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特開2024-162497放電管

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024162497

(43)【公開日】2024-11-21

(54)【発明の名称】放電管

(51)【国際特許分類】

H01J 47/00 20060101AFI20241114BHJP

G01J 1/02 20060101ALI20241114BHJP

【ＦＩ】

H01J47/00

G01J1/02 G

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023078046

(22)【出願日】2023-05-10

(71)【出願人】

【識別番号】000236436

【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山健一

(74)【代理人】

【識別番号】100177910

【弁理士】

【氏名又は名称】木津正晴

(72)【発明者】

【氏名】影山裕之

【テーマコード（参考）】

2G065

5C038

【Ｆターム（参考）】

2G065AB05

2G065BA17

2G065CA12

5C038CC06

(57)【要約】

【課題】放電管の製造工程を簡易化することができると共に、検出精度を高めることができる放電管を提供する。
【解決手段】
放電管１は、容器１０と、開口部２１を有する板状のアノード部２０と、開口部２１を通過した光の入射に応じて光電子を放出する板状のカソード部３０と、アノード部２０とカソード部３０が向かい合う方向Ｄ１に沿って延在する棒状のアノード電極部４０と、方向Ｄ１に沿って延在する棒状のカソード電極部５０と、を備える。方向Ｄ１においてアノード部２０がカソード部３０に対して位置する側を一方側Ｓ１とし、一方側Ｓ１とは反対側を他方側Ｓ２とすると、アノード電極部４０はアノード部２０から他方側Ｓ２に延在しており、カソード電極部５０はカソード部３０から他方側Ｓ２に延在している。カソード部３０におけるカソード電極部５０との接合領域Ｒ２は、方向Ｄ１における一方側Ｓ１から見た場合に、アノード部２０から露出している。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

放電ガスが封入された容器と、
開口部が形成された板状部材からなり、前記容器内に配置されたアノード部と、
板状部材からなり、前記アノード部と向かい合うように前記容器内に配置され、前記開口部を通過した光の入射に応じて光電子を放出するカソード部と、
前記アノード部と前記カソード部とが向かい合う対向方向に沿って延在し、前記アノード部に接合された棒状のアノード電極部と、
前記対向方向に沿って延在し、前記カソード部に接合された棒状のカソード電極部と、を備え、
前記アノード部と前記カソード部が向かい合う対向方向において前記アノード部が前記カソード部に対して位置する側を一方側とし、前記一方側とは反対側を他方側とすると、前記アノード電極部は前記アノード部から前記他方側に延在しており、前記カソード電極部は前記カソード部から前記他方側に延在しており、
前記カソード部における前記カソード電極部との接合領域は、前記対向方向における前記一方側から見た場合に、前記アノード部から露出している、放電管。

【請求項2】

前記接合領域は、前記カソード部における前記接合領域を包囲する部分よりも薄く形成されている、請求項１に記載の放電管。

【請求項3】

前記接合領域は、前記一方側に開口する凹部がカソード部に形成されることにより、前記接合領域を包囲する前記部分よりも薄く形成されている、請求項２に記載の放電管。

【請求項4】

前記カソード部は、外縁部に形成された切欠き部を有し、
前記切欠き部は、前記対向方向における前記一方側から見た場合に、前記アノード部から露出している、請求項１又は２に記載の放電管。

【請求項5】

前記カソード部は、前記切欠き部の内面から突出した突出部を更に有し、
前記突出部は、前記対向方向から見た場合に、前記切欠き部内に位置している、請求項４に記載の放電管。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、放電管に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、アノード部と、カソード部と、アノード部及びカソード部にそれぞれ接続された複数のリード線と、を備えた紫外線検出用の放電管が記載されている。特許文献１に記載の放電管の製造時には、カソード部をリード線に溶接した後に、カソード部とアノード部との間にスペーサが配置される。その後に、アノード部がリード線に溶接され、スペーサが取り除かれる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２－２０７９７１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述したような放電管には、製造工程を簡易化することが求められる。また、意図しない放電（異常放電）の発生を抑制し、検出精度を高めることが併せて求められる。

