2024-161941 ドレッシング部材及びドレッシング方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024161941

(43)【公開日】2024-11-21

(54)【発明の名称】ドレッシング部材及びドレッシング方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 53/02 20120101AFI20241114BHJP

   B24B 53/12 20060101ALI20241114BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20241114BHJP

【ＦＩ】

B24B53/02

B24B53/12 Z

H01L21/304 622M

H01L21/304 631

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023077017

(22)【出願日】2023-05-09

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】関谷 勝彦

【テーマコード（参考）】

3C047

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C047BB01

3C047BB15

3C047BB16

3C047BB19

3C047EE01

3C047EE11

5F057AA32

5F057BA11

5F057BB03

5F057CA14

5F057DA11

5F057EB16

5F057EB18

5F057EB27

5F057FA13

5F057FA39

5F057FA42

(57)【要約】

【課題】ドレッシング部材の反りを解消可能な構造を有し、且つ、複数の研削砥石の外周側面に対してドレッシングを施すこともできるドレッシング部材を提供する。
【解決手段】円盤状のチャックテーブルの保持面で保持された被加工物を研削ホイールで研削する研削装置において使用されるドレッシング部材であって、ドレッシング部材は、有頂円筒状であり、砥粒とボンド材とを含み外形が円形の頂部と、砥粒とボンド材とを含み、頂部の外周部に位置し、頂部の厚さ方向において頂部よりも突出する円筒状の側部と、を備え、頂部でチャックテーブルの保持面を覆い且つ側部でチャックテーブルの側面を少なくとも部分的に覆うことが可能であるドレッシング部材を提供する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

円盤状のチャックテーブルの保持面で保持された被加工物を研削ホイールで研削する研削装置において使用されるドレッシング部材であって、
該ドレッシング部材は、有頂円筒状であり、
砥粒とボンド材とを含み外形が円形の頂部と、
該砥粒と該ボンド材とを含み、該頂部の外周部に位置し、該頂部の厚さ方向において該頂部よりも突出する円筒状の側部と、
を備え、
該頂部で該チャックテーブルの該保持面を覆い且つ該側部で該チャックテーブルの側面を少なくとも部分的に覆うことが可能であることを特徴とするドレッシング部材。

【請求項2】

該砥粒を含まず該頂部の底面に固定された頂部支持部と、該砥粒を含まず該側部の内周側面に固定された側部支持部と、を有する有頂円筒状の支持部材を更に備えることを特徴とする請求項１記載のドレッシング部材。

【請求項3】

ドレッシング部材を用いて研削ホイールの該複数の研削砥石に対してドレッシングを施すドレッシング方法であって、
該研削ホイールは、環状の基台と、該基台の一面側において該基台の周方向に沿って設けられた該複数の研削砥石と、を有し、
該ドレッシング部材は、有頂円筒状であり、砥粒とボンド材とを含み外形が円形の頂部と、該砥粒と該ボンド材とを含み、該頂部の外周部に位置し該頂部の厚さ方向において該頂部よりも突出する円筒状の側部と、を有し、
該ドレッシング方法は、
該頂部でチャックテーブルの保持面を覆い且つ該側部で該チャックテーブルの側面を少なくとも部分的に覆った状態で、該頂部の底面側を該保持面で吸引保持する保持工程と、
保持工程後、該研削ホイールと該チャックテーブルとをそれぞれ回転させた状態で、該研削ホイールと該チャックテーブルとを該研削ホイールの回転軸と平行な第１方向に相対的に沿って接近させ、該複数の研削砥石の底面側に対してドレッシングを施す底面ドレッシング工程と、
を備えることを特徴とするドレッシング方法。

【請求項4】

保持工程後、該研削ホイールと該チャックテーブルとをそれぞれ回転させた状態で、該研削ホイールと該チャックテーブルとを該第１方向と直交する第２方向に沿って相対的に接近させ、該複数の研削砥石の外周側面に対してドレッシングを施す側面ドレッシング工程を更に備えることを特徴とする請求項３に記載のドレッシング方法。

【請求項5】

該ドレッシング部材は、該砥粒を含まず該頂部の底面に固定された頂部支持部と、該砥粒を含まず該側部の内周側面に固定された側部支持部と、を有する有頂円筒状の支持部材を更に備え、
該保持工程では、該頂部支持部の底面を該保持面で吸引保持することを特徴とする請求項３又は４に記載のドレッシング方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、研削装置において使用されるドレッシング部材と、研削ホイールの複数の研削砥石をドレッシング部材でドレッシングするドレッシング方法と、に関する。

【背景技術】

【0002】

携帯電話、ＰＣ（Personal Computer）等の電子機器には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイスチップが搭載されている。デバイスチップは、例えば、表面側に複数のデバイスが形成されているシリコンウェーハ（以下、単にウェーハ）の裏面側を研削して薄化した後、ウェーハをデバイス単位に分割することで形成される。

【0003】

ウェーハの研削には、研削装置が使用される。研削装置は、円盤状のチャックテーブルを備える。チャックテーブルは、ウェーハを吸引保持した状態で所定の回転軸の周りに回転可能である。チャックテーブルの保持面で吸引保持されたウェーハは、研削ユニットで研削される。

【0004】

研削ユニットは、研削装置の高さ方向に沿って移動可能に構成されている。研削ユニットは、円柱状のスピンドルを有し、スピンドルの下端部には、円盤状のマウントを介して円環状の研削ホイールが装着されている。研削ホイールは、円環状の基台と、基台の周方向に沿って基台の底面側に配置された複数の研削砥石と、を有する。

