特開 2024-162999 変位検出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024162999

(43)【公開日】2024-11-21

(54)【発明の名称】変位検出装置

(51)【国際特許分類】

   G01D 5/20 20060101AFI20241114BHJP

【ＦＩ】

G01D5/20 110Q

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024005135

(22)【出願日】2024-01-17

(31)【優先権主張番号】P 2023077643

(32)【優先日】2023-05-10

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000003609

【氏名又は名称】株式会社豊田中央研究所

(74)【代理人】

【識別番号】110001210

【氏名又は名称】弁理士法人ＹＫＩ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】塩津 勇

(72)【発明者】

【氏名】高橋 健一

【テーマコード（参考）】

2F077

【Ｆターム（参考）】

2F077NN05

2F077PP06

2F077TT82

(57)【要約】

【課題】発熱を抑制しつつ、相対変位量の空間的な分解能を高めた変位検出装置を提供する。
【解決手段】蛇行する第１コイル配線を有するステータ１０と、蛇行する第２コイル配線を有するスライダ１２と、を第１コイル配線と第２コイル配線を平行に向かい合わせるように配置し、第１コイル配線と第２コイル配線との間に第１コイル配線及び第２コイル配線の蛇行形状が連続する方向に沿って磁性の異なる部材を交互に配置した変調子１４を設け、ステータ１０とスライダ１２との相対変位量を計測する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

蛇行する第１コイル配線を有するステータと、蛇行する第２コイル配線を有するスライダと、を前記第１コイル配線と前記第２コイル配線を平行に向かい合わせるように配置し、
前記第１コイル配線と前記第２コイル配線との間に、前記第１コイル配線及び前記第２コイル配線の蛇行形状が連続する方向に沿って磁性の異なる部材を交互に配置した変調子を設け、
前記ステータと前記スライダとの相対変位量を計測する変位検出装置。

【請求項2】

請求項１に記載の変位検出装置であって、
前記変調子における前記磁性の異なる部材の配置のピッチは、前記第１コイル配線及び前記第２コイル配線の蛇行のピッチと異なることを特徴とする変位検出装置。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の変位検出装置であって、
前記変調子における前記磁性の異なる部材は、非磁性体と磁性体であることを特徴とする変位検出装置。

【請求項4】

請求項１に記載の変位検出装置であって、
前記第１コイル配線の励磁電流を流したときに生ずる磁界が前記変調子を透過して前記第２コイル配線と電磁的に結合し、
前記ステータと前記スライダが相対移動したときの位置関係の変化に応じて、前記第１コイル配線と前記第２コイル配線との電磁結合度が周期的に変化することで前記第２コイル配線に周期的に変化する誘起電圧を用いて前記ステータと前記スライダとの相対変位量を計測することを特徴とする変位検出装置。

【請求項5】

請求項４に記載の変位検出装置であって、
前記誘起電圧において前記励磁電流の基本周波数とは異なる周波数成分を発生させ、当該周波数成分を用いて前記ステータと前記スライダとの相対変位量を計測することを特徴とする変位検出装置。

【請求項6】

請求項１に記載の変位検出装置であって、
前記第１コイル配線に励磁電流を流したときに生ずる磁界を前記変調子によって変調させて前記第１コイル配線の前記蛇行方向に沿った単位距離当たりの極数と異なる高調波成分を含む変調磁界を発生させ、前記変調磁界と前記第２コイル配線とを電磁気的に結合させて使用され、
前記第２コイル配線の前記蛇行方向に沿った単位距離当たりの極数は、前記変調磁界の前記高調波成分の前記蛇行方向に沿った周期と不等であることを特徴とする変位検出装置。

【請求項7】

請求項６に記載の変位検出装置であって、
前記第２コイル配線の前記蛇行方向に沿った単位距離当たりの極数は、前記変調磁界の前記高調波成分の前記蛇行方向に沿った周期の１．５倍であることを特徴とする変位検出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、相対変位量を計測する変位検出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

２つのミアンダコイルを向かい合わせて、ミアンダコイルの間の相対変位量を検出する電磁誘導式位置検出装置が開示されている（特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９－１９２２９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、ミアンダコイルに電流を流すことで生ずる磁界の空間的な周期は、当該ミアンダコイルのピッチに等しく、またその磁界の周期が相対変位量の分解能に直結している。そのため、従来技術においては、磁界の周期を細かくするためにミアンダコイルの配線幅を狭くすることによってピッチも狭くする方法が採用されていた。

