特開2024-162464リニアエンコーダ、ガイド機構、ヘッドブラケット、及びリニアエンコーダの取付方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024162464
(43)【公開日】2024-11-21
(54)【発明の名称】リニアエンコーダ、ガイド機構、ヘッドブラケット、及びリニアエンコーダの取付方法
(51)【国際特許分類】
F16C 41/00 20060101AFI20241114BHJP
F16C 29/02 20060101ALI20241114BHJP
F16C 29/04 20060101ALI20241114BHJP
G01D 5/245 20060101ALI20241114BHJP
【ＦＩ】
F16C41/00
F16C29/02
F16C29/04
G01D5/245 110X
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023077991
(22)【出願日】2023-05-10
(71)【出願人】
【識別番号】390029805
【氏名又は名称】ＴＨＫ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000338
【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ
(72)【発明者】
【氏名】山中 修平
(72)【発明者】
【氏名】宮本 優佑
【テーマコード（参考）】
2F077
3J104
3J217
【Ｆターム（参考）】
2F077JJ03
2F077NN05
2F077NN06
2F077VV02
2F077VV31
3J104AA65
3J104AA70
3J104AA73
3J104AA76
3J104BA80
3J104DA16
3J104DA20
3J104EA01
3J104EA04
3J217JA12
3J217JA23
3J217JA24
3J217JA36
3J217JB68
3J217JB82
3J217JB84
3J217JB89
(57)【要約】 （修正有）
【課題】リニアスケールとガイドレールとの平行度を十分に確保したうえで、リニアエンコーダの省スペース化を実現する。
【解決手段】リニアエンコーダは、スライダ（１４）の所定方向の位置を検出するリニアエンコーダであって、ベース（１２）に設けられ、ガイドレールに対して平行に配置され、所定方向に延びたリニアスケール（２６）と、スライダ（１４）にリニアスケール（２６）に対向して設けられ、リニアスケール（２６）に対向し、リニアスケール（２６）の目盛を読み取る読取ヘッド（３４）と、を備え、リニアスケール（２６）をベース（１２）に取付けるためのスケール取付面は、ガイドレールをベース（１２）に取付けるためのレール取付面と同一平面上に位置し、リニアスケール（２６）の少なくとも一部が、ガイドレールの側方且つガイドブロックが摺動したときに通過する範囲の下方に位置する。
【選択図】図１６
【解決手段】リニアエンコーダは、スライダ（１４）の所定方向の位置を検出するリニアエンコーダであって、ベース（１２）に設けられ、ガイドレールに対して平行に配置され、所定方向に延びたリニアスケール（２６）と、スライダ（１４）にリニアスケール（２６）に対向して設けられ、リニアスケール（２６）に対向し、リニアスケール（２６）の目盛を読み取る読取ヘッド（３４）と、を備え、リニアスケール（２６）をベース（１２）に取付けるためのスケール取付面は、ガイドレールをベース（１２）に取付けるためのレール取付面と同一平面上に位置し、リニアスケール（２６）の少なくとも一部が、ガイドレールの側方且つガイドブロックが摺動したときに通過する範囲の下方に位置する。
【選択図】図１６
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ベースに設けられかつ所定方向に延びたガイドレールと、スライダに設けられかつ前記ガイドレールに前記所定方向へ摺動可能に支持されるガイドブロックとを備えたガイド機構に用いられ、前記スライダの前記所定方向の位置を検出するリニアエンコーダであって、
前記ベースに設けられ、前記ガイドレールに対して平行に配置され、前記所定方向に延びたリニアスケールと、
前記スライダに前記リニアスケールに対向して設けられ、前記リニアスケールに対向し、前記リニアスケールの目盛を読み取る読取ヘッドと、を備え、
前記リニアスケールを前記ベースに取付けるためのスケール取付面は、前記ガイドレールを前記ベースに取付けるためのレール取付面と同一平面上に位置し、
前記リニアスケールの少なくとも一部が、前記ガイドレールの側方且つ前記ガイドブロックが摺動したときに通過する範囲の下方に位置する
ことを特徴とするリニアエンコーダ。
前記ベースに設けられ、前記ガイドレールに対して平行に配置され、前記所定方向に延びたリニアスケールと、
前記スライダに前記リニアスケールに対向して設けられ、前記リニアスケールに対向し、前記リニアスケールの目盛を読み取る読取ヘッドと、を備え、
前記リニアスケールを前記ベースに取付けるためのスケール取付面は、前記ガイドレールを前記ベースに取付けるためのレール取付面と同一平面上に位置し、
前記リニアスケールの少なくとも一部が、前記ガイドレールの側方且つ前記ガイドブロックが摺動したときに通過する範囲の下方に位置する
ことを特徴とするリニアエンコーダ。
【請求項2】
前記読取ヘッドに設けられ、前記スライダが連結されたヘッドブラケットを備え、
前記読取ヘッドは、
前記ヘッドブラケットを介して前記スライダに取り付けられた状態において、前記ヘッドブラケットと接触する、前記読取ヘッドの側面又は上面の少なくとも一部が、前記ガイドブロックが摺動したときに通過する範囲に含まれる
ことを特徴とする請求項１に記載のリニアエンコーダ。
前記読取ヘッドは、
前記ヘッドブラケットを介して前記スライダに取り付けられた状態において、前記ヘッドブラケットと接触する、前記読取ヘッドの側面又は上面の少なくとも一部が、前記ガイドブロックが摺動したときに通過する範囲に含まれる
ことを特徴とする請求項１に記載のリニアエンコーダ。
【請求項3】
前記リニアスケールは、
前記ベースに取り付けられるときに、当該リニアスケールの側端面が前記ガイドレールの側面に介在部材を介して間接的に当接する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアエンコーダ。
前記ベースに取り付けられるときに、当該リニアスケールの側端面が前記ガイドレールの側面に介在部材を介して間接的に当接する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアエンコーダ。
【請求項4】
前記介在部材は、
前記リニアスケールが前記ベースに取り付けられたのちに前記ベースから取り外し可能である
ことを特徴とする請求項３に記載のリニアエンコーダ。
前記リニアスケールが前記ベースに取り付けられたのちに前記ベースから取り外し可能である
ことを特徴とする請求項３に記載のリニアエンコーダ。
【請求項5】
前記ベースに対して前記スライダを所定方向へ移動可能に案内するガイド機構であって、
前記ガイドレールと、
前記ガイドブロックと、
請求項３に記載のリニアエンコーダと、を備え、
前記ガイドレールの下方には、前記所定方向に沿って研削された面取り部が形成されており、
