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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024166768
(43)【公開日】2024-11-29
(54)【発明の名称】厚さ計測装置、厚さ計測方法及び厚さ計測プログラム
(51)【国際特許分類】
G01B 15/02 20060101AFI20241122BHJP
【ＦＩ】
G01B15/02 H
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023083096
(22)【出願日】2023-05-19
(71)【出願人】
【識別番号】515086908
【氏名又は名称】株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング
(74)【代理人】
【識別番号】110002516
【氏名又は名称】弁理士法人白坂
(72)【発明者】
【氏名】相浦 弘樹
(72)【発明者】
【氏名】杉浦 知将
【テーマコード（参考）】
2F067
【Ｆターム（参考）】
2F067AA27
2F067BB16
2F067DD01
2F067HH04
2F067JJ03
2F067KK06
2F067LL16
2F067RR12
2F067RR24
2F067RR27
(57)【要約】
【課題】部材の厚さを計測することが可能な厚さ計測装置、厚さ計測方法及び厚さ計測プログラムを提供する。
【解決手段】厚さ計測装置は、第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際の透過Ｘ線の第１画像情報と、当該積層体に第２エネルギでＸ線を照射した際の透過Ｘ線の第２画像情報とを取得する取得部と、第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及び第１重み係数と、第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及び第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出部と、第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出部と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】厚さ計測装置は、第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際の透過Ｘ線の第１画像情報と、当該積層体に第２エネルギでＸ線を照射した際の透過Ｘ線の第２画像情報とを取得する取得部と、第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及び第１重み係数と、第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及び第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出部と、第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出部と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際の当該積層体を透過した透過Ｘ線の第１画像情報と、当該積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の前記積層体を透過した透過Ｘ線の第２画像情報と、を取得する取得部と、
前記取得部で取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及び当該第１輝度値に乗算する第１重み係数と、前記取得部で取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及び当該第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出部と、
前記第１算出部で算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出部と、
を備える厚さ計測装置。
前記取得部で取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及び当該第１輝度値に乗算する第１重み係数と、前記取得部で取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及び当該第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出部と、
前記第１算出部で算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出部と、
を備える厚さ計測装置。
【請求項2】
前記第１算出部の算出で用いる第１重み係数及び第２重み係数は、第１材質部材のＸ線吸収係数に依存した値である
請求項１に記載の厚さ計測装置。
請求項１に記載の厚さ計測装置。
【請求項3】
前記第１算出部は、第１エネルギで取得した画像の重み係数としての第１重み係数をＫＨ、第１画像情報に基づく画像の第１輝度値をＤＨ、第２エネルギで取得した画像の重み係数としての第２重み係数をＫＬ、第２画像情報に基づく画像の第２輝度値をＤＬとすると、下式（１）により第３輝度値Ｄｓｕｂを算出する
Ｄｓｕｂ＝ＫＨＤＨ－ＫＬＤＬ・・・（１）
請求項２に記載の厚さ計測装置。
Ｄｓｕｂ＝ＫＨＤＨ－ＫＬＤＬ・・・（１）
請求項２に記載の厚さ計測装置。
【請求項4】
前記第２算出部の算出で用いるＸ線吸収係数は、部材の厚さに依存する輝度吸収係数、及び、部材の厚さに依存しない吸収係数のうちの一方である
請求項１～３のいずれか１項に記載の厚さ計測装置。
請求項１～３のいずれか１項に記載の厚さ計測装置。
【請求項5】
前記第２算出部は、第１エネルギに対応する第１材質部材の吸収係数をμ１（Ｈ）、第２エネルギに対応する第１材質部材の吸収係数をμ１（Ｌ）、第１エネルギに対応する第２材質部材の吸収係数をμ２（Ｈ）、第２エネルギに対応する第２材質部材の吸収係数をμ２（Ｌ）とすると、下式（２）により第２材質部材の厚さｔ２を算出する
請求項４に記載の厚さ計測装置。
【数1】
【請求項6】
前記第２算出部は、第１エネルギに対応する第１材質部材の輝度吸収係数をμ１（Ｈ）、第２エネルギに対応する第１材質部材の輝度吸収係数をμ１（Ｌ）、第１エネルギに対応する第２材質部材の輝度吸収係数をμ２（Ｈ）、第２エネルギに対応する第２材質部材の吸収係数をμ２（Ｌ）とすると、下式（３），（４）により表される第２材質部材の輝度吸収係数μ２（Ｈ），μ２（Ｌ）に基づいて、下式（５）により第２材質部材の厚さｔ２を算出する
μ２（Ｈ）＝ａ２（Ｈ）ｔ２＋ｂ２（Ｈ）・・・（３）
μ２（Ｌ）＝ａ２（Ｌ）ｔ２＋ｂ２（Ｌ）・・・（４）
ａ２，ｂ２：係数
・・・（５）
請求項４に記載の厚さ計測装置。
μ２（Ｈ）＝ａ２（Ｈ）ｔ２＋ｂ２（Ｈ）・・・（３）
μ２（Ｌ）＝ａ２（Ｌ）ｔ２＋ｂ２（Ｌ）・・・（４）
ａ２，ｂ２：係数
【数2】
請求項４に記載の厚さ計測装置。
【請求項7】
第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギで電磁波を照射した際の当該積層体を透過した透過電磁波の第１画像情報と、前記積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギで電磁波を照射した際の前記積層体を透過した透過電磁波の第２画像情報と、を取得する取得部と、
前記取得部で取得した第１画像情報に基づく透過電磁波の第１輝度値及び当該第１輝度値に乗算する第１重み係数と、前記取得部で取得した第２画像情報に基づく透過電磁波の第２輝度値及び当該第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出部と、
前記第１算出部で算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応する電磁波吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応する電磁波吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応する電磁波吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応する電磁波吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出部と、
を備える厚さ計測装置。
前記取得部で取得した第１画像情報に基づく透過電磁波の第１輝度値及び当該第１輝度値に乗算する第１重み係数と、前記取得部で取得した第２画像情報に基づく透過電磁波の第２輝度値及び当該第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出部と、