【0005】

そこで、本発明は、放電管の製造工程を簡易化することができると共に、検出精度を高めることができる放電管を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の放電管は、［１］「放電ガスが封入された容器と、開口部が形成された板状部材からなり、前記容器内に配置されたアノード部と、板状部材からなり、前記アノード部と向かい合うように前記容器内に配置され、前記開口部を通過した光の入射に応じて光電子を放出するカソード部と、前記アノード部と前記カソード部とが向かい合う対向方向に沿って延在し、前記アノード部に接合された棒状のアノード電極部と、前記対向方向に沿って延在し、前記カソード部に接合された棒状のカソード電極部と、を備え、前記アノード部と前記カソード部が向かい合う対向方向において前記アノード部が前記カソード部に対して位置する側を一方側とし、前記一方側とは反対側を他方側とすると、前記アノード電極部は前記アノード部から前記他方側に延在しており、前記カソード電極部は前記カソード部から前記他方側に延在しており、前記カソード部における前記カソード電極部との接合領域は、前記対向方向における前記一方側から見た場合に、前記アノード部から露出している、放電管」である。

【0007】

この放電管では、カソード部におけるカソード電極部との接合領域が、対向方向における一方側から見た場合に、アノード部から露出している。これにより、カソード部におけるカソード電極部との接合領域、及びアノード部におけるアノード電極部との接合領域の両方が、対向方向における一方側から視認可能となる。そのため、この放電管の製造時には、例えば、カソード部をカソード電極部に対して位置決めすると共にアノード部をアノード電極部に対して位置決めした後に、カソード電極部に対するカソード部の接合、及びアノード電極部に対するアノード部の接合を１つの工程で行うことができる。その結果、上述した特許文献１に記載の製造方法のように、カソード部をカソード電極部に接合した後にアノード部をアノード電極部に対して位置決めし、その後にアノード部をアノード電極部に接合する場合と比べて、製造工程を簡易化することができる。また、この放電管では、カソード部におけるカソード電極部との接合領域が対向方向においてアノード部と重ならないため、当該接合領域がアノード部と重なることに起因する異常放電の発生を抑制することができる。よって、この放電管によれば、放電管の製造工程を簡易化することができると共に、検出精度を高めることができる。

【0008】

本発明の放電管は、［２］「前記接合領域は、前記カソード部における前記接合領域を包囲する部分よりも薄く形成されている、［１］に記載の放電管」であってもよい。この場合、カソード電極部に対するカソード部の接合を容易化することができる。

【0009】

本発明の放電管は、［３］「前記接合領域は、前記一方側に開口する凹部がカソード部に形成されることにより、前記接合領域を包囲する前記部分よりも薄く形成されている、［２］に記載の放電管」であってもよい。この場合、例えば凹部を接合時の目印として用いることができ、カソード電極部に対するカソード部の接合を容易化することができる。

【0010】

本発明の放電管は、［４］「前記カソード部は、外縁部に形成された切欠き部を有し、前記切欠き部は、前記対向方向における前記一方側から見た場合に、前記アノード部から露出している、［１］～［３］のいずれかに記載の放電管」であってもよい。この場合、当該切欠き部がアノード部と重なることに起因する異常放電の発生を抑制することができる。

【0011】

本発明の放電管は、［５］「前記カソード部は、前記切欠き部の内面から突出した突出部を更に有し、前記突出部は、前記対向方向から見た場合に、前記切欠き部内に位置している、［４］に記載の放電管」であってもよい。この場合、当該突出部が切欠き部から突出することに起因する異常放電の発生を抑制することができる。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、放電管の製造工程を簡易化することができると共に、検出精度を高めることができる放電管を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】実施形態に係る放電管の斜視図である。

【図2】放電管の平面図である。

【図3】第１変形例の放電管の平面図である。

【図4】第２変形例の放電管の斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。

【0015】

図１及び図２に示されるように、放電管１は、容器１０と、アノード部２０と、カソード部３０と、一対のアノード電極部４０と、一対のカソード電極部５０と、を備えている。アノード部２０及びカソード部３０は、互いに向かい合うように容器１０内に配置されている。以下、アノード部２０とカソード部３０とが向かい合う方向を方向Ｄ１（対向方向）とし、方向Ｄ１においてアノード部２０がカソード部３０に対して位置する側を一方側Ｓ１（図１中の上側）とし、方向Ｄ１においてカソード部３０がアノード部２０に対して位置する側を他方側Ｓ２（図１中の下側）とする。放電管１は、カソード部３０の仕事関数による特性を利用して、紫外線の検出を行うセンサである。放電管１は、例えば炎検知、燃焼監視、放電検知、水素やアンモニア燃焼時の安全装置等の用途に用いられる。

