(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024162539
(43)【公開日】2024-11-21
(54)【発明の名称】処理システム
(51)【国際特許分類】
B23Q 11/12 20060101AFI20241114BHJP
B24B 55/00 20060101ALI20241114BHJP
B23Q 17/00 20060101ALI20241114BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20241114BHJP
【ＦＩ】
B23Q11/12 A
B24B55/00
B23Q17/00 A
H01L21/78 F
【審査請求】未請求
【請求項の数】3
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023078130
(22)【出願日】2023-05-10
(71)【出願人】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】田部 政典
(72)【発明者】
【氏名】稲山 大介
【テーマコード（参考）】
3C029
3C047
5F063
【Ｆターム（参考）】
3C029EE01
3C047FF03
3C047FF17
5F063AA48
5F063DD01
5F063FF22
5F063FF28
(57)【要約】
【課題】処理装置が所定の処理項目を実行している間に冷却システムの冷却能力が不足することを抑制することができる処理システムを提供すること。
【解決手段】処理システム１は、複数の処理装置１０と、冷却システム２と、冷媒を処理装置１０に供給しかつ冷却システム２に戻す冷媒流路２０と、冷媒の流量、および供給前後の温度を測定する測定ユニット３０と、を備える。制御ユニット４０は、処理装置１０が処理項目を実行する際に単位時間当たりに発生しうる想定熱量を記憶する想定熱量記憶部５１と、処理装置１０で単位時間当たりに発生した総発生熱量を算出する総発生熱量算出部７１と、冷却システム２の冷却余力を算出する冷却余力算出部７２と、実行しようとする処理項目を実行した際に冷却システム２の冷却能力が不足するか不足しないかを判断する冷却能力判断部８１と、実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御する実行制御部９０と、を有する。
【選択図】図１
【解決手段】処理システム１は、複数の処理装置１０と、冷却システム２と、冷媒を処理装置１０に供給しかつ冷却システム２に戻す冷媒流路２０と、冷媒の流量、および供給前後の温度を測定する測定ユニット３０と、を備える。制御ユニット４０は、処理装置１０が処理項目を実行する際に単位時間当たりに発生しうる想定熱量を記憶する想定熱量記憶部５１と、処理装置１０で単位時間当たりに発生した総発生熱量を算出する総発生熱量算出部７１と、冷却システム２の冷却余力を算出する冷却余力算出部７２と、実行しようとする処理項目を実行した際に冷却システム２の冷却能力が不足するか不足しないかを判断する冷却能力判断部８１と、実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御する実行制御部９０と、を有する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被処理物に対して１つ以上の実行可能な処理項目を有し、該処理項目を実行する際に熱を発する複数の処理装置と、
該処理装置が発した該熱を冷媒によって冷却する冷却システムと、
該処理装置のそれぞれと該冷却システムとを接続し、該冷却システムから該処理装置に該冷媒を供給するとともに、該処理装置から該冷却システムに該冷媒を戻す冷媒流路と、
該処理装置を制御する制御ユニットと、を備える処理システムであって、
該冷媒流路を通過する該冷媒の流量、該処理装置に供給する前の該冷媒の温度、および該処理装置から戻った該冷媒の温度を測定する測定ユニットをさらに備え、
該制御ユニットは、
該処理装置が該処理項目を実行する際に単位時間当たりに発生しうる熱量を想定熱量として記憶する想定熱量記憶部と、
該測定ユニットの測定値に基づいて、該処理装置のそれぞれで単位時間当たりに発生した熱量を合算し総発生熱量を算出する総発生熱量算出部と、
該総発生熱量と、該冷却システムが単位時間あたりに冷却可能な冷却可能熱量と、の差から冷却余力を算出する冷却余力算出部と、
実行しようとする処理項目についての該想定熱量と該冷却余力とを比較して、該実行しようとする処理項目を実行した際に該冷却システムの冷却能力が不足するか不足しないかを判断する冷却能力判断部と、
該冷却能力判断部の判断結果に基づいて、該実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御する実行制御部と、を有する
ことを特徴とする処理システム。
該処理装置が発した該熱を冷媒によって冷却する冷却システムと、
該処理装置のそれぞれと該冷却システムとを接続し、該冷却システムから該処理装置に該冷媒を供給するとともに、該処理装置から該冷却システムに該冷媒を戻す冷媒流路と、
該処理装置を制御する制御ユニットと、を備える処理システムであって、
該冷媒流路を通過する該冷媒の流量、該処理装置に供給する前の該冷媒の温度、および該処理装置から戻った該冷媒の温度を測定する測定ユニットをさらに備え、
該制御ユニットは、
該処理装置が該処理項目を実行する際に単位時間当たりに発生しうる熱量を想定熱量として記憶する想定熱量記憶部と、
該測定ユニットの測定値に基づいて、該処理装置のそれぞれで単位時間当たりに発生した熱量を合算し総発生熱量を算出する総発生熱量算出部と、
該総発生熱量と、該冷却システムが単位時間あたりに冷却可能な冷却可能熱量と、の差から冷却余力を算出する冷却余力算出部と、
実行しようとする処理項目についての該想定熱量と該冷却余力とを比較して、該実行しようとする処理項目を実行した際に該冷却システムの冷却能力が不足するか不足しないかを判断する冷却能力判断部と、
該冷却能力判断部の判断結果に基づいて、該実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御する実行制御部と、を有する
ことを特徴とする処理システム。
【請求項2】
該制御ユニットは、
該処理装置間の優先順位と該処理項目間の優先順位との少なくともいずれかの情報を示す優先順位情報を記憶する優先順位記憶部をさらに有し、
該実行制御部は、該冷却能力判断部の判断結果と該優先順位情報とに基づいて、該実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の処理システム。
該処理装置間の優先順位と該処理項目間の優先順位との少なくともいずれかの情報を示す優先順位情報を記憶する優先順位記憶部をさらに有し、
該実行制御部は、該冷却能力判断部の判断結果と該優先順位情報とに基づいて、該実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の処理システム。
【請求項3】
該制御ユニットは、
該測定ユニットの測定値に基づいて、該処理装置のぞれぞれで単位時間当たりに発生した熱量を算出し、いずれかの処理装置において単位時間当たりに発生した熱量が、当該処理装置において実行されている処理項目の該想定熱量より大きい場合に、異常発生と判断する異常判断部をさらに有する
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の処理システム。
該測定ユニットの測定値に基づいて、該処理装置のぞれぞれで単位時間当たりに発生した熱量を算出し、いずれかの処理装置において単位時間当たりに発生した熱量が、当該処理装置において実行されている処理項目の該想定熱量より大きい場合に、異常発生と判断する異常判断部をさらに有する
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、処理システムに関する。
【背景技術】
【0002】
半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等の被処理物を切削する切削装置や研削する研削装置等の処理装置では、スピンドルを高速回転させ、スピンドルの先端に装着される切削ブレードや研削砥石を用いて切削加工や研削加工を実行している。切削装置や研削装置等の処理装置は、処理位置を熱歪み等によって変化させないようにすることで高精度な処理を実現しており、処理装置の温度を一定に維持するためにスピンドルを回転駆動するモータが発する熱を冷却システムによって冷却している（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２２－１５５３０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、一つの冷却装置に複数台の処理装置を接続する場合や、負荷が大きくモータが発する熱量が多い場合には、冷却システムの冷却能力が不足してしまい、処理装置の温度を一定に保てないことがある。このため、処理装置は、温度が所定の温度を超えた場合には異常が発生したと判断し、動作を緊急停止させる機能を有している。