前記第１算出部で算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応する電磁波吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応する電磁波吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応する電磁波吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応する電磁波吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出部と、
を備える厚さ計測装置。
【請求項8】
コンピュータが、
第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際の当該積層体を透過した透過Ｘ線の第１画像情報と、当該積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の前記積層体を透過した透過Ｘ線の第２画像情報と、を取得する取得ステップと、
前記取得ステップで取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及び当該第１輝度値に乗算する第１重み係数と、前記取得ステップで取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及び当該第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出ステップと、
前記第１算出ステップで算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出ステップと、
を実行する厚さ計測方法。
第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際の当該積層体を透過した透過Ｘ線の第１画像情報と、当該積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の前記積層体を透過した透過Ｘ線の第２画像情報と、を取得する取得ステップと、
前記取得ステップで取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及び当該第１輝度値に乗算する第１重み係数と、前記取得ステップで取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及び当該第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出ステップと、
前記第１算出ステップで算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出ステップと、
を実行する厚さ計測方法。
【請求項9】
コンピュータに、
第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際の当該積層体を透過した透過Ｘ線の第１画像情報と、当該積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の前記積層体を透過した透過Ｘ線の第２画像情報と、を取得する取得機能と、
前記取得機能で取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及び当該第１輝度値に乗算する第１重み係数と、前記取得機能で取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及び当該第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出機能と、
前記第１算出機能で算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出機能と、
を実現させる厚さ計測プログラム。
第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際の当該積層体を透過した透過Ｘ線の第１画像情報と、当該積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の前記積層体を透過した透過Ｘ線の第２画像情報と、を取得する取得機能と、
前記取得機能で取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及び当該第１輝度値に乗算する第１重み係数と、前記取得機能で取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及び当該第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出機能と、
前記第１算出機能で算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出機能と、
を実現させる厚さ計測プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、厚さ計測装置、厚さ計測方法及び厚さ計測プログラムに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、放射線を被写体に照射して、その被写体を透過した放射線により画像を得る装置が存在する。その装置は、エネルギサブトラクションを行って差分画像を取得する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１９－１６２３５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
近年、放射線を利用して部材の厚さを計測することが行われている。特許文献１に記載された発明は、差分画像を取得するのみで、部材の厚さを取得することができない。
【0005】
本開示は、部材の厚さを計測することが可能な厚さ計測装置、厚さ計測方法及び厚さ計測プログラムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
一態様の厚さ計測装置は、第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際の当該積層体を透過した透過Ｘ線の第１画像情報と、当該積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の積層体を透過した透過Ｘ線の第２画像情報と、を取得する取得部と、取得部で取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及び当該第１輝度値に乗算する第１重み係数と、取得部で取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及び当該第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出部と、第１算出部で算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出部と、を備える。
【発明の効果】
【0007】
一態様によれば、部材の厚さを計測することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】一実施形態に係る厚さ計測装置について説明するための図である。
【図2】一実施形態に係る厚さ計測装置（処理部）について説明するためのブロック図である。
【図3】対象、Ｘ線源及び検出部の一例について説明するための図である。
【図4】一実施形態に係る厚さ計測方法について説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、一実施形態について説明する。
【0010】
【0011】
厚さ計測装置１は、複数の材質の異なる部材を積層した積層体（対象２０）に放射線等の電磁波を照射して、積層体（対象２０）を構成する１つの部材の厚さを計測する装置等である。すなわち、厚さ計測装置１は、エネルギサブトラクションを応用して１つの積層体（対象２０）につき複数の画像情報を取得し、各画像情報に記録される輝度値を利用して、積層体（対象２０）を構成する１つの部材の厚さを計測する装置等である。
【0012】
厚さ計測装置１は、例えば、Ｘ線源２、Ｘ線検出部（検出部）３及び処理部１０を備える。
【0013】
Ｘ線源２は、対象２０（積層体）に対して照射するＸ線を発生させるＸ線発生装置である。Ｘ線源２は、例えば、固定陽極Ｘ線管を備える。Ｘ線管の陽極には、例えば、ターゲットとして、タングステン、モリブデン等の金属が使用される。
Ｘ線源２は、例えば、後述する処理部１０の制御に基づいて、発生させるＸ線量（エネルギ量）を設定する。Ｘ線源２は、Ｘ線を照射する際の管電圧、管電流及び照射時間のうち少なくとも１つを変更可能であり、管電圧、管電流及び照射時間のうち少なくとも１つが変更されることにより、照射Ｘ線の強度又は照射時間（エネルギ量）を変更する。
Ｘ線源２には、例えば、公知のＸ線用の照射装置が使用されてもよい。
対象２０は、例えば、金属部材を始めとする種々の材質からなる部材等であってもよい。
