特開 2024-164663 評価装置、試験インタフェースプログラム、評価方法、および評価プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024164663

(43)【公開日】2024-11-27

(54)【発明の名称】評価装置、試験インタフェースプログラム、評価方法、および評価プログラム

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/28 20060101AFI20241120BHJP

   G01R 31/26 20200101ALI20241120BHJP

   H01L 21/66 20060101ALI20241120BHJP

【ＦＩ】

G01R31/28 H

G01R31/26 Z

H01L21/66 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023080308

(22)【出願日】2023-05-15

(71)【出願人】

【識別番号】390005175

【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト

(74)【代理人】

【識別番号】110000877

【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】松崎 泰徳

(72)【発明者】

【氏名】永田 耕一郎

(72)【発明者】

【氏名】斉藤 裕子

【テーマコード（参考）】

2G003

2G132

4M106

【Ｆターム（参考）】

2G003AA07

2G003AA10

2G003AF06

2G003AH01

2G003AH04

2G132AA00

2G132AE14

2G132AE19

2G132AE23

2G132AL09

4M106AA01

4M106AA02

4M106AA04

4M106BA01

4M106DD10

4M106DD23

4M106DJ14

4M106DJ38

(57)【要約】

【解決手段】第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果を取得する結果取得部と、第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果に基づいて、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験する場合に対する、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定する場合のフェイル増加度を推定する推定部と、フェイル増加度に基づいて、判定基準を評価する評価部とを備える評価装置を提供する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果を取得する結果取得部と、
前記第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果に基づいて、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験する場合に対する、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定する場合のフェイル増加度を推定する推定部と、
前記フェイル増加度に基づいて、前記判定基準を評価する評価部と
を備える評価装置。

【請求項2】

前記評価部は、前記フェイル増加度が予め定められた許容範囲内か否かを判定するフェイル増加度判定部を有する請求項１に記載の評価装置。

【請求項3】

前記評価部は、前記フェイル増加度が前記許容範囲外であったことに応じて前記フェイル増加度が前記許容範囲内となるように前記判定基準を調整する調整部を有する請求項２に記載の評価装置。

【請求項4】

前記第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果は、複数の試験項目のそれぞれの項目試験結果を含み、
前記調整部は、前記判定基準として、前記複数の試験項目のうち、項目試験結果がフェイルであっても被試験デバイスの再試験を行わないこととする少なくとも１つの試験項目または項目試験結果の組を決定する
請求項３に記載の評価装置。

【請求項5】

前記推定部は、前記第１の複数の被試験デバイスのそれぞれについて、初回の試験結果、および初回の試験結果がフェイルであった場合の再試験の試験結果に基づいて、前記フェイル増加度を推定する請求項１に記載の評価装置。

【請求項6】

前記第１の複数の被試験デバイスの後に試験される第２の複数の被試験デバイスのそれぞれについて、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験するか否かを前記判定基準を用いて判定する再試験判定部を備える請求項５に記載の評価装置。

【請求項7】

被試験デバイスを試験する試験装置により実行される試験インタフェースプログラムであって、
前記試験インタフェースプログラムは、前記試験装置により実行されると、前記試験装置に、
一の被試験デバイスの試験を行うことを指示する試験指示を受けたことに応じて、前記試験装置により実行される試験プログラムを呼び出して前記一の被試験デバイスの試験を行うことを指示することと、
前記一の被試験デバイスの試験結果がフェイルであった場合に、前記一の被試験デバイスを再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定することと、
前記一の被試験デバイスを再試験しないと判定したことに応じて、前記一の被試験デバイスの再試験をスキップすることと
を実行させる試験インタフェースプログラム。

【請求項8】

前記試験装置に、前記一の被試験デバイスを再試験すると判定したことに応じて、前記試験プログラムを呼び出して、前記一の被試験デバイスの試験を行うことを指示することを更に実行させる請求項７に記載の試験インタフェースプログラム。

【請求項9】

前記試験装置に、前記一の被試験デバイスの再試験をスキップしたことに応じて、前記一の被試験デバイスの試験の試験結果がフェイルであったことを試験指示の送信元に応答することを更に実行させる請求項８に記載の試験インタフェースプログラム。

【請求項10】

前記試験装置に、前記一の被試験デバイスを再試験するか否かの判定において、前記一の被試験デバイスの試験結果がフェイルであり、かつ前記一の被試験デバイスの試験を再度行うことを指示する試験指示を受けたことに応じて、前記一の被試験デバイスを再試験するか否かを前記判定基準を用いて判定することを実行させる請求項８に記載の試験インタフェースプログラム。

【請求項11】

前記試験装置に、前記一の被試験デバイスを再試験するか否かの判定において、前記一の被試験デバイスの試験結果がフェイルであったことに応じて、前記一の被試験デバイスの試験を再度行うことを指示する試験指示を受けとることなく、前記一の被試験デバイスを再試験するか否かを前記判定基準を用いて判定することを実行させる請求項８に記載の試験インタフェースプログラム。

【請求項12】

第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果を取得することと、
前記第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果に基づいて、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験する場合に対する、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定する場合のフェイル増加度を推定することと、
前記フェイル増加度に基づいて、前記判定基準を評価することと
を備える評価方法。

【請求項13】

評価装置により実行され、前記評価装置に、
第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果を取得することと、
前記第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果に基づいて、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験する場合に対する、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定する場合のフェイル増加度を推定することと、
前記フェイル増加度に基づいて、前記判定基準を評価することと
を実行させる評価プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、評価装置、試験インタフェースプログラム、評価方法、および評価プログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、「被測定デバイスに対して行われる複数の項目の試験の試験結果を取得する結果取得部と、前記試験をフェイルした被測定デバイスに再試験を行うか否かを判定する第１判定部と、を備え、前記第１判定部は、予め複数の被測定デバイスに前記試験を複数回行った場合での試験結果の再現性に基づいて判定を行う、判定装置」と記載されている（請求項１）。特許文献２には、「分類部１３は、取得した検査結果のうちの全ての検査項目（検査部３０）の結果に不合格（ＦＡＩＬ）がなく、且つ、未実施が含まれる場合に、半導体装置２に再検査が必要であると判定し、処理をステップＳ１０５に進める」と記載されている（段落００４０）。特許文献３には、「一方、制御部８は、検査部３１～３３から得られる検査結果において、再検査対象項目に該当する項目が不良であることを確認すると（ステップ＃６、ＹＥＳ）、検査部３１～３３によるサンプルＳの検査回数がＮ回（Ｎは２以上の整数）よりも少ないか否かを確認する（ステップ＃８）。なお、再検査を一度も行っていない場合、この時点におけるサンプルＳの検査回数は１回である」（段落００３４）、および「制御部８は、サンプルＳの検査回数がＮ回よりも少ないことを確認すると（ステップ＃８、ＮＯ）、搬入出部４を制御して、サンプルＳを載置部２３に載置し直す（ステップ＃９）。このとき、搬入出部４は、例えばサンプルＳを、載置部２３に対して挿し直したり、置き直したりする。そして、制御部８は、搬送部２を制御してサンプルＳを再搬送させ、検査部３１～３３にサンプルＳを再検査させる（ステップ＃３）」（段落００３５）と記載されている。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］ 特開２０２１－１４３８８０号公報
［特許文献２］ 特開２０１７－０４４４８０号公報
［特許文献３］ 特開２０１３－２３８５２６号公報

【発明の概要】

【0003】

本発明の第１の態様においては、第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果を取得する結果取得部と、前記第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果に基づいて、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験する場合に対する、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定する場合のフェイル増加度を推定する推定部と、前記フェイル増加度に基づいて、前記判定基準を評価する評価部とを備える評価装置を提供する。

【0004】

上記の評価装置において、前記評価部は、前記フェイル増加度が予め定められた許容範囲内か否かを判定するフェイル増加度判定部を有してよい。

【0005】

上記のいずれかの評価装置において、前記評価部は、前記フェイル増加度が前記許容範囲外であったことに応じて前記フェイル増加度が前記許容範囲内となるように前記判定基準を調整する調整部を有してよい。

【0006】

上記のいずれかの評価装置において、前記第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果は、複数の試験項目のそれぞれの項目試験結果を含み、前記調整部は、前記判定基準として、前記複数の試験項目のうち、項目試験結果がフェイルであっても被試験デバイスの再試験を行わないこととする少なくとも１つの試験項目または項目試験結果の組を決定してよい。

【0007】

上記のいずれかの評価装置において、前記推定部は、前記第１の複数の被試験デバイスのそれぞれについて、初回の試験結果、および初回の試験結果がフェイルであった場合の再試験の試験結果に基づいて、前記フェイル増加度を推定してよい。