前記ベースを基準とする前記面取り部の高さは、前記リニアスケールの高さよりも高い
ことを特徴とするガイド機構。
前記ガイドレールと、
前記ガイドブロックと、
請求項３に記載のリニアエンコーダと、を備え、
前記ガイドレールの下方には、前記所定方向に沿って研削された面取り部が形成されており、
前記ベースを基準とする前記面取り部の高さは、前記リニアスケールの高さよりも高い
ことを特徴とするガイド機構。
【請求項6】
前記ベースを基準とする前記介在部材の高さは、前記面取り部の高さよりも高い
ことを特徴とする請求項５に記載のガイド機構。
ことを特徴とする請求項５に記載のガイド機構。
【請求項7】
リニアエンコーダが備える読取ヘッドの取り付けに用いられるヘッドブラケットであって、
前記リニアエンコーダは、
ベースに設けられかつ所定方向に延びたガイドレールと、スライダに設けられかつ前記ガイドレールに前記所定方向へ摺動可能に支持されるガイドブロックとを備えたガイド機構に用いられ、前記スライダの前記所定方向の位置を検出し、
前記ベースに設けられ、前記ガイドレールに対して平行に配置され、前記所定方向に延びたリニアスケールと、
前記スライダに前記リニアスケールに対向して設けられ、前記リニアスケールに対向し、前記リニアスケールの目盛を読み取る前記読取ヘッドと、を備え、
前記読取ヘッドは、前記ヘッドブラケットを介して前記スライダに取り付けられ、
前記ヘッドブラケットは、前記読取ヘッドの側面又は上面との接触面を有し、前記スライダに取り付けられた状態において、前記接触面の少なくとも一部が、前記ガイドブロックが摺動したときに通過する範囲に含まれる
ことを特徴とするヘッドブラケット。
前記リニアエンコーダは、
ベースに設けられかつ所定方向に延びたガイドレールと、スライダに設けられかつ前記ガイドレールに前記所定方向へ摺動可能に支持されるガイドブロックとを備えたガイド機構に用いられ、前記スライダの前記所定方向の位置を検出し、
前記ベースに設けられ、前記ガイドレールに対して平行に配置され、前記所定方向に延びたリニアスケールと、
前記スライダに前記リニアスケールに対向して設けられ、前記リニアスケールに対向し、前記リニアスケールの目盛を読み取る前記読取ヘッドと、を備え、
前記読取ヘッドは、前記ヘッドブラケットを介して前記スライダに取り付けられ、
前記ヘッドブラケットは、前記読取ヘッドの側面又は上面との接触面を有し、前記スライダに取り付けられた状態において、前記接触面の少なくとも一部が、前記ガイドブロックが摺動したときに通過する範囲に含まれる
ことを特徴とするヘッドブラケット。
【請求項8】
請求項３に記載のリニアエンコーダの取付方法であって、
前記リニアスケールの側端面を前記ガイドレールの側面に前記介在部材を介して間接的に当接させて、その状態で、前記リニアスケールを前記ベースの前記スケール取付面に取付ける第１取付工程と、
前記リニアスケールの取付後に、ヘッドブラケットの側端面を前記スライダのヘッド位置決め面を当接させて、その状態で、前記読取ヘッドを前記スライダのヘッド取付面に前記ヘッドブラケットを介して取付ける第２取付工程と、を含むことを特徴とするリニアエンコーダの取付方法。
前記リニアスケールの側端面を前記ガイドレールの側面に前記介在部材を介して間接的に当接させて、その状態で、前記リニアスケールを前記ベースの前記スケール取付面に取付ける第１取付工程と、
前記リニアスケールの取付後に、ヘッドブラケットの側端面を前記スライダのヘッド位置決め面を当接させて、その状態で、前記読取ヘッドを前記スライダのヘッド取付面に前記ヘッドブラケットを介して取付ける第２取付工程と、を含むことを特徴とするリニアエンコーダの取付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、リニアエンコーダ、ガイド機構、ヘッドブラケット、及びリニアエンコーダの取付方法に関する。
【背景技術】
【0002】
ガイド機構は、加工装置、物品搬送装置等の様々な装置の一部として広く用いられており、今後、ガイド機構の利用範囲は、様々な分野において拡大する傾向にある。
【0003】
特許文献１に記載のガイド機構は、スライダ（特許文献１では「テーブル」と称する。）の所定方向の位置を検出するリニアエンコーダを備えている。リニアエンコーダは、ベース（特許文献１では「基台」と称する。）に設けられかつ所定方向に延びたリニアスケールと、スライダにリニアスケールに対向して設けられかつリニアスケールの目盛を読み取る読取ヘッド（特許文献１では「エンコーダヘッド」と称する。）とを有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１６－３６２２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところで、リニアエンコーダの検出精度を高めるには、リニアスケールとガイドレールとの平行度を十分に確保する必要がある。加えて、ガイド機構は、大掛かりな機構であるため、リニアエンコーダの省スペース化を行うことが求められている。
【0006】
そこで、本発明の一態様は、リニアスケールとガイドレールとの平行度を十分に確保したうえで、リニアエンコーダの省スペース化を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るリニアエンコーダは、ベースに設けられかつ所定方向に延びたガイドレールと、スライダに設けられかつ前記ガイドレールに前記所定方向へ摺動可能に支持されるガイドブロックとを備えたガイド機構に用いられ、前記スライダの前記所定方向の位置を検出するリニアエンコーダであって、前記ベースに設けられ、前記ガイドレールに対して平行に配置され、前記所定方向に延びたリニアスケールと、前記スライダに前記リニアスケールに対向して設けられ、前記リニアスケールに対向し、前記リニアスケールの目盛を読み取る読取ヘッドと、を備え、前記リニアスケールを前記ベースに取付けるためのスケール取付面は、前記ガイドレールを前記ベースに取付けるためのレール取付面と同一平面上に位置し、前記リニアスケールの少なくとも一部が、前記ガイドレールの側方且つ前記ガイドブロックが摺動したときに通過する範囲の下方に位置する。
【0008】
また、前記課題を解決するために、本発明の一態様に係るヘッドブラケットは、リニアエンコーダが備える読取ヘッドの取り付けに用いられるヘッドブラケットであって、前記リニアエンコーダは、ベースに設けられかつ所定方向に延びたガイドレールと、スライダに設けられかつ前記ガイドレールに前記所定方向へ摺動可能に支持されるガイドブロックとを備えたガイド機構に用いられ、前記スライダの前記所定方向の位置を検出し、前記ベースに設けられ、前記ガイドレールに対して平行に配置され、前記所定方向に延びたリニアスケールと、前記スライダに前記リニアスケールに対向して設けられ、前記リニアスケールに対向し、前記リニアスケールの目盛を読み取る前記読取ヘッドと、を備え、前記読取ヘッドは、前記ヘッドブラケットを介して前記スライダに取り付けられ、前記ヘッドブラケットは、前記読取ヘッドの側面又は上面との接触面を有し、前記スライダに取り付けられた状態において、前記接触面の少なくとも一部が、前記ガイドブロックが摺動したときに通過する範囲に含まれる。
【発明の効果】
【0009】
