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特開2024-16011位相検出ピクセルを含むイメージセンサ
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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024016011
(43)【公開日】2024-02-06
(54)【発明の名称】位相検出ピクセルを含むイメージセンサ
(51)【国際特許分類】
   H04N 25/705 20230101AFI20240130BHJP
   H04N 25/77 20230101ALI20240130BHJP
【FI】
H04N25/705
H04N25/77
【審査請求】未請求
【請求項の数】20
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2023120717
(22)【出願日】2023-07-25
(31)【優先権主張番号】10-2022-0091717
(32)【優先日】2022-07-25
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(71)【出願人】
【識別番号】390019839
【氏名又は名称】三星電子株式会社
【氏名又は名称原語表記】Samsung Electronics Co.,Ltd.
【住所又は居所原語表記】129,Samsung-ro,Yeongtong-gu,Suwon-si,Gyeonggi-do,Republic of Korea
(74)【代理人】
【識別番号】110000051
【氏名又は名称】弁理士法人共生国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】崔 元 チョル
(72)【発明者】
【氏名】李 景 鎬
(72)【発明者】
【氏名】權 熙 相
(72)【発明者】
【氏名】朴 舒 ヨン
(72)【発明者】
【氏名】尹 ジョン 斌
【テーマコード(参考)】
5C024
【Fターム(参考)】
5C024CX06
5C024CX41
5C024CY17
5C024CY47
5C024EX12
5C024EX43
5C024EX52
5C024GX02
5C024GX16
5C024GX18
5C024GY31
5C024GY39
5C024HX17
5C024HX23
5C024JX45
(57)【要約】
【課題】客体に対する位相差を検出する位相検出ピクセルを含むイメージセンサを提供する。
【解決手段】本発明によるイメージセンサは、第1色に対応してm×n(ここで、m及びnは3以上の自然数)形態に配列された複数の第1ピクセルを含む第1ピクセルユニット、第2色に対応してm×n形態に配列された複数の第2ピクセルを含む第2ピクセルユニット、及び第3色に対応してm×n形態に配列された複数の第3ピクセルを含む第3ピクセルユニットを含む第1ピクセルグループと、第1ピクセルユニットの上部に形成されて複数の第1ピクセルのうちの第1方向に隣接する少なくとも2つの第1ピクセルにより共有される第1マイクロレンズと、を備える。
【選択図】図1

【特許請求の範囲】
【請求項1】
イメージセンサであって、
第1色に対応してm×n(ここで、m及びnは3以上の自然数)形態に配列された複数の第1ピクセルを含む第1ピクセルユニット、第2色に対応してm×n形態に配列された複数の第2ピクセルを含む第2ピクセルユニット、及び第3色に対応してm×n形態に配列された複数の第3ピクセルを含む第3ピクセルユニットを含む第1ピクセルグループと、
前記第1ピクセルユニットの上部に形成されて前記複数の第1ピクセルのうちの第1方向に隣接する少なくとも2つの第1ピクセルにより共有される第1マイクロレンズと、を備えることを特徴とするイメージセンサ。
【請求項2】
前記第1色に対応してm×n形態に配列された複数の第5ピクセルを含む第5ピクセルユニット、前記第2色に対応してm×n形態に配列された複数の第6ピクセルを含む第6ピクセルユニット、及び前記第3色に対応してm×n形態に配列された複数の第7ピクセルを含む第7ピクセルユニットを含む第2ピクセルグループと、
前記第5ピクセルユニットの上部に形成されて前記複数の第5ピクセルのうちの前記第1方向に隣接する少なくとも2つの第5ピクセルにより共有される第2マイクロレンズと、を更に含むことを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサ。
【請求項3】
前記少なくとも2つの第1ピクセルのうちの前記第1方向の一端に位置する第1ピクセル及び前記少なくとも2つの第5ピクセルのうちの前記第1方向の他端に位置する第5ピクセルのそれぞれの電荷に基づいて前記イメージセンサの客体に対する位相差を検出するリードアウト回路を更に含むことを特徴とする請求項2に記載のイメージセンサ。
【請求項4】
複数のローラインを通じて複数のピクセルグループを含むピクセルアレイに連結されるロードライバーを更に含み、
前記少なくとも2つの第1ピクセルのうちの前記第1方向の一端に位置する第1ピクセル及び前記少なくとも2つの第5ピクセルのうちの前記第1方向の他端に位置する第5ピクセルは、前記複数のローラインのうちの第1ローラインに共に連結されることを特徴とする請求項3に記載のイメージセンサ。
【請求項5】
前記第1ピクセルグループは、前記第1ピクセルユニットに対して前記第1方向の斜線方向に隣接し、前記第1色に対応してm×n形態に配列された複数の第4ピクセルを含む第4ピクセルユニットを更に含み、
前記イメージセンサは、前記複数の第4ピクセルのうちの前記第1方向に隣接する少なくとも2つの第4ピクセルにより共有される第3マイクロレンズを更に含むことを特徴とする請求項2に記載のイメージセンサ。
【請求項6】
前記第2ピクセルグループは、前記第5ピクセルユニットに対して前記第1方向の斜線方向に隣接し、前記第1色に対応してm×n形態に配列された複数の第8ピクセルを含む第8ピクセルユニットを更に含み、
前記イメージセンサは、前記複数の第8ピクセルのうちの前記第1方向に隣接する少なくとも2つの第8ピクセルにより共有される第4マイクロレンズを更に含むことを特徴とする請求項5に記載のイメージセンサ。
【請求項7】
前記少なくとも2つの第4ピクセルのうちの前記第1方向の一端に位置する第4ピクセル及び前記少なくとも2つの第8ピクセルのうちの前記第1方向の他端に位置する第8ピクセルのそれぞれの電荷に基づいて前記イメージセンサの客体に対する位相差を検出するリードアウト回路を更に含むことを特徴とする請求項6に記載のイメージセンサ。
【請求項8】
複数のローラインを通じて複数のピクセルグループを含むピクセルアレイに連結されるロードライバーを更に含み、
前記少なくとも2つの第4ピクセルのうちの前記第1方向の一端に位置する第4ピクセル及び前記少なくとも2つの第8ピクセルのうちの前記第1方向の他端に位置する第8ピクセルは、前記複数のローラインのうちの第1ローラインに共に連結されることを特徴とする請求項7に記載のイメージセンサ。
【請求項9】
前記第1ピクセルグループと前記第2ピクセルグループとは、前記第1方向に互いに隣接することを特徴とする請求項2に記載のイメージセンサ。
【請求項10】
前記第1ピクセルグループと前記第2ピクセルグループとは、前記第1方向に交差する第2方向に沿って反復的に配列されることを特徴とする請求項2に記載のイメージセンサ。
【請求項11】
前記第1ピクセルグループと前記第2ピクセルグループとは、前記第1方向に交差する第2方向に沿って互いに隣接することを特徴とする請求項2に記載のイメージセンサ。
【請求項12】
前記第1ピクセルグループと前記第2ピクセルグループとは、前記第1方向に交差する第2方向に沿って交互に配列されることを特徴とする請求項2に記載のイメージセンサ。
【請求項13】
イメージセンサであって、
第1色に対応してm×n(ここで、m及びnは3以上の自然数)形態に配列された複数の第1ピクセルを含む第1ピクセルユニット、第2色に対応してm×n形態に配列された複数の第2ピクセルを含む第2ピクセルユニット、及び第3色に対応してm×n形態に配列された複数の第3ピクセルを含む第3ピクセルユニットを含む複数のピクセルグループを含むピクセルアレイと、
前記複数のピクセルグループのうちの第1ピクセルグループの第1位相検出ピクセル及び前記複数のピクセルグループのうちの第2ピクセルグループの第2位相検出ピクセルのそれぞれの電荷に基づいて前記イメージセンサの客体に対する位相差を検出するリードアウト回路と、を備え、
前記複数のピクセルグループの各々は、第1方向に互いに隣接するように位置して一つのマイクロレンズで覆われた前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルを含むことを特徴とするイメージセンサ。
【請求項14】
前記第1ピクセルグループの前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルは、前記第1ピクセルグループの前記第1ピクセルユニット内に位置し、
前記第2ピクセルグループの前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルは、前記第2ピクセルグループの前記第1ピクセルユニット内に位置することを特徴とする請求項13に記載のイメージセンサ。
【請求項15】
前記第1ピクセルユニットの前記複数の第1ピクセルと前記第1ピクセルグループの前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルとは、フローティングディフュージョンを共有し、
前記リードアウト回路は、前記複数の第1ピクセルと前記第1ピクセルグループの前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルとによって前記フローティングディフュージョンに蓄積された電荷に基づいてイメージ信号を生成することを特徴とする請求項14に記載のイメージセンサ。
【請求項16】
前記複数のピクセルグループの各々は、前記第1方向に互いに隣接するように位置して一つのマイクロレンズで覆われた第3位相検出ピクセル及び第4位相検出ピクセルを更に含み、
前記第1ピクセルグループの前記第3位相検出ピクセル及び前記第4位相検出ピクセルは、前記第1ピクセルグループの前記第2ピクセルユニット内に位置し、
前記第2ピクセルグループの前記第3位相検出ピクセル及び前記第4位相検出ピクセルは、前記第2ピクセルグループの前記第2ピクセルユニット内に位置し、
前記リードアウト回路は、前記第1ピクセルグループの前記第3位相検出ピクセル及び前記第2ピクセルグループの前記第4位相検出ピクセルのそれぞれの電荷に基づいて位相差を更に検出することを特徴とする請求項14に記載のイメージセンサ。
【請求項17】
複数のローラインを通じて前記ピクセルアレイに連結されるロードライバーを更に含み、
前記第1ピクセルグループの前記第1位相検出ピクセルと前記第2ピクセルグループの前記第2位相検出ピクセルとは、前記複数のローラインのうちの第1ローラインに共に連結されることを特徴とする請求項13に記載のイメージセンサ。
【請求項18】
前記ピクセルアレイは、前記第1ピクセルグループと前記第2ピクセルグループとの間に前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルを含まない第3ピクセルグループを更に含むことを特徴とする請求項13に記載のイメージセンサ。
【請求項19】
イメージセンサであって、
第1方向に互いに隣接するように位置して一つのマイクロレンズで覆われた第1位相検出ピクセル及び第2位相検出ピクセルを含む複数のピクセルグループを含み、前記複数のピクセルグループのうちの第1ピクセルグループの第1位相検出ピクセル及び前記複数のピクセルグループのうちの第2ピクセルグループの第2位相検出ピクセルのそれぞれの電荷に基づいて位相信号を出力するピクセルアレイと、
単位フレーム期間の間にリセット基準信号及び第1セット基準信号を順次に生成するランプ信号生成器と、
複数のカラムラインを通じて前記ピクセルアレイから受信される複数のリセットピクセル信号と前記リセット基準信号とを比較した結果、及び前記第1位相検出ピクセルから受信される第1位相信号及び前記第2位相検出ピクセルから受信される第2位相信号と前記第1セット基準信号とを比較した結果に基づいて前記イメージセンサの客体に対する位相差を検出するリードアウト回路と、を備えることを特徴とするイメージセンサ。
【請求項20】
前記複数のピクセルグループの各々は、複数のピクセルユニットを含み、
前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルは、前記第1ピクセルグループの複数のピクセルユニットのうちの第1ピクセルユニット内に位置し、
前記第1ピクセルユニットは、複数のイメージセンシングピクセルを更に含み、
前記第1ピクセルグループの前記第1ピクセルユニット内の前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルと前記第1ピクセルユニットの複数のイメージセンシングピクセルとは、第1フローティングディフュージョンを共有し、
前記ピクセルアレイは、前記第1フローティングディフュージョンに蓄積された電荷に基づいてイメージ信号を出力し、
前記ランプ信号生成器は、第2セット基準信号を更に生成し、
前記リードアウト回路は、前記第2セット基準信号と前記イメージ信号とを比較した結果に基づいて前記イメージセンサの前記客体に対するイメージ情報を導出することを特徴とする請求項19に記載のイメージセンサ。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、位相検出ピクセルを含むイメージセンサに関する。
【背景技術】
【0002】
イメージセンサは、客体(object)を撮影する際に、客体に焦点を合わせる位相検出自動焦点(phase detection auto-focus:PDAF)機能を提供することができる。位相検出自動焦点(PDAF)技術は、隣接して位置する位相検出ピクセル上に位置する一つのマイクロレンズを通過しながら分けられた光の位相差、即ちピクセルアレイに入射する光の位相差を比較することによって被写体に焦点が合っているか否かを判断する技術であって、カメラにより速く焦点を合わせることができるようにする。位相検出自動焦点(PDAF)を行う際に必要な位相検出ピクセルはピクセルアレイ内で不連続的に又は規則的に配置される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
本発明は、上記従来技術に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、客体に対する位相差を検出する位相検出ピクセルを含むイメージセンサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0004】
上記目的を達成するためになされた本発明の一態様によるイメージセンサは、第1色に対応してm×n(ここで、m及びnは3以上の自然数)形態に配列された複数の第1ピクセルを含む第1ピクセルユニット、第2色に対応してm×n形態に配列された複数の第2ピクセルを含む第2ピクセルユニット、及び第3色に対応してm×n形態に配列された複数の第3ピクセルを含む第3ピクセルユニットを含む第1ピクセルグループと、前記第1ピクセルユニットの上部に形成されて前記複数の第1ピクセルのうちの第1方向に隣接する少なくとも2つの第1ピクセルにより共有される第1マイクロレンズと、を備える。
【0005】
前記第1色に対応してm×n形態に配列された複数の第5ピクセルを含む第5ピクセルユニット、前記第2色に対応してm×n形態に配列された複数の第6ピクセルを含む第6ピクセルユニット、及び前記第3色に対応してm×n形態に配列された複数の第7ピクセルを含む第7ピクセルユニットを含む第2ピクセルグループと、前記第5ピクセルユニットの上部に形成されて前記複数の第5ピクセルのうちの前記第1方向に隣接する少なくとも2つの第5ピクセルにより共有される第2マイクロレンズと、を更に含み得る。
前記少なくとも2つの第1ピクセルのうちの前記第1方向の一端に位置する第1ピクセル及び前記少なくとも2つの第5ピクセルのうちの前記第1方向の他端に位置する第5ピクセルのそれぞれの電荷に基づいて前記イメージセンサの客体に対する位相差を検出するリードアウト回路を更に含み得る。
複数のローラインを通じて複数のピクセルグループを含むピクセルアレイに連結されるロードライバーを更に含み、前記少なくとも2つの第1ピクセルのうちの前記第1方向の一端に位置する第1ピクセル及び前記少なくとも2つの第5ピクセルのうちの前記第1方向の他端に位置する第5ピクセルは、前記複数のローラインのうちの第1ローラインに共に連結され得る。