【0008】

上記のいずれかの評価装置は、前記第１の複数の被試験デバイスの後に試験される第２の複数の被試験デバイスのそれぞれについて、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験するか否かを前記判定基準を用いて判定する再試験判定部を備えてよい。

【0009】

本発明の第２の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置により実行される試験インタフェースプログラムであって、前記試験インタフェースプログラムは、前記試験装置により実行されると、前記試験装置に、一の被試験デバイスの試験を行うことを指示する試験指示を受けたことに応じて、前記試験装置により実行される試験プログラムを呼び出して前記一の被試験デバイスの試験を行うことを指示することと、前記一の被試験デバイスの試験結果がフェイルであった場合に、前記一の被試験デバイスを再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定することと、前記一の被試験デバイスを再試験しないと判定したことに応じて、前記一の被試験デバイスの再試験をスキップすることとを実行させる試験インタフェースプログラムを提供する。

【0010】

上記の試験インタフェースプログラムは、前記試験装置に、前記一の被試験デバイスを再試験すると判定したことに応じて、前記試験プログラムを呼び出して、前記一の被試験デバイスの試験を行うことを指示することを実行させてよい。

【0011】

上記のいずれかの試験インタフェースプログラムは、前記試験装置に、前記一の被試験デバイスの再試験をスキップしたことに応じて、前記一の被試験デバイスの試験の試験結果がフェイルであったことを試験指示の送信元に応答することを実行させてよい。

【0012】

上記の試験インタフェースプログラムは、前記試験装置に、前記一の被試験デバイスを再試験するか否かの判定において、前記一の被試験デバイスの試験結果がフェイルであり、かつ前記一の被試験デバイスの試験を再度行うことを指示する試験指示を受けたことに応じて、前記一の被試験デバイスを再試験するか否かを前記判定基準を用いて判定することを実行させてよい。

【0013】

上記の試験インタフェースプログラムは、前記試験装置に、前記一の被試験デバイスを再試験するか否かの判定において、前記一の被試験デバイスの試験結果がフェイルであったことに応じて、前記一の被試験デバイスの試験を再度行うことを指示する試験指示を受けとることなく、前記一の被試験デバイスを再試験するか否かを前記判定基準を用いて判定することを実行させてよい。

【0014】

本発明の第３の態様においては、第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果を取得することと、前記第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果に基づいて、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験する場合に対する、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定する場合のフェイル増加度を推定することと、前記フェイル増加度に基づいて、前記判定基準を評価することとを備える評価方法を提供する。

【0015】

本発明の第４の態様においては、評価装置により実行され、前記評価装置に、第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果を取得することと、前記第１の複数の被試験デバイスのそれぞれの試験結果に基づいて、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験する場合に対する、試験結果がフェイルであった被試験デバイスを再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定する場合のフェイル増加度を推定することと、前記フェイル増加度に基づいて、前記判定基準を評価することとを実行させる評価プログラムを提供する。

【0016】

なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本実施形態に係る試験システム１０の構成を示す。

【図2】本実施形態に係る試験装置１１０および評価装置１４０の構成を示す。

【図3】本実施形態に係る試験システム１０により実行される評価フローを示す。

【図4】本実施形態に係る試験システム１０により生成される判定基準の一例を示す。

【図5】本実施形態に係る試験システム１０により実行される試験フローを示す。

【図6】本実施形態に係る試験システム１０により実行される試験手順の第１例を示す。

【図7】本実施形態に係る試験システム１０により実行される試験手順の第２例を示す。

【図8】本実施形態に係る試験システム１０による複数ロットのＤＵＴ２０の試験の流れの一例を示す。

【図9】本実施形態に係る試験システム１０による判定基準の調整例を示す。

【図10】本実施形態に係る試験システム１０により生成される表示画面の一例を示す。

【図11】本発明の複数の態様が全体的または部分的に具現化されてよいコンピュータ２２００の例を示す。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

【0019】

図１は、本実施形態に係る試験システム１０の構成を被試験デバイス（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）２０と共に示す。ＤＵＴ２０は、試験システム１０による試験の対象となる回路が形成されたデバイスである。ＤＵＴ２０は、回路が形成されたウェハ、ウェハ上に形成された各ＩＣ／ＬＳＩチップ回路、ウェハが個片化されたＩＣ／ＬＳＩチップ、または、ＩＣ／ＬＳＩチップがパッケージングされたＩＣ／ＬＳＩパッケージ等であってよい。本図の例においては、試験システム１０は、複数のＤＵＴ２０が形成されたウェハ３０を搭載して各ＤＵＴ２０を試験する。これに代えて、試験システム１０は、２以上のＤＵＴ２０を同時に試験してもよい。

【0020】

試験システム１０は、ＤＵＴ２０の電気的試験を行う。これに代えて、またはこれに加えて、試験システム１０は、ＤＵＴ２０の光入出力試験を行ってもよい。本実施形態においては、試験システム１０がＤＵＴ２０の電気的試験を行う場合を例として説明する。試験システム１０がＤＵＴ２０の光入出力試験を行う場合には、試験装置１およびＤＵＴ１０は電気的接続に代えて光接続により接続される。

【0021】

試験システム１０は、プローバ装置１００と、試験装置１１０と、評価装置１４０とを備える。プローバ装置１００は、ウェハ３０を搬送してステージ上に載置する。プローバ装置１００は、ステージを水平方向（「ＸＹ方向」とも示す。）に移動させてウェハ３０上における試験対象となるＤＵＴ２０とテストヘッド１２０のプローブカードとの位置合わせを行った後に、ステージを垂直方向（「Ｚ方向」とも示す。）上側に移動させて試験対象のＤＵＴ２０の各電極とプローブカードの各プローブピンとを電気的に接続する。

【0022】

ＤＵＴ２０の試験が完了すると、プローバ装置１００は、ステージを垂直方向下側に移動させてＤＵＴ２０をプローブカードから離した後、次に試験対象となるＤＵＴ２０とプローブカードとの位置合わせし、ＤＵＴ２０の各電極とプローブカードの各プローブピンとを電気的に接続する。ウェハ３０上の全ＤＵＴ２０の試験が完了すると、プローバ装置１００は、ウェハ３０を搬出し、次のウェハ３０をステージ上に載置して次のウェハ３０上の各ＤＵＴ２０をプローブカードに順に電気的に接続して試験させていく。なお、本図の例においては、プローバ装置１００はステージを垂直および水平方向に移動させるが、これに代えて、プローバ装置１００はテストヘッドを垂直方向または水平方向の少なくとも一方向に移動させてもよい。

【0023】

試験装置１１０は、プローバ装置１００のステージに載置されたウェハ３０上の試験対象のＤＵＴ２０を試験する。試験装置１１０は、テストヘッド１２０と、メインフレーム１３０とを有する。テストヘッド１２０は、ＤＵＴ２０との間で信号を授受してＤＵＴ２０を試験する試験モジュールを内蔵し、試験モジュールとＤＵＴ２０との間を電気的に接続するプローブカードを図中下面側に搭載する。

【0024】

メインフレーム１３０は、プローバ装置１００およびテストヘッド１２０に接続される。メインフレーム１３０は、ＤＵＴ２０の試験を行なうためにテストヘッド１２０の各部を制御する。本実施形態において、メインフレーム１３０は、テストヘッド１２０等が設けられる筐体とは別筐体である。これに代えて、メインフレーム１３０内の各構成は、テストヘッド１２０と同じ筐体に設けられてもよい。

【0025】

評価装置１４０は、試験装置１１０のメインフレーム１３０に接続される。評価装置１４０は、ＤＵＴ２０の試験結果がフェイルであった場合にＤＵＴ２０を再試験するか否かを判定するための判定基準を評価する。評価装置１４０は、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）、タブレット型コンピュータ、スマートフォン、ワークステーション、サーバコンピュータ、または汎用コンピュータ等のコンピュータであってよく、複数のコンピュータが接続されたコンピュータシステムであってもよい。このようなコンピュータシステムもまた広義のコンピュータである。また、評価装置１４０は、コンピュータ内で１または複数実行可能な仮想コンピュータ環境によって実装されてもよい。これに代えて、評価装置１４０は、判定基準の評価用に設計された専用コンピュータであってもよく、専用回路によって実現された専用ハードウェアであってもよい。評価装置１４０は、試験装置１１０の近傍に設置されてよい。これに代えて、評価装置１４０は、インターネットを介して試験装置１１０に接続され、試験装置１１０に対して判定基準を評価するクラウドサービスを提供してもよい。

【0026】

図２は、本実施形態に係る試験装置１１０および評価装置１４０の構成を、ＤＵＴ２０、プローバ装置１００、表示装置２６０、および入力装置２７０と共に示す。試験装置１１０は、１または複数の試験モジュール２００と、試験制御部２０５と、試験インタフェース部２１０とを備える。