【0005】

しかしながら、ミアンダコイル間における磁界の検出感度を維持するためには磁界を発生させるために必要な電流量は低減できないため、配線幅を狭くすることによって配線の断面積が減少すると、配線の電気抵抗が増大し、ミアンダコイルにおける発熱が大きくなるという問題があった。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の１つの態様は、蛇行する第１コイル配線を有するステータと、蛇行する第２コイル配線を有するスライダと、を前記第１コイル配線と前記第２コイル配線を平行に向かい合わせるように配置し、前記第１コイル配線と前記第２コイル配線との間に、前記第１コイル配線及び前記第２コイル配線の蛇行形状が連続する方向に沿って磁性の異なる部材を交互に配置した変調子を設け、前記ステータと前記スライダとの相対変位量を計測する変位検出装置である。

【0007】

ここで、前記変調子における前記磁性の異なる部材の配置のピッチは、前記第１コイル配線及び前記第２コイル配線の蛇行のピッチと異なることが好適である。

【0008】

また、前記変調子における前記磁性の異なる部材は、非磁性体と磁性体であることが好適である。

【0009】

また、前記第１コイル配線の励磁電流を流したときに生ずる磁界が前記変調子を透過して前記第２コイル配線と電磁的に結合し、前記ステータと前記スライダが相対移動したときの位置関係の変化に応じて、前記第１コイル配線と前記第２コイル配線との電磁結合度が周期的に変化することで前記第２コイル配線に周期的に変化する誘起電圧を用いて前記ステータと前記スライダとの相対変位量を計測することが好適である。

【0010】

また、前記誘起電圧において前記励磁電流の基本周波数とは異なる周波数成分を発生させ、当該周波数成分を用いて前記ステータと前記スライダとの相対変位量を計測することが好適である。

【0011】

また、前記第１コイル配線に励磁電流を流したときに生ずる磁界を前記変調子によって変調させて前記第１コイル配線の前記蛇行方向に沿った単位距離当たりの極数と異なる高調波成分を含む変調磁界を発生させ、前記変調磁界と前記第２コイル配線とを電磁気的に結合させて使用され、前記第２コイル配線の前記蛇行方向に沿った単位距離当たりの極数は、前記変調磁界の前記高調波成分の前記蛇行方向に沿った周期と不等であることが好適である。

【0012】

また、前記第２コイル配線の前記蛇行方向に沿った単位距離当たりの極数は、前記変調磁界の前記高調波成分の前記蛇行方向に沿った周期の１．５倍であることが好適である。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、発熱を抑制しつつ、相対変位量の空間的な分解能を高めた変位検出装置を提供することができる。また、変位検出の感度も高めた変位検出装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の実施の形態における変位検出装置の構成を示す図である。

【図2】本発明の実施の形態におけるステータ、スライダ及び変調子の形状及び配置を示す斜視図である。

【図3】本発明の実施の形態におけるステータ、スライダ及び変調子の形状を示す分解斜視図である。

【図4】本発明の実施の形態における変調子の構成の例を示す図である。

【図5】変調子を設けていない場合の磁場を示す図である。

【図6】本発明の実施の形態における変位検出の方法を説明する図である。

【図7】変調子を設けた場合の磁場を示す図である。

【図8】本発明の実施の形態における磁場強度及びコイル電圧の例を示す図である。

【図9】本発明の実施の形態におけるコイル電圧の基本波成分及び高調波成分を示す図である。

【図10】変位検出装置の課題を説明する図である。

【図11】本発明の変形例における変位検出の方法を説明する図である。

【図12】本発明の変形例におけるスライダでの発生電圧を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

［基本構成］
本発明の実施の形態における変位検出装置１００は、図１に示すように、ステータ１０、スライダ１２、変調子１４、電源１６、フィルタ１８及び信号処理部２０を含んで構成される。

【0016】

変位検出装置１００は、電源１６からステータ１０へ供給される電流によって磁界を発生させ、当該磁界を変調子１４によって変調させたうえでスライダ１２に作用させることによってステータ１０に対するスライダ１２の相対的な変位量を検出する。

