特開 2024-163322 汚損物質量算出装置および汚損物質量算出方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024163322

(43)【公開日】2024-11-21

(54)【発明の名称】汚損物質量算出装置および汚損物質量算出方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 5/02 20060101AFI20241114BHJP

【ＦＩ】

G01N5/02 A

【審査請求】有

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024159175

(22)【出願日】2024-09-13

(62)【分割の表示】P 2021154641の分割

【原出願日】2021-09-22

(71)【出願人】

【識別番号】000003078

【氏名又は名称】株式会社東芝

(71)【出願人】

【識別番号】598076591

【氏名又は名称】東芝インフラシステムズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001634

【氏名又は名称】弁理士法人志賀国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】茶円 豊

(72)【発明者】

【氏名】長 広明

(72)【発明者】

【氏名】原口 智

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 広崇

(72)【発明者】

【氏名】水出 隆

(57)【要約】

【課題】汚損物質の付着量を精度よく測定することができる汚損物質量測定装置および汚損物質量測定方法を提供することである。
【解決手段】実施形態によれば、筐体は、上面に開口を有する。第１水晶振動子は、第１水晶板と第１電極対を持つ。第１電極対は、第１水晶板を挟む第１金属からなる。第１水晶振動子は、筐体の内部に第１電極対の一方が開口に対向するように設けられる。第２水晶振動子は、第２水晶板と第２電極対を持つ。第２電極対は、第２水晶板を挟む第２金属からなる。第２金属は第１金属よりイオン化傾向が低い。第２水晶振動子は、筐体の内部に第２電極対の一方が開口に対向するように設けられる。第１周波数計測回路は、第１水晶振動子の共振周波数を出力する。第２周波数計測回路は、第２水晶振動子の共振周波数を出力する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

上面に開口を有する筐体と、
第１水晶板と前記第１水晶板を挟む第１金属からなる第１電極対を備え、前記筐体の内部に、前記第１電極対の一方が前記開口に対向するように設けられる第１水晶振動子と、
第２水晶板と前記第２水晶板を挟む、前記第１金属よりイオン化傾向が低い第２金属からなる第２電極対を備え、前記筐体の内部に、前記第２電極対の一方が前記開口に対向するように設けられる第２水晶振動子と、
前記第１水晶振動子の共振周波数を出力する第１周波数計測回路と、
前記第２水晶振動子の共振周波数を出力する第２周波数計測回路と
を備える汚損物質検出センサを用いて汚損物質量を算出する汚損物質量算出装置であって、
前記第１水晶振動子と前記第２水晶振動子の周波数変動差と汚損物質量との関係を規定する検量線関数に基づいて、汚損物質量を算出する汚損物質量演算部
を備える汚損物質量算出装置。

【請求項2】

前記第２水晶振動子の近傍の相対湿度の計測データを保存する計測データ保存部と、
前記相対湿度と前記検量線関数の勾配との関係を規定する導出関数に基づいて、前記検量線関数の勾配を算出する検量線決定部と
を備える請求項１に記載の汚損物質量算出装置。

【請求項3】

前記汚損物質量が閾値以上である場合に、アラームを発する報知部を備える
請求項１または請求項２に記載の汚損物質量算出装置。

【請求項4】

前記汚損物質量の変化量が閾値以上である場合に、アラームを発する報知部を備える
請求項１または請求項２に記載の汚損物質量算出装置。

【請求項5】

前記第１水晶振動子の共振周波数が閾値以上である場合に、アラームを発する報知部を備える
請求項１または請求項２に記載の汚損物質量算出装置。

【請求項6】

前記第１水晶振動子と前記第２水晶振動子の周波数変動差が閾値以上である場合に、アラームを発する報知部を備える
請求項１または請求項２に記載の汚損物質量算出装置。

【請求項7】

前記汚損物質量演算部は、前記第１水晶振動子と前記第２水晶振動子の周波数変動差が閾値以上になった場合に、前記第１水晶振動子の共振周波数と、前記第１水晶振動子と前記第２水晶振動子の周波数変動差から算出された汚損物質量との関係に基づいて、前記第１水晶振動子の共振周波数から汚損物質量を算出する
請求項１から請求項６の何れか１項に記載の汚損物質量算出装置。

【請求項8】

前記第１金属は金であり、前記第２金属は銅である
請求項１から請求項７の何れか１項に記載の汚損物質量算出装置。

【請求項9】

上面に開口を有する筐体と、
第１水晶板と前記第１水晶板を挟む第１金属からなる第１電極対を備え、前記筐体の内部に、前記第１電極対の一方が前記開口に対向するように設けられる第１水晶振動子と、
第２水晶板と前記第２水晶板を挟む、前記第１金属よりイオン化傾向が低い第２金属からなる第２電極対を備え、前記筐体の内部に、前記第２電極対の一方が前記開口に対向するように設けられる第２水晶振動子と、
前記第１水晶振動子の共振周波数を出力する第１周波数計測回路と、
前記第２水晶振動子の共振周波数を出力する第２周波数計測回路と
を備える汚損物質検出センサを用いて汚損物質量を算出する汚損物質量算出方法であって、
前記第１水晶振動子と前記第２水晶振動子の周波数変動差と汚損物質量との関係を規定する検量線関数に基づいて、汚損物質量を算出するステップ
を有する汚損物質量算出方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、汚損物質量算出装置および汚損物質量算出方法に関する。

【背景技術】

【0002】

電力設備は社会インフラストラクチャを支える重要な設備であり、長期にわたり安定して稼動できることを求められる。安定稼動のためには、電力設備の劣化状態を把握し、保全・更新を計画的に実施する必要がある。電力設備の導体支持またはバリヤなどに用いられる絶縁材料は材料自体の経年劣化や、設置環境に浮遊する塵埃または水分の付着などで絶縁特性が低下する。絶縁特性が低下すると放電やトラッキングを生じて設備停止に至る虞もあることから、絶縁材料の状態は電力設備の劣化を診断するためのバロメータになる。

