特開 2024-166368 スクリーン印刷装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024166368

(43)【公開日】2024-11-28

(54)【発明の名称】スクリーン印刷装置

(51)【国際特許分類】

   B41F 15/12 20060101AFI20241121BHJP

   B41F 15/36 20060101ALI20241121BHJP

   B41F 15/08 20060101ALI20241121BHJP

   H05K 3/12 20060101ALI20241121BHJP

【ＦＩ】

B41F15/12 A

B41F15/36 A

B41F15/08 303E

H05K3/12 610N

【審査請求】有

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024161201

(22)【出願日】2024-09-18

(62)【分割の表示】P 2021011275の分割

【原出願日】2021-01-27

(71)【出願人】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002000

【氏名又は名称】弁理士法人栄光事務所

(72)【発明者】

【氏名】黒田 聖弥

(72)【発明者】

【氏名】妹尾 亮

(57)【要約】

【課題】基板の反りをより効果的に矯正でき、基板とマスクとの密着性を向上させて高品質な印刷を実現できる。
【解決手段】スクリーン印刷装置は、所定位置に基板を搬送する一対の基板搬送コンベアと、所定位置の基板を下方から支持する下受け部材と、基板の対向する側辺を保持する一対の基板クランプ部材と、一対の基板搬送コンベアの間に配置され、負圧源の駆動により側辺と交差する方向に沿う所定の吸着領域でマスクを吸着するマスク吸着部と、パターン孔が形成されたマスクに基板を接触させて、パターン孔を介してペーストを基板に印刷する印刷部と、を備える。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定位置に基板を搬送する一対の基板搬送コンベアと、
前記所定位置の基板を下方から支持する下受け部材と、
前記基板の対向する側辺を保持する一対の基板クランプ部材と、
少なくとも１つのマスク吸着ユニットにより構成され、前記一対の基板搬送コンベアの間に配置され、負圧源の駆動により前記側辺と交差する方向に沿う所定の吸着領域でマスクを吸着するマスク吸着部と、
パターン孔が形成された前記マスクに前記基板を接触させて、前記パターン孔を介してペーストを前記基板に印刷する印刷部と、
前記マスク吸着ユニットを昇降可能に移動させる昇降部と、をさらに備え、
前記マスク吸着部は、前記マスクと接触する接触面に少なくとも１つの第１の吸引孔を有し、
前記昇降部は、前記下受け部材の設置面と同じ面上に配置される、
スクリーン印刷装置。

【請求項2】

所定位置に基板を搬送する一対の基板搬送コンベアと、
前記所定位置の基板を下方から支持する下受け部材と、
前記基板の対向する側辺を保持する一対の基板クランプ部材と、
少なくとも１つのマスク吸着ユニットにより構成され、前記一対の基板搬送コンベアの間に配置され、負圧源の駆動により前記側辺と交差する方向に沿う所定の吸着領域でマスクを吸着するマスク吸着部と、
パターン孔が形成された前記マスクに前記基板を接触させて、前記パターン孔を介してペーストを前記基板に印刷する印刷部と、
前記マスク吸着ユニットを昇降可能に移動させる昇降部と、をさらに備え、
前記マスク吸着部は、前記マスクに接触し、前記マスクを吸着可能な少なくとも１つの第１の吸引孔の個数または配置に基づく前記吸着領域を有し、
前記マスク吸着部は、前記マスクと接触する接触面に少なくとも１つの前記第１の吸引孔を有し、
前記昇降部は、前記下受け部材の設置面と同じ面上に配置される、
スクリーン印刷装置。

【請求項3】

複数の前記マスク吸着ユニットのそれぞれは、互いに結合されて１つの前記マスク吸着部を構成し、少なくとも１つの前記マスク吸着ユニットが前記負圧源と接続されて前記マスクを吸着する、
請求項１または２に記載のスクリーン印刷装置。

【請求項4】

前記マスク吸着ユニットは、前記マスク吸着ユニットの内部に前記接触面に沿う空間を有し、前記空間によって前記第１の吸引孔と前記負圧源とを接続する吸引路を形成する、
請求項３に記載のスクリーン印刷装置。

【請求項5】

前記マスク吸着部は、２つ以上の前記マスク吸着ユニットにより構成される場合、前記２つ以上の前記マスク吸着ユニットのそれぞれが個別に前記負圧源と接続されて前記マスクを吸着する、
請求項１または２に記載のスクリーン印刷装置。

【請求項6】

前記昇降部は、前記設置面と接触する面に磁性体を有する、
請求項５に記載のスクリーン印刷装置。

【請求項7】

前記一対の基板クランプ部材のそれぞれに設けられ、前記側辺の方向に沿って前記マスクを吸着する複数の第２の吸引孔と、をさらに備え、
前記第１の吸引孔と前記第２の吸引孔とは前記負圧源に接続されて前記マスクを吸着する、
請求項２に記載のスクリーン印刷装置。

【請求項8】

前記第１の吸引孔は、前記マスクの前記パターン孔の位置に対応する位置に配置される、
請求項２に記載のスクリーン印刷装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、スクリーン印刷装置に関する。

【背景技術】

【0002】

電子部品を基板に実装する部品実装ラインのスクリーン印刷装置は、基板に部品を結合するためのはんだを供給するためのスクリーン印刷を行う。スクリーン印刷装置は、保持部材によって基板の両側を保持した状態で基板を上昇させて、マスク下面に基板上面を接触させる。スクリーン印刷装置は、保持部材に形成された吸引孔によってマスクを吸引し、マスクと基板とを密着させることでマスクと基板との間の密着性を十分確保した上で、スキージをマスク上で摺動させることによりマスク開口部を介してはんだ供給対象である基板上のランドにはんだを転写する。

【0003】

このようなスクリーン印刷方法において、スクリーン印刷装置は、基板の反り部分がマスク吸引の吸引位置に近い場合には、基板クランプ部材を用いてマスクを吸引することで基板の反りを矯正する。しかし、基板の反り部分がマスク吸着の吸引位置から遠い場合には、スクリーン印刷装置は、基板クランプ部材を用いたマスクの吸引によって基板の反りを矯正することが困難であり、この基板の反りによってマスクと基板との間の密着性を十分に得られない。このため、スクリーン印刷装置は、マスクと基板との間のギャップにはんだが侵入した状態で基板上のランドにはんだが転写されることで印刷不良が生じることがあった。

【0004】

このような印刷不良を防ぐため、特許文献１は、基板保持部材で保持されていない基板の一対の側辺の外側にマスク支持面を配置し、基板の下面を支持する基板支持面とマスク支持面とが一体化した凹状の基板支持台により、基板保持部材と凹状部材の一部であるマスク支持面とでマスクを吸着し、マスクと基板との間の密着性を高める技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１６－１７９６６９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献１に記載のスクリーン印刷装置は、マスク支持面と基板支持面とが一体化した凹状の基板支持台が使用されるため、基板の寸法に対応して異なる大きさの基板支持台を複数作成する必要があり、コストが増大するという問題がある。

【0007】

本開示は、上述した従来の事情に鑑みて案出され、基板の反りをより効果的に矯正でき、基板とマスクとの密着性を向上させて高品質な印刷を実現できるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本開示は、所定位置に基板を搬送する一対の基板搬送コンベアと、前記所定位置の基板を下方から支持する下受け部材と、前記基板の対向する側辺を保持する一対の基板クランプ部材と、少なくとも１つのマスク吸着ユニットにより構成され、前記一対の基板搬送コンベアの間に配置され、負圧源の駆動により前記側辺と交差する方向に沿う所定の吸着領域でマスクを吸着するマスク吸着部と、パターン孔が形成された前記マスクに前記基板を接触させて、前記パターン孔を介してペーストを前記基板に印刷する印刷部と、前記マスク吸着ユニットを昇降可能に移動させる昇降部と、をさらに備え、前記マスク吸着部は、前記マスクと接触する接触面に少なくとも１つの第１の吸引孔を有し、前記昇降部は、前記下受け部材の設置面と同じ面上に配置される、スクリーン印刷装置を提供する。

【0009】

また、本開示は、所定位置に基板を搬送する一対の基板搬送コンベアと、前記所定位置の基板を下方から支持する下受け部材と、前記基板の対向する側辺を保持する一対の基板クランプ部材と、少なくとも１つのマスク吸着ユニットにより構成され、前記一対の基板搬送コンベアの間に配置され、負圧源の駆動により前記側辺と交差する方向に沿う所定の吸着領域でマスクを吸着するマスク吸着部と、パターン孔が形成された前記マスクに前記基板を接触させて、前記パターン孔を介してペーストを前記基板に印刷する印刷部と、前記マスク吸着ユニットを昇降可能に移動させる昇降部と、をさらに備え、前記マスク吸着部は、前記マスクに接触し、前記マスクを吸着可能な少なくとも１つの第１の吸引孔の個数または配置に基づく前記吸着領域を有し、前記マスク吸着部は、前記マスクと接触する接触面に少なくとも１つの前記第１の吸引孔を有し、前記昇降部は、前記下受け部材の設置面と同じ面上に配置される、スクリーン印刷装置を提供する。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、基板の反りをより効果的に矯正でき、基板とマスクとの密着性を向上させて高品質な印刷を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施の形態に係るスクリーン印刷装置の正面図

