＶ１０ａとＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとゼロとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１０３４は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶ１８ａとＶ１６ａとＶ１４ａとＶ１２ａとＶ１０ａとＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとゼロとの間で遷移し、やはり、同期信号３０２のサイクル２の間、変数レベルＶ１８ａとＶ１６ａとＶ１４ａとＶ１２ａとＶ１０ａとＶ８ａとＶ６ａとＶ４ａとＶ２ａとゼロとの間で遷移する。例示すると、変数１０３４は、時間ｔ０から時間ｔ１まで状態Ｓ９ａの間、変数レベルＶ１８ａを有し、時間ｔ１から時間ｔ２まで状態Ｓ８ａの間、変数レベルＶ１６ａを有し、時間ｔ２から時間ｔ３まで状態Ｓ７ａの間、変数レベルＶ１４ａを有し、時間ｔ３から時間ｔ４まで状態Ｓ６ａの間、変数レベルＶ１２ａを有し、時間ｔ４から時間ｔ５まで状態Ｓ５ａの間、変数レベルＶ１０ａを有し、時間ｔ５から時間ｔ６まで状態Ｓ４ａの間、変数レベルＶ８ａを有し、時間ｔ６から時間ｔ７まで状態Ｓ３ａの間、変数レベルＶ６ａを有し、時間ｔ７から時間ｔ８まで状態Ｓ２ａの間、変数レベルＶ４ａを有し、時間ｔ８から時間ｔ９まで状態Ｓ１ａの間、変数レベルＶ２ａを有し、時間ｔ９から時間ｔ１０まで状態Ｓ０の間、ゼロの変数レベルを有する。同期信号３０２のサイクル１の間、変数１０３４は、時間ｔ０でゼロの変数レベルから変数レベルＶ１８ａに遷移し、時間ｔ１で変数レベルＶ１８ａから変数レベルＶ１６ａに遷移し、時間ｔ２で変数レベルＶ１６ａから変数レベルＶ１４ａに遷移し、時間ｔ３で変数レベルＶ１４ａから変数レベルＶ１２ａに遷移し、時間ｔ４で変数レベルＶ１２ａから変数レベルＶ１０ａに遷移し、時間ｔ５で変数レベルＶ１０ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ６で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ７で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ８で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａに遷移し、時間ｔ９で変数レベルＶ２ａからゼロの変数レベルに遷移する。同期信号３０２のサイクル２の間、変数１０３４は、時間ｔ１０でゼロの変数レベルから変数レベルＶ１８ａに遷移し、時間ｔ１１で変数レベルＶ１８ａから変数レベルＶ１６ａに遷移し、時間ｔ１２で変数レベルＶ１６ａから変数レベルＶ１４ａに遷移し、時間ｔ１３で変数レベルＶ１４ａから変数レベルＶ１２ａに遷移し、時間ｔ１４で変数レベルＶ１２ａから変数レベルＶ１０ａに遷移し、時間ｔ１５で変数レベルＶ１０ａから変数レベルＶ８ａに遷移し、時間ｔ１６で変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａに遷移し、時間ｔ１７で変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａに遷移し、時間ｔ１８で変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａに遷移する。時間ｔ１９で変数レベルＶ２ａからゼロの変数レベルに遷移する。

【手続補正29】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２９４

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0294】

図１０Ｊは、複数の電力制御器及び複数の自動周波数同調器（ＡＦＴ）を有するＲＦ生成器１０７０が提供される一実施形態の図である。ＲＦ生成器１０７０は、ソースＲＦ生成器１０２又はバイアスＲＦ生成器１０４の一例である（図１）。ＲＦ生成器１０７０は、ＤＳＰ２０４と、ＲＦ電源２２２とを更に含む。ＤＳＰ２０４は、受信器の一例である。電力制御器は、電力制御器ＰＷＲ_S(n-A)と、別の電力制御器ＰＷＲ_S(n-1)とを、電力制御器ＰＷＲ_Snが含まれるまで、以下同様に含む。ＡＦＴは、自動周波数同調器ＡＦＴ_S(n-A)と、別の自動周波数同調器ＡＦＴ_S(n-1)とを、自動周波数同調器ＡＦＴ_Snが含まれるまで、以下同様に含む。本明細書で使用する自動周波数同調器は、周波数制御器でもある。

【手続補正30】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０３０３

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0303】

図１０Ｎは、４つの状態Ｓ（ｎ－３）、Ｓ（ｎ－２）、Ｓ（ｎ－１）及びＳｎを有するまた別のＲＦ信号を示す一実施形態の図である。図１０Ｎに示すＲＦ信号は、状態Ｓ（ｎ－２）の間のＲＦ信号が、状態Ｓ（ｎ－３）の間の電力レベルＰＬ_S(n-3)よりも高い電力レベルＰＬ_S(n-2)を有することを除き、段階的に減少する信号である。

【手続補正31】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０３０５

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0305】

図１０Ｊに示すＲＦ生成器のプロセッサが受信したクロック信号の各クロック・サイクルの間、電力レベルＰＬ_S(n-3)からＰＬ_Snまで繰り返される。複数のクロック・サイクルの間、電力レベルＰＬ_S(n-3)からＰＬ_Snが繰り返される。クロック信号は、クロック・ソース、又はホスト・コンピュータのプロセッサ、又はホスト制御器、又はＡＤＶＣＩから受信する。クロック信号は、クロック・ソース、又はホスト・コンピュータのプロセッサ、又はホスト制御器のプロセッサ、又はＡＤＶＣＩによって生成される。同様に、電力レベルＰＬ_S(n-A)からＰＬ_Snは、クロック・サイクルの間に生じる状態Ｓ（ｎ－Ａ）からＳｎまでの間に繰り返される。複数のクロック・サイクルの間、電力レベルＰＬ_S(n-A)からＰＬ_Snまでが繰り返される。電力レベルＰＬ_S(n-A)からＰＬ_Snは、クロック・サイクルのインスタンスの間に一度生じ、クロック・サイクルのそれぞれの次のインスタンスの間に繰り返される。

【手続補正32】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０３０６

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0306】

図１０Ｂ～図１０Ｉのいずれかに示すＲＦ信号は、ソースＲＦ生成器１０２又はバイアスＲＦ生成器１０４（図１）が、ＲＦ生成器が生成する正弦曲線ＲＦ信号の包絡線であることに留意されたい。

