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特開2024-168029光軸調整装置、光学部品の検査装置、光軸調整方法及び光学部品の製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024168029
(43)【公開日】2024-12-05
(54)【発明の名称】光軸調整装置、光学部品の検査装置、光軸調整方法及び光学部品の製造方法
(51)【国際特許分類】
G02B 7/00 20210101AFI20241128BHJP
G02B 6/42 20060101ALI20241128BHJP
G02B 6/32 20060101ALI20241128BHJP
H01S 5/02251 20210101ALI20241128BHJP
【ＦＩ】
G02B7/00 F
G02B6/42
G02B6/32
H01S5/02251
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023084412
(22)【出願日】2023-05-23
(71)【出願人】
【識別番号】000006013
【氏名又は名称】三菱電機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001195
【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】奥東 祐樹
(72)【発明者】
【氏名】登森 勇介
(72)【発明者】
【氏名】中村 俊介
【テーマコード（参考）】
2H043
2H137
5F173
【Ｆターム（参考）】
2H043AE22
2H137AA14
2H137AB05
2H137AB06
2H137BA01
2H137BB02
2H137BB14
2H137BC02
2H137BC12
2H137CA33
2H137CB06
2H137CB22
2H137CB32
2H137CB34
2H137CB36
2H137DB14
2H137HA05
5F173MC24
5F173ME54
5F173ME75
5F173ME87
5F173MF23
5F173MF39
5F173MF40
5F173ZM03
5F173ZM05
(57)【要約】
【課題】光学部品を液冷式冷却器で冷却しながら、より短時間で光学部品の光軸調整を行うことができる光軸調整装置を提供する。
【解決手段】光軸調整装置１は、第１ステージ１２と、液冷式冷却器１１と、コリメートレンズ１４と、集光レンズ２６と、第２ステージ２０と、光検出器３１と、角度調整部（例えば、ステージコントローラ３４及び制御部３６）とを備える。コリメートレンズ１４は、第１光学部品５から出力された光をコリメート光に変換する。集光レンズ２６は、コリメート光を第２光学部品７に集光する。角度調整部は、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対角度を調整する。
【選択図】図１
【解決手段】光軸調整装置１は、第１ステージ１２と、液冷式冷却器１１と、コリメートレンズ１４と、集光レンズ２６と、第２ステージ２０と、光検出器３１と、角度調整部（例えば、ステージコントローラ３４及び制御部３６）とを備える。コリメートレンズ１４は、第１光学部品５から出力された光をコリメート光に変換する。集光レンズ２６は、コリメート光を第２光学部品７に集光する。角度調整部は、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対角度を調整する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１光学部品を支持する第１ステージと、
前記第１ステージを冷却する液冷式冷却器と、
前記第１光学部品から出力された光をコリメート光に変換するコリメートレンズと、
前記コリメート光を第２光学部品に集光する集光レンズと、
前記第２光学部品を支持する第２ステージと、
前記第１光学部品から前記第２光学部品に結合した光の強度を測定する光検出器と、
前記第１ステージまたは前記第２ステージの少なくとも一つに接続されており、かつ、前記第１光学部品に対する前記第２光学部品の相対角度を調整する角度調整部とを備える、光軸調整装置。
前記第１ステージを冷却する液冷式冷却器と、
前記第１光学部品から出力された光をコリメート光に変換するコリメートレンズと、
前記コリメート光を第２光学部品に集光する集光レンズと、
前記第２光学部品を支持する第２ステージと、
前記第１光学部品から前記第２光学部品に結合した光の強度を測定する光検出器と、
前記第１ステージまたは前記第２ステージの少なくとも一つに接続されており、かつ、前記第１光学部品に対する前記第２光学部品の相対角度を調整する角度調整部とを備える、光軸調整装置。
【請求項2】
前記第１ステージまたは前記第２ステージの少なくとも一つに接続されており、かつ、前記第１光学部品に対する前記第２光学部品の相対位置を調整する位置調整部をさらに備える、請求項１に記載の光軸調整装置。
【請求項3】
光学部品位置決め機構をさらに備え、
前記第１ステージは、前記第１光学部品が載置される載置面と、前記載置面から突出する突出部材とを含み、
前記光学部品位置決め機構は、前記第１光学部品を前記突出部材に当接させる、請求項１に記載の光軸調整装置。
前記第１ステージは、前記第１光学部品が載置される載置面と、前記載置面から突出する突出部材とを含み、
前記光学部品位置決め機構は、前記第１光学部品を前記突出部材に当接させる、請求項１に記載の光軸調整装置。
【請求項4】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の前記光軸調整装置と、
前記第２光学部品に光学的に接続されており、かつ、前記第１光学部品の特性を測定する光学部品特性測定器とを備える、光学部品の検査装置。
前記第２光学部品に光学的に接続されており、かつ、前記第１光学部品の特性を測定する光学部品特性測定器とを備える、光学部品の検査装置。
【請求項5】
前記第１光学部品はレーザダイオードであり、
前記第２光学部品は光ファイバであり、
前記第１光学部品の前記特性は、前記レーザダイオードの光学的特性または電気的特性である、請求項４に記載の光学部品の検査装置。
前記第２光学部品は光ファイバであり、
前記第１光学部品の前記特性は、前記レーザダイオードの光学的特性または電気的特性である、請求項４に記載の光学部品の検査装置。
【請求項6】
コリメートレンズと集光レンズとに対して第１光学部品と第２光学部品とを配置するステップを備え、前記コリメートレンズは前記第１光学部品から出力された光をコリメート光に変換し、前記集光レンズは前記コリメート光を前記第２光学部品に集光し、前記第１光学部品は液冷式冷却器によって冷却され、
前記第１光学部品に対する前記第２光学部品の相対角度を変化させながら、前記第１光学部品から前記第２光学部品に結合する光の強度が最大となる最大光強度相対角度を探索するステップを備え、
前記最大光強度相対角度を探索する前記ステップは、
第１相対角度から第２相対角度まで第１設定走査条件で前記相対角度を変化させながら、走査時間と前記光の前記強度との関係を取得し、前記第１相対角度から前記第２相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第１最大光強度相対角度を求めるステップと、
前記第２相対角度から前記第１相対角度まで前記第１設定走査条件と走査方向以外が同一である第２設定走査条件で前記相対角度を変化させながら、走査時間と前記光の前記強度との関係を取得し、前記第２相対角度から前記第１相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第２最大光強度相対角度を求めるステップと、
前記第１最大光強度相対角度と前記第２最大光強度相対角度との中央角度を前記最大光強度相対角度として算出するステップとを含む、光軸調整方法。
前記第１光学部品に対する前記第２光学部品の相対角度を変化させながら、前記第１光学部品から前記第２光学部品に結合する光の強度が最大となる最大光強度相対角度を探索するステップを備え、
前記最大光強度相対角度を探索する前記ステップは、
第１相対角度から第２相対角度まで第１設定走査条件で前記相対角度を変化させながら、走査時間と前記光の前記強度との関係を取得し、前記第１相対角度から前記第２相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第１最大光強度相対角度を求めるステップと、
前記第２相対角度から前記第１相対角度まで前記第１設定走査条件と走査方向以外が同一である第２設定走査条件で前記相対角度を変化させながら、走査時間と前記光の前記強度との関係を取得し、前記第２相対角度から前記第１相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第２最大光強度相対角度を求めるステップと、
前記第１最大光強度相対角度と前記第２最大光強度相対角度との中央角度を前記最大光強度相対角度として算出するステップとを含む、光軸調整方法。
【請求項7】
前記第１光学部品に対する前記第２光学部品の相対位置を変化させながら、前記第１光学部品から前記第２光学部品に結合する光の強度が最大となる最大光強度相対位置を探索するステップをさらに備え、
前記最大光強度相対位置を探索する前記ステップは、
第１相対位置から第２相対位置まで第３設定走査条件で前記相対位置を変化させながら、走査時間と前記光の前記強度との関係を取得し、前記第１相対角度から前記第２相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第１最大光強度相対位置を求めるステップと、
前記第２相対位置から前記第１相対位置まで前記第３設定走査条件と走査方向以外が同一である第４設定走査条件で前記相対位置を変化させながら、走査時間と前記光の前記強度との関係を取得し、前記第２相対角度から前記第１相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第２最大光強度相対位置を求めるステップと、
前記第１最大光強度相対位置と前記第２最大光強度相対位置の中央位置を前記最大光強度相対位置として算出するステップとを含む、請求項６に記載の光軸調整方法。
前記最大光強度相対位置を探索する前記ステップは、
第１相対位置から第２相対位置まで第３設定走査条件で前記相対位置を変化させながら、走査時間と前記光の前記強度との関係を取得し、前記第１相対角度から前記第２相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第１最大光強度相対位置を求めるステップと、
前記第２相対位置から前記第１相対位置まで前記第３設定走査条件と走査方向以外が同一である第４設定走査条件で前記相対位置を変化させながら、走査時間と前記光の前記強度との関係を取得し、前記第２相対角度から前記第１相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第２最大光強度相対位置を求めるステップと、
前記第１最大光強度相対位置と前記第２最大光強度相対位置の中央位置を前記最大光強度相対位置として算出するステップとを含む、請求項６に記載の光軸調整方法。
【請求項8】
前記第１光学部品を位置決めするステップをさらに備え、
前記第１光学部品は、ステージに支持されており、前記ステージは、前記第１光学部品が載置される載置面と、前記載置面から突出する突出部材とを含み、
前記液冷式冷却器は、前記ステージに接続されており、
前記第１光学部品を位置決めする前記ステップは、前記第１光学部品を前記突出部材に当接させることを含む、請求項６に記載の光軸調整方法。
前記第１光学部品は、ステージに支持されており、前記ステージは、前記第１光学部品が載置される載置面と、前記載置面から突出する突出部材とを含み、
前記液冷式冷却器は、前記ステージに接続されており、
前記第１光学部品を位置決めする前記ステップは、前記第１光学部品を前記突出部材に当接させることを含む、請求項６に記載の光軸調整方法。
【請求項9】
前記第１光学部品を形成するステップと、
前記第１光学部品を検査するステップとを備え、
前記第１光学部品を検査する前記ステップは、請求項６から請求項８のいずれか一項に記載の前記光軸調整方法を行うステップと、前記第１光学部品の特性を測定するステップとを含む、光学部品の製造方法。
前記第１光学部品を検査するステップとを備え、
前記第１光学部品を検査する前記ステップは、請求項６から請求項８のいずれか一項に記載の前記光軸調整方法を行うステップと、前記第１光学部品の特性を測定するステップとを含む、光学部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、光軸調整装置、光学部品の検査装置、光軸調整方法及び光学部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特開２００８－１８６０３５号公報（特許文献１）は、光学部品の調芯装置及び光学部品の調芯方法を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００８－１８６０３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本開示の目的は、光学部品を液冷式冷却器で冷却しながら、より短時間で光学部品の光軸調整を行うことができる光軸調整装置、光学部品の検査装置、光軸調整方法及び光学部品の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本開示の光軸調整装置は、第１ステージと、液冷式冷却器と、コリメートレンズと、集光レンズと、第２ステージと、光検出器と、角度調整部とを備える。第１ステージは、第１光学部品を支持する。液冷式冷却器は、第１ステージを冷却する。コリメートレンズは、第１光学部品から出力された光をコリメート光に変換する。集光レンズは、コリメート光を第２光学部品に集光する。第２ステージは、第２光学部品を支持する。光検出器は、第１光学部品から第２光学部品に結合した光の強度を測定する。角度調整部は、第１ステージまたは第２ステージの少なくとも一つに接続されており、かつ、第１光学部品に対する第２光学部品の相対角度を調整する。
【0006】