前記第1ピクセルグループは、前記第1ピクセルユニットに対して前記第1方向の斜線方向に隣接し、前記第1色に対応してm×n形態に配列された複数の第4ピクセルを含む第4ピクセルユニットを更に含み、前記イメージセンサは、前記複数の第4ピクセルのうちの前記第1方向に隣接する少なくとも2つの第4ピクセルにより共有される第3マイクロレンズを更に含み得る。
前記第2ピクセルグループは、前記第5ピクセルユニットに対して前記第1方向の斜線方向に隣接し、前記第1色に対応してm×n形態に配列された複数の第8ピクセルを含む第8ピクセルユニットを更に含み、前記イメージセンサは、前記複数の第8ピクセルのうちの前記第1方向に隣接する少なくとも2つの第8ピクセルにより共有される第4マイクロレンズを更に含み得る。
前記少なくとも2つの第4ピクセルのうちの前記第1方向の一端に位置する第4ピクセル及び前記少なくとも2つの第8ピクセルのうちの前記第1方向の他端に位置する第8ピクセルのそれぞれの電荷に基づいて前記イメージセンサの客体に対する位相差を検出するリードアウト回路を更に含み得る。
複数のローラインを通じて複数のピクセルグループを含むピクセルアレイに連結されるロードライバーを更に含み、前記少なくとも2つの第4ピクセルのうちの前記第1方向の一端に位置する第4ピクセル及び前記少なくとも2つの第8ピクセルのうちの前記第1方向の他端に位置する第8ピクセルは、前記複数のローラインのうちの第1ローラインに共に連結され得る。
前記第1ピクセルグループと前記第2ピクセルグループとは、前記第1方向に互いに隣接し得る。
前記第1ピクセルグループと前記第2ピクセルグループとは、前記第1方向に交差する第2方向に沿って反復的に配列され得る。
前記第1ピクセルグループと前記第2ピクセルグループとは、前記第1方向に交差する第2方向に沿って互いに隣接し得る。
前記第1ピクセルグループと前記第2ピクセルグループとは、前記第1方向に交差する第2方向に沿って交互に配列され得る。
【0006】
上記目的を達成するためになされた本発明の他の態様によるイメージセンサは、第1色に対応してm×n(ここで、m及びnは3以上の自然数)形態に配列された複数の第1ピクセルを含む第1ピクセルユニット、第2色に対応してm×n形態に配列された複数の第2ピクセルを含む第2ピクセルユニット、及び第3色に対応してm×n形態に配列された複数の第3ピクセルを含む第3ピクセルユニットを含む複数のピクセルグループを含むピクセルアレイと、前記複数のピクセルグループのうちの第1ピクセルグループの第1位相検出ピクセル及び前記複数のピクセルグループのうちの第2ピクセルグループの第2位相検出ピクセルのそれぞれの電荷に基づいて前記イメージセンサの客体に対する位相差を検出するリードアウト回路と、を備え、前記複数のピクセルグループの各々は、第1方向に互いに隣接するように位置して一つのマイクロレンズで覆われた前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルを含む。
【0007】
前記第1ピクセルグループの前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルは、前記第1ピクセルグループの前記第1ピクセルユニット内に位置し、前記第2ピクセルグループの前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルは、前記第2ピクセルグループの前記第1ピクセルユニット内に位置し得る。
前記第1ピクセルユニットの前記複数の第1ピクセルと前記第1ピクセルグループの前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルとは、フローティングディフュージョンを共有し、前記リードアウト回路は、前記複数の第1ピクセルと前記第1ピクセルグループの前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルとによって前記フローティングディフュージョンに蓄積された電荷に基づいてイメージ信号を生成し得る。
前記複数のピクセルグループの各々は、前記第1方向に互いに隣接するように位置して一つのマイクロレンズで覆われた第3位相検出ピクセル及び第4位相検出ピクセルを更に含み、前記第1ピクセルグループの前記第3位相検出ピクセル及び前記第4位相検出ピクセルは、前記第1ピクセルグループの前記第2ピクセルユニット内に位置し、前記第2ピクセルグループの前記第3位相検出ピクセル及び前記第4位相検出ピクセルは、前記第2ピクセルグループの前記第2ピクセルユニット内に位置し、前記リードアウト回路は、前記第1ピクセルグループの前記第3位相検出ピクセル及び前記第2ピクセルグループの前記第4位相検出ピクセルのそれぞれの電荷に基づいて位相差を更に検出し得る。
複数のローラインを通じて前記ピクセルアレイに連結されるロードライバーを更に含み、前記第1ピクセルグループの前記第1位相検出ピクセルと前記第2ピクセルグループの前記第2位相検出ピクセルとは、前記複数のローラインのうちの第1ローラインに共に連結され得る。
前記ピクセルアレイは、前記第1ピクセルグループと前記第2ピクセルグループとの間に前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルを含まない第3ピクセルグループを更に含み得る。
【0008】
上記目的を達成するためになされた本発明の更に他の態様によるイメージセンサは、第1方向に互いに隣接するように位置して一つのマイクロレンズで覆われた第1位相検出ピクセル及び第2位相検出ピクセルを含む複数のピクセルグループを含み、前記複数のピクセルグループのうちの第1ピクセルグループの第1位相検出ピクセル及び前記複数のピクセルグループのうちの第2ピクセルグループの第2位相検出ピクセルのそれぞれの電荷に基づいて位相信号を出力するピクセルアレイと、単位フレーム期間の間にリセット基準信号及び第1セット基準信号を順次に生成するランプ信号生成器と、複数のカラムラインを通じて前記ピクセルアレイから受信される複数のリセットピクセル信号と前記リセット基準信号とを比較した結果、及び前記第1位相検出ピクセルから受信される第1位相信号及び前記第2位相検出ピクセルから受信される第2位相信号と前記第1セット基準信号とを比較した結果に基づいて前記イメージセンサの客体に対する位相差を検出するリードアウト回路と、を備える。
【0009】
前記複数のピクセルグループの各々は、複数のピクセルユニットを含み、前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルは、前記第1ピクセルグループの複数のピクセルユニットのうちの第1ピクセルユニット内に位置し、前記第1ピクセルユニットは、複数のイメージセンシングピクセルを更に含み、前記第1ピクセルグループの前記第1ピクセルユニット内の前記第1位相検出ピクセル及び前記第2位相検出ピクセルと前記第1ピクセルユニットの複数のイメージセンシングピクセルとは、第1フローティングディフュージョンを共有し、前記ピクセルアレイは、前記第1フローティングディフュージョンに蓄積された電荷に基づいてイメージ信号を出力し、前記ランプ信号生成器は、第2セット基準信号を更に生成し、前記リードアウト回路は、前記第2セット基準信号と前記イメージ信号とを比較した結果に基づいて前記イメージセンサの前記客体に対するイメージ情報を導出し得る。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、感度を向上させたイメージセンサを提供することができる。
【0011】
本発明の特徴は、図面を参照して例示的な実施形態を詳しく説明することによって通常の技術者に明白になるはずである。
【図面の簡単な説明】
【0012】
図1】一実施形態によるイメージセンサの一例を示すブロック図である。
図2】一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置を示す平面図である。
図3】一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第1例を示す平面図である。
図4図3のピクセルアレイのI-I’線、II-II’線による断面図である。
図5】一実施形態によるピクセルユニットの一例を示す回路図である。
図6】一実施形態によるピクセルアレイに提供される伝送制御信号を説明するための一例を示すタイミング図である。
図7】リードアウト区間でフローティング拡散領域に蓄積される電荷を図式的に示す図である。
図8】一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第2例を示す平面図である。
図9】一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第3例を示す平面図である。
図10】一実施形態によるピクセルユニットの他の例を示す回路図である。
図11】一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第4例を示す平面図である。
図12】一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第5例を示す平面図である。
図13】一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第6例を示す平面図である。
図14】一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第7例を示す平面図である。
図15】他の実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置を示す平面図である。
図16】他の実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置を示す平面図である。
図17】一実施形態によるコンピュータ装置の一例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、本発明を実施するための形態の具体例を、図面を参照しながら詳細に説明する。
しかし、これらは、様々の異なる形態に実現され、ここで説明する実施形態に限定されない。むしろ、これらの実施形態は、本発明を更に充実且つ完全にし、通常の技術者に本発明の実施形態を完全に伝達するために提供されるものである。
【0014】
図面において、図面の明確性のために層及び領域の寸法が誇張されることがある。また、層又は要素が他の層又は基板“上に”あると言及する場合、これは他の層又は基板の真上にあるか又は介在層が存在することもあることを理解するはずである。また、層が他の層“の下”にあると言及する場合、それは真下にあるか又は一つ以上の介在層が存在することもあるということが理解されるはずである。また、層が2つの層“の間”にあると言及する場合、これは2つの層の間の唯一の層であるか又は一つ以上の介在層が存在することもあることを理解するはずである。同一の図面符号は全体的に同一の要素を指す。
【0015】
また、単数で記載する表現は“一つ”又は“単一”などの明示的な表現を使用しない限り、単数又は複数に解釈される。第1、第2などのように序数を含む用語は多様な構成要素を説明することに使用されるが、構成要素はこのような用語によって限定されない。これらの用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的として使用される。
【0016】
図1は、一実施形態によるイメージセンサの一例を示すブロック図である。
【0017】
図1を参照すると、イメージセンサ100は、レンズLS、ピクセルアレイ110、ロードライバー120、コントローラ130、ランプ信号生成器140、及びリードアウト回路150を含む。図1に示していないが、イメージセンサ100は、クロック信号生成器、信号処理器、カラムデコーダ、及び/又はメモリを更に含む。
【0018】
イメージセンサ100は、光学装置を通じて入射した客体OBJECTの光学的信号を電気的信号に変換し、変換された電気的信号に基づいてイメージデータIDATを生成する。光学装置は、鏡及びレンズLSを含む光学的集光装置である。例えば、イメージセンサ100は、光の分散や屈折などの光学的特性を用いて客体OBJECTによって反射された光の多様な経路を集光するか又は光の移動経路を変更する光学装置を用いる。本発明では、説明の便宜のために、レンズLSが用いられるものとして説明するが、これに限定されず、イメージセンサ100には多様な光学装置を使用することができる。
【0019】
イメージセンサ100は、イメージ又は光センシング機能を有する電子装置に搭載される。例えば、イメージセンサ100は、カメラ、スマートフォン、ウェアラブル機器、モノのインターネット(Internet of Things(IoT))機器、家電機器、タブレットPC(Personal Computer)、PDA(Personal Digital Assistant)、PMP(portable multimedia player)、ナビゲーション(navigation)、ドローン(drone)、先進運転支援システム(advanced drivers assistance system:ADAS)などのような電子装置に搭載される。或いは、イメージセンサ100は、車両、家具、製造設備、ドア、各種計測機器などに部品として備えられる電子装置に搭載される。
【0020】
ピクセルアレイ110は、例えば光学信号を電気的信号に変換するCIS(Complementary Metal Oxide Semiconductor Image Sensor)である。レンズLSを透過した光学信号は、ピクセルアレイ110の受光面に到達して被写体の像を結像する。ピクセルアレイ110は、コントローラ130の制御によって光学信号の感度などを調節する。
【0021】
ピクセルアレイ110は、複数のピクセルPX、そして複数のピクセルPXにそれぞれ連結される複数のローラインRLs及び複数のカラムラインCLsを含む。
【0022】
ローラインRLsは、第1方向に伸びて、第1方向に沿って配置されたピクセルPXに連結される。例えば、ローラインRLsは、ピクセルPXに備えられる素子、例えばトランジスタにロードライバー120から出力される制御信号を伝達する。カラムラインCLsは、第1方向に交差する第2方向に伸びて、第2方向に沿って配置されたピクセルPXに連結される。カラムラインCLsは、ピクセルPXから出力されるピクセル信号をリードアウト回路150に伝達する。
【0023】
一実施形態で、各ピクセルPXは、少なくとも一つの光電変換素子を含む。光電変換素子は、入射する光を感知し、入射光を光量による電気信号、即ち複数のアナログピクセル信号に変換する。例えば、ピクセルアレイ110は、CCD(Charge Coupled Devices)、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)などの光電変換素子で実現され、その他にも多様な種類の光電変換素子で実現される。
【0024】
ピクセルアレイ110は、複数のピクセルPXを含む。ピクセルPXは、複数のイメージセンシングピクセルIPX及び複数の位相検出ピクセルPPXを含む。
【0025】
複数のイメージセンシングピクセルIPXは、客体OBJECTに対応するイメージ信号を生成する。複数の位相検出ピクセルPPXは、客体OBJECTに対応するイメージ信号を生成するだけではなく、客体OBJECTに対する焦点を合わせるために使用される位相信号を更に生成する。位相信号は、光学装置を通じて入射した客体OBJECTに対応するイメージの位置に関する情報を含む。複数のイメージセンシングピクセルIPX及び複数の位相検出ピクセルPPXによって生成されたイメージ信号及び位相信号は、カラムラインCLsを通じてリードアウト回路150に伝達される。リードアウト回路150は、位相信号を通じてイメージ間の位相差を算出する。
【0026】
複数のイメージセンシングピクセルIPX及び複数の位相検出ピクセルPPXのそれぞれの上部には、カラーフィルタ及びマイクロレンズが積層される。カラーフィルタは、マイクロレンズを通じて入射する光の中の特定色の光、即ち特定色領域の波長を透過させる。複数のイメージセンシングピクセルIPX及び複数の位相検出ピクセルPPXに備えられるカラーフィルタによってピクセルPXが感知する色が決定される。しかし、これに制限されるわけではなく、ピクセルPX内の光電変換素子は、印加される電気信号のレベル(例えば、電圧レベル)によって、特定色領域の波長に該当する光を電気的信号に変換する。即ち、光電変換素子に印加される電気信号のレベルによってピクセルPXが感知する色が決定される。