【手続補正33】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０３１１

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0311】

図１１Ａは、プラズマ・システム１１００の一実施形態の図であり、状態遷移の勾配制御を示す。プラズマ・システム１１００は、ＲＦ生成器１１０２とホスト・コンピュータ１０６とを含む。ＲＦ生成器１１０２は、ソースＲＦ生成器１０２（図１）又はバイアスＲＦ生成器１０４（図１）の一例である。ＲＦ生成器１１０２は、ＤＳＰ２０４と、パラメータ制御器ＰＲＳ１ａからＰＲＳｎａと、複数の遷移パラメータ制御器ＰＲＳＴ１ａ、ＰＲＴＳ２ａ、ＰＲＳＴ（ｎ－１）ａ及びＰＲＳＴｎａとを含み、ｎは４以上の整数である。例えば、ｎは、４以上である。一例として、ＲＦ生成器１１０２は、４つの遷移パラメータ制御器を含み、１つの遷移パラメータ制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の、パラメータの状態Ｓ１ａとＳ２ａとの間の状態遷移ＳＴ１ａのためのものであり、別の遷移パラメータ制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の、パラメータの状態Ｓ２ａとＳ３ａとの間の状態遷移ＳＴ２ａのためのものであり、また別の遷移パラメータ制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の、パラメータの状態Ｓ（ｎ－１）ａとＳｎａとの間の状態遷移ＳＴ（ｎ－１）ａのためのものであり、別の遷移パラメータ制御器は、同期信号の現在のサイクルの間のパラメータの状態Ｓｎａと同期信号の次のサイクルの間のパラメータの状態Ｓ１ａとの間の状態遷移ＳＴｎａのためのものである。現在のサイクルは、次のサイクルに先行する。例えば、現在のサイクルと次のサイクルの間、同期信号のサイクルはない。別の例として、ＲＦ生成器１１０２は、５つの遷移パラメータ制御器を含む。

【手続補正34】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０３１２

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0312】

ＲＦ生成器１１０２は、周波数制御器ＦＣＳ１ａからＦＣＳｎａと、複数の遷移周波数制御器ＦＣＳＴ１ａ、ＦＣＴＳ２ａ、ＦＣＳＴ（ｎ－１）ａ及びＦＣＳＴｎａとを更に含み、ｎは４以上の整数である。例えば、ｎは、４以上である。一例として、ＲＦ生成器１１０２は、４つの遷移周波数制御器を含み、１つの遷移周波数制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の、周波数の状態Ｓ１ａとＳ２ａとの間の状態遷移ＳＴ１ａのためのものであり、別の遷移周波数制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の、周波数の状態Ｓ２ａとＳ３ａとの間の状態遷移ＳＴ２ａのためのものであり、また別の遷移周波数制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の、周波数の状態Ｓ（ｎ－１）ａとＳｎａとの間の状態遷移ＳＴ（ｎ－１）ａのためのものであり、別の遷移周波数制御器は、同期信号の現在のサイクルの間の周波数の状態Ｓｎａと同期信号の次のサイクルの間の周波数の状態Ｓ１ａとの間の状態遷移ＳＴｎａのためのものである。別の例として、ＲＦ生成器１１０２は、５つの遷移周波数制御器を含む。ＲＦ生成器１１０２は、ドライバ・システム１１０４と、ＲＦ電源２２２とを更に含む。

【手続補正35】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０３４７

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0347】

実施形態では、同期信号３０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１１．５で論理レベル８から論理レベル６までの遷移を開始し、時間ｔ１２．５で遷移を終了する。また、同期信号３０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１４で論理レベル６から論理レベル４までの遷移を開始し、時間ｔ１５で遷移を終了する。同期信号３０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１６．５で論理レベル４から論理レベル２までの遷移を開始し、時間ｔ１７．５で遷移を終了する。また、同期信号３０２のサイクル２の間、デジタル・パルス信号は、時間ｔ１９で論理レベル２から論理レベル８までの遷移を開始し、時間ｔ２０で遷移を終了する。デジタル・パルス信号を受信すると、ＤＳＰ２０４は、デジタル・パルス信号から、変数１２０６の状態Ｓ１ａからＳ４ａ及び状態遷移ＳＴ１ａからＳＴ４ａの時間期間を識別し、これらの時間期間を有する命令信号を生成する。例えば、変数１２０６の状態遷移ＳＴ１ａの時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル４から論理レベル２への遷移時間期間と同じであり、変数１２０６の状態ＳＴ２ａの時間期間は、デジタル・パルス信号の論理レベル６から論理レベル４への遷移時間期間と同じである。

【手続補正36】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０３６１

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0361】

変数１２５２は、同期信号３０２と同期する状態で変数レベルＶＲａとＶＳａとの間で周期的に遷移する。例えば、変数１２５２は、同期信号３０２のサイクル１の間、変数レベルＶＲａとＶＳａとの間で遷移し、やはり、サイクル２等の同期信号３０２（図１２Ａ）の残りのサイクルの間、変数レベルＶＲａとＶＳａとの間で遷移する。例示すると、変数１２５２は、時間ｔ１から時間ｔ２．５までＲＦ信号１１０６の変数の状態１２１８の間、変数レベルＶＲａを有し、時間ｔ２．５から時間ｔ３．５まで変数の状態遷移１２６０の間、１つ又は複数の変数値を有し、時間ｔ３．５から時間ｔ５まで状態１２１６の間、変数レベルＶＳａを有する。

【手続補正37】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０３８９

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0389】

プロセッサ１１８は、プロセッサ・データ１３１１を通信制御器１３０２に送信する。通信制御器１３０２は、プロセッサ・データ１３１１を受信し、ＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、同期信号１４６のタイミング情報及びプロセッサ・データ１３１１のソースＲＦ生成器変数情報を埋め込み、同期信号１４６のタイミング情報及びソースＲＦ生成器変数情報を有する１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２を生成し、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０４を介してソースＲＦ生成器１０２のポート１３０８に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２を送信する。ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器は、ポート１３０８を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２を受信し、ソースＲＦ生成器変数情報を識別し、ソースＲＦ生成器測定情報がソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４から受信するまで図１３Ａを参照して上記で説明したものと同じ機能を実施する。ソースＲＦ生成器測定情報を受信すると、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器は、ソースＲＦ生成器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２内に埋め込み、ソースＲＦ生成器１０２のポート１３０８及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１３０４を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２をホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２に送信する。

