特開 2024-165954 極低温冷凍機および極低温冷凍機の運転方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024165954

(43)【公開日】2024-11-28

(54)【発明の名称】極低温冷凍機および極低温冷凍機の運転方法

(51)【国際特許分類】

   F25B 9/14 20060101AFI20241121BHJP

   F25B 9/00 20060101ALI20241121BHJP

【ＦＩ】

F25B9/14 530A

F25B9/00 A

F25B9/00 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023082575

(22)【出願日】2023-05-18

(71)【出願人】

【識別番号】000002107

【氏名又は名称】住友重機械工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105924

【弁理士】

【氏名又は名称】森下 賢樹

(74)【代理人】

【識別番号】100116274

【弁理士】

【氏名又は名称】富所 輝観夫

(72)【発明者】

【氏名】大谷 祐貴

(57)【要約】

【課題】極低温冷凍機の低圧側冷媒ガス流路に生じうるオイル汚染に対処する。
【解決手段】極低温冷凍機１０は、圧縮機１２と、コールドヘッド１４と、コールドヘッド１４をバイパスするように圧縮機１２に接続されたバイパスバルブ３３と、圧縮機１２を停止させ、圧縮機１２の停止から遅延させてバイパスバルブ３３を開き、圧縮機１２の停止からバイパスバルブ３３の開放までの期間の少なくとも一部においてコールドヘッド１４を運転するように構成されるコントローラ１００と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧縮機と、
コールドヘッドと、
前記コールドヘッドをバイパスするように前記圧縮機に接続されたバイパスバルブと、
前記圧縮機を停止させ、
前記圧縮機の停止から遅延させて前記バイパスバルブを開き、
前記圧縮機の停止から前記バイパスバルブの開放までの期間の少なくとも一部において前記コールドヘッドを運転するように構成されるコントローラと、を備えることを特徴とする極低温冷凍機。

【請求項2】

前記バイパスバルブの出入口間の差圧、または入口側の圧力、または出口側の圧力を測定する圧力センサをさらに備え、
前記コントローラは、
前記圧縮機の停止後であって前記コールドヘッドの運転中に、前記圧力センサによって測定された圧力を取得し、
取得された圧力に基づいて、前記バイパスバルブを開き、前記コールドヘッドを停止させるように構成されることを特徴とする請求項１に記載の極低温冷凍機。

【請求項3】

前記コントローラは、
測定された前記バイパスバルブの出入口間の差圧を取得し、
取得された差圧を差圧しきい値と比較し、
取得された差圧が前記差圧しきい値を下回るとき、前記バイパスバルブを開き、前記コールドヘッドを停止させるように構成されることを特徴とする請求項２に記載の極低温冷凍機。

【請求項4】

前記圧縮機は、前記圧縮機を駆動する圧縮機モータを備え、
前記コールドヘッドは、前記コールドヘッドを駆動するコールドヘッドモータを備え、
前記コントローラは、前記圧縮機モータを第１速度プロファイルに従って停止させ、前記コールドヘッドモータを第２速度プロファイルに従って停止させるように構成され、
前記第１速度プロファイルは、前記圧縮機モータを第１タイミングで停止させるように前記圧縮機モータの速度を減少させるように設定され、
前記第２速度プロファイルは、前記コールドヘッドモータを前記第１タイミングから遅れた第２タイミングで停止させるように前記コールドヘッドモータの速度を減少させるように設定されていることを特徴とする請求項１に記載の極低温冷凍機。

【請求項5】

前記コントローラは、
前記圧縮機の停止から、予め定められた待機時間をカウントし、
前記待機時間が経過するとき前記コールドヘッドを停止させるように構成されることを特徴とする請求項１に記載の極低温冷凍機。

【請求項6】

前記コントローラは、前記コールドヘッドの停止後に前記バイパスバルブを開くように構成されることを特徴とする請求項４または５に記載の極低温冷凍機。

【請求項7】

極低温冷凍機の運転方法であって、前記極低温冷凍機は、圧縮機と、コールドヘッドと、前記コールドヘッドをバイパスするように前記圧縮機に接続されたバイパスバルブとを備え、前記方法は、
前記圧縮機を停止させることと、
前記圧縮機の停止から遅延させて前記バイパスバルブを開くことと、
前記圧縮機の停止から前記バイパスバルブの開放までの期間の少なくとも一部において前記コールドヘッドを運転することと、を備えることを特徴とする方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、極低温冷凍機および極低温冷凍機の運転方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、ギフォード・マクマホン（Gifford-McMahon；ＧＭ）冷凍機などの極低温冷凍機では、オイル潤滑式の圧縮機がよく用いられている。圧縮機で圧縮された高圧の冷媒ガスは潤滑オイルを含有しうるので、オイルセパレータとアドゾーバが設けられている。オイルセパレータは、高圧冷媒ガスからオイルを分離・回収する。アドゾーバは、オイルセパレータを通過した高圧冷媒ガスから残留オイル成分を吸着により除去する。高圧冷媒ガスは、こうしてオイルセパレータとアドゾーバにより清浄化され、膨張機として働くコールドヘッドに供給される。コールドヘッドでの膨張により低圧となった冷媒ガスは、圧縮機に回収される。圧縮機には、高圧側の冷媒ガス流路を低圧側の冷媒ガス流路につなぐバイパス流路が設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００１－７４３２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明者は、上記の極低温冷凍機ではオイル除去された冷媒ガスがコールドヘッドに供給されているにもかかわらず、コールドヘッドから圧縮機に回収される低圧冷媒ガスが流れる低圧側の冷媒ガス流路が時にオイルで汚染されることを発見した。

【0005】

本発明のある態様の例示的な目的のひとつは、極低温冷凍機の低圧側冷媒ガス流路に生じうるオイル汚染に対処することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のある態様によると、極低温冷凍機は、圧縮機と、コールドヘッドと、コールドヘッドをバイパスするように圧縮機に接続されたバイパスバルブと、圧縮機を停止させ、圧縮機の停止から遅延させてバイパスバルブを開き、圧縮機の停止からバイパスバルブの開放までの期間の少なくとも一部においてコールドヘッドを運転するように構成されるコントローラと、を備える。