【0017】

図２は、ステータ１０、スライダ１２及び変調子１４の形状及び配置の１例を示す斜視図である。また、図３は、ステータ１０、スライダ１２及び変調子１４の形状を明確にしめすための分解斜視図である。

【0018】

ステータ１０は、変位検出装置１００において、磁界を発生させるための第１コイル配線を含んで構成される。第１コイル配線は、導体を波形に蛇行する形状に形成したミアンダコイルとすることが好適である。ステータ１０の第１コイル配線に対して励磁電流Ｉを流すことによって磁界を発生させることができる。

【0019】

ステータ１０は、図２に示すように、第１コイル配線が蛇行する方向（Ｘ方向）に沿って、第１コイル配線の線幅Ｗ１、配線間ギャップＧ１及びピッチＰｓｔを有する。ピッチＰｓｔは、蛇行する方向（Ｘ方向）に沿った第１コイル配線の１周期分の幅である。

【0020】

スライダ１２は、変位検出装置１００において、ステータ１０によって発生させた磁界を受けて電圧を発生させる第２コイル配線を含んで構成される。第２コイル配線は、導体を波形に蛇行する形状に形成したミアンダコイルとすることが好適である。

【0021】

スライダ１２は、図２に示すように、第２コイル配線が蛇行する方向（Ｘ方向）に沿って、第２コイル配線の線幅Ｗ２、配線間ギャップＧ２及びピッチＰｓｌを有する。ピッチＰｓｌは、蛇行する方向（Ｘ方向）に沿った第２コイル配線の１周期分の幅である。

【0022】

変調子１４は、変位検出装置１００において、ステータ１０によって発生させた磁界を空間的な周期を変調させる部材である。変調子１４は、ステータ１０を構成する第１コイル配線とスライダ１２を構成する第２コイル配線の蛇行形状が連続する方向に沿って磁性の異なる部材を交互に配置して構成される。変調子１４において、図３に示すように、ステータ１０の第１コイル配線及びスライダ１２の第２コイル配線が蛇行する方向（Ｘ方向）に対して交差している領域が変調子有効領域Ｌ３である。変調子１４の変調子有効領域Ｌ３は、ステータ１０及びスライダ１２の少なくとも一部と重なり合うように配置される。

【0023】

図４は、変調子１４の形状の例を示す。図４（ａ）に示すように、変調子１４は、梯子形状の磁性体１４ａとすることができる。この場合、変調子１４は、ステータ１０を構成する第１コイル配線とスライダ１２を構成する第２コイル配線の蛇行形状が連続する方向に沿って、梯子形状の磁性体１４ａと間隙部分の空気とが交互に配置された構成となっている。磁性体１４ａを空気と透磁率の異なる材料とすることによって、磁性体１４ａが配置された領域と間隙の空気の領域との磁性が異なるものとなってステータ１０によって発生させた磁界を空間的に変調させることができる。

【0024】

また、図４（ｂ）に示すように、変調子１４は、蛇行形状の磁性体１４ａとすることができる。すなわち、変調子１４は、ステータ１０を構成する第１コイル配線とスライダ１２を構成する第２コイル配線の蛇行形状が連続する方向に沿って、蛇行形状の磁性体１４ａと間隙部分の空気とが交互に配置された構成となっている。当該構成においても、磁性体１４ａを空気と透磁率の異なる材料とすることによって、磁性体１４ａが配置された領域と間隙の空気の領域との磁性が異なるものとなってステータ１０によって発生させた磁界を空間的に変調させることができる。

【0025】

また、図４（ｃ）に示すように、変調子１４は、棒状の第１の磁性体１４ａを平板状の第２の磁性体１４ｂに埋め込んだ構成とすることができる。すなわち、変調子１４は、ステータ１０を構成する第１コイル配線とスライダ１２を構成する第２コイル配線の蛇行形状が連続する方向に沿って、第１の磁性体１４ａと第２の磁性体１４ｂとが交互に配置された構成となっている。第１の磁性体１４ａを第２の磁性体１４ｂと透磁率の異なる材料とすることによって、第１の磁性体１４ａが配置された領域と第２の磁性体１４ｂが配置された領域との磁性が異なるものとなってステータ１０によって発生させた磁界を空間的に変調させることができる。

