特開 2024-165410 制御装置、パネル搬送システム、制御方法、およびプログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024165410

(43)【公開日】2024-11-28

(54)【発明の名称】制御装置、パネル搬送システム、制御方法、およびプログラム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/60 20060101AFI20241121BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20241121BHJP

【ＦＩ】

H01L21/60 311T

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023081588

(22)【出願日】2023-05-17

(71)【出願人】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109210

【弁理士】

【氏名又は名称】新居 広守

(74)【代理人】

【識別番号】100137235

【弁理士】

【氏名又は名称】寺谷 英作

(74)【代理人】

【識別番号】100131417

【弁理士】

【氏名又は名称】道坂 伸一

(72)【発明者】

【氏名】松尾 暢也

(72)【発明者】

【氏名】足立 聡

(72)【発明者】

【氏名】川村 浩史

【テーマコード（参考）】

5F044

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F044KK01

5F044KK11

5F044PP15

5F131AA03

5F131AA32

5F131AA33

5F131BA51

5F131CA22

5F131CA32

5F131DA02

5F131DA33

5F131DA42

5F131DB22

5F131DB62

5F131DB72

5F131EA10

(57)【要約】

【課題】パネルの受け渡しをスムーズに行うことができる制御装置を提供する。
【解決手段】制御装置１１０は、制御部１１１とメモリ１１２とを備え、制御部１１１は、ステージ１３０とアーム６６との間の調整距離が第１距離Ｌ１まで短くなるように、ステージ１３０をＺ軸方向に移動させることによって、パネル３を保持部６９の吸着面６７ａとステージ１３０との間に狭み込み、吸着面６７ａをアーム６６から見てステージ１３０側とは反対向きに押し込み、吸着面６７ａによるパネル３の吸着を実行または停止させ、調整距離が第２距離Ｌ２まで長くなるようにステージ１３０を移動させ、停止期間だけ調整距離を第２距離Ｌ２に維持し、調整距離が第２距離Ｌ２よりも長くなるように、ステージ１３０を移動させる。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

パネル搬送装置およびステージの少なくとも一方を制御する制御装置であって、
制御部と、
前記制御部に接続されたメモリとを備え、
前記パネル搬送装置は、アームと、パネルを吸着面で吸着することによって前記パネルを保持する保持部とを備え、
前記保持部は、前記保持部の吸着面が弾性によって前記アームに対して所定方向に移動可能なように、前記アームに取り付けられ、
前記制御部は、前記メモリを用いて、
前記所定方向に沿って前記アームと並んで配置されている前記ステージと前記アームとの間の調整距離が第１距離まで短くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を前記所定方向に移動させることによって、前記パネルを前記保持部の吸着面と前記ステージとの間に狭み込み、前記保持部の吸着面を前記アームから見て前記ステージ側とは反対向きに押し込む第１処理と、
前記保持部の吸着面による前記パネルの吸着を前記パネル搬送装置に実行または停止させる第２処理と、
前記調整距離が、前記第１距離よりも長い第２距離まで長くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させる第３処理と、
予め定められた停止期間だけ、前記パネルが前記保持部の吸着面および前記ステージに接した状態で、前記調整距離を前記第２距離に維持する第４処理と、
前記調整距離が前記第２距離よりも長くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させる第５処理とを、実行する、
制御装置。

【請求項2】

前記制御部は、
前記第１処理では、前記パネルが、前記ステージに載置されて前記保持部の吸着面に非接触の状態から、前記保持部の吸着面に当接して押し付けられる状態に遷移するように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させ、
前記第２処理では、前記保持部の吸着面による前記パネルの吸着を前記パネル搬送装置に実行させる、
請求項１に記載の制御装置。

【請求項3】

前記制御部は、
前記第１処理では、前記パネルが、前記ステージに載置されておらず前記保持部の吸着面に吸着されている状態から、前記ステージに載置されて前記保持部の吸着面に押し付けられる状態に遷移するように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させ、
前記第２処理では、前記保持部の吸着面による前記パネルの吸着を前記パネル搬送装置に停止させる、
請求項１に記載の制御装置。

【請求項4】

前記制御部は、
前記第１処理では、前記ステージを前記アーム側の向きに移動させ、
前記第３処理および前記第５処理では、前記ステージを前記アーム側とは反対向きに移動させ、
前記第４処理では、前記ステージを停止させることによって、前記調整距離を前記第２距離に維持する、
請求項１に記載の制御装置。

【請求項5】

前記制御部は、
前記第１処理では、前記アームを前記ステージ側の向きに移動させ、
前記第３処理および前記第５処理では、前記アームを前記ステージ側とは反対向きに移動させ、
前記第４処理では、前記アームを停止させることによって、前記調整距離を前記第２距離に維持する、
請求項１に記載の制御装置。

【請求項6】

前記第２距離は、（１）前記パネルの厚みと、（２）前記パネルから力を受けていないときの前記保持部の吸着面と前記アームとの間の距離と、によって決定される、
請求項１に記載の制御装置。

【請求項7】

前記制御部は、さらに、
前記パネルの厚みを示す厚み情報を取得し、
前記厚み情報に基づいて、前記第２距離を決定する、
請求項１に記載の制御装置。

【請求項8】

前記制御部は、
前記厚み情報によって示される前記パネルの厚みが大きいほど前記第２距離が長くなるように、前記第２距離を決定する、
請求項７に記載の制御装置。

【請求項9】

請求項１～８の何れか１項に記載の制御装置と、
前記パネル搬送装置と、
前記ステージと、
を備えるパネル搬送システム。

【請求項10】

前記保持部は、
前記アームに対して前記所定方向に移動可能に取り付けられる支持軸と、
前記支持軸に接続され、前記パネルを前記吸着面で吸着するように構成された、弾性部材からなる吸着パッドとを備える、
請求項９に記載のパネル搬送システム。

【請求項11】

パネル搬送装置およびステージの少なくとも一方をコンピュータが制御する制御方法であって、
前記パネル搬送装置は、アームと、パネルを吸着面で吸着することによって前記パネルを保持する保持部とを備え、
前記保持部は、前記保持部の吸着面が弾性によって前記アームに対して所定方向に移動可能なように、前記アームに取り付けられ、
前記制御方法では、
前記所定方向に沿って前記アームと並んで配置されている前記ステージと前記アームとの間の調整距離が第１距離まで短くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を前記所定方向に移動させることによって、前記パネルを前記保持部の吸着面と前記ステージとの間に狭み込み、前記保持部の吸着面を前記アームから見て前記ステージ側とは反対向きに押し込む第１処理と、
前記保持部の吸着面による前記パネルの吸着を前記パネル搬送装置に実行または停止させる第２処理と、
前記調整距離が、前記第１距離よりも長い第２距離まで長くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させる第３処理と、
予め定められた停止期間だけ、前記パネルが前記保持部の吸着面および前記ステージに
接した状態で、前記調整距離を前記第２距離に維持する第４処理と、
前記調整距離が前記第２距離よりも長くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させる第５処理とを、実行する、
制御方法。

【請求項12】

パネル搬送装置およびステージの少なくとも一方をコンピュータが制御するためのプログラムであって、
前記パネル搬送装置は、アームと、パネルを吸着面で吸着することによって前記パネルを保持する保持部とを備え、
前記保持部は、前記保持部の吸着面が弾性によって前記アームに対して所定方向に移動可能なように、前記アームに取り付けられ、
前記プログラムは、
前記所定方向に沿って前記アームと並んで配置されている前記ステージと前記アームとの間の調整距離が第１距離まで短くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を前記所定方向に移動させることによって、前記パネルを前記保持部の吸着面と前記ステージとの間に狭み込み、前記保持部の吸着面を前記アームから見て前記ステージ側とは反対向きに押し込む第１処理と、
前記保持部の吸着面による前記パネルの吸着を前記パネル搬送装置に実行または停止させる第２処理と、
前記調整距離が、前記第１距離よりも長い第２距離まで長くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させる第３処理と、
予め定められた停止期間だけ、前記パネルが前記保持部の吸着面および前記ステージに接した状態で、前記調整距離を前記第２距離に維持する第４処理と、
前記調整距離が前記第２距離よりも長くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させる第５処理とを、前記コンピュータに実行させる、
プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、パネルの搬送を制御する制御装置などに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、液晶パネルに電子部品（以下、単に「部品」とも呼ばれる）を圧着する部品実装装置が提供されている（例えば、特許文献１参照）。この部品実装装置は、液晶パネルの端部に、異方性導電部材であるＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）を介して部品を
圧着する。つまり、その液晶パネルの端部には、接着部材としてＡＣＦが貼着されている。部品実装装置は、液晶パネルのそのＡＣＦが貼着された部分に部品を搭載して、液晶パネルに圧着する。なお、液晶パネルは、パネルまたは基板とも呼ばれる。

【0003】

また、特許文献１の部品実装装置は、それぞれ液晶パネルを搬送する複数の基板移載部と、それらの複数の基板移載部を制御する制御装置とを備える。基板移載部は、アームと、そのアームに取り付けられる吸着パッドとを有し、制御装置による制御にしたがって、ステージ上に載置されている液晶パネルを、上方から吸着パッドで真空吸着することによって保持し、移動する。そして、基板移載部は、その吸着パッドによる液晶パネルの真空吸着を停止することによって、その液晶パネルを他のステージに載置する。このように、液晶パネルは、制御装置による制御にしたがって、基板移載部とステージとの間で受け渡される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１５－１４９４５６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記特許文献１の制御装置では、パネルの受け渡しをスムーズに行うことが難しい場合があるという課題がある。

【0006】

そこで、本開示では、パネルの受け渡しをスムーズに行うことができる制御装置などを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示の一態様に係る制御装置は、パネル搬送装置およびステージの少なくとも一方を制御する制御装置であって、制御部と、前記制御部に接続されたメモリとを備え、前記パネル搬送装置は、アームと、パネルを吸着面で吸着することによって前記パネルを保持する保持部とを備え、前記保持部は、前記保持部の吸着面が弾性によって前記アームに対して所定方向に移動可能なように、前記アームに取り付けられ、前記制御部は、前記メモリを用いて、前記所定方向に沿って前記アームと並んで配置されている前記ステージと前記アームとの間の調整距離が第１距離まで短くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を前記所定方向に移動させることによって、前記パネルを前記保持部の吸着面と前記ステージとの間に狭み込み、前記保持部の吸着面を前記アームから見て前記ステージ側とは反対向きに押し込む第１処理と、前記保持部の吸着面による前記パネルの吸着を前記パネル搬送装置に実行または停止させる第２処理と、前記調整距離が、前記第１距離よりも長い第２距離まで長くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させる第３処理と、予め定められた停止期間だけ、前記パネルが前記保持部の吸着面および前記ステージに接した状態で、前記調整距離を前記第２距離に維持する
第４処理と、前記調整距離が前記第２距離よりも長くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させる第５処理とを、実行する。