【0005】

ウェーハに対してインフィード研削を施す際には、ウェーハを吸引保持したチャックテーブルを所定の回転軸の周りに回転させると共に、純水等の研削水をウェーハの被研削領域へ供給しながら、スピンドルの周りに回転している研削ホイールを保持面の上方の位置から保持面へ所定の速度で研削送りする。

【0006】

ウェーハの研削を進めると、研削砥石に目詰まり等が生じ、ウェーハを適切に研削できなくなることがある。この場合、研削ホイールでドレッシングボードを研削することで、研削砥石の研削能力を回復させる（例えば、特許文献１及び２参照）。

【0007】

具体的には、まず、ウェーハに代えてドレッシングボードをチャックテーブルで吸引保持する。次いで、ドレッシングボードの被研削領域に研削水を供給しながら、複数の研削砥石でドレッシングボードを研削する。

【0008】

ドレッシングボードは、樹脂で形成された円盤状の支持プレートを有する。支持プレートの上面には、支持プレートよりも小さいサイズを有する平板状のドレッシング部材が接着剤等で固定されている。つまり、ドレッシングボードは、支持プレートとドレッシング部材との積層構造を有する。

【0009】

研削砥石にドレッシングを施すと、ドレッシング部材が消耗して薄くなる。ドレッシング部材が薄くなると、ドレッシングボードに反りが発生する。例えば、ドレッシングボードは、外周部に比べて中央部が凹む様に反る。この様な反りが生じると、チャックテーブルでドレッシングボードを吸引保持し難くなる。

【0010】

ところで、研削ホイールの径方向の中心が、スピンドルの回転中心からずれてマウントに装着されている場合、スピンドルの長手方向と直交する平面内でスピンドルの回転中に研削ホイールの振れが生じる。

【0011】

研削ホイールの振れが生じた状態でウェーハを研削すると、研削不良となる。研削ホイールの振れを低減するためには、複数の研削砥石の外周側面に対してドレッシングを施すことで複数の研削砥石を整形することが好ましい。

【0012】

しかし、支持プレート上に固定された平板状のドレッシング部材を用いても、複数の研削砥石の外周側面に対してドレッシングを施すことはできないので、他のドレッシング部材を用いる必要がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0013】

【特許文献1】特開２００６－１５４２３号公報

【特許文献2】特開２００８－２２１３６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0014】

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、ドレッシング部材の反りを解消可能な構造を有し、且つ、複数の研削砥石の外周側面に対してドレッシングを施すこともできるドレッシング部材を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0015】

本発明の一態様によれば、円盤状のチャックテーブルの保持面で保持された被加工物を研削ホイールで研削する研削装置において使用されるドレッシング部材であって、該ドレッシング部材は、有頂円筒状であり、砥粒とボンド材とを含み外形が円形の頂部と、該砥粒と該ボンド材とを含み、該頂部の外周部に位置し、該頂部の厚さ方向において該頂部よりも突出する円筒状の側部と、を備え、該頂部で該チャックテーブルの該保持面を覆い且つ該側部で該チャックテーブルの側面を少なくとも部分的に覆うことが可能であるドレッシング部材が提供される。

【0016】

好ましくは、ドレッシング部材は、該砥粒を含まず該頂部の底面に固定された頂部支持部と、該砥粒を含まず該側部の内周側面に固定された側部支持部と、を有する有頂円筒状の支持部材を更に備える。

【0017】

本発明の他の態様によれば、ドレッシング部材を用いて研削ホイールの該複数の研削砥石に対してドレッシングを施すドレッシング方法であって、該研削ホイールは、環状の基台と、該基台の一面側において該基台の周方向に沿って設けられた該複数の研削砥石と、を有し、該ドレッシング部材は、有頂円筒状であり、砥粒とボンド材とを含み外形が円形の頂部と、該砥粒と該ボンド材とを含み、該頂部の外周部に位置し該頂部の厚さ方向において該頂部よりも突出する円筒状の側部と、を有し、該ドレッシング方法は、該頂部でチャックテーブルの保持面を覆い且つ該側部で該チャックテーブルの側面を少なくとも部分的に覆った状態で、該頂部の底面側を該保持面で吸引保持する保持工程と、保持工程後、該研削ホイールと該チャックテーブルとをそれぞれ回転させた状態で、該研削ホイールと該チャックテーブルとを該研削ホイールの回転軸と平行な第１方向に相対的に沿って接近させ、該複数の研削砥石の底面側に対してドレッシングを施す底面ドレッシング工程と、を備えるドレッシング方法が提供される。

【0018】

好ましくは、ドレッシング方法は、保持工程後、該研削ホイールと該チャックテーブルとをそれぞれ回転させた状態で、該研削ホイールと該チャックテーブルとを該第１方向と直交する第２方向に沿って相対的に接近させ、該複数の研削砥石の外周側面に対してドレッシングを施す側面ドレッシング工程を更に備える。

【0019】

また、好ましくは、該ドレッシング部材は、該砥粒を含まず該頂部の底面に固定された頂部支持部と、該砥粒を含まず該側部の内周側面に固定された側部支持部と、を有する有頂円筒状の支持部材を更に備え、該保持工程では、該頂部支持部の底面を該保持面で吸引保持する。

【発明の効果】

【0020】

本発明の一態様に係るドレッシング部材は、円形の頂部と、円筒状の側部と、を有し、頂部でチャックテーブルの保持面を覆い、且つ、側部でチャックテーブルの側面を少なくとも部分的に覆うことができる。