【0027】
以下、可視光領域中のレッド領域の波長に応答してレッドカラー信号に対応するイメージ信号を生成するピクセルをレッドピクセルという。また、可視光領域中のグリーン領域の波長に応答してグリーンカラー信号に対応するイメージ信号を生成するピクセルをグリーンピクセルという。更に、可視光領域中のブルー領域の波長に応答してブルーカラー信号に相応するイメージ信号を生成するピクセルをブルーピクセルという。
【0028】
ロードライバー120は、コントローラ130の制御(例えば、行制御信号CTR_X)に応答してピクセルアレイ110を駆動するための制御信号を生成し、複数のローラインRLsを通じてピクセルアレイ110の複数のピクセルPXに制御信号を提供する。一実施形態で、ロードライバー120は、ローライン単位でピクセルPXが入射する光を感知するように制御する。ローライン単位は、少なくとも一つのローラインを含む。
【0029】
また、ロードライバー120は、複数のピクセルPXのうちのローライン単位でピクセルを選択し、選択されたピクセル(例えば、一つのローに配置されたピクセル)にリセット信号を提供してピクセルをリセットさせ、選択されたピクセルが生成する電圧が複数のカラムラインCLsを通じて出力されるように制御する。ここで、ピクセルPXをリセットすることは、ピクセルPX内の光電変換素子によって生成された電気信号(例えば、電圧)を除去することを意味する。
【0030】
コントローラ130は、イメージセンサ100に含まれる各構成要素(110、120、140、150)を全般的に制御する。コントローラ130は、制御信号を用いて各構成要素(110、120、140、150)の動作タイミングを制御する。例えば、コントローラ130はロードライバー120に行制御信号CTR_Xを提供し、ロードライバー120は行制御信号CTR_Xに基づいてローラインRLsを通じてピクセルアレイ110をローライン単位で感知するように制御する。例えば、コントローラ130はランプ信号生成器140にランプ信号を制御するランプ制御信号CTR_Rを提供し、ランプ信号生成器140はランプ制御信号CTR_Rに基づいてリードアウト回路150の動作のための基準信号RAMPを生成する。例えば、コントローラ130はリードアウト回路150に列制御信号CTR_Yを提供し、リードアウト回路150は列制御信号CTR_Yに基づいてカラムラインCLsを通じてピクセルアレイ110からのピクセル信号を受信して処理する。
【0031】
一実施形態で、コントローラ130は、モード信号に基づいてイメージセンサ100を全般的に制御する。具体的に、コントローラ130は、アプリケーションプロセッサーから撮像モードを指示するモード信号を受信する。例えば、アプリケーションプロセッサーは、撮像環境の照度、使用者の解像度設定、センシングされるか又は学習された状態などの多様なシナリオによってイメージセンサ100の撮像モードを決定し、決定された結果をモード信号としてコントローラ130に提供する。コントローラ130はピクセルアレイ110の複数のピクセルが撮像モードによってピクセル信号を出力するように行制御信号CTR_X、列制御信号CTR_Y、及びランプ制御信号CTR_Rを制御し、ピクセルアレイ110は行制御信号CTR_X及び列制御信号CTR_Yに基づいて複数のピクセルのそれぞれに対するピクセル信号又は複数のピクセルのうちの一部に対するピクセル信号を出力し、リードアウト回路150は基準信号RAMPに基づいてピクセルアレイ110から伝達を受けたピクセル信号をサンプリングして処理する。
【0032】
例えば、高照度環境で、アプリケーションプロセッサーは、フルモード(full mode)を指示するモード信号MDをイメージセンサ100に提供する。フルモードを指示するモード信号MDを受信した場合、イメージセンサ100は、ピクセルアレイ110の全てのピクセルのそれぞれによって生成されたピクセル信号を出力するようにピクセルアレイ110を制御し、出力されたピクセル信号を個別的に処理する。一方、隣接して配置された2つの位相検出ピクセルPPX上には一つのマイクロレンズが位置し、位相検出ピクセルPPXには光が屈折されて入力される。これにより、位相検出ピクセルPPXから出力されるピクセル信号は、イメージセンシングピクセルIPXから出力されるイメージ信号とは異なる。位相検出ピクセルPPXから出力されるピクセル信号とイメージセンシングピクセルIPXから出力されるピクセル信号との差を補償するために、イメージセンサ100は、位相検出ピクセルPPXから出力されたピクセル信号の代わりに位相検出ピクセルPPXに隣接して配置されたイメージセンシングピクセルIPXのピクセル信号を使用してイメージ信号を生成する。
【0033】
低照度環境で、アプリケーションプロセッサーはビニングモード(binning mode)を指示するモード信号MDをイメージセンサ100に提供する。ビニングモードを指示するモード信号MDを受信した場合、イメージセンサ100は、ピクセルアレイ110内で隣接して位置するピクセル又は所定個数の同一カラーピクセル単位で生成されたピクセル信号を出力するようにピクセルアレイ110を制御し、出力されたピクセル信号を処理する。
【0034】
コントローラ130は、ロジック回路を含むハードウェアのような処理回路で実現されるか、又は圧縮動作を行うソフトウェアを実行するプロセッサーのようにハードウェアとソフトウェアとの組み合わせで実現される。特に、コントローラ130は、イメージセンサ100に含まれる中央処理装置(Central Processing Unit:CPU)、算術及び論理演算、ビットシフトなどを行うALU(Arithmetic Logic Unit)、DSP(Digital Signal Processor)、マイクロプロセッサー(microprocessor)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)、コントロールロジック(control logic)などで実現されるが、これに制限されず、人工神経網などの補助、又は人工神経網それ自体を用いた加速器(accelerator)、NPU(Neural Processing Unit)などを更に使用することもできる。
【0035】
ランプ信号生成器140は、所定の傾きを有して漸進的に増加又は減少する複数のランプ信号を含む基準信号RAMPを生成してリードアウト回路150に提供する。
【0036】
具体的に、ランプ信号生成器140は、電流源、抵抗、及びキャパシタを含む。ランプ信号生成器140は、可変電流源の電流の大きさや可変抵抗の抵抗値を調節してランプ抵抗にかかる電圧であるランプ電圧を調節することによって、可変電流源の電流の大きさ又は可変抵抗の抵抗値によって決定される傾きで下降又は上昇する複数のランプ信号を生成する。例えば、基準信号RAMPは、一定の電圧を維持してから決定された傾きで低下し、再び一定の電圧に復帰する波形を有する。
【0037】
リードアウト回路150は、コントローラ130からの制御によって複数のピクセルPXの中から選択されたローラインRLsに連結されたピクセルPXからのピクセル信号(又は電気信号)を、光量を示すピクセル値に変換する。リードアウト回路150は、対応するカラムラインCLsを通じて出力されるピクセル信号を処理してイメージデータIDATとして出力する。リードアウト回路150は、相関二重サンプリング(CDS)回路151、アナログデジタル変換(Analog Digital Converter:ADC)回路153、及びバッファー155を含む。
【0038】
相関二重サンプリング回路151は複数の比較器を含み、各々の比較器は複数のカラムラインCLsを通じてピクセルアレイ110から受信されるピクセル信号をランプ信号生成器140からの基準信号RAMPと比較する。具体的に、相関二重サンプリング回路151は、受信されるピクセル信号を基準信号RAMPと比較して比較結果をアナログデジタル変換回路153に出力する。
【0039】
複数のピクセルPXから出力される複数のピクセル信号は、ピクセル毎に有する固有の特性(例えば、固定パターンノイズ(Fixed Pattern Noise:FPN)など)による偏差及び/又はピクセルPXからピクセル信号を出力するためのピクセル回路(例えば、ピクセル内で光電変換素子に貯蔵された電荷を出力するためのトランジスタ)の特性差に起因する偏差を有する。複数のカラムラインCLsを通じて出力される複数のピクセル信号間の偏差を補償するために、ピクセル信号に対してリセット成分(例えば、リセット電圧)及びセンシング成分(例えば、センシング電圧)を求め、その差(例えば、リセット電圧及びセンシング電圧間の差)を有効な信号成分として抽出することを相関二重サンプリング(Correlated Double Sampling)という。相関二重サンプリング回路151は、受信したピクセル信号に対して相関二重サンプリング技法が適用された比較結果を出力する。
【0040】
アナログデジタル変換回路153は、相関二重サンプリング回路151の比較結果をデジタルデータに変換することによって、複数のピクセルに対応するピクセル値を行単位で生成して出力する。アナログデジタル変換回路153は、複数のカウンターを含む。カウンターは、カウンティングクロック信号に基づいてカウント値が順次に増加するアップカウンター及び演算回路、又はアップ/ダウンカウンター、又はビットワイズインバージョンカウンター(bit-wise inversion counter)で実現される。複数のカウンターは、複数の比較器の各々の出力に連結される。複数のカウンターの各々は、対応する比較器から出力される比較結果をカウンティングして、カウンティング結果によるデジタルデータ(例えば、ピクセル値)を出力する。
【0041】
バッファー155は、アナログデジタル変換回路153から出力されるピクセル値をそれぞれ保存する。バッファー155は、行毎のデジタルデータを保存する。一実施形態で、バッファー155は、カウンターから出力される複数のデジタルデータを臨時保存した後、増幅して出力する。即ち、バッファー155は出力バッファーである。バッファー155は、コントローラ130の列制御信号CTR_Yに基づいて増幅されたイメージデータ(IDAT)を外部に出力する。
【0042】
バッファー155は、SRAM(static random access memory)、ラッチ(latch)、フリップフロップ(flipflop)、又はこれらの組み合わせで実現されるが、これに限定されるものではない。一実施形態において、バッファー155はメモリとしてアナログデジタル変換回路153の内部に含まれる。
【0043】
一実施形態で、イメージセンサ100は自動焦点検出(Auto Focusing:AF)機能を支援する。イメージセンサ100は、位相差AF技術を使用して自動焦点検出を行う。位相差AFは、イメージセンサ100に結ばれた像の位相のディスパリティ(disparity)を感知して、客体OBJECTに対する焦点を合わせる方式である。具体的に、CDS回路151は、ピクセルアレイ110から位相信号を受信して位相差演算を行う。例えば、CDS回路151は、位相検出ピクセルPPXから伝達を受けた位相信号に対して相関二重サンプリング演算を行って焦点の位置、焦点の方向、又は客体OBJECTとイメージセンサ100との間の距離などを求める。その後、コントローラ130は、相関二重サンプリング演算結果に基づいて、レンズLSの位置を移動させる制御信号を出力する。
【0044】
図2及び図3は、一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置を示す平面図である。
【0045】
図2に示すように、ピクセルアレイ110は、X軸に沿ってイメージセンサ100の基板上に反復的に配置された複数の第1ピクセルグループPG1及び複数の第2ピクセルグループPG2を含む。
【0046】
一番目の列には複数の第1ピクセルグループPG1が配置され、二番目の列には複数の第2ピクセルグループPG2が配置され、三番目の列には複数の第1ピクセルグループPG1が配置される。即ち、列方向には同一のピクセルグループPG1又はPG2が配置され、行方向には異なるピクセルグループが交互に配置される。第1ピクセルグループPG1と第2ピクセルグループPG2とは、列方向に沿って反復的に配列されてもよい。
【0047】
図2で、一番目の列は全て第1ピクセルグループPG1が配置されるものとして示しているが、これに限定されるものではなく、第2ピクセルグループPG2が配置されてもよい。
【0048】
図3は、一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第1例を示す平面図であり、第1ピクセルグループPG1及び第2ピクセルグループPG2内のピクセル位置を示す図である。
【0049】
一つのピクセルグループ(PG1又はPG2)は、複数のピクセルユニットを含む。複数のピクセルユニットは、A×B形態(ここで、A、Bは全て任意の自然数)に配置される。以下で、一つのピクセルグループは4つのピクセルユニットを含み、一つのピクセルグループ内で4つのピクセルユニットは2×2形態に配置されるものとして説明する。例えば、第1ピクセルグループPG1は2×2個のピクセルユニット(PU11、PU12、PU21、PU22)を含む。また、第2ピクセルグループPG2は2×2個のピクセルユニット(PU13、PU14、PU23、PU24)を含む。
【0050】
一つのピクセルユニット上には同一のカラーフィルタが形成される。即ち、一つのピクセルユニットは、一つのカラーに関する情報を出力するためのピクセルを含む。例えば、ピクセルユニットPU11上には第1カラーフィルタCF1、ピクセルユニットPU12上には第2カラーフィルタCF2、ピクセルユニットPU21上には第3カラーフィルタCF3、ピクセルユニットPU22上には第4カラーフィルタCF4が形成される。第1カラーフィルタCF1はグリーン(Gr)光を透過させ、第2カラーフィルタCF2はレッド(R)光を透過させ、第3カラーフィルタCF3はブルー(Blue)光を透過させ、第4カラーフィルタCF4はグリーン(Gb)光を透過させる。第1カラーフィルタCF1が形成されているピクセルユニットを第1グリーンピクセルユニットと称し、第2カラーフィルタCF2が形成されているピクセルユニットをレッドピクセルユニットと称し、第3カラーフィルタCF3が形成されているピクセルユニットをブルーピクセルユニットと称し、第4カラーフィルタCF4が形成されているピクセルユニットを第2グリーンピクセルユニットと称する。
【0051】
複数のピクセルユニット(PU11、PU12、PU21、PU22又はPU13、PU14、PU23、PU24)は、一つのピクセルグループ(PG1又はPG2)内でベイヤー(bayer)パターンに配列される。本発明では、説明の便宜のためにベイヤーパターンの一実現として、第1グリーンピクセルユニットの右側にレッドピクセルユニットが配置され、第1グリーンピクセルユニットの下側にブルーピクセルユニットが配置され、第1グリーンピクセルユニットの対角線側に第2グリーンピクセルユニットがそれぞれ配置されたものとして例示したが、本発明の技術的な思想はこれに制限されず、レッド、グリーン、ブルーピクセルユニットの位置がそれぞれ変わるか、又は2つのグリーンピクセルユニットのうちのいずれか一つの代わりにホワイトピクセルユニットが位置するか、或いはイエロー(Yellow)ピクセルユニット、シアン(Cyan)ピクセルユニットなどの他の色構成で組み合わせることができることが理解されるはずである。
【0052】
一つのピクセルユニットは、X軸及びY軸に沿って位置する3×3個のサブピクセルを含む。例えば、ピクセルユニットPU11は、X軸及びY軸に沿って位置する3×3形態のサブピクセル(PX111~PX119)を含む。各サブピクセル(PX111~PX119)は、光電変換素子を含む。
【0053】
本実施形態では、説明の便宜のために3×3形態に配列された9個のサブピクセルを例示したが、これに制限されず、ピクセルユニットは多様な個数の組み合わせ(例えば、m×n形態、ここでm及びnは全て任意の自然数)で配列されたサブピクセルを含むことができる。
【0054】
一つのピクセルグループは、複数の位相検出ピクセルPPXを含む。複数の位相検出ピクセルPPXは、一つのピクセルユニット内に配置される。複数の位相検出ピクセルPPXは、左右に隣接するか又は上下に隣接して配置される。図3では、左右に隣接して配列される位相検出ピクセルPPXを示しているが、本発明はこれに限定されず、上下に隣接して配列された複数の位相検出ピクセル又は対角線に隣接して配列された複数の位相検出ピクセルなどの多様な幾何学的構造の複数の位相検出ピクセルを含むことができる。
