特開 2024-165917 シート剥離装置およびシート剥離方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024165917

(43)【公開日】2024-11-28

(54)【発明の名称】シート剥離装置およびシート剥離方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20241121BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023082508

(22)【出願日】2023-05-18

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】木村 浩二

(72)【発明者】

【氏名】荒井 善男

(72)【発明者】

【氏名】高野 健

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA11

5F131AA12

5F131AA13

5F131AA15

5F131AA21

5F131AA22

5F131AA23

5F131BA53

5F131CA09

5F131CA53

5F131DA13

5F131DA33

5F131DA42

5F131DD22

5F131DD33

5F131DD43

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5F131EA14

5F131EA15

5F131EA22

5F131EB01

5F131EB11

5F131EB31

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5F131EC32

5F131EC33

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5F131EC63

5F131EC64

5F131EC68

5F131EC69

5F131EC72

5F131EC76

5F131EC77

5F131HA43

5F131KA40

5F131KB45

5F131KB46

5F131KB58

(57)【要約】

【課題】剥離している接着シートの異常を検知することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供する。
【解決手段】シート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫから剥離する剥離手段２０と、被着体ＷＫから剥離している接着シートＡＳの剥離不良を検知する検知手段３０とを備え、剥離手段２０は、接着シートＡＳの既剥離部ＡＰを当該接着シートＡＳの未剥離部ＡＮに対向するように折り曲げた接着シートＡＳの折曲姿勢を維持する折曲姿勢維持手段２１と、当該折曲姿勢維持手段２１にトルクを付与して被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する剥離力を付与する剥離力付与手段２２とを備え、検知手段３０は、剥離力付与手段２２が付与するトルクの変化を検出することで、接着シートＡＳの剥離不良を検知する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離する剥離手段と、
前記被着体から剥離している前記接着シートの剥離不良を検知する検知手段とを備え、
前記剥離手段は、前記接着シートの既剥離部を当該接着シートの未剥離部に対向するように折り曲げた前記接着シートの折曲姿勢を維持する折曲姿勢維持手段と、当該折曲姿勢維持手段にトルクを付与して前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離力を付与する剥離力付与手段とを備え、
前記検知手段は、前記剥離力付与手段が付与するトルクの変化を検出することで、前記接着シートの剥離不良を検知することを特徴とするシート剥離装置。

【請求項2】

前記検知手段は、前記トルクの変化を検出することで、前記接着シートの折曲姿勢に異常があることを検知することを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。

【請求項3】

被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離する剥離工程と、
前記被着体から剥離している前記接着シートの剥離不良を検知する検知工程とを実施し、
前記剥離工程では、前記接着シートの既剥離部を当該接着シートの未剥離部に対向するように折り曲げた前記接着シートの折曲姿勢を折曲姿勢維持手段で維持する折曲姿勢維持工程と、当該折曲姿勢維持手段にトルクを付与して前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離力を付与する剥離力付与工程とを実施し、
前記検知工程では、前記剥離力付与工程で付与するトルクの変化を検出することで、前記接着シートの剥離不良を検知することを特徴とするシート剥離方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート剥離装置およびシート剥離方法に関する。

【背景技術】

【0002】

被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－６８７８９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたシート剥離装置１（シート剥離装置）では、被着体Ｗ（被着体）から剥離している保護シートＳ（接着シート）に異常があっても、当該異常を検知することができないという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、剥離している接着シートの異常を検知することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、剥離力付与手段が付与するトルクの変化を検出することで、接着シートの剥離不良を検知するので、剥離している接着シートの異常を検知することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）は、本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の説明図。（Ｂ）、（Ｃ）は、シート剥離装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

シート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに剥離用テープＰＴを貼付する貼付工程を実施する貼付手段１０と、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫから剥離する剥離工程を実施する剥離手段２０と、被着体ＷＫから剥離している接着シートＡＳの剥離不良を検知する検知工程を実施する検知手段３０とを備え、被着体ＷＫを支持する支持手段４０の近傍に配置されている。なお、本実施形態の場合、接着シートＡＳは、基材ＡＢと、基材ＡＢに積層された接着剤層ＡＤとを備えている。