【手続補正38】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０３９３

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0393】

一実施形態では、ソースＲＦ生成器１０２内に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２の記憶域がなく、バイアスＲＦ生成器１０４内に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５４の記憶域がないことに留意されたい。例えば、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２は、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器のメモリ・デバイス内で一定の移動状態にあり、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５４は、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器のメモリ・デバイス内で一定の移動状態にある。例示すると、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５２は、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器のレジスタ列の一方のレジスタからもう一方のレジスタへの移動等、メモリ・デバイス内で移動する一方で、ソースＲＦ生成器変数情報及びソースＲＦ生成器測定情報は、ソースＲＦ生成器１０２の通信制御器とソースＲＦ生成器１０２のＤＳＰ２０４との間を伝送される。別の例示として、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１３５４は、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器のレジスタ列の一方のレジスタからもう一方のレジスタへの移動等、メモリ・デバイス内で移動する一方で、バイアスＲＦ生成器変数情報及びバイアスＲＦ生成器測定情報は、バイアスＲＦ生成器１０４の通信制御器とバイアスＲＦ生成器１０４のＤＳＰ２０４との間を伝送される。

【手続補正39】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０３９６

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0396】

フィールド１４０１は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００の開始を識別するフレーム・デリミタの開始を含む。フィールド１４０２は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００のソース・アドレスを含む。ソース・アドレスの一例は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００を生成するホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２のアドレスである。ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００のフィールド１４０３は、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１４００をプラズマ・システムの様々な構成要素に循環させる順序を含む。順序の一例は、通信制御器１３０２からソースＲＦ生成器１０２に至り、ソースＲＦ生成器１０２からバイアスＲＦ生成器１０４に至り、バイアスＲＦ生成器１０４からソースＲＦ生成器１０２に戻り、ソースＲＦ生成器１０２からプロセッサ１１８に至るシーケンスを含む。順序の別の例は、通信制御器１３０２からソースＲＦ生成器１０２に至り、ソースＲＦ生成器１０２から通信制御器１３０２に戻るシーケンスを含む。

【手続補正40】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０４０５

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0405】

プロセッサ１１８は、プロセッサ・データ１５０１を送信し、プロセッサ・データ１５０１は、ソースＲＦ生成器１０２及びバイアスＲＦ生成器１０４のプロセッサ・データ１３０２（図１３Ａ）、並びにバイアス整合器データ又はソース整合器データ又はそれらの組合せ等の整合器データを含む。プロセッサ・データ１５０１は、通信制御器１３０２に送信される。ソース整合器データの一例は、ソース整合器１０８の１つ若しくは複数の構成要素の１つ又は複数の規格を含み、バイアス整合器データの一例は、バイアス整合器１１０の１つ若しくは複数の構成要素の１つ又は複数の規格を含む。ソース整合器１０８の１つ若しくは複数の構成要素の１つ又は複数の規格の例は、ソース整合器１０８のキャパシタの静電容量値、及びソース整合器１０８のインダクタのインダクタンス値を含む。バイアス整合器１１０の１つ若しくは複数の構成要素の１つ又は複数の規格の例は、バイアス整合器１１０のキャパシタの静電容量値、及びバイアス整合器１１０のインダクタのインダクタンス値を含む。

【手続補正41】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０４０８

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0408】

図１２Ｂを参照する別の例として、ＲＦ信号１５２の状態Ｓ４ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１５２の変数１２０６が変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａに遷移する時間ｔ０、及びＲＦ信号１５２の変数１２０６が変数レベルＶ８ａで留まる時間ｔ０とｔ１．５との間の時間期間を含む。ＲＦ信号１５２の変数１２０６の状態遷移ＳＴ３ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１５２の変数が変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａまでの遷移を開始する時間ｔ１．５、及びＲＦ信号１５２の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ２．５を含む。同様に、ＲＦ信号１５２の変数１２０６の状態遷移ＳＴ２ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１５２の変数１２０６が変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａまでの遷移を開始する時間ｔ４、及びＲＦ信号１５２の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ５を含み、ＲＦ信号１５２の変数１２０６の状態遷移ＳＴ１ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１５２の変数１２０６が変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａまでの遷移を開始する時間ｔ６．５、及びＲＦ信号１５２の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ７．５を含み、ＲＦ信号１５２の変数１２０６の状態遷移ＳＴ４ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１５２の変数１２０６が変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａまでの遷移を開始する時間ｔ９、及びＲＦ信号１５２の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ１０を含む。

【手続補正42】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０４１４

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0414】

図１２Ｂを参照する別の例として、ＲＦ信号１６８の状態Ｓ４ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１６８の変数１２０６が変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａに遷移する時間ｔ０、及びＲＦ信号１６８の変数１２０６が変数レベルＶ８ａで留まる時間ｔ０とｔ１．５との間の時間期間を含む。ＲＦ信号１６８の変数１２０６の状態遷移ＳＴ３ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１６８の変数が変数レベルＶ８ａから変数レベルＶ６ａまでの遷移を開始する時間ｔ１．５、及びＲＦ信号１６８の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ２．５を含む。同様に、ＲＦ信号１６８の変数１２０６の状態遷移ＳＴ２ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１６８の変数１２０６が変数レベルＶ６ａから変数レベルＶ４ａまでの遷移を開始する時間ｔ４、及びＲＦ信号１６８の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ５を含み、ＲＦ信号１６８の変数１２０６の状態遷移ＳＴ１ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１６８の変数１２０６が変数レベルＶ４ａから変数レベルＶ２ａへの遷移を開始する時間ｔ６．５、及びＲＦ信号１６８の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ７．５を含み、ＲＦ信号１６８の変数１２０６の状態遷移ＳＴ４ａのタイミング情報は、ＲＦ信号１６８の変数１２０６が変数レベルＶ２ａから変数レベルＶ８ａへの遷移を開始する時間ｔ９、及びＲＦ信号１６８の変数１２０６が遷移を停止する時間ｔ１０を含む。

【手続補正43】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０４１９

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0419】

ホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２にＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、ソースＲＦ生成器測定情報及びバイアスＲＦ生成器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５１２から得る又は抽出する。通信制御器１３０２は、ソースＲＦ生成器測定情報及びバイアスＲＦ生成器測定情報をプロセッサ１１８に供給する。