【0055】
例えば、一つのピクセルユニットPU11は左右に隣接して配列された複数の位相検出ピクセル(PX115、PX116)を含み、一つのピクセルユニットPU13は左右に隣接して配列された複数の位相検出ピクセル(PX135、PX136)を含む。ピクセルアレイ110に位置する複数のサブピクセルの個数に対する位相検出ピクセルPPXの個数の比率は1/9である。
【0056】
隣接する二つのピクセルグループ(PG1、PG2)にそれぞれ含まれる位相検出ピクセルは、対(pair)をなして客体OBJECTとの距離を算出することに使用される。一実施形態で、任意の一つのピクセルグループPG1内の第1ピクセルユニットPU11内で左右に配置された2つの位相検出ピクセルのうちの左側に配置された位相検出ピクセルPX115とピクセルグループPG1に隣接して位置するピクセルグループPG2内の第1ピクセルユニットPU13内で左右に配置された2つの位相検出ピクセルのうちの右側に配置された位相検出ピクセルPX136とが一対の位相検出ピクセルPHD1を構成する。また、同様に、サブピクセルPX225とサブピクセルPX246は、一対の位相検出ピクセルPHD2を構成する。
【0057】
イメージセンサ100は、一対の位相検出ピクセル(PHD1、PHD2)のピクセル信号差に基づいて客体OBJECTとの距離を算出し、算出された距離に基づいて客体OBJECTの焦点を検出する。例えば、一対の位相検出ピクセル(PHD1、PHD2)の中の第1位相検出ピクセル(PX115、PX225)は客体OBJECTに対する左側方面イメージを、第2位相検出ピクセル(PX136、PX246)は客体OBJECTに対する右側方面イメージをセンシングする。一対の位相検出ピクセル(PHD1、PHD2)の第1及び第2位相検出ピクセルのそれぞれは、異なるピクセルグループ(PG1、PG2)に配置される。イメージセンサ100は、一対の位相検出ピクセル(PHD1、PHD2)の位相信号間のディスパリティを算出することによって客体OBJECTに対する位相検出を行う。
【0058】
一対の位相検出ピクセルに関連して図4と共に参照する。
【0059】
図4は、図3のピクセルアレイのI-I’線、II-II’線による断面図である。図4は一対の位相検出ピクセルPHD1に対して示したものであり、これは一対の位相検出ピクセルPHD2の断面図も同様である。
【0060】
複数のピクセルPXの各々は、マイクロレンズ、フォトダイオード、及びカラーフィルタを含む。カラーフィルタの上部にはマイクロレンズを備える。一実施形態において、マイクロレンズの垂直断面形状は円の曲率を有する弧であるか又は楕円の一部である。
【0061】
具体的に、サブピクセルPX114は、フォトダイオードPD114上に配置された一つのカラーフィルタCF1及び一つのマイクロレンズML11を含む。マイクロレンズML11の中心に入射した光はカラーフィルタCF1を通過することによって特定波長帯域の光(例えば、グリーンカラーに相応する500~600nm)のみを透過し、透過した特定波長帯域の光はフォトダイオードPD114に結像(imagery)される。このように、一つのマイクロレンズML11に入射した光が一つのフォトダイオードPD114に結像される場合、シングルフォトダイオード(Single-PD)と称する。サブピクセルPX114と同様に、サブピクセルPX134にも一つのマイクロレンズML13に入射した光が一つのフォトダイオードPD134に結像される。また、図4に示していないが、位相検出ピクセルPPXでないサブピクセル(PX124、PX125、PX126)もシングルフォトダイオードである。
【0062】
サブピクセルPX115のフォトダイオードPD115及びサブピクセルPX116のフォトダイオードPD116上にはカラーフィルタCF1が配置され、フォトダイオード(PD115、PD116)上には一つのマイクロレンズML11’が配置される。即ち、一つのマイクロレンズML11’下に二つのカラーフィルタCF1及び二つのフォトダイオード(PD115、PD116)をそれぞれ備える。マイクロレンズML11’の中心に入射した光は屈折し、入射した光の一部である第1光束LFxはカラーフィルタCF1を通過してフォトダイオードPD115に結像され、入射した光の残りの一部である第2光束LFyはカラーフィルタCF1を通過してフォトダイオードPD116に結像される。このように、一つのマイクロレンズML11’に入射した光が二つのフォトダイオード(PD115、PD116)に結像される場合、デュアルフォトダイオード(Dual-PD)と称する。他の位相検出ピクセルPPXであるサブピクセル(PX135、PX136)もデュアルフォトダイオードである。
【0063】
サブピクセルPX115は第1位相検出ピクセルであり、サブピクセルPX136は第2位相検出ピクセルである。即ち、サブピクセルPX115は客体に対する左側方面のイメージをセンシングし、サブピクセルPX136は客体に対する右側方面のイメージをセンシングする。イメージセンサ100は一対の位相検出ピクセルのフォトダイオード(PD115、PD136)の電荷に基づいて位相差によるディスパリティを算出することによって客体OBJECTに対する位相検出を行うため、同一の客体OBJECTに対してそれぞれ異なる位相を有するイメージを獲得することができる。
【0064】
図5は、一実施形態によるピクセルユニットの一例を示す回路図である。
【0065】
例示的に、図5は、図2に示したピクセルユニットPU11及びピクセルユニットPU13の回路図である。
【0066】
ピクセルユニットPU11及びピクセルユニットPU13は、位相検出ピクセルを含む第1グリーンピクセルユニットである。一方、同一のカラーフィルタを有するピクセルユニットは全てのピクセルグループ内で同様の構造を有する。
【0067】
それぞれのピクセルユニットのサブピクセルは、同一のフローティング拡散領域を共有する。例えば、ピクセルユニットPU11はサブピクセル(PX111~PX119)を含み、ピクセルユニットPU11のサブピクセル(PX111~PX119)は同一のフローティング拡散領域FD1を共有する。
【0068】
ピクセルユニットPU11は、光電変換素子(PD111~PD119)、リセットトランジスタR1、駆動トランジスタSF1、及び選択トランジスタSE1を含む。
【0069】
サブピクセルPX111は、光電変換素子PD111及び伝送トランジスタT111を含む。サブピクセルPX112は光電変換素子PD112及び伝送トランジスタT112を含み、サブピクセルPX113は光電変換素子PD113及び伝送トランジスタT113を含み、サブピクセルPX114は光電変換素子PD114及び伝送トランジスタT114を含み、サブピクセルPX115は光電変換素子PD115及び伝送トランジスタT115を含む。また、サブピクセルPX116は光電変換素子PD116及び伝送トランジスタT116を含み、サブピクセルPX117は光電変換素子PD117及び伝送トランジスタT117を含み、サブピクセルPX118は光電変換素子PD118及び伝送トランジスタT118を含み、サブピクセルPX119は光電変換素子PD119及び伝送トランジスタT119を含む。サブピクセル(PX111~PX119)は、リセットトランジスタR1、駆動トランジスタSF1、及び選択トランジスタSE1を共有する。
【0070】
リセットトランジスタR1は、リセット信号RG1によってターンオンされて第1フローティング拡散領域FD1にリセット電圧(例えば、電源電圧VDD)を提供する。第1フローティング拡散領域FD1は、光電変換素子(PD111~PD119)のうちの少なくとも一つによって変換された電荷を蓄積する。例示的に、第1フローティング拡散領域FD1の静電容量を第1キャパシタンスCFD1として図示した。第1フローティング拡散領域FD1は、ソースフォロア(Source follower)増幅器として動作する駆動トランジスタSF1のゲート端に連結される。その結果、第1フローティング拡散領域FD1に蓄積された電荷に対応する電圧ポテンシャルが形成される。
【0071】
駆動トランジスタSF1は、第1フローティング拡散領域FD1の電荷の変化を増幅し、これに対応する電圧(即ち、ピクセル信号VOUT1)を生成する。選択トランジスタSE1は、選択信号SEL1によって駆動されて行単位で読み出されるピクセルユニットを選択する。選択トランジスタSE1がターンオンされることによって、ピクセル信号VOUT1がカラムラインCL1を通じてリードアウト回路150に出力される。
【0072】
伝送トランジスタ(T111~T119)は、光電変換素子(PD111~PD119)によって生成された電荷を第1フローティング拡散領域FD1に伝送する。伝送トランジスタ(T111~T119)の一端は光電変換素子(PD111~PD119)にそれぞれ連結され、他端は第1フローティング拡散領域FD1に共通に連結される。例えば、ロードライバー120から受信された伝送信号TG1によって伝送トランジスタT111がターンオンされる区間の間、光電変換素子PD111から提供された電荷が第1フローティング拡散領域FD1に蓄積される。伝送トランジスタ(T112~T119)も同様の方式で動作することによって、光電変換素子(PD112~PD119)から提供された電荷も同様に第1フローティング拡散領域FD1に蓄積される。
【0073】
一方、ピクセルユニットPU13はサブピクセル(PX131~PX139)を含み、ピクセルユニットPU13のサブピクセル(PX131~PX139)は同一のフローティング拡散領域FD3を共有する。ピクセルユニットPU13は、光電変換素子(PD131~PD139)、リセットトランジスタR3、駆動トランジスタSF3、及び選択トランジスタSE3を含む。
【0074】
サブピクセルPX131は、光電変換素子PD131及び伝送トランジスタT131を含む。サブピクセルPX132は光電変換素子PD132及び伝送トランジスタT132を含み、サブピクセルPX133は光電変換素子PD133及び伝送トランジスタT133を含み、サブピクセルPX134は光電変換素子PD134及び伝送トランジスタT134を含み、サブピクセルPX135は光電変換素子PD135及び伝送トランジスタT135を含む。また、サブピクセルPX136は光電変換素子PD136及び伝送トランジスタT136を含み、サブピクセルPX137は光電変換素子PD137及び伝送トランジスタT137を含み、サブピクセルPX138は光電変換素子PD138及び伝送トランジスタT138を含み、サブピクセルPX139は光電変換素子PD139及び伝送トランジスタT139を含む。サブピクセル(PX131~PX139)は、リセットトランジスタR3、駆動トランジスタSF3、及び選択トランジスタSE3を共有する。
【0075】
リセットトランジスタR3は、リセット信号RG1によってターンオンされて第3フローティング拡散領域FD3にリセット電圧(例えば、電源電圧VDD)を提供する。第3フローティング拡散領域FD3は、光電変換素子(PD131~PD139)のうちの少なくとも一つによって変換された電荷を蓄積する。例示的に、第3フローティング拡散領域FD3の静電容量を第3キャパシタンスCFD3として図示した。第3フローティング拡散領域FD3は、ソースフォロア増幅器として動作する駆動トランジスタSF3のゲート端に連結される。その結果、第3フローティング拡散領域FD3に蓄積された電荷に対応する電圧ポテンシャルが形成される。
【0076】
駆動トランジスタSF3は、第3フローティング拡散領域FD3の電荷の変化を増幅し、これに対応する電圧(即ち、ピクセル信号VOUT3)を生成する。選択トランジスタSE3は、選択信号SEL1によって駆動されて行単位で読み出されるピクセルユニットを選択する。選択トランジスタSE3がターンオンされることによって、ピクセル信号VOUT3がカラムラインCL3を通じてリードアウト回路150に出力される。
【0077】
伝送トランジスタ(T131~T139)は、光電変換素子(PD131~PD139)によって生成された電荷を第3フローティング拡散領域FD3に伝送する。伝送トランジスタ(T131~T139)の一端は光電変換素子(PD131~PD139)にそれぞれ連結され、他端は第3フローティング拡散領域FD3に共通に連結される。
【0078】
一実施形態で、位相検出ピクセル(PX115、PX116、PX135、PX136、PX225、PX226、PX245、PX246)を除いた他のサブピクセルは、ピクセルグループ内で対応する位置に配列されたピクセル同士が同一の伝送信号によって制御される。例えば、ピクセルグループ(PG1、PG2)内でサブピクセル(PX111、PX131;PX123、PX143;PX213、PX233など)は同一の伝送信号、例えば第1伝送信号TG1によって制御される。
【0079】
一対の位相検出ピクセルPHDは、同一の伝送信号によって制御される。具体的に、第1位相検出ピクセル(例えば、サブピクセルPX115、PX225)及び第2位相検出ピクセル(例えば、サブピクセルPX136、PX246)は一つの伝送信号、例えば第5伝送信号TG5によって制御される。
【0080】
コントローラ130がフルモードで動作する場合、ピクセルユニットを構成する各サブピクセル(PX111~PX119、PX131~PX139)から出力されるピクセル信号が個別的に使用される。即ち、コントローラ130は伝送トランジスタ(T111~T119、T131~T139)のそれぞれが互いに異なるタイミングにターンオンされるように伝送信号(TG1~TG9)をそれぞれ制御することによって、各光電変換素子によって変換された電荷に対応するピクセル信号(VOUT1、VOUT3)がカラムライン(CL1、CL3)を通じてそれぞれ異なるタイミングに出力される。
【0081】
コントローラ130がビニングモードで動作する場合、ピクセルユニットを構成する各サブピクセル(PX111~PX119、PX131~PX139)によって変換された電荷が一つのピクセル信号(VOUT1、VOUT3)を生成することに使用される。例えば、伝送トランジスタ(T111~T119)が同時に又は異時にターンオンされてサブピクセル(PX111~PX119)によって変換された電荷が第1フローティング拡散領域FD1に蓄積され、伝送トランジスタ(T131~T139)が同時に又は異時にターンオンされてサブピクセル(PX131~PX139)によって変換された電荷が第3フローティング拡散領域FD3に蓄積される。その後、第1フローティング拡散領域FD1に蓄積された電荷に対応するピクセル信号VOUT1及び第3フローティング拡散領域FD3に蓄積された電荷に対応するピクセル信号VOUT3がカラムラインCL3を通じてリードアウト回路150に出力される。
【0082】
図6は、一実施形態によるピクセルアレイに提供される伝送制御信号を説明するための一例を示すタイミング図である。
【0083】
具体的に、図6は、コントローラ130がビニングモードで動作する場合にイメージセンサの動作タイミングを示すタイミング図である。
【0084】
図6は、ピクセルユニット単位で複数のピクセルを駆動させるためのスキャン区間を示している。一つのスキャン区間は、リセット区間(Reset)、露出区間(Exposure)、及びリードアウト区間(Readout)を順次に含む。
【0085】
リセット区間(Reset)でリセット信号RG1がハイレベルHに遷移されることによって、リセットトランジスタ(R1、R3)がターンオンされる。これにより、第1フローティング拡散領域FD1及び第3フローティング拡散領域FD3に蓄積された電荷が電源電圧端VDDに移動し、第1フローティング拡散領域FD1及び第3フローティング拡散領域FD3の電圧は電源電圧VDDにリセットされる。
【0086】
その後、露出区間(Exposure)の間、それぞれの光電変換素子(PD111~PD119、PD131~PD139)に電荷が蓄積される。
【0087】
最後に、リードアウト区間(Readout)は、それぞれの光電変換素子(PD111~PD119、PD131~PD139)に蓄積された電荷がリードアウト回路150に出力される区間である。
【0088】
リードアウト区間(Readout)の間、選択信号SEL1がハイレベルHに遷移されて一つの行に配置されたピクセルユニットが選択される。具体的に、選択信号SEL1によって選択トランジスタ(SE1、SE3)がターンオンされる。
【0089】
t1でリセット信号RG1がハイレベルHに遷移されてリセットトランジスタ(R1、R3)がt1~t2区間内でターンオンされる。そうすると、第1フローティング拡散領域FD1及び第3フローティング拡散領域FD3が電源電圧VDDに連結される。
【0090】
その後、t3~t4区間内で選択されたピクセルユニット(PU11、PU13)から出力されるピクセル信号(VOUT1、VOUT3)はリセットピクセル信号RSTを含む。