Ｘ線源２は、例えば、後述する処理部１０の制御に基づいて、発生させるＸ線量（エネルギ量）を設定する。Ｘ線源２は、Ｘ線を照射する際の管電圧、管電流及び照射時間のうち少なくとも１つを変更可能であり、管電圧、管電流及び照射時間のうち少なくとも１つが変更されることにより、照射Ｘ線の強度又は照射時間（エネルギ量）を変更する。
Ｘ線源２には、例えば、公知のＸ線用の照射装置が使用されてもよい。
対象２０は、例えば、金属部材を始めとする種々の材質からなる部材等であってもよい。
【0014】
検出部３は、例えば、Ｘ線源２から照射された後、対象２０を透過したＸ線を検出する。検出部３は、例えば、対象２０を透過した透過Ｘ線の強度を検出する。検出部３には、例えば、公知のＸ線用の検出装置が使用されてもよい。
なお、検出部３は、例えば、Ｘ線を利用した撮像が可能な撮像装置等であってもよい。この場合、検出部３（撮像装置）は、撮像を行うと画像情報（Ｘ線画像情報）を生成してもよい。Ｘ線源２と検出部３との間に対象２０が存在する場合、検出部３は、対象２０を透過したＸ線の画像（透過Ｘ線画像情報）を生成してもよい。
なお、検出部３は、例えば、Ｘ線を利用した撮像が可能な撮像装置等であってもよい。この場合、検出部３（撮像装置）は、撮像を行うと画像情報（Ｘ線画像情報）を生成してもよい。Ｘ線源２と検出部３との間に対象２０が存在する場合、検出部３は、対象２０を透過したＸ線の画像（透過Ｘ線画像情報）を生成してもよい。
【0015】
処理部１０は、例えば、Ｘ線源２及びＸ線検出部３それぞれとの間で情報の送受信を行ってもよい。処理部１０は、例えば、サーバ、デスクトップ及びラップトップ等のコンピュータ（情報処理装置）等であってもよい。
【0016】
処理部１０は、第１画像情報及び第２画像情報を取得する。
第１画像情報は、対象２０としての積層体に対して、第１エネルギでＸ線を照射した際のその積層体を透過した透過Ｘ線の画像情報である。
第２画像情報は、対象２０としての上記と同一の積層体に対して、第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際のその積層体を透過した透過Ｘ線の画像情報である。
積層体（対象２０）は、例えば、第１材質部材２１と第２材質部材２２とを積層した積層体であってもよい（図３参照）。第１材質部材２１と第２材質部材２２とは、それぞれ材質の異なる部材等であってもよい。具体的な一例として、第１材質部材２１は接着材等であり、第２材質部材２２は金属部材等であってもよく、それら以外の種々の材質からなる部材であってもよい。
第１画像情報は、対象２０としての積層体に対して、第１エネルギでＸ線を照射した際のその積層体を透過した透過Ｘ線の画像情報である。
第２画像情報は、対象２０としての上記と同一の積層体に対して、第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際のその積層体を透過した透過Ｘ線の画像情報である。
積層体（対象２０）は、例えば、第１材質部材２１と第２材質部材２２とを積層した積層体であってもよい（図３参照）。第１材質部材２１と第２材質部材２２とは、それぞれ材質の異なる部材等であってもよい。具体的な一例として、第１材質部材２１は接着材等であり、第２材質部材２２は金属部材等であってもよく、それら以外の種々の材質からなる部材であってもよい。
【0017】
処理部１０は、第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及びその第１輝度値に乗算する第１重み係数と、第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及びその第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する。
輝度値は、例えば、画像情報（透過Ｘ線画像情報）に記録される輝度値であってもよい。又は、輝度値は、例えば、検出部３によってＸ線の強度を取得した場合、その強度の値を輝度の値として置き換えてもよい。
第１重み係数及び第２重み係数は、第１材質部材２１のＸ線吸収係数に依存した値である。
輝度値は、例えば、画像情報（透過Ｘ線画像情報）に記録される輝度値であってもよい。又は、輝度値は、例えば、検出部３によってＸ線の強度を取得した場合、その強度の値を輝度の値として置き換えてもよい。
第１重み係数及び第２重み係数は、第１材質部材２１のＸ線吸収係数に依存した値である。
【0018】
処理部１０は、上述した第３輝度値と、第１材質部材２１の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材２１の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材２２の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材２２の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材２２の厚さを算出する。
この場合、処理部１０は、上述したＸ線吸収係数として、透過Ｘ線の輝度が部材の厚さに依存する輝度吸収係数と、透過Ｘ線の輝度が部材の厚さに依存しない吸収係数とのうちの一方を利用して、第２材質部材２２の厚さを算出することが可能である。
この場合、処理部１０は、上述したＸ線吸収係数として、透過Ｘ線の輝度が部材の厚さに依存する輝度吸収係数と、透過Ｘ線の輝度が部材の厚さに依存しない吸収係数とのうちの一方を利用して、第２材質部材２２の厚さを算出することが可能である。
【0019】
［厚さ計測装置１の詳細］
次に、一実施形態に係る厚さ計測装置１について詳細に説明する。ここでは特に、処理部１０について詳細に説明する。
図２は、一実施形態に係る厚さ計測装置１（処理部１０）について説明するためのブロック図である。
図３は、対象２０、Ｘ線源２及び検出部３の一例について説明するための図である。
次に、一実施形態に係る厚さ計測装置１について詳細に説明する。ここでは特に、処理部１０について詳細に説明する。
図２は、一実施形態に係る厚さ計測装置１（処理部１０）について説明するためのブロック図である。
図３は、対象２０、Ｘ線源２及び検出部３の一例について説明するための図である。
【0020】
厚さ計測装置１（処理部１０）は、例えば、通信部１２１、記憶部１２２、表示部１２３及び制御部１１０等を備える。通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３は、出力部の一実施形態であってもよい。制御部１１０は、例えば、Ｘ線源制御部１１１、取得部１１２、第１算出部１１３、第２算出部１１４及び出力制御部１１５等を備える。制御部１１０は、例えば、処理部１０（情報処理装置）の演算処理装置等によって構成されてもよい。制御部１１０（例えば、演算処理装置等）は、例えば、記憶部１２２等に記憶される各種プログラム等を適宜読み出して実行することにより、各部（例えば、Ｘ線源制御部１１１、取得部１１２、第１算出部１１３、第２算出部１１４及び出力制御部１１５等）の機能を実現してもよい。
【0021】
通信部１２１は、例えば、処理部１０（情報処理装置）の外部にある装置（外部装置）等との間で種々の情報の送受信が可能な通信インターフェースである。通信部１２１は、例えば、Ｘ線源２及び検出部３と通信を行ってもよい。また、通信部１２１は、例えば、サーバ及びユーザ端末（図示せず）等と通信を行ってもよい。ユーザ端末は、例えば、輝度取得装置のユーザが使用する端末であってもよく、デスクトップ、ラップトップ、タブレット及びスマートフォン等であってもよい。
【0022】
記憶部１２２は、例えば、種々の情報及びプログラムを記憶してもよい。記憶部１２２の一例は、メモリ、ソリッドステートドライブ及びハードディスクドライブ等であってもよい。なお、記憶部１２２は、例えば、クラウド上にある記憶領域及びサーバ等であってもよい。
【0023】
表示部１２３は、例えば、種々の文字、記号及び画像等を表示することが可能なディスプレイである。
【0024】
Ｘ線源制御部１１１は、例えば、通信部１２１を介して、Ｘ線源２を制御する。
Ｘ線源制御部１１１は、例えば、厚さ計測装置１の入力部（図示せず）等を介して入力された情報に基づいて、Ｘ線を照射する際の管電圧、管電流及び照射時間のうち少なくとも１つを変更（Ｘ線のエネルギ量を変更）するようＸ線源２を制御してもよい。入力部は、例えば、キーボード及びマウス等であってもよい。Ｘ線源制御部１１１は、例えば、Ｘ線の照射エネルギ（エネルギ量）を変更して、複数回、対象２０としての積層体にＸ線を照射するようＸ線源２を制御する。
一例として、Ｘ線源制御部１１１は、Ｘ線の照射エネルギを第１エネルギとして対象２０に照射するように、Ｘ線源２を制御する（図３参照）。
同様に、Ｘ線源制御部１１１は、上述した第１エネルギのＸ線を照射した際の対象２０と同一の対象２０に対して、Ｘ線の照射エネルギを第２エネルギ（第１エネルギ＞第２エネルギ）として、照射するように、Ｘ線源２を制御する（図３参照）。
なお、この場合、Ｘ線源２、検出部３及び積層体の位置を一定にすることが好ましい。
Ｘ線源制御部１１１は、例えば、厚さ計測装置１の入力部（図示せず）等を介して入力された情報に基づいて、Ｘ線を照射する際の管電圧、管電流及び照射時間のうち少なくとも１つを変更（Ｘ線のエネルギ量を変更）するようＸ線源２を制御してもよい。入力部は、例えば、キーボード及びマウス等であってもよい。Ｘ線源制御部１１１は、例えば、Ｘ線の照射エネルギ（エネルギ量）を変更して、複数回、対象２０としての積層体にＸ線を照射するようＸ線源２を制御する。