【0007】

本発明のある態様によると、極低温冷凍機の運転方法が提供される。極低温冷凍機は、圧縮機と、コールドヘッドと、コールドヘッドをバイパスするように圧縮機に接続されたバイパスバルブとを備える。方法は、圧縮機を停止させることと、圧縮機の停止から遅延させてバイパスバルブを開くことと、圧縮機の停止からバイパスバルブの開放までの期間の少なくとも一部においてコールドヘッドを運転することと、を備える。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、極低温冷凍機の低圧側冷媒ガス流路に生じうるオイル汚染に対処することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施の形態に係る極低温冷凍機を概略的に示す図である。

【図2】実施の形態に係り、極低温冷凍機の運転方法を説明するフローチャートである。

【図3】実施の形態に係り、極低温冷凍機の運転方法の一例を説明するフローチャートである。

【図4】実施の形態に係り、極低温冷凍機の運転方法の一例を説明するフローチャートである。

【図5】図５（ａ）および図５（ｂ）は、実施の形態に係り、圧縮機モータおよびコールドヘッドモータの速度プロファイルの例を示す模式図である。

【図6】実施の形態に係り、極低温冷凍機の運転方法の一例を説明するフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。説明および図面において同一または同等の構成要素、部材、処理には同一の符号を付し、重複する説明は適宜省略する。図示される各部の縮尺や形状は、説明を容易にするために便宜的に設定されており、特に言及がない限り限定的に解釈されるものではない。実施の形態は例示であり、本発明の範囲を何ら限定するものではない。実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。

【0011】

図１は、実施の形態に係る極低温冷凍機を概略的に示す図である。

【0012】

極低温冷凍機１０は、圧縮機１２と、コールドヘッド１４とを備える。圧縮機１２は、極低温冷凍機１０の冷媒ガスをコールドヘッド１４から回収し、回収した冷媒ガスを昇圧して、再び冷媒ガスをコールドヘッド１４に供給するよう構成されている。圧縮機１２は、圧縮機ユニットとも称される。コールドヘッド１４は、膨張機とも称され、室温部１４ａと、冷却ステージとも称される低温部１４ｂとを有する。圧縮機１２とコールドヘッド１４により極低温冷凍機１０の冷凍サイクルが構成され、それにより低温部１４ｂが所望の極低温に冷却される。冷媒ガスは、作動ガスとも称され、通例はヘリウムガスであるが、適切な他のガスが用いられてもよい。

【0013】

極低温冷凍機１０は、一例として、単段式または二段式のギフォード・マクマホン（Gifford-McMahon；ＧＭ）冷凍機であるが、パルス管冷凍機、スターリング冷凍機、またはそのほかのタイプの極低温冷凍機であってもよい。コールドヘッド１４は、極低温冷凍機１０のタイプに応じて異なる構成を有するが、圧縮機１２は、極低温冷凍機１０のタイプによらず、以下に説明する構成を用いることができる。

【0014】

なお、一般に、圧縮機１２からコールドヘッド１４に供給される冷媒ガスの圧力と、コールドヘッド１４から圧縮機１２に回収される冷媒ガスの圧力は、ともに大気圧よりかなり高く、それぞれ第１高圧及び第２高圧と呼ぶことができる。説明の便宜上、第１高圧及び第２高圧はそれぞれ単に高圧及び低圧とも呼ばれる。典型的には、高圧は例えば２～３ＭＰａである。低圧は例えば０．５～１．５ＭＰａであり、例えば約０．８ＭＰａである。

【0015】

圧縮機１２は、圧縮機本体１６、オイルライン１８、オイルセパレータ２０、アドゾーバ２１を備える。また、圧縮機１２は、吐出ポート２２、吸入ポート２４、吐出流路２６、吸入流路２８、ストレージタンク３０、冷媒ガスチャージポート３１、バイパスバルブ３３を有するバイパス流路３２、冷媒ガス冷却部３４、オイル冷却部３６を備える。

【0016】

圧縮機本体１６は、その吸入口から吸入される冷媒ガスを内部で圧縮して吐出口から吐出するよう構成されている。圧縮機本体１６は、例えば、スクロール方式、ロータリ式、または冷媒ガスを昇圧するそのほかのポンプであってもよい。圧縮機本体１６は、圧縮カプセルと称されることもある。

【0017】

圧縮機本体１６は、その駆動源として圧縮機モータ１７を備える。圧縮機モータ１７は、例えば、外部電源（例えば、商用の三相交流電源）からの給電により動作する電気モータである。圧縮機モータ１７は、例えば電源周波数に相当する一定の運転周波数すなわち回転数で動作してもよく、それにより、圧縮機本体１６は、固定された一定の冷媒ガス流量を吐出してもよい。あるいは、圧縮機モータ１７は、運転周波数すなわち回転数を可変としてもよく、それにより、圧縮機本体１６は、吐出する冷媒ガス流量を可変とするよう構成されていてもよい。この場合、後述のコントローラ１００による制御のもとで圧縮機モータ１７の運転周波数を制御する圧縮機インバータが、圧縮機モータ１７とコントローラ１００との間に接続されてもよい。圧縮機モータ１７の運転周波数は、３０Ｈｚから１００Ｈｚの範囲、または４０Ｈｚから７０Ｈｚの範囲で制御されてもよい。

【0018】

圧縮機本体１６は、潤滑と冷却のためにオイルが使用されるオイル潤滑式であり、吸入された冷媒ガスは圧縮機本体１６内でこのオイルに直接さらされる。よって、冷媒ガスは、オイルが若干混入した状態で吐出口から送出される。

【0019】

オイルライン１８は、オイル循環ライン１８ａと、オイル戻りライン１８ｂとを備える。オイル循環ライン１８ａは、オイル冷却部３６を有し、圧縮機本体１６から流出するオイルがオイル冷却部３６により冷却され再び圧縮機本体１６に流入するように構成されている。オイル循環ライン１８ａには、内部を流れるオイル流量を制御するオリフィスが設けられていてもよい。また、オイル循環ライン１８ａには、オイルに含まれる塵埃を除去するフィルターが設けられてもよい。オイル戻りライン１８ｂは、オイルセパレータ２０で回収されたオイルを圧縮機本体１６に戻すために、オイルセパレータ２０を吸入流路２８に接続する。オイル戻りライン１８ｂには、オイルセパレータ２０で回収されたオイルを含む冷媒ガスが流れる。オイル戻りライン１８ｂの途中には、オイルセパレータ２０で分離されたオイルに含まれる塵埃を除去するフィルターと、圧縮機本体１６へのオイルの戻り量を制御するオリフィスが設けられてもよい。