【0091】
図7を共に参照する。図7は、リードアウト区間でフローティング拡散領域に蓄積される電荷を図式的に示す図である。具体的に、図7の(a)、(b)、及び(c)は第1フローティング拡散領域FD1内に蓄積される電荷を図式的に示す図であり、図7の(d)、(e)、及び(f)は第3フローティング拡散領域FD3内に蓄積される電荷を図式的に示す図である。
【0092】
図7の(a)はt3~t4区間のサブピクセル(PX111~PX119)内の電荷及び第1フローティング拡散領域FD1を示し、図7の(d)はt3~t4区間のサブピクセル(PX131~PX139)内の電荷及び第3フローティング拡散領域FD3を示す図である。
【0093】
図7の(a)及び(d)に示すように、第1フローティング拡散領域FD1及び第3フローティング拡散領域FD3は電源電圧VDDに連結されてリセットされるため、いかなる電荷も蓄積されない。
【0094】
再び図6を参照すると、基準信号RAMPは、ランプ信号生成器140によって生成されてリードアウト期間(Readout)の間にリードアウト回路150内のCDS回路151に提供される信号である。基準信号RAMPの波形は、リードアウト期間(Readout)の間に発生するピクセル信号の種類によって決定される。例えば、ピクセルアレイ110からリセットピクセル信号RSTが出力されると、ランプ信号生成器140はリセット基準信号s1を出力する。又は、ピクセルアレイ110からイメージ信号(SIG1、SIG2)が出力されると、ランプ信号生成器140は第1及び第2セット基準信号(s2、s3)を出力する。
【0095】
t3~t4区間で、ランプ信号生成器140はリセット基準信号s1を出力する。CDS回路151は、ピクセルアレイ110からピクセル信号VOUT1及びピクセル信号VOUT3、ランプ信号生成器140からリセット基準信号s1の伝達を受けてそれぞれを比較する。
【0096】
t5~t6区間で第5伝送信号TG5がハイレベルHに遷移される。第5伝送信号TG5がハイレベルHである区間の間、伝送トランジスタT115及び伝送トランジスタT136がターンオンされて、それぞれの光電変換素子PD115及び光電変換素子PD136から提供された電荷がそれぞれ第1フローティング拡散領域FD1及び第3フローティング拡散領域FD3に蓄積される。第1フローティング拡散領域FD1に蓄積されている電荷は駆動トランジスタSF1を通じてピクセル信号VOUT1に出力され、第3フローティング拡散領域FD3に蓄積されている電荷は駆動トランジスタSF3を通じてピクセル信号VOUT3に出力される。即ち、ピクセルアレイ110から一対の位相検出ピクセルPHDの位相信号が出力される。
【0097】
図7の(b)はt5~t6区間のサブピクセル(PX111~PX119)内の電荷及び第1フローティング拡散領域FD1を示し、図7の(e)は、t5~t6区間のサブピクセル(PX131~PX139)内の電荷及び第3フローティング拡散領域FD3を示す図である。
【0098】
第1フローティング拡散領域FD1には、第1位相検出ピクセル、即ちサブピクセルPX115の光電変換素子PD115からの電荷が蓄積され、第3フローティング拡散領域FD3には、第2位相検出ピクセル、即ちサブピクセルPX136の光電変換素子PD136からの電荷が蓄積される。
【0099】
t5~t6区間で、ランプ信号生成器140は第1セット基準信号s2を出力する。CDS回路151は、ピクセルアレイ110からピクセル信号VOUT1及びピクセル信号VOUT3、ランプ信号生成器140から第1セット基準信号s2の伝達を受けてそれぞれを比較する。具体的に、CDS回路151はピクセル信号VOUT1に含まれる光電変換素子PD115の電荷及びピクセル信号VOUT3に含まれる光電変換素子PD136の電荷に基づいて位相差演算を行って客体OBJECTに対する位相情報を導出する。具体的に、光電変換素子PD115の電荷は客体OBJECTの左側方面イメージに対応し、光電変換素子PD136の電荷は客体OBJECTの右側方面イメージに対応する。例えば、CDS回路151は、位相検出ピクセル(PX115、PX136)からの位相信号に対して相関二重サンプリング演算を行って客体OBJECTに対する位相情報を導出する。この時、一対の位相検出ピクセルPHD1から導出された位相情報は、客体OBJECTに対する左右ディスパリティを含む。コントローラ130は、CDS回路151が導出した位相情報を使用して客体OBJECTに対して左右方向に焦点を調整する。
【0100】
再び図6を参照すると、t7~t8区間で、残りの伝送信号(TG1~TG4、TG6~TG9)が全てハイレベルHに遷移される。この区間の間、ピクセルユニットPU11内の残りの伝送トランジスタ(T111~T114、T116~T119)、ピクセルユニットPU13内の残りの伝送トランジスタ(T131~T135、T137~T139)が全てターンオンされる。これにより、第1フローティング拡散領域FD1にそれぞれの光電変換素子(PD111~PD114、PD116~PD119)から提供された電荷が更に蓄積され、第3フローティング拡散領域FD3にそれぞれの光電変換素子(PD131~PD135、PD137~PD139)から提供された電荷が更に蓄積される。これにより、第1フローティング拡散領域FD1にはピクセルユニットPU11内に位置する全ての光電変換素子(PD111~PD119)から提供された電荷が、第3フローティング拡散領域FD3にはピクセルユニットPU13内に位置する全ての光電変換素子(PD131~PD139)から提供された電荷が蓄積される。
【0101】
図7の(c)はt7~t8区間のサブピクセル(PX111~PX119)内の電荷及びフローティング拡散領域FD1を示し、図7の(f)は、t7~t8区間のサブピクセル(PX131~PX139)内の電荷及びフローティング拡散領域FD3を示す図である。
【0102】
第1フローティング拡散領域FD1にはサブピクセル(PX111~PX119)の光電変換素子(PD111~PD119)からの電荷が蓄積され、第3フローティング拡散領域FD3にはサブピクセル(PX131~PX139)の光電変換素子(PD131~PD139)からの電荷が蓄積される。
【0103】
t7~t8区間で、ランプ信号生成器140は第2セット基準信号s3を出力する。CDS回路151は、ピクセルアレイ110からピクセル信号VOUT1及びピクセル信号VOUT3、ランプ信号生成器140から第2セット基準信号s3の伝達を受けてそれぞれを比較する。具体的に、CDS回路151は、ピクセル信号VOUT1に含まれる光電変換素子(PD111~PD119)の電荷及びピクセル信号VOUT3に含まれる光電変換素子(PD131~PD139)の電荷に基づいて客体OBJECTに対するイメージ情報を導出する。
【0104】
整理すると、一対の位相検出ピクセル内に含まれる第1位相検出ピクセル及び第2位相検出ピクセルが別個のピクセルグループ及び別個のピクセルユニット内に配置され、一対の位相検出ピクセルは同一の一つの伝送制御信号によって制御されるように配置される。また、イメージセンサ100は、一対の位相検出ピクセルの電荷を先に読み出した後、残りのサブピクセルの電荷を読み出すことによって、正確な位相情報を生成することができる。この時、一つのピクセルユニット内のサブピクセルは、一つのフローティングディフュージョンを共有する。
【0105】
一方、隣接して配置された2つの位相検出ピクセルPPX上に一つのマイクロレンズが位置しているため、それぞれの位相検出ピクセルPPXには光が屈折して入力される。2つの位相検出ピクセルが左右に隣接して位置する場合、第1位相検出ピクセルは客体OBJECTに対する左側方面イメージをセンシングして第1位相信号を生成し、第2位相検出ピクセルは客体OBJECTに対する右側方面イメージをセンシングして第2位相信号を生成する。
【0106】
例えば、2つの位相検出ピクセルPPXに20の光量が入射すると仮定する。入射した光は一つのマイクロレンズを通過しながら2つの光束(LFx、Lfy)に分離されて2つの位相検出ピクセルPPXのフォトダイオードに結像される。例えば、第1位相検出ピクセルを通過した第1位相信号の大きさは5の光量に対応し、第2位相検出ピクセルを通過した第2位相信号の大きさは15の光量に対応する。マイクロレンズによって2つの位相検出ピクセルPPXに同一に光束が分離されないため、それぞれの位相検出ピクセルPPXには正確な光量に対応するピクセル信号を出力することができない。従って、イメージセンサがビニングモードで動作する時、イメージセンシングピクセルIPXによって変換された電荷及び位相検出ピクセルPPXによって変換された電荷の合計で生成されたピクセル信号は、イメージセンシングピクセルIPXによって変換された電荷の合計で生成されたピクセル信号とは差がある。しかし、第1位相信号の大きさ及び第2位相信号の大きさの総合計は20の光量に対応するため、2つの位相検出ピクセルPPXを共に使用する場合には正確な光量に対応するピクセル信号を出力することができる。
【0107】
一方、従来のイメージセンサは異なるフローティングディフュージョン(即ち、異なるピクセルユニット)上に隣接して位置する2つの位相検出ピクセルPPXからの位相信号に基づいて位相情報を生成している。即ち、一つのピクセルユニット上には一つの位相検出ピクセルPPXが存在している。上述のように、一つの位相検出ピクセルPPXによって変換された電荷によって生成されたピクセル信号はイメージセンシングピクセルIPXによって変換された電荷によって生成されたピクセル信号とは異なることがある。これにより、一つのピクセルユニットから一つのピクセル信号を生成するために、位相検出ピクセルPPXから変換された電荷はイメージセンシングピクセルIPXによって変換された電荷と共に使用することができず、実際の感度に寄与することができなかった。従って、従来のイメージセンサは位相検出ピクセル一つを除いた残りのサブピクセルを使用して客体OBJECTに対応するイメージ信号を生成していた。
【0108】
しかし、本実施形態のイメージセンサ100によると、一つのフローティングディフュージョン(即ち、一つのピクセルユニット)上に2つの位相検出ピクセルPPXが配置されている。即ち、一つのピクセルユニット上には2つの位相検出ピクセルPPXの両方が存在する。従来のイメージセンサとは異なり、本実施形態のイメージセンサ100はビニングモード時に2つの位相検出ピクセルPPXによって変換された電荷の合計を使用する。即ち、イメージセンサ100は、リードアウト動作時、位相検出ピクセルPPXから位相信号を先に読み出した後、残りのイメージセンシングピクセルIPXからイメージ信号を読み出すことによって、イメージをセンシングすることにピクセルアレイ110内の全てのピクセルを使用する。これにより、イメージセンサ100は、従来のイメージセンサよりも増加した感度を有しながらイメージ信号を生成することができる。
【0109】
ピクセルアレイ110に位相検出ピクセルPPXをどのように配置するのかが問題になる。ピクセルアレイ110に過度に多くの位相検出ピクセルPPXを配置するとイメージセンシングピクセルIPXの個数が減少して解像度の劣化が誘発され、過度に少ない位相検出ピクセルPPXを配置すると、正確な位相差検出が不可能になる。位相検出ピクセルPPXが配置される多様な場合に関して、図8図9図11~16を参照して説明する。
【0110】
図8は、一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第2例を示す平面図である。
【0111】
グリーンピクセルユニットPU11内に配置されたサブピクセル(PX114、PX115)、グリーンピクセルユニットPU13内に配置されたサブピクセル(PX134、PX135)、グリーンピクセルユニットPU22内のサブピクセル(PX224、PX225)、グリーンピクセルユニットPU24内のサブピクセル(PX244、PX245)は位相検出ピクセルPPXである。ピクセルアレイ110に位置する複数のサブピクセルの個数に対する位相検出ピクセルPPXの個数の比率は1/9の値を有する。
【0112】
具体的に、サブピクセルPX114とサブピクセルPX135とは一対の位相検出ピクセルPHD3を構成する。また、サブピクセルPX224とサブピクセルPX245とは一対の位相検出ピクセルPHD4を構成する。この場合、フォトダイオード(PD114、PD115)上に一つのマイクロレンズが配置され、フォトダイオード(PD134、PD135)上に一つのマイクロレンズが配置される。勿論、サブピクセルPX224及びサブピクセルPX225のフォトダイオード上にも一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX244及びサブピクセルPX245のフォトダイオード上にも一つのマイクロレンズが配置される。
【0113】
一方、サブピクセルPX114は第1位相検出ピクセルであり、サブピクセルPX135は第2位相検出ピクセルである。また、サブピクセルPX224は第1位相検出ピクセルであり、サブピクセルPX245は第2位相検出ピクセルである。イメージセンサ100は第1位相検出ピクセルと第2位相検出ピクセルとのそれぞれのフォトダイオード間の位相差によるディスパリティを算出することによって客体OBJECTに対する位相検出を行うため、同一の客体OBJECTに対してそれぞれ異なる位相を有するイメージを獲得することができる。
【0114】
上述のように、ピクセルグループ(PG1、PG2)内で同一の位置に配列されたサブピクセルは同一の伝送信号によって制御される。位相検出ピクセル(PX114、PX115、PX134、PX135、PX224、PX225、PX244、PX245)を除いた他のサブピクセルはピクセルグループ内で対応する位置に配列されたサブピクセル同士が同一の伝送信号によって制御される。また、一対の位相検出ピクセル(PHD3、PHD4)は同一の伝送信号によって制御される。
【0115】
これに関して図5を共に参照して説明する。先ず、一対の位相検出ピクセルPHD3、即ちサブピクセルPX114及びサブピクセルPX135を制御する伝送信号がハイレベルHに遷移される。これにより、伝送トランジスタ(T114、T135)がターンオンされて、それぞれの光電変換素子(PD114、PD135)から提供された電荷がそれぞれのフローティング拡散領域に蓄積される。ピクセルユニット(PU11、PU13)は第1フローティング拡散領域FD1及び第3フローティング拡散領域FD3に蓄積された電荷に基づいて位相信号を出力する。CDS回路151はピクセルユニット(PU11、PU13)のそれぞれからの位相信号に対して相関二重サンプリング演算を行って客体OBJECTに対する位相情報を導出する。
【0116】
その後、一対の位相検出ピクセルPHD3を制御する伝送信号を除いた残りの伝送信号が全てハイレベルHに遷移される。この区間の間、ピクセルユニットPU11内の残りの伝送トランジスタ(T111~T113、T115~T119)、ピクセルユニットPU13内の残りの伝送トランジスタ(T131~T134、T136~T139)が全てターンオンされる。これにより、第1フローティング拡散領域FD1にそれぞれの光電変換素子(PD111~PD113、PD115~PD119)から提供された電荷が更に蓄積され、第3フローティング拡散領域FD3にそれぞれの光電変換素子(PD131~PD134、PD136~PD139)から提供された電荷が更に蓄積される。第1フローティング拡散領域FD1にはピクセルユニットPU11内に位置する全ての光電変換素子(PD111~PD119)から提供された電荷が蓄積され、第3フローティング拡散領域FD3にはピクセルユニットPU13内に位置する全ての光電変換素子(PD131~PD139)から提供された電荷が蓄積される。ピクセルユニットPU11は第1フローティング拡散領域FD1に蓄積された電荷に基づいてピクセル信号VOUT1を出力し、ピクセルユニットPU13は第3フローティング拡散領域FD3に基づいてピクセル信号VOUT3を出力する。
【0117】
CDS回路151は、ピクセル信号VOUT1に含まれる光電変換素子(PD111~PD119)の電荷及びピクセル信号VOUT3に含まれる光電変換素子(PD131~PD139)の電荷に基づいて客体OBJECTに対するイメージ情報を導出する。
【0118】