【0005】
しかしながら、緊急停止後に処理を再開させる際、緊急停止時に処理していた位置と全く同一の位置から繋げて処理を再開することや、緊急停止時の処理状況を正確に再現することが困難であるため、処理品質に影響を及ぼすという問題があった。
【0006】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、処理装置が所定の処理項目を実行している間に冷却システムの冷却能力が不足することを抑制することができる処理システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の処理システムは、被処理物に対して１つ以上の実行可能な処理項目を有し、該処理項目を実行する際に熱を発する複数の処理装置と、該処理装置が発した該熱を冷媒によって冷却する冷却システムと、該処理装置のそれぞれと該冷却システムとを接続し、該冷却システムから該処理装置に該冷媒を供給するとともに、該処理装置から該冷却システムに該冷媒を戻す冷媒流路と、該処理装置を制御する制御ユニットと、を備える処理システムであって、該冷媒流路を通過する該冷媒の流量、該処理装置に供給する前の該冷媒の温度、および該処理装置から戻った該冷媒の温度を測定する測定ユニットをさらに備え、該制御ユニットは、該処理装置が該処理項目を実行する際に単位時間当たりに発生しうる熱量を想定熱量として記憶する想定熱量記憶部と、該測定ユニットの測定値に基づいて、該処理装置のそれぞれで単位時間当たりに発生した熱量を合算し総発生熱量を算出する総発生熱量算出部と、該総発生熱量と、該冷却システムが単位時間あたりに冷却可能な冷却可能熱量と、の差から冷却余力を算出する冷却余力算出部と、実行しようとする処理項目についての該想定熱量と該冷却余力とを比較して、該実行しようとする処理項目を実行した際に該冷却システムの冷却能力が不足するか不足しないかを判断する冷却能力判断部と、該冷却能力判断部の判断結果に基づいて、該実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御する実行制御部と、を有することを特徴とする。
【0008】
また、本発明の処理システムにおいて、該制御ユニットは、該処理装置間の優先順位と該処理項目間の優先順位との少なくともいずれかの情報を示す優先順位情報を記憶する優先順位記憶部をさらに有し、該実行制御部は、該冷却能力判断部の判断結果と該優先順位情報とに基づいて、該実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御してもよい。
【0009】
また、本発明の処理システムにおいて、該制御ユニットは、該測定ユニットの測定値に基づいて、該処理装置のぞれぞれで単位時間当たりに発生した熱量を算出し、いずれかの処理装置において単位時間当たりに発生した熱量が、当該処理装置において実行されている処理項目の該想定熱量より大きい場合に、異常発生と判断する異常判断部をさらに有してもよい。
【発明の効果】
【0010】
本願発明は、処理装置が所定の処理項目を実行している間に冷却システムの冷却能力が不足することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【発明を実施するための形態】
【0012】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。
【0013】
〔実施形態〕
＜処理システム１の構成＞
まず、本発明の実施形態に係る処理システム１の全体構成について図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る処理システム１の構成例を示すブロック図である。処理システム１は、冷却システム２と、複数の処理装置１０－１、１０－２、・・・、１０－ｎと、複数の冷媒流路２０－１、２０－２、・・・、２０－ｎと、複数の測定ユニット３０－１、３０－２、・・・、３０－ｎと、制御ユニット４０と、を備える。複数の冷媒流路２０－１、２０－２、・・・、２０－ｎは、それぞれに対応する冷媒供給流路２１－１、２１－２、・・・、２１－ｎと、冷媒戻り流路２２－１、２２－２、・・・、２２－ｎと、を含む。複数の測定ユニット３０－１、３０－２、・・・、３０－ｎは、それぞれに対応する供給温度測定部３１－１、３１－２、・・・、３１－ｎと、戻り温度測定部３２－１、３２－２、・・・、３２－ｎと、流量測定部３３－１、３３－２、・・・、３３－ｎと、を含む。「ｎ」は、正の整数であり、処理システム１において管理される複数の処理装置１０－１、１０－２、・・・、１０－ｎの数を示す。
＜処理システム１の構成＞
まず、本発明の実施形態に係る処理システム１の全体構成について図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る処理システム１の構成例を示すブロック図である。処理システム１は、冷却システム２と、複数の処理装置１０－１、１０－２、・・・、１０－ｎと、複数の冷媒流路２０－１、２０－２、・・・、２０－ｎと、複数の測定ユニット３０－１、３０－２、・・・、３０－ｎと、制御ユニット４０と、を備える。複数の冷媒流路２０－１、２０－２、・・・、２０－ｎは、それぞれに対応する冷媒供給流路２１－１、２１－２、・・・、２１－ｎと、冷媒戻り流路２２－１、２２－２、・・・、２２－ｎと、を含む。複数の測定ユニット３０－１、３０－２、・・・、３０－ｎは、それぞれに対応する供給温度測定部３１－１、３１－２、・・・、３１－ｎと、戻り温度測定部３２－１、３２－２、・・・、３２－ｎと、流量測定部３３－１、３３－２、・・・、３３－ｎと、を含む。「ｎ」は、正の整数であり、処理システム１において管理される複数の処理装置１０－１、１０－２、・・・、１０－ｎの数を示す。
【0014】
なお、以降の説明において、複数の処理装置１０－１、１０－２、・・・、１０－ｎをそれぞれ区別する必要がない場合、あるいは全ての処理装置１０－１、１０－２、・・・、１０－ｎを含む場合には、単に「処理装置１０」と記載される。また、複数の冷媒流路２０－１、２０－２、・・・、２０－ｎについても、同様に「冷媒流路２０」と記載される。また、複数の冷媒供給流路２１－１、２１－２、・・・、２１－ｎについても、同様に「冷媒供給流路２１」と記載される。また、複数の冷媒戻り流路２２－１、２２－２、・・・、２２－ｎについても、同様に「冷媒戻り流路２２」と記載される。
【0015】
また、複数の測定ユニット３０－１、３０－２、・・・、３０－ｎについても、同様に「測定ユニット３０」と記載される。また、複数の供給温度測定部３１－１、３１－２、・・・、３１－ｎについても、同様に「供給温度測定部３１」と記載される。また、複数の戻り温度測定部３２－１、３２－２、・・・、３２－ｎについても、同様に「戻り温度測定部３２」と記載される。また、複数の流量測定部３３－１、３３－２、・・・、３３－ｎについても、同様に「流量測定部３３」と記載される。
【0016】
冷却システム２は、処理装置１０が発した熱を冷媒によって冷却するシステムである。冷媒は、流体であり、実施形態では純水等の液体を想定するが、本発明では空気等の気体や、液体と気体との混合流体であっても構わない。冷却システム２は、冷媒を冷却する機能を有する。また、冷却システム２は、複数の処理装置１０－１、１０－２、・・・、１０－ｎと、それぞれ、冷媒供給流路２１－１、２１－２、・・・、２１－ｎを介して接続する。冷却システム２は、冷媒供給流路２１を介して、処理装置１０に冷却した冷媒を送り出す。冷却システム２は、複数の処理装置１０－１、１０－２、・・・、１０－ｎと、それぞれ、冷媒戻り流路２２－１、２２－２、・・・、２２－ｎを介して接続する。冷却システム２は、冷媒戻り流路２２を介して、処理装置１０を冷却することで加熱された冷媒を受け取る。
【0017】
処理装置１０は、被処理物２００（図１２参照）に各種の加工を施す工作機械を含む。処理装置１０は、例えば、被処理物２００に切削加工を施す切削装置１０１（図１２参照）や、被処理物２００に研削加工および研磨加工を施す研削装置、被処理物２００にレーザー加工を施すレーザー加工装置等を含む。
【0018】
処理装置１０は、被処理物２００に対して１つ以上の実行可能な処理項目を有する。処理装置１０は、制御ユニット４０により制御される。処理項目は、例えば、送り速度、保持ユニット１１０（図１２参照）およびスピンドル１２２（図１２参照）の回転速度、砥石種類等の加工条件を含む。処理装置１０は、処理項目を実行する際に熱を発する。熱を発する要因は、例えば、モータおよびスピンドル１２２の高速回転に伴う発熱等である。
【0019】