本発明の一態様によれば、リニアスケールとガイドレールとの平行度を十分に確保したうえで、リニアエンコーダの省スペース化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】本実施形態に係るガイド機構を説明するための斜視図である。
【図2】本実施形態に係るガイド機構を説明するための平面図である。
【図5】本実施形態に係るリニアエンコーダの取付方法における第１取付工程を説明するための部分断面図である。
【図6】本実施形態に係るリニアエンコーダの取付方法における第１取付工程を説明するための部分断面図である。
【図7】本実施形態に係るリニアエンコーダの取付方法における第２取付工程を説明するための部分断面図である。
【図8】本実施形態に係るリニアエンコーダの取付方法における第２取付工程を説明するための部分断面図である。
【図9】介在部材の構成例１に係るガイド機構を説明するための拡大断面図である。
【図10】本実施形態の変形例に係るガイド機構を説明するための拡大断面図である。
【図11】ガイドブロックを含む部分断面図である。
【図13】ヘッドブラケット及び読取ヘッドの斜視図である。
【図14】ガイドレールの下方において研削されている面取り部の高さよりもスケールの高さが低い場合を例示する部分断面図である。
【図15】ガイドレールにスケールを間接的に当接させる構成を例示する図である。
【図16】間座を用いる場合における、スケールの取付け手順を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【0012】
〔ガイド機構１０の構成等〕
図１から図４を参照して、本実施形態に係るガイド機構１０の構成等について説明する。図１は、本実施形態に係るガイド機構を説明するための斜視図である。図２は、本実施形態に係るガイド機構を説明するための平面図である。図３は、図２におけるＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った拡大断面図である。図４は、図２におけるＩＶ－ＩＶ線に沿った拡大断面図である。
図１から図４を参照して、本実施形態に係るガイド機構１０の構成等について説明する。図１は、本実施形態に係るガイド機構を説明するための斜視図である。図２は、本実施形態に係るガイド機構を説明するための平面図である。図３は、図２におけるＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った拡大断面図である。図４は、図２におけるＩＶ－ＩＶ線に沿った拡大断面図である。
【0013】
図１及び図２に示すように、本実施形態に係るガイド機構１０は、ベース１２に対してスライダとしてのテーブル１４を所定方向である第１方向Ｄ１へ移動可能に案内する機構である。ここで、ベース１２は、第１方向Ｄ１に延びており、テーブル１４は、所定方向に直交する方向である第２方向Ｄ２に延びている。ガイド機構１０、ベース１２、及びテーブル１４は、例えばレーザ加工機等の加工装置、物品搬送装置等の種々な装置の一部として用いられる。
【0014】
（ガイドレール１６）
図１から図３に示すように、ベース１２の表側における第２方向Ｄ２の両端側には、第１方向Ｄ１に延びたガイドレール１６（１６Ｌ，１６Ｒ）が複数の六角穴付きの取付ボルト１８を介してそれぞれ設けられている。２つのガイドレール１６（１６Ｌ，１６Ｒ）は、平行に配置されている。一方のガイドレール１６Ｌは、第２方向Ｄ２の一端側に位置しており、他方のガイドレール１６Ｒは、第２方向の他端側に位置している。
図１から図３に示すように、ベース１２の表側における第２方向Ｄ２の両端側には、第１方向Ｄ１に延びたガイドレール１６（１６Ｌ，１６Ｒ）が複数の六角穴付きの取付ボルト１８を介してそれぞれ設けられている。２つのガイドレール１６（１６Ｌ，１６Ｒ）は、平行に配置されている。一方のガイドレール１６Ｌは、第２方向Ｄ２の一端側に位置しており、他方のガイドレール１６Ｒは、第２方向の他端側に位置している。
【0015】
（ガイドブロック２０）
図１から図３に示すように、テーブル１４の裏側における第２方向Ｄ２の両端側には、２つのガイドブロック２０（２０Ｌ，２０Ｒ）が複数の六角穴付きの取付ボルト２２を介してそれぞれ設けられている。２つのガイドブロック２０Ｌは、第２方向Ｄ２の一端側に位置しており、２つのガイドブロック２０Ｒは、第２方向Ｄ２の他端側に位置している。２つのガイドブロック２０Ｌは、第１方向Ｄ１に離隔しており、一方のガイドレール１６Ｌに第１方向Ｄ１へ摺動可能に支持されている。２つのガイドブロック２０Ｒは、第１方向Ｄ１に離隔しており、他方のガイドレール１６Ｒに第１方向Ｄ１へ摺動可能に支持されている。各ガイドブロック２０（２０Ｌ，２０Ｒ）には、ガイドレール１６（１６Ｌ，１６Ｒ）に第１方向Ｄ１に沿って摺動可能に嵌合するガイド溝２０ｇが形成されている。
図１から図３に示すように、テーブル１４の裏側における第２方向Ｄ２の両端側には、２つのガイドブロック２０（２０Ｌ，２０Ｒ）が複数の六角穴付きの取付ボルト２２を介してそれぞれ設けられている。２つのガイドブロック２０Ｌは、第２方向Ｄ２の一端側に位置しており、２つのガイドブロック２０Ｒは、第２方向Ｄ２の他端側に位置している。２つのガイドブロック２０Ｌは、第１方向Ｄ１に離隔しており、一方のガイドレール１６Ｌに第１方向Ｄ１へ摺動可能に支持されている。２つのガイドブロック２０Ｒは、第１方向Ｄ１に離隔しており、他方のガイドレール１６Ｒに第１方向Ｄ１へ摺動可能に支持されている。各ガイドブロック２０（２０Ｌ，２０Ｒ）には、ガイドレール１６（１６Ｌ，１６Ｒ）に第１方向Ｄ１に沿って摺動可能に嵌合するガイド溝２０ｇが形成されている。
【0016】
（ガイドレール１６の取付に関する構成）
図３に示すように、ベース１２の表側における第２方向Ｄ２の一端側には、一方のガイドレール１６Ｌを取付けるための平坦な第１レール取付面１２ａが機械加工によって形成されている。ベース１２の第１レール取付面１２ａは、ベース１２の長手方向（第１方向Ｄ１）の一端から他端にかけて第１方向Ｄ１に延びている。ベース１２の表側における第２方向Ｄ２の一端側には、一方のガイドレール１６Ｌを第２方向Ｄ２に位置決めするためのレール位置決め面１２ｂが機械加工によって形成されている。ベース１２のレール位置決め面１２ｂは、第１レール取付面１２ａに直交しており、ベース１２の長手方向の一端から他端にかけて第１方向Ｄ１に延びている。
図３に示すように、ベース１２の表側における第２方向Ｄ２の一端側には、一方のガイドレール１６Ｌを取付けるための平坦な第１レール取付面１２ａが機械加工によって形成されている。ベース１２の第１レール取付面１２ａは、ベース１２の長手方向（第１方向Ｄ１）の一端から他端にかけて第１方向Ｄ１に延びている。ベース１２の表側における第２方向Ｄ２の一端側には、一方のガイドレール１６Ｌを第２方向Ｄ２に位置決めするためのレール位置決め面１２ｂが機械加工によって形成されている。ベース１２のレール位置決め面１２ｂは、第１レール取付面１２ａに直交しており、ベース１２の長手方向の一端から他端にかけて第１方向Ｄ１に延びている。
【0017】
ベース１２の表側における第２方向Ｄ２の他端側には、他方のガイドレール１６Ｒを取付けるための平坦な第２レール取付面１２ｃが機械加工によって形成されている。ベース１２の第２レール取付面１２ｃは、ベース１２の長手方向の一端から他端にかけて第１方向Ｄ１に延びており、第１レール取付面１２ａと同一平面上に位置している。
【0018】