【0008】

なお、これらの包括的または具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭなどの記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムおよび記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。また、記録媒体は、非一時的な記録媒体であってもよい。

【発明の効果】

【0009】

本開示の制御装置は、パネルの受け渡しをスムーズに行うことができる。

【0010】

本開示の一態様における更なる利点および効果は、明細書および図面から明らかにされる。かかる利点および／または効果は、いくつかの実施の形態並びに明細書および図面に記載された特徴によってそれぞれ提供されるが、１つまたはそれ以上の同一の特徴を得るために必ずしも全てが提供される必要はない。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、実施の形態１における部品実装ラインの概略構成を示す図である。

【図2】図２は、実施の形態１における部品実装ラインの平面図である。

【図3】図３は、実施の形態１におけるパネル搬送システムの構成の一例を示すブロック図である。

【図4】図４は、実施の形態１におけるパネル搬送装置の一例を示す斜視図である。

【図5】図５は、実施の形態１における制御装置によって制御される調整距離を説明するための図である。

【図6】図６は、実施の形態１における、ステージからパネル搬送装置にパネルが受け渡されるときの動作の一例を、比較例と比較して示す図である。

【図7】図７は、実施の形態１における、ステージからパネル搬送装置にパネルが受け渡されるときの動作のタイミングの一例を、比較例と比較して示す図である。

【図8】図８は、実施の形態１における制御装置の処理動作の一例を示すフローチャートである。

【図9】図９は、実施の形態１の変形例における、ステージからパネル搬送装置にパネルが受け渡されるときの動作の一例を示す図である。

【図10】図１０は、実施の形態１の変形例における制御装置の処理動作の一例を示すフローチャートである。

【図11】図１１は、実施の形態２における、パネル搬送装置からステージにパネルが受け渡されるときの動作の一例を示す図である。

【図12】図１２は、実施の形態２における、パネル搬送装置からステージにパネルが受け渡されるときの動作のタイミングの一例を示す図である。

【図13】図１３は、実施の形態２における制御装置の処理動作の一例を示すフローチャートである。

【図14】図１４は、実施の形態２の変形例における、パネル搬送装置からステージにパネルが受け渡されるときの動作の一例を示す図である。

【図15】図１５は、実施の形態２の変形例における制御装置の処理動作の一例を示すフローチャートである。

【図16】図１６は、本開示における制御装置の概略的な処理動作の例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0012】

（本開示の基礎となった知見）
本発明者は、「背景技術」の欄において記載した上記特許文献１の制御装置に関し、以下の課題が生じることを見出した。

【0013】

近年、部品実装装置で取り扱われるパネルは大型化している。パネルの大型化に伴って、そのパネルを搬送するためのアームおよび吸着パッドを大型化させる必要性がある。あるいは、吸着パッドの数を増やして、多くの吸着パッドを広く分散させる必要性がある。その結果、それらの複数の吸着パッドの高さに大きなばらつきが生じ得る。このような複数の吸着パッドの高さのばらつきは、水平方向に沿って配置されているパネルの吸着に悪影響を及ぼす。そこで、アームへの吸着パッドの取り付けに、フローティング機構を採用することが考えらえる。フローティング機構では、吸着パッドが、バネなどの弾性部材を介してアームに取り付けられている。したがって、パネルが載置されているステージが上昇すると、各吸着パッドは、その吸着パッドの高さに応じたタイミングでステージ上のパネルに当接して押し付けられる。パネルに押し付けられた吸着パッドは、上述の弾性部材を付勢させながらアームに対して上昇する。つまり、各吸着パッドは、上方に押し込まれる。これにより、複数の吸着パッドの高さに大きなばらつきがあっても、全ての吸着パッドは、パネルをしっかりと吸着して保持することができる。

【0014】

したがって、上記特許文献１の部品実装装置でも、フローティング機構を採用することによって、大型のパネルをステージから基板移載部へ受け渡すことができる。しかし、上記特許文献１の部品実装装置が有する制御装置は、基板移載部の複数の吸着パッドによってパネルが吸着された後、ステージを待機位置に一気に下降させるため、基板移載部のアームに大きな衝撃を与えてしまう。具体的には、ステージが一気に下降すると、アームは、弾性部材の付勢だけでなく大型のパネルの重みも加算された衝撃を一気に受けてしまう。また、複数の吸着パッドの高さのばらつきによる上述の悪影響を抑えるために、それらの吸着パッドの押し込み量を大きくすると、アームへの衝撃がさらに増すことになる。その結果、上記特許文献１の制御装置では、パネルの受け渡しをスムーズに行うことが難しいという課題がある。

【0015】

このような課題を解決するために、本開示の第１態様に係る制御装置は、パネル搬送装置およびステージの少なくとも一方を制御する制御装置であって、制御部と、前記制御部に接続されたメモリとを備え、前記パネル搬送装置は、アームと、パネルを吸着面で吸着することによって前記パネルを保持する保持部とを備え、前記保持部は、前記保持部の吸着面が弾性によって前記アームに対して所定方向に移動可能なように、前記アームに取り付けられ、前記制御部は、前記メモリを用いて、前記所定方向に沿って前記アームと並んで配置されている前記ステージと前記アームとの間の調整距離が第１距離まで短くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を前記所定方向に移動させることによって、前記パネルを前記保持部の吸着面と前記ステージとの間に狭み込み、前記保持部の吸着面を前記アームから見て前記ステージ側とは反対向きに押し込む第１処理と、前記保持部の吸着面による前記パネルの吸着を前記パネル搬送装置に実行または停止させる第２処理と、前記調整距離が、前記第１距離よりも長い第２距離まで長くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させる第３処理と、予め定められた停止期間だけ、前記パネルが前記保持部の吸着面および前記ステージに接した状態で、前記調整距離を前記第２距離に維持する第４処理と、前記調整距離が前記第２距離よりも長くなるように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させる第５処理とを、実行する。なお、所定方向は、例えば鉛直方向である。

【0016】

これにより、保持部はフローティング機構によってアームに取り付けられている。そして、第１処理では、そのフローティング機構によって保持部の吸着面が押し込まれて、第２処理によってパネルの吸着が実行または停止された後には、第５処理が直接行われることなく、第３処理および第４処理が行われる。したがって、アームおよびステージの少な
くとも一方は、一気に長い距離を移動することなく、調整距離が第１距離から長くなるように移動後に、調整距離が第２距離となる位置で一時的に停止し、その後に、調整距離が第２距離よりも長くなるようにさらに移動する。つまり、アームおよびステージの少なくとも一方の移動は、第３処理のモーションと、第５処理のモーションとを含む２段階モーションによって行われる。第３処理のモーションは、第１段階目のモーションであり、第５処理のモーションは、第２段階目のモーションである。また、それらの２つのモーションの間では、パネルが保持部の吸着面およびステージに接した状態で停止期間だけ維持される。その結果、調整距離が第１距離から第２距離よりも長くなるようにアームおよびステージの少なくとも一方が移動するときには、アームが受ける衝撃を抑制することができる。したがって、ステージとパネル搬送装置との間でのパネルの受け渡しをスムーズに行うことができる。

【0017】

また、第２態様に係る制御装置では、前記制御部は、前記第１処理では、前記パネルが、前記ステージに載置されて前記保持部の吸着面に非接触の状態から、前記保持部の吸着面に当接して押し付けられる状態に遷移するように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させ、前記第２処理では、前記保持部の吸着面による前記パネルの吸着を前記パネル搬送装置に実行さてもよい。なお、第２態様は、第１態様に従属する。

【0018】

これにより、ステージからパネル搬送装置にパネルが受け渡される。その結果、ステージからパネル搬送装置にパネルが受け渡されるときに、より具体的には、保持部がパネルを吸着して調整距離が長くなるときに、パネルの重みによってアームが受ける衝撃を抑制することができる。したがって、ステージからパネル搬送装置へのパネルの受け渡しをスムーズに行うことができる。

【0019】

また、第３態様に係る制御装置では、前記制御部は、前記第１処理では、前記パネルが、前記ステージに載置されておらず前記保持部の吸着面に吸着されている状態から、前記ステージに載置されて前記保持部の吸着面に押し付けられる状態に遷移するように、前記アームおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させ、前記第２処理では、前記保持部の吸着面による前記パネルの吸着を前記パネル搬送装置に停止させてもよい。なお、第３態様は、第１態様に従属する。

【0020】

これにより、パネル搬送装置からステージにパネルが受け渡される。その結果、パネル搬送装置からステージにパネルが受け渡されるときにアームが受ける衝撃を抑制することができる。したがって、パネル搬送装置からステージへのパネルの受け渡しをスムーズに行うことができる。

【0021】

また、第４態様に係る制御装置では、前記制御部は、前記第１処理では、前記ステージを前記アーム側の向きに移動させ、前記第３処理および前記第５処理では、前記ステージを前記アーム側とは反対向きに移動させ、前記第４処理では、前記ステージを停止させることによって、前記調整距離を前記第２距離に維持してもよい。なお、第４態様は、第１態様から第３態様の何れか１つに従属してもよい。

【0022】

これにより、ステージの移動によってパネルが受け渡されるときにアームが受ける衝撃を抑制することができ、パネルの受け渡しをスムーズに行うことができる。

【0023】

また、第５態様に係る制御装置では、前記制御部は、前記第１処理では、前記アームを前記ステージ側の向きに移動させ、前記第３処理および前記第５処理では、前記アームを前記ステージ側とは反対向きに移動させ、前記第４処理では、前記アームを停止させることによって、前記調整距離を前記第２距離に維持してもよい。なお、第５態様は、第１態様から第３態様の何れか１つに従属してもよい。

【0024】

これにより、アームの移動によってパネルが受け渡されるときにそのアームが受ける衝撃を抑制することができ、パネルの受け渡しをスムーズに行うことができる。

【0025】

また、第６態様に係る制御装置では、前記第２距離は、（１）前記パネルの厚みと、（２）前記パネルから力を受けていないときの前記保持部の吸着面と前記アームとの間の距離と、によって決定されてもよい。なお、第６態様は、第１態様から第５態様の何れか１つに従属してもよい。