【0027】

各試験モジュール２００は、テストヘッド１２０内のスロットに挿入されて、テストヘッド１２０のバックプレーンに着脱可能に接続される。試験モジュール２００は、「ピンエレクトロニクスカード」または「テスタボード」等とも称されうる。各試験モジュール２００は、試験装置１１０に搭載されたハイフィックスおよびプローブカード等の接続装置を介してＤＵＴ２０に電気的に接続される。各試験モジュール２００は、ＤＵＴ２０との間で信号を入出力し、ＤＵＴ２０から入力する信号を検査することによりＤＵＴ２０を試験する。

【0028】

ＤＵＴ２０の動作試験用の試験モジュール２００は、ＤＵＴ２０との間で信号を送受信してＤＵＴ２０の良否を判定するための各種の回路を含んでよい。一例として、このような回路は、試験パターンを発生するパターン発生器、タイミングを発生するタイミング発生器、タイミング発生器により発生されたタイミングを用いて試験パターンを整形して試験信号を出力する波形整形器、試験信号を増幅してＤＵＴ２０へと出力するドライバ回路、ＤＵＴ２０からの応答信号を目標値と比較する比較器、または比較器による比較結果を用いてＤＵＴ２０の良否を判定する判定器等であってよい。また、ＤＵＴ２０のパラメトリック試験用の試験モジュール２００は、ＤＵＴ２０に供給する電圧を発生する電圧発生器、ＤＵＴ２０に供給する電流を発生する電流発生器、ＤＵＴ２０が出力する電圧を測定する電圧測定器、ＤＵＴ２０が出力する電流を測定する電流測定器、ＤＵＴ２０が出力する信号の周波数を測定する周波数測定器等の少なくとも１つを含む各種の回路を含んでよい。

【0029】

試験制御部２０５は、メインフレーム１３０内に配置される。試験制御部２０５は、各試験モジュール２００に接続され、ＤＵＴ２０の試験を制御する。試験制御部２０５は、試験装置１１０のテスタコントローラ等の試験制御装置として機能するコンピュータにより実現される場合、コンピュータ上で試験プログラムを実行することによりＤＵＴ２０の試験を制御してよい。試験制御部２０５は、各試験モジュール２００に試験パターンおよび試験シーケンスを供給して各試験モジュール２００により実行させ、ＤＵＴ２０を試験させる。試験制御部２０５は、ＤＵＴ２０の試験結果を各試験モジュール２００から収集して記録する。試験制御部２０５は、各ＤＵＴ２０の試験結果を、標準規格であるＳＴＤＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｔｅｓｔ Ｄａｔａ Ｆｏｒｍａｔ）形式で記録してよい。

【0030】

試験インタフェース部２１０は、プローバ装置１００および試験制御部２０５に接続され、プローバ装置１００および試験制御部２０５の間の通信を中継する。試験インタフェース部２１０は、試験装置１１０の外部の装置（本実施形態においてはプローバ装置１００）に対して、試験装置１１０の主要部である各試験モジュール２００および試験制御部２０５に対するインタフェース（試験インタフェース）として機能する。試験インタフェース部２１０は、試験装置１１０のテスタコントローラ等の試験制御装置として機能するコンピュータにより実現される場合、コンピュータ上で試験インタフェースプログラムを実行することにより試験装置１１０の外部に対するインタフェースとして機能してよい。このような試験インタフェースプログラムは、一般的な試験装置の試験制御装置が有する、外部の装置との間の通信を担う試験装置ドライバの上に付加されて、外部の装置に意識させることなくＤＵＴ２０の再試験を実施可能とする付加ドライバとして機能してよい。これに代えて、試験インタフェース部２１０は、試験装置１１０の試験制御装置とは異なる装置またはコンピュータにより実現されてもよい。

【0031】

試験インタフェース部２１０は、試験指示部２１５と、再試験判定部２２０とを有する。試験指示部２１５は、プローバ装置１００と試験制御部２０５との間の通信を中継する。試験指示部２１５は、プローバ装置１００によって試験モジュール２００に電気的に接続されたあるＤＵＴ２０の試験を行うことを指示する試験指示をプローバ装置１００から受けたことに応じて、試験装置１１０の試験制御装置により実行される試験プログラムを呼び出す等によって実行させるにより、試験制御部２０５に対してこのＤＵＴ２０の試験を行うことを指示する。試験指示部２１５は、ＤＵＴ２０の試験結果を試験制御部２０５から受け取る。試験指示部２１５は、ＤＵＴ２０の試験結果を試験指示の送信元であるプローバ装置１００に返信する。

【0032】

再試験判定部２２０は、試験指示部２１５に接続される。再試験判定部２２０は、ＤＵＴ２０の試験結果を試験指示部２１５から受け取る。再試験判定部２２０は、ＤＵＴ２０の試験結果がフェイルであった場合に、ＤＵＴ２０を再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定する。本実施形態において、再試験判定部２２０は、この判定基準を評価装置１４０から受け取る。再試験判定部２２０は、再試験の要否を試験指示部２１５に通知する。再試験判定部２２０がＤＵＴ２０を再試験すると判定したことに応じて、試験指示部２１５は、試験プログラムを呼び出して、ＤＵＴ２０の試験を再度行うことを指示する。再試験判定部２２０がＤＵＴ２０を再試験しないと判定したことに応じて、試験指示部２１５は、ＤＵＴ２０の再試験をスキップする。

【0033】

評価装置１４０は、判定基準データベース（ＤＢ）２３０と、結果取得部２３５と、推定部２４０と、評価部２４５とを有する。判定基準ＤＢ２３０は、ＤＵＴ２０を再試験するか否かの判定基準を格納する。結果取得部２３５は、複数のＤＵＴ２０のそれぞれの試験結果を試験装置１１０内の試験制御部２０５から試験指示部２１５経由で受信する等により取得する。結果取得部２３５は、試験結果を試験制御部２０５から直接受信してもよい。

【0034】

推定部２４０は、判定基準ＤＢ２３０および結果取得部２３５に接続される。推定部２４０は、複数のＤＵＴ２０のそれぞれの試験結果に基づいて、試験結果がフェイルであったＤＵＴ２０を再試験する場合に対する、試験結果がフェイルであったＤＵＴ２０を再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定する場合のフェイル増加度を推定する。本実施形態において、推定部２４０は、判定基準ＤＢ２３０に格納された判定基準を参照する。

【0035】

評価部２４５は、判定基準ＤＢ２３０および推定部２４０に接続される。評価部２４５は、推定部２４０が推定したフェイル増加度に基づいて、判定基準を評価する。評価部２４５は、フェイル増加度判定部２５０と、調整部２５５とを有してもよい。フェイル増加度判定部２５０は、フェイル増加度が予め定められた許容範囲内か否かを判定する。調整部２５５は、判定基準を調整する。調整部２５５は、フェイル増加度が許容範囲外であったことに応じてフェイル増加度が許容範囲内となるように判定基準ＤＢ２３０に格納された判定基準を調整してよい。なお、評価部２４５は、表示装置２６０および入力装置２７０に接続されてよい。この場合、評価部２４５は、フェイル増加度等を表示装置２６０に表示し、調整部２５５は、入力装置２７０に入力されるユーザの指示または承認を受けて判定基準を調整してよい。

【0036】

図３は、本実施形態に係る試験システム１０により実行される評価フローを示す。本評価フローにおいては、試験システム１０は、判定基準を評価するために、試験結果がフェイルであったＤＵＴ２０を判定基準によらず再試験をすることにより、判定基準を用いて適応的に再試験を行ったとすると再試験でどのような試験結果となったかについてのデータを収集する。

【0037】

ステップ３００（Ｓ３００）において、試験システム１０は、複数のＤＵＴ２０を試験する。試験システム１０は、試験結果がフェイルであった全てのＤＵＴ２０を再試験する。ここで、試験システム１０は、全てのＤＵＴ２０を２回またはそれ以上試験する等により、試験結果がパスであった各ＤＵＴ２０も再試験してもよい。なお、判定基準の評価のために試験および再試験するＤＵＴ２０の数は、１枚のウェハ３０に含まれるＤＵＴ２０の数分であってよく、ウェハ３０に含まれるＤＵＴ２０の数の一部であってよく、複数枚のウェハ３０に含まれるＤＵＴ２０の数分であってもよい。なお、プローバ装置１００は、ＤＵＴ２０を再試験するために、一旦ＤＵＴ２０をZ方向下向きに移動してテストヘッド１２０の各プローブピンをＤＵＴ２０から離してから、ＤＵＴ２０をZ方向上向きに移動して各プローブピンをＤＵＴ２０に再接続（「再タッチダウン」または「リプローブ」とも示す。）させてもよい。通常の再試験時に再タッチダウンを行わない場合には、プローバ装置１００は、Ｓ３００においても再タッチダウンを行わなくてもよい。

