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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024164453
(43)【公開日】2024-11-27
(54)【発明の名称】コンプライアンスユニット
(51)【国際特許分類】
B25J 17/02 20060101AFI20241120BHJP
B23P 19/02 20060101ALI20241120BHJP
【ＦＩ】
B25J17/02 G
B23P19/02 Q
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023079931
(22)【出願日】2023-05-15
(71)【出願人】
【識別番号】000102511
【氏名又は名称】ＳＭＣ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110003683
【氏名又は名称】弁理士法人桐朋
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 太平
【テーマコード（参考）】
3C030
3C707
【Ｆターム（参考）】
3C030BC26
3C707BT20
3C707HS14
(57)【要約】
【解決手段】コンプライアンスユニット１０は、ＸＹ平面に沿って広がるベース板１４と、ＸＹ平面に沿ってベース板に対して移動可能に配置されたテーブルユニット１６と、ベース板およびテーブルユニットに対してＸ方向およびＹ方向に移動可能なようにベース板とテーブルユニットとの間に介在されたコンプライアンス機構１８と、ベース板の外側から内側に向かってテーブルユニットおよびコンプライアンス機構を押圧することにより、テーブルユニットとコンプライアンス機構とをベース板に対する原点位置に復帰させる原点復帰機構２０と、を備える。
【選択図】図２
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ＸＹ平面に沿って広がるベース板と、
前記ＸＹ平面に沿って前記ベース板に対して移動可能に配置されたテーブルユニットと、
前記ベース板および前記テーブルユニットに対してＸ方向およびＹ方向に移動可能なように前記ベース板と前記テーブルユニットとの間に介在されたコンプライアンス機構と、
前記ベース板の平面方向の外側から内側に向かって前記テーブルユニットおよび前記コンプライアンス機構を押圧することにより、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを前記ベース板に対する原点位置に復帰させる原点復帰機構と、
を備える、コンプライアンスユニット。
前記ＸＹ平面に沿って前記ベース板に対して移動可能に配置されたテーブルユニットと、
前記ベース板および前記テーブルユニットに対してＸ方向およびＹ方向に移動可能なように前記ベース板と前記テーブルユニットとの間に介在されたコンプライアンス機構と、
前記ベース板の平面方向の外側から内側に向かって前記テーブルユニットおよび前記コンプライアンス機構を押圧することにより、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを前記ベース板に対する原点位置に復帰させる原点復帰機構と、
を備える、コンプライアンスユニット。
【請求項2】
請求項１に記載のコンプライアンスユニットであって、
前記原点復帰機構は、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを前記原点位置に保持する、コンプライアンスユニット。
前記原点復帰機構は、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを前記原点位置に保持する、コンプライアンスユニット。
【請求項3】
請求項２に記載のコンプライアンスユニットであって、
前記ベース板が取り付けられたボディを備え、
前記原点復帰機構は、
前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを挟持するための一対の把持部と、
前記一対の把持部を開閉させるための駆動機構と、
を有し、
前記駆動機構は、前記ボディに設けられている、コンプライアンスユニット。
前記ベース板が取り付けられたボディを備え、
前記原点復帰機構は、
前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを挟持するための一対の把持部と、
前記一対の把持部を開閉させるための駆動機構と、
を有し、
前記駆動機構は、前記ボディに設けられている、コンプライアンスユニット。
【請求項4】
請求項３に記載のコンプライアンスユニットであって、
前記原点復帰機構は、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを前記原点位置に復帰させた時に前記ベース板に接触する、コンプライアンスユニット。
前記原点復帰機構は、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを前記原点位置に復帰させた時に前記ベース板に接触する、コンプライアンスユニット。
【請求項5】
請求項１に記載のコンプライアンスユニットであって、
前記コンプライアンス機構は、
複数のボールと、
前記複数のボールを転動可能に支持する板状のリテーナと、
を有し、
前記原点復帰機構は、前記リテーナの外周面を押圧する、コンプライアンスユニット。
前記コンプライアンス機構は、
複数のボールと、
前記複数のボールを転動可能に支持する板状のリテーナと、
を有し、