一対の位相検出ピクセルPHD4の場合にも一対の位相検出ピクセルPHD3と同様の方式で動作する。具体的に、一対の位相検出ピクセルPHD4、即ちサブピクセルPX224及びサブピクセルPX245を制御する伝送信号がハイレベルHに遷移され、サブピクセルPX224及びサブピクセルPX245のそれぞれの光電変換素子から提供された電荷がそれぞれのピクセルユニット(PU22、PU24)に対応するフローティング拡散領域に蓄積される。ピクセルユニットPU22は対応するフローティング拡散領域に蓄積された電荷に基づいて位相信号を出力し、ピクセルユニットPU24は対応するフローティング拡散領域に基づいて位相信号を出力する。CDS回路151は、ピクセルユニット(PU22、PU24)のそれぞれからの位相信号に対して相関二重サンプリング演算を行って客体OBJECTに対する位相情報を導出する。
【0119】
その後、一対の位相検出ピクセルPHD4を制御する伝送信号を除いた残りの伝送信号が全てハイレベルHに遷移されて、ピクセルユニットPU22内の残りのサブピクセル(PX221~PX223、PX225~PX229)内の光電変換素子に蓄積された電荷及びピクセルユニットPU24内の残りのサブピクセル(PX241~PX244、PX246~PX249)内の光電変換素子に蓄積された電荷がそれぞれのピクセルユニット(PU22、PU24)に対応するフローティング拡散領域に蓄積される。その後、それぞれのピクセルユニット(PU22、PU24)は対応するフローティング拡散領域に蓄積された電荷に基づいてピクセル信号を出力し、CDS回路151はピクセルユニット(PU22、PU24)のそれぞれからのピクセル信号に基づいて客体OBJECTに対するイメージ情報を導出する。
【0120】
図9は、一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第3例を示す平面図である。
【0121】
レッドピクセルユニットPU12内に配置されたサブピクセル(PX125、PX126)、レッドピクセルユニットPU14内に配置されたサブピクセル(PX145、PX146)は位相検出ピクセルPPXである。ピクセルアレイ110に配置される複数のサブピクセルの個数に対する位相検出ピクセルPPXの個数の比率は1/18の値を有する。
【0122】
具体的に、サブピクセルPX125とサブピクセルPX146とは一対の位相検出ピクセルPHD5を構成する。この場合、サブピクセルPX125及びサブピクセルPX126のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX145及びサブピクセルPX146のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置される。
【0123】
サブピクセルPX125は第1位相検出ピクセルであり、サブピクセルPX146は第2位相検出ピクセルである。イメージセンサ100は一対の位相検出ピクセルPHD5のフォトダイオード間の位相差によるディスパリティを算出することによって客体OBJECTに対する位相検出を行うため、同一の客体OBJECTに対してそれぞれ異なる位相を有するイメージを獲得することができる。
【0124】
ピクセルユニットPU12及びピクセルユニットPU14の構造に関して図10を共に参照して記述する。
【0125】
図10は、一実施形態によるピクセルユニットの他の例を示す回路図である。
【0126】
例示的に、図10は、図9に示したピクセルユニットPU12及びピクセルユニットPU14の回路図である。
【0127】
ピクセルユニットPU12及びピクセルユニットPU14は、位相検出ピクセルを含むレッドピクセルユニットである。一方、同一のカラーフィルタを有するピクセルユニットは全てのピクセルグループ内で同様の構造を有する。
【0128】
それぞれのピクセルユニットのサブピクセルは同一のフローティング拡散領域を共有する。例えば、ピクセルユニットPU12はサブピクセル(PX121~PX129)を含み、ピクセルユニットPU12のサブピクセル(PX121~PX129)は同一のフローティング拡散領域FD2を共有する。
【0129】
ピクセルユニットPU12は、光電変換素子(PD121~PD129)、リセットトランジスタR2、駆動トランジスタSF2、及び選択トランジスタSE2を含む。
【0130】
サブピクセルPX121は、光電変換素子PD121及び伝送トランジスタT121を含む。サブピクセルPX122は光電変換素子PD122及び伝送トランジスタT122を含み、サブピクセルPX123は光電変換素子PD123及び伝送トランジスタT123を含み、サブピクセルPX124は光電変換素子PD124及び伝送トランジスタT124を含み、サブピクセルPX125は光電変換素子PD125及び伝送トランジスタT125を含む。また、サブピクセルPX126は光電変換素子PD126及び伝送トランジスタT126を含み、サブピクセルPX127は光電変換素子PD127及び伝送トランジスタT127を含み、サブピクセルPX128は光電変換素子PD128及び伝送トランジスタT128を含み、サブピクセルPX129は光電変換素子PD129及び伝送トランジスタT129を含む。サブピクセル(PX121~PX129)はリセットトランジスタR2、駆動トランジスタSF2、及び選択トランジスタSE2を共有する。
【0131】
リセットトランジスタR2は、リセット信号RG1によってターンオンされて第2フローティング拡散領域FD2にリセット電圧(例えば、電源電圧VDD)を提供する。第2フローティング拡散領域FD2は、光電変換素子(PD121~PD129)のうちの少なくとも一つによって変換された電荷を蓄積する。例示的に、第2フローティング拡散領域FD2の静電容量を第2キャパシタンスCFD2として図示した。第2フローティング拡散領域FD2は、ソースフォロア(Source follower)増幅器として動作する駆動トランジスタSF2のゲート端に連結される。その結果、第2フローティング拡散領域FD2に蓄積された電荷に対応する電圧ポテンシャルが形成される。
【0132】
駆動トランジスタSF2は、第2フローティング拡散領域FD2の電荷の変化を増幅し、これに対応する電圧(即ち、ピクセル信号VOUT2)を生成する。選択トランジスタSE2は、選択信号SEL2によって駆動されて行単位で読み出されるピクセルユニットを選択する。選択トランジスタSE2がターンオンされることによって、ピクセル信号VOUT2がカラムラインCL2を通じてリードアウト回路150に出力される。
【0133】
伝送トランジスタ(T121~T129)は、光電変換素子(PD121~PD129)によって生成された電荷を第2フローティング拡散領域FD2に伝送する。伝送トランジスタ(T121~T129)の一端は光電変換素子(PD121~PD129)にそれぞれ連結され、他端は第2フローティング拡散領域FD2に共通に連結される。例えば、ロードライバー120から受信された伝送信号TG1によって伝送トランジスタT121がターンオンされる区間の間、光電変換素子PD121から提供された電荷が第2フローティング拡散領域FD2に蓄積される。伝送トランジスタ(T122~T129)も同様の方式で動作することによって、光電変換素子(PD122~PD129)から提供された電荷も同様に第2フローティング拡散領域FD2に蓄積される。
【0134】
一方、ピクセルユニットPU14はサブピクセル(PX141~PX149)を含み、ピクセルユニットPU14のサブピクセル(PX141~PX149)は同一のフローティング拡散領域FD3を共有する。ピクセルユニットPU14は、光電変換素子(PD141~PD149)、リセットトランジスタR4、駆動トランジスタSF4、及び選択トランジスタSE4を含む。
【0135】
サブピクセルPX141は、光電変換素子PD141及び伝送トランジスタT141を含む。サブピクセルPX142は光電変換素子PD142及び伝送トランジスタT142を含み、サブピクセルPX143は光電変換素子PD143及び伝送トランジスタT143を含み、サブピクセルPX144は光電変換素子PD144及び伝送トランジスタT144を含み、サブピクセルPX145は光電変換素子PD145及び伝送トランジスタT145を含む。また、サブピクセルPX146は光電変換素子PD146及び伝送トランジスタT146を含み、サブピクセルPX147は光電変換素子PD147及び伝送トランジスタT147を含み、サブピクセルPX148は光電変換素子PD148及び伝送トランジスタT148を含み、サブピクセルPX149は光電変換素子PD149及び伝送トランジスタT149を含む。サブピクセル(PX141~PX149)は、リセットトランジスタR4、駆動トランジスタSF4、及び選択トランジスタSE4を共有する。
【0136】
リセットトランジスタR4は、リセット信号RG1によってターンオンされて第4フローティング拡散領域FD4にリセット電圧(例えば、電源電圧VDD)を提供する。第4フローティング拡散領域FD4は、光電変換素子(PD141~PD149)のうちの少なくとも一つによって変換された電荷を蓄積する。例示的に、第4フローティング拡散領域FD4の静電容量を第4キャパシタンスCFD4として図示した。第4フローティング拡散領域FD4は、ソースフォロア増幅器として動作する駆動トランジスタSF4のゲート端に連結される。その結果、第4フローティング拡散領域FD4に蓄積された電荷に対応する電圧ポテンシャルが形成される。
【0137】
駆動トランジスタSF4は、第4フローティング拡散領域FD4の電荷の変化を増幅し、これに対応する電圧(即ち、ピクセル信号VOUT4)を生成する。選択トランジスタSE4は、選択信号SEL1によって駆動されて行単位で読み出されるピクセルユニットを選択する。選択トランジスタSE4がターンオンされることによって、ピクセル信号VOUT4がカラムラインCL4を通じてリードアウト回路150に出力される。
【0138】
伝送トランジスタ(T141~T149)は、光電変換素子(PD141~PD149)によって生成された電荷を第4フローティング拡散領域FD4に伝送する。伝送トランジスタ(T141~T149)の一端は光電変換素子(PD141~PD149)にそれぞれ連結され、他端は第4フローティング拡散領域FD4に共通に連結される。
【0139】
一実施形態で、位相検出ピクセル(PX125、PX126、PX145、PX146)を除いた他のサブピクセルは、ピクセルグループ内で対応する位置に配列されたピクセル同士が同一の伝送信号によって制御される。
【0140】
一対の位相検出ピクセルPHD5は、同一の伝送信号によって制御される。具体的に、第1位相検出ピクセル(例えば、サブピクセルPX125)及び第2位相検出ピクセル(例えば、サブピクセルPX146)は、一つの伝送信号、例えば第5伝送信号TG5によって制御される。
【0141】
先ず、一対の位相検出ピクセルPHD5、即ちサブピクセルPX125及びサブピクセルPX146を制御する伝送信号がハイレベルHに遷移される。これにより、伝送トランジスタT125及び伝送トランジスタT146がターンオンされて、それぞれの光電変換素子PD125及び光電変換素子PD146から提供された電荷がそれぞれのフローティング拡散領域に蓄積される。CDS回路151は、第1位相検出ピクセル及び第2位相検出ピクセルからの位相信号に対して相関二重サンプリング演算を行って客体OBJECTに対する位相情報を導出する。
【0142】
その後、一対の位相検出ピクセルPHD5を制御する伝送信号を除いた残りの伝送信号が全てハイレベルHに遷移される。この区間の間、ピクセルユニットPU12内の残りの伝送トランジスタ(T121~T124、T126~T129)、ピクセルユニットPU14内の残りの伝送トランジスタ(T141~T145、T147~T149)が全てターンオンされる。これにより、ピクセルユニットPU12に対応するフローティング拡散領域にそれぞれの光電変換素子(PD121~PD124、PD126~PD129)から提供された電荷が更に蓄積され、ピクセルユニットPU14に対応するフローティング拡散領域にそれぞれの光電変換素子(PD141~PD145、PD147~PD149)から提供された電荷が更に蓄積される。これにより、それぞれのフローティング拡散領域にはピクセルユニットPU12内に位置する全ての光電変換素子(PD121~PD129)から提供された電荷、及びピクセルユニットPU14内に位置する全ての光電変換素子(PD141~PD149)から提供された電荷が蓄積される。
【0143】
具体的に、CDS回路151は、ピクセル信号VOUT2に含まれる光電変換素子(PD121~PD129)の電荷及びピクセル信号VOUT4に含まれる光電変換素子(PD141~PD149)の電荷に基づいて客体OBJECTに対するイメージ情報を導出する。
【0144】
図11は、一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第4例を示す平面図である。
【0145】
ブルーピクセルユニットPU21内に配置されたサブピクセル(PX215、PX216)、ブルーピクセルユニットPU23内に配置されたサブピクセル(PX235、PX236)は位相検出ピクセルPPXである。ピクセルアレイ110に位置する複数のサブピクセルの個数に対する位相検出ピクセルPPXの個数の比率は1/18の値を有する。
【0146】
具体的に、サブピクセルPX215とサブピクセルPX236とは一対の位相検出ピクセルPHD6を構成する。この場合、サブピクセルPX215及びサブピクセルPX216のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX235及びサブピクセルPX236のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置される。
【0147】
サブピクセルPX215は第1位相検出ピクセルであり、サブピクセルPX236は第2位相検出ピクセルである。イメージセンサ100は一対の位相検出ピクセルPHD6のフォトダイオード間の位相差によるディスパリティを算出することによって客体OBJECTに対する位相検出を行うため、同一の客体OBJECTに対してそれぞれ異なる位相を有するイメージを獲得することができる。
【0148】
ピクセルユニットPU21及びピクセルユニットPU23は、図5を参照して説明したピクセルユニットPU11及びピクセルユニットPU13の構造と同一である。
【0149】
上述のように、ピクセルグループ(PG1、PG2)内で同一の位置に配列されたサブピクセルは同一の伝送信号によって制御される。位相検出ピクセル(PX215、PX216、PX235、PX236)を除いた他のサブピクセル(PX211~PX214、PX217~PX219、PX231~PX234、PX237~PX239)は、ピクセルグループ内で対応する位置に配列されたサブピクセル同士が同一の伝送信号によって制御される。また、一対の位相検出ピクセルPHD6は同一の伝送信号によって制御される。
【0150】
先ず、一対の位相検出ピクセルPHD6を制御する伝送信号がハイレベルHに遷移される。これにより、第1位相検出ピクセルのサブピクセルPX215及び第2位相検出ピクセルのサブピクセルPX236のそれぞれの光電変換素子から提供された電荷がそれぞれのピクセルユニット(PU21、PU23)に対応するフローティング拡散領域に蓄積される。ピクセルユニットPU21は対応するフローティング拡散領域に蓄積された電荷に基づいて位相信号を出力し、ピクセルユニットPU23は対応するフローティング拡散領域に基づいて位相信号を出力する。CDS回路151は、ピクセルユニット(PU21、PU23)のそれぞれからの位相信号に対して相関二重サンプリング演算を行って客体OBJECTに対する位相情報を導出する。
【0151】
その後、一対の位相検出ピクセルPHD6を制御する伝送信号を除いた残りの伝送信号が全てハイレベルHに遷移される。この区間の間、ピクセルユニットPU21内の残りのサブピクセル(PX211~PX214、PX216~PX219)内の光電変換素子に蓄積された電荷及びピクセルユニットPU23内の残りのサブピクセル(PX231~PX235、PX237~PX239)内の光電変換素子に蓄積された電荷がそれぞれのピクセルユニット(PU21、PU23)に対応するフローティング拡散領域に蓄積される。その後、それぞれのピクセルユニット(PU21、PU23)は対応するフローティング拡散領域に蓄積された電荷に基づいてピクセル信号を出力し、CDS回路151はピクセルユニット(PU21、PU23)のそれぞれからのピクセル信号に基づいて客体OBJECTに対するイメージ情報を導出する。
【0152】
図12は、一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第5例を示す平面図である。
【0153】