【図2A】実施の形態に係るスクリーン印刷装置の部分平面図

【図2B】実施の形態に係るスクリーン印刷装置の部分平面図

【図3】実施の形態に係るスクリーン印刷装置の部分側面図

【図4A】実施の形態におけるマスク吸着部の第１構成例を示す図

【図4B】実施の形態におけるマスク吸着部の第２構成例を示す図

【図4C】実施の形態におけるマスク吸着部の第３構成例を示す図

【図4D】実施の形態におけるマスク吸着部の第４構成例を示す図

【図4E】実施の形態におけるマスク吸着部の第５構成例を示す図

【図4F】実施の形態におけるマスク吸着部の第６構成例を示す図

【図4G】実施の形態におけるマスク吸着部の第７構成例を示す図

【図5】図４Ｃおよび図４Ｅに示すマスク吸着部の斜視図

【図6】図５に示すマスク吸着部のＳ－Ｓ断面図

【図7】図５に示すマスク吸着部のＴ－Ｔ断面図

【図8】実施の形態におけるマスク吸着ユニットの結合例を説明する図

【図9】実施の形態におけるマスク吸着部の吸着動作例を説明する図

【図10】実施の形態におけるマスク吸着部の吸着動作例を説明する図

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、適宜図面を参照しながら、本開示に係るスクリーン印刷装置を具体的に開示した実施の形態を詳細に説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になることを避け、当業者の理解を容易にするためである。尚、添付図面および以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるものであり、これらにより特許請求の範囲に記載の主題を限定することは意図されていない。

【0013】

また、方向を示す矢印が記された各図において、Ｘ軸は奥行き方向を示す。Ｙ軸は左右方向を示す。Ｚ軸は上下方向（垂直方向）を示す。Ｘ軸およびＹ軸は、互いに直交して水平面に含まれる。Ｚ軸は、鉛直面に含まれる。

【0014】

まず、図１、図２Ａおよび図２Ｂを参照して、スクリーン印刷装置１の構造を説明する。図１は、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１の正面図である。図２Ａは、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１の部分平面図である。図２Ｂは、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１の部分平面図である。

【0015】

図１において、スクリーン印刷装置１は、基板保持ステージ移動機構２と、スクリーン印刷部３と、基板保持ステージ４とを含み、基板保持ステージ移動機構２によりＺ軸方向および－Ｚ軸方向に昇降される基板保持ステージ４の上方にスクリーン印刷部３が配置されて構成される。

【0016】

基板保持ステージ移動機構２は、基板保持ステージ４を水平面内（ＸＹ平面内）で移動または回転させるとともに、基板保持ステージ４を上下方向（Ｚ軸方向）に移動させる。基板保持ステージ４は、第１のベースプレート５と、垂直フレーム６と、基板搬送機構７と、下受け部材昇降機構９と、第２のベースプレート１０と、下受け部材１２と、により構成される。第１のベースプレート５は、基板保持ステージ移動機構２によって水平面内（ＸＹ平面内）に移動または回転、および上下方向（Ｚ軸方向）に移動される。垂直フレーム６および下受け部材昇降機構９は、第１のベースプレート５の上面側に配置される。基板搬送機構７は、垂直フレーム６の上端部に保持される。基板クランプ機構８は、基板搬送機構７の上方に配置される。第２のベースプレート１０は、下受け部材昇降機構９によって上下方向（Ｚ軸方向）に昇降される。下受け部材１２は、第２のベースプレート１０の上面に配置され、基板搬送機構７により搬送された基板１１の下面を下方から支持する。

【0017】

基板搬送機構７は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に配置された２条の基板搬送コンベア７ａを備え、基板１１の下面の対向する両端を基板搬送コンベア７ａによって下方から支持して、所定の基板搬送位置まで基板１１を搬送する。基板搬送機構７は、上流側（－Ｘ軸方向）から下流側（Ｘ軸方向）に向かって基板１１を搬送する。上流側から搬入された基板１１は、基板搬送機構７によって所定の基板搬送位置まで搬送され、基板保持ステージ移動機構２によって位置決めされる。なお、基板１１は、スクリーン印刷部３によるスクリーン印刷処理が行われた後、基板搬送機構７によって下流側に搬送される。

【0018】

スクリーン印刷装置１は、基板保持ステージ移動機構２を駆動させて、基板保持ステージ４の第１のベースプレート５を上下方向（Ｚ軸方向あるいは－Ｚ軸方向）に上昇させる。スクリーン印刷装置１は、第１のベースプレート５を上方向（Ｚ軸方向）に上昇させることで、第１のベースプレート５と一体的に構成された基板搬送機構７によって保持された基板１１を、スクリーン印刷部３のマスク１３が保持された高さ（マスク１３の下面が位置する高さであり、例えば図９に示す高さＨ０）まで上昇させることができる。

【0019】

マスク吸着部２０は、下受け部材昇降機構９によって昇降される第２のベースプレート１０の上面に配置され、負圧源３０と接続された少なくとも１つのマスク吸着ユニット２０ａにより構成される。マスク吸着部２０は、接続された負圧源３０の駆動により生じた負圧でマスク１３を吸着する。

【0020】

マスク吸着ユニット２０ａの上面は、図２Ｂに示すように、マスク１３の下面と接触する接触面２０ｄを有する。接触面２０ｄは、マスク１３を吸着するための吸引孔２０ｂを備える。なお、本実施の形態における吸引孔２０ｂの形状は、一例として円形である例を示すが、例えば楕円、矩形等の他の形状であってもよい。吸引孔２０ｂは、マスク吸着ユニット側穴部２０ｋと連通し、このマスク吸着ユニット側穴部２０ｋに接続された吸引管２０ｃにより負圧源３０との間で接続される。吸引孔２０ｂは、負圧源３０の駆動によりマスク吸着ユニット側穴部２０ｋおよび吸引管２０ｃの内部が負圧となり、接触面２０ｄの上方に位置する、または接触面２０ｄと接触するマスク１３の下面を吸引して吸着する。マスク吸着部２０は、基板１１の搬送方向（Ｘ軸方向）に沿って下受け部材１２（図３参照）を挟むように配置される。

【0021】

ここで、図６および図８を参照して、マスク吸着部２０を構成するマスク吸着ユニット２０ａの各種構造について説明する。本実施の形態におけるマスク吸着ユニット２０ａは、吸引孔２０ｂ、マスク吸着ユニット側穴部２０ｋ、吸引路２０ｆ、凸部２０ｏあるいは凹部２０ｐ等の有無、形状が異なる３種類のマスク吸着ユニット２０ａ１，２０ａ２，２０ａ３が使用される。

【0022】

マスク吸着ユニット２０ａ１は、図６に示すように、マスク１３の下面と接触する接触面２０ｄを有する。接触面２０ｄは、マスク吸着ユニット２０ａ１の上面に形成され、マスク１３の下面を吸着するための吸引孔２０ｂを備える。吸引孔２０ｂは、－Ｚ軸方向に延伸して形成されて接触面２０ｄの略平行方向に沿って形成されたマスク吸着ユニット側穴部２０ｋと連通する。吸引孔２０ｂは、吸引管２０ｃおよびマスク吸着ユニット側穴部２０ｋにより負圧源３０との間で接続されて、負圧源３０の駆動により吸引管２０ｃおよびマスク吸着ユニット側穴部２０ｋの内部が負圧となり、接触面２０ｄの上方に位置する、または接触面２０ｄと接触するマスク１３の下面を吸着する。なお、本実施の形態における吸引孔２０ｂの形状は、一例として円形である例を示すが、例えば楕円、矩形等の他の形状であってもよい。

【0023】

マスク吸着ユニット２０ａ１が負圧源３０に最も近い位置に配置された場合、マスク吸着ユニット側穴部２０ｋにより形成された２つの貫通孔のうち一方の貫通孔（つまり、図６においてＹ軸方向側に位置する貫通孔）は、吸引管２０ｃが接続されて、吸引孔２０ｂでの吸引（吸着）を実行可能にする吸引路２０ｆとして機能する。また、マスク吸着部２０が２個以上のマスク吸着ユニット２０ａにより構成される場合、マスク吸着ユニット側穴部２０ｋにより形成された２つの貫通孔のうち他方の貫通孔（つまり、図６において－Ｙ軸方向側に位置する貫通孔）は、次に接続されたマスク吸着ユニット２０ａ（つまり、負圧源３０から遠ざかる方向に接続された他のマスク吸着ユニット２０ａ）のマスク吸着ユニット側穴部２０ｋと負圧源３０とを、Ｙ軸方向に貫通して形成されたマスク吸着ユニット側穴部２０ｋにより空間的に接続して、吸引路２０ｆ（図６参照）を形成する。なお、マスク吸着ユニット２０ａ１は、マスク吸着部２０が２個のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれにより構成される場合には負圧源３０から最も近い位置に配置され、マスク吸着部２０が３個以上のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれにより構成される場合には負圧源３０から最も遠い端部以外に配置される。