【手続補正44】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０４２１

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0421】

プロセッサ１１８は、プロセッサ・データ１５０１を通信制御器１３０２に送信する。通信制御器１３０２は、プロセッサ・データ１５０１を受信し、ＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、プロセッサ・データ１５０１の同期信号１４６のタイミング情報及びソース整合器データを埋め込み、同期信号１４６のタイミング情報及びソース整合器データを有する１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２を生成し、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０８を介してソース整合器１０８のポート１５０５に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２を送信する。ソース整合器１０８の通信制御器は、ポート１５０５を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２を受信し、ソース整合器データを識別し、ソース整合器測定情報がソース整合器１０８のプロセッサから受信するまで図１５Ａを参照して上記で説明したものと同じ機能を実施する。ソース整合器測定情報を受信すると、ソース整合器１０８の通信制御器は、ソース整合器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２内に埋め込み、ソース整合器１０８のポート１５０５及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０８を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５２をホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２に送信する。

【手続補正45】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０４２２

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0422】

同様に、通信制御器１３０２は、プロセッサ・データ１５０１を受信し、ＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルを適用し、プロセッサ・データ１５０１の同期信号１４６のタイミング情報及びバイアス整合器データを埋め込み、同期信号１４６のタイミング情報及びバイアス整合器データを有する１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４を生成し、ＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０４を介してバイアス整合器１１０のポート１５１０に１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４を送信する。バイアス整合器１１０の通信制御器は、ポート１５１０を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４を受信し、バイアス整合器データを識別し、バイアス整合器測定情報がバイアス整合器１１０のプロセッサから受信するまで図１５Ａを参照して上記で説明したものと同じ機能を実施する。バイアス整合器測定情報を受信すると、バイアス整合器１１０の通信制御器は、ソース整合器測定情報を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４内に埋め込み、バイアス整合器１１０のポート１５１０及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１５０４を介して１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１５５４をホスト・コンピュータ１０６の通信制御器１３０２に送信する。

【手続補正46】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０４３４

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0434】

フィールド１４１８は、フィールド１４０８、１４１０、１６０２、１６０６、１６０８、１４１４、１４１６、１６１０、１６１４、及び１６１６の１つ又は複数のためのＣＲＣを含む。例えば、ＣＲＣは、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００を受信した後、通信制御器１３０２（図１３Ａ）によって実施し、通信制御器１３０２が送信したフィールド１４０８内のソースＲＦ生成器変数情報が、通信制御器１３０２が受信したフィールド１４０８内のソースＲＦ生成器変数情報に一致するかどうかを決定し、ＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１６００の妥当性を決定する。

【手続補正47】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０４４３

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0443】

センサ１７１０は、上記で説明した状態の１つ又は複数に対する基準を測定し、基準をＤＳＰ２０４に供給する。ＤＳＰ２０４は、基準を通信制御器１７０４に供給する、又は基準からの因子を計算し、因子を通信制御器１７０４に供給する、又はそれらの組合せを行う。また、通信制御器１７０４は、ＤＳＰ２０４からデータを受信し、ＲＦ生成器１７０２のフィールド内のデータを１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２内に含める。例えば、通信制御器１７０４は、ＤＳＰ２０４から因子を受信し、因子を１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２内に埋め込み、ポート１７１４及びＥｔｈｅｒＣＡＴケーブル１７０６を介して因子を、プラズマ・システムのプロセッサ１１８又はソースＲＦ生成器１０２又はソース整合器１０８等のソース構成要素に送信する、又は１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２を、ポート１７１６を介してプラズマ・システムのソース整合器１０８又はバイアスＲＦ生成器１０４等の行先構成要素に送信する。例示すると、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２をプラズマ・システムのソース構成要素又は行先構成要素又はあらゆる他の構成要素等の構成要素に送信するため、通信制御器１７０４は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２の順序フィールド１４０３を読み取り、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２から構成要素のアドレスを識別する。更に例示すると、構成要素のアドレスを識別するため、通信制御器１７０４は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２内に記憶した行先構成要素のアドレスと、通信制御器１７０４のメモリ・デバイス内に予め記憶した構成要素のアドレスとを比較し、２つのアドレスが整合するかどうかを決定する。２つのアドレスが整合することを決定すると、通信制御器１７０４は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２から構成要素のアドレスを識別し、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２を構成要素に送信する。ソース構成要素は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２がＲＦ生成器１７０２によって受信される構成要素であり、行先構成要素は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２がＲＦ生成器１７０２によって送信される構成要素である。１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２がポート１７１６を介してプラズマ・システムの行先構成要素に送信されると、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１７１２は、その後、行先構成要素からポート１７１６を介して受信され、通信制御器１７０４によってポート１７１４を介して行先構成要素に送信される。

【手続補正48】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０４５０

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0450】

アドレスを識別すると、通信制御器１８１０は、データを識別し、データを１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４から抽出し、プロセッサ１８１２に供給する。一例として、整合器１８０２のプロセッサ１８１２に供給されるデータは、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４内の整合器１８０２のアドレスと、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４内の次のアドレスとの間のデータとして識別される。図１６に関して例示すると、フィールド１６０６内のソース整合器データは、フィールド１６０４内のソース整合器アドレスと、フィールド１４１２内のバイアスＲＦ生成器アドレスとの間である。プロセッサ１８１２に供給されるデータの一例は、フィールド１６０６のソース整合器データ、又はフィールド１６１４のバイアス整合器データを含む。通信制御器１８１０は、１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレーム１８２４からプロセッサ１８１２に供給すべきデータを抽出し（読み出す又は得る又はコピーする等）、データをプロセッサ１８１２に送信する。

【手続補正49】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０４９１

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0491】

図２６Ａは、固定周波数を伴う整合器同調方法を示すシステム２６００の一実施形態の図である。図２６Ａに関して示すシステム２６００は、システム２６００において、センサ１７１０がソースＲＦ生成器１０２の出力に結合されることを除き、図２３を参照して示す構成要素と同じ構成要素を有する。センサ１７１０は、ソースＲＦ生成器１０２に向かう反射電力を測定する。制御器ＣＴＲＬは、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の間、ソース整合器１０８を同調する。更に、制御器ＣＴＲＬは、残りの状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）からＳｎまでの間、ソースＲＦ生成器１０２の一定の周波数を維持する。一定の周波数は、ソースＲＦ生成器１０２に向かう反射電力の和