【0003】

設置環境が絶縁材料の劣化に及ぼす影響は、塵埃や水分の付着だけとは限らない。絶縁材料の成分と化学反応する環境因子が存在する環境では、通常の経年劣化を上回る速度で、絶縁材料が劣化する場合がある。例えば炭酸カルシウムは、絶縁材料の無機充填材として多く使用される。炭酸カルシウムが塩素系ガスや窒素酸化物ガスなどと反応すると、絶縁材料表面に塩化カルシウムまたは硝酸カルシウムが形成される。これらの物質は相対湿度４０％ＲＨ以下の低湿度であっても大気中の水分を吸入して潮解するので、低湿度条件であっても絶縁材料の表面が結露し、絶縁材料の表面を漏れ電流が流れることがある。これが甚だしくなると絶縁が破壊され、最悪の場合には設備停止に至ることもある。

【0004】

電力設備に使われている絶縁材料の絶縁抵抗値を、フィールドで直接測定することは可能である。しかしながらその測定値は測定場所の雰囲気、具体的には湿度に大きく影響される。例えば乾燥した環境下では絶縁抵抗値は現状よりも高くなることが多く、絶縁材料の劣化が見逃されるケースがある。また、電力設備が絶縁不良で停止するのは、ほとんど梅雨時の高温多湿の時期である。このように抵抗値を直接測定することは実地の運用には向いているといえない。

【0005】

そこで、多変量解析などの数値的な演算により絶縁材料の絶縁抵抗を推定する方法が提案されている。つまり、絶縁抵抗と相関を持ち測定場所の雰囲気に影響されない項目を測定し、その項目の値に基づいて絶縁抵抗値を算出する方法である。この方法ではフィールドで使用されている絶縁材料、および強制劣化させた絶縁材料について、絶縁抵抗と相関のあるデータを取得し、多変量解析により診断指標である絶縁抵抗の推定式を策定する。絶縁診断では、推定式を策定した項目を測定し、絶縁抵抗推定式から、任意の温度や湿度の絶縁抵抗を推定するようにする。

【0006】

絶縁抵抗と相関のあるデータとして、大きく分類すると、材料そのものの特性、及び設置個所周囲の大気環境による因子が挙げられる。これらの項目の測定に関しては、従来は検査員が実際に対象機器そのものを測定し、対象機器からサンプリング作業を実施する必要がある。そのため、連続的な材料特性及び環境因子の監視は不可能であり、離散的な評価となってしまうという課題があった。近年の計測技術の進歩により、材料特性、大気環境因子を連続的に測定することが可能となってきており、例えば材料特性を絶縁材料の分光反射率から推定する技術や、大気環境に含まれるイオン性の汚損物質を計測する技術を適用することで、連続的な絶縁性能の監視を実現可能となってきている。そこで、塵埃や水分などによる通常の経年劣化を上回る速度で絶縁材料を劣化させる汚損物質量を精度よく測定することができる技術が要望されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特許第５９５１２９９号公報

【特許文献2】特許第５８３６９０４号公報

【特許文献3】特許第５８７２６４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明が解決しようとする課題は、汚損物質の付着量を精度よく測定することができる汚損物質量算出装置および汚損物質量算出方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

実施形態の汚損物質検出センサは、筐体と、第１水晶振動子と、第２水晶振動子と、第１周波数計測回路と、第２周波数計測回路とを持つ。筐体は、上面に開口を有する。第１水晶振動子は、第１水晶板と第１電極対をもつ。第１電極対は、第１水晶板を挟む第１金属からなる。第１水晶振動子は、筐体の内部に、第１電極対の一方が筐体の開口に対向するように設けられる。第２水晶振動子は、第２水晶板と第２電極対をもつ。第２電極対は、第２水晶板を挟む第２金属からなる。第２金属は第１金属よりイオン化傾向が低い。第２水晶振動子は、筐体の内部に、第２電極対の一方が筐体の開口に対向するように設けられる。第１周波数計測回路は、第１水晶振動子の共振周波数を出力する。第２周波数計測回路は、第２水晶振動子の共振周波数を出力する。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】第１の実施形態に係る汚損物質量測定装置の構成を示す概略図。

【図2】第１の実施形態に係る汚損物質検出センサの構造を示す分解斜視図。

【図3】第１の実施形態に係る汚損物質検出センサの筐体の断面図。

【図4】第１の実施形態に係る汚損物質量測定装置の第１水晶振動子及び第２水晶振動子に汚損物質と非汚損物質が付着した直後の状態を示す断面図。

【図5】第１の実施形態に係る汚損物質量測定装置の第１水晶振動子及び第２水晶振動子に汚損物質と非汚損物質が付着してから時間が経過した後の状態を示す断面図。

【図6】銅電極に付着する塩分の量と銅電極の腐食生成物の増加速度との関係を示す図。

【図7】塩分噴霧試験において銅電極に付着した塩分量と時間当たりの銅電極の共振周波数の変動との関係を示す図。

【図8】塩分噴霧試験において環境の相対湿度別の塩分量と時間当たりの銅電極の共振周波数の変動との関係を示す図。

【図9】第１の実施形態の相対湿度と塩分検量線の傾きとの関係を示す勾配導出関数の一例。

【図10】第１の実施形態に係る汚損物質量算出装置の構成を示す概略ブロック図。

【図11】第１の実施形態における第１水晶振動子に対する第２水晶振動子の周波数差分の時間変化を示す図。

【図12】第１の実施形態に係る汚損物質量測定装置による対象物の汚損状況の監視方法を示すフローチャート。

【図13】第２の実施形態に係る汚損物質検出センサの構成を示す図。

【図14】第３の実施形態に係る汚損物質量算出装置の構成を示す概略ブロック図。

【図15】第３の実施形態に係る汚損物質量測定装置による対象物の汚損状況の監視方法を示すフローチャート。

【図16】少なくとも１つの実施形態に係るコンピュータの構成を示す概略ブロック図。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、実施形態の汚損物質検出センサ、汚損物質量算出装置および汚損物質量算出方法を、図面を参照して説明する。

