特開 2024-160460 リニアモータ、位置決め装置、処理装置、デバイス製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024160460

(43)【公開日】2024-11-14

(54)【発明の名称】リニアモータ、位置決め装置、処理装置、デバイス製造方法

(51)【国際特許分類】

   H02K 41/02 20060101AFI20241107BHJP

   H02K 9/19 20060101ALI20241107BHJP

【ＦＩ】

H02K41/02 A

H02K9/19 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023075472

(22)【出願日】2023-05-01

(71)【出願人】

【識別番号】000002107

【氏名又は名称】住友重機械工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105924

【弁理士】

【氏名又は名称】森下 賢樹

(74)【代理人】

【識別番号】100116274

【弁理士】

【氏名又は名称】富所 輝観夫

(72)【発明者】

【氏名】和田 康太郎

(72)【発明者】

【氏名】吉田 達矢

(72)【発明者】

【氏名】篠平 大輔

【テーマコード（参考）】

5H609

5H641

【Ｆターム（参考）】

5H609BB08

5H609PP09

5H609QQ04

5H641GG02

5H641GG03

5H641GG17

5H641HH02

5H641HH03

(57)【要約】

【課題】冷媒からの拡張方向の力による容器の変形を効果的に抑制できるリニアモータ等を提供する。
【解決手段】リニアモータは、流される電流に応じて動力を発生させる複数のコイルを備えるコイル部と、コイル部を収容する容器と、コイル部の外周面と容器の内周面の間の冷媒空間６に冷媒を流す冷媒流通部と、冷媒空間６においてコイル部の外周面と容器の内周面の間に延び、当該容器の内周面を当該コイル部の外周面に対して固定する固定部７３、７４と、を備える。固定部７３、７４は、コイル部の外周面と容器の内周面の間を連結する。コイル部は、複数のコイルを被覆して絶縁する被覆絶縁部材４２を備え、被覆絶縁部材４２の一部はコイル部の外周面から突出し、その先端部が容器の内周面に固定されることで固定部７３、７４が構成される。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

流される電流に応じて動力を発生させる複数のコイルを備えるコイル部と、
前記コイル部を収容する容器と、
前記コイル部の外周面と前記容器の内周面の間の冷媒空間に冷媒を流す冷媒流通部と、
前記冷媒空間において前記コイル部の外周面と前記容器の内周面の間に延び、当該容器の内周面を当該コイル部の外周面に対して固定する固定部と、
を備えるリニアモータ。

【請求項2】

前記固定部は、前記コイル部の外周面と前記容器の内周面の間を連結する、請求項１に記載のリニアモータ。

【請求項3】

前記コイル部は、前記複数のコイルを被覆して絶縁する被覆絶縁部材を備え、
前記被覆絶縁部材の一部は前記コイル部の外周面から突出し、その先端部が前記容器の内周面に固定されることで前記固定部が構成される、
請求項２に記載のリニアモータ。

【請求項4】

前記固定部は、前記コイル部における前記コイルの内側を貫通し、前記コイル部を挟んで対向する前記容器の内周面の間を連結する、請求項１に記載のリニアモータ。

【請求項5】

前記固定部は、少なくとも前記コイルの端面に対応する位置に設けられる、請求項１から４のいずれかに記載のリニアモータ。

【請求項6】

前記固定部は、少なくとも前記コイルの中央に対応する位置に設けられる、請求項５に記載のリニアモータ。

【請求項7】

前記固定部は、少なくとも前記コイルの周縁部に対応する位置に設けられる、請求項１から４のいずれかに記載のリニアモータ。

【請求項8】

前記固定部は、前記コイル部の外周面から離れる方向の前記容器の内周面の移動を制限する、請求項１から４のいずれかに記載のリニアモータ。

【請求項9】

請求項１から４のいずれかに記載のリニアモータを動力源とする位置決め装置。

【請求項10】

請求項９に記載の位置決め装置によって位置決めされた被処理物を処理する処理装置。

【請求項11】

請求項１０に記載の処理装置による前記被処理物の処理を通じてデバイスを製造するデバイス製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、リニアモータ等に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１および特許文献２には、コイル部と容器の間の空間に冷媒を流すリニアモータが開示されている。特許文献１では、コイル部の外周面と容器の内周面の間に所期の間隔を実現するためのスペーサ（調整部材７３）が設けられている。特許文献２では、コイル部の外周面と容器の内周面の間に所期の冷媒流路を形成するための流路絞り部（突起１１ａ、１１ｂ）が設けられている。各突起１１ａ、１１ｂの先端には、各冷媒流路の気密性（または液密性）を確保するためのシール部材１２が設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４－１８０３６１号公報