【0020】

オイルセパレータ２０は、圧縮機本体１６を通ることによって冷媒ガスに混入するオイルを冷媒ガスから分離するために設けられている。オイルセパレータ２０は、吐出流路２６の上流部２６ａを通じて圧縮機本体１６の吐出口に接続されている。また、オイルセパレータ２０は、吐出流路２６の下流部２６ｂを通じて吐出ポート２２に接続されている。

【0021】

アドゾーバ２１は、吐出流路２６に設けられ、冷媒ガス中のガス状オイル成分（例えば、気化したオイルやミスト状のオイルなど）や水分を吸着することにより冷媒ガスを浄化する。アドゾーバ２１は、吐出流路２６の下流部２６ｂの途中、つまりオイルセパレータ２０と吐出ポート２２の間で吐出流路２６上に配置されている。

【0022】

吐出ポート２２は、圧縮機本体１６により高圧に昇圧された冷媒ガスを圧縮機１２から送出するために圧縮機筐体３８に設置された冷媒ガスの出口であり、吸入ポート２４は、低圧の冷媒ガスを圧縮機１２に受け入れるために圧縮機筐体３８に設置された冷媒ガスの入口である。吐出流路２６は、吐出ポート２２を圧縮機本体１６の吐出口に接続する。吐出流路２６には、圧縮機本体１６から吐出ポート２２へと吐出される冷媒ガスが流れる。吸入流路２８は、吸入ポート２４を圧縮機本体１６の吸入口に接続する。吸入流路２８には、吸入ポート２４から圧縮機本体１６に吸入される冷媒ガスが流れる。吐出流路２６と吸入流路２８はそれぞれ、圧縮機筐体３８内に設けられた圧縮機１２の内部配管であり、フレキシブル管またはリジッド管であってもよい。

【0023】

ストレージタンク３０は、コールドヘッド１４から圧縮機１２へと戻る低圧の冷媒ガスに含まれる脈動を除去するための容積として設けられている。ストレージタンク３０は、吸入流路２８に配置されている。

【0024】

冷媒ガスチャージポート３１は、極低温冷凍機１０に冷媒ガスを充填するための充填口として圧縮機筐体３８に設けられている。冷媒ガスチャージポート３１は、この実施の形態では、ストレージタンク３０と吸入ポート２４の間で吸入流路２８に接続されている。あるいは、冷媒ガスチャージポート３１は、ストレージタンク３０に接続されてもよい。冷媒ガスチャージポート３１は、通常は蓋で閉じられていてもよい。冷媒ガスを充填するとき、冷媒ガスチャージポート３１に冷媒ガスタンクが接続され、そこから冷媒ガスが冷媒ガスチャージポート３１を通じて圧縮機１２内に供給される。

【0025】

バイパスバルブ３３は、コールドヘッド１４をバイパスするように圧縮機１２に接続されている。バイパスバルブ３３は、バイパス流路３２上に設けられ、バイパス流路３２は、コールドヘッド１４をバイパスして吐出流路２６から吸入流路２８に冷媒ガスを還流させるように吐出流路２６を吸入流路２８に接続する。一例として、バイパス流路３２は、図示されるように、オイルセパレータ２０とアドゾーバ２１の間で吐出流路２６から分岐し、ストレージタンク３０に接続されてもよい。

【0026】

バイパスバルブ３３は、極低温冷凍機１０の運転中には閉鎖され、吐出流路２６と吸入流路２８を分離し、それにより極低温冷凍機１０の高圧側と低圧側の圧力差が維持される。バイパスバルブ３３は、詳細は後述するが、極低温冷凍機１０を運転停止するとき開放される。バイパスバルブ３３の開放により、吐出流路２６からバイパス流路３２を通じた吸入流路２８への冷媒ガスの流入が許容され、吐出流路２６と吸入流路２８の冷媒ガス圧力が均圧化される。よって、バイパスバルブ３３は、均圧弁と称されてもよい。バイパスバルブ３３は、例えば、常開型の開閉弁であってもよく、極低温冷凍機１０の給電停止により自然に開放されてもよい。

【0027】

なお、バイパス流路３２には、バイパスバルブ３３と並列に流量制御弁が設けられてもよい。この流量制御弁を利用して、吐出流路２６と吸入流路２８の差圧が調整されてもよい。あるいは、バイパスバルブ３３はその開度を調整可能であってもよく、極低温冷凍機１０の運転中にバイパスバルブ３３を利用して、吐出流路２６と吸入流路２８の差圧が調整されてもよい。

【0028】

冷媒ガス冷却部３４およびオイル冷却部３６は、例えば冷却水などの冷却媒体を用いて圧縮機１２を冷却する冷却系を構成する。冷媒ガス冷却部３４は、吐出流路２６の上流部２６ａに配置され、圧縮機本体１６での冷媒ガスの圧縮に伴って生じる圧縮熱により加熱された高圧の冷媒ガスを冷却するために設けられている。冷媒ガス冷却部３４は、冷媒ガスと冷却媒体との熱交換により冷媒ガスを冷却する。また、オイル冷却部３６は、圧縮機本体１６から流出するオイルと冷却媒体との熱交換によりオイルを冷却する。冷却媒体は、外部から圧縮機１２に供給され、冷媒ガス冷却部３４とオイル冷却部３６を経て、圧縮機１２の外部に排出される。このようにして、圧縮機本体１６で生じる圧縮熱は、冷却媒体とともに圧縮機１２の外へと除去される。なお、冷却媒体は、例えばチラー（図示せず）により冷却され、再び供給されてもよい。