処理装置１０は、例えば、スピンドル１２２を収容するスピンドルハウジング１２３（図１２参照）の内部等、発熱する部位の周囲に冷媒が通過する冷却通路を複数有する。処理装置１０では、冷媒供給流路２１から供給された冷媒が、冷却通路を通過することで、処理項目を実行することによる発熱を抑制し、温度を一定に維持するようにしている。処理装置１０において、熱交換され加熱した冷媒は、冷媒戻り流路２２から冷却システム２に戻される。
【0020】
冷媒流路２０は、処理装置１０と冷却システム２とを接続し、冷媒が流通する流路である。冷媒流路２０は、冷媒供給流路２１と、冷媒戻り流路２２と、を含む。冷媒供給流路２１および冷媒戻り流路２２を含む冷媒流路２０は、複数の処理装置１０に対応して、それぞれ設けられる。
【0021】
冷媒供給流路２１は、冷却システム２から処理装置１０のそれぞれに冷媒を供給する流路である。冷媒供給流路２１を流通する冷媒は、冷却システム２によって冷却された低温の冷媒である。冷媒供給流路２１には、測定ユニット３０の供給温度測定部３１と、流量測定部３３と、が設けられる。なお、冷媒供給流路２１は、処理装置１０側において、複数の流路に分岐されていてもよい。
【0022】
冷媒戻り流路２２は、処理装置１０のそれぞれから冷却システム２に冷媒を戻す流路である。冷媒戻り流路２２を流通する冷媒は、処理装置１０のそれぞれにおいて加熱され、冷媒供給流路２１を流通する冷媒より高温になった冷媒である。冷媒戻り流路２２には、測定ユニット３０の戻り温度測定部３２が設けられる。なお、冷媒戻り流路２２は、処理装置１０側において、複数の流路に分岐されていてもよい。言い換えると、冷媒供給流路２１が処理装置１０側において複数の流路に分岐されている場合、当該複数の流路は、冷媒戻り流路２２において合流する。
【0023】
測定ユニット３０は、冷媒流路２０を通過する冷媒の流量および温度を測定するユニットである。測定ユニット３０は、供給温度測定部３１と、戻り温度測定部３２と、流量測定部３３と、を含む。供給温度測定部３１、戻り温度測定部３２および流量測定部３３を含む測定ユニット３０は、複数の処理装置１０に対応して、それぞれ設けられる。
【0024】
供給温度測定部３１は、処理装置１０に供給する前の冷媒の温度ＴＩＮを測定する。供給温度測定部３１は、測定した冷媒の温度ＴＩＮの測定結果を、制御ユニット４０に出力する。供給温度測定部３１は、冷媒供給流路２１に設けられる。なお、冷媒供給流路２１が処理装置１０側において複数の流路に分岐されている場合、供給温度測定部３１は、分岐される前の冷媒供給流路２１に設けられる。
【0025】
戻り温度測定部３２は、処理装置１０から戻った冷媒の温度ＴＯＵＴを測定する。戻り温度測定部３２は、測定した冷媒の温度ＴＯＵＴの測定結果を、制御ユニット４０に出力する。戻り温度測定部３２は、冷媒戻り流路２２に設けられる。なお、冷媒戻り流路２２が処理装置１０側において複数の流路に分岐されている場合、戻り温度測定部３２は、合流した後の冷媒戻り流路２２に設けられる。
【0026】
流量測定部３３は、冷媒供給流路２１を通過する冷媒の流量ＱＩＮを測定する。流量測定部３３は、測定した冷媒の流量ＱＩＮの測定結果を、制御ユニット４０に出力する。流量測定部３３は、冷媒供給流路２１に設けられる。なお、冷媒供給流路２１が処理装置１０側において複数の流路に分岐されている場合、流量測定部３３は、分岐される前の冷媒供給流路２１に設けられる。また、流量測定部３３は、冷媒戻り流路２２を通過する冷媒の流量ＱＯＵＴを測定してもよいし、冷却システム２側で測定してもよい。
【0027】
制御ユニット４０は、処理装置１０のそれぞれを制御し、設定された処理項目を実行させる。制御ユニット４０は、演算手段としての演算処理装置と、記憶手段としての記憶装置と、通信手段としての入出力インターフェース装置と、を含むコンピュータである。演算処理装置は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のマイクロプロセッサを含む。記憶装置は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）、ＲＯＭ（Read Only Memory）またはＲＡＭ（Random Access Memory）等のメモリを有する。演算処理装置は、記憶装置に格納された所定のプログラムに基づいて各種の演算を行う。演算処理装置は、演算結果にしたがって、入出力インターフェース装置を介して各種制御信号を上述した処理装置１０のそれぞれに出力する。
【0028】
制御ユニット４０は、記憶部５０と、測定値取得部６０と、算出部７０と、判断部８０と、実行制御部９０と、を有する。また、記憶部５０は、想定熱量記憶部５１と、優先順位記憶部５２と、を含む。また、算出部７０は、総発生熱量算出部７１と、冷却余力算出部７２と、を含む。また、判断部８０は、冷却能力判断部８１と、異常判断部８２と、を含む。
【0029】
なお、上述した制御ユニット４０の構成要素は、機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていなくてもよい。すなわち、制御ユニット４０の具体的形態は、図示のものに限られず、制御ユニット４０の処理負担や使用状況等に応じて、その全部または一部を任意の単位で機能的または物理的に分散または統合してもよい。
【0030】
記憶部５０には、制御ユニット４０の演算処理装置によって実行されるプログラムおよびかかるプログラムによって使用される各種データ等の各種の情報が記憶される。例えば、記憶部５０には、不図示の入力装置からオペレータが入力した、あるいはメディアインターフェースを介して所定の記憶媒体からロードされた情報等が記憶される。例えば、記憶部５０には、処理システム１が管理する冷却システム２が単位時間あたりに冷却可能な冷却可能熱量Ｃｃｈｉｌｌｅｒを予め記憶している。
【0031】
また、記憶部５０の一次記憶領域には、例えば、待機中である処理項目が待機順に記憶されてもよい（例えば、後述の図５等参照）。なお、待機中とは、実行されるようオペレータ等の入力により設定され、かつ処理が開始されていない状態を示す。
【0032】
図２は、図１に示す記憶部５０の第一例（記憶部５０－１）を示す図である。また、図３は、図１に示す記憶部５０の第二例（記憶部５０－２）を示す図である。図２および図３に示すように、記憶部５０－１、５０－２は、「装置」、「処理項目」、「想定熱量」、および「優先順」といった項目を有する。「装置」は、処理システム１が管理する処理装置１０を示す。「装置」は、複数の処理装置１０を互いに識別するための識別情報を少なくとも含む。「処理項目」は、「装置」（処理装置１０）が実行する処理の内容を示し、例えば、送り速度、保持ユニット１１０（図１２参照）およびスピンドル１２２（図１２参照）の回転速度、砥石種類等の加工条件の情報を含む。
【0033】
「想定熱量」は、「装置」（処理装置１０）が「処理項目」を実行する際に単位時間当たりに発生しうる熱量を示す。言い換えると、記憶部５０は、処理装置１０が「処理項目」を実行する際に単位時間当たりに発生しうる熱量を「想定熱量」として記憶する想定熱量記憶部５１を含む。「想定熱量」は、例えば、予め実際に被処理物２００（図１２参照）を当該「処理項目」の加工条件で加工した際、単位時間当たりに発生した熱量をサンプリングすることで得られる。
【0034】
「優先順」は、図２に示す例では、処理装置１０間の優先順位の情報を示す。また、「優先順」は、図３に示す例では、「処理項目」間の優先順位の情報を示す。優先順位とは、処理システム１において実行される「処理項目」のうち複数の「処理項目」が待機中である場合に、いずれの「処理項目」から処理するか予め設定された順番を示す。言い換えると、記憶部５０は、処理装置１０間の「優先順」と「処理項目」間の「優先順」との少なくともいずれかの情報を示す優先順位情報を記憶する優先順位記憶部５２を含んでもよい。なお、記憶部５０は、必ずしも「優先順」を含まなくてもよい。
【0035】
例えば、図２および図３に示す例において、「装置＃１」の「処理項目＃１１」を実行する際に単位時間あたりに発生し得る熱量は「想定熱量＃１１」である。また、例えば、図２に示す例において、「装置＃１」の「優先順」は、「装置＃３」に次いで「２位」であるため、「処理項目＃１１」、「処理項目＃１２」、および「処理項目＃１３」は、待機中の処理項目に「装置＃３」の「処理項目＃３１」、「処理項目＃３２」、および「処理項目＃３３」の少なくともいずれかがある場合、これらが実行されるまでは待機状態が維持され、さらに冷却余力がある場合に、これらに次いで実行される。また、例えば、図３に示す例において、「装置＃１」の「処理項目＃１１」は、「優先順」が「１位」であるため、待機中の他の処理項目に優先されて実行される。
【0036】
