(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024165435
(43)【公開日】2024-11-28
(54)【発明の名称】半導体発光装置および半導体発光装置の製造方法
(51)【国際特許分類】
H01S 5/02315 20210101AFI20241121BHJP
H01S 5/02208 20210101ALI20241121BHJP
H01L 23/02 20060101ALI20241121BHJP
【FI】
H01S5/02315
H01S5/02208
H01L23/02 F
H01L23/02 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】20
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2023081641
(22)【出願日】2023-05-17
(71)【出願人】
【識別番号】000116024
【氏名又は名称】ローム株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100105957
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 誠
(74)【代理人】
【識別番号】100068755
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 博宣
(72)【発明者】
【氏名】篠田 明人
【テーマコード(参考)】
5F173
【Fターム(参考)】
5F173MC06
5F173MD04
5F173MD59
5F173MD83
5F173MD84
5F173ME02
5F173ME22
5F173ME64
5F173ME76
5F173ME86
(57)【要約】
【課題】基板に対するキャップのずれを抑制すること。
【解決手段】半導体発光装置10は、基板20と、基板20上に実装された端面発光素子60と、基板20上に設けられ、平面視において端面発光素子60を囲む枠状に形成された接着パターン33と、Z方向において接着パターン33と対向している枠状に形成されかつ開口端面76および内側面を含む第1~第4側壁を有し、端面発光素子60を収容するキャップ70と、第1~第4側壁の開口端面76と接着パターン33のパターン表面33Sとを接着している接着剤50と、基板20上に設けられ、第1~第4側壁の内側面と接することによってZ方向と交差する方向におけるキャップ70の移動を制限する制限部材90と、を備える。
【選択図】
図3
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板と、
前記基板上に実装された半導体発光素子と、
前記基板上に設けられ、前記基板の厚さ方向から視て前記半導体発光素子を囲む枠状に形成された接着パターンと、
前記厚さ方向において前記接着パターンと対向している枠状に形成されかつ開口端面および側面を含む側壁を有し、前記半導体発光素子を収容するキャップと、
前記側壁の前記開口端面と前記接着パターンのパターン表面とを接着している接着剤と、
前記基板上に設けられ、前記側壁の前記側面と接することによって前記厚さ方向と交差する方向における前記キャップの移動を制限する制限部材と、
を備える、半導体発光装置。
【請求項2】
前記側壁は、前記半導体発光素子からの光が通過する透光面を有し、
前記制限部材は、前記厚さ方向から視て前記透光面に対して交差する方向における前記キャップの移動を制限する
請求項1に記載の半導体発光装置。
【請求項3】
前記制限部材は、
前記厚さ方向から視て、前記側壁と重ならない位置に設けられ、前記厚さ方向と交差する方向のうち第1方向における前記キャップの移動を制限する第1制限部と、
前記厚さ方向から視て、前記側壁と重ならない位置に設けられ、前記第1方向と直交する第2方向における前記キャップの移動を制限する第2制限部と、
を含む
請求項1に記載の半導体発光装置。
【請求項4】
前記側壁は、第1コーナ部分、第2コーナ部分、第3コーナ部分、および第4コーナ部分を含む矩形枠状に形成されており、
前記制限部材は、第1部材および第2部材を含み、
前記第1部材および前記第2部材は、前記厚さ方向から視て前記側壁の前記第1~第4コーナ部分のうち対角上に配置された前記第1コーナ部分および前記第2コーナ部分と隣り合う位置に配置されることによって前記第1制限部および前記第2制限部を構成している
請求項3に記載の半導体発光装置。
【請求項5】
前記制限部材は、第3部材および第4部材をさらに含み、
前記第3部材および前記第4部材は、前記第1~第4コーナ部分のうち対角上に配置された前記第3コーナ部分および前記第4コーナ部分と隣り合う位置に配置されることによって前記第1制限部および前記第2制限部を構成している
請求項4に記載の半導体発光装置。
【請求項6】
前記側壁は、
前記第1方向に対向する第1側壁および第2側壁と、
前記第2方向に対向する第3側壁および第4側壁と、
を含み、
前記第1コーナ部分は、前記第1側壁と前記第3側壁とによって構成され、
前記第2コーナ部分は、前記第2側壁と前記第4側壁とによって構成され、
前記第1部材は、前記厚さ方向から視て、前記第1側壁と前記第1方向に隣り合う部分と前記第3側壁と前記第2方向に隣り合う部分とを含み、
前記第2部材は、前記厚さ方向から視て、前記第2側壁と前記第1方向に隣り合う部分と前記第4側壁と前記第2方向に隣り合う部分とを含む
請求項4に記載の半導体発光装置。
【請求項7】
前記側壁は、
前記第1方向に対向する第1側壁および第2側壁と、
前記第2方向に対向する第3側壁および第4側壁と、
を含み、
前記第3コーナ部分は、前記第1側壁と前記第4側壁とによって構成され、
前記第4コーナ部分は、前記第2側壁と前記第3側壁とによって構成され、
前記第3部材は、前記厚さ方向から視て、前記第1側壁と前記第1方向に隣り合う部分と前記第4側壁と前記第2方向に隣り合う部分とを含み、
前記第4部材は、前記厚さ方向から視て、前記第2側壁と前記第1方向に隣り合う部分と前記第3側壁と前記第2方向に隣り合う部分とを含む
請求項5に記載の半導体発光装置。
【請求項8】
前記側壁は、前記厚さ方向から視て、矩形枠状に形成され、かつ、
前記第1方向に対向する第1側壁および第2側壁と、
前記第2方向に対向する第3側壁および第4側壁と、
前記第1側壁と前記第3側壁とによって構成された第1コーナ部分と、
前記第2側壁と前記第4側壁とによって構成された第2コーナ部分と、
前記第1側壁と前記第4側壁とによって構成された第3コーナ部分と、
前記第2側壁と前記第3側壁とによって構成された第4コーナ部分と、
を含み、
前記制限部材は、
前記第1コーナ部分において前記側壁の内側面と隣り合う第1部材と、
前記第4コーナ部分において前記側壁の前記内側面と隣り合う第2部材と、
前記第3側壁と前記第2方向に隣り合う位置において前記第3側壁の外側面と隣り合う第3部材と、
を含み、
前記第1部材および前記第2部材は、前記第1制限部を構成し、
前記第1部材、前記第2部材、および前記第3部材は、前記第2制限部を構成している
請求項3に記載の半導体発光装置。
【請求項9】
前記第1部材および前記第2部材は、前記第2方向が長さ方向となり、前記第1方向が幅方向となる矩形状であり、
前記第3部材は、前記第1方向が長さ方向となり、前記第2方向が幅方向となる矩形状である
請求項8に記載の半導体発光装置。
【請求項10】
前記側壁は、前記厚さ方向から視て前記第1方向が長手方向となり、前記第2方向が短手方向となる矩形枠状に形成されており、
前記第3部材の長さ寸法は、前記第1部材および前記第2部材の各々の長さ寸法よりも長い
請求項9に記載の半導体発光装置。
【請求項11】
前記半導体発光素子は、前記第2方向において前記第4側壁と隣り合う位置に配置されている
請求項8に記載の半導体発光装置。
【請求項12】
前記制限部材は、前記厚さ方向から視て前記半導体発光素子を囲む枠状に形成されている
請求項1に記載の半導体発光装置。
【請求項13】
前記制限部材は、前記厚さ方向から視て前記側壁の内側面の周方向の全体にわたり設けられている
請求項12に記載の半導体発光装置。
【請求項14】
前記制限部材は、前記厚さ方向から視て前記側壁の外側面の周方向の全体にわたり設けられている
請求項12に記載の半導体発光装置。
【請求項15】
前記制限部材は、絶縁材料によって形成されている
請求項1に記載の半導体発光装置。
【請求項16】
前記接着パターンよりも内側に設けられ、前記半導体発光素子と電気的に接続された表面電極を備え、
前記制限部材は、前記接着パターン上および前記表面電極上の少なくとも一方に設けられている
請求項15に記載の半導体発光装置。
【請求項17】
前記制限部材は、金属材料によって形成されている
請求項1に記載の半導体発光装置。
【請求項18】
前記接着パターンよりも内側に設けられ、前記半導体発光素子と電気的に接続された表面電極を備え、
前記制限部材は、前記接着パターンまたは前記表面電極と一体に形成されている
請求項17に記載の半導体発光装置。
【請求項19】
前記半導体発光素子は、前記半導体発光素子からの光が前記側壁を介して前記半導体発光装置の外部に出射されるように構成された端面発光素子である
請求項1~18のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
【請求項20】
基板に半導体発光素子を配置する工程と、
前記基板に設けられ、前記基板の厚さ方向から視て前記半導体発光素子を囲む接着パターンのパターン表面に接着剤を塗布する工程と、
前記厚さ方向において前記接着パターンと対向している枠状に形成されかつ開口端面および側面を含む側壁を有するキャップを、前記接着剤上に配置して前記半導体発光素子を収容する工程と、
前記接着剤を硬化して前記接着パターンに前記キャップを接着する工程と、
を備え、
前記基板は、前記基板上に設けられ、前記側壁の前記側面と接することによって前記厚さ方向と交差する方向における前記キャップの移動を制限する制限部材を含み、
前記接着パターンに前記キャップを接着する工程では、前記キャップに対して前記接着パターンに向けて荷重を加えた状態で前記接着剤を硬化させる
半導体発光装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、半導体発光装置および半導体発光装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
基板と、基板上に配置された半導体発光素子と、基板上に設けられ、半導体発光素子を収容するキャップと、を備える半導体発光装置が知られている(例えば特許文献1参照)。このような半導体発光装置では、キャップは、例えば接着剤によって基板に接着されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、接着剤を硬化させるときにキャップが基板に対してずれる場合がある。
【課題を解決するための手段】
【0005】
上記課題を解決する半導体発光装置は、基板と、前記基板上に実装された半導体発光素子と、前記基板上に設けられ、前記基板の厚さ方向から視て前記半導体発光素子を囲む枠状に形成された接着パターンと、前記厚さ方向において前記接着パターンと対向している枠状に形成されかつ開口端面および側面を含む側壁を有し、前記半導体発光素子を収容するキャップと、前記側壁の前記開口端面と前記接着パターンのパターン表面とを接着している接着剤と、前記基板上に設けられ、前記側壁の前記側面と接することによって前記厚さ方向と交差する第1方向における前記キャップの移動を制限する制限部材と、を備える。
【0006】
上記課題を解決する半導体発光装置の製造方法は、基板に半導体発光素子を配置する工程と、前記基板に設けられ、前記基板の厚さ方向から視て前記半導体発光素子を囲む接着パターンのパターン表面に接着剤を塗布する工程と、前記厚さ方向において前記接着パターンと対向している枠状に形成されかつ開口端面および側面を含む側壁を有するキャップを、前記接着剤上に配置して前記半導体発光素子を収容する工程と、前記接着剤を硬化して前記接着パターンに前記キャップを接着する工程と、を備え、前記基板は、前記基板上に設けられ、前記側壁の前記側面と接することによって前記厚さ方向と交差する第1方向における前記キャップの移動を制限する制限部材を含み、前記接着パターンに前記キャップを接着する工程では、前記キャップに対して前記接着パターンに向けて荷重を加えた状態で前記接着剤を硬化させる。
【発明の効果】
【0007】
上記半導体発光装置および半導体発光装置の製造方法によれば、基板に対するキャップのずれを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【
図1】
図1は、第1実施形態の半導体発光装置の斜視図である。
【
図2】
図2は、
図1の半導体発光装置の内部構造を示す概略平面図である。
【
図3】
図3は、
図2のF3-F3線で半導体発光装置を切断した概略断面図である。
【
図4】
図4は、
図3のF4-F4線で半導体発光装置を切断した概略平面図である。
【
図5】
図5は、
図3の半導体発光装置の断面構造の一部を拡大した概略断面図である。
【
図6】
図6は、
図3の半導体発光装置の断面構造の別の一部を拡大した概略断面図である。
【
図7】
図7は、
図4のF7-F7線で切断した断面構造を示し概略断面図である。
【
図8】
図8は、
図1の半導体発光装置の製造工程を示す概略断面図である。
【
図22】
図22は、変更例の半導体装置の内部構造を示す概略平面図である。
【
図23】
図23は、変更例の半導体装置の内部構造を示す概略断面図である。
【
図24】
図24は、第2実施形態の半導体発光装置の内部構造を示す概略平面図である。
【
図26】
図26は、変更例の半導体発光装置の内部構造を示す概略平面図である。
【
図28】
図28は、変更例の半導体発光装置の内部構造を示す概略断面図である。
【
図29】
図29は、第3実施形態の半導体発光装置の内部構造を示す概略平面図である。
【
図31】
図31は、変更例の半導体発光装置の内部構造を示す概略断面図である。
【
図32】
図32は、変更例の半導体発光装置の内部構造を示す概略断面図である。
【
図33】
図33は、変更例の半導体発光装置の内部構造を示す概略断面図である。
【
図34】
図34は、変更例の半導体発光装置の断面構造の一部を示す概略断面図である。
【
図35】
図35は、変更例の半導体発光装置の内部構造を示す概略断面図である。
【
図36】
図36は、変更例の半導体発光装置の内部構造を示す概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、添付図面を参照して本開示の半導体発光装置および半導体発光装置の製造方法のいくつかの実施形態を説明する。なお、説明を簡単かつ明確にするため、図面に示される構成要素は必ずしも一定の縮尺に描かれていない。また、理解を容易にするため、断面図では、ハッチング線が省略されている場合がある。添付の図面は、本開示の実施形態を例示するに過ぎず、本開示を制限するものとみなされるべきではない。
【0010】
以下の詳細な説明は、本開示の例示的な実施形態を具体化する装置、システム、および方法を含む。この詳細な記載は本来説明のためのものに過ぎず、本開示の実施形態またはこのような実施形態の適用および使用を制限することを意図しない。
【0011】
また以下の説明において、「A部品の幅(寸法)がB部品の幅(寸法)と等しい」、「A部品の長さ(寸法)がB部品の長さ(寸法)と等しい」、および「A部品の厚さ(寸法)がB部品の厚さ(寸法)と等しい」との記載は、A部品の幅(長さ、厚さ)寸法とB部品の幅(長さ、厚さ)寸法との差がA部品の幅(長さ、厚さ)寸法の10%以内であることを意味する。
【0012】
<第1実施形態>
[半導体発光装置の全体構成]
図1~
図3を参照して、第1実施形態の半導体発光装置10の全体構成について説明する。
図1は、半導体発光装置10の斜視構造を示している。
図2は、半導体発光装置10の内部の平面構造を模式的に示している。
図3は、
図2のF3-F3線で半導体発光装置10を切断した断面構造を示している。なお、
図3では、図面の理解を容易にするため、後述するワイヤWを省略している。
【0013】
図1に示すように、半導体発光装置10は、矩形平板状の基板20と、基板20上に設けられた端面発光素子60(