【0038】

Ｓ３１０において、結果取得部２３５は、複数のＤＵＴ２０の試験および再試験の試験結果を試験制御部２０５から試験インタフェース部２１０経由で取得する。結果取得部２３５は、各ＤＵＴ２０の試験または再試験の度に試験制御部２０５が試験インタフェース部２１０へと送信する試験結果を順次取得してよく、複数のＤＵＴ２０の試験および再試験の結果を試験制御部２０５から一括して取得してよい。結果取得部２３５は、試験結果を試験制御部２０５から直接取得してもよい。また、結果取得部２３５は、試験制御部２０５が試験装置１１０の外部の記憶装置等に保存した各ＤＵＴ２０の試験結果を読み出すことにより取得してもよい。

【0039】

Ｓ３２０において、推定部２４０は、複数のＤＵＴ２０のそれぞれの試験結果に基づいて、試験結果がフェイルであったＤＵＴ２０を再試験する場合に対する、試験結果がフェイルであったＤＵＴ２０を再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定する場合のフェイル増加度を推定する。例えば、１００個のＤＵＴ２０の試験および再試験を行った結果、８９個が初回の試験（「初検」または「初測」とも示す。）でパスとなり、初回の試験でフェイルとなった残り１１個のうち５個が再試験（「再検」または「再測」とも示す。）でパスとなり、６個が再試験でもフェイルとなったとする。ここで、推定部２４０が、判定基準ＤＢ２３０に格納されたある判定基準を用いた場合には、初回の試験でフェイルとなった残り１１個のＤＵＴ２０のうち特定の６個のＤＵＴ２０が再試験の対象となり、そのうちの４個のＤＵＴ２０がパスであり、２個のＤＵＴ２０がフェイルであったことを特定したとする。この場合、試験結果がフェイルであったＤＵＴ２０を全て再試験した場合にはフェイル数は６個であるのに対し、試験結果がフェイルであったＤＵＴ２０を判定基準を用いて再試験するか否かを判定して再試験した場合にはフェイル数は７個となる。

【0040】

この例において、推定部２４０は、この判定基準を用いて判定する場合のフェイル増加度は１００個のＤＵＴ２０の試験に対して１個分であったと算出する。なお、フェイル増加度は、様々な表現形式で表されてよい。例えば、フェイル増加度は、歩留まりの低下率（１／１００＝１．０％）、所定数のＤＵＴ２０当たりのフェイル増加個数（１００個あたり１個）、ウェハ３０の１枚あたりのフェイル増加個数（ウェハ３０に２５個のＤＵＴ２０が含まれる場合、０．２５個）、初検でパスであったＤＵＴ２０の数に対するフェイル増加個数の比率（１／８９＝１．１２％）等のような、フェイルしたＤＵＴ２０を全て再試験する場合に対してフェイルしたＤＵＴ２０の再試験を判定基準を用いて判定する場合にどの程度フェイルが増加するかを示す任意の指標であってよい。また、推定部２４０は、試験結果がフェイルであったＤＵＴ２０を再試験する場合に対する、試験結果がフェイルであったＤＵＴ２０を再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定する場合のパスの減少度をフェイル増加度として用いてよい。

【0041】

なお、説明の便宜上、本明細書において初回の試験（または初測、初検）および再試験（または再測、再検）等の用語を用いているが、初回の試験とはＤＵＴ２０に対して初めて行う試験に限られず、再度試験を行うか否かを判定基準ＤＢ２３０に格納されたある判定基準を用いて判定する対象となる試験を意味する。例えば、試験装置１１０がＤＵＴ２０の仮試験等を行い、仮試験等の試験結果を破棄して２回目の試験を行い、２回目の試験の試験結果に基づいて再試験の要否を判定する場合には、２回目の試験が本明細書における初回の試験に対応する。また、試験装置１１０がＤＵＴ２０を３回試験し、３回の試験の試験結果に基づいて再試験の要否を判定する場合には、３回の試験の組が本明細書における初回の試験に対応する。

【0042】

同様に、再試験とは、初回の試験によりＤＵＴ２０の試験結果が判明し、判定基準を適用可能な状態で行う試験を意味する。試験装置１１０がＤＵＴ２０の初回の試験を行って一旦パスまたはフェイルの試験結果を得た後に行う試験は、無条件で再度試験する場合、判定基準を用いて再度試験するか否かを決定する場合、フェイルであれば再度試験する場合のいずれも再試験とみなしてよい。また、例えば試験装置１１０がＤＵＴ２０の１回目の試験を行い、１回目の試験の試験結果に応じて判定基準Ａを用いて再試験をするか否かを判定して２回目の試験を行い、２回目の試験の試験結果に応じて判定基準Ｂを用いて再試験をするか否かを判定して３回目の試験を行った場合には、判定基準Ａに対しては１回目の試験が初回の試験、２回目以降の試験は再試験とみなすことができ、判定基準Ｂに対しては１～２回目の試験が初回の試験、３回目の試験は再試験とみなすことができる。

【0043】

Ｓ３３０において、評価部２４５は、フェイル増加度に基づいて、判定基準を評価する。本実施形態において、フェイル増加度判定部２５０は、フェイル増加度が予め定められた許容範囲内か否かを判定する。例えば、フェイル増加度判定部２５０は、フェイル増加度が歩留まりの低下率で表される場合、フェイル増加度が０．５％未満等の許容範囲内か否かを判定する。評価部２４５は、フェイル増加度が許容範囲内である場合（Ｓ３３０においてＮＯ）、処理をＳ３５０へと進める。

【0044】

フェイル増加度が許容範囲外であった場合（Ｓ３３０においてＹＥＳ）、調整部２５５は、Ｓ３４０において、フェイル増加度が許容範囲内となるように判定基準ＤＢ２３０に格納された判定基準を調整する。調整部２５５は、フェイル増加度が許容範囲の上限よりも大きい場合に、再試験を行うと判定されるＤＵＴ２０の数をより増やすように判定基準を調整する。また、調整部２５５は、フェイル増加度が許容範囲の下限よりも小さい場合に、再試験を行うと判定されるＤＵＴ２０の数をより減らすように判定基準を調整してよい。

【0045】

Ｓ３５０において、評価部２４５は、判定基準の評価結果および調整結果を表示装置２６０に表示するための表示処理を行う。すなわち、評価部２４５は、Ｓ３４０において調整した判定基準を直ちに判定基準ＤＢ２３０に格納するのに代えて、判定基準の調整結果を一旦ユーザに提示する。

【0046】

Ｓ３６０において、評価部２４５は、入力装置２７０により判定基準に対するユーザの選択を入力する。評価部２４５は、Ｓ３５０においてユーザに提示した調整後の判定基準を承認するか否かの指示を入力してよい。また、Ｓ３４０において調整部２５５が判定基準について複数の調整案（調整候補）を生成した場合には、評価部２４５は、いずれの調整案を選択するかの指示を入力してよい。

【0047】

Ｓ３７０において、評価部２４５は、調整後の判定基準が承認または選択されたことに応じて、調整後の判定基準を判定基準ＤＢ２３０に登録する。なお、推定部２４０は、Ｓ３５０およびＳ３６０の処理を行わず自動的に調整後の判定基準を判定基準ＤＢ２３０に登録してもよい。

【0048】

以上に示した評価装置１４０によれば、試験結果がフェイルであったＤＵＴ２０を再試験した場合に対し、再試験するか否かを判定基準を用いて判定した場合のフェイル増加度を推定し、評価することができる。これにより、評価装置１４０は、判定基準が原因となってＤＵＴ２０の歩留まりが許容範囲以上に低下しないかどうかをモニタリング可能とすることができる。

【0049】

また、評価装置１４０は、調整部２５５を有する場合には、判定基準を調整してフェイル増加度を許容範囲内に維持することができる。これにより、評価装置１４０は、ＤＵＴ２０の歩留まりに与える影響を抑えつつ、ＤＵＴ２０を適応的に再試験しないようにして試験時間を削減する等により試験の効率を向上することができる。

【0050】

図４は、本実施形態に係る試験システム１０により生成される判定基準の一例を示す。図３のＳ３００において、試験装置１１０は、ＤＵＴ２０に対し、複数の試験項目の試験を行ってよい（参照）。本図の例においては、試験装置１１０は、各ＤＵＴ２０に対して、テスト識別情報（テストＩＤ）１００００１～６００００３が付された計２１個の試験項目の試験を行う。各試験項目の試験は、ＤＵＴ２０における異なる回路ブロック、異なる端子、または異なる機能等に対するものであってよい。