【0024】

マスク吸着ユニット２０ａ２は、図６に示すように、マスク１３の下面と接触する接触面２０ｄを有する。接触面２０ｄは、マスク吸着ユニット２０ａ２の上面に形成され、マスク１３の下面を吸着するための吸引孔２０ｂを備える。吸引孔２０ｂは、－Ｚ軸方向に延伸して形成されて接触面２０ｄの略平行方向に沿って形成されたマスク吸着ユニット側穴部２０ｋと連通する。マスク吸着ユニット２０ａ２におけるマスク吸着ユニット側穴部２０ｋは、マスク吸着ユニット２０ａ２をＹ軸方向に半貫通して形成される。吸引孔２０ｂは、吸引管２０ｃおよびマスク吸着ユニット側穴部２０ｋにより負圧源３０との間で接続されて、負圧源３０の駆動により吸引管２０ｃの内部が負圧となり、接触面２０ｄの上方に位置する、または接触面２０ｄと接触するマスク１３の下面を吸着する。

【0025】

マスク吸着ユニット２０ａ２が負圧源３０に最も近い位置に配置された場合、マスク吸着ユニット側穴部２０ｋにより形成された貫通孔は、吸引管２０ｃが接続されて、吸引孔２０ｂでの吸引（吸着）を実行可能にする吸引路２０ｆとして機能する。また、マスク吸着ユニット側穴部２０ｋにより形成された貫通孔は、マスク吸着部２０が２個のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれにより構成される場合、負圧源３０から最も遠い位置に配置されて、手前側（つまり、負圧源３０側）に接続されたマスク吸着ユニット２０ａのマスク吸着ユニット側穴部２０ｋの貫通孔と空間的に接続される。

【0026】

マスク吸着ユニット２０ａ３は、図６に示すように、マスク１３の下面と接触する接触面２０ｄを有し、接触面２０ｄの略平行方向に沿って形成され、マスク吸着ユニット２０ａ３をＹ軸方向に貫通するマスク吸着ユニット側穴部２０ｋと連通する。

【0027】

マスク吸着ユニット２０ａ３が負圧源３０に最も近い位置に配置された場合、マスク吸着ユニット側穴部２０ｋにより形成された２つの貫通孔のうち一方の貫通孔（つまり、図６においてＹ軸方向側に位置する貫通孔）は、吸引管２０ｃが接続されて吸引路２０ｆとして機能する。また、マスク吸着部２０が２個以上のマスク吸着ユニット２０ａにより構成される場合、マスク吸着ユニット側穴部２０ｋにより形成された２つの貫通孔のうち他方の貫通孔（つまり、図６において－Ｙ軸方向側に位置する貫通孔）は、次に接続されたマスク吸着ユニット２０ａ（つまり、負圧源３０から遠ざかる方向に接続された他のマスク吸着ユニット２０ａ）のマスク吸着ユニット側穴部２０ｋと負圧源３０とを、Ｙ軸方向に貫通して形成されたマスク吸着ユニット側穴部２０ｋにより空間的に接続して、他のマスク吸着ユニット２０ａ１，２０ａ２のマスク吸着ユニット側穴部２０ｋと接続されて吸引路２０ｆ（図６参照）を形成する。なお、マスク吸着ユニット２０ａ３は、マスク吸着部２０が２個のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれにより構成される場合には負圧源３０から最も近い位置に配置され、マスク吸着部２０が３個以上のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれにより構成される場合には負圧源３０から最も遠い端部位置以外に配置される。

【0028】

以上により、マスク吸着部２０は、１つ以上のマスク吸着ユニット２０ａ（具体的には、マスク吸着ユニット２０ａ１，２０ａ２，２０ａ３）により構成される。マスク吸着部２０は、上述した３種類のマスク吸着ユニット２０ａ１，２０ａ２，２０ａ３のそれぞれを組み合わせて構成されることで、吸着力をより容易に調整できる。マスク吸着部２０は、例えばパターン孔１３ａの密度あるいは数が多い部分（つまり、リフロー工程により基板１１の反りが大きくなりやすい部分）等の基板１１へのマスク１３の密着性を高めるべき（つまり、より強く吸着すべき）位置に吸引孔２０ｂを有するマスク吸着ユニット２０ａ１，２０ａ２を配置することで吸着力をより向上させることができる。したがって、スクリーン印刷装置１は、マスク吸着ユニット２０ａによりマスク１３の下面を吸着することにより、－Ｚ軸方向に基板１１を押え付ける力を増加させて、マスク１３による基板１１の反りをより矯正できる。

【0029】

なお、マスク吸着部２０は、マスク吸着ユニット２０ａに接続された吸引管２０ｃを分岐させ、基板クランプ機構８の基板クランプ部材８ａにも接続しても良い。つまり、スクリーン印刷装置１は、同一の負圧源３０によりマスク吸着部２０と基板クランプ部材８ａとを用いてマスク１３の下面を吸着する。これにより、スクリーン印刷装置１は、マスク吸着部２０と基板クランプ部材８ａとを用いてマスク１３の下面を吸着することで、マスク吸着部２０または基板クランプ部材８ａのいずれか一方を用いてマスク１３の下面を吸着した場合と比較して、吸着されたマスク１３により－Ｚ軸方向に基板１１を押え付ける力を増加させることができる。したがって、スクリーン印刷装置１は、－Ｚ軸方向に基板１１を押え付ける力を増加させることで、マスク１３による基板１１の反りをより矯正できる。

【0030】

第２のベースプレート１０の上面に設けられた下受け部材１２は、下受け部材昇降機構９の駆動により上下方向（Ｚ軸方向、－Ｚ軸方向）に昇降されて、基板搬送機構７に保持された状態の基板１１に対して接近または離反するように昇降される。下受け部材１２は、基板１１の下面に当接することで、基板１１の下面を下方から支持する。

【0031】

マスク吸着部２０は、第２のベースプレート１０の上面に設けられ、下受け部材１２と同様に下受け部材昇降機構９の駆動により上下方向（Ｚ軸方向、－Ｚ軸方向）に昇降されて、基板搬送機構７に保持された状態の基板１１に対して接近または離反するように昇降される。なお、マスク吸着部２０の接触面２０ｄは、下受け部材１２が基板１１の下面に当接する高さ（図９に示す高さＨ２）において、基板１１の下面に接触しない（詳細は後述する）。

【0032】

基板クランプ機構８は、基板搬送機構７の上方に配置される。基板クランプ機構８は、Ｘ軸方向に対向する一対の基板クランプ部材８ａのそれぞれを備え、いずれか一方の基板クランプ部材８ａをＹ軸方向または－Ｙ軸方向に進退させることで、基板１１の互いに対向する一対の側辺のそれぞれ（つまり、Ｘ軸方向に沿った対向する一対の側辺のそれぞれ）を一対の基板クランプ部材８ａで挟み込んで保持して固定する。また、図２Ｂに示すように、一対の基板クランプ部材８ａのそれぞれは、マスク１３を吸着するための複数の吸引孔８ｃを上面に備える。複数の吸引孔８ｃのそれぞれは、基板１１の互いに対向する一対の側辺（つまり、Ｘ軸方向）に沿って設けられる。なお、複数の吸引孔８ｃのそれぞれと接続される負圧源は、マスク吸着部２０に接続される負圧源３０であってもよいし、他の負圧源（不図示）であってもよい。

【0033】

なお、複数の吸引孔８ｃのそれぞれと接続される負圧源がマスク吸着部２０に接続される負圧源３０である場合、負圧源３０は、マスク吸着ユニット２０ａに接続された吸引管２０ｃを分岐させて、後述する一対の基板クランプ機構８の基板クランプ部材８ａに接続される。これにより、スクリーン印刷装置１は、１つの負圧源３０によりマスク吸着部２０と基板クランプ部材８ａとを用いたマスク１３の下面の吸着を実現できる。

【0034】

以上により、本実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、マスク吸着部２０における吸引孔２０ｂと基板クランプ部材８ａが有する各吸引孔８ｃのそれぞれとを用いてマスク１３の下面を吸引して吸着する。これにより、スクリーン印刷装置１は、１つの負圧源３０によりマスク吸着部２０と基板クランプ部材８ａとを用いてマスク１３の下面を基板１１に対して四方向（Ｘ軸方向、－Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、および－Ｙ軸方向のそれぞれ）から吸着できるため、基板１１がどの方向に反っていてもより効果的に矯正できる。したがって、スクリーン印刷装置１は、マスク吸着部２０と基板クランプ部材８ａとを用いたマスク１３の下面の吸着することで、マスク吸着部２０または基板クランプ部材８ａのいずれか一方を用いてマスク１３の下面を吸着した場合と比較して、吸着されたマスク１３により－Ｚ軸方向に基板１１を押え付ける力を増加させることができる。つまり、スクリーン印刷装置１は、－Ｚ軸方向に基板１１を押え付ける力を増加させることで、マスク１３による基板１１の反りをより矯正できる。