【数1】

が最小であるように、制御器ＣＴＲＬによって決定され、式中、Ｃｖは、状態の重みであり、Ｐｖは、ソースＲＦ生成器１０２に向かう、この状態の反射電力であり、ｖは、状態の状態数である。例えば、状態Ｓ（ｎ－Ａ）の状態数は１であり、状態Ｓ（ｎ－Ａ＋１）の状態数は２であり、状態Ｓｎの状態数がｗであるまで、以下同様であり、ｗは正の整数である。ソースＲＦ生成器１０２が複数状態モードで動作する場合、バイアスＲＦ生成器１０４は、連続波（ＣＷ）モード又は２つの状態又は複数状態モードで動作する。

【手続補正50】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０５３４

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0534】

上記実施形態を、理解を明確にするためにある程度詳細に説明してきたが、添付の特許請求の範囲内で特定の変更及び修正を実行し得ることは明らかであろう。したがって、本実施形態は、例示的であって、限定的と見なすべきではなく、実施形態は、本明細書で示した詳細に限定されず、添付の特許請求の範囲の範囲及び等価物内で修正してよい。本開示は以下の適用例を含む。
［適用例１］
複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成する方法であって、前記方法は、
周期的に繰り返す複数のサイクルを有する同期信号を受信することと、
第１の無線周波（ＲＦ）信号を第１のＲＦ生成器によって生成することであって、前記第１のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの１つのサイクルの中に少なくとも２つのパラメータ・レベルを含む、生成することと、
第２のＲＦ信号を第２のＲＦ生成器によって生成することであって、前記第２のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの中に少なくとも３つのパラメータ・レベルを含む、生成することと
を含む、方法。
［適用例２］
適用例１に記載の方法であって、
プラズマ・チャンバの第１の電極に結合したインピーダンス整合網に前記第１のＲＦ信号を供給することと、
前記プラズマ・チャンバの第２の電極に結合したインピーダンス整合網に前記第２のＲＦ信号を供給することと
を更に含む、方法。
［適用例３］
適用例１に記載の方法であって、前記同期信号は、デューティ・サイクルを有するデジタル・パルス信号であり、前記デューティ・サイクルは、前記複数のサイクルの間に繰り返される、方法。
［適用例４］
適用例１に記載の方法であって、前記同期信号は、前記複数のサイクルの間、第１の論理レベルと第２の論理レベルとの間を繰り返し遷移し、前記第１の論理レベルは、前記第２の論理レベルよりも大きい、方法。
［適用例５］
適用例１に記載の方法であって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１の正のパラメータ・レベル及び第２の正のパラメータ・レベルを含み、前記第１のＲＦ信号の前記第２の正のパラメータ・レベルは、前記第１のＲＦ信号の前記第１の正のパラメータ・レベルよりも大きく、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、ゼロのパラメータ・レベル、第１の正のパラメータ・レベル、及び第２の正のパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記第２の正のパラメータ・レベルは、前記第２のＲＦ信号の前記第１の正のパラメータ・レベルよりも小さい、方法。
［適用例６］
適用例１に記載の方法であって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルの１つと、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルの１つとの組合せは、プラズマ・インピーダンス状態を規定する、方法。
［適用例７］
適用例１に記載の方法であって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル及び第２のパラメータ・レベルを含む２つのパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル、第２のパラメータ・レベル、及び第３のパラメータ・レベルを含む３つのパラメータ・レベルを含み、前記第１のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、２つの遷移時間で、前記第１のパラメータ・レベルと前記第２のパラメータ・レベルとの間で遷移し、前記第２のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、３つの遷移時間で、前記第１のパラメータ・レベルと前記第２のパラメータ・レベルと前記第３のパラメータ・レベルとの間で遷移し、前記第２のＲＦ信号の前記３つの遷移時間の少なくとも１つの遷移時間は、前記複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するため、前記第１のＲＦ信号の前記２つの遷移時間の少なくとも１つの遷移時間とは異なる、方法。
［適用例８］
適用例１に記載の方法であって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル及び第２のパラメータ・レベルを含む２つのパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、ゼロのパラメータ・レベル、第２のパラメータ・レベル及び第１のパラメータ・レベルを含む３つのパラメータ・レベルを含み、前記方法は、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第１の遷移時間で前記第２のパラメータ・レベルから前記第１のパラメータ・レベルに前記第１のＲＦ信号を遷移させることと、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第２の遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルから前記第２のパラメータ・レベルに前記第１のＲＦ信号を遷移させることと、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第３の遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルから前記ゼロのパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させることと、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第４の遷移時間で前記ゼロのパラメータ・レベルから前記第２のパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させることと、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第５の遷移時間で前記第２のパラメータ・レベルから前記第１のパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させることと
を更に含み、前記第１の遷移時間及び前記第２の遷移時間の少なくとも１つは、前記複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するため、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記第３の遷移時間、前記第４の遷移時間及び前記第５の遷移時間の少なくとも１つとは異なる、方法。
［適用例９］
複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成する制御器システムであって、前記制御器システムは、
周期的に繰り返す複数のサイクルを有する同期信号を受信するように構成された、第１の無線周波（ＲＦ）生成器の第１のプロセッサと、
前記同期信号を受信するように構成された、第２のＲＦ生成器の第２のプロセッサと
を備え、
前記第１のプロセッサは、第１のＲＦ信号を生成するため、前記第１のＲＦ生成器の第１のＲＦ電源を制御するように構成され、前記第１のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの１つのサイクル内に少なくとも２つのパラメータ・レベルを含み、
前記第２のプロセッサは、第２のＲＦ信号を生成するため、前記第２のＲＦ生成器の第２のＲＦ電源を制御するように構成され、前記第２のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクル内に少なくとも３つのパラメータ・レベルを含む、制御器システム。
［適用例１０］
適用例９に記載の制御器システムであって、前記第１のＲＦ電源は、プラズマ・チャンバの第１の電極に結合したインピーダンス整合網に前記第１のＲＦ信号を供給するように構成され、前記第２のＲＦ電源は、前記プラズマ・チャンバの第２の電極に結合したインピーダンス整合網に前記第２のＲＦ信号を供給するように構成される、制御器システム。
［適用例１１］
適用例９に記載の制御器システムであって、前記同期信号は、デューティ・サイクルを有するデジタル・パルス信号であり、前記デューティ・サイクルは、前記複数のサイクルの間に繰り返される、制御器システム。
