特開 2024-167851 物品のリンス方法及び物品のリンス装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024167851

(43)【公開日】2024-12-04

(54)【発明の名称】物品のリンス方法及び物品のリンス装置

(51)【国際特許分類】

   B08B 3/04 20060101AFI20241127BHJP

   B08B 3/12 20060101ALI20241127BHJP

   B08B 3/02 20060101ALI20241127BHJP

【ＦＩ】

B08B3/04 B

B08B3/12 D

B08B3/02 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023084218

(22)【出願日】2023-05-22

(71)【出願人】

【識別番号】000107734

【氏名又は名称】スピードファムクリーンシステム株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】240000327

【弁護士】

【氏名又は名称】弁護士法人クレオ国際法律特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】土屋 伸次郎

【テーマコード（参考）】

3B201

【Ｆターム（参考）】

3B201AA47

3B201AB13

3B201AB24

3B201AB44

3B201BB02

3B201BB03

3B201BB22

3B201BB62

3B201BB82

3B201BB83

3B201BB92

3B201BB95

3B201CB15

3B201CC01

3B201CC12

3B201CD11

3B201CD42

3B201CD43

(57)【要約】

【課題】物品をリンス液に浸漬してリンスする際、物品表面に形成された凹部内の液置換を促進し、リンス性能を向上できる物品のリンス方法を提供すること。
【解決手段】表面に凹部１０１が形成された物品１００のリンス方法において、洗浄済みの物品１００を７０℃の第１リンス液Ｒαに浸漬して浸漬リンスを実施する第１リンス工程（ステップＳ８）と、浸漬リンスを実施した後、浸漬リンス済みの物品１００を、７０℃よりも低い常温の第２リンス液Ｒβに浸漬した状態で、槽内圧力を大気圧よりも低く、第２リンス液Ｒβに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する減圧リンスを実施する第２リンス工程（ステップＳ１０）と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

表面に凹部が形成された物品のリンス方法において、
洗浄済みの物品を第１温度の第１リンス液に浸漬して浸漬リンスを実施する第１リンス工程と、
前記浸漬リンスを実施した後、浸漬リンス済みの前記物品を、前記第１温度よりも低い第２温度の第２リンス液に浸漬した状態で、槽内圧力を大気圧よりも低く、前記第２リンス液に浸漬された前記物品の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する減圧リンスを実施する第２リンス工程と、
を備えることを特徴とする物品のリンス方法。

【請求項2】

請求項１に記載された物品のリンス方法において、
前記第１温度と前記第２温度との温度差は、前記物品に形成された凹部内に入り込んだリンス液の収縮率に基づいて設定される
ことを特徴とする物品のリンス方法。

【請求項3】

請求項１又は請求項２に記載された物品のリンス方法において、
前記物品を前記第２リンス液に浸漬した後、所定時間、前記槽内圧力を維持し、前記所定時間経過後、前記槽内圧力の減圧を開始する
ことを特徴とする物品のリンス方法。

【請求項4】

請求項１又は請求項２に記載された物品のリンス方法において、
前記減圧リンスを実施した後、減圧リンス済みの前記物品を、前記第２温度よりも高温の第３温度の第３リンス液に浸漬し、前記物品の温度を上昇させる浸漬リンスを実施するプレ乾燥工程を備える
ことを特徴とする物品のリンス方法。

【請求項5】

請求項１又は請求項２に記載された物品のリンス方法において、
前記浸漬リンスを実施する前、前記第１温度よりも低温の第４温度の第４リンス液に前記物品を浸漬した状態で、槽内圧力を大気圧よりも低く、前記第４リンス液に浸漬された前記物品の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する減圧リンスを実施するプレリンス工程を備える
ことを特徴とする物品のリンス方法。

【請求項6】

表面に凹部が形成された物品のリンス装置において、
第１温度の第１リンス液を貯留する第１のリンス槽と、
前記第１温度よりも低温の第２温度の第２リンス液を貯留すると共に、密閉可能な第２のリンス槽と、
前記第２のリンス槽の槽内圧力を、大気圧よりも低く、前記第２リンス液に浸漬された物品の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する減圧機と、
を備えたことを特徴とする物品のリンス装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、物品のリンス方法及び物品のリンス装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、機械部品等の物品に付着した汚れを、有機溶剤や蒸留水等の洗浄液を用いて洗浄する物品の洗浄方法として、物品を洗浄液に浸漬して加温した後、減圧雰囲気下で低温の洗浄液に浸漬し、洗浄液を物品の表面で突沸させる物品の洗浄方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、物品を浸漬した洗浄液の温度を一旦上昇させた後に温度を低下させ、さらにその後洗浄液を沸騰させる物品の洗浄方法が知られている（例えば、特許文献２参照）。さらに、純水の沸点以上に加温された物品を常温の純水に浸漬することで物品の表面で突沸現象を生じさせ、物品の表面に気泡を発生させる物品の洗浄方法が知られている（例えば、特許文献３参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平４－３２６９７１号公報

【特許文献2】特開平１－１１５１２４号公報

【特許文献3】特開平２－１３０８２７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ここで、従来の物品の洗浄方法では洗浄液を突沸或いは沸騰させるが、洗浄液が突沸や沸騰することで、物品に形成された凹部の内側にも気泡を生じる。しかしながら、物品に形成された凹部が水平方向よりも下方を向いている場合、突沸等によって生じた気泡が凹部から排出されず、凹部内に充満する。このため、凹部に洗浄液が入り込む余地が無くなり、凹部内の洗浄液の入れ替え（液置換）が進まず、洗浄効果が低下するおそれがある。そこで、洗浄液に物品を浸漬する際、物品に形成された凹部を上方或いは水平方向に開口させる必要がある。

【0005】

また、洗浄後に物品の表面に残留する付着物や洗浄溶媒を濯ぎ落すリンス処理においても、リンス液を突沸させた場合には、洗浄液を突沸させたときと同様の問題が生じ得る。

【0006】

一方、一般的に、機械部品等の物品の表面には様々な方向に開口した多くの凹部が形成されている。そのため、物品に形成された全ての凹部を同時に上方或いは水平方向に開口させた状態で洗浄液やリンス液に浸漬することは難しく、全ての凹部を上方或いは水平方向に開口させるためには、物品の姿勢を変えて液中に複数回浸漬させたり、浸漬させたまま液中で物品の姿勢を変えたりする必要がある。そのため、手間や時間がかかる上、十分な洗浄或いはリンスを行うことができないおそれがある。

【0007】

本発明は、上記問題に着目してなされたもので、物品をリンス液に浸漬してリンスする際、物品表面に形成された凹部内の液置換を促進し、リンス性能を向上できる物品のリンス方法及び物品のリンス装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するため、本発明は、表面に凹部が形成された物品のリンス方法において、洗浄済みの前記物品を第１温度の第１リンス液に浸漬して浸漬リンスを実施する第１リンス工程と、前記浸漬リンスを実施した後、浸漬リンス済みの前記物品を、前記第１温度よりも低い第２温度の第２リンス液に浸漬した状態で、槽内圧力を大気圧よりも低く、前記第２リンス液に浸漬された前記物品の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する減圧リンスを実施する第２リンス工程と、を備える構成とした。

【0009】

また、上記目的を達成するため、本発明は、表面に凹部が形成された物品のリンス装置において、第１温度の第１リンス液を貯留する第１のリンス槽と、前記第１温度よりも低温の第２温度の第２リンス液を貯留すると共に、密閉可能な第２のリンス槽と、前記第２のリンス槽の槽内圧力を、大気圧よりも低く、前記第２リンス液に浸漬された前記物品の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する減圧機と、を備えた構成とした。

【発明の効果】

【0010】

これにより、本発明の物品のリンス方法及び物品のリンス装置は、物品をリンス液に浸漬してリンスする際、物品表面に形成された凹部内の液置換を促進し、リンス性能を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施例１の洗浄システム装置を示す全体構成図である。