【0021】

それゆえ、保持面に負圧を作用させれば、保持面及びドレッシング部材で規定される閉空間を吸引できる。これにより、頂部の底面の全体が保持面と略平行となる様にドレッシング部材を変形でき、ドレッシング部材の反りを解消できる。

【0022】

更に、ドレッシング部材をチャックテーブルで吸引保持した状態でチャックテーブルを回転させると共に、スピンドルの周りに回転する研削ホイールにおいて複数の研削砥石の外周側面を、ドレッシング部材の側部の外周側面に対して押し当てることにより、複数の研削砥石の外周側面に対してドレッシングを施すこともできる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】図１（Ａ）はドレッシング部材の頂面側斜視図であり、図１（Ｂ）はドレッシング部材の底面側斜視図であり、図１（Ｃ）は図１（Ａ）のＡＡ断面図である。

【図2】研削装置の斜視図である。

【図3】反りを説明するためのドレッシング部材の断面図である。

【図4】ドレッシング方法のフロー図である。

【図5】図５（Ａ）は反りを有するドレッシング部材をチャックテーブルに載置する様子を示す図であり、図５（Ｂ）は反りを有するドレッシング部材でチャックテーブルを覆う様子を示す図であり、図５（Ｃ）は反りを矯正する様にドレッシング部材をチャックテーブルで吸引保持する様子を示す図である。

【図6】図６（Ａ）は研削ユニットを研削送りする様子を示す斜視図であり、図６（Ｂ）は図６（Ａ）の一部断面側面図である。

【図7】図７（Ａ）は複数の研削砥石の底面側に対してドレッシングを施す様子を示す斜視図であり、図７（Ｂ）は図７（Ａ）の一部断面側面図である。

【図8】図８（Ａ）は第１変形例に係るドレッシング方法のフロー図であり、図８（Ｂ）は第２変形例に係るドレッシング方法のフロー図である。

【図9】図９（Ａ）は複数の研削砥石の外周側面をチャックテーブルに近づける様子を示す斜視図であり、図９（Ｂ）は図９（Ａ）の一部断面側面図である。

【図10】図１０（Ａ）は複数の研削砥石の外周側面に対してドレッシングを施す様子を示す斜視図であり、図１０（Ｂ）は図１０（Ａ）の一部断面側面図である。

【図11】図１１（Ａ）は第２の実施形態に係るドレッシング部材の頂面側斜視図であり、図１１（Ｂ）は第２の実施形態に係るドレッシング部材の底面側斜視図であり、図１１（Ｃ）は図１１（Ａ）のＢＢ断面図である。

【図12】図１２（Ａ）は反りを有するドレッシング部材をチャックテーブルに載置する様子を示す図であり、図１２（Ｂ）は反りを有するドレッシング部材でチャックテーブルを覆う様子を示す図であり、図１２（Ｃ）は反りを矯正する様にドレッシング部材をチャックテーブルで吸引保持する様子を示す図である。

【図13】中凸状に反ったドレッシング部材の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

（第１の実施形態）添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１（Ａ）は、新品のドレッシング部材２の頂面側斜視図であり、図１（Ｂ）は、新品のドレッシング部材２の底面側斜視図であり、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）のＡＡ断面図である。ドレッシング部材２は、有頂円筒状である。

【0025】

ドレッシング部材２は、円形の外形を有する円盤状の頂部２ａと、円筒状の側部２ｂと、を含む。図１（Ｃ）の断面図で示す様に、頂部２ａは、各々円形の頂面２ａ_１及び底面２ａ_２を有する。頂部２ａの厚さ（即ち、頂面２ａ_１及び底面２ａ_２間の距離）は、例えば、約１．０ｍｍである。

【0026】

側部２ｂは、頂部２ａの外周部に位置しており、頂部２ａの外周部から垂下している。即ち、側部２ｂは、頂部２ａの厚さ方向２ｃにおいて頂部２ａの底面２ａ_２よりも突出している。

【0027】

側部２ｂは、各々円環状の頂面２ｂ_１及び底面２ｂ_２と、各々円筒状の外周側面２ｂ_３及び内周側面２ｂ_４と、を有する。側部２ｂの長さ（即ち、頂面２ｂ_１及び底面２ｂ_２間の距離）は、例えば、約７．０ｍｍである。また、側部２ｂの厚さ（即ち、外周側面２ｂ_３及び内周側面２ｂ_４間の距離）は、例えば、約１．０ｍｍである。

【0028】

側部２ｂの外周側面２ｂ_３と、頂部２ａの外周側面２ａ_３とは、略面一になっている。なお、本実施形態において、頂部２ａ及び側部２ｂは一体的に形成されており、側部２ｂの頂面２ｂ_１は、説明の便宜上の仮想的な面である。つまり、側部２ｂの頂面２ｂ_１は、頂部２ａ及び側部２ｂの仮想的な境界である。

【0029】

頂部２ａ及び側部２ｂの各々は、ドレッシング機能を有する本体部であり、砥粒、ボンド材等を含む。砥粒は、ホワイトアランダム（ＷＡ）、グリーンカーボン（ＧＣ）等である。ボンド材は、ビトリファイドボンド、レジンボンド等であり、砥粒を固定するために用いられる。

【0030】

ドレッシング部材２を製造する際には、まず、それぞれ粉末状の砥粒、フィラー、ボンド材、有機物から成る気孔形成材等を混錬する。例えば、５０ｖｏｌ％のＷＡ製の砥粒と、１０ｖｏｌ％のフィラーと、２０ｖｏｌ％の粉末状のボンド材と、２０ｖｏｌ％の気孔形成材と、が用いられる。