【0029】

また、極低温冷凍機１０には、圧力センサ３７（例えば、第１圧力センサ３７ａ及び／または第２圧力センサ３７ｂ）が設けられている。圧力センサ３７は、バイパスバルブ３３の出入口間の差圧、または入口側の圧力、または出口側の圧力を測定する。例えば、第１圧力センサ３７ａは、吐出流路２６を流れる冷媒ガスの圧力を測定するよう吐出流路２６に配置されている。第１圧力センサ３７ａは、測定された圧力を表す第１測定圧信号ＰＨをコントローラ１００に出力するよう構成されている。このようにして、第１圧力センサ３７ａは、バイパスバルブ３３の入口側の圧力を測定することができる。第２圧力センサ３７ｂは、吸入流路２８を流れる冷媒ガスの圧力を測定するよう吸入流路２８に配置されている。第２圧力センサ３７ｂは、測定された圧力を表す第２測定圧信号ＰＬをコントローラ１００に出力するよう構成されている。このようにして、第２圧力センサ３７ｂは、バイパスバルブ３３の出口側の圧力を測定することができる。また、第１圧力センサ３７ａと第２圧力センサ３７ｂによって測定された圧力からバイパスバルブ３３の出入口間の差圧を取得することができる。

【0030】

圧縮機筐体３８には、圧縮機本体１６をはじめとして、吐出流路２６上のオイルセパレータ２０、アドゾーバ２１、吸入流路２８上のストレージタンク３０といった圧縮機１２の各構成要素が収容されている。冷媒ガス冷却部３４、オイル冷却部３６、圧力センサ３７も圧縮機筐体３８に収容されている。

【0031】

コールドヘッド１４は、コールドヘッド１４への冷媒ガスの出入口として室温部１４ａに高圧ポート４０と低圧ポート４１とを備える。高圧ポート４０は、高圧配管４２によって圧縮機１２の吐出ポート２２に接続され、低圧ポート４１は、低圧配管４３によって圧縮機１２の吸入ポート２４に接続されている。高圧配管４２と低圧配管４３は、圧縮機１２の外に配置される。通例、高圧配管４２と低圧配管４３は、フレキシブル管であるが、リジッド管であってもよい。

【0032】

コールドヘッド１４は、コールドヘッド１４を駆動するコールドヘッドモータ１５を備える。知られているように、コールドヘッドモータ１５は、コールドヘッド１４内の冷媒ガスの膨張空間を高圧ポート４０と低圧ポート４１に交互に接続する圧力切替バルブを駆動する。また、ＧＭ冷凍機の場合、コールドヘッドモータ１５は、コールドヘッド１４内で膨張空間の容積を定めるディスプレーサを駆動する。コールドヘッドモータ１５の駆動により、膨張空間には周期的な容積変動とこれに同期した冷媒ガスの圧力変動が生成され、それにより極低温冷凍機１０の冷凍サイクル（例えばＧＭサイクル）が構成される。

【0033】

コールドヘッドモータ１５は、例えば、外部電源（例えば、商用の三相交流電源）からの給電により動作する電気モータである。コールドヘッドモータ１５は、圧縮機１２を介して外部電源に接続されてもよく、言い換えれば、圧縮機１２がコールドヘッドモータ１５の電源として設けられていてもよい。コールドヘッドモータ１５は、例えば電源周波数に相当する一定の運転周波数すなわち回転数で動作してもよく、それにより、コールドヘッドモータ１５は、コールドヘッド１４に冷凍サイクルを一定の周波数で生じさせてもよい。あるいは、コールドヘッドモータ１５は、運転周波数すなわち回転数を可変としてもよく、それにより、コールドヘッド１４に生じる冷凍サイクルの周波数が可変とされてもよい。この場合、コントローラ１００による制御のもとでコールドヘッドモータ１５の運転周波数を制御するコールドヘッドインバータが、コールドヘッドモータ１５とコントローラ１００との間に接続されてもよい。コールドヘッドモータ１５の運転周波数は、３０Ｈｚから１００Ｈｚの範囲、または４０Ｈｚから７０Ｈｚの範囲で制御されてもよい。

【0034】

極低温冷凍機１０は、極低温冷凍機１０のオンオフを切り替えるためのメインスイッチ５０を備えてもよい。メインスイッチ５０は、例えば圧縮機１２に設置されてもよい。メインスイッチ５０がオンのとき、圧縮機１２とコールドヘッド１４が運転され、メインスイッチ５０がオフのとき、圧縮機１２とコールドヘッド１４の運転が停止される。メインスイッチ５０は、手動により操作可能であってもよい。それとともに、またはそれに代えて、メインスイッチ５０は、予め定められた条件に従って自動的に切り替えられてもよい。例えば、メインスイッチ５０は、予め定められたスケジュールに従って、極低温冷凍機１０をオンまたはオフに切り替えてもよい。

【0035】

また、極低温冷凍機１０には、極低温冷凍機１０を制御するコントローラ１００が設けられている。コントローラ１００は、極低温冷凍機１０のオンオフを制御するように構成されている。例えば、コントローラ１００は、圧縮機モータ１７のオンオフを制御するように圧縮機モータ１７に接続されている。コントローラ１００によって圧縮機モータ１７をオン（またはオフ）にすることにより、圧縮機１２が運転（または運転停止）される。同様に、コントローラ１００は、コールドヘッドモータ１５のオンオフを制御するように圧縮機モータ１７に接続されている。コントローラ１００によってコールドヘッドモータ１５をオン（またはオフ）にすることにより、コールドヘッド１４が運転（または運転停止）される。また、コントローラ１００は、バイパスバルブ３３のオンオフ（つまり開閉）を制御するようにバイパスバルブ３３に接続されている。

【0036】

コントローラ１００は、極低温冷凍機１０の運転中に、運転停止指令に応答して、極低温冷凍機１０を運転停止させる（つまりオフにする）ように構成されていてもよい。運転停止指令は、メインスイッチ５０のオフ操作により生成され、メインスイッチ５０からコントローラ１００に入力されてもよい。あるいは、運転停止指令は、コントローラ１００での内部処理によって生成されてもよい。あるいは、運転停止指令は、コントローラ１００に接続された他のコントローラ（例えば、極低温冷凍機１０が組み込まれた上位装置を制御する上位コントローラ）により生成され、コントローラ１００に入力されてもよい。

【0037】

詳細は後述するが、コントローラ１００は、運転停止指令に応答して圧縮機１２を停止させ、圧縮機１２の停止から遅延させてバイパスバルブ３３を開き、圧縮機１２の停止からバイパスバルブ３３の開放までの期間の少なくとも一部においてコールドヘッド１４を運転するように構成されてもよい。