【図2】実施例１の洗浄システム装置による物品処理の手順を示すフローチャートである。

【図3A】第１リンス液への浸漬直後の凹部内のリンス液を示す説明図である。

【図3B】第１リンス液への浸漬途中の凹部内のリンス液を示す説明図である。

【図3C】第１リンス液への浸漬終盤の凹部内のリンス液を示す説明図である。

【図4A】第２リンス液への浸漬直後の凹部内のリンス液を示す説明図である。

【図4B】第２リンス液への浸漬途中の凹部内のリンス液を示す説明図である。

【図4C】第２リンス液への浸漬終盤の凹部内のリンス液を示す説明図である。

【図5A】リンス液が突沸したときの気泡状態を示す説明図である。

【図5B】リンス液が突沸したときの気泡状態を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本発明の物品のリンス方法及び物品のリンス装置を実施するための形態を、図面に示す実施例１に基づいて説明する。

【0013】

図１に示された実施例１の洗浄システム装置１は、物品１００を洗浄する洗浄処理と、洗浄済みの物品１００の表面に残留した汚れを含む付着物や洗浄溶媒を濯ぎ落すリンス（すすぎ）処理と、洗浄溶媒等が濯ぎ落された物品１００を乾燥する乾燥処理とを順に行う装置である。また、実施例１の洗浄システム装置１によって洗浄処理、リンス処理、乾燥処理が順に施される物品１００は、例えば表面に油や金属粉等の汚れが付着した金型、金属容器、ブラケット等の機械部品等である。このような物品１００は、様々な方向に開口した穴や隙間のような凹部１０１が表面に形成されていることが一般的である。

【0014】

実施例１の洗浄システム装置１は、図１に示されたように、洗浄槽１１と、クイックダンプリンス槽２１と、複数（実施例１では四つ）の浸漬槽３１～３４と、乾燥槽４０と、洗浄用減圧機１２と、複数（実施例１では二つ）の減圧機３５、３６と、複数（実施例１では三つ）のリザーブ槽３７、３８、３９と、を備えている。実施例１の洗浄システム装置１では、洗浄槽１１及び洗浄用減圧機１２によって物品１００の洗浄装置が構成され、洗浄処理が行われる。また、実施例１の洗浄システム装置１では、クイックダンプリンス槽２１と、複数の浸漬槽３１～３４と、複数の減圧機３５、３６と、複数のリザーブ槽３７～３９とによって物品１００のリンス装置Ｘが構成され、リンス処理が行われる。さらに、実施例１の洗浄システム装置１では、乾燥槽４０によって物品１００の乾燥装置が構成され、乾燥処理が行われる。

【0015】

また、実施例１の洗浄システム装置１は、物品１００を搬送するためのローラコンベア５０及びハンドリング装置６０を備えている。

【0016】

ローラコンベア５０は、物品１００の搬送方向に沿って所定の間隔をあけて配置された複数のローラ５１を有し、各ローラ５１が回転して物品１００を搬送する。なお、ローラコンベア５０は、図示しない電動モータ等によってローラ５１を自動的に回転させて物品１００を搬送するものでもよいし、各ローラ５１がベアリングを介して単に回転可能に支持され、作業者がローラ５１の上で物品１００を滑らせることで物品１００を搬送するものであってもよい。

【0017】

また、ローラコンベア５０は、搬送方向の上流側に配置された第１コンベア５２と、搬送方向の下流側に配置された第２コンベア５３と、から構成されている。第１コンベア５２は、物品１００を洗浄槽１１に搬入するために用いられる。また、第２コンベア５３は、乾燥槽４０から物品１００を搬出するために用いられる。そして、実施例１の洗浄システム装置１では、第１コンベア５２と第２コンベア５３との間に、搬送方向に沿って洗浄槽１１と、クイックダンプリンス槽２１と、複数の浸漬槽３１～３４と、乾燥槽４０とが順に配置されている。

【0018】

ハンドリング装置６０は、第１コンベア５２から洗浄槽１１への物品１００の移動と、各槽間での物品１００の移動と、乾燥槽４０から第２コンベア５３への物品１００の移動とに用いられる。実施例１のハンドリング装置６０は、物品１００の搬送方向に沿って延びたレール６１と、レール６１に摺動可能に取り付けられたブラケットハンド６２とを有している。実施例１のハンドリング装置６０では、物品１００を把持したブラケットハンド６２がレール６１を摺動することで物品１００を搬送する。

【0019】

レール６１は、ローラコンベア５０と、洗浄槽１１と、クイックダンプリンス槽２１と、複数の浸漬槽３１～３４と、乾燥槽４０との上方に配置され、水平方向に延びている。

【0020】

ブラケットハンド６２は、物品１００を着脱可能に把持するチャック部を有しており、レール６１から吊り下げられて上下動する。ブラケットハンド６２は、図示しない電動モータによって自動的に移動してもよいし、作業者が引っ張ることで移動して物品１００を搬送するものであってもよい。なお、電動モータによるブラケットハンド６２の移動速度は、任意に設定可能である。

【0021】

洗浄槽１１は、第１コンベア５２の搬送終端部に隣接して配置されている。洗浄槽１１は、洗浄液Ｓを貯留した水槽である。なお、洗浄液Ｓは、重量パーセント濃度が１％の洗浄溶媒を含む温水（ここでは４０℃）である。

【0022】

実施例１の洗浄槽１１は、上部に物品１００を出し入れ可能な開口部１１ａを有している。洗浄槽１１の開口部１１ａは、蓋部材１１ｅによって開閉可能に密封される。そして、開口部１１ａが蓋部材１１ｅで密封されることで、洗浄槽１１は密閉される。すなわち、洗浄槽１１は、密閉可能な密閉槽である。

【0023】

そして、洗浄槽１１の蓋部材１１ｅには、洗浄用減圧機１２が設けられている。洗浄用減圧機１２は、洗浄槽１１内の空気を吸引し、減圧（真空引き）する。

【0024】

さらに、洗浄槽１１の内部には、超音波発生器１１ｄが設けられている。超音波発生器１１ｄは、筐体内に設けられた振動子を有し、振動子が超音波発振器からの電気信号に基づいて振動して超音波を発生する装置である。超音波発生器１１ｄは、洗浄槽１１の底面に取り付けられ、洗浄槽１１に搬入されて洗浄液Ｓに浸漬された物品１００に対し、下方から超音波を照射する。

【0025】

クイックダンプリンス槽２１は、洗浄槽１１に隣接して配置され、洗浄槽１１よりも物品１００の搬送方向の下流側に位置している。クイックダンプリンス槽２１は、リンス液Ｒを貯留して、クイックダンプリンスを行うための槽である。ここで、「クイックダンプリンス」とは、リンス液Ｒが満たされた槽（クイックダンプリンス槽２１）に物品１００を搬入して一定時間リンス液Ｒに浸漬し、一定時間が経過した後、物品１００に向けてシャワー機構２１ｃからリンス液Ｒを噴射しながら排水口２１ｂを開放して一気に急速排水するリンス方法である。

【0026】

すなわち、クイックダンプリンス槽２１は、上部に物品１００を出し入れ可能な開口部２１ａを有し、底面には急速排水可能な大口径の排水口２１ｂが形成されている。また、クイックダンプリンス槽２１の内部には、シャワー機構２１ｃ及び超音波発生器２１ｄが設けられている。なお、排水口２１ｂは、バルブによって開閉され、開放されることでクイックダンプリンス槽２１に貯留されたリンス液Ｒが一気に排水される。

【0027】

シャワー機構２１ｃは、クイックダンプリンス槽２１の内側上部に配置され、クイックダンプリンス槽２１に搬入された物品１００に対し、上方からリンス液Ｒを噴射する。シャワー機構２１ｃは、複数のシャワーヘッド部を有しており、物品１００に対して多方向からリンス液Ｒを噴射することが可能である。