【0051】

各ＤＵＴ２０の試験結果は、複数の試験項目のそれぞれの項目試験結果を含む。本図の例においては、ＤＵＴ２０は、初測において、試験項目１００００１、２００００２、２００００４、３００００２、４００００３、５００００２、および６００００２の７つの試験項目がフェイルとなり、他の試験項目の試験はパスである。

【0052】

図３のＳ３００において、試験装置１１０は、初測においてフェイルであった全試験項目についてＤＵＴ２０を再試験する。本図の例においては、ＤＵＴ２０は、再測において、７つの項目試験のうち試験項目２００００４、４００００３、および６００００２の３つの試験項目でパスとなり、他の試験項目の試験はフェイルである。

【0053】

試験装置１１０は、複数のＤＵＴ２０についても同様に試験および再試験を行う。評価装置１４０は、各ＤＵＴ２０の試験および再試験の試験結果を取得する（図３のＳ３１０）。判定基準が未設定である場合、または新たな判定基準を生成する場合、評価装置１４０は、図３のＳ３２０およびＳ３３０を省略してＳ３４０に処理を進める。Ｓ３４０において、調整部２５５は、新たに判定基準を生成してよい。

【0054】

調整部２５５は、判定基準として、複数の試験項目のうち、項目試験結果がフェイルであってもＤＵＴ２０の再試験を行わないこととする少なくとも１つの試験項目の組を決定してよい。このような少なくとも１つの試験項目の組は、例えば少なくとも１つの試験項目の組合せを示すデータセット、または少なくとも１つの試験項目を含むリスト形式のデータセット等によって表されてよい。調整部２５５は、複数のＤＵＴ２０についての複数の項目試験結果を用いて、各試験項目が初測でフェイルであった場合に再測でもフェイルとなる割合を算出してよい。調整部２５５は、この割合が予め定められた閾値を超える場合に、この試験項目の項目試験結果がフェイルであってもＤＵＴ２０の再試験を行わないこととしてよい。

【0055】

例えば、試験装置１１０が、本図に示したＤＵＴ２０のように試験項目２００００２を５０個のＤＵＴ２０について再試験したとする。このうち４３個のＤＵＴ２０では再試験の項目試験結果がフェイルであったとすると、調整部２５５は、試験項目２００００２では再試験でもフェイルとなる割合（確率）が８６％（＝４３／５０）であると算出する。再試験を行わないこととする閾値が５０％であったとすると、調整部２５５は、試験項目２００００２については試験でフェイルであっても再試験を行わないことする。

【0056】

また、試験装置１１０が、本図に示したＤＵＴ２０のように試験項目２００００４を５０個のＤＵＴ２０について再試験したとする。このうち２０個のＤＵＴ２０では再試験の項目試験結果がフェイルであったとすると、調整部２５５は、試験項目２００００４では再試験でもフェイルとなる割合（確率）が４０％（＝２０／５０）であると算出する。再試験を行わないこととする閾値が５０％であったとすると、調整部２５５は、試験項目２００００４については試験でフェイルであったならば再試験を行うことする。

【0057】

本図の例においては、調整部２５５は、このようにして項目試験結果がフェイルであってもＤＵＴ２０の再試験を行わないこととする少なくとも１つの試験項目の組として、試験項目１００００１，２００００２、３００００２、および５００００２の組を決定している。調整部２５５は、これらの試験項目については項目試験結果がフェイルであってもＤＵＴ２０の再試験を行わないとする判定基準を判定基準ＤＢ２３０に登録する。

【0058】

なお、項目試験結果は、パスおよびフェイルの区別のみではなく、例えばＢＩＮまたはＳＢＩＮのように、どのような種類のフェイルかを識別可能な識別情報で表される場合がある。この場合、調整部２５５は、判定基準として、複数の試験項目のうち、項目試験結果がフェイルであってもＤＵＴ２０の再試験を行わないこととする少なくとも１つの項目試験結果の組を決定してよい。

【0059】

以上に示した評価装置１４０によれば、フェイルであってもＤＵＴ２０の再試験を行わないこととする試験項目または項目試験結果の組を用いて判定基準を決定することができるので、試験項目または項目試験結果毎に初検で誤フェイルとなる可能性が異なる場合であっても適切な判定基準を設定することができる。

【0060】

図５は、本実施形態に係る試験システム１０により実行される試験フローを示す。本試験フローにおいて、試験システム１０は、試験結果がフェイルとなったＤＵＴ２０を適応的に再試験する。

【0061】

Ｓ５００において、評価装置１４０は、ステージを移動させて、テストヘッド１２０の各プローブを試験対象のＤＵＴ２０に接続する。試験対象のＤＵＴ２０をテストヘッド１２０に接続すると、評価装置１４０は、試験装置１１０に対してＤＵＴ２０の試験を指示する。評価装置１４０は、試験装置１１０に対する試験指示に、ウェハ３０上における試験対象のＤＵＴ２０のＸＹ座標等の、試験対象のＤＵＴ２０を特定するための情報を含めてよい。試験インタフェース部２１０内の試験指示部２１５は、試験指示を試験制御部２０５へと転送する。

【0062】

Ｓ５１０において、試験装置１１０内の試験制御部２０５および各試験モジュール２００は、ＤＵＴ２０を試験する。試験制御部２０５は、試験結果を試験指示部２１５へと返信する。Ｓ５２０において、評価装置１４０内の結果取得部２３５は、ＤＵＴ２０の試験結果を試験指示部２１５から取得する。

【0063】

Ｓ５３０において、試験指示部２１５は、ＤＵＴ２０の試験結果がパスであった場合には、処理をＳ５８０へと進める（Ｓ５３０のＮＯ）。試験指示部２１５は、ＤＵＴ２０の試験結果がフェイルであった場合には、処理をＳ５４０へと進める（Ｓ５３０のＹＥＳ）。なお、試験が複数の試験項目を含む場合、試験装置１１０は、全ての試験項目でパスとなったことに応じてＤＵＴ２０の試験がパスであったと判断する。ＤＵＴ２０の種類によっては、試験装置１１０は、一部の試験項目でフェイルであったＤＵＴ２０を、機能制限デバイス等のグレードが異なる良品として試験をパスしたと判断してもよい。

【0064】

Ｓ５４０において、再試験判定部２２０は、試験結果がフェイルであったＤＵＴ２０を再試験するか否かを判定基準ＤＢ２３０に格納された判定基準を用いて判定する。例えば、再試験判定部２２０は、フェイルとなったいずれの試験項目も、判定基準において再試験を行わないものと定めている試験項目に該当しない場合に、ＤＵＴ２０を再試験すると判定する（Ｓ５４０のＹＥＳ）。再試験判定部２２０は、ＤＵＴ２０の再試験を行わないと判定した場合には処理をＳ５８０へと進める（Ｓ５４０のＮＯ）。

【0065】

Ｓ５５０において、試験指示部２１５は、テストヘッド１２０の各プローブをＤＵＴ２０から一旦離してＤＵＴ２０に再接続させることをプローバ装置１００に指示する。評価装置１４０は、試験指示部２１５からの指示を受けて、テストヘッド１２０の各プローブをＤＵＴ２０に再接続させる。なお、試験指示部２１５は、ユーザの指定等によってはＳ５５０の処理を省略し、リプローブなしてＤＵＴ２０を再試験するようにしてもよい。

【0066】

Ｓ５６０において、試験指示部２１５は、再試験についての試験指示を試験制御部２０５に転送する。これを受けて、試験装置１１０内の試験制御部２０５および各試験モジュール２００は、ＤＵＴ２０を再試験する。試験制御部２０５は、再試験の試験結果を試験指示部２１５へと返信する。Ｓ５７０において、試験指示部２１５は、ＤＵＴ２０の再試験の試験結果を試験制御部２０５から取得する。

【0067】

Ｓ５８０において、試験指示部２１５は、ＤＵＴ２０の試験結果または再試験結果を評価装置１４０へと返信等することにより、評価装置１４０に報告する。初検においてＤＵＴ２０の試験結果がパスであった場合（Ｓ５３０のＹＥＳ）には、試験指示部２１５は、試験結果を評価装置１４０へと応答する。試験指示部２１５は、ＤＵＴ２０の試験結果がフェイルであり（Ｓ５３０のＹＥＳ）、ＤＵＴ２０の再試験をスキップしたこと（Ｓ５４０のＮＯ）に応じて、ＤＵＴ２０の試験の試験結果がフェイルであったことを試験指示の送信元である評価装置１４０に応答してよい。試験指示部２１５は、ＤＵＴ２０の再試験が行われた場合（Ｓ５４０のＹＥＳ）、再試験結果を評価装置１４０へと報告する。評価装置１４０は、ＤＵＴ２０の試験結果または再試験結果を受け取ると、テストヘッド１２０の各プローブからＤＵＴ２０を離し、次に試験対象とするＤＵＴ２０についてＳ５００からの処理を進める。