図2参照)と、基板20上に設けられ、端面発光素子60を収容するキャップ70と、を備える。ここで、基板20の厚さ方向を「Z方向」とする。Z方向は、半導体発光装置10の厚さ方向であるともいえる。Z方向と直交する方向のうち互いに直交する2方向をそれぞれ「X方向」および「Y方向」とする。また、本明細書において、「平面視」とは、半導体発光装置10を基板20の厚さ方向(Z方向)から視ることをいう。
図1の例では、基板20は、平面視において、X方向が長手方向となり、Y方向が短手方向となる矩形状に形成されている。
【0014】
基板20は、Z方向において互いに反対側を向く基板表面21および基板裏面22と、基板表面21および基板裏面22と交差する第1~第4基板側面23~26と、を有する。第1実施形態では、基板表面21および基板裏面22の双方は、Z方向と直交した平面として形成されている。一例では、第1~第4基板側面23~26は、基板表面21および基板裏面22と直交する平面である。第1基板側面23および第2基板側面24は基板20のX方向の両端面を構成し、第3基板側面25および第4基板側面26は基板20のY方向の両端面を構成している。
【0015】
一例では、基板20は、ガラスエポキシ樹脂によって形成されている。なお、基板20はセラミックを含む材料によって形成されていてもよい。セラミックを含む材料としては、例えば窒化アルミニウム(AlN)またはアルミナ(Al2O3)などが挙げられる。基板20がセラミックを含む材料によって形成されている場合、基板20の放熱性能が向上するため、端面発光素子60の温度が過度に高くなることを抑制できる。
【0016】
図2に示すように、端面発光素子60は、例えば所定の波長帯の光を出射するレーザダイオードであり、半導体発光装置10の光源として機能する。端面発光素子60は、端面発光型レーザ素子である。端面発光型レーザ素子としての端面発光素子60の構成は特に限定されないが、例えばファブリ・ペロー型レーザダイオード素子が採用されてよい。一例では、端面発光素子60は、平面視において第4基板側面26に向けて光を出射するように構成されている。端面発光素子60は、「半導体発光素子」に対応している。また、端面発光素子60は、「半導体レーザ素子」に対応しているともいえる。
【0017】
半導体発光装置10は、基板20の基板表面21に形成された複数(
図2の例では9つ)の表面電極30を備える。複数の表面電極30は、互いに離隔して配置されている。複数の表面電極30は、例えば銅箔と銅箔上に形成された金(Au)めっきによって形成されている。なお、複数の表面電極30の材料は、銅(Cu)およびAuに限られず、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、パラジウム(Pd)、および銀(Ag)のうち少なくとも1つを含んでいてもよい。
【0018】
複数の表面電極30は、素子表面電極31と、複数(
図2の例では8つ)のワイヤ接続電極32と、を含む。素子表面電極31および複数のワイヤ接続電極32の各々は、端面発光素子60と電気的に接続される表面電極である。
【0019】
素子表面電極31は、Y方向において基板表面21の中央よりも第4基板側面26寄りに配置されている。素子表面電極31は、X方向が長手方向となり、Y方向が短手方向となる矩形状である。一例では、素子表面電極31のX方向の寸法は、Y方向の寸法の2倍よりも大きく4倍よりも小さい。一例では、素子表面電極31のX方向の寸法は、基板表面21のX方向の寸法の1/2よりも大きい。
【0020】
素子表面電極31の周囲には、レジストパターン34が形成されている。レジストパターン34は、平面視においてX方向の両側およびY方向における第3基板側面25側から素子表面電極31を囲むU字状に形成されている。レジストパターン34は、例えば絶縁材料によって形成されている。絶縁材料としては、例えばエポキシ樹脂を用いることができる。
【0021】
複数のワイヤ接続電極32は、素子表面電極31を囲むように配置されている。より詳細には、複数のワイヤ接続電極32は、素子表面電極31のX方向の両側、および素子表面電極31よりも第3基板側面25寄りに配置されている。一方、ワイヤ接続電極32は、素子表面電極31よりも第4基板側面26寄りには配置されていない。複数のワイヤ接続電極32は、端面発光素子60を囲むように配置されているといえる。複数のワイヤ接続電極32の詳細については後述する。
【0022】
半導体発光装置10は、素子表面電極31上に実装されたサブマウント基板80を備える。一例では、サブマウント基板80は、素子表面電極31にダイボンディングされている。サブマウント基板80は、端面発光素子60を支持する基板であり、例えばセラミックを含む材料によって形成されている。セラミックを含む材料としては、例えばAlNまたはAl2O3などが挙げられる。サブマウント基板80がセラミックを含む材料によって形成されている場合、サブマウント基板80の放熱性能が向上するため、端面発光素子60の熱がサブマウント基板80を介して基板20に移動しやすくなる。したがって、端面発光素子60の温度が過度に高くなることを抑制できる。
【0023】
なお、サブマウント基板80を構成する材料は任意に変更可能である。サブマウント基板80は、例えば導電性および放熱性の高い金属材料によって形成されていてもよい。この金属材料としては、例えばAg、Cu等が用いられてよい。一例では、サブマウント基板80は、矩形平板状のCuによって形成されていてよい。また一例では、サブマウント基板80は、シリコン(Si)を含む材料によって形成されていてよい。
【0024】
図2および
図3に示すように、サブマウント基板80は、Z方向を厚さ方向とする矩形平板状に形成されている。一例では、サブマウント基板80は、平面視においてX方向が長手方向となり、Y方向が短手方向となる矩形状に形成されている。一例では、平面視において、サブマウント基板80は、素子表面電極31よりも一回り小さい。
【0025】
図3に示すように、サブマウント基板80の厚さは、基板20の厚さよりも厚い。なお、サブマウント基板80の厚さは任意に変更可能であり、例えば基板20の厚さ以下であってもよい。
【0026】
サブマウント基板80は、Z方向において互いに反対側を向く表面81および裏面82を有する。
図3の例では、表面81および裏面82の双方は、Z方向と直交した平面として形成されている。表面81は基板表面21と同じ側を向き、裏面82は基板裏面22と同じ側を向いている。サブマウント基板80の表面81には、端面発光素子60が実装されている。一例では、端面発光素子60は、サブマウント基板80の表面81にダイボンディングされている。
【0027】
サブマウント基板80には、その厚さ方向に貫通する貫通配線83が設けられている。貫通配線83は、端面発光素子60と素子表面電極31とを電気的に接続する配線である。貫通配線83は、例えばCuを含む材料によって形成されている。なお、貫通配線83の構成材料は、Cuに限られず、チタン(Ti)、タングステン(W)、およびAlの少なくとも1つを含んでいてもよい。なお、貫通配線83の個数は任意に変更可能である。一例では、貫通配線83は複数設けられていてもよい。
【0028】
なお、サブマウント基板80がCu等の導電性の材料によって構成されている場合、貫通配線83を省略することができる。つまり、端面発光素子60と素子表面電極31とは、導電性のサブマウント基板80によって電気的に接続することができる。
【0029】
図2および
図3に示すように、サブマウント基板80上に実装された端面発光素子60は、Z方向を厚さ方向とする矩形平板状に形成されている。端面発光素子60は、平面視において、X方向が長手方向となり、Y方向が短手方向となる矩形状である。一例では、平面視において、端面発光素子60は、サブマウント基板80よりも一回り小さい。
【0030】
端面発光素子60の厚さは、サブマウント基板80の厚さよりも薄い。また、端面発光素子60の厚さは、基板20の厚さよりも薄い。なお、端面発光素子60の厚さは任意に変更可能であり、例えば基板20の厚さ以上であってもよいし、サブマウント基板80の厚さ以上であってもよい。
【0031】
端面発光素子60は、Z方向において互いに反対側を向く素子表面61および素子裏面62を有する。
図3の例では、素子表面61および素子裏面62の双方は、Z方向と直交した平面として形成されている。端面発光素子60は、素子表面61に形成された複数(
図3の例では8つ)の素子電極63と、素子裏面62を構成する裏面電極64と、を含む。また、端面発光素子60は、複数の素子電極63ごとに発光部65(
図2参照)を有する。平面視において、複数の素子電極63は、X方向に離隔して配列されている。このため、複数(
図2の例では8つ)の発光部65は、X方向に配列されている。複数の発光部65の各々は、平面視において第4基板側面26に向けてレーザ光を出射するように構成されている。
【0032】
複数の素子電極63は、平面視においてY方向が長手方向となり、X方向が短手方向となる矩形状に形成されている。
図3の例では、複数の素子電極63は、複数の発光部65の個別のアノード電極を構成している。裏面電極64は、例えば端面発光素子60の素子裏面62の全体にわたり形成されている。
図3の例では、裏面電極64は、複数の発光部65に対して共通のカソード電極を構成している。複数の素子電極63および裏面電極64は、例えばAuによって形成されている。なお、複数の素子電極63および裏面電極64の構成材料は、Auに限られず、Al、Ni、Pd、Ag、およびCuのうち少なくとも1つを含んでいてもよい。
【0033】
端面発光素子60は、図示していない導電性接合材によってサブマウント基板80に実装されている。このため、裏面電極64は、導電性接合材によってサブマウント基板80(貫通配線83)と電気的に接続されている。裏面電極64は、貫通配線83を介して素子表面電極31と電気的に接続されている。なお、導電性接合材としては、例えばはんだペースト、銀ペーストが挙げられる。
【0034】
図2に示すように、半導体発光装置10は、複数の発光部65と複数のワイヤ接続電極32とを個別に電気的に接続する複数のワイヤW1A~W4A,W1B~W4Bを備える。複数のワイヤW1A~W4A,W1B~W4Bは、例えばボンディングワイヤである。複数のワイヤW1A~W4A,W1B~W4Bは、例えばAuを含む材料によって形成されている。複数のワイヤW1A~W4A,W1B~W4Bは、Auに代えて、Cu、Ag、Alの少なくとも1つを含む材料によって形成されていてもよい。
【0035】
図3に示すように、半導体発光装置10は、基板20の基板裏面22に形成された複数(一例では9つ)の裏面電極40を備える。複数の裏面電極40は、互いに離隔し配置されている。複数の裏面電極40の数は、例えば複数の表面電極30(
図2参照)の数に応じて設定される。複数の裏面電極40は、例えば銅箔と銅箔上に形成されたAuめっきによって形成されている。なお、複数の裏面電極40の構成材料は、CuおよびAuに限られず、Al、Ni、Pd、およびAgのうち少なくとも1つを含んでいてもよい。
【0036】
図示していないが、複数の裏面電極40は、素子裏面電極と、複数(一例では8つ)のワイヤ裏面電極と、を含む。素子裏面電極は、素子表面電極31と電気的に接続されている。複数のワイヤ裏面電極は、基板表面21に形成された複数のワイヤ接続電極32(
図2参照)と個別に電気的に接続されている。複数の裏面電極40と複数の表面電極30とは、複数の貫通配線41(
図3参照)によって個別に電気的に接続されている。各貫通配線41は、基板20をその厚さ方向(Z方向)に貫通している。
【0037】
図2に示すように、半導体発光装置10は、基板表面21に形成された接着パターン33を備える。接着パターン33は、基板表面21と同じ側を向くパターン表面33Sを含む。一例では、接着パターン33は、所定の幅を有しかつこの幅と直交する長さ方向に延びた枠状である。接着パターン33は、平面視において、複数の表面電極30を囲む枠状に形成されている。一例では、接着パターン33は、矩形枠状に形成されている。
図2の例では、接着パターン33は、X方向が長手方向となり、Y方向が短手方向となる矩形枠状である。一例では、接着パターン33の外周縁は、基板20の外周縁よりも一回り小さい。一例では、接着パターン33は、全周にわたり同じの幅寸法WAを有する。ここで、接着パターン33の幅寸法WAは、平面視において接着パターン33が延びる方向(長さ方向)と直交する方向の寸法である。接着パターン33の厚さ寸法TD(
図5参照)は、例えば50μm以上100μm以下である。接着パターン33の幅寸法WAは、例えば50μm以上500μm以下である。
【0038】
接着パターン33は、例えば金属層によって形成されている。一例では、接着パターン33は、複数の表面電極30と同じ材料によって形成されている。なお、接着パターン33は、複数の表面電極30とは異なる材料によって形成されていてもよい。一例では、接着パターン33は、絶縁層によって形成されていてもよい。接着パターン33は、例えばレジストパターン34と同じ材料によって形成されていてもよい。
【0039】
このように、接着パターン33は、金属層または絶縁層によって形成されているため、基板表面21からZ方向に僅かに突出して設けられている。一例では、接着パターン33の厚さは、例えば複数の表面電極30の厚さと等しい。なお、接着パターン33の厚さは任意に変更可能であり、例えば複数の表面電極30の厚さよりも厚くてもよいし、薄くてもよい。
【0040】
接着パターン33のパターン表面33Sは、例えばZ方向に直交する平坦面によって形成されている。接着パターン33のパターン表面33Sには、接着剤50(
図3参照)が塗布されている。平面視において、接着剤50は、例えば接着パターン33の全周にわたり形成されている。接着パターン33が接着剤50の濡れ広がりを抑制するため、接着剤50が接着パターン33からはみ出すことを抑制できる。
【0041】
図3に示すように、接着パターン33上には、接着剤50によってキャップ70が固定されている。このため、キャップ70は、基板20上に設けられているともいえる。キャップ70は、基板20に向けてZ方向に開口する箱状に形成されている。一例では、キャップ70は、ガラス材料によって形成されている。なお、キャップ70は、ガラス材料に代えて、樹脂材料によって形成されていてもよい。この樹脂材料としては、例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂が挙げられる。また、キャップ70は、金属およびセラミックのいずれかによって形成されていてもよい。金属としては、例えばAl、鉄(Fe)、およびCu等が挙げられる。セラミックとしては、例えばAlN、Al
2O
3等が挙げられる。
【0042】
図1に示すように、キャップ70は、平面視において矩形枠状に形成された第1~第4側壁71~74と、第1~第4側壁71~74によって形成された開口部のZ方向の一端を覆う上壁75と、を有する。一例では、第1~第4側壁71~74と上壁75とは一体に形成されている。第1側壁71および第2側壁72はキャップ70のX方向の両端の側壁を構成し、第3側壁73および第4側壁74はキャップ70のY方向の両端の側壁を構成している。第1側壁71はキャップ70のX方向の両端の側壁のうち基板20の第1基板側面23に近い方の側壁を構成し、第2側壁72は基板20の第2基板側面24に近い方の側壁を構成している。第3側壁73はキャップ70のY方向の両端の側壁のうち基板20の第3基板側面25に近い方の側壁を構成し、第4側壁74は基板20の第4基板側面26に近い方の側壁を構成している。第1~第4側壁71~74は、接着パターン33とZ方向に対向している。平面視における第1~第4側壁71~74は、平面視における接着パターン33の形状と同じである。このため、平面視における第1~第4側壁71~74の形状は、X方向が長手方向となり、Y方向が短手方向となる矩形状である。平面視においてY方向に沿って延びる第1側壁71および第2側壁72は、第1~第4側壁71~74のうち短手方向に延びた部分を構成している。平面視においてX方向に沿って延びる第3側壁73および第4側壁74は、第1~第4側壁71~74のうち長手方向に延びた部分を構成している。
【0043】
図3に示すように、キャップ70は、開口端面76を含む。開口端面76は、第1~第4側壁71~74の先端面によって形成されている。開口端面76は、例えばZ方向に直交する方向に平行な平坦面によって形成されている。
【0044】