【特許文献2】特開２０１０－１６６７０５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このように、特許文献１および特許文献２には、コイル部の外周面と容器の内周面の間に延在する構造（調整部材７３、突起１１ａ、１１ｂ／シール部材１２）が開示されている。これらの構造は、容器の内周面がコイル部の外周面に近づく方向（以下では、便宜的に収縮方向とも表される）の容器の変形を抑制しうるが、容器の内周面がコイル部の外周面から離れる方向（以下では、便宜的に拡張方向とも表される）の容器の変形を抑制できない。製品の製造に利用される近年のリニアモータでは、タクトタイム（一つの製品の製造に要する時間）の低減が求められており、頻繁な加減速に伴う温度上昇を抑えるために冷媒の量や圧力の増加が必要になる可能性もある。このような場合、内部の冷媒からの拡張方向の力によって、容器が変形してしまう恐れがある。

【0005】

本開示はこうした状況に鑑みてなされたものであり、冷媒からの拡張方向の力による容器の変形を効果的に抑制できるリニアモータ等を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、本開示のある態様のリニアモータは、流される電流に応じて動力を発生させる複数のコイルを備えるコイル部と、コイル部を収容する容器と、コイル部の外周面と容器の内周面の間の冷媒空間に冷媒を流す冷媒流通部と、冷媒空間においてコイル部の外周面と容器の内周面の間に延び、当該容器の内周面を当該コイル部の外周面に対して固定する固定部と、を備える。

【0007】

本態様では、容器の内周面をコイル部の外周面に対して固定する固定部によって、冷媒からの拡張方向の力による容器の変形を効果的に抑制できる。

【0008】

本開示の更に別の態様は、位置決め装置である。この装置は、上記のリニアモータを動力源とする。

【0009】

本開示の更に別の態様は、処理装置である。この装置は、上記の位置決め装置によって位置決めされた被処理物を処理する。

【0010】

本開示の更に別の態様は、デバイス製造方法である。この方法は、上記の処理装置による被処理物の処理を通じてデバイスを製造する。

【0011】

なお、以上の構成要素の任意の組合せや、これらの表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラム等に変換したものも、本開示に包含される。

【発明の効果】

【0012】

本開示によれば、冷媒からの拡張方向の力による容器の変形を効果的に抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】ステージ装置を模式的に示す平面図である。

【図2】リニアモータの電機子を示す平面図である。

【図3】図２のＡ－Ａ断面図である。

【図4】鞍形のコイルによって形成されるコイル列を示す。

【図5】図４に示されるようなコイル列にも適用可能な固定部の例を示す。

【図6】流れ形成部としても機能する固定部の例を示す。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下では、図面を参照しながら、本開示を実施するための形態（以下では実施形態とも表される）について詳細に記述する。記述および／または図面においては、同一または同等の構成要素、部材、処理等に同一の符号を付して重複する記述を省略する。図示される各部の縮尺や形状は、記述の簡易化のために便宜的に設定されており、特に言及がない限り限定的に解釈されるものではない。実施形態は例示であり、本開示の範囲を何ら限定するものではない。実施形態において提示される全ての特徴やそれらの組合せは、必ずしも本開示の本質的なものであるとは限らない。実施形態は、便宜的に、それを実現する機能毎および／または機能群毎の構成要素に分解されて提示される。但し、実施形態における一つの構成要素が、実際には別体としての複数の構成要素の組合せによって実現されてもよいし、実施形態における複数の構成要素が、実際には一体としての一つの構成要素によって実現されてもよい。

【0015】

図１は、本開示に係るリニアモータを適用可能な位置決め装置または駆動装置としてのステージ装置１００を模式的に示す平面図である。ステージ装置１００は、半導体ウエハ等の被処理物を載置する被駆動体としてのテーブルをＸ軸方向（図１における左右方向）およびＹ軸方向（図１における上下方向）に位置決めするＸＹステージである。ステージ装置１００は、Ｙ軸方向に延びてテーブルをＹ軸方向に駆動する一対のＹステージ１２０と、Ｘ軸方向に延びてテーブルをＸ軸方向に駆動する、当該テーブルと一体化されたＸステージ１３０と、定盤１４０を備える。一対のＹステージ１２０は、Ｘステージ１３０のＸ軸方向の両端に、スライダ１２４を介して連結されている。Ｙステージ１２０およびＸステージ１３０は上面視でＨ型をなす。