【0028】

クイックダンプリンス槽２１の内部に設けられた超音波発生器２１ｄは、洗浄槽１１の内部に設けられた超音波発生器１１ｄと同様の構成を有している。超音波発生器２１ｄは、クイックダンプリンス槽２１の底面に取り付けられ、クイックダンプリンス槽２１に搬入されてリンス液Ｒに浸漬された物品１００に対し、下方から超音波を照射する。

【0029】

そして、クイックダンプリンス槽２１の槽内及びシャワー機構２１ｃには、第１リザーブ槽３７に貯留されたリンス液Ｒが供給される。なお、クイックダンプリンス槽２１には、槽内に貯留されたリンス液Ｒを加温する加温器等が設けられていない。そのため、クイックダンプリンス槽２１に貯留されたリンス液Ｒ及びシャワー機構２１ｃから噴射されるリンス液Ｒの温度は、成り行き温度（何も調整していない温度）となる。そして、クイックダンプリンス槽２１から排水されたリンス液Ｒは、廃棄される。

【0030】

複数の浸漬槽３１～３４は、いずれもリンス液Ｒを貯留可能な水槽であり、ここでは、第１浸漬槽３１、第２浸漬槽３２、第３浸漬槽３３、第４浸漬槽３４の四つの槽によって構成されている。

【0031】

第１浸漬槽３１は、クイックダンプリンス槽２１に隣接して配置され、クイックダンプリンス槽２１よりも物品１００の搬送方向の下流側に位置している。第１浸漬槽３１は、上部に物品１００を出し入れ可能な開口部３１ａを有している。第１浸漬槽３１の開口部３１ａは、蓋部材３１ｅによって開閉可能に密封される。そして、開口部３１ａが蓋部材３１ｅで密封されることで、第１浸漬槽３１は密閉される。

【0032】

また、第１浸漬槽３１には、第２リザーブ槽３８から常温のリンス液Ｒが供給される。なお、第１浸漬槽３１には、槽内に貯留されたリンス液Ｒを加温する加温器等が設けられていない。そのため、第１浸漬槽３１に貯留されたリンス液Ｒの温度は常温となる。そして、第１浸漬槽３１から排水された常温のリンス液Ｒは、第１リザーブ槽３７に貯留される。なお、「常温」は、２０℃±５℃程度の温度を意味する。以下では、第１浸漬槽３１に貯留された常温のリンス液Ｒを「第４リンス液Ｒδ」という。

【0033】

そして、第１浸漬槽３１の蓋部材３１ｅには、複数の減圧機のうちの一つである第１減圧機３５が設けられている。第１減圧機３５は、第１浸漬槽３１内の空気を吸引し、槽内圧力を減圧（真空引き）する。

【0034】

さらに、第１浸漬槽３１の内部には、超音波発生器３１ｄが設けられている。第１浸漬槽３１の内部に設けられた超音波発生器３１ｄは、洗浄槽１１の内部に設けられた超音波発生器１１ｄと同様の構成を有している。超音波発生器３１ｄは、第１浸漬槽３１の底面に取り付けられ、第１浸漬槽３１に搬入された物品１００に対し、下方から超音波を照射する。

【0035】

第２浸漬槽３２は、第１浸漬槽３１に隣接して配置され、第１浸漬槽３１よりも物品１００の搬送方向の下流側に位置している。第２浸漬槽３２は、上部に物品１００を出し入れ可能な開口部３２ａを有し、内部に超音波発生器３２ｄが設けられている。

【0036】

第２浸漬槽３２の開口部３２ａには、蓋部材が取り付けられておらず、常時開放している。また、第２浸漬槽３２の内部に設けられた超音波発生器３２ｄは、洗浄槽１１の内部に設けられた超音波発生器１１ｄと同様の構成を有している。超音波発生器３２ｄは、第２浸漬槽３２の底面に取り付けられ、第２浸漬槽３２に搬入されてリンス液Ｒに浸漬された物品１００に対し、下方から超音波を照射する。

【0037】

さらに、第２浸漬槽３２には、槽内に貯留されたリンス液Ｒを加温する加温器３２ｆが設けられている。第２浸漬槽３２に貯留されたリンス液Ｒは、加温器３２ｆによって所定の温度（実施例１では７０℃）に加温される。以下では、第２浸漬槽３２に貯留された７０℃のリンス液Ｒを「第１リンス液Ｒα」という。

【0038】

ここで、加温器３２ｆによる第１リンス液Ｒαの加温目標温度（実施例１では７０℃）は、第２浸漬槽３２に貯留された第１リンス液Ｒαの温度と、搬送方向の下流側に隣接する第３浸漬槽３３に貯留された第２リンス液Ｒβの温度との温度差に応じて決められる。また、この「温度差」は、物品１００に形成された凹部１０１に入り込んだリンス液Ｒの収縮率に基づいて設定される。

【0039】

すなわち、実施例１では、後述するように第２リンス液Ｒβは常温（２０℃±５℃）であり、第２リンス液Ｒβの方が、第２浸漬槽３２内の第１リンス液Ｒαよりも温度が低い。そのため、第１リンス液Ｒαに浸漬された物品１００を第３浸漬槽３３に搬送し、第３浸漬槽３３に貯留された第２リンス液Ｒβに物品１００を浸漬したときに、物品１００に形成された凹部１０１に入り込んだリンス液Ｒは収縮する。

【0040】

ここで、実施例１のリンス液Ｒは、６０℃から２０℃に変化したときは収縮率が約１．５％であり、８０℃から４０℃に変化したときは収縮率が約２．０％になる。そのため、例えば、凹部１０１内に入り込んだリンス液Ｒの収縮率の目標値を１．５％以上に設定し、第２リンス液Ｒβが常温である場合、第１リンス液Ｒαの温度と、第２リンス液Ｒβの温度との温度差は４０℃以上必要になる。そのため、実施例１では必要な温度差を例えば５０℃に設定し、加温器３２ｆによる加温目標温度を７０℃に設定する。この結果、実施例１では、第２浸漬槽３２に貯留された第１リンス液Ｒαは、加温器３２ｆによって７０℃に加温される。

【0041】

なお、リンス液Ｒの収縮率とは、物品１００を第１リンス液Ｒαから第２リンス液Ｒβに移動させたときの、凹部１０１内のリンス液Ｒの体積の変化率である。また、収縮率の目標値は任意に設定可能である。また、設定された収縮率の目標値が同じであっても、リンス液Ｒの成分や温度が異なる場合、必要な温度差は変わる。

【0042】

そして、第２浸漬槽３２には、第３リザーブ槽３９からリンス液Ｒが供給される。また、第２浸漬槽３２から排水された高温（約７０℃）のリンス液Ｒは、第１リザーブ槽３７に貯留される。

【0043】

第３浸漬槽３３は、第２浸漬槽３２に隣接して配置され、第２浸漬槽３２よりも物品１００の搬送方向の下流側に位置している。第３浸漬槽３３は、上部に物品１００を出し入れ可能な開口部３３ａを有している。第３浸漬槽３３の開口部３３ａは、蓋部材３３ｅによって開閉可能に密封される。そして、開口部３３ａが蓋部材３３ｅで密封されることで、第３浸漬槽３３は密閉される。

【0044】

また、第３浸漬槽３３には、第１純水供給源Ｗ１から未使用のリンス液Ｒとして常温の純水が供給される。なお、第３浸漬槽３３に供給される未使用のリンス液Ｒ（純水）は、図示しない熱交換器等を用いて予め常温に温度調整されていてもよい。また、第３浸漬槽３３には、槽内に貯留されたリンス液Ｒを加温する加温器等が設けられていない。そのため、第３浸漬槽３３に貯留されたリンス液Ｒの温度は常温となる。そして、第３浸漬槽３３から排水された常温のリンス液Ｒは、第２リザーブ槽３８に貯留される。以下では、第３浸漬槽３３に貯留された常温のリンス液Ｒを「第２リンス液Ｒβ」という。

