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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024167614
(43)【公開日】2024-12-04
(54)【発明の名称】光検出装置および光検出装置の製造方法
(51)【国際特許分類】
G01J 1/04 20060101AFI20241127BHJP
G01N 21/17 20060101ALI20241127BHJP
G01J 1/02 20060101ALI20241127BHJP
H01L 31/02 20060101ALI20241127BHJP
H01L 31/0232 20140101ALI20241127BHJP
【ＦＩ】
G01J1/04 B
G01N21/17 E
G01J1/02 S
H01L31/02 B
H01L31/02 D
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023083812
(22)【出願日】2023-05-22
(71)【出願人】
【識別番号】000116024
【氏名又は名称】ローム株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001195
【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】上平 祥嗣
【テーマコード（参考）】
2G059
2G065
5F149
【Ｆターム（参考）】
2G059AA05
2G059BB05
2G059CC09
2G059EE02
2G059HH01
2G059HH02
2G059JJ02
2G059KK01
2G065AA03
2G065AA04
2G065AA15
2G065AB02
2G065AB04
2G065BA01
2G065BB25
5F149AA01
5F149BA30
5F149EA02
5F149JA06
5F149JA12
5F149JA13
5F149JA20
5F149XB02
5F149XB05
(57)【要約】
【課題】光検出装置において、検出構造体と封止部材とが界面剥離することを抑制することである。
【解決手段】光検出装置５０は、基板２上に設けられた第１光学センサ３、第２光学センサ４と、第１光学センサ３、第２光学センサ４上に設けられた第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６と、基板２、第１光学センサ３、第２光学センサ４、および、第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６の上方の全体を覆うように形成された透光性の膜体７と、基板２、第１光学センサ３、第２光学センサ４、第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６、および、膜体７を封止する透光性の封止部材８とを備える。膜体７は、封止部材８よりも吸湿性が低い。
【選択図】図２
【解決手段】光検出装置５０は、基板２上に設けられた第１光学センサ３、第２光学センサ４と、第１光学センサ３、第２光学センサ４上に設けられた第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６と、基板２、第１光学センサ３、第２光学センサ４、および、第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６の上方の全体を覆うように形成された透光性の膜体７と、基板２、第１光学センサ３、第２光学センサ４、第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６、および、膜体７を封止する透光性の封止部材８とを備える。膜体７は、封止部材８よりも吸湿性が低い。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板と、
前記基板上に設けられた光学センサと、
前記光学センサ上に設けられた光学フィルタと、
前記基板、前記光学センサ、および、前記光学フィルタの上方の全体を覆うように形成された透光性の膜体と、
前記基板、前記光学センサ、前記光学フィルタ、および、前記膜体を封止する透光性の封止部材とを備え、
前記膜体は、前記封止部材よりも吸湿性が低い、光検出装置。
前記基板上に設けられた光学センサと、
前記光学センサ上に設けられた光学フィルタと、
前記基板、前記光学センサ、および、前記光学フィルタの上方の全体を覆うように形成された透光性の膜体と、
前記基板、前記光学センサ、前記光学フィルタ、および、前記膜体を封止する透光性の封止部材とを備え、
前記膜体は、前記封止部材よりも吸湿性が低い、光検出装置。
【請求項2】
前記膜体は、上面が平坦化された形状である、請求項１に記載の光検出装置。
【請求項3】
前記膜体は、上面が研磨されることにより上面が平坦化された形状である、請求項１または請求項２に記載の光検出装置。
【請求項4】
前記膜体は、酸化膜よりなる、請求項１または請求項２に記載の光検出装置。
【請求項5】
前記膜体は、膜厚が前記光学フィルタの厚みよりも厚い、請求項１または請求項２に記載の光検出装置。
【請求項6】
前記光学センサは、第１光学センサと第２光学センサとを含み、
前記光学フィルタは、前記第１光学センサ上に設けられた第１光学フィルタと、前記第２光学センサ上に設けられた第２光学フィルタとを含み、
前記膜体は、前記基板、前記第１光学センサ、前記第２光学センサ、前記第１光学フィルタ、および、前記第２光学フィルタの上方の全体を覆うように形成され、
前記封止部材は、前記基板、前記第１光学センサ、前記第２光学センサ、前記第１光学フィルタ、前記第２光学フィルタ、および、前記膜体を封止する、請求項１または請求項２に記載の光検出装置。
前記光学フィルタは、前記第１光学センサ上に設けられた第１光学フィルタと、前記第２光学センサ上に設けられた第２光学フィルタとを含み、
前記膜体は、前記基板、前記第１光学センサ、前記第２光学センサ、前記第１光学フィルタ、および、前記第２光学フィルタの上方の全体を覆うように形成され、
前記封止部材は、前記基板、前記第１光学センサ、前記第２光学センサ、前記第１光学フィルタ、前記第２光学フィルタ、および、前記膜体を封止する、請求項１または請求項２に記載の光検出装置。
【請求項7】