【0016】

容器１０は、ステム１１と、ガラスバルブ１２と、を有している。ステム１１は、例えば円環板状に形成されている。ステム１１の中央部には排気管１３が接続されている。ガラスバルブ１２は、例えば、方向Ｄ１における一方側Ｓ１の端部（頂部）が閉じられた略円筒状に形成されており、方向Ｄ１における他方側Ｓ２の端部（底部）においてステム１１の外縁部に接合されている。これにより、容器１０内は気密に封止されている。容器１０内には放電ガス２が封入されている。ガラスバルブ１２は、例えば紫外線透過性を有する材料により形成されている。ガラスバルブ１２の材料としては、例えば、ホウケイ酸ガラス、紫外線透過ガラス、石英ガラス、ＭｇＦ_２等の結晶系材料等が挙げられる。

【0017】

アノード部２０は、金属材料により平板状に形成されている。アノード部２０は、例えば、方向Ｄ１から見た場合に略菱形状に形成されている。この例では、アノード部２０は、一方の対角線が他方の対角線よりも長い略菱形状に形成されており、長い方の対角線が、一対のアノード電極部４０が向かい合う方向Ｄ２に沿っている。平面視におけるアノード部２０の各角部は、尖った頂部を有さないように湾曲している。アノード部２０は、例えば、タングステン、ニッケル、モリブデン、銅、ステンレス、コバール金属等により形成されている。

【0018】

アノード部２０の中央部には、方向Ｄ１に沿ってアノード部２０を貫通する複数の開口部２１（貫通孔）が形成されている。各開口部２１は、例えば六角形状に形成されている。複数の開口部２１は、一定の間隔を空けて二次元状に規則的に並んで配置されている。換言すれば、アノード部２０は、その中央部には、アノード部２０の外縁部２０ａに沿って設けられた複数の開口部２１によって形成された略菱形状のメッシュ部を備え、その外縁部には、当該メッシュ部を包囲するような枠部を備えている。なお、開口部２１の形状は六角形状以外の多角形状や円形状でもよく、その配置やサイズ、数等も用途に応じて様々な形態を選択することができる。

【0019】

方向Ｄ２におけるアノード部２０の各端部には、凹部２２が形成されている。この例では、凹部２２は、方向Ｄ１における一方側Ｓ１に開口しており、方向Ｄ１から見た場合に円形状に形成されている。凹部２２は、例えばハーフエッチング加工により形成されており、アノード部２０における凹部２２を包囲する部分よりも薄く形成されている。なお、本実施形態においては、アノード部２０を構成する板材は、均一の厚さを有しているため、凹部２２は、アノード部２０における凹部２２以外の部分（開口部２１を除く）よりも薄く形成されている。後述するように、アノード部２０は、凹部２２の位置で、方向Ｄ１における他方側Ｓ２において、アノード電極部４０に接合されている。すなわち、凹部２２は、アノード電極部４０との接合領域Ｒ１を構成している。

【0020】

アノード部２０の外縁部２０ａには、複数（この例では４つ）の切欠き部２３が形成されている。切欠き部２３は、アノード部２０の製造工程において、例えば板状の金属部材にアノード部２０をエッチング等で形成した際、アノード部２０を包囲する金属部材とアノード部２０とをつなぐブリッジ部が形成される部位である。つまり、切欠き部２３は、製造のために必要な構成であり、電極としての何らかの機能を担っている構成ではない。そして本実施形態においては、ブリッジ部はアノード部２０には残っていない。２つの切欠き部２３は、方向Ｄ１から見た場合に、一方の凹部２２に対して、方向Ｄ２に垂直な方向における両側に、互いに対向するように配置されている。残りの２つの切欠き部２３は、方向Ｄ１から見た場合に、他方の凹部２２に対して、方向Ｄ２に垂直な方向における両側に、互いに対向するように配置されている。各切欠き部２３は、例えば、方向Ｄ１から見た場合に半円形状に形成されている。

【0021】

カソード部３０は、金属材料により平板状に形成されている。この例では、カソード部３０は、アノード部２０と同一の形状を有している。すなわち、カソード部３０は、方向Ｄ１から見た場合に略菱形状に形成されている。カソード部３０は、一方の対角線が他方の対角線よりも長い略菱形状に形成されており、長い方の対角線が、一対のカソード電極部５０が向かい合う方向Ｄ３に沿っている。平面視におけるカソード部３０の各角部は、尖った頂部を有さないように湾曲している。カソード部３０は、例えば、タングステン、ニッケル、モリブデン、銅、コバール金属等により形成されている。