［適用例１２］
適用例９に記載の制御器システムであって、前記同期信号は、前記複数のサイクルの間、第１の論理レベルと第２の論理レベルとの間を繰り返し遷移し、前記第１の論理レベルは、前記第２の論理レベルよりも大きい、制御器システム。
［適用例１３］
適用例９に記載の制御器システムであって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１の正のパラメータ・レベル及び第２の正のパラメータ・レベルを含み、前記第１のＲＦ信号の前記第２の正のパラメータ・レベルは、前記第１のＲＦ信号の前記第１の正のパラメータ・レベルよりも大きく、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、ゼロのパラメータ・レベル、第１の正のパラメータ・レベル、及び第２の正のパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記第２の正のパラメータ・レベルは、前記第２のＲＦ信号の前記第１の正のパラメータ・レベルよりも小さい、制御器システム。
［適用例１４］
適用例９に記載の制御器システムであって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルの１つと前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルの１つとの組合せは、プラズマ・インピーダンス状態を規定する、制御器システム。
［適用例１５］
適用例９に記載の制御器システムであって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル及び第２のパラメータ・レベルを含む２つのパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル、第２のパラメータ・レベル、及び第３のパラメータ・レベルを含む３つのパラメータ・レベルを含み、前記第１のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、２つの遷移時間で、前記第１のパラメータ・レベルと前記第２のパラメータ・レベルとの間で遷移し、前記第２のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、３つの遷移時間で、前記第１のパラメータ・レベルと前記第２のパラメータ・レベルと前記第３のパラメータ・レベルとの間で遷移し、前記第２のＲＦ信号の前記３つの遷移時間の少なくとも１つは、前記複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するため、前記第１のＲＦ信号の前記２つの遷移時間の少なくとも１つとは異なる、制御器システム。
［適用例１６］
適用例９に記載の制御器システムであって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル及び第２のパラメータ・レベルを含む２つのパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、ゼロのパラメータ・レベル、第２のパラメータ・レベル及び第１のパラメータ・レベルを含む３つのパラメータ・レベルを含み、前記第１のプロセッサは、
前記第１のＲＦ電源を制御し、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第１の遷移時間で前記第２のパラメータ・レベルから前記第１のパラメータ・レベルに前記第１のＲＦ信号を遷移させ、
前記第１のＲＦ電源を制御し、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第２の遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルから前記第２のパラメータ・レベルに前記第１のＲＦ信号を遷移させる
ように更に構成され、前記第２のプロセッサは、
前記第２のＲＦ電源を制御し、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第３の遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルから前記ゼロのパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させ、
前記第２のＲＦ電源を制御し、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第４の遷移時間で前記ゼロのパラメータ・レベルから前記第２のパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させ、
前記第２のＲＦ電源を制御し、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第５の遷移時間で前記第２のパラメータ・レベルから前記第１のパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させる
ように構成され、
前記第１の遷移時間及び前記第２の遷移時間の少なくとも１つは、前記複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するため、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記第３の遷移時間、前記第４の遷移時間及び前記第５の遷移時間の少なくとも１つとは異なる、制御器システム。
［適用例１７］
複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するプラズマ・システムであって、前記プラズマ・システムは、
第１の無線周波（ＲＦ）信号を生成するように構成された第１のＲＦ生成器と、
第２のＲＦ信号を生成するように構成された第２のＲＦ生成器と
を備え、前記第１のＲＦ生成器及び前記第２のＲＦ生成器のそれぞれは、周期的に繰り返す複数のサイクルを有する同期信号を受信するように構成され、
前記第１のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの１つのサイクルの中に少なくとも２つのパラメータ・レベルを含み、
前記第２のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの中に少なくとも３つのパラメータ・レベルを含む、プラズマ・システム。
［適用例１８］
適用例１７に記載のプラズマ・システムであって、前記第１のＲＦ生成器は、第１のインピーダンス整合網を介してプラズマ・チャンバのＲＦコイルに結合され、前記第１のＲＦ生成器は、前記第１のＲＦ信号を前記第１のインピーダンス整合網に供給するように構成され、前記第２のＲＦ電力生成器は、第２のインピーダンス整合網を介して前記プラズマ・チャンバの基板支持体に結合され、前記第２のＲＦ生成器は、前記第２のＲＦ信号を前記第２のインピーダンス整合網に供給するように構成される、プラズマ・システム。
［適用例１９］
適用例１７に記載のプラズマ・システムであって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル及び第２のパラメータ・レベルを含む２つのパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル、第２のパラメータ・レベル、及び第３のパラメータ・レベルを含む３つのパラメータ・レベルを含み、前記第１のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、２つの遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルと前記第２のパラメータ・レベルとの間で遷移し、前記第２のＲＦ信号は、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、３つの遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルと前記第２のパラメータ・レベルと前記第３のパラメータ・レベルとの間で遷移し、前記第２のＲＦ信号の前記３つの遷移時間の少なくとも１つは、前記複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するため、前記第１のＲＦ信号の前記２つの遷移時間の少なくとも１つとは異なる、プラズマ・システム。
［適用例２０］
適用例１７に記載のプラズマ・システムであって、前記第１のＲＦ信号の前記少なくとも２つのパラメータ・レベルは、第１のパラメータ・レベル及び第２のパラメータ・レベルを含む２つのパラメータ・レベルを含み、前記第２のＲＦ信号の前記少なくとも３つのパラメータ・レベルは、ゼロのパラメータ・レベル、第２のパラメータ・レベル及び第１のパラメータ・レベルを含む３つのパラメータ・レベルを含み、前記第１のＲＦ生成器は、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第１の遷移時間で前記第２のパラメータ・レベルから前記第１のパラメータ・レベルに前記第１のＲＦ信号を遷移させ、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第２の遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルから前記第２のパラメータ・レベルに前記第１のＲＦ信号を遷移させる
