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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024162967
(43)【公開日】2024-11-21
(54)【発明の名称】位置決め装置
(51)【国際特許分類】
B23Q 3/06 20060101AFI20241114BHJP
【ＦＩ】
B23Q3/06 304K
B23Q3/06 304F
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023182787
(22)【出願日】2023-10-24
(31)【優先権主張番号】P 2023077224
(32)【優先日】2023-05-09
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】391003989
【氏名又は名称】株式会社コスメック
(74)【代理人】
【識別番号】110001841
【氏名又は名称】弁理士法人ＡＴＥＮ
(72)【発明者】
【氏名】吉村 画
【テーマコード（参考）】
3C016
【Ｆターム（参考）】
3C016CA03
3C016CB03
3C016EA01
(57)【要約】
【課題】ロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合に、その誤差を小さくできる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】位置決め装置は、ピストン（７）、出力ロッド（１４）、操作ロッド（２１）、押圧部材（１８）、および操作ロッド（２１）の軸方向への移動によって動作する検出弁機構（２２）を備える。検出弁機構（２２）は、ハウジング（１）の基端側部分に設けられた弁室（２４）に配置される弁部材（２６）、および弁部材（２６）によるロック位置検出のタイミングを調節する調節部材（２７）であって、軸方向における固定位置が調整可能な調節部材（２７）を備える。
【選択図】図１Ａ
【解決手段】位置決め装置は、ピストン（７）、出力ロッド（１４）、操作ロッド（２１）、押圧部材（１８）、および操作ロッド（２１）の軸方向への移動によって動作する検出弁機構（２２）を備える。検出弁機構（２２）は、ハウジング（１）の基端側部分に設けられた弁室（２４）に配置される弁部材（２６）、および弁部材（２６）によるロック位置検出のタイミングを調節する調節部材（２７）であって、軸方向における固定位置が調整可能な調節部材（２７）を備える。
【選択図】図１Ａ
【特許請求の範囲】
【請求項1】
位置決め対象物（ＷＰ）に設けられた孔（５）に挿入可能な柱状部（２ａ）を先端に有するハウジング（１）と、
前記ハウジング（１）の軸方向へ移動可能で、前記ハウジング（１）に保密状に挿入されたピストン（７）と、
前記軸方向のうちの前記ハウジング（１）の先端側方向へ前記ピストン（７）から延在する出力ロッド（１４）と、
前記軸方向のうちの前記ハウジング（１）の基端側方向へ前記ピストン（７）から延在する操作ロッド（２１）と、
前記出力ロッド（１４）の半径方向へ拡大および縮小可能な押圧部材（１８）であって前記出力ロッド（１４）の先端部に固定された押圧部材（１８）、または前記出力ロッド（１４）の半径方向へ移動可能な押圧部材（４４、４９）であって前記柱状部（２ａ）の周壁に形成されたガイド孔（４３）に挿入された押圧部材（４４、４９）と、
前記操作ロッド（２１）の前記軸方向への移動によって動作する検出弁機構（２２）であって、前記ハウジング（１）の基端側部分に設けられた弁室（２４）に配置される弁部材（２６）、および前記弁部材（２６）によるロック位置検出のタイミングを調節する調節部材（２７）であって、前記軸方向における固定位置が調整可能な調節部材（２７）を有する検出弁機構（２２）と、
を備える、
位置決め装置。
前記ハウジング（１）の軸方向へ移動可能で、前記ハウジング（１）に保密状に挿入されたピストン（７）と、
前記軸方向のうちの前記ハウジング（１）の先端側方向へ前記ピストン（７）から延在する出力ロッド（１４）と、
前記軸方向のうちの前記ハウジング（１）の基端側方向へ前記ピストン（７）から延在する操作ロッド（２１）と、
前記出力ロッド（１４）の半径方向へ拡大および縮小可能な押圧部材（１８）であって前記出力ロッド（１４）の先端部に固定された押圧部材（１８）、または前記出力ロッド（１４）の半径方向へ移動可能な押圧部材（４４、４９）であって前記柱状部（２ａ）の周壁に形成されたガイド孔（４３）に挿入された押圧部材（４４、４９）と、
前記操作ロッド（２１）の前記軸方向への移動によって動作する検出弁機構（２２）であって、前記ハウジング（１）の基端側部分に設けられた弁室（２４）に配置される弁部材（２６）、および前記弁部材（２６）によるロック位置検出のタイミングを調節する調節部材（２７）であって、前記軸方向における固定位置が調整可能な調節部材（２７）を有する検出弁機構（２２）と、
を備える、
位置決め装置。
【請求項2】
請求項１の位置決め装置において、
前記検出弁機構（２２）は、前記弁部材（２６）を前記基端側方向へ付勢する付勢手段（２９）であって、前記弁室（２４）に配置される付勢手段（２９）を有し、
前記調節部材（２７）は、前記操作ロッド（２１）の端部に螺合される筒状の部材であって、前記付勢手段（２９）で付勢された前記弁部材（２６）を受け止め可能な段差部（２７ａ）を外周面に有し、
前記弁部材（２６）は、前記調節部材（２７）が保密状に挿入される筒状の部材であって、外周面に弁面（３０）を有し、
前記弁面（３０）が当接可能に対面する弁座（２３ａ）が前記ハウジング（１）に形成されている、
位置決め装置。
前記検出弁機構（２２）は、前記弁部材（２６）を前記基端側方向へ付勢する付勢手段（２９）であって、前記弁室（２４）に配置される付勢手段（２９）を有し、
前記調節部材（２７）は、前記操作ロッド（２１）の端部に螺合される筒状の部材であって、前記付勢手段（２９）で付勢された前記弁部材（２６）を受け止め可能な段差部（２７ａ）を外周面に有し、
前記弁部材（２６）は、前記調節部材（２７）が保密状に挿入される筒状の部材であって、外周面に弁面（３０）を有し、
前記弁面（３０）が当接可能に対面する弁座（２３ａ）が前記ハウジング（１）に形成されている、
位置決め装置。
【請求項3】
請求項１または２の位置決め装置において、
前記調節部材（２７）の一部が、前記ハウジング（１）の基端部から突出している、
位置決め装置。
前記調節部材（２７）の一部が、前記ハウジング（１）の基端部から突出している、
位置決め装置。
【請求項4】
請求項１の位置決め装置において、
前記検出弁機構（２２）は、前記弁部材（２６）を前記先端側方向へ付勢する付勢手段（２９）であって、前記弁室（２４）に配置される付勢手段（２９）を有し、
前記調節部材（２７）は、前記操作ロッド（２１）の端部に螺合される筒状の部材であって、前記付勢手段（２９）で付勢された前記弁部材（２６）を受け止め可能な操作部（３６）を有し、
前記弁部材（２６）は、前記調節部材（２７）が挿入される筒状の部材であって、先端側端面に弁面（３０）を有し、
前記弁面（３０）が当接可能に対面する弁座（３７）が前記ハウジング（１）に形成されている、
位置決め装置。
前記検出弁機構（２２）は、前記弁部材（２６）を前記先端側方向へ付勢する付勢手段（２９）であって、前記弁室（２４）に配置される付勢手段（２９）を有し、
前記調節部材（２７）は、前記操作ロッド（２１）の端部に螺合される筒状の部材であって、前記付勢手段（２９）で付勢された前記弁部材（２６）を受け止め可能な操作部（３６）を有し、
前記弁部材（２６）は、前記調節部材（２７）が挿入される筒状の部材であって、先端側端面に弁面（３０）を有し、
前記弁面（３０）が当接可能に対面する弁座（３７）が前記ハウジング（１）に形成されている、
位置決め装置。
【請求項5】
請求項１の位置決め装置において、
前記検出弁機構（２２）は、前記弁部材（２６）を前記基端側方向へ付勢する付勢手段（２９）であって、前記弁室（２４）に配置される付勢手段（２９）を有し、
前記調節部材（２７）は、前記ハウジング（１）の基端部に螺合される筒状の部材であり、
前記操作ロッド（２１）の端部に、前記付勢手段（２９）で付勢された前記弁部材（２６）を受け止め可能な弁受け部材（３８）が固定されており、
前記弁部材（２６）は、前記操作ロッド（２１）が保密状に挿入される筒状の部材であって、外周面に弁面（３０）を有し、
前記弁面（３０）が当接可能に対面する弁座（４０）が前記調節部材（２７）に形成されている、
位置決め装置。
前記検出弁機構（２２）は、前記弁部材（２６）を前記基端側方向へ付勢する付勢手段（２９）であって、前記弁室（２４）に配置される付勢手段（２９）を有し、
前記調節部材（２７）は、前記ハウジング（１）の基端部に螺合される筒状の部材であり、
前記操作ロッド（２１）の端部に、前記付勢手段（２９）で付勢された前記弁部材（２６）を受け止め可能な弁受け部材（３８）が固定されており、
前記弁部材（２６）は、前記操作ロッド（２１）が保密状に挿入される筒状の部材であって、外周面に弁面（３０）を有し、
前記弁面（３０）が当接可能に対面する弁座（４０）が前記調節部材（２７）に形成されている、
位置決め装置。
【請求項6】
請求項１の位置決め装置において、
前記検出弁機構（２２）は、前記弁部材（２６）を前記基端側方向へ付勢する付勢手段（２９）であって、前記弁室（２４）に配置される付勢手段（２９）を有し、
前記調節部材（２７）は、前記ハウジング（１）の基端部に螺合される筒状の部材であり、
前記操作ロッド（２１）の端部に、前記付勢手段（２９）で付勢された前記弁部材（２６）を受け止め可能な弁受け部材（３８）が固定されており、
前記弁部材（２６）は、前記操作ロッド（２１）が挿入される環状の部材であって、基端側端面に弁面（３０）を有し、
前記弁面（３０）が当接可能に対面する弁座（４１）が前記弁受け部材（３８）に形成されている、
位置決め装置。
前記検出弁機構（２２）は、前記弁部材（２６）を前記基端側方向へ付勢する付勢手段（２９）であって、前記弁室（２４）に配置される付勢手段（２９）を有し、
前記調節部材（２７）は、前記ハウジング（１）の基端部に螺合される筒状の部材であり、
前記操作ロッド（２１）の端部に、前記付勢手段（２９）で付勢された前記弁部材（２６）を受け止め可能な弁受け部材（３８）が固定されており、
前記弁部材（２６）は、前記操作ロッド（２１）が挿入される環状の部材であって、基端側端面に弁面（３０）を有し、
前記弁面（３０）が当接可能に対面する弁座（４１）が前記弁受け部材（３８）に形成されている、
位置決め装置。
【請求項7】
請求項１、２、４から６のいずれかの位置決め装置において、
前記押圧部材（１８）は、前記出力ロッド（１４）の先端部に固定された、前記出力ロッド（１４）の半径方向へ拡大および縮小可能な押圧部材（１８）とされ、
前記押圧部材（１８）は、前記柱状部（２ａ）の外周に先端側へ向かうにつれて軸心に近づくように形成された外傾斜面（１７）に、当該外傾斜面（１７）の先端側から係合している、
位置決め装置。
前記押圧部材（１８）は、前記出力ロッド（１４）の先端部に固定された、前記出力ロッド（１４）の半径方向へ拡大および縮小可能な押圧部材（１８）とされ、
前記押圧部材（１８）は、前記柱状部（２ａ）の外周に先端側へ向かうにつれて軸心に近づくように形成された外傾斜面（１７）に、当該外傾斜面（１７）の先端側から係合している、
位置決め装置。
【請求項8】
請求項１、２、４から６のいずれかの位置決め装置において、
前記押圧部材（４４、４９）は、前記柱状部（２ａ）の周壁に形成されたガイド孔（４３）に挿入された、前記出力ロッド（１４）の半径方向へ移動可能な押圧部材（４４、４９）とされ、
前記押圧部材（４４、４９）が、球体または柱状部材である、
位置決め装置。
前記押圧部材（４４、４９）は、前記柱状部（２ａ）の周壁に形成されたガイド孔（４３）に挿入された、前記出力ロッド（１４）の半径方向へ移動可能な押圧部材（４４、４９）とされ、
前記押圧部材（４４、４９）が、球体または柱状部材である、
位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、動作検出機能付きの位置決め装置に関する。
【背景技術】
【0002】
上記位置決め装置として、特許文献１に記載されたものがある。特許文献１に記載の位置決め装置は、出力ロッドによって操作される検出弁を備える。この検出弁は、位置決め装置のリリース状態およびオーバーストローク状態という２つの動作状態を検出できるように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１７－１５４２１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記の位置決め装置によると、出力ロッドが上限位置（リリース位置）に位置すること、および下限位置（オーバーストローク位置）に位置することを検出弁で検出できる。しかしながら、出力ロッドがリリース位置とオーバーストローク位置との間の途中位置のどこに位置するのかを検出することはできない。リリース位置とオーバーストローク位置との間にロック位置が存在するところ、可動部材（位置決め対象物）に設けられた孔の寸法に誤差が生じていると、ロック位置がずれる。また、位置決め装置において組み立て誤差が生じている場合にも、ロック位置がずれる。