【0068】

以上に示した試験装置１１０によれば、試験結果がフェイルとなったＤＵＴ２０を再試験するか否かを予め定められた判定基準を用いて判定することができ、ＤＵＴ２０の歩留まり低下を抑えつつ試験効率を向上させることができる。また、試験装置１１０は、プローバ装置１００等の試験装置１１０の外部の装置と試験装置１１０の試験制御部２０５との間のインタフェースとして試験インタフェース部２１０を組み込むことができる。試験インタフェース部２１０が試験インタフェースプログラムにより実現される場合には、ＤＵＴ２０の再試験を行う機能を有しない試験装置１１０に試験インタフェースプログラムをドライバとして付加することにより、プローバ装置１００等との間のインタフェースを変更することなくＤＵＴ２０の再試験を適応的に行う機能を試験装置１１０に付加することができる。

【0069】

図６は、本実施形態に係る試験システム１０により実行される試験手順の第１例を示す。本図の例においては、プローバ装置１００は、テストヘッド１２０に対して、１枚のウェハ３０の複数のＤＵＴ２０（図中８個のＤＵＴ２０）を順番にコンタクトさせて試験装置１１０により試験させ、試験結果を収集するようにプログラミングされている。プローバ装置１００は、各ＤＵＴ２０をテストヘッド１２０に接続すると、試験装置１１０に対してＤＵＴ２０の試験を指示する（図５のＳ５００）。試験インタフェース部２１０は、評価装置１４０からの試験指示を試験制御部２０５へと転送して、試験制御部２０５および試験モジュール２００によりＤＵＴ２０の試験を行わせる（図５のＳ５１０）。

【0070】

試験インタフェース部２１０は、ＤＵＴ２０の試験結果を試験制御部２０５から受け取る。本図の例におけるデバイス０、２、４、および６のように、初測の試験結果がパスであった場合（図５のＳ５３０のＮＯ）には、試験インタフェース部２１０は、試験結果をプローバ装置１００に返信する（図５のＳ５８０）。これを受けてプローバ装置１００は、テストヘッド１２０に次のＤＵＴ２０をコンタクトさせる。

【0071】

初測の試験結果がフェイルであった場合（図５のＳ５３０のＹＥＳ）、試験インタフェース部２１０内の再試験判定部２２０は、ＤＵＴ２０を再試験するか否かを判定基準を用いて判定する。本図の例におけるデバイス１および５のように、再試験を行うと判定したＤＵＴ２０については（図５のＳ５４０のＹＥＳ）、試験インタフェース部２１０は、初測の試験結果を評価装置１４０に返信せずに試験装置１１０側で再試験を行って、再試験の試験結果を取得する（図５のＳ５５０～Ｓ５７０）。そして、試験インタフェース部２１０は、再試験の試験結果をプローバ装置１００へと返信する。本図の例におけるデバイス３および７のように、再試験を行わないと判定したＤＵＴ２０については（図５のＳ５４０のＮＯ）、試験インタフェース部２１０は、再試験をスキップし、初測の試験結果（フェイルの試験結果）をプローバ装置１００に返信する（図５のＳ５８０）。

【0072】

このようにして、試験装置１１０は、試験対象のＤＵＴ２０を再試験するか否かの判定において、そのＤＵＴ２０の試験結果がフェイルであったことに応じて、そのＤＵＴ２０の試験を再度行うことを指示する試験指示を外部の装置等から受けとることなく、ＤＵＴ２０を再試験するか否かを判定基準を用いて判定し、再試験を行うことができる。したがって、プローバ装置１００自体が再試験を行う機能を有していなくても、試験装置１１０側で自動的にＤＵＴ２０を適応的に再試験することができる。

【0073】

図７は、本実施形態に係る試験システム１０により実行される試験手順の第２例を示す。本図の例においては、プローバ装置１００は、テストヘッド１２０に対して、１枚のウェハ３０の複数のＤＵＴ２０（図中８個のＤＵＴ２０）を順番にコンタクトさせて試験装置１１０により試験させ、試験結果を収集するようにプログラミングされている。さらに、プローバ装置１００は、１枚のウェハ３０の全てのＤＵＴ２０を試験した後に、試験結果がフェイルであった各ＤＵＴ２０をテストヘッド１２０に順番に再コンタクトさせて試験装置１１０により再試験をさせる機能を有する。

【0074】

プローバ装置１００は、各ＤＵＴ２０をテストヘッド１２０に接続すると、試験装置１１０に対してＤＵＴ２０の試験を指示する（図５のＳ５００）。試験インタフェース部２１０は、プローバ装置１００からの試験指示を試験制御部２０５へと転送して、試験制御部２０５および試験モジュール２００によりＤＵＴ２０の試験を行わせる（図５のＳ５１０）。本図の例においては、初測の試験結果がパスであった場合およびフェイルであった場合のいずれにおいても（図５のＳ５３０のＮＯ／ＹＥＳ）、試験インタフェース部２１０は、初測の試験結果をプローバ装置１００に返信する（Ｓ５８０）。

【0075】

全てのＤＵＴ２０の初測を終えると、プローバ装置１００は、初測の試験結果がフェイルであったＤＵＴ２０をテストヘッド１２０に順番にコンタクトさせ（図５のＳ５５０）、ＤＵＴ２０の試験を行うことを試験装置１１０に指示する。試験インタフェース部２１０内の再試験判定部２２０は、ＤＵＴ２０を再試験するか否かを判定基準を用いて判定する。本図の例におけるデバイス１および５のように、再試験を行うと判定したＤＵＴ２０については（図５のＳ５４０のＹＥＳ）、試験インタフェース部２１０は、ＤＵＴ２０の試験指示を試験制御部２０５に転送する。試験装置１１０は、ＤＵＴ２０の試験を再度行って、再試験の試験結果を取得する（図５のＳ５６０～Ｓ５７０）。そして、試験インタフェース部２１０は、再試験の試験結果をプローバ装置１００へと返信する。本図の例におけるデバイス３および７のように、再試験を行わないと判定したＤＵＴ２０については（図５のＳ５４０のＮＯ）、試験インタフェース部２１０は、再試験をスキップし、初測の試験結果（フェイルの試験結果）をプローバ装置１００に返信する（図５のＳ５８０）。

【0076】

このようにして、試験装置１１０は、ＤＵＴ２０を再試験するか否かの判定において、ＤＵＴ２０の試験結果がフェイルであり、かつＤＵＴ２０の試験を再度行うことを指示する試験指示を外部の装置から受けたことに応じて、ＤＵＴ２０を再試験するか否かを判定基準を用いて判定し、適応的に再試験を行うことができる。したがって、プローバ装置１００自体が初測の試験結果がフェイルであった全てのＤＵＴ２０を再試験する機能を有している場合でも、試験装置１１０側で自動的に再試験を行うＤＵＴ２０を適応的に判定し、再試験不要と判定したＤＵＴ２０の再試験をスキップすることができる。

【0077】

図８は、本実施形態に係る試験システム１０による複数ロットのＤＵＴ２０の試験の流れの一例を示す。各ロットは、複数のスロット（例えば２５個のスロット）を含む。各スロットは１枚のウェハ３０を含んでよく、２以上のウェハ３０を含んでもよい。本図の例においては、各スロットが１枚のウェハ３０を含む場合を例として説明する。

【0078】

本図の横方向は時間の経過を示す。試験システム１０は、ロットＡ、ロットＢ、…の順に各ロットの試験を行う。各ロットの試験において、試験システム１０は、スロット１、スロット２、…、スロット２５の順に各スロットの試験を行う。

【0079】

本図の例において、試験システム１０は、スロット１～３に含まれる複数のＤＵＴ２０（「第１の複数のＤＵＴ２０」とも示す。）については、フェイルであった全てのＤＵＴ２０を再試験する。試験システム１０は、スロット１～３に含まれる第１の複数のＤＵＴ２０を対象として図３に示した評価フローを実行してよい。これにより、評価装置１４０内の推定部２４０は、第１の複数のＤＵＴ２０のそれぞれについて、初回の試験結果、および初回の試験結果がフェイルであった場合の再試験の試験結果に基づいて、フェイル増加度を推定することができる（図３のＳ３２０）。調整部２５５は、推定されたフェイル増加度が許容範囲内となるように判定基準ＤＢ２３０に格納された判定基準を調整する（図３のＳ３４０）。評価部２４５は、必要に応じて調整後の判定基準の承認または選択を受けて、調整後の判定基準を判定基準ＤＢ２３０に登録する（図３のＳ３５０～Ｓ３７０）。