【0016】

ステージ装置１００の構成のうち、少なくともテーブル、Ｙステージ１２０、Ｘステージ１３０は、内部が真空状態に保たれた真空チャンバに収容されてもよい。本明細書において「真空」とは、通常の大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間の状態を表す。真空は圧力領域によって、低真空（100kPa～100Pa）、中真空（100Pa～0.1Pa）、高真空（0.1Pa～10^-5Pa）、超高真空（10^-5Pa～10^-8Pa）、極高真空（10^-8Pa以下）等のように区分される。本実施形態のステージ装置１００は、以上のいずれの区分の真空環境で使用されてもよい。また、本実施形態のステージ装置１００は、以上のいずれの区分にも該当しない非真空環境で使用されてもよい。

【0017】

Ｘステージ１３０およびＹステージ１２０には、後述するリニアモータ２Ｘおよび２Ｙがそれぞれ設けられる。各リニアモータ２Ｘ、２Ｙが発生させるＸ軸方向またはＹ軸方向の直線動力は、被駆動体としてのテーブルをＸ軸方向またはＹ軸方向に直線駆動する。Ｘ軸方向の直線駆動を担うリニアモータ２Ｘは、固定子およびＸ軸方向の軌道を構成する界磁３と、当該界磁３に沿ってＸ軸方向に移動可能な可動子２０を備える。この可動子２０には被駆動体としてのテーブルが固定されて、一体的に移動する。Ｙ軸方向の直線駆動を担う一対のリニアモータ２Ｙは、固定子およびＹ軸方向の軌道を構成する界磁３と、当該界磁３に沿ってＹ軸方向に移動可能な可動子２０を備える。この可動子２０にはスライダ１２４が固定されて、一体的に移動する。ここで、一対のスライダ１２４がリニアモータ２Ｘの界磁３の両端に連結されているため、一対のリニアモータ２Ｙは、リニアモータ２Ｘの界磁３を一対のスライダ１２４ごとＹ軸方向に直線駆動する。そして、リニアモータ２Ｘの界磁３（軌道）上にはテーブルがあるため、一対のリニアモータ２Ｙは、テーブルをＹ軸方向に直線駆動することになる。

【0018】

以上のように真空環境下および非真空環境下を問わず高精度な位置決めまたは駆動を実現できる本実施形態のステージ装置１００（リニアモータを動力源とする位置決め装置）は、例えば、露光装置、イオン注入装置、熱処理装置、アッシング装置、スパッタリング装置、ダイシング装置、検査装置、洗浄装置等の半導体製造装置やFPD（Flat Panel Display）製造装置等のデバイス製造装置において、非処理物としての半導体ウエハ等を載置するテーブルを被駆動体として位置決めまたは駆動する用途に好適である。なお、本実施形態のステージ装置１００を適用可能な処理装置は、当該ステージ装置１００または位置決め装置によって任意の被処理物を処理のために位置決めする任意の装置でよく、例えば、任意の製造装置、任意の加工装置（例えば、工作機械）、任意の検査装置でよい。

【0019】

図２は、Ｘステージ１３０およびＹステージ１２０にそれぞれ設けられるリニアモータ２Ｘ、２Ｙの電機子２を示す平面図である。図３は、図２のＡ－Ａ断面図である。これらの図の説明において、「上」「下」「左」「右」等の方向を表す語を使用するが、これらは各図における相対的な方向を便宜的に表すものであって、鉛直方向や水平方向等の絶対的な方向を限定的に表すものではない。つまり、電機子２は任意の方向または姿勢で配置される。

【0020】

リニアモータは、永久磁石または電磁石によって構成される界磁３（図１）と、図２に示されるように複数のコイル４１（以下では、総称してコイル列４１とも表される）を含むコイル部４によって構成される電機子２を備える。電機子２は長尺の略矩形板状であり、その長手方向（図２における左右方向）に沿ってコイル列４１が形成されている。コイル列４１は、電機子２の長手方向に沿って略隙間なく略等間隔に配列された複数のコイル４１によって形成される。図２の例ではコイル列４１が12個のコイル４１を備えるため、当該コイル列４１に三相交流が印加される場合は12個のコイル４１が4組の三相コイルに区分される。図２の紙面に垂直な方向（すなわち、図３の左右方向）に沿って、複数のコイル列４１が並んで配置されてもよい。