【0035】

スクリーン印刷装置１は、基板クランプ部材８ａによってＹ軸方向および－Ｙ軸方向から基板１１の側辺を保持し、基板１１の移動を規制した状態で基板保持ステージ移動機構２を駆動して基板１１をＺ軸方向に上昇させる。スクリーン印刷装置１は、基板保持ステージ移動機構２を駆動して、基板１１の上面とマスク１３の下面とが接触する高さ位置に位置決めする。このように、スクリーン印刷装置１は、基板保持ステージ４における基板クランプ部材８ａより基板１１を保持した状態で、基板保持ステージ移動機構２をＺ軸方向に上昇させることで、マスク１３の下方から基板１１を接近させ、マスク１３の下面に基板１１の上面が接触する所定の高さに位置決めする。

【0036】

スクリーン印刷装置１は、基板保持ステージ移動機構２を駆動することにより、基板クランプ部材８ａによって保持された基板１１とともにマスク吸着部２０を上昇させる。マスク吸着部２０は、接触面２０ｄがマスク１３の下面に接触する所定の高さ、またはマスク吸着部２０によりマスク１３の下面を吸着可能（つまり、負圧源３０の駆動によりマスク吸着部２０がマスク１３の下面を吸着可能）であって、接触面２０ｄがマスク１３の下面に接触しない所定の高さ（図９に示す高さＨ０）で位置決めする。

【0037】

次に、スクリーン印刷部３について説明する。図１、図２Ａおよび図２Ｂに示す例おいて、スクリーン印刷部３は、平板状に形成され、例えば矩形状のマスク１３を備える（図２Ａ参照）。枠体１４は、基板保持ステージ移動機構２の上方において所定の高さに固定され、マスク１３の外縁に配置されて所定の高さでマスク１３を展張保持する。マスク１３は、基板１１上に形成された複数の電極１１ａのそれぞれ（図２Ｂ参照）の形状および位置に対応した複数のパターン孔１３ａのそれぞれ（図２Ａ参照）が形成される。

【0038】

マスク１３は、上方にスキージヘッド１５が配置される。スキージヘッド１５は、水平に形成されたプレート１５ａを備え、プレート１５ａに複数のスキージ１５ｂのそれぞれを昇降させるスキージ昇降機構１５ｃを備える。スキージ昇降機構１５ｃは、下方（－Ｚ軸方向）に向けて延伸する複数のロッド１５ｄのそれぞれを有する。複数のロッド１５ｄのそれぞれは、下端部にスキージ１５ｂが装着される。複数のスキージ１５ｂのそれぞれは、ロッド１５ｄを介して一体に構成されたスキージ昇降機構１５ｃにより駆動され、マスク１３の上面に接する高さまで降下されて基板１１にはんだペーストを印刷する。

【0039】

次に、図３を参照して、マスク吸着部２０、下受け部材１２、および基板１１のそれぞれの位置関係について説明する。図３は、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１の部分側面図である。

【0040】

図３（ａ）は、基板１１の搬送方向（Ｘ軸方向）の寸法α１が下受け部材１２のＸ軸方向の寸法β１以下の場合（つまり、寸法α１≦寸法β１）におけるマスク吸着部２０と下受け部材１２または基板１１との間の位置関係を示す図である。複数のマスク吸着部２０のそれぞれは、第２のベースプレート１０の上面に配置された下受け部材１２を挟んで下受け部材１２からＸ軸方向および－Ｘ軸方向のそれぞれに所定距離だけ離間した位置に配置される。

【0041】

図３（ｂ）は、基板１１の搬送方向（Ｘ軸方向）の寸法α２が下受け部材１２のＸ軸方向の寸法β２より大きい場合（つまり、寸法α２＞寸法β２）におけるマスク吸着部２０と下受け部材１２または基板１１との間の位置関係を示す図である。複数のマスク吸着部２０のそれぞれは、第２のベースプレート１０の上面に配置された下受け部材１２を挟んで下受け部材１２からＸ軸方向および－Ｘ軸方向のそれぞれに所定距離だけ離間した位置に配置される。

【0042】

また、ここで、一対のマスク吸着部２０のそれぞれの配置について説明する。図３に示す距離γ１，γ２のそれぞれは、下受け部材１２の－Ｘ軸方向およびＸ軸方向のそれぞれに配置された一対のマスク吸着部２０のそれぞれの少なくとも１つのマスク吸着ユニット２０ａが備える吸引孔２０ｂの中心点間の距離である。複数のマスク吸着部２０のそれぞれは、寸法α１≦寸法β１の場合、距離γ１＞寸法β１となるように配置され、寸法α２＞寸法β２の場合、距離γ２＞寸法α２＞寸法β２となるように配置される。これにより、基板１１の寸法が下受け部材の寸法よりも大きい（つまり、寸法α２＞寸法β２）場合であっても、基板１１の上面全体をマスク１３が覆った状態で吸着することができる。また、これにより、複数のマスク吸着部２０のそれぞれは、基板保持ステージ移動機構２および下受け部材昇降機構９のそれぞれにより基板１１と略同じ高さまで上昇しても、マスク吸着部２０と基板１１との干渉を回避できる。

【0043】

なお、図３に示す一対のマスク吸着部２０のそれぞれは、下受け部材１２に対してＸ軸方向および－Ｘ軸方向のそれぞれに等しい所定距離だけ離れた位置に配置される例を示すが、これに限定されない。一対のマスク吸着部２０のそれぞれは、マスク１３に形成された複数のパターン孔１３ａのそれぞれの数および位置に基づいて、下受け部材１２との間の距離がそれぞれに異なる任意の距離だけ離れた位置に配置されてもよい。これにより、スクリーン印刷装置１は、マスク１３のそれぞれに形成されたパターン孔１３ａに応じて吸着強度を調整できる。

【0044】

次に、図４Ａ～図４Ｇを参照して第２のベースプレート１０（図１、図２参照）上に配置されたマスク吸着部２０を構成する複数のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれの構成例について説明する。図４Ａは、実施の形態におけるマスク吸着部２０の第１構成例を示す図である。図４Ｂは、実施の形態におけるマスク吸着部２０の第２構成例を示す図である。図４Ｃは、実施の形態におけるマスク吸着部２０の第３構成例を示す図である。図４Ｄは、実施の形態におけるマスク吸着部２０の第４構成例を示す図である。図４Ｅは、実施の形態におけるマスク吸着部２０の第５構成例を示す図である。図４Ｆは、実施の形態におけるマスク吸着部２０の第６構成例を示す図である。図４Ｇは、実施の形態におけるマスク吸着部２０の第７構成例を示す図である。なお、マスク吸着部２０の構成は、図４Ａ～図４Ｇのそれぞれに示す各構成例に限定されないことは言うまでもない。

【0045】

一対のマスク吸着部２０のそれぞれは、一対の基板搬送機構７のそれぞれの間、かつ、基板１１のＸ軸方向および－Ｘ軸方向（つまり、紙面左側と紙面右側）のそれぞれに配置される。一対のマスク吸着部２０のそれぞれは、基板保持ステージ移動機構２によってＺ軸方向に上昇されて、マスク１３の下面とマスク吸着部２０の接触面２０ｄとが接触する所定高さ、または、マスク吸着部２０が負圧源３０の駆動によりマスク１３の下面を吸着可能な所定高さに位置決めされる。スクリーン印刷装置１は、一対のマスク吸着部２０のそれぞれを所定高さまで上昇させた後に負圧源３０を駆動し、一対のマスク吸着部２０のそれぞれと、一対の基板クランプ機構８のそれぞれとによって略矩形状に形成されたマスク１３の４辺のそれぞれに対応する方向からマスク１３の下面を吸着する。

【0046】

一対のマスク吸着部２０のそれぞれは、少なくとも１つのマスク吸着ユニット２０ａを含んで構成される。また、一対のマスク吸着部２０のそれぞれを構成する少なくとも１つのマスク吸着ユニット２０ａは、少なくとも１つの吸引孔２０ｂを備える。

【0047】

マスク吸着ユニット２０ａは、少なくとも負圧源３０の駆動により発生した負圧を吸引孔２０ｂに伝達するための吸引路２０ｆ（図６，図７参照）が設けられる。吸引路２０ｆは、接触面２０ｄと平行となる方向に沿って設けられる。なお、吸引孔２０ｂは、マスク吸着部２０が複数のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれにより構成される場合には、すべてのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれに設けられなくてもよく、少なくとも１つのマスク吸着ユニット２０ａに吸引孔２０ｂが設けられていればよい。