ように構成され、前記第２のＲＦ生成器は、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第３の遷移時間で前記第１のパラメータ・レベルから前記ゼロのパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させ、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第４の遷移時間で前記ゼロのパラメータ・レベルから前記第２のパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させ、
前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、第５の遷移時間で前記第２のパラメータ・レベルから前記第１のパラメータ・レベルに前記第２のＲＦ信号を遷移させる
ように構成され、
前記第１の遷移時間及び前記第２の遷移時間の少なくとも１つは、前記複数状態のプラズマ・インピーダンスを生成するため、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記第３の遷移時間、前記第４の遷移時間及び前記第５の遷移時間の少なくとも１つとは異なる、プラズマ・システム。
［適用例２１］
複数状態のパルス化方法であって、前記方法は、
同期信号を受信することと、
前記同期信号から複数のサイクルを識別することと、
前記複数のサイクルの１つのサイクルの間、４つ以上の変数レベルを有する無線周波（ＲＦ）信号を生成することと
を含み、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最大振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルは、前記複数のサイクルの別の１つのサイクルの間、繰り返される、方法。
［適用例２２］
適用例２１に記載の方法であって、前記受信することは、ＲＦ生成器によって実施され、前記同期信号は、デジタル・パルス信号であり、前記デジタル・パルス信号は、周期的に繰り返され、前記複数のサイクルを有し、前記複数のサイクルのそれぞれは、デューティ・サイクルを有する、方法。
［適用例２３］
適用例２１に記載の方法であって、前記複数のサイクルを識別することは、前記複数のサイクルの第１のサイクル及び前記複数のサイクルの第２のサイクルを識別することを含み、前記複数のサイクルの前記第１のサイクル及び前記複数のサイクルの前記第２のサイクルを識別することは、前記複数のサイクルの前記第１のサイクルの開始時間及び停止時間、並びに前記複数のサイクルの前記第２のサイクルの開始時間及び停止時間を識別することを含む、方法。
［適用例２４］
適用例２１に記載の方法であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、パラメータ・レベルであり、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれは、複数の振幅を有し、前記最大振幅は、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれにおける前記複数の振幅の最大振幅であり、前記最大振幅は、前記ＲＦ信号の包絡線である、方法。
［適用例２５］
適用例２１に記載の方法であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、別個の水平レベルであり、前記ＲＦ信号は、発振信号である、方法。
［適用例２６］
適用例２１に記載の方法であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、周波数又は電力である、方法。
［適用例２７］
適用例２１に記載の方法であって、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記ＲＦ信号は、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルに遷移し、前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第３の変数レベルに遷移し、前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第４の変数レベルに遷移する、方法。
［適用例２８］
適用例２１に記載の方法であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最小振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルの前記最小振幅は、前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルの前記最大振幅よりも大きい、方法。
［適用例２９］
適用例２１に記載の方法であって、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記ＲＦ信号は、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルに遷移し、前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第３の変数レベルに遷移し、前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第４の変数レベルに遷移し、前記方法は、
前記４つ以上の変数レベルの前記第１の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルへの遷移勾配を制御することと、
前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルへの遷移勾配を制御することと、
前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの前記第４の変数レベルへの遷移勾配を制御することと
を更に含む、方法。
［適用例３０］
複数状態のパルス化のための無線周波（ＲＦ）生成器であって、前記ＲＦ生成器は、
同期信号を受信するように構成されたプロセッサであって、前記同期信号から複数のサイクルを識別するように構成されたプロセッサと、
ＲＦ電源と
を備え、前記プロセッサは、前記複数のサイクルの１つのサイクルの間、４つ以上の変数レベルを有する無線周波（ＲＦ）信号を生成するため、前記ＲＦ電源を制御するように構成され、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最大振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルは、前記複数のサイクルの別の１つのサイクルの間、繰り返される、ＲＦ生成器。
［適用例３１］
適用例３０に記載のＲＦ生成器であって、前記同期信号は、デジタル・パルス信号であり、前記デジタル・パルス信号は、周期的に繰り返され、前記複数のサイクルを有し、前記複数のサイクルのそれぞれは、デューティ・サイクルを有する、ＲＦ生成器。
［適用例３２］
適用例３０に記載のＲＦ生成器であって、前記複数のサイクルを識別するため、前記プロセッサは、前記複数のサイクルの第１のサイクル及び前記複数のサイクルの第２のサイクルを識別するように構成され、前記複数のサイクルの前記第１のサイクル及び前記複数のサイクルの前記第２のサイクルを識別するため、前記プロセッサは、前記複数のサイクルの前記第１のサイクルの開始時間及び停止時間、並びに前記複数のサイクルの前記第２のサイクルの開始時間及び停止時間を識別するように構成される、ＲＦ生成器。
［適用例３３］
適用例３０に記載のＲＦ生成器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、パラメータ・レベルであり、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれは、複数の振幅を有し、前記最大振幅は、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれにおける前記複数の振幅の最大振幅であり、前記最大振幅は、前記ＲＦ信号の包絡線である、ＲＦ生成器。
［適用例３４］
適用例３０に記載のＲＦ生成器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、別個の水平レベルであり、前記ＲＦ信号は、発振信号である、ＲＦ生成器。
［適用例３５］
適用例３０に記載のＲＦ生成器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、周波数又は電力である、ＲＦ生成器。
［適用例３６］
適用例３０に記載のＲＦ生成器であって、前記複数のサイクルの前記１つのサイクルの間、前記プロセッサは、前記ＲＦ電源を制御し、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルに遷移させ、前記４つ以上の変数レベルの前記第２の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第３の変数レベルに遷移させ、前記４つ以上の変数レベルの前記第３の変数レベルから前記４つ以上の変数レベルの第４の変数レベルに遷移させるように構成される、ＲＦ生成器。