【0021】

コイル列４１には、永久磁石または電磁石によって構成される界磁３（図１）が対向している。具体的には、界磁３は、図２の紙面より手前側（図３における右側）および／または奥側（図３における左側）において、複数のコイル４１の端面またはコイル面に対向する位置に設けられる。三相交流等の駆動電流が流されたコイル列４１は、当該コイル列４１に対向する界磁３および／または当該コイル列４１自体に直線動力を及ぼす。この直線動力の方向はコイル列４１の配列方向（すなわち、電機子２の長手方向または図２における左右方向）と略同じであり、当該方向に界磁３および電機子２が相対的に直線移動する。界磁３および電機子２は、いずれを可動子または固定子としてもよい。すなわち、界磁３を可動子として電機子２を固定子としてもよいし、図１に示されるように界磁３を固定子として電機子２を可動子２０としてもよいし、界磁３および電機子２を共に可動子としてもよい。

【0022】

コイル部４は、上述のように流される電流に応じて動力を発生させるコイル列４１（複数のコイル４１）と、コイル列４１を被覆して絶縁する被覆絶縁部材４２を備える。被覆絶縁部材４２は、例えば、エポキシ樹脂等の絶縁性を有する樹脂材料によって形成される成形物またはモールドである。図３に示されるように、被覆絶縁部材４２はコイル部４の外周面または外表面を構成し、被覆絶縁部材４２によって外側から固められたコイル列４１はコイル部４の外周面に露出しない。なお、本実施形態に係るコイル部４は、各コイル４１を巻くための磁性部材（一般的にコアと呼ばれる）を有しない。従って、本実施形態に係るリニアモータは、いわゆるコアレスリニアモータである。但し、本開示に係る技術は、各コイル４１がコアに巻かれるリニアモータにも適用可能である。

【0023】

コイル部４は、容器５の内部に収容される。図３に示されるように、容器５は、コイル部４に上方からかぶせられるキャップ状のシェル５１と、シェル５１の下部に溶接等によって接合されるホルダ５２と、容器５の内部においてホルダ５２上に固定される台座状のサブホルダ５３を備える。サブホルダ５３上にはコイル部４が固定される。このように、コイル部４、サブホルダ５３、ホルダ５２が一体化された状態で、シェル５１が上方からかぶせられる。そして、シェル５１とホルダ５２の接合部に溶接等が施されることで、容器５内でコイル部４が固定された図示の構造が形成される。

【0024】

コイル部４の外周面（すなわち、被覆絶縁部材４２の外周面）と容器５の内周面（特に、シェル５１の内周面）の間には、冷却水等の冷媒が流れる冷媒空間６が形成されている。換言すれば、コイル部４の外周面と容器５の内周面の間には空間または間隔が形成されているため、そこにコイル部４（特に、コイル列４１）を冷却するための冷媒を流せる。

【0025】

図２に示されるように、容器５の長手方向の各端部には、エンドリブ６１、６２が設けられる。エンドリブ６１、６２はブロック状でもよく、電機子２の剛性を高める機能を果たしてもよい。電機子２の長手方向の一端部の第１エンドリブ６１には、コイル列４１を冷却する冷媒を供給する冷媒供給口６１１が設けられる。また、電機子２の長手方向の他端部の第２エンドリブ６２には、コイル列４１を冷却する冷媒を排出する冷媒排出口６２１が設けられる。冷媒供給口６１１および冷媒排出口６２１は、コイル部４の外周面（すなわち、被覆絶縁部材４２の外周面）と容器５の内周面（特に、シェル５１の内周面）の間の冷媒空間６に冷媒を流す冷媒流通部を構成する。なお、冷媒供給口６１１および／または冷媒排出口６２１は、冷媒空間６との間で冷媒を給排できれば位置は任意であり、例えば、前述のホルダ５２に設けられてもよい。

【0026】

冷媒供給口６１１から冷媒空間６内に供給された冷媒は、電機子２の長手方向の一端側（図２における右側）から他端側（図２における左側）に向かって流れながらコイル列４１を冷却し、冷媒排出口６２１から冷媒空間６外に排出される。このため、冷媒供給口６１１が設けられる電機子２の長手方向の一端側は（冷媒の）上流側とも表され、冷媒排出口６２１が設けられる電機子２の長手方向の他端側は（冷媒の）下流側とも表される。