【0005】
本発明の目的は、ロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合に、その誤差を小さくできる位置決め装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
【0007】
（１）位置決め装置は、位置決め対象物ＷＰに設けられた孔５に挿入可能な柱状部２ａを先端に有するハウジング１と、前記ハウジング１の軸方向へ移動可能で、前記ハウジング１に保密状に挿入されたピストン７と、前記軸方向のうちの前記ハウジング１の先端側方向へ前記ピストン７から延在する出力ロッド１４と、前記軸方向のうちの前記ハウジング１の基端側方向へ前記ピストン７から延在する操作ロッド２１と、前記出力ロッド１４の半径方向へ拡大および縮小可能な押圧部材１８であって前記出力ロッド１４の先端部に固定された押圧部材１８、または前記出力ロッド１４の半径方向へ移動可能な押圧部材４４、４９であって前記柱状部２ａの周壁に形成されたガイド孔４３に挿入された押圧部材４４、４９と、前記操作ロッド２１の前記軸方向への移動によって動作する検出弁機構２２であって、前記ハウジング１の基端側部分に設けられた弁室２４に配置される弁部材２６、および前記弁部材２６によるロック位置検出のタイミングを調節する調節部材２７であって、前記軸方向における固定位置が調整可能な調節部材２７を有する検出弁機構２２と、を備える。
【0008】
本願で開示する位置決め装置は次の作用効果を奏する。ロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合に、調節部材の固定位置を調整することで、その誤差を小さくできる。
【0009】
（２）上記（１）の位置決め装置において、例えば、図１Ａから図２Ｂ、図９から図１０、図１７Ａから図１８、および図２５から図２６に示すように、前記検出弁機構２２は、前記弁部材２６を前記基端側方向へ付勢する付勢手段２９であって、前記弁室２４に配置される付勢手段２９を有してもよい。前記調節部材２７は、前記操作ロッド２１の端部に螺合される筒状の部材であって、前記付勢手段２９で付勢された前記弁部材２６を受け止め可能な段差部２７ａを外周面に有してもよい。前記弁部材２６は、前記調節部材２７が保密状に挿入される筒状の部材であって、外周面に弁面３０を有してもよい。前記弁面３０が当接可能に対面する弁座２３ａが前記ハウジング１に形成されていてもよい。
【0010】
この構成によると、ハウジングに弁座が形成されていることで、検出弁機構の開閉が安定する。
【0011】
（３）上記（１）または（２）の位置決め装置において、前記調節部材２７の一部が、前記ハウジング１の基端部から突出していてもよい。
【0012】
この構成によると、調節部材の固定位置の調整を行いやすい。
【0013】
（４）上記（１）の位置決め装置において、例えば、図３から図４Ｂ、図１１から図１２、および図１９Ａから図２０に示すように、前記検出弁機構２２は、前記弁部材２６を前記先端側方向へ付勢する付勢手段２９であって、前記弁室２４に配置される付勢手段２９を有してもよい。前記調節部材２７は、前記操作ロッド２１の端部に螺合される筒状の部材であって、前記付勢手段２９で付勢された前記弁部材２６を受け止め可能な操作部３６を有してもよい。前記弁部材２６は、前記調節部材２７が挿入される筒状の部材であって、先端側端面に弁面３０を有してもよい。前記弁面３０が当接可能に対面する弁座３７が前記ハウジング１に形成されていてもよい。
【0014】
この構成によると、ハウジングに弁座が形成されていることで、検出弁機構の開閉が安定する。
【0015】
（５）上記（１）の位置決め装置において、例えば、図５Ａから図６、図１３から図１４、および図２１Ａから図２２に示すように、前記検出弁機構２２は、前記弁部材２６を前記基端側方向へ付勢する付勢手段２９であって、前記弁室２４に配置される付勢手段２９を有してもよい。前記調節部材２７は、前記ハウジング１の基端部に螺合される筒状の部材であり、前記操作ロッド２１の端部に、前記付勢手段２９で付勢された前記弁部材２６を受け止め可能な弁受け部材３８が固定されてもよい。前記弁部材２６は、前記操作ロッド２１が保密状に挿入される筒状の部材であって、外周面に弁面３０を有してもよい。前記弁面３０が当接可能に対面する弁座４０が前記調節部材２７に形成されていてもよい。
【0016】
この構成によると、ハウジングに調節部材が螺合により固定されることで、弁座が形成されている調節部材の固定が安定し、検出弁機構の開閉が安定する。
【0017】
（６）上記（１）の位置決め装置において、例えば、図７から図８Ｂ、図１５から図１６、および図２３Ａから図２４に示すように、前記検出弁機構２２は、前記弁部材２６を前記基端側方向へ付勢する付勢手段２９であって、前記弁室２４に配置される付勢手段２９を有してもよい。前記調節部材２７は、前記ハウジング１の基端部に螺合される筒状の部材であり、前記操作ロッド２１の端部に、前記付勢手段２９で付勢された前記弁部材２６を受け止め可能な弁受け部材３８が固定されてもよい。前記弁部材２６は、前記操作ロッド２１が挿入される環状の部材であって、基端側端面に弁面３０を有してもよい。前記弁面３０が当接可能に対面する弁座４１が前記弁受け部材３８に形成されていてもよい。
【0018】
この構成によると、ロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合に、調節部材の固定位置を調整することで、その誤差を小さくできる。
【0019】
（７）上記（１）から（６）のいずれかの位置決め装置において、例えば、図１Ａから図８Ｂに示すように、前記押圧部材１８は、前記出力ロッド１４の先端部に固定された、前記出力ロッド１４の半径方向へ拡大および縮小可能な押圧部材１８とされ、前記押圧部材１８は、前記柱状部２ａの外周に先端側へ向かうにつれて軸心に近づくように形成された外傾斜面１７に、当該外傾斜面１７の先端側から係合していてもよい。
【0020】
（８）上記（１）から（６）のいずれかの位置決め装置において、例えば、図９から図２６に示すように、前記押圧部材４４、４９は、前記柱状部２ａの周壁に形成されたガイド孔４３に挿入された、前記出力ロッド１４の半径方向へ移動可能な押圧部材４４、４９とされ、前記押圧部材４４、４９が、球体または柱状部材であってもよい。
【発明の効果】
【0021】
本発明によれば、ロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合に、その誤差を小さくできる位置決め装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【発明を実施するための形態】
【0023】
【0024】
工作機械のテーブル（不図示）にベースプレートＢＰが固定され、ベースプレートＢＰにハウジング１が固定される。ハウジング１は、第１ハウジング２（ハウジング本体）と、第２ハウジング３と、第３ハウジング４とで構成される。位置決め対象物としてのワークパレットＷＰに設けられた孔５に、第１ハウジング２の先端に形成された柱状部２ａが挿入可能となっている。
【0025】
第１ハウジング２の下部（基端部）にシリンダ孔６が形成され、シリンダ孔６にピストン７がハウジング１の軸方向へ移動可能で保密状に挿入される。ピストン７の下側にリリース室８が形成されるとともに、ピストン７の上側にロック室９が形成される。リリース室８に連通するリリース用の給排路１０が第２ハウジング３および第３ハウジング４に設けられる。ロック室９に連通するロック用の給排路１１が第１ハウジング２に設けられる。ロック室９にバネ１２（付勢手段）が配置される。バネ１２は、ピストン７を下方（基端側方向）へ付勢する。ピストン７とリリース室８とロック室９とバネ１２とによって油圧シリンダ（駆動手段）が構成される。
【0026】
第１ハウジング２の軸心部分に筒状の孔１３が設けられ、孔１３に出力ロッド１４が軸方向へ移動可能で保密状に挿入される。出力ロッド１４はハウジング１の先端側方向へピストン７から延在する。出力ロッド１４とピストン７とは螺合により連結されているが、出力ロッド１４とピストン７とは一体成形されてもよい。出力ロッド１４の先端部は、出力ロッド１４のその他の部分よりも大径のキャップ部１５とされている。キャップ部１５の外周壁に環状の溝１６が形成される。
【0027】
第１ハウジング２の柱状部２ａの外周に外傾斜面１７が先端側へ向かうにつれて軸心に近づくようにテーパー状に形成される。外傾斜面１７に筒状の押圧部材１８が係合される。押圧部材１８の上端から環状の突出部１８ａが半径方向の内方へ突設される。突出部１８ａがキャップ部１５の溝１６に嵌め込まれることにより、押圧部材１８が出力ロッド１４の先端部に連結される。押圧部材１８の周壁にスリット１８ｂが設けられることにより、押圧部材１８は半径方向へ拡大および縮小可能（弾性変形可能）となっている。押圧部材１８の外周面は、ワークパレットＷＰの孔５の内周面に密着可能となっている。第１ハウジング２の柱状部２ａの外周面からピン１９が半径方向の外方へ突設されている。ピン１９は押圧部材１８の回り止めとなる。
【0028】
第１ハウジング２の下の第２ハウジング３に孔２０が設けられ、孔２０に操作ロッド２１が軸方向へ移動可能で保密状に挿入された形態とされる。操作ロッド２１はハウジング１の基端側方向へピストン７から延在する。操作ロッド２１とピストン７とは一体成形されているが、操作ロッド２１とピストン７とは別体とされ連結されてもよい。孔２０の下側部分は大径孔２０ａとされる。
【0029】
操作ロッド２１の軸方向への移動によって動作する検出弁機構２２が次のように構成される。
【0030】
第２ハウジング３の下の第３ハウジング４に孔２３が設けられる。第２ハウジング３の大径孔２０ａおよび第３ハウジング４の孔２３と操作ロッド２１の外周面との間に環状空間が形成され、この環状空間によって弁室２４が構成される。弁室２４に圧縮空気（圧力流体）の供給路２５が連通される。供給路２５は第２ハウジング３および第３ハウジング４に設けられる。弁室２４に筒状の弁部材２６が配置される。弁部材２６は上下方向へ移動可能である。弁室２４にバネ２９（付勢手段）が配置される。バネ２９は弁部材２６を下方（基端側方向）へ付勢する。
【0031】
操作ロッド２１の下端部に筒状の調節部材２７が螺合により固定される。調節部材２７は、弁部材２６によるロック位置検出のタイミングを調節するための部材であって、軸方向における操作ロッド２１に対する固定位置が調整可能である。本実施形態では、位置決め装置が後述するロック状態になるタイミングと、弁部材２６が閉弁するタイミングとが一致するように、調節部材２７の操作ロッド２１に対する固定位置が調整される。操作ロッド２１と調節部材２７とは固定ネジ２８によって固定される。弁部材２６に調節部材２７が保密状に挿入される。調節部材２７は、外周面にテーパー状の段差部２７ａを有する。バネ２９で付勢された弁部材２６は段差部２７ａによって受け止められる。すなわち、段差部２７ａは、バネ２９で付勢された弁部材２６を受け止め可能である。調節部材２７の一部は、第３ハウジング４の基端部から突出している。段差部２７ａの形状は、テーパー状とされているが、これに限定されない。
【0032】
弁部材２６の上端部から環状の突出部２６ａが半径方向の外方へ突設される。突出部２６ａの下面に弁面３０が形成される。弁面３０が当接可能に対面する弁座２３ａが第３ハウジング４の孔２３の内周面に形成される。弁面３０および弁座２３ａの形状は、テーパー状とされているが、これに限定されない。
【0033】
エアブロー用の圧縮空気（圧力流体）の供給路３１が第１ハウジング２に設けられている。
【0034】
上記構成の位置決め装置は次のように動作する。
【0035】
図１Ａのリリース状態では、ロック室９の圧油が排出されているとともに、リリース室８に圧油が供給されている。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが上限位置に移動している。押圧部材１８は、当該押圧部材１８の弾性力によって縮径している。
【0036】
このとき、調節部材２７が段差部２７ａを介して弁部材２６を上限位置に押し上げている。そのため、弁部材２６の弁面３０が弁座２３ａから上方へ離間され（図１Ｂ参照）、検出弁機構２２は開弁している。この状態で、供給路２５を経由して弁室２４に圧縮空気が供給されると、圧縮空気は、弁部材２６と第３ハウジング４の孔２３との間の隙間を通って外部へ排出される。そのため、弁室２４の圧力はほとんど上昇しない。
【0037】
ワークパレットＷＰを何らかの昇降手段または自重によって下降させると、ワークパレットＷＰは、その孔５部分で出力ロッド１４と押圧部材１８と柱状部２ａとに外嵌められていく。そして、ワークパレットＷＰは複数の支持ピン３２の上に載置される。
【0038】