一例では、キャップ70がガラス材料または樹脂材料によって形成されている場合、第1~第3側壁71~73および上壁75は半透明に形成され、第4側壁74は透明に形成されている。端面発光素子60が出射したレーザ光は、第4側壁74を通過して半導体発光装置10の外部に出射される。つまり、第4側壁74は、端面発光素子60から出射されたレーザ光が通過する透光面を含む。ここで、第4側壁74が接着パターン33の一部とZ方向に対向しているため、キャップ70は、平面視において接着パターン33と対応した位置に透光面を含むといえる。そして第4側壁74が第1~第4側壁71~74のうち長手方向に延びた部分を構成しているため、透光面は、第1~第4側壁71~74のうち長手方向に延びた部分に形成されているといえる。
【0045】
また一例では、キャップ70が金属またはセラミックで形成されている場合、第4側壁74には開口部と、開口部を閉塞するとともに端面発光素子60のレーザ光が通過可能とする窓部材と、が設けられている。これにより、第4側壁74は透光面を含むといえる。
【0046】
[ワイヤ接続電極の構成]
図2を参照して、複数のワイヤ接続電極32の詳細な構成について説明する。
図2に示すように、複数のワイヤ接続電極32は、平面視において基板20のX方向の中央であってY方向に沿って延びる中心仮想線VLに対して線対称となるように形成されている。以下では、複数のワイヤ接続電極32のうち中心仮想線VLよりも第1基板側面23寄りの4つのワイヤ接続電極32をワイヤ接続電極32AA,32AB,32AC,32ADとし、中心仮想線VLよりも第2基板側面24寄りの4つのワイヤ接続電極32をワイヤ接続電極32BA,32BB,32BC,32BDとする。ワイヤ接続電極32AA~32ADは、中心仮想線VLから離れる方向に向けて、すなわち中心仮想線VLから第1基板側面23に向けて、ワイヤ接続電極32AA,32AB,32AC,32ADの順に配列されている。ワイヤ接続電極32BA~32BDは、中心仮想線VLから離れる方向に向けて、すなわち中心仮想線VLから第2基板側面24に向けて、ワイヤ接続電極32BA,32BB,32BC,32BDの順に配列されている。
【0047】
ワイヤ接続電極32AA~32AC,32BA~32BCは、Y方向から視て、素子表面電極31と重なる位置に配置されている。ワイヤ接続電極32AD,32BDは、素子表面電極31のX方向の両側に分散して配置されている。
【0048】
ワイヤ接続電極32BA~32BDがワイヤ接続電極32AA~32ADと中心仮想線VLの線対称形状となるため、以下の説明では、ワイヤ接続電極32AA~32ADについて説明し、ワイヤ接続電極32BA~32BDの詳細な説明を省略する。
【0049】
ワイヤ接続電極32AA~32ACは、Y方向において互いに揃った状態でX方向において互いに離隔して配列されている。ワイヤ接続電極32AA~32ACのY方向の寸法は互いに等しい。
【0050】
ワイヤ接続電極32AAは、平面視においてY方向が長手方向となり、X方向が短手方向となる矩形状に形成されている。
ワイヤ接続電極32ABのX方向の両端部のうちワイヤ接続電極32ACに近い方の端部には、ワイヤ接続電極32AAに向けて凹む凹部32Eが形成されている。凹部32Eは、底面と、底面からY方向に向かうにつれてワイヤ接続電極32ACから離れるように傾斜する一対の傾斜面と、を含む。一例では、凹部32Eの底面は、平面視においてY方向に沿って延びている。一方、ワイヤ接続電極32ABのX方向の両端面のうちワイヤ接続電極32AAに近い方の端面は、平面視においてY方向に沿って延びている。なお、平面視における凹部32Eの底面の形状は任意に変更可能である。一例では、平面視における凹部32Eの底面の形状は、湾曲凹状に形成されていてもよい。
【0051】
ワイヤ接続電極32ACは、ワイヤ接続電極32ABの凹部32Eに入り込むように突出した突出部32Fと、ワイヤ接続電極32ADを避けるように切り欠かれた切欠部32Gと、を含む。
【0052】
突出部32Fは、X方向において凹部32Eの底面と対向する先端面と、平面視において凹部32Eの一対の傾斜面と平行となる一対の傾斜面と、を含む。突出部32Fの一対の傾斜面は、X方向において凹部32Eの一対の傾斜面と対向している。
【0053】
切欠部32Gは、ワイヤ接続電極32ACのうちX方向におけるワイヤ接続電極32ABとは反対側かつY方向における素子表面電極31寄りの部分に形成されている。切欠部32Gは、X方向から視て、突出部32Fと重なる部分を含む。このため、切欠部32Gが形成されても突出部32Fによってワイヤ接続電極32ACのX方向の寸法が過度に小さくなることが抑制される。
【0054】
ワイヤ接続電極32ADは、Y方向に沿って延びている。ワイヤ接続電極32ADのY方向の寸法は、素子表面電極31のY方向の寸法よりも大きい。Y方向において、ワイヤ接続電極32ADのうち素子表面電極31よりも第3基板側面25寄りに突出した部分は、ワイヤ接続電極32ACの切欠部32Gに入り込んでいる。この切欠部32Gに入り込んだワイヤ接続電極32ACの部分の先端部は、切欠部32Gの形状に沿って先細るように形成されている。
【0055】
次に、ワイヤ接続電極32AA~32ADと複数の発光部65との配置関係について説明する。
複数の発光部65は、ワイヤ接続電極32AA~32ADに対応する発光部65AA~65ADと、ワイヤ接続電極32BA~32BDに対応する発光部65BA~65BDと、を含む。発光部65AA~65ADは、Y方向において互いに同じ位置であってX方向において互いに離隔して配列されている。発光部65AA~65ADは、中心仮想線VLから離れる方向に向けて、すなわち中心仮想線VLから第1基板側面23に向けて、発光部65AA,65AB,65AC,65ADの順に配列されている。また、発光部65BA~65BDは、中心仮想線VLから離れる方向に向けて、すなわち中心仮想線VLから第2基板側面24に向けて、発光部65BA,65BB,65BC,65BDの順に配列されている。
【0056】
ワイヤ接続電極32AAは、平面視において発光部65AA,65ABとY方向に重なるように形成されている。
ワイヤ接続電極32ABは、平面視において発光部65ABよりも第1基板側面23寄りに配置されている。ワイヤ接続電極32ABは、平面視において発光部65AC,65ADとY方向に重なるように形成されている。
【0057】
ワイヤ接続電極32ACは、平面視において発光部65ACよりも第1基板側面23寄りに配置されている。ワイヤ接続電極32ACは、平面視において発光部65ADよりも第1基板側面23寄りに配置されている。
【0058】
ワイヤ接続電極32ADは、平面視において発光部65ADよりも第1基板側面23寄りに配置されている。ワイヤ接続電極32ADは、平面視において発光部65ADとX方向に対向配置されている。
【0059】
次に、端面発光素子60の複数の発光部65とワイヤ接続電極32AA~32ADとの複数のワイヤW1A~W4A,W1B~W4Bによる接続構成について説明する。
発光部65AAとワイヤ接続電極32AAとを接続するワイヤW1Aは、例えばワイヤ接続電極32AAのうちそのY方向の中央に対して発光部65AAとは反対側の部分に接続されている。
【0060】
発光部65ABとワイヤ接続電極32ABとを接続するワイヤW2Aは、Y方向において例えばワイヤ接続電極32ABのうち凹部32Eの底面に対して発光部65ABとは反対側の部分に接続されている。
【0061】
発光部65ACとワイヤ接続電極32ACとを接続するワイヤW3Aは、Y方向において例えばワイヤ接続電極32ACのうち突出部32Fの先端面と概ね同じ位置の部分に接続されている。
【0062】
発光部65ADとワイヤ接続電極32ADとを接続するワイヤW4Aは、例えば平面視においてX方向に延びている。このように、平面視におけるワイヤW1A~W4Aの長さのばらつきが小さくなるように、ワイヤW1A~W4Aがワイヤ接続電極32AA~32ADに接続されている。
【0063】
なお、発光部65BAとワイヤ接続電極32BAとを接続するワイヤW1B、発光部65BBとワイヤ接続電極32BBとを接続するワイヤW2B、発光部65BCとワイヤ接続電極32BCとを接続するワイヤW3B、および発光部65BDとワイヤ接続電極32BDとを接続するワイヤW4Bについても、ワイヤW1A~W4Aと同様にワイヤ接続電極32BA~32BDに接続されている。
【0064】
[接着パターンおよびその周辺の構成]
図2~
図6を参照して、接着パターン33の詳細な構成について説明する。
図4は、
図3のF4-F4線でキャップ70を切断した状態における半導体発光装置10の平面構造を示している。
図5は、
図3におけるキャップ70の第1側壁71の開口端面76およびその周辺を拡大した断面構造を示している。
図6は、
図3におけるキャップ70の第2側壁72の開口端面76およびその周辺を拡大した断面構造を示している。
【0065】
図2に示すように、平面視において矩形枠状に形成された接着パターン33は、X方向に互いに離隔して配列された第1パターン35および第2パターン36と、Y方向に互いに離隔して配列された第3パターン37および第4パターン38と、を含む。第1パターン35および第2パターン36の双方は、Y方向に延びる帯状に形成されている。第3パターン37および第4パターン38の双方は、X方向に延びる帯状に形成されている。第1パターン35および第2パターン36のY方向の両端部に第3パターン37および第4パターン38が接続されることによって矩形枠状の接着パターン33が形成されている。
【0066】
第1パターン35は、平面視において第1基板側面23とX方向に隣り合う位置に形成されている。第2パターン36は、平面視において第2基板側面24と隣り合う位置に形成されている。第1パターン35は、平面視においてワイヤ接続電極32AC,32ADと隣り合う位置に形成されている。第2パターン36は、平面視においてワイヤ接続電極32BC,32BDと隣り合う位置に形成されている。
【0067】
第3パターン37は、平面視において第3基板側面25とY方向に隣り合う位置に形成されている。第4パターン38は、平面視において第4基板側面26とY方向に隣り合う位置に形成されている。第3パターン37は、平面視においてワイヤ接続電極32AA~32AC,32BA~32BCとY方向に隣り合う位置に形成されている。第4パターン38は、素子表面電極31およびワイヤ接続電極32AD,32BDとY方向に隣り合う位置に配置されている。このため、平面視において、端面発光素子60は、Y方向において第4パターン38と隣り合う位置に配置されているといえる。
【0068】
図2に示す例では、第3パターン37および第4パターン38の双方の長さ寸法(X方向の寸法)は、第1パターン35および第2パターン36の双方の長さ寸法(X方向の寸法)よりも長い。つまり、第1パターン35および第2パターン36の双方は接着パターン33のうち短手方向に延びた部分を構成しており、第3パターン37および第4パターン38の双方は接着パターン33のうち長手方向に延びた部分を構成している。
【0069】
接着パターン33の幅方向における内周側端部には、制限部材90が設けられている。
図2に示す例では、制限部材90は、矩形枠状の接着パターン33の全周にわたり設けられている。このため、平面視における制限部材90の形状は、矩形枠状である。また、制限部材90は、接着パターン33の全周にわたり設けられているので、平面視において端面発光素子60を囲む枠状に形成されているといえる。制限部材90は、例えばエポキシ樹脂によって形成されている。一例では、制限部材90は、レジストパターン34と同じ材料によって形成されてよい。
【0070】
接着パターン33は、平面視において、パターン表面33S上に接着剤50(
図3参照)が塗布される領域である第1領域33Aと、制限部材90が設けられる第2領域33Bとに区画できる。この実施形態では、第1領域33Aおよび第2領域33Bはともに、平面視において矩形枠状に形成されている。第1領域33Aおよび第2領域33Bは、接着パターン33の幅方向に区画されている。
【0071】
図2に示す例では、第1領域33Aは、平面視において接着パターン33の外周縁を含む外周部に形成されている。第2領域33Bは、平面視において接着パターン33の内周縁を含む内周部に形成されている。
【0072】
第1領域33Aは、接着パターン33の周方向の全体にわたり一定の幅を有する。第2領域33Bは、接着パターン33の周方向の全体にわたり一定の幅を有する。第1領域33Aの幅寸法W1は、第2領域33Bの幅寸法W2よりも大きい。一例では、幅寸法W1は、幅寸法W2の2倍以上である。一例では、幅寸法W1は、幅寸法W2の4倍以下である。一例では、幅寸法W1は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の幅寸法W3(
図4参照)と等しい。なお、幅寸法W1および幅寸法W2の各々の大きさは任意に変更可能である。
【0073】
制限部材90は、第1パターン35上に設けられた第1部材91と、第2パターン36上に設けられた第2部材92と、第3パターン37上に設けられた第3部材93と、第4パターン38上に設けられた第4部材94と、を含む。第1部材91および第2部材92は、Y方向に沿って延びている。第3部材93および第4部材94は、X方向に沿って延びている。第3部材93および第4部材94の長さ寸法(X方向の寸法)は、第1部材91および第2部材92の長さ寸法(Y方向の寸法)よりも長い。このため、第1部材91および第2部材92の双方は制限部材90のうち短手方向に延びた部分を構成しており、第3部材93および第4部材94の双方は制限部材90のうち長手方向に延びた部分を構成している。
【0074】
制限部材90は、第1~第4コーナ部分95~98を含む。第1コーナ部分95は、第1部材91と第3部材93との接続部分によって構成されている。第2コーナ部分96は、第2部材92と第4部材94との接続部分によって構成されている。第3コーナ部分97は、第1部材91と第4部材94との接続部分によって構成されている。第4コーナ部分98は、第2部材92と第3部材93との接続部分によって構成されている。
【0075】
図4に示すように、キャップ70の第1~第4側壁71~74は、接着パターン33の第1領域33A(ともに
図2参照)に配置されている。より詳細には、第1~第4側壁71~74は、第1領域33Aに形成された接着剤50(
図3参照)上に配置されている。接着剤50によって第1~第4側壁71~74は、接着パターン33に接着されている。このように、第1~第4側壁71~74は、第2領域33B(
図2参照)とは異なる領域に配置されている。つまり、平面視において、制限部材90は、第1~第4側壁71~74と重ならない位置に設けられている。
【0076】
矩形枠状の制限部材90は、平面視において第1~第4側壁71~74の内側面77の周方向の全体にわたり設けられている。制限部材90は、キャップ70の第1~第4側壁71~74と隣り合う位置に設けられている。より詳細には、平面視において制限部材90の第1部材91は第1側壁71の内側面77とX方向に隣り合う位置に配置されている。平面視において第2部材92は第2側壁72の内側面77とX方向に隣り合う位置に配置されている。平面視において第3部材93は第3側壁73の内側面77とY方向に隣り合う位置に配置されている。平面視において第4部材94は第4側壁74の内側面77とY方向に隣り合う位置に配置されている。平面視において制限部材90の第1コーナ部分95はキャップ70の第1コーナ部分79AとX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。平面視において制限部材90の第2コーナ部分96はキャップ70の第2コーナ部分79BとX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。平面視において制限部材90の第3コーナ部分97はキャップ70の第3コーナ部分79CとX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。平面視において制限部材90の第4コーナ部分98はキャップ70の第4コーナ部分79DとX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。
【0077】
ここで、キャップ70の第1コーナ部分79Aは、第1側壁71と第3側壁73との接続部分によって構成されている。第2コーナ部分79Bは、第2側壁72と第4側壁74との接続部分によって構成されている。第3コーナ部分79Cは、第1側壁71と第4側壁74との接続部分によって構成されている。第4コーナ部分79Dは、第2側壁72と第3側壁73との接続部分によって構成されている。
【0078】
図5および