【0026】

これにより、フローティング機構の付勢が解除される距離に第２距離を設定することができ、アームが受ける衝撃を効果的に抑制することができる。

【0027】

また、第７態様に係る制御装置では、前記制御部は、さらに、前記パネルの厚みを示す厚み情報を取得し、前記厚み情報に基づいて、前記第２距離を決定してもよい。なお、第７態様は、第１態様から第６態様の何れか１つに従属してもよい。

【0028】

これにより、パネルの厚みに基づいて第２距離が決定されるため、アームが受ける衝撃をパネルの厚みに応じて適切に抑制することができる。

【0029】

また、第８態様に係る制御装置では、前記制御部は、前記厚み情報によって示される前記パネルの厚みが大きいほど前記第２距離が長くなるように、前記第２距離を決定してもよい。なお、第８態様は、第７態様に従属する。

【0030】

これにより、アームが受ける衝撃をパネルの厚みに応じて効果的に抑制することができる。

【0031】

また、本開示の第９態様に係るパネル搬送システムは、第１態様～第８態様の何れか１つの態様の制御装置と、前記パネル搬送装置と、前記ステージと、を備える。

【0032】

これにより、第１態様から第８態様の何れか１つの態様と同様の効果を奏することができる。

【0033】

また、第１０態様に係るパネル搬送システムでは、前記保持部は、前記アームに対して前記所定方向に移動可能に取り付けられる支持軸と、前記支持軸に接続され、前記パネルを前記吸着面で吸着するように構成された、弾性部材からなる吸着パッドとを備えてもよい。なお、第１０態様は、第９態様に従属する。

【0034】

これにより、保持部をフローティング機構によってアームに適切に取り付けることができる。その結果、複数の保持部がパネルを吸着する場合に、それらの保持部の吸着面における所定方向の位置にばらつきがある場合でも、複数の保持部は適切にパネルを吸着することができる。

【0035】

以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。

【0036】

なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、同じ構成部材については同じ符号を付している。

【0037】

（実施の形態１）
［部品実装ラインの概略構成］
図１は、本実施の形態における部品実装ラインの概略構成を示す図である。

【0038】

本実施の形態における部品実装ライン１は、液晶パネル、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）パネルなどのパネル３に部品５を実装することによってディスプレイパネルなどの製品（すなわち実装パネル）を生産するシステムである。なお、部品５は、例えば駆動回路などの電子部品であり、パネル３は、基板とも呼ばれる。

【0039】

このような部品実装ライン１は、図１に示すように、パネル搬入部１０と、貼着部２０と、仮圧着部３０と、本圧着部４０と、パネル搬出部５０とを有する。パネル搬入部１０、貼着部２０、仮圧着部３０、本圧着部４０、およびパネル搬出部５０は、この順で連結されている。

【0040】

パネル搬入部１０は、作業者または上流側の他の装置から搬入されるパネル３を受け取る。そして、そのパネル３は下流側の貼着部２０に搬出される。パネル３の形状の一例は、矩形である。

【0041】

貼着部２０は、パネル搬入部１０から搬出されたパネル３を受け取り、そのパネル３の周縁にある複数の電極部４のそれぞれにＡＣＦなどの接着部材を貼着する。そして、その接着部材が貼着されたパネル３は仮圧着部３０に搬出される。なお、複数の電極部４のそれぞれは、例えば、複数の電極により構成されている。

【0042】

仮圧着部３０は、貼着部２０から搬出されたパネル３を受け取り、そのパネル３の接着部材が貼着されている部位に部品５を搭載して仮圧着する。そして、その部品５が仮圧着されたパネル３は本圧着部４０に搬出される。

【0043】

本圧着部４０は、仮圧着部３０から搬出されたパネル３を受け取り、そのパネル３に仮圧着された部品５に対して本圧着（熱圧着ともいう）を行う。そして、その本圧着が行われたパネル３はパネル搬出部５０に搬出される。

【0044】

パネル搬出部５０は、本圧着部４０から搬出されたパネル３を受け取る。パネル搬出部５０に受け取られたパネル３は下流側に搬出される。

【0045】

このように、部品実装ライン１は、搬入されたパネル３の周縁に設けられた複数の電極部４のそれぞれに部品５を実装する部品実装作業を実行し、部品５が実装されたパネル３を実装パネルあるいは実装基板としてパネル搬出部５０から搬出する。

【0046】

［部品実装ラインの詳細構成］
図２は、本実施の形態における部品実装ライン１の平面図である。具体的には、図２は、部品実装ライン１を上方から見た構成を示す。なお、本実施の形態において、パネル３の搬送方向、すなわち左右方向をＸ軸方向と称し、鉛直方向、すなわち上下方向をＺ軸方向と称し、Ｘ軸方向およびＺ軸方向に垂直な方向、すなわち奥行き方向をＹ軸方向と称す。また、Ｘ軸方向の負側および正側は、パネル３の搬送方向の上流側および下流側にそれぞれ相当し、Ｚ軸方向の負側および正側は、鉛直方向の下側および上側にそれぞれ相当し、Ｙ軸方向の負側および正側は、奥行き方向の手前側および奥側、または、前側および後側にそれぞれ相当する。

【0047】

パネル搬入部１０は、搬入されるパネル３を載置するための基台１ａを備える。パネル搬入部１０の基台１ａには、パネル３が載置されるステージ１１が設けられている。ステージ１１は、基台１ａに対してＺ軸方向に昇降する。また、ステージ１１の上面には、複数の吸着孔１１ａが設けられている。このようなステージ１１は、作業者または上流側の他の装置から搬入されてステージ１１上に載置されたパネル３を、図示しないポンプ等の吸引器によって吸着孔１１ａから真空吸着して保持する。

【0048】

貼着部２０は、パネル３の電極部４に接着部材であるＡＣＦを貼着する貼着作業を行う機能を備える。貼着部２０は、パネル移動機構２１と、貼着機構２２とを備える。

【0049】

パネル移動機構２１は、パネル３を移動させる機構である。パネル移動機構２１は、例えば、Ｘ軸方向に可動なＸ軸テーブルと、Ｙ軸方向に可動なＹ軸テーブルと、Ｚ軸方向に可動なＺ軸テーブルと、ステージ２３とを備える。パネル移動機構２１には、基台１ｂ上に下方から順に、Ｘ軸テーブルと、Ｙ軸テーブルと、Ｚ軸テーブルと、ステージ２３とが重ねて設けられている。

【0050】

Ｙ軸テーブルは、Ｙ軸方向に延びて設けられ、Ｘ軸テーブル上をＸ軸方向に自在に移動する。Ｚ軸テーブルは、Ｙ軸テーブル上をＹ軸方向に自在に移動し、上部に設けられたステージ２３をＺ軸方向に昇降するとともにＺ軸回りに回転させる。

【0051】

また、ステージ２３の上面には、複数の吸着孔２３ａが設けられており、ステージ２３は、その上面に載置されたパネル３を真空吸着して保持する。このように、パネル移動機構２１は、パネル３を吸着保持して水平面内（具体的には、Ｘ軸方向およびＹ軸方向）で移動させ、上下方向（すなわちＺ軸方向）に昇降させるとともにＺ軸回りに回転させる。

【0052】

貼着機構２２は、基台１ｂの上方に、Ｘ軸方向に並んだ例えば２つの貼着ヘッドを備えている。各貼着ヘッドは、それぞれＡＣＦを供給する供給部と、ＡＣＦをパネル３に貼着するための貼着ツールとを備えている。２つの貼着ヘッドのそれぞれは、パネル３上の複数の電極部４に対応する位置にＡＣＦを貼着する。また、２つの貼着ヘッドのそれぞれに対応する下方の位置には、貼着支持台が備えられている。

【0053】

仮圧着部３０は、パネル３のＡＣＦが貼着された領域（すなわち圧着対象部位）に部品５を搭載して仮圧着する仮圧着作業を実行する。仮圧着部３０は、パネル移動機構３１と、部品搭載機構３２と、部品供給部３３と、部品移送部３５とを備える。

【0054】

パネル移動機構３１は、貼着部２０のパネル移動機構２１と同様の構造を有する。具体的には、パネル移動機構３１は、パネル３を保持するステージ３７を有する。ステージ３７の上面には、複数の吸着孔３７ａが設けられている。パネル移動機構３１は、そのステージ３７上に載置されたパネル３をその複数の吸着孔３７ａによって真空吸着して保持する。また、パネル移動機構３１は、パネル３を吸着保持するステージ３７を水平面内で移動させ、上下方向に昇降させるとともにＺ軸回りに回転させる機能を備える。パネル移動機構３１は、そのステージ３７の移動および回転によって、吸着保持されているパネル３のＡＣＦが貼着された領域を、部品搭載機構３２のバックアップステージであるバックアップ部３６の上方に位置させる。

【0055】

部品供給部３３は、部品搭載機構３２の奥側（すなわちＹ軸方向正側）に基台１ｂの後部から張り出して設けられている。例えば、部品供給部３３は、ＴＣＰなどのテープ部材が巻き付けられた供給リール３３ａと、打ち抜き部３３ｂと、可動ステージ３３ｃと、レール３３ｄとを備える。このような部品供給部３３は、それらの構成要素の動きによってテープ部材から部品５を順次供給する。

【0056】

部品移送部３５は、部品供給部３３から供給される部品５を、部品搭載機構３２に含まれる圧着ツール３４側に移動させる。

【0057】

部品搭載機構３２は、基台１ｂ上に設けられ、圧着ツール３４とバックアップ部３６とを備える。

【0058】

バックアップ部３６は、長尺状に形成された部材であって、パネル３を下方から支持する。つまり、バックアップ部３６は、ステージ３７に保持されているパネル３における予め定められた部位である圧着対象部位を下方から支持する。なお、この圧着対象部位は、パネル３においてＡＣＦが貼着されている部位である。

【0059】

圧着ツール３４は、部品５を保持し、バックアップ部３６によって支持されているパネル３の上面に部品５を圧着する。つまり、圧着ツール３４は、パネル３の圧着対象部位に部品５を圧着する。具体的には、圧着ツール３４は、Ｚ軸方向に昇降し、部品移送部３５によって移動された部品５を上方から吸着（つまり、ピックアップ）する。そして、圧着ツール３４は、吸着した部品５をＡＣＦ上に搭載してパネル３ごとバックアップ部３６に押し付けることで、パネル３に部品５を仮圧着する。なお、仮圧着部３０は、パネル移動機構３１によって保持されているパネル３の方向を９０度回転させる機構を備えてもよい。