【0045】

また、第３浸漬槽３３の蓋部材３３ｅには、複数の減圧機のうちの一つである第２減圧機３６が設けられている。第２減圧機３６は、第３浸漬槽３３内の空気を吸引して減圧（真空引き）する。

【0046】

さらに、第３浸漬槽３３の内部には、超音波発生器３３ｄが設けられている。第３浸漬槽３３の内部に設けられた超音波発生器３３ｄは、洗浄槽１１の内部に設けられた超音波発生器１１ｄと同様の構成を有している。超音波発生器３３ｄは、第３浸漬槽３３の底面に取り付けられ、第３浸漬槽３３に搬入された物品１００に対し、下方から超音波を照射する。

【0047】

第４浸漬槽３４は、第３浸漬槽３３に隣接して配置され、第３浸漬槽３３よりも物品１００の搬送方向の下流側に位置している。第４浸漬槽３４は、上部に物品１００を出し入れ可能な開口部３４ａを有し、内部に超音波発生器３４ｄが設けられている。

【0048】

第４浸漬槽３４の開口部３４ａには、蓋部材が取り付けられておらず、常時開放している。また、第４浸漬槽３４の内部に設けられた超音波発生器３４ｄは、洗浄槽１１の内部に設けられた超音波発生器１１ｄと同様の構成を有している。超音波発生器３４ｄは、第４浸漬槽３４の底面に取り付けられ、第４浸漬槽３４に搬入されてリンス液Ｒに浸漬された物品１００に対し、下方から超音波を照射する。

【0049】

さらに、第４浸漬槽３４には、槽内に貯留されたリンス液Ｒを加温する加温器３４ｆが設けられている。第４浸漬槽３４に貯留されたリンス液Ｒは、加温器３４ｆによって所定の温度（実施例１では７０℃）に加温される。なお、第４浸漬槽３４に設けられた加温器３４ｆによる加温目標温度は、例えば第２浸漬槽３２に設けられた加温器３２ｆによる加温目標温度と同様の方法で決められる。以下では、第４浸漬槽３４に貯留された７０℃のリンス液Ｒを「第３リンス液Ｒγ」という。

【0050】

そして、第４浸漬槽３４には、第２純水供給源Ｗ２から未使用のリンス液Ｒとして常温の純水が供給される。なお、第４浸漬槽３４に供給されるリンス液Ｒ（純水）は、予め７０℃程度に加温されていてもよい。また、第４浸漬槽３４から排水された高温（約７０℃）のリンス液Ｒは、第３リザーブ槽３９に貯留される。

【0051】

複数のリザーブ槽３７、３８、３９は、いずれもリンス液Ｒを貯留可能な水槽であり、ここでは、第１リザーブ槽３７、第２リザーブ槽３８、第３リザーブ槽３９の三つの槽によって構成されている。

【0052】

第１リザーブ槽３７は、第１浸漬槽３１から排水された第４リンス液Ｒδ及び第２浸漬槽３２から排水された第１リンス液Ｒαを一時的に貯留する。第１リザーブ槽３７に貯留されたリンス液Ｒは、クイックダンプリンス槽２１の槽内及びシャワー機構２１ｃに供給される。ここで、第１浸漬槽３１から排水されたリンス液Ｒは常温である。一方、第２浸漬槽３２から排水されたリンス液Ｒは高温（約７０℃）である。そのため、第１リザーブ槽３７の内部で、常温と高温のリンス液Ｒが混ざりあい、クイックダンプリンス槽２１に供給されるリンス液Ｒの温度は成り行き温度となる。

【0053】

第２リザーブ槽３８は、第３浸漬槽３３から排水された第２リンス液Ｒβを一時的に貯留する。第２リザーブ槽３８に貯留されたリンス液Ｒは、第１浸漬槽３１に供給される。ここで、第３浸漬槽３３から排水されたリンス液Ｒは常温である。そのため、第１浸漬槽３１に供給されるリンス液Ｒの温度は常温となる。

【0054】

第３リザーブ槽３９は、第４浸漬槽３４から排水された第３リンス液Ｒγを一時的に貯留する。第３リザーブ槽３９に貯留されたリンス液Ｒは、第２浸漬槽３２に供給される。ここで、第４浸漬槽３４から排水されたリンス液Ｒは高温（約７０℃）であるが、第３リザーブ槽３９にはリンス液Ｒを加温する加温器等が設けられていない。そのため、第２浸漬槽３２に供給されるリンス液Ｒの温度は成り行き温度となる。

【0055】

乾燥槽４０は、物品１００を収納可能な容積を有する筐体である。乾燥槽４０は、第４浸漬槽３４に隣接して配置され、第４浸漬槽３４よりも物品１００の搬送方向の下流側に位置している。乾燥槽４０は、上部に物品１００を出し入れ可能な開口部４１ａを有し、底面に温風吹出口４２が形成されている。乾燥槽４０の開口部４１ａは、蓋部材４１ｅによって開閉可能に密封される。そして、開口部４１ａが蓋部材４１ｅで密封されることで、乾燥槽４０は密閉される。

【0056】

そして、乾燥槽４０の内部には、温風吹出口４２を介して、図示しない温風ブロアから温風（例えば約１００℃の空気）が導入される。また、乾燥槽４０の蓋部材４１ｅには、開閉可能な排気口４３が形成されており、乾燥槽４０内の空気は、排気口４３を介して外部に排出される。

【0057】

以下、実施例１の洗浄システム装置１による物品の処理について、図２のフローチャートを用いて説明する。

【0058】

ステップＳ１では、ハンドリング装置６０は、第１コンベア５２によって搬送された洗浄前の物品１００をブラケットハンド６２によって把持し、洗浄槽１１に物品１００を搬入する。このとき、洗浄槽１１には、予め洗浄液Ｓが貯留されている。そのため、物品１００は、洗浄液Ｓに浸漬される。

【0059】

ステップＳ２では、ステップＳ１での洗浄槽１１への物品１００の搬入に続き、洗浄システム装置１は、物品１００を洗浄する。ここで、物品１００の洗浄では、まず、物品１００が搬入された洗浄槽１１の開口部１１ａが蓋部材１１ｅによって密封され、洗浄槽１１が密閉される。次に、洗浄用減圧機１２によって洗浄槽１１内の空気が吸引され、洗浄槽１１の内部が大気圧よりも低い圧力に減圧される。また、洗浄槽１１の減圧と同時に、超音波発生器１１ｄが駆動し、洗浄液Ｓ内の物品１００に対して下方から超音波が照射される。なお、ステップＳ２において、物品１００の洗浄液Ｓに浸漬する時間（洗浄時間）は任意に設定可能である。また、洗浄用減圧機１２は、洗浄槽１１の槽内圧力を、大気圧よりも低く、洗浄液Ｓに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧より高い圧力に減圧する。ここで、洗浄液Ｓに浸漬された物品１００の表面温度は、洗浄液Ｓの温度とほぼ同程度である。そのため、洗浄用減圧機１２は、洗浄槽１１の槽内圧力を、大気圧よりも低く、洗浄液Ｓの温度の蒸気圧よりも高い圧力に設定してもよい。

【0060】

また、物品１００の表面温度は、例えば物品１００の表面に温度計（熱電対等）を取り付け、温度計ごと物品１００を洗浄液Ｓ等の液中に浸漬することで測定される。物品１００の表面温度は、物品１００の大きさや厚み等に応じて変動する。また、非接触温度計等を用いて物品１００の表面温度を測定してもよい。

【0061】

また、「洗浄液Ｓに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧」とは、洗浄液Ｓに浸漬された物品１００の表面で洗浄液Ｓに突沸現象が生じる最低圧力である。洗浄槽１１の槽内圧力が洗浄液Ｓに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧より高い圧力になることで、物品１００の表面で突沸現象が生じることを抑制できる。