前記第１光学センサは、前記基板の表面に設けられ、前記フロントウインドウで反射した赤外光を受光し、受光した光に応じて雨を検出するレインセンサであり、
前記第２光学センサは、前記基板の表面に設けられ、前記フロントウインドウの外部から内部に入射した光を受光し、受光した光に応じて照度を検出する照度センサである、請求項６に記載の光検出装置。
前記第２光学センサは、前記基板の表面に設けられ、前記フロントウインドウの外部から内部に入射した光を受光し、受光した光に応じて照度を検出する照度センサである、請求項６に記載の光検出装置。
【請求項8】
前記第１光学フィルタは、前記第１光学センサへの可視光の入射を抑制し、
前記第２光学フィルタは、前記第２光学センサへの赤外光の入射を抑制する、請求項６に記載の光検出装置。
前記第２光学フィルタは、前記第２光学センサへの赤外光の入射を抑制する、請求項６に記載の光検出装置。
【請求項9】
基板上に光学センサを設ける工程と、
前記光学センサ上に光学フィルタを設ける工程と、
前記基板、前記光学センサ、および、前記光学フィルタの上方の全体を覆うように透光性の膜体を設ける工程と、
前記膜体の上面を平坦化する工程と、
前記基板、前記光学センサ、前記光学フィルタ、および、前記膜体を封止する透光性の封止部材を設ける工程とを備え、
前記膜体は、前記封止部材よりも吸湿性が低い、光検出装置の製造方法。
前記光学センサ上に光学フィルタを設ける工程と、
前記基板、前記光学センサ、および、前記光学フィルタの上方の全体を覆うように透光性の膜体を設ける工程と、
前記膜体の上面を平坦化する工程と、
前記基板、前記光学センサ、前記光学フィルタ、および、前記膜体を封止する透光性の封止部材を設ける工程とを備え、
前記膜体は、前記封止部材よりも吸湿性が低い、光検出装置の製造方法。
【請求項10】
前記膜体の上面を平坦化する工程においては、前記膜体の上面を研磨する、請求項９に記載の光検出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、光検出装置および光検出装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、車両において、受光素子を有する光センサが半導体基板上に設けられた光センサ装置が開示されている。特許文献１の光センサ装置では、半導体基板上において、例えばレインセンサ、日射センサ、および、照度センサのような光センサが形成され、半導体基板および光センサを含む検出構造体が、樹脂によって覆われることにより封止された構成例が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第４９７３６９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかし、特許文献１のように、半導体基板に設けられた光センサを含む検出構造体が、樹脂で覆われることにより封止される構成の従来の光センサ装置においては、次のような問題が生じる場合がある。
【0005】
光センサ装置は、光センサが受光する光の経路の透光性を担保する必要があるので、例えば透光性の樹脂製の封止部材によって検出構造体を封止する場合には、封止部材の強度を高めたり、封止部材の吸湿性を抑制したりするためのフィラーが封止部材に添加されていないのが一般的である。これにより、従来の光検出装置では、封止部材の内部に水分が溜まったり、封止部材が変形したりすることにより、検出構造体と封止部材とが界面剥離しやすいという問題があった。
【0006】
そして、光検出装置では、光センサの受光面側に光学フィルタを設ける場合があり、その場合には、光センサの受光面側に段差が生じやすい。このような段差が生じると、その段差部分に樹脂を封止する際に気泡が生じたり、製造時に生じたフォトレジストなどの残渣等の異物が溜まったり、封止部材が吸湿したことに応じて生じる水分が溜まったりする。これにより、光学フィルタを設けた光検出装置では、光センサの受光面側の段差部分における気泡、異物、または水分の存在によって、検出構造体と、封止部材とがより一層界面剥離しやすくなるおそれがあった。
【0007】
本開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであって、その目的は、光検出装置において、検出構造体と封止部材とが界面剥離することを抑制することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本開示のある局面に従う光検出装置は、基板と、基板上に設けられた光学センサと、光学センサ上に設けられた光学フィルタと、基板、光学センサ、および、光学フィルタの上方の全体を覆うように形成された透光性の膜体と、基板、光学センサ、光学フィルタ、および、膜体を封止する透光性の封止部材とを備え、膜体は、封止部材よりも吸湿性が低い。
【0009】
本開示の他の局面に従う光検出装置の製造方法は、基板上に光学センサを設ける工程と、光学センサ上に光学フィルタを設ける工程と、基板、光学センサ、および、光学フィルタの上方の全体を覆うように透光性の膜体を設ける工程と、膜体の上面を平坦化する工程と、基板、光学センサ、光学フィルタ、および、膜体を封止する透光性の封止部材を設ける工程とを備え、膜体は、封止部材よりも吸湿性が低い。
【発明の効果】
【0010】
本開示によれば、光検出装置において、検出構造体と、封止部材とが界面剥離することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下では図中の同一または相当部分には同一の符号を付して、その説明は原則的に繰返さないものとする。
【0013】
＜光検出装置５０の設置例＞
図１は、実施の形態に係る光検出装置５０の設置例を示す図である。図１の例では、車両１００の側面図が示されている。図１においては、例えば自動車のような車両１００におけるガラス製のフロントウインドウ６０の内側に光検出装置５０が設置された構成が示されている。
図１は、実施の形態に係る光検出装置５０の設置例を示す図である。図１の例では、車両１００の側面図が示されている。図１においては、例えば自動車のような車両１００におけるガラス製のフロントウインドウ６０の内側に光検出装置５０が設置された構成が示されている。
【0014】
光検出装置５０は、図２に示すような１つの半導体基板である基板２において、複数種類の光センサが設けられた複合センサ体１０を含む。
【0015】
［光検出装置５０における複合センサ体１０の構成例］