本開示の光学部品の検査装置は、本開示の光軸調整装置と、光学部品特性測定器とを備える。光学部品特性測定器は、第２光学部品に光学的に接続されており、かつ、第１光学部品の特性を測定する。
【0007】
本開示の光軸調整方法は、コリメートレンズと集光レンズとに対して第１光学部品と第２光学部品とを配置するステップを備える。コリメートレンズは、第１光学部品から出力された光をコリメート光に変換する。集光レンズは、コリメート光を第２光学部品に集光する。第１光学部品は、液冷式冷却器によって冷却される。本実施の形態の光軸調整方法は、第１光学部品に対する第２光学部品の相対角度を変化させながら、第１光学部品から第２光学部品に結合する光の強度が最大となる最大光強度相対角度を探索するステップを備える。
【0008】
最大光強度相対角度を探索するステップは、第１相対角度から第２相対角度まで第１設定走査条件で相対角度を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第１相対角度から第２相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第１最大光強度相対角度を求めるステップと、第２相対角度から第１相対角度まで第１設定走査条件と走査方向以外が同一である第２設定走査条件で相対角度を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第２相対角度から第１相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第２最大光強度相対角度を求めるステップと、第１最大光強度相対角度と第２最大光強度相対角度との中央角度を最大光強度相対角度として算出するステップとを含む。
【0009】
本開示の光学部品の製造方法は、第１光学部品を形成するステップと、第１光学部品を検査するステップとを備える。第１光学部品を検査するステップは、本開示の光軸調整方法を行うステップと、第１光学部品の特性を測定するステップとを含む。
【発明の効果】
【0010】
本開示では、第２光学部品は、コリメートレンズによって得られるコリメート光を介して、第１光学部品に光学的に結合している。そのため、液冷式冷却器に冷却液が流れることによって液冷式冷却器が微小振動しても、第１光学部品から第２光学部品への光結合効率の変化が抑制される。第１光学部品から第２光学部品への光結合が安定化する。本開示の光軸調整装置及び本開示の光軸調整方法によれば、第１光学部品を液冷式冷却器で冷却しながら、第１光学部品と第２光学部品との間の光軸調整をより短時間で行うことができる。
【0011】
本開示の光学部品の検査装置によれば、第１光学部品と第２光学部品との間の光軸調整をより短時間で行うことができて、第１光学部品を液冷式冷却器で冷却しながら、第１光学部品をより短時間で検査することができる。
【0012】
本開示の光学部品の製造方法によれば、第１光学部品と第２光学部品との間の光軸調整をより短時間で行うことができて、第１光学部品の生産効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】実施の形態１に係る光軸調整装置及び光学部品の検査装置の概略図である。
【図2】実施の形態１に係る光軸調整装置及び光学部品の検査装置の概略部分拡大図である。
【図3】実施の形態１に係る光軸調整装置及び光学部品の検査装置の第２ステージの概略図である。
【図4】実施の形態１に係る光軸調整装置及び光学部品の検査装置の第２ステージの概略図である。
【図5】実施の形態１に係る光軸調整方法のフローチャートを示す図である。
【図6】第１光学部品から第２光学部品へ結合する光の強度分布を示す図である。
【図7】第２光学部品を第１光学部品に対して第１方向に走査した場合の、サンプリング時間と第１光学部品から第２光学部品へ結合する光の強度との関係、並びに、サンプリング時間と第２ステージの状態を示す動作信号の電圧との関係を示す図である。
【図8】第２光学部品を第１光学部品に対して第１方向とは逆の第２方向に走査した場合の、サンプリング時間と第１光学部品から第２光学部品へ結合する光の強度との関係、並びに、サンプリング時間と第２ステージの状態を示す動作信号の電圧との関係を示す図である。
【図9】走査速度を一定と仮定した場合の、第１光学部品に対する第２光学部品の相対配置と第１光学部品から第２光学部品へ結合する光の強度との関係を示す図である。
【図10】第２光学部品を第１光学部品に対して、Ｘ軸方向にステップ走査を行い、Ｙ軸まわりに連続走査しながら、第１光学部品から第２光学部品へ結合する光の強度を測定することを説明する図である。
【図11】図１０で最大光強度相対位置を通る走査経路を図１０の走査方向と逆向きに、第２光学部品を第１光学部品に対して走査しながら、第１光学部品から第２光学部品へ結合する光の強度を測定することを説明する図である。
【図12】第２光学部品を第１光学部品に対して、Ｙ軸方向にステップ走査を行い、Ｘ軸まわりに連続走査しながら、第１光学部品から第２光学部品へ結合する光の強度を測定することを説明する図である。
【図13】図１２で最大光強度相対位置を通る走査経路を図１２の走査方向と逆向きに、第２光学部品を第１光学部品に対して走査しながら、第１光学部品から第２光学部品へ結合する光の強度を測定することを説明する図である。
【図14】実施の形態１の精調整ステップを繰り返して行うことにより得られる、第１光学部品から第２光学部品へ結合する光の最大強度の変化の一例を示す図である。
【図15】実施の形態１及び実施の形態２に係る光学部品の検査方法、並びに、実施の形態３に係る光学部品の製造方法の光学部品検査工程のフローチャートを示す図である。
【図16】実施の形態１に係る光軸調整装置及び光学部品の検査装置の概略部分拡大図である。
【図17】実施の形態２に係る光軸調整装置及び光学部品の検査装置の概略図である。
【図18】実施の形態２に係る光軸調整装置及び光学部品の検査装置の概略部分拡大図である。
【図19】実施の形態２に係る光軸調整装置及び光学部品の検査装置の概略部分拡大平面図である。
【図20】実施の形態２に係る光軸調整方法のフローチャートを示す図である。
【図21】実施の形態３に係る光学部品の製造方法のフローチャートを示す図である。
【図22】実施の形態３に係る光学部品の製造方法のうち光学部品形成ステップのフローチャートの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
以下、本開示の実施の形態を説明する。なお、同一の構成には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。
【0015】
実施の形態１．
図１から図４を参照して、実施の形態１の光軸調整装置１を説明する。光軸調整装置１は、第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整を行う装置である。図１及び図２を参照して、第１光学部品５は、例えば、レーザダイオード６のような発光素子である。第２光学部品７は、例えば、コア８ａとクラッド８ｂとを含む光ファイバ８である。
図１から図４を参照して、実施の形態１の光軸調整装置１を説明する。光軸調整装置１は、第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整を行う装置である。図１及び図２を参照して、第１光学部品５は、例えば、レーザダイオード６のような発光素子である。第２光学部品７は、例えば、コア８ａとクラッド８ｂとを含む光ファイバ８である。
【0016】
本明細書において、光軸調整は、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度が最大になるように、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置を調整することを意味する。例えば、第２光学部品７が光ファイバ８である場合、光軸調整は、第１光学部品５から第２光学部品７の入射端面に結合する光の強度が最大になるように、第１光学部品５に対する第２光学部品７の入射端面の相対配置を調整することを意味する。
【0017】
本明細書において、光強度が最大になる相対配置は、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度が最大となる相対配置、当該光強度が規定しきい値強度以上となる相対配置、または、当該光強度の所定比率幅（例えば、半値幅）の中心となる相対配置であり、用途に合わせて定義されてもよい。本明細書において、「最大」の用語は、光強度が最大である場合、または、光強度が規定しきい値強度以上となる場合を意味する。本明細書では、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置は、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対位置及び相対角度を意味する。
【0018】
光軸調整装置１は、ベース１０と、液冷式冷却器１１と、第１ステージ１２と、コリメートレンズ１４と、第１ホルダ１５と、冷却液循環装置１６と、駆動電源１７と、第２ステージ２０と、集光レンズ２６と、第２ホルダ２７と、光検出器３１と、ステージコントローラ３４と、Ａ／Ｄ変換器３５と、制御部３６とを備える。
【0019】
ベース１０は、上面１０ａを含む。ベース１０の上面１０ａの法線方向は、Ｙ軸方向である。ベース１０の上面１０ａは、Ｙ軸方向に垂直なＸ軸方向と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に垂直なＺ軸方向とに延在している。
【0020】
液冷式冷却器１１は、ベース１０の上面１０ａ上に配置されている。液冷式冷却器１１は、第１ステージ１２に接続されている。本実施の形態では、第１ステージ１２は、液冷式冷却器１１上に載置されている。第１ステージ１２は、第１光学部品５を支持する。例えば、第１ステージ１２は載置面１２ａを含み、第１光学部品５は載置面１２ａ上に載置されている。そのため、液冷式冷却器１１は、第１ステージ１２を冷却し、第１光学部品５は、第１ステージ１２を介して液冷式冷却器１１によって冷却される。第１ステージ１２は、例えば、固定ステージである。液冷式冷却器１１は、冷却液が流れるパイプ（図示せず）を含む。
【0021】
液冷式冷却器１１は、冷却液循環装置１６に接続されている。冷却液循環装置１６は、液冷式冷却器１１から排出された冷却液を温度調整して、液冷式冷却器１１に、温度調整された冷却液を供給する。冷却液は、例えば、水または不凍液などである。液冷式冷却器１１は、空冷またはペルチェ素子等を用いる場合よりも、第１光学部品５を低温に冷却することができる。例えば、液冷式冷却器１１は、－３０℃の低温に冷却することができる。
【0022】
第１ステージ１２は、コリメートレンズ１４を支持する。具体的には、第１ステージ１２は、第１ホルダ１５を支持する。例えば、第１ホルダ１５は第１ステージ１２の載置面１２ａ上に載置されている。第１ホルダ１５は、コリメートレンズ１４を保持する。
【0023】
第１光学部品５は、駆動電源１７に接続されている。駆動電源１７は、第１光学部品５に駆動電流を供給する。第１光学部品５に駆動電流が印加されて、第１光学部品５は光を出力する。第１光学部品５から出力された光は、Ｚ軸にほぼ平行に進む。第１光学部品５から出力された光は、コリメートレンズ１４に入射する。コリメートレンズ１４は、第１光学部品５から出力された光を、コリメート光に変換する。例えば、第１光学部品５がレーザダイオード６である場合、コリメートレンズ１４は、レーザダイオード６の発光点から出力された光を、コリメート光に変換する。
【0024】
第２ステージ２０は、ベース１０の上面１０ａ上に配置されている。第２ステージ２０は、第２光学部品７を支持する。具体的には、第２ステージ２０は、第２ホルダ２７を支持している。第２ホルダ２７は、第２光学部品７を保持している。第２ホルダ２７は、集光レンズ２６を保持する。集光レンズ２６は、コリメートレンズ１４から出力されるコリメート光を第２光学部品７に集光する。例えば、第２光学部品７が光ファイバ８である場合、集光レンズ２６は、コリメート光を、光ファイバ８のコア８ａの入射端面に集光する。第２光学部品７とコリメートレンズ１４とは一体化されてもよい。集光レンズ２６は、第２光学部品７を保持する第２ホルダ２７とは別のホルダに保持されてもよい。
【0025】
第２ステージ２０は、例えば、可動ステージである。図３を参照して、第２ステージ２０は、例えば、Ｘステージ２１と、Ｙステージ２２と、θＸステージ２３と、θＹステージ２４と、ステージ駆動部２５とを含む。Ｘステージ２１は、Ｘ軸方向に移動するステージである。Ｙステージ２２は、Ｙ軸方向に移動するステージである。θＸステージ２３は、Ｘ軸まわりに回転するステージである。θＹステージ２４は、Ｙ軸のまわりに回転するステージである。ステージ駆動部２５は、ステージコントローラ３４からの指令信号に基づいて、Ｘステージ２１及びＹステージ２２を移動させるとともに、θＸステージ２３及びθＹステージ２４を回転させる。第２ステージ２０は、例えば、ステッピングモータ式の４ステージである。ステージ駆動部２５は、例えば、ステッピングモータである。
【0026】
第１光学部品５と第２光学部品７とはコリメートレンズ１４から出力されるコリメート光を介して光学的に結合しているため、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＺ軸方向の相対位置の調整は不要である。そのため、第２ステージ２０は、Ｚ軸方向に移動するＺステージを有していなくてもよい。
【0027】
第２光学部品７は、第２ホルダ２７を介して、第２ステージ２０に固定されているため、第２ステージ２０が移動または回転すると、第２光学部品７も第２ステージ２０とともに移動または回転する。第２ステージ２０は、エンコーダやリニアスケールなどの位置検出機能及び角度検出機能を含んでもよいし、含んでいなくてもよい。
【0028】
図１を参照して、光検出器３１は、第１光学部品５から第２光学部品７に結合した光の強度を検出する。光検出器３１は、第１光学部品５から第２光学部品７に結合した光の強度信号を出力する。光検出器３１は、例えば、フォトダイオードである。Ａ／Ｄ変換器３５は、アナログ信号をデジタル信号に変換する。
【0029】