【0062】

ステップＳ３では、ステップＳ２での物品１００の洗浄に続き、ハンドリング装置６０は、洗浄槽１１からクイックダンプリンス槽２１へと物品１００を搬送する。すなわち、ハンドリング装置６０は、まず、洗浄槽１１内の物品１００をブラケットハンド６２によって把持し、物品１００を洗浄槽１１から引き上げる。次に、ハンドリング装置６０は、ブラケットハンド６２をクイックダンプリンス槽２１の上方に移動させ、クイックダンプリンス槽２１に洗浄済みの物品１００を搬入する。このとき、クイックダンプリンス槽２１には、予め第１リザーブ槽３７から供給された成り行き温度のリンス液Ｒが貯留されている。そのため、物品１００は、成り行き温度のリンス液Ｒに浸漬される。

【0063】

ステップＳ４では、ステップＳ３での物品１００の搬送に続き、洗浄システム装置１は、クイックダンプリンス槽２１においてクイックダンプリンスを実施する。なお、超音波発生器２１ｄは、クイックダンプリンス槽２１内のリンス液Ｒに物品１００が浸漬されている間に駆動し、クイックダンプリンス槽２１内の物品１００に対して下方から超音波を照射する。ステップＳ４において、物品１００をリンス液Ｒに浸漬する時間や、物品１００にリンス液Ｒを噴射する時間及び噴射量は、任意に設定可能である。

【0064】

ステップＳ５では、ステップＳ４でのクイックダンプリンスの実施に続き、ハンドリング装置６０は、クイックダンプリンス槽２１から第１浸漬槽３１へと物品１００を搬送する。すなわち、ハンドリング装置６０は、まず、クイックダンプリンス槽２１内の物品１００をブラケットハンド６２によって把持し、物品１００をクイックダンプリンス槽２１から引き上げる。次に、ハンドリング装置６０は、ブラケットハンド６２を第１浸漬槽３１の上方に移動させ、第１浸漬槽３１にクイックダンプリンス済みの物品１００を搬入する。このとき、第１浸漬槽３１には、予め第２リザーブ槽３８から供給された常温のリンス液Ｒが貯留されている。

【0065】

ステップＳ６では、ステップＳ５での物品１００の搬送に続き、洗浄システム装置１は、第１浸漬槽３１において減圧リンスを実施する。ここで、「減圧リンス」とは、リンス液Ｒが満たされた槽（ここでは第１浸漬槽３１）に物品１００を搬入し、物品１００をリンス液Ｒに浸漬した状態で、槽内を密閉してから槽内圧力を大気圧よりも低い圧力に減圧するリンス方法である。

【0066】

実施例１では、第１浸漬槽３１に貯留された第４リンス液Ｒδは常温であり、物品１００は常温の第４リンス液Ｒδに浸漬される。また、第１減圧機３５は、第１浸漬槽３１の槽内圧力を、大気圧よりも低く、第４リンス液Ｒδに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する。なお、第４リンス液Ｒδに浸漬された物品１００の表面温度は、第４リンス液Ｒδの温度（常温）とほぼ同程度である。そのため、第１減圧機３５は、第１浸漬槽３１の槽内圧力を、大気圧よりも低く、第４リンス液Ｒδの温度の蒸気圧よりも高い圧力に設定してもよい。また、第１浸漬槽３１の槽内圧力が、第４リンス液Ｒδに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力にされることで、物品１００の表面で突沸現象が生じることはない。

【0067】

さらに、超音波発生器３１ｄは、第１浸漬槽３１内の第４リンス液Ｒδに物品１００が浸漬されている間に駆動し、第１浸漬槽３１内の物品１００に対して下方から超音波を照射する。なお、ステップＳ６において、物品１００を第４リンス液Ｒδに浸漬した状態で減圧する時間は任意に設定可能である。

【0068】

ステップＳ７では、ステップＳ６での減圧リンスの実施に続き、ハンドリング装置６０は、第１浸漬槽３１から第２浸漬槽３２へと物品１００を搬送する。すなわち、ハンドリング装置６０は、まず、第１浸漬槽３１内の物品１００をブラケットハンド６２によって把持し、物品１００を第１浸漬槽３１から引き上げる。次に、ハンドリング装置６０は、ブラケットハンド６２を第２浸漬槽３２の上方に移動させ、第２浸漬槽３２に減圧リンス済みの物品１００を搬入する。このとき、第２浸漬槽３２には、予め第４浸漬槽３４から排出され、加温器３２ｆによって７０℃に加温された第１リンス液Ｒαが貯留されている。

【0069】

ステップＳ８では、ステップＳ７での物品１００の搬送に続き、洗浄システム装置１は、第２浸漬槽３２において浸漬リンスを実施する。ここで、「浸漬リンス」とは、リンス液Ｒが満たされた槽（ここでは第２浸漬槽３２）に物品１００を搬入し、物品１００を一定時間リンス液Ｒに浸漬するリンス方法である。

【0070】

実施例１では、第２浸漬槽３２に供給されたリンス液Ｒは、加温器３２ｆによって７０℃に加温されており、物品１００は７０℃の第１リンス液Ｒαに浸漬される。また、超音波発生器３２ｄは、第１リンス液Ｒαに物品１００が浸漬されている間に駆動し、第２浸漬槽３２内の物品１００に対して下方から超音波を照射する。なお、ステップＳ８において、物品１００を第１リンス液Ｒαに浸漬する時間は任意に設定可能である。また、物品１００は、７０℃の第１リンス液Ｒαに浸漬されることで、物品１００自体が約７０℃に熱せられる。

【0071】

ステップＳ９では、ステップＳ８での浸漬リンスの実施に続き、ハンドリング装置６０は、第２浸漬槽３２から第３浸漬槽３３へと物品１００を搬送する。すなわち、ハンドリング装置６０は、まず、第２浸漬槽３２内の物品１００をブラケットハンド６２によって把持し、物品１００を第２浸漬槽３２から引き上げる。次に、ハンドリング装置６０は、ブラケットハンド６２を第３浸漬槽３３の上方に移動させ、第３浸漬槽３３に浸漬リンス済みの物品１００を搬入する。このとき、第３浸漬槽３３には、予め第１純水供給源Ｗ１から供給された常温の第２リンス液Ｒβが貯留されている。

【0072】

ステップＳ１０では、ステップＳ９での物品１００の搬送に続き、洗浄システム装置１は、第３浸漬槽３３において減圧リンスを実施する。このとき、第３浸漬槽３３に貯留された第２リンス液Ｒβは常温であり、物品１００は常温の第２リンス液Ｒβに浸漬される。そして、第２減圧機３６は、第３浸漬槽３３の槽内圧力を、大気圧よりも低く、第２リンス液Ｒβに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する。

【0073】

さらに、超音波発生器３３ｄは、第３浸漬槽３３内の第２リンス液Ｒβに物品１００が浸漬されている間に駆動し、第３浸漬槽３３内の物品１００に対して下方から超音波を照射する。なお、ステップＳ１０において、物品１００を第２リンス液Ｒβに浸漬した状態で減圧する時間は任意に設定可能である。

【0074】

しかも、実施例１の第２減圧機３６は、物品１００が第２浸漬槽３２から第３浸漬槽３３に搬送され、第２リンス液Ｒβに浸漬された後、所定時間（例えば１分間）第３浸漬槽３３の槽内圧力を減圧せずに大気圧に維持する。そして、第２減圧機３６は、所定時間が経過した後、第３浸漬槽３３の槽内圧力の減圧を開始する。

【0075】

ステップＳ１１では、ステップＳ１０での減圧リンスの実施に続き、ハンドリング装置６０は、第３浸漬槽３３から第４浸漬槽３４へと物品１００を搬送する。すなわち、ハンドリング装置６０は、まず、第３浸漬槽３３内の物品１００をブラケットハンド６２によって把持し、物品１００を第３浸漬槽３３から引き上げる。次に、ハンドリング装置６０は、ブラケットハンド６２を第４浸漬槽３４の上方に移動させ、第４浸漬槽３４に減圧リンス済みの物品１００を搬入する。このとき、第４浸漬槽３４には、予め第２純水供給源Ｗ２から供給され、加温器３４ｆによって７０℃に加温された第３リンス液Ｒγが貯留されている。