（ガイドブロック２０の取付に関する構成）
図３に示すように、テーブル１４の裏側における第２方向Ｄ２の一端側には、ガイドブロック２０Ｌを取付けるための２つの平坦な第１ブロック取付面１４ａが機械加工によってそれぞれ形成されている。テーブル１４の２つの第１ブロック取付面１４ａ（１つの第１ブロック取付面１４ａのみ図示）は、第１方向Ｄ１に離隔している。テーブル１４の裏側における第２方向Ｄ２の一端側には、ガイドブロック２０Ｌを第２方向Ｄ２に位置決めするための２つのブロック位置決め面１４ｂが機械加工によってそれぞれ形成されている。テーブル１４の２つのブロック位置決め面１４ｂ（１つのブロック位置決め面１４ｂのみ図示）は、第１方向Ｄ１に離隔している。テーブル１４の各ブロック位置決め面１４ｂは、各第１ブロック取付面１４ａに直交している。
図３に示すように、テーブル１４の裏側における第２方向Ｄ２の一端側には、ガイドブロック２０Ｌを取付けるための２つの平坦な第１ブロック取付面１４ａが機械加工によってそれぞれ形成されている。テーブル１４の２つの第１ブロック取付面１４ａ（１つの第１ブロック取付面１４ａのみ図示）は、第１方向Ｄ１に離隔している。テーブル１４の裏側における第２方向Ｄ２の一端側には、ガイドブロック２０Ｌを第２方向Ｄ２に位置決めするための２つのブロック位置決め面１４ｂが機械加工によってそれぞれ形成されている。テーブル１４の２つのブロック位置決め面１４ｂ（１つのブロック位置決め面１４ｂのみ図示）は、第１方向Ｄ１に離隔している。テーブル１４の各ブロック位置決め面１４ｂは、各第１ブロック取付面１４ａに直交している。
【0019】
テーブル１４の裏側における第２方向Ｄ２の他端側には、ガイドブロック２０Ｒを取付けるための平坦な第２ブロック取付面１４ｃが機械加工によって形成されている。テーブル１４の２つの第２ブロック取付面１４ｃ（１つの第２ブロック取付面１４ｃのみ図示）は、第１方向Ｄ１に離隔している。テーブル１４の各第２ブロック取付面１４ｃは、各第１ブロック取付面１４ａと同一平面上に位置している。
【0020】
（リニアエンコーダ２４の概略）
図１及び図２に示すように、ガイド機構１０は、テーブル１４の第１方向Ｄ１の位置（移動量）を検出するリニアエンコーダ２４を備えている。リニアエンコーダ２４の検出方式は、光学式、磁気式、静電容量式、又は電磁誘導式のいずれであってもよい。そして、リニアエンコーダ２４の具体的な構成は、次の通りである。
図１及び図２に示すように、ガイド機構１０は、テーブル１４の第１方向Ｄ１の位置（移動量）を検出するリニアエンコーダ２４を備えている。リニアエンコーダ２４の検出方式は、光学式、磁気式、静電容量式、又は電磁誘導式のいずれであってもよい。そして、リニアエンコーダ２４の具体的な構成は、次の通りである。
【0021】
（リニアスケール２６）
図１、図２、及び図４に示すように、ベース１２の表側における第２方向Ｄ２の一端側には、第１方向Ｄ１に延びた長尺板状のリニアスケール２６が複数の六角穴付きの取付ボルト２８を介して設けられている。リニアスケール２６は、一方のガイドレール１６Ｌに対して平行に配置されており、一方のガイドレール１６Ｌよりも第２方向Ｄ２の一端側に位置している。リニアスケール２６は、その表面に、より詳細にはスケールベース部分の上に、第１方向Ｄ１に延びた目盛部２６ａを有しており、目盛部２６ａには、目盛（不図示）が第１方向Ｄ１に沿って形成されている。リニアエンコーダ２４の検出精度を高めるには、リニアスケール２６と一方のガイドレール１６Ｌの平行度を十分に確保する必要がある。なお、以後の説明においても、目盛部２６ａと目盛部２６ａが設置されているスケールベースとを合わせてリニアスケール２６と呼称するが、目盛部２６ａとスケールベースとは、一体であってもよいし、別体であってもよい。また、リニアスケール２６が長尺板状に構成される代わりに、テープ状に構成されてもよい。
図１、図２、及び図４に示すように、ベース１２の表側における第２方向Ｄ２の一端側には、第１方向Ｄ１に延びた長尺板状のリニアスケール２６が複数の六角穴付きの取付ボルト２８を介して設けられている。リニアスケール２６は、一方のガイドレール１６Ｌに対して平行に配置されており、一方のガイドレール１６Ｌよりも第２方向Ｄ２の一端側に位置している。リニアスケール２６は、その表面に、より詳細にはスケールベース部分の上に、第１方向Ｄ１に延びた目盛部２６ａを有しており、目盛部２６ａには、目盛（不図示）が第１方向Ｄ１に沿って形成されている。リニアエンコーダ２４の検出精度を高めるには、リニアスケール２６と一方のガイドレール１６Ｌの平行度を十分に確保する必要がある。なお、以後の説明においても、目盛部２６ａと目盛部２６ａが設置されているスケールベースとを合わせてリニアスケール２６と呼称するが、目盛部２６ａとスケールベースとは、一体であってもよいし、別体であってもよい。また、リニアスケール２６が長尺板状に構成される代わりに、テープ状に構成されてもよい。
【0022】
（ヘッドブラケット３０、読取ヘッド３４）
図１、図２、図４に示すように、テーブル１４の裏側における第２方向Ｄ２の一端側には、ヘッドブラケット３０が複数の六角穴付きの取付ボルト３２を介して設けられている。ヘッドブラケット３０は、２つのガイドブロック２０Ｌの間に配置されており、一方のガイドレール１６Ｌに対向している。ヘッドブラケット３０の正面視形状は、Ｌ字状に形成されている。
図１、図２、図４に示すように、テーブル１４の裏側における第２方向Ｄ２の一端側には、ヘッドブラケット３０が複数の六角穴付きの取付ボルト３２を介して設けられている。ヘッドブラケット３０は、２つのガイドブロック２０Ｌの間に配置されており、一方のガイドレール１６Ｌに対向している。ヘッドブラケット３０の正面視形状は、Ｌ字状に形成されている。
【0023】
ヘッドブラケット３０の側端部には、リニアスケール２６の目盛部２６ａの目盛を読み取る読取ヘッド３４が複数の六角穴付きの連結ボルト３６を介して連結されており、読取ヘッド３４は、リニアスケール２６に対向している。換言すれば、テーブル１４の裏側における第２方向Ｄ２の一端側には、読取ヘッド３４がヘッドブラケット３０等を介してリニアスケール２６に対向して設けられている。読取ヘッド３４は、ヘッドブラケット３０と共に２つのガイドブロック２０Ｌの間に配置されている。ヘッドブラケット３０は、読取ヘッド３４に対して着脱可能に構成されている。読取ヘッド３４には、取付ボルト２８の頭部との干渉を回避するための切欠部３４ｎが形成されている。リニアエンコーダ２４の検出精度を高めるには、読取ヘッド３４とリニアスケール２６の目盛部２６ａとのギャップを所定量（所定の範囲内）に設定することが必要である。
【0024】
（リニアエンコーダ２４の取付に関する構成等）
図３及び図４に示すように、ベース１２の表側における第２方向Ｄ２の一端側には、リニアスケール２６を取付けるための平坦なスケール取付面１２ｄが機械加工によって形成されている。スケール取付面１２ｄは、ベース１２の長手方向（第１方向Ｄ１）の一端近傍から他端近傍にかけて第１方向Ｄ１に延びている。ベース１２のスケール取付面１２ｄは、第１レール取付面１２ａに連続した面であり、第１レール取付面１２ａと同一平面上に位置している。また、リニアスケール２６の短手方向の側端面２６ｓは、一方のガイドレール１６Ｌの短手方向の側面１６Ｌｓに当接する。換言すれば、リニアスケール２６を第１方向Ｄ１に位置決めするためのスケール位置決め面は、一方のガイドレール１６Ｌの短手方向の側面１６Ｌｓである。