【0080】

試験システム１０は、スロット４～２５に含まれる複数のＤＵＴ２０（「第２の複数のＤＵＴ２０」とも示す。）については、フェイルであった各ＤＵＴ２０を適応的に再試験する。試験システム１０は、スロット４～２５に含まれる第２の複数のＤＵＴ２０のそれぞれを対象として図５から７に示した試験フローを実行してよい。これにより、評価装置１４０内の再試験判定部２２０は、第１の複数のＤＵＴ２０の後に試験される第２の複数のＤＵＴ２０のそれぞれについて、試験結果がフェイルであったＤＵＴ２０を再試験するか否かを判定基準ＤＢ２３０内の判定基準を用いて判定することができる。

【0081】

また、推定部２４０および評価部２４５は、第１の全ＤＵＴ２０を試験および再試験した場合を基準として、第２の複数のＤＵＴ２０のフェイル増加度をモニタリングし、フェイル増加度が許容範囲外となった場合には判定基準を動的に調整してよい（図３のＳ３４０～Ｓ３７０参照）。本図の例においては、推定部２４０は、例えばスロット４以降の各３スロット分のＤＵＴ２０等の予め定められた数のＤＵＴ２０の歩留まりまたはフェイル数等を用いてその３スロット分のＤＵＴ２０についてのフェイル増加度を算出する。このようにして算出したフェイル増加度は、３スロット分のＤＵＴ２０の個数をスライドウィンドウとするフェイル増加度の移動平均となる。

【0082】

評価部２４５は、フェイル増加度が許容範囲外である場合、フェイル増加度を許容範囲内とするように判定基準を調整する。これを実現するために、推定部２４０は、第１の全ＤＵＴ２０を試験および再試験した場合の歩留まりを基準として、適応的再試験の歩留まりの許容範囲を決定し、評価部２４５は各３スロット分のＤＵＴ２０の歩留まりが許容範囲外となったことに応じて判定基準を調整してもよい。これにより、評価装置１４０は、各ロットに含まれる複数のＤＵＴ２０の試験中に、フェイル増加度を動的に調整してＤＵＴ２０の歩留まりを維持することができる。

【0083】

図９は、本実施形態に係る試験システム１０による判定基準の調整例を示す。本図に示した表は、判定基準毎の再試験の削減率およびフェイル増加度（本図においてはフェイル増加率）を示す。

【0084】

本図の表は、第１列に「番号」、第２列に「再試験スキップテストＩＤ」、第３列に「再試験の削減率」、第４列に「フェイル増加率（歩留まり低下率）」を示す。「再試験スキップテストＩＤ」は、判定基準に相当し、ＤＵＴ２０がフェイルとなってもＤＵＴ２０の再試験を行わない試験項目の組をテストＩＤのリストにより表したものである。例えば番号４の行は、試験項目の識別番号が５２、５３、５５、６、または９のいずれかの試験項目でフェイルとなってもＤＵＴ２０を再試験しないことを示す。

【0085】

「再試験の削減率」は、対応する判定基準を用いた場合に、フェイルとなった全てのＤＵＴ２０を再試験する場合と比較して、再試験するＤＵＴ２０の数をどの程度削減できるかを示す。推定部２４０および評価部２４５は、初測でフェイルとなったＤＵＴ２０の数に対する、再試験不要と判定するＤＵＴ２０の数の割合を再試験の削減率として算出してよい。

【0086】

「フェイル増加率（歩留まり低下率）」は、対応する判定基準を用いた場合に、フェイルとなった全てのＤＵＴ２０を再試験する場合と比較して、最終的にフェイルと判断されるＤＵＴ２０の数がどれだけ増加するかを示す。推定部２４０および評価部２４５は、ＤＵＴ２０全体のうち、初測でフェイルとなったＤＵＴ２０が判定基準上再試験の対象とならないにも関わらず、再試験を行った場合にはパスとなるＤＵＴ２０の数の割合を、「フェイル増加率（歩留まり低下率）」として算出してよい。これに代えて、推定部２４０および評価部２４５は、フェイルとなった全てのＤＵＴ２０を再試験した場合のＤＵＴ２０の歩留まりから、フェイルとなったＤＵＴ２０を適応的に再試験した場合のＤＵＴ２０の歩留まりを減じた値を「フェイル増加率（歩留まり低下率）」として算出してよい。

【0087】

推定部２４０は、第１の全ＤＵＴ２０を試験および再試験した試験結果を用いて、複数の試験項目のうちの様々な試験項目の組合せ毎に、「再試験の削減率」および「フェイル増加率（歩留まり低下率）」を算出することにより、複数の判定基準の候補を生成してよい。評価部２４５内の調整部２５５は、推定部２４０が生成した複数の判定基準の候補の中から、フェイル増加度が許容範囲内であり、再試験の削減率が最も高い候補（または再試験の削減率がより高いものをより優先して選択した候補）を選択して、判定基準ＤＢ２３０に登録してよい。

【0088】

また、評価部２４５は、複数の判定基準の候補を判定基準ＤＢ２３０に登録してよい。調整部２５５は、フェイル増加度の許容範囲が試験システム１０のユーザ等から与えられたことに応じて、複数の判定基準の候補の中から、フェイル増加度が許容範囲内であり、再試験の削減率が最も高い候補（または再試験の削減率がより高いものをより優先して選択した候補）を選択して、再試験判定部２２０が使用するべき判定基準として設定してよい。

【0089】

また、図８に例示したように動的に判定基準を調整するために、調整部２５５は、フェイル増加度を低下させる場合には複数の判定基準の候補のうち現在使用している判定基準よりもフェイル増加度が小さい判定基準を選択して、再試験判定部２２０が使用するべき判定基準として設定してよい。例えば、調整部２５５は、本図の例において番号１５の判定基準を使用している場合に、実際のフェイル増加率が閾値０．５％以上となったことに応じて、番号１５の判定基準よりもフェイル増加度が小さい判定基準（番号１３より前の判定基準）を選択してもよい。

【0090】

同様に、調整部２５５は、フェイル増加度を増加させる場合には複数の判定基準の候補のうち現在使用している判定基準よりもフェイル増加度が大きい判定基準を選択して、再試験判定部２２０が使用するべき判定基準として設定してよい。これらの場合に、調整部２５５は、フェイル増加度を必要量だけ増減させることができると推定される候補のうち、再試験の削減率が最も高い候補（または再試験の削減率がより高いものをより優先して選択した候補）を選択してよい。

【0091】

図１０は、本実施形態に係る試験システム１０により生成される表示画面の一例を示す。本図の横軸は通しのスロット番号であり、縦軸は歩留まりを示す。本図の例においては、試験システム１０は、スロット１２およびスロット２４において、フェイルであった全ＤＵＴ２０を再試験している。試験システム１０は、スロット０～１１の各ＤＵＴ２０についてはスロット０以前に設定した判定基準を用いて適応的試験を行っている。試験システム１０は、スロット１３～２３の各ＤＵＴ２０についてはスロット１２で設定した判定基準を用いて適応的試験を行っている。このように、試験システム１０は、長期にわたって多数のＤＵＴ２０を試験する場合に、ＤＵＴ２０の歩留まりの変化に追従して判定基準を調整することができる。

【0092】

本発明の様々な実施形態は、フローチャートおよびブロック図を参照して記載されてよく、ここにおいてブロックは、（１）操作が実行されるプロセスの段階または（２）操作を実行する役割を持つ装置のセクションを表わしてよい。特定の段階およびセクションが、専用回路、コンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプログラマブル回路、および／またはコンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプロセッサによって実装されてよい。専用回路は、デジタルおよび／またはアナログハードウェア回路を含んでよく、集積回路（ＩＣ）および／またはディスクリート回路を含んでよい。プログラマブル回路は、論理ＡＮＤ、論理ＯＲ、論理ＸＯＲ、論理ＮＡＮＤ、論理ＮＯＲ、および他の論理操作、フリップフロップ、レジスタ、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、プログラマブルロジックアレイ（ＰＬＡ）等のようなメモリ要素等を含む、再構成可能なハードウェア回路を含んでよい。

【0093】

コンピュータ可読媒体は、適切なデバイスによって実行される命令を格納可能な任意の有形なデバイスを含んでよく、その結果、そこに格納される命令を有するコンピュータ可読媒体は、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく実行され得る命令を含む、製品を備えることになる。コンピュータ可読媒体の例としては、電子記憶媒体、磁気記憶媒体、光記憶媒体、電磁記憶媒体、半導体記憶媒体等が含まれてよい。コンピュータ可読媒体のより具体的な例としては、フロッピー（登録商標）ディスク、ディスケット、ハードディスク、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＰＲＯＭまたはフラッシュメモリ）、電気的消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＥＰＲＯＭ）、静的ランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）、コンパクトディスクリードオンリメモリ（ＣＤ-ＲＯＭ）、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）、ブルーレイ（登録商標）ディスク、メモリスティック、集積回路カード等が含まれてよい。