【0076】

ステップＳ１２では、ステップＳ１１での物品１００の搬送に続き、洗浄システム装置１は、第４浸漬槽３４において浸漬リンスを実施し、ステップＳ１３へ進む。このとき、第３リンス液Ｒγは、加温器３４ｆによって７０℃に加温されている。そのため、物品１００は、７０℃の第３リンス液Ｒγに浸漬される。また、超音波発生器３４ｄは、第３リンス液Ｒγに物品１００が浸漬されている間に駆動し、第４浸漬槽３４内の物品１００に対して下方から超音波を照射する。なお、ステップＳ１２において、物品１００を第３リンス液Ｒγに浸漬する時間は任意に設定可能である。

【0077】

ステップＳ１３では、ステップＳ１２での浸漬リンスの実施に続き、ハンドリング装置６０は、第４浸漬槽３４から乾燥槽４０へと物品１００を搬送する。すなわち、ハンドリング装置６０は、まず、第４浸漬槽３４内の物品１００をブラケットハンド６２によって把持し、物品１００を第４浸漬槽３４から引き上げる。次に、ハンドリング装置６０は、ブラケットハンド６２を乾燥槽４０の上方に移動させ、乾燥槽４０に浸漬リンス済みの物品１００を搬入する。

【0078】

ステップＳ１４では、ステップＳ１３での物品１００の搬送に続き、洗浄システム装置１は、物品１００を乾燥する。ここで、物品１００の乾燥では、まず、物品１００が搬入された乾燥槽４０の開口部４１ａが蓋部材４１ｅによって密封され、乾燥槽４０が密閉される。次に、図示しない温風ブロアから温風吹出口４２を介して乾燥槽４０内に温風（例えば約１００℃の空気）が導入される。乾燥槽４０内に導入された空気は、排気口４３を介して外部に排出される。なお、ステップＳ１４において、乾燥槽４０内に温風を導入する時間（乾燥時間）は任意に設定可能である。

【0079】

ステップＳ１５では、ステップＳ１４での物品１００の乾燥に続き、ハンドリング装置６０は、乾燥槽４０内の乾燥済みの物品１００を、ブラケットハンド６２によって把持し、乾燥槽４０から引き上げて第２コンベア５３上に搬送する。これにより、実施例１の洗浄システム装置１による物品１００の洗浄処理とリンス処理と乾燥処理は終了する。

【0080】

以下、実施例１の洗浄システム装置１におけるリンス装置Ｘの作用を説明する。

【0081】

実施例１では、第２浸漬槽３２に貯留された第１リンス液Ｒαは、加温器３２ｆによって７０℃（第１温度）に加温される。また、第３浸漬槽３３に貯留された第２リンス液Ｒβは、常温（２０℃±５℃、第２温度）である。

【0082】

そして、実施例１のリンス装置Ｘは、洗浄済みの物品１００を、第２浸漬槽３２に貯留された７０℃の第１リンス液Ｒαに浸漬し、浸漬リンスを実施する（ステップＳ８）。さらに、実施例１のリンス装置Ｘは、浸漬リンスを実施した後、浸漬リンス済みの物品１００を、第３浸漬槽３３に貯留された常温の第２リンス液Ｒβに浸漬した状態で、第３浸漬槽３３の槽内圧力を減圧する減圧リンスを実施する（ステップＳ１０）。また、減圧リンス時、第２減圧機３６は、第３浸漬槽３３の槽内圧力を、大気圧よりも低く、第２リンス液Ｒβに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する。

【0083】

すなわち、実施例１のリンス方法は、洗浄済みの物品１００を７０℃（第１温度）の第１リンス液Ｒαに浸漬して浸漬リンスを実施する第１リンス工程（ステップＳ８）と、浸漬リンスを実施した後、浸漬リンス済みの物品１００を７０℃（第１温度）よりも低い常温（第２温度）の第２リンス液Ｒβに浸漬した状態で、第３浸漬槽３３の槽内圧力を、大気圧よりも低く、第２リンス液Ｒβに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する減圧リンスを実施する第２リンス工程（ステップＳ１０）と、を備えている。

【0084】

また、実施例１のリンス装置Ｘは、は、７０℃（第１温度）の第１リンス液Ｒαを貯留する第２浸漬槽３２（第１のリンス槽）と、７０℃よりも低い常温（第２温度）の第２リンス液Ｒβを貯留すると共に、密閉可能な第３浸漬槽３３（第２のリンス槽）と、第３浸漬槽３３の槽内圧力を、大気圧よりも低く、第２リンス液Ｒβに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する第２減圧機３６と、を備えている。

【0085】

ここで、第２浸漬槽３２に貯留された第１リンス液Ｒαが７０℃に加温されていることから、第１リンス液Ｒαに物品１００が浸漬されると、物品１００は第１リンス液Ｒαによって熱せられ、物品１００自体の温度が上昇し、物品１００の表面温度は第１リンス液Ｒαと同程度（約７０℃）になる。そして、物品１００の温度が上昇することで、図３Ａに示されたように、第１リンス液Ｒαへの浸漬前に物品１００の表面に形成された凹部１０１にすでに入り込んでいた洗浄溶媒が含まれたリンス液Ｒ１（図３Ａ～図３Ｃにおいてドットを付して示す。また、図３Ａ～図３Ｃでは、凹部１０１内のリンス液Ｒ１は、温度が低いほど濃いドットを付し、温度が高いほど薄いドットを付して示されている。）の温度も上昇する。さらに、図３Ｂに示されたように、凹部１０１内のリンス液Ｒ１は、時間の経過と共に次第に体積が膨張し、比重が小さくなっていく。その後、図３Ｃに示されたように、凹部１０１の内部で膨張したリンス液Ｒ１は、凹部１０１の外へと押し出される。

【0086】

このように、実施例１のリンス方法では、７０℃の第１リンス液Ｒαによって物品１００の浸漬リンスを実施することで、物品１００の温度を上昇させると共に、物品１００に形成された凹部１０１に入り込んだリンス液Ｒ１を膨張させることができる。

【0087】

そして、浸漬リンス後、第３浸漬槽３３に貯留された第２リンス液Ｒβに物品１００が浸漬された状態で、槽内圧力が減圧される減圧リンスが実施されるが、第２リンス液Ｒβの温度は、第１リンス液Ｒαよりも低温の常温である。そのため、物品１００自体の温度は、常温の第２リンス液Ｒβによって徐々に冷却される。

【0088】

ここで、図４Ａに示されたように、物品１００が第３浸漬槽３３に搬入された直後では、物品１００の表面に形成された凹部１０１に入り込んだリンス液Ｒ１（図４Ａ及び図４Ｂにおいてドットを付して示す。また、図４Ａ～図４Ｂでは、凹部１０１内のリンス液Ｒ１は、温度が低いほど濃いドットを付し、温度が高いほど薄いドットを付して示されている。）は、第３浸漬槽３３に貯留された第２リンス液Ｒβよりも高温であり、比重が小さく軽い。そのため、凹部１０１に入り込んだリンス液Ｒ１は、凹部１０１の外に流出しやすい状態になっている。

【0089】

そして、時間の経過と共に物品１００が冷却されていくと、図４Ｂに示されたように、凹部１０１に入り込んだリンス液Ｒ１は、次第に温度が低下し、体積が収縮していく。なお、このときのリンス液Ｒ１の収縮率に基づいて、第１リンス液Ｒαと第２リンス液Ｒβの温度差（実施例１では５０℃）が決められる。