一例として、Ｘ線源制御部１１１は、Ｘ線の照射エネルギを第１エネルギとして対象２０に照射するように、Ｘ線源２を制御する（図３参照）。
同様に、Ｘ線源制御部１１１は、上述した第１エネルギのＸ線を照射した際の対象２０と同一の対象２０に対して、Ｘ線の照射エネルギを第２エネルギ（第１エネルギ＞第２エネルギ）として、照射するように、Ｘ線源２を制御する（図３参照）。
なお、この場合、Ｘ線源２、検出部３及び積層体の位置を一定にすることが好ましい。
【0025】
検出部３は、例えば、対象２０（積層体）を透過したＸ線（透過Ｘ線）を検出して、画像情報（透過Ｘ線画像情報）を生成する（図３参照）。
この場合、検出部３は、例えば、Ｘ線の照射エネルギを第１エネルギとして対象２０に照射した際の第１画像情報を生成する。
また、検出部３は、例えば、Ｘ線の照射エネルギを第２エネルギとして対象２０に照射した際の第２画像情報を生成する。
この場合、検出部３は、例えば、Ｘ線の照射エネルギを第１エネルギとして対象２０に照射した際の第１画像情報を生成する。
また、検出部３は、例えば、Ｘ線の照射エネルギを第２エネルギとして対象２０に照射した際の第２画像情報を生成する。
【0026】
取得部１１２は、第１画像情報及び第２画像情報を取得する。第１画像情報は、第１材質部材２１と第２材質部材２２とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際のその積層体を透過した透過Ｘ線の画像情報である。第２画像情報は、上述した積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の積層体を透過した透過Ｘ線の画像情報である。
【0027】
取得部１１２は、例えば、通信部１２１を介して、第１画像情報及び第２画像情報を検出部３から取得してもよい。又は、取得部１１２は、例えば、第１画像情報及び第２画像情報が記憶された外部メモリ（図示せず）が処理部１０のインターフェース（図示せず）に接続された場合、その外部メモリから第１画像情報及び第２画像情報を取得してもよい。又は、取得部１１２は、上述した例示の他に種々の方法により、第１画像情報及び第２画像情報を取得してもよい。
【0028】
第１算出部１１３は、取得部１１２で取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及びその第１輝度値に乗算する第１重み係数と、取得部１１２で取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及びその第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する。
第１輝度値及び第２輝度値は、例えば、画像情報（第１画像情報及び第２画像情報）に記録される輝度値であってもよい。
又は、第１輝度値及び第２輝度値は、例えば、検出部３によってＸ線の強度（透過Ｘ線強度）を取得した場合、その強度の値を輝度の値として置き換えることにより得られてもよい。すなわち一例として、制御部１１０は、検出部３によって第１エネルギに基づいた透過Ｘ線強度を取得した場合、そのＸ線強度の値を輝度値に変換して、第１輝度値（第１画像情報）を得てもよい。同様に一例として、制御部１１０は、検出部３によって第２エネルギに基づいた透過Ｘ線強度を取得した場合、そのＸ線強度の値を輝度値に変換して、第２輝度値（第２画像情報）を得てもよい。算出部は、上述した一例のように得られた第１輝度値及び第２輝度値を取得してもよい。
第１輝度値及び第２輝度値は、例えば、画像情報（第１画像情報及び第２画像情報）に記録される輝度値であってもよい。
又は、第１輝度値及び第２輝度値は、例えば、検出部３によってＸ線の強度（透過Ｘ線強度）を取得した場合、その強度の値を輝度の値として置き換えることにより得られてもよい。すなわち一例として、制御部１１０は、検出部３によって第１エネルギに基づいた透過Ｘ線強度を取得した場合、そのＸ線強度の値を輝度値に変換して、第１輝度値（第１画像情報）を得てもよい。同様に一例として、制御部１１０は、検出部３によって第２エネルギに基づいた透過Ｘ線強度を取得した場合、そのＸ線強度の値を輝度値に変換して、第２輝度値（第２画像情報）を得てもよい。算出部は、上述した一例のように得られた第１輝度値及び第２輝度値を取得してもよい。
【0029】
第１算出部１１３は、第１エネルギで取得した画像の重み係数としての第１重み係数をＫＨ、第１画像情報に基づく画像の第１輝度値をＤＨ、第２エネルギで取得した画像の重み係数としての第２重み係数をＫＬ、第２画像情報に基づく画像の第２輝度値をＤＬとすると、下式（１）により第３輝度値Ｄｓｕｂを算出してもよい。なお、下式（１）が基本式となる。
Ｄｓｕｂ＝ＫＨＤＨ－ＫＬＤＬ・・・（１）
Ｄｓｕｂ＝ＫＨＤＨ－ＫＬＤＬ・・・（１）
【0030】
第１算出部１１３の算出で用いる第１重み係数ＫＨ及び第２重み係数ＫＬは、第１材質部材２１のＸ線吸収係数に依存した値であってもよい。ここで、第１エネルギで積層体にＸ線を照射する際の第１材質部材２１のＸ線吸収係数をμ１（Ｈ）とし、第２エネルギで積層体にＸ線を照射する際の第１材質部材２１のＸ線吸収係数をμ１（Ｌ）とすると、ＫＨ、ＫＬ、μ１（Ｈ）、μ１（Ｌ）には、下式（２）の関係がある。
ＫＨ×μ１（Ｈ）＝ＫＬ×μ１（Ｌ）・・・（２）
したがって、第１重み係数ＫＨ及び第２重み係数ＫＬは、上式（２）を変形した下式（３）のように、第１材質部材２１のＸ線吸収係数μ１（Ｈ），μ１（Ｌ）に依存した値であってもよい。
ＫＨ×μ１（Ｈ）＝ＫＬ×μ１（Ｌ）・・・（２）
したがって、第１重み係数ＫＨ及び第２重み係数ＫＬは、上式（２）を変形した下式（３）のように、第１材質部材２１のＸ線吸収係数μ１（Ｈ），μ１（Ｌ）に依存した値であってもよい。
【0031】
【数1】
【0032】
第２算出部１１４は、第１算出部１１３で算出した第３輝度値と、第１材質部材２１の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材２１の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材２２の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材２２の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材２２の厚さを算出する。第２算出部１１４の算出で用いるＸ線吸収係数は、部材の厚さに依存する（厚さ依存性がある）輝度吸収係数、及び、部材の厚さに依存しない（厚さ依存性がない）吸収係数のうちの一方であってもよい。
具体的な一例として、第２算出部１１４は、より正確な第２材質部材２２の厚さを求めたい場合には厚さ依存性のある輝度吸収係数を用い、相対的に簡略的に第２材質部材２２の厚さ求めたい場合には厚さ依存性のない吸収係数を用いてもよい。
具体的な一例として、第２算出部１１４は、より正確な第２材質部材２２の厚さを求めたい場合には厚さ依存性のある輝度吸収係数を用い、相対的に簡略的に第２材質部材２２の厚さ求めたい場合には厚さ依存性のない吸収係数を用いてもよい。
【0033】
一例として、厚さ依存性のある輝度吸収係数は、第２材質部材２２の厚さに応じて変わるＸ線吸収係数を利用するため、より正確に第２材質部材２２の厚さを算出することが可能である。ここで、輝度吸収係数μＡは、部材の厚さｔに応じて変化し、下式（４）に一例を示すような相関が有ることが発明者の実験等によって判明した。なお、ａは係数、ｂは定数である。式（４）は、部材の厚さｔと輝度吸収係数μＡとの関係を示すものであり、換言すると、部材の輝度吸収係数の厚さ依存性を示すものである。
μＡ＝ａｔ＋ｂ・・・（４）
μＡ＝ａｔ＋ｂ・・・（４）
【0034】
一方で、輝度吸収係数を取得するためには予め実験及び計算等を行う必要があるが、厚さ依存性のない吸収係数は公知になっている場合がある。そこで一例として、吸収係数を用いることで、相対的に簡略的にまた輝度吸収係数を取得する際の実験及び計算等を行う場合よりも早く、第２材質部材２２の厚さを算出することが可能である。また一例として、吸収係数を利用して第２材質部材２２の厚さを求める際の演算量は、輝度吸収係数を利用して第２材質部材２２の厚さを求める際の演算量よりも少なくなると考えられ、制御部１１０の処理負担を軽減することが可能である。
【0035】
以下、輝度吸収係数及び吸収係数それぞれを利用して、第１材質部材２１と第２材質部材２２とを積層した積層体のうち第２材質部材２２の厚さｔ２を算出する例について説明する。
【0036】
（吸収係数）
まず、厚さ依存性のない吸収係数を用いて厚さｔ２を算出する例について説明する。
まず、厚さ依存性のない吸収係数を用いて厚さｔ２を算出する例について説明する。
【0037】
上式（１）の基本式は、下式（５）のように変形可能である。
【0038】
【数2】
【0039】
第１画像情報を構成する各ピクセルの第１輝度値をＤＨ、第２画像情報を構成する各ピクセルの第２輝度値をＤＬとすると、ＤＨ，ＤＬは下式（６），（７）で表される。