図１に示す測定値取得部６０は、測定ユニット３０が測定した各種の測定値を取得する。より詳しくは、測定値取得部６０は、供給温度測定部３１から、処理装置１０に供給する前の冷媒の温度ＴＩＮを取得する。また、測定値取得部６０は、戻り温度測定部３２から、処理装置１０から戻った冷媒の温度ＴＯＵＴを取得する。また、測定値取得部６０は、流量測定部３３から、冷媒供給流路２１を通過する冷媒の流量ＱＩＮを取得する。測定値取得部６０は、例えば、所定の周期毎に、温度ＴＩＮ、温度ＴＯＵＴ、および流量ＱＩＮの測定値を数値データとして取得する。また、測定値取得部６０は、取得する各測定値を、処理装置１０の識別情報と紐付けて取得する。
【0037】
算出部７０は、測定ユニット３０から測定値取得部６０取得した測定値や、記憶部５０に記憶された各種情報に基づいて、各種の演算処理を行う。算出部７０は、総発生熱量算出部７１と、冷却余力算出部７２と、を含む。
【0038】
総発生熱量算出部７１は、測定値取得部６０から、冷媒流路２０－１、２０－２、・・・、２０－ｎのそれぞれに対応する温度ＴＩＮ、温度ＴＯＵＴ、および流量ＱＩＮの測定値を取得する。総発生熱量算出部７１は、測定ユニット３０の測定値に基づいて、処理装置１０－１、１０－２、・・・、１０－ｎのそれぞれで単位時間当たりに発生した熱量Ｃ１、Ｃ２、・・・、Ｃｎを合算し総発生熱量Ｃｔｏｔａｌを算出する。総発生熱量Ｃｔｏｔａｌは、以下の式（１）によって示される。
【0039】
【数1】
【0040】
冷却余力算出部７２は、総発生熱量算出部７１が算出した総発生熱量Ｃｔｏｔａｌの算出値を取得する。また、冷却余力算出部７２は、冷却システム２が単位時間あたりに冷却可能な冷却可能熱量Ｃｃｈｉｌｌｅｒを、記憶部５０から参照する。冷却余力算出部７２は、総発生熱量Ｃｔｏｔａｌと、冷却システム２が単位時間あたりに冷却可能な冷却可能熱量Ｃｃｈｉｌｌｅｒと、の差から、冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔを算出する。冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔは、以下の式（２）によって示される。
【0041】
【数2】
【0042】
判断部８０は、各種の判断処理を実行する。判断部８０は、例えば、待機中の「処理項目」があるか否かを判断する。判断部８０は、例えば、待機中の「処理項目」に対応する「装置」が、当該「処理項目」を除く何らかの処理を既に実行中であるか否かを判断する。判断部８０は、例えば、待機中の「処理項目」を「装置」または「処理項目」の「優先順」に基づいて整列させる。判断部８０は、さらに、冷却能力判断部８１と、異常判断部８２と、を含む。
【0043】
冷却能力判断部８１は、冷却余力算出部７２が算出した冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔの算出値を取得する。冷却能力判断部８１は、実行しようとする処理項目についての想定熱量を、想定熱量記憶部５１から取得する。冷却能力判断部８１は、実行しようとする処理項目についての想定熱量と冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔとを比較して、実行しようとする処理項目を実行した際に冷却システム２の冷却能力が不足するか不足しないかを判断する。
【0044】
例えば、図２または図３に示す例において、「装置＃１」の「処理項目＃１１」を実行しようとする場合、冷却能力判断部８１は、「想定熱量＃１１」を取得し、「想定熱量＃１１」が冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔを上回っているか否かを判断する。冷却能力判断部８１は、「想定熱量＃１１」が冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔを上回っている場合、冷却能力が不足すると判断し、「想定熱量＃１１」が冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔを上回っていない場合、冷却能力が不足しないと判断する。
【0045】
異常判断部８２は、測定値取得部６０から、冷媒流路２０－１、２０－２、・・・、２０－ｎのそれぞれに対応する温度ＴＩＮ、温度ＴＯＵＴ、および流量ＱＩＮの測定値を取得する。異常判断部８２は、は、測定ユニット３０の測定値に基づいて、処理装置１０－１、１０－２、・・・、１０－ｉ、・・・、１０－ｎのそれぞれで単位時間当たりに発生した熱量Ｃ１、Ｃ２、・・・、Ｃｉ、・・・、Ｃｎを算出する。なお、「ｉ」は、１からｎまでのいずれかの整数を示す。熱量Ｃｉは、以下の式（３）によって示される。
【0046】
【数3】
【0047】
異常判断部８２は、熱量Ｃｉを算出した対象の処理装置１０－ｉにおいて実行されている処理項目についての想定熱量を、想定熱量記憶部５１から取得する。異常判断部８２は、算出した熱量Ｃｉが、処理装置１０－ｉにおいて実行されている処理項目の想定熱量より大きいか否かを判断する。異常判断部８２は、処理装置１０－１、１０－２、・・・、１０－ｉ、・・・、１０－ｎのそれぞれで単位時間当たりに発生した熱量Ｃ１、Ｃ２、・・・、Ｃｉ、・・・、Ｃｎが、それぞれ想定熱量より大きいか否かを判断する。
【0048】
異常判断部８２は、算出した熱量Ｃ１、Ｃ２、・・・、Ｃｉ、・・・、Ｃｎのいずれかが、対応する想定熱量より大きい場合、熱量Ｃｉが想定熱量より大きかった処理装置１０－ｉに異常が発生していると判断する。例えば、図２または図３に示す例において、「装置＃１」で「処理項目＃１１」を実行中、算出した熱量Ｃ＃１が「想定熱量＃１１」より大きかった場合、異常判断部８２は、「装置＃１」に異常が発生していると判断する。
【0049】
実行制御部９０は、処理装置１０が実行する処理項目の実行タイミングを制御する。実行制御部９０は、例えば、冷却能力判断部８１の判断結果に基づいて、実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御する。例えば、実行しようとする処理項目について、冷却能力が不足しないと冷却能力判断部８１が判断した場合、実行制御部９０は、即座に当該処理項目を実行するよう制御する。
【0050】
また、実行制御部９０は、例えば、冷却能力判断部８１の判断結果と優先順位情報とに基づいて、実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御する。例えば、優先順位が１位である処理装置１０の処理項目（図２参照）、あるいは優先順位が１位の処理項目（図３参照）について、冷却能力が不足しないと冷却能力判断部８１が判断した場合、実行制御部９０は、即座に当該処理項目を実行するよう制御する。
【0051】
＜処理システム１の処理＞
次に、本発明の実施形態に係る処理システム１における処理の流れについて説明する。
次に、本発明の実施形態に係る処理システム１における処理の流れについて説明する。
【0052】
（第一例）
図４は、実施形態に係る処理の流れの第一例を示すフローチャートである。図５から図７までは、図４に示す処理を説明するための図である。図４に示す処理の例では、制御ユニット４０が図２に示す記憶部５０－１を有するものとして説明する。すなわち、処理システム１に含まれる処理装置１０間で処理項目を実行する優先順位があるものとして説明する。また、記憶部５０－１には、処理システム１が管理する冷却システム２が単位時間あたりに冷却可能な冷却可能熱量Ｃｃｈｉｌｌｅｒが予め記憶されているものとする。
図４は、実施形態に係る処理の流れの第一例を示すフローチャートである。図５から図７までは、図４に示す処理を説明するための図である。図４に示す処理の例では、制御ユニット４０が図２に示す記憶部５０－１を有するものとして説明する。すなわち、処理システム１に含まれる処理装置１０間で処理項目を実行する優先順位があるものとして説明する。また、記憶部５０－１には、処理システム１が管理する冷却システム２が単位時間あたりに冷却可能な冷却可能熱量Ｃｃｈｉｌｌｅｒが予め記憶されているものとする。
【0053】
図４に示す処理は、制御ユニット４０が、予め定められた制御プログラムおよびデータに基づいて実行する。制御ユニット４０は、例えば、オペレータから不図示の入力装置が受け付けた開始操作に関する所定の操作信号を受け付けることによって、図４に示すステップ１００１に移行して処理を開始する。
【0054】
ステップ１００１において、制御ユニット４０の判断部８０は、待機中の「処理項目」があるか否かを判断する。例えば、図５に示す例では、「処理項目＃１１」、「処理項目＃２１」、「処理項目＃４３」、「処理項目＃５１」、および「処理項目＃３２」が、待機中の処理項目として順に記憶されていることを示している。制御ユニット４０は、判断部８０が待機中の処理項目があると判断した場合（ステップ１００１；Ｙｅｓ）、ステップ１００２に移行する。制御ユニット４０は、判断部８０が待機中の処理項目がないと判断した場合（ステップ１００１；Ｎｏ）、図４に示す一連の処理を終了する。
【0055】