制御部３６は、駆動電源１７に接続されており、駆動電源１７に駆動信号を供給する。制御部３６は、駆動電源１７のＯＮ／ＯＦＦの切替えを行う。駆動電源１７がＯＮの時には、駆動電源１７から駆動電流が第１光学部品５に供給されて、第１光学部品５は光を出力する。駆動電源１７がＯＦＦの時には、駆動電源１７から駆動電流が第１光学部品５に供給されず、第１光学部品５は光を出力しない。
【0030】
制御部３６は、Ａ／Ｄ変換器３５を介して光検出器３１に接続されている。そのため、制御部３６は、光検出器３１から、第１光学部品５から第２光学部品７に結合した光の強度信号を受信する。制御部３６は、光検出器３１を制御してもよい。例えば、制御部３６は、光検出器３１の測定レンジを切替えてもよい。
【0031】
制御部３６は、ステージコントローラ３４に接続されている。制御部３６は、ステージコントローラ３４に対して指令信号を出力して、ステージコントローラ３４から第２ステージ２０に指令信号を出力させる。
【0032】
制御部３６は、冷却液循環装置１６に接続されている。制御部３６は、冷却液循環装置１６を制御して、液冷式冷却器１１に供給する冷却液の温度及び液冷式冷却器１１に供給する冷却液の単位時間当たりの流量などを調整する。
【0033】
制御部３６は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＭＰＵ（Micro Processing Unit）などの演算処理装置または当該演算処理装置を備えるパソコンなどのコンピュータである。
【0034】
ステージコントローラ３４は、制御部３６からの指令信号により指示された駆動条件（走査開始位置、走査終了位置、走査開始角度、走査終了角度、走査速度、加速度、減速度、加速時間及び減速時間など）に従い、第２ステージ２０のステージ駆動部２５を駆動させる。
【0035】
具体的には、図４を参照して、ステージコントローラ３４は、Ｘステージコントローラ３４ａと、Ｙステージコントローラ３４ｂと、θＸステージコントローラ３４ｃと、θＹステージコントローラ３４ｄとを含む。Ｘステージコントローラ３４ａは、制御部３６からの指令信号により指示された駆動条件に従って、ステージ駆動部２５を介して、Ｘステージを移動させる。Ｙステージコントローラ３４ｂは、制御部３６からの指令信号により指示された駆動条件に従って、ステージ駆動部２５を介して、Ｙステージを移動させる。θＸステージコントローラ３４ｃは、制御部３６からの指令信号により指示された駆動条件に従って、ステージ駆動部２５を介して、θＸステージを回転させる。θＹステージコントローラ３４ｄは、制御部３６からの指令信号により指示された駆動条件に従って、ステージ駆動部２５を介して、θＹステージを回転移動させる。
【0036】
ステージコントローラ３４は、第２ステージ２０の状態を示す動作信号を制御部３６に向けて出力する。この動作信号は、第２ステージ２０の状態を表す。具体的には、Ｘステージコントローラ３４ａは、Ｘステージ２１の状態を表す動作信号を出力する。Ｙステージコントローラ３４ｂは、Ｙステージ２２の状態を表す動作信号を出力する。θＸステージコントローラ３４ｃは、θＸステージ２３の状態を表す動作信号を出力する。θＹステージコントローラ３４ｄは、θＹステージ２４の状態を表す動作信号を出力する。ステージの状態には、動作中と、停止中とがある。ステージコントローラ３４から出力された動作信号は、Ａ／Ｄ変換器３５を通って、制御部３６に入力される。
【0037】
あるいは、ステージコントローラ３４は、上記動作信号とともに、ステージが動作し始めたことを表す動作開始信号と、ステージの動作が終了して停止したことを表す動作終了信号とを出力してもよい。具体的には、Ｘステージコントローラ３４ａは、Ｘステージ２１の状態を表す動作信号とともに、Ｘステージ２１が動作し始めたことを表す動作開始信号と、Ｘステージ２１の動作が終了して停止したことを表す動作終了信号とを出力してもよい。Ｙステージコントローラ３４ｂは、Ｙステージ２２の状態を表す動作信号とともに、Ｙステージ２２が動作し始めたことを表す動作開始信号と、Ｙステージ２２の動作が終了して停止したことを表す動作終了信号とを出力してもよい。θＸステージコントローラ３４ｃは、θＸステージ２３の状態を表す動作信号とともに、θＸステージ２３が動作し始めたことを表す動作開始信号と、θＸステージ２３の動作が終了して停止したことを表す動作終了信号とを出力してもよい。θＹステージコントローラ３４ｄは、θＹステージ２４の状態を表す動作信号とともに、θＹステージ２４が動作し始めたことを表す動作開始信号と、θＹステージ２４の動作が終了して停止したことを表す動作終了信号とを出力してもよい。ステージコントローラ３４から出力された動作開始信号及び動作終了信号が、Ａ／Ｄ変換器３５を通って制御部３６に入力されてもよい。
【0038】
図１から図４を参照して、本実施の形態の光学部品の検査装置２を説明する。本実施の形態の光学部品の検査装置２は、第１光学部品５を検査するための装置である。本実施の形態の光学部品の検査装置２は、本実施の形態の光軸調整装置１に加えて、光スイッチ３０と、光学部品特性測定器３２とをさらに備える。
【0039】
光スイッチ３０は、第２光学部品７から出力された光の光路を切り替えて、第２光学部品７から出力された光を光検出器３１または光学部品特性測定器３２のいずれかに結合させる。第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整を行う場合には、光スイッチ３０は、第２光学部品７から出力された光を光検出器３１に結合させる。第１光学部品５を検査する場合には、光スイッチ３０は、第２光学部品７から出力された光を光学部品特性測定器３２に結合させる。
【0040】
光学部品特性測定器３２は、第２光学部品７に光学的に接続されている。第１光学部品５から第２光学部品７に結合した光を測定することによって、第１光学部品５の特性を測定する。第１光学部品５の特性は、第１光学部品５の光学的特性または電気的特性であり、例えば、第１光学部品５から出力される光の波長、または、第１光学部品５から出力される光信号のビットエラーレート、ジッタ、立ち上がり時間もしくは立ち下がり時間などである。光学部品特性測定器３２は、第１光学部品５の特性を制御部３６に出力する。制御部３６は、第１光学部品５の特性を記憶部（図示せず）に格納する。
【0041】
制御部３６は、光スイッチ３０に接続されており、光スイッチ３０を制御する。例えば、第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整を行う場合には、制御部３６は、光スイッチ３０を制御して、第２光学部品７から出力された光を光検出器３１に結合させる。第１光学部品５を検査する場合には、制御部３６は、光スイッチ３０を制御して、第２光学部品７から出力された光を光学部品特性測定器３２に結合させる。
【0042】
図５から図１４を参照して、実施の形態１の第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整方法を説明する。図５を参照して、本実施の形態の光軸調整方法は、初期設定ステップ（Ｓ１）と、粗調整ステップ（Ｓ１０）と、精調整ステップ（Ｓ２０）と、精調整終了判定ステップ（Ｓ３０）とを含む。粗調整ステップ（Ｓ１０）は、Ｘ及びθＹの粗調整ステップ（Ｓ１１）とＹ及びθＸの粗調整ステップ（Ｓ１２）とを含む。精調整ステップ（Ｓ２０）は、θＹの精調整ステップ（Ｓ２１）と、Ｘの精調整ステップ（Ｓ２２）と、θＸの精調整ステップ（Ｓ２３）と、Ｙの精調整ステップ（Ｓ２４）とを含む。
【0043】
本明細書において、Ｘの粗調整は、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＸ軸方向における相対位置の粗調整を意味し、Ｘの精調整は、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＸ軸方向における相対位置の精調整を意味する。Ｙの粗調整は、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＹ軸方向における相対位置の粗調整を意味し、Ｙの精調整は、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＹ軸方向における相対位置の精調整を意味する。θＸの粗調整は、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＸ軸まわりの相対角度の粗調整を意味し、Ｘの精調整は、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＸ軸まわりの相対角度の精調整を意味する。θＹの粗調整は、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＹ軸まわりの相対角度の粗調整を意味し、Ｙの精調整は、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＹ軸まわりの相対角度の精調整を意味する。
【0044】
本実施の形態では、第１ステージ１２は固定ステージであり、第２ステージ２０が可動ステージであるため、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置は第２光学部品７の配置によって定まる。
【0045】
本実施の形態の光軸調整方法に含まれるこれらのステップを詳しく説明する前に、図６から図９を参照して、粗調整ステップ（Ｓ１０）及び精調整ステップ（Ｓ２０）において用いられる、光強度が最大となる相対配置の決定方法を、相対配置のうちＹ軸まわりの相対角度θＹを例に挙げて説明する。
【0046】
図６は、Ｙ軸方向の相対位置、Ｚ軸方向の相対位置及びＸ軸まわりの相対角度を維持したまま、第２光学部品７をＸ軸方向とＹ軸まわりとに走査させたときに、光検出器３１によって測定される光強度分布を示す。すなわち、図６は、第１相対配置Ａ１と第２相対配置Ａ２との間で第２光学部品７を走査したときの、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の分布を示す。第１相対配置Ａ１と第２相対配置Ａ２とは、第２光学部品７のＸ軸方向の相対位置、Ｙ軸方向の相対位置及びＸ軸まわりの相対角度は互いに等しいが、Ｙ軸まわりの相対角度が異なっている。図６では、等しい光強度の点を結んだ線が、円形の線として示されている。
【0047】
図７の上方のグラフは、第１相対配置Ａ１（図６を参照）から第２相対配置Ａ２（図６を参照）まで、Ｙ軸まわりに第２光学部品７を走査した場合に、光検出器３１によって測定される光強度分布を示す。図７の下方のグラフは、第１相対配置Ａ１から第２相対配置Ａ２まで、Ｙ軸まわりに第２光学部品７を走査した場合に、ステージコントローラ３４から制御部３６に出力される第２ステージ２０の動作信号を示す。動作信号の電圧により、第２ステージ２０が停止中であるか動作中であるかが分かる。図７の上方のグラフの横軸及び図７の下方のグラフの横軸は、サンプリング時間である。
【0048】
図８の上方のグラフは、第２相対配置Ａ２（図６を参照）から第１相対配置Ａ１（図６を参照）まで、Ｙ軸まわりに第２光学部品７を走査した場合に、光検出器３１によって測定される光強度分布を示す。図８の下方のグラフは、第２相対配置Ａ２から第１相対配置Ａ１まで、Ｙ軸まわりに第２光学部品７を走査した場合に、ステージコントローラ３４から制御部３６に出力される第２ステージ２０の動作信号を示す。
【0049】
第２ステージ２０がＹ軸まわりに回転すると、第２光学部品７もＹ軸まわりに回転する。第２ステージ２０がＹ軸まわりに回転している間、ステージコントローラ３４（例えば、θステージコントローラ３４ｄ）は制御部３６に第２ステージ２０の動作信号を出力し続ける。制御部３６は、ステージコントローラ３４（例えば、θステージコントローラ３４ｄ）から「動作中」の動作信号を受信している間、光検出器３１で検出される光の強度のサンプリングを行う。光強度のサンプリングは、ステージコントローラ３４（例えば、θステージコントローラ３４ｄ）からの動作信号が「停止中」から「動作中」に変化したことをトリガに開始され、ステージコントローラ３４（例えば、θステージコントローラ３４ｄ）からの動作信号が「動作中」から「停止中」に変化したことをトリガに終了される。
【0050】
代わりに、制御部３６は、ステージコントローラ３４（例えば、θステージコントローラ３４ｄ）から出力される動作開始信号をトリガに光強度のサンプリングを開始し、ステージコントローラ３４（例えば、θステージコントローラ３４ｄ）から出力される動作終了信号をトリガに光強度のサンプリングを終了してもよい。
【0051】
第２光学部品７が第１相対配置Ａ１（図６を参照）から第２相対配置Ａ２（図６を参照）まで走査される場合と、第２光学部品７が第２相対配置Ａ２から第１相対配置Ａ１まで走査される場合との間で、走査方向以外の走査条件（例えば、走査速度、加速度及び減速度）は同一である。第２光学部品７が第２相対配置Ａ２から第１相対配置Ａ１まで走査される場合の第２光学部品７の走査方向は、第２光学部品７が第１相対配置Ａ１から第２相対配置Ａ２まで走査される場合の第２光学部品７の走査方向とは逆である。
【0052】
走査条件は、ステージコントローラ３４（例えば、θステージコントローラ３４ｄ）を用いて設定され得る。例えば、第２光学部品７が第１相対配置Ａ１（図６を参照）から第２相対配置Ａ２（図６を参照）まで走査される場合と、第２光学部品７が第２相対配置Ａ２から第１相対配置Ａ１まで走査される場合とで、θＹステージ２４の設定走査速度、設定加速度及び設定減速度は同じ値に設定される。代わりに、第２光学部品７が第１相対配置Ａ１から第２相対配置Ａ２まで走査される場合と、第２光学部品７が第２相対配置Ａ２から第１相対配置Ａ１まで走査される場合とで、第２ステージ２０（θＹステージ２４）が動作を開始してから最高速度または設定速度に達するまでの加速時間が同じ値に設定されてもよい。
【0053】
第２光学部品７を第１相対配置Ａ１（図６を参照）から第２相対配置Ａ２（図６を参照）まで走査した場合、制御部３６は、第１相対配置Ａ１のＹ軸まわりの相対角度θＹ（Ａ１）、サンプリング時間ｔＡ１及び設定走査速度νを用いて、サンプリング時間ｔＡ１におけるＹ軸まわりの相対角度θＹＡ１を以下の式（１）によって算出する。式（１）によって算出される相対角度θＹＡ１は、第１相対配置Ａ１から第２相対配置Ａ２まで走査速度が一定であると仮定した場合のサンプリング時間ｔＡ１における相対角度θＹＡ１である。サンプリング時間ｔＡ１がゼロであるサンプリング開始時刻では、θＹＡ１は第１相対配置Ａ１のＹ軸まわりの相対角度θＹ（Ａ１）である。サンプリング時間ｔＡ１がＴであるサンプリング終了時刻では、ＸＡ１は第２相対配置Ａ２のＹ軸まわりの相対角度θＹ（Ａ２）である。