図6に示すように、制限部材90の厚さ寸法TBは、接着剤50の厚さ寸法TAよりも大きい。なお、制限部材90は、例えばその全周にわたり一定の厚さ寸法TBを有する。つまり、第1部材91の厚さ寸法、第2部材92の厚さ寸法、第3部材93の厚さ寸法、および第4部材94の厚さ寸法は、互いに等しく、かつ厚さ寸法TBである。このため、制限部材90は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の内側面77と対向する部分を含む。厚さ寸法TBは、例えば20μm程度である。
【0079】
一方、
図7に示すように、制限部材90(第4部材94)の厚さ寸法TBは、サブマウント基板80の厚さ寸法TCよりも小さい。つまり、サブマウント基板80上に配置された端面発光素子60は、Z方向において、制限部材90よりもキャップ70の上壁75寄りに配置されている。このため、端面発光素子60からのレーザ光が制限部材90に照射されることが回避される。
【0080】
また、制限部材90の厚さ寸法TBは、例えば基板20の厚さ寸法よりも小さい。また、制限部材90の厚さ寸法TBは、例えば接着パターン33の厚さ寸法TDよりも小さい。なお、
図3および
図5~
図7では、図面の理解を容易にするため、実際とは異なり、制限部材90の厚さ寸法TBが接着パターン33の厚さ寸法TDよりも大きくなるように示している。
【0081】
また、第1~第4部材91~94の各々の厚さ寸法は、任意に変更可能である。一例では、第1~第4部材91~94の厚さ寸法は、互いに異なっていてもよい。一例では、第3部材93の厚さ寸法が第1部材91、第2部材92、および第4部材94の厚さ寸法よりも大きくてもよい。また一例では、第4部材94の厚さ寸法が第1~第3部材91~93の厚さ寸法よりも小さくてもよい。また、第4部材94の厚さ寸法は、接着剤50の厚さ寸法TAよりも大きくかつサブマウント基板80の厚さ寸法TC以下となるように設定される。
【0082】
このような制限部材90の構成によれば、第1部材91および第2部材92は、キャップ70のX方向の移動を制限することができる。第3部材93および第4部材94は、キャップ70のY方向の移動を制限することができる。このため、
図2に示すように、制限部材90は、X方向におけるキャップ70の移動を制限する第1制限部90Aと、Y方向におけるキャップ70の移動を制限する第2制限部90Bと、を含むといえる。第1実施形態では、第1制限部90Aは、第1部材91および第2部材92によって構成されている。第2制限部90Bは、第3部材93および第4部材94によって構成されている。
【0083】
図5に示すように、制限部材90の第1部材91とキャップ70の第1側壁71の内側面77とが接触することによってX方向におけるキャップ70の移動を制限している。この場合、
図6に示すように、制限部材90の第2部材92とキャップ70の第2側壁72の内側面77とのX方向の間には空隙GPが形成されている。
【0084】
空隙GPを形成する制限部材90と第2側壁72との間の距離DGは、例えば第1領域33Aの幅寸法W1よりも小さい。距離DGは、例えば第2領域33Bの幅寸法W2(
図2参照)よりも小さい。すなわち、距離DGは、制限部材90の幅寸法よりも小さいといえる。なお、距離DGは、キャップ70が接着剤50に予め設定された接着強度以上で接合される範囲内において任意に変更可能である。
【0085】
[半導体発光装置の製造方法]
図8~
図21を参照して、半導体発光装置10の製造方法の一例について説明する。
図8~
図16は、基板820の製造工程を示す概略断面構造を示している。
図17および
図18は、基板820の平面構造を示している。
図19は、接着剤50にキャップ70を配置する工程を示す断面構造を示している。
図20および
図21は、Y方向から視た基板820およびキャップ70の側面構造を示している。なお、
図20および
図21は、図面を容易に理解するため、基板820、接着パターン33、接着剤50、キャップ70を模式的に示している。このため、
図20および
図21では、基板820、接着パターン33、キャップ70、および制限部材90のX方向の長さに対する厚さの比率が例えば
図3とは異なっている。
【0086】
図8~
図17に示すように、半導体発光装置10の製造方法は、基板820を用意する工程を含む。以下、基板820の製造工程について説明する。基板820は、基板20を構成する部材である。
【0087】
図8に示すように、基材800を準備する。基材800は、基材表面801と、基材表面801とは反対側の基材裏面802を有する。基材表面801には表面電極膜830が形成されている。基材裏面802には裏面電極膜840が形成されている。表面電極膜830は、例えば基材表面801の全体にわたり形成されている。裏面電極膜840は、例えば基材裏面802の全体にわたり形成されている。表面電極膜830および裏面電極膜840は、例えば銅箔と、銅箔上に形成された金メッキとによって形成されている。なお、表面電極膜830および裏面電極膜840は、CuおよびAuに限られず、Al、Ni、Pd、およびAgのうち少なくとも1つを含んでいてもよい。
【0088】
次に、
図9に示すように、レジスト850が表面電極膜830上に形成されている。レジスト850には、例えばパターニングによって開口部851が形成される。開口部851は、表面電極膜830のうち貫通配線41(
図3参照)が形成される領域を開口している。続いて、
図10に示すように、例えばエッチングによって開口部851から露出した表面電極膜830を除去する。これにより、開口部851から基材表面801が露出する。露出した基材表面801は、基材800のうち貫通配線41が形成される領域である。このように、表面電極膜830は、開口部851と連通する開口部831を有する。その後、レジスト850が除去される。
【0089】
次に、
図11に示すように、表面電極膜830の開口部831から露出した基材800に対して、例えばレーザ加工によって基材800をZ方向に貫通する貫通孔803が形成される。これにより、貫通孔803から裏面電極膜840が露出している。
【0090】
次に、
図12に示すように、例えば無電解めっきによって貫通孔803に貫通配線41を形成する。貫通配線41は、貫通孔803を埋めている。貫通配線41は、例えば表面電極膜830および裏面電極膜840と同じ材料によって形成される。貫通配線41は、裏面電極膜840および表面電極膜830の双方に接続されている。
【0091】
次に、
図13に示すように、表面電極膜830上に表面レジスト860が形成され、裏面電極膜840上に裏面レジスト870が形成される。表面レジスト860は、例えばパターニングによって、表面電極膜830のうち表面電極30に対応する部分および接着パターン33(ともに
図2参照)に対応する部分を覆うように形成される。裏面レジスト870は、例えばパターニングによって裏面電極40に対応する部分を覆うように形成される。続いて、
図14に示すように、エッチングによって表面レジスト860から露出した表面電極膜830および裏面レジスト870から露出した裏面電極膜840が除去される。続いて、
図15に示すように、表面レジスト860および裏面レジスト870の双方が除去される。これにより、基材表面801に表面電極30および接着パターン33が形成され、基材裏面802に裏面電極40が形成される。
【0092】
次に、
図16に示すように、接着パターン33上に制限部材90が形成される。より詳細には、例えばまず接着パターン33のパターン表面33Sの全面を覆うようにレジスト890が形成される。レジスト890は、例えばエポキシ樹脂が用いられる。続いて、レジスト890上にフォトマスク(図示略)を形成する。フォトマスクは、レジスト890のうち制限部材90に対応する部分(接着パターン33の幅方向の内周部)が露出する開口部を含む。続いて、フォトマスクを介して露光および現像することによってレジスト890のうち制限部材90に対応する部分以外の部分が除去される。これにより、制限部材90が形成される。
【0093】
ここで、制限部材90が形成される工程において、レジストパターン34が同時に形成されてもよい。より詳細には、例えば基材表面801上の全面にわたりレジスト890が形成される。続いて、レジスト890上にフォトマスクを形成する。このフォトマスクは、レジスト890のうち制限部材90に対応する部分とレジストパターン34に対応する部分の双方が露出する開口部を含む。続いて、フォトマスクを介して露光および現像することによってレジスト890のうち制限部材90に対応する部分およびレジストパターン34に対応する部分以外の部分が除去される。これにより、制限部材90およびレジストパターン34が形成される。このように、制限部材90およびレジストパターン34は、共通のレジスト890によって形成されてよい。
【0094】
図17に示すように、制限部材90は、接着パターン33の内周縁を含む内周部において接着パターン33の全周にわたり形成されている。つまり、制限部材90は、平面視にいて矩形枠状に形成されている。レジストパターン34は、素子表面電極31のX方向の両端部およびY方向の接着パターン33の第3パターン37寄りの端部に設けられている。レジストパターン34は、例えば接着パターン33の第4パターン38に向けて開口するU字状に形成されている。以上の工程を経て、基板820が製造される。
【0095】
図8~
図17に示す基板820を用意する工程の後、半導体発光装置10の製造方法は、基板820にサブマウント基板80を配置する工程と、サブマウント基板80上に端面発光素子60を配置する工程と、ワイヤW1A~W4A,W1B~W4B(
図2参照)を形成する工程と、を主に備える。なお、以下の説明において、ワイヤW1A~W4A,W1B~W4Bを単に「ワイヤW」と称する。
【0096】
図18に示すように、基板820にサブマウント基板80を配置する工程では、まず各素子表面電極31上に第1導電性接合材(図示略)を塗布する。続いて、第1導電性接合材上にサブマウント基板80を配置する。つまり、この工程は、各素子表面電極31上にサブマウント基板80をダイボンディングしている。第1導電性接合材は、ダイボンディング材であり、例えばはんだペーストおよび銀ペーストのいずれかが用いられる。
【0097】
次に、サブマウント基板80上に端面発光素子60を配置する工程では、まず各サブマウント基板80の表面81に第2導電性接合材を塗布する。続いて、第2導電性接合材上に端面発光素子60を配置する。つまり、この工程は、サブマウント基板80上に端面発光素子60をダイボンディングしている。第2導電性接合材は、ダイボンディング材であり、例えばはんだペーストおよび銀ペーストのいずれかが用いられる。なお、第1導電性接合材および第2導電性接合材は、互いに同じ材料が用いられてもよいし、互いに異なる材料が用いられてもよい。このように、端面発光素子60は、基板820において接着パターン33の枠内に配置されている。換言すると、平面視において、接着パターン33は、端面発光素子60を囲むように形成されている。
【0098】
この実施形態では、サブマウント基板80上に端面発光素子60を配置した後、第1導電性接合材および第2導電性接合材の双方を同時に固化させる。より詳細には、第1導電性接合材および第2導電性接合材を加熱した後、冷却することによって第1導電性接合材および第2導電性接合材の双方が固化する。これにより、第1導電性接合材が素子表面電極31とサブマウント基板80とを接合し、第2導電性接合材がサブマウント基板80と端面発光素子60とを接合する。
【0099】
なお、第1導電性接合材および第2導電性接合材は、個別に固化してもよい。一例では、基板820にサブマウント基板80を配置する工程において、第1導電性接合材を固化することによって素子表面電極31とサブマウント基板80とを接合する。その後、サブマウント基板80上に端面発光素子60を配置する工程において、第2導電性接合材を固化することによってサブマウント基板80と端面発光素子60とを接合する。
【0100】
次に、ワイヤWを形成する工程では、ワイヤボンディング装置によって端面発光素子60の複数の素子電極63と複数のワイヤ接続電極32とを個別に接続するようにワイヤWを形成する。これにより、複数の素子電極63と複数のワイヤ接続電極32とが個別に電気的に接続される。
【0101】
図19に示すように、半導体発光装置10の製造方法は、接着パターン33に接着剤50を塗布する工程と、キャップ70を接着剤50上に配置して端面発光素子60を収容する工程と、接着剤50を硬化して接着パターン33にキャップ70を接着する工程と、を主に備える。これらの工程は、例えばワイヤWを形成する工程の後に実施される。
【0102】
接着パターン33に接着剤50を塗布する工程では、まず例えばディスペンサ装置を用いて、平面視において接着パターン33のパターン表面33Sのうち露出した部分の全体にわたり接着剤50を塗布する。つまり、パターン表面33Sのうち制限部材90によって覆われた部分には接着剤50が塗布されない。接着剤50は、制限部材90の外側面にも接している。ここで、接着剤50の厚さ寸法TAが制限部材90の厚さ寸法TBよりも小さくなるように接着剤50が接着パターン33のパターン表面33Sに塗布される。一例では、接着剤50は、熱硬化型接着剤が用いられる。なお、接着剤50の種類は任意に変更可能であり、例えば紫外線硬化型接着剤が用いられてもよい。
【0103】
続いて、キャップ70を接着剤50上に配置して端面発光素子60を収容する工程では、接着パターン33上の接着剤50上にキャップ70が配置される。これにより、制限部材90とキャップ70の第1~第4側壁71~74の内側面77とが、Z方向と直交する方向に対向する。
【0104】
次に、
図20および
図21に示すように、接着剤50を硬化して接着パターン33にキャップ70を接着する工程では、荷重接着を用いて接着パターン33にキャップ70を接着する。より詳細には、
図20および
図21に示すように、治具900によってキャップ70の上壁75が基板820に向けて押される。この状態において、接着剤50を熱硬化する。
【0105】
次に、図示していないが、半導体発光装置10の製造方法は、基板820を切断することによって個片化する工程を備える。これにより、基板20が形成される。以上の工程を経て、半導体発光装置10が製造される。
【0106】
[作用]
第1実施形態の半導体発光装置10の作用について説明する。
接着剤50を硬化することによって接着パターン33にキャップ70を接着する際、接着剤50から発生するアウトガス、および接着剤50を熱硬化する場合はキャップ70の内部の気体が膨張することに起因して、Z方向においてキャップ70が接着パターン33から離れるように浮いてしまう場合がある。このようなキャップ70の浮きを抑制するため、接着剤50を硬化することによって接着パターン33にキャップ70を接着する工程では、治具900によってキャップ70を接着パターン33に向けて荷重を加えた状態で接着剤50を硬化させる荷重接着が行われる。このため、治具900によって、キャップ70の上方への移動が制限される。
【0107】
一方、荷重接着では、Z方向に交差する方向のキャップ70の移動を制限していないため、キャップ70は、接着剤50の硬化時においてZ方向に交差する方向に移動することがある。
【0108】
この点、第1実施形態では、制限部材90がキャップ70の第1~第4側壁71~74のいずれかの内側面77と接触することによって、Z方向と交差する方向におけるキャップ70の移動が制限される。したがって、Z方向と交差する方向における接着パターン33に対するキャップ70のずれを抑制できる。
【0109】
[効果]
第1実施形態の半導体発光装置10によれば、以下の効果が得られる。
(1-1)半導体発光装置10は、基板20と、基板20上に実装された端面発光素子60と、基板20上に設けられ、平面視において端面発光素子60を囲む枠状に形成された接着パターン33と、Z方向において接着パターン33と対向している枠状に形成されかつ開口端面76および内側面77を含む第1~第4側壁71~74を有し、端面発光素子60を収容するキャップ70と、第1~第4側壁71~74の開口端面76と接着パターン33のパターン表面33Sとを接着している接着剤50と、基板20上に設けられ、第1~第4側壁71~74の内側面77と接することによってZ方向と交差する方向におけるキャップ70の移動を制限する制限部材90と、を備える。
【0110】
この構成によれば、制限部材90によって平面視においてZ方向と交差する方向におけるキャップ70の移動が制限されるため、接着剤50を硬化させる際にキャップ70が接着パターン33(基板20)に対してずれることを抑制できる。
【0111】