【0022】

アノード部２０とは異なり、カソード部３０には開口部が形成されていない。放電管１では、アノード部２０の開口部２１を通過した光がカソード部３０の表面３０ｂに入射する。表面３０ｂは、カソード部３０の方向Ｄ１における一方側Ｓ１の表面（平坦面）であり、光電面として機能する。表面３０ｂは、開口部２１を通過した光の入射に応じて光電子を放出する。

【0023】

方向Ｄ３におけるカソード部３０の各端部には、凹部３２が形成されている。この例では、凹部３２は、方向Ｄ１における一方側Ｓ１に開口しており、方向Ｄ１から見た場合に円形状に形成されている。凹部３２は、例えばハーフエッチング加工により形成されており、カソード部３０における凹部３２を包囲する部分よりも薄く形成されている。なお、本実施形態においては、カソード部３０を構成する板材は、均一の厚さを有しているため、凹部３２は、カソード部３０における凹部３２以外の部分よりも薄く形成されている。後述するように、カソード部３０は、凹部３２の位置で、方向Ｄ１における他方側Ｓ２において、カソード電極部５０に接合されている。すなわち、凹部３２は、カソード電極部５０との接合領域Ｒ２を構成している。

【0024】

カソード部３０の外縁部３０ａには、複数（この例では４つ）の切欠き部３３が形成されている。なお、切欠き部３３は、切欠き部２３と同様の構成であるため、ここでは説明を省略する。２つの切欠き部３３は、方向Ｄ１から見た場合に、一方の凹部３２に対して、方向Ｄ２に垂直な方向における両側に、互いに対向するように配置されている。残りの２つの切欠き部３３は、方向Ｄ１から見た場合に、他方の凹部３２に対して、方向Ｄ２に垂直な方向における両側に、互いに対向するように配置されている。各切欠き部３３は、例えば、方向Ｄ１から見た場合に半円形状に形成されている。

【0025】

アノード電極部４０は、棒状の電極ピン（ステムピン）であり、ステム１１を貫通するように設けられ、ステム１１に固定されている。アノード電極部４０は、ステム１１から方向Ｄ１に沿って真っ直ぐに延在している。一対のアノード電極部４０は、方向Ｄ１から見た場合に、ステム１１の中央部を挟んで方向Ｄ２において向かい合うように配置されている。アノード電極部４０は、例えばコバール金属により形成されている。

【0026】

アノード電極部４０は、方向Ｄ１における一方側Ｓ１の端部４０ａにおいてアノード部２０の接合領域Ｒ１に接合されており、アノード部２０から方向Ｄ１における他方側Ｓ２に延在している。より具体的には、端部４０ａは、アノード部２０の方向Ｄ１における他方側Ｓ２の表面２０ｂのうち、方向Ｄ１において凹部２２と重なる部分に接合されている。この例では、アノード電極部４０は、レーザ溶接によりアノード部２０に接合されている。

【0027】

溶接時には、例えば、端部４０ａを凹部２２の他方側Ｓ２においてアノード部２０に接触させた状態で方向Ｄ１における一方側Ｓ１から凹部２２にレーザ光を照射し、凹部２２においてアノード部２０およびアノード電極部４０の少なくとも一方を溶融及び固化させることにより、アノード部２０をアノード電極部４０に接合する。一対のアノード電極部４０の高さは互いに同一であり、一対のアノード電極部４０によってアノード部２０は方向Ｄ１と垂直に保持されている。すなわち、アノード電極部４０は、アノード部２０を保持する保持部材としても機能する。

【0028】

カソード電極部５０は、棒状の電極ピン（ステムピン）であり、ステム１１を貫通するように設けられ、ステム１１に固定されている。カソード電極部５０は、ステム１１から方向Ｄ１に沿って真っ直ぐに延在している。一対のカソード電極部５０は、方向Ｄ１から見た場合に、ステム１１の中央部を挟んで方向Ｄ３において向かい合うように配置されている。カソード電極部５０は、例えばコバール金属により形成されている。