図２は、実施の形態に係る光検出装置５０における複合センサ体１０の構成を示す断面図である。複合センサ体１０は、ベース部材としてのベース基板１、半導体基板としての基板２、第１光学センサ３、第２光学センサ４、第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６、膜体７、および、封止部材８を含む。
図２は、実施の形態に係る光検出装置５０における複合センサ体１０の構成を示す断面図である。複合センサ体１０は、ベース部材としてのベース基板１、半導体基板としての基板２、第１光学センサ３、第２光学センサ４、第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６、膜体７、および、封止部材８を含む。
【0016】
ベース基板１は、たとえば樹脂製の基板よりなり、複合センサ体１０のベース部材として複合センサ体１０の底部に設けられる。ベース基板１上には、基板２が設けられている。基板２は、ベース基板１上に設けられた半導体よりなる基板である。
【0017】
基板２の表面側においては、第１光学センサ３を設ける凹部を構成する第１センサ領域３０と、第２光学センサ４を設ける凹部を構成する第２センサ領域４０とが形成されている。
【0018】
基板２の第１センサ領域３０内には、第１光学センサ３が設けられている。第１光学センサ３は、例えば雨滴等の雨を検出するレインセンサである。第１光学センサ３は、図示を省略する受光素子およびＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を含む。第１光学センサ３の受光素子は、フォトダイオードにより構成されている。第１光学センサ３として設けられたレインセンサは、発光装置９１から発光され、フロントウインドウ６０で反射した赤外光を受光することに応じて、雨滴を含む雨を検出することが可能である。
【0019】
基板２における第２センサ領域４０内には、第２光学センサ４が設けられている。第２光学センサ４は、車両１００の前方における一部の方向から受光した光に応じて照度を検出する前方照度センサである。第２光学センサ４は、図示を省略する受光素子およびＡＳＩＣを含む。第２光学センサ４の受光素子は、フォトダイオードにより構成されている。第２光学センサ４として設けられた前方照度センサは、車両１００の前方における一部の方向から受光する可視光の照度を検出するセンサである。第２光学センサ４は、フロントエンドセンサと呼ばれる場合がある。
【0020】
基板２の表面と、第１光学センサ３の表面（受光面）と、第２光学センサ４の表面（受光面）とは、平坦化されて段差がなくフラットな面が形成される面一状態である。
【0021】
図２において、第１光学センサ３の上面側である受光面側には、第１光学フィルタ５が設けられている。第１光学フィルタ５は、例えば可視光を透過させずに赤外光を透過させる光学フィルタである。第１光学フィルタ５により、第１光学センサ３として設けられたレインセンサへの赤外光以外の可視光等の光の入射が抑制される。
【0022】
図２において、第２光学センサ４の上面側である受光面側には、第２光学フィルタ６が設けられている。第２光学フィルタ６は、例えば赤外光を透過させずに可視光を透過させる光学フィルタである。第２光学フィルタ６により、第２光学センサ４として設けられた前方照度センサへの可視光以外の赤外光等の光の入射が抑制される。
【0023】
図２において、基板２、第１光学フィルタ５、および、第２光学フィルタ６の表面側の上方の全体を覆うように、膜体７が形成されている。膜体７は、透光性を有する酸化ケイ素よりなる。具体的に膜体７は、二酸化ケイ素により構成されている。図２において、膜体７の表面である上面７０は、複合センサ体１０の製造時において、研磨されて平坦化されており、段差がほぼないフラットな状態とされている。膜体７の厚さ（膜厚）は、第１光学フィルタ５の厚さ、および、第２光学フィルタ６の厚さよりも厚い。
【0024】
図２において、ベース基板１の上方と、基板２の側方と、膜体７の上方および側方とには、これらを封止する封止部材８が設けられる。これにより、ベース基板１、基板２、第１光学センサ３、第２光学センサ４、第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６、および、膜体７は、封止部材８により封止される。封止部材８は、透光性を有する樹脂製の部材であり、複合センサ体１０の外部から入射する赤外光および可視光等の光を透過させる。封止部材８は、封止部材８の強度を高めたり、封止部材８の吸湿性を抑制したりするためのフィラーが添加されていない。その理由は、光検出装置５０に用いる封止部材８としての透光性を担保するためである。
【0025】
前述したように、基板２、第１光学フィルタ５、および、第２光学フィルタ６の表面側の上方の全体が、膜体７により覆われている。膜体７は、酸化ケイ素よりなるものであり、膜体７の上方および側方に形成される樹脂製の封止部材８と比べて吸湿性が低い。
【0026】
図１に示すように、フロントウインドウ６０は、車両１００の水平方向に対して予め定められた角度で傾斜している。光検出装置５０は、箱形状の筐体の内部において、複合センサ体１０の他に、図２に示す発光装置９１およびレンズ等の部品が設けられている。複合センサ体１０は、光検出装置５０の筐体の内部における底面に設けられる。光検出装置５０は、図２に示す複合センサ体１０における第１光学センサ３の受光面および第２光学センサ４の受光面がフロントウインドウ６０に対向するように、フロントウインドウ６０の内側に取付けられる。これにより、図１に示すように、光検出装置５０は、フロントウインドウ６０と同様の角度で水平方向に対して傾斜した状態でフロントウインドウ６０の内側に取付けられる。
【0027】
図２においては、フロントウインドウ６０を一点鎖線で示すことにより、フロントウインドウ６０と、複合センサ体１０とが対向する位置関係が示されている。ただし、図２においては、複合センサ体１０の構成を明確に示すために、実際には水平方向に対して傾斜しているフロントウインドウ６０が水平方向に延在する態様で示されている。
【0028】
第１光学センサ３がレインセンサである場合には、赤外光である光Ｌ１が、発光装置９１から発光され、破線矢印で示すようにフロントウインドウ６０に向かって進む。図示を省略するが、光Ｌ１は、フロントウインドウ６０で反射する。フロントウインドウ６０で反射した光Ｌ１は、破線矢印で示すように、封止部材８、膜体７、および、第１光学フィルタ５を透過して第１光学センサ３に入射することが可能である。