(1-2)第4側壁74は、端面発光素子60からのレーザ光が通過する透光面を含む。制限部材90は、平面視において透光面に対して交差する方向におけるキャップ70の移動を制限する。
【0112】
この構成によれば、制限部材90は、平面視においてキャップ70の第4側壁74が端面発光素子60に接近することを制限する。これにより、接着剤50を硬化させる際に第4側壁74が端面発光素子60と接触することを抑制できる。
【0113】
(1-3)制限部材90は、平面視において第1~第4側壁71~74と重ならない位置に設けられ、X方向におけるキャップ70の移動を制限する第1制限部90Aと、平面視において第1~第4側壁71~74と重ならない位置に設けられ、Y方向におけるキャップ70の移動を制限する第2制限部90Bと、を含む。
【0114】
この構成によれば、第1制限部90Aおよび第2制限部90Bによって、キャップ70のX方向およびY方向の移動が制限されるため、接着剤50を硬化させる際にキャップ70が接着パターン33(基板20)に対してずれることを一層抑制できる。
【0115】
(1-4)制限部材90は、平面視において端面発光素子60を囲む枠状に形成されている。制限部材90は、平面視において第1~第4側壁71~74の内側面77の周方向の全体にわたり設けられている。
【0116】
この構成によれば、制限部材90は、平面視においてZ方向と交差する全方向に対してキャップ70の移動を制限できる。また、枠状に形成された制限部材90は、複数の部品が互いに離隔して配置された制限部材と比較して、キャップ70が制限部材90に接触したときに制限部材90が変形しにくい。したがって、接着剤50を硬化させる際にキャップ70が接着パターン33(基板20)に対してずれることを抑制できる。
【0117】
(1-5)制限部材90は、接着パターン33上に設けられたレジスト890として設けられている。
この構成によれば、接着パターン33に対する制限部材90の位置精度が向上する。このため、接着剤50を硬化させる際にキャップ70が接着パターン33(基板20)に対してずれることを一層抑制できる。
【0118】
(1-6)半導体発光装置10の製造方法は、基板820に端面発光素子60を配置する工程と、基板820に設けられ、平面視において端面発光素子60を囲む接着パターン33のパターン表面33Sに接着剤50を塗布する工程と、Z方向において接着パターン33と対向している枠状に形成されかつ開口端面76および内側面77を含む第1~第4側壁71~74を有するキャップ70を、接着剤50上に配置して端面発光素子60を収容する工程と、接着剤50を硬化して接着パターン33にキャップ70を接着する工程と、を備える。基板820は、基板820上に設けられ、第1~第4側壁71~74の内側面77と接することによってZ方向と交差する方向におけるキャップ70の移動を制限する制限部材90を含む。接着パターン33にキャップ70を接着する工程では、キャップ70に対して接着パターン33に向けて荷重を加えた状態で接着剤50を硬化させる。
【0119】
この構成によれば、キャップ70に対して接着パターン33に向けて荷重を加えた状態で接着剤50が硬化されるため、その接着剤50が硬化する際、キャップ70はZ方向と交差する方向に移動しやすくなる。この点、制限部材90によって平面視においてZ方向と交差する方向におけるキャップ70の移動が制限されるため、接着剤50を硬化させる際にキャップ70が接着パターン33(基板20)に対してずれることを抑制できる。
【0120】
[第1実施形態の変更例]
図22および
図23を参照して、第1実施形態の制限部材90の変更例について説明する。
図22は、キャップ70および制限部材90Pを省略した状態の半導体発光装置10の平面構造を示している。
図23は、半導体発光装置10のうちXY平面でキャップ70の第1~第4側壁71~74を切断した状態の半導体発光装置10の平面構造を示している。なお、
図23の一点鎖線は、接着パターン33の第1領域33Aおよび第2領域33Bを便宜上、区画する境界を示している。
【0121】
図23に示すように、変更例の制限部材90Pは、平面視においてキャップ70よりも外側に配置されていてもよい。以下、制限部材90Pに関連する半導体発光装置10の構成要素について説明する。
【0122】
図22に示すように、接着パターン33の第2領域33Bは、接着パターン33の外周縁を含む外周側端部に形成されている。接着パターン33の第1領域33Aは、接着パターン33の内周縁を含む内周部に形成されている。なお、第1領域33Aの幅寸法W1および第2領域33Bの幅寸法W2の関係は、例えば第1実施形態と同様である。
【0123】
図23に示すように、第2領域33Bに設けられた制限部材90Pは、平面視において接着パターン33の外周部に設けられている。このため、平面視における制限部材90Pの形状は、矩形枠状である。
【0124】
制限部材90Pは、第1実施形態と同様に、第1~第4部材91~94と、第1~第4コーナ部分95~98とを含む。制限部材90Pは、第1実施形態と同様に、第1部材91および第2部材92の双方は制限部材90のうち短手方向に延びた部分を構成しており、第3部材93および第4部材94の双方は制限部材90のうち長手方向に延びた部分を構成している。第1~第4部材91~94の幅寸法および厚さ寸法は、例えば第1実施形態の制限部材90と同様である。なお、制限部材90Pの製造方法も第1実施形態と同様である。
【0125】
キャップ70の第1~第4側壁71~74は、接着パターン33の第1領域33Aに配置されている。このように、第1~第4側壁71~74は、第2領域33Bとは異なる領域に配置されている。つまり、平面視において、制限部材90Pは、第1~第4側壁71~74と重ならない位置に設けられている。
【0126】
矩形枠状の制限部材90Pは、平面視において第1~第4側壁71~74の外側面78の周方向の全体にわたり設けられている。制限部材90Pは、キャップ70の第1~第4側壁71~74と隣り合う位置に設けられている。より詳細には、平面視において制限部材90Pの第1部材91は第1側壁71の外側面78とX方向に隣り合う位置に配置されている。平面視において第2部材92は第2側壁72の外側面78とX方向に隣り合う位置に配置されている。平面視において第3部材93は第3側壁73の外側面78とY方向に隣り合う位置に配置されている。平面視において第4部材94は第4側壁74の外側面78とY方向に隣り合う位置に配置されている。平面視において制限部材90Pの第1コーナ部分95はキャップ70の第1コーナ部分79AとX方向およびY方向に隣り合う位置に設けられている。平面視において制限部材90Pの第2コーナ部分96はキャップ70の第2コーナ部分79BとX方向およびY方向に隣り合う位置に設けられている。平面視において制限部材90Pの第3コーナ部分97はキャップ70の第3コーナ部分79CとX方向およびY方向に隣り合う位置に設けられている。平面視において制限部材90Pの第4コーナ部分98はキャップ70の第4コーナ部分79DとX方向およびY方向に隣り合う位置に設けられている。
【0127】
このような制限部材90Pの構成によれば、第1部材91および第2部材92は、キャップ70のX方向の移動を制限することができる。第3部材93および第4部材94は、キャップ70のY方向の移動を制限することができる。このため、制限部材90Pは、X方向におけるキャップ70の移動を制限する第1制限部90Aと、Y方向におけるキャップ70の移動を制限する第2制限部90Bと、を含むといえる。この変更例では、第1制限部90Aは、第1部材91および第2部材92によって構成されている。第2制限部90Bは、第3部材93および第4部材94によって構成されている。
【0128】
<第2実施形態>
図24および
図25を参照して、第2実施形態の半導体発光装置10について説明する。第2実施形態の半導体発光装置10は、第1実施形態の半導体発光装置10と比較して、制限部材100の構成が異なる。以下の説明において、第1実施形態と共通する構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
【0129】
図24は、キャップ70および制限部材100を省略した状態の半導体発光装置10の平面構造を示している。
図25は、半導体発光装置10のうちXY平面でキャップ70の第1~第4側壁71~74を切断した状態の半導体発光装置10の平面構造を示している。なお、
図24の一点鎖線は、接着パターン33の第1領域33Aおよび第2領域33Bを便宜上、区画する境界を示している。また、図面を容易に理解するため、
図24および
図25では、ワイヤW1A~W4A,W1B~W4Bを省略している。
【0130】
図24に示すように、接着パターン33は、第1~第4コーナ部分39A~39Dを含む。第1コーナ部分39Aは第1パターン35と第3パターン37との接続部分である。第2コーナ部分39Bは第2パターン36と第4パターン38との接続部分である。第3コーナ部分39Cは第1パターン35と第4パターン38との接続部分である。第4コーナ部分39Dは第2パターン36と第3パターン37との接続部分である。
【0131】
第2実施形態では、接着パターン33は、第1~第4コーナ部分39A~39Dにおいて第2領域33Bが形成されている。このため、接着パターン33は、平面視において矩形枠状の第1領域33Aと、互いに離隔して配置された4つの第2領域33Bとを含む。
【0132】
第2実施形態では、4つの第2領域33Bは、第1~第4コーナ部分39A~39Dの内周側端部に設けられている。より詳細には、第1コーナ部分39Aにおける第2領域33Bは、第1コーナ部分39Aにおける第1領域33Aに対してワイヤ接続電極32AC寄りに形成されている。第2コーナ部分39Bにおける第2領域33Bは、第2コーナ部分39Bにおける第1領域33Aに対してワイヤ接続電極32BD寄りに形成されている。第3コーナ部分39Cにおける第2領域33Bは、第3コーナ部分39Cにおける第1領域33Aに対してワイヤ接続電極32AD寄りに形成されている。第4コーナ部分39Dにおける第2領域33Bは、第4コーナ部分39Dにおける第1領域33Aに対してワイヤ接続電極32BC寄りに形成されている。
【0133】
各第2領域33Bは、平面視においてL字状に形成されている。より詳細には、各第2領域33Bは、X方向に延びる第1部分と、Y方向に延びる第2部分とを含む。一例では、第1部分の長さ寸法(X方向の寸法)と、第2部分の長さ寸法(Y方向の寸法)とは互いに等しい。また一例では、第1部分の幅寸法(Y方向の寸法)と第2部分の幅寸法(X方向の寸法)とは互いに等しい。
【0134】
なお、第1部分の長さ寸法および幅寸法と、第2部分の長さ寸法および幅寸法とはそれぞれ任意に変更可能である。一例では、第1部分の長さ寸法は、第2部分の長さ寸法よりも長くてもよい。また、一例では、第1部分の幅寸法は、第2部分の幅寸法よりも長くてもよい。
【0135】
図25に示すように、制限部材100は、4つの第2領域33B(
図24参照)に対応した4つの第1~第4部材101~104を含む。このため、第1~第4部材101~104は、互いに離隔して配置されているといえる。キャップ70は第1領域33A(
図24参照)に配置されているため、平面視において、第1~第4部材101~104は、キャップ70の第1~第4側壁71~74と重ならない位置に設けられている。
【0136】
第1部材101は、接着パターン33の第1コーナ部分39Aにおける第2領域33B(
図24参照)上に設けられている。このため、第1部材101は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の第1コーナ部分79Aの内側面77とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。
【0137】
第2部材102は、接着パターン33の第2コーナ部分39Bにおける第2領域33B(
図24参照)上に設けられている。このため、第2部材102は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の第2コーナ部分79Bの内側面77とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。このように、第1部材101および第2部材102は、平面視において第1~第4側壁71~74の第1~第4コーナ部分79A~79Dのうち対角上に配置された第1コーナ部分79Aおよび第2コーナ部分79Bと隣り合う位置に配置されているといえる。
【0138】
第3部材103は、接着パターン33の第3コーナ部分39Cにおける第2領域33B(
図24参照)上に設けられている。このため、第3部材103は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の第3コーナ部分79Cの内側面77とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。
【0139】
第4部材104は、接着パターン33の第4コーナ部分39Dにおける第2領域33B(
図24参照)上に設けられている。このため、第4部材104は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の第4コーナ部分79Dの内側面77とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。このように、第3部材103および第4部材104は、平面視において第1~第4側壁71~74の第1~第4コーナ部分79A~79Dのうち対角上に配置された第3コーナ部分79Cおよび第4コーナ部分79Dと隣り合う位置に配置されているといえる。
【0140】
第1~第4部材101~104の平面視における形状は、平面視における各第2領域33Bに対応させてL字状に形成されている。このため、一例では、第1~第4部材101~104は、同一形状および同一サイズである。より詳細には、第1~第4部材101~104の各々は、X方向に延びる第1部分と、Y方向に延びる第2部分とを含む。一例では、第1部分の長さ寸法(X方向の寸法)と、第2部分の長さ寸法(Y方向の寸法)とは互いに等しい。一例では、第1部分の幅寸法(Y方向の寸法)は、第2部分の幅寸法(X方向の寸法)とは互いに等しい。
【0141】
なお、第1部分の長さ寸法および幅寸法と、第2部分の長さ寸法および幅寸法とはそれぞれ任意に変更可能である。一例では、第1部分の長さ寸法は、第2部分の長さ寸法よりも長くてもよい。また、一例では、第1部分の幅寸法は、第2部分の幅寸法よりも長くてもよい。
【0142】
第1部材101の第1部分は、キャップ70の第3側壁73の内側面77とY方向に対向している。第1部材101の第2部分は、第1側壁71の内側面77とX方向に対向している。第2部材102の第1部分は、キャップ70の第4側壁74の内側面77とY方向に対向している。第2部材102の第2部分は、第2側壁72の内側面77とX方向に対向している。このような第1部材101および第2部材102の配置によって、第1部材101および第2部材102は、X方向におけるキャップ70の移動を制限する第1制限部100Aと、Y方向におけるキャップ70の移動を制限する第2制限部100Bとを構成している。
【0143】
第3部材103の第1部分は、キャップ70の第4側壁74の内側面77とY方向に対向している。第3部材103の第2部分は、キャップ70の第1側壁71の内側面77とX方向に対向している。第4部材104の第1部分は、キャップ70の第3側壁73の内側面77とY方向に対向している。第4部材104の第2部分は、キャップ70の第2側壁72の内側面77とX方向に対向している。このような第3部材103および第4部材104の配置によって、第3部材103および第4部材104は、X方向におけるキャップ70の移動を制限する第1制限部100Aと、Y方向におけるキャップ70の移動を制限する第2制限部100Bとを構成している。なお、第2実施形態の半導体発光装置10によれば、第1実施形態と同様の効果が得られる。
【0144】
[第2実施形態の変更例]
図26~
図28を参照して、第2実施形態の制限部材100の第1変更例および第2変更例について説明する。
図26は、第1変更例について、キャップ70および制限部材100Pを省略した状態の半導体発光装置10の平面構造を示している。
図27は、第1変更例について、半導体発光装置10のうちXY平面でキャップ70の第1~第4側壁71~74を切断した状態の半導体発光装置10の平面構造を示している。
図28は、第2変更例について、半導体発光装置10のうちXY平面でキャップ70の第1~第4側壁71~74を切断した状態の半導体発光装置10の平面構造を示している。なお、