【0012】

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る汚損物質量測定装置１０の構成を示す概略図である。
汚損物質量測定装置１０は、汚損物質検出センサ２０と、汚損物質量算出装置３０とを有する。なお、第１の実施形態の汚損物質量測定装置１０では、汚損物質検出センサ２０と汚損物質量算出装置３０が有線で接続している。なお、汚損物質検出センサ２０と汚損物質量算出装置３０とは無線で接続していてもよいし、インターネットなどのネットワークを介して接続していてもよい。汚損物質検出センサ２０は、汚損状態を推定する対象物Ｏの近傍に設置される。汚損物質量算出装置３０は、汚損物質検出センサ２０に付着した塩分量を算出し、対象物Ｏの汚損状態を推定する。

【0013】

図２は、第１の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０の構造を示す分解斜視図である。汚損物質検出センサ２０は、第１水晶振動子２１と、第２水晶振動子２２と、温湿度センサ２３と、筐体２４とを備える。第１水晶振動子２１と第２水晶振動子２２は互いに隣接していて、同一の環境に配置される。

【0014】

第１水晶振動子２１は、第１金電極２１１と、第２金電極２１２と、水晶板２１３と、支持板２１４と、発振回路２１５と、周波数計測回路２１６とを備える。第１金電極２１１及び第２金電極２１２は、金で構成される電極である。水晶板２１３は、第１金電極２１１と第２金電極２１２とで挟まれる。第１金電極２１１の端子と第２金電極２１２の端子は、支持板２１４に差し込まれて支持される。支持板２１４は、第１金電極２１１が上面を向くように筐体２４に固設される。発振回路２１５は、第１金電極２１１と第２金電極２１２との間に電圧を印加する。第１金電極２１１と第２金電極２１２との間に電圧が印加されることで、水晶板２１３が振動し、電気信号を出力する。周波数計測回路２１６は、第１水晶振動子２１が出力する電気信号の周波数を計測する。

【0015】

第２水晶振動子２２は、第１銅電極２２１と、第２銅電極２２２と、水晶板２２３と、支持板２２４と、発振回路２２５と、周波数計測回路２２６とを備える。第１銅電極２２１及び第２銅電極２２２は、銅で構成される電極である。水晶板２２３は、第１銅電極２２１と第２銅電極２２２とで挟まれる。第１銅電極２２１の端子と第２銅電極２２２の端子は、支持板２２４に差し込まれて支持される。支持板２２４は、第１銅電極２２１が上面を向くように筐体２４に固設される。発振回路２２５は、第１銅電極２２１と第２銅電極２２２との間に電圧を印加する。第１銅電極２２１と第２銅電極２２２との間に電圧が印加されることで、水晶板２２３が振動し、電気信号を出力する。周波数計測回路２２６は、第２水晶振動子２２が出力する電気信号の周波数を計測する。

【0016】

温湿度センサ２３は、第２水晶振動子２２の近傍に設けられ、第２水晶振動子２２の周囲の温度及び相対湿度を計測する。

【0017】

図３は、第１の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０の筐体２４の断面図である。筐体２４は、汚損物質検出センサ２０の外殻をなす。筐体２４は、本体部２４１と蓋部２４２とを備える。本体部２４１は上面が開口し、底面を有する箱である。蓋部２４２は、本体部２４１の開口を覆うように設けられる。蓋部２４２のうち、第１金電極２１１に対向する部分と第１銅電極２２１に対向する部分とにはそれぞれ貫通孔２４２ａが設けられる。これにより、対象物Ｏの近傍に浮遊する微粒子が貫通孔２４２ａを介して筐体２４内に侵入する。貫通孔２４２ａの直下には第１金電極２１１及び第１銅電極２２１が設けられるため、微粒子は第１金電極２１１または第１銅電極２２１に付着する可能性が高い。貫通孔２４２ａは、上面が広く下面が狭いテーパ上に構成される。貫通孔２４２ａの下面は、対向する電極の円盤部分と同じ大きさに設計されてよい。または、貫通孔２４２ａは、側壁の延長線上に電極の縁部が位置するように設計されてもよい。貫通孔２４２ａがテーパ上に構成されることで、空気中を浮遊する微粒子を貫通孔２４２ａの上縁でトラップせずに筐体２４内部へ案内することができる。

【0018】

筐体２４の本体部２４１の底面のうち第２金電極２１２の外縁に対向する部分と、水晶板２１３の外縁に対向する部分と、第２銅電極２２２の外縁に対向する部分と、水晶板２２３の外縁に対向する部分とには、それぞれ管状の突起部２４１ａが形成されている。突起部２４１ａは、第１水晶振動子２１及び第２水晶振動子２２が振動しても、第１水晶振動子２１及び第２水晶振動子２２と接触しない程度の高さを有する。突起部２４１ａが設けられることで、貫通孔２４２ａから侵入し、第１金電極２１１または第１銅電極２２１に付着しなかった微粒子をトラップし、当該微粒子が第２金電極２１２または第２銅電極２２２に付着することを防ぐことができる。筐体２４の底部にたまった微粒子が第２金電極２１２または第２銅電極２２２に付着すると、第１水晶振動子２１及び第２水晶振動子２２の共振周波数が急に変動し、検出精度の低下が生じる可能性がある。なお、突起部２４１ａの形状は図２に示すようなリング状でなくてもよく、正方形や六角形などの閉じた中空管状であればよい。

【0019】

第１水晶振動子２１および第２水晶振動子２２は、例えば、ＱＣＭ（水晶振動子マイクロバランス）である。第１水晶振動子２１および第２水晶振動子２２は、初期状態において、電極の質量変化が同じである場合、周波数の変動が等しくなるように予め校正されている。つまり、第１水晶振動子２１および第２水晶振動子２２は、初期状態において同じ共振周波数を有する。

【0020】

銅は、金よりもイオン化傾向（標準電極電位）が低い。すなわち、銅は、金と比較して、塩などのイオン性の汚損物質によって腐食が起こりやすい金属である。そのため、第１水晶振動子２１の第１金電極２１１と、第２水晶振動子２２の第１銅電極２２１の両者に塩分が付着したときは、第１銅電極２２１に腐食生成物が生成されやすい。そして、その腐食生成物の生成量による第１銅電極２２１の質量の変化に応じて第２水晶振動子２２の共振周波数が第１水晶振動子２１の共振周波数に対して変化する。第１銅電極２２１は、イオン性の汚損物質が付着することで、第２水晶振動子２２の共振周波数を第１水晶振動子２１の共振周波数に対して変化させる作用を有する。