【0054】
θＹＡ１＝θＹ（Ａ１）＋νｔＡ１ （１）
第２光学部品７を第２相対配置Ａ２（図６を参照）から第１相対配置Ａ１（図６を参照）まで走査した場合、制御部３６は、第２相対配置Ａ２のＹ軸まわりの相対角度θＹ（Ａ２）、サンプリング時間ｔＡ２及び設定走査速度νを用いて、サンプリング時間ｔＡ２におけるＹ軸まわりの相対角度θＹＡ２を以下の式（２）によって算出する。式（２）によって算出される相対角度θＹＡ２は、走査速度が一定であると仮定した場合のサンプリング時間ｔＡ２におけるＹ軸まわりの相対角度θＹＡ２である。サンプリング時間ｔＡ２がゼロであるサンプリング開始時刻では、θＹＡ２は第２相対配置Ｙ軸まわりの相対角度θＹ（Ａ２）である。サンプリング時間ｔＡ２がＴであるサンプリング終了時刻では、ＸＡ２は第１相対配置Ａ１のＹ軸まわりの相対角度θＹ（Ａ１）である。
第２光学部品７を第２相対配置Ａ２（図６を参照）から第１相対配置Ａ１（図６を参照）まで走査した場合、制御部３６は、第２相対配置Ａ２のＹ軸まわりの相対角度θＹ（Ａ２）、サンプリング時間ｔＡ２及び設定走査速度νを用いて、サンプリング時間ｔＡ２におけるＹ軸まわりの相対角度θＹＡ２を以下の式（２）によって算出する。式（２）によって算出される相対角度θＹＡ２は、走査速度が一定であると仮定した場合のサンプリング時間ｔＡ２におけるＹ軸まわりの相対角度θＹＡ２である。サンプリング時間ｔＡ２がゼロであるサンプリング開始時刻では、θＹＡ２は第２相対配置Ｙ軸まわりの相対角度θＹ（Ａ２）である。サンプリング時間ｔＡ２がＴであるサンプリング終了時刻では、ＸＡ２は第１相対配置Ａ１のＹ軸まわりの相対角度θＹ（Ａ１）である。
【0055】
θＹＡ２＝θＹ（Ａ２）－νｔＡ２ （２）
図９は、第２光学部品７を第１相対配置Ａ１（図６を参照）から第２相対配置Ａ２（図６を参照）まで走査した場合に得られる光強度と、第２光学部品７を第２相対配置Ａ２から第１相対配置Ａ１まで走査した場合に得られる光強度とを重ね合わせた図である。図９の横軸は、式（１）及び式（２）によって算出されたθＹＡ１及びθＹＡ２である。第２光学部品７を第１相対配置Ａ１から第２相対配置Ａ２まで走査した場合に式（１）によって算出された光強度が最大となる相対配置は、相対角度θＹＡ１ｐｋを有する。第２光学部品７を第２相対配置Ａ２から第１相対配置Ａ１まで走査した場合に式（２）によって算出された光強度が最大となる相対配置は、相対角度θＹＡ２ｐｋを有する。
図９は、第２光学部品７を第１相対配置Ａ１（図６を参照）から第２相対配置Ａ２（図６を参照）まで走査した場合に得られる光強度と、第２光学部品７を第２相対配置Ａ２から第１相対配置Ａ１まで走査した場合に得られる光強度とを重ね合わせた図である。図９の横軸は、式（１）及び式（２）によって算出されたθＹＡ１及びθＹＡ２である。第２光学部品７を第１相対配置Ａ１から第２相対配置Ａ２まで走査した場合に式（１）によって算出された光強度が最大となる相対配置は、相対角度θＹＡ１ｐｋを有する。第２光学部品７を第２相対配置Ａ２から第１相対配置Ａ１まで走査した場合に式（２）によって算出された光強度が最大となる相対配置は、相対角度θＹＡ２ｐｋを有する。
【0056】
式（１）及び式（２）では、第２ステージ２０（例えば、θＹステージ２４）の走査速度が一定であると仮定されているため、第２ステージ２０の加速度及び減速度は考慮されていない。ところが、実際には、第２ステージ２０を急激な加速または減速させた場合、第２ステージ２０のオーバーシュートなどのステージ駆動部２５の特性ばらつきの影響により、相対角度θＹを完全に制御することはできない。そのため、ステージコントローラ３４を用いて設定した走査速度や加速度などの駆動条件のとおりに、第２ステージ２０は動作しないことがある。その結果、式（１）により算出される光強度が最大となる相対配置（相対角度θＹＡ１ｐｋ）と式（２）により算出される光強度が最大となる相対配置（相対角度θＹＡ２ｐｋ）とは、光強度が最大となる実際の相対配置と一致しない。また、図９に示されるように、式（１）により算出される光強度が最大となる相対配置（相対角度θＹＡ１ｐｋ）と、式（２）により算出される光強度が最大となる相対配置（相対角度θＹＡ２ｐｋ）とは一致しない。
【0057】
しかし、第２光学部品７が第１相対配置Ａ１（図６を参照）から第２相対配置Ａ２（図６を参照）まで走査される場合と、第２光学部品７が第２相対配置Ａ２から第１相対配置Ａ１まで走査される場合との間で、走査方向以外の走査条件（例えば、走査速度、加速度及び減速度）は同一である。第２光学部品７が第２相対配置Ａ２から第１相対配置Ａ１まで走査される場合の第２光学部品７の走査方向は、第２光学部品７が第１相対配置Ａ１から第２相対配置Ａ２まで走査される場合の第２光学部品７の走査方向とは逆である。そのため、式（１）により算出される光強度が最大となる相対配置（相対角度θＹＡ１ｐｋ）と式（２）により算出される光強度が最大となる相対配置（相対角度θＹＡ２ｐｋ）との中央である相対配置（相対角度角度θＹｐｋ）を算出することによって、ステージ駆動部２５の特性ばらつきが相殺することができる。相対配置（相対角度θＹｐｋ）は、光強度が最大となる実際の相対配置に等しいとみなすことができる。こうして、光強度最大となる相対配置をより高精度に得ることができる。
【0058】
具体的には、以下の（１）～（３）の手順により、光強度が最大となる相対配置（相対角度θＹｐｋ）を高精度に得ることができる。
【0059】
（１）第２光学部品７を第１相対配置Ａ１（図６を参照）から第２相対配置Ａ２（図６を参照）まで走査しながら取得した光強度分布から、式（１）により、第１の光強度最大相対配置（例えば、相対角度θＹＡ１ｐｋ）を算出する。
【0060】
（２）第２光学部品７を第２相対配置Ａ２（図６を参照）から第１相対配置Ａ１（図６を参照）まで走査しながら取得した光強度分布から、式（２）により、第２の光強度最大相対配置（例えば、相対角度θＹＡ２ｐｋ）を算出する。
【0061】
（３）第１の光強度最大相対配置（例えば、相対角度θＹＡ１ｐｋ）と第２の光強度最大相対配置（例えば、相対角度θＹＡ２ｐｋ）の中央である相対配置を、光強度最大相対配置（例えば、相対角度θＹｐｋ）として算出する。すなわち、光強度最大相対配置（例えば、相対角度θＹｐｋ）は、以下の式（３）によって与えられる。
【0062】
θＹｐｋ＝（θＹＡ１ｐｋ＋θＹＡ２ｐｋ）／２ （３）
以上では、粗調整ステップ（Ｓ１０）及び精調整ステップ（Ｓ２０）において用いられている光強度が最大となるＹ軸まわりの相対角度の決定方法を説明した。粗調整ステップ（Ｓ１０）及び精調整ステップ（Ｓ２０）において用いられている光強度が最大となるＸ軸まわりの相対角度の決定方法も同様であり、以上の説明のＹ軸まわりの相対角度をＸ軸まわりの相対角度に読み替えればよい。精調整ステップ（Ｓ２０）において用いられている光強度が最大となるＸ軸方向の相対位置の決定方法も同様であり、以上の説明のＹ軸まわりの相対角度をＸ軸方向の相対位置に読み替えればよい。精調整ステップ（Ｓ２０）において用いられている光強度が最大となるＹ軸方向の相対位置の決定方法も同様であり、Ｙ軸まわりの相対角度をＹ軸方向の相対位置に読み替えればよい。
以上では、粗調整ステップ（Ｓ１０）及び精調整ステップ（Ｓ２０）において用いられている光強度が最大となるＹ軸まわりの相対角度の決定方法を説明した。粗調整ステップ（Ｓ１０）及び精調整ステップ（Ｓ２０）において用いられている光強度が最大となるＸ軸まわりの相対角度の決定方法も同様であり、以上の説明のＹ軸まわりの相対角度をＸ軸まわりの相対角度に読み替えればよい。精調整ステップ（Ｓ２０）において用いられている光強度が最大となるＸ軸方向の相対位置の決定方法も同様であり、以上の説明のＹ軸まわりの相対角度をＸ軸方向の相対位置に読み替えればよい。精調整ステップ（Ｓ２０）において用いられている光強度が最大となるＹ軸方向の相対位置の決定方法も同様であり、Ｙ軸まわりの相対角度をＹ軸方向の相対位置に読み替えればよい。
【0063】
【0064】
初期設定ステップ（Ｓ１）において、第１光学部品５を第１ステージ１２に固定する。具体的には、第１光学部品５を第１ステージ１２上に載置する。第２光学部品７を第２ステージ２０に固定する。具体的には、第２光学部品７を第２ホルダ２７に取り付ける。固定金具などを用いて、第２ホルダ２７を第２ステージ２０に固定する。制御部３６は駆動電源１７を制御して、第１光学部品５に駆動電流を供給する。第１光学部品５は、光を出力する。
【0065】
【0066】
具体的には、制御部３６は第２ステージ２０を制御して、第２光学部品７を、調整開始相対配置（Ｘ（０）、Ｙ（０）、Ｚ（０）、θＸ（０）、θＹ（０））にセットする。調整開始相対配置は、図１０の相対配置１０１ｓに相当する。以下のステップでは、Ｚ軸方向の相対位置Ｚ（０）は不変であるため、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置は、Ｘ軸方向の相対位置、Ｙ軸方向の相対位置、Ｘ軸まわりの相対角度及びＹ軸まわりの相対角度を用いて表現する。
【0067】
それから、以下の（４）から（６）の手順でステップＳ１１を実施する。
（４）図１０を参照して、第２光学部品７を、相対配置１０１ｓから相対配置１０６ｅまで、図１０に示される矢印の方向に沿って走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。図１０に示される第２光学部品７の走査方法は、Ｘ軸方向にステップ走査を行い、Ｙ軸まわりに連続走査を行っている。第２光学部品７の走査方法は、これに限られず、例えば、Ｙ軸まわりにステップ走査を行い、Ｘ軸方向に連続走査を行ってもよい。
（４）図１０を参照して、第２光学部品７を、相対配置１０１ｓから相対配置１０６ｅまで、図１０に示される矢印の方向に沿って走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。図１０に示される第２光学部品７の走査方法は、Ｘ軸方向にステップ走査を行い、Ｙ軸まわりに連続走査を行っている。第２光学部品７の走査方法は、これに限られず、例えば、Ｙ軸まわりにステップ走査を行い、Ｘ軸方向に連続走査を行ってもよい。
【0068】
例えば、θＹステージ２４を動作させて、相対配置１０１ｓから相対配置１０１ｅまで第２光学部品７を連続走査する。θＹステージ２４を停止させ、Ｘステージ２１を動作させて、相対配置１０１ｅから相対配置１０２ｓまで第２光学部品７をステップ走査する。同様に、θＹステージ２４を動作させて、相対配置１０２ｓから相対配置１０２ｅまで第２光学部品７を連続走査し、Ｘステージ２１を動作させて、相対配置１０２ｅから相対配置１０３ｓまで第２光学部品７をステップ走査する。θＹステージ２４を動作させて、相対配置１０３ｓから相対配置１０３ｅまで第２光学部品７を連続走査し、Ｘステージ２１を動作させて、相対配置１０３ｅから相対配置１０４ｓまで第２光学部品７をステップ走査する。θＹステージ２４を動作させて、相対配置１０４ｓから相対配置１０４ｅまで第２光学部品７を連続走査し、Ｘステージ２１を動作させて、相対配置１０４ｅから相対配置１０５ｓまで第２光学部品７をステップ走査する。θＹステージ２４を動作させて、相対配置１０５ｓから相対配置１０５ｅまで第２光学部品７を連続走査し、Ｘステージ２１を動作させて、相対配置１０５ｅから相対配置１０６ｓまで第２光学部品７をステップ走査する。θＹステージ２４を動作させて、相対配置１０６ｓから相対配置１０６ｅまで第２光学部品７を連続走査する。
【0069】
第２光学部品７を相対配置１０１ｓから相対配置１０６ｅまで走査したときの第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化から、光強度が最大となる第２光学部品７のＸ軸方向の粗調整相対位置Ｘｐｋ（０）を算出する。図１０では、第２光学部品７のＸ軸方向の粗調整相対位置Ｘｐｋ（０）は、相対配置１０３ｓと相対配置１０３ｅとを結ぶ走査経路上にある。
【0070】
また、第２光学部品７を、第２光学部品７のＸ軸方向の粗調整相対位置Ｘｐｋ（０）がある走査経路に沿って、すなわち相対配置１０３ｓから相対配置１０３ｅまで走査したときの、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（１）とから、光強度が最大となる第１のＹ軸まわりの粗調整相対角度θＹｐｋ（０１）を算出する。第１の粗調整相対角度θＹｐｋ（０１）は、相対配置１０３ｓから相対配置１０３ｅまで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＹ軸まわりの相対角度である。
【0071】
（５）次に、図１１を参照して、第２光学部品７を、手順（４）において光強度が最大となる第２光学部品７のＸ軸方向の粗調整相対位置Ｘｐｋ（０）がある走査経路の終点である相対配置１０３ｅにセットする。θＹステージ２４を動作させて、相対配置１０３ｅから相対配置１０３ｓまで第２光学部品７を連続走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。相対配置１０３ｓから相対配置１０３ｅまでの手順（４）の走査と、相対配置１０３ｅから相対配置１０３ｓまでの手順（５）の走査とは、走査方向が互いに逆である点で異なっているが、その他の走査条件（例えば、走査速度、加速度及び減速度）は同一である。
【0072】
相対配置１０３ｅから相対配置１０３ｓまで走査したときの、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と式（２）とから、光強度が最大となる第２のＹ軸まわりの粗調整相対角度θＹｐｋ（０２）を算出する。第２の粗調整相対角度θＹｐｋ（０２）は、相対配置１０３ｅから相対配置１０３ｓまで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＹ軸まわりの相対角度である。
【0073】
（６）第１の粗調整相対角度θＹｐｋ（０１）と第２の粗調整相対角度θＹｐｋ（０２）との中央角度を、Ｙ軸まわりの粗調整相対角度θＹｐｋ（０）として算出する。θＹｐｋ（０）は、以下の式（４）によって与えられる。こうして、ステップＳ１１により、Ｘ軸方向の粗調整相対位置はＸｐｋ（０）となり、Ｙ軸まわりの粗調整相対角度はθＹｐｋ（０）となる。すなわち、ステップ（Ｓ１１）によって、第２光学部品７は、相対配置（Ｘｐｋ（０）、Ｙ（０）、θＸ（０）、θＹｐｋ（０））に配置される。