【0038】

コントローラ１００は、図示されるように、圧縮機１２に設けられてもよい（例えば、圧縮機筐体３８に搭載されてもよい）。あるいは、コントローラ１００は、コールドヘッド１４に設けられてもよい。あるいは、コントローラ１００は、圧縮機１２およびコールドヘッド１４とは別体の制御装置として設けられ、圧縮機１２およびコールドヘッド１４に接続されてもよい。

【0039】

コントローラ１００は、ハードウェア構成としてはコンピュータのＣＰＵやメモリをはじめとする素子や回路で実現され、ソフトウェア構成としてはコンピュータプログラム等によって実現されるが、図１では適宜、それらの連携によって実現される機能ブロックとして描いている。これらの機能ブロックはハードウェア、ソフトウェアの組合せによっていろいろなかたちで実現できることは、当業者には理解されるところである。

【0040】

メインスイッチ５０がオンとされ、極低温冷凍機１０が運転されるとき、コールドヘッド１４から圧縮機１２に回収される冷媒ガスは、低圧ポート４１から低圧配管４３を通じて圧縮機１２の吸入ポート２４に流入する。冷媒ガスは、吸入流路２８上のストレージタンク３０を経て、圧縮機本体１６の吸入口へと回収される。

【0041】

冷媒ガスは、圧縮機本体１６によって圧縮され昇圧される。圧縮機本体１６の吐出口から送出される冷媒ガスは、吐出流路２６上の冷媒ガス冷却部３４で冷却され、その後オイルセパレータ２０およびアドゾーバ２１で浄化される。圧縮機本体１６で冷媒ガスに混入したオイルの大部分は、オイルセパレータ２０で分離されて圧縮機本体１６へと回収される。このとき、バイパスバルブ３３は閉鎖されているため、オイルセパレータ２０から出た冷媒ガスは、バイパス流路３２ではなく、アドゾーバ２１に向かう。オイルセパレータ２０を通過した冷媒ガスは、アドゾーバ２１に供給され、冷媒ガスに残留しているガス状オイル成分がアドゾーバ２１に吸着され除去される。

【0042】

冷媒ガスは、吐出ポート２２から圧縮機１２を出て、高圧配管４２と高圧ポート４０を経てコールドヘッド１４の内部に供給される。コールドヘッド１４内での冷媒ガスの断熱膨張により、コールドヘッド１４の低温部１４ｂが冷却される。こうして低圧となった冷媒ガスは、再びコールドヘッド１４から圧縮機１２に回収される。

【0043】

ところで、本発明者は、長期にわたり運転された極低温冷凍機１０では、コールドヘッド１４から圧縮機１２に回収される低圧冷媒ガスが流れる低圧側の冷媒ガス流路（例えば、吸入流路２８、低圧配管４３、冷媒ガスチャージポート３１）がオイルで汚染されうることを発見した。

【0044】

既存の極低温冷凍機１０では、極低温冷凍機１０を運転停止させるとき、圧縮機１２およびコールドヘッド１４など極低温冷凍機１０の各構成要素への給電が一斉に遮断される。例えば、圧縮機モータ１７、バイパスバルブ３３、コールドヘッドモータ１５への給電は同時に終了される。圧縮機モータ１７とコールドヘッドモータ１５が停止し、それと同時にバイパスバルブ３３が開く。

【0045】

本発明者の考察によると、上述の低圧側オイル汚染は、このような運転停止動作とそれに基づくバイパス流路３２を通じた均圧化に起因すると考えられる。

【0046】

バイパスバルブ３３が開くと、吐出流路２６と吸入流路２８の圧力差にしたがい、吐出流路２６からバイパス流路３２を通じて吸入流路２８へと冷媒ガスが流れ込む。冷媒ガスの一部はバイパス流路３２から圧縮機本体１６へと向かうが、バイパス流路３２からの冷媒ガス流れの大半は、図１に破線の矢印６０で示すように、吸入流路２８を吸入ポート２４および冷媒ガスチャージポート３１に向かって逆流し、さらには低圧配管４３へと逆流しうる。これは、吸入流路２８から低圧配管４３を通じて低圧ポート４１に至る低圧側流路容積に比べて、圧縮機本体１６に向かう流路容積が小さいためである。

【0047】

この逆流する冷媒ガスは、オイルセパレータ２０によってオイル分離されているが、アドゾーバ２１を経由していないので、ガス状オイル成分を（微量であるが）含みうる。そのため、長期の運転を通じてきわめて多数回の冷媒ガス逆流（例えば２５００回程度のオンオフ切替とそれに伴う均圧化および冷媒ガス逆流）を受けることにより、徐々にオイルが低圧側の冷媒ガス流路に蓄積され、汚染が進んだものと考えられる。汚染された場合には、流路内の洗浄や配管の交換など煩雑な保守作業を要し、手間や費用がかかる。

【0048】

加えて、冷媒ガスチャージポート３１への逆流により、冷媒ガスチャージポート３１にオイルが溜まりうる。冷媒ガスを充填するために冷媒ガスチャージポート３１を開いたときオイルがガスとともに噴出し、周囲を汚すといった不都合も起こりうる。

【0049】

図２は、実施の形態に係り、極低温冷凍機１０の運転方法を説明するフローチャートである。この方法は、極低温冷凍機１０の運転停止方法であり、極低温冷凍機１０の運転を終了するときに実行される。この運転停止方法は、圧縮機１２の運転を停止させることと（Ｓ１０）、圧縮機１２の停止から遅延させてバイパスバルブ３３を開くことと（Ｓ１２）、圧縮機１２の停止からバイパスバルブ３３の開放までの期間の少なくとも一部においてコールドヘッド１４を運転することと（Ｓ１４）、を備える。なお、圧縮機１２の停止は、上述のように、コントローラ１００によって、運転停止指令に応答して行われてもよい。あるいは、圧縮機１２は、手作業により停止されてもよい。