【0021】

ここで、第１水晶振動子２１と第２水晶振動子２２に、汚損物質（塩分）及び非汚損物質（塵埃など）が付着したときの挙動を、図４と図５を用いて説明する。図４は、第１の実施形態の汚損物質量測定装置１０の第１水晶振動子２１及び第２水晶振動子２２に汚損物質と非汚損物質が付着した直後の状態を示す断面図である。図４の（ａ）は、第１水晶振動子２１の第１金電極２１１に汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着した直後の状態である。図４の（ｂ）は、第２水晶振動子２２の第２金電極２１２に汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着した直後の状態である。汚損物質Ａは、イオン性物質である。イオン性物質は、例えば、塩素系ガスや窒素酸化物ガスである。非汚損物質Ｂは、例えば、塵埃や水である。図４（ａ）と（ｂ）に示すように、汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着することによって、第１金電極２１１と第２金電極２１２の質量が変化する。このため、第１水晶振動子２１の共振周波数と第２水晶振動子２２の共振周波数は、それぞれ変動する。ただし、汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着した直後の状態では、第２金電極２１２は腐食しておらず、第１金電極２１１と第２金電極２１２とに質量の差は生じない。このため、電極の質量増加による共振周波数と共振周波数の変動量は同じである。よって、第１水晶振動子２１の共振周波数に対する第２水晶振動子２２の共振周波数は変動しない。

【0022】

図５は、本実施形態の汚損物質量測定装置１０の第１水晶振動子２１及び第２水晶振動子２２に汚損物質と非汚損物質が付着してから時間が経過した後の状態を示す断面図である。図５の（ａ）は、第１水晶振動子２１の第１金電極２１１に汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着してから時間が経過した状態を示す断面図である。図５の（ｂ）は、第２水晶振動子２２の第２金電極２１２に汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着してから時間が経過した状態を示す断面図である。
図５（ａ）に示すように、第１水晶振動子２１の第１金電極２１１は、汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着してから時間が経過しても変化しない。一方、図５（ｂ）に示すように、第２水晶振動子２２の第２金電極２１２は、非汚損物質Ｂが付着した部分は変化しないが、汚損物質Ａが付着した部分は腐食して、腐食生成物Ｃが生成する。腐食生成物Ｃの生成量の変化に伴う第２金電極２１２の質量の変化によって、第２水晶振動子２２の共振周波数は変動する。すなわち、第１水晶振動子２１の共振周波数に対する第２水晶振動子２２の共振周波数が変動する。よって、本実施形態の汚損物質量測定装置１０は、非汚損物質Ｂの付着量の影響を受けずに、第２水晶振動子２２の共振周波数の変動に基づいて、腐食生成物Ｃの生成量、すなわち汚損物質Ａの付着量を測定することができる。

【0023】

第１銅電極２２１はイオン性物質である塩分の付着により腐食が促進される。図６は、銅電極に付着する塩分の量と銅電極の腐食生成物の増加速度との関係を示す図である。図６に示すように、銅電極に付着する塩分の量と腐食生成物の増加速度とは強い相関がある。図６に示す関係は、銅電極への塩分噴霧試験により確認されている。図７は、塩分噴霧試験において銅電極に付着した塩分量と時間当たりの銅電極の共振周波数の変動との関係を示す図である。図７に示すように、塩分噴霧試験では、塩分量と時間当たりの周波数変動に相関があることが確認された。第１の実施形態に係る汚損物質量算出装置３０は、共振周波数と塩分量との関係を表す一次関数である検量線関数を用いて、第２水晶振動子２２の共振周波数から付着塩分量を導出する。

【0024】

第２水晶振動子２２の共振周波数は環境の温度の影響を受ける。これは、第２水晶振動子２２が温度特性を有するためである。そのため、予め第２水晶振動子２２の温度特性を特定しておき、汚損物質量算出装置３０がこれを用いて第２金電極２１２の腐食速度を補正する。なお、第２水晶振動子２２の温度特性として、公知のＡＴカット水晶の温度特性（温度と周波数偏差との関係）を用いてもよい。一般的なＡＴカット水晶の温度特性は、２５℃に変曲点を持つ三次関数で表される。

【0025】

銅電極の腐食速度は環境の相対湿度の影響を受ける。環境の相対湿度が高いほど、銅電極の腐食が早く進む。図８は、塩分噴霧試験において環境の相対湿度別の塩分量と時間当たりの銅電極の共振周波数の変動との関係を示す図である。図８に示すように、予め塩分噴霧試験等を行うことにより、相対湿度と塩分検量線の傾きとの関係を求めておく。図９は、相対湿度と塩分検量線の傾きとの関係を示す勾配導出関数の一例である。汚損物質量算出装置３０は勾配導出関数を用いて検量線関数の勾配を特定する。第１の実施形態に係る勾配導出関数は、図９に示すように指数関数に近似される。なお、他の実施形態においては、勾配導出関数は、二次関数に近似されてもよい。

【0026】

図１０は、第１の実施形態に係る汚損物質量算出装置３０の構成を示す概略ブロック図である。
汚損物質量算出装置３０は、データベース３１、計測データ保存部３２、温度補正部３３、平滑化部３４、変動量演算部３５、検量線決定部３６、塩分量演算部３７、対象物診断部３８、センサ診断部３９および報知部４０を有する。

【0027】

データベース３１には、第２水晶振動子２２の温度特性関数と、図９に示す勾配導出関数とが記録される。

【0028】

計測データ保存部３２は、汚損物質検出センサ２０から計測データを一定の時間ステップで読み出し、記憶する。時間ステップは、特に制限はないが、例えば１分である。具体的には、計測データ保存部３２は、周波数計測回路２１６が計測した第１水晶振動子２１の共振周波数、周波数計測回路２２６が計測した第２水晶振動子２２の共振周波数、並びに温湿度センサ２３が計測した温度および相対湿度を記憶する。