前記原点復帰機構は、前記リテーナの外周面を押圧する、コンプライアンスユニット。
【請求項6】
請求項１～５のいずれか１項に記載のコンプライアンスユニットであって、
前記ベース板の中央部には、貫通孔が形成され、
前記テーブルユニットは、
テーブル本体と、
前記ベース板に対して前記テーブル本体とは反対側に位置する保持板と、
前記貫通孔に挿通された状態で前記テーブル本体と前記保持板とを互いに連結する連結部と、
を有し、
前記コンプライアンス機構は、前記ベース板と前記テーブル本体との間と前記ベース板と前記保持板との間との少なくともいずれかに介在されている、コンプライアンスユニット。
前記ベース板の中央部には、貫通孔が形成され、
前記テーブルユニットは、
テーブル本体と、
前記ベース板に対して前記テーブル本体とは反対側に位置する保持板と、
前記貫通孔に挿通された状態で前記テーブル本体と前記保持板とを互いに連結する連結部と、
を有し、
前記コンプライアンス機構は、前記ベース板と前記テーブル本体との間と前記ベース板と前記保持板との間との少なくともいずれかに介在されている、コンプライアンスユニット。
【請求項7】
請求項６に記載のコンプライアンスユニットであって、
前記コンプライアンス機構は、前記ベース板と前記テーブル本体との間と前記ベース板と前記保持板との間との両方に介在されている、コンプライアンスユニット。
前記コンプライアンス機構は、前記ベース板と前記テーブル本体との間と前記ベース板と前記保持板との間との両方に介在されている、コンプライアンスユニット。
【請求項8】
請求項６に記載のコンプライアンスユニットであって、
前記連結部の外周面には、前記テーブルユニットが前記ベース板に対して前記原点位置から移動した際に前記ベース板の内周端部が挿入可能な環状溝が形成されている、コンプライアンスユニット。
前記連結部の外周面には、前記テーブルユニットが前記ベース板に対して前記原点位置から移動した際に前記ベース板の内周端部が挿入可能な環状溝が形成されている、コンプライアンスユニット。
【請求項9】
請求項３に記載のコンプライアンスユニットであって、
前記ベース板は、円形状の外周面を有し、
前記原点復帰機構は、前記ベース板の前記外周面に接触するベース接触部を有し、
前記ベース接触部は、前記ベース板の前記外周面に沿って湾曲した凹状湾曲面であり、
前記凹状湾曲面の曲率半径は、前記ベース板の半径よりも大きい、コンプライアンスユニット。
前記ベース板は、円形状の外周面を有し、
前記原点復帰機構は、前記ベース板の前記外周面に接触するベース接触部を有し、
前記ベース接触部は、前記ベース板の前記外周面に沿って湾曲した凹状湾曲面であり、
前記凹状湾曲面の曲率半径は、前記ベース板の半径よりも大きい、コンプライアンスユニット。
【請求項10】
請求項３に記載のコンプライアンスユニットであって、
前記ベース板は、円形状の外周面を有し、
前記原点復帰機構は、前記ベース板の前記外周面に接触するベース接触部を有し、
前記ベース接触部は、平面である、コンプライアンスユニット。
前記ベース板は、円形状の外周面を有し、
前記原点復帰機構は、前記ベース板の前記外周面に接触するベース接触部を有し、
前記ベース接触部は、平面である、コンプライアンスユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、コンプライアンスユニットに関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、特許文献１には、ＸＹ平面に沿って広がるベース板と、テーブルユニットと、コンプライアンス機構とを備えたコンプライアンスユニットが開示されている。テーブルユニットは、ベース板に対してＸＹ平面に沿って移動可能に設けられている。コンプライアンス機構は、ベース板とテーブルユニットとの間に介在されている。コンプライアンス機構は、多数の鋼球を転動可能に支持する板状のリテーナを有する。リテーナには、コンプライアンス機構をベース板に対する原点位置に復帰させるためのコイルスプリングが取り付けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００１－１２９７８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
より良好なコンプライアンスユニットを提供することが望まれている。
【0005】
本発明は、上述した課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一態様は、ＸＹ平面に沿って広がるベース板と、前記ＸＹ平面に沿って前記ベース板に対して移動可能に配置されたテーブルユニットと、前記ベース板および前記テーブルユニットに対してＸ方向およびＹ方向に移動可能なように前記ベース板と前記テーブルユニットとの間に介在されたコンプライアンス機構と、前記ベース板の平面方向の外側から内側に向かって前記テーブルユニットおよび前記コンプライアンス機構を押圧することにより、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを前記ベース板に対する原点位置に復帰させる原点復帰機構と、を備える、コンプライアンスユニットである。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、より良好なコンプライアンスユニットを提供し得る。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