図１Ａのリリース状態から図２Ａのロック状態へ位置決め装置を切り換えるときは、リリース室８の圧油を排出するとともに、ロック室９に圧油を供給する。すると、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、ロック室９に供給された圧油の力およびバネ１２の付勢力によって下降していく。出力ロッド１４の下降によって押圧部材１８も下降していく。押圧部材１８は、柱状部２ａの外傾斜面１７によって縮径状態から拡径する（半径方向へ拡大する）。その結果、押圧部材１８の外周面がワークパレットＷＰの孔５の内周面に密着する。このとき、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが停止する。操作ロッド２１の停止した位置が操作ロッド２１のロック位置である。同様に、ピストン７の停止した位置がピストン７のロック位置であり、出力ロッド１４の停止した位置が出力ロッド１４のロック位置である。これにより、位置決め装置は、図２Ａのロック状態となる。
【0039】
（検出弁機構２２の事前調整）
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
【0040】
なお、事前調整は、実際に用いられるワークパレットＷＰで行われてもよいし、基準孔（誤差が許容範囲内の大きさの孔）が設けられた基準ブロック（不図示）で行われてもよい。基準ブロックは、例えば位置決め装置の製作・供給者が納入する。また、事前調整は、位置決め装置が実際に使用される場所で行われてもよいし、位置決め装置の出荷前に、その製作工場などで行われてもよい（他の実施形態についても同様）。
【0041】
リリース状態にした位置決め装置の出力ロッド１４と押圧部材１８と柱状部２ａとにワークパレットＷＰの孔５部分を外嵌めした後、通常使用時と同様に、位置決め装置をロック状態とする。ロック状態とは、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とがロック位置に移動されることで、押圧部材１８の外周面がワークパレットＷＰの孔５の内周面に密着した状態である。このとき、ワークパレットＷＰが位置決め装置に対して所定位置となるように位置決めされた状態となっている。
【0042】
事前調整におけるロック状態において、弁部材２６の弁面３０と弁座２３ａとの間に隙間が生じている場合、調節部材２７を回すことで調節部材２７を第３ハウジング４の外へ出していく。バネ２９で付勢されている弁部材２６の弁面３０が弁座２３ａに当接したら調節部材２７をその位置で操作ロッド２１に固定する。なお、弁面３０と弁座２３ａとの間に隙間が生じているか否か（弁面３０が弁座２３ａに当接しているか否か）は、弁部材２６と調節部材２７の段差部２７ａとの間に隙間が生じているか否かで判断することができる。調節部材２７を第３ハウジング４の外へ出していくと、弁部材２６から段差部２７ａが離れる瞬間がくる。弁部材２６から段差部２７ａが離れたその瞬間、弁面３０は弁座２３ａに当接した状態となる。このことから、弁部材２６と段差部２７ａとの間に隙間が生じているか容易に確認するため、本実施形態のように、調節部材２７の段差部２７ａは、第３ハウジング４の基端部から突出していることが好ましい。
【0043】
一方、事前調整におけるロック状態において、弁部材２６と調節部材２７の段差部２７ａとの間に明確な隙間（僅かとは言えない比較的大きな隙間）が生じている場合、調節部材２７を上記とは逆方向に回すことで調節部材２７を第３ハウジング４の中へ押し込んでいく。調節部材２７の段差部２７ａがバネ２９で付勢されている弁部材２６に当接した瞬間の位置、または当接する直前の位置で、調節部材２７を操作ロッド２１に固定する。
【0044】
上記のような事前調整を位置決め装置に行っておくと、位置決め装置を実際に使用して、位置決め装置が図２Ａに示すロック状態となったとき、弁部材２６の弁面３０が弁座２３ａに確実に当接され（図２Ｂ参照）、検出弁機構２２は閉弁される。この状態で、供給路２５を経由して弁室２４に圧縮空気が供給されると、弁室２４の圧力が上昇する。この上昇圧力が所定の設定値を上回ることを圧力センサ（不図示）は検出する。これにより、位置決め装置のロック状態（操作ロッド２１等のロック位置）が検出される。
【0045】
図２Ａのロック状態から図１Ａのリリース状態へ位置決め装置を切り換えるときは、ロック室９の圧油を排出するとともに、リリース室８に圧油を供給する。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、リリース室８に供給された圧油の力によって、バネ１２の付勢力に抗して上昇していく。出力ロッド１４の上昇によって押圧部材１８も上昇していく。押圧部材１８は、当該押圧部材１８の弾性力によって縮径する。弁部材２６の弁面３０は弁座２３ａから上方へ離間され、検出弁機構２２は開弁される。
【0046】
上記実施形態の位置決め装置は次の長所を有する。
【0047】
上記実施形態の位置決め装置によると、その操作ロッド２１等のロック位置を検出できる。また、ワークパレットＷＰに設けられた孔５の寸法に誤差があることで、操作ロッド２１等のロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合がある。ロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合に、調節部材２７の固定位置を調整することで、その誤差を小さくできる。また、位置決め装置において組み立て誤差が生じている場合にも、ロック位置検出のタイミングに誤差が生じるところ、調節部材２７の固定位置を調整することで、ロック位置検出のタイミングの誤差を小さくできる。ロック位置検出のタイミングとは、弁部材２６の弁面３０が弁座２３ａに当接するタイミング、言い換えれば、検出弁機構２２が閉弁するタイミングのことである。
【0048】
（第２実施形態）
図３から図４Ｂは、第２実施形態を示す。第２実施形態の位置決め装置においては、第１実施形態の構成部材と同じ部材、または類似する部材について同一の符号を付している（他の実施形態についても同様）。
図３から図４Ｂは、第２実施形態を示す。第２実施形態の位置決め装置においては、第１実施形態の構成部材と同じ部材、または類似する部材について同一の符号を付している（他の実施形態についても同様）。
【0049】
工作機械のテーブル（不図示）にベースプレートＢＰが固定され、ベースプレートＢＰにハウジング１が固定される。ハウジング１は、第１ハウジング２（ハウジング本体）と、第２ハウジング３とで構成される。位置決め対象物としてのワークパレットＷＰに設けられた孔５に、第１ハウジング２の先端に形成された柱状部２ａが挿入可能となっている。
【0050】
第１ハウジング２の下部（基端部）にシリンダ孔６が形成され、シリンダ孔６にピストン７がハウジング１の軸方向へ移動可能で保密状に挿入される。ピストン７の下側にリリース室８が形成されるとともに、ピストン７の上側にロック室９が形成される。リリース室８に連通するリリース用の給排路１０が第１ハウジング２に設けられる。ロック室９に連通するロック用の給排路１１が第１ハウジング２に設けられる。ピストン７とリリース室８とロック室９とによって油圧シリンダ（駆動手段）が構成される。
【0051】
第１ハウジング２の軸心部分に筒状の孔１３が設けられ、孔１３に出力ロッド１４が軸方向へ移動可能で保密状に挿入される。出力ロッド１４はハウジング１の先端側方向へピストン７から延在する。出力ロッド１４とピストン７とは一体成形されているが、出力ロッド１４とピストン７とは別体とされ連結されてもよい。出力ロッド１４の先端部は、出力ロッド１４のその他の部分よりも大径のキャップ部１５とされている。キャップ部１５は出力ロッド１４のその他の部分とは別体とされている。出力ロッド１４からピン３４が半径方向の外方へ突設されている。ピン３４は出力ロッド１４の回り止めとなる。
【0052】
第１ハウジング２の柱状部２ａの外周に外傾斜面１７が先端側へ向かうにつれて軸心に近づくようにテーパー状に形成される。外傾斜面１７に筒状の押圧部材１８が係合される。押圧部材１８の上端から環状の突出部１８ａが半径方向の内方へ突設される。突出部１８ａがキャップ部１５とその下の環状部材３３との間に嵌め込まれることにより、押圧部材１８が出力ロッド１４の先端部に連結される。押圧部材１８の周壁にスリット１８ｂが設けられることにより、押圧部材１８は半径方向へ拡大および縮小可能（弾性変形可能）となっている。押圧部材１８の外周面は、ワークパレットＷＰの孔５の内周面に密着可能となっている。
【0053】
第１ハウジング２の下の第２ハウジング３に孔２０が設けられ、孔２０に操作ロッド２１が軸方向へ移動可能で保密状に挿入された形態とされる。操作ロッド２１はハウジング１の基端側方向へピストン７から延在する。操作ロッド２１とピストン７とは一体成形されているが、操作ロッド２１とピストン７とは別体とされ連結されてもよい。孔２０の下側部分は、下方から順に大径孔２０ａ、中径孔２０ｂとされる。
【0054】
操作ロッド２１の軸方向への移動によって動作する検出弁機構２２が次のように構成される。
【0055】
第２ハウジング３の大径孔２０ａおよび中径孔２０ｂと操作ロッド２１の外周面との間に環状空間が形成され、この環状空間によって弁室２４が構成される。弁室２４に圧縮空気（圧力流体）の供給路２５が連通される。供給路２５は第２ハウジング３に設けられる。弁室２４に筒状の弁部材２６が配置される。弁部材２６は上下方向へ移動可能である。弁室２４にバネ２９（付勢手段）が配置される。バネ２９は弁部材２６を上方（先端側方向）へ付勢する。
【0056】
操作ロッド２１の下端部に筒状の調節部材２７が螺合により固定される。調節部材２７は、弁部材２６によるロック位置検出のタイミングを調節するための部材であって、軸方向における操作ロッド２１に対する固定位置が調整可能である。本実施形態では、位置決め装置がロック状態になるタイミングと、弁部材２６が開弁するタイミングとが一致するように、調節部材２７の操作ロッド２１に対する固定位置が調整される。操作ロッド２１と調節部材２７とは固定ネジ２８によって固定される。弁部材２６に調節部材２７が挿入される。調節部材２７の下端部は、バネ２９の一端が当接するフランジ部３５とされる。調節部材２７の上端部（先端部）から環状の操作部３６が半径方向の外方へ突設される。操作部３６は、バネ２９で付勢された弁部材２６を受け止め可能である。操作部３６は、バネ２９で付勢された弁部材２６を下方（基端側方向）へ押して移動させる。
【0057】
弁部材２６の先端側端面に弁面３０が形成される。弁面３０が当接可能に対面する弁座３７が第２ハウジング３の内壁面に形成される。
【0058】
上記構成の位置決め装置は次のように動作する。
【0059】
図３のリリース状態では、ロック室９の圧油が排出されているとともに、リリース室８に圧油が供給されている。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが上限位置に移動している。押圧部材１８は、当該押圧部材１８の弾性力によって縮径している。
【0060】
このとき、バネ２９が弁部材２６を上限位置に押し上げている。そのため、弁部材２６の弁面３０が弁座３７に当接され（図３参照）、検出弁機構２２は閉弁している。この状態で、供給路２５に圧縮空気が供給されると、供給路２５の圧力が上昇する。
【0061】
ワークパレットＷＰを何らかの昇降手段または自重によって下降させると、ワークパレットＷＰは、その孔５部分で出力ロッド１４と押圧部材１８と柱状部２ａとに外嵌められていく。
【0062】
図３のリリース状態から図４Ａのロック状態へ位置決め装置を切り換えるときは、リリース室８の圧油を排出するとともに、ロック室９に圧油を供給する。すると、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、ロック室９に供給された圧油の力によって下降していく。出力ロッド１４の下降によって押圧部材１８も下降していく。押圧部材１８は、柱状部２ａの外傾斜面１７によって縮径状態から拡径する（半径方向へ拡大する）。その結果、押圧部材１８の外周面がワークパレットＷＰの孔５の内周面に密着する。これにより、位置決め装置は、図４Ａのロック状態となる。
【0063】
ロック状態となるとき、調節部材２７の操作部３６が弁部材２６を下方（基端側方向）へ押して移動させ、弁部材２６の弁面３０が弁座３７から離間され（図４Ｂ参照）、検出弁機構２２は開弁される。この状態で、供給路２５に圧縮空気が供給されると、圧縮空気は、弁室２４、および調節部材２７のフランジ部３５に設けられた溝孔３５ａを通って外部へ排出される。そのため、供給路２５の圧力はほとんど上昇しない。これにより、位置決め装置のロック状態の検出が可能となる。供給路２５の圧力が所定の設定値を下回ることを圧力センサ（不図示）は検出する。これにより、位置決め装置のロック状態（操作ロッド２１等のロック位置）が検出される。
【0064】
（検出弁機構２２の事前調整）
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
【0065】