【0029】

温度補正部３３は、計測データ保存部３２に記録された温度と、データベース３１に記録された温度特性関数とに基づいて、計測データ保存部３２に記録された第１水晶振動子２１および第２水晶振動子２２の共振周波数を補正する。具体的には、温度補正部３３は、温度特性関数に温度を代入することで周波数偏差を求め、共振周波数を基準温度（例えば２５℃）の共振周波数に補正する。以下、温度補正部３３によって補正された共振周波数を補正周波数という。

【0030】

平滑化部３４は、第１水晶振動子２１および第２水晶振動子２２の補正周波数、並びに相対湿度の単位時間ごとの移動平均値を求める。例えば、平滑化部３４は、１分間隔の時系列データについて、１２時間を窓として移動平均値を求める。

【0031】

変動量演算部３５は、第１銅電極２２１の腐食に起因する第２水晶振動子２２の周波数の変動量の時間微分を求める。具体的には、変動量演算部３５は、以下の手順で周波数の変動量を求める。まず変動量演算部３５は、第２水晶振動子２２の補正周波数の移動平均値から第１水晶振動子２１の補正周波数の移動平均値を減算することで、第１水晶振動子２１に対する第２水晶振動子２２の周波数差分を求める。変動量演算部３５は、得られた周波数差分と一定時間前（例えば、１時間前）の時刻に係る周波数差分との差を、一定時間で除算することで、周波数の変動量を求める。

【0032】

検量線決定部３６は、平滑化部３４が算出した相対湿度の移動平均値をデータベース３１が記憶する勾配導出関数に代入することで検量線の勾配を決定する。

【0033】

塩分量演算部３７は、検量線決定部３６が決定した勾配に係る検量線と変動量演算部３５が算出した周波数の変動量とに基づいて、第２水晶振動子２２に付着した塩分量を判定する。

【0034】

対象物診断部３８は、塩分量演算部３７が算出した塩分量に基づいて、対象物Ｏの汚損状況を診断する。具体的には、対象物診断部３８は、塩分量演算部３７が算出した塩分量が第１閾値未満である場合に対象物Ｏが清浄状態であると判定し、塩分量が第１閾値以上第２閾値未満である場合に対象物Ｏが軽汚損状態であると判定し、塩分量が第２閾値以上第３閾値未満である場合に対象物Ｏが中汚損状態であると判定し、塩分量が第３閾値以上第４閾値未満である場合に対象物Ｏが重汚損状態であると判定し、塩分量が第４閾値以上である場合に対象物Ｏが超重汚損状態であると判定する。また、対象物診断部３８は、塩分量演算部３７が算出した塩分量に基づいて、一定時間における塩分量の増加速度を算出し、当該増加速度が第５閾値を超える場合に、対象物Ｏの環境の急激な変化が生じたと判定する。つまり、対象物診断部３８は、経時的に測定した塩分量からみられる汚損傾向から大きく外れた塩分量が計測された場合に、短期間で急激な汚損が発生したと判定する。

【0035】

センサ診断部３９は、平滑化部３４が算出した第１水晶振動子２１の補正周波数の移動平均値および変動量演算部３５が算出した第１水晶振動子２１に対する第２水晶振動子２２の周波数差分とに基づいて、汚損物質検出センサ２０の状態を診断する。具体的には、センサ診断部３９は、第１水晶振動子２１の共振周波数の初期値と第１水晶振動子２１の補正周波数の移動平均値との差が第６閾値を超えた場合に、汚損物質検出センサ２０に多くの塵埃が堆積していると判定する。塵埃の体積は、汚損状態の検出精度に影響する。またセンサ診断部３９は、第１水晶振動子２１に対する第２水晶振動子２２の周波数差分が第７閾値を超えた場合に、第１銅電極２２１の腐食が進行して飽和状態に近づいていると判定する。図１１は、第１水晶振動子２１に対する第２水晶振動子２２の周波数差分の時間変化を示す図である。図１１に示すように第１銅電極２２１の腐食が進行し、飽和状態に近づくと、腐食が進行しづらくなるため、汚損状態の検出精度が低下する。

【0036】

報知部４０は、対象物診断部３８およびセンサ診断部３９の診断結果を出力する。具体的には、対象物Ｏが中汚損状態であると判定された場合、報知部４０は、対象物Ｏの汚損が進行している旨を報知するメッセージを出力する。対象物Ｏが重汚損状態または超重汚損状態であると判定された場合、報知部４０は、対象物Ｏの交換時期が近い旨を報知するアラームを出力する。また、塩分量の増加速度によって対象物Ｏの環境の急激な変化が生じたと判断された場合に、報知部４０は対象物Ｏの状態を確認を推奨するアラームを出力する。また、汚損物質検出センサ２０に塵埃が堆積していると判定された場合に、報知部４０は、汚損物質検出センサ２０の清掃を促すアラームを出力する。第１銅電極２２１の腐食が飽和状態に近づいていると判定された場合に、報知部４０は、汚損物質検出センサ２０の交換を促すアラームを出力する。アラームは、ディスプレイへの出力によってなされてもよいし、音声によって出力されてもよいし、他の端末への通信によってなされてもよい。

【0037】

図１２は、第１の実施形態に係る汚損物質量測定装置１０による対象物Ｏの汚損状況の監視方法を示すフローチャートである。作業者が、対象物Ｏの近傍に汚損物質検出センサ２０を設置し、汚損物質量算出装置３０を起動すると、汚損物質量算出装置３０は対象物Ｏの汚損状況の監視を開始する。

【0038】

まず、計測データ保存部３２は、汚損物質検出センサ２０から第１水晶振動子２１の共振周波数、第２水晶振動子２２の共振周波数、温度および相対湿度を読み出し、読み出し時刻に関連付けて記憶する（ステップＳ１）。温度補正部３３は、ステップＳ１で記録された温度と、データベース３１に記録された温度特性関数とに基づいて、計測データ保存部３２に記録された第１水晶振動子２１および第２水晶振動子２２の共振周波数を補正した補正周波数を、ステップＳ１の計測データに関連付けて計測データ保存部３２に記録する（ステップＳ２）。