図３及び図４に示すように、ベース１２の表側における第２方向Ｄ２の一端側には、リニアスケール２６を取付けるための平坦なスケール取付面１２ｄが機械加工によって形成されている。スケール取付面１２ｄは、ベース１２の長手方向（第１方向Ｄ１）の一端近傍から他端近傍にかけて第１方向Ｄ１に延びている。ベース１２のスケール取付面１２ｄは、第１レール取付面１２ａに連続した面であり、第１レール取付面１２ａと同一平面上に位置している。また、リニアスケール２６の短手方向の側端面２６ｓは、一方のガイドレール１６Ｌの短手方向の側面１６Ｌｓに当接する。換言すれば、リニアスケール２６を第１方向Ｄ１に位置決めするためのスケール位置決め面は、一方のガイドレール１６Ｌの短手方向の側面１６Ｌｓである。
【0025】
テーブル１４の裏側における第２方向Ｄ２の一端側には、ヘッドブラケット３０を介して読取ヘッド３４を取付けるための平坦なヘッド取付面１４ｄが機械加工によって形成されている。テーブル１４のヘッド取付面１４ｄは、２つのブロック取付面１４ａに連続した面であり、２つのブロック取付面１４ａと同一平面上に位置している。また、テーブル１４の裏側における第２方向Ｄ２の一端側には、ヘッドブラケット３０を介して読取ヘッド３４を第２方向Ｄ２に位置決めするためのヘッド位置決め面１４ｅが機械加工によって形成されている。テーブル１４のヘッド位置決め面１４ｅは、ヘッド取付面１４ｄに直交している。ヘッド位置決め面１４ｅは、２つのブロック位置決め１４ｂに連続した面であり、２つのブロック位置決め面１４ｂと同一平面上に位置している。
【0026】
（駆動機構）
図示は省略するが、ベース１２とテーブル１４との間には、テーブル１４を第１方向Ｄ１へ移動させる駆動機構が設けられている。駆動機構は、リニアエンコーダ２４からの検出結果に基づいて、コンピュータからなる制御装置によって駆動制御される。換言すれば、テーブル１４の移動動作は、リニアエンコーダ２４からの検出結果に基づいて、制御装置によって駆動制御される。
図示は省略するが、ベース１２とテーブル１４との間には、テーブル１４を第１方向Ｄ１へ移動させる駆動機構が設けられている。駆動機構は、リニアエンコーダ２４からの検出結果に基づいて、コンピュータからなる制御装置によって駆動制御される。換言すれば、テーブル１４の移動動作は、リニアエンコーダ２４からの検出結果に基づいて、制御装置によって駆動制御される。
【0027】
駆動機構がリニアモータからなる場合には、駆動機構は、ベース１２の表側に設けられた固定子と、テーブル１４の裏側に設けられかつ固定子に対向する可動子とを備える。駆動機構がベース１２に設けられたサーボモータを備える場合には、駆動機構は、ベース１２の表側に回転可能に設けられかつサーボモータの出力軸に連動連結されたボールねじと、テーブル１４の裏側に設けられかつボールねじに螺合したナット部材とを備える。駆動機構がテーブル１４に設けられたサーボモータを備える場合には、駆動機構は、ベース１２の表側に設けられたラック部材と、サーボモータの出力軸に連動連結されかつラック部材に噛合したピニオン部材とを備える。なお、駆動機構として、流体圧シリンダ又は電動シリンダを用いてもよい。
【0028】
〔リニアエンコーダの取付方法〕
続いて、図５から図８を参照して、本実施形態に係るリニアエンコーダの取付方法について説明する。図５及び図６は、本実施形態に係るリニアエンコーダの取付方法における第１取付工程を説明するための部分断面図である。図７及び図８は、本実施形態に係るリニアエンコーダの取付方法における第２取付工程を説明するための部分断面図である。
続いて、図５から図８を参照して、本実施形態に係るリニアエンコーダの取付方法について説明する。図５及び図６は、本実施形態に係るリニアエンコーダの取付方法における第１取付工程を説明するための部分断面図である。図７及び図８は、本実施形態に係るリニアエンコーダの取付方法における第２取付工程を説明するための部分断面図である。
【0029】
本実施形態に係るリニアエンコーダの取付方法は、リニアエンコーダ２４をベース１２とテーブル１４との間に取付けるため方法であり、第１取付工程と、第２取付工程とを含んでいる。そして、本実施形態に係るリニアエンコーダの取付方法における第１取付工程及び第２取付工程の具体的な内容は、次の通りである。
【0030】
（第１取付工程）
図５に示すように、ガイドレール１６（１６Ｌ，１６Ｒ）及びガイドブロック２０（２０Ｌ，２０Ｒ）の取付後に、まず、作業者は、リニアスケール２６の短手方向の側端面２６ｓを一方のガイドレール１６Ｌの短手方向の側面１６Ｌｓに当接させる。すると、リニアスケール２６がベース１２に対する第２方向Ｄ２の所定位置に位置決めされる。そして、図６に示すように、作業者は、その状態で、六角穴付きの取付ボルト２８を用いて、リニアスケール２６をベース１２のスケール取付面１２ｄに取付ける。
図５に示すように、ガイドレール１６（１６Ｌ，１６Ｒ）及びガイドブロック２０（２０Ｌ，２０Ｒ）の取付後に、まず、作業者は、リニアスケール２６の短手方向の側端面２６ｓを一方のガイドレール１６Ｌの短手方向の側面１６Ｌｓに当接させる。すると、リニアスケール２６がベース１２に対する第２方向Ｄ２の所定位置に位置決めされる。そして、図６に示すように、作業者は、その状態で、六角穴付きの取付ボルト２８を用いて、リニアスケール２６をベース１２のスケール取付面１２ｄに取付ける。
【0031】
（第２取付工程）
図７に示すように、リニアスケール２６の取付後に、作業者は、ヘッドブラケット３０の側端面３０ｓをテーブル１４のヘッド位置決め面１４ｅに当接させる。すると、読取ヘッド３４がテーブル１４に対する第２方向Ｄ２の所定位置に位置決めされる。そして、作業者は、その状態で、六角穴付きの取付ボルト３２を用いて、読取ヘッド３４をテーブル１４のヘッド取付面１４ｄにヘッドブラケット３０を介して取付ける。
図７に示すように、リニアスケール２６の取付後に、作業者は、ヘッドブラケット３０の側端面３０ｓをテーブル１４のヘッド位置決め面１４ｅに当接させる。すると、読取ヘッド３４がテーブル１４に対する第２方向Ｄ２の所定位置に位置決めされる。そして、作業者は、その状態で、六角穴付きの取付ボルト３２を用いて、読取ヘッド３４をテーブル１４のヘッド取付面１４ｄにヘッドブラケット３０を介して取付ける。
【0032】
〔本実施形態の作用及び効果〕
続いて、本実施形態の作用及び効果について説明する。
続いて、本実施形態の作用及び効果について説明する。
【0033】
本実施形態の構成によると、リニアスケール２６をベース１２の表側に取付けるためのスケール取付面１２ｄは、一方のガイドレール１６Ｌをベース１２の表側に取付けるためのレール取付面１２ａと同一平面上に位置している。リニアスケール２６の短手方向の側端面２６ｓは、一方のガイドレール１６Ｌの短手方向の側面１６Ｌｓに当接している。そのため、リニアスケール２６の短手方向の側端面２６ｓを一方のガイドレール１６Ｌの短手方向の側面１６Ｌｓに当接させた状態で、リニアスケール２６をベース１２のスケール取付面１２ｄに取付けるだけで、リニアスケール２６と一方のガイドレール１６Ｌの平行度を十分に確保することができる。これにより、リニアエンコーダ２４の検出精度を高めつつ、ベース１２へのリニアスケール２６の取付作業が簡単になる。
【0034】