【0026】

なお、変調子１４の形状は、上記例に限定されるものではなく、ステータ１０を構成する第１コイル配線とスライダ１２を構成する第２コイル配線の蛇行形状が連続する方向に沿って磁性の異なる部材を交互に配置したものであればよい。

【0027】

変調子１４は、図２に示すように、ステータ１０及びスライダ１２が蛇行する方向（Ｘ方向）に沿って、磁性体１４ａ（第１の磁性体１４ａ）の線幅Ｗ３、磁性体１４ａのギャップＧ３（第２の磁性体１４ｂ）及びピッチＰｍを有する。ピッチＰｍは、ステータ１０及びスライダ１２が蛇行する方向（Ｘ方向）に沿った変調子１４の１周期分の幅である。変調子１４の線幅Ｗ３、ギャップＧ３及びピッチＰｍは、ステータ１０の第１コイル配線の線幅Ｗ１、配線間ギャップＧ１及びピッチＰｓｔと異ならせる。

【0028】

電源１６は、ステータ１０を構成する第１コイル配線に接続され、ステータ１０に交流の励磁電流Ｉを供給する。電源１６からステータ１０の第１コイル配線に励磁電流Ｉが供給されると磁場が発生する。スライダ１２の第２コイル配線には、当該磁場に応じて電磁誘導によって電圧Ｖが誘起される。

【0029】

フィルタ１８は、スライダ１２に発生する電圧に対して所定の周波数成分のみを透過させるフィルタである。フィルタ１８が透過する所定の周波数は、ステータ１０からの磁場によってスライダ１２に励起された電圧の周波数とすることが好適である。

【0030】

信号処理部２０は、フィルタ１８を介して得られたスライダ１２に励起された電圧の変動からステータ１０とスライダ１２との相対的な位置変化を検出する。

【0031】

ステータ１０とスライダ１２との間に変調子１４が設けられていない場合、励磁電流Ｉによって励起される磁場は、図５に示すように、ステータ１０の第１コイル配線が蛇行する方向（Ｘ方向）に沿って、ステータ１０のピッチＰｓｔの周期で変化する。このような磁場中において、図６に示すように、スライダ１２が位置Ａにある場合、ステータ１０とスライダ１２のパターンが一致するのでステータ１０とスライダ１２との電磁結合は正方向に最大になる。ステータ１０及びスライダ１２が蛇行する方向（Ｘ方向）に沿ってスライダ１２を位置Ａからスライダ１２のピッチＰｓｌの１／４ずれた位置Ｂに移動させた場合、スライダ１２の第２コイル配線がステータ１０の第１コイル配線の中間に位置するのでステータ１０とスライダ１２との電磁結合は０になる。さらに、スライダ１２を位置Ａからスライダ１２のピッチＰｓｌの１／２ずれた位置Ｃに移動させた場合、スライダ１２の第２コイル配線は位置Ａとは逆方向の関係になるのでステータ１０とスライダ１２との電磁結合は負方向に最大になる。さらに、スライダ１２を位置Ａからスライダ１２のピッチＰｓｌの３／４ずれた位置Ｄに移動させた場合、スライダ１２の第２コイル配線がステータ１０の第１コイル配線の中間に位置するのでステータ１０とスライダ１２との電磁結合は０になる。第１コイル配線のピッチＰｓｔと第２コイル配線スライダのピッチＰｓｌが異なる場合は、互いの配線が重なる面積が最大である場合、ステータ１０とスライダ１２との電磁結合は正方向に最大になる。また、前述面積が最小である場合、ステータ１０とスライダ１２との電磁結合は負方向に最大になる。

【0032】

したがって、蛇行する方向（Ｘ方向）に沿ってステータ１０に対してスライダ１２が相対的に移動させられた場合、スライダ１２に生ずる電圧の変動をカウントすることによって相対的な位置変化を検出することができる。

【0033】

ステータ１０とスライダ１２との間に変調子１４が設けられている場合、励磁電流Ｉによって励起される磁場は、図７に示すように、ステータ１０の第１コイル配線が蛇行する方向（Ｘ方向）に沿って変調子１４によって変調される。