【0039】

平滑化部３４は、計測データ保存部３２に記録された第１水晶振動子２１および第２水晶振動子２２の補正周波数、並びに相対湿度の移動平均値を求め、ステップＳ１の計測データに関連付けて計測データ保存部３２に記録する（ステップＳ３）。つまり、平滑化部３４は、計測データ保存部３２から現在時刻から一定時間前までの時刻に関連付けられた第１水晶振動子２１および第２水晶振動子２２の補正周波数、並びに相対湿度を読み出し、その平均値を算出する。変動量演算部３５は、ステップＳ３で算出した第２水晶振動子２２の補正周波数の移動平均値から第１水晶振動子２１の補正周波数の移動平均値を減算することで、第１水晶振動子２１に対する第２水晶振動子２２の周波数差分を求め、ステップＳ１の計測データに関連付けて計測データ保存部３２に記録する（ステップＳ４）。変動量演算部３５は、ステップＳ４で得られた周波数差分と、現在時刻から一定時間前の時刻に関連付けて計測データ保存部３２に記録された周波数差分との差を、一定時間で除算することで、周波数の変動量を求める（ステップＳ５）。

【0040】

検量線決定部３６は、ステップＳ３で算出した相対湿度の移動平均値をデータベース３１が記憶する勾配導出関数に代入することで検量線の勾配を決定する（ステップＳ６）。塩分量演算部３７は、ステップＳ６で決定した勾配に係る検量線と、ステップＳ５で算出した周波数の変動量とに基づいて、第２水晶振動子２２に付着した塩分量を算出する（ステップＳ７）。

【0041】

対象物診断部３８は、ステップＳ７で算出した塩分量と閾値とを比較することで、対象物Ｏの汚損状態を推定する（ステップＳ８）。対象物診断部３８は、対象物Ｏの汚損状態が重汚損状態以上であるか否かを判定する（ステップＳ９）。対象物Ｏの汚損状態が重汚損状態以上である場合（ステップＳ９：ＹＥＳ）、報知部４０は、対象物Ｏの汚損の進行を報知するアラームを出力する（ステップＳ１０）。例えば、報知部４０は、「対象機器の交換時期が近づいています。」などのアラームを出力する。

【0042】

また、対象物診断部３８は、ステップＳ７で算出した塩分量の増加速度が第５閾値を超えるか否かを判定する（ステップＳ１１）。塩分量の増加速度が第５閾値を超える場合（ステップＳ１１：ＹＥＳ）、報知部４０は、対象物Ｏの状態を確認を推奨するアラームを出力する（ステップＳ１２）。例えば、報知部４０は、「急激な汚損が確認されました。異常の有無を確認してください。」などのアラームを出力する。

【0043】

センサ診断部３９は、計測データ保存部３２に記録された最も古い時刻に係る第１水晶振動子２１の補正周波数と、ステップＳ３で算出した第１水晶振動子２１の補正周波数の移動平均値との差が第６閾値を超えるか否かを判定する（ステップＳ１３）。補正周波数の移動平均値との差が第６閾値を超える場合（ステップＳ１３：ＹＥＳ）、報知部４０は、汚損物質検出センサ２０の清掃を促すアラームを出力する（ステップＳ１４）。例えば、報知部４０は、「盤内清掃を推奨します。」などのアラームを出力する。

【0044】

センサ診断部３９は、ステップＳ４で算出した周波数差分が第７閾値を超えるか否かを判定する（ステップＳ１５）。周波数差分が第７閾値を超える場合（ステップＳ１５：ＹＥＳ）、報知部４０は、汚損物質検出センサ２０の交換を促すアラームを出力する（ステップＳ１６）。例えば、報知部４０は、「電極交換（銅）の時期が近づいています」などのアラームを出力する。そして、汚損物質量算出装置３０は処理をステップＳ１に戻し、対象物Ｏの監視を継続する。

【0045】

このように、第１の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０は、２つの水晶振動子を備え、その電極を構成する金属のイオン化傾向が異なる。具体的には、汚損物質検出センサ２０は、金電極を有する第１水晶振動子２１と銅電極を有する第２水晶振動子２２とを備える。これにより、汚損物質検出センサ２０に付着する微粒子のうち、汚損物質の付着量が第１水晶振動子２１と第２水晶振動子２２との振動数の差として現れる。これにより、汚損物質検出センサ２０を用いることで、汚損物質の付着量を精度よく測定することができる。

【0046】

第１の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０において、第１金電極２１１および第１銅電極２２１は筐体２４の開口に対向するように配置される。これにより、汚損物質検出センサ２０は第１金電極２１１および第１銅電極２２１から付着した微粒子が脱落する可能性を低減することができる。

【0047】

また、第１の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０の筐体２４は、下面のうち第２銅電極２２２に対向する部分に、第２銅電極２２２の外縁と同じ径を有する管状の突起部２４１ａと、第２銅電極２２２の外縁より大きい径を有する管状の突起部２４１ａとを有する。これにより、筐体２４内部に侵入した汚損物質が突起部２４１ａによってトラップされ、第２銅電極２２２に当該汚損物質が付着することを防ぐことができる。

【0048】

また、第１の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０の筐体２４の上面には、上方に向かって広がるテーパ状をなす貫通孔２４２ａが設けられ、第１金電極２１１および第１銅電極２２１は当該貫通孔２４２ａに対向するように設けられる。これにより、汚損物質検出センサ２０は、大気中に漂う微粒子を第１金電極２１１および第１銅電極２２１に案内しつつ、第１金電極２１１および第１銅電極２２１に付着せずに筐体２４の内部に侵入することを防ぐことができる。

【0049】

（第２の実施形態）
第１の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０は、図１１に示すように第１銅電極２２１の腐食が飽和すると検出精度が低下するため、一定期間使用するごとに第２水晶振動子２２を交換する必要がある。これに対し、第２の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０は、長期間の使用を可能とする。

【0050】

図１３は、第２の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０の構成を示す図である。第２の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０は、第２水晶振動子２２を複数備える。第２の実施形態に係る第２水晶振動子２２の数をＮとおく。筐体２４には、Ｎ個の第２水晶振動子２２のうち１つだけを貫通孔２４２ａから露出させ、残りを外気から遮蔽するためのＮ－１個の保護カバー２４２ｂが設けられる。各保護カバー２４２ｂは、第２水晶振動子２２に対向する貫通孔２４２ａを横断するように蓋部２４２に設けられたレール２３２ｃに沿って摺動可能に設けられる。各保護カバー２４２ｂには図示しないアクチュエータが設けられ、レール２３２ｃに沿って保護カバー２４２ｂを摺動させる。