【0031】

次いで、混錬物を金型に充填して加圧成型し、この成型体を焼成することで円盤状の焼成体を得る。その後、焼成体の一面の中央部を円盤状にくりぬくことで、図１（Ａ）から図１（Ｃ）に示すドレッシング部材２を得る。

【0032】

焼成中に気孔形成材が気化して消失することにより、ドレッシング部材２には気孔が形成される。ドレッシング部材２は、例えば、４０％以上６０％以上の気孔率を有する。一部の気孔は、頂部２ａの底面２ａ_２から頂面２ａ_１まで連続している。

【0033】

なお、ドレッシング部材２の製造方法は、上述に記載の内容に限定されるものではない。具体的には、加圧成型の段階で、頂部２ａ及び側部２ｂに対応する形状を有する１つの成型体を作成し、この成型体を焼成することでドレッシング部材２を製造することもできる。

【0034】

また、頂部２ａ及び側部２ｂの各焼成体を別々に作成し、その後、頂部２ａ及び側部２ｂを接着剤等で固定することにより、ドレッシング部材２を製造してもよい。別々の焼成体を固定する場合、例えば、頂部２ａの外周側面２ａ_３及び側部２ｂの外周側面２ｂ_３が略面一となる様に、頂部２ａの底面２ａ_２と側部２ｂの頂面２ｂ_１とを近接させて固定する。

【0035】

しかし、これに代えて、側部２ｂの内周側面２ｂ_４の内径を、頂部２ａの外周側面２ａ_３の外径と略同じとした上で、頂部２ａの頂面２ａ_１及び側部２ｂの頂面２ｂ_１が略面一となる様に、頂部２ａの外周側面２ａ_３と側部２ｂの内周側面２ｂ_４とを近接させて固定してもよい。

【0036】

ドレッシング部材２の内側には、有頂円筒状の支持部材４が接着剤で固定されている。支持部材４は、チャックテーブル１０の保持面１０ａとの接触面積を増加させる機能、頂部２ａの底面２ａ_２に露出している気孔を塞ぐ機能等を有する。

【0037】

支持部材４は、円形の外形を有する頂部支持部４ａと、円筒状の側部支持部４ｂと、を有する。支持部材４（即ち、頂部支持部４ａ及び側部支持部４ｂ）は、塩化ビニル等の合成樹脂で形成されている。

【0038】

プラスチック製の支持部材４は、射出成形、ブロー成形、押出成形、圧縮成形、プレス成形等の適切な手法により成形される。支持部材４は、ドレッシング部材２とは異なり、砥粒、砥粒を固定するためのボンド材等を有さない。

【0039】

頂部支持部４ａは、頂部２ａの底面２ａ_２に固定されている。図１（Ｃ）において特に明らかな様に、頂部支持部４ａは、各々円形の頂面４ａ_１及び底面４ａ_２と、円筒状の外周側面４ａ_３と、を有する。頂部支持部４ａの厚さ（即ち、頂面４ａ_１及び底面４ａ_２間の距離）は、例えば、約１．０ｍｍである。

【0040】

側部支持部４ｂは、側部２ｂの内周側面２ｂ_４に固定されている。図１（Ｃ）において特に明らかな様に、側部支持部４ｂは、頂部支持部４ａの外周部から垂下している。即ち、側部支持部４ｂは、厚さ方向２ｃにおいて頂部支持部４ａの底面４ａ_２よりも突出している。

【0041】

側部支持部４ｂは、各々円環状の頂面４ｂ_１及び底面４ｂ_２と、各々円筒状の外周側面４ｂ_３及び内周側面４ｂ_４と、を有する。側部支持部４ｂの底面４ｂ_２は、側部２ｂの底面２ｂ_２と略面一となっている。側部支持部４ｂの厚さ（即ち、外周側面４ｂ_３及び内周側面４ｂ_４間の距離）は、例えば、約１．０ｍｍである。

【0042】

８インチ（約２００ｍｍ）の被加工物１１（図２参照）を吸引保持する場合、チャックテーブル１０の保持面１０ａは約２３０ｍｍに設定される。そして、このチャックテーブル１０にドレッシング部材２が用いられる場合、内周側面４ｂ_４の内径は、約２３０ｍｍに設定される。

【0043】

なお、被加工物１１は、例えば、上述のウェーハである。被加工物１１の径に応じて、適切な外径を有するチャックテーブル１０が選択され、使用されるチャックテーブル１０の外径に応じて、側部２ｂの内周側面２ｂ_４及び側部支持部４ｂの内周側面４ｂ_４の各内径、側部支持部４ｂの厚さ等が、適宜変更される。

【0044】

この様なドレッシング部材２は、研削装置６で使用される。図２は、研削装置６の斜視図である。図２に示すＸ軸方向（前後方向、第２方向）、Ｙ軸方向、及び、Ｚ軸方向（上下方向、第１方向、研削送り方向）は互いに直交する。

【0045】

研削装置６は、ドレッシング部材２及び被加工物１１の搬入、搬出等が作業者により行われるマニュアル式であるが、搬入、研削、洗浄及び搬出を自動的に行うフルオート式であってもよい。

【0046】

研削装置６は、構成要素を支持する基台８を有する。基台８の上面には、Ｘ軸方向に長手部を有する矩形状の開口８ａが形成されている。開口８ａ内には、チャックテーブル１０をＸ軸方向に沿って移動させるボールねじ式のＸ軸方向移動機構（不図示）が設けられている。