【0048】

図４Ａに示す一対のマスク吸着部２０は、接触面２０ｄに吸引孔２０ｂを有する４つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれが接続（連結）されることで一体的に構成された例を示す。一対のマスク吸着部２０は、各マスク吸着ユニット２０ａが有する吸引孔２０ｂの近傍を含む吸着領域２０ｅ（吸引孔２０ｂの周囲に示された破線が示す領域）でマスク１３の下面を吸着する。ここで、吸着領域２０ｅは、少なくとも吸引孔２０ｂを含み、負圧源３０の駆動により発生した負圧を吸引管２０ｃと連通した吸引路２０ｆを通じて吸引孔２０ｂへ伝達することでマスク１３の下面を吸着することができる領域である。

【0049】

図４Ｂに示す一対のマスク吸着部２０は、接触面２０ｄに吸引孔２０ｂを有する６つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれが接続（連結）されることで一体的に構成された例を示す。一対のマスク吸着部２０は、各マスク吸着ユニット２０ａが有する吸引孔２０ｂの近傍を含む吸着領域２０ｅ（吸引孔２０ｂの周囲に示された破線が示す領域）でマスク１３の下面を吸着する。

【0050】

図４Ａおよび図４Ｂのそれぞれは、Ｙ軸方向における基板１１の寸法に合わせてマスク吸着部２０を構成するマスク吸着ユニット２０ａの数と、Ｘ軸方向におけるマスク吸着部２０の配置位置（つまり、基板１１とマスク吸着部２０との間の距離）とを変更した例を示す図である。具体的に、図４Ａに示す基板１１のＸ軸方向およびＹ軸方向の寸法は、図４Ｂに示す基板１１のＸ軸方向およびＹ軸方向の寸法以下である例を示す。これにより、作業者は、例えばリフロー工程等の過熱処理により寸法（大きさ）が変化した基板１１、あるいは異なる寸法（大きさ）の基板１１等にはんだを印刷する場合であっても、マスク吸着部２０を構成するマスク吸着ユニット２０ａの個数、およびマスク吸着部２０の配置位置（つまり、基板１１とマスク吸着部２０との間の距離）を調整することでマスク１３をより適切に吸着できる。

【0051】

具体的に、作業者は、より小さい寸法を有する基板１１にはんだを印刷する場合にはマスク吸着部２０を構成するマスク吸着ユニット２０ａの個数を減らして、一対のマスク吸着部２０のそれぞれと基板１１との間の距離を調整する。一方、作業者は、より大きい寸法を有する基板１１にはんだを印刷する場合にはマスク吸着部２０を構成するマスク吸着ユニット２０ａの個数を増やして、一対のマスク吸着部２０のそれぞれと基板１１との間の距離を調整する。

【0052】

なお、スクリーン印刷装置１は、リフロー処理前の基板１１の寸法と異なる寸法（大きさ）を有する基板１１にはんだを印刷する場合であっても、リフロー処理前の基板１１へのはんだ印刷処理の時に設置された一対のマスク吸着部２０のそれぞれの個数および配置位置で基板１１の上面とマスク１３の下面との密着性を実現可能である場合には、作業者によるマスク吸着ユニット２０ａの数および配置位置が調整（変更）されなくてもよいし、いずれか一方のみが調整（変更）されてもよい。

【0053】

図４Ｃに示す一対のマスク吸着部２０のそれぞれは、接触面２０ｄに吸引孔２０ｂが設けられた３つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれと、接触面２０ｄに吸引孔２０ｂが設けられていない２つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれとにより構成される例を示す。一対のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれは、複数のマスク吸着ユニット２０ａのうち少なくとも１つに吸引孔２０ｂがあればよく、マスク吸着部２０を構成する複数のマスク吸着ユニット２０ａのうち、吸引孔２０ｂが設けられていないマスク吸着ユニット２０ａ（具体的には、マスク吸着ユニット２０ａ１，２０ａ２）の数を増減させたり、配置を調整したりして吸着領域２０ｅを変化させることで、マスク１３の下面に対するマスク吸着部２０の吸着力（吸引力）を調整することができる。

【0054】

図４Ｄに示す一対のマスク吸着部２０のそれぞれは、マスク吸着部２０を構成するマスク吸着ユニット２０ａが異なる例を示す。例えば、基板１１に対して－Ｘ軸方向に設置されたマスク吸着部２０は、３つの接触面２０ｄに吸引孔２０ｂが設けられた３つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれと、接触面２０ｄに吸引孔２０ｂが設けられていない１つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれとにより構成され、これら４つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれのうち２つのマスク吸着ユニット２０ａに吸引管２０ｃが接続される。

【0055】

また、例えば、基板１１に対してＸ軸方向に設置されたマスク吸着部２０は、３つの接触面２０ｄに吸引孔２０ｂが設けられた３つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれと、接触面２０ｄに吸引孔２０ｂが設けられていない２つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれとにより構成され、これら５つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれのうち１つのマスク吸着ユニット２０ａに吸引管２０ｃが接続される。これにより、一対のマスク吸着部２０のそれぞれは、マスク１３に形成されたパターン孔１３ａの大きさ、配置等に応じて、マスク１３の下面に対するマスク吸着部２０の吸着力（吸引力）および吸着領域２０ｅの領域を調整し、マスク１３の下面をより適切に吸着できる。

【0056】

図４Ｅに示す一対のマスク吸着部２０のそれぞれは、接触面２０ｄに吸引孔２０ｂが設けられ、かつ、吸引管２０ｃが接続された３つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれにより構成される例を示す。マスク吸着ユニット２０ａのそれぞれは、吸引孔２０ｂによりそれぞれ単独でマスク１３の下面を吸着可能であり、Ｙ軸方向に沿って等間隔で配置されて、接触面２０ｄに設けられた吸引孔２０ｂがマスク吸着ユニット側穴部２０ｋおよび吸引路２０ｆに連通する（図６参照）。マスク吸着ユニット２０ａのそれぞれは、吸引路２０ｆが吸引管２０ｃと接続され、吸引管２０ｃと接続された負圧源３０の駆動により、接触面２０ｄ上に位置するマスク１３の下面を吸着する。

【0057】

図４Ｆに示す一対のマスク吸着部２０のそれぞれは、接触面２０ｄに吸引孔２０ｂが設けられ、かつ、吸引管２０ｃが接続された２つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれにより構成される例を示す。マスク吸着ユニット２０ａのそれぞれは、吸引孔２０ｂによりそれぞれ単独でマスク１３の下面を吸着可能であり、Ｙ軸方向に等間隔で配置されて、接触面２０ｄに設けられた吸引孔２０ｂがマスク吸着ユニット側穴部２０ｋおよび吸引路２０ｆに連通する（図６参照）。マスク吸着ユニット２０ａのそれぞれは、吸引路２０ｆが吸引管２０ｃと接続され、吸引管２０ｃと接続された負圧源３０の駆動により、接触面２０ｄ上に位置するマスク１３の下面を吸着する。

【0058】

なお、図４Ｅに示す一対のマスク吸着部２０を構成するマスク吸着ユニット２０ａの個数は、図４Ｆに示す一対のマスク吸着部２０を構成するマスク吸着ユニット２０ａの個数より多い。マスク吸着部２０は、吸引孔２０ｂを有するマスク吸着ユニット２０ａの配置間隔が狭いほどマスク１３の下面を吸着する吸着力が向上する。したがって、例えば図４Ｅおよび図４Ｆのそれぞれに示す基板１１が同じ寸法である場合、図４Ｅに示す一対のマスク吸着部２０の吸着力は、図４Ｆに示す一対のマスク吸着部２０の吸着力より大きい。

【0059】

図４Ｇに示す一対のマスク吸着部２０のそれぞれは、接触面２０ｄに吸引孔２０ｂが設けられ、かつ、吸引管２０ｃが接続された４つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれにより構成される例を示す。マスク吸着ユニット２０ａのそれぞれは、吸引孔２０ｂによりそれぞれ単独でマスク１３の下面を吸着可能であり、Ｙ軸方向に沿って等間隔で配置されて、接触面２０ｄに設けられた吸引孔２０ｂがマスク吸着ユニット側穴部２０ｋおよび吸引路２０ｆに連通する（図６参照）。マスク吸着ユニット２０ａのそれぞれは、吸引路２０ｆが吸引管２０ｃと接続され、吸引管２０ｃと接続された負圧源３０の駆動により、接触面２０ｄ上に位置するマスク１３の下面を吸着する。

【0060】

なお、図４Ｅに示す一対のマスク吸着部２０を構成するマスク吸着ユニット２０ａの個数は、図４Ｇに示す一対のマスク吸着部２０を構成するマスク吸着ユニット２０ａの個数より少ない。したがって、例えば図４Ｅおよび図４Ｇのそれぞれに示す基板１１が同じ寸法である場合、図４Ｅに示す一対のマスク吸着部２０の吸着力は、図４Ｇに示す一対のマスク吸着部２０の吸着力より小さい。