ステップ１００２において、制御ユニット４０の判断部８０は、実行中の「装置」に対応する「処理項目」を除外する。より詳しくは、判断部８０は、まず、ステップ１００１において特定した待機中の「処理項目」について、「処理項目」に対応する「装置」を特定し、当該「装置」が、当該「処理項目」を除く何らかの処理を既に実行中であるか否かを判断する。例えば、図６に示す例では、「処理項目＃２１」に対応する「装置＃２」および「処理項目＃３２」に対応する「装置＃３」が処理を実行中であることを示している。
【0056】
判断部８０は、次に、ステップ１００１で抽出した「処理項目」の待機順について、実行中の「装置」に対応する「処理項目」を除外して更新する。例えば、図６に示す例では、対応する「装置＃２」、「装置＃３」が実行中である「処理項目＃２１」、「処理項目＃３２」が除外され、「処理項目＃４３」が「２番」に、「処理項目＃５１」が「３番」に、待機順が繰り上がったことを示している。
【0057】
ステップ１００２の後、ステップ１００３において、制御ユニット４０の判断部８０は、待機中の「処理項目」を「装置」の優先順位に基づいて整列させる。より詳しくは、判断部８０は、まず、ステップ１００１において特定し、かつステップ１００２において除外したものを除く、待機中の「処理項目」について、対応する「装置」の「優先順」を優先順位記憶部５２から取得する。なお、ここでは、比較のため、ステップ１００２において除外した「処理項目」についても同様に「優先順」を取得したものとする。
【0058】
図２に示すように、図６に示す「処理項目＃１１」に対応する「装置＃１」の「優先順」は、「２位」である。同様に、「処理項目＃２１」に対応する「装置＃２」の「優先順」は、「３位」であり、「処理項目＃４３」に対応する「装置＃４」の「優先順」は、「５位」であり、「処理項目＃５１」に対応する「装置＃５」の「優先順」は、「４位」であり、「処理項目＃３２」に対応する「装置＃３」の「優先順」は、「１位」である。したがって、「優先順」に整列させると、「処理項目＃３２」、「処理項目＃１１」、「処理項目＃２１」、「処理項目＃５１」、「処理項目＃４３」となる。このうち、「処理項目＃３２」および「処理項目＃２１」は、ステップ１００２において除外されているため、図７に示すように、「処理項目＃１１」が「１番」に、「処理項目＃５１」が「２番」に、「処理項目＃４３」が「３番」になる。なお、ステップ１００３は、ステップ１００２より前に実施されてもよい。
【0059】
ステップ１００３の後、ステップ１００４において、制御ユニット４０の冷却能力判断部８１は、整列順「１番」の「処理項目」の「想定熱量」を取得する。例えば、図２および図７に示す例では、整列順「１番」である「処理項目＃１１」に対応する「想定熱量＃１１」を取得する。
【0060】
ステップ１００４の後、ステップ１００５において、制御ユニット４０の総発生熱量算出部７１は、総発生熱量Ｃｔｏｔａｌを算出する。より詳しくは、総発生熱量算出部７１は、測定値取得部６０から取得した、冷媒流路２０のそれぞれに対応する温度ＴＩＮ、温度ＴＯＵＴ、および流量ＱＩＮの測定値に基づいて、総発生熱量Ｃｔｏｔａｌを、式（１）を用いて算出する。
【0061】
ステップ１００５の後、ステップ１００６において、制御ユニット４０の冷却余力算出部７２は、冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔを算出する。より詳しくは、冷却余力算出部７２は、冷却システム２が単位時間あたりに冷却可能な冷却可能熱量Ｃｃｈｉｌｌｅｒを記憶部５０から参照し、冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔを、式（２）を用いて算出する。
【0062】
なお、ステップ１００５およびステップ１００６は、ステップ１００１からステップ１００４までの間に並列処理で実行されてもよいし、ステップ１００４より前のいずれかのタイミングで実行されてもよい。
【0063】
ステップ１００６の後、ステップ１００７において、制御ユニット４０の冷却能力判断部８１は、ステップ１００４で取得した整列順「１番」の「想定熱量」が、ステップ１００５で算出した冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔより小さいか否かを判断する。例えば、図７に示す例では、整列順「１番」である「処理項目＃１１」に対応する「想定熱量＃１１」が、冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔより小さいか否かが判断される。
【0064】
「想定熱量」が冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔより小さいと冷却能力判断部８１が判断した場合、整列順「１番」の「処理項目」を実行した際に冷却システム２の冷却能力が不足しないとみなされる。制御ユニット４０は、「想定熱量」が冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔより小さいと冷却能力判断部８１が判断した場合（ステップ１００７；Ｙｅｓ）、ステップ１００８に移行する。
【0065】
「想定熱量」が冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔ以上であると冷却能力判断部８１が判断した場合、整列順「１番」の「処理項目」を実行した際に冷却システム２の冷却能力が不足するとみなされる。制御ユニット４０は、「想定熱量」が冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔ以上であると冷却能力判断部８１が判断した場合（ステップ１００７；Ｎｏ）、図４に示す処理を終了する。
【0066】
ステップ１００８において、制御ユニット４０の実行制御部９０は、整列順「１番」の「処理項目」を実行するよう制御する。図７に示す例では、整列順「１番」である「処理項目＃１１」に対応する「想定熱量＃１１」が、ステップ１００７において冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔより小さいと冷却能力判断部８１に判断された場合、実行制御部９０は、直ちに「処理項目＃１１」を「装置＃１」が実行するよう、所定の制御信号を「装置＃１」に出力する。
【0067】
ステップ１００８の後、制御ユニット４０は、図４に示す処理を終了する。図４に示す処理は、例えば、オペレータから不図示の入力装置が受け付けた終了操作に関する所定の操作信号を受け付けるまで、所定の周期毎にステップ１００１から繰り返し実行される。所定の周期は、予め設定され、例えば、１秒である。なお、図４に示す処理を実行中に、オペレータ等の入力操作により、新たな「処理項目」が追加設定された場合は、次回の処理において、新たな「処理項目」も待機中の「処理項目」として含め、一連の処理を実行する。
【0068】
図４に示す例では、図２に示す記憶部５０－１に従って「装置」の「優先順」で整列させる処理を実行したが（ステップ１００３）、図３に示す記憶部５０－２に従って「処理項目」の「優先順」で整列させてもよい。また、「優先順」で整列させるステップ１００３は、必ずしも実行しなくてもよい。
【0069】
（第二例）
図８は、実施形態に係る処理の流れの第二例を示すフローチャートである。図９および図１０は、図８に示す処理を説明するための図である。図８に示す処理の例では、制御ユニット４０が図３に示す記憶部５０－２を有するものとして説明する。すなわち、処理システム１に含まれる複数の処理装置１０が有する「処理項目」間で、処理項目を実行する優先順位があるものとして説明する。また、記憶部５０－２には、処理システム１が管理する冷却システム２が単位時間あたりに冷却可能な冷却可能熱量Ｃｃｈｉｌｌｅｒが予め記憶されているものとする。
図８は、実施形態に係る処理の流れの第二例を示すフローチャートである。図９および図１０は、図８に示す処理を説明するための図である。図８に示す処理の例では、制御ユニット４０が図３に示す記憶部５０－２を有するものとして説明する。すなわち、処理システム１に含まれる複数の処理装置１０が有する「処理項目」間で、処理項目を実行する優先順位があるものとして説明する。また、記憶部５０－２には、処理システム１が管理する冷却システム２が単位時間あたりに冷却可能な冷却可能熱量Ｃｃｈｉｌｌｅｒが予め記憶されているものとする。
【0070】
図８に示す処理は、制御ユニット４０が、予め定められた制御プログラムおよびデータに基づいて実行する。制御ユニット４０は、例えば、オペレータから不図示の入力装置が受け付けた開始操作に関する所定の操作信号を受け付けることによって、図８に示すステップ２００１に移行して処理を開始する。
【0071】
ステップ２００１において、制御ユニット４０の判断部８０は、待機中の「処理項目」があるか否かを判断する。ステップ２００１は、図４に示すステップ１００１と手順が同様であるため、説明を省略する。制御ユニット４０は、判断部８０が待機中の処理項目があると判断した場合（ステップ２００１；Ｙｅｓ）、ステップ２００２に移行する。制御ユニット４０は、判断部８０が待機中の処理項目がないと判断した場合（ステップ２００１；Ｎｏ）、図８に示す一連の処理を終了する。