【0090】

そして、凹部１０１に入り込んだリンス液Ｒ１の体積が収縮した分、凹部１０１には隙間が生じるため、第３浸漬槽３３内の第２リンス液Ｒβが凹部１０１に入り込んでいく。これにより、凹部１０１内のリンス液Ｒの入れ替え（液置換）が促され、最終的には、図４Ｃに示されたように、凹部１０１内に第２リンス液Ｒβが充満し、凹部１０１の内側面に付着した付着物や洗浄溶媒が濯ぎ落される。

【0091】

このように、実施例１のリンス方法では、物品１００を浸漬するリンス液Ｒの温度の違いに伴うリンス液Ｒの膨張と収縮を利用して凹部１０１内の液置換を促進する。このため、凹部１０１の開口が上方や水平方向以外の方向、つまり下方を向いていても凹部１０１内の液置換を促すことができる。この結果、実施例１のリンス方法は、物品１００の表面に様々な方向に向いて開口した凹部１０１が形成された場合であっても、リンス液Ｒの中で物品１００の姿勢を変えることなく凹部１０１内の液置換を促進し、容易にリンスを行うことができる。さらに、実施例１のリンス方法では、液置換の不十分な凹部１０１が生じず、リンス性能の向上を図ることができる。

【0092】

また、実施例１のリンス方法では、減圧リンスを実施する際、第３浸漬槽３３の槽内圧力が、大気圧よりも低く、第２リンス液Ｒβに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧される。ここで、「第２リンス液Ｒβに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧」とは、第２リンス液Ｒβに浸漬された物品１００の表面で第２リンス液Ｒβに突沸現象が生じる最低圧力である。そのため、実施例１のリンス方法は、第３浸漬槽３３の減圧時、第２リンス液Ｒβに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧することで、第３浸漬槽３３内の物品１００の表面で突沸現象が生じることを防止できる。これにより、実施例１のリンス方法は、突沸によって第２リンス液Ｒβに新たに気泡が発生することを抑制できる。

【0093】

なお、物品１００は、第１リンス液Ｒαに浸漬されたことで約７０℃に熱せられており、常温の第２リンス液Ｒβに浸漬されても、表面温度がすぐに第２リンス液Ｒβの温度と同程度になるわけではない。第２リンス液Ｒβに浸漬された物品１００の表面温度は、約７０℃から徐々に低下していくため、第２リンス液Ｒβへの浸漬開始からしばらくの間は、第２リンス液Ｒβの温度（常温）よりも高い温度（４０℃～５０℃）程度と考えられる。つまり、第２リンス液Ｒβの温度と、物品１００の表面温度との間に差が生じる。そのため、実施例１のリンス方法は、第２リンス液Ｒβに浸漬された物品１００の表面温度を目安にして第３浸漬槽３３の槽内圧力を制御することで、物品１００の表面での突沸現象の発生を適切に抑制することができる。

【0094】

また、浸漬槽３０内のリンス液Ｒが突沸して気泡が新たに発生した場合、図５Ａに示されたように、物品１００に形成された凹部１０１に気泡Ｋが溜る。そして、図５Ｂに示されたように凹部１０１の内部に気泡Ｋが充満してしまうと、リンス液Ｒが凹部１０１に入り込む余地がなくなる。この場合、凹部１０１の内側面がリンス液Ｒと接触しなくなり、凹部１０１内での液置換が進まず、リンス性が低下してしまう可能性がある。実施例１のリンス装置Ｘは、突沸による新たな気泡の発生を抑制できるので、リンス性の低下を抑えることができる。

【0095】

また、浸漬槽３０内のリンス液Ｒが突沸した場合には、リンス液Ｒの液面で気泡が破裂した際に、リンス液Ｒが飛び散り、蓋部材にリンス液Ｒの飛沫が付着する。そして、蓋部材に付着したリンス液Ｒが再び槽内に滴ることで、蓋部材の内側に付着した汚れが槽内に混入するおそれがある。これに対し、実施例１のリンス装置Ｘでは、第３浸漬槽３３内の第２リンス液Ｒβの突沸を抑制することで、蓋部材３３ｅに付着した汚れの第２リンス液Ｒβへの混入を防止することができる。

【0096】

さらに、実施例１のリンス方法では、第３浸漬槽３３の槽内圧力が、大気圧よりも低い圧力に減圧されることで、凹部１０１内に既に存在する気泡は膨張し、凹部１０１から排出される。すなわち、実施例１のリンス方法は、物品１００に形成された凹部１０１の中の気泡を取り除いて第２リンス液Ｒβを脱気できる。

【0097】

そして、実施例１のリンス方法では、第２リンス液Ｒβを脱気できるため、第２リンス液Ｒβ中の溶存気体を減らし、超音波の伝達とキャビテーションの発生を阻害するような大きな気泡を低減させることができる。この結果、実施例１のリンス方法は、キャビテーションによる洗浄効果を得やすくさせ、超音波発生器３３ｄから照射する超音波の威力を強めることができる。

【0098】

このように、実施例１のリンス方法及びリンス装置Ｘは、物品１００をリンス液Ｒに浸漬して物品１００の表面に残留する付着物や洗浄溶媒をリンスする際、物品１００の表面に形成された凹部１０１内の液置換を促進し、リンス性能を向上させることができる。

【0099】

また、実施例１のリンス装置Ｘでは、第１リンス液Ｒαの温度（７０℃）と、第２リンス液Ｒβの温度（常温）との温度差（５０℃）は、物品１００に形成された凹部１０１内に入り込んだリンス液Ｒ１の収縮率に基づいて設定される。

【0100】

このため、実施例１のリンス装置Ｘは、物品１００を第３浸漬槽３３に搬送し、第２リンス液Ｒβに浸漬させた際、図４Ｂに示されたように、凹部１０１内のリンス液Ｒ１を十分に収縮させることができる。これにより、実施例１のリンス装置Ｘは、第２リンス液Ｒβが凹部１０１に入り込む余地を生じさせ、凹部１０１内の液置換を促進し、リンス性能の向上を図ることができる。

【0101】

また、実施例１の第２減圧機３６は、物品１００が、第３浸漬槽３３内の第２リンス液Ｒβに浸漬された後、所定時間（実施例１では一分間）、第３浸漬槽３３の槽内圧力を維持する。そして、所定時間経過後、槽内圧力の減圧を開始する。

【0102】

このため、実施例１のリンス装置Ｘは、物品１００が第２リンス液Ｒβに浸漬された直後に、第２リンス液Ｒβよりも高温の凹部１０１内のリンス液Ｒ１を、凹部１０１の外に流出させてから、第３浸漬槽３３の減圧を開始することができる。これにより、実施例１のリンス装置Ｘは、凹部１０１内のリンス液Ｒ１が収縮したときに生じる凹部１０１内の隙間を大きくすることができ、液置換をさらに促進させることができる。

【0103】

なお、第２減圧機３６による減圧の待機時間（物品１００が第２リンス液Ｒβに浸漬されてから減圧開始までの時間）は、凹部１０１内のリンス液Ｒ１の収縮率に応じて任意に設定可能である。

【0104】

また、実施例１では、第４浸漬槽３４に貯留された第３リンス液Ｒγは、加温器３４ｆによって７０℃（第３温度）に加温される。そして、実施例１のリンス装置Ｘは、ステップＳ１０における減圧リンスの実施の後、減圧リンス済みの物品１００を、第４浸漬槽３４に貯留された７０℃の第３リンス液Ｒγに浸漬し、浸漬リンスを実施する（ステップＳ１２）。ここで、物品１００は、第３リンス液Ｒγに浸漬されることで、物品１００自体の温度が上昇する。

【0105】

すなわち、実施例１のリンス方法は、ステップＳ１０の減圧リンスを実施した後、減圧リンス済みの物品１００を、常温（第２温度）よりも高温の７０℃（第３温度）の第３リンス液Ｒγに浸漬し、物品１００の温度を上昇させる浸漬リンスを実施するプレ乾燥工程（ステップＳ１２）を備えている。