【0029】
図示を省略するが、光検出装置５０では、発光装置９１で発光した赤外光を、フロントウインドウ６０で反射させて光学的に誘導し、第１光学フィルタ５を経て第１光学センサ３に入射させるための光学素子としてのレンズを備える。
【0030】
第１光学センサ３がレインセンサである場合は、フロントウインドウ６０に雨滴を含む雨が付着している場合に、フロントウインドウ６０に雨滴を含む雨が付着していない場合よりも、フロントウインドウ６０で反射する赤外光の光線量が減少することに応じて、検出する赤外光の光線量が低下する。その理由は、フロントウインドウ６０に雨滴を含む雨が付着している場合は、フロントウインドウ６０に雨滴を含む雨が付着していない場合よりも、フロントウインドウ６０から外部に出ていく赤外光の光線量が多くなるという現象が生じるためである。したがって、第１光学センサ３は、フロントウインドウ６０で反射した赤外光の光線量を検出することに応じて、降雨状態を検出することが可能である。
【0031】
第２光学センサ４が前方照度センサである場合には、フロントウインドウ６０の外側からフロントウインドウ６０に入射し、フロントウインドウ６０を透過してフロントウインドウ６０の内側に出射した可視光である光Ｌ２が、破線矢印で示すように、封止部材８、膜体７、および、第２光学フィルタ６を透過して第１光学センサ３に入射することが可能である。
【0032】
第２光学センサ４が前方照度センサである場合に、前方照度センサは、車両１００の前方における一部の方向から受光する光の照度を主に検出し、その検出情報が車両１００における各種の照明の制御条件を判定するため等に用いられる。
【0033】
光検出装置５０では、第１光学センサ３がレインセンサである場合に、第１光学センサ３の受光面側に、第１光学センサ３への可視光の入射を抑制する第１光学フィルタ５が設けられているので、レインセンサが雨の検出に不要な光を受光することが抑制される。さらに、光検出装置５０では、第２光学センサ４が前方照度センサである場合に、第２光学センサ４の受光面側に、第２光学センサ４への赤外光の入射を抑制する第２光学フィルタ６が設けられているので、前方照度センサが照度の検出に不要な光を受光することが抑制される。これらの理由により、光検出装置５０では、１つの基板２に設けられた複数種類のセンサである第１光学センサ３および第２光学センサ４において、各センサが不要な光を受光することを抑制することができる。
【0034】
以上に説明した構成の光検出装置５０における複合センサ体１０では、基板２、第１光学センサ３、第２光学センサ４、第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６、および、膜体７により、検出構造体が構成されている。そして、このような検出構造体に含まれる構造物が、封止部材８により覆われることにより、封止されている。
【0035】
＜光検出装置５０の製造方法＞
図３は、実施の形態に係る光検出装置５０の製造方法を示す図である。図３においては、光検出装置５０の製造方法のうち、複合センサ体１０の製造方法が示される。図３では、（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）、（Ｆ）の順番で、複合センサ体１０の製造工程が進む状態が示されている。
図３は、実施の形態に係る光検出装置５０の製造方法を示す図である。図３においては、光検出装置５０の製造方法のうち、複合センサ体１０の製造方法が示される。図３では、（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）、（Ｆ）の順番で、複合センサ体１０の製造工程が進む状態が示されている。
【0036】
工程Ｓ１は、次のとおりである。図３（Ａ）のように、ベース基板１の表面上に、半導体基板としての基板２が形成される。基板２の表面側には、エッチング等により、第１の凹部として第１センサ領域３０が形成されるとともに、第２の凹部として第２センサ領域４０が形成される。
【0037】
工程Ｓ２は、次のとおりである。図３（Ｂ）のように、第１センサ領域３０内には、第１光学センサ３が形成される。図３（Ｂ）のように、第２センサ領域４０内には、第２光学センサ４が形成される。図３（Ｂ）のように、第１光学センサ３および第２光学センサ４は、基板２の表面と、第１光学センサ３の表面（受光面）と、第２光学センサ４の表面（受光面）とが、段差がなくフラットな面が形成される面一状態となるように形成される。
【0038】
工程Ｓ３は、次のとおりである。図３（Ｃ）のように、第１光学センサ３の表面（受光面）上には、第１光学センサ３の表面（受光面）を覆う形状の第１光学フィルタ５が形成される。図３（Ｃ）のように、第２光学センサ４の表面（受光面）上には、第２光学センサ４の表面（受光面）を覆う形状の第２光学フィルタ６が形成される。
【0039】
工程Ｓ４は、次のとおりである。図３（Ｄ）のように、基板２、第１光学フィルタ５、および、第２光学フィルタ６の表面側の上方の全体を覆うように、膜体７が形成される。膜体７は、透光性を有する酸化ケイ素よりなる。膜体７は、例えば、スパッタリング法による成膜、または、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition)法による成膜により形成される。
【0040】
膜体７の厚さ（膜厚）は、第１光学フィルタ５の厚さ、および、第２光学フィルタ６の厚さよりも厚くすればよい。そのようにすれば、膜体７による第１光学フィルタ５への光干渉、および、膜体７による第２光学フィルタ６への光干渉を抑制することができる。膜体７が透光性を有する酸化ケイ素により構成されることにより、可視光から赤外光までの間の範囲の波長の光を膜体７が透過させることが可能であるので、当該波長の値を考慮すると、例えば、膜体７の厚さを、第１光学フィルタ５の厚さ、および、第２光学フィルタ６の厚さよりも数μｍ以上厚い値とすることで、膜体７による第１光学フィルタ５への光干渉、および、膜体７による第２光学フィルタ６への光干渉を抑制することができる。
【0041】
工程Ｓ５は、次のとおりである。図３（Ｅ）のように、膜体７の表面である上面７０が、研磨装置９０により研磨される。これにより、複合センサ体１０の製造時において、膜体７の表面である上面７０は、研磨されて平坦化され、段差がほぼ生じないフラットな状態とされる。研磨装置９０としては、例えば、ＣＭＰ(Chemical Mechanical Polishing）装置が用いられる。