図26の一点鎖線は、接着パターン33の第1領域33Aおよび第2領域33Bを便宜上、区画する境界を示している。また、図面を容易に理解するため、
図26~
図28では、ワイヤW1A~W4A,W1B~W4Bを省略している。
【0145】
(第1変更例)
図27に示すように、第1変更例の制限部材100Pは、平面視においてキャップ70よりも外側に配置されていてもよい。以下、制限部材100Pに関連する半導体発光装置10の構成要素について説明する。
【0146】
図26に示すように、接着パターン33の4つの第2領域33Bは、第1~第4コーナ部分39A~39Dの外周側端部に設けられている。より詳細には、第1コーナ部分39Aにおける第2領域33Bは、第1コーナ部分39Aにおける第1領域33Aに対して第1基板側面23および第3基板側面25寄りに形成されている。第2コーナ部分39Bにおける第2領域33Bは、第2コーナ部分39Bにおける第1領域33Aに対して第2基板側面24および第4基板側面26寄りに形成されている。第3コーナ部分39Cにおける第2領域33Bは、第3コーナ部分39Cにおける第1領域33Aに対して第1基板側面23および第4基板側面26寄りに形成されている。第4コーナ部分39Dにおける第2領域33Bは、第4コーナ部分39Dにおける第1領域33Aに対して第2基板側面24および第3基板側面25寄りに形成されている。
【0147】
各第2領域33Bは、平面視においてL字状に形成されている。より詳細には、各第2領域33Bは、X方向に延びる第1部分と、Y方向に延びる第2部分とを含む。一例では、第1部分の長さ寸法(X方向の寸法)と、第2部分の長さ寸法(Y方向の寸法)とは互いに等しい。また一例では、第1部分の幅寸法(Y方向の寸法)と第2部分の幅寸法(X方向の寸法)とは互いに等しい。
【0148】
なお、第1部分の長さ寸法および幅寸法と、第2部分の長さ寸法および幅寸法とはそれぞれ任意に変更可能である。一例では、第1部分の長さ寸法は、第2部分の長さ寸法よりも長くてもよい。また、一例では、第1部分の幅寸法は、第2部分の幅寸法よりも長くてもよい。
【0149】
図27に示すように、4つの第2領域33B(
図26参照)に設けられた制限部材100Pは、平面視において接着パターン33(
図26参照)の外周部に設けられている。キャップ70の第1~第4側壁71~74は、接着パターン33の第1領域33A(
図26参照)に配置されている。このように、第1~第4側壁71~74は、第2領域33Bとは異なる領域に配置されている。つまり、平面視において、制限部材100Pは、第1~第4側壁71~74と重ならない位置に設けられている。
【0150】
第1部材101は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の第1コーナ部分79Aの外側面78とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。第2部材102は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の第2コーナ部分79Bの外側面78とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。このように、第1部材101および第2部材102は、平面視において第1~第4側壁71~74の第1~第4コーナ部分79A~79Dのうち対角上に配置された第1コーナ部分79Aおよび第2コーナ部分79Bと隣り合う位置に配置されているといえる。
【0151】
第3部材103は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の第3コーナ部分79Cの外側面78とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。第4部材104は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の第4コーナ部分79Dの外側面78とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。このように、第3部材103および第4部材104は、平面視において第1~第4側壁71~74の第1~第4コーナ部分79A~79Dのうち対角上に配置された第3コーナ部分79Cおよび第4コーナ部分79Dと隣り合う位置に配置されているといえる。
【0152】
第1~第4部材101~104の平面視における形状は、平面視における各第2領域33Bに対応させてL字状に形成されている。このため、一例では、第1~第4部材101~104は、同一形状および同一サイズである。より詳細には、第1~第4部材101~104の各々は、X方向に延びる第1部分と、Y方向に延びる第2部分とを含む。一例では、第1部分の長さ寸法(X方向の寸法)と、第2部分の長さ寸法(Y方向の寸法)とは互いに等しい。一例では、第1部分の幅寸法(Y方向の寸法)は、第2部分の幅寸法(X方向の寸法)とは互いに等しい。
【0153】
なお、第1部分の長さ寸法および幅寸法と、第2部分の長さ寸法および幅寸法とはそれぞれ任意に変更可能である。一例では、第1部分の長さ寸法は、第2部分の長さ寸法よりも長くてもよい。また、一例では、第1部分の幅寸法は、第2部分の幅寸法よりも長くてもよい。
【0154】
第1部材101の第1部分は、キャップ70の第3側壁73の外側面78とY方向に対向している。第1部材101の第2部分は、第1側壁71の外側面78とX方向に対向している。第2部材102の第1部分は、キャップ70の第4側壁74の外側面78とY方向に対向している。第2部材102の第2部分は、第2側壁72の外側面78とX方向に対向している。このような第1部材101および第2部材102の配置によって、第1部材101および第2部材102は、X方向におけるキャップ70の移動を制限する第1制限部100Aと、Y方向におけるキャップ70の移動を制限する第2制限部100Bとを構成している。
【0155】
第3部材103の第1部分は、キャップ70の第4側壁74の外側面78とY方向に対向している。第3部材103の第2部分は、キャップ70の第1側壁71の外側面78とX方向に対向している。第4部材104の第1部分は、キャップ70の第3側壁73の外側面78とY方向に対向している。第4部材104の第2部分は、キャップ70の第2側壁72の外側面78とX方向に対向している。このような第3部材103および第4部材104の配置によって、第3部材103および第4部材104は、X方向におけるキャップ70の移動を制限する第1制限部100Aと、Y方向におけるキャップ70の移動を制限する第2制限部100Bとを構成している。
【0156】
(第2変更例)
図28に示すように、第2変更例の制限部材100Qでは、第2実施形態の制限部材100と比較して、制限部材の個数が少ない。
図28に示す例では、制限部材100Qは、第1部材101および第2部材102を含む。つまり、制限部材100Qは、第3部材103および第4部材104(
図25参照)を含んでいない。第1部材101および第2部材102のみであっても第1制限部100Aおよび第2制限部100Bを構成しているため、キャップ70のX方向の移動およびY方向の移動の双方を制限することができる。なお、第2変更例の制限部材100Qは、第3部材103および第4部材104を含む一方、第1部材101および第2部材102を含まない構成であってもよい。また、第1部材101および第2部材102は、
図27に示す第1変更例のように、キャップ70の外側面78と対向するようにキャップ70の外部に配置されていてもよい。
【0157】
<第3実施形態>
図29および
図30を参照して、第3実施形態の半導体発光装置10について説明する。第3実施形態の半導体発光装置10は、第1実施形態の半導体発光装置10と比較して、制限部材110の構成が異なる。以下の説明において、第1実施形態と共通する構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
【0158】
図29は、キャップ70および制限部材110を省略した状態の半導体発光装置10の平面構造を示している。
図30は、半導体発光装置10のうちXY平面でキャップ70の第1~第4側壁71~74を切断した状態の半導体発光装置10の平面構造を示している。なお、
図29の一点鎖線は、接着パターン33の第1領域33Aおよび第2領域33Bを便宜上、区画する境界を示している。また、図面を容易に理解するため、
図26~
図28では、ワイヤW1A~W4A,W1B~W4Bを省略している。
【0159】
図29に示すように、第3実施形態では、接着パターン33の第1コーナ部分39A、第4コーナ部分39D、および第3パターン37のY方向の中央部分にそれぞれ第2領域33Bが形成されている。接着パターン33の第1領域33Aは、第2実施形態の第1領域33Aと同様に矩形枠状に形成されている。
【0160】
第1コーナ部分39Aにおける第2領域33Bおよび第4コーナ部分39Dにおける第2領域33Bの双方は、平面視においてY方向に延びる帯状に形成されている。このため、第1コーナ部分39Aにおける第2領域33Bは、第1パターン35と接続される部分の長さ寸法LY1(第2領域33BのY方向の長さ)が第3パターン37と接続される部分の長さ寸法LX1(第2領域33BのX方向の長さ)よりも大きくなる。第4コーナ部分39Dにおける第2領域33Bは、第2パターン36と接続される部分の長さ寸法LY2(第2領域33BのY方向の長さ)が第3パターン37と接続される部分の長さ寸法LX2(第2領域33BのX方向の長さ)よりも大きくなる。一例では、第1コーナ部分39Aにおける第2領域33Bと第4コーナ部分39Dにおける第2領域33Bとの形状およびサイズの各々は、互いに同じである。なお、第1コーナ部分39Aにおける第2領域33Bと第4コーナ部分39Dにおける第2領域33Bとの形状およびサイズの各々は、任意に変更可能である。
【0161】
第3パターン37のY方向の中央部分における第2領域33Bは、X方向に沿って延びている。一例では、第3パターン37のY方向の中央部分における第2領域33Bの長さ寸法LX3は、第1コーナ部分39Aにおける第2領域33Bの長さ寸法LY1および第4コーナ部分39Dにおける第2領域33Bの長さ寸法LY2よりも大きい。第3パターン37のY方向の中央部分における第2領域33Bの長さ寸法LY3(第2領域33BのY方向の長さ)は、例えば第1コーナ部分39Aにおける第2領域33Bの長さ寸法LX1および第4コーナ部分39Dにおける第2領域33Bの長さ寸法LX2と等しい。
【0162】
なお、第3パターン37のY方向の中央部分における第2領域33Bの長さ寸法LY3および長さ寸法LX3の各々は任意に変更可能である。一例では、長さ寸法LY3は、長さ寸法LX1,LX2よりも大きくてもよい。
【0163】
図30に示すように、制限部材110は、3つの第2領域33B(
図29参照)に対応した3つの第1~第3部材111~113を含む。このため、第1~第3部材111~113は、互いに離隔して配置されているといえる。キャップ70は第1領域33Aに配置されているため、平面視において、第1~第3部材111~113は、キャップ70の第1~第4側壁71~74と重ならない位置に設けられている。
【0164】
第1部材111は、接着パターン33の第1コーナ部分39Aにおける第2領域33B(
図29参照)上に設けられている。このため、第1部材111は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の第1コーナ部分79Aの内側面77とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。
【0165】
第2部材112は、接着パターン33の第4コーナ部分39Dにおける第2領域33B(
図29参照)上に設けられている。このため、第2部材112は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の第4コーナ部分79Dの内側面77とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。
【0166】
第3部材113は、接着パターン33の第3パターン37のY方向の中央部分における第2領域33B(
図29参照)上に設けられている。このため、第3部材113は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の第3側壁73の外側面78とY方向に隣り合う位置に配置されている。
【0167】
第1~第3部材111~113の平面視における形状は、平面視における各第2領域33Bに対応させた形状となる。すなわち、平面視において、第1部材111および第2部材112は、Y方向に延びる帯状に形成されている。平面視において、第3部材113は、X方向に延びる帯状に形成されている。一例では、第3部材113の長さ寸法LM3は、第1部材111の長さ寸法LM1および第2部材112の長さ寸法LM2よりも大きい。一例では、第1部材111の長さ寸法LM1と第2部材112の長さ寸法LM2とは互いに等しい。また、一例では、第3部材113の幅寸法WM3は、第1部材111の幅寸法WM1および第2部材112の幅寸法WM2と等しい。
【0168】
ここで、第3部材113の長さ寸法LM3は、第3部材113のX方向の寸法によって定義できる。第3部材113の幅寸法WM3は、第3部材113のY方向の寸法によって定義できる。第1部材111の長さ寸法LM1は、第1部材111のY方向の寸法によって定義できる。第1部材111の幅寸法WM1は、第1部材111のX方向の寸法によって定義できる。第2部材112の長さ寸法LM2は、第2部材112のY方向の寸法によって定義できる。第2部材112の幅寸法WM2は、第2部材112のX方向の寸法によって定義できる。なお、第1~第3部材111~113の長さ寸法LM1~LM3および幅寸法WM1~WM3はそれぞれ任意に変更可能である。
【0169】
第1部材111は、キャップ70の第1側壁71の内側面77とX方向に対向し、かつ第3側壁73の内側面77とY方向に対向している。第2部材112は、キャップ70の第2側壁72の内側面77とX方向に対向し、かつ第3側壁73の内側面77とY方向に対向している。このような第1部材111および第2部材112の配置によって、第1部材111および第2部材112は、X方向におけるキャップ70の移動を制限する第1制限部110Aを構成している。
【0170】
第3部材113は、キャップ70の第3側壁73の外側面78とY方向に対向している。つまり、第3側壁73は、第1部材111および第2部材112と第3部材113とによってY方向に挟み込まれている。このような第1~第3部材111~113の配置によって、第1~第3部材111~113は、Y方向におけるキャップ70の移動を制限する第2制限部110Bを構成している。
【0171】
[効果]
第3実施形態の半導体発光装置10によれば、以下の効果が得られる。
(3-1)制限部材100は、キャップ70の第1コーナ部分79Aの内側面77と隣り合う第1部材111と、第4コーナ部分79Dの内側面77と隣り合う第2部材112と、第3側壁73とY方向に隣り合う位置において第3側壁73の外側面78と隣り合う第3部材113と、を含む。第1~第4側壁71~74は、平面視においてX方向が長手方向となり、Y方向が短手方向となる矩形枠状に形成されている。第3部材113の長さ寸法LM3は、第1部材111の長さ寸法LM1および第2部材112の長さ寸法LM2よりも長い。
【0172】
この構成によれば、第1~第4側壁71~74のうち長手方向に延びる第3側壁73の移動を制限する第3部材113の長さ寸法LM3が長くなることによって、キャップ70のY方向の移動を一層制限しやすくなる。
【0173】
<変更例>
上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。以下の各変更例は、技術的な矛盾が生じない範囲において互いに組み合わせることができる。なお、
図31~
図33、および
図35では、図面を容易に理解するため、ワイヤW1A~W4A,W1B~W4Bを省略している。
【0174】
・第1実施形態において、制限部材90は、矩形枠状に形成されていなくてもよい。一例では、制限部材90から第4部材94を省略してもよい。つまり、制限部材90は、第1~第3部材91~93によって構成されていてもよい。
【0175】