【0072】
ステップ２００２において、制御ユニット４０の冷却能力判断部８１は、待機中の「処理項目」全ての「想定熱量」を取得する。例えば、図９に示す例では、「処理項目＃１１」、「処理項目＃２１」、「処理項目＃４３」、「処理項目＃５１」、および「処理項目＃３２」が、待機中の処理項目として順に記憶されていることを示している。図３および図９に示す例では、「処理項目＃１１」に対応する「想定熱量＃１１」、「処理項目＃２１」に対応する「想定熱量＃１１」、「処理項目＃４３」に対応する「想定熱量＃４３」、「処理項目＃５１」に対応する「想定熱量＃５１」、および「処理項目＃３２」に対応する「想定熱量＃３２」を取得する。
【0073】
ステップ２００２の後、ステップ２００３において、制御ユニット４０の総発生熱量算出部７１は、総発生熱量Ｃｔｏｔａｌを算出する。また、ステップ２００３の後、ステップ２００４において、制御ユニット４０の冷却余力算出部７２は、冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔを算出する。ステップ２００３およびステップ２００４は、図４に示すステップ１００１と手順が同様であるため、説明を省略する。また、ステップ２００３およびステップ２００４は、ステップ２００１からステップ２００２までの間に並列処理で実行されてもよいし、ステップ２００２より前のいずれかのタイミングで実行されてもよい。
【0074】
ステップ２００４の後、ステップ２００５において、制御ユニット４０は、実行数ｊをｊ＝１として設定してループ処理を開始する。ループ処理では、ｊ≦ｍが成立している間、ステップ２００６からステップ２００７までの処理を、ｍ回繰り返し実行する。なお、ｍは、待機中の「処理項目」の数であり、ｊは、「待機順」を示す。
【0075】
ステップ２００６において、制御ユニット４０の冷却能力判断部８１は、待機順「ｊ番」の「処理項目」に対応する「想定熱量」と、ステップ２００４で算出した冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔと、を比較する。例えば、図９に示す例では、「処理項目＃１１」に対応する「想定熱量＃１１」、および「処理項目＃３２」に対応する「想定熱量＃３２」が、冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔ以上であり、「処理項目＃２１」に対応する「想定熱量＃２１」、「処理項目＃４３」に対応する「想定熱量＃４３」、および「処理項目＃５１」に対応する「想定熱量＃５１」が、冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔより小さいことを示している。
【0076】
ステップ２００６の後、ステップ２００７において、実行数ｊをｊ＝ｊ＋１として再設定し、ステップ２００５に戻る。ステップ２００５からステップ２００７までに示すループ処理をｍ回実行し、冷却能力判断部８１が、待機中の「処理項目」全てについて、「想定熱量」と冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔとの比較を完了すると、ループ処理を終了する。
【0077】
ステップ２００５からステップ２００７までに示すループ処理の後、ステップ２００８において、制御ユニット４０の判断部８０は、「想定熱量」が冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔより小さい「処理項目」を「優先順」で整列させる。より詳しくは、判断部８０は、ステップ２００５からステップ２００７までに示すループ処理において特定された「想定熱量」が冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔより小さい「処理項目」について、「優先順」を優先順位記憶部５２から取得する。なお、ここでは、比較のため、「想定熱量」が冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔ以上である「処理項目」についても同様に「優先順」を取得したものとする。
【0078】
図３に示すように、図９に示す「処理項目＃１１」の「優先順」は、「１位」である。同様に、「処理項目＃２１」の「優先順」は、「２位」であり、「処理項目＃４３」の「優先順」は、「８位」であり、「処理項目＃５１」の「優先順」は、「３位」であり、「処理項目＃３２」の「優先順」は、「６位」である。したがって、「優先順」に整列させると、「処理項目＃１１」、「処理項目＃２１」、「処理項目＃５１」、「処理項目＃３２」、「処理項目＃４３」となる。このうち、「処理項目＃１１」および「処理項目＃３２」は、除外されているため、図１０に示すように、「処理項目＃２１」が「１番」に、「処理項目＃５１」が「２番」に、「処理項目＃４３」が「３番」になる。なお、「優先順」による整列は、ステップ２００５からステップ２００７までに示すループ処理より前に実行されてもよく、ステップ２００８のタイミングにおいて、整列された後の「処理項目」から「想定熱量」が冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔ以上である「処理項目」を除外してもよい。
【0079】
ステップ２００９において、制御ユニット４０の実行制御部９０は、整列順「１番」の「処理項目」を実行するよう制御する。図１０に示す例では、整列順「１番」である「処理項目＃２１」を直ちに「装置＃２」が実行するよう、実行制御部９０は、所定の制御信号を「装置＃２」に送信する。
【0080】
ステップ２００９の後、制御ユニット４０は、図８に示す処理を終了する。図８に示す処理は、例えば、オペレータから不図示の入力装置が受け付けた終了操作に関する所定の操作信号を受け付けるまで、所定の周期毎にステップ２００１から繰り返し実行される。所定の周期は、予め設定され、例えば、１秒である。なお、図８に示す処理を実行中に、オペレータ等の入力操作により、新たな「処理項目」が追加設定された場合は、次回の処理において、新たな「処理項目」も待機中の「処理項目」として含め、一連の処理を実行する。
【0081】
図８に示す例では、図３に示す記憶部５０－２に従って「処理項目」の「優先順」で整列させる処理を実行したが（ステップ２００８）、図２に示す記憶部５０－１に従って「装置」の「優先順」で整列させてもよい。また、「優先順」で整列させるステップ２００８は、必ずしも実行しなくてもよく、単に「想定熱量」が冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔ以上である「処理項目」を除外してもよい。
【0082】
（第三例）
図１１は、実施形態に係る処理の流れの第三例を示すフローチャートである。図１１に示す処理は、図４または図８に示すフローチャートの処理と並列処理で実行されてもよい。図１１に示す処理は、制御ユニット４０が、予め定められた制御プログラムおよびデータに基づいて実行する。制御ユニット４０は、例えば、オペレータから不図示の入力装置が受け付けた開始操作に関する所定の操作信号を受け付けることによって、図１１に示すステップ３００１に移行して処理を開始する。
図１１は、実施形態に係る処理の流れの第三例を示すフローチャートである。図１１に示す処理は、図４または図８に示すフローチャートの処理と並列処理で実行されてもよい。図１１に示す処理は、制御ユニット４０が、予め定められた制御プログラムおよびデータに基づいて実行する。制御ユニット４０は、例えば、オペレータから不図示の入力装置が受け付けた開始操作に関する所定の操作信号を受け付けることによって、図１１に示すステップ３００１に移行して処理を開始する。
【0083】
ステップ３００１において、制御ユニット４０は、実行数ｉをｉ＝１として設定してループ処理を開始する。ループ処理では、ｉ≦ｎが成立している間、ステップ３００２からステップ３００６までの処理を、ｎ回繰り返し実行する。なお、ｎは、「装置」（処理装置１０）の数であるが、処理システム１が管理する処理装置１０のうち、一部が停止中である場合は、稼働中の処理装置１０の数であってもよい。
【0084】
ステップ３００２において、制御ユニット４０の異常判断部８２は、処理装置１０－ｉで発生した熱量Ｃｉを算出する。より詳しくは、異常判断部８２は、測定値取得部６０から取得した、冷媒流路２０－ｉに対応する温度ＴＩＮｉ、温度ＴＯＵＴｉ、および流量ＱＩＮｉの測定値に基づいて、処理装置１０－ｉで単位時間当たりに発生した熱量Ｃｉを、式（３）を用いて算出する。
【0085】
ステップ３００２の後、ステップ３００３において、異常判断部８２は、処理装置１０－ｉが実行中の「処理項目」の「想定熱量」を、想定熱量記憶部５１から取得する。なお、ステップ３００３は、ステップ３００２より前に実行されてもよいし、ステップ３００２と並列処理で実行されてもよい。