【0027】

なお、図３に示されるように、コイル列４１は絶縁性を有する被覆絶縁部材４２によってモールドされているため、冷媒空間６内の冷媒と各コイル４１の間の絶縁性を確保できる。このため、冷媒は水等の導電性を有するものでもよいが、より絶縁性を高めるために絶縁性を有する冷媒を利用してもよい。更に、コイル列４１によって構成される電磁石の作用や、当該電磁石と対向する界磁３の作用を妨げないように、磁性を有しない非磁性の冷媒を利用するのが好ましい。

【0028】

図３に示されるように、冷媒空間６においてコイル部４の外周面（すなわち、被覆絶縁部材４２の外周面）と容器５の内周面（特に、シェル５１の内周面）の間に延び、当該容器５の内周面を当該コイル部４の外周面に対して固定する固定部７１が設けられる。図３の例における固定部７１は、図２にも示されるようにコイル部４におけるコイル４１の内側を貫通し、コイル部４を挟んで対向するシェル５１の左右両側における内周面の間を連結する。この固定部７１は、例えば、ＳＵＳ（ステンレス鋼）等の金属材料や樹脂材料によって形成される。

【0029】

このような柱状またはピン状の固定部７１が貫通できるように、被覆絶縁部材４２には、コイル４１の内側（例えば、コイル４１（コイル面）の中央）においてコイル４１の軸方向（図３における左右方向）に貫通する貫通孔が設けられている。固定部７１は、被覆絶縁部材４２に挿入された図示の状態において、接着剤等によって被覆絶縁部材４２に固定されてもよい。また、凸状の固定部７１の先端部を受けるシェル５１の内周面は、エンボス加工等によって凹状に形成されるのが好ましい。

【0030】

固定部７１の両端部（図３における左端部および右端部）は、それぞれ、シェル５１の内周面に固定または連結される。図示の例では、連結部材としてのねじ７２が、シェル５１の外周側から当該シェル５１を貫通し、固定部７１の両端部におけるねじ穴に挿入されることで、固定部７１の両端部をシェル５１の左右両側における内周面に強固に固定する。なお、固定部７１およびシェル５１は、スポット溶接等の溶接や接着剤によって固定されてもよい。

【0031】

このようにシェル５１の内周面に強固に固定された固定部７１は、コイル部４の外周面（すなわち、被覆絶縁部材４２の外周面）から離れる方向の容器５の内周面（特に、シェル５１の内周面）の移動を制限する。換言すれば、シェル５１の左右両側における内周面を連結して支持する固定部７１によって、シェル５１の拡張方向の変形が効果的に抑制される。

【0032】

製品の製造に利用される近年のリニアモータでは、タクトタイムの低減が求められており、頻繁な加減速に伴う温度上昇を抑えるために冷媒空間６に流す冷媒の量や圧力の増加が必要になる可能性もある。このような場合、シェル５１は、冷媒空間６内の冷媒から拡張方向に大きな力を受ける。しかし、本実施形態によれば、容器５の内周面をコイル部４の外周面に対して固定する固定部７１によって、冷媒からの拡張方向の力による容器５の変形を効果的に抑制できる。なお、固定部７１は、シェル５１の収縮方向の変形も効果的に抑制できる。

【0033】

以上のように、本実施形態におけるシェル５１は、冷媒からの拡張方向の力に対して強くなるため、従来よりシェル５１を薄くできる（厚さを小さくできる）。このようにコイル部４と界磁３（図１）の間に介在するシェル５１を薄くすることで、コイル部４と界磁３を近接配置でき（固定部７１によってシェル５１の拡張が抑制されるため、シェル５１が拡張して界磁３に接触する可能性も低い）、シェル５１における磁気損失も低減できるため、コイル部４と界磁３が発生させる直線動力の強度や制御性を高められる。

【0034】

図２に例示されるように、固定部７１は、容器５の拡張変形を効果的に抑制するために、コイル列４１に含まれる一部（好ましくは複数）または全部のコイル４１の端面に対応する位置に設けられる。ここで、コイル４１の端面とは、図２における紙面に平行な面においてコイル４１に囲まれた領域（換言すれば、コイル４１（巻き線）が存在しない領域）を表す。固定部７１は、図３の例にもあるようにコイル４１の中央に対応する位置に設けられてもよいし、図２に例示されるようにコイル４１の端面において中央より周縁側（図２における上側および／または下側）に設けられてもよい。また、一つのコイル４１に対して複数の固定部７１が設けられてもよい。