ＤＨ＝－（μ１（Ｈ）ｔ１＋μ２（Ｈ）ｔ２）・・・（６）
ＤＬ＝－（μ１（Ｌ）ｔ１＋μ２（Ｌ）ｔ２）・・・（７）
ＤＨ＝－（μ１（Ｈ）ｔ１＋μ２（Ｈ）ｔ２）・・・（６）
ＤＬ＝－（μ１（Ｌ）ｔ１＋μ２（Ｌ）ｔ２）・・・（７）
【0040】
上式（６），（７）を上式（５）に代入すると、下式（８）が得られる。式（８）における第１項のカッコ内は第１材質部材２１の輝度を表し、同式の第２項のカッコ内は第２材質部材２２の輝度を表す。
【0041】
【数3】
【0042】
第１材質部材２１の輝度（式（８）の第１項カッコ内）がゼロの場合、すなわち、第１材質部材２１がないとする場合、上式（８）は下式（９）のようになる。
【0043】
【数4】
【0044】
上式（９）は、下式（１０）のようになる。
【0045】
【数5】
【0046】
上式（１０）に上式（３）を代入すると、下式（１１）が得られる。
【0047】
【数6】
【0048】
したがって、第２算出部１１４は、第１エネルギに対応する第１材質部材２１の吸収係数をμ１（Ｈ）、第２エネルギに対応する第１材質部材２１の吸収係数をμ１（Ｌ）、第１エネルギに対応する第２材質部材２２の吸収係数をμ２（Ｈ）、第２エネルギに対応する第２材質部材２２の吸収係数をμ２（Ｌ）とすると、上式（１１）により第２材質部材２２の厚さｔ２を算出することが可能である。
【0049】
（輝度吸収係数）
次に、厚さ依存性のある輝度吸収係数を用いて厚さｔ２を算出する例について説明する。
次に、厚さ依存性のある輝度吸収係数を用いて厚さｔ２を算出する例について説明する。
【0050】
上式（４）に基づいて、第１エネルギに対応する第２材質部材２２の輝度吸収係数をμ２（Ｈ）、第２エネルギに対応する第２材質部材２２の吸収係数をμ２（Ｌ）とすると、厚さ依存性を有するμ２（Ｈ），μ２（Ｌ）は、下式（１２），（１３）により表される。
μ２（Ｈ）＝ａ２（Ｈ）ｔ２＋ｂ２（Ｈ）・・・（１２）
μ２（Ｌ）＝ａ２（Ｌ）ｔ２＋ｂ２（Ｌ）・・・（１３）
ここで、ａ２，ｂ２は係数である。
μ２（Ｈ）＝ａ２（Ｈ）ｔ２＋ｂ２（Ｈ）・・・（１２）
μ２（Ｌ）＝ａ２（Ｌ）ｔ２＋ｂ２（Ｌ）・・・（１３）
ここで、ａ２，ｂ２は係数である。
【0051】
上述した場合と同様に、式（８）における第１項のカッコ内は第１材質部材２１の輝度がゼロの場合、すなわち、第１材質部材２１がないとする場合、上式（８）は上式（９）のようになる。さらに、式（９）に上式（１２），（１３）を代入すると、下式（１４）のようになる。
【0052】
【数7】
【0053】
上式（１４）は、下式（１５）のようになる。
【0054】
【数8】
【0055】
上式（１５）をｔ２について解くと、下式（１６）のようになる。
【0056】
【数9】
【0057】
したがって、第２算出部１１４は、第１エネルギに対応する第１材質部材２１の輝度吸収係数をμ１（Ｈ）、第２エネルギに対応する第１材質部材２１の輝度吸収係数をμ１（Ｌ）、第１エネルギに対応する第２材質部材２２の輝度吸収係数をμ２（Ｈ）、第２エネルギに対応する第２材質部材２２の吸収係数をμ２（Ｌ）とすると、上式（１２），（１３）により表される第２材質部材２２の輝度吸収係数μ２（Ｈ），μ２（Ｌ）に基づいて、上式（１６）により第２材質部材２２の厚さｔ２を算出することが可能である。
【0058】
なお、上述した第２算出部１１４は、第１画像情報及び第２画像情報それぞれを構成するピクセル値の輝度値（第１輝度値及び第２輝度値）に基づいて、ピクセル毎に第２材質部材２２の厚さｔ２を算出することが可能である。厚さ計測装置１は、積層体平面方向（検出部３の検出面の沿う方向）の第２材質部材２２の厚さｔ２を算出することが可能である。換言すると、厚さ計測装置１は、平面状の第２材質部材２２の厚さｔ２を算出することが可能である。
【0059】
出力制御部１１５は、第２算出部１１４で算出した第２材質部材２２の厚さｔ２を出力するよう出力部を制御してもよい。出力部は、例えば、通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３等であってもよい。
すなわち、出力制御部１１５は、例えば、第２算出部１１４で算出した第２材質部材２２の厚さｔ２の情報を外部装置に送信するよう通信部１２１を制御してもよい。ここで、外部装置は、サーバ及びユーザ端末（図示せず）等であってもよい。
出力制御部１１５は、例えば、第２算出部１１４で算出した第２材質部材２２の厚さｔ２の情報を記憶するよう記憶部１２２を制御してもよい。
出力制御部１１５は、例えば、第２算出部１１４で算出した第２材質部材２２の厚さｔ２を表示するよう表示部１２３を制御してもよい。
すなわち、出力制御部１１５は、例えば、第２算出部１１４で算出した第２材質部材２２の厚さｔ２の情報を外部装置に送信するよう通信部１２１を制御してもよい。ここで、外部装置は、サーバ及びユーザ端末（図示せず）等であってもよい。
出力制御部１１５は、例えば、第２算出部１１４で算出した第２材質部材２２の厚さｔ２の情報を記憶するよう記憶部１２２を制御してもよい。
出力制御部１１５は、例えば、第２算出部１１４で算出した第２材質部材２２の厚さｔ２を表示するよう表示部１２３を制御してもよい。
【0060】
【0061】
ステップＳＴ１０１において、取得部１１２は、第１画像情報及び第２画像情報を取得する。第１画像情報は、第１材質部材２１と第２材質部材２２とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際のその積層体を透過した透過Ｘ線の画像情報である。第２画像情報は、上述した積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の積層体を透過した透過Ｘ線の画像情報である。
【0062】
ステップＳＴ１０２において、第１算出部１１３は、ステップＳＴ１０１で取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値ＤＨ及びその第１輝度値ＤＨに乗算する第１重み係数ＫＨと、ステップＳＴ１０１で取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値ＤＬ及びその第２輝度値ＤＬに乗算する第２重み係数ＫＬとに基づいて、第３輝度値Ｄｓｕｂを算出する。
第１算出部１１３は、第１エネルギで取得した画像の重み係数としての第１重み係数をＫＨ、第１画像情報に基づく画像の第１輝度値をＤＨ、第２エネルギで取得した画像の重み係数としての第２重み係数をＫＬ、第２画像情報に基づく画像の第２輝度値をＤＬとすると、上式（１）により第３輝度値Ｄｓｕｂを算出してもよい。
第１算出部１１３の算出で用いる第１重み係数ＫＨ及び第２重み係数ＫＬは、第１材質部材２１のＸ線吸収係数に依存した値であってもよい。
第１算出部１１３は、第１エネルギで取得した画像の重み係数としての第１重み係数をＫＨ、第１画像情報に基づく画像の第１輝度値をＤＨ、第２エネルギで取得した画像の重み係数としての第２重み係数をＫＬ、第２画像情報に基づく画像の第２輝度値をＤＬとすると、上式（１）により第３輝度値Ｄｓｕｂを算出してもよい。
第１算出部１１３の算出で用いる第１重み係数ＫＨ及び第２重み係数ＫＬは、第１材質部材２１のＸ線吸収係数に依存した値であってもよい。
【0063】
ステップＳＴ１０３において、第２算出部１１４は、ステップＳＴ１０３で算出した第３輝度値Ｄｓｕｂと、第１材質部材２１の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材２１の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材２２の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材２２の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材２２の厚さを算出する。第２算出部１１４の算出で用いるＸ線吸収係数は、部材の厚さに依存する（厚さ依存性がある）輝度吸収係数、及び、部材の厚さに依存しない（厚さ依存性がない）吸収係数のうちの一方であってもよい。
一例として、第２算出部１１４は、吸収係数を利用して上式（１１）により第２材質部材２２の厚さｔ２を算出することが可能である。
又は一例として、第２算出部１１４は、上式（１２），（１３）により表される第２材質部材２２の輝度吸収係数に基づいて、上式（１６）により第２材質部材２２の厚さｔ２を算出することが可能である。
一例として、第２算出部１１４は、吸収係数を利用して上式（１１）により第２材質部材２２の厚さｔ２を算出することが可能である。
又は一例として、第２算出部１１４は、上式（１２），（１３）により表される第２材質部材２２の輝度吸収係数に基づいて、上式（１６）により第２材質部材２２の厚さｔ２を算出することが可能である。
【0064】
［機能及び回路について］
次に、上述した処理部１０（情報処理装置）の機能及び回路について説明する。
処理部１０（情報処理装置）の各部は、コンピュータの演算処理装置等の機能として実現されてもよい。すなわち、情報処理装置のＸ線源制御部１１１、取得部１１２、第１算出部１１３、第２算出部１１４及び出力制御部１１５（制御部１１０）は、コンピュータの演算処理装置等によるＸ線源制御機能、取得機能、第１算出機能、第２算出機能及び出力制御機能（制御機能）としてそれぞれ実現されてもよい。