【0042】
工程Ｓ６は、次のとおりである。図３（Ｆ）のように、ベース基板１の表面側の上方と、基板２の側方と、膜体７の表面側の上方および側方とには、これらを封止する封止部材８が形成される。封止部材８は、透光性を有する樹脂製の部材である。
【0043】
＜実施の形態の変形例＞
（１） 前述した膜体７としては、酸化ケイ素が用いられる例を示した。これに限らず、前述した膜体７としては、窒化膜を用いてもよい。
（１） 前述した膜体７としては、酸化ケイ素が用いられる例を示した。これに限らず、前述した膜体７としては、窒化膜を用いてもよい。
【0044】
（２） 前述した膜体７については、上面７０を研磨することにより段差がほぼ生じないフラットな状態とする例を示した。しかし、これに限らず、前述した膜体７としては、複合センサ体１０の製造時において上面７０に段差がほぼ生じない場合には研磨されなくてもよい。
【0045】
（３） 前述した封止部材８については、透光性を担保するために、封止部材８の強度を高めたり、封止部材８の吸湿性を抑制したりするためのフィラーが添加されていない例を示した。しかし、これに限らず、前述した封止部材８としては、透光性を損なわない範囲内において、封止部材８の強度を高めたり、封止部材８の吸湿性を抑制したりするためのフィラーが添加されたものでもよい。
【0046】
（４） 前述した実施の形態では、複合センサ体１０において、基板２に、第２光学センサ４として、前方照度センサを設けた例を示した。しかし、これに限らず、第２光学センサ４としては、前方照度センサの代わりに、周囲照度センサを設けてもよい。周囲照度センサ３２は、車両１００の周囲から受光した光に応じて照度を検出するセンサである。周囲照度センサ３２は、図示を省略する受光素子およびＡＳＩＣを含む。周囲照度センサ３２の受光素子は、フォトダイオードにより構成されている。周囲照度センサ３２は、車両１００の周囲から受光する可視光の照度を主に検出するセンサである。周囲照度センサ３２は、ＡＬＳ（Ambient Light Sensor）と呼ばれる場合がある。周囲照度センサ３２の検出情報は、車両１００における各種の照明の制御条件を判定するため等に用いられる。第２光学センサ４として、周囲照度センサを設ける場合にも、第２光学フィルタ６は、第２光学センサ４への赤外光の入射を抑制するものを用いる。
【0047】
（５） 前述した実施の形態では、複合センサ体１０において、基板２に、２つの光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、および、２つの光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）が設けられ、その上方の全体を覆うように透光性の膜体７が形成される例を示した。しかし、これに限らず、複合センサ体１０においては、基板２に、１つの光学センサ（第１光学センサ３または第２光学センサ４）、および、１つの光学フィルタ（第１光学フィルタ５または第２光学フィルタ６）が設けられ、その上方の全体を覆うように透光性の膜体７が形成されるようにしてもよい。
【0048】
（６） 前述した実施の形態では、複合センサ体１０において、基板２に、２つの光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、および、２つの光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）が設けられ、その上方の全体を覆うように透光性の膜体７が形成される例を示した。このような光学センサとしては、前述したレインセンサと照度センサ（前方照度センサ、周囲照度センサ）との他に、日射センサ等のその他の光センサを用いてもよい。その場合には、日射センサが受光する可視光以外の光に受光を抑制する光学フィルタが日射センサの上方に設けられる。このように、複合センサ体１０において基板２に設けるセンサとしては、実施の形態で示した光学センサ以外のセンサであってもよい。
【0049】
＜実施の形態の光検出装置５０により得られる技術的効果＞
（１） 図２等に示すように、光検出装置５０では、複合センサ体１０において、基板２、光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、および、光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）の上方の全体を覆うように透光性の膜体７が形成されている。これらは、複合センサ体１０において、検出構造体に該当する。そして、このような検出構造体が封止部材８により封止されている。複合センサ体１０において、光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）を設ける場合に、基板２、光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、および、光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）の上方の全体を覆うように透光性の膜体７が形成されるので、検出構造体の上面７０に段差が生じることが抑制される。したがって、膜体７の上面において気泡（例えば封止部材８で封止する際に生じる気泡）、異物（例えば製造時のフォトレジストなどの残渣）、または水分（例えば封止部材８が吸湿したことに応じて生じる水分）が存在することが抑制される。さらに、膜体７は、封止部材８よりも吸湿性が低いので、膜体７の内部に水分が溜まったり、膜体７が変形したりすることを抑制することができる。このように、膜体７が設けられたことにより、光検出装置５０においては、検出構造体と封止部材８とが界面剥離する要因が低減されるので、検出構造体と封止部材８とが界面剥離することを抑制することができる。