【0029】

カソード電極部５０は、方向Ｄ１における一方側Ｓ１の端部５０ａにおいてカソード部３０の接合領域Ｒ２に接合されており、カソード部３０から方向Ｄ１における他方側Ｓ２に延在している。より具体的には、端部５０ａは、カソード部３０の方向Ｄ１における他方側Ｓ２の表面３０ｃのうち、方向Ｄ１において凹部３２と重なる部分に接合されている。この例では、カソード電極部５０は、レーザ溶接によりカソード部３０に接合されている。

【0030】

溶接時には、例えば、端部５０ａを凹部３２の他方側Ｓ２においてカソード部３０に接触させた状態で方向Ｄ１における一方側Ｓ１から凹部３２にレーザ光を照射し、凹部３２においてカソード部３０およびカソード電極部５０の少なくとも一方を溶融及び固化させることにより、カソード部３０をカソード電極部５０に接合する。一対のカソード電極部５０の高さは互いに同一であり、一対のカソード電極部５０によってカソード部３０は方向Ｄ１と垂直に且つアノード部２０と平行に保持されている。すなわち、カソード電極部５０は、カソード部３０を保持する保持部材としても機能する。なお、上述したとおり、アノード部２０はカソード部３０に対して方向Ｄ１における一方側Ｓ１に位置している。したがって、一対のアノード電極部４０の高さは、一対のカソード電極部５０の高さよりも高く設定されている。

【0031】

放電管１では、カソード部３０におけるカソード電極部５０との接合領域Ｒ２が、方向Ｄ１における一方側Ｓ１から見た場合に、アノード部２０から露出している。すなわち、接合領域Ｒ２の一方側Ｓ１にはアノード部２０が配置されておらず、接合領域Ｒ２は方向Ｄ１においてアノード部２０と重なっていない。また、方向Ｄ１における一方側Ｓ１から見た場合に、アノード部２０の切欠き部２３がカソード部３０から露出しており、カソード部３０の切欠き部３３がアノード部２０から露出している。

【0032】

放電管１の動作について説明する。使用状態においては、アノード電極部４０及びカソード電極部５０を介してアノード部２０とカソード部３０との間に電圧が印加されている。使用状態において、容器１０（ガラスバルブ１２）及びアノード部２０の開口部２１を介してカソード部３０（表面３０ｂ）に紫外光が入射すると、カソード部３０から光電子が放出される。この光電子は、アノード部２０に引き寄せられ、容器１０内の放電ガス分子と衝突して放電ガス分子を電離させる。電離によって発生した電子及び正イオンのうち、電子は更に他の放電ガス分子と衝突及び電離を繰り返してアノード部２０に至る。一方、正イオンは、カソード部３０に向けて加速され、カソード部３０に衝突して多くの二次電子を発生させる。以上の現象を繰り返すことにより、アノード部２０とカソード部３０との間に電流が流れ、放電状態となる。放電管１では、この放電現象を利用して紫外域の光を検出する。
［作用効果］

【0033】

放電管１では、カソード部３０におけるカソード電極部５０との接合領域Ｒ２が、方向Ｄ１（対向方向）における一方側Ｓ１から見た場合に、アノード部２０から露出している。これにより、カソード部３０におけるカソード電極部５０との接合領域Ｒ２、及びアノード部２０におけるアノード電極部４０との接合領域Ｒ１の両方が、方向Ｄ１における一方側Ｓ１から視認可能となる。そのため、放電管１の製造時には、例えば、カソード部３０をカソード電極部５０に対して位置決めすると共にアノード部２０をアノード電極部４０に対して位置決めした後に、レーザ溶接のためのレーザ光を方向Ｄ１における一方側Ｓ１から照射することで、カソード電極部５０に対するカソード部３０の接合、及びアノード電極部４０に対するアノード部２０の接合を一工程で行うことができる。その結果、上述した特許文献１に記載の製造方法のように、カソード部３０をカソード電極部５０に接合した後にアノード部２０をアノード電極部４０に対して位置決めし、その後にアノード部２０をアノード電極部４０に接合する場合と比べて、製造工程を簡易化することができる。これにより、製造工程における工数を削減することができ、放電管１の量産化を可能とすることができる。また、放電管１では、カソード部３０におけるカソード電極部５０との接合領域Ｒ２が方向Ｄ１においてアノード部２０と重ならないため、当該接合領域Ｒ２がアノード部２０と重なることに起因する異常放電の発生を抑制することができる。よって、放電管１によれば、放電管の製造工程を簡易化することができると共に、検出精度を高めることができる。また、放電管１では、アノード部２０及びカソード部３０が平板状部材からなるため、例えばアノード部及びカソード部が折り曲げ部分を有する場合と比べて、部材の変形を伴う可能性のある工程を低減できるため、アノード部２０とカソード部３０との間の間隔の精度を高めることができる。