【0047】

ここで、図５（Ａ）を参照し、チャックテーブル１０について説明する。チャックテーブル１０は、円盤状であり、非多孔質の緻密なセラミックス等で形成された円盤状の枠体１２を有する。枠体１２は、３０ｍｍの厚さ（即ち、円盤の一面から他面までの長さ）を有する。

【0048】

枠体１２の上面側には、円盤状の凹部が形成されている。この凹部には多孔質セラミックスで形成された円盤状の多孔質板１４が固定されている。多孔質板１４は、略平坦な底面と、外周から中央に向かうにつれて厚さが増加する上面と、を有する。

【0049】

つまり、多孔質板１４の上面は、外周部に比べて中央部が僅かに突出する円錐面である。但し、多孔質板１４の上面における中央部の突出量は、１０μｍから２０μｍ程度と微小であるので、図５（Ａ）では多孔質板１４の上面を略平坦に示す。

【0050】

枠体１２の凹部の底面には、凹部の底面の中心から放射状に広がる様に形成された放射状流路１２ａが形成されている。また、枠体１２には、枠体１２の底面の中心を貫通する様に中央流路１２ｂが形成されている。中央流路１２ｂは、放射状流路１２ａに接続している。

【0051】

中央流路１２ｂには、真空ポンプ等の吸引源１６が接続されており、吸引源１６を動作させると多孔質板１４の上面には負圧が伝達される。枠体１２の上面と、多孔質板１４の上面とは、略面一となっており、被加工物１１を吸引保持する保持面１０ａとして機能する。なお、枠体１２の外周側面は、チャックテーブル１０の側面１０ｂに対応する。

【0052】

チャックテーブル１０は、円盤状のテーブルベース（不図示）上にベアリング（不図示）を介して回転可能に連結されている。テーブルベースは、チャックテーブル１０の回転軸１０ｃ（図６（Ａ）参照。なお、図６（Ａ）では、回転軸１０ｃを簡略化している。）の傾きを調整する傾き調整機構（不図示）で支持されている。

【0053】

テーブルベースの傾きは、保持面１０ａの一部がＸＹ平面と略平行になる様に調整される。テーブルベースの径方向の中心部には、貫通孔（不図示）が形成されている。貫通孔には、チャックテーブル１０の回転軸１０ｃが配置されている。回転軸１０ｃの下端部には、従動プーリ（不図示）が設けられている。

【0054】

チャックテーブル１０の近傍には、サーボモータ等の回転駆動源（不図示）が配置されている。回転駆動源は、駆動プーリ（不図示）を回転させる。駆動プーリ及び従動プーリには、無端ベルト（不図示）が掛けられており、回転駆動源の動力はチャックテーブル１０へ伝達される。

【0055】

チャックテーブル１０、テーブルベース、傾き調整機構、回転駆動源等は、上述のＸ軸方向移動機構を構成するＸ軸方向移動テーブル（不図示）で支持されており、Ｘ軸方向移動テーブルの移動に伴い、Ｘ軸方向に沿って一体的に移動する。

【0056】

ここで図２に戻る。Ｘ軸方向移動機構は、開口８ａの前方（Ｘ軸方向の一方）に位置する搬入搬出位置Ａ１から、開口８ａの後方（Ｘ軸方向の他方）に位置する研削位置Ａ２まで、の範囲において、チャックテーブル１０をＸ軸方向に沿って移動させる。

【0057】

円盤状の被加工物１１を研削する際には、搬入搬出位置Ａ１に配置されたチャックテーブル１０に、被加工物１１を載置する。これに対して、ドレッシングを施す際には、被加工物１１に代えて、搬入搬出位置Ａ１に配置されたチャックテーブル１０に、ドレッシング部材２を載置する。

【0058】

チャックテーブル１０の底面には、矩形状のテーブルカバー１８が設けられている。テーブルカバー１８のＸ軸方向の両側には、Ｘ軸方向に沿って伸縮可能な蛇腹状のカバー部材２０が設けられている。

【0059】

基台８の後方側には、四角柱状のコラム２２が設けられている。コラム２２の前方側には、研削送り機構２４が設けられている。研削送り機構２４は、コラム２２の前方側面に固定された一対のガイドレール２６を有する。

【0060】

各ガイドレール２６には、Ｚ軸方向移動板２８がＺ軸方向に沿ってスライド可能に取り付けられている。Ｚ軸方向移動板２８の後方側面には、ナット部（不図示）が設けられている。ナット部には、ねじ軸３０が、回転可能な態様で連結している。

【0061】

ねじ軸３０の上端部には、パルスモータ等の回転駆動源３２が連結されている。回転駆動源３２でねじ軸３０を回転させれば、Ｚ軸方向移動板２８は、ガイドレール２６に沿ってＺ軸方向に移動する。

【0062】

Ｚ軸方向移動板２８の前方側面には、研削ユニット３４が固定されている。研削ユニット３４は、有底円筒状の保持部材３６を有する。保持部材３６の内側には、円柱状のスピンドルハウジング３８が配置されている。

【0063】

スピンドルハウジング３８内には、Ｚ軸方向に略平行に配置された円柱状のスピンドル４０の一部が回転可能に保持されている。スピンドル４０の上端部近傍には、サーボモータ等の回転駆動源（不図示）が設けられている。