【0074】
θＹｐｋ（０）＝（θＹｐｋ（０１）＋θＹｐｋ（０２））／２ （４）
図５、図１２及び図１３を参照して、Ｙ及びθＸの粗調整ステップ（Ｓ１２）では、Ｘ及びθＹの粗調整ステップ（Ｓ１１）と同様の方法によって、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＹ軸方向の相対位置の粗調整と、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＸ軸まわりの相対角度の粗調整とを行う。すなわち、図１２及び図１３を参照して、Ｙ及びθＸの粗調整ステップ（Ｓ１２）では、Ｘ軸方向の相対位置（例えば、相対位置Ｘｐｋ（０））とＹ軸まわりの相対角度（例えば、相対角度θＹｐｋ（０））とを維持したまま、Ｙ軸方向の相対位置の粗調整と、Ｘ軸まわりの相対角度の粗調整とを行う。
図５、図１２及び図１３を参照して、Ｙ及びθＸの粗調整ステップ（Ｓ１２）では、Ｘ及びθＹの粗調整ステップ（Ｓ１１）と同様の方法によって、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＹ軸方向の相対位置の粗調整と、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＸ軸まわりの相対角度の粗調整とを行う。すなわち、図１２及び図１３を参照して、Ｙ及びθＸの粗調整ステップ（Ｓ１２）では、Ｘ軸方向の相対位置（例えば、相対位置Ｘｐｋ（０））とＹ軸まわりの相対角度（例えば、相対角度θＹｐｋ（０））とを維持したまま、Ｙ軸方向の相対位置の粗調整と、Ｘ軸まわりの相対角度の粗調整とを行う。
【0075】
具体的には、図１２を参照して、制御部３６は第２ステージ２０を制御して、第２光学部品７を、相対配置（Ｘｐｋ（０）、Ｙ（０）－α、θＸ（０）－β、θＹｐｋ（０））にセットする。ここで、αは、Ｙ軸方向の相対位置の粗調整範囲の半分を表し、βは、Ｘ軸まわりの相対角度の粗調整範囲の半分を表す。
【0076】
それから、以下の（７）から（９）の手順でステップＳ１２を実施する。
（７）図１２を参照して、第２光学部品７を、相対配置１１１ｓから相対配置１１６ｅまで、図１２に示される矢印の方向に沿って走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。図１２に示される第２光学部品７の走査方法は、Ｙ軸方向にステップ走査を行い、Ｘ軸まわりに連続走査を行っている。第２光学部品７の走査方法は、これに限られず、例えば、Ｘ軸まわりにステップ走査を行い、Ｙ軸方向に連続走査を行ってもよい。
（７）図１２を参照して、第２光学部品７を、相対配置１１１ｓから相対配置１１６ｅまで、図１２に示される矢印の方向に沿って走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。図１２に示される第２光学部品７の走査方法は、Ｙ軸方向にステップ走査を行い、Ｘ軸まわりに連続走査を行っている。第２光学部品７の走査方法は、これに限られず、例えば、Ｘ軸まわりにステップ走査を行い、Ｙ軸方向に連続走査を行ってもよい。
【0077】
例えば、θＸステージ２３を動作させて、相対配置１１１ｓから相対配置１１１ｅまで第２光学部品７を連続走査する。θＸステージ２３を停止させ、Ｙステージ２２を動作させて、相対配置１１１ｅから相対配置１１２ｓまで第２光学部品７をステップ走査する。同様に、θＸステージ２３を動作させて、相対配置１１２ｓから相対配置１１２ｅまで第２光学部品７を連続走査し、Ｙステージ２２を動作させて、相対配置１１２ｅから相対配置１１３ｓまで第２光学部品７をステップ走査する。θＸステージ２３を動作させて、相対配置１１３ｓから相対配置１１３ｅまで第２光学部品７を連続走査し、Ｙステージ２２を動作させて、相対配置１１３ｅから相対配置１１４ｓまで第２光学部品７をステップ走査する。θＸステージ２３を動作させて、相対配置１１４ｓから相対配置１１４ｅまで第２光学部品７を連続走査し、Ｙステージ２２を動作させて、相対配置１１４ｅから相対配置１１５ｓまで第２光学部品７をステップ走査する。θＸステージ２３を動作させて、相対配置１１５ｓから相対配置１１５ｅまで第２光学部品７を連続走査し、Ｙステージ２２を動作させて、相対配置１１５ｅから相対配置１１６ｓまで第２光学部品７をステップ走査する。θＸステージ２３を動作させて、相対配置１１６ｓから相対配置１１６ｅまで第２光学部品７を連続走査する。
【0078】
第２光学部品７を相対配置１１１ｓから相対配置１１６ｅまで走査したときの第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化から、光強度が最大となる第２光学部品７のＹ軸方向の粗調整相対位置Ｙｐｋ（０）を算出する。図１２では、第２光学部品７のＹ軸方向の粗調整相対位置Ｙｐｋ（０）は、相対配置１１３ｓと相対配置１１３ｅとを結ぶ走査経路上にある。
【0079】
また、第２光学部品７を、第２光学部品７のＹ軸方向の粗調整相対位置Ｙｐｋ（０）がある走査経路に沿って、すなわち相対配置１１３ｓから相対配置１１３ｅまで走査したときの、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（１）においてθＹをθＸに読み替えた式とから、光強度が最大となる第１のＸ軸まわりの粗調整相対角度θＸｐｋ（０１）を算出する。第１の粗調整相対角度θＸｐｋ（０１）は、相対配置１１３ｓから相対配置１１３ｅまで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＸ軸まわりの相対角度である。
【0080】
（８）次に、図１３を参照して、第２光学部品７を、手順（７）において光強度が最大となる第２光学部品７のＹ軸方向の粗調整相対位置Ｙｐｋ（０）がある走査経路の終点である相対配置１１３ｅにセットする。θＸステージ２３を動作させて、相対配置１１３ｅから相対配置１１３ｓまで第２光学部品７を連続走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。相対配置１１３ｓから相対配置１１３ｅまでの手順（７）の走査と、相対配置１１３ｅから相対配置１１３ｓまでの手順（８）の走査とは、走査方向が互いに逆である点で異なっているが、その他の走査条件（例えば、走査速度、加速度及び減速度）は同一である。
【0081】
相対配置１１３ｅから相対配置１１３ｓまで走査したときの、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と式（２）においてθＹをθＸに読み替えた式とから、光強度が最大となる第２のＸ軸まわりの粗調整相対角度θＸｐｋ（０２）を算出する。第２の粗調整相対角度θＸｐｋ（０２）は、相対配置１１３ｅから相対配置１１３ｓまで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＸ軸まわりの相対角度である。
【0082】
（９）第１の粗調整相対角度θＸｐｋ（０１）と第２の粗調整相対角度θＸｐｋ（０２）との中央角度を、Ｘ軸まわりの粗調整相対角度θＸｐｋ（０）として算出する。θＸｐｋ（０）は、以下の式（５）によって与えられる。こうして、ステップＳ１２により、Ｙ軸方向の粗調整相対位置はＹｐｋ（０）となり、Ｘ軸まわりの粗調整相対角度はθＸｐｋ（０）となる。すなわち、ステップ（Ｓ１２）によって、第２光学部品７は、相対配置（Ｘｐｋ（０）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（０））に配置される。
【0083】
θＸｐｋ（０）＝（θＸｐｋ（０１）＋θＸｐｋ（０２））／２ （５）
図５を参照して、精調整ステップ（Ｓ２０）を説明する。
図５を参照して、精調整ステップ（Ｓ２０）を説明する。
【0084】
図５を参照して、θＹの精調整ステップ（Ｓ２１）では、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＹ軸まわりの相対角度の精調整を行う。すなわち、θＹの精調整ステップ（Ｓ２１）では、Ｘ軸方向の相対位置、Ｙ軸方向の相対位置及びＸ軸まわりの相対角度を維持したまま、Ｙ軸まわりの相対角度の精調整を行う。
【0085】
具体的には、制御部３６は第２ステージ２０を制御して、第２光学部品７を、相対配置（Ｘｐｋ（０）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（０）－γ）にセットする。ここで、γは、Ｙ軸まわりの相対角度の精調整範囲の半分を表す。
【0086】
それから、以下の（１０）から（１２）の手順でステップＳ２１を実施する。
（１０）第２光学部品７を、相対配置（Ｘｐｋ（０）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（０）－γ）である第１相対配置から相対配置（Ｘｐｋ（０）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（０）＋γ）である第２相対配置まで、Ｙ軸まわりに走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。例えば、θＹステージ２４を動作させて、第１相対配置から第２相対配置まで第２光学部品７を連続走査する。第２光学部品７を第１相対配置から第２相対配置まで走査したときの第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（１）とから、光強度が最大となる第１のＹ軸まわりの精調整相対角度θＹｐｋ（１１）を算出する。第１の精調整相対角度θＹｐｋ（１１）は、第１相対配置から第２相対配置まで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＹ軸まわりの相対角度である。
（１０）第２光学部品７を、相対配置（Ｘｐｋ（０）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（０）－γ）である第１相対配置から相対配置（Ｘｐｋ（０）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（０）＋γ）である第２相対配置まで、Ｙ軸まわりに走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。例えば、θＹステージ２４を動作させて、第１相対配置から第２相対配置まで第２光学部品７を連続走査する。第２光学部品７を第１相対配置から第２相対配置まで走査したときの第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（１）とから、光強度が最大となる第１のＹ軸まわりの精調整相対角度θＹｐｋ（１１）を算出する。第１の精調整相対角度θＹｐｋ（１１）は、第１相対配置から第２相対配置まで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＹ軸まわりの相対角度である。
【0087】
（１１）次に、θＹステージ２４を動作させて、第２相対配置（Ｘｐｋ（０）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（０）＋γ）から第１相対配置（Ｘｐｋ（０）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（０）－γ）まで第２光学部品７を連続走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。第１相対配置から第２相対配置までの手順（１０）の走査と、第２相対配置から第１相対配置までの手順（１１）の走査とは、走査方向が互いに逆である点で異なっているが、その他の走査条件（例えば、走査速度、加速度及び減速度）は同一である。
【0088】
第２相対配置から第１相対配置まで走査したときの、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（２）とから、光強度が最大となる第２のＹ軸まわりの精調整相対角度θＹｐｋ（１２）を算出する。第２のＹ軸まわりの精調整相対角度θＹｐｋ（１２）は、第２相対配置から第１相対配置まで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＹ軸まわりの相対角度である。
【0089】
（１２）第１のＹ軸まわりの精調整相対角度θＹｐｋ（１１）と第２のＹ軸まわりの精調整相対角度θＹｐｋ（１２）との中央角度を、Ｙ軸まわりの精調整相対角度θＹｐｋ（１）として算出する。θＹｐｋ（１）は、以下の式（６）によって与えられる。こうして、ステップＳ２１により、Ｙ軸まわりの精調整相対角度はθＹｐｋ（１）となる。すなわち、ステップ（Ｓ２１）によって、第２光学部品７は、相対配置（Ｘｐｋ（０）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（１））に配置される。
【0090】
θＹｐｋ（１）＝（θＹｐｋ（１１）＋θＹｐｋ（１２））／２ （６）
図５を参照して、Ｘの精調整ステップ（Ｓ２２）では、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＸ軸方向の相対位置の精調整を行う。すなわち、Ｘの精調整ステップ（Ｓ２２）では、Ｙ軸方向の相対位置、Ｘ軸まわりの相対角度及びＹ軸まわりの相対角度を維持したまま、Ｘ軸方向の相対位置の精調整を行う。
図５を参照して、Ｘの精調整ステップ（Ｓ２２）では、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＸ軸方向の相対位置の精調整を行う。すなわち、Ｘの精調整ステップ（Ｓ２２）では、Ｙ軸方向の相対位置、Ｘ軸まわりの相対角度及びＹ軸まわりの相対角度を維持したまま、Ｘ軸方向の相対位置の精調整を行う。
【0091】
具体的には、制御部３６は第２ステージ２０を制御して、第２光学部品７を、相対配置（Ｘｐｋ（０）－δ、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（１））にセットする。ここで、δは、Ｘ軸方向の相対位置の精調整範囲の半分を表す。
【0092】
それから、以下の（１３）から（１５）の手順でステップＳ２２を実施する。