【0051】

第２の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０は、露出している第２水晶振動子２２について共振周波数を計測する。第２の実施形態に係る汚損物質量算出装置３０の報知部４０は、変動量演算部３５が算出した周波数差分が第７閾値を超える場合、すなわち露出している第２水晶振動子２２の腐食が一定度合いまで進行した場合、保護カバー２４２ｂのアクチュエータに駆動信号を出力する。これにより、保護カバー２４２ｂを摺動させて露出している第２水晶振動子２２を切り替えさせる。計測データ保存部３２は、第２水晶振動子２２の切替タイミングについて、第１水晶振動子２１および第２水晶振動子２２の共振周波数を計測し、記録しておく。このように、第２の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０は、第２水晶振動子２２の劣化が一定度合いまで進行するたびに使用する第２水晶振動子２２を切り替えることで、長期間の使用を可能とする。

【0052】

（第３の実施形態）
第１の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０は、一定期間使用するごとに第２水晶振動子２２を交換する必要がある。これに対し、第３の実施形態に係る汚損物質量測定装置１０は、第２水晶振動子２２を交換することなく長期間の使用を可能とする。なお、第３の実施形態に係る汚損物質検出センサ２０の構成は第１の実施形態と同様である。

【0053】

図１４は、第３の実施形態に係る汚損物質量算出装置３０の構成を示す概略ブロック図である。第３の実施形態に係る汚損物質量算出装置３０は、第１の実施形態の構成に加え、さらに検量線生成部４１を備える。
検量線生成部４１は、平滑化部３４が算出した第１水晶振動子２１の共振周波数の移動平均値と、塩分量演算部３７が演算した塩分量とに基づいて、第１水晶振動子２１の共振周波数から塩分量を求めるための第二検量線関数を生成する。

【0054】

図１５は、第３の実施形態に係る汚損物質量測定装置１０による対象物Ｏの汚損状況の監視方法を示すフローチャートである。
まず、計測データ保存部３２は、汚損物質検出センサ２０から第１水晶振動子２１の共振周波数、第２水晶振動子２２の共振周波数、温度および相対湿度を読み出し、読み出し時刻に関連付けて記憶する（ステップＳ５１）。温度補正部３３は、ステップＳ５１で記録された温度と、データベース３１に記録された温度特性関数とに基づいて、計測データ保存部３２に記録された第１水晶振動子２１および第２水晶振動子２２の共振周波数を補正した補正周波数を、ステップＳ５１の計測データに関連付けて計測データ保存部３２に記録する（ステップＳ５２）。

【0055】

平滑化部３４は、計測データ保存部３２に記録された第１水晶振動子２１および第２水晶振動子２２の補正周波数、並びに相対湿度の移動平均値を求め、ステップＳ５１の計測データに関連付けて計測データ保存部３２に記録する（ステップＳ５３）。変動量演算部３５は、ステップＳ５３で算出した第２水晶振動子２２の補正周波数の移動平均値から第１水晶振動子２１の補正周波数の移動平均値を減算することで、第１水晶振動子２１に対する第２水晶振動子２２の周波数差分を求め、ステップＳ５１の計測データに関連付けて計測データ保存部３２に記録する（ステップＳ５４）。

【0056】

センサ診断部３９は、ステップＳ５４で算出した周波数差分が第７閾値を超えるか否かを判定する（ステップＳ５５）。周波数差分が第７閾値を超えない場合（ステップＳ５５：ＮＯ）、変動量演算部３５は、ステップＳ５４で得られた周波数差分と、現在時刻から一定時間前の時刻に関連付けて計測データ保存部３２に記録された周波数差分との差を、一定時間で除算することで、周波数の変動量を求める（ステップＳ５６）。

【0057】

検量線決定部３６は、ステップＳ５３で算出した相対湿度の移動平均値をデータベース３１が記憶する勾配導出関数に代入することで検量線の勾配を決定する（ステップＳ５７）。塩分量演算部３７は、ステップＳ５７で決定した勾配に係る検量線と、ステップＳ５６で算出した周波数の変動量とに基づいて、第２水晶振動子２２に付着した塩分量を算出する（ステップＳ５８）。塩分量演算部３７は、算出した塩分量を、ステップＳ５１の計測データに関連付けて計測データ保存部３２に記録する（ステップＳ５９）。

【0058】

他方、周波数差分が第７閾値を超える場合（ステップＳ５５：ＹＥＳ）、検量線生成部４１は、計測データ保存部３２に記録された、第１水晶振動子２１の補正周波数の移動平均値と塩分量との組み合わせに基づいて、第１水晶振動子２１の共振周波数から塩分量を求めるための第二検量線関数を生成する（ステップＳ６０）。検量線生成部４１は、第二検量線関数をデータベース３１に記録する。

【0059】

塩分量演算部３７は、ステップＳ６０で生成した第二検量線関数と、ステップＳ５４で算出した第１水晶振動子２１の補正周波数の移動平均値とに基づいて、第２水晶振動子２２に付着した塩分量を算出する（ステップＳ６１）。

【0060】

対象物診断部３８は、ステップＳ５８またはステップＳ６１で算出した塩分量と閾値とを比較することで、対象物Ｏの汚損状態を推定する（ステップＳ６２）。対象物診断部３８は、対象物Ｏの汚損状態が重汚損状態以上であるか否かを判定する（ステップＳ６３）。対象物Ｏの汚損状態が重汚損状態以上である場合（ステップＳ６３：ＹＥＳ）、報知部４０は、対象物Ｏの状態を確認を推奨するアラームを出力する（ステップＳ６４）。

【0061】

また、対象物診断部３８は、ステップＳ５８またはステップＳ６１で算出した塩分量の増加速度が第５閾値を超えるか否かを判定する（ステップＳ６５）。塩分量の増加速度が第５閾値を超える場合（ステップＳ６５：ＹＥＳ）、報知部４０は、対象物Ｏの状態を確認を推奨するアラームを出力する（ステップＳ６６）。