また、本実施形態の構成によると、読取ヘッド３４をテーブル１４の裏側にヘッドブラケット３０を介して取付けるためのヘッド取付面１４ｄは、ガイドブロック２０Ｌをテーブル１４の裏側に取付けるためのブロック取付面１４ａと同一平面上に位置している。読取ヘッド３４をテーブル１４に対して第２方向Ｄ２に位置決めするためのヘッド位置決め面１４ｅは、ガイドブロック２０Ｌをテーブル１４に対して第２方向Ｄ２に位置決めするためのブロック位置決め面１４ｂと同一平面上に位置している。そのため、ヘッドブラケット３０の側端面３０ｓをテーブル１４のヘッド位置決め面１４ｅを当接させて、読取ヘッド３４をテーブル１４のヘッド取付面１４ｄにヘッドブラケット３０を介して取付けるだけで、読取ヘッド３４とリニアスケール２６とのギャップを所定量（所定の範囲内）に設定することができる。これにより、リニアエンコーダ２４の検出精度を高めつつ、読取ヘッド３４とリニアスケール２６の目盛部２６ａとのギャップを所定量に調整する手間を省いて、テーブル１４への読取ヘッド３４の取付作業が簡単になる。
【0035】
つまり、本実施形態によれば、リニアエンコーダ２４の検出精度を高めつつ、リニアエンコーダ２４の取付作業の作業性を向上させることができる。
【0036】
また、本実施形態の構成によると、ベース１２のスケール取付面１２ｄは、第１レール取付面１２ａに連続した面であり、第１レール取付面１２ａと同一平面上に位置している。そのため、ベース１２のスケール取付面１２ｄ及び第１レール取付面１２ａを同一の機械加工によって形成することができる。同様に、テーブル１４のヘッド取付面１４ｄは、２つのブロック取付面１４ａに連続した面であり、テーブル１４の２つのブロック取付面１４ａと同一平面上に位置している。そのため、テーブル１４のヘッド取付面１４ｄ及び２つのブロック取付面１４ａを同一の機械加工によって形成することができる。また、テーブル１４のヘッド位置決め面１４ｅは、２つのブロック位置決め１４ｂに連続した面であり、２つのブロック位置決め面１４ｂと同一平面上に位置している。そのため、テーブル１４のヘッド位置決め面１４ｅ及び２つのブロック位置決め面１４ｂを同一の機械加工によって形成することができる。
【0037】
つまり、本実施形態によれば、ベース１２のスケール取付面１２ｄ、テーブル１４のヘッド取付面１４ｄ、ヘッド位置決め面１４ｅの加工の手間とコストを大幅に削減することができる。換言すれば、本実施形態によれば、リニアエンコーダ２４をベース１２とテーブル１４の間に取付けるための加工の手間とコストを大幅に削減することができる。
【0038】
更に、本実施形態の構成によると、ヘッドブラケット３０は、読取ヘッド３４に対して着脱可能に構成されている。そのため、本実施形態によれば、ガイドレール１６の型式等の種類に応じて、複数種のヘッドブラケット３０を用意することにより、リニアエンコーダ２４の汎用性を高めることができる。
【0039】
また、本実施形態の構成によると、読取ヘッド３４は、ヘッドブラケット３０と共に２つのガイドブロック２０Ｌの間に配置されている。そのため、本実施形態によれば、テーブル１４の第１方向Ｄ１の寸法を拡大しなくても、読取ヘッド３４をテーブル１４にヘッドブラケット３０を介して取付けることができ、テーブル１４のコンパクト化を図ることができる。
【0040】
（介在部材の構成例１）
図９を参照して、本例に係るガイド機構１０Ａ及び介在部材の構成等について説明する。
図９を参照して、本例に係るガイド機構１０Ａ及び介在部材の構成等について説明する。
【0041】
図９に示すように、本例に係るガイド機構１０Ａは、ベース１２に対してスライダとしてのテーブル１４を所定方向である第１方向Ｄ１へ移動可能に案内する機構であり、前述のガイド機構１０（図１及び図４参照）と同様の構成を有している。以下、ガイド機構１０Ａの構成のうち、ガイド機構１０と異なる構成についてのみ説明する。
【0042】
ベース１２の第１レール取付面１２ａには、第１方向Ｄ１に延びた介在部材３８が設けられており、介在部材３８は、一方のガイドレール１６Ｌとリニアスケール２６との間に介在する。介在部材３８は、ブロック又はバーからなり、介在部材３８の短手方向の側端面３８ｓは、一方のガイドレール１６Ｌの短手方向の側面１６Ｌｓに当接する。また、リニアスケール２６の短手方向の側端面２６ｓは、一方のガイドレール１６Ｌの短手方向の側面１６Ｌｓに介在部材３８を介して間接的に当接する。
【0043】
そして、本例の構成においても、前述のガイド機構１０と同様の作用効果を奏する。
【0044】
（介在部材の構成例２）
続いて、介在部材についての第２の構成例、及びガイド機構１０（１０Ａ）の各部における寸法について説明する。図１１は、ガイドブロック２０を含む部分断面図である。
続いて、介在部材についての第２の構成例、及びガイド機構１０（１０Ａ）の各部における寸法について説明する。図１１は、ガイドブロック２０を含む部分断面図である。
【0045】
図１１において、Ｗ１は、ガイドレール１６のＤ２方向における幅を示している。Ｗ２は、ガイドレール１６の側面からガイドブロック２０の近い方の側面までのＤ２方向における距離を示している。Ｍは、ガイドレール１６の下面からガイドブロック２０の上面までの高さを示している。Ｋは、ガイドブロック２０部分の高さを示している。Ｈ３は、ガイドレール１６の下面からガイドブロック２０の下面までの距離を示している。また、Ｈ３は、式：Ｍ－Ｋによって表される。
【0046】
Ｔは、テーブル（スライダ）１４をガイドブロック２０に固定するための取付ボルト２２が挿入される深さを示している。Ｂは、Ｄ２方向の両端に位置する取付ボルト２２のボルト穴２２ａの中心間の距離を示している。
【0047】
【0048】
図１２において、Ｘは、読取ヘッド３４とヘッドブラケット３０との接触面である、読取ヘッド３４の側面から、ヘッドブラケット３０の他端の側面までのＤ２方向の距離を示している。ここで、前記他端の側面は、ガイドブロック２０の側面と同一平面である。Ｙは、読取ヘッド３４の上面からヘッドブラケット３０の上面までの高さ方向の距離を示している。ｔは、読取ヘッド３４の前記側面から、読取ヘッド３４が有する、リニアスケール２６の目盛部２６ａを読み取るセンサの中心位置までのＤ２方向における距離を示している。ｓは、ガイドレール１６の側面から前記センサの中心位置までのＤ２方向における距離を示している。
【0049】
上述したＸは、図１１の「Ｗ１」及び「Ｗ２」等を用いて、式：Ｗ１＋Ｗ２＋ａによって表される。ここで、ａは、式：ｓ－ｔ（ｓ＞＝ｔ）によって表される値である。
【0050】
ｕは、リニアスケール２６（スケールベース）の下面から、リニアスケール２６の目盛部２６ａの上面までの高さを示している。ここで、リニアスケール２６の下面は、ガイドレール１６の下面と同一平面である。ｖは、リニアスケール２６の目盛部２６ａの上面から前記センサの読取位置までの高さ方向の距離を示している。ｗは、前記センサの読取位置から読取ヘッド３４の上面までの高さ方向の距離を示している。
【0051】
また、上述したＹは、図１１の「Ｍ」等を用いて、式：Ｙ＝Ｍ－ｂによって表される。ここで、ｂは、式：ｕ＋ｖ＋ｗによって表される値である。
【0052】