（１３）第２光学部品７を、相対配置（Ｘｐｋ（０）－δ、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（１））である第３相対配置から相対配置（Ｘｐｋ（０）＋δ、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（１））である第４相対配置まで、Ｘ軸方向に走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。例えば、Ｘステージ２１を動作させて、第３相対配置から第４相対配置まで第２光学部品７を連続走査する。第２光学部品７を第３相対配置から第４相対配置まで走査したときの第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（１）のθＹをＸに読み替えた式とから、光強度が最大となる第１のＸ軸方向の精調整相対位置Ｘｐｋ（１１）を算出する。第１のＸ軸方向の精調整相対位置Ｘｐｋ（１１）は、第３相対配置から第４相対配置まで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＸ軸方向の相対位置である。
（１３）第２光学部品７を、相対配置（Ｘｐｋ（０）－δ、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（１））である第３相対配置から相対配置（Ｘｐｋ（０）＋δ、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（１））である第４相対配置まで、Ｘ軸方向に走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。例えば、Ｘステージ２１を動作させて、第３相対配置から第４相対配置まで第２光学部品７を連続走査する。第２光学部品７を第３相対配置から第４相対配置まで走査したときの第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（１）のθＹをＸに読み替えた式とから、光強度が最大となる第１のＸ軸方向の精調整相対位置Ｘｐｋ（１１）を算出する。第１のＸ軸方向の精調整相対位置Ｘｐｋ（１１）は、第３相対配置から第４相対配置まで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＸ軸方向の相対位置である。
【0093】
（１４）次に、Ｘステージ２１を動作させて、第４相対配置（Ｘｐｋ（０）＋δ、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（１））から第３相対配置（Ｘｐｋ（０）－δ、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（１））まで第２光学部品７を連続走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。第３相対配置から第４相対配置までの手順（１３）の走査と、第４相対配置から第３相対配置までの手順（１４）の走査とは、走査方向が互いに逆である点で異なっているが、その他の走査条件（例えば、走査速度、加速度及び減速度）は同一である。
【0094】
第４相対配置から第３相対配置まで走査したときの、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（２）のθＹをＸに読み替えた式とから、光強度が最大となるＸ軸方向の相対位置である第２のＸ軸方向の精調整相対位置Ｘｐｋ（１２）を算出する。第２のＸ軸方向の精調整相対位置Ｘｐｋ（１２）は、第４相対配置から第３相対配置まで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＸ軸方向の相対位置である。
【0095】
（１５）第１のＸ軸方向の精調整相対位置Ｘｐｋ（１１）と第２のＸ軸方向の精調整相対位置Ｘｐｋ（１２）との中央位置を、Ｘ軸方向の精調整相対位置Ｘｐｋ（１）として算出する。Ｘｐｋ（１）は、以下の式（７）によって与えられる。こうして、ステップＳ２２により、Ｘ軸方向の精調整相対位置はＸｐｋ（１）となる。すなわち、ステップ（Ｓ２２）によって、第２光学部品７は、相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）、θＹｐｋ（１））に配置される。
【0096】
Ｘｐｋ（１）＝（Ｘｐｋ（１１）＋Ｘｐｋ（１２））／２ （７）
図５を参照して、θＸの精調整ステップ（Ｓ２３）では、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＸ軸まわりの相対角度の精調整を行う。すなわち、θＸの精調整ステップ（Ｓ２３）では、Ｘ軸方向の相対位置、Ｙ軸方向の相対位置及びＹ軸まわりの相対角度を維持したまま、Ｘ軸まわりの相対角度の精調整を行う。
図５を参照して、θＸの精調整ステップ（Ｓ２３）では、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＸ軸まわりの相対角度の精調整を行う。すなわち、θＸの精調整ステップ（Ｓ２３）では、Ｘ軸方向の相対位置、Ｙ軸方向の相対位置及びＹ軸まわりの相対角度を維持したまま、Ｘ軸まわりの相対角度の精調整を行う。
【0097】
具体的には、制御部３６は第２ステージ２０を制御して、第２光学部品７を、相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）－ε、θＹｐｋ（１））にセットする。ここで、εは、Ｘ軸まわりの相対角度の精調整範囲の半分を表す。
【0098】
それから、以下の（１６）から（１８）の手順でステップＳ２３を実施する。
（１６）第２光学部品７を、相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）－ε、θＹｐｋ（１））である第５相対配置から相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）＋ε、θＹｐｋ（１））である第６相対配置まで、Ｘ軸まわりに走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。例えば、θＸステージ２３を動作させて、第５相対配置から第６相対配置まで第２光学部品７を連続走査する。第２光学部品７を第５相対配置から第６相対配置まで走査したときの第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（１）のθＹをθＸに読み替えた式とから、光強度が最大となる第１のＸ軸まわりの精調整相対角度θＸｐｋ（１１）を算出する。第１のＸ軸まわりの精調整相対角度θＸｐｋ（１１）は、第５相対配置から第６相対配置まで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＸ軸まわりの相対角度である。
（１６）第２光学部品７を、相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）－ε、θＹｐｋ（１））である第５相対配置から相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）＋ε、θＹｐｋ（１））である第６相対配置まで、Ｘ軸まわりに走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。例えば、θＸステージ２３を動作させて、第５相対配置から第６相対配置まで第２光学部品７を連続走査する。第２光学部品７を第５相対配置から第６相対配置まで走査したときの第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（１）のθＹをθＸに読み替えた式とから、光強度が最大となる第１のＸ軸まわりの精調整相対角度θＸｐｋ（１１）を算出する。第１のＸ軸まわりの精調整相対角度θＸｐｋ（１１）は、第５相対配置から第６相対配置まで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＸ軸まわりの相対角度である。
【0099】
（１７）次に、θＸステージ２３を動作させて、第６相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）＋ε、θＹｐｋ（１））から第５相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（０）－ε、θＹｐｋ（１））まで第２光学部品７を連続走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。第５相対配置から第６相対配置までの手順（１６）の走査と、第６相対配置から第５相対配置までの手順（１７）の走査とは、走査方向が互いに逆である点で異なっているが、その他の走査条件（例えば、走査速度、加速度及び減速度）は同一である。
【0100】
第６相対配置から第５相対配置まで走査したときの、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（２）のθＹをθＸに読み替えた式とから、光強度が最大となる第２のＸ軸まわりの精調整相対角度θＸｐｋ（１２）を算出する。第２のＸ軸まわりの精調整相対角度θＸｐｋ（１２）は、第６相対配置から第５相対配置まで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＸ軸まわりの相対角度である。
【0101】
（１８）第１のＸ軸まわりの精調整相対角度θＸｐｋ（１１）と第２のＸ軸まわりの精調整相対角度θＸｐｋ（１２）との中央角度を、Ｘ軸まわりの精調整相対角度θＸｐｋ（１）として算出する。θＸｐｋ（１）は、以下の式（８）によって与えられる。こうして、ステップＳ２３により、Ｘ軸まわりの精調整相対角度はθＸｐｋ（１）となる。すなわち、ステップ（Ｓ２３）によって、第２光学部品７は、相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）、θＸｐｋ（１）、θＹｐｋ（１））に配置される。
【0102】
θＸｐｋ（１）＝（θＸｐｋ（１１）＋θＸｐｋ（１２））／２ （８）
図５を参照して、Ｙの精調整ステップ（Ｓ２４）では、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＹ軸方向の相対位置の精調整を行う。すなわち、Ｙの精調整ステップ（Ｓ２４）では、Ｘ軸方向の相対位置、Ｘ軸まわりの相対角度及びＹ軸まわりの相対角度を維持したまま、Ｙ軸方向の相対位置の精調整を行う。
図５を参照して、Ｙの精調整ステップ（Ｓ２４）では、第１光学部品５に対する第２光学部品７のＹ軸方向の相対位置の精調整を行う。すなわち、Ｙの精調整ステップ（Ｓ２４）では、Ｘ軸方向の相対位置、Ｘ軸まわりの相対角度及びＹ軸まわりの相対角度を維持したまま、Ｙ軸方向の相対位置の精調整を行う。
【0103】
具体的には、制御部３６は第２ステージ２０を制御して、第２光学部品７を、相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）－ζ、θＸｐｋ（１）、θＹｐｋ（１））にセットする。ここで、ζは、Ｙ軸方向の相対位置の精調整範囲の半分を表す。
【0104】
それから、以下の（１９）から（２１）の手順でステップＳ２４を実施する。
（１９）第２光学部品７を、相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）－ζ、θＸｐｋ（１）、θＹｐｋ（１））である第７相対配置から相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）＋ζ、θＸｐｋ（１）、θＹｐｋ（１））である第８相対配置まで、Ｙ軸方向に走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。例えば、Ｙステージ２２を動作させて、第７相対配置から第８相対配置まで第２光学部品７を連続走査する。第２光学部品７を第７相対配置から第８相対配置まで走査したときの第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（１）のθＹをＹに読み替えた式とから、光強度が最大となる第１のＹ軸方向の精調整相対位置Ｙｐｋ（１１）を算出する。第１のＹ軸方向の精調整相対位置Ｙｐｋ（１１）は、第７相対配置から第８相対配置まで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＹ軸方向の相対位置である。
（１９）第２光学部品７を、相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）－ζ、θＸｐｋ（１）、θＹｐｋ（１））である第７相対配置から相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）＋ζ、θＸｐｋ（１）、θＹｐｋ（１））である第８相対配置まで、Ｙ軸方向に走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。例えば、Ｙステージ２２を動作させて、第７相対配置から第８相対配置まで第２光学部品７を連続走査する。第２光学部品７を第７相対配置から第８相対配置まで走査したときの第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（１）のθＹをＹに読み替えた式とから、光強度が最大となる第１のＹ軸方向の精調整相対位置Ｙｐｋ（１１）を算出する。第１のＹ軸方向の精調整相対位置Ｙｐｋ（１１）は、第７相対配置から第８相対配置まで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＹ軸方向の相対位置である。
【0105】
（２０）次に、Ｙステージ２２を動作させて、第８相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）＋ζ、θＸｐｋ（１）、θＹｐｋ（１））から第７相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（０）－ζ、θＸｐｋ（１）、θＹｐｋ（１））まで第２光学部品７を連続走査しながら、光検出器３１を用いて、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置に対する第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化を取得する。第７相対配置から第８相対配置までの手順（１９）の走査と、第８相対配置から第７相対配置までの手順（２０）の走査とは、走査方向が互いに逆である点で異なっているが、その他の走査条件（例えば、走査速度、加速度及び減速度）は同一である。