【0064】

スピンドル４０の長手方向は、Ｚ軸方向と略平行に配置されている。スピンドル４０の下端部は、スピンドルハウジング３８の下端よりも下方に突出しており、スピンドル４０の下端部には、円盤状のホイールマウント４２を介して円環状の研削ホイール４４が装着されている。

【0065】

スピンドル４０の回転に伴い、研削ホイール４４も回転する。本実施形態において、研削ホイール４４の回転軸４０ａ（図６（Ａ）等参照）は、スピンドル４０に対応し、Ｚ軸方向と略平行に配置されている。研削ホイール４４は、アルミニウム合金等の金属材料で形成された円環状の基台４４ａを有する。

【0066】

基台４４ａの一面４４ａ_１側（図６（Ｂ）参照）には、基台４４ａの周方向に沿って複数の研削砥石４４ｂが設けられている。各研削砥石４４ｂは、例えば、金属、セラミックス、熱硬化性樹脂等の結合材に、ダイヤモンド、ｃＢＮ（cubic Boron Nitride）等の砥粒を混錬した後、成型、焼成等を経て形成される。

【0067】

スピンドル４０の直下には、純水等の研削水を供給するための研削水供給ノズル（不図示）が設けられている。研削水供給ノズルは、ウェーハを研削する際や、ドレッシング部材２で研削砥石４４ｂに対してドレッシングを施す際に、ウェーハ又はドレッシング部材２と、研削砥石４４ｂと、の接触領域（即ち、被研削領域）に研削水を供給する。

【0068】

研削装置６で被加工物１１を研削する際には、まず、チャックテーブル１０を搬入搬出位置Ａ１に配置し、保持面１０ａでウェーハを吸引保持する。次いで、チャックテーブル１０を研削位置Ａ２に移動させる。

【0069】

そして、被研削領域に研削水を供給しながらチャックテーブル１０及び研削ホイール４４を回転させると共に、研削ユニット３４を所定の研削送り速度で研削送りする。被加工物１１は、インフィード研削により研削され、被研削面には放射状のソーマーク（即ち、研削痕）が形成される。

【0070】

研削が進むにつれて（例えば、複数枚のウェーハを研削すると）、研削砥石４４ｂに目潰れが生じる。そこで、研削砥石４４ｂの研削能力を回復させるために、ドレッシング部材２を使用して研削砥石４４ｂに対してドレッシングを施す。

【0071】

ドレッシング部材２を用いて研削ホイール４４に対してドレッシングを施す際には、まず、チャックテーブル１０を搬入搬出位置Ａ１に配置する。そして、被加工物１１に代えて、ドレッシング部材２をチャックテーブル１０に載置する。

【0072】

このとき、保持面１０ａの全体がドレッシング部材２の頂部２ａで覆われると共に、チャックテーブル１０の側面１０ｂの略上半分がドレッシング部材２の側部２ｂで覆われる。即ち、側面１０ｂが少なくとも部分的に覆われる。

【0073】

次に、頂部２ａの被研削領域に研削水を供給しながら研削ホイール４４とチャックテーブル１０とをそれぞれ回転させた状態で、研削ホイール４４とチャックテーブル１０とをＺ軸方向に沿って相対的に接近させる。

【0074】

本実施形態では、Ｚ軸方向におけるチャックテーブル１０の位置を静止させた状態で、研削ユニット３４を所定の研削送り速度で研削送りする。複数の研削砥石４４ｂの底面４４ｂ_１側が頂部２ａに当たることで、複数の研削砥石４４ｂの底面４４ｂ_１側に対してドレッシングが施される。

【0075】

この様に、インフィード研削の要領でドレッシングを進めるにつれて、頂部２ａは摩耗して徐々に薄くなる。薄化に伴い、ドレッシング部材２には、例えば、頂部２ａの中央部が凹む様に（即ち、中凹状に）反りが生じる。図３は、ドレッシング部材２の反りを説明するためのドレッシング部材２の断面図である。

【0076】

図３に示す例では、頂部２ａの中央部に頂面２ａ_１の最下点があり、頂部２ａの外周部に頂面２ａ_１の最上点がある。最下点と最上点と、の差（即ち、反り量Δ）は、例えば、２．０ｍｍであるが、反り量Δは、ドレッシング部材２の径や、頂部２ａの厚さに応じて異なる。

【0077】

なお、頂部２ａの反りに応じて、頂部支持部４ａを含むドレッシング部材２全体が変形する。しかし、後述する様に、頂部２ａに反りが生じたとしてもチャックテーブル１０で吸引保持できることが、本実施形態のドレッシング部材２の特徴の一つである。

【0078】

図４は、ドレッシング部材２を用いて複数の研削砥石４４ｂに対してドレッシングを施すドレッシング方法のフロー図である。本実施形態では、保持工程Ｓ１０及び底面ドレッシング工程Ｓ２０の順に各工程を行う。

【0079】

図５（Ａ）から図５（Ｃ）は、保持工程Ｓ１０を示す。特に、図５（Ａ）は、反りを有するドレッシング部材２を搬入搬出位置Ａ１に配置されたチャックテーブル１０に載置する様子を示す図であり、図５（Ｂ）は、反りを有するドレッシング部材２でこのチャックテーブル１０を覆う様子を示す図である。

【0080】

図５（Ｂ）に示す様に、反りを有するドレッシング部材２を保持面１０ａに載置すると、例えば、頂部支持部４ａの底面４ａ_２の一部が保持面１０ａに接し、側部支持部４ｂの内周側面４ｂ_４の一部である円環状の領域が保持面１０ａの外周端部に接する。