本発明の一実施形態に係るコンプライアンスユニット１０について図面を用いて以下に説明する。本実施形態に係るコンプライアンスユニット１０は、例えば、ワークの組付時の位置ずれ（芯ずれ）を補正するための装置である。具体的には、図１に示すように、コンプライアンスユニット１０では、例えば、図示しないロボットハンドがボディ１２に接続され、ワークを把持するための図示しないチャック装置がテーブルユニット１６に取り付けられる。テーブルユニット１６は、ロックされていない状態（非ロック状態）でボディ１２に対してＸＹ平面に沿って移動可能である（図９参照）。
【0010】
このようなコンプライアンスユニット１０は、例えば、所定の孔にワークを挿入するワークの組付時に芯ずれが発生した場合であっても、当該ワークが当該孔の内面に当たることによってテーブルユニット１６が容易に移動するため、芯ずれを簡単に補正し得る。なお、コンプライアンスユニット１０の用途は、ワークを孔に挿入する例に限定されない。以下、コンプライアンスユニット１０の構成について詳細に説明する。
【0011】
図１～図５に示すように、コンプライアンスユニット１０は、ボディ１２と、ＸＹ平面に広がるベース板１４と、テーブルユニット１６と、一対のコンプライアンス機構１８と、原点復帰機構２０とを備える。図２に示すように、ボディ１２は、直方体形状を有する。ボディ１２は、例えば、金属材料によって構成されている。ボディ１２のＺ１方向を向く第１面１２ａには、図示しないロボットハンドに接続するための複数の孔２４が形成されている（図８参照）。孔２４の位置、大きさ、形状、数等は、適宜設定可能である。
【0012】
ボディ１２のＺ２方向を向く第２面１２ｂの中央部には、円形状の凹部２６が形成されている。ボディ１２には、ベース板１４を取り付けるための一対のベース取付部２８が設けられている。一対のベース取付部２８は、ボディ１２の第２面１２ｂのＹ方向の両端部からＺ２方向に突出している。
【0013】
図２、図４～図６に示すように、ベース板１４は、円環状に形成されている。ベース板１４は、例えば、金属材料によって構成されている。すなわち、ベース板１４は、円形状の外周面１４ａを有する。ベース板１４の外径（直径）は、ボディ１２の凹部２６の直径よりも大きい。ベース板１４は、複数のねじ部材３０によってベース固定部に固定されている（図５参照）。ベース板１４の中央部には、円形状の貫通孔３２が形成されている。
【0014】
図２、図４、および図５に示すように、テーブルユニット１６は、ＸＹ平面に沿ってベース板１４に対して移動可能に配置されている。テーブルユニット１６は、テーブル本体３４と、保持板３６と、連結部３８とを有する。テーブルユニット１６は、テーブル本体３４と、保持板３６と、連結部３８とを一体に組み立てることにより形成されている（図４および図５参照）。
【0015】
テーブル本体３４は、ベース板１４のＺ２方向に位置する。テーブル本体３４は、取付テーブル４０と、支持板４２とを含む。取付テーブル４０は、例えば、金属材料によって構成される。取付テーブル４０は、正方形状に形成されている。取付テーブル４０は、２つの対角線がＸ方向およびＹ方向に沿うように配置されている。取付テーブル４０の形状は、長方形状であってもよい。また、取付テーブル４０の形状は、円形状であってもよいし、多角形状（四角形状以外）であってもよい。取付テーブル４０には、図示しないチャック装置等を取り付けるための複数の取付孔４４が形成されている（図１および図２参照）。取付孔４４の位置、大きさ、形状、数等は、適宜設定可能である。取付テーブル４０は、支持板４２よりも分厚い。
【0016】
支持板４２は、例えば、金属材料によって構成される。支持板４２は、取付テーブル４０のＺ１方向の面に配置される。支持板４２は、円形状に形成されている。支持板４２の直径は、取付テーブル４０の一辺の長さよりも小さい。本実施形態において、支持板４２は、省略されてもよい。
【0017】
保持板３６は、ベース板１４のＺ１方向に位置する。換言すれば、保持板３６は、ベース板１４に対してテーブル本体３４とは反対側（Ｚ１方向）に位置する。保持板３６は、例えば、金属材料によって構成される。保持板３６は、円形状に形成される。保持板３６の外径は、ボディ１２の円形状の凹部２６の外径よりも小さい。保持板３６は、少なくとも一部が凹部２６に挿入されている（図４および図５参照）。保持板３６の外径は、支持板４２の外径と同じである。なお、保持板３６の外径は、支持板４２の外径よりも大きくても小さくてもよい。
【0018】
連結部３８は、円柱状に形成されている。連結部３８は、例えば、金属材料によって構成されている。連結部３８の外径は、支持板４２および保持板３６の各々の外径よりも小さい。連結部３８は、ベース板１４の貫通孔３２に挿入されている。連結部３８の中央部には、一端から他端まで延びた挿通孔４６が形成されている。挿通孔４６には、連結ピン４８が挿通されている。連結ピン４８の一端部（Ｚ２方向の端部）は、支持板４２の中央部に形成された孔４９に嵌合されている。連結ピン４８の他端部（Ｚ１方向の端部）は、保持板３６の中央部に形成された孔５０に嵌合されている。
【0019】
図２および図５に示すように、連結部３８は、支持板４２（テーブル本体３４）と保持板３６とを互いに連結する。連結部３８の一端部（Ｚ２方向の端部）には、取付テーブル４０と支持板４２とが複数のねじ部材５２によって固定されている。なお、支持板４２は、取付テーブル４０と連結部３８とによって挟持されている。連結部３８の他端部（Ｚ１方向の端部）には、保持板３６が複数のねじ部材５４によって固定されている。
【0020】
図２、図４、および図５に示すように、連結部３８の外周面には、環状溝５５が形成されている。環状溝５５は、連結部３８の軸方向の中央部に位置する。環状溝５５には、テーブルユニット１６がベース板１４に対してＸＹ平面に沿って移動した際にベース板１４の内周端部が挿入可能である。