【0034】

変調子１４によって変調された磁場は、数式（１）及び数式（２）の２つの高調波成分を持った磁界となる。ここで、Ｐｓｔは、単位距離当たりのステータ１０側の第１コイル配線の極数（ピッチ数）である。また、Ｐｍは、単位距離当たりの変調子１４の極数（ピッチ数）である。また、Ｐｖは、単位距離当たりのスライダ１２側の第２コイル配線に発生する電圧の周期である。
（数１）
｜Ｐｓｔ＋Ｐｍ｜＝Ｐｖ・・・（１）
（数２）
｜Ｐｓｔ－Ｐｍ｜＝Ｐｖ・・・（２）

【0035】

図８は、ステータ１０から生じ、変調子１４を透過した後の磁場強度（太実線）と、スライダ１２に生じた電圧の基本波（太破線）と高調波（細一点鎖線）について示す。図８では、１例として、ステータ１０の極数が１０、変調子１４の極数が１２の場合について示している。図９は、図８に示した磁場強度を高速フーリエ変換したときの周波数成分を示す。図９に示すように、ステータ１０の極数が１０、変調子１４の極数が１２の場合、極数１０に基本波成分が表れ、極数２２に数式（１）で示される高調波成分が表れる。

【0036】

信号処理部２０は、蛇行する方向（Ｘ方向）に沿ってステータ１０に対してスライダ１２が相対的に移動させられた場合、スライダ１２に生ずる電圧における当該高調波成分の変動をカウントすることによって相対的な位置変化を検出する。このようにスライダ１２に生じた電圧に含まれる当該高調波成分を用いることによって、ステータ１０とスライダ１２との相対的な位置変化の空間的な分解能を高めることができる。

【0037】

以上のように、本実施の形態における変位検出装置１００によれば、相対変位量の空間的な分解能を高めた変位検出装置を提供することができる。また、ステータ１０を構成する第１コイル配線及びスライダ１２を構成する第２コイル配線の配線幅を狭くする必要がなく、相対変位量の空間的な分解能を高めると同時に発熱を抑えることができる。

【0038】

［変形例］
ステータ側ミアンダコイルとスライダ側ミアンダコイルとの間に変調子を配置することによって、図１０に示すように、ステータ側ミアンダコイルによって生成される磁界が変調されて基本波に高調波が重畳された磁界が生成される。このような磁界に対して当該高調波と同周期で蛇行したスライダ側ミアンダコイルを配置した場合、発生する電圧が打ち消し合って当該周期の電圧が減少してしまう。したがって、変位検出装置として使用した際にノイズの影響が大きくなるという技術的な課題があった。

【0039】

本変形例では、スライダ１２の第２コイル配線の極数（ピッチ数）Ｐｓｌは、単位距離当たりのスライダ１２の第２コイル配線に発生する電圧の周期Ｐｖと等しくならない（不等となる）ように設定する。特に、スライダ１２の第２コイル配線の極数（ピッチ数）Ｐｓｌは、単位距離当たりのスライダ１２の第２コイル配線に発生する電圧の周期Ｐｖの１．５倍となるように設定することが好適である。

【0040】

図１１は、スライダ１２の第２コイル配線の極数（ピッチ数）Ｐｓｌを、単位距離当たりのスライダ１２の第２コイル配線に発生する電圧の周期Ｐｖの１．５倍となるように設定した例を示す。図に示すように、スライダ１２の第２コイル配線において時計回り巻きのコイルとみなされる部分と鎖交する磁束は強め合い、第２コイル配線における電圧の打ち消し合いを抑制することができる。

【0041】

特に、スライダ１２の第２コイル配線の極数（ピッチ数）Ｐｓｌを、単位距離当たりのスライダ１２の第２コイル配線に発生する電圧の周期Ｐｖの１．５倍となるように設定することによって、スライダ１２に発生する電圧の高調波成分を増幅させる効果が高くなる。

【0042】

例えば、単位距離当たりのステータ１０の第１コイル配線の極数（ピッチ数）Ｐｓｔが１０、単位距離当たりの変調子１４の極数（ピッチ数）Ｐｍが２６である場合、単位距離当たりのスライダ１２の第２コイル配線に発生する電圧の基本波の周期は１０になる。そして、｜Ｐｓｔ＋Ｐｍ｜＝｜１０＋２６｜＝３６次と｜Ｐｓｔ－Ｐｍ｜＝｜１０－２６｜＝１６次とが単位距離当たりのスライダ１２側の第２コイル配線に発生する電圧の高調波の周期となる。