【0081】

なお、頂部支持部４ａの底面４ａ_２は、必ずしも保持面１０ａに接しなくてもよい。いずれにしても、保持面１０ａ、側部支持部４ｂの内周側面４ｂ_４、及び、頂部支持部４ａの底面４ａ_２で規定される環状（又は中央部に比べて外周部が厚い円盤状）の隙間４６が形成される。

【0082】

次に、多孔質板１４に負圧を作用させる。例えば、保持面１０ａのゲージ圧を－１００ｋＰａから－７０ｋＰａの所定値とする。負圧の作用により、頂部支持部４ａの底面４ａ_２が保持面１０ａに接する様に、頂部２ａ及び頂部支持部４ａが変形し、最終的に、環状の隙間４６が消滅する（図５（Ｃ）参照）。

【0083】

この様にして、頂部２ａで保持面１０ａを覆い、且つ、側部２ｂでチャックテーブル１０の側面１０ｂを少なくとも部分的に覆った状態で、頂部２ａの底面２ａ_２が頂部支持部４ａを介して保持面１０ａで吸引保持される。

【0084】

図５（Ｃ）は、反りを矯正する様にドレッシング部材２をチャックテーブル１０で吸引保持する様子を示す図である。本実施形態では、ドレッシング部材２の頂部２ａが反りを有していたとしても、頂部２ａの底面２ａ_２側を保持面１０ａで吸引保持できる。

【0085】

保持工程Ｓ１０後、チャックテーブル１０を研削位置Ａ２に配置する。このとき、複数の研削砥石４４ｂの底面４４ｂ_１で規定される円環状の研削領域が、Ｚ軸方向においてチャックテーブル１０の回転軸１０ｃと重なる。

【0086】

次いで、頂部２ａの被研削領域に研削水を供給しながら研削ホイール４４とチャックテーブル１０とをそれぞれ回転させた状態で、研削ホイール４４とチャックテーブル１０とをＺ軸方向に沿って相対的に接近させる。

【0087】

本実施形態では、Ｚ軸方向におけるチャックテーブル１０の位置を静止させた状態で、研削ユニット３４を所定の研削送り速度で研削送りする。図６（Ａ）は、研削ユニット３４を研削送りする様子を示す斜視図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）の一部断面側面図である。

【0088】

複数の研削砥石４４ｂの底面４４ｂ_１が頂部２ａに当たることで、複数の研削砥石４４ｂの底面４４ｂ_１側に対してドレッシングが施される（底面ドレッシング工程Ｓ２０）。図７（Ａ）は、複数の研削砥石４４ｂの底面４４ｂ_１側に対してドレッシングを施す様子を示す斜視図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）の一部断面側面図である。

【0089】

加工条件の一例は、例えば、次の通りである。
チャックテーブルの回転数：４０ｒｐｍ
スピンドルの回転数 ：２０００ｒｐｍ
研削送り速度 ：１μｍ／ｓから５μｍ／ｓ
研削水の流量 ：４Ｌ／ｍｉｎ

【0090】

本実施形態では、保持面１０ａと、ドレッシング部材２と、で規定される閉空間を吸引することにより、ドレッシング部材２の頂部２ａに反りが生じていたとしても、頂部２ａの底面２ａ_２の全体が保持面１０ａと略平行となる様にドレッシング部材２を変形でき、ドレッシング部材２の反りを解消できる。

【0091】

（変形例）図８（Ａ）は、第１変形例に係るドレッシング方法のフロー図であり、図８（Ｂ）は、第２変形例に係るドレッシング方法のフロー図である。

【0092】

変形例では、ドレッシング部材２の側部２ｂを利用して複数の研削砥石４４ｂの外周側面４４ｂ_２（図９（Ｂ）等参照）にドレッシングを施すことで、複数の研削砥石４４ｂを整形する（側面ドレッシング工程Ｓ１５，Ｓ２５）。

【0093】

図８（Ａ）に示す様に、側面ドレッシング工程Ｓ１５は、保持工程Ｓ１０の後且つ底面ドレッシング工程Ｓ２０の前であってよく、図８（Ｂ）に示す様に、側面ドレッシング工程Ｓ２５は、保持工程Ｓ１０及び底面ドレッシング工程Ｓ２０の後であってもよい。

【0094】

側面ドレッシング工程Ｓ１５，Ｓ２５では、まず、研削ホイール４４とチャックテーブル１０とをそれぞれ回転させた状態で、研削砥石４４ｂがドレッシング部材２と略同じ高さに位置し、且つ、頂部２ａの頂面２ａ_１よりも上に研削ホイール４４の基台４４ａが位置する様に、研削ホイール４４のＺ軸方向の位置を調整する。

【0095】

次に、研削ホイール４４及びチャックテーブル１０の回転を維持したまま、研削ホイール４４とチャックテーブル１０とをＸ軸方向に沿って相対的に接近させる。本実施形態では、Ｘ軸方向における研削ホイール４４の位置を静止させた状態で、チャックテーブル１０を所定の速度で研削ホイール４４に近づける。

【0096】

図９（Ａ）は、複数の研削砥石４４ｂの外周側面４４ｂ_２をチャックテーブル１０に近づける様子を示す斜視図であり、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）の一部断面側面図である。図１０（Ａ）は、複数の研削砥石４４ｂの外周側面４４ｂ_２に対してドレッシングを施す様子を示す斜視図であり、図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）の一部断面側面図である。