・第1実施形態において、制限部材90は、第1部材91および第2部材92によって構成されていてもよい。つまり、制限部材90から第3部材93および第4部材94が省略されていてよい。この場合、Y方向における第1部材91および第2部材92の両端部のいずれか一方がキャップ70の第3側壁73の内側面77または第4側壁74の内側面77に接することによって、Y方向におけるキャップ70の移動が制限される。これにより、第1部材91および第2部材92の各々は、第1制限部90Aおよび第2制限部90Bを構成している。
【0176】
・第1実施形態において、制限部材90は、第3部材93および第4部材94によって構成されていてもよい。つまり、制限部材90から第1部材91および第2部材92が省略されていてよい。この場合、X方向における第3部材93および第4部材94の両端部のいずれか一方がキャップ70の第1側壁71の内側面77または第2側壁72の内側面77に接することによって、X方向におけるキャップ70の移動が制限される。これにより、第3部材93および第4部材94の各々は、第1制限部90Aおよび第2制限部90Bを構成している。
【0177】
・第2実施形態において、ワイヤ接続電極32AC,32AD,32BC,32BDの形状は任意に変更可能である。一例では、
図31に示すように、ワイヤ接続電極32ACは、平面視においてZ方向に交差する方向に切り欠かれた切欠部121を含む。切欠部121は、ワイヤ接続電極32ACのうち制限部材100の第1部材101の近くの端部に形成されている。切欠部121は、平面視において第1部材101から離れるように形成されている。一例では、切欠部121は、第1基板側面23から第2基板側面24に向かうにつれて第3基板側面25に向けて傾斜する傾斜面である。
【0178】
ワイヤ接続電極32BDは、平面視においてZ方向に交差する方向に切り欠かれた切欠部122を含む。切欠部122は、ワイヤ接続電極32BDのうち第2部材102の近くの端部に形成されている。切欠部122は、平面視において第2部材102から離れるように形成されている。一例では、切欠部122は、第1基板側面23から第2基板側面24に向かうにつれて第3基板側面25に向けて傾斜する傾斜面である。
【0179】
ワイヤ接続電極32ADは、平面視においてZ方向に交差する方向に切り欠かれた切欠部123を含む。切欠部123は、ワイヤ接続電極32ADのうち第3部材103の近くの端部に形成されている。切欠部123は、平面視において第3部材103から離れるように形成されている。一例では、切欠部123は、第1基板側面23から第2基板側面24に向かうにつれて第4基板側面26に向けて傾斜する傾斜面である。
【0180】
ワイヤ接続電極32BCは、平面視においてZ方向に交差する方向に切り欠かれた切欠部124を含む。切欠部124は、ワイヤ接続電極32BCのうち第4部材104の近くの端部に形成されている。切欠部124は、平面視において第4部材104から離れるように形成されている。一例では、切欠部124は、第1基板側面23から第2基板側面24に向かうにつれて第4基板側面26に向けて傾斜する傾斜面である。
【0181】
このような切欠部121~124によって平面視における接着パターン33とワイヤ接続電極32AC,32AD,32BC,32BDとの間の距離を大きくとることができる。したがって、第1~第4部材101~104に起因して接着パターン33とワイヤ接続電極32AC,32AD,32BC,32BDとが電気的に接続することを抑制できる。
【0182】
・第2実施形態において、制限部材100における第1部材101と第3部材103とがY方向に連結された構成であってもよい。つまり、第1部材101および第3部材103は、第1部材101の第1部分と第3部材103の第1部分とを連結する構成であってもよい。この場合、第1部材101および第3部材103は、平面視においてキャップ70の第1側壁71の内側面77のY方向の全体にわたりX方向に対向している。
【0183】
・第2実施形態において、制限部材100における第2部材102と第4部材104とがY方向に連結された構成であってもよい。つまり、第2部材102および第4部材104は、第2部材102の第1部分と第4部材104の第1部分とを連結する構成であってもよい。この場合、第2部材102および第4部材104は、平面視においてキャップ70の第2側壁72の内側面77のY方向の全体にわたりX方向に対向している。
【0184】
・第2実施形態において、制限部材100における第1部材101と第4部材104とがX方向に連結された構成であってもよい。つまり、第1部材101および第4部材104は、第1部材101の第2部分と第4部材104の第2部分とを連結する構成であってもよい。この場合、第1部材101および第4部材104は、平面視においてキャップ70の第3側壁73の内側面77のX方向の全体にわたりY方向に対向している。
【0185】
・第2実施形態において、制限部材100における第2部材102と第3部材103とがX方向に連結された構成であってもよい。つまり、第2部材102および第3部材103は、第2部材102の第2部分と第3部材103の第2部分とを連結する構成であってもよい。この場合、第2部材102および第3部材103は、平面視においてキャップ70の第4側壁74の内側面77のX方向の全体にわたりY方向に対向している。
【0186】
・第2実施形態において、第1~第4部材101~104は、平面視においてL字状に形成されていたが、これに限られない。例えば、第1~第4部材101~104は、第1部分および第2部分が互いに離隔した構成であってもよい。
【0187】
・第3実施形態において、制限部材110の第1部材111および第2部材112の平面視における形状は任意に変更可能である。一例では、第1部材111および第2部材112の少なくとも一方の平面視における形状はL字状であってもよい。第1部材111がL字状の場合、第1部材111は、Y方向に延びる第1部分と、X方向に延びる第2部分とを含む。第1部分は、平面視においてキャップ70の第1側壁71の内側面77とX方向に隣り合う位置に配置されている。第2部分は、平面視において第3側壁73の内側面77とY方向に隣り合う位置に配置されている。また、第2部材112がL字状の場合、第2部材112は、Y方向に延びる第1部分と、X方向に延びる第2部分とを含む。第1部分は、平面視において第2側壁72の内側面77とX方向に隣り合う位置に配置されている。第2部分は、平面視において第3側壁73の内側面77とY方向に隣り合う位置に配置されている。
【0188】
・第3実施形態において、制限部材110における第1部材111と第2部材112とが連結された構成であってもよい。つまり、第1部材111および第2部材112は、第1部材111の第2部分と第2部材112の第2部分とを連結する構成であってもよい。この場合、第1部材111および第2部材112は、平面視においてキャップ70の第3側壁73の内側面77のX方向の全体にわたりY方向に対向している。
【0189】
・第3実施形態において、制限部材110の第1~第3部材111~113の配置態様は任意に変更可能である。第1~第3部材111~113の配置態様は、例えば
図32に示す第1変更例および
図33に示す第2変更例のように変更してもよい。
【0190】
図32に示すように、第1変更例においては、制限部材110の第1部材111は、平面視においてキャップ70の第3コーナ部分79Cの内側面77とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。第2部材112は、平面視においてキャップ70の第2コーナ部分79Bの内側面77とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。第3部材113は、平面視においてキャップ70の第4側壁74の外側面78とY方向に隣り合う位置に配置されている。
【0191】
第1部材111は、キャップ70の第1側壁71の内側面77とX方向に対向し、かつ第4側壁74の内側面77とY方向に対向している。第2部材112は、キャップ70の第2側壁72の内側面77とX方向に対向し、かつ第4側壁74の内側面77とY方向に対向している。このような第1部材111および第2部材112の配置によって、第1部材111および第2部材112は、X方向におけるキャップ70の移動を制限する第1制限部110Aを構成している。
【0192】
第3部材113は、キャップ70の第4側壁74の外側面78とY方向に対向している。つまり、第4側壁74は、第1部材111および第2部材112と第3部材113とによってY方向に挟み込まれている。このような第1~第3部材111~113の配置によって、第1~第3部材111~113は、Y方向におけるキャップ70の移動を制限する第2制限部110Bを構成している。なお、図示していないが、このような第1~第3部材111~113の配置の変更にともない接着パターン33の3つの第2領域33Bの配置位置も変更されている。
【0193】
図33に示すように、第2変更例においては、制限部材110の第1部材111は、平面視においてキャップ70の第3コーナ部分79Cの内側面77とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。第2部材112は、平面視においてキャップ70の第2コーナ部分79Bの内側面77とX方向およびY方向に隣り合う位置に配置されている。第3部材113は、平面視において第3側壁73の内側面77とY方向に隣り合う位置に配置されている。
【0194】
平面視における第1部材111および第2部材112の各々の形状は、
図32の第1変更例の第1部材111および第2部材112と同じである。このような第1部材111および第2部材112の配置によって、第1部材111および第2部材112は、X方向におけるキャップ70の移動を制限する第1制限部110Aを構成している。
【0195】
第3部材113は、キャップ70の第3側壁73の内側面77とY方向に対向している。このような第1~第3部材111~113の配置によって、第1~第3部材111~113は、Y方向におけるキャップ70の移動を制限する第2制限部110Bを構成している。
【0196】
図33に示す第2変更例の制限部材110によれば、第1~第3部材111~113がキャップ70の内部に収容されているため、半導体発光装置10の美観の向上を図ることができる。
【0197】
・第3実施形態において、制限部材110から第1部材111および第2部材112の少なくとも一方を省略してもよい。例えば制限部材110から第1部材111および第2部材112の双方が省略された場合、第3部材113によって平面視においてキャップ70が第3基板側面25に向けて移動することを制限できる。これにより、キャップ70の第4側壁74と端面発光素子60とが接触することを抑制できる。
【0198】
・各実施形態において、制限部材90,100,110は、接着パターン33上に設けられていたが、これに限られない。制限部材90,100,110の構成は、次の第1変更例および第2変更例のように変更してもよい。
【0199】
第1変更例では、制限部材90は、接着パターン33とは別に設けられていてよい。つまり、制限部材90は、平面視において接着パターン33から離隔して設けられていてよい。一例では、
図34に示すように、制限部材90は、基板20の基板表面21に接している。つまり、制限部材90は、基板20の基板表面21上に設けられている。
図34に示す例では、制限部材90は、接着パターン33とワイヤ接続電極32ADとのX方向の間に配置されている。制限部材90は、接着パターン33およびワイヤ接続電極32ADの双方とX方向に離隔されている。つまり、制限部材90は、接着パターン33および表面電極30の双方と離隔している。制限部材90の厚さ寸法TBは、接着パターン33の厚さ寸法TDと接着剤50の厚さ寸法TAとの合計よりも大きい。これにより、制限部材90は、キャップ70の第1~第4側壁71~74の内側面77と対向する。
【0200】
第1変更例の制限部材90は、例えば絶縁材料によって形成されている。絶縁材料は、例えばエポキシ樹脂が用いられてよい。また、第1変更例の制限部材90は、金属材料によって形成されてよい。この場合、制限部材90は、例えば接着パターン33と同じ材料で形成されてもよい。また制限部材90は、例えば表面電極30と同じ材料によって形成されてもよい。
【0201】
第2変更例では、制限部材100は、表面電極30上に設けられてよい。一例では、
図35に示すように、第1部材101は、ワイヤ接続電極32AC上に設けられている。第2部材102は、ワイヤ接続電極32BD上に設けられている。第3部材103は、ワイヤ接続電極32AD上に設けられている。第4部材104は、ワイヤ接続電極32BC上に設けられている。
【0202】
なお、制限部材100は、接着パターン33上および表面電極30上の少なくとも一方に設けられていてよい。一例では、第1部材101がワイヤ接続電極32AC上に設けられており、第2部材102がワイヤ接続電極32BD上に設けられている。一方、第3部材103および第4部材104は、接着パターン33上に設けられている。
【0203】
・各実施形態において、制限部材90,100,110の材料は任意に変更可能である。一例では、制限部材90,100,110は金属材料によって形成されていてもよい。この場合、制限部材90,100,110は、接着パターン33とは異なる材料によって形成されていてもよい。また、制限部材90,100,110は、接着パターン33または表面電極30と同じ材料によって形成されていてもよい。この場合、制限部材90,100,110は、接着パターン33または表面電極30と一体に形成されていてもよい。
【0204】
・各実施形態において、表面電極30の構成は、例えば端面発光素子60の構成に応じて任意に変更可能である。一例では、
図36に示すように、端面発光素子60は、4つの発光部65(素子電極63)を含む。ワイヤ接続電極32の数は、例えば発光部65(素子電極63)の数に応じて設定される。このため、
図36に示す例では、表面電極30は、4つのワイヤ接続電極32を含む。各ワイヤ接続電極32は、平面視においてY方向が長手方向となり、X方向が短手方向となる矩形状に形成されている。4つのワイヤ接続電極32は、Y方向において互いに同じ位置であってX方向において互いに離隔して配列されている。
【0205】
・半導体発光素子として端面発光素子60が用いられたが、半導体発光素子の構成はこれに限られない。半導体発光素子として、面発光素子が用いられてもよい。面発光素子の一例として、垂直共振器型面発光レーザ(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting Laser)が用いられてもよい。この場合、キャップ70は、上壁75が透光面となるように構成されていてもよい。一方、キャップ70の第4側壁74は第1~第3側壁71~73と同様に半透明となるように構成されていてもよい。また、半導体発光素子として、発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)が用いられてもよい。
【0206】
・上記実施形態では、基板20は絶縁材料によって形成されたが、これに限られない。基板20は、Cu、Al等の金属材料によって形成されてもよい。この場合、Cu、Al等によって構成された平板状のフレーム(例えばメタルコア)の表面および裏面には絶縁層が形成されている。フレームの表面に形成された絶縁層(基板表面21)上には複数の表面電極30および接着パターン33が形成されている。フレームの裏面に形成された絶縁層(基板裏面22)上には複数の裏面電極40が形成されている。複数の裏面電極40と複数の表面電極30とを個別に電気的に接続する複数の貫通配線は、フレームをその厚さ方向(Z方向)に貫通している。この場合、フレームに形成された貫通孔を構成する内面には絶縁層が形成されている。貫通配線は、例えば絶縁層に形成された空間を埋めるように形成されている。
【0207】
・上記実施形態において、基板20、複数の表面電極30、複数の裏面電極40、および複数の貫通配線の構成は任意に変更可能である。一例では、半導体発光装置10は、複数の表面電極30、複数の裏面電極40、および複数の貫通配線に代えて、表面電極30、裏面電極40、および貫通配線が一体化されたフレームと、このフレームを支持する絶縁材料によって形成された基板と、を備えていてもよい。この場合、フレームは、複数の表面電極30(複数の裏面電極40)に応じて複数設けられている。基板は、絶縁材料として例えばエポキシ樹脂によって形成されている。複数のフレームは、基板をZ方向に貫通するように設けられている。このため、基板の基板表面から露出した複数のフレームは複数の表面電極30を構成し、基板裏面から露出した複数のフレームは複数の裏面電極40を構成している。ここで、接着パターン33は、基板をZ方向に貫通するフレームとして形成されてもよいし、基板表面上の金属層として形成されてもよい。接着パターン33を構成するフレームは、表面電極30、裏面電極40、および貫通配線が一体化されたフレームと同じフレームによって形成されていてもよいし、異なるフレームとして形成されていてもよい。