【0011】

貼付手段１０は、感熱接着性の剥離用テープＰＴを繰り出す繰出手段１１と、接着シートＡＳに剥離用テープＰＴを押圧して貼付する押圧手段１２と、剥離用テープＰＴを所定長さに切断する切断手段１３と、駆動機器としての直動モータ１４の出力軸１４Ａに支持され、当該貼付手段１０を構成する前述の各手段を直接的または間接的に支持するフレーム１５とを備えている。
繰出手段１１は、剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ１１Ａと、駆動機器としての回動モータ１１Ｂの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１１Ｃとで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ１１Ｄと、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ１１Ｅと、駆動機器としてのリニアモータ１１Ｆのスライダ１１Ｇに支持されたスライドプレート１１Ｈと、駆動機器としての直動モータ１１Ｊの出力軸１１Ｋに回転可能に支持された押えローラ１１Ｌと、駆動機器としてのリニアモータ１１Ｍのスライダ１１Ｎに支持され、一対の把持爪１１Ｐを有する保持手段であって駆動機器としてのチャックシリンダ１１Ｑとを備えている。
押圧手段１２は、駆動機器としての直動モータ１２Ａと、直動モータ１２Ａの出力軸１２Ｂに支持されたコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段１２Ｃと、加熱手段１２Ｃに支持された押圧部材１２Ｄとを備えている。
切断手段１３は、駆動機器としての直動モータ１３Ａと、直動モータ１３Ａの出力軸１３Ｂに支持された切断刃１３Ｃと、切断刃１３Ｃを受ける受け板１３Ｄとを備えている。

【0012】

剥離手段２０は、接着シートＡＳの既剥離部ＡＰを当該接着シートＡＳの未剥離部ＡＮに対向するように折り曲げた接着シートＡＳの折曲姿勢を維持する折曲姿勢維持工程を実施する折曲姿勢維持手段２１と、当該折曲姿勢維持手段２１にトルクを付与して被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する剥離力を付与する剥離力付与工程を実施する剥離力付与手段２２とを備えている。
折曲姿勢維持手段２１は、駆動機器としてのリニアモータ２１Ａと、リニアモータ２１Ａのスライダ２１Ｂに剥離力付与手段２２を介して支持された剥離ローラ２１Ｃとを備えている。
剥離力付与手段２２は、スライダ２１Ｂに支持され、出力軸２２Ｂで剥離ローラ２１Ｃを支持する駆動機器としての回動モータ２２Ａと、駆動機器としての直動モータ２２Ｃと、直動モータ２２Ｃの出力軸２２Ｄに回転自在に支持され、剥離ローラ２１Ｃとで接着シートＡＳの既剥離部ＡＰを挟み込むピンチローラ２２Ｅとを備えている。

【0013】

検知手段３０は、回動モータ２２Ａのトルクを検出するトルクセンサやカレントセンサ等のトルク検出手段３１を備え、剥離力付与手段２２が付与するトルクの変化を検出することで、接着シートＡＳの剥離不良を検知する構成となっている。

【0014】

支持手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、リニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面４２Ａを有するテーブル４２とを備えている。

【0015】

以上のシート剥離装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート剥離装置ＥＡに対し、当該シート剥離装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように剥離用テープＰＴをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。なお、検知手段３０には、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する剥離動作中に、接着シートＡＳの基材ＡＢが接着剤層ＡＤから剥離してしまったり、接着シートＡＳが切断してしまったりする剥離不良が発生しないときに検知する回動モータ２２Ａのトルクの範囲が、正常トルク範囲として記憶されている。次いで、貼付手段１０が加熱手段１２Ｃを駆動し、シート剥離装置ＥＡの自動運転が行われている間、押圧部材１２Ｄを所定の温度に加熱してその温度を維持する。その後、使用者またはベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、支持面４２Ａ上の所定の位置に被着体ＷＫを載置すると、支持手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４２Ａでの吸着保持を開始する。

【0016】

次に、貼付手段１０がリニアモータ１１Ｆを駆動し、スライドプレート１１Ｈを右方に移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、一対の把持爪１１Ｐ間に剥離用テープＰＴを繰り出す。そして、貼付手段１０が直動モータ１１Ｊを駆動し、押えローラ１１Ｌを上方に退避させた後、リニアモータ１１Ｆを駆動し、一対の把持爪１１Ｐ間に剥離用テープＰＴを置き去りにしてスライドプレート１１Ｈを初期位置に復帰させる。次いで、貼付手段１０がチャックシリンダ１１Ｑを駆動し、把持爪１１Ｐで剥離用テープＰＴを把持した後、リニアモータ１１Ｍを駆動し、チャックシリンダ１１Ｑを右方に移動させ、剥離用テープＰＴを引き出す。その後、貼付手段１０が直動モータ１２Ａを駆動し、押圧部材１２Ｄを下降させ、図１（Ｂ）に示すように、当該押圧部材１２Ｄで剥離用テープＰＴを接着シートＡＳの剥離開始部である右端部に押圧して貼付する。次に、貼付手段１０が直動モータ１１Ｊを駆動し、押えローラ１１Ｌを初期位置に復帰させた後、直動モータ１３Ａを駆動し、切断刃１３Ｃを下降させて剥離用テープＰＴを切断する。そして、貼付手段１０が直動モータ１２Ａ、１３Ａを駆動し、押圧部材１２Ｄおよび切断刃１３Ｃを初期位置に復帰させる。次いで、剥離手段２０が直動モータ２２Ｃを駆動し、切断された剥離用テープＰＴを剥離ローラ２１Ｃとピンチローラ２２Ｅとで挟み込む。その後、支持手段４０がリニアモータ４１を駆動し、接着シートＡＳの右端部を剥離ローラ２１Ｃの最下部直下に位置させると、剥離手段２０がリニアモータ２１Ａを駆動し、剥離ローラ２１Ｃで剥離用テープＰＴを押さえ付けて当該剥離用テープＰＴを所定の折曲姿勢に形成する。