【0062】

センサ診断部３９は、計測データ保存部３２に記録された最も古い時刻に係る第１水晶振動子２１の補正周波数と、ステップＳ５３で算出した第１水晶振動子２１の補正周波数の移動平均値との差が第６閾値を超えるか否かを判定する（ステップＳ６７）。補正周波数の移動平均値との差が第６閾値を超える場合（ステップＳ６７：ＹＥＳ）、報知部４０は、汚損物質検出センサ２０の清掃を促すアラームを出力する（ステップＳ６８）。そして、汚損物質量算出装置３０は処理をステップＳ５１に戻し、対象物Ｏの監視を継続する。

【0063】

このように、対象物Ｏの環境における微粒子に対する汚損物質が占める割合が略一定である場合、第１水晶振動子２１の共振周波数の変化、すなわち汚損物質および非汚損物質の堆積による重量変化から、汚損物質量を推定することができる。したがって、第３の実施形態に係る汚損物質量測定装置１０によれば、第１銅電極２２１の飽和後にも、第１水晶振動子２１のみを用いて汚損物質量を推定することができる。

【0064】

以上説明した少なくともひとつの実施形態によれば、汚損物質検出センサ２０は、２つの水晶振動子を備え、その電極を構成する金属のイオン化傾向が異なる。これにより、汚損物質検出センサ２０に付着する微粒子のうち、汚損物質の付着量が第１水晶振動子２１と第２水晶振動子２２との振動数の差として現れる。これにより、汚損物質検出センサ２０を用いることで、汚損物質の付着量を精度よく測定することができる。

【0065】

〈コンピュータ構成〉
図１６は、少なくとも１つの実施形態に係るコンピュータの構成を示す概略ブロック図である。
コンピュータ５０は、プロセッサ５１、メインメモリ５３、ストレージ５５、インタフェース５７を備える。
上述の汚損物質量算出装置３０は、図１６に示すコンピュータ５０に実装される。上述した各処理部の動作は、プログラムの形式でストレージ５５に記憶されている。プロセッサ５１は、プログラムをストレージ５５から読み出してメインメモリ５３に展開し、当該プログラムに従って上記処理を実行する。また、プロセッサ５１は、プログラムに従って、上述した各記憶部に対応する記憶領域をメインメモリ５３に確保する。プロセッサ５１の例としては、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＧＰＵ（Graphic Processing Unit）、マイクロプロセッサなどが挙げられる。

【0066】

プログラムは、コンピュータ５０に発揮させる機能の一部を実現するためのものであってもよい。例えば、プログラムは、ストレージに既に記憶されている他のプログラムとの組み合わせ、または他の装置に実装された他のプログラムとの組み合わせによって機能を発揮させるものであってもよい。なお、他の実施形態においては、コンピュータ５０は、上記構成に加えて、または上記構成に代えてＰＬＤ（Programmable Logic Device）などのカスタムＬＳＩ（Large Scale Integrated Circuit）を備えてもよい。ＰＬＤの例としては、ＰＡＬ(Programmable Array Logic)、ＧＡＬ(Generic Array Logic)、ＣＰＬＤ(Complex Programmable Logic Device)、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）が挙げられる。この場合、プロセッサ５１によって実現される機能の一部または全部が当該集積回路によって実現されてよい。このような集積回路も、プロセッサの一例に含まれる。

【0067】

ストレージ５５の例としては、磁気ディスク、光磁気ディスク、光ディスク、半導体メモリ等が挙げられる。ストレージ５５は、コンピュータ５０のバスに直接接続された内部メディアであってもよいし、インタフェース５７または通信回線を介してコンピュータ５０に接続される外部メディアであってもよい。また、このプログラムが通信回線によってコンピュータ５０に配信される場合、配信を受けたコンピュータ５０が当該プログラムをメインメモリ５３に展開し、上記処理を実行してもよい。少なくとも１つの実施形態において、ストレージ５５は、一時的でない有形の記憶媒体である。

【0068】

また、当該プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、当該プログラムは、前述した機能をストレージ５５に既に記憶されている他のプログラムとの組み合わせで実現するもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であってもよい。

【0069】

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

【0070】

例えば、第１水晶振動子２１の電極は金であり、第２水晶振動子２２の電極は銅であるが、これに限られない。第２水晶振動子２２の電極は、第１水晶振動子２１の電極よりもイオン化傾向（標準電極電位）が低い金属であればよい。すなわち、第２水晶振動子２２の電極は、第１水晶振動子２１の電極と比較して、イオン性の汚損物質によって腐食が起こりやすい金属であることが好ましい。

【0071】

例えば、第１水晶振動子２１の電極は、銀（標準電極電位：＋０．７９９Ｖ）又は白金（標準電極電位：＋１．１８８Ｖ）であってよい。第２水晶振動子２２の電極は、アルミニウム（標準電極電位：－１．６８Ｖ）であってもよい。

【符号の説明】

【0072】

１０…汚損物質量測定装置 ２０…汚損物質検出センサ ２１…第１水晶振動子 ２１１…第１金電極 ２１２…第２金電極 ２１３…水晶板 ２１４…支持板 ２１５…発振回路 ２１６…周波数計測回路 ２２…第２水晶振動子 ２２１…第１銅電極 ２２２…第２銅電極 ２２３…水晶板 ２２４…支持板 ２２５…発振回路 ２２６…周波数計測回路 ２３…温湿度センサ ２３２ｃ…レール ２４…筐体 ２４１…本体部 ２４１ａ…突起部 ２４２…蓋部 ２４２ａ…貫通孔 ２４２ｂ…保護カバー ３０…汚損物質量算出装置 ３１…データベース ３２…計測データ保存部 ３３…温度補正部 ３４…平滑化部 ３５…変動量演算部 ３６…検量線決定部 ３７…塩分量演算部 ３８…対象物診断部 ３９…センサ診断部 ４０…報知部 ４１…検量線生成部 ５０…コンピュータ ５１…プロセッサ ５３…メインメモリ ５５…ストレージ ５７…インタフェース Ａ…汚損物質 Ｂ…非汚損物質 Ｃ…腐食生成物 Ｏ…対象物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】