【0021】
コンプライアンス機構１８は、ベース板１４およびテーブルユニット１６に対してＸ方向およびＹ方向に移動可能なようにテーブルユニット１６とベース板１４との間に介在されている。一方のコンプライアンス機構１８は、ベース板１４と支持板４２（テーブル本体３４）との間に介在されている。他方のコンプライアンス機構１８は、ベース板１４と保持板３６との間に介在されている。以下、一方のコンプライアンス機構１８を「第１コンプライアンス機構１８ａ」と称呼し、他方のコンプライアンス機構１８を「第２コンプライアンス機構１８ｂ」と称呼することがある。
【0022】
第１コンプライアンス機構１８ａは、複数のボール５６と、板状のリテーナ５８とを有する。ボール５６は、例えば、鋼球である。ボール５６は、ベース板１４のＺ２方向を向く平面６０と、支持板４２のＺ１方向を向く平面６２とに接触する（図４および図５参照）。平面６０と平面６２とは、互いに平行に配置されている。
【0023】
リテーナ５８は、複数のボール５６を転動可能に支持する。リテーナ５８は、円環状に形成されている。リテーナ５８の外径は、支持板４２および保持板３６の各々の外径と同じである。リテーナ５８の外径は、支持板４２および保持板３６の各々の外径よりも大きくても小さくてもよい。リテーナ５８の内径は、連結部３８の外径およびベース板１４の内径の各々よりも大きい。
【0024】
リテーナ５８には、複数のボール５６が配置される複数の配置孔６４が形成されている。複数の配置孔６４は、リテーナ５８の周方向に等間隔に並んでいる（図２および図３参照）。なお、複数の配置孔６４の位置、数等は、適宜設定可能である。
【0025】
第２コンプライアンス機構１８ｂは、第１コンプライアンス機構１８ａと同じ構成を備える。そのため、第２コンプライアンス機構１８ｂの詳細な構成の説明については省略する。なお、第２コンプライアンス機構１８ｂの複数のボール５６は、ベース板１４のＺ１方向を向く平面６６と、保持板３６のＺ２方向を向く平面６８とに接触する（図４および図５参照）。平面６６と平面６８とは、互いに平行に配置されている。
【0026】
このようなコンプライアンスユニット１０では、Ｚ２方向が重力方向になるようにコンプライアンスユニット１０を配置した状態で、テーブルユニット１６は、第２コンプライアンス機構１８ｂを介してベース板１４に支持される。また、Ｚ１方向が重力方向になるようにコンプライアンスユニット１０を配置した状態で、テーブルユニット１６は、第１コンプライアンス機構１８ａを介してベース板１４に支持される。
【0027】
図３、図４、および図６に示すように、原点復帰機構２０は、ベース板１４の平面方向の外側から内側に向かってベース板１４、テーブルユニット１６、および一対のコンプライアンス機構１８を押圧することにより、テーブルユニット１６と一対のコンプライアンス機構１８とをベース板１４に対する原点位置に復帰させる。原点位置において、テーブルユニット１６の中心とコンプライアンス機構１８の中心とは、ベース板１４の中心軸Ａｘに位置する（図３参照）。また、原点復帰機構２０は、テーブルユニット１６とコンプライアンス機構１８とを原点位置に保持（ロック）する。
【0028】
【0029】
【0030】
図７に示すように、第１シリンダ機構７８と第２シリンダ機構８０とは、Ｙ方向に並設されている。第１シリンダ機構７８は、シリンダ孔８２と、ヘッドカバー８４と、ロッドカバー８６と、ピストン８８と、ピストンロッド９０と、エンドプレート９２とを含む。シリンダ孔８２は、Ｘ方向にハウジング７６を貫通する。
【0031】
ヘッドカバー８４は、シリンダ孔８２の一端部を気密に閉塞する。ヘッドカバー８４は、止め輪９４によってハウジング７６に係止されている。ロッドカバー８６は、シリンダ孔８２の他端部を気密に閉塞する。ロッドカバー８６は、止め輪９６によってハウジング７６に係止されている。ロッドカバー８６には、ピストンロッド９０が挿通する孔９８が貫通形成されている。ピストン８８は、ヘッドカバー８４とロッドカバー８６との間に配置される。ピストン８８は、シリンダ孔８２の内周面に気密に接触した状態で移動する。
【0032】
ピストン８８とヘッドカバー８４との間には、第１室１００が形成される。ピストン８８とロッドカバー８６との間には、第２室１０２が形成される。ハウジング７６には、第１室１００に連通する第１ポート１０４と、第２室１０２に連通する第２ポート１０６とが形成されている。第１ポート１０４は、第１室１００に圧力流体を供給し得る。第１ポート１０４は、第１室１００の圧力流体を排出し得る。第２ポート１０６は、第２室１０２に圧力流体を供給し得る。第２ポート１０６は、第２室１０２から圧力流体を排出し得る。圧力流体は、例えば、圧縮空気であるがこれに限定されない。
【0033】
ピストンロッド９０は、ロッドカバー８６の孔９８に挿通されている。ピストンロッド９０の一端部は、ピストン８８に連結されている。ピストンロッド９０の他端部は、ロッドカバー８６に対してピストン８８とは反対側に位置する。図７および図８に示すように、ピストンロッド９０の他端部には、ねじ部材１０８によって接続部材１１０が固定されている。接続部材１１０は、円環状に形成されている。接続部材１１０の内部には、ねじ部材１０８が挿通している。接続部材１１０の外周面には、環状の溝１１２が形成されている。
【0034】
エンドプレート９２は、接続部材１１０に取り付けられている。エンドプレート９２は、Ｘ方向と直交する方向（ＹＺ平面）に広がっている。エンドプレート９２には、接続部材１１０が配置される接続孔１１４が貫通形成されている。接続孔１１４の内面には、接続部材１１０の溝１１２に挿入される凸部１１６が設けられている。図８に示すように、エンドプレート９２のＺ１方向の端部には、ハウジング７６の内側に向かって突出した取付プレート１１８が設けられている。また、エンドプレート９２には、複数のねじ部材１１９によって把持部７２が固定されている（図２および図８参照）。