リリース状態にした位置決め装置の出力ロッド１４と押圧部材１８と柱状部２ａとにワークパレットＷＰの孔５部分を外嵌めした後、通常使用時と同様に、位置決め装置をロック状態とする。
【0066】
事前調整におけるこのロック状態で、供給路２５に圧縮空気が供給される。供給路２５の圧力が所定の設定値を上回る場合、調節部材２７を回すことで調節部材２７を少しずつ下方へ移動させていく。供給路２５の圧力が低下した瞬間、またはその少し後、調節部材２７を止めて調節部材２７を操作ロッド２１に固定する。
【0067】
一方、事前調整におけるロック状態において、供給路２５に圧縮空気が供給されても圧力が上昇しない場合、操作部３６で弁部材２６が押されてその弁面３０が弁座３７から離間された状態にあるということである（検出弁機構２２が開弁の状態）。このとき、弁面３０と弁座３７との間にどの程度の大きさの隙間があるかわからない。そのため、まず、調節部材２７を上記とは逆方向に回すことで操作部３６を上昇させ、バネ２９で付勢されている弁部材２６の弁面３０を弁座３７に当接させて検出弁機構２２を閉弁の状態とする。これにより、供給路２５の圧力は上昇する。その後、調節部材２７を回すことで調節部材２７を少しずつ下方へ移動させていく。供給路２５の圧力が低下した瞬間、またはその少し後、調節部材２７を止めて調節部材２７を操作ロッド２１に固定する。このようにして、弁面３０と弁座３７との間に僅かな隙間が形成されるようにする。
【0068】
図４Ａのロック状態から図３のリリース状態へ位置決め装置を切り換えるときは、ロック室９の圧油を排出するとともに、リリース室８に圧油を供給する。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、リリース室８に供給された圧油の力によって上昇していく。出力ロッド１４の上昇によって押圧部材１８も上昇していく。押圧部材１８は、当該押圧部材１８の弾性力によって縮径する。弁部材２６の弁面３０は弁座３７に当接され、検出弁機構２２は閉弁される。
【0069】
上記実施形態の位置決め装置は、第１実施形態の位置決め装置と同様に次の長所を有する。
【0070】
上記実施形態の位置決め装置によると、その操作ロッド２１等のロック位置を検出できる。また、ワークパレットＷＰに設けられた孔５の寸法に誤差があることで、操作ロッド２１等のロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合がある。ロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合に、調節部材２７の固定位置を調整することで、その誤差を小さくできる。また、位置決め装置において組み立て誤差が生じている場合にも、ロック位置検出のタイミングに誤差が生じるところ、調節部材２７の固定位置を調整することで、ロック位置検出のタイミングの誤差を小さくできる。ロック位置検出のタイミングとは、弁部材２６の弁面３０が弁座３７から離間するタイミング、言い換えれば、検出弁機構２２が開弁するタイミングのことである。
【0071】
（第３実施形態）
図５Ａから図６は、第３実施形態を示す。第１実施形態と第３実施形態とは類似する。第３実施形態の構成については、第１実施形態との主な相違点のみ説明する。第１実施形態と第３実施形態との主な相違点は、検出弁機構２２の構成である。第３実施形態の位置決め装置の検出弁機構２２は次のように構成される。なお、第３実施形態の位置決め装置のハウジング１は、第１ハウジング２（ハウジング本体）と、第２ハウジング３とで構成される。
図５Ａから図６は、第３実施形態を示す。第１実施形態と第３実施形態とは類似する。第３実施形態の構成については、第１実施形態との主な相違点のみ説明する。第１実施形態と第３実施形態との主な相違点は、検出弁機構２２の構成である。第３実施形態の位置決め装置の検出弁機構２２は次のように構成される。なお、第３実施形態の位置決め装置のハウジング１は、第１ハウジング２（ハウジング本体）と、第２ハウジング３とで構成される。
【0072】
第１ハウジング２の下の第２ハウジング３に孔２０が設けられ、孔２０の下側部分は大径孔２０ａとされる。この大径孔２０ａと操作ロッド２１の外周面との間に環状空間が形成され、この環状空間によって弁室２４が構成される。弁室２４に圧縮空気（圧力流体）の供給路２５が連通される。供給路２５は第２ハウジング３に設けられる。弁室２４に筒状の弁部材２６が配置される。弁部材２６は上下方向へ移動可能である。弁室２４にバネ２９（付勢手段）が配置される。バネ２９は弁部材２６を下方（基端側方向）へ付勢する。
【0073】
操作ロッド２１の下端部にボルト状の弁受け部材３８が固定される。弁受け部材３８の大径部３８ａは操作ロッド２１の径よりも大きい。弁受け部材３８の大径部３８ａは、バネ２９で付勢された弁部材２６を受け止める。すなわち、弁受け部材３８は、バネ２９で付勢された弁部材２６を受け止め可能である。
【0074】
第２ハウジング３の大径孔２０ａに筒状の調節部材２７が螺合により固定される。調節部材２７は、弁部材２６によるロック位置検出のタイミングを調節するための部材であって、軸方向における第２ハウジング３に対する固定位置が調整可能である。本実施形態では、位置決め装置がロック状態になるタイミングと、弁部材２６が閉弁するタイミングとが一致するように、調節部材２７の第２ハウジング３に対する固定位置が調整される。第２ハウジング３と調節部材２７とはリング部材３９によって固定される。弁部材２６に操作ロッド２１が保密状に挿入される。調節部材２７の一部は、第２ハウジング３の基端部から突出している。
【0075】
弁部材２６の外周面に弁面３０が形成される。弁面３０が当接可能に対面する弁座４０が調節部材２７の下端部の内周面に形成される。弁面３０および弁座４０の形状は、テーパー状とされているが、これに限定されない。
【0076】
上記構成の位置決め装置は次のように動作する。
【0077】
図５Ａのリリース状態では、ロック室９の圧油が排出されているとともに、リリース室８に圧油が供給されている。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが上限位置に移動している。押圧部材１８は、当該押圧部材１８の弾性力によって縮径している。
【0078】
このとき、弁受け部材３８が弁部材２６を上限位置に押し上げている。そのため、弁部材２６の弁面３０が弁座４０から上方へ離間され（図５Ｂ参照）、検出弁機構２２は開弁している。この状態で、供給路２５を経由して弁室２４に圧縮空気が供給されると、圧縮空気は、弁部材２６と調節部材２７との間の隙間を通って外部へ排出される。そのため、弁室２４の圧力はほとんど上昇しない。
【0079】
ワークパレットＷＰを何らかの昇降手段または自重によって下降させると、ワークパレットＷＰは、その孔５部分で出力ロッド１４と押圧部材１８と柱状部２ａとに外嵌められていく。
【0080】
図５Ａのリリース状態から図６のロック状態へ位置決め装置を切り換えるときは、リリース室８の圧油を排出するとともに、ロック室９に圧油を供給する。すると、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、ロック室９に供給された圧油の力およびバネ１２の付勢力によって下降していく。出力ロッド１４の下降によって押圧部材１８も下降していく。押圧部材１８は、柱状部２ａの外傾斜面１７によって縮径状態から拡径する（半径方向へ拡大する）。その結果、押圧部材１８の外周面がワークパレットＷＰの孔５の内周面に密着する。これにより、位置決め装置は、図６のロック状態となる。
【0081】
（検出弁機構２２の事前調整）
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
【0082】
リリース状態にした位置決め装置の出力ロッド１４と押圧部材１８と柱状部２ａとにワークパレットＷＰの孔５部分を外嵌めした後、通常使用時と同様に、位置決め装置をロック状態とする。
【0083】
事前調整におけるロック状態において、弁部材２６の弁面３０と弁座４０との間に隙間が生じている場合、調節部材２７を回すことで調節部材２７を第２ハウジング３の中へ押し込んでいく。バネ２９で付勢されている弁部材２６の弁面３０に弁座４０が当接したら調節部材２７をその位置で第２ハウジング３に固定する。弁面３０と弁座４０との間に隙間が生じているか否かを容易に確認するため、本実施形態のように、調節部材２７の、弁座４０が形成されている端部は、第２ハウジング３の基端部から突出していることが好ましい。
【0084】
一方、事前調整におけるロック状態において、弁部材２６と弁受け部材３８の大径部３８ａとの間に明確な隙間（僅かとは言えない比較的大きな隙間）が生じている場合、調節部材２７を上記とは逆方向に回すことで調節部材２７を第２ハウジング３の外へ出していく。弁受け部材３８の大径部３８ａにバネ２９で付勢されている弁部材２６が当接した瞬間の位置、または当接する直前の位置で、調節部材２７を第２ハウジング３に固定する。
【0085】
上記のような事前調整を位置決め装置に行っておくと、位置決め装置を実際に使用して、位置決め装置が図６に示すロック状態となったとき、弁部材２６の弁面３０が弁座４０に確実に当接され、検出弁機構２２は閉弁される。この状態で、供給路２５を経由して弁室２４に圧縮空気が供給されると、弁室２４の圧力が上昇する。この上昇圧力が所定の設定値を上回ることを圧力センサ（不図示）は検出する。これにより、位置決め装置のロック状態（操作ロッド２１等のロック位置）が検出される。
【0086】
図６のロック状態から図５Ａのリリース状態へ位置決め装置を切り換えるときは、ロック室９の圧油を排出するとともに、リリース室８に圧油を供給する。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、リリース室８に供給された圧油の力によって、バネ１２の付勢力に抗して上昇していく。出力ロッド１４の上昇によって押圧部材１８も上昇していく。押圧部材１８は、当該押圧部材１８の弾性力によって縮径する。弁部材２６の弁面３０は弁座４０から上方へ離間され、検出弁機構２２は開弁される。
【0087】
上記実施形態の位置決め装置は、第１実施形態の位置決め装置と同様に次の長所を有する。
【0088】
上記実施形態の位置決め装置によると、その操作ロッド２１等のロック位置を検出できる。また、ワークパレットＷＰに設けられた孔５の寸法に誤差があることで、操作ロッド２１等のロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合がある。ロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合に、調節部材２７の固定位置を調整することで、その誤差を小さくできる。また、位置決め装置において組み立て誤差が生じている場合にも、ロック位置検出のタイミングに誤差が生じるところ、調節部材２７の固定位置を調整することで、ロック位置検出のタイミングの誤差を小さくできる。ロック位置検出のタイミングとは、弁部材２６の弁面３０が弁座４０に当接するタイミング、言い換えれば、検出弁機構２２が閉弁するタイミングのことである。
【0089】
（第４実施形態）
図７から図８Ｂは、第４実施形態を示す。第４実施形態の位置決め装置は、その上部部分が第１実施形態と類似し、上部より下の部分が第２実施形態と類似する。第４実施形態の構成については、第１実施形態および第２実施形態との主な相違点のみ説明する。主な相違点は、検出弁機構２２の構成である。第４実施形態の位置決め装置の検出弁機構２２は次のように構成される。
図７から図８Ｂは、第４実施形態を示す。第４実施形態の位置決め装置は、その上部部分が第１実施形態と類似し、上部より下の部分が第２実施形態と類似する。第４実施形態の構成については、第１実施形態および第２実施形態との主な相違点のみ説明する。主な相違点は、検出弁機構２２の構成である。第４実施形態の位置決め装置の検出弁機構２２は次のように構成される。
【0090】
第２ハウジング３の中径孔２０ｂと操作ロッド２１の外周面との間に環状空間が形成され、この環状空間によって弁室２４が構成される。弁室２４に圧縮空気（圧力流体）の供給路２５が連通される。供給路２５は第２ハウジング３に設けられる。弁室２４に環状の弁部材２６が配置される。弁部材２６は上下方向へ移動可能である。弁室２４にバネ２９（付勢手段）が配置される。バネ２９は弁部材２６を下方（基端側方向）へ付勢する。
【0091】
操作ロッド２１の下端部にボルト状の弁受け部材３８が固定される。弁受け部材３８の大径部３８ａは操作ロッド２１の径よりも大きい。弁受け部材３８の大径部３８ａは、バネ２９で付勢された弁部材２６を受け止める。すなわち、弁受け部材３８は、バネ２９で付勢された弁部材２６を受け止め可能である。
【0092】
第２ハウジング３の大径孔２０ａに筒状の調節部材２７が螺合により固定される。調節部材２７は、弁部材２６によるロック位置検出のタイミングを調節するための部材であって、軸方向における第２ハウジング３に対する固定位置が調整可能である。本実施形態では、位置決め装置がロック状態になるタイミングと、弁部材２６が開弁するタイミングとが一致するように、調節部材２７の第２ハウジング３に対する固定位置が調整される。第２ハウジング３と調節部材２７とはリング部材３９によって固定される。弁部材２６に操作ロッド２１が挿入される。調節部材２７の一部は、第２ハウジング３の基端部から突出している。