（１） 図２等に示すように、光検出装置５０では、複合センサ体１０において、基板２、光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、および、光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）の上方の全体を覆うように透光性の膜体７が形成されている。これらは、複合センサ体１０において、検出構造体に該当する。そして、このような検出構造体が封止部材８により封止されている。複合センサ体１０において、光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）を設ける場合に、基板２、光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、および、光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）の上方の全体を覆うように透光性の膜体７が形成されるので、検出構造体の上面７０に段差が生じることが抑制される。したがって、膜体７の上面において気泡（例えば封止部材８で封止する際に生じる気泡）、異物（例えば製造時のフォトレジストなどの残渣）、または水分（例えば封止部材８が吸湿したことに応じて生じる水分）が存在することが抑制される。さらに、膜体７は、封止部材８よりも吸湿性が低いので、膜体７の内部に水分が溜まったり、膜体７が変形したりすることを抑制することができる。このように、膜体７が設けられたことにより、光検出装置５０においては、検出構造体と封止部材８とが界面剥離する要因が低減されるので、検出構造体と封止部材８とが界面剥離することを抑制することができる。
【0050】
（２） 図２等に示すように、膜体７は、上面７０が平坦化された形状であるので、検出構造体の上面７０に段差が生じることがさらに抑制される。したがって、膜体７の上面において気泡、異物、または水分が存在することがさらに抑制される。これにより、光検出装置５０において、検出構造体と封止部材８とが界面剥離することをさらに抑制することができる。
【0051】
（３） 図２等に示すように、膜体７は、上面７０が研磨されることにより上面７０が平坦化された形状であるので、検出構造体の上面７０に段差が生じることがさらに抑制される。したがって、膜体７の上面７０において気泡、異物、または水分が存在することがさらに抑制される。これにより、光検出装置５０において、検出構造体と封止部材８とが界面剥離することをさらに抑制することができる。
【0052】
（４） 膜体７は、酸化膜よりなるので、例えば樹脂よりも吸湿性が低い。これにより、光検出装置５０においては、膜体７の内部に水分が溜まったり、膜体７が変形したりすることを抑制することができる。
【0053】
（５） 図２等に示すように、膜体７は、膜厚が光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）の厚みよりも厚い。これにより、前述したように、膜体７による光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）への光干渉を抑制することができる。
【0054】
（６） 図２等に示すように、具体的な構成として、光学センサは、第１光学センサ３と第２光学センサ４とを含み、光学フィルタは、第１光学センサ３上に設けられた第１光学フィルタ５と、第２光学センサ４上に設けられた第２光学フィルタ６とを含む。そして、膜体７は、基板２、第１光学センサ３、第２光学センサ４、第１光学フィルタ５、および、第２光学フィルタ６の上方の全体を覆うように形成される。さらに、封止部材８が、基板２、第１光学センサ３、第２光学センサ４、第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６、および、膜体７を封止する。このように膜体７が設けられたことにより、光検出装置５０においては、２つの光学センサおよび２つの光学フィルタを含む検出構造体と封止部材８とが界面剥離することを抑制することができる。
【0055】
（７） 光検出装置５０では、図２等に示すように、具体的な構成として、第１光学センサ３がレインセンサであり、第２光学センサ４が照度センサ（前方照度センサ、周囲照度センサ）である構成において、検出構造体と封止部材８とが界面剥離することを抑制することができる。
【0056】
（８） 光検出装置５０では、図２等に示すように、第１光学フィルタ５が第１光学センサ３としてのレインセンサへの可視光の入射を抑制し、第２光学フィルタ６が第２光学センサ４としての照度センサ（前方照度センサ、周囲照度センサ）への赤外光の入射を抑制する構成において、検出構造体と封止部材８とが界面剥離することを抑制することができる。
【0057】
（９） 光検出装置５０の製造方法では、図３に示すように、基板２、光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、および、光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）の上方の全体を覆うように透光性の膜体（膜体７）を設ける工程（工程Ｓ４）の後に、膜体７の上面を平坦化する工程（工程Ｓ５）が実行される。複合センサ体１０において、このように形成される基板２、光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）、および、膜体（膜体７）が、検出構造体に該当する。そして、このような検出構造体が封止部材８を設ける工程（工程Ｓ６）により、封止部材８により封止される。膜体７の上面を平坦化する工程（工程Ｓ５）により膜体７の上面が平坦化されるので、検出構造体の上面７０に段差が生じることが抑制される。したがって、膜体７の上面７０において気泡（例えば封止部材８で封止する際に生じる気泡）、異物（例えば製造時のフォトレジストなどの残渣）、または水分（例えば封止部材８が吸湿したことに応じて生じる水分）が存在することが抑制される。さらに、膜体７は、封止部材８よりも吸湿性が低いので、膜体７の内部に水分が溜まったり、膜体７が変形したりすることを抑制することができる。このように、膜体７が設けられたことにより、光検出装置５０においては、検出構造体と封止部材８とが界面剥離する要因が低減されるので、検出構造体と封止部材８とが界面剥離することを抑制することができる。
【0058】
（１０） 光検出装置５０の製造方法では、図３（Ｅ）に示すように、膜体７の上面７０を平坦化する工程（工程Ｓ５）において、膜体７の上面が研磨装置９０により研磨されるので、検出構造体の上面７０に段差が生じることがさらに抑制される。したがって、膜体７の上面７０において気泡、異物、または水分が存在することがさらに抑制される。これにより、光検出装置５０において、検出構造体と封止部材８とが界面剥離することをさらに抑制することができる。
【0059】
＜付記＞
上述したような本実施の形態は、以下のような技術思想を含む。