【0061】

以上のように、マスク吸着部２０の吸着領域２０ｅおよび吸引力は、吸引孔２０ｂを有するマスク吸着ユニット２０ａ（具体的に、マスク吸着ユニット２０ａ１，２０ａ２）の個数あるいは配置に基づいて調整できる。なお、マスク吸着部２０は、基板１１の寸法ごとにマスク吸着ユニット２０ａの種類、個数あるいは配置を調整されなくてよい。例えば、異なる寸法の基板１１にはんだペーストを印刷する場合であっても、印刷処理に必要な基板１１の上面とマスク１３の下面との間の十分な密着性が得られる場合、マスク吸着部２０は、マスク吸着ユニット２０ａの種類、個数あるいは配置を調整されず、そのまま使用されてもよい。

【0062】

なお、図４Ａ～図４Ｃおよび図４Ｅ～図４Ｇに示すマスク吸着部２０は、単独でマスク１３の下面を吸着できるマスク吸着ユニット２０ａの配置がＹ軸方向に沿って等間隔に配置された場合について説明してきたが、例えば図４Ｄに示すマスク吸着部２０のようにすべてのマスク吸着ユニット２０ａが等間隔で配置される必要はない。また、例えば図４Ｄに示す一対のマスク吸着部２０のように、一対のマスク吸着部２０のそれぞれを構成するマスク吸着ユニット２０ａの種類、個数、あるいは配置は、同じでなくてよい。これにより、作業者は、基板１１の寸法あるいはマスク１３のパターン孔１３ａに基づいて、はんだペーストの印刷に必要な基板１１の上面とマスク１３の下面との間の十分な密着性が得られるように、マスク吸着部２０の構成をより容易に調整できる。

【0063】

図５は、図４Ｃおよび図４Ｅに示すマスク吸着部２０の斜視図である。図５（ａ）は、図４Ｃに示すマスク吸着部２０の斜視図を示す。図５（ｂ）は、図４Ｅに示すマスク吸着部２０の斜視図を示す。

【0064】

図５（ａ）に示すマスク吸着部２０は、複数のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれが互いに結合されて一体的に構成される。具体的に、図５（ａ）に示すマスク吸着部２０は、－Ｙ軸方向（紙面の奥から手前への方向）に向かってマスク吸着ユニット２０ａ１、マスク吸着ユニット２０ａ３、マスク吸着ユニット２０ａ１、マスク吸着ユニット２０ａ３、マスク吸着ユニット２０ａ２の順で結合して構成される。

【0065】

マスク吸着ユニット脚部２０ｈは、第２のベースプレート１０（不図示）上に配置される。マスク吸着ユニット脚部２０ｈは、マスク吸着ユニット脚部２０ｈの上方から延伸するマスク吸着ユニット支持部２０ｉによってマスク吸着ユニット２０ａとの間で接続され、マスク吸着ユニット２０ａを支持する。

【0066】

マスク吸着部２０は、複数のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれのうちＹ軸方向において紙面の最奥に配置されたマスク吸着ユニット２０ａ１のマスク吸着ユニット側穴部２０ｋ（図６参照）に吸引管２０ｃが接続される。マスク吸着部２０は、各マスク吸着ユニット２０ａの内部に形成されたマスク吸着ユニット側穴部２０ｋ（図６参照）を通じて、各マスク吸着ユニット２０ａが有する吸引孔２０ｂと負圧源３０とを接続して吸引路２０ｆを形成し、負圧源３０の駆動によりマスク１３の下面を吸着する。なお、吸引管２０ｃは、図５（ａ）に示すように最奥に配置されたマスク吸着ユニット２０ａに接続される必要はなく、マスク吸着部２０を構成する複数のマスク吸着ユニット２０ａのうちのいずれかに接続されていればよい。また、吸引管２０ｃが接続されるマスク吸着ユニット２０ａは、複数のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれのうちいずれか１つのマスク吸着ユニット２０ａに限定されず、２つ以上のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれに接続されてもよい。

【0067】

図５（ｂ）に示すマスク吸着部２０は、互いに結合せず単独のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれから構成される。具体的に、図５（ａ）に示すマスク吸着部２０は、互いに結合されない３つのマスク吸着ユニット２０ａ２のそれぞれにより構成される。

【0068】

マスク吸着部２０は、各マスク吸着ユニット２０ａのそれぞれが有する吸引路２０ｆ（図６，図７参照）に吸引管２０ｃが接続される。各マスク吸着ユニット２０ａは、吸引孔２０ｂと負圧源３０とが接続され、負圧源３０の駆動によりマスク１３の下面を吸着する。マスク吸着ユニット２０ａ２は、内部に形成された吸引路２０ｆが吸引管２０ｃを介して負圧源３０に接続され、この負圧源３０とマスク吸着ユニット側穴部２０ｋを通じて吸引管２０ｃとが連通してマスク１３の下面を吸着する。

【0069】

次に、図６、図７を参照して、図４Ｃおよび図４Ｅに示すマスク吸着部２０の吸引路について説明する。図６は、図５に示すマスク吸着部２０のＳ－Ｓ断面図である。図７は、図５に示すマスク吸着部２０のＴ－Ｔ断面図である。なお、ここでいう吸引路は、各マスク吸着ユニット２０ａのそれぞれが有する吸引孔２０ｂのそれぞれから、負圧源３０までの間の経路を示す。

【0070】

まず、マスク吸着ユニット２０ａの構造について説明する。なお、固定部材２０ｍおよび固定部材２０ｍが挿入される側穴２０ｒは、一部のマスク吸着ユニット２０ａにのみ図示し、他のマスク吸着ユニット２０ａでは図示を省略する。

【0071】

側穴２０ｒは、マスク吸着ユニット２０ａの側面からマスク吸着ユニット支持部２０ｉが螺合するねじ切り孔２０ｓに連通して設けられる。側穴２０ｒは、マスク吸着ユニット支持部２０ｉの螺合状態を固定する固定部材２０ｍを備える。固定部材２０ｍは、例えば六角穴付き止めネジ等であって、ねじ切り孔２０ｓに螺合したマスク吸着ユニット支持部２０ｉをＹ軸方向に押圧することで、ねじ切り孔２０ｓとマスク吸着ユニット支持部２０ｉとの間の螺合状態の解消によるマスク吸着ユニット２０ａの回転を抑制する。なお、固定部材２０ｍは、上述した六角穴付き止めネジ等に限定されず、マスク吸着ユニット支持部２０ｉを押圧することができるものであればよい。

【0072】

マスク吸着ユニット支持部２０ｉは、上部および下部が雄ネジとなっており、マスク吸着ユニット２０ａの下面（－Ｚ軸方向の面）に形成されたねじ切り孔２０ｓと、マスク吸着ユニット２０ａの下面と対向するマスク吸着ユニット脚部２０ｈの上面に形成されたねじ切り孔２０ｔとに螺合される。マスク吸着ユニット支持部２０ｉは、作業者により所定の方向に回転されて、マスク吸着ユニット２０ａの接触面２０ｄおよび吸引孔２０ｂのＺ軸方向の高さを調整可能にする。なお、マスク吸着ユニット支持部２０ｉは、ねじ切り孔２０ｓに接着されて固着されてもよい。このような場合、側穴２０ｒおよび固定部材２０ｍは、不要となる。また、マスク吸着ユニット支持部２０ｉの上部は、雄ネジが形成されなくてよい。

【0073】

なお、マスク吸着ユニット２０ａのＺ軸方向の昇降手段は、マスク吸着ユニット支持部２０ｉに限定されない。例えば、マスク吸着ユニット２０ａは、マスク吸着ユニット２０ａの下方にシリンダ等の昇降手段が設けられて、Ｚ軸方向の昇降を実現してもよい。

【0074】

また、マスク吸着ユニット２０ａは、後述する凸部２０оおよび凹部２０ｐにより他のマスク吸着ユニット２０ａと結合される。マスク吸着ユニット２０ａは、凸部２０оと凹部２０ｐとの結合による結合力、あるいはマスク１３の下面に対する接触面２０ｄの平衡度等がマスク１３の下面の吸着に十分である場合、マスク吸着ユニット脚部２０ｈおよびマスク吸着ユニット支持部２０ｉの構成を省略してもよい。