【0093】
弁部材２６の下面（基端側端面）に弁面３０が形成される。弁面３０が当接可能に対面する弁座４１が弁受け部材３８の大径部３８ａの上面（ピストン７側の軸方向端面）に形成される。
【0094】
上記構成の位置決め装置は次のように動作する。
【0095】
図７のリリース状態では、ロック室９の圧油が排出されているとともに、リリース室８に圧油が供給されている。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが上限位置に移動している。押圧部材１８は、当該押圧部材１８の弾性力によって縮径している。
【0096】
このとき、弁受け部材３８が大径部３８ａによって弁部材２６を上限位置に押し上げている。そのため、大径部３８ａの弁座４１が弁部材２６の弁面３０に当接され（図７参照）、検出弁機構２２は閉弁している。この状態で、供給路２５に圧縮空気が供給されると、弁室２４の圧力が上昇する。
【0097】
ワークパレットＷＰを何らかの昇降手段または自重によって下降させると、ワークパレットＷＰは、その孔５部分で出力ロッド１４と押圧部材１８と柱状部２ａとに外嵌められていく。
【0098】
図７のリリース状態から図８Ａのロック状態へ位置決め装置を切り換えるときは、リリース室８の圧油を排出するとともに、ロック室９に圧油を供給する。すると、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、ロック室９に供給された圧油の力によって下降していく。出力ロッド１４の下降によって押圧部材１８も下降していく。押圧部材１８は、柱状部２ａの外傾斜面１７によって縮径状態から拡径する（半径方向へ拡大する）。その結果、押圧部材１８の外周面がワークパレットＷＰの孔５の内周面に密着する。これにより、位置決め装置は、図８Ａのロック状態となる。
【0099】
ロック状態となるとき、調節部材２７の上面（端面）によって弁部材２６の下降が止められ、弁受け部材３８の弁座４１が弁部材２６の弁面３０から離間され（図８Ｂ参照）、検出弁機構２２は開弁される。この状態で、供給路２５に圧縮空気が供給されると、圧縮空気は、弁室２４、および調節部材２７に設けられた孔４２を通って外部へ排出される。そのため、弁室２４の圧力はほとんど上昇しない。これにより、位置決め装置のロック状態の検出が可能となる。弁室２４の圧力が所定の設定値を下回ることを圧力センサ（不図示）は検出する。これにより、位置決め装置のロック状態（操作ロッド２１等のロック位置）が検出される。
【0100】
（検出弁機構２２の事前調整）
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
【0101】
リリース状態にした位置決め装置の出力ロッド１４と押圧部材１８と柱状部２ａとにワークパレットＷＰの孔５部分を外嵌めした後、通常使用時と同様に、位置決め装置をロック状態とする。
【0102】
事前調整におけるこのロック状態で、供給路２５に圧縮空気が供給される。弁室２４の圧力が所定の設定値を上回る場合、調節部材２７を回すことで調節部材２７を少しずつ上昇させていく。調節部材２７の上面が弁部材２６を押し上げて弁室２４の圧力が低下した瞬間、またはその少し後、調節部材２７を止めて調節部材２７を第２ハウジング３に固定する。
【0103】
一方、事前調整におけるロック状態において、供給路２５に圧縮空気が供給されても弁室２４の圧力が上昇しない場合、弁面３０から弁座４１が離間された状態にあるということである（検出弁機構２２が開弁の状態）。このとき、弁面３０と弁座４１との間にどの程度の大きさの隙間があるかわからない。そのため、まず、調節部材２７を上記とは逆方向に回すことで調節部材２７を下降させ、バネ２９で付勢されている弁部材２６の弁面３０を弁座４１に当接させて検出弁機構２２を閉弁の状態とする。これにより、弁室２４の圧力は上昇する。その後、調節部材２７を回すことで調節部材２７を少しずつ上昇させていく。調節部材２７の上面が弁部材２６を押し上げて弁室２４の圧力が低下した瞬間、またはその少し後、調節部材２７を止めて調節部材２７を第２ハウジング３に固定する。このようにして、弁面３０と弁座４１との間に僅かな隙間が形成されるようにする。
【0104】
図８Ａのロック状態から図７のリリース状態へ位置決め装置を切り換えるときは、ロック室９の圧油を排出するとともに、リリース室８に圧油を供給する。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、リリース室８に供給された圧油の力によって上昇していく。出力ロッド１４の上昇によって押圧部材１８も上昇していく。押圧部材１８は、当該押圧部材１８の弾性力によって縮径する。弁部材２６の弁面３０に弁座４１が当接され、検出弁機構２２は閉弁される。
【0105】
上記実施形態の位置決め装置は、第１実施形態の位置決め装置と同様に次の長所を有する。
【0106】
上記実施形態の位置決め装置によると、その操作ロッド２１等のロック位置を検出できる。また、ワークパレットＷＰに設けられた孔５の寸法に誤差があることで、操作ロッド２１等のロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合がある。ロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合に、調節部材２７の固定位置を調整することで、その誤差を小さくできる。また、位置決め装置において組み立て誤差が生じている場合にも、ロック位置検出のタイミングに誤差が生じるところ、調節部材２７の固定位置を調整することで、ロック位置検出のタイミングの誤差を小さくできる。ロック位置検出のタイミングとは、弁受け部材３８の弁座４１が弁部材２６の弁面３０から離間するタイミング、言い換えれば、検出弁機構２２が開弁するタイミングのことである。
【0107】
（第５実施形態）
図９、図１０は、第５実施形態を示す。第１実施形態と第５実施形態とは類似する。第１実施形態と第５実施形態との相違点は、位置決め装置の先端部の構成のみである。そのため、第５実施形態の構成について位置決め装置の先端部の構成についてのみ説明する。第５実施形態のその他の構成については第１実施形態の説明を必要に応じて参照されたい。第５実施形態の位置決め装置の先端部は次のように構成される。
図９、図１０は、第５実施形態を示す。第１実施形態と第５実施形態とは類似する。第１実施形態と第５実施形態との相違点は、位置決め装置の先端部の構成のみである。そのため、第５実施形態の構成について位置決め装置の先端部の構成についてのみ説明する。第５実施形態のその他の構成については第１実施形態の説明を必要に応じて参照されたい。第５実施形態の位置決め装置の先端部は次のように構成される。
【0108】
第１ハウジング２の柱状部２ａの周壁に複数のガイド孔４３が周方向へ所定間隔をあけて形成される。各ガイド孔４３に、押圧部材としてのボール４４（球体）が挿入される。ガイド孔４３によって、出力ロッド１４の径方向へ各ボール４４が移動可能に支持される。
【0109】
出力ロッド１４の先端部の外周には、各ボール４４に対応させて、押出し面４５と退避溝４６とが上下に連ねて形成される。押出し面４５は、上方（先端側方向）へ向かうにつれて広がるように形成される。押出し面４５によってボール４４が押されることにより、ボール４４が柱状部２ａの外周面よりも径方向の外方へ突出するように移動される。また、退避溝４６がボール４４に対面する位置に移動することにより、ボール４４が柱状部２ａの外周面よりも径方向の内方へ移動可能となる。本実施形態では、２つのボール４４が各ガイド孔４３にそれぞれ１つずつ挿入されるが、ボール４４は２つに限定されない。ボール４４は１つまたは３つ以上であってもよい。
【0110】
第１実施形態の位置決め装置と第５実施形態の位置決め装置との動作の違いは、位置決め装置の先端部の押圧部材部分の動きのみであり、検出弁機構２２の動作は同じである。また、第５実施形態における検出弁機構２２の事前調整の方法は、第１実施形態と同じである。そのため、第５実施形態の位置決め装置の動作については押圧部材部分の動きのみ説明する。
【0111】
図９のリリース状態では、ロック室９の圧油が排出されているとともに、リリース室８に圧油が供給されている。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが上限位置に移動している。出力ロッド１４が上昇しているので、柱状部２ａのボール４４は退避溝４６内に移動可能となっている。
【0112】
ワークパレットＷＰを何らかの昇降手段または自重によって下降させると、ワークパレットＷＰは、その孔５部分で柱状部２ａとボール４４とに外嵌められていく。そして、ワークパレットＷＰは複数の支持ピン３２の上に載置される。
【0113】
図９のリリース状態から図１０のロック状態へ位置決め装置を切り換えるときは、リリース室８の圧油を排出するとともに、ロック室９に圧油を供給する。すると、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、ロック室９に供給された圧油の力およびバネ１２の付勢力によって下降していく。出力ロッド１４が下降すると、出力ロッド１４に形成されている押出し面４５が柱状部２ａのボール４４を径方向の外方へ押し出す。その結果、ボール４４がワークパレットＷＰの孔５の内周面を押す。これにより、位置決め装置は、図１０のロック状態となる。
【0114】
第５実施形態の位置決め装置は、第１実施形態の位置決め装置と同様の長所を有する。
【0115】
（第６実施形態）
図１１、図１２は、第６実施形態を示す。第２実施形態と第６実施形態とは類似する。第２実施形態と第６実施形態との相違点は、位置決め装置の先端部の構成のみである。また、位置決め装置の先端部の構成は、第５実施形態と第６実施形態とで同じである。そのため、第６実施形態の構成については、対応する第２実施形態および第５実施形態の説明を必要に応じて参照されたい。以上より、第６実施形態の位置決め装置の構成の説明は割愛する。
図１１、図１２は、第６実施形態を示す。第２実施形態と第６実施形態とは類似する。第２実施形態と第６実施形態との相違点は、位置決め装置の先端部の構成のみである。また、位置決め装置の先端部の構成は、第５実施形態と第６実施形態とで同じである。そのため、第６実施形態の構成については、対応する第２実施形態および第５実施形態の説明を必要に応じて参照されたい。以上より、第６実施形態の位置決め装置の構成の説明は割愛する。
【0116】
第２実施形態の位置決め装置と第６実施形態の位置決め装置との動作の違いは、位置決め装置の先端部の押圧部材部分の動きのみであり、検出弁機構２２の動作は同じである。また、位置決め装置の先端部の押圧部材部分の動きは、第５実施形態と第６実施形態とで同じである。また、第６実施形態における検出弁機構２２の事前調整の方法は、第２実施形態と同じである。以上より、第６実施形態の位置決め装置の動作の説明も割愛する。
【0117】
第６実施形態の位置決め装置は、第２実施形態の位置決め装置と同様の長所を有する。
【0118】
（第７実施形態）
図１３、図１４は、第７実施形態を示す。第３実施形態と第７実施形態とは類似する。第３実施形態と第７実施形態との相違点は、位置決め装置の先端部の構成のみである。また、位置決め装置の先端部の構成は、第５実施形態と第７実施形態とで同じである。そのため、第７実施形態の構成については、対応する第３実施形態および第５実施形態の説明を必要に応じて参照されたい。以上より、第７実施形態の位置決め装置の構成の説明は割愛する。
図１３、図１４は、第７実施形態を示す。第３実施形態と第７実施形態とは類似する。第３実施形態と第７実施形態との相違点は、位置決め装置の先端部の構成のみである。また、位置決め装置の先端部の構成は、第５実施形態と第７実施形態とで同じである。そのため、第７実施形態の構成については、対応する第３実施形態および第５実施形態の説明を必要に応じて参照されたい。以上より、第７実施形態の位置決め装置の構成の説明は割愛する。
【0119】
第３実施形態の位置決め装置と第７実施形態の位置決め装置との動作の違いは、位置決め装置の先端部の押圧部材部分の動きのみであり、検出弁機構２２の動作は同じである。また、位置決め装置の先端部の押圧部材部分の動きは、第５実施形態と第７実施形態とで同じである。また、第７実施形態における検出弁機構２２の事前調整の方法は、第３実施形態と同じである。以上より、第７実施形態の位置決め装置の動作の説明も割愛する。
【0120】
第７実施形態の位置決め装置は、第３実施形態の位置決め装置と同様の長所を有する。
【0121】
（第８実施形態）
図１５、図１６は、第８実施形態を示す。第４実施形態と第８実施形態とは類似する。第４実施形態と第８実施形態との相違点は、位置決め装置の先端部の構成のみである。また、位置決め装置の先端部の構成は、第５実施形態と第８実施形態とで同じである。そのため、第８実施形態の構成については、対応する第４実施形態および第５実施形態の説明を必要に応じて参照されたい。以上より、第８実施形態の位置決め装置の構成の説明は割愛する。