【0060】

本圧着部４０は、仮圧着部３０によってパネル３に仮圧着された部品５をパネル３に本圧着（つまり、熱圧着）する本圧着作業（熱圧着作業ともいう）を実行する。こうすることで、パネル３に形成された電極部４と部品５とはＡＣＦを介して電気的に接続される。このような本圧着部４０は、パネル移動機構４１と、圧着機構４２とを備える。

【0061】

パネル移動機構４１は、貼着部２０のパネル移動機構２１と同様の構造を有する。具体的には、パネル移動機構４１は、ステージ４９を有する。ステージ４９の上面には、複数の吸着孔４９ａが設けられている。パネル移動機構４１は、そのステージ４９上に載置されたパネル３をその複数の吸着孔４９ａによって真空吸着して保持する。また、パネル移動機構４１は、パネル３を吸着保持するステージ４９を水平面内で移動させ、上下方向に昇降させるとともにＺ軸回りに回転させる機能を備える。パネル移動機構４１は、そのステージ４９の移動および回転によって、吸着保持されているパネル３の部品５が仮圧着された領域を、圧着機構４２の圧着支持部の上方に位置させる。

【0062】

圧着機構４２は、加熱されたヘッドでパネル３の部品５を圧着支持部側に押圧する。これにより、部品５は本圧着され、パネル３に形成された電極部４と部品５とはＡＣＦを介して電気的に接続される。

【0063】

パネル搬出部５０は、本圧着部４０から搬送されたパネル３をステージ５１上に真空吸着して保持する機能を備える。パネル搬出部５０において保持されたパネル３は、下流側の他の装置に搬出されるか、作業者によってステージ５１から取り出される。ステージ５１は、基台１ｃに対してＺ軸方向に昇降する。また、ステージ５１の上面には、複数の吸着孔５１ａが設けられており、ステージ５１は、本圧着部４０から移送されたパネル３をその上面で真空吸着して保持する。

【0064】

搬送部６０は、パネル３を搬送する装置である。具体的には、搬送部６０は、パネル搬入部１０に搬入されたパネル３を、貼着部２０、仮圧着部３０、本圧着部４０、および、パネル搬出部５０へこの順に受け渡す（移送する）機能を備える。搬送部６０は、貼着部２０、仮圧着部３０、および本圧着部４０の前方領域（すなわちＹ軸方向負側）に配置さ
れている。

【0065】

搬送部６０は、基台１ａ、基台１ｂ、および、基台１ｃにわたってＸ軸方向に延びた移動ベース６１上に、上流側から順に配置されている、パネル搬送機構６２Ａ、パネル搬送機構６２Ｂ、パネル搬送機構６２Ｃ、および、パネル搬送機構６２Ｄを備えている。パネル搬送機構６２Ａ～６２Ｄは、それぞれ基部６３および１以上のアームユニット６４を備える。本実施の形態では、パネル搬送機構６２Ａ～６２Ｄがそれぞれ２基のアームユニット６４を備える場合を例示している。基部６３は、移動ベース６１上に設けられ、Ｘ軸方向に自在に移動する。基部６３上には、２基のアームユニット６４がＸ軸方向に並んで設けられている。アームユニット６４は、パネル３を上方から真空吸着する。

【0066】

パネル搬送機構６２Ａ～６２Ｄのそれぞれは、ステージ１１、２３、３７、４９、５１が保持するパネル３を上方から真空吸着するパネル受け渡し位置に移動して、昇降するステージ１１、２３、３７、４９、５１からパネル３の受け取りまたは受け渡しを行う。例えば、パネル搬送機構６２Ａは、パネル搬入部１０のステージ１１に載置されたパネル３を受け取り、貼着部２０のステージ２３に受け渡す。また、例えば、パネル搬送機構６２Ｂは、貼着部２０のステージ２３からパネル３を受け取り、仮圧着部３０のステージ３７に受け渡す。また、例えば、パネル搬送機構６２Ｃは、仮圧着部３０のステージ３７からパネル３を受け取り、本圧着部４０のステージ４９に受け渡す。また、例えば、パネル搬送機構６２Ｄは、本圧着部４０のステージ４９からパネル３を受け取り、パネル搬出部５０のステージ５１に受け渡す。

【0067】

［パネル搬送システム］
本実施の形態におけるパネル搬送システムは、部品実装ライン１に含まれる複数の構成要素から構成されている。

【0068】

図３は、本実施の形態におけるパネル搬送システム１００の構成の一例を示すブロック図である。

【0069】

パネル搬送システム１００は、制御装置１１０と、パネル搬送装置１２０と、ステージ１３０とを備える。

【0070】

パネル搬送装置１２０は、図２に示すパネル搬送機構６２Ａ～６２Ｄのうちの何れか１つである。また、パネル搬送装置１２０は、そのパネル搬送機構６２Ａ～６２Ｄのうちの２つ以上の機構から構成されていてもよい。また、パネル搬送装置１２０は、図２の搬送部６０であってもよい。

【0071】

ステージ１３０は、図２に示すステージ１１、２３、３７、４９、５１のうちの何れか１つである。また、ステージ１３０は、そのステージ１１、２３、３７、４９、５１のうちの２つ以上のステージから構成れていてもよい。

【0072】

制御装置１１０は、制御部１１１およびメモリ１１２を備える。なお、制御装置１１０は、部品実装ライン１に組み込まれた装置であってもよく、その部品実装ライン１に例えば通信ネットワークを介して接続された装置であってもよい。メモリ１１２は、制御部１１１に接続された記録媒体であって、具体的には、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、または半導体メモリなどである。なお、メモリ１１２は、揮発性であっても不揮発性であってもよい。また、メモリ１１２には、コンピュータプログラムまたは制御データが格納されていてもよい。制御部１１１は、例えば、プロセッサ、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの回路であって、メモリ１１２からコンピュー
タプログラムを読み出して実行することによって、パネル搬送装置１２０およびステージ
１３０を制御する。また、制御部１１１は、パネル搬送装置１２０およびステージ１３０を制御するときには、メモリ１１２に格納されている制御データを参照することによって、パネル搬送装置１２０およびステージ１３０を制御するための各種パラメータを決定してもよい。つまり、制御部１１１は、メモリ１１２を用いて各種の処理を実行する。

【0073】

図４は、本実施の形態におけるパネル搬送装置１２０の一例を示す斜視図である。なお、図４に示すパネル搬送装置１２０は、図２に示すパネル搬送機構６２Ａ～６２Ｄのうちの何れか１つである。

【0074】

パネル搬送装置１２０は、図４に示すように、移動ベース６１上をＸ軸方向に移動自在に設けられた基部６３と、その基部６３上に設けられた２基のアームユニット６４とを有する。各アームユニット６４は、基部６３に固定されたアームベース６５と、アームベース６５から水平後方に延びて設けられた２つのアーム６６を備える。各アーム６６には吸着面を下方に向けた複数の吸着パッド６７が設けられている。各アームユニット６４は２つのアーム６６に設けられた複数の吸着パッド６７（本実施の形態では４個）を介して１枚のパネル３を真空吸着する。このように、本実施の形態におけるパネル搬送装置１２０は、アーム６６と、パネル３を吸着面で吸着することによってそのパネル３を保持する吸着パッド６７を有する保持部とを備える。保持部の詳細については、後述する。

【0075】

なお、本実施の形態では、１つのパネル３の吸着に４個の吸着パッド６７が用いられるが、パネル３のサイズに応じた数の吸着パッド６７が、そのパネル３の吸着に用いられてもよい。例えば、１つのパネル３の吸着に４～１６個の吸着パッド６７が用いられてもよい。

【0076】

図５は、本実施の形態における制御装置１１０によって制御される調整距離を説明するための図である。

【0077】

制御装置１１０の制御部１１１は、図５の（ａ）および（ｂ）に示すように、パネル搬送装置１２０の調整距離を制御する。ここで、本実施の形態では、吸着パッド６７は、支持軸６８を介してアーム６６に取り付けられている。また、支持軸６８は、例えばバネなどの弾性部材によって、Ｙ軸方向に沿うアーム６６に対してＺ軸方向に移動可能に、アーム６６に対して取り付けられている。吸着パッド６７は、その支持軸６８の下端側に取り付けられている。また、吸着パッド６７は、例えばゴムなどの弾性を有する部材によって構成されている。なお、支持軸６８と、その支持軸６８に取り付けられている吸着パッド６７とを含む機構は、パネル３を保持する保持部６９として構成されている。つまり、本実施の形態では、保持部６９は、保持部６９の吸着面６７ａが弾性によってアーム６６に対してＺ軸方向に移動可能なように、アーム６６に取り付けられている。なお、その弾性は、支持軸６８が有するバネなどの弾性部材の弾性、および吸着パッド６７の弾性のうちの少なくとも一方である。具体的には、保持部６９は、アーム６６に対してＺ軸方向に移動可能に取り付けられる支持軸６８と、その支持軸６８に接続され、パネル３を吸着面６７ａで吸着するように構成された、弾性部材からなる吸着パッド６７とを備える。これにより、本実施の形態では、保持部６９をフローティング機構によってアーム６６に適切に取り付けることができる。その結果、複数の保持部６９がパネル３を吸着する場合に、それらの保持部６９の吸着面６７ａにおけるＺ軸方向の位置にばらつきがある場合でも、複数の保持部６９は適切にパネル３を吸着することができる。

【0078】

本実施の形態における調整距離は、アーム６６と、ステージ１３０の上面との間のＺ軸方向の距離である。本実施の形態における制御部１１１は、ステージ１３０を昇降させることによって、その調整距離を第１距離Ｌ１に設定し、あるいは、その調整距離を第２距離Ｌ２に設定する。

【0079】

例えば、制御部１１１は、図５の（ａ）に示すように、ステージ１３０をＺ軸方向に移動させることによって、調整距離を第２距離Ｌ２に設定する。調整距離が第２距離Ｌ２である場合、複数の吸着パッド６７とステージ１３０とは、パネル３を挟んでそれぞれそのパネル３に接する。その第２距離Ｌ２は、アーム６６と吸着パッド６７の吸着面６７ａとの間の距離Ｌａと、パネル３の厚みＬｐとの和である。ここで、距離Ｌａは、パネル３からＺ軸方向の力を吸着パッド６７が受けていないときの、吸着パッド６７の吸着面６７ａとアーム６６との間の距離である。また、その距離Ｌａは、パネル３の厚みＬｐに関わらず、パネル搬送装置１２０の構成によって定まる距離である。つまり、第２距離Ｌ２は、（１）パネル３の厚みＬｐと、（２）パネル３から力を受けていないときの保持部６９の吸着面６７ａとアーム６６との間の距離Ｌａと、によって決定される。なお、距離Ｌａは、その距離よりも数％～１０％だけ短い距離であってもよい。