［構成１］
基板（基板２）と、
前記基板（基板２）上に設けられた光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）と、
前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）上に設けられた光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）と、
前記基板（基板２）、前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、および、前記光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）の上方の全体を覆うように形成された透光性の膜体（膜体７）と、
前記基板（基板２）、前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、前記光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）、および、前記膜体（膜体７）を封止する透光性の封止部材（封止部材８）とを備え、
前記膜体（膜体７）は、前記封止部材（封止部材８）よりも吸湿性が低い、光検出装置（光検出装置５０）。
［構成２］
前記膜体（膜体７）は、上面（上面７０）が平坦化された形状である、構成１に記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成３］
前記膜体（膜体７）は、上面（上面７０）が研磨されることにより上面が平坦化された形状である、構成１～構成３のいずれかに記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成４］
前記膜体（膜体７）は、酸化膜よりなる、構成１～構成３のいずれかに記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成５］
前記膜体（膜体７）は、膜厚が前記光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）の厚みよりも厚い、構成１～構成４のいずれかに記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成６］
前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）は、第１光学センサ（第１光学センサ３）と第２光学センサ（第２光学センサ４）とを含み、
前記光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）は、前記第１光学センサ（第１光学センサ３）上に設けられた第１光学フィルタ（第１光学フィルタ５）と、前記第２光学センサ（第２光学センサ４）上に設けられた第２光学フィルタ（第２光学フィルタ６）とを含み、
前記膜体（膜体７）は、前記基板（基板２）、前記第１光学センサ（第１光学センサ３）、前記第２光学センサ（第２光学センサ４）、前記第１光学フィルタ（第１光学フィルタ５）、および、前記第２光学フィルタ（第２光学フィルタ６）の上方の全体を覆うように形成され、
前記封止部材（封止部材８）は、前記基板（基板２）、前記第１光学センサ（第１光学センサ３）、前記第２光学センサ（第２光学センサ４）、前記第１光学フィルタ（第１光学フィルタ５）、前記第２光学フィルタ（第２光学フィルタ６）、および、前記膜体（膜体７）を封止する、構成１～構成５のいずれかに記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成７］
前記第１光学センサ（第１光学センサ３）は、前記基板（基板２）の表面に設けられ、前記フロントウインドウ（フロントウインドウ６０）で反射した赤外光を受光し、受光した光に応じて雨を検出するレインセンサ（レインセンサ）であり、
前記第２光学センサ（第２光学センサ４）は、前記基板（基板２）の表面に設けられ、前記フロントウインドウ（フロントウインドウ６０）の外部から内部に入射した光を受光し、受光した光に応じて照度を検出する照度センサ（前方照度センサ、周囲照度センサ）である、構成６に記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成８］
前記第１光学フィルタ（第１光学フィルタ５）は、前記第１光学センサ（第１光学センサ３）への可視光の入射を抑制し、
前記第２光学フィルタ（第２光学フィルタ６）は、前記第２光学センサ（第２光学センサ４）への赤外光の入射を抑制する、構成６に記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成９］
基板上に光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）を設ける工程（工程Ｓ２）と、
前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）上に光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）を設ける工程（工程Ｓ３）と、
前記基板、前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、および、前記光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）の上方の全体を覆うように透光性の膜体（膜体７）を設ける工程（工程Ｓ４）と、
前記膜体（膜体７）の上面を平坦化する工程（工程Ｓ５）と、
前記基板、前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、前記光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）、および、前記膜体（膜体７）を封止する透光性の封止部材（封止部材８）を設ける工程（工程Ｓ６）とを備え、
前記膜体（膜体７）は、前記封止部材（封止部材８）よりも吸湿性が低い、光検出装置（光検出装置５０）の製造方法。
［構成１０］
前記膜体（膜体７）の上面（上面７０）を平坦化する工程（工程Ｓ５）においては、前記膜体（膜体７）の上面を研磨する、構成９に記載の光検出装置（光検出装置５０）の製造方法。
上述したような本実施の形態は、以下のような技術思想を含む。
［構成１］
基板（基板２）と、