【0208】
本明細書に記載の様々な例のうち1つまたは複数を、技術的に矛盾しない範囲で組み合わせることができる。
本明細書において、「AおよびBのうち少なくとも1つ」とは、「Aのみ、または、Bのみ、またはAおよびBの両方」を意味するものとして理解されるべきである。
【0209】
本開示における「第1」、「第2」、「第3」等の用語は、単に対象物を区別するために用いられており、対象物を順位付けするものではない。
本開示で使用される「~上に」という用語は、文脈によって明らかにそうでないことが示されない限り、「~上に」と「~の上方に」の意味を含む。したがって、例えば「第1要素が第2要素上に配置される」という表現は、或る実施形態では第1要素が第2要素に接触して第2要素上に直接配置され得るが、他の実施形態では第1要素が第2要素に接触することなく第2要素の上方に配置され得ることが意図される。すなわち、「~上に」という用語は、第1要素と第2要素との間に他の要素が形成される構造を排除しない。
【0210】
本開示で使用されるZ方向は必ずしも鉛直方向である必要はなく、鉛直方向に完全に一致している必要もない。したがって、本開示による種々の構造は、本明細書で説明されるZ方向の「上」および「下」が鉛直方向の「上」および「下」であることに限定されない。例えばX方向が鉛直方向であってもよく、またはY方向が鉛直方向であってもよい。
【0211】
<付記>
上記各実施形態および各変更例から把握できる技術的思想を以下に記載する。なお、各付記に記載された構成要素に対応する実施形態の構成要素の符号を括弧書きで示す。符号は、理解の補助のために例として示すものであり、各付記に記載された構成要素は、符号で示される構成要素に限定されるべきではない。
【0212】
[付記1]
基板(20)と、
前記基板(20)上に実装された半導体発光素子(60)と、
前記基板(20)上に設けられ、前記基板(20)の厚さ方向(Z方向)から視て前記半導体発光素子(60)を囲む枠状に形成された接着パターン(33)と、
前記厚さ方向(Z方向)において前記接着パターン(33)と対向している枠状に形成されかつ開口端面(76)および側面(77,78)を含む側壁(71~74)を有し、前記半導体発光素子(60)を収容するキャップ(70)と、
前記側壁(71~74)の前記開口端面(76)と前記接着パターン(33)のパターン表面(33S)とを接着している接着剤(50)と、
前記基板(20)上に設けられ、前記側壁(71~74)の前記側面(77/78)と接することによって前記厚さ方向(Z方向)と交差する方向(X方向/Y方向)における前記キャップ(70)の移動を制限する制限部材(90)と、
を備える、半導体発光装置(10)。
【0213】
[付記2]
前記側壁(74)は、前記半導体発光素子(60)からの光が通過する透光面を有し、
前記制限部材(90)は、前記厚さ方向(Z方向)から視て前記透光面に対して交差する方向(Y方向)における前記キャップ(70)の移動を制限する
付記1に記載の半導体発光装置。
【0214】
[付記3]
前記制限部材(90)は、
前記厚さ方向(Z方向)から視て、前記側壁(71~74)と重ならない位置に設けられ、前記厚さ方向(Z方向)と交差する方向のうち第1方向(X方向)における前記キャップ(70)の移動を制限する第1制限部(90A)と、
前記厚さ方向(Z方向)から視て、前記側壁(71~74)と重ならない位置に設けられ、前記第1方向(X方向)と直交する第2方向(Y方向)における前記キャップ(70)の移動を制限する第2制限部(90B)と、
を含む
付記1または2に記載の半導体発光装置。
【0215】
[付記4]
前記側壁(71~74)は、第1コーナ部分(79A)、第2コーナ部分(79B)、第3コーナ部分(79C)、および第4コーナ部分(79D)を含む矩形枠状に形成されており、
前記制限部材(100/100Q)は、第1部材(101)および第2部材(102)を含み、
前記第1部材(101)および前記第2部材(102)は、前記厚さ方向(Z方向)から視て前記側壁(71~74)の前記第1~第4コーナ部分(79A~79D)のうち対角上に配置された前記第1コーナ部分(79A)および前記第2コーナ部分(79B)と隣り合う位置に配置されることによって前記第1制限部(100A)および前記第2制限部(100B)を構成している
付記3に記載の半導体発光装置。
【0216】
[付記5]
前記制限部材(100)は、第3部材(103)および第4部材(104)をさらに含み、
前記第3部材(103)および前記第4部材(104)は、前記第1~第4コーナ部分(79A~79D)のうち対角上に配置された前記第3コーナ部分(79C)および前記第4コーナ部分(79D)と隣り合う位置に配置されることによって前記第1制限部(100A)および前記第2制限部(100B)を構成している
付記4に記載の半導体発光装置。
【0217】
[付記6]
前記側壁(71~74)は、
前記第1方向(X方向)に対向する第1側壁(71)および第2側壁(72)と、
前記第2方向(Y方向)に対向する第3側壁(73)および第4側壁(74)と、
を含み、
前記第1コーナ部分(79A)は、前記第1側壁(71)と前記第3側壁(73)とによって構成され、
前記第2コーナ部分(79B)は、前記第2側壁(72)と前記第4側壁(74)とによって構成され、
前記第1部材(101)は、前記厚さ方向(Z方向)から視て前記第1側壁(71)と前記第1方向(X方向)に隣り合う部分と前記第3側壁(73)と前記第2方向(Y方向)に隣り合う部分とを含み、
前記第2部材(102)は、前記厚さ方向(Z方向)から視て前記第2側壁(72)と前記第1方向(X方向)に隣り合う部分と前記第4側壁(74)と前記第2方向(Y方向)に隣り合う部分とを含む
付記4に記載の半導体発光装置。
【0218】
[付記7]
前記側壁(71~74)は、
前記第1方向(X方向)に対向する第1側壁(71)および第2側壁(72)と、
前記第2方向(Y方向)に対向する第3側壁(73)および第4側壁(74)と、
を含み、
前記第3コーナ部分(79C)は、前記第1側壁(71)と前記第4側壁(74)とによって構成され、
前記第4コーナ部分(79D)は、前記第2側壁(72)と前記第3側壁(73)とによって構成され、
前記第3部材(103)は、前記厚さ方向(Z方向)から視て、前記第1側壁(71)と前記第1方向(X方向)に隣り合う部分と前記第4側壁(74)と前記第2方向(Y方向)に隣り合う部分とを含み、
前記第4部材(104)は、前記厚さ方向(Z方向)から視て、前記第2側壁(72)と前記第1方向(X方向)に隣り合う部分と前記第3側壁(73)と前記第2方向(Y方向)に隣り合う部分とを含む
付記5に記載の半導体発光装置。
【0219】
[付記8]
前記側壁(71~74)は、前記厚さ方向(Z方向)から視て矩形枠状に形成され、かつ、
前記第1方向(X方向)に対向する第1側壁(71)および第2側壁(72)と、
前記第2方向(Y方向)に対向する第3側壁(73)および第4側壁(74)と、
前記第1側壁(71)と前記第3側壁(73)とによって構成された第1コーナ部分(79A)と、
前記第2側壁(72)と前記第4側壁(74)とによって構成された第2コーナ部分(79B)と、
前記第1側壁(71)と前記第4側壁(74)とによって構成された第3コーナ部分(79C)と、
前記第2側壁(72)と前記第3側壁(73)とによって構成された第4コーナ部分(79D)と、
を含み、
前記制限部材(110)は、
前記第1コーナ部分(79A)において前記側壁(71~74)の内側面(77)と隣り合う第1部材(111)と、
前記第4コーナ部分(79D)において前記側壁(71~74)の前記内側面(77)と隣り合う第2部材(112)と、
前記第3側壁(73)と前記第2方向(Y方向)に隣り合う位置において前記第3側壁(73)の外側面(78)と隣り合う第3部材(113)と、
を含み、
前記第1部材(111)および前記第2部材(112)は、前記第1制限部(110A)を構成し、
前記第1部材(111)、前記第2部材(112)、および前記第3部材(113)は、前記第2制限部(110B)を構成している
付記3に記載の半導体発光装置。
【0220】
[付記9]
前記第1部材(111)および前記第2部材(112)は、前記第2方向(Y方向)が長さ方向となり、前記第1方向(X方向)が幅方向となる矩形状であり、
前記第3部材(113)は、前記第1方向(X方向)が長さ方向となり、前記第2方向(Y方向)が幅方向となる矩形状である
付記8に記載の半導体発光装置。
【0221】
[付記10]
前記側壁(71~74)は、前記厚さ方向(Z方向)から視て前記第1方向(X方向)が長手方向となり、前記第2方向(Y方向)が短手方向となる矩形枠状に形成されており、
前記第3部材(113)の長さ寸法(LM3)は、前記第1部材(111)および前記第2部材(112)の各々の長さ寸法(LM1,LM2)よりも長い
付記9に記載の半導体発光装置。
【0222】
[付記11]
前記半導体発光素子(60)は、前記第2方向(Y方向)において前記第4側壁(74)と隣り合う位置に配置されている
付記8~10のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【0223】
[付記12]
前記制限部材(90)は、前記厚さ方向(Z方向)から視て前記半導体発光素子(60)を囲む枠状に形成されている
付記1に記載の半導体発光装置。
【0224】
[付記13]
前記制限部材(90)は、前記厚さ方向(Z方向)から視て前記側壁(71~74)の内側面(77)の周方向の全体にわたり設けられている
付記12に記載の半導体発光装置。
【0225】
[付記14]
前記制限部材(90P)は、前記厚さ方向(Z方向)から視て前記側壁(71~74)の外側面(78)の周方向の全体にわたり設けられている
付記12に記載の半導体発光装置。
【0226】
[付記15]
前記制限部材(90/100/110)は、絶縁材料によって形成されている
付記1~14のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【0227】
[付記16]
前記接着パターン(33)よりも内側に設けられ、前記半導体発光素子(60)と電気的に接続された表面電極(30)を備え、
前記制限部材(100/110)は、前記接着パターン(33)上および前記表面電極(30)上の少なくとも一方に設けられている
付記15に記載の半導体発光装置。
【0228】
[付記17]
前記制限部材(90/100/110)は、金属材料によって形成されている
付記1~14のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【0229】
[付記18]
前記接着パターン(33)よりも内側に設けられ、前記半導体発光素子(60)と電気的に接続された表面電極(30)を備え、
前記制限部材(100/110)は、前記接着パターン(33)または前記表面電極(30)と一体に形成されている
付記17に記載の半導体発光装置。
【0230】
[付記19]
前記半導体発光素子(60)は、前記半導体発光素子(60)からの光が前記側壁(74)を介して前記半導体発光装置(10)の外部に出射されるように構成された端面発光素子である
付記1~18のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【0231】
[付記20]
基板(820)に半導体発光素子(60)を配置する工程と、
前記基板(820)に設けられ、前記基板(820)の厚さ方向(Z方向)から視て前記半導体発光素子(60)を囲む接着パターン(33)のパターン表面(33S)に接着剤(50)を塗布する工程と、
前記厚さ方向(Z方向)において前記接着パターン(33)と対向している枠状に形成されかつ開口端面(76)および側面(77,78)を含む側壁(71~74)を有するキャップ(70)を、前記接着剤(50)上に配置して前記半導体発光素子(60)を収容する工程と、
前記接着剤(50)を硬化して前記接着パターン(33)に前記キャップ(70)を接着する工程と、
を備え、
前記基板(820)は、前記基板(820)上に設けられ、前記側壁(71~74)の前記側面(77/78)と接することによって前記厚さ方向(Z方向)と交差する方向(X方向/Y方向)における前記キャップ(70)の移動を制限する制限部材(90)を含み、
前記接着パターン(33)に前記キャップ(70)を接着する工程では、前記キャップ(70)に対して前記接着パターン(33)に向けて荷重を加えた状態で前記接着剤(50)を硬化させる
半導体発光装置(10)の製造方法。
【0232】
[付記21]
前記制限部材(90,100,110)は、前記接着パターン(33)の前記パターン表面(33S)に形成されたレジスト(890)によって構成されている
付記20に記載の半導体発光装置の製造方法。
【0233】
[付記22]
前記基板(820)には、前記半導体発光素子(60)が配置される素子表面電極(31)と、前記基板(820)の厚さ方向(Z方向)から視て前記半導体発光素子(60)を囲うように前記素子表面電極(31)上に形成されたレジストパターン(34)と、が形成され、
前記制限部材(90)および前記レジストパターン(34)は、共通の工程で形成される
付記21に記載の半導体発光装置の製造方法。
【0234】
[付記23]
前記制限部材(90)および前記レジストパターン(34)は、共通のレジスト(890)によって形成される
付記22に記載の半導体発光装置の製造方法。
【0235】
以上の説明は単に例示である。本開示の技術を説明する目的のために列挙された構成要素および方法(製造プロセス)以外に、より多くの考えられる組み合わせおよび置換が可能であることを当業者は認識し得る。本開示は、特許請求の範囲を含む本開示の範囲内に含まれるすべての代替、変形、および変更を包含することが意図される。
【符号の説明】
【0236】
10…半導体発光装置
20…基板
21…基板表面
22…基板裏面
23~26…第1~第4基板側面
30…表面電極
31…素子表面電極
32,32AA~32AD,32BA~32BD…ワイヤ接続電極
32E…凹部
32F…突出部
32G…切欠部
33…接着パターン
33A…第1領域
33B…第2領域
33S…パターン表面
34…レジストパターン
35…第1パターン
36…第2パターン
37…第3パターン
38…第4パターン
39A~39D…第1~第4コーナ部分
40…裏面電極
41…貫通配線
50…接着剤
60…端面発光素子
61…素子表面
62…素子裏面
63…素子電極
64…裏面電極
65,65AA~65AD,65BA~65BD…発光部
70…キャップ
71~74…第1~第4側壁
75…上壁
76…開口端面
77…内側面
78…外側面
79A~79D…第1~第4コーナ部分
80…サブマウント基板
81…表面
82…裏面
83…貫通配線
90,90P…制限部材
90A…第1制限部
90B…第2制限部
91…第1部材
92…第2部材
93…第3部材
94…第4部材
95~98…第1~第4コーナ部分
100,100P,100Q…制限部材
100A…第1制限部
100B…第2制限部
101~104…第1~第4部材
110…制限部材
110A…第1制限部
110B…第2制限部
111~113…第1~第3部材
121~124…切欠部
800…基材
801…基材表面
802…基材裏面
803…貫通孔
820…基板
830…表面電極膜
831…開口部
840…裏面電極膜
850…レジスト
851…開口部
860…表面レジスト
870…裏面レジスト
890…レジスト層
W1A~W4A,W1B~W4B…ワイヤ
GP…空隙
VL…中心仮想線
WA…接着パターンの幅寸法
W1…第1領域の幅寸法
W2…第2領域の幅寸法
W3…第1~第4側壁の幅寸法
LX1~LX3…第2領域のX方向の長さ寸法
LY1~LY3…第2領域のY方向の長さ寸法
LM1…第1部材の長さ寸法
LM2…第2部材の長さ寸法
LM3…第3部材の長さ寸法
WM1…第1部材の幅寸法
WM2…第2部材の幅寸法
WM3…第3部材の幅寸法
TA…接着剤の厚さ寸法
TB…制限部材の厚さ寸法
TC…サブマウント基板の厚さ寸法
TD…接着パターンの厚さ寸法
DG…空隙を形成する制限部材と第2側壁との間の距離