情報処理プログラムは、上述した各機能をコンピュータに実現させることができる。情報処理プログラムは、例えば、メモリ、ソリッドステートドライブ、ハードディスクドライブ又は光ディスク等の、コンピュータで読み取り可能な非一時的な記録媒体等に記録されていてもよい。記録媒体は、例えば、非一時的なコンピュータ可読媒体と言い換えてもよい。
また、上述したように、情報処理装置の各部は、コンピュータの演算処理装置等で実現されてもよい。その演算処理装置等は、例えば、集積回路等によって構成される。このため、情報処理装置の各部は、演算処理装置等を構成する回路として実現されてもよい。すなわち、情報処理装置のＸ線源制御部１１１、取得部１１２、第１算出部１１３、第２算出部１１４及び出力制御部１１５（制御部１１０）は、コンピュータの演算処理装置等を構成するＸ線源制御回路、取得回路、第１算出回路、第２算出回路及び出力制御回路（制御回路）として実現されてもよい。
また、情報処理装置の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、演算処理装置等の機能を含む通信機能、記憶機能及び表示機能（出力機能）として実現されてもよい。また、情報処理装置の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、集積回路等によって構成されることにより通信回路、記憶回路及び表示回路（出力回路）として実現されてもよい。また、情報処理装置の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、複数のデバイスによって構成されることにより通信装置、記憶装置及び表示装置（出力装置）として構成されてもよい。
次に、上述した処理部１０（情報処理装置）の機能及び回路について説明する。
処理部１０（情報処理装置）の各部は、コンピュータの演算処理装置等の機能として実現されてもよい。すなわち、情報処理装置のＸ線源制御部１１１、取得部１１２、第１算出部１１３、第２算出部１１４及び出力制御部１１５（制御部１１０）は、コンピュータの演算処理装置等によるＸ線源制御機能、取得機能、第１算出機能、第２算出機能及び出力制御機能（制御機能）としてそれぞれ実現されてもよい。
情報処理プログラムは、上述した各機能をコンピュータに実現させることができる。情報処理プログラムは、例えば、メモリ、ソリッドステートドライブ、ハードディスクドライブ又は光ディスク等の、コンピュータで読み取り可能な非一時的な記録媒体等に記録されていてもよい。記録媒体は、例えば、非一時的なコンピュータ可読媒体と言い換えてもよい。
また、上述したように、情報処理装置の各部は、コンピュータの演算処理装置等で実現されてもよい。その演算処理装置等は、例えば、集積回路等によって構成される。このため、情報処理装置の各部は、演算処理装置等を構成する回路として実現されてもよい。すなわち、情報処理装置のＸ線源制御部１１１、取得部１１２、第１算出部１１３、第２算出部１１４及び出力制御部１１５（制御部１１０）は、コンピュータの演算処理装置等を構成するＸ線源制御回路、取得回路、第１算出回路、第２算出回路及び出力制御回路（制御回路）として実現されてもよい。
また、情報処理装置の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、演算処理装置等の機能を含む通信機能、記憶機能及び表示機能（出力機能）として実現されてもよい。また、情報処理装置の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、集積回路等によって構成されることにより通信回路、記憶回路及び表示回路（出力回路）として実現されてもよい。また、情報処理装置の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、複数のデバイスによって構成されることにより通信装置、記憶装置及び表示装置（出力装置）として構成されてもよい。
【0065】
厚さ計測装置１（情報処理装置）は、上述した複数の各部のうち１又は任意の複数を組み合わせることが可能である。
本開示では、「情報」の文言を使用しているが、「情報」の文言は「データ」と言い換えることができ、「データ」の文言は「情報」と言い換えることができる。
本開示では、「情報」の文言を使用しているが、「情報」の文言は「データ」と言い換えることができ、「データ」の文言は「情報」と言い換えることができる。
【0066】
［変形例］
上述した実施形態では、Ｘ線を利用した装置について説明した。しかしながら、本開示の厚さ計測装置１等では、Ｘ線を利用するばかりでなく、種々の波長（波長域）の光及び放射線（電磁波）を利用してもよい。この場合、厚さ計測装置１等は、例えば、赤外光、可視光及び紫外光等の光及び放射線（電磁波）を利用して透過画像を取得し、積層体を構成する一部の部材の厚さを算出してもよい。種々の波長（波長域）の電磁波を利用して透過画像を取得し、また厚さ等を算出する際の部材の一例は、金属、半導体、半導体作製基板用材質及びガラス等を始めとする種々の材質からなる部材であってもよい。
上述した実施形態では、Ｘ線を利用した装置について説明した。しかしながら、本開示の厚さ計測装置１等では、Ｘ線を利用するばかりでなく、種々の波長（波長域）の光及び放射線（電磁波）を利用してもよい。この場合、厚さ計測装置１等は、例えば、赤外光、可視光及び紫外光等の光及び放射線（電磁波）を利用して透過画像を取得し、積層体を構成する一部の部材の厚さを算出してもよい。種々の波長（波長域）の電磁波を利用して透過画像を取得し、また厚さ等を算出する際の部材の一例は、金属、半導体、半導体作製基板用材質及びガラス等を始めとする種々の材質からなる部材であってもよい。
【0067】
［本実施形態の態様及び効果］
次に、本実施形態の一態様及び各態様が奏する効果について説明する。なお、以下に記載する各態様は出願時の一例であり、本実施形態は以下に記載する態様に限定されることはない。すなわち、本実施形態は以下に記載する各態様に限定されることはなく、上述した各部を適宜組み合わせて実現されてもよい。また、下位の態様は、それよりも上位の態様のいずれでも引用できる場合がある。
また、以下に記載する効果は一例であり、各態様が奏する効果は以下に記載するものに限定されることはない。また、各態様は、例えば、以下に記載する少なくとも１つの効果を奏してもよい。
次に、本実施形態の一態様及び各態様が奏する効果について説明する。なお、以下に記載する各態様は出願時の一例であり、本実施形態は以下に記載する態様に限定されることはない。すなわち、本実施形態は以下に記載する各態様に限定されることはなく、上述した各部を適宜組み合わせて実現されてもよい。また、下位の態様は、それよりも上位の態様のいずれでも引用できる場合がある。
また、以下に記載する効果は一例であり、各態様が奏する効果は以下に記載するものに限定されることはない。また、各態様は、例えば、以下に記載する少なくとも１つの効果を奏してもよい。
【0068】
（態様１）
一態様の厚さ計測装置は、第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際のその積層体を透過した透過Ｘ線の第１画像情報と、その積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の積層体を透過した透過Ｘ線の第２画像情報と、を取得する取得部と、取得部で取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及びその第１輝度値に乗算する第１重み係数と、取得部で取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及びその第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出部と、第１算出部で算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出部と、を備える。
これにより、厚さ計測装置は、エネルギサブトラクションを応用して、第１材質部材の厚さにかかわらず、第２材質部材の厚さを計測することができる。
厚さ計測装置は、２つ（複数）のエネルギによる撮像画像を用いることで、第１材質部材（例えば、被接着物等）の厚さ及び形状のバラツキに因らない第２材質部材の厚さ算出を行うことができる。すなわち、厚さ計測装置は、エネルギサブトラクションを応用して、撮影方向に重なった２種類（複数種類）の部材のうち計測対象ではない部材の厚さ（サイズ）を必要とせずに、計測対象の部材の厚さを計測することができる。換言すると、厚さ計測装置は、エネルギサブトラクションを応用し、高低エネルギ画像から重み値（Ｋ）と輝度値（Ｄ）の情報を得て、計測対象ではない部材の厚さの情報を必要とせずに、計測対象の部材の厚さを算出することができる。