【0080】

また、制御部１１１は、図５の（ｂ）に示すように、ステージ１３０をＺ軸方向に移動させることによって、調整距離を第１距離Ｌ１に設定する。例えば、制御部１１１は、図５の（ａ）に示す状態にあるステージ１３０を上昇させることによって、調整距離を第１距離Ｌ１に設定する。調整距離が第１距離Ｌ１である場合、図５の（ｂ）に示すように、ステージ１３０およびパネル３は、吸着パッド６７を上方に押し上げる。このときには、吸着パッド６７は、そのパネル３から受ける力と吸着パッド６７の弾性とによって歪みながら、すなわち高さ方向に縮みながら、その吸着パッド６７に接続されている支持軸６８を上方に押し上げている。このとき、支持軸６８は上方に付勢されている。このような第１距離Ｌ１は、アーム６６と吸着パッド６７の吸着面６７ａとの間の距離Ｌｂと、パネル３の厚みＬｐとの和である。なお、距離Ｌｂは、距離Ｌａよりも短い。

【0081】

なお、第１距離Ｌ１および第２距離Ｌ２は、制御装置１１０のメモリ１１２に制御データとして格納されていてもよい。そして、制御部１１１は、そのメモリ１１２から第１距離Ｌ１および第２距離Ｌ２を読み出すことによって、調整距離が第１距離Ｌ１または第２距離Ｌ２になるようにステージ１３０を昇降させてもよい。また、距離Ｌａおよび距離Ｌｂが、制御装置１１０のメモリ１１２に制御データとして格納されていてもよい。この場合、制御部１１１は、例えば生産データに示されている厚み情報を取得し、メモリ１１２から距離Ｌａを読み出す。厚み情報は、パネル３の厚みＬｐを示す。そして、制御部１１１は、その厚みＬｐと距離Ｌａとを加算することによって、第２距離Ｌ２を決定してもよい。つまり、制御部１１１は、パネル３の厚みＬｐを示す厚み情報を取得し、その厚み情報に基づいて、第２距離Ｌ２を決定する。したがって、制御部１１１は、厚み情報によって示されるパネル３の厚みＬｐが大きいほど第２距離Ｌ２が長くなるように、その第２距離Ｌ２を決定する。

【0082】

図６は、本実施の形態における、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０にパネル３が受け渡されるときの動作の一例を、比較例と比較して示す図である。なお、図６の（ａ１）、（ａ２）および（ａ３）は、比較例におけるステージ１３００とパネル搬送装置１２００との動作を示す。また、比較例では、ステージ１３００に吸着保持されているパネル３が、パネル搬送装置１２００に受け渡される。また、パネル搬送装置１２００は、本実施の形態におけるアーム６６、支持軸６８、および吸着パッド６７に相当する、アーム６６０、支持軸６８０、および吸着パッド６７０を備えている。一方、図６の（ｂ１）、（ｂ２）、（ｂ３）および（ａ４）は、本実施の形態におけるステージ１３０とパネル搬送装置１２０との動作を示す。

【0083】

比較例では、まず、図６の（ａ１）に示すように、ステージ１３００は、パネル３を吸着保持し、パネル搬送装置１２００の複数の吸着パッド６７０は、そのパネル３から上方に離れた位置にある。そして、ステージ１３００は、図６の（ａ２）に示すように、パネ
ル３を吸着保持した状態で上昇して、そのパネル３を複数の吸着パッド６７０に押し付ける。これにより、複数の吸着パッド６７０は、歪みながら、複数の支持軸６８０と共に上方に押し上げられる。このとき、支持軸６８０が有するバネなどの弾性部材は付勢される。そして、複数の吸着パッド６７０はパネル３を吸着する。

【0084】

次に、ステージ１３００は、図６の（ａ３）に示すように、一気に下降する。その結果、パネル３を吸着している複数の吸着パッド６７０と、それらに接続されている複数の支持軸６８０とも、一気に下降する。その結果、アーム６６０は、大きな衝撃を受ける。具体的には、ステージ１３００が一気に下降すると、アーム６６０は、支持軸６８０の弾性部材の付勢だけでなくパネル３の重みも加算された衝撃を一気に受けてしまう。また、パネル３が大型化するほど、アーム６６０は、大きな衝撃を受ける。

【0085】

そこで、本実施の形態における制御部１１１は、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０にパネル３が受け渡される場合には、ステージ１３０を２段階モーションによって下降させる。例えば、制御部１１１は、図６の（ｂ１）に示すように、ステージ１３０にパネル３を吸着保持させて、図６の（ｂ２）に示すように、そのステージ１３０を上昇させる。このとき、制御部１１１は、上述の調整距離が第１距離Ｌ１になるまで、ステージ１３０を上昇させる。その結果、ステージ１３０に吸着保持されているパネル３は、複数の吸着パッド６７に押し付けられる。これにより、複数の吸着パッド６７は、歪みながら、複数の支持軸６８と共に上方に押し上げられる。このとき、比較例と同様、支持軸６８が有するバネなどの弾性部材は付勢される。そして、複数の吸着パッド６７はパネル３を吸着する。

【0086】

次に、制御部１１１は、図６の（ｂ３）および（ｂ４）に示すように、ステージ１３０を一気に下降させることなく、２段階モーションによってステージ１３０を下降させる。すなわち、まず、１段階目では、制御部１１１は、図６の（ｂ３）に示すように、調整距離が第２距離Ｌ２になるまでステージ１３０を下降させて、その調整距離が第２距離Ｌ２となっている状態で、予め定められた停止期間だけそのステージ１３０を停止させる。そして、２段階目で、制御部１１１は、図６の（ｂ４）に示すように、ステージ１３０をさらに下降させる。

【0087】

図７は、本実施の形態における、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０にパネル３が受け渡されるときの動作のタイミングの一例を、比較例と比較して示す図である。なお、図７の（ａ）のグラフは、比較例であって、ステージ１３００とパネル搬送装置１２００のそれぞれの動作のタイミングを示す。具体的には、図７の（ａ）のグラフは、ステージ１３００のＺ軸方向の移動状態と、ステージ１３００によるパネル３の吸着状態と、パネル搬送装置１２００によるパネル３の吸着状態とのそれぞれの時間変化を示す。一方、図７の（ｂ）のグラフは、本実施の形態におけるステージ１３０とパネル搬送装置１２０のそれぞれの動作のタイミングを示す。具体的には、図７の（ｂ）のグラフは、ステージ１３０のＺ軸方向の移動状態と、ステージ１３０によるパネル３の吸着状態と、パネル搬送装置１２０によるパネル３の吸着状態とのそれぞれの時間変化を示す。

【0088】

例えば、比較例では、図７の（ａ）に示すように、上昇したステージ１３００は、一気に下降する。具体的には、ステージ１３００は、図６の（ａ１）に示すように、停止し、真空吸引することによってパネル３を吸着している。すなわち、ステージ１３００の吸着状態は、吸着ＯＮにされている。一方、パネル搬送装置１２００は、真空吸引していない。すなわち、パネル搬送装置１２００の吸着状態は、吸着ＯＦＦにされている。そして、ステージ１３００は、パネル３を吸着しながら時刻ｔ０から上昇を開始して、時刻ｔ１で停止する。このとき、パネル３は、図６の（ａ２）に示すように、パネル搬送装置１２００の吸着パッド６７０を上方に押し上げている。その後、時刻ｔ２において、ステージ１３００の吸着状態は、吸着ＯＮから吸着ＯＦＦに切り替えられ、パネル搬送装置１２００の吸着状態は、吸着ＯＦＦから吸着ＯＮに切り替えられる。その後、時刻ｔ３から時刻ｔ４まで、ステージ１３００は、図６の（ａ３）に示すように、一気に下降する。

【0089】

一方、本実施の形態では、図７の（ｂ）に示すように、上昇したステージ１３０は、一気に下降することなく、２段階モーションによって下降する。具体的には、制御部１１１は、図６の（ｂ１）に示すように、ステージ１３０を停止させて、ステージ１３０に真空吸引させてパネル３の吸着を実行させている。すなわち、ステージ１３０の吸着状態は、吸着ＯＮにされている。一方、制御部１１１は、パネル搬送装置１２０に真空吸引をさせていない。すなわち、パネル搬送装置１２０の吸着状態は、吸着ＯＦＦにされている。そして、制御部１１１は、ステージ１３０に対して、パネル３を吸着させながら、時刻ｔ０から上昇を開始させて、時刻ｔ１で停止させる。このとき、パネル３は、図６の（ｂ２）に示すように、パネル搬送装置１２０の吸着パッド６７を上方に押し上げている。その後、時刻ｔ２において、制御部１１１は、ステージ１３０の吸着状態を、吸着ＯＮから吸着ＯＦＦに切り替え、パネル搬送装置１２０の吸着状態を、吸着ＯＦＦから吸着ＯＮに切り替える。その後、制御部１１１は、１段階目のモーションをステージ１３０に実行させる。すなわち、制御部１１１は、時刻ｔ３から時刻ｔ１１までステージ１３０を下降させる。つまり、図６の（ｂ２）および（ｂ３）に示すように、ステージ１３０が下降する。このとき、保持部６９のフローティング機構の付勢が解除される。そして、時刻ｔ１１から予め定められた停止期間が経過したとき、すなわち時刻ｔ１２に、制御部１１１は、２段階目のモーションをステージ１３０に開始させる。つまり、制御部１１１は、時刻ｔ１２から時刻ｔ１３までステージ１３０を下降させる。その結果、図６の（ｂ３）および（ｂ４）に示すように、ステージ１３０が下降する。

【0090】

このように、本実施の形態における制御部１１１は、保持部６９のフローティング機構の付勢が解除されるときに、ステージ１３０の下降を一時停止させるため、パネル３の重みによってアーム６６が受ける衝撃を抑制することができる。したがって、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０へのパネル３の受け渡しをスムーズに行うことができる。

【0091】

なお、時刻ｔ１１から時刻ｔ１２までの停止期間は、例えば１００ｍｓｅｃであって、パネル３の形状および重さによって変更されてもよい。また、制御部１１１が、パネル３のサイズに応じてその停止期間を決定してもよい。具体的には、制御部１１１は、パネル３のサイズが大きいほど長い期間を停止期間として決定してもよい。あるいは、制御部１１１は、ユーザによる入力操作に応じて、例えば１０ｍｓｅｃ～２ｓｅｃの範囲内の期間を、停止期間として受け付けてもよい。また、時刻ｔ１から時刻ｔ３までの期間は、押し込み期間あるいは押し付け期間とも呼ばれる。このような期間の終点（すなわち時刻ｔ３）は、パネル３の吸着に用いられる全ての吸着パッド６７の吸着状態によって決定されてもよい。つまり、制御部１１１は、全ての吸着パッド６７の吸着状態をセンサなどによって検出し、全ての吸着パッド６７がパネル３を吸着していることが検出されたタイミングを、押し付け期間の終点に決定してもよい。