また、図１３は、ヘッドブラケット３０及び読取ヘッド３４の斜視図である。読取ヘッド３４は、ガイド機構１０の寸法に合わせたヘッドブラケット３０を用いてテーブル１４に取り付けられる。但し、ヘッドブラケット３０は、ガイド機構１０毎に設計する必要は無く、ガイドブロック２０、ガイドレール１６及び読取ヘッド３４の寸法に応じて、ヘッドブラケット３０の寸法を規定するＸ及びＹ等の値が定まる。
【0053】
また、リニアスケール２６についても、ガイド機構１０毎に設計を不要とするため共通化することが望ましいが、以下に説明するようにガイドレール１６の下方が研削されている場合があることに留意する必要がある。
【0054】
図１４の右図は、左図における点線の矩形部分に対応する図であって、ガイドレール１６の下方においてガイドレール１６の長手方向に沿って研削されている部分（以下、面取り部５１とも称します。）の高さよりもリニアスケール２６の高さが低い場合を例示する部分断面図である。面取り部５１の高さよりもリニアスケール２６の高さが低い場合とは、ガイド機構１０が、サイズが大きい型番である場合等が該当する。前記の場合、リニアスケール２６をガイドレール１６に当接させると、面取り部５１における研削の角度によってＤ２方向におけるリニアスケール２６の位置が変化してしまうため、リニアスケール２６を共通化することができない。別の側面から言えば、ガイドレール１６にリニアスケール２６を直接当接させる構成の場合、リニアスケール２６を共通化するためには、面取り部５１の高さをリニアスケール２６の高さが上回っていることが必要となる。
【0055】
図１５は、ガイドレール１６にリニアスケール２６を間接的に当接させる構成を例示する図である。即ち、図１５は、ガイドレール１６の側面に介在部材の一種である間座３８ａを介在させ、リニアスケール２６を当接させた様子を示している。また、図１５の右図は、左図における点線の矩形部分に対応する。
【0056】
図１５においても、リニアスケール２６の高さは面取り部５１の高さよりも低いが、間座３８ａの高さは、面取り部５１の高さよりも高い。これにより、面取り部５１の大きさ又は角度に関わらず、リニアスケール２６のＤ２方向の位置が一定となるため、リニアスケール２６を共通化することが可能となる。なお、リニアスケール２６の高さが面取り部５１の高さよりも高い場合にも、共通した間座３８ａを用いてリニアスケール２６が取り付けられてもよい。
【0057】
また、図１２及び図１５に示す構成では、リニアスケール２６をベース１２に取付けるためのスケール取付面は、ガイドレール１６をベース１２に取付けるためのレール取付面と同一平面上に位置し、リニアスケール２６の少なくとも一部は、ガイドレール１６の側方且つガイドブロック２０が摺動したときに通過する範囲の下方に位置している。前記の構成によれば、リニアスケール２６とガイドレール１６との平行度を十分に確保したうえで、ガイドブロック２０が摺動したときに通過する範囲の下方のスペースを有効活用し、リニアエンコーダ２４の省スペース化を実現することができる。
【0058】
【0059】
（１）間座３８ａをガイドレール１６の側面に当接させる。
【0060】
（２）リニアスケール２６を間座３８ａの側面に当接させる。別の側面から言えば、リニアスケール２６をガイドレール１６に間接的に当接させる。
【0061】
（３）リニアスケール２６をボルト２８によってベース１２に固定する。
【0062】
（４）間座３８ａをベース１２から取り外す。これは、間座３８ａがリニアスケール２６を位置決めするためのものであってガイド機構１０の運用時には不要であり、間座３８ａの大きさによっては、摺動するガイドブロック２０に干渉し得るためである。結果として、リニアスケール２６は、ガイドレール１６に接触しないように配置される。但し、リニアスケール２６をベース１２に固定したのちに間座３８ａをベースから取り外さない態様についても本開示に含まれる。
【0063】
（５）ヘッドブラケット３０を、テーブル１４のヘッド位置決め面に当接させる。
【0064】
（６）ヘッドブラケット３０をボルト２２によってテーブル１４に取り付ける。
【0065】
また、読取ヘッド３４は、ヘッドブラケット３０を介してスライダ１４に取り付けられた状態において、ヘッドブラケット３０と接触する、読取ヘッド３４の側面又は上面の少なくとも一部が、ガイドブロック２０が摺動したときに通過する範囲に含まれる。これにより、読取ヘッド３４、及びリニアスケール２６の目盛部２６ａをガイドブロック２０に近づけ、リニアエンコーダ２４の検出精度をより向上させることに寄与する。
【0066】
〔変形例〕
図１０を参照して、本実施形態の変形例に係るガイド機構１０Ｂの構成等について説明する。なお、説明の便宜上、本実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
図１０を参照して、本実施形態の変形例に係るガイド機構１０Ｂの構成等について説明する。なお、説明の便宜上、本実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【0067】
図１０に示すように、本実施形態の変形例に係るガイド機構１０Ｂは、ベース１２に対してスライダとしてのテーブル１４を所定方向である第１方向Ｄ１へ移動可能に案内する機構であり、前述のガイド機構１０（図１及び図４参照）と同様の構成を有している。以下、ガイド機構１０Ｂの構成のうち、ガイド機構１０と異なる構成についてのみ説明する。
【0068】
リニアスケール２６における短手方向の側端面２６ｓの反対側には、第１方向Ｄ１に延びたフランジ部２６ｆが立ち上がるように形成されている。換言すれば、リニアスケール２６は、断面Ｌ字状に形成されている。リニアスケール２６の目盛部２６ａは、フランジ部２６ｆに配置されている。これにより、リニアスケール２６の目盛部２６ａに粉塵等の異物が堆積し難くなり、リニアエンコーダ２４の検出精度を安定的に高めることができる。
【0069】
〔まとめ〕
本発明の態様１に係るリニアエンコーダ（２４）は、ベース（１２）に設けられかつ所定方向に延びたガイドレール（１６）と、スライダ（１４）に設けられかつ前記ガイドレールに前記所定方向へ摺動可能に支持されるガイドブロック（２０）とを備えたガイド機構（１０、１０Ａ）に用いられ、前記スライダの前記所定方向の位置を検出するリニアエンコーダであって、前記ベースに設けられ、前記ガイドレールに対して平行に配置され、前記所定方向に延びたリニアスケール（２６）と、前記スライダに前記リニアスケールに対向して設けられ、前記リニアスケールに対向し、前記リニアスケールの目盛を読み取る読取ヘッド（３４）と、を備え、前記リニアスケールを前記ベースに取付けるためのスケール取付面は、前記ガイドレールを前記ベースに取付けるためのレール取付面と同一平面上に位置し、前記リニアスケールの少なくとも一部が、前記ガイドレールの側方且つ前記ガイドブロックが摺動したときに通過する範囲の下方に位置する構成である。
本発明の態様１に係るリニアエンコーダ（２４）は、ベース（１２）に設けられかつ所定方向に延びたガイドレール（１６）と、スライダ（１４）に設けられかつ前記ガイドレールに前記所定方向へ摺動可能に支持されるガイドブロック（２０）とを備えたガイド機構（１０、１０Ａ）に用いられ、前記スライダの前記所定方向の位置を検出するリニアエンコーダであって、前記ベースに設けられ、前記ガイドレールに対して平行に配置され、前記所定方向に延びたリニアスケール（２６）と、前記スライダに前記リニアスケールに対向して設けられ、前記リニアスケールに対向し、前記リニアスケールの目盛を読み取る読取ヘッド（３４）と、を備え、前記リニアスケールを前記ベースに取付けるためのスケール取付面は、前記ガイドレールを前記ベースに取付けるためのレール取付面と同一平面上に位置し、前記リニアスケールの少なくとも一部が、前記ガイドレールの側方且つ前記ガイドブロックが摺動したときに通過する範囲の下方に位置する構成である。