【0086】
ステップ３００３の後、ステップ３００４において、異常判断部８２は、ステップ３００２で算出した熱量Ｃｉが、ステップ３００３で取得した「想定熱量」にαを乗算した値より大きいか否かを判断する。αは、予め設定される安全率を示す。熱量Ｃｉが「想定熱量」にαを乗算した値より大きい場合、熱量Ｃｉは異常値であり、処理装置１０－ｉは、異常が発生したとみなされる。異常判断部８２は、熱量Ｃｉが「想定熱量」にαを乗算した値より大きいと判断した場合（ステップ３００４；Ｙｅｓ）、ステップ３００５に移行する。異常判断部８２は、熱量Ｃｉが「想定熱量」にαを乗算した値以下であると判断した場合（ステップ３００４；Ｎｏ）、ステップ３００６に移行する。
【0087】
ステップ３００５において、異常判断部８２は、異常を報知する。より詳しくは、異常判断部８２は、不図示の報知装置に、処理装置１０－ｉに異常が発生した旨を示す報知情報を報知させるよう、所定の制御信号を出力する。報知装置は、例えば、文字や映像、音声、光によって予め定める報知情報を表示させる表示装置や発音装置、発光装置等によって構成される。異常判断部８２は、ステップ３００５の後、ステップ３００６に移行する。
【0088】
ステップ３００６において、実行数ｉをｉ＝ｉ＋１として再設定し、ステップ３００１に戻る。ステップ３００１からステップ３００６までに示すループ処理をｎ回実行し、異常判断部８２が、処理装置１０－１、１０－２、・・・、１０－ｉ、・・・、１０－ｎで発生した熱量Ｃ１、Ｃ２、・・・、Ｃｉ、・・・、Ｃｎに関し、異常値であるか否かの判断を完了すると、ループ処理を終了する。
【0089】
ステップ３００１からステップ３００６までのループ処理の後、制御ユニット４０は、図１１に示す処理を終了する。図１１に示す処理は、例えば、オペレータから不図示の入力装置が受け付けた終了操作に関する所定の操作信号を受け付けるまで、所定の周期毎にステップ３００１から繰り返し実行される。所定の周期は、予め設定され、例えば、１秒である。
【0090】
なお、図１１に示す処理では、ステップ３００２において、処理装置１０－ｉに対応する熱量Ｃｉを算出しているが、この演算は、図４に示すステップ１００５および図８に示すステップ２００３における総発生熱量Ｃｔｏｔａｌの算出の一部に相当する。言い換えると、総発生熱量Ｃｔｏｔａｌは、熱量Ｃ１、Ｃ２、・・・、Ｃｉ、・・・、Ｃｎの総和であるため、これらの演算結果は互いに共有されてよい。
【0091】
＜処理装置１０の適用形態＞
次に、本発明の実施形態に係る処理装置１０の適用形態の一例について説明する。図１２は、処理装置１０の一例である切削装置１０１の構成例を示す斜視図である。切削装置１０１は、被処理物２００を切削加工する工作機械であり、保持ユニット１１０と、切削ユニット１２０と、撮像ユニット１３０と、移動ユニット１４０と、切削装置１０１の各部を制御する不図示の制御ユニットと、を備える。
次に、本発明の実施形態に係る処理装置１０の適用形態の一例について説明する。図１２は、処理装置１０の一例である切削装置１０１の構成例を示す斜視図である。切削装置１０１は、被処理物２００を切削加工する工作機械であり、保持ユニット１１０と、切削ユニット１２０と、撮像ユニット１３０と、移動ユニット１４０と、切削装置１０１の各部を制御する不図示の制御ユニットと、を備える。
【0092】
なお、適用形態の切削装置１０１は、加工送り方向がＸ軸方向であり、割り出し送り方向がＹ軸方向であり、切り込み送り方向がＺ方向である。Ｘ軸方向は、水平面における一方向である。Ｙ軸方向は、水平面において、Ｘ軸方向に直交する方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に直交する方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に直交する方向である。
【0093】
保持ユニット１１０は、被処理物２００を保持するユニットである。保持ユニット１１０は、被処理物２００を保持面１１１で保持する。保持面１１１は、ポーラスセラミック等から形成された円板形状である。保持面１１１は、例えば、真空吸引経路を介して真空吸引源と接続している。保持ユニット１１０は、保持面１１１上に載置された被処理物２００を吸引保持する。保持ユニット１１０の周囲には、被処理物２００を支持する環状のフレーム２１０を挟持するクランプ部材１１２が複数配置されている。
【0094】
保持ユニット１１０は、移動ユニット１４０の加工送りユニット１４１によって、切削ユニット１２０の下方の領域である加工領域と、切削ユニット１２０の下方から離隔して被処理物２００が搬入出される領域である搬入出領域と、に亘って移動自在に設けられる。保持ユニット１１０は、移動ユニット１４０の回転ユニット１４４によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられる。
【0095】
切削ユニット１２０は、保持ユニット１１０に保持された被処理物２００を切削加工するユニットである。切削ユニット１２０は、保持ユニット１１０に保持された被処理物２００に対して、移動ユニット１４０の割り出し送りユニット１４２によりＹ軸方向に移動自在、かつ移動ユニット１４０の切り込み送りユニット１４３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。切削ユニット１２０は、切削ブレード１２１と、スピンドル１２２と、スピンドルハウジング１２３と、液体供給ノズル１２４と、を有する。
【0096】
切削ブレード１２１は、略円環状を有する極薄の切削砥石を含む。図１２に示す例において、切削ブレード１２１は、円環状の基台と、基台の外周縁に設けられる円環状の切り刃と、を備える所謂ハブブレードである。切り刃は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とを含み、所定厚みに形成されている。なお、本発明では、切削ブレード１２１は、切り刃のみで構成された所謂ワッシャーブレードでもよい。切削ブレード１２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行な平行である。
【0097】
スピンドル１２２は、軸心がＹ軸方向と平行な方向になるように、スピンドルハウジング１２３に対して回転可能に設けられる。スピンドル１２２は、先端に切削ブレード１２１が装着される。スピンドル１２２は、不図示のスピンドルモータによって、軸心回りに回転することで、切削ブレード１２１をＹ軸方向と平行な軸心回りに回転させる。
【0098】
スピンドルハウジング１２３は、スピンドル１２２を内部に収容する。スピンドルハウジング１２３は、割り出し送りユニット１４２によりＹ軸方向に移動自在、かつ切り込み送りユニット１４３によりＺ軸方向に移動自在に設けられる。切削ユニット１２０は、割り出し送りユニット１４２および切り込み送りユニット１４３により、保持ユニット１１０の保持面１１１の任意の位置に切削ブレード１２１を位置付け可能となっている。
【0099】
スピンドルハウジング１２３には、図１に示す処理システム１の冷却システム２から供給され、かつ冷却システム２に戻る冷媒が通過する冷却通路が、内部に形成される。冷却通路は、上流において冷媒供給流路２１に連通し、下流において冷媒戻り流路２２に連通する。冷却システム２から供給される低温の冷媒が冷却通路を通過することで、スピンドル１２２および不図示のスピンドルモータで発生してスピンドルハウジング１２３に伝達した熱が冷媒に回収されて、スピンドル１２２、スピンドルモータ、およびスピンドルハウジング１２３が冷却される。
【0100】
液体供給ノズル１２４は、切削加工中、保持ユニット１１０の保持面１１１の上方において、切削ブレード１２１にむけて液体を供給する。液体供給ノズル１２４は、Ｘ軸方向と平行な方向に延在し、切削ブレード１２１の切り刃の下端をＹ軸方向に挟むように、互いにＹ軸方向に間隔をあけて一対設けられる。液体供給ノズル１２４は、スピンドルハウジング１２３に固定して設けられ、切削ブレード１２１の移動に伴って、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動する。
【0101】
撮像ユニット１３０は、保持ユニット１１０に保持された被処理物２００を撮像するユニットである。撮像ユニット１３０は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子またはＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子等の撮像素子を有する。撮像ユニット１３０は、加工領域と搬入出領域との間を移動する保持ユニット１１０の上方に配置されている。撮像ユニット１３０は、保持ユニット１１０に保持された切削加工前の被処理物２００の切削加工すべき領域を撮像して、画像を取得して、取得した画像を不図示の制御ユニットに出力する。
【0102】