【0092】

図８は、本実施の形態における制御装置１１０の処理動作の一例を示すフローチャートである。

【0093】

制御部１１１は、図８に示すように、まず、第１処理を実行する。つまり、制御部１１１は、パネル３を吸着保持しているステージ１３０を上昇させて、ステージ１３０とアーム６６との間の調整距離を第１距離Ｌ１まで短くする。これにより、制御部１１１は、ステージ１３０上に吸着されているパネル３を吸着パッド６７に押し付ける（ステップＳ１１）。次に、制御部１１１は、第２処理を実行する。第２処理では、制御部１１１は、吸着パッド６７によるパネル３の吸着をパネル搬送装置１２０に実行させる（ステップＳ１２）。つまり、制御部１１１は、第１処理では、図６の（ｂ１）および（ｂ２）に示すように、パネル３が、ステージ１３０に載置されて吸着パッド６７の吸着面６７ａに非接触の状態から、吸着パッド６７の吸着面６７ａに当接して押し付けられる状態に遷移するように、ステージ１３０を移動させる。そして、制御部１１１は、第２処理では、その吸着パッド６７の吸着面６７ａによるパネル３の吸着をパネル搬送装置１２０に実行させる。また、このとき、制御部１１１は、ステージ１３０にパネル３の吸着を停止させる。

【0094】

次に、制御部１１１は、第３処理を実行する。第３処理では、制御部１１１は、図６の（ｂ３）に示すように、ステージ１３０を下降させて、調整距離を第２距離Ｌ２まで長くする（ステップＳ１３）。そして、制御部１１１は、第４処理を実行する。第４処理では、制御部１１１は、予め定められた停止期間だけ、その調整距離を第２距離Ｌ２に維持する（ステップＳ１４）。その後、制御部１１１は、第５処理を実行する。第５処理では、制御部１１１は、図６の（ｂ４）に示すように、ステージ１３０をさらに下降させて、その調整距離を第２距離Ｌ２よりも長くする（ステップＳ１５）。

【0095】

このように、本実施の形態において、第１処理では、フローティング機構によって保持部６９の吸着面６７ａが押し込まれて、第２処理によってパネル３の吸着が実行された後には、第５処理が直接行われることなく、第３処理および第４処理が行われる。したがって、ステージ１３０は、一気に長い距離を下降することなく、調整距離が第１距離Ｌ１から長くなるように下降後に、調整距離が第２距離Ｌ２となる位置で一時的に停止し、その後に、調整距離が第２距離Ｌ２よりも長くなるようにさらに下降する。つまり、ステージ１３０の下降は、第３処理のモーションと、第５処理のモーションとを含む２段階モーションによって行われる。第３処理のモーションは、第１段階目のモーションであり、第５処理のモーションは、第２段階目のモーションである。また、それらの２つのモーションの間では、パネル３が保持部６９の吸着面６７ａおよびステージ１３０に接した状態で停止期間だけ維持される。その結果、調整距離が第１距離Ｌ１から第２距離Ｌ２よりも長くなるようにステージ１３０が移動するときには、アーム６６が受ける衝撃を抑制することができる。つまり、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０にパネル３が受け渡されるときに、より具体的には、保持部６９がパネル３を吸着して調整距離が長くなるときに、パネル３の重みによってアーム６６が受ける衝撃を抑制することができる。したがって、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０へのパネル３の受け渡しをスムーズに行うことができる。

【0096】

また、本実施の形態における制御部１１１は、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０へのパネル３の受け渡しでは、ステージ１３０を移動させる。つまり、制御部１１１は、第１処理では、ステージ１３０をアーム６６側の向きに移動させる。第３処理および第５処理では、制御部１１１は、ステージ１３０をアーム６６側とは反対向きに移動させる。また、第４処理では、制御部１１１は、ステージ１３０を停止させることによって、調整距離を第２距離Ｌ２に維持する。これにより、本実施の形態では、ステージ１３０が移動する。すなわち、ステージ１３０が昇降する。したがって、ステージ１３０の移動によって、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０にパネル３が受け渡されるときに、アーム６６が受ける衝撃を抑制することができ、パネル３の受け渡しをスムーズに行うことができる。

【0097】

また、本実施の形態では、第２距離Ｌ２は、（１）パネル３の厚みと、（２）パネル３から力を受けていないときの保持部６９の吸着面６７ａとアーム６６との間の距離と、によって決定される。これにより、フローティング機構の付勢が解除される距離に第２距離Ｌ２を設定することができ、アーム６６が受ける衝撃を効果的に抑制することができる。

【0098】

また、本実施の形態では、制御部１１１は、厚み情報を取得し、その厚み情報に基づい
て、第２距離Ｌ２を決定する。これにより、パネル３の厚みＬｐに基づいて第２距離Ｌ２が決定されるため、アーム６６が受ける衝撃をパネル３の厚みＬｐに応じて適切に抑制することができる。

【0099】

また、本実施の形態では、制御部１１１は、厚み情報によって示されるパネル３の厚みＬｐが大きいほど長い距離を第２距離Ｌ２として決定する。これにより、アーム６６が受ける衝撃をパネル３の厚みＬｐに応じて効果的に抑制することができる。

【0100】

（実施の形態１の変形例）
実施の形態１における、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０へのパネル３の受け渡しでは、ステージ１３０が移動する。一方、本変形例では、アーム６６が移動する。

【0101】

図９は、本変形例における、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０にパネル３が受け渡されるときの動作の一例を示す図である。

【0102】

本変形例における制御部１１１は、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０にパネル３が受け渡される場合には、パネル搬送装置１２０のアーム６６を２段階モーションによって上昇させる。例えば、制御部１１１は、図９の（ａ）に示すように、ステージ１３０にパネル３を吸着保持させる。そして、制御部１１１は、図９の（ｂ）に示すように、ステージ１３０ではなく、アーム６６を下降させる。このとき、制御部１１１は、上述の調整距離が第１距離Ｌ１になるまで、アーム６６を下降させる。その結果、ステージ１３０に吸着保持されているパネル３は、複数の吸着パッド６７に押し付けられる。これにより、複数の吸着パッド６７は、歪みながら、アーム６６から見て複数の支持軸６８と共に上方に押し上げられる。このとき、支持軸６８が有するバネなどの弾性部材は付勢される。そして、複数の吸着パッド６７はパネル３を吸着する。

【0103】

次に、制御部１１１は、図９の（ｃ）および（ｄ）に示すように、一気にアーム６６を上昇させることなく、２段階モーションによってアーム６６を上昇させる。すなわち、まず、１段階目では、制御部１１１は、図９の（ｃ）に示すように、調整距離が第２距離Ｌ２になるまでアーム６６を上昇させて、その調整距離が第２距離Ｌ２となっている状態で、予め定められた停止期間だけそのアーム６６を停止させる。そして、２段階目で、制御部１１１は、図９の（ｄ）に示すように、アーム６６をさらに上昇させる。

【0104】

図１０は、本変形例における制御装置１１０の処理動作の一例を示すフローチャートである。

【0105】

制御部１１１は、図１０に示すように、まず、第１処理を実行する。つまり、制御部１１１は、アーム６６を下降させて、ステージ１３０とアーム６６との間の調整距離を第１距離Ｌ１まで短くすることにより、ステージ１３０上のパネル３を吸着パッド６７に押し付ける（ステップＳ１１ａ）。次に、制御部１１１は、第２処理を実行する。第２処理では、制御部１１１は、吸着パッド６７によるパネル３の吸着をパネル搬送装置１２０に実行させる（ステップＳ１２ａ）。つまり、制御部１１１は、第１処理では、図９の（ａ）および（ｂ）に示すように、パネル３が、ステージ１３０に載置されて吸着パッド６７の吸着面６７ａに非接触の状態から、吸着パッド６７の吸着面６７ａに当接して押し付けられる状態に遷移するように、アーム６６を移動させる。そして、制御部１１１は、第２処理では、その吸着パッド６７の吸着面６７ａによるパネル３の吸着をパネル搬送装置１２０に実行させる。また、このとき、制御部１１１は、ステージ１３０にパネル３の吸着を停止させる。

【0106】

次に、制御部１１１は、第３処理を実行する。第３処理では、制御部１１１は、図９の
（ｃ）に示すように、アーム６６を上昇させて、調整距離を第２距離Ｌ２まで長くする（ステップＳ１３ａ）。そして、制御部１１１は、第４処理を実行する。第４処理では、制御部１１１は、予め定められた停止期間だけ、その調整距離を第２距離Ｌ２に維持する（ステップＳ１４ａ）。その後、制御部１１１は、第５処理を実行する。第５処理では、制御部１１１は、図９の（ｄ）に示すように、アーム６６をさらに上昇させて、その調整距離を第２距離Ｌ２よりも長くする（ステップＳ１５ａ）。

【0107】

このように、本変形例における制御部１１１は、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０へのパネル３の受け渡しでは、パネル搬送装置１２０のアーム６６を移動させる。つまり、制御部１１１は、第１処理では、アーム６６をステージ１３０側の向きに移動させる。第３処理および第５処理では、制御部１１１は、アーム６６をステージ１３０側とは反対向きに移動させる。また、第４処理では、制御部１１１は、アーム６６を停止させることによって、調整距離を第２距離Ｌ２に維持する。これにより、本変形例では、アーム６６が移動する。すなわち、アーム６６が昇降する。したがって、アーム６６の移動によって、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０にパネル３が受け渡されるときに、アーム６６が受ける衝撃を抑制することができ、パネル３の受け渡しをスムーズに行うことができる。つまり、アーム６６が昇降する場合であっても、実施の形態１と同様の作用効果を得ることができる。

【0108】

（実施の形態２）
実施の形態１およびその変形例では、ステージ１３０からパネル搬送装置１２０にパネル３が受け渡される。一方、本実施の形態では、パネル搬送装置１２０からステージ１３０にパネル３が受け渡される。そして、本実施の形態においても、実施の形態１と同様、ステージ１３０が２段階モーションによって移動する。なお、本実施の形態における各構成要素のうち、実施の形態１と同一の構成要素については、実施の形態１と同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。また、本実施の形態におけるパネル搬送システム１００は、実施の形態１と同様、図３に示す構成を有する。