［適用例３７］
適用例３０に記載のＲＦ生成器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最小振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルの第１の変数レベルの前記最小振幅は、前記４つ以上の変数レベルの第２の変数レベルの前記最大振幅よりも大きい、ＲＦ生成器。
［適用例３８］
複数状態のパルス化のための制御器であって、前記制御器は、
複数のサイクルを含む同期信号を生成するように構成されたプロセッサと、
前記プロセッサに結合されたメモリ・デバイスと
を備え、前記プロセッサは、無線周波（ＲＦ）生成器を制御し、前記複数のサイクルの１つのサイクルの間、４つ以上の変数レベルを有するＲＦ信号を生成するように構成され、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、前記ＲＦ信号の最大振幅を規定し、前記４つ以上の変数レベルは、前記複数のサイクルの別の１つのサイクルの間、繰り返される、制御器。
［適用例３９］
適用例３８に記載の制御器であって、前記同期信号は、デジタル・パルス信号であり、前記デジタル・パルス信号は、周期的に繰り返され、前記複数のサイクルを有し、前記複数のサイクルのそれぞれは、デューティ・サイクルを有する、制御器。
［適用例４０］
適用例３８に記載の制御器であって、前記複数のサイクルは、前記複数のサイクルの第１のサイクル、及び前記複数のサイクルの第２のサイクルを含み、前記複数のサイクルの前記第１のサイクルは、開始時間及び停止時間を含み、前記複数のサイクルの前記第２のサイクルは、開始時間及び停止時間を含む、制御器。
［適用例４１］
適用例３８に記載の制御器であって、前記４つ以上の変数レベルのそれぞれは、パラメータ・レベルであり、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれは、複数の振幅を有し、前記最大振幅は、前記４つ以上のパラメータ・レベルのそれぞれにおける前記複数の振幅の最大振幅であり、前記最大振幅は、前記ＲＦ信号の包絡線である、制御器。
［適用例４２］
プラズマ・ツールの複数の構成要素間で情報を通信する方法であって、前記方法は、
無線周波（ＲＦ）生成器で、１つ又は複数のＥｔｈｅｒｎｅｔ ｆｏｒ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ（ＥｔｈｅｒＣＡＴ）フレームを受信することであって、前記ＲＦ生成器は、前記プラズマ・ツールの前記複数の構成要素の１つである、受信することと、
前記ＲＦ生成器によって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームから複数の変数レベルを抽出することと、
前記ＲＦ生成器によって、同期信号の１つのサイクルに対して前記複数の変数レベルを有するＲＦ信号を生成することと、
前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの行先アドレスを識別することと、
前記行先アドレスで、前記複数の構成要素の別の１つの構成要素に前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを送信することと
を含む、方法。
［適用例４３］
適用例４２に記載の方法であって、前記複数の変数レベルは、第１の変数レベル、第２の変数レベル、第３の変数レベル、及び第４の変数レベルを含み、前記ＲＦ信号は、前記サイクルの間、前記第１の変数レベルから前記第２の変数レベルに遷移し、前記第２の変数レベルから前記第３の変数レベルに遷移し、前記第３の変数レベルから前記第４の変数レベルに遷移する、方法。
［適用例４４］
適用例４２に記載の方法であって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの１つのフレーム内で前記ＲＦ生成器のアドレスを識別することを更に含み、前記抽出することは、前記アドレスを有するフィールドと、前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素の別のアドレスを有するフィールドとの間のフィールドから前記複数の変数レベルを得ることを含む、方法。
［適用例４５］
適用例４２に記載の方法であって、前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素は、前記ＲＦ生成器に結合したインピーダンス整合回路を含む、方法。
［適用例４６］
適用例４２に記載の方法であって、前記複数の変数レベルのそれぞれは、周波数レベル又は電力レベルである、方法。
［適用例４７］
適用例４２に記載の方法であって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームは、プロセッサによって受信され、前記方法は、
前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素から前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを受信することと、
前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを前記プロセッサに送信することと
を更に含む、方法。
［適用例４８］
適用例４２に記載の方法であって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームのそれぞれは、前記ＲＦ生成器から測定データを受信するフィールド、及び前記ＲＦ生成器に供給する前記複数の変数レベルを含むフィールドを有する、方法。
［適用例４９］
無線周波（ＲＦ）生成器であって、前記ＲＦ生成器は、
１つ又は複数のＥｔｈｅｒｎｅｔ ｆｏｒ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ（ＥｔｈｅｒＣＡＴ）フレームを受信するように構成された通信制御器であって、前記ＲＦ生成器は、プラズマ・ツールの複数の構成要素の１つである、通信制御器と、
前記通信制御器に結合したＲＦ電源と
を備え、前記通信制御器は、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームから複数の変数レベルを抽出するように構成され、
前記ＲＦ電源は、同期信号の１つのサイクルの間、前記複数の変数レベルを有するＲＦ信号を生成するように構成され、
前記通信制御器は、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの行先アドレスを識別するように構成され、
前記通信制御器は、前記行先アドレスで、前記複数の構成要素の別の１つの構成要素に前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを送信するように構成される、ＲＦ生成器。
［適用例５０］
適用例４９に記載のＲＦ生成器であって、前記複数の変数レベルは、第１の変数レベル、第２の変数レベル、第３の変数レベル、及び第４の変数レベルを含み、前記ＲＦ信号は、前記サイクルの間、前記第１の変数レベルから前記第２の変数レベルに遷移し、前記第２の変数レベルから前記第３の変数レベルに遷移し、前記第３の変数レベルから前記第４の変数レベルに遷移する、ＲＦ生成器。
［適用例５１］
適用例４９に記載のＲＦ生成器であって、前記通信制御器は、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームの１つのフレーム内で前記ＲＦ生成器のアドレスを識別するように構成され、前記複数の変数を抽出するため、前記通信制御器は、前記アドレスを有するフィールドと、前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素の別のアドレスを有するフィールドとの間のフィールドから前記複数の変数レベルを得るように構成される、ＲＦ生成器。
［適用例５２］
適用例４９に記載のＲＦ生成器であって、前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素は、前記ＲＦ生成器に結合したインピーダンス整合回路を含む、ＲＦ生成器。
［適用例５３］
適用例４９に記載のＲＦ生成器であって、前記複数の変数レベルのそれぞれは、周波数レベル又は電力レベルである、ＲＦ生成器。
［適用例５４］
適用例４９に記載のＲＦ生成器であって、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームは、プロセッサによって受信され、前記通信制御器は、
前記複数の構成要素の前記別の１つの構成要素から前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを受信し、
前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームを前記プロセッサに送信する
ように構成される、ＲＦ生成器。
［適用例５５］
適用例４９に記載のＲＦ生成器であって、前記ＲＦ生成器は、前記通信制御器に結合したプロセッサを含み、前記１つ又は複数のＥｔｈｅｒＣＡＴフレームのそれぞれは、前記ＲＦ生成器の前記プロセッサからデータを受信するフィールド、及び前記ＲＦ生成器の前記プロセッサに供給する前記複数の変数レベルを含むフィールドを有する、ＲＦ生成器。

【外国語明細書】