【0035】
図７に示すように、第２シリンダ機構８０は、第１シリンダ機構７８をＸ方向に反転させた構成を備える。第２シリンダ機構８０の詳細な構成の説明については省略する。第２シリンダ機構８０の第１室１００は、ハウジング７６に形成された図示しない第１連通路を介して第１シリンダ機構７８の第１室１００に連通している。第２シリンダ機構８０の第２室１０２は、ハウジング７６に形成された図示しない第２連通路を介して第１シリンダ機構７８の第２室１０２に連通している。第１シリンダ機構７８のエンドプレート９２と第２シリンダ機構８０のエンドプレート９２とは、ハウジング７６に対してＸ方向の両側に配置されている。
【0036】
図８に示すように、ガイド機構８１は、一対のエンドプレート９２をＸ方向に案内する。ガイド機構８１は、ハウジング７６のＺ１方向を向く面に形成された凹部１２０に配置されている。凹部１２０は、ハウジング７６のＸ方向の全長に亘って延在している。ガイド機構８１は、ガイドレール１２２と、一対のスライダ１２４とを有する。
【0037】
ガイドレール１２２は、凹部１２０の底面に設けられている。ガイドレール１２２は、ハウジング７６のＸ方向の全長に亘って延在している。スライダ１２４は、Ｘ方向にスライド可能にガイドレール１２２に取り付けられている。一方のスライダ１２４には、第１シリンダ機構７８の取付プレート１１８が複数のねじ部材１２６によって固定されている。他方のスライダ１２４には、第２シリンダ機構８０の取付プレート１１８が複数のねじ部材１２６によって固定されている。
【0038】
図７に示すように、駆動機構７０において、第２ポート１０６を外気に連通させた状態で第１ポート１０４に圧力流体を供給すると、第１シリンダ機構７８および第２シリンダ機構８０の各々の第１室１００に圧力流体が流入する。そうすると、ピストン８８が第２室１０２に向かって移動すると共に第２室１０２の流体（圧力流体）が第２ポート１０６から排出される。これにより、一対のエンドプレート９２が互いに離れる方向に移動するため一対の把持部７２が開く（図９および図１０参照）。
【0039】
一方、第１ポート１０４を外気に連通させた状態で第２ポート１０６に圧力流体を供給すると、第１シリンダ機構７８および第２シリンダ機構８０の各々の第２室１０２に圧力流体が流入する。そうすると、ピストン８８が第１室１００に向かって移動すると共に第１室１００の流体（圧力流体）が第１ポート１０４から排出される。これにより、一対のエンドプレート９２が互いに近づく方向に移動するため一対の把持部７２が閉じる（図３および図６参照）。
【0040】
図１～図３に示すように、一対の把持部７２は、テーブルユニット１６と、一対のコンプライアンス機構１８と、ベース板１４とをＸ方向から挟持する。把持部７２は、把持ベース１３０と、第１押圧部１３２と、第２押圧部１３４と、テーブル押圧部１３６とを有する。
【0041】
把持ベース１３０は、Ｙ方向に延在している。把持ベース１３０は、複数のねじ部材１１９によってエンドプレート９２のＺ２方向の端部に固定されている。図６および図１０に示すように、把持ベース１３０には、一対の把持部７２を閉じた際にベース板１４の外周面１４ａに接触するベース接触部１３８が設けられている。ベース接触部１３８は、ベース板１４の外周面１４ａに沿って湾曲した凹状湾曲面１４０である。凹状湾曲面１４０の曲率半径は、ベース板１４の半径よりも大きい。なお、図１０に仮想線で示すように、ベース接触部１３８は、凹状湾曲面１４０でなく、平面１４２であってもよい。
【0042】
図１～図３に示すように、第１押圧部１３２は、第１コンプライアンス機構１８ａをベース板１４の平面方向の外側から内側に押圧する。第１押圧部１３２は、把持ベース１３０のＺ２方向の端部から第１コンプライアンス機構１８ａに向かって突出している。図３に示すように、第１押圧部１３２は、把持ベース１３０から第１コンプライアンス機構１８ａに向かってＹ方向の外側に広がるように突出した一対の突出部１４４を有する。
【0043】
突出部１４４には、一対の把持部７２を閉じた際にリテーナ５８の外周面に接触するリテーナ接触部１４６が設けられている。リテーナ接触部１４６は、平面である。なお、リテーナ接触部１４６は、リテーナ５８の外周面に沿って延在する凹状の湾曲面であってもよい。この場合、湾曲面の曲率半径は、リテーナ５８の半径よりも大きく設定される。
【0044】
図１および図２に示すように、第２押圧部１３４は、第２コンプライアンス機構１８ｂをベース板１４の平面方向の外側から内側に押圧する。第２押圧部１３４は、把持ベース１３０のＺ１方向の端部から第２コンプライアンス機構１８ｂに向かって突出している。第２押圧部１３４は、第１押圧部１３２と同様に構成されている。そのため、第２押圧部１３４の詳細な構成の説明については省略する。
【0045】
テーブル押圧部１３６は、第１押圧部１３２からＺ２方向に突出している。図３に示すように、テーブル押圧部１３６は、第１押圧部１３２の突出部１４４に沿って延びた一対の保持凸部１５０を有する。保持凸部１５０には、取付テーブル４０の側面４０ａに平行に延在したテーブル接触部１５２が設けられている。一対の保持凸部１５０は、互いに繋がっている。これにより、一対の保持凸部１５０が互いに離れている場合と比較して、テーブル押圧部１３６の剛性を高めることができる。
【0046】