【0050】

この方法では、圧縮機１２が停止されるとき、それと同時にバイパスバルブ３３が直ちに開放されるのではなく、遅延時間の分だけバイパスバルブ３３を閉じた状態が継続される。この遅延時間（すなわち、圧縮機１２の停止からバイパスバルブ３３の開放までの期間）の少なくとも一部においてコールドヘッド１４が運転される。例えば、コールドヘッド１４は、圧縮機１２の停止の前後にわたり継続して運転されてもよい。そして、コールドヘッド１４は、バイパスバルブ３３を開く前に、またはバイパスバルブ３３を開くと同時に、またはバイパスバルブ３３を開いた後に、運転停止される（Ｓ１６）。

【0051】

圧縮機１２の停止後にバイパスバルブ３３を閉じた状態でコールドヘッド１４を運転することにより、吐出流路２６から吸入流路２８へとコールドヘッド１４を通じて冷媒ガスを流すことができる。このようにして、バイパス流路３２ではなく、コールドヘッド１４を通じて、吐出流路２６と吸入流路２８の圧力差を低減し、またはこれらを均圧化することができる。その後、バイパスバルブ３３が開いた後は、バイパス流路３２も利用して吐出流路２６と吸入流路２８を均圧化することができる。

【0052】

図１に実線の矢印６２で示すように、吐出流路２６から吸入流路２８へとコールドヘッド１４を経由する冷媒ガスは、アドゾーバ２１で浄化されているから、低圧側の冷媒ガス流路のオイル汚染は可能な限り避けられる。したがって、オイル汚染に起因する煩雑な保守作業や冷媒ガスチャージポート３１からのオイル噴出など上記で指摘した問題も解消または軽減される。

【0053】

一例として、圧縮機１２の停止後にバイパスバルブ３３の開放を遅延させかつコールドヘッド１４の運転を一時的に継続させる実施の形態に係る極低温冷凍機１０の運転停止方法は、圧縮機１２の停止後の圧力測定に基づいてもよい。この場合、コントローラ１００は、（ｉ）圧縮機１２の停止後であってコールドヘッド１４の運転中に、圧力センサ３７によって測定された圧力を取得し、（ｉｉ）取得された圧力に基づいて、バイパスバルブ３３を開き、コールドヘッド１４を停止させるように構成されてもよい。このような運転停止方法の例を図３および図４を参照して以下に述べる。

【0054】

図３は、実施の形態に係り、極低温冷凍機１０の運転方法の一例を説明するフローチャートである。本方法は、極低温冷凍機１０の運転を停止する際にコントローラ１００によって実行される。コントローラ１００は、例えば、上述の運転停止指令に応答して、本方法を開始してもよい。

【0055】

本方法ではまず、図３に示されるように、圧縮機１２の運転が停止される（Ｓ２０）。コントローラ１００によって運転停止指令が取得された場合、コントローラ１００は、この運転停止指令に応答して、圧縮機モータ１７への給電を停止し、それにより圧縮機１２を停止させてもよい。このとき、上述のように、圧縮機１２は停止されるが、コールドヘッド１４の運転は停止されることなく、そのまま継続される。また、バイパスバルブ３３は、閉じた状態に引き続き維持される。

【0056】

圧縮機１２が停止されると、バイパスバルブ３３の出入口間の差圧が監視される（Ｓ２１）。例えば、コントローラ１００は、第１圧力センサ３７ａから第１測定圧信号ＰＨを受信し、第２圧力センサ３７ｂから第２測定圧信号ＰＬを受信し、第１測定圧信号ＰＨと第２測定圧信号ＰＬに基づいてバイパスバルブ３３の出入口間の差圧を取得してもよい。第１測定圧信号ＰＨが第１圧力センサ３７ａによって測定された吐出流路２６の圧力すなわちバイパスバルブ３３の入口側圧力を表し、第２測定圧信号ＰＬが第２圧力センサ３７ｂによって測定された吸入流路２８の圧力すなわちバイパスバルブ３３の出口側圧力を表すから、これら２つの測定圧力の差を計算することによりバイパスバルブ３３の出入口間の差圧を取得することができる。このようにして、コントローラ１００は、圧縮機１２の停止後における、測定されたバイパスバルブ３３の出入口間の差圧を取得できる。

【0057】

圧縮機１２の停止後の差圧監視（Ｓ２１）では、コントローラ１００は、取得された差圧（すなわち測定されたバイパスバルブ３３の出入口間の差圧）を差圧しきい値と比較する。この差圧しきい値は、設計者の経験的知見または設計者による実験やシミュレーション等に基づき適宜設定することが可能である。差圧しきい値は、例えば、上述のオイル汚染問題を解決する観点から、吐出流路２６と吸入流路２８の差圧が低減または解消されたとみなされる水準の圧力値に設定されてもよい。差圧しきい値は、例えば、圧縮機１２の停止時に測定される吐出流路２６と吸入流路２８の差圧（例えば、Ｓ２１の差圧監視において最初に測定される差圧）の所定割合以下（例えば、１／２以下、または１／１０以下）の圧力値であってもよい。あるいは、差圧しきい値は、圧縮機１２の運転中にとりうる吐出流路２６と吸入流路２８の設計上の差圧値の所定割合以下の圧力値であってもよい。差圧しきい値は、例えば、１ＭＰａ以下の圧力値、または０．１ＭＰａ以下の圧力値であってもよい。

【0058】

取得された差圧が差圧しきい値を上回るときには（Ｓ２１のＮｏ）、コントローラ１００は、所定時間待機し、その後、取得された差圧と差圧しきい値との上述の比較を再度行う（Ｓ２１）。待機時間の間に生じるであろうコールドヘッド１４を通じた吐出流路２６から吸入流路２８への冷媒ガス流れによって、吐出流路２６と吸入流路２８の均圧化が進むことが期待される。

【0059】

取得された差圧が差圧しきい値を下回るときには（Ｓ２１のＹｅｓ）、コントローラ１００は、バイパスバルブ３３を開き、コールドヘッド１４を停止させる（Ｓ２４）。バイパスバルブ３３が常開弁である場合には、コントローラ１００は、バイパスバルブ３３への給電を停止し、それによりバイパスバルブ３３を開放してもよい。また、コントローラ１００は、コールドヘッドモータ１５への給電を停止し、それによりコールドヘッド１４を停止させてもよい。バイパスバルブ３３の開放とコールドヘッド１４の停止は、順不同である。これらは同時に行われてもよいし、どちらかが先に行われてもよい。なお、コントローラ１００は、取得された差圧が差圧しきい値以下となる場合に、バイパスバルブ３３を開き、コールドヘッド１４を停止させてもよい。このようにして、本運転停止方法は終了する。