【0034】

接合領域Ｒ２が、カソード部３０における接合領域Ｒ２を包囲する部分よりも薄く形成されている。これにより、カソード電極部５０に対するカソード部３０の接合を容易化することができる。例えば、カソード電極部５０に対するカソード部３０の接合をレーザ溶接にて行う場合に、接合領域Ｒ２がカソード部３０における接合領域Ｒ２を包囲する部分よりも薄く形成されていることで、薄く形成されていない場合に比べてより少ない出力のレーザ光を用いてレーザ溶接を行うことができる。よって、カソード電極部５０に対するカソード部３０の接合を容易化することができる。また、接合領域Ｒ１が、アノード部２０における接合領域Ｒ１以外の部分よりも薄く形成されていることで、アノード電極部４０に対するアノード部２０の接合を容易化することができる。

【0035】

接合領域Ｒ２が、一方側Ｓ１に開口する凹部３２がカソード部３０に形成されることにより、接合領域Ｒ２を包囲する部分よりも薄く形成されている。この場合、例えば凹部３２を目印として用いることができ、カソード電極部５０に対するカソード部３０の接合を容易化することができる。例えば、カソード電極部５０に対するカソード部３０の接合をカソード部３０の一方側Ｓ１からレーザ溶接にて行う場合、凹部３２が溶接箇所の目印となるため、凹部３２が無い場合に比べて容易に溶接箇所を特定することができる。よって、カソード電極部５０に対するカソード部３０の接合を容易化することができる。また、凹部３２が一方側Ｓ１に開口するように形成されているため、接合領域Ｒ２は、方向Ｄ１において、接合領域Ｒ２以外の部分よりもアノード部２０に対して離間している。よって、仮に接合によって接合領域Ｒ２に変形等が生じても、方向Ｄ１においてアノード部２０との距離が小さくなることを抑制することができる。よって、接合領域Ｒ２に起因する放電の可能性を低減することができる。また、接合領域Ｒ１が、一方側Ｓ１に開口する凹部２２がアノード部２０に形成されることにより、接合領域Ｒ１以外の部分よりも薄く形成されている。この場合、凹部２２を目印として用いることができ、アノード電極部４０に対するアノード部２０の接合を容易化することができる。

【0036】

カソード部３０が、外縁部３０ａに形成された切欠き部３３を有し、切欠き部３３が、方向Ｄ１における一方側Ｓ１から見た場合に、アノード部２０から露出している。これにより、切欠き部３３がアノード部２０と重なることに起因する異常放電の発生を抑制することができる。すなわち、切欠き部３３がアノード部２０と重なる場合、切欠き部３３とアノード部２０の間で異常放電が発生する可能性があるが、本実施形態におけるカソード部３０によれば、このような異常放電の発生を抑制することができる。また、アノード部２０が、外縁部２０ａに形成された切欠き部２３を有し、切欠き部２３が、方向Ｄ１における他方側Ｓ２から見た場合に、カソード部３０から露出している。これにより、切欠き部２３がカソード部３０と重なることに起因する異常放電の発生を抑制することができる。
［変形例］

【0037】

図３に示される第１変形例では、アノード部２０が、切欠き部２３の内面から突出した突出部２４を有している。突出部２４は、例えばアノード部２０の製造工程において金属部材からアノード部２０を切り離す際に生じるバリであり、アノード部２０に残存した、上述したブリッジ部の一部である。突出部２４は、方向Ｄ１から見た場合に、切欠き部２３内に位置している。すなわち、突出部２４は、方向Ｄ１から見た場合に、アノード部２０の外縁部２０ａ（切欠き部２３が形成されていないと仮定した場合の外縁）よりも内側に位置している。

【0038】

また、カソード部３０が、切欠き部３３の内面から突出した突出部３４を有している。突出部３４は、例えばカソード部３０の製造工程において金属部材からカソード部３０を切り離す際に生じるバリであり、カソード部３０に残存した、上述したブリッジ部の一部である。突出部３４は、方向Ｄ１から見た場合に、切欠き部３３内に位置している。すなわち、突出部３４は、方向Ｄ１から見た場合に、カソード部３０の外縁部３０ａ（切欠き部３３が形成されていないと仮定した場合の外縁）よりも内側に位置している。