図９および図１０に示すように、コンプライアンスユニット１０では、一対の把持部７２が開いている状態で、把持部７２は、ベース板１４、テーブルユニット１６、一対のコンプライアンスユニット１０から離間している。そのため、テーブルユニット１６は、ベース板１４に対してＸＹ平面に沿って移動可能となる。これにより、例えば、ワークの組付時の位置ずれを簡単に補正し得る。テーブルユニット１６がベース板１４に対してＸＹ平面に沿って移動すると、一対のコンプライアンス機構１８もベース板１４に対して原点位置から移動する。
【0047】
本実施形態では、一対の把持部７２を閉じると、テーブル押圧部１３６のテーブル接触部１５２が取付テーブル４０の側面４０ａに接触することにより、テーブル押圧部１３６は、ベース板１４の平面方向の外側から内側に向かって取付テーブル４０を押圧する。また、第１押圧部１３２のリテーナ接触部１４６が第１コンプライアンス機構１８ａのリテーナ５８の外周面に接触することにより、第１押圧部１３２は、ベース板１４の平面方向の外側から内側に向かって第１コンプライアンス機構１８ａを押圧する。さらに、第２押圧部１３４のリテーナ接触部１４６が第２コンプライアンス機構１８ｂのリテーナ５８の外周面に接触することにより、第２押圧部１３４は、ベース板１４の平面方向の外側から内側に向かって第２コンプライアンス機構１８ｂを押圧する。
【0048】
これにより、テーブルユニット１６、第１コンプライアンス機構１８ａ、および第２コンプライアンス機構１８ｂがベース板１４に対する原点位置に復帰される。すなわち、テーブルユニット１６の中心と、第１コンプライアンス機構１８ａの中心と、第２コンプライアンス機構１８ｂの中心とが、ベース板１４の中心軸Ａｘに位置する（図３参照）。
【0049】
また、原点復帰状態において、把持ベース１３０のベース接触部１３８がベース板１４の外周面１４ａに接触する。換言すれば、一対の把持部７２は、ベース板１４を挟持する（図６参照）。これにより、一対の把持部７２は、ベース板１４に対して移動不能となる。さらに、原点復帰状態において、一対の把持部７２は、テーブルユニット１６、第１コンプライアンス機構１８ａ、および第２コンプライアンス機構１８ｂを挟持する。これにより、テーブルユニット１６、第２コンプライアンス機構１８ｂ、および第２コンプライアンス機構１８ｂは、一対の把持部７２を介してベース板１４に保持（ロック）される。
【0050】
ところで、テーブルユニット１６を原点復帰させる際にコンプライアンス機構１８を原点復帰させなかった場合、テーブルユニット１６がベース板１４に対して原点復帰した状態でコンプライアンス機構１８の中心がベース板１４の中心軸Ａｘからずれることがある。この場合、テーブルユニット１６の移動中にコンプライアンス機構１８がストロークエンドに到達することがある。この状態でテーブルユニット１６を移動させると、コンプライアンス機構１８とテーブルユニット１６との間に滑り抵抗が発生することにより、テーブルユニット１６をベース板１４に対して円滑に移動できないことがある。コンプライアンス機構１８をスプリングによって原点位置に復帰させる構成では、テーブルユニット１６を移動させる際にスプリングの反発力が抵抗になるため、テーブルユニット１６をベース板１４に対して円滑に移動できないおそれがある。
【0051】
本実施形態によれば、ベース板１４の平面方向の外側から内側に向かってテーブルユニット１６およびコンプライアンス機構１８を押圧することにより、テーブルユニット１６とコンプライアンス機構１８とをベース板１４に対する原点位置に復帰させることができる。これにより、テーブルユニット１６の移動中にコンプライアンス機構１８がストロークエンドに到達することを抑制できるため、テーブルユニット１６をベース板１４に対して円滑に移動させることができる。また、原点復帰用のスプリングをコンプライアンス機構１８に設ける必要がないため、テーブルユニット１６を移動させる際にスプリングの反発力が作用することもない。よって、より良好なコンプライアンスユニット１０を提供し得る。
【0052】
コンプライアンスユニット１０は、上述した構成に限定されない。駆動機構７０は、エアシリンダを有する構成に限定されない。駆動機構７０は、第１シリンダ機構７８のピストンロッド９０と第２シリンダ機構８０のピストンロッド９０とをラックピニオン機構によって互いに連結させてもよい。この場合、第２シリンダ機構８０のエンドプレート９２は、第１シリンダ機構７８のピストン８８の動きに連動する。
【0053】
また、このような構成によれば、一対の把持部７２によってテーブルユニット１６および一対のコンプライアンス機構１８を保持した状態で、第１シリンダ機構７８および第２シリンダ機構８０のピストン８８の動きをラックピニオン機構によって抑えることができる。そのため、一対の把持部７２によってベース板１４を挟持しなくても、テーブルユニット１６および一対のコンプライアンス機構１８をベース板１４に対する原点位置に保持し得る。
【0054】
また、駆動機構７０は、電動アクチュエータを有してもよい。この場合も、一対の把持部７２によってテーブルユニット１６および一対のコンプライアンス機構１８を保持した状態で、一対の把持部７２がボディ１２に対して移動することを電動アクチュエータによって抑制できる。そのため、一対の把持部７２によってベース板１４を挟持しなくても、テーブルユニット１６および一対のコンプライアンス機構１８をベース板１４に対する原点位置に保持し得る。
【0055】
上述した開示に関し、さらに以下の付記を開示する。
【0056】
（付記１）