【0060】

図３に示される極低温冷凍機１０の運転停止方法によれば、圧縮機１２の停止後にバイパスバルブ３３を閉じた状態でコールドヘッド１４を運転することにより、吐出流路２６から吸入流路２８へとコールドヘッド１４を通じて冷媒ガスを流すことができる。このようにして、バイパス流路３２ではなく、コールドヘッド１４を通じて、吐出流路２６と吸入流路２８の圧力差を低減し、またはこれらを均圧化することができる。コールドヘッド１４を経由する冷媒ガスはアドゾーバ２１で浄化されているから、上述のような低圧側で起こりうるオイル汚染を抑制することができる。また、差圧監視（Ｓ２１）により、バイパスバルブ３３の出入口間の差圧が所望の水準を下回ることを確認した上で、バイパスバルブ３３を開くことができる。吐出流路２６から吸入流路２８へとバイパスバルブ３３を経由する冷媒ガス流れを低減することができ、こうした冷媒ガス流れに起因して起こりうる低圧側でのオイル汚染を抑制できる。

【0061】

図４は、実施の形態に係り、極低温冷凍機１０の運転方法の一例を説明するフローチャートである。この方法は、図３に示される方法と同様に、極低温冷凍機１０の運転を停止する際にコントローラ１００によって実行される。ただし、図３の方法ではバイパスバルブ３３の出入口間の差圧が監視されるのに対して、図４に示される運転停止方法では、バイパスバルブ３３の入口側圧力が監視される。

【0062】

まず、圧縮機１２が停止される（Ｓ２０）。圧縮機１２が停止されると、バイパスバルブ３３の入口側圧力が監視される（Ｓ２２）。例えば、コントローラ１００は、第１圧力センサ３７ａから第１測定圧信号ＰＨを受信し、第１測定圧信号ＰＨに基づいてバイパスバルブ３３の入口側圧力を取得してもよい。この圧力監視（Ｓ２２）では、コントローラ１００は、取得された圧力を圧力しきい値と比較する。圧力しきい値は、設計者の経験的知見または設計者による実験やシミュレーション等に基づき適宜設定することが可能である。

【0063】

取得された圧力が圧力しきい値を上回るときには（Ｓ２２のＮｏ）、コントローラ１００は、所定時間待機し、その後、圧力監視を再度行う（Ｓ２２）一方、取得された圧力が圧力しきい値を下回るときには（Ｓ２２のＹｅｓ）、コントローラ１００は、バイパスバルブ３３を開き、コールドヘッド１４を停止させる（Ｓ２４）。こうして、本運転停止方法は終了する。

【0064】

このようにしても、図３の運転停止方法と同様に、圧縮機１２の停止後にバイパスバルブ３３を閉じた状態でコールドヘッド１４を運転し、吐出流路２６から吸入流路２８へとコールドヘッド１４を通じて冷媒ガスを流して均圧化することができる。したがって、上述のオイル汚染問題に対処することができる。

【0065】

同様にして、バイパスバルブ３３の出口側圧力が監視されてもよい。この場合、圧縮機１２の停止後に、コントローラ１００は、第２圧力センサ３７ｂから第２測定圧信号ＰＬを受信し、第２測定圧信号ＰＬに基づいてバイパスバルブ３３の出口側圧力を取得してもよい。コントローラ１００は、取得された圧力を圧力しきい値と比較し、取得された圧力が圧力しきい値を下回るとき待機しその後圧力監視を再度行い、取得された圧力が圧力しきい値を上回るときバイパスバルブ３３を開きコールドヘッド１４を停止させてもよい。

【0066】

実施の形態に係る極低温冷凍機１０の運転停止方法の他の例として、圧縮機モータ１７とコールドヘッドモータ１５の回転数を制御可能である場合には、以下に述べるように、運転停止時の両モータの回転数の減少の仕方を異ならせる方法も可能である。上述のように、圧縮機モータ１７の回転数は圧縮機インバータにより制御され、コールドヘッドモータ１５の回転数はコールドヘッドインバータにより制御されてもよい。

【0067】

この場合、コントローラ１００は、圧縮機モータ１７を第１速度プロファイルに従って停止させ、コールドヘッドモータ１５を第２速度プロファイルに従って停止させるように構成されてもよい。第１速度プロファイルは、圧縮機モータ１７を第１タイミングで停止させるように圧縮機モータ１７の速度を減少させるように設定されていてもよい。第２速度プロファイルは、コールドヘッドモータ１５を第１タイミングから遅れた第２タイミングで停止させるようにコールドヘッドモータ１５の速度を減少させるように設定されていてもよい。

【0068】

図５（ａ）および図５（ｂ）は、実施の形態に係り、圧縮機モータ１７およびコールドヘッドモータ１５の速度プロファイルの例を示す模式図である。各図において、縦軸にはモータの回転数が示され、横軸には経過時間が示される。圧縮機モータ１７のための第１速度プロファイル７０が破線で示され、コールドヘッドモータ１５のための第２速度プロファイル７２が実線で示されている。

【0069】

図５（ａ）に示される例では、第２速度プロファイル７２は、第１速度プロファイル７０に比べて、モータ回転数の低下速度が小さくなっている。そのため、図示されるように、圧縮機モータ１７は、極低温冷凍機１０の運転停止指令から第１時間Δｔ１後の第１タイミングＴ１で停止される。これに対して、コールドヘッドモータ１５は、運転停止指令から第２時間Δｔ２後の第２タイミングＴ２で停止される。第２時間Δｔ２は、第１時間Δｔ１より長く、第２タイミングＴ２は、第１タイミングＴ１から遅延している。

【0070】

また、図５（ｂ）に示される例では、第１速度プロファイル７０と第２速度プロファイル７２でモータ回転数の低下速度は等しいが、第２速度プロファイル７２でのモータ回転数の低下の開始が第１速度プロファイル７０のそれに比べて待ち時間Δｔｗだけ遅れている。その結果、圧縮機モータ１７は、極低温冷凍機１０の運転停止指令から第１時間Δｔ１後の第１タイミングＴ１で停止される。これに対して、コールドヘッドモータ１５は、運転停止指令から第２時間Δｔ２後の第２タイミングＴ２で停止される。なお、この待ち時間Δｔｗの設定は、図５（ａ）の例に併用されてもよい。