【0070】
前記の構成によれば、リニアスケールとガイドレールとの平行度を十分に確保したうえで、リニアエンコーダの省スペース化を実現することができる。
【0071】
本発明の態様２に係るリニアエンコーダは、上記の態様１において、前記読取ヘッドに設けられ、前記スライダが連結されたヘッドブラケットを備え、前記読取ヘッドは、前記ヘッドブラケットを介して前記スライダに取り付けられた状態において、前記ヘッドブラケットと接触する、前記読取ヘッドの側面又は上面の少なくとも一部が、前記ガイドブロックが摺動したときに通過する範囲に含まれる構成としてもよい。
【0072】
前記の構成によれば、読取ヘッド及びリニアスケールをガイドブロックに近づけ、リニアエンコーダの検出精度をより向上させることに寄与する。
【0073】
本発明の態様３に係るリニアエンコーダは、上記の態様１又は２において、前記リニアスケールは、前記ベースに取り付けられるときに、当該リニアスケールの側端面が前記ガイドレールの側面に介在部材（３８、３８ａ）を介して間接的に当接する構成としてもよい。
【0074】
前記の構成によれば、例えばガイドレール及びリニアスケールの形状によらず、リニアスケールを所定位置に配置することに寄与する。
【0075】
本発明の態様４に係るリニアエンコーダは、上記の態様３において、前記介在部材は、前記リニアスケールが前記ベースに取り付けられたのちに前記ベースから取り外し可能である構成としてもよい。
【0076】
前記の構成によれば、摺動するガイドブロックに介在部材が干渉することを防ぐことができる。
【0077】
本発明の態様５に係るガイド機構は、前記ベースに対して前記スライダを所定方向へ移動可能に案内するガイド機構であって、前記ガイドレールと、前記ガイドブロックと、態様３に記載のリニアエンコーダと、を備え、前記ガイドレールの下方には、前記所定方向に沿って研削された面取り部が形成されており、前記ベースを基準とする前記面取り部の高さは、前記リニアスケールの高さよりも高い構成である。
【0078】
前記の構成によれば、リニアスケールを薄く形成することができる。
【0079】
本発明の態様６に係るガイド機構は、上記の態様５において、前記ベースを基準とする前記介在部材の高さは、前記面取り部の高さよりも高い構成としてもよい。
【0080】
前記の構成によれば、面取り部の高さによらず、リニアスケールを所定位置に配置することができる。
【0081】
本発明の態様７に係るヘッドブラケット（３０）は、リニアエンコーダ（２４）が備える読取ヘッド（３４）の取り付けに用いられるヘッドブラケットであって、前記リニアエンコーダは、ベース（１２）に設けられかつ所定方向に延びたガイドレール（１６）と、スライダ（１４）に設けられかつ前記ガイドレールに前記所定方向へ摺動可能に支持されるガイドブロック（２０）とを備えたガイド機構（１０、１０Ａ）に用いられ、前記スライダの前記所定方向の位置を検出し、前記ベースに設けられ、前記ガイドレールに対して平行に配置され、前記所定方向に延びたリニアスケール（２６）と、前記スライダに前記リニアスケールに対向して設けられ、前記リニアスケールに対向し、前記リニアスケールの目盛を読み取る前記読取ヘッドと、を備え、前記読取ヘッドは、前記ヘッドブラケットを介して前記スライダに取り付けられ、前記ヘッドブラケットは、前記読取ヘッドの側面又は上面との接触面を有し、前記スライダに取り付けられた状態において、前記接触面の少なくとも一部が、前記ガイドブロックが摺動したときに通過する範囲に含まれる構成である。
【0082】
前記の構成によれば、リニアエンコーダの省スペース化を実現することができる。
【0083】
本発明の態様８に係るリニアエンコーダの取付方法であって、前記リニアスケールの側端面を前記ガイドレールの側面に前記介在部材を介して間接的に当接させて、その状態で、前記リニアスケールを前記ベースの前記スケール取付面に取付ける第１取付工程と、前記リニアスケールの取付後に、前記ヘッドブラケットの側端面を前記スライダの前記ヘッド位置決め面を当接させて、その状態で、前記読取ヘッドを前記スライダの前記ヘッド取付面に前記ヘッドブラケットを介して取付ける第２取付工程と、を含むことを特徴とするリニアエンコーダの取付方法は、上記の態様３において、請求項３に記載のリニアエンコーダの取付方法であって、前記リニアスケールの側端面を前記ガイドレールの側面に前記介在部材を介して間接的に当接させて、その状態で、前記リニアスケールを前記ベースの前記スケール取付面に取付ける第１取付工程と、前記リニアスケールの取付後に、ヘッドブラケット（３０）の側端面を前記スライダのヘッド位置決め面を当接させて、その状態で、前記読取ヘッドを前記スライダのヘッド取付面に前記ヘッドブラケットを介して取付ける第２取付工程と、を含む方法としてもよい。
【0084】
前記の構成によれば、上記の態様３に係る発明と同等の効果を奏する。
【0085】
〔付記事項〕
本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。
本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【0086】
１０ ガイド機構
１２ ベース
１２ａ 第１レール取付面
１２ｂ レール位置決め面
１２ｃ 第２レール取付面
１２ｄ スケール取付面
１２ｅ スケール位置決め面
１４ テーブル（スライダ）
１４ａ 第１ブロック取付面
１４ｂ ブロック位置決め面
１４ｃ 第２ブロック取付面
１４ｄ ヘッド取付面
１４ｅ ヘッド位置決め面
１６（１６Ｌ，１６Ｒ） ガイドレール
１６Ｌｓ 側面
１８ 取付ボルト
２０（２０Ｌ，２０Ｒ） ガイドブロック
２０ｇ ガイド溝
２２ 取付ボルト
２４ リニアエンコーダ
２６ リニアスケール
２６ａ 目盛部
２６ｓ 側端面
２８ 取付ボルト
３０ ヘッドブラケット
３２ 取付ボルト
３４ 読取ヘッド
３４ｎ 切欠部
３６ 連結ボルト
３８、３８ａ 介在部材（間座）
３８ｓ 側端面
Ｄ１ 第１方向（所定方向）
Ｄ２ 第２方向（所定方向に直交する方向）
１２ ベース
１２ａ 第１レール取付面
１２ｂ レール位置決め面
１２ｃ 第２レール取付面
１２ｄ スケール取付面
１２ｅ スケール位置決め面
１４ テーブル（スライダ）
１４ａ 第１ブロック取付面
１４ｂ ブロック位置決め面
１４ｃ 第２ブロック取付面
１４ｄ ヘッド取付面
１４ｅ ヘッド位置決め面
１６（１６Ｌ，１６Ｒ） ガイドレール
１６Ｌｓ 側面
１８ 取付ボルト
２０（２０Ｌ，２０Ｒ） ガイドブロック
２０ｇ ガイド溝
２２ 取付ボルト
２４ リニアエンコーダ
２６ リニアスケール
２６ａ 目盛部
２６ｓ 側端面
２８ 取付ボルト
３０ ヘッドブラケット
３２ 取付ボルト
３４ 読取ヘッド
３４ｎ 切欠部
３６ 連結ボルト
３８、３８ａ 介在部材（間座）
３８ｓ 側端面
Ｄ１ 第１方向（所定方向）
Ｄ２ 第２方向（所定方向に直交する方向）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】