【0075】

マスク吸着ユニット脚部２０ｈは、マスク吸着ユニット２０ａの設置面である第２のベースプレート１０と接触する面に、マスク吸着ユニット脚部２０ｈの内部に向かう方向（例えば、図６に示すＺ軸方向）に向かって脚部側穴部２０ｌが形成されて、マスク吸着ユニット２０ａを固定可能なマグネット部材２０ｊを収容する。なお、マグネット部材２０ｊは、脚部側穴部２０ｌに収容されず、マスク吸着ユニット脚部２０ｈの下面に結合されてもよい。このような場合、マグネット部材２０ｊは、マスク吸着ユニット脚部２０ｈの下面と同じ大きさおよび形状で形成されてもよい。また、マグネット部材２０ｊの高さは、脚部側穴部２０ｌの穴の深さと同一であってもよいし、脚部側穴部２０ｌの穴の深さよりも小さくてもよい。これにより、作業者は、マスク吸着ユニット脚部２０ｈの下面にマグネット部材２０ｊにより、第２のベースプレート１０上へのマスク吸着ユニット２０ａの脱着あるいはマスク吸着部２０を構成する１つ以上のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれの位置の調整をより容易に行える。

【0076】

図６に示すマスク吸着部２０は、吸引管２０ｃが接続されたマスク吸着ユニット２０ａ１のマスク吸着ユニット側穴部２０ｋと、このマスク吸着ユニット側穴部２０ｋと接続された他のマスク吸着ユニット２０ａのマスク吸着ユニット側穴部２０ｋおよび吸引孔２０ｂとがマスク１３を吸引する吸引路として機能する。これにより、マスク吸着部２０は、負圧源３０の駆動によりマスク１３の下面を吸着可能になる。

【0077】

図７に示すマスク吸着部２０は、これら３つのマスク吸着ユニット２０ａ２のそれぞれの吸引孔２０ｂでマスク１３の下面を吸着する。なお、３つのマスク吸着ユニット２０ａ２のそれぞれに接続された負圧源３０は、同一の負圧源３０であってもよいし、異なる負圧源（不図示）のそれぞれであってもよい。

【0078】

次に、図８を参照して、複数のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれの結合するための構造について説明する。図８は、実施の形態におけるマスク吸着ユニット２０ａの結合例を説明する図である。

【0079】

図８（ａ）は、マスク吸着ユニット２０ａ同士が結合する結合面２０ｎを示す図である。結合面２０ｎは、結合面２０ｎの中央部分に、マスク吸着ユニット２０ａの内部に向かって形成されたマスク吸着ユニット側穴部２０ｋの貫通孔が貫通しており、このマスク吸着ユニット側穴部２０ｋの周囲に凸部２０ｏおよび凹部２０ｐのそれぞれが形成される。なお、図８に示す凸部２０ｏおよび凹部２０ｐの数および位置は、一例でありこれに限定されなくてもよい。

【0080】

凸部２０ｏのそれぞれは、図８（ｂ）に示すように他のマスク吸着ユニット２０ａに形成された凹部２０ｐのそれぞれに対応する位置に嵌合可能に設けられる。凸部２０ｏのそれぞれは、他のマスク吸着ユニット２０ａに形成された凹部２０ｐのそれぞれと嵌合して、２つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれを結合する。

【0081】

凹部２０ｐのそれぞれは、マスク吸着ユニット２０ａ内部に向かって設けられた窪みであって、図８（ｂ）に示すように他のマスク吸着ユニット２０ａに形成された凸部２０оのそれぞれに対応する位置に嵌合可能に設けられる。

【0082】

なお、凸部２０ｏおよび凹部２０ｐの形状は、図８に示す球面形状に限定されず、例えば円柱状、四角柱状、三角錐状、円錐状等であってもよい。また、マスク吸着ユニット２０ａ同士の誤結合（例えば、吸引孔２０ｂが第２のベースプレート１０側を向いた状態での結合、マスク吸着ユニット２０ａ同士のマスク吸着ユニット側穴部２０ｋが接続されない状態での結合等）を防止するため、図８に示すように結合面２０ｎの上部に２つの凸部２０ｏまたは凹部２０ｐを配置し、結合面２０ｎの下部に１つの凸部２０ｏまたは凹部２０ｐを形成することで、マスク吸着ユニット２０ａ同士の結合方向を限定できる。したがって、本実施の形態におけるマスク吸着ユニット２０ａは、結合面２０ｎの上部と下部（もしくは左右）で異なる数の凸部２０ｏと凹部２０ｐとを有することで、マスク吸着ユニット２０ａ同士の誤結合をより防止できる。

【0083】

また、向かい合う一方の結合面２０ｎに形成された凸部２０ｏは、磁性体で形成されてもよい。このような場合、作業者は、他方の結合面２０ｎに形成された凹部２０ｐが凸部２０ｏに向かって引き寄せられる磁力を利用してマスク吸着ユニット２０ａ同士の結合が可能となるため、結合と分離とをより容易に行うことができる。

【0084】

図８（ｂ）は、２つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれの結合面２０ｎに形成された凸部２０оおよび凹部２０ｐのそれぞれの高さ関係を示す図である。凸部２０оおよび凹部２０ｐのそれぞれは、互いに嵌合可能な高さに形成される。

【0085】

図８（ｃ）は、２つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれの結合のようすを示す図である。２つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれは、凸部２０ｏと凹部２０ｐとが嵌合することで、互いの結合面２０ｎの相対的位置が固定されて位置決めされる。これにより、２つのマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれは、互いのマスク吸着ユニット２０ａの接触面２０ｄの高さがばらつくことなくマスク吸着ユニット２０ａ同士を結合される。

【0086】

図９および図１０を参照して、マスク吸着部２０がマスク１３の下面を吸着するまでの動作手順を説明する。図９は、実施の形態におけるマスク吸着部２０の吸着動作例を説明する図である。図１０は、実施の形態におけるマスク吸着部２０の吸着動作例を説明する図である。なお、図９は、スクリーン印刷装置１をＸ軸方向からみたスクリーン印刷装置１の側面図である。図１０は、図９に示す断面線のそれぞれでスクリーン印刷装置１を切断したスクリーン印刷装置１のＵＵ断面、ＶＶ断面、ＷＷ断面を示す断面図である。なお、図９および図１０に示すスクリーン印刷装置１は、マスク吸着部２０がマスク１３の下面を吸着するまでの動作手順を説明するために必要な構成を示し、一部の構成の図示を省略する。

【0087】

図９（ａ）および図１０（ａ）に示すスクリーン印刷装置１は、上流側から搬入された基板１１が基板搬送機構７の基板搬送コンベア７ａによって所定の基板搬送位置まで搬送され、基板保持ステージ移動機構２によって下受け部材１２の上方に位置決めた状態を示す。

【0088】

図９（ａ）および図１０（ａ）に示すように、スクリーン印刷装置１は、基板保持ステージ移動機構２によって下受け部材１２の上方に基板１１を位置決めした後、図９（ｂ）および図１０（ｂ）に示すように、下受け部材昇降機構９を駆動する。スクリーン印刷装置１は、下受け部材昇降機構９により現在の高さＨ１から下受け部材１２の上面が基板１１の下面に当接する高さＨ２まで第２のベースプレート１０を上昇させる。下受け部材１２は、高さＨ２の位置で基板１１の下面を下方から支持する。

【0089】

また、マスク吸着部２０は、第２のベースプレート１０の上面に設けられるため、下受け部材昇降機構９の駆動によりＺ軸方向に上昇される。なお、マスク吸着部２０は、高さＨ２において接触面２０ｄの高さと基板１１の上面とが同じ高さとなるようにマスク吸着ユニット脚部２０ｈの高さが調整されていてもよいし、マスク１３の下面を吸着可能な高さであって、図９に示すように上昇後のマスク吸着部２０の接触面２０ｄの高さが基板１１の上面の高さよりも下方となるようにマスク吸着ユニット脚部２０ｈの高さが調整されていてもよい。

【0090】

図９（ｃ）および図１０（ｃ）に示すスクリーン印刷装置１は、基板保持ステージ移動機構２を駆動し、下受け部材昇降機構９をＺ軸方向に上昇させる。スクリーン印刷装置１は、基板１１を高さＨ０で保持した状態で、基板保持ステージ移動機構２により現在の高さＨ３から基板１１の上面がマスク１３の下面と当接する高さＨ４まで下受け部材昇降機構９を上昇させる。なお、マスク吸着部２０は、高さＨ２において接触面２０ｄの高さと基板１１の上面とが同じ高さとなるようにマスク吸着ユニット脚部２０ｈの高さが調整されていてもよいし、マスク１３の下面を吸着可能な高さであって、図９に示すように上昇後のマスク吸着部２０の接触面２０ｄの高さが基板１１の上面の高さよりも下方となるようにマスク吸着ユニット脚部２０ｈの高さが調整されていてもよい。