【0094】

コンピュータ可読命令は、アセンブラ命令、命令セットアーキテクチャ（ＩＳＡ）命令、マシン命令、マシン依存命令、マイクロコード、ファームウェア命令、状態設定データ、またはＳｍａｌｌｔａｌｋ（登録商標）、ＪＡＶＡ（登録商標）、Ｃ＋＋等のようなオブジェクト指向プログラミング言語、および「Ｃ」プログラミング言語または同様のプログラミング言語のような従来の手続型プログラミング言語を含む、１または複数のプログラミング言語の任意の組み合わせで記述されたソースコードまたはオブジェクトコードのいずれかを含んでよい。

【0095】

コンピュータ可読命令は、汎用コンピュータ、特殊目的のコンピュータ、若しくは他のコンピュータ等のプログラム可能なデータ処理装置のプロセッサまたはプログラマブル回路に対し、ローカルにまたはローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、インターネット等のようなワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）を介して提供され、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく、コンピュータ可読命令を実行してよい。プロセッサの例としては、コンピュータプロセッサ、処理ユニット、マイクロプロセッサ、デジタル信号プロセッサ、コントローラ、マイクロコントローラ等を含む。

【0096】

図１１は、本発明の複数の態様が全体的または部分的に具現化されてよいコンピュータ２２００の例を示す。コンピュータ２２００にインストールされたプログラムは、コンピュータ２２００に、本発明の実施形態に係る装置に関連付けられる操作または当該装置の１または複数のセクションとして機能させることができ、または当該操作または当該１または複数のセクションを実行させることができ、および／またはコンピュータ２２００に、本発明の実施形態に係るプロセスまたは当該プロセスの段階を実行させることができる。そのようなプログラムは、コンピュータ２２００に、本明細書に記載のフローチャートおよびブロック図のブロックのうちのいくつかまたはすべてに関連付けられた特定の操作を実行させるべく、ＣＰＵ２２１２によって実行されてよい。

【0097】

本実施形態によるコンピュータ２２００は、ＣＰＵ２２１２、ＲＡＭ２２１４、グラフィックコントローラ２２１６、およびディスプレイデバイス２２１８を含み、それらはホストコントローラ２２１０によって相互に接続されている。コンピュータ２２００はまた、通信インターフェイス２２２２、ハードディスクドライブ２２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ２２２６、およびＩＣカードドライブのような入／出力ユニットを含み、それらは入／出力コントローラ２２２０を介してホストコントローラ２２１０に接続されている。コンピュータはまた、ＲＯＭ２２３０およびキーボード２２４２のようなレガシの入／出力ユニットを含み、それらは入／出力チップ２２４０を介して入／出力コントローラ２２２０に接続されている。

【0098】

ＣＰＵ２２１２は、ＲＯＭ２２３０およびＲＡＭ２２１４内に格納されたプログラムに従い動作し、それにより各ユニットを制御する。グラフィックコントローラ２２１６は、ＲＡＭ２２１４内に提供されるフレームバッファ等またはそれ自体の中にＣＰＵ２２１２によって生成されたイメージデータを取得し、イメージデータがディスプレイデバイス２２１８上に表示されるようにする。

【0099】

通信インターフェイス２２２２は、ネットワークを介して他の電子デバイスと通信する。ハードディスクドライブ２２２４は、コンピュータ２２００内のＣＰＵ２２１２によって使用されるプログラムおよびデータを格納する。ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ２２２６は、プログラムまたはデータをＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１から読み取り、ハードディスクドライブ２２２４にＲＡＭ２２１４を介してプログラムまたはデータを提供する。ＩＣカードドライブは、プログラムおよびデータをＩＣカードから読み取り、および／またはプログラムおよびデータをＩＣカードに書き込む。

【0100】

ＲＯＭ２２３０はその中に、アクティブ化時にコンピュータ２２００によって実行されるブートプログラム等、および／またはコンピュータ２２００のハードウェアに依存するプログラムを格納する。入／出力チップ２２４０はまた、様々な入／出力ユニットをパラレルポート、シリアルポート、キーボードポート、マウスポート等を介して、入／出力コントローラ２２２０に接続してよい。

【0101】

プログラムが、ＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１またはＩＣカードのようなコンピュータ可読媒体によって提供される。プログラムは、コンピュータ可読媒体から読み取られ、コンピュータ可読媒体の例でもあるハードディスクドライブ２２２４、ＲＡＭ２２１４、またはＲＯＭ２２３０にインストールされ、ＣＰＵ２２１２によって実行される。これらのプログラム内に記述される情報処理は、コンピュータ２２００に読み取られ、プログラムと、上記様々なタイプのハードウェアリソースとの間の連携をもたらす。装置または方法が、コンピュータ２２００の使用に従い情報の操作または処理を実現することによって構成されてよい。

【0102】

例えば、通信がコンピュータ２２００および外部デバイス間で実行される場合、ＣＰＵ２２１２は、ＲＡＭ２２１４にロードされた通信プログラムを実行し、通信プログラムに記述された処理に基づいて、通信インターフェイス２２２２に対し、通信処理を命令してよい。通信インターフェイス２２２２は、ＣＰＵ２２１２の制御下、ＲＡＭ２２１４、ハードディスクドライブ２２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１、またはＩＣカードのような記録媒体内に提供される送信バッファ処理領域に格納された送信データを読み取り、読み取られた送信データをネットワークに送信し、またはネットワークから受信された受信データを記録媒体上に提供される受信バッファ処理領域等に書き込む。

【0103】

また、ＣＰＵ２２１２は、ハードディスクドライブ２２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ２２２６（ＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１）、ＩＣカード等のような外部記録媒体に格納されたファイルまたはデータベースの全部または必要な部分がＲＡＭ２２１４に読み取られるようにし、ＲＡＭ２２１４上のデータに対し様々なタイプの処理を実行してよい。ＣＰＵ２２１２は次に、処理されたデータを外部記録媒体にライトバックする。

【0104】

様々なタイプのプログラム、データ、テーブル、およびデータベースのような様々なタイプの情報が記録媒体に格納され、情報処理を受けてよい。ＣＰＵ２２１２は、ＲＡＭ２２１４から読み取られたデータに対し、本開示の随所に記載され、プログラムの命令シーケンスによって指定される様々なタイプの操作、情報処理、条件判断、条件分岐、無条件分岐、情報の検索／置換等を含む、様々なタイプの処理を実行してよく、結果をＲＡＭ２２１４に対しライトバックする。また、ＣＰＵ２２１２は、記録媒体内のファイル、データベース等における情報を検索してよい。例えば、各々が第２の属性の属性値に関連付けられた第１の属性の属性値を有する複数のエントリが記録媒体内に格納される場合、ＣＰＵ２２１２は、第１の属性の属性値が指定される、条件に一致するエントリを当該複数のエントリの中から検索し、当該エントリ内に格納された第２の属性の属性値を読み取り、それにより予め定められた条件を満たす第１の属性に関連付けられた第２の属性の属性値を取得してよい。

【0105】

上で説明したプログラムまたはソフトウェアモジュールは、コンピュータ２２００上またはコンピュータ２２００近傍のコンピュータ可読媒体に格納されてよい。また、専用通信ネットワークまたはインターネットに接続されたサーバーシステム内に提供されるハードディスクまたはＲＡＭのような記録媒体が、コンピュータ可読媒体として使用可能であり、それによりプログラムを、ネットワークを介してコンピュータ２２００に提供する。

【0106】

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

【0107】

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

【符号の説明】

【0108】

１０ 試験システム
２０ ＤＵＴ
３０ ウェハ
１００ プローバ装置
１１０ 試験装置
１２０ テストヘッド
１３０ メインフレーム
１４０ 評価装置
２００ 試験モジュール
２０５ 試験制御部
２１０ 試験インタフェース部
２１５ 試験指示部
２２０ 再試験判定部
２３０ 判定基準ＤＢ
２３５ 結果取得部
２４０ 推定部
２４５ 評価部
２５０ フェイル増加度判定部
２５５ 調整部
２６０ 表示装置
２７０ 入力装置
２２００ コンピュータ
２２０１ ＤＶＤ－ＲＯＭ
２２１０ ホストコントローラ
２２１２ ＣＰＵ
２２１４ ＲＡＭ
２２１６ グラフィックコントローラ
２２１８ ディスプレイデバイス
２２２０ 入／出力コントローラ
２２２２ 通信インターフェイス
２２２４ ハードディスクドライブ
２２２６ ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ
２２３０ ＲＯＭ
２２４０ 入／出力チップ
２２４２ キーボード

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】