厚さ計測装置は、第１画像情報及び第２画像情報それぞれを構成するピクセル値の輝度値（第１輝度値及び第２輝度値）に基づいて、ピクセル毎に第２材質部材の厚さｔ２を算出することができる。したがって、厚さ計測装置は、積層体平面方向（検出部の検出面の沿う方向）の第２材質部材の厚さｔ２を算出することが可能である。換言すると、厚さ計測装置は、平面状の第２材質部材の厚さｔ２を算出することができる。
また、厚さ計測装置は、検出部の検出面全面にわたって輝度のムラが有る場合でも、検出部を構成するピクセル毎の輝度を利用して第２材質部材の厚さを計測できるため、より正確に厚さを計測することができる。すなわち、厚さ計測装置は、ピクセルを基準とした局所的な位置での輝度を利用してその位置の厚さを計測できるため、検出部全面（画像全面）にわたって輝度ムラがある場合でも、輝度ムラの影響を受けた場合に比べて、より精度の高い厚さを取得することができる。
一態様の厚さ計測装置は、第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際のその積層体を透過した透過Ｘ線の第１画像情報と、その積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の積層体を透過した透過Ｘ線の第２画像情報と、を取得する取得部と、取得部で取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及びその第１輝度値に乗算する第１重み係数と、取得部で取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及びその第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出部と、第１算出部で算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出部と、を備える。
これにより、厚さ計測装置は、エネルギサブトラクションを応用して、第１材質部材の厚さにかかわらず、第２材質部材の厚さを計測することができる。
厚さ計測装置は、２つ（複数）のエネルギによる撮像画像を用いることで、第１材質部材（例えば、被接着物等）の厚さ及び形状のバラツキに因らない第２材質部材の厚さ算出を行うことができる。すなわち、厚さ計測装置は、エネルギサブトラクションを応用して、撮影方向に重なった２種類（複数種類）の部材のうち計測対象ではない部材の厚さ（サイズ）を必要とせずに、計測対象の部材の厚さを計測することができる。換言すると、厚さ計測装置は、エネルギサブトラクションを応用し、高低エネルギ画像から重み値（Ｋ）と輝度値（Ｄ）の情報を得て、計測対象ではない部材の厚さの情報を必要とせずに、計測対象の部材の厚さを算出することができる。
厚さ計測装置は、第１画像情報及び第２画像情報それぞれを構成するピクセル値の輝度値（第１輝度値及び第２輝度値）に基づいて、ピクセル毎に第２材質部材の厚さｔ２を算出することができる。したがって、厚さ計測装置は、積層体平面方向（検出部の検出面の沿う方向）の第２材質部材の厚さｔ２を算出することが可能である。換言すると、厚さ計測装置は、平面状の第２材質部材の厚さｔ２を算出することができる。
また、厚さ計測装置は、検出部の検出面全面にわたって輝度のムラが有る場合でも、検出部を構成するピクセル毎の輝度を利用して第２材質部材の厚さを計測できるため、より正確に厚さを計測することができる。すなわち、厚さ計測装置は、ピクセルを基準とした局所的な位置での輝度を利用してその位置の厚さを計測できるため、検出部全面（画像全面）にわたって輝度ムラがある場合でも、輝度ムラの影響を受けた場合に比べて、より精度の高い厚さを取得することができる。
【0069】
（態様２）
一態様の厚さ計測装置では、第１算出部の算出で用いる第１重み係数及び第２重み係数は、第１材質部材のＸ線吸収係数に依存した値であることとしてもよい。
これにより、厚さ計測装置は、積層体を透過したＸ線画像（第１画像情報及び第２画像情報）を利用する場合でも、第１材質部材のＸ線吸収係数を考慮して、第２材質部材の厚さｔ２を算出することができる。
一態様の厚さ計測装置では、第１算出部の算出で用いる第１重み係数及び第２重み係数は、第１材質部材のＸ線吸収係数に依存した値であることとしてもよい。
これにより、厚さ計測装置は、積層体を透過したＸ線画像（第１画像情報及び第２画像情報）を利用する場合でも、第１材質部材のＸ線吸収係数を考慮して、第２材質部材の厚さｔ２を算出することができる。
【0070】
（態様３）
一態様の厚さ計測装置では、第１算出部は、第１エネルギで取得した画像の重み係数としての第１重み係数をＫＨ、第１画像情報に基づく画像の第１輝度値をＤＨ、第２エネルギで取得した画像の重み係数としての第２重み係数をＫＬ、第２画像情報に基づく画像の第２輝度値をＤＬとすると、上式（１）により第３輝度値Ｄｓｕｂを算出することとしてもよい。
これにより、厚さ計測装置は、エネルギサブトラクションを利用する場合に、第２材質部材の厚さｔ２を算出する際の輝度値（第３輝度値）を得ることができる。
一態様の厚さ計測装置では、第１算出部は、第１エネルギで取得した画像の重み係数としての第１重み係数をＫＨ、第１画像情報に基づく画像の第１輝度値をＤＨ、第２エネルギで取得した画像の重み係数としての第２重み係数をＫＬ、第２画像情報に基づく画像の第２輝度値をＤＬとすると、上式（１）により第３輝度値Ｄｓｕｂを算出することとしてもよい。
これにより、厚さ計測装置は、エネルギサブトラクションを利用する場合に、第２材質部材の厚さｔ２を算出する際の輝度値（第３輝度値）を得ることができる。
【0071】
（態様４）
一態様の厚さ計測装置では、第２算出部の算出で用いるＸ線吸収係数は、部材の厚さに依存する輝度吸収係数、及び、部材の厚さに依存しない吸収係数のうちの一方であることとしてもよい。
これにより、厚さ計測装置は、厚さ依存性のあるＸ線吸収係数（輝度吸収係数）及び厚さ依存性のないＸ線吸収係数（吸収係数）のうちの一方を利用して、第２材質部材の厚さｔ２を算出することができる。
一例として、厚さ計測装置は、厚さ依存性のある輝度吸収係数を利用する場合、第２材質部材の厚さに応じて変わるＸ線吸収係数を利用するため、より正確に第２材質部材の厚さを算出することができる。
また一例として、厚さ計測装置は、厚さ依存性のない吸収係数を利用する場合、相対的に簡略的に第２材質部材の厚さを算出することが可能である。一例として、吸収係数を利用して第２材質部材の厚さを求める際の演算量は、輝度吸収係数を利用して第２材質部材の厚さを求める際の演算量よりも少なくなると考えられ、厚さ計測装置は、制御部の処理負担を軽減することが可能である。
一態様の厚さ計測装置では、第２算出部の算出で用いるＸ線吸収係数は、部材の厚さに依存する輝度吸収係数、及び、部材の厚さに依存しない吸収係数のうちの一方であることとしてもよい。
これにより、厚さ計測装置は、厚さ依存性のあるＸ線吸収係数（輝度吸収係数）及び厚さ依存性のないＸ線吸収係数（吸収係数）のうちの一方を利用して、第２材質部材の厚さｔ２を算出することができる。
一例として、厚さ計測装置は、厚さ依存性のある輝度吸収係数を利用する場合、第２材質部材の厚さに応じて変わるＸ線吸収係数を利用するため、より正確に第２材質部材の厚さを算出することができる。
また一例として、厚さ計測装置は、厚さ依存性のない吸収係数を利用する場合、相対的に簡略的に第２材質部材の厚さを算出することが可能である。一例として、吸収係数を利用して第２材質部材の厚さを求める際の演算量は、輝度吸収係数を利用して第２材質部材の厚さを求める際の演算量よりも少なくなると考えられ、厚さ計測装置は、制御部の処理負担を軽減することが可能である。
【0072】
（態様５）
一態様の厚さ計測装置では、第２算出部は、第１エネルギに対応する第１材質部材の吸収係数をμ１（Ｈ）、第２エネルギに対応する第１材質部材の吸収係数をμ１（Ｌ）、第１エネルギに対応する第２材質部材の吸収係数をμ２（Ｈ）、第２エネルギに対応する第２材質部材の吸収係数をμ２（Ｌ）とすると、上式（１１）により第２材質部材の厚さｔ２を算出することとしてもよい。
これにより、厚さ計測装置は、厚さ依存性のないＸ線吸収係数（吸収係数）を利用して、第２材質部材の厚さｔ２を算出することができる。
一態様の厚さ計測装置では、第２算出部は、第１エネルギに対応する第１材質部材の吸収係数をμ１（Ｈ）、第２エネルギに対応する第１材質部材の吸収係数をμ１（Ｌ）、第１エネルギに対応する第２材質部材の吸収係数をμ２（Ｈ）、第２エネルギに対応する第２材質部材の吸収係数をμ２（Ｌ）とすると、上式（１１）により第２材質部材の厚さｔ２を算出することとしてもよい。
これにより、厚さ計測装置は、厚さ依存性のないＸ線吸収係数（吸収係数）を利用して、第２材質部材の厚さｔ２を算出することができる。
【0073】
（態様６）
一態様の厚さ計測装置では、第２算出部は、第１エネルギに対応する第１材質部材の輝度吸収係数をμ１（Ｈ）、第２エネルギに対応する第１材質部材の輝度吸収係数をμ１（Ｌ）、第１エネルギに対応する第２材質部材の輝度吸収係数をμ２（Ｈ）、第２エネルギに対応する第２材質部材の吸収係数をμ２（Ｌ）とすると、上式（１２），（１３）により表される第２材質部材の輝度吸収係数μ２（Ｈ），μ２（Ｌ）に基づいて、上式（１６）により第２材質部材の厚さｔ２を算出することとしてもよい。
これにより、厚さ計測装置は、厚さ依存性のあるＸ線吸収係数（輝度吸収係数）を利用して、第２材質部材の厚さｔ２を算出することができる。