【0039】

第１変形例では、突出部３４が、方向Ｄ１から見た場合に、切欠き部３３内に位置している。これにより、突出部３４が切欠き部３３から突出することに起因する異常放電の発生を抑制することができる。すなわち、突出部３４が切欠き部３３内に位置していない場合、突出部３４とアノード部２０との間で異常放電が発生することがあるが、第１変形例によれば、そのような異常放電の発生を抑制することができる。

【0040】

放電管１は、図４に示される第２変形例のように構成されてもよい。図４では、ガラスバルブ１２が省略して示されている。第２変形例では、アノード部２０及びカソード部３０は、方向Ｄ１から見た場合に略三角形状に形成されている。アノード部２０には３つのアノード電極部４０が接合されており、アノード部２０は、３つの接合領域Ｒ１を有している。また、アノード部２０は、６つの切欠き部２３を有している。同様に、カソード部３０には３つのカソード電極部５０が接合されており、カソード部３０は、３つの接合領域Ｒ２を有している。また、カソード部３０は、６つの切欠き部３３を有している。第２変形例においても、カソード部３０におけるカソード電極部５０との接合領域Ｒ２は、方向Ａにおける一方側Ｓ１から見た場合に、アノード部２０から露出している。このような第２変形例によっても、上記実施形態と同様に、放電管の製造工程を簡易化することができると共に、検出精度を高めることができる。

【0041】

本発明は、上記実施形態及び変形例に限られない。例えば、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。

【0042】

上記実施形態ではカソード電極部５０がカソード部３０における他方側Ｓ２の表面３０ｃに接合されていたが、カソード電極部５０は、カソード部３０における一方側Ｓ１の表面３０ｂに接合されていてもよい。例えば、カソード電極部５０がカソード部３０を貫通するように配置され、カソード部３０からの突出部分においてカソード部３０における一方側Ｓ１の表面３０ｂに接合されていてもよい。すなわち、カソード電極部５０は、カソード部３０の一方側Ｓ１の表面３０ｂ及び他方側Ｓ２の表面３０ｃのいずれか一方に接合されていればよい。ただし、上記実施形態のようにカソード電極部５０がカソード部３０の他方側Ｓ２の表面３０ｃに接合されているほうが、異常放電の抑制等の観点において好ましい。同様に、アノード電極部４０は、アノード部２０における一方側Ｓ１の表面に接合されていてもよく、アノード部２０の一方側Ｓ１の表面及び他方側Ｓ２の表面２０ｂのいずれか一方に接合されていればよい。また、カソード電極部５０とカソード部３０、及びアノード電極部４０とアノード部２０とは、溶接等による直接的な接合に限らず、例えばロウ材等の接合材を用いた間接的な接合によって接続されてもよい。

【0043】

カソード部３０に凹部３２が形成されていなくてもよく、カソード部３０は全体にわたって同一の厚さを有していてもよい。アノード部２０に凹部２２が形成されていなくてもよく、アノード部２０は全体にわたって同一の厚さを有していてもよい。カソード部３０の凹部３２は、他方側Ｓ２に開口するように形成されていてもよい。アノード部２０の凹部２２は、他方側Ｓ２に開口するように形成されていてもよい。カソード部３０の切欠き部３３は、方向Ｄ１における一方側Ｓ１から見た場合に、アノード部２０と重なっていてもよい。カソード部３０に切欠き部３３が形成されていなくてもよい。アノード部２０に切欠き部２３が形成されていなくてもよい。第１変形例において、カソード部３０の突出部３４は、方向Ｄ１から見た場合に切欠き部３３の外側に位置する部分を有していてもよい。第１変形例において、アノード部２０の突出部２４は、方向Ｄ１から見た場合に切欠き部３３の外側に位置する部分を有していてもよい。

【符号の説明】

【0044】

１…放電管、１０…容器、２０…アノード部、２１…開口部、３０…カソード部、３０ａ…外縁部、３２…凹部、３３…切欠き部、３４…突出部、４０…アノード電極部、５０…カソード電極部、Ｄ１…方向（対向方向）、Ｒ２…接合領域。

【図1】