【0109】

図１１は、本実施の形態における、パネル搬送装置１２０からステージ１３０にパネル３が受け渡されるときの動作の一例を示す図である。

【0110】

本実施の形態における制御部１１１は、パネル搬送装置１２０からステージ１３０にパネル３が受け渡される場合には、ステージ１３０を２段階モーションによって下降させる。例えば、制御部１１１は、図１１の（ａ）に示すように、パネル搬送装置１２０の複数の吸着パッド６７にパネル３を吸着保持させて、図１１の（ｂ）に示すように、ステージ１３０を上昇させる。このとき、制御部１１１は、上述の調整距離が第１距離Ｌ１になるまで、ステージ１３０を上昇させる。その結果、複数の吸着パッド６７に吸着保持されているパネル３は、ステージ１３０の上面に押し付けられる。これにより、複数の吸着パッド６７は、歪みながら、複数の支持軸６８と共に上方に押し上げられる。このとき、支持軸６８が有するバネなどの弾性部材は付勢される。そして、ステージ１３０は、パネル３を吸着し、複数の吸着パッド６７は、パネル３の吸着を停止する。

【0111】

次に、制御部１１１は、図１１の（ｃ）および（ｄ）に示すように、ステージ１３０を一気に下降させることなく、２段階モーションによってステージ１３０を下降させる。すなわち、まず、１段階目では、制御部１１１は、図１１の（ｃ）に示すように、調整距離が第２距離Ｌ２になるまでステージ１３０を下降させて、その調整距離が第２距離Ｌ２となっている状態で、予め定められた停止期間だけそのステージ１３０を停止させる。そして、２段階目で、制御部１１１は、図１１の（ｄ）に示すように、ステージ１３０をさらに下降させる。

【0112】

図１２は、本実施の形態における、パネル搬送装置１２０からステージ１３０にパネル３が受け渡されるときの動作のタイミングの一例を示す図である。なお、図１２のグラフは、本実施の形態におけるステージ１３０とパネル搬送装置１２０のそれぞれの動作のタイミングを示す。具体的には、図１２のグラフは、ステージ１３０のＺ軸方向の移動状態と、ステージ１３０によるパネル３の吸着状態と、パネル搬送装置１２０によるパネル３の吸着状態とのそれぞれの時間変化を示す。

【0113】

本実施の形態では、図１２に示すように、ステージ１３０は、一気に下降することなく、２段階モーションによって下降する。具体的には、制御部１１１は、図１１の（ａ）に示すように、ステージ１３０を停止させて、パネル搬送装置１２０の複数の吸着パッド６７に真空吸引させてパネル３の吸着を実行させている。すなわち、複数の吸着パッド６７の吸着状態は、吸着ＯＮにされている。一方、制御部１１１は、ステージ１３０に真空吸引をさせていない。すなわち、ステージ１３０の吸着状態は、吸着ＯＦＦにされている。そして、制御部１１１は、ステージ１３０の上昇を時刻ｔ０から開始させて、時刻ｔ１でその上昇を停止させる。このとき、ステージ１３０は、図１１の（ｂ）に示すように、パネル３と共にパネル搬送装置１２０の吸着パッド６７を上方に押し上げている。その後、時刻ｔ２に、制御部１１１は、ステージ１３００の吸着状態を、吸着ＯＦＦから吸着ＯＮに切り替え、パネル搬送装置１２０の吸着状態を、吸着ＯＮから吸着ＯＦＦに切り替える。その後、制御部１１１は、１段階目のモーションをステージ１３０に実行させる。すなわち、制御部１１１は、時刻ｔ３から時刻ｔ２１までステージ１３０を下降させる。つまり、図１１の（ｂ）および（ｃ）に示すように、ステージ１３０が下降する。そして、時刻ｔ２１から予め定められた停止期間が経過したとき、すなわち時刻ｔ２２に、制御部１１１は、２段階目のモーションをステージ１３０に開始させる。つまり、制御部１１１は、時刻ｔ２２から時刻ｔ２３までステージ１３０を下降させる。その結果、図１１の（ｃ）および（ｄ）に示すように、ステージ１３０が下降する。

【0114】

このように、本実施の形態における制御部１１１は、保持部６９のフローティング機構の付勢が解除されるときに、ステージ１３０の下降を一時停止させるため、アーム６６が受ける衝撃を抑制することができる。したがって、パネル搬送装置１２０からステージ１３０へのパネル３の受け渡しをスムーズに行うことができる。

【0115】

図１３は、本実施の形態における制御装置１１０の処理動作の一例を示すフローチャートである。

【0116】

制御部１１１は、図１３に示すように、まず、第１処理を実行する。つまり、制御部１１１は、ステージ１３０を上昇させて、ステージ１３０と、パネル３を吸着保持しているパネル搬送装置１２０のアーム６６との間の調整距離を第１距離Ｌ１まで短くする。これにより、制御部１１１は、複数の吸着パッド６７に吸着されているパネル３にステージ１３０を押し付ける（ステップＳ２１）。次に、制御部１１１は、第２処理を実行する。第２処理では、制御部１１１は、吸着パッド６７によるパネル３の吸着をパネル搬送装置１２０に停止させる（ステップＳ２２）。つまり、制御部１１１は、第１処理では、図１２の（ａ）および（ｂ）に示すように、パネル３が、ステージ１３０に載置されておらず吸着パッド６７の吸着面６７ａに吸着されている状態から、ステージ１３０に載置されて吸着パッド６７の吸着面６７ａに押し付けられる状態に遷移するように、ステージ１３０を移動させる。そして、制御部１１１は、第２処理では、その吸着パッド６７の吸着面６７ａによるパネル３の吸着をパネル搬送装置１２０に停止させる。また、このとき、制御部１１１は、ステージ１３０にパネル３の吸着を実行させる。

【0117】

次に、制御部１１１は、第３処理を実行する。第３処理では、制御部１１１は、図１２の（ｃ）に示すように、ステージ１３０を下降させて、調整距離を第２距離Ｌ２まで長く
する（ステップＳ２３）。そして、制御部１１１は、第４処理を実行する。第４処理では、制御部１１１は、予め定められた停止期間だけ、その調整距離を第２距離Ｌ２に維持する（ステップＳ２４）。その後、制御部１１１は、第５処理を実行する。第５処理では、制御部１１１は、図１２の（ｄ）に示すように、ステージ１３０をさらに下降させて、その調整距離を第２距離Ｌ２よりも長くする（ステップＳ２５）。

【0118】

このように、本実施の形態では、パネル搬送装置１２０からステージ１３０にパネル３が受け渡される場合において、実施の形態１と同様、２段階モーションによってステージ１３０が下降する。したがって、本実施の形態においても実施の形態１と同様の作用効果を得ることができる。

【0119】

つまり、本実施の形態において、第１処理では、フローティング機構によって保持部６９の吸着面６７ａが押し込まれて、第２処理によってパネル３の吸着が停止された後には、第５処理が直接行われることなく、第３処理および第４処理が行われる。したがって、ステージ１３０は、一気に長い距離を下降することなく、調整距離が第１距離Ｌ１から長くなるように下降後に、調整距離が第２距離Ｌ２となる位置で一時的に停止し、その後に、調整距離が第２距離Ｌ２よりも長くなるようにさらに下降する。つまり、ステージ１３０の下降は、第３処理のモーションと、第５処理のモーションとを含む２段階モーションによって行われる。第３処理のモーションは、第１段階目のモーションであり、第５処理のモーションは、第２段階目のモーションである。また、それらの２つのモーションの間では、パネル３が保持部６９の吸着面６７ａおよびステージ１３０に接した状態で停止期間だけ維持される。その結果、調整距離が第１距離Ｌ１から第２距離Ｌ２よりも長くなるようにステージ１３０が移動するときには、アーム６６が受ける衝撃を抑制することができる。つまり、パネル搬送装置１２０からステージ１３０にパネル３が受け渡されるときに、より具体的には、保持部６９がパネル３の吸着を停止して調整距離が長くなるときに、アーム６６が受ける衝撃を抑制することができる。したがって、パネル搬送装置１２０からステージ１３０へのパネル３の受け渡しをスムーズに行うことができる。

【0120】

また、本実施の形態における制御部１１１は、パネル搬送装置１２０からステージ１３０へのパネル３の受け渡しでは、ステージ１３０を移動させる。つまり、制御部１１１は、第１処理では、ステージ１３０をアーム６６側の向きに移動させる。第３処理および第５処理では、制御部１１１は、ステージ１３０をアーム６６側とは反対向きに移動させる。また、第４処理では、制御部１１１は、ステージ１３０を停止させることによって、調整距離を第２距離Ｌ２に維持する。これにより、本実施の形態では、ステージ１３０が移動する。すなわち、ステージ１３０が昇降する。したがって、ステージ１３０の移動によって、パネル搬送装置１２０からステージ１３０にパネル３が受け渡されるときに、アーム６６が受ける衝撃を抑制することができ、パネル３の受け渡しをスムーズに行うことができる。

【0121】

（実施の形態２の変形例）
実施の形態２における、パネル搬送装置１２０からステージ１３０へのパネル３の受け渡しでは、ステージ１３０が移動する。一方、本変形例では、アーム６６が移動する。

【0122】

図１４は、本変形例における、パネル搬送装置１２０からステージ１３０にパネル３が受け渡されるときの動作の一例を示す図である。

【0123】

本変形例における制御部１１１は、パネル搬送装置１２０からステージ１３０にパネル３が受け渡される場合には、パネル搬送装置１２０のアーム６６を２段階モーションによって上昇させる。例えば、制御部１１１は、図１４の（ａ）に示すように、パネル搬送装置１２０の複数の吸着パッド６７にパネル３を吸着保持させる。そして、制御部１１１は
、図１４の（ｂ）に示すように、ステージ１３０ではなく、アーム６６を下降させる。このとき、制御部１１１は、上述の調整距離が第１距離Ｌ１になるまで、アーム６６を下降させる。その結果、複数の吸着パッド６７に吸着保持されているパネル３は、ステージ１３０に押し付けられる。これにより、複数の吸着パッド６７は、歪みながら、アーム６６から見て複数の支持軸６８と共に上方に押し上げられる。そして、複数の吸着パッド６７は、パネル３の吸着を停止し、ステージ１３０が、パネル３を吸着する。