【0035】

以上の実施形態では、一つのコイル列４１を構成する複数のコイル４１が、図２のように電機子２の長手方向に並んで配置されているため、各コイル４１の端面を貫通する固定部７１を形成できた。一方、図４に示されるような、いわゆる鞍形のコイル４１によって形成されるコイル列４１では、各コイル４１の端面が隣接する他のコイル４１によって塞がれるため、各コイル４１の端面を貫通する固定部７１を形成できない。図５は、図４に示されるようなコイル列４１にも適用可能な固定部７３、７４の例を示す。

【0036】

図５に示されるように、冷媒空間６においてコイル部４（コイル４１の図示は省略する）の外周面（すなわち、被覆絶縁部材４２の外周面）と容器５の内周面（特に、シェル５１の内周面）の間に延び、当該容器５の内周面を当該コイル部４の外周面に対して固定する固定部７３、７４が設けられる。図５の例における固定部７３、７４は、被覆絶縁部材４２の外周面とシェル５１の内周面の間を連結する。

【0037】

具体的には、固定部７３、７４は、被覆絶縁部材の４２の一部が外周面から突出し、その先端部がシェル５１の内周面に固定されることで構成される。すなわち、固定部７３、７４は、被覆絶縁部材４２の一部である。逆に、固定部７３、７４は、シェル５１の一部がエンボス加工等によって内周面から突出し、その先端部が被覆絶縁部材４２の外周面に固定されることで構成されてもよい。この場合、固定部７３、７４は、シェル５１の一部である。いずれの場合でも、凸状の固定部７３、７４の先端部を受けるシェル５１の内周面または被覆絶縁部材４２の外周面は、エンボス加工等によって凹状に形成されるのが好ましい。このように、図５における固定部７３、７４は、図３における固定部７１のように、コイル４１の端面を貫通する必要がないため、図４のような隙間のない鞍形のコイル４１にも適用できる。

【0038】

固定部７３、７４の先端部は、シェル５１の内周面に固定または連結される。図示の例では、連結部材としてのねじ７２が、シェル５１の外周側から当該シェル５１を貫通し、固定部７３、７４の先端部におけるねじ穴に挿入されることで、固定部７３、７４（被覆絶縁部材４２）の先端部をシェル５１の内周面に強固に固定する。なお、固定部７３、７４およびシェル５１は、スポット溶接等の溶接や接着剤によって固定されてもよい。

【0039】

このようにシェル５１の内周面に強固に固定された固定部７３、７４は、コイル部４の外周面（すなわち、被覆絶縁部材４２の外周面）から離れる方向の容器５の内周面（特に、シェル５１の内周面）の移動を制限する。換言すれば、被覆絶縁部材４２の外周面とシェル５１の内周面を連結して支持する固定部７３、７４によって、シェル５１の拡張方向の変形が効果的に抑制される。

【0040】

図５における固定部７３は、コイル４１（図５では不図示）の中央に対応する位置に設けられる。図５における固定部７４は、コイル４１またはコイル部４の周縁部（図５における上部）に対応する位置に設けられる。図５における固定部７３、７４は、図３における固定部７１のように、コイル４１の端面を貫通する必要がなく、各コイル列４１の配置からの制約が少ないため、配置の自由度が高い。そこで、図２と同様の電機子２の平面図である図６に模式的に示されるように、冷媒空間６において冷媒の所望の流れを形成するための任意の形状を有する固定部７３が設けられてもよい。すなわち、この固定部７３は、流れ形成部としても機能する。また、この固定部７３は、複数のコイル４１（図６では不図示）に跨って形成されてもよい。

【0041】

以上、本開示を実施形態に基づいて説明した。例示としての実施形態における各構成要素や各処理の組合せには様々な変形例が可能であり、そのような変形例が本開示の範囲に含まれることは当業者にとって自明である。

【0042】

なお、実施形態で説明した各装置や各方法の構成、作用、機能は、ハードウェア資源またはソフトウェア資源によって、あるいは、ハードウェア資源とソフトウェア資源の協働によって実現できる。ハードウェア資源としては、例えば、プロセッサ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、各種の集積回路を利用できる。ソフトウェア資源としては、例えば、オペレーティングシステム、アプリケーション等のプログラムを利用できる。

【符号の説明】

【0043】

２ 電機子、３ 界磁、４ コイル部、５ 容器、６ 冷媒空間、４１ コイル、４２ 被覆絶縁部材、５１ シェル、７１、７３、７４ 固定部、１００ ステージ装置、１２０ Ｙステージ、１３０ Ｘステージ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】