【0106】

これにより、実施例１のリンス装置Ｘでは、ステップＳ１２における浸漬リンスの実施後、物品１００を乾燥槽４０に搬送し、物品１００の乾燥を行う際、物品１００の温度を高くしておくことができる。これにより、実施例１のリンス装置Ｘは、物品１００に付着したリンス液Ｒを速やかに乾燥させることができる。

【0107】

また、実施例１では、第１浸漬槽３１に貯留された第４リンス液Ｒδは、常温（２０℃±５℃、第４温度）である。そして、実施例１のリンス装置Ｘは、ステップＳ８における浸漬リンスの実施の前、洗浄済みの物品１００を、第１浸漬槽３１に貯留された常温の第４リンス液Ｒδに浸漬した状態で、第１浸漬槽３１の槽内圧力を減圧する減圧リンスを実施する（ステップＳ６）。また、減圧リンス時、第１減圧機３５は、第１浸漬槽３１の槽内圧力を、大気圧よりも低く、第４リンス液Ｒδに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する。

【0108】

すなわち、実施例１のリンス方法は、ステップＳ８の浸漬リンスを実施する前、７０℃（第１温度）よりも低温の常温（第４温度）の第４リンス液Ｒδに物品１００を浸漬した状態で、第１浸漬槽３１の槽内圧力を大気圧よりも低く、第４リンス液Ｒδに浸漬された物品１００の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する減圧リンスを実施するプレリンス工程（ステップＳ６）を備えている。

【0109】

これにより、実施例１のリンス装置Ｘでは、物品１００を７０℃の第１リンス液Ｒαに浸漬する浸漬リンスを行う前に、予め常温での減圧リンスを行うことができる。このため、実施例１のリンス装置Ｘは、物品１００に形成された凹部１０１内の気泡を膨張させ、凹部１０１から排出させ、凹部１０１内にリンス液Ｒを充満させておくことができる。また、実施例１のリンス装置Ｘは、第１浸漬槽３１内で物品１００の表面に突沸現象が生じることを防止でき、凹部１０１内での不要な気泡の発生を抑制することができる。そして、凹部１０１内に不要な気泡の存在をなくすことで、凹部１０１内の液置換の促進を図ることができる。

【0110】

以上、本発明の物品のリンス方法及び物品のリンス装置を実施例１に基づいて説明してきたが、具体的な構成については、実施例１に限られるものではなく、各請求項に係る発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。

【0111】

実施例１の洗浄システム装置１では、開口部３１ａが蓋部材３１ｅによって密閉可能な第１浸漬槽３１よりも物品１００の搬送方向の下流側に隣接して、加温器３２ｆが設けられた第２浸漬槽３２が配置されている。また、第２浸漬槽３２よりも物品１００の搬送方向の下流側に隣接して、開口部３３ａが蓋部材３３ｅによって密閉可能な第３浸漬槽３３が配置されている。また、第３浸漬槽３３よりも物品１００の搬送方向の下流側に隣接して、加温器３４ｆが設けられた第４浸漬槽３４が配置されている。

【0112】

しかしながら、第１浸漬槽３１～第４浸漬槽３４の並び順については、実施例１に限らない。

【0113】

例えば、クイックダンプリンス槽２１から乾燥槽４０に向かって、加温器３２ｆが設けられた第２浸漬槽３２と、開口部３１ａが蓋部材３１ｅによって密閉可能な第１浸漬槽３１と、加温器３４ｆが設けられた第４浸漬槽３４と、開口部３３ａが蓋部材３３ｅによって密閉可能な第３浸漬槽３３と、が物品１００の搬送方向に沿って配置されてもよい。

【0114】

この場合、物品１００のクイックダンプリンスが実施された後、７０℃の第１リンス液Ｒαを貯留した第２浸漬槽３２にて浸漬リンスが実施され（第１リンス工程）、浸漬リンスの実施後に、常温の第４リンス液Ｒδを貯留した第１浸漬槽３１にて減圧リンスが実施（第２リンス工程）される。さらに、減圧リンスの実施後に、７０℃の第３リンス液Ｒγを貯留した第４浸漬槽３４にて浸漬リンスが実施され（第１リンス工程）、浸漬リンスの実施後に、常温の第２リンス液Ｂβを貯留した第３浸漬槽３３にて減圧リンスが実施（第２リンス工程）される。

【0115】

これにより、７０℃のリンス液Ｒに浸漬して浸漬リンスを実施する第１リンス工程と、常温のリンス液Ｒに浸漬した状態で槽内圧力を大気圧よりも低く、常温のリンス液Ｒに浸漬した物品１００の表面温度の蒸気圧よりも高い圧力に減圧する減圧リンスを実施する第２リンス工程とを、二回繰り返して行うことができる。このため、リンス性能をさらに向上させることができる。

【0116】

また、実施例１の洗浄システム装置１は、第１浸漬槽３１～第４浸漬槽３４の四つの槽によって複数の浸漬槽３１～３４が構成される例が示された。しかしながら、リンス装置Ｘは、少なくとも７０℃の第１リンス液Ｒαを貯留する第１のリンス槽（第２浸漬槽３２）と、常温の第２リンス液Ｒβを貯留すると共に密封可能な第２のリンス槽（第３浸漬槽３３）とを備えていればよく、二つや三つ、或いは五つ以上の槽によって浸漬槽が構成されていてもよい。

【0117】

すなわち、例えば、複数の浸漬槽が、第２浸漬槽３２と第３浸漬槽３３のみで構成される場合では、第１リンス工程と第２リンス工程のみが順に行われる。また、複数の浸漬槽が、第２浸漬槽３２と第３浸漬槽３３と第４浸漬槽３４によって構成される場合では、第１リンス工程と第２リンス工程とプレ乾燥工程が順に行われる。さらに、複数の浸漬槽が、第１浸漬槽３１と第２浸漬槽３２と第３浸漬槽３３によって構成される場合では、プレリンス工程と第１リンス工程と第２リンス工程が順に行われる。

【0118】

さらに、例えば、浸漬槽内の第１リンス液Ｒαを速やかに排水した後、第２リンス液Ｒβを速やかに投入可能にすることで、第１リンス工程の浸漬リンスと、第２リンス工程の減圧リンスとが、同一（一つ）の浸漬槽によって行われてもよい。つまり、リンス装置Ｘは、第１リンス液Ｒαを貯留する浸漬槽（第１のリンス槽）と第２リンス液Ｒβを貯留する浸漬槽（第２のリンス槽）とが、必ずしも異なっていなくてもよい。

【0119】

また、実施例１では、第１リンス液Ｒα及び第３リンス液Ｒγが７０℃であり、第２リンス液Ｒβ及び第４リンス液Ｒδが常温（２０℃±５℃）である。しかしながら、これらの第１～第４リンス液Ｒα～Ｒδの温度差に応じて、それぞれの温度は任意に設定可能である。

【0120】

また、実施例１の洗浄システム装置１では、洗浄槽１１とクイックダンプリンス槽２１と複数の浸漬槽３１～３４のそれぞれに超音波発生器１１ｄ、２１ｄ、３１ｄ～３４ｄが設けられ、各槽に搬入された物品１００に対し、下方から超音波を照射する例が示された。しかしながら、超音波発生器１１ｄ、２１ｄ、３１ｄ～３４ｄは、必ずしも設けられていなくてもよい。また、各超音波発生器１１ｄ、２１ｄ、３１ｄ～３４ｄの設置位置や設置数、出力周波数等は、それぞれ任意に設定することができる。

【符号の説明】

【0121】

１ 洗浄システム装置
３１ 第１浸漬槽
３１ｅ 蓋部材
３２ 第２浸漬槽（第１のリンス槽）
３２ｆ 加温器
３３ 第３浸漬槽（第２のリンス槽）
３３ｅ 蓋部材
３４ 第４浸漬槽
３４ｆ 加温器
３５ 第１減圧機
３６ 第２減圧機（減圧機）
１００ 物品
１０１ 凹部

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図5A】

【図5B】