図１５、図１６は、第８実施形態を示す。第４実施形態と第８実施形態とは類似する。第４実施形態と第８実施形態との相違点は、位置決め装置の先端部の構成のみである。また、位置決め装置の先端部の構成は、第５実施形態と第８実施形態とで同じである。そのため、第８実施形態の構成については、対応する第４実施形態および第５実施形態の説明を必要に応じて参照されたい。以上より、第８実施形態の位置決め装置の構成の説明は割愛する。
【0122】
第４実施形態の位置決め装置と第８実施形態の位置決め装置との動作の違いは、位置決め装置の先端部の押圧部材部分の動きのみであり、検出弁機構２２の動作は同じである。また、位置決め装置の先端部の押圧部材部分の動きは、第５実施形態と第８実施形態とで同じである。また、第８実施形態における検出弁機構２２の事前調整の方法は、第４実施形態と同じである。以上より、第８実施形態の位置決め装置の動作の説明も割愛する。
【0123】
第８実施形態の位置決め装置は、第４実施形態の位置決め装置と同様の長所を有する。
【0124】
【0125】
第１実施形態から第４実施形態は、ピストン７が下方（基端側方向）へ移動することで、押圧部材１８が出力ロッド１４の径外方向へ拡大（弾性変形）してロック状態となる装置である。第５実施形態から第８実施形態は、ピストン７が下方（基端側方向）へ移動することで、ボール４４（押圧部材）が出力ロッド１４の径外方向へ移動してロック状態となる装置である。すなわち、第１実施形態から第８実施形態は、いずれも、ピストン７が下方（基端側方向）へ移動することでロック状態となる装置である。これに対して、第９実施形態から第１２実施形態は、ピストン７が上方（先端側方向）へ移動することで、ボール４４（押圧部材）が出力ロッド１４の径外方向へ移動してロック状態となる装置である。
【0126】
そのため、第９実施形態では、リリース室８とロック室９とが第５実施形態に対して上下逆となる。第９実施形態では、ピストン７の下側にロック室９が形成されるとともに、ピストン７の上側にリリース室８が形成される。ロック室９に連通するロック用の給排路１１が第２ハウジング３および第３ハウジング４に設けられる。リリース室８に連通するリリース用の給排路１０が第１ハウジング２に設けられる。リリース室８にバネ１２（付勢手段）が配置される。バネ１２は、ピストン７を下方（基端側方向）へ付勢する。ピストン７とリリース室８とロック室９とバネ１２とによって油圧シリンダ（駆動手段）が構成される。バネ１２は無くてもよい。
【0127】
第５実施形態と第９実施形態とは類似する。第５実施形態と第９実施形態との相違点は、リリース室８とロック室９とが上下逆であることに加えて、位置決め装置の先端部の構成である。第９実施形態の位置決め装置の先端部は次のように構成される。
【0128】
第１ハウジング２の柱状部２ａの周壁に複数のガイド孔４３が周方向へ所定間隔をあけて形成される。各ガイド孔４３に、押圧部材としてのボール４４（球体）が挿入される。ガイド孔４３によって、出力ロッド１４の径方向へ各ボール４４が移動可能に支持される。
【0129】
出力ロッド１４の先端部の外周には、各ボール４４に対応させて、退避溝４７と押出し面４８とが上下に連ねて形成される。押出し面４８は、上方（先端側方向）へ向かうにつれて狭まるように形成される（先細りに形成される）。押出し面４８によってボール４４が押されることにより、ボール４４が柱状部２ａの外周面よりも径方向の外方へ突出するように移動される。また、退避溝４７がボール４４に対面する位置に移動することにより、ボール４４が柱状部２ａの外周面よりも径方向の内方へ移動可能となる。本実施形態では、２つのボール４４が各ガイド孔４３にそれぞれ１つずつ挿入されるが、ボール４４は２つに限定されない。ボール４４は１つまたは３つ以上であってもよい。
【0130】
上記構成の位置決め装置は次のように動作する。
【0131】
図１７Ａのリリース状態では、ロック室９の圧油が排出されているとともに、リリース室８に圧油が供給されている。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが下限位置に移動している。出力ロッド１４が下降しているので、柱状部２ａのボール４４は退避溝４７内に移動可能となっている。
【0132】
このとき、バネ２９が弁部材２６を下限位置に押し下げている。そのため、弁部材２６の弁面３０が弁座２３ａに当接され（図１７Ｂ参照）、検出弁機構２２は閉弁している。この状態で、供給路２５に圧縮空気が供給されると、供給路２５の圧力が上昇する。
【0133】
ワークパレットＷＰを何らかの昇降手段または自重によって下降させると、ワークパレットＷＰは、その孔５部分で柱状部２ａとボール４４とに外嵌められていく。そして、ワークパレットＷＰは複数の支持ピン３２の上に載置される。
【0134】
図１７Ａのリリース状態から図１８のロック状態へ位置決め装置を切り換えるときは、リリース室８の圧油を排出するとともに、ロック室９に圧油を供給する。すると、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、ロック室９に供給された圧油の力によって、バネ１２の付勢力に抗して上昇していく。出力ロッド１４が上昇すると、出力ロッド１４に形成されている押出し面４８が柱状部２ａのボール４４を径方向の外方へ押し出す。その結果、ボール４４がワークパレットＷＰの孔５の内周面を押す。これにより、位置決め装置は、図１８のロック状態となる。
【0135】
出力ロッド１４が上昇しながらその押出し面４８がボール４４を径方向の外方へ押し出すとき、押出し面４８はボール４４を回転させながらボール４４を押し出す。ワークパレットＷＰの孔５の内周面にボール４４が当たると、この回転する力はワークパレットＷＰを支持ピン３２に押し付ける方向に作用する。そのため、ワークパレットＷＰを支持ピン３２から持ち上げることなくワークパレットＷＰをロック（位置決め）できる。
【0136】
ロック状態となるとき、調節部材２７の段差部２７ａが弁部材２６を上方（先端側方向）へ押して移動させ、弁部材２６の弁面３０が弁座２３ａから離間され、検出弁機構２２は開弁される。この状態で、供給路２５を経由して弁室２４に圧縮空気が供給されると、圧縮空気は、弁部材２６と第３ハウジング４の孔２３との間の隙間を通って外部へ排出される。そのため、供給路２５の圧力はほとんど上昇しない。これにより、位置決め装置のロック状態の検出が可能となる。供給路２５の圧力が所定の設定値を下回ることを圧力センサ（不図示）は検出する。これにより、位置決め装置のロック状態（操作ロッド２１等のロック位置）が検出される。
【0137】
（検出弁機構２２の事前調整）
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
【0138】
リリース状態にした位置決め装置の柱状部２ａとボール４４とにワークパレットＷＰの孔５部分を外嵌めした後、通常使用時と同様に、位置決め装置をロック状態とする。
【0139】
事前調整におけるこのロック状態で、供給路２５に圧縮空気が供給される。弁部材２６と調節部材２７の段差部２７ａとの間に隙間が生じていると、バネ２９で付勢されている弁部材２６の弁面３０が弁座２３ａに当接して検出弁機構２２が閉弁している状態となり、供給路２５の圧力が所定の設定値を上回る（圧力が高くなる）。この場合、調節部材２７を回すことで調節部材２７を第３ハウジング４の中へ押し込んでいき、供給路２５の圧力が低下した瞬間、またはその少し後、調節部材２７を止めて調節部材２７を操作ロッド２１に固定する。弁部材２６と段差部２７ａとの間に隙間が生じているか否かを容易に確認できるため、調節部材２７の段差部２７ａは、第３ハウジング４の基端部から突出していることが好ましい。
【0140】
一方、事前調整におけるロック状態において、供給路２５に圧縮空気が供給されても圧力が上昇しない場合、段差部２７ａで弁部材２６が押されてその弁面３０が弁座２３ａから離間された状態にあるということである（検出弁機構２２が開弁の状態）。このとき、弁面３０と弁座２３ａとの間にどの程度の大きさの隙間があるかわからない。そのため、まず、調節部材２７を上記とは逆方向に回すことで調節部材２７を第３ハウジング４の外へ出していき、バネ２９で付勢されている弁部材２６の弁面３０を弁座２３ａに当接させて検出弁機構２２を閉弁の状態とする。これにより、供給路２５の圧力は上昇する。その後、調節部材２７を回すことで調節部材２７を少しずつ上方へ移動させていく。供給路２５の圧力が低下した瞬間、またはその少し後、調節部材２７を止めて調節部材２７を操作ロッド２１に固定する。このようにして、弁面３０と弁座２３ａとの間に僅かな隙間が形成されるようにする。なお、位置決め装置をリリース状態にして、リリース状態において供給路２５の圧力が上昇することを確認とよりよい。
【0141】
上記のような事前調整を位置決め装置に行っておくと、位置決め装置を実際に使用して、位置決め装置が図１８に示すロック状態となったとき、弁部材２６の弁面３０が弁座２３ａから適切に離間され、検出弁機構２２は開弁される。検出弁機構２２は、位置決め装置がロック状態になるタイミングに合わせて開弁される。
【0142】
図１８のロック状態から図１７Ａのリリース状態へ位置決め装置を切り換えるときは、ロック室９の圧油を排出するとともに、リリース室８に圧油を供給する。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、リリース室８に供給された圧油の力およびバネ１２の付勢力によって下降していく。出力ロッド１４が下降すると、出力ロッド１４に形成されている退避溝４７がボール４４に対面する位置に移動し、ボール４４が柱状部２ａの外周面よりも径方向の内方へ移動可能となる。弁部材２６の弁面３０は弁座２３ａに上方から当接され、検出弁機構２２は閉弁される。
【0143】
上記実施形態の位置決め装置は次の長所を有する。
【0144】
上記実施形態の位置決め装置によると、その操作ロッド２１等のロック位置を検出できる。また、ワークパレットＷＰに設けられた孔５の寸法に誤差があることで、操作ロッド２１等のロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合がある。ロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合に、調節部材２７の固定位置を調整することで、その誤差を小さくできる。また、位置決め装置において組み立て誤差が生じている場合にも、ロック位置検出のタイミングに誤差が生じるところ、調節部材２７の固定位置を調整することで、ロック位置検出のタイミングの誤差を小さくできる。ロック位置検出のタイミングとは、弁部材２６の弁面３０が弁座２３ａから離間するタイミング、言い換えれば、検出弁機構２２が開弁するタイミングのことである。
【0145】
【0146】
第１０実施形態では、第９実施形態と同様、リリース室８とロック室９とが第６実施形態に対して上下逆となる。第１０実施形態では、ピストン７の下側にロック室９が形成されるとともに、ピストン７の上側にリリース室８が形成される。ロック室９に連通するロック用の給排路１１が第１ハウジング２に設けられる。リリース室８に連通するリリース用の給排路１０が第１ハウジング２に設けられる。ピストン７とリリース室８とロック室９とによって油圧シリンダ（駆動手段）が構成される。
【0147】
第６実施形態と第１０実施形態とは類似する。第６実施形態と第１０実施形態との相違点は、リリース室８とロック室９とが上下逆であることに加えて、位置決め装置の先端部の構成である。位置決め装置の先端部の構成について、第９実施形態と第１０実施形態とは同じである。そのため、第１０実施形態の位置決め装置の先端部の構成の説明は割愛する。
【0148】
上記構成の位置決め装置は次のように動作する。
【0149】
図１９Ａのリリース状態では、ロック室９の圧油が排出されているとともに、リリース室８に圧油が供給されている。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが下限位置に移動している。出力ロッド１４が下降しているので、柱状部２ａのボール４４は退避溝４７内に移動可能となっている。
【0150】
このとき、調節部材２７の操作部３６が弁部材２６を下方（基端側方向）へ押して移動させている。そのため、弁部材２６の弁面３０が弁座３７から離間され（図１９Ｂ参照）、検出弁機構２２は開弁している。この状態で、供給路２５に圧縮空気が供給されると、圧縮空気は、弁室２４、および調節部材２７のフランジ部３５に設けられた溝孔３５ａを通って外部へ排出される。そのため、供給路２５の圧力はほとんど上昇しない。
【0151】
ワークパレットＷＰを何らかの昇降手段または自重によって下降させると、ワークパレットＷＰは、その孔５部分で柱状部２ａとボール４４とに外嵌められていく。
【0152】