【0043】

スライダ１２の第２コイル配線の極数（ピッチ数）Ｐｓｌを、単位距離当たりのスライダ１２の第２コイル配線に発生する電圧の周期Ｐｖ（＝３６）に設定すると、図１２において破線で示すように、スライダ１２の第２コイル配線に発生する電圧において３６次の高調波成分が打ち消し合わされて小さくなる。

【0044】

これに対して、スライダ１２の第２コイル配線の極数（ピッチ数）Ｐｓｌを、単位距離当たりのスライダ１２の第２コイル配線に発生する電圧の周期Ｐｖ（＝１６）の１．５倍である２４に設定すると、図１２において実線で示すように、スライダ１２の第２コイル配線に発生する電圧において１６次及び３６次の高調波成分が打ち消されず、スライダ１２に発生する電圧を増幅させることができる。これによって、ステータ１０とスライダ１２との相対的な位置変化の検出感度を高めることができる。

【0045】

以上のように、本実施の形態における変位検出装置１００によれば、相対変位量の空間的な分解能を高めつつ、変位検出の感度も高めることができる。

【0046】

［本願発明の構成］
［構成１］
蛇行する第１コイル配線を有するステータと、蛇行する第２コイル配線を有するスライダと、を前記第１コイル配線と前記第２コイル配線を平行に向かい合わせるように配置し、
前記第１コイル配線と前記第２コイル配線との間に、前記第１コイル配線及び前記第２コイル配線の蛇行形状が連続する方向に沿って磁性の異なる部材を交互に配置した変調子を設け、
前記ステータと前記スライダとの相対変位量を計測する変位検出装置。
［構成２］
構成１に記載の変位検出装置であって、
前記変調子における前記磁性の異なる部材の配置のピッチは、前記第１コイル配線及び前記第２コイル配線の蛇行のピッチと異なることを特徴とする変位検出装置。
［構成３］
構成１又は２に記載の変位検出装置であって、
前記変調子における前記磁性の異なる部材は、非磁性体と磁性体であることを特徴とする変位検出装置。
［構成４］
構成１～３のいずれか１項に記載の変位検出装置であって、
前記第１コイル配線の励磁電流を流したときに生ずる磁界が前記変調子を透過して前記第２コイル配線と電磁的に結合し、
前記ステータと前記スライダが相対移動したときの位置関係の変化に応じて、前記第１コイル配線と前記第２コイル配線との電磁結合度が周期的に変化することで前記第２コイル配線に周期的に変化する誘起電圧を用いて前記ステータと前記スライダとの相対変位量を計測する変位検出装置。
［構成５］
構成４に記載の変位検出装置であって、
前記誘起電圧において前記励磁電流の基本周波数とは異なる周波数成分を発生させ、当該周波数成分を用いて前記ステータと前記スライダとの相対変位量を計測する変位検出装置。
［構成６］
構成１～５のいずれか１項に記載の変位検出装置であって、
前記第１コイル配線に励磁電流を流したときに生ずる磁界を前記変調子によって変調させて前記第１コイル配線の前記蛇行方向に沿った単位距離当たりの極数と異なる高調波成分を含む変調磁界を発生させ、前記変調磁界と前記第２コイル配線とを電磁気的に結合させて使用され、
前記第２コイル配線の前記蛇行方向に沿った単位距離当たりの極数は、前記変調磁界の前記高調波成分の前記蛇行方向に沿った周期と不等であることを特徴とする変位検出装置。
［構成７］
構成６に記載の変位検出装置であって、
前記第２コイル配線の前記蛇行方向に沿った単位距離当たりの極数は、前記変調磁界の前記高調波成分の前記蛇行方向に沿った周期の１．５倍であることを特徴とする変位検出装置。

【符号の説明】

【0047】

１０ ステータ、１２ スライダ、１４ 変調子、１４ａ 第１の磁性体、１４ｂ 第２の磁性体、１６ 電源、１８ フィルタ、２０ 信号処理部、１００ 変位検出装置。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】