【0106】
第８相対配置から第７相対配置まで走査したときの、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度変化と、式（２）のθＹをＹに読み替えた式とから、光強度が最大となるＹ軸方向の相対位置である第２のＹ軸方向の精調整相対位置Ｙｐｋ（１２）を算出する。第２のＹ軸方向の精調整相対位置Ｙｐｋ（１２）は、第８相対配置から第７相対配置まで走査速度が一定であると仮定した場合に光強度が最大となるＹ軸方向の相対位置である。
【0107】
（２１）第１のＹ軸方向の精調整相対位置Ｙｐｋ（１１）と第２のＹ軸方向の精調整相対位置Ｙｐｋ（１２）との中央位置を、Ｙ軸方向の精調整相対位置Ｙｐｋ（１）として算出する。Ｙｐｋ（１）は、以下の式（９）によって与えられる。こうして、ステップＳ２４により、Ｙ軸方向の精調整相対位置はＹｐｋ（１）となる。すなわち、ステップ（Ｓ２４）によって、第２光学部品７は、相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（１）、θＸｐｋ（１）、θＹｐｋ（１））に配置される。
【0108】
Ｙｐｋ（１）＝（Ｙｐｋ（１１）＋Ｙｐｋ（１２））／２ （９）
以上の精調整ステップＳ２０によって、１回目の精調整相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（１）、θＸｐｋ（１）、θＹｐｋ（１））が得られる。また、精調整ステップ（Ｓ２０）の最後に得られた第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化（例えば、Ｙの精調整ステップ（Ｓ２４）で得られた第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化）において最大となる光強度を、１回目の精調整ステップによって得られた光強度Ｐｐｋ（１）として得る。
以上の精調整ステップＳ２０によって、１回目の精調整相対配置（Ｘｐｋ（１）、Ｙｐｋ（１）、θＸｐｋ（１）、θＹｐｋ（１））が得られる。また、精調整ステップ（Ｓ２０）の最後に得られた第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化（例えば、Ｙの精調整ステップ（Ｓ２４）で得られた第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度の変化）において最大となる光強度を、１回目の精調整ステップによって得られた光強度Ｐｐｋ（１）として得る。
【0109】
図５を参照して、精調整終了判定ステップ（Ｓ３０）を説明する。精調整終了判定ステップ（Ｓ３０）は、制御部３６によって実行される。精調整終了判定ステップ（Ｓ３０）は、精調整ステップ回数判定ステップ（Ｓ３１）と、光強度判定ステップ（Ｓ３２）とを含む。
【0110】
図５及び図１４を参照して、精調整ステップ回数判定ステップ（Ｓ３１）では、制御部３６は、精調整ステップＳ２０が所定回数（例えば、ｎ回）実行されたかを判定する。精調整ステップＳ２０の繰り返し回数が所定回数に達していない場合、精調整ステップＳ２０の繰り返し回数が所定回数に達するまで、精調整ステップＳ２０を実行する。こうして、精調整ステップＳ２０の繰り返し回数分の精調整相対配置（例えば、ｎ個の精調整相対配置）と、精調整ステップＳ２０の繰り返し回数分の光強度（例えば、ｎ個の光強度Ｐｐｋ（１）、Ｐｐｋ（２）、・・・、Ｐｐｋ（ｎ））とを得る。
【0111】
第１光学部品５から出力される光の進行方向は、必ずしもＺ軸方向に平行とは限らず、Ｘ軸まわりにまたはＹ軸まわりに傾いていることがある。そのため、精調整ステップＳ２０を繰り返し実行することにより、第２光学部品７は、第１光学部品５に対して徐々にアライメントされる。精調整ステップＳ２０の繰り返し回数が所定回数に達すると、光強度判定ステップ（Ｓ３２）に進む。
【0112】
光強度判定ステップ（Ｓ３２）では、制御部３６は、最後の精調整ステップＳ２０（すなわち、ｎ回目の精調整ステップＳ２０）によって得られた光強度Ｐｐｋ（ｎ）が、それまでの精調整ステップＳ２０によって得られた光強度Ｐｐｋ（１）、Ｐｐｋ（２）、・・・、Ｐｐｋ（ｎ）の中で最大であるか否かを判定する。
【0113】
最後の精調整ステップＳ２０によって得られた光強度Ｐｐｋ（ｎ）が、それまでの精調整ステップＳ２０によって得られた光強度Ｐｐｋ（１）、Ｐｐｋ（２）、・・・、Ｐｐｋ（ｎ）の中で最大である場合、より大きな光強度が得られる相対配置が見つかる可能性が高い。そのため、最後の精調整ステップＳ２０によって得られた光強度Ｐｐｋ（ｎ）が、それまでの精調整ステップＳ２０によって得られた光強度Ｐｐｋ（１）、Ｐｐｋ（２）、・・・、Ｐｐｋ（ｎ）の中で最大である場合、精調整ステップＳ２０をさらに実行して、より大きな光強度が得られる精調整相対配置を探索する。
【0114】
これに対し、最後の精調整ステップＳ２０によって得られた光強度Ｐｐｋ（ｎ）が、それまでの精調整ステップＳ２０によって得られた光強度Ｐｐｋ（１）、Ｐｐｋ（２）、・・・、Ｐｐｋ（ｎ）の中で最大でない場合、それまでの精調整ステップＳ２０によって得られた精調整相対配置の中に、光強度が最大となる相対配置が存在する可能性が高い。そのため、最後の精調整ステップＳ２０によって得られた光強度Ｐｐｋ（ｎ）が、それまでの精調整ステップＳ２０によって得られた光強度Ｐｐｋ（１）、Ｐｐｋ（２）、・・・、Ｐｐｋ（ｎ）の中で最大でない場合、制御部３６は、光強度Ｐｐｋ（１）、Ｐｐｋ（２）、・・・、Ｐｐｋ（ｎ）のうち最大の光強度Ｐｐｋ（ｉ）に対応する精調整相対配置を、第１光学部品５に対する第２光学部品７の最終相対配置であると判断する。例えば、図１４に示される一例では、ｎは５であり、光強度Ｐｐｋ（３）は光強度Ｐｐｋ（１）、Ｐｐｋ（２）、Ｐｐｋ（３）、Ｐｐｋ（４）、Ｐｐｋ（５）のうち最大であり、制御部３６は光強度Ｐｐｋ（３）に対応する精調整相対配置を第１光学部品５に対する第２光学部品７の最終相対配置であると判断する。制御部３６は、ステージコントローラ３４を制御して、第２光学部品７を、第１光学部品５に対して最終相対配置に配置する。こうして、本実施の形態の第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整方法を終了する。
【0115】
精調整終了判定Ｓ３０における精調整ステップ終了判定条件は、ステップＳ３１及びステップＳ３２に限られず、第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整の目的に合わせて、設定され得る。例えば、精調整ステップＳ２０によって得られた光強度が規定閾値Ｐｔｈ以上となることを精調整ステップ終了判定条件とし、光強度がはじめて規定閾値Ｐｔｈ以上となる精調整相対配置を第１光学部品５に対する第２光学部品７の最終相対配置としてもよい。また、最新の精調整ステップによって得られた光強度が最新の精調整ステップよりも一回前の精調整ステップによって得られた光強度よりもはじめて減少することを精調整ステップ終了判定条件とし、最新の精調整ステップよりも一回前の精調整相対配置を、第１光学部品５に対する第２光学部品７の最終相対配置としてもよい。
【0116】
図１５を参照して、本実施の形態の光学部品の検査方法を説明する。本実施の形態の光学部品の検査方法は、第１光学部品５を検査する方法である。本実施の形態の光学部品の検査方法は、第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整を行うステップ（Ｓ４１）と、第１光学部品５の特性を測定するステップ（Ｓ４２）と、第１光学部品５を選別するステップ（Ｓ４３）とを備える。
【0117】
光軸調整ステップ（Ｓ４１）は、既に説明した本実施の形態の第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整方法である。光軸調整ステップ（Ｓ４１）では、制御部３６は光スイッチ３０を制御して、光スイッチ３０は第２光学部品７から出力された光を光検出器３１に結合させる。それから、第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整が実行される。
【0118】
光軸調整ステップ（Ｓ４１）によって、第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整が終了した後に、光学部品特性測定ステップ（Ｓ４２）を実行する。
【0119】
光学部品特性測定ステップ（Ｓ４２）では、制御部３６は、光スイッチ３０を制御する。光スイッチ３０は、第２光学部品７から出力された光の光路を切り替えて、第２光学部品７から出力された光を光学部品特性測定器３２に結合させる。光学部品特性測定器３２は、第１光学部品５から第２光学部品７に結合した光を測定することによって、第１光学部品５の特性を測定する。光学部品特性測定器３２は、第１光学部品５の特性に関する信号を制御部３６に出力する。こうして、第１光学部品５の特性が測定される。
【0120】
第１光学部品５の特性を測定している間、第１光学部品５は液冷式冷却器１１によって冷却されている。液冷式冷却器１１のパイプに冷却液が流れることによって、液冷式冷却器１１がベース１０の上面１０ａに垂直な方向（Ｙ方向）に微小振動して、図１６に示されるように、第１光学部品５の位置が当該方向に変位することがある。しかし、本実施の形態では、第２光学部品７は、コリメートレンズ１４によって得られるコリメート光を介して、第１光学部品５に光学的に結合している。そのため、第１光学部品５の位置がベース１０の上面１０ａに垂直な方向（Ｙ方向）に変位しても、第１光学部品５から第２光学部品７への光結合効率の変化が抑制される。
【0121】
第１光学部品５を選別するステップ（Ｓ４３）では、制御部３６は、光学部品特性測定器３２から、第１光学部品５の特性に関する信号を受信する。制御部３６は、第１光学部品５の特性に基づいて、第１光学部品５が良品であるか不良品であるかを判定する。
【0122】
（変形例）
第１光学部品５は、レーザダイオード６とレーザダイオード６に光学的に結合されたレンズ（例えば、集光レンズ２６）とを含む発光モジュールであってもよい。第１光学部品５は発光素子に限られず、受動光学素子であってもよい。第１光学部品５が受動光学素子である場合には、第１光学部品５とは別に、第１光学部品５に入力される光を放射する発光素子が設けられ、当該発光素子から出力された光を用いて、第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整が行われる。
第１光学部品５は、レーザダイオード６とレーザダイオード６に光学的に結合されたレンズ（例えば、集光レンズ２６）とを含む発光モジュールであってもよい。第１光学部品５は発光素子に限られず、受動光学素子であってもよい。第１光学部品５が受動光学素子である場合には、第１光学部品５とは別に、第１光学部品５に入力される光を放射する発光素子が設けられ、当該発光素子から出力された光を用いて、第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整が行われる。
【0123】
本実施の形態では、第１ステージ１２が固定ステージであり、第２ステージ２０がＸステージ２１、Ｙステージ２２、θＸステージ２３及びθＹステージ２４を含む可動ステージであるが、第１光学部品５と第２光学部品７の相対配置を調整することができる構成である限りいかなる構成を採用してもよい。例えば、第１ステージ１２がＸステージ２１、Ｙステージ２２、θＸステージ２３及びθＹステージ２４を含む可動ステージであり、第２ステージ２０が固定ステージであってもよい。また、第１ステージ１２がＸステージ２１及びＹステージ２２を含む可動ステージであり、第２ステージ２０がθＸステージ２３及びθＹステージ２４を含む可動ステージであってもよい。
【0124】
第２光学部品７はコリメート光を介して第１光学部品５に光学的に結合するため、第１光学部品５から第２光学部品７への光結合効率は、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対位置よりも、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対角度に敏感である。そのため、Ｘ軸まわりの相対角度及びＹ軸まわりの相対角度についてだけ光軸調整を行ってもよい。
【0125】
本実施の形態の光軸調整装置１、光学部品の検査装置２及び光軸調整方法の効果を説明する。
【0126】
本実施の形態の光軸調整装置１は、第１ステージ１２と、液冷式冷却器１１と、コリメートレンズ１４と、集光レンズ２６と、第２ステージ２０と、光検出器３１と、角度調整部（例えば、θＸステージコントローラ３４ｃ、θＹステージコントローラ３４ｄ及び制御部３６）とを備える。第１ステージ１２は、第１光学部品５を支持する。液冷式冷却器１１は、第１ステージ１２を冷却する。コリメートレンズ１４は、第１光学部品５から出力された光をコリメート光に変換する。集光レンズ２６は、コリメート光を第２光学部品７に集光する。第２ステージ２０は、第２光学部品７を支持する。光検出器３１は、第１光学部品５から第２光学部品７に結合した光の強度を測定する。角度調整部は、第１ステージ１２または第２ステージ２０の少なくとも一つに接続されており、かつ、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対角度を調整する。
【0127】
本実施の形態では、第１ステージ１２は第１光学部品５を支持し、液冷式冷却器１１は第１ステージ１２を冷却するため、液冷式冷却器１１を用いて第１光学部品５を冷却することができる。第２光学部品７は、コリメートレンズ１４によって得られるコリメート光を介して、第１光学部品５に光学的に結合している。そのため、液冷式冷却器１１のパイプに冷却液が流れることによって液冷式冷却器１１が微小振動しても、第１光学部品５から第２光学部品７への光結合効率の変化が抑制される。第１光学部品５から第２光学部品７への光結合が安定化するため、第１光学部品５を液冷式冷却器１１で冷却しながら、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対角度をより短時間で調整することができる。