【0017】

次に、貼付手段１０が直動モータ１４を駆動し、フレーム１５を上方に退避させた後、剥離手段２０および支持手段４０が回動モータ２２Ａおよびリニアモータ４１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、剥離ローラ２１ＣをＲＤ方向に回転させるとともに、テーブル４２を右方に移動させる。この際、剥離手段２０は、テーブル４２の移動速度に合わせて剥離ローラ２１Ｃの回転速度を制御し、図１（Ｃ）に示すように、剥離ローラ２１Ｃの下部に接着シートＡＳの折り曲げ部が位置し、且つ、接着シートＡＳの既剥離部ＡＰが当該接着シートＡＳの未剥離部ＡＮに対向した折曲姿勢を維持するように、回動モータ２２Ａからトルクを出力して剥離ローラ２１Ｃに付与する。また、被着体ＷＫから接着シートＡＳが剥離される剥離動作中は、貼付手段１０がリニアモータ１１Ｍを駆動し、ピンチローラ２２Ｅと把持爪１１Ｐとの間に位置する接着シートＡＳが弛まない程度に、当該接着シートＡＳに張力を付与するようになっている。

【0018】

ここで、剥離動作中は、検知手段３０がトルク検出手段３１を駆動し、回動モータ２２Ａのトルクを検知する。そして、剥離動作中において、検知手段３０が検知する回動モータ２２Ａのトルクが正常トルク範囲から外れることがなく、被着体ＷＫから接着シートＡＳ全体が剥離されると、貼付手段１０、剥離手段２０および支持手段４０がリニアモータ１１Ｍ、回動モータ２２Ａおよびリニアモータ４１の駆動を停止した後、支持手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４２Ａでの吸着保持を解除する。次いで、貼付手段１０がチャックシリンダ１１Ｑを駆動し、把持爪１１Ｐによる剥離用テープＰＴの把持を解除して、剥離した接着シートＡＳを回収する箱や袋等の図示しない回収手段や使用者に接着シートＡＳを受け渡す。その後、図示しない搬送手段が被着体ＷＫを保持して次工程に搬送すると、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、それぞれの部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0019】

一方、剥離動作中において、検知手段３０が検知する回動モータ２２Ａのトルクが正常トルク範囲から外れると、検知手段３０は、表示器やスピーカ等の図示しない警告手段やシート剥離装置ＥＡの動作を制御するコンピュータやシーケンサ等の図示しない制御手段等に対し、電気信号や電波信号等の異常検知信号を出力する。次に、図示しない警告手段や図示しない制御手段等が異常検知信号を受信すると、当該警告手段が表示器やスピーカ等を介して光や音等の警告シグナルを発することで、剥離不良が発生したことを使用者に伝えたり、シート剥離装置ＥＡの動作を停止したりするトラブル対応を行う。

【0020】

以上のような実施形態によれば、剥離力付与手段２２が付与するトルクの変化を検出することで、接着シートＡＳの剥離不良を検知するので、剥離している接着シートＡＳの異常を検知することができる。

【0021】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0022】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、検知手段は、被着体から剥離している接着シートの剥離不良を検知するものであって、剥離力付与手段が付与するトルクの変化を検出することで、接着シートの剥離不良を検知可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0023】

貼付手段１０は、帯状の剥離用テープＰＴを切断することなく接着シートＡＳに貼付してもよいし、枚葉の剥離用テープＰＴを接着シートＡＳに貼付してもよく、枚葉の剥離用テープＰＴを接着シートＡＳに貼付する場合、切断手段１３が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
貼付手段１０は、感圧接着性の剥離用テープＰＴを接着シートＡＳに貼付してもよく、この場合、加熱手段１２Ｃが備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
繰出手段１１は、支持ローラ１１Ａやガイドローラ１１Ｅ等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で剥離用テープＰＴを支持したり案内したりしてもよいし、剥離用テープＰＴを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよい。
押圧手段１２は、放電加熱器、マイクロ波照射装置、温風吹付装置等の加熱手段を備えてもよいし、加熱手段に代えてまたは併用して、押圧部材１２Ｄを振動させる超音波振動装置やバイブレータ等の振動手段を備えてもよい。
貼付手段１０は、本発明のシート剥離装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で接着シートＡＳに剥離用テープＰＴを貼付してもよい。