グリーンピクセルユニットPU11内に配置されたサブピクセル(PX115、PX116)、レッドピクセルユニットPU12内に配置されたサブピクセル(PX125、PX126)、グリーンピクセルユニットPU13内に配置されたサブピクセル(PX134、PX135)、レッドピクセルユニットPU14内に配置されたサブピクセル(PX145、PX146)、ブルーピクセルユニットPU21内に配置されたサブピクセル(PX215、PX216)、グリーンピクセルユニットPU22内のサブピクセル(PX225、PX226)、ブルーピクセルユニットPU23内に配置されたサブピクセル(PX235、PX236)、グリーンピクセルユニットPU24内のサブピクセル(PX245、PX246)は、位相検出ピクセルPPXである。ピクセルアレイ110に配置される複数のサブピクセルの個数に対する位相検出ピクセルPPXの個数の比率は2/9の値を有する。
【0154】
一実施形態で、任意の一つのピクセルグループ内の第1ピクセルユニット内で左右に配置された2つの位相検出ピクセルPPXのうちの右側に配置された位相検出ピクセルPPXとピクセルグループに隣接して位置するピクセルグループ内の第1ピクセルユニット内で左右に配置された2つの位相検出ピクセルPPXのうちの左側に配置された位相検出ピクセルPPXとが一対の位相検出ピクセルPHDを構成する。この時、第1ピクセルユニットは、グリーンピクセルユニット、レッドピクセルユニット、又はブルーピクセルユニットである。
【0155】
具体的に、サブピクセルPX116とサブピクセルPX135とは一対の位相検出ピクセルPHD7を構成する。また、サブピクセルPX126とサブピクセルPX145とは一対の位相検出ピクセルPHD8を構成する。サブピクセルPX216とサブピクセルPX235とは一対の位相検出ピクセルPHD9を構成する。サブピクセルPX226とサブピクセルPX245とは一対の位相検出ピクセルPHD10を構成する。
【0156】
サブピクセルPX115及びサブピクセルPX116のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが位置し、サブピクセルPX125及びサブピクセルPX126のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが位置し、サブピクセルPX135及びサブピクセルPX136のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが位置し、サブピクセルPX215及びサブピクセルPX216のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが位置し、サブピクセルPX225及びサブピクセルPX226のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが位置し、サブピクセルPX235及びサブピクセルPX236のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが位置し、サブピクセルPX245及びサブピクセルPX246のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが位置する。
【0157】
サブピクセルPX135、サブピクセルPX145、サブピクセルPX235、及びサブピクセルPX245は第1位相検出ピクセルである。また、サブピクセルPX116、サブピクセルPX126、サブピクセルPX216、及びサブピクセルPX226は第2位相検出ピクセルである。
【0158】
イメージセンサ100は、一対の位相検出ピクセル(PHD7、PHD8、PHD9、PHD10)のフォトダイオード間の位相差によるディスパリティを算出することによって客体OBJECTに対する位相検出を行うため、同一の客体OBJECTに対してそれぞれ異なる位相を有するイメージを獲得することができる。
【0159】
ピクセルユニット(PU21~PU24)のそれぞれの構造は、図5及び図10を参照して説明したピクセルユニット(PU11~PU14)の構造と同一である。
【0160】
上述のように、ピクセルグループ(PG1、PG2)内で同一の位置に配列されたサブピクセルは同一の伝送信号によって制御される。位相検出ピクセル(PX115、PX116、PX125、PX126、PX134、PX135、PX145、PX146、PX215、PX216、PX225、PX226、PX235、PX236)を除いた他のサブピクセルは、ピクセルグループ内で対応する位置に配列されたサブピクセル同士が同一の伝送信号によって制御される。また、一対の位相検出ピクセル(PHD7、PHD8、PHD9、PHD10)は、同一の伝送信号によって制御される。
【0161】
先ず、一対の位相検出ピクセル(PHD7、PHD8、PHD9、PHD10)を制御する伝送信号がハイレベルHに遷移される。具体的に、一対の位相検出ピクセルPHD7のサブピクセルPX116及びサブピクセルPX135のそれぞれの光電変換素子から提供された電荷がそれぞれのピクセルユニット(PU11、PU13)に対応するフローティング拡散領域に蓄積される。ピクセルユニットPU11は対応するフローティング拡散領域に蓄積された電荷に基づいて位相信号を出力し、ピクセルユニットPU13は対応するフローティング拡散領域に基づいて位相信号を出力する。CDS回路151はピクセルユニット(PU11、PU13)のそれぞれからの位相信号に対して相関二重サンプリング演算を行って客体OBJECTに対する位相情報を導出する。同様に、一対の位相検出ピクセル(PHD8、PHD9、PHD10)も同様に動作してそれぞれのピクセルユニットから位相信号が出力され、CDS回路151はそれぞれのピクセルユニットから受信した位相信号から位相情報を導出する。
【0162】
その後、一対の位相検出ピクセル(PHD7、PHD8、PHD9、PHD10)を制御する伝送信号を除いた残りの伝送信号が全てハイレベルHに遷移される。具体的に、ピクセルユニットPU11内の残りのサブピクセル(PX111~PX115、PX117~PX119)内の光電変換素子に蓄積された電荷及びピクセルユニットPU13内の残りのサブピクセル(PX131~PX134、PX136~PX139)内の光電変換素子に蓄積された電荷がそれぞれのピクセルユニット(PU11、PU13)に対応するフローティング拡散領域に蓄積される。その後、それぞれのピクセルユニット(PU11、PU13)は対応するフローティング拡散領域に蓄積された電荷に基づいてピクセル信号を出力し、CDS回路151はピクセルユニット(PU11、PU13)のそれぞれからのピクセル信号に基づいて客体OBJECTに対するイメージ情報を導出する。同様に、一対の位相検出ピクセル(PHD8、PHD9、PHD10)も同様に動作してそれぞれのピクセルユニットからピクセル信号が出力され、CDS回路151はそれぞれのピクセルユニットから受信したピクセル信号からイメージ情報を導出する。
【0163】
図13は、一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第6例を示す平面図である。
【0164】
一つのピクセルグループは2×2個のピクセルユニットを含む。具体的に、第1ピクセルグループPG1は2×2個のピクセルユニット(PU11、PU12、PU21、PU22)を含む。また、第2ピクセルグループPG2は2×2個のピクセルユニット(PU13、PU14、PU23、PU24)を含む。第1’ピクセルグループPG1’は2×2個のピクセルユニット(PU31、PU32、PU41、PU42)を含む。第2’ピクセルグループPG2’は2×2個のピクセルユニット(PU33、PU34、PU43、PU44)を含む。
【0165】
一方、図13に示すように、第1ピクセルグループPG1の下側には第2’ピクセルグループPG2’が配置され、第2ピクセルグループPG2の下側には第1’ピクセルグループPG1’が配置される。第1ピクセルグループPG1と第1’ピクセルグループPG1’とは同一のピクセル位置を有し、第2ピクセルグループPG2と第2’ピクセルグループPG2’とも同一のピクセル位置を有する。
【0166】
グリーンピクセルユニットPU11内に配置されたサブピクセル(PX115、PX116)、グリーンピクセルユニットPU13内に配置されたサブピクセル(PX135、PX136)、グリーンピクセルユニットPU22内のサブピクセル(PX225、PX226)、グリーンピクセルユニットPU24内のサブピクセル(PX245、PX246)は位相検出ピクセルPPXである。また、グリーンピクセルユニットPU31内に配置されたサブピクセル(PX315、PX316)、グリーンピクセルユニットPU33内に配置されたサブピクセル(PX335、PX336)、グリーンピクセルユニットPU42内のサブピクセル(PX425、PX426)、グリーンピクセルユニットPU44内のサブピクセル(PX445、PX446)は位相検出ピクセルPPXである。ピクセルアレイ110に位置する複数のサブピクセルの個数に対する位相検出ピクセルPPXの個数の比率は1/9の値を有する。
【0167】
具体的に、サブピクセルPX115とサブピクセルPX136とは一対の位相検出ピクセルPHD11を構成する。サブピクセルPX225とサブピクセルPX246とは一対の位相検出ピクセルPHD12を構成する。サブピクセルPX316とサブピクセルPX335とは一対の位相検出ピクセルPHD13を構成する。サブピクセルPX426とサブピクセルPX445とは一対の位相検出ピクセルPHD14を構成する。
【0168】
サブピクセルPX115及びサブピクセルPX116のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX135及びサブピクセルPX136のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX225及びサブピクセルPX226のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX245及びサブピクセルPX246のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置される。また、サブピクセルPX315及びサブピクセルPX316のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX335及びサブピクセルPX336のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX425及びサブピクセルPX426のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX445及びサブピクセルPX446のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置される。
【0169】
サブピクセルPX115、サブピクセルPX225、サブピクセルPX335、及びサブピクセルPX445は第1位相検出ピクセルである。また、サブピクセルPX136、サブピクセルPX246、サブピクセルPX316、及びサブピクセルPX426は第2位相検出ピクセルである。
【0170】
イメージセンサ100は一対の位相検出ピクセル(PHD11、PHD12、PHD13、PHD14)のフォトダイオード間の位相差によるディスパリティを算出することによって客体OBJECTに対する位相検出を行うため、同一の客体OBJECTに対してそれぞれ異なる位相を有するイメージを獲得することができる。
【0171】
一方、ピクセルアレイ110内に第1位相検出ピクセルと第2位相検出ピクセルとが行別に交互に位置することによって、第1位相検出ピクセルと第2位相検出ピクセルとが反復的に同一の位置に配列される場合よりも更に正確な位相検出を行うことができる。
【0172】
ピクセルグループ(PG1、PG2)内で同一の位置に配列されたサブピクセルは同一の伝送信号によって制御される。位相検出ピクセル(PX115、PX116、PX135、PX136、PX225、PX226、PX245、PX246、PX315、PX316、PX335、PX336、PX425、PX426、PX445、PX446)を除いた他のサブピクセルは、ピクセルグループ内で対応する位置に配列されたサブピクセル同士が同一の伝送信号によって制御される。また、一対の位相検出ピクセルPHDは同一の伝送信号によって制御される。
【0173】
先ず、一対の位相検出ピクセル(PHD11、PHD12、PHD13、PHD14)を制御する伝送信号がハイレベルHに遷移され、それぞれの位相検出ピクセルPPX内の光電変換素子PDに蓄積されている電荷がそれぞれのピクセルユニットに対応するフローティング拡散領域に蓄積される。その後、CDS回路151は一対の位相検出ピクセル(PHD11、PHD12、PHD13、PHD14)からの位相信号に対して相関二重サンプリング演算を行って客体OBJECTに対する位相情報を導出する。
【0174】
その後、一対の位相検出ピクセル(PHD11、PHD12、PHD13、PHD14)を制御する伝送信号を除いた残りの伝送信号が全てハイレベルHに遷移されて一つのピクセルユニット内に位置するサブピクセルの全ての光電変換素子PDに蓄積された電荷がそれぞれのピクセルユニットに対応するフローティング拡散領域に蓄積される。その後、CDS回路151はそれぞれのピクセルユニットから出力されるピクセル信号VOUTに含まれる光電変換素子PDの電荷に基づいて客体OBJECTに対するイメージ情報を導出する。
【0175】
図14は、一実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置の第7例を示す平面図である。
【0176】
一つのピクセルユニットPU11は上下に隣接して配列された複数の位相検出ピクセル(PX112、PX115)を含み、一つのピクセルユニットPU13は上下に隣接して配列された複数の位相検出ピクセル(PX132、PX135)、一つのピクセルユニットPU22は上下に隣接して配列された複数の位相検出ピクセル(PX222、PX225)、一つのピクセルユニットPU24は上下に隣接して配列された複数の位相検出ピクセル(PX242、PX245)を含む。ピクセルアレイ110に位置する複数のサブピクセルの個数に対する位相検出ピクセルPPXの個数の比率は1/9の値を有する。
【0177】
この場合、サブピクセルPX112及びサブピクセルPX115のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX132及びサブピクセルPX135のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX222及びサブピクセルPX225のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX242及びサブピクセルPX245のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置される。
【0178】
隣接する二つのピクセルグループ(PG1、PG2)にそれぞれ含まれる位相検出ピクセルは対(pair)をなして客体OBJECTとの距離を算出することに使用される。一実施形態で、任意の一つのピクセルグループPG1内の第1ピクセルユニットPU11内で上下に配置された2つの位相検出ピクセルのうちの下側に配置された位相検出ピクセルPX115とピクセルグループPG1に隣接して位置するピクセルグループPG2内の第1ピクセルユニットPU13内で上下に配置された2つの位相検出ピクセルのうちの上側に配置された位相検出ピクセルPX132とが一対の位相検出ピクセルPHD15を構成する。また、同様に、サブピクセルPX225とサブピクセルPX242とは一対の位相検出ピクセルPHD16を構成する。
【0179】
一対の位相検出ピクセル(PHD15、PHD16)は第3位相検出ピクセル及び第4位相検出ピクセルを含む。一対の位相検出ピクセルPHD15の第3及び第4位相検出ピクセル(PX115、PX132)のそれぞれは異なるピクセルグループ(PG1、PG2)に配置される。一対の位相検出ピクセルPHD16の第3及び第4位相検出ピクセル(PX225、PX242)のそれぞれは異なるピクセルグループ(PG1、PG2)に配置される。
【0180】
イメージセンサ100は、一対の位相検出ピクセル(PHD15、PHD16)のピクセル信号差に基づいて客体OBJECTとの距離を算出し、算出された距離に基づいて客体OBJECTの焦点を検出する。例えば、一対の位相検出ピクセル(PHD15、PHD16)の中の第3位相検出ピクセル(PX115、PX225)は客体OBJECTに対する下側方面イメージをセンシングし、第4位相検出ピクセル(PX132、PX242)は客体OBJECTに対する上側方面イメージをセンシングする。イメージセンサ100は一対の位相検出ピクセル(PHD15、PHD16)の位相信号間のディスパリティを算出することによって客体OBJECTに対する位相検出を行う。