【0124】

次に、制御部１１１は、図１４の（ｃ）および（ｄ）に示すように、一気にアーム６６を上昇させることなく、２段階モーションによってアーム６６を上昇させる。すなわち、まず、１段階目では、制御部１１１は、図１４の（ｃ）に示すように、調整距離が第２距離Ｌ２になるまでアーム６６を上昇させて、その調整距離が第２距離Ｌ２となっている状態で、予め定められた停止期間だけそのアーム６６を停止させる。そして、２段階目で、制御部１１１は、図１４の（ｄ）に示すように、アーム６６をさらに上昇させる。

【0125】

図１５は、本変形例における制御装置１１０の処理動作の一例を示すフローチャートである。

【0126】

制御部１１１は、図１５に示すように、まず、第１処理を実行する。つまり、制御部１１１は、アーム６６を下降させて、ステージ１３０とアーム６６との間の調整距離を第１距離Ｌ１まで短くすることにより、パネル搬送装置１２０の複数の吸着パッド６７に吸着されているパネル３を、ステージ１３０の上面に押し付ける（ステップＳ２１ａ）。次に、制御部１１１は、吸着パッド６７によるパネル３の吸着をパネル搬送装置１２０に停止させる（ステップＳ２２ａ）。つまり、制御部１１１は、第１処理では、図１４の（ａ）および（ｂ）に示すように、パネル３が、ステージ１３０に載置されておらず吸着パッド６７の吸着面６７ａに吸着されている状態から、ステージ１３０に載置されて吸着パッド６７の吸着面６７ａに押し付けられる状態に遷移するように、アーム６６を移動させる。そして、制御部１１１は、第２処理では、その吸着パッド６７の吸着面６７ａによるパネル３の吸着をパネル搬送装置１２０に停止させる。また、このとき、制御部１１１は、ステージ１３０にパネル３の吸着を実行させる。

【0127】

次に、制御部１１１は、第３処理を実行する。第３処理では、制御部１１１は、図１４の（ｃ）に示すように、アーム６６を上昇させて、調整距離を第２距離Ｌ２まで長くする（ステップＳ２３ａ）。そして、制御部１１１は、第４処理を実行する。第４処理では、制御部１１１は、予め定められた停止期間だけ、その調整距離を第２距離Ｌ２に維持する（ステップＳ２４ａ）。その後、制御部１１１は、第５処理を実行する。第５処理では、制御部１１１は、図１４の（ｄ）に示すように、アーム６６をさらに上昇させて、その調整距離を第２距離Ｌ２よりも長くする（ステップＳ２５ａ）。

【0128】

このように、本変形例における制御部１１１は、パネル搬送装置１２０からステージ１３０へのパネル３の受け渡しでは、パネル搬送装置１２０のアーム６６を移動させる。つまり、制御部１１１は、第１処理では、アーム６６をステージ１３０側の向きに移動させる。第３処理および第５処理では、制御部１１１は、アーム６６をステージ１３０側とは反対向きに移動させる。また、第４処理では、制御部１１１は、アーム６６を停止させることによって、調整距離を第２距離Ｌ２に維持する。これにより、本変形例では、アーム６６が移動する。すなわち、アーム６６が昇降する。したがって、アーム６６の移動によって、パネル搬送装置１２０からステージ１３０にパネル３が受け渡されるときに、アーム６６が受ける衝撃を抑制することができ、パネル３の受け渡しをスムーズに行うことができる。つまり、アーム６６が昇降する場合であっても、実施の形態２と同様の作用効果を得ることができる。

【0129】

以上のように、本開示における制御装置１１０の制御部１１１は、実施の形態１およびその変形例、並びに、実施の形態２およびその変形例のように、ステージ１３０またはアーム６６を２段階モーションによって移動させる。

【0130】

図１６は、本開示における制御装置１１０の概略的な処理動作の例を示すフローチャートである。

【0131】

制御装置１１０の制御部１１１は、まず、第１処理を実行する（ステップＳ１）。この第１処理では、制御部１１１は、所定方向に沿ってアーム６６と並んで配置されているステージ１３０とそのアーム６６との間の調整距離が第１距離まで短くなるように、アーム６６またはステージ１３０を所定方向に移動させる。なお、本開示では、所定方向は、Ｚ軸方向である。また、実施の形態１および実施の形態２では、ステージ１３０が移動し、それらの実施の形態の変形例では、アーム６６が移動する。これにより、制御部１１１は、パネル３を保持部６９の吸着面６７ａとステージ１３０との間に狭み込み、保持部６９の吸着面６７ａをアーム６６から見てステージ１３０側とは反対向きに押し込む。

【0132】

次に、制御部１１１は、保持部６９の吸着面６７ａによるパネル３の吸着をパネル搬送装置１２０に実行または停止させる第２処理を実行する（ステップＳ２）。なお、実施の形態１およびその変形例では、制御部１１１は、パネル３の吸着を実行させ、実施の形態２およびその変形例では、制御部１１１は、パネル３の吸着を停止させる。

【0133】

その後、制御部１１１は、上述の調整距離が、第１距離よりも長い第２距離まで長くなるように、アーム６６またはステージ１３０を移動させる第３処理を実行する（ステップＳ３）。なお、実施の形態１および実施の形態２では、ステージ１３０が移動し、それらの実施の形態の変形例では、アーム６６が移動する。

【0134】

次に、制御部１１１は、予め定められた停止期間だけ、パネル３が保持部６９の吸着面６７ａおよびステージ１３０に接した状態で、上述の調整距離を第２距離に維持する第４処理を実行する（ステップＳ４）
そして、制御部１１１は、上述の調整距離が第２距離よりも長くなるように、アーム６６またはステージ１３０を移動させる第５処理を実行する（ステップＳ５）。なお、実施の形態１および実施の形態２では、ステージ１３０が移動し、それらの実施の形態の変形例では、アーム６６が移動する。

【0135】

これにより、第２処理によってパネル３の吸着が実行または停止された後には、第５処理が直接行われることなく、第３処理および第４処理が行われる。したがって、アーム６６またはステージ１３０は、一気に長い距離を移動することなく、調整距離が第１距離Ｌ１から長くなるように移動後に、調整距離が第２距離Ｌ２となる位置で一時的に停止し、その後に、調整距離が第２距離Ｌ２よりも長くなるようにさらに移動する。つまり、アーム６６またはステージ１３０の移動は、２段階モーションによって行われる。また、それらの２つのモーションの間では、パネル３が保持部６９の吸着面６７ａおよびステージ１３０に接した状態で停止期間だけ維持される。その結果、調整距離が第１距離Ｌ１から第２距離Ｌ２よりも長くなるようにアーム６６またはステージ１３０が移動するときには、アーム６６が受ける衝撃を抑制することができる。したがって、ステージ１３０とパネル搬送装置１２０との間でのパネル３の受け渡しをスムーズに行うことができる。

【0136】

以上、一つまたは複数の態様に係る制御装置１１０および制御方法について、上記各実施の形態およびその変形例に基づいて説明したが、本開示は、これらの実施の形態および変形例に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を上記各実施の形態およびその変形例に施したものや、上記各実施の形態およびそ
の変形例における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本開示の範囲内に含まれてもよい。

【0137】

例えば、上記各実施の形態およびその変形例では、パネル３が受け渡されるときには、ステージ１３０およびアーム６６の何れか一方のみが昇降する。しかし、ステージ１３０およびアーム６６のそれぞれが昇降してもよい。つまり、制御部１１１は、第１処理、第３処理および第５処理のそれぞれでは、ステージ１３０およびアーム６６の双方を昇降させてもよい。あるいは、制御部１１１は、第１処理、第３処理および第５処理のうちの何れか１つ以上の処理では、ステージ１３０を昇降させ、残りの他の処理では、アーム６６を昇降させてもよい。

【0138】

また、上記各実施の形態およびその変形例では、制御装置１１０は、ステージ１３０およびパネル搬送装置１２０を制御するが、ステージ１３０およびパネル搬送装置１２０のうち、パネル搬送装置１２０のみを制御してもよい。つまり、制御装置１１０は、ステージ１３０およびパネル搬送装置１２０の少なくとも一方を制御してもよい。

【0139】

また、上記各実施の形態およびその変形例では、ステージ１３０またはアーム６６をＺ軸方向に移動させるが、ステージ１３０とアーム６６とがＺ軸方向に配列されていない場合には、そのステージ１３０またはアーム６６をそれらの配列方向に沿って移動させてもよい。つまり、上述の所定方向は、Ｚ軸方向とは異なる方向であってもよい。

【0140】

また、上記各実施の形態およびその変形例では、制御部１１１などの構成要素の全部または一部は、専用のハードウェアで構成されてもよく、或いは、その構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。制御部１１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはプロセッサ等のプログラム実行部が、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）または半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。例えば、プログラム実行部は、図８、図１０、図１３、図１５、および図１６に示す各ステップをステージ１３０およびパネル搬送装置１２０の少なくとも一方に実行させる。

【0141】

また、制御部１１１は、１つまたは複数の電子回路で構成されてもよい。１つまたは複数の電子回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。１つまたは複数の電子回路には、例えば、半導体装置、ＩＣ（Integrated Circuit）またはＬＳＩ（Large Scale Integration）等が含まれてもよい。ＩＣまたはＬＳＩは、１つのチップに
集積されてもよく、複数のチップに集積されてもよい。ここでは、ＩＣまたはＬＳＩと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ（Very Large Scale Integration）、または、ＵＬＳＩ（Ultra Large Scale Integration）と呼
ばれるかもしれない。また、ＬＳＩの製造後にプログラムされるＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）も同じ目的で使うことができる。

【産業上の利用可能性】

【0142】

本開示は、例えば液晶ディスプレイを生産する部品実装ライン等が有するパネル搬送システムなどに利用可能である。

【符号の説明】

【0143】

１ 部品実装ライン
３ パネル
４ 電極部
５ 部品
１０ パネル搬入部
１１、２３、３７、４９、５１ ステージ
２０ 貼着部
２１、３１、４１ パネル移動機構
３０ 仮圧着部
３２ 部品搭載機構
３３ 部品供給部
３３ａ 供給リール
３３ｂ 打ち抜き部
３３ｃ 可動ステージ
３３ｄ レール
３４ 圧着ツール
３５ 部品移送部
３６ バックアップ部
４０ 本圧着部
５０ パネル搬出部
６０ 搬送部
６１ 移動ベース
６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃ、６２Ｄ パネル搬送機構
６３ 基部
６４ アームユニット
６５ アームベース
６６、６６０ アーム
６７、６７０ 吸着パッド
６７ａ 吸着面
６８、６８０ 支持軸
６９ 保持部
１００ パネル搬送システム
１１０ 制御装置
１１１ 制御部
１１２ メモリ
１２０、１２００ パネル搬送装置
１３０、１３００ ステージ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】