前記基板（基板２）上に設けられた光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）と、
前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）上に設けられた光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）と、
前記基板（基板２）、前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、および、前記光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）の上方の全体を覆うように形成された透光性の膜体（膜体７）と、
前記基板（基板２）、前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、前記光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）、および、前記膜体（膜体７）を封止する透光性の封止部材（封止部材８）とを備え、
前記膜体（膜体７）は、前記封止部材（封止部材８）よりも吸湿性が低い、光検出装置（光検出装置５０）。
［構成２］
前記膜体（膜体７）は、上面（上面７０）が平坦化された形状である、構成１に記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成３］
前記膜体（膜体７）は、上面（上面７０）が研磨されることにより上面が平坦化された形状である、構成１～構成３のいずれかに記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成４］
前記膜体（膜体７）は、酸化膜よりなる、構成１～構成３のいずれかに記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成５］
前記膜体（膜体７）は、膜厚が前記光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）の厚みよりも厚い、構成１～構成４のいずれかに記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成６］
前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）は、第１光学センサ（第１光学センサ３）と第２光学センサ（第２光学センサ４）とを含み、
前記光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）は、前記第１光学センサ（第１光学センサ３）上に設けられた第１光学フィルタ（第１光学フィルタ５）と、前記第２光学センサ（第２光学センサ４）上に設けられた第２光学フィルタ（第２光学フィルタ６）とを含み、
前記膜体（膜体７）は、前記基板（基板２）、前記第１光学センサ（第１光学センサ３）、前記第２光学センサ（第２光学センサ４）、前記第１光学フィルタ（第１光学フィルタ５）、および、前記第２光学フィルタ（第２光学フィルタ６）の上方の全体を覆うように形成され、
前記封止部材（封止部材８）は、前記基板（基板２）、前記第１光学センサ（第１光学センサ３）、前記第２光学センサ（第２光学センサ４）、前記第１光学フィルタ（第１光学フィルタ５）、前記第２光学フィルタ（第２光学フィルタ６）、および、前記膜体（膜体７）を封止する、構成１～構成５のいずれかに記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成７］
前記第１光学センサ（第１光学センサ３）は、前記基板（基板２）の表面に設けられ、前記フロントウインドウ（フロントウインドウ６０）で反射した赤外光を受光し、受光した光に応じて雨を検出するレインセンサ（レインセンサ）であり、
前記第２光学センサ（第２光学センサ４）は、前記基板（基板２）の表面に設けられ、前記フロントウインドウ（フロントウインドウ６０）の外部から内部に入射した光を受光し、受光した光に応じて照度を検出する照度センサ（前方照度センサ、周囲照度センサ）である、構成６に記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成８］
前記第１光学フィルタ（第１光学フィルタ５）は、前記第１光学センサ（第１光学センサ３）への可視光の入射を抑制し、
前記第２光学フィルタ（第２光学フィルタ６）は、前記第２光学センサ（第２光学センサ４）への赤外光の入射を抑制する、構成６に記載の光検出装置（光検出装置５０）。
［構成９］
基板上に光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）を設ける工程（工程Ｓ２）と、
前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）上に光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）を設ける工程（工程Ｓ３）と、
前記基板、前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、および、前記光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）の上方の全体を覆うように透光性の膜体（膜体７）を設ける工程（工程Ｓ４）と、
前記膜体（膜体７）の上面を平坦化する工程（工程Ｓ５）と、
前記基板、前記光学センサ（第１光学センサ３、第２光学センサ４）、前記光学フィルタ（第１光学フィルタ５、第２光学フィルタ６）、および、前記膜体（膜体７）を封止する透光性の封止部材（封止部材８）を設ける工程（工程Ｓ６）とを備え、
前記膜体（膜体７）は、前記封止部材（封止部材８）よりも吸湿性が低い、光検出装置（光検出装置５０）の製造方法。
［構成１０］
前記膜体（膜体７）の上面（上面７０）を平坦化する工程（工程Ｓ５）においては、前記膜体（膜体７）の上面を研磨する、構成９に記載の光検出装置（光検出装置５０）の製造方法。
【0060】
今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【0061】
２ 基板、３ 第１光学センサ、４ 第２光学センサ、５ 第１光学フィルタ、６ 第２光学フィルタ、７ 膜体、８ 封止部材、５０ 光検出装置、７０ 上面、Ｓ１～Ｓ６ 工程。
【図1】
【図2】
【図3】