コンプライアンスユニット（１０）は、ＸＹ平面に沿って広がるベース板（１４）と、前記ＸＹ平面に沿って前記ベース板に対して移動可能に配置されたテーブルユニット（１６）と、前記ベース板および前記テーブルユニットに対してＸ方向およびＹ方向に移動可能なように前記ベース板と前記テーブルユニットとの間に介在されたコンプライアンス機構（１８）と、前記ベース板の平面方向の外側から内側に向かって前記テーブルユニットおよび前記コンプライアンス機構を押圧することにより、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを前記ベース板に対する原点位置に復帰させる原点復帰機構（２０）と、を備える。
コンプライアンスユニット（１０）は、ＸＹ平面に沿って広がるベース板（１４）と、前記ＸＹ平面に沿って前記ベース板に対して移動可能に配置されたテーブルユニット（１６）と、前記ベース板および前記テーブルユニットに対してＸ方向およびＹ方向に移動可能なように前記ベース板と前記テーブルユニットとの間に介在されたコンプライアンス機構（１８）と、前記ベース板の平面方向の外側から内側に向かって前記テーブルユニットおよび前記コンプライアンス機構を押圧することにより、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを前記ベース板に対する原点位置に復帰させる原点復帰機構（２０）と、を備える。
【0057】
このような構成によれば、テーブルユニットとコンプライアンス機構とが原点位置に復帰することによってテーブルユニットの移動中にコンプライアンス機構がストロークエンドに到達することを抑制できるため、テーブルユニットをベース板に対して円滑に移動させることができる。よって、より良好なコンプライアンスユニットを提供し得る。
【0058】
（付記２）
付記１に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記原点復帰機構は、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを前記原点位置に保持してもよい。
付記１に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記原点復帰機構は、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを前記原点位置に保持してもよい。
【0059】
このような構成によれば、原点復帰機構によってテーブルユニットとコンプライアンス機構とを原点位置に保持（ロック）することができる。これにより、例えば、ワーク搬送時等にテーブルユニットを保持することができる。
【0060】
（付記３）
付記１または２に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記ベース板が取り付けられたボディ（１２）を備え、前記原点復帰機構は、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを挟持するための一対の把持部（７２）と、前記一対の把持部を開閉させるための駆動機構（７０）と、を有し、前記駆動機構は、前記ボディに設けられてもよい。
付記１または２に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記ベース板が取り付けられたボディ（１２）を備え、前記原点復帰機構は、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを挟持するための一対の把持部（７２）と、前記一対の把持部を開閉させるための駆動機構（７０）と、を有し、前記駆動機構は、前記ボディに設けられてもよい。
【0061】
このような構成によれば、一対の把持部によってテーブルユニットおよびコンプライアンス機構を挟持することができる。また、駆動機構がボディに設けられているため、コンプライアンスユニットの構成をコンパクトにできる。
【0062】
（付記４）
付記３に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記原点復帰機構は、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを前記原点位置に復帰させた時に前記ベース板に接触してもよい。
付記３に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記原点復帰機構は、前記テーブルユニットと前記コンプライアンス機構とを前記原点位置に復帰させた時に前記ベース板に接触してもよい。
【0063】
このような構成によれば、簡単な構成により、テーブルユニットとコンプライアンス機構とを原点位置に精度よく保持することができる。
【0064】
（付記５）
付記１～４のいずれかに記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記コンプライアンス機構は、複数のボール（５６）と、前記複数のボールを転動可能に支持する板状のリテーナ（５８）と、を有し、前記原点復帰機構は、前記リテーナの外周面を押圧してもよい。
付記１～４のいずれかに記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記コンプライアンス機構は、複数のボール（５６）と、前記複数のボールを転動可能に支持する板状のリテーナ（５８）と、を有し、前記原点復帰機構は、前記リテーナの外周面を押圧してもよい。
【0065】
このような構成によれば、テーブルユニットをベース板に対して一層円滑に移動させることができる。
【0066】
（付記６）
付記１～５のいずれかに記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記ベース板の中央部には、貫通孔（３２）が形成され、前記テーブルユニットは、テーブル本体（３４）と、前記ベース板に対して前記テーブル本体とは反対側に位置する保持板（３６）と、前記貫通孔に挿通された状態で前記テーブル本体と前記保持板とを互いに連結する連結部（３８）と、を有し、前記コンプライアンス機構は、前記ベース板と前記テーブル本体との間と前記ベース板と前記保持板との間との少なくともいずれかに介在されてもよい。