移動ユニット１４０は、保持ユニット１１０を加工送りする加工送りする加工送りユニット１４１と、切削ユニット１２０を割り出し送りする割り出し送りユニット１４２と、切削ユニット１２０を切り込み送りする切り込み送りユニット１４３と、保持ユニット１１０を切込み送り方向と平行な軸心回りに回転する回転ユニット１４４と、を含む。
【0103】
加工送りユニット１４１は、保持ユニット１１０と切削ユニット１２０とを加工送り方向であるＸ軸方向に相対的に移動させる。図１２に示す加工送りユニット１４１は、保持ユニット１１０を装置本体１０２に対して、Ｘ軸方向に移動させる。
【0104】
割り出し送りユニット１４２は、保持ユニット１１０と切削ユニット１２０とを割り出し送り方向であるＹ軸方向に相対的に移動させる。図１２に示す割り出し送りユニット１４２は、切削ユニット１２０および切り込み送りユニット１４３を、装置本体１０２から立設した立壁部１０３に対して、Ｙ軸方向に移動させる。
【0105】
切り込み送りユニット１４３は、保持ユニット１１０と切削ユニット１２０とを切込み送り方向であるＺ軸方向に相対的に移動させる。図１２に示す切り込み送りユニット１４３は、切削ユニット１２０を、割り出し送りユニット１４２に対して、Ｚ軸方向意移動させる。
【0106】
加工送りユニット１４１、割り出し送りユニット１４２および切り込み送りユニット１４３は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじと、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータと、保持ユニット１１０または切削ユニット１２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールと、等を有する。回転ユニット１４４は、保持ユニット１１０を軸心回りに回転するモータ等を有する。
【0107】
加工対象である被処理物２００は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）、ヒ化ガリウム（ＧａＡｓ）またはその他の半導体材料を基板とする円板状の半導体ウェーハ、光デバイスウェーハ等のウェーハである。あるいは、被処理物２００は、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）、ガラス、石英等の材料を基板とする円板状のウェーハである。ガラスは、例えば、アルカリガラス、無アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス、等を含む。
【0108】
被処理物２００は、例えば、基板の表面に格子状に設定される複数の分割予定ラインと、分割予定ラインによって区画された領域に形成されたるデバイスと、を有する。デバイスは、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、あるいはＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、あるいはＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、またはＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等である。
【0109】
被処理物２００は、例えば、環状のフレーム２１０が貼着されかつ被処理物２００の外径よりも大径なテープ２１１が被処理物２００の裏面に貼着されて、フレーム２１０の開口内に支持された状態で搬送および加工される。被処理物２００は、分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割されて、チップに個片化される。なお、被処理物２００は、円板状に限定されず、樹脂パッケージ基板や金属基板等その他の板状であってもよい。また、チップは、正方形状に限定されず、長方形状または多角形状であってもよい。
【0110】
＜処理装置１０の適用形態の他の例＞
処理装置１０は、例えば、被処理物２００を研削加工する研削装置であってもよい。研削装置は、被処理物２００を保持ユニットと、被処理物２００の上面を研削加工する研削ユニットと、保持ユニットと研削ユニットとを相対的に移動させる移動ユニットと、を備える。研削ユニットは、保持ユニットの保持面に垂直な軸心回りに回転可能なスピンドルと、スピンドルを軸心回りに回転させるスピンドルモータと、スピンドルを内部に収容するスピンドルハウジングと、スピンドルの下端に固定されるホイール基盤と、ホイール基盤の下端に装着される研削砥石と、を有する。
処理装置１０は、例えば、被処理物２００を研削加工する研削装置であってもよい。研削装置は、被処理物２００を保持ユニットと、被処理物２００の上面を研削加工する研削ユニットと、保持ユニットと研削ユニットとを相対的に移動させる移動ユニットと、を備える。研削ユニットは、保持ユニットの保持面に垂直な軸心回りに回転可能なスピンドルと、スピンドルを軸心回りに回転させるスピンドルモータと、スピンドルを内部に収容するスピンドルハウジングと、スピンドルの下端に固定されるホイール基盤と、ホイール基盤の下端に装着される研削砥石と、を有する。
【0111】
処理装置１０が研削装置である場合、例えば、スピンドルハウジングには、図１に示す処理システム１の冷却システム２から供給され、かつ冷却システム２に戻る冷媒が通過する冷却通路が、内部に形成される。冷却通路は、上流において冷媒供給流路２１に連通し、下流において冷媒戻り流路２２に連通する。冷却システム２から供給される低温の冷媒が冷却通路を通過することで、スピンドルおよびスピンドルモータで発生してスピンドルハウジングに伝達した熱が冷媒に回収されて、スピンドル、モータ、およびスピンドルハウジングが冷却される。
【0112】
＜効果＞
以上説明したように、実施形態に係る処理システム１では、冷却システム２の冷却可能熱量Ｃｃｈｉｌｌｅｒと処理装置１０のそれぞれで単位時間当たりに発生している熱量Ｃｉを合算した総発生熱量Ｃｔｏｔａｌとの差から算出した冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔと、実行しようとする「処理項目」に対応する「想定熱量」と、に基づいて冷却システム２の冷却能力が不足するか不足しないかを判断し、実行しようとする「処理項目」の実行タイミングを制御する。
以上説明したように、実施形態に係る処理システム１では、冷却システム２の冷却可能熱量Ｃｃｈｉｌｌｅｒと処理装置１０のそれぞれで単位時間当たりに発生している熱量Ｃｉを合算した総発生熱量Ｃｔｏｔａｌとの差から算出した冷却余力Ｃｃｕｒｒｅｎｔと、実行しようとする「処理項目」に対応する「想定熱量」と、に基づいて冷却システム２の冷却能力が不足するか不足しないかを判断し、実行しようとする「処理項目」の実行タイミングを制御する。
【0113】
すなわち、冷却システム２の冷却能力が不足すると判断された場合は、当該「処理項目」の実行を待機させることができる。これにより、処理装置１０が「処理項目」を実行している途中に冷却システム２の冷却能力が不足することを抑制することができるため、処理途中で温度上昇により緊急停止することを抑制できる。したがって、緊急停止後に処理を再開させる際、緊急停止時に処理していた位置と全く同一の位置から繋げて処理を再開したり、緊急停止時の処理状況を正確に再現したりすることが困難であるために処理品質に影響を及ぼすことを抑制できる。
【0114】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【0115】
１ 処理システム
２ 冷却システム
１０ 処理装置
２０ 冷媒流路
２１ 冷媒供給流路
２２ 冷媒戻り流路
３０ 測定ユニット
３１ 供給温度測定部
３２ 戻り温度測定部
３３ 流量測定部
４０ 制御ユニット
５０ 記憶部
５１ 想定熱量記憶部
５２ 優先順位記憶部
６０ 測定値取得部
７０ 算出部
７１ 総発生熱量算出部
７２ 冷却余力算出部
８０ 判断部
８１ 冷却能力判断部
８２ 異常判断部
９０ 実行制御部
ＴＩＮ、ＴＯＵＴ 温度
ＱＩＮ 流量
Ｃｔｏｔａｌ 総発生熱量
Ｃｃｈｉｌｌｅｒ 冷却可能熱量
Ｃｃｕｒｒｅｎｔ 冷却余力
２ 冷却システム
１０ 処理装置
２０ 冷媒流路
２１ 冷媒供給流路
２２ 冷媒戻り流路
３０ 測定ユニット
３１ 供給温度測定部
３２ 戻り温度測定部
３３ 流量測定部
４０ 制御ユニット
５０ 記憶部
５１ 想定熱量記憶部
５２ 優先順位記憶部
６０ 測定値取得部
７０ 算出部
７１ 総発生熱量算出部
７２ 冷却余力算出部
８０ 判断部
８１ 冷却能力判断部
８２ 異常判断部
９０ 実行制御部
ＴＩＮ、ＴＯＵＴ 温度
ＱＩＮ 流量
Ｃｔｏｔａｌ 総発生熱量
Ｃｃｈｉｌｌｅｒ 冷却可能熱量
Ｃｃｕｒｒｅｎｔ 冷却余力
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】