一態様の厚さ計測装置では、第２算出部は、第１エネルギに対応する第１材質部材の輝度吸収係数をμ１（Ｈ）、第２エネルギに対応する第１材質部材の輝度吸収係数をμ１（Ｌ）、第１エネルギに対応する第２材質部材の輝度吸収係数をμ２（Ｈ）、第２エネルギに対応する第２材質部材の吸収係数をμ２（Ｌ）とすると、上式（１２），（１３）により表される第２材質部材の輝度吸収係数μ２（Ｈ），μ２（Ｌ）に基づいて、上式（１６）により第２材質部材の厚さｔ２を算出することとしてもよい。
これにより、厚さ計測装置は、厚さ依存性のあるＸ線吸収係数（輝度吸収係数）を利用して、第２材質部材の厚さｔ２を算出することができる。
【0074】
（態様７）
一態様の厚さ計測装置は、第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギ（例えば、強度等）で電磁波を照射した際のその積層体を透過した透過電磁波の第１画像情報と、その積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギ（例えば、強度等）で電磁波を照射した際の積層体を透過した透過電磁波の第２画像情報と、を取得する取得部と、取得部で取得した第１画像情報に基づく透過電磁波の第１輝度値及びその第１輝度値に乗算する第１重み係数と、取得部で取得した第２画像情報に基づく透過電磁波の第２輝度値及びその第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出部と、第１算出部で算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応する電磁波吸収係数（例えば、吸収係数等）と、第１材質部材の第２エネルギに対応する電磁波吸収係数（例えば、吸収係数等）と、第２材質部材の第１エネルギに対応する電磁波吸収係数（例えば、吸収係数等）と、第２材質部材の第２エネルギに対応する電磁波吸収係数（例えば、吸収係数等）と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出部と、を備える。
これにより、厚さ計測装置は、上述した態様と同様の効果を奏することができる。
一態様の厚さ計測装置は、第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギ（例えば、強度等）で電磁波を照射した際のその積層体を透過した透過電磁波の第１画像情報と、その積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギ（例えば、強度等）で電磁波を照射した際の積層体を透過した透過電磁波の第２画像情報と、を取得する取得部と、取得部で取得した第１画像情報に基づく透過電磁波の第１輝度値及びその第１輝度値に乗算する第１重み係数と、取得部で取得した第２画像情報に基づく透過電磁波の第２輝度値及びその第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出部と、第１算出部で算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応する電磁波吸収係数（例えば、吸収係数等）と、第１材質部材の第２エネルギに対応する電磁波吸収係数（例えば、吸収係数等）と、第２材質部材の第１エネルギに対応する電磁波吸収係数（例えば、吸収係数等）と、第２材質部材の第２エネルギに対応する電磁波吸収係数（例えば、吸収係数等）と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出部と、を備える。
これにより、厚さ計測装置は、上述した態様と同様の効果を奏することができる。
【0075】
（態様８）
一態様の厚さ計測方法では、コンピュータが、第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際のその積層体を透過した透過Ｘ線の第１画像情報と、その積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の積層体を透過した透過Ｘ線の第２画像情報と、を取得する取得ステップと、取得ステップで取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及びその第１輝度値に乗算する第１重み係数と、取得ステップで取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及びその第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出ステップと、第１算出ステップで算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出ステップと、を実行する。
これにより、厚さ計測方法は、上述した一態様の厚さ計測装置と同様の効果を奏することができる。
一態様の厚さ計測方法では、コンピュータが、第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際のその積層体を透過した透過Ｘ線の第１画像情報と、その積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の積層体を透過した透過Ｘ線の第２画像情報と、を取得する取得ステップと、取得ステップで取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及びその第１輝度値に乗算する第１重み係数と、取得ステップで取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及びその第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出ステップと、第１算出ステップで算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出ステップと、を実行する。
これにより、厚さ計測方法は、上述した一態様の厚さ計測装置と同様の効果を奏することができる。
【0076】
（態様９）
一態様の厚さ計測プログラムは、コンピュータに、第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際のその積層体を透過した透過Ｘ線の第１画像情報と、その積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の積層体を透過した透過Ｘ線の第２画像情報と、を取得する取得機能と、取得機能で取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及びその第１輝度値に乗算する第１重み係数と、取得機能で取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及びその第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出機能と、第１算出機能で算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出機能と、を実現させる。
これにより、厚さ計測プログラムは、上述した一態様の厚さ計測装置と同様の効果を奏することができる。
一態様の厚さ計測プログラムは、コンピュータに、第１材質部材と第２材質部材とを積層した積層体に第１エネルギでＸ線を照射した際のその積層体を透過した透過Ｘ線の第１画像情報と、その積層体に第１エネルギよりも低い第２エネルギでＸ線を照射した際の積層体を透過した透過Ｘ線の第２画像情報と、を取得する取得機能と、取得機能で取得した第１画像情報に基づく透過Ｘ線の第１輝度値及びその第１輝度値に乗算する第１重み係数と、取得機能で取得した第２画像情報に基づく透過Ｘ線の第２輝度値及びその第２輝度値に乗算する第２重み係数とに基づいて、第３輝度値を算出する第１算出機能と、第１算出機能で算出した第３輝度値と、第１材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第１材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第１エネルギに対応するＸ線吸収係数と、第２材質部材の第２エネルギに対応するＸ線吸収係数と、に基づいて、第２材質部材の厚さを算出する第２算出機能と、を実現させる。
これにより、厚さ計測プログラムは、上述した一態様の厚さ計測装置と同様の効果を奏することができる。
【符号の説明】
【0077】
１ 厚さ計測装置
２ Ｘ線源
３ Ｘ線検出部（検出部）
１０ 処理部
１１０ 制御部
１１１ Ｘ線源制御部
１１２ 取得部
１１３ 第１算出部
１１４ 第２算出部
１１５ 出力制御部
１２１ 通信部
１２２ 記憶部
１２３ 表示部
２ Ｘ線源
３ Ｘ線検出部（検出部）
１０ 処理部
１１０ 制御部
１１１ Ｘ線源制御部
１１２ 取得部
１１３ 第１算出部
１１４ 第２算出部
１１５ 出力制御部
１２１ 通信部
１２２ 記憶部
１２３ 表示部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】