付記１～５のいずれかに記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記ベース板の中央部には、貫通孔（３２）が形成され、前記テーブルユニットは、テーブル本体（３４）と、前記ベース板に対して前記テーブル本体とは反対側に位置する保持板（３６）と、前記貫通孔に挿通された状態で前記テーブル本体と前記保持板とを互いに連結する連結部（３８）と、を有し、前記コンプライアンス機構は、前記ベース板と前記テーブル本体との間と前記ベース板と前記保持板との間との少なくともいずれかに介在されてもよい。
【0067】
このような構成によれば、簡単な構成により、コンプライアンス機構を介してテーブルユニットをベース板に支持することができる。
【0068】
（付記７）
付記６に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記コンプライアンス機構は、前記ベース板と前記テーブル本体との間と前記ベース板と前記保持板との間との両方に介在されてもよい。
付記６に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記コンプライアンス機構は、前記ベース板と前記テーブル本体との間と前記ベース板と前記保持板との間との両方に介在されてもよい。
【0069】
このような構成によれば、テーブルユニットを上下方向のいずれに向けても使用することができる。
【0070】
（付記８）
付記６または７に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記連結部の外周面には、前記テーブルユニットが前記ベース板に対して前記原点位置から移動した際に前記ベース板の内周端部が挿入可能な環状溝（５５）が形成されてもよい。
付記６または７に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記連結部の外周面には、前記テーブルユニットが前記ベース板に対して前記原点位置から移動した際に前記ベース板の内周端部が挿入可能な環状溝（５５）が形成されてもよい。
【0071】
このような構成によれば、コンプライアンスユニットをコンパクトに構成しつつテーブルユニットのベース板に対する移動可能距離（ストローク）を大きくすることができる。
【0072】
（付記９）
付記３または４に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記ベース板は、円形状の外周面（１４ａ）を有し、前記原点復帰機構は、前記ベース板の前記外周面に接触するベース接触部（１３８）を有し、前記ベース接触部は、前記ベース板の前記外周面に沿って湾曲した凹状湾曲面（１４０）であり、前記凹状湾曲面の曲率半径は、前記ベース板の半径よりも大きくてもよい。
付記３または４に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記ベース板は、円形状の外周面（１４ａ）を有し、前記原点復帰機構は、前記ベース板の前記外周面に接触するベース接触部（１３８）を有し、前記ベース接触部は、前記ベース板の前記外周面に沿って湾曲した凹状湾曲面（１４０）であり、前記凹状湾曲面の曲率半径は、前記ベース板の半径よりも大きくてもよい。
【0073】
このような構成によれば、一対の把持部の開閉方向と直交する方向（Ｙ方向）の累積公差の影響を緩和してベース接触部をベース板の外周面に接触させることができる。これにより、ベース接触部に作用する応力を低減することができるため、コンプライアンスユニットの部品の寿命を長くできる。
【0074】
（付記１０）
付記３または４に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記ベース板は、円形状の外周面を有し、前記原点復帰機構は、前記ベース板の前記外周面に接触するベース接触部を有し、前記ベース接触部は、平面（１４２）であってもよい。
付記３または４に記載のコンプライアンスユニットにおいて、前記ベース板は、円形状の外周面を有し、前記原点復帰機構は、前記ベース板の前記外周面に接触するベース接触部を有し、前記ベース接触部は、平面（１４２）であってもよい。
【0075】
このような構成によれば、付記９と同様の効果を奏する。
【0076】
なお、本発明は、上述した開示に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得る。
【符号の説明】
【0077】
１０…コンプライアンスユニット １２…ボディ
１４…ベース板 １４ａ…ベース板の外周面
１６…テーブルユニット １８…コンプライアンス機構
２０…原点復帰機構 ２４…孔
３２…貫通孔 ３４…テーブル本体
３６…保持板 ３８…連結部
５５…環状溝 ５６…ボール
５８…リテーナ ７０…駆動機構
７２…把持部 １３８…ベース接触部
１４０…凹状湾曲面 １４２…平面
１４…ベース板 １４ａ…ベース板の外周面
１６…テーブルユニット １８…コンプライアンス機構
２０…原点復帰機構 ２４…孔
３２…貫通孔 ３４…テーブル本体
３６…保持板 ３８…連結部
５５…環状溝 ５６…ボール
５８…リテーナ ７０…駆動機構
７２…把持部 １３８…ベース接触部
１４０…凹状湾曲面 １４２…平面
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】