図１９Ａのリリース状態から図２０のロック状態へ位置決め装置を切り換えるときは、リリース室８の圧油を排出するとともに、ロック室９に圧油を供給する。すると、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、ロック室９に供給された圧油の力によって上昇していく。出力ロッド１４が上昇すると、出力ロッド１４に形成されている押出し面４８が柱状部２ａのボール４４を径方向の外方へ押し出す。その結果、ボール４４がワークパレットＷＰの孔５の内周面を押す。これにより、位置決め装置は、図２０のロック状態となる。
【0153】
ロック状態となるとき、弁部材２６の弁面３０が弁座３７に当接され、弁部材２６を上方から受け止めている操作部３６が弁部材２６から離間して、検出弁機構２２は閉弁される。この状態で、供給路２５に圧縮空気が供給されると、供給路２５の圧力が上昇する。この上昇圧力が所定の設定値を上回ることを圧力センサ（不図示）は検出する。これにより、位置決め装置のロック状態（操作ロッド２１等のロック位置）が検出される。
【0154】
（検出弁機構２２の事前調整）
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
【0155】
リリース状態にした位置決め装置の柱状部２ａとボール４４とにワークパレットＷＰの孔５部分を外嵌めした後、通常使用時と同様に、位置決め装置をロック状態とする。
【0156】
事前調整におけるこのロック状態で、供給路２５に圧縮空気が供給される。供給路２５に圧縮空気が供給されても圧力が上昇しない場合、操作部３６で弁部材２６が上方から受け止められて弁面３０が弁座３７から離間された状態にあるということである（検出弁機構２２が開弁の状態）。この場合、調節部材２７を回すことで操作部３６を少しずつ上方へ移動させていく。供給路２５の圧力が上昇した瞬間、またはその少し後、調節部材２７を止めて調節部材２７を操作ロッド２１に固定する。
【0157】
一方、事前調整におけるロック状態において、供給路２５の圧力が所定の設定値を上回る場合、弁部材２６の弁面３０が弁座３７に当接した状態にあるということである（検出弁機構２２が閉弁の状態）。このとき、操作部３６と弁部材２６との間にどの程度の大きさの隙間があるかわからない。そのため、まず、調節部材２７を上記とは逆方向に回すことで操作部３６を下降させ、バネ２９で付勢されている弁部材２６を操作部３６で下方（基端側方向）へ押して移動させ検出弁機構２２を開弁の状態とする。これにより、供給路２５の圧力は低下する。その後、調節部材２７を回すことで操作部３６を少しずつ上方へ移動させていく。供給路２５の圧力が上昇した瞬間、またはその少し後、調節部材２７を止めて調節部材２７を操作ロッド２１に固定する。このようにして、操作部３６と弁部材２６との間に僅かな隙間が形成されるようにする。
【0158】
図２０のロック状態から図１９Ａのリリース状態へ位置決め装置を切り換えるときは、ロック室９の圧油を排出するとともに、リリース室８に圧油を供給する。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、リリース室８に供給された圧油の力によって下降していく。出力ロッド１４が下降すると、出力ロッド１４に形成されている退避溝４７がボール４４に対面する位置に移動し、ボール４４が柱状部２ａの外周面よりも径方向の内方へ移動可能となる。弁部材２６の弁面３０は弁座３７から離間され、検出弁機構２２は開弁される。
【0159】
上記実施形態の位置決め装置は、第９実施形態の位置決め装置と同様に次の長所を有する。
【0160】
上記実施形態の位置決め装置によると、その操作ロッド２１等のロック位置を検出できる。また、ワークパレットＷＰに設けられた孔５の寸法に誤差があることで、操作ロッド２１等のロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合がある。ロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合に、調節部材２７の固定位置を調整することで、その誤差を小さくできる。また、位置決め装置において組み立て誤差が生じている場合にも、ロック位置検出のタイミングに誤差が生じるところ、調節部材２７の固定位置を調整することで、ロック位置検出のタイミングの誤差を小さくできる。ロック位置検出のタイミングとは、弁部材２６の弁面３０が弁座３７に当接するタイミング、言い換えれば、検出弁機構２２が閉弁するタイミングのことである。
【0161】
【0162】
第１１実施形態では、第９実施形態と同様、リリース室８とロック室９とが第７実施形態に対して上下逆となる。第１１実施形態では、ピストン７の下側にロック室９が形成されるとともに、ピストン７の上側にリリース室８が形成される。ロック室９に連通するロック用の給排路１１が第１ハウジング２に設けられる。リリース室８に連通するリリース用の給排路１０が第１ハウジング２に設けられる。リリース室８にバネ１２（付勢手段）が配置される。バネ１２は、ピストン７を下方（基端側方向）へ付勢する。ピストン７とリリース室８とロック室９とバネ１２とによって油圧シリンダ（駆動手段）が構成される。バネ１２は無くてもよい。
【0163】
第７実施形態と第１１実施形態とは類似する。第７実施形態と第１１実施形態との相違点は、リリース室８とロック室９とが上下逆であることに加えて、位置決め装置の先端部の構成である。位置決め装置の先端部の構成について、第９実施形態と第１１実施形態とは同じである。そのため、第１１実施形態の位置決め装置の先端部の構成の説明は割愛する。
【0164】
上記構成の位置決め装置は次のように動作する。
【0165】
図２１Ａのリリース状態では、ロック室９の圧油が排出されているとともに、リリース室８に圧油が供給されている。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが下限位置に移動している。出力ロッド１４が下降しているので、柱状部２ａのボール４４は退避溝４７内に移動可能となっている。
【0166】
このとき、バネ２９が弁部材２６を下限位置に押し下げている。そのため、弁部材２６の弁面３０が弁座４０に当接され（図２１Ｂ参照）、検出弁機構２２は閉弁している。この状態で、供給路２５を経由して弁室２４に圧縮空気が供給されると、弁室２４の圧力が上昇する。
【0167】
ワークパレットＷＰを何らかの昇降手段または自重によって下降させると、ワークパレットＷＰは、その孔５部分で柱状部２ａとボール４４とに外嵌められていく。
【0168】
図２１Ａのリリース状態から図２２のロック状態へ位置決め装置を切り換えるときは、リリース室８の圧油を排出するとともに、ロック室９に圧油を供給する。すると、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、ロック室９に供給された圧油の力によって、バネ１２の付勢力に抗して上昇していく。出力ロッド１４が上昇すると、出力ロッド１４に形成されている押出し面４８が柱状部２ａのボール４４を径方向の外方へ押し出す。その結果、ボール４４がワークパレットＷＰの孔５の内周面を押す。これにより、位置決め装置は、図２２のロック状態となる。
【0169】
（検出弁機構２２の事前調整）
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
【0170】
リリース状態にした位置決め装置の柱状部２ａとボール４４とにワークパレットＷＰの孔５部分を外嵌めした後、通常使用時と同様に、位置決め装置をロック状態とする。
【0171】
事前調整におけるこのロック状態で、供給路２５に圧縮空気が供給される。バネ２９で付勢されている弁部材２６の弁面３０が弁座４０に当接して検出弁機構２２が閉弁していると、弁室２４の圧力が所定の設定値を上回る（圧力が高くなる）。この場合、調節部材２７を回すことで調節部材２７を第３ハウジング４の外へ出していき、弁室２４の圧力が低下した瞬間、またはその少し後、調節部材２７を止めて調節部材２７を第２ハウジング３に固定する。弁面３０と調節部材２７の弁座４０との間に僅かな隙間が形成される。弁面３０と弁座４０との間に隙間が生じているか否かを容易に確認するため、調節部材２７の、弁座４０が形成されている端部は、第２ハウジング３の基端部から突出していることが好ましい。
【0172】
一方、事前調整におけるロック状態において、供給路２５に圧縮空気が供給されても弁室２４の圧力が上昇しない場合、弁部材２６の弁面３０が弁座４０から離間された状態にあるということである（検出弁機構２２が開弁の状態）。このとき、弁面３０と弁座４０との間にどの程度の大きさの隙間があるかわからない。そのため、まず、調節部材２７を上記とは逆方向に回すことで調節部材２７を第３ハウジング４のへ押し込んでいき、バネ２９で付勢されている弁部材２６の弁面３０に弁座４０を当接させて検出弁機構２２を閉弁の状態とする。これにより、弁室２４の圧力は上昇する。その後、調節部材２７を回すことで調節部材２７を少しずつ下方へ移動させていく。弁室２４の圧力が低下した瞬間、またはその少し後、調節部材２７を止めて調節部材２７を第２ハウジング３に固定する。このようにして、弁面３０と弁座４０との間に僅かな隙間が形成されるようにする。なお、位置決め装置をリリース状態にして、リリース状態において弁室２４の圧力が上昇することを確認するとよりよい。
【0173】
上記のような事前調整を位置決め装置に行っておくと、位置決め装置を実際に使用して、位置決め装置が図２２に示すロック状態となったとき、弁部材２６の弁面３０が弁座４０から適切に離間され、検出弁機構２２は開弁される。この状態で、供給路２５を経由して弁室２４に圧縮空気が供給されると、圧縮空気は、弁部材２６と調節部材２７との間を通って外部へ排出される。そのため、弁室２４の圧力はほとんど上昇しない。弁室２４の圧力が所定の設定値を下回ることを圧力センサ（不図示）は検出する。これにより、位置決め装置のロック状態（操作ロッド２１等のロック位置）が検出される。
【0174】
図２２のロック状態から図２１Ａのリリース状態へ位置決め装置を切り換えるときは、ロック室９の圧油を排出するとともに、リリース室８に圧油を供給する。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、リリース室８に供給された圧油の力およびバネ１２の付勢力によって下降していく。出力ロッド１４が下降すると、出力ロッド１４に形成されている退避溝４７がボール４４に対面する位置に移動し、ボール４４が柱状部２ａの外周面よりも径方向の内方へ移動可能となる。弁部材２６の弁面３０は弁座４０に上方から当接され、検出弁機構２２は閉弁される。
【0175】
上記実施形態の位置決め装置は、第９実施形態の位置決め装置と同様に次の長所を有する。
【0176】
上記実施形態の位置決め装置によると、その操作ロッド２１等のロック位置を検出できる。また、ワークパレットＷＰに設けられた孔５の寸法に誤差があることで、操作ロッド２１等のロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合がある。ロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合に、調節部材２７の固定位置を調整することで、その誤差を小さくできる。また、位置決め装置において組み立て誤差が生じている場合にも、ロック位置検出のタイミングに誤差が生じるところ、調節部材２７の固定位置を調整することで、ロック位置検出のタイミングの誤差を小さくできる。ロック位置検出のタイミングとは、弁部材２６の弁面３０が弁座４０から離間するタイミング、言い換えれば、検出弁機構２２が開弁するタイミングのことである。
【0177】
【0178】
第１２実施形態では、第９実施形態と同様、リリース室８とロック室９とが第６実施形態に対して上下逆となる。第１２実施形態では、ピストン７の下側にロック室９が形成されるとともに、ピストン７の上側にリリース室８が形成される。ロック室９に連通するロック用の給排路１１が第１ハウジング２に設けられる。リリース室８に連通するリリース用の給排路１０が第１ハウジング２に設けられる。ピストン７とリリース室８とロック室９とによって油圧シリンダ（駆動手段）が構成される。
【0179】
第８実施形態と第１２実施形態とは類似する。第８実施形態と第１２実施形態との相違点は、リリース室８とロック室９とが上下逆であることに加えて、位置決め装置の先端部の構成である。位置決め装置の先端部の構成について、第９実施形態と第１２実施形態とは同じである。そのため、第１２実施形態の位置決め装置の先端部の構成の説明は割愛する。
【0180】
上記構成の位置決め装置は次のように動作する。
【0181】
図２３Ａのリリース状態では、ロック室９の圧油が排出されているとともに、リリース室８に圧油が供給されている。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが下限位置に移動している。出力ロッド１４が下降しているので、柱状部２ａのボール４４は退避溝４７内に移動可能となっている。
【0182】
このとき、弁部材２６の弁面３０が大径部３８ａの弁座４１から離間され（図２３Ｂ参照）、検出弁機構２２は開弁している。この状態で、供給路２５に圧縮空気が供給されると、圧縮空気は、弁室２４、および調節部材２７に設けられた孔４２を通って外部へ排出される。そのため、弁室２４の圧力はほとんど上昇しない。