【0024】

剥離手段２０は、剥離力付与手段２２に直動モータ２２Ｃと、ピンチローラ２２Ｅとが備わっていなくてもよいし、折曲姿勢維持手段２１にリニアモータ２１Ａが備わっていなくてもよく、リニアモータ２１Ａが備わっていない場合、リニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持された駆動機器としての直動モータの出力軸でテーブル４２を支持し、テーブル４２を上昇させて剥離ローラ２１Ｃで剥離用テープＰＴや接着シートＡＳの既剥離部ＡＰを押さえ付けることで、各々の折曲姿勢を形成してもよい。

【0025】

検知手段３０は、トルクの変化を検出することで、接着シートＡＳの既剥離部ＡＰの折曲姿勢に異常があることを検知してもよい。既剥離部ＡＰの折曲姿勢に異常がある場合、回動モータ２２Ａのトルクが正常トルク範囲よりも小さくなったり、大きくなったりして正常トルク範囲から外れるため、検知手段３０は、トルクの変化を検出することで、接着シートＡＳの既剥離部ＡＰの折曲姿勢に異常があることを検知することができる。
検知手段３０は、トルクの変化を検出することで、剥離している接着シートＡＳから剥離用テープＰＴが離脱したことを検知してもよいし、接着シートＡＳが切断してしまったり、裂けてしまったりしてその一部が被着体ＷＫに貼付されたままになっていることを検知してもよい。これらの接着シートＡＳの剥離不良が発生する場合、回動モータ２２Ａのトルクが正常トルク範囲よりも小さくなって正常トルク範囲から外れるため、検知手段３０は、トルクの変化を検出することで、剥離不良を検知することができる。
検知手段３０は、トルクの変化を検出することで、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する剥離速度に異常があることを検知してもよい。操作手段を介したシート情報の誤入力や、装置の不具合等によって、被着体ＷＫからの接着シートＡＳの剥離速度が所定の速度範囲よりも速くなると、回動モータ２２Ａのトルクが正常トルク範囲よりも大きくなり、接着シートＡＳの剥離速度が遅くなると、回動モータ２２Ａのトルクが正常トルク範囲よりも小さくなる。そのため、検知手段３０は、トルクの変化を検出することで、接着シートＡＳの剥離速度に異常があることを検知することができる。
トルク検出手段３１は、回動モータ２２Ａに内蔵されてもよいし、回動モータ２２Ａの出力軸２２Ｂに設けられてもよいし、回動モータ２２Ａのトルクを直接検出してもよいし、回動モータ２２Ａの回転数や電圧等の回動モータ２２Ａの運転状態を示す状態量を用いて、回動モータ２２Ａのトルクを演算によって検出してもよい。

【0026】

支持手段４０は、本発明のシート剥離装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で被着体ＷＫを支持したり、移動したりしてもよい。

【0027】

シート剥離装置ＥＡは、接着シートＡＳが剥離された被着体ＷＫを検査するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された被着体検査手段を備え、検知手段３０が接着シートＡＳの状態に異常があることを検知したときに、被着体検査手段で被着体ＷＫを検査してもよい。この場合、被着体検査手段は、被着体ＷＫの検査として、例えば、被着体ＷＫが損傷しているかを検査してもよいし、接着剤層ＡＤの接着剤が被着体ＷＫに残ったままになっているかを検査してもよい。
シート剥離装置ＥＡは、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、被着体ＷＫの下面や側面等に貼付された接着シートＡＳを剥離するように構成してもよい。

【0028】

被着体ＷＫは、シート部材を介してフレーム部材としてのリングフレームと一体化されていてもよいし、リングフレームと一体化されていなくてもよい。
フレーム部材は、リングフレーム以外に、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよい。

【0029】

本発明における接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層ＡＤだけの単層のもの、基材ＡＢと接着剤層ＡＤとが積層された２層のもの、基材ＡＢと接着剤層ＡＤとの間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材ＡＢの上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材ＡＢ、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層ＡＤのみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層ＡＤが積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0030】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0031】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0032】

ＥＡ…シート剥離装置
２０…剥離手段
２１…折曲姿勢維持手段
２２…剥離力付与手段
３０…検知手段
ＡＮ…未剥離部
ＡＰ…既剥離部
ＡＳ…接着シート
ＷＫ…被着体

【図1】