【0091】

スクリーン印刷装置１は、基板保持ステージ移動機構２により現在の高さＨ３から基板１１の上面がマスク１３の下面と当接する高さＨ４まで下受け部材昇降機構９を上昇させた後、負圧源３０を駆動し、基板クランプ機構８の吸引孔８ｃと、マスク吸着部２０の吸引孔２０ｂとによりマスク１３の下面を吸引する。これにより、本実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、略矩形状を有するマスク１３を基板１１に対して四方向から吸引することで、基板１１に反りがあった場合でも基板１１の反りをより矯正できる。なお、本実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、吸引孔８ｃが設けられたＸ軸方向と直交する方向（つまり、Ｙ軸方向）に沿って基板１１が反っている場合であっても、基板１１を挟んでＸ軸方向に配置された一対のマスク吸着部２０によりマスク１３の下面を吸引することで、基板１１のＹ軸方向の反りをより効果的に矯正できる。したがって、スクリーン印刷装置１は、基板１１に反りがあっても、マスク１３と基板１１との間の密着性を向上させることができるため、マスク１３と基板１１との間のギャップをより小さくできる。これにより、スクリーン印刷装置１は、このギャップにはんだが侵入した状態で基板１１上のランドにはんだが転写されることを抑制し、印刷不良の発生をより抑制できる。

【0092】

以上により、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、所定位置に基板１１を搬送する一対の基板搬送コンベア７ａと、所定位置の基板１１を下方から支持する下受け部材１２と、基板１１の対向する側辺を保持する一対の基板クランプ部材８ａと、一対の基板搬送コンベア７ａの間に配置され、負圧源３０の駆動により側辺と交差する方向に沿う所定の吸着領域２０ｅでマスク１３を吸着するマスク吸着部２０と、パターン孔１３ａが形成されたマスク１３に基板１１を接触させて、パターン孔１３ａを介してペーストを基板１１に印刷するスクリーン印刷部３（印刷部の一例）と、を備える。

【0093】

これにより、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、吸引孔８ｃが設けられたＸ軸方向と直交する方向（つまり、Ｙ軸方向）に沿って基板１１が反っている場合であっても、マスク１３を基板１１に対して四方向（つまり、基板１１の対向する側辺（Ｘ軸方向）と、この側辺に直交する方向（Ｙ軸方向））から吸引することで基板１１の反りをより矯正できる。したがって、スクリーン印刷装置１は、基板１１に反りがあっても、マスク１３と基板１１との間の密着性を向上させることができるため、マスク１３と基板１１との間のギャップをより小さくできる。これにより、スクリーン印刷装置１は、このギャップにはんだが侵入した状態で基板１１上のランドにはんだが転写されることを抑制し、印刷不良の発生をより抑制できる。

【0094】

また、以上により、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１が備えるマスク吸着部２０は、マスク１３に接触し、マスク１３を吸着可能な少なくとも１つの吸引孔２０ｂ（第１の吸引孔の一例）の個数または配置に基づく吸着領域２０ｅを有する。これにより、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、吸引孔２０ｂの個数または配置に基づいて、吸着領域２０ｅを調整できる。したがって、スクリーン印刷装置１は、一対のマスク吸着部２０のそれぞれは、マスク１３に形成されたパターン孔１３ａの大きさ、配置等に応じて、マスク１３の下面に対するマスク吸着部２０の吸着力（吸引力）および吸着領域２０ｅの領域を調整可能となり、マスク１３の下面をより適切に吸着し、基板１１の反りをより適切に矯正できる。

【0095】

また、以上により、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１が備えるマスク吸着部２０は、少なくとも１つのマスク吸着ユニット２０ａにより構成され、マスク１３と接触する接触面２０ｄに少なくとも１つの吸引孔２０ｂを有する。これにより、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、マスク１３の下面を吸引して吸着できる。

【0096】

また、以上により、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１が備える複数のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれは、互いに結合されて１つのマスク吸着部２０を構成し、少なくとも１つのマスク吸着ユニット２０ａが負圧源３０と接続されてマスク１３を吸着する。これにより、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、基板１１の大きさ、マスク１３に形成されたパターン孔１３ａの大きさまたは配置等に応じて、マスク１３の下面に対するマスク吸着部２０の吸着力（吸引力）の大きさおよび吸着領域２０ｅの領域を調整可能となり、マスク１３の下面をより適切に吸着し、基板１１の反りをより適切に矯正できる。

【0097】

また、以上により、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１が備えるマスク吸着ユニット２０ａは、マスク吸着ユニット２０ａの内部に接触面２０ｄに沿うマスク吸着ユニット側穴部２０ｋ（空間の一例）を有し、マスク吸着ユニット側穴部２０ｋによって吸引孔２０ｂと負圧源３０とを接続する吸引路２０ｆを形成する。これにより、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、マスク吸着部２０が複数の吸引孔２０ｂのそれぞれを備える場合であっても、１つの負圧源３０でマスク１３の吸着（吸引）を実現できる。

【0098】

また、以上により、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１が備えるマスク吸着部２０は、２つ以上のマスク吸着ユニット２０ａにより構成される場合、２つ以上のマスク吸着ユニット２０ａのそれぞれが個別に負圧源３０と接続されてマスク１３を吸着する。これにより、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、マスク吸着部２０の吸着力（吸引力）をより向上させることができる。

【0099】

また、以上により、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、マスク吸着ユニット２０ａを昇降可能に移動させるマスク吸着ユニット支持部２０ｉおよびマスク吸着ユニット脚部２０ｈ（昇降部の一例）と、をさらに備える。マスク吸着ユニット支持部２０ｉおよびマスク吸着ユニット脚部２０ｈは、下受け部材１２の設置面と同じ面（つまり、第２のベースプレート１０の上面）上に配置される。これにより、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、基板１１の厚み等に対応する高さにマスク吸着部２０の接触面２０ｄおよび吸引孔２０ｂの高さを調整できる。

【0100】

また、以上により、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１が備えるマスク吸着ユニット支持部２０ｉおよびマスク吸着ユニット脚部２０ｈは、下受け部材１２が設置された設置面（つまり、第２のベースプレート１０の上面）と接触する面（つまり、マスク吸着ユニット脚部２０ｈの底面）にマグネット部材２０ｊ（磁性体の一例）を有する。これにより、作業者は、マスク吸着部２０の構成および配置の変更また調整をより容易に行うことができる。

【0101】

また、以上により、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、一対の基板クランプ部材８ａのそれぞれに設けられ、側辺の方向に沿って基板１１を吸着する複数の吸引孔８ｃのそれぞれ（第２の吸引孔の一例）をさらに備える。マスク吸着部２０の吸引孔２０ｂと基板クランプ部材８ａの吸引孔８ｃとは、負圧源３０に接続されてマスク１３を吸着する。これにより、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、１つの負圧源３０によりマスク吸着部２０と基板クランプ部材８ａとを用いてマスク１３の下面を基板１１に対して四方向（Ｘ軸方向、－Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、および－Ｙ軸方向のそれぞれ）から吸着できるため、基板１１がどの方向に反っていてもより効果的に矯正できる。したがって、スクリーン印刷装置１は、マスク吸着部２０と基板クランプ部材８ａとを用いたマスク１３の下面の吸着することで、マスク吸着部２０または基板クランプ部材８ａのいずれか一方を用いてマスク１３の下面を吸着した場合と比較して、吸着されたマスク１３により－Ｚ軸方向に基板１１を押え付ける力を増加させることができる。つまり、スクリーン印刷装置１は、－Ｚ軸方向に基板１１を押え付ける力を増加させることで、マスク１３による基板１１の反りをより矯正できる。

【0102】

また、以上により、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１が備えるマスク吸着部２０の吸引孔２０ｂは、マスク１３のパターン孔１３ａの位置に対応する位置に配置される。これにより、実施の形態に係るスクリーン印刷装置１は、基板１１の大きさ、マスク１３に形成されたパターン孔１３ａの大きさまたは配置等に応じて、マスク１３の下面に対するマスク吸着部２０の吸着力（吸引力）の大きさおよび吸着領域２０ｅの領域を調整可能となり、マスク１３の下面をより適切に吸着し、基板１１の反りをより適切に矯正できる。

【0103】

以上、添付図面を参照しながら各種の実施の形態について説明したが、本開示はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例、修正例、置換例、付加例、削除例、均等例に想到し得ることは明らかであり、それらについても本開示の技術的範囲に属すると了解される。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した各種の実施の形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0104】

本開示は、基板の反りをより効果的に矯正でき、基板とマスクとの密着性を向上させて高品質な印刷を実現できるスクリーン印刷装置として有用である。

【符号の説明】

【0105】

１ スクリーン印刷装置
２ 基板保持ステージ移動機構
３ スクリーン印刷部
４ 基板保持ステージ
７ 基板搬送機構
７ａ 基板搬送コンベア
８ 基板クランプ機構
８ａ 基板クランプ部材
８ｃ 吸引孔
１１ 基板
１２ 下受け部材
１３ マスク
１３ａ パターン孔
２０ マスク吸着部
２０ａ マスク吸着ユニット
２０ｂ 吸引孔
２０ｄ 接触面
２０ｅ 吸着領域
２０ｆ 吸引路
２０ｋ マスク吸着ユニット側穴部
２０ｉ マスク吸着ユニット支持部
２０ｊ マグネット部材
３０ 負圧源

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図4D】

【図4E】

【図4F】

【図4G】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】