【0097】

この様に、複数の研削砥石４４ｂの外周側面４４ｂ_２をドレッシング部材２の側部２ｂの外周側面２ｂ_３に対して押し当てることにより、複数の研削砥石４４ｂの外周側面４４ｂ_２に対してドレッシングを施すことができる。

【0098】

即ち、１つのドレッシング部材２により、研削砥石４４ｂの底面４４ｂ_１のドレッシングと、研削砥石４４ｂの外周側面４４ｂ_２のドレッシングと、のいずれも行うことができる。

【0099】

（第２の実施形態）次に、第２の実施形態に係るドレッシング部材５２を説明する。ドレッシング部材５２は、樹脂製の頂部支持部４ａ及び側部支持部４ｂを有さない点でドレッシング部材２と異なるが、他の点は同じである。

【0100】

それゆえ、ドレッシング部材２と共通する要素には同じ符号を付す。なお、使用されるチャックテーブル１０の外径に応じて、ドレッシング部材５２の内周側面２ｂ_４の内径は、適宜変更される。

【0101】

図１１（Ａ）は、第２の実施形態に係る新品のドレッシング部材５２の頂面側斜視図であり、図１１（Ｂ）は、第２の実施形態に係る新品のドレッシング部材５２の底面側斜視図であり、図１１（Ｃ）は、図１１（Ａ）のＢＢ断面図である。

【0102】

ドレッシング部材５２の頂部２ａも、同様に、使用に伴い摩耗して徐々に薄くなり、頂部２ａの中央部が凹む様に反りが生じる。図１２（Ａ）は、反りを有するドレッシング部材５２をチャックテーブル１０に載置する様子を示す図である。

【0103】

図１２（Ｂ）は、反りを有するドレッシング部材５２でチャックテーブル１０を覆う様子を示す図であり、図１２（Ｃ）は、反りを矯正する様にドレッシング部材５２をチャックテーブル１０で吸引保持する様子を示す図である。

【0104】

加工条件の一例は、例えば、次の通りである。
チャックテーブルの回転数 ：３００ｒｐｍ
スピンドルの回転数 ：２０００ｒｐｍ
チャックテーブルの移動速度：１μｍ／ｓから５μｍ／ｓ
研削水の流量 ：４Ｌ／ｍｉｎ

【0105】

第２の実施形態においても、保持面１０ａと、ドレッシング部材５２とで規定される閉空間を吸引することにより、ドレッシング部材５２の頂部２ａに反りが生じていたとしても、頂部２ａの底面２ａ_２の全体が保持面１０ａと略平行となる様にドレッシング部材５２を変形でき、ドレッシング部材５２の反りを解消できる。

【0106】

更に、複数の研削砥石４４ｂの外周側面４４ｂ_２をドレッシング部材５２の側部２ｂの外周側面２ｂ_３に対して押し当てることにより、複数の研削砥石４４ｂの外周側面４４ｂ_２に対してドレッシングを施すこともできる。

【0107】

（他の変形例）図１３は、中凸状に反ったドレッシング部材５２の断面図である。支持部材４を有さないドレッシング部材５２は、頂部２ａの薄化に伴い中凸状に変形することがある。しかし、この様に変形したとしても、保持面１０ａと、ドレッシング部材５２と、で規定される閉空間を吸引することにより、ドレッシング部材５２の反りを解消できる。

【0108】

その他、上述の実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。例えば、ドレッシング部材２，５２における気孔は必須ではない。つまり、ドレッシング部材２，５２を製造する際には、気孔形成材を省略してもよい。

【0109】

ところで、上述の実施形態及び変形例では、スピンドル４０及び研削ホイール４４を含む研削ユニット３４に対してチャックテーブル１０をＸ軸方向移動機構によりＸ軸方向に移動させるが、チャックテーブル１０に対して研削ユニット３４をＸ軸方向に移動させてもよい。

【符号の説明】

【0110】

２，５２：ドレッシング部材
２ａ：頂部、２ａ_１：頂面、２ａ_２：底面、２ａ_３：外周側面
２ｂ：側部、２ｂ_１：頂面、２ｂ_２：底面、２ｂ_３：外周側面、２ｂ_４：内周側面
２ｃ：厚さ方向
４：支持部材
４ａ：頂部支持部、４ａ_１：頂面、４ａ_２：底面、４ａ_３：外周側面
４ｂ：側部支持部、４ｂ_１：頂面、４ｂ_２：底面、４ｂ_３：外周側面、４ｂ_４：内周側面
６：研削装置
８：基台、８ａ：開口
１０：チャックテーブル、１０ａ：保持面、１０ｂ：側面、１０ｃ：回転軸
１１：被加工物
１２：枠体、１２ａ：放射状流路、１２ｂ：中央流路、１４：多孔質板、１６：吸引源
１８：テーブルカバー、２０：カバー部材、２２：コラム、２４：研削送り機構
２６：ガイドレール、２８：Ｚ軸方向移動板、３０：ねじ軸
３２：回転駆動源
３４：研削ユニット、３６：保持部材、３８：スピンドルハウジング
４０：スピンドル、４０ａ：回転軸
４２：ホイールマウント、４４：研削ホイール
４４ａ：基台、４４ａ_１：一面
４４ｂ：研削砥石、４４ｂ_１：底面、４４ｂ_２：外周側面
４６：隙間
Ａ１：搬入搬出位置、Ａ２：研削位置、Δ：反り量
Ｓ１０：保持工程、Ｓ２０：底面ドレッシング工程
Ｓ１５，Ｓ２５：側面ドレッシング工程

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】