【0183】
ワークパレットＷＰを何らかの昇降手段または自重によって下降させると、ワークパレットＷＰは、その孔５部分で柱状部２ａとボール４４とに外嵌められていく。
【0184】
図２３Ａのリリース状態から図２４のロック状態へ位置決め装置を切り換えるときは、リリース室８の圧油を排出するとともに、ロック室９に圧油を供給する。すると、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、ロック室９に供給された圧油の力によって上昇していく。出力ロッド１４が上昇すると、出力ロッド１４に形成されている押出し面４８が柱状部２ａのボール４４を径方向の外方へ押し出す。その結果、ボール４４がワークパレットＷＰの孔５の内周面を押す。これにより、位置決め装置は、図２４のロック状態となる。
【0185】
ロック状態となるとき、大径部３８ａの弁座４１が弁部材２６の弁面３０に当接され、検出弁機構２２は閉弁される。この状態で、供給路２５に圧縮空気が供給されると、弁室２４の圧力が上昇する。この上昇圧力が所定の設定値を上回ることを圧力センサ（不図示）は検出する。これにより、位置決め装置のロック状態（操作ロッド２１等のロック位置）が検出される。
【0186】
（検出弁機構２２の事前調整）
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
位置決め装置を動作させる前（上記のようにして位置決め装置を実際に使用する前）、次のような事前調整が行われる。
【0187】
リリース状態にした位置決め装置の柱状部２ａとボール４４とにワークパレットＷＰの孔５部分を外嵌めした後、通常使用時と同様に、位置決め装置をロック状態とする。
【0188】
事前調整におけるこのロック状態で、供給路２５に圧縮空気が供給される。弁室２４の圧力が上昇しない場合、調節部材２７を回すことで調節部材２７を少しずつ下降させていく。調節部材２７の下降に伴い、調節部材２７で受け止められているとともにバネ２９で付勢されている弁部材２６も下降していく。弁部材２６が下降してその弁面３０が大径部３８ａの弁座４１に当接すると弁室２４の圧力は上昇する。弁室２４の圧力が上昇した瞬間、またはその少し後、調節部材２７を止めて調節部材２７を第２ハウジング３に固定する。
【0189】
一方、事前調整におけるロック状態において、供給路２５に圧縮空気が供給されて弁室２４の圧力が上昇する場合、弁面３０と弁座４１とが当接された状態にあるということである（検出弁機構２２が開弁の状態）。このとき、弁面３０と弁座４１とが当接していてもその状態で弁部材２６が比較的大きく上昇しているとロック位置検出のタイミングはロック位置とずれる。そのため、まず、調節部材２７を上記とは逆方向に回すことで調節部材２７を上昇させ、バネ２９で付勢されている弁部材２６の弁面３０を弁座４１から離間させて検出弁機構２２を開弁の状態とする。これにより、弁室２４の圧力は低下する。その後、調節部材２７を回すことで調節部材２７を少しずつ下降させていく。弁部材２６が下降してその弁面３０が大径部３８ａの弁座４１に当接すると弁室２４の圧力は上昇する。弁室２４の圧力が上昇した瞬間、またはその少し後、調節部材２７を止めて調節部材２７を第２ハウジング３に固定する。このようにして、ロック位置検出のタイミングを調整する。
【0190】
図２４のロック状態から図２３Ａのリリース状態へ位置決め装置を切り換えるときは、ロック室９の圧油を排出するとともに、リリース室８に圧油を供給する。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、リリース室８に供給された圧油の力によって下降していく。出力ロッド１４が下降すると、出力ロッド１４に形成されている退避溝４７がボール４４に対面する位置に移動し、ボール４４が柱状部２ａの外周面よりも径方向の内方へ移動可能となる。弁部材２６の弁面３０から弁座４１は離間され、検出弁機構２２は開弁される。
【0191】
上記実施形態の位置決め装置は、第９実施形態の位置決め装置と同様に次の長所を有する。
【0192】
上記実施形態の位置決め装置によると、その操作ロッド２１等のロック位置を検出できる。また、ワークパレットＷＰに設けられた孔５の寸法に誤差があることで、操作ロッド２１等のロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合がある。ロック位置検出のタイミングに誤差が生じている場合に、調節部材２７の固定位置を調整することで、その誤差を小さくできる。また、位置決め装置において組み立て誤差が生じている場合にも、ロック位置検出のタイミングに誤差が生じるところ、調節部材２７の固定位置を調整することで、ロック位置検出のタイミングの誤差を小さくできる。ロック位置検出のタイミングとは、弁受け部材３８の弁座４１が弁部材２６の弁面３０に当接するタイミング、言い換えれば、検出弁機構２２が閉弁するタイミングのことである。
【0193】
（第１３実施形態）
図２５、図２６は、第１３実施形態を示す。第５実施形態と第１３実施形態とは類似する。第５実施形態および第１３実施形態は、いずれも、ピストン７が下方（基端側方向）へ移動することでロック状態となる装置である。第５実施形態と第１３実施形態との相違点は、位置決め装置の先端部の構成である。第１３実施形態の位置決め装置の先端部は次のように構成される。
図２５、図２６は、第１３実施形態を示す。第５実施形態と第１３実施形態とは類似する。第５実施形態および第１３実施形態は、いずれも、ピストン７が下方（基端側方向）へ移動することでロック状態となる装置である。第５実施形態と第１３実施形態との相違点は、位置決め装置の先端部の構成である。第１３実施形態の位置決め装置の先端部は次のように構成される。
【0194】
第１ハウジング２の柱状部２ａの周壁に複数のガイド孔４３が周方向へ所定間隔をあけて形成される。各ガイド孔４３に、押圧部材としてのロック部材４９（柱状部材）が挿入される。ガイド孔４３によって、出力ロッド１４の径方向へ各ロック部材４９が移動可能に支持される。
【0195】
ロック部材４９の出力ロッド１４側の面は、下方（基端側方向）へ向かうにつれて出力ロッド１４の軸心に近づく傾斜面４９ａとされる。本実施形態では、３つのロック部材４９が各ガイド孔４３にそれぞれ１つずつ挿入されるが、ロック部材４９は３つに限定されない。
【0196】
傾斜面４９ａに先端側から係合する楔面１４ａが出力ロッド１４の先端部に形成される。楔面１４ａは、ロック部材４９の数に対応して３つ設けられる。本実施形態では、楔面１４ａおよび傾斜面４９ａはいずれも平面によって構成されている。３つのロック部材４９の下部および柱状部２ａには、ゴムなどの弾性材料からなる薄肉のリング５０が装着される。リング５０の弾性力によって、各ロック部材４９は、出力ロッド１４の軸心へ向けて半径方向の内方へ付勢される。
【0197】
第１実施形態の位置決め装置と第１３実施形態の位置決め装置との動作の違いは、位置決め装置の先端部の押圧部材部分の動きのみであり、検出弁機構２２の動作は同じである。また、第１３実施形態における検出弁機構２２の事前調整の方法は、第１実施形態と同じである。そのため、第１３実施形態の位置決め装置の動作については押圧部材部分の動きのみ説明する。
【0198】
図２５のリリース状態では、ロック室９の圧油が排出されているとともに、リリース室８に圧油が供給されている。これにより、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが上限位置に移動している。ロック部材４９は、リング５０の弾性力によって出力ロッド１４の軸心方向へ移動している（縮径状態とされている）。
【0199】
図２５のリリース状態から図２６のロック状態へ位置決め装置を切り換えるときは、リリース室８の圧油を排出するとともに、ロック室９に圧油を供給する。すると、ピストン７と出力ロッド１４と操作ロッド２１とが、ロック室９に供給された圧油の力およびバネ１２の付勢力によって下降していく。出力ロッド１４が下降すると、出力ロッド１４の楔面１４ａによってロック部材４９は半径方向の外方へ移動される。その結果、ロック部材４９がワークパレットＷＰの孔５の内周面を押す。これにより、位置決め装置は、図２６のロック状態となる。
【0200】
押圧部材としてのボール４４を用いた第５実施形態から第１２実施形態の場合と異なり、ロック部材４９は回転しない。そのため、ワークパレットＷＰを持ち上げる方向に作用する力はワークパレットＷＰの孔５に作用しない。ロック部材４９は、ワークパレットＷＰの孔５の内周面に当接する面積がボール４４に比べて広いので、ロック部材４９によると、ワークパレットＷＰの孔５の内周面に作用する力を分散させることができる（第１実施形態から第４実施形態に示す押圧部材１８においても同様）。
【0201】
第１３実施形態の位置決め装置は、第５実施形態の位置決め装置と同様の長所を有する。
【0202】
図示を省略するが、第６実施形態から第８実施形態の位置決め装置の先端部を、それぞれ、第１３実施形態の位置決め装置の先端部に代えてもよい。
【0203】
また、第１３実施形態の位置決め装置のロック部材４９について、ロック部材４９の出力ロッド１４側の面である傾斜面４９ａは、下方（基端側方向）へ向かうにつれて出力ロッド１４の軸心に近づくことに代えて、上方（先端側方向）へ向かうにつれて出力ロッド１４の軸心に近づく傾斜面４９ａとされてもよい。当該傾斜面４９ａに先端側から係合する楔面１４ａも同様である。このように変形すると、押圧部材として柱状部材を備える位置決め装置は、第９実施形態の位置決め装置と同じく、ピストン７が上方（先端側方向）へ移動することでロック状態となる装置となる。さらには、第１０実施形態から第１２実施形態の位置決め装置の先端部を、それぞれ、本段落に記載の変形例（不図示）のような、上方（先端側方向）へ向かうにつれて出力ロッド１４の軸心に近づく傾斜面４９ａを有するロック部材等から構成された先端部に代えてもよい。このように変形すると、ピストン７が上方（先端側方向）へ移動することでロック状態となる装置となる。
【0204】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上記実施形態の要素を適宜組み合わせたり、上記実施形態に種々の変更を加えたりすることが可能である。
【0205】
例えば、上記の実施形態は次のように変更可能である。
【0206】
位置決め装置が固定される固定台は、工作機械のテーブルに固定されたベースプレートＢＰに限定されず、その他の固定台であってもよい。
【0207】
位置決め対象物は、ワークパレットＷＰに限られず、ワークまたは金型などであってもよい。
【0208】
位置決め装置を構成する駆動手段として、油圧シリンダに代えて空圧シリンダが用いられてもよい。すなわち、ピストン７（位置決め装置）を駆動する圧力流体は、圧油（油）等の液体に代えて、圧縮空気等の圧縮ガス（気体）であってもよい。
【0209】
外傾斜面１７は、柱状部２ａの外周面の全体にテーパー状に形成されるのに代えて、柱状部２ａの外周面の一部分に平面状に形成されてもよい。
【0210】
押圧部材１８は、外傾斜面１７に周方向へ環状に配置されるのに代えて、複数の押圧部材が外傾斜面１７に周方向へ所定の間隔をあけて配置されてもよい。
【0211】
弁室２４に供給される圧力流体は、圧縮空気に代えて、他の気体、または圧油や水等の液体であってもよい。
【0212】
付勢手段は、バネ２９に代えて、ゴム等の弾性部材などであってもよい。
【0213】
検出弁機構２２の事前調整について、第１、第３実施形態の説明では、目視で行う場合の事前調整方法を記載した。検出弁機構２２の事前調整は、目視で行うことに代えて、第２実施形態等の説明で記載した圧縮空気を用いた方法で行ってもよい（第５、第７、第１３実施形態においても同様）。
【0214】
位置決め装置の設置姿勢は、縦向き姿勢に限定されない。位置決め装置の設置姿勢は、横向き姿勢、または斜め姿勢であってもよい。
【符号の説明】
【0215】
１：ハウジング、２ａ：柱状部、５：孔、７：ピストン、１４：出力ロッド、１７：外傾斜面、１８：押圧部材、２１：操作ロッド、２２：検出弁機構、２３ａ：弁座、２４：弁室、２６：弁部材、２７：調節部材、２７ａ：段差部、２９：バネ（付勢手段）、３０：弁面、３６：操作部、３７：弁座、３８：弁受け部材、４０：弁座、４１：弁座、４３：ガイド孔、４４：ボール（押圧部材、球体）、４９：ロック部材（押圧部材、柱状部材）ＷＰ：ワークパレット（位置決め対象物）
【図1A】
【図1B】
【図2A】
【図2B】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図5A】
【図5B】
【図6】
【図7】
【図8A】
【図8B】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17A】
【図17B】
【図18】
【図19A】
【図19B】
【図20】
【図21A】
【図21B】
【図22】
【図23A】
【図23B】
【図24】
【図25】
【図26】