【0181】
上述のように、ピクセルグループ(PG1、PG2)内で同一の位置に配列されたサブピクセルは同一の伝送信号によって制御される。位相検出ピクセル(PX112、PX115、PX132、PX135、PX222、PX225、PX242、PX245)を除いた他のサブピクセルは、ピクセルグループ内で対応する位置に配列されたサブピクセル同士が同一の伝送信号によって制御される。一対の位相検出ピクセル(PHD15、PHD16)は同一の伝送信号によって制御される。
【0182】
先ず、一対の位相検出ピクセルPHD15、即ちサブピクセルPX115及びサブピクセルPX132とサブピクセルPX225及びサブピクセルPX242とを制御する伝送信号がハイレベルHに遷移される。具体的に、第3位相検出ピクセルであるサブピクセルPX115及び第4位相検出ピクセルであるサブピクセルPX132のそれぞれの光電変換素子から提供された電荷がそれぞれのピクセルユニット(PU11、PU13)に対応するフローティング拡散領域に蓄積される。ピクセルユニットPU11は対応するフローティング拡散領域に蓄積された電荷に基づいて位相信号を出力し、ピクセルユニットPU13は対応するフローティング拡散領域に基づいて位相信号を出力する。CDS回路151はピクセルユニット(PU11、PU13)のそれぞれからの位相信号に対して相関二重サンプリング演算を行って客体OBJECTに対する位相情報を導出する。同様に、一対の位相検出ピクセルPHD16も同様に動作してそれぞれのピクセルユニットから位相信号が出力され、CDS回路151はそれぞれのピクセルユニットから受信した位相信号から位相情報を導出する。この時、一対の位相検出ピクセル(PHD15、PHD16)から導出された位相情報は客体に対する上下ディスパリティを含む。コントローラ130は、CDS回路151が導出した位相情報を使用して客体OBJECTに対して上下方向に焦点を調整する。
【0183】
その後、一対の位相検出ピクセルPHD15を制御する伝送信号を除いた残りの伝送信号が全てハイレベルHに遷移される。この区間の間、ピクセルユニットPU11内の残りのサブピクセル(PX111~PX114、PX116~PX119)内の光電変換素子に蓄積された電荷及びピクセルユニットPU13内の残りのサブピクセル(PX131、PX133~PX139)内の光電変換素子に蓄積された電荷がそれぞれのピクセルユニット(PU11、PU13)に対応するフローティング拡散領域に蓄積される。その後、それぞれのピクセルユニット(PU11、PU13)は対応するフローティング拡散領域に蓄積された電荷に基づいてピクセル信号を出力し、CDS回路151はピクセルユニット(PU11、PU13)のそれぞれからのピクセル信号に基づいて客体OBJECTに対するイメージ情報を導出する。
【0184】
図15及び図16は、他の実施形態によるピクセルアレイのピクセル位置を示す平面図である。
【0185】
図15に示すように、ピクセルアレイ110は、X軸に沿ってイメージセンサ100の基板上に反復的に配置された第1ピクセルグループPG1、第3ピクセルグループPG3、及び第2ピクセルグループPG2を含む。図15に示すように、第1ピクセルグループPG1と第2ピクセルグループPG2との間に第3ピクセルグループPG3が配置され、第3ピクセルグループPG3は位相検出ピクセルを含まないピクセルグループである。
【0186】
一番目の列には複数の第1ピクセルグループPG1が配置され、二番目の列には複数の第3ピクセルグループPG3が配置され、三番目の列には複数の第2ピクセルグループPG2が配置される。即ち、列方向には同一のピクセルグループ(PG1、PG2、又はPG3)が配置され、行方向には異なるピクセルグループが交互に配置される。
【0187】
図15で、一番目の列は全て第1ピクセルグループPG1が配置されているものとして示しているが、これに限定されるものではなく、第2ピクセルグループPG2又は第3ピクセルグループPG3が配置されてもよい。
【0188】
図16は、第1ピクセルグループPG1、第2ピクセルグループPG2、及び第3ピクセルグループPG3内のピクセル位置を示す図である。
【0189】
一つのピクセルグループは2×2個のピクセルユニットを含む。具体的に、第1ピクセルグループPG1は2×2個のピクセルユニット(PU11、PU12、PU21、PU22)を含む。また、第3ピクセルグループPG3は2×2個のピクセルユニット(PU13、PU14、PU23、PU24)を含む。第2ピクセルグループPG2は2×2個のピクセルユニット(PU15、PU16、PU25、PU26)を含む。
【0190】
一つのピクセルユニットは、それぞれ同一のフローティング拡散領域を共有するサブピクセルの集合として定義される。
【0191】
図16に示すように、ピクセルユニットPU11内に配置されたサブピクセル(PX115、PX116)、ピクセルユニットPU22内に配置されたサブピクセル(PX225、PX226)は位相検出ピクセルPPXである。また、ピクセルユニットPU15内に配置されたサブピクセル(PX155、PX156)、ピクセルユニットPU26内に配置されたサブピクセル(PX265、PX266)は位相検出ピクセルPPXである。第3ピクセルグループPG3内には位相検出ピクセルが存在しない。この時、ピクセルアレイ110内に位置する複数のサブピクセルの個数に対する位相検出ピクセルPPXの個数の比率は1/18である。ピクセルアレイ110内でイメージセンシングピクセルIPXが占める比率が相対的に大きいため、イメージセンサ100は客体OBJECTに対して更に正確なイメージ情報を導出することができる。
【0192】
具体的に、サブピクセルPX115とサブピクセルPX156とは、一対の位相検出ピクセルPHD17を構成する。サブピクセルPX225とサブピクセルPX266とは、一対の位相検出ピクセルPHD18を構成する。
【0193】
サブピクセルPX115及びサブピクセルPX116のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX155及びサブピクセルPX156のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX225及びサブピクセルPX226のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置され、サブピクセルPX265及びサブピクセルPX266のフォトダイオード上に一つのマイクロレンズが配置される。
【0194】
一対の位相検出ピクセル(PHD17、PHD18)は、第1位相検出ピクセル及び第2位相検出ピクセルを含む。一対の位相検出ピクセルPHD17の第1及び第2位相検出ピクセル(PX115、PX156)のそれぞれは異なるピクセルグループ(PG1、PG2)に配置され、ピクセルグループPG1とピクセルグループPG2との間には別個のピクセルグループPG3が配置される。一対の位相検出ピクセルPHD18の第1及び第2位相検出ピクセル(PX225、PX266)のそれぞれは異なるピクセルグループ(PG1、PG2)に配置され、ピクセルグループPG1とピクセルグループPG2との間には別個のピクセルグループPG3が配置される。
【0195】
イメージセンサ100は一対の位相検出ピクセル(PHD17、PHD18)のピクセル信号差に基づいて客体OBJECTとの距離を算出し、算出された距離に基づいて客体OBJECTの焦点を検出する。例えば、一対の位相検出ピクセル(PHD17、PHD18)の中の第1位相検出ピクセル(PX115、PX225)は客体OBJECTに対する左側方面イメージを、第2位相検出ピクセル(PX156、PX266)は客体OBJECTに対する右側方面イメージをセンシングする。イメージセンサ100は一対の位相検出ピクセル(PHD17、PHD18)の位相信号間のディスパリティを算出することによって客体OBJECTに対する位相検出を行うため、同一の客体OBJECTに対してそれぞれ異なる位相を有するイメージを獲得することができる。
【0196】
ピクセルグループ(PG1、PG2、PG3)内で同一の位置に配列されたサブピクセルは同一の伝送信号によって制御される。位相検出ピクセル(PX115、PX116、PX155、PX156、PX225、PX226、PX265、PX266)を除いた他のサブピクセルは、ピクセルグループ内で対応する位置に配列されたサブピクセル同士が同一の伝送信号によって制御される。また、一対の位相検出ピクセル(PHD17、PHD18)は同一の伝送信号によって制御される。
【0197】
先ず、一対の位相検出ピクセル(PHD17、PHD18)を制御する伝送信号がハイレベルHに遷移される。具体的に、一対の位相検出ピクセルPHD17のサブピクセルPX115及びサブピクセルPX156のそれぞれの光電変換素子から提供された電荷がそれぞれのピクセルユニット(PU11、PU15)に対応するフローティング拡散領域に蓄積される。ピクセルユニットPU11は対応するフローティング拡散領域に蓄積された電荷に基づいて位相信号を出力し、ピクセルユニットPU15は対応するフローティング拡散領域に基づいて位相信号を出力する。CDS回路151はピクセルユニット(PU11、PU15)のそれぞれからの位相信号に対して相関二重サンプリング演算を行って客体OBJECTに対する位相情報を導出する。同様に、一対の位相検出ピクセルPHD18も同様に動作してそれぞれのピクセルユニットから位相信号が出力され、CDS回路151はそれぞれのピクセルユニットから受信した位相信号から位相情報を導出する。その後、一対の位相検出ピクセル(PHD17、PHD18)を制御する伝送信号を除いた残りの伝送信号が全てハイレベルHに遷移される。具体的に、ピクセルユニットPU11内の残りのサブピクセル(PX111~PX114、PX116~PX119)内の光電変換素子に蓄積された電荷及びピクセルユニットPU15内の残りのサブピクセル(PX151~PX155、PX157~PX159)内の光電変換素子に蓄積された電荷がそれぞれのピクセルユニット(PU11、PU15)に対応するフローティング拡散領域に蓄積される。その後、それぞれのピクセルユニット(PU11、PU15)は対応するフローティング拡散領域に蓄積された電荷に基づいてピクセル信号を出力し、CDS回路151はピクセルユニット(PU11、PU15)のそれぞれからのピクセル信号に基づいて客体OBJECTに対するイメージ情報を導出する。同様に、一対の位相検出ピクセルPHD18も同様に動作してそれぞれのピクセルユニットからピクセル信号が出力され、CDS回路151はそれぞれのピクセルユニットから受信したピクセル信号からイメージ情報を導出する。
【0198】
図17は、一実施形態によるコンピュータ装置の一例を示すブロック図である。
【0199】
図17を参照すると、コンピューティング装置1700は、カメラ1710、コントローラ1720、メモリ1730、及びディスプレイ1740を含む。
【0200】
カメラ1710は、イメージセンサ1711を含む。イメージセンサ1711は、図1図16を参照して説明したイメージセンサで実現される。カメラ1710は、イメージセンサ1711を用いてイメージ信号を生成し、イメージ信号に対してイメージ信号処理を行い、処理されたイメージ信号をコントローラ1720に出力する。
【0201】
コントローラ1720はプロセッサー1721を含む。プロセッサー1721は、コンピューティング装置1700の各構成の全般的な動作を制御する。プロセッサー1721は、CPU(central processing unit)、AP(application processor)、GPU(graphic processing unit)などの多様なプロセシングユニットのうちの少なくとも一つで実現される。一実施形態で、コントローラ1720は集積回路又はシステムオンチップ(system on chip、SoC))で実現される。
【0202】
一実施形態で、図17に示したように、コントローラ1720は、インターフェース1722、メモリコントローラ1723、ディスプレイコントローラ1724、及びバス1725を更に含む。一実施形態で、インターフェース1722、メモリコントローラ1723、ディスプレイコントローラ1724、及びバス1725のうちの少なくとも一部はコントローラ1720の外部に提供される。一実施形態で、コントローラ1720はイメージ信号処理装置を更に含む。
【0203】
インターフェース1722は、イメージセンサ1711から受信されたイメージ信号を、バス1725を通じてメモリコントローラ1723又はディスプレイコントローラ1724に伝送する。
【0204】
メモリ1730は各種データ及び命令を保存する。メモリコントローラ1723は、メモリ1730への、及びメモリ1730からのデータ又は命令の伝達を制御する。
【0205】
ディスプレイコントローラ1724はプロセッサー1721の制御によってディスプレイ1740で表示されるデータをディスプレイ1740に伝送し、ディスプレイ1740は受信したデータによって画面を表示する。一実施形態で、ディスプレイ1740はタッチスクリーンを更に含む。タッチスクリーンは、コンピューティング装置1700の動作を制御する使用者入力をコントローラ1720に伝送する。使用者入力は、使用者がタッチスクリーンをタッチする時に生成される。
【0206】
バス1725は、コントローラ1720の構成要素間の通信機能を提供する。バス1725は、構成要素間の通信プロトコルによって少なくとも一つの類型のバスを含む。
【0207】
以上、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術思想から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
【符号の説明】
【0208】
100 イメージセンサ
110 ピクセルアレイ
120 ロードライバー
130 コントローラ
140 ランプ信号生成器
150 リードアウト回路
151 相関二重サンプリング(CDS)回路
153 アナログデジタル変換(ADC)回路
155 バッファー
1700コンピューティング装置
1710 カメラ
1711 イメージセンサ
1720 コントローラ
1721 プロセッサー
1722 インターフェース
1723 メモリコントローラ
1724 ディスプレイコントローラ
1730 メモリ
1740 ディスプレイ
CF1~CF4 第1~第4カラーフィルタ
FD1~CFD4 第1~第4キャパシタンス
CL1~CL3 カラムライン
CLs カラムライン
CTR_R ランプ制御信号
CTR_X 行制御信号
CTR_Y 列制御信号
FD1、FD3 第1、第3フローティング拡散領域
IDAT イメージデータ
IPIX イメージセンシングピクセル
LFx、LFy 第1、第2光束
LS レンズ
MD モード信号
ML11、ML11’、ML13、ML13’ マイクロレンズ
OBJECT 客体
PD111~PD119、PD131~PD139、PD124~PD136 フォトダイオード(光電変換素子)
PG1、PG2 第1、第2ピクセルグループ
PG1’、PG2’ 第1’、第2’ピクセルグループ
PG3 第3ピクセルグループ
PHD1~PHD18、PPX 位相検出ピクセル
PU11~PU14、PU21~PU24 ピクセルユニット
PX ピクセル
PX111~PX119、PX121~PX129、PX131~PX139、PX141~PX149、PX151~PX159、PX161~PX169、PX211~PX219、PX221~PX229、PX231~PX239、PX241~PX249、PX251~PX259、PX261~PX269、PX311~PX319、PX321~PX329、PX331~PX339、PX341~PX349、PX411~PX419、PX421~PX429、PX431~PX439、PX441~PX449 サブピクセル
PX115、PX116、PX125、PX126、PX135、PX136、PX145、PX146、PX225、PX226、PX245、PX246 位相検出ピクセル
R1~R4 リセットトランジスタ
RAMP 基準信号
RG1 リセット信号
RLs ローライン
s1 リセット基準信号
s2、s3 第1、第2セット基準信号
SE1 選択トランジスタ
SEL1 選択信号
SF1~SF4 駆動トランジスタ
T111~T119、T131~T139、T141~T149 伝送トランジスタ
TG1~TG9 第1~第9伝送信号
VDD 電源電圧
VOUT1~VOUT4 ピクセル信号

図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8
図9
図10
図11
図12
図13
図14
図15
図16
図17