【0071】

このようにしても、図３の運転停止方法と同様に、圧縮機１２の停止後にバイパスバルブ３３を閉じた状態でコールドヘッド１４を運転し、吐出流路２６から吸入流路２８へとコールドヘッド１４を通じて冷媒ガスを流して均圧化することができる。これにより、上述のオイル汚染問題に対処することができる。

【0072】

コントローラ１００は、コールドヘッド１４の停止後にバイパスバルブ３３を開くように構成されていてもよい。このようにすれば、コールドヘッド１４の運転継続に伴うコールドヘッド１４を通じた均圧化の実施後に、バイパスバルブ３３を開くことができる。バイパスバルブ３３を通じた冷媒ガス流れを低減し、それにより生じうる低圧側のオイル汚染を抑制できる。

【0073】

また、モータ回転数の低下速度に基づくこの運転停止方法は、図３を参照して説明した差圧監視、または図４を参照して説明した圧力監視と併用されてもよい。この場合、圧縮機モータ１７が停止する第１タイミングＴ１後に、測定差圧と差圧しきい値との比較に基づいて、または測定圧力と圧力しきい値との比較に基づいて、コントローラ１００は上述のように、バイパスバルブ３３を開き、コールドヘッド１４（すなわちコールドヘッドモータ１５）を停止させてもよい。

【0074】

図６は、実施の形態に係り、極低温冷凍機１０の運転方法の一例を説明するフローチャートである。この方法は、図３に示される方法と同様に、極低温冷凍機１０の運転を停止する際にコントローラ１００によって実行される。ただし、図３の方法ではバイパスバルブ３３の出入口間の差圧が監視されるのに対して、図６に示される運転停止方法では、待機時間がカウントされる。図６の方法は、実装が容易であり、有利である。

【0075】

まず、圧縮機１２が停止される（Ｓ２０）。圧縮機１２が停止されると、予め定められた待機時間がカウントされる（Ｓ２３）。例えば、コントローラ１００は、内蔵されたタイマーを用いて、圧縮機１２の停止時点から待機時間をカウントしてもよい。待機時間は、予め定められ、コントローラ１００に設定されていてもよい。待機時間は、設計者の経験的知見または設計者による実験やシミュレーション等に基づき適宜設定することが可能である。待機時間は、例えば、上述のオイル汚染問題を解決する観点から、圧縮機１２の停止から起算して吐出流路２６と吸入流路２８の差圧が低減または解消されると期待される時間に設定されてもよい。待機時間は、例えば、１０秒以下、または５秒以下の時間であってもよい。

【0076】

待機時間が経過するまでは（Ｓ２３のＮｏ）、コントローラ１００は、待機する。一方、待機時間が経過したとき（Ｓ２３のＹｅｓ）、コントローラ１００は、バイパスバルブ３３を開き、コールドヘッド１４を停止させる（Ｓ２４）。こうして、本運転停止方法は終了する。

【0077】

このようにしても、図３の運転停止方法と同様に、圧縮機１２の停止後にバイパスバルブ３３を閉じた状態でコールドヘッド１４を運転し、吐出流路２６から吸入流路２８へとコールドヘッド１４を通じて冷媒ガスを流して均圧化することができる。したがって、上述のオイル汚染問題に対処することができる。

【0078】

なお、コントローラ１００は、コールドヘッド１４の停止後にバイパスバルブ３３を開くように構成されていてもよい。この場合、待機時間が経過したとき（Ｓ２３のＹｅｓ）、まずコールドヘッド１４が停止され、その後にバイパスバルブ３３が開かれることになる。このようにすれば、コールドヘッド１４を通じた均圧化を完了したうえで、バイパスバルブ３３を開くことができる。

【0079】

また、図６の方法は、図３を参照して説明した差圧監視、または図４を参照して説明した圧力監視を備えてもよい。この場合、待機時間が経過していない場合（Ｓ２３のＮｏ）であっても、上述のように、測定差圧と差圧しきい値との比較に基づいて、または測定圧力と圧力しきい値との比較に基づいて、コントローラ１００は、バイパスバルブ３３を開き、コールドヘッド１４を停止させてもよい。

【0080】

以上、本発明を実施例にもとづいて説明した。本発明は上記実施形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは、当業者に理解されるところである。ある実施の形態に関連して説明した種々の特徴は、他の実施の形態にも適用可能である。組合せによって生じる新たな実施の形態は、組み合わされる実施の形態それぞれの効果をあわせもつ。

【0081】

上述の実施の形態では、バイパス流路３２は、吐出流路２６でオイルセパレータ２０とアドゾーバ２１の間に接続されているが、バイパス流路３２は、吐出流路２６上の他の場所に接続されてもよい。例えば、バイパス流路３２は、アドゾーバ２１と吐出ポート２２の間に接続されてもよい。このようにすれば、バイパスバルブ３３が開いたとき、アドゾーバ２１で浄化された冷媒ガスを吐出流路２６から吸入流路２８へと流すことができる。したがって、低圧側でのオイル汚染を低減でき、有利である。

【0082】

上述の実施の形態では、バイパス流路３２は、圧縮機１２の内部に設けられているが、圧縮機１２の外に設けられてもよい。例えば、バイパス流路３２は、圧縮機筐体３８の外に配置され、高圧配管４２と低圧配管４３を接続してもよい。また、第１圧力センサ３７ａ、第２圧力センサ３７ｂ等の圧力センサ３７は、圧縮機１２に設けられることは必須ではなく、高圧配管４２、低圧配管４３、コールドヘッド１４など、圧力を測定可能な任意の場所に設けられてもよい。

【0083】

以上、本発明を実施例にもとづいて説明した。本発明は上記実施形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは、当業者に理解されるところである。

【符号の説明】

【0084】

１０ 極低温冷凍機、 １２ 圧縮機、 １４ コールドヘッド、 １５ コールドヘッドモータ、 １７ 圧縮機モータ、 ３３ バイパスバルブ、 ７０ 第１速度プロファイル、 ７２ 第２速度プロファイル、 １００ コントローラ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】