【0128】
本実施の形態の光軸調整装置１は、位置調整部（例えば、Ｘステージコントローラ３４ａ、Ｙステージコントローラ３４ｂ及び制御部３６）をさらに備える。位置調整部は、第１ステージ１２または第２ステージ２０の少なくとも一つに接続されており、かつ、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対位置を調整する。
【0129】
本実施の形態では、第２光学部品７は、コリメートレンズ１４によって得られるコリメート光を介して、第１光学部品５に光学的に結合している。そのため、液冷式冷却器１１のパイプに冷却液が流れることによって液冷式冷却器１１が微小振動しても、第１光学部品５から第２光学部品７への光結合効率の変化が抑制される。第１光学部品５から第２光学部品７への光結合が安定化するため、第１光学部品５を液冷式冷却器１１で冷却しながら、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対位置をより短時間で調整することができる。
【0130】
本実施の形態の光学部品の検査装置２は、本実施の形態の光軸調整装置１と、光学部品特性測定器３２とを備える。光学部品特性測定器３２は、第２光学部品７に光学的に接続されており、かつ、第１光学部品５の特性を測定する。
【0131】
本実施の形態では、第２光学部品７は、コリメートレンズ１４によって得られるコリメート光を介して、第１光学部品５に光学的に結合している。そのため、液冷式冷却器１１のパイプに冷却液が流れることによって液冷式冷却器１１が微小振動しても、第１光学部品５から第２光学部品７への光結合効率の変化が抑制される。第１光学部品５から第２光学部品７への光結合が安定化するため、第１光学部品５を液冷式冷却器１１で冷却しながら、第１光学部品５をより短時間で検査することができる。
【0132】
本実施の形態の光学部品の検査装置２では、第１光学部品５はレーザダイオード６である。第２光学部品７は光ファイバ８である。第１光学部品５の特性は、レーザダイオード６の光学的特性または電気的特性である。
【0133】
そのため、レーザダイオード６の低温検査をより短時間で行うことができる。
本実施の形態の光軸調整方法は、コリメートレンズ１４と集光レンズ２６とに対して第１光学部品５と第２光学部品７とを配置するステップ（Ｓ１）を備える。コリメートレンズ１４は、第１光学部品５から出力された光をコリメート光に変換する。集光レンズ２６は、コリメート光を第２光学部品７に集光する。第１光学部品５は、液冷式冷却器１１によって冷却される。本実施の形態の光軸調整方法は、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対角度を変化させながら、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度が最大となる最大光強度相対角度を探索するステップ（例えば、ステップＳ１１のうちＸ軸まわりの相対角度の粗調整、ステップＳ１２のうちＹ軸まわりの相対角度の粗調整、ステップＳ２１及びＳ２３）を備える。
本実施の形態の光軸調整方法は、コリメートレンズ１４と集光レンズ２６とに対して第１光学部品５と第２光学部品７とを配置するステップ（Ｓ１）を備える。コリメートレンズ１４は、第１光学部品５から出力された光をコリメート光に変換する。集光レンズ２６は、コリメート光を第２光学部品７に集光する。第１光学部品５は、液冷式冷却器１１によって冷却される。本実施の形態の光軸調整方法は、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対角度を変化させながら、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度が最大となる最大光強度相対角度を探索するステップ（例えば、ステップＳ１１のうちＸ軸まわりの相対角度の粗調整、ステップＳ１２のうちＹ軸まわりの相対角度の粗調整、ステップＳ２１及びＳ２３）を備える。
【0134】
最大光強度相対角度を探索するステップは、第１相対角度から第２相対角度まで第１設定走査条件で相対角度を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第１相対角度から第２相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第１最大光強度相対角度を求めるステップと、第２相対角度から第１相対角度まで第１設定走査条件と走査方向以外が同一である第２設定走査条件で相対角度を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第２相対角度から第１相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第２最大光強度相対角度を求めるステップと、第１最大光強度相対角度と第２最大光強度相対角度との中央角度を最大光強度相対角度として算出するステップとを含む。
【0135】
本実施の形態では、第２光学部品７は、コリメートレンズ１４によって得られるコリメート光を介して、第１光学部品５に光学的に結合している。そのため、液冷式冷却器１１のパイプに冷却液が流れることによって液冷式冷却器１１が微小振動しても、第１光学部品５から第２光学部品７への光結合効率の変化が抑制される。第１光学部品５から第２光学部品７への光結合が安定化するため、第１光学部品５を液冷式冷却器１１で冷却しながら、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対角度をより短時間で調整することができる。
【0136】
また、第２光学部品７はコリメート光を介して第１光学部品５に光学的に結合するため、第１光学部品５から第２光学部品７への光結合効率は、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対位置よりも、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対角度に敏感である。本実施の形態によれば、第１光学部品５から第２光学部品７への光結合効率により大きな影響を及ぼす第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対角度をより短時間で調整することができる。
【0137】
また、本実施の形態では、走査速度が一定であると仮定することによって求めた第１最大光強度相対角度及び第２最大光強度相対角度から、最大光強度相対角度を算出している。そのため、本実施の形態の光軸調整方法は、光軸調整装置１の構成を単純化することができる。また、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対角度を広範囲にわたって探索することができる。狭い探索範囲に起因する光軸調整のやり直しを防止することができて、光軸の調整効率が向上する。
【0138】
本実施の形態の光軸調整方法は、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対位置を変化させながら、第１光学部品５から第２光学部品７に結合する光の強度が最大となる最大光強度相対位置を探索するステップ（例えば、Ｓ２２及びＳ２４）をさらに備える。
【0139】
最大光強度相対位置を探索するステップは、第１相対位置から第２相対位置まで第３設定走査条件で相対位置を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第１相対角度から第２相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第１最大光強度相対位置を求めるステップと、第２相対位置から第１相対位置まで第３設定走査条件と走査方向以外が同一である第４設定走査条件で相対位置を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第２相対角度から第１相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第２最大光強度相対位置を求めるステップと、第１最大光強度相対位置と第２最大光強度相対位置の中央位置を最大光強度相対位置として算出するステップとを含む。
【0140】
本実施の形態では、第２光学部品７は、コリメートレンズ１４によって得られるコリメート光を介して、第１光学部品５に光学的に結合している。そのため、液冷式冷却器１１のパイプに冷却液が流れることによって液冷式冷却器１１が微小振動しても、第１光学部品５から第２光学部品７への光結合効率の変化が抑制される。第１光学部品５から第２光学部品７への光結合が安定化するため、第１光学部品５を液冷式冷却器１１で冷却しながら、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対位置をより短時間で調整することができる。
【0141】
また、本実施の形態では、走査速度が一定であると仮定することによって求めた第１最大光強度相対位置及び第２最大光強度相対位置から、最大光強度相対位置を算出している。そのため、本実施の形態の光軸調整方法は、光軸調整装置１の構成を単純化することができる。また、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対位置を広範囲にわたって探索することができる。狭い探索範囲に起因する光軸調整のやり直しを防止することができて、光軸の調整効率が向上する。
【0142】
【0143】
本実施の形態の光軸調整装置１は、光学部品位置決め機構４０と、駆動部コントローラ３７とをさらに備える。光学部品位置決め機構４０は、例えば、駆動部４１と、押さえ部材４２とを含む。
【0144】
駆動部４１は、押さえ部材４２を移動させる。駆動部４１は、例えば、シリンダである。駆動部４１は、駆動部コントローラ３７に接続されている。駆動部コントローラ３７は、制御部３６に接続されている。制御部３６は、駆動部コントローラ３７に対して指令信号を出力して、駆動部コントローラ３７から駆動部４１に指令信号を出力させる。駆動部コントローラ３７は、制御部３６からの指令信号により指示された駆動条件に従い、駆動部４１を駆動させる。こうして、制御部３６は、駆動部４１を制御して、押さえ部材４２を移動させる。
【0145】
押さえ部材４２は、第１光学部品５を押圧する。第１ステージ１２は、載置面１２ａから突出する突出部材１３を含む。突出部材１３は、第１光学部品５に当接し得て、第１光学部品５の位置と第１光学部品５の向きとを定める。突出部材１３は、例えば、壁または複数の突起などである。本実施の形態では、突出部材１３は、第１光学部品５のうち第２光学部品７に対向する面に当接し得る壁である。第１光学部品５が突出部材１３に当接すると、第１光学部品５のＺ軸方向の位置と第１光学部品５の向きとが定まる。
【0146】
図１７から図１９を参照して、実施の形態２の光学部品の検査装置２を説明する。本実施の形態の光学部品の検査装置２は、実施の形態１の光学部品の検査装置２と同様の構成を備えているが、実施の形態１の光軸調整装置１に代えて、本実施の形態の光軸調整装置１を備えている。
【0147】
図２０を参照して、実施の形態２の光軸調整方法を説明する。本実施の形態の光軸調整方法は、実施の形態１の光軸調整方法と同様のステップを備えるが、初期設定ステップ（Ｓ１）と粗調整ステップ（Ｓ１０）との間に、位置決めステップ（Ｓ２）をさらに備える点で異なる。位置決めステップ（Ｓ２）は、粗調整ステップ（Ｓ１０）の前に実行される。
【0148】
位置決めステップ（Ｓ２）では、制御部３６は、駆動部コントローラ３７を介して駆動部４１を制御して、駆動部４１を動作させる。駆動部４１は、押さえ部材４２を、第１光学部品５に向けて移動させる。押さえ部材４２は、第１光学部品５に接触する。押さえ部材４２は、第１光学部品５を押圧して、第１光学部品５を第１ステージ１２の突出部材１３に当接させる。こうして、第１光学部品５のＺ軸方向の位置と第１光学部品５の向きとが定まる。駆動部４１は、押さえ部材４２を、第１光学部品５から離れるように移動させる。押さえ部材４２が第１光学部品５から離れた後に、制御部３６は、駆動部４１を制御して、駆動部４１を停止させる。
【0149】
突出部材１３は、第１光学部品５のＸ軸方向の位置を定めてもよいし、第１光学部品５のＺ軸方向の位置と第１光学部品５のＸ軸方向の位置とを定めてもよい。
【0150】
図１５を参照して、本実施の形態の光学部品の検査方法は、実施の形態１の光学部品の検査方法と同様のステップを備えているが、本実施の形態の光学部品の検査方法は、光軸調整ステップ（Ｓ４１）が図２０に示される位置決めステップ（Ｓ２）をさらに含む点で、実施の形態１の光学部品の検査方法と異なっている。
【0151】
本実施の形態の光軸調整装置１、光学部品の検査装置２及び光軸調整方法は、実施の形態１の光軸調整装置１、光学部品の検査装置２及び光軸調整方法の効果に加えて、以下の効果を説明する。
【0152】
本実施の形態の光軸調整装置１は、光学部品位置決め機構４０をさらに備える。第１ステージ１２は、第１光学部品５が載置される載置面１２ａと、載置面１２ａから突出する突出部材１３とを含む。光学部品位置決め機構４０は、第１光学部品５を突出部材１３に当接させる。
【0153】
第１光学部品５が突出部材１３に当接すると、第１光学部品５の向きが定まる。そのため、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置の探索範囲を減少させることができる。第１光学部品５を冷却しながら、第１光学部品５に対する第２光学部品７の光軸調整をより短時間で行うことができる。
【0154】
本実施の形態の光学部品の検査装置２は、本実施の形態の光軸調整装置１と、光学部品特性測定器３２とを備える。光学部品特性測定器３２は、第２光学部品７に光学的に接続されており、かつ、第１光学部品５の特性を測定する。
【0155】
第１光学部品５が突出部材１３に当接すると、第１光学部品５の向きが定まる。そのため、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置の探索範囲を減少させることができる。第１光学部品５を冷却しながら、第１光学部品５をより短時間で検査することができる。
【0156】
本実施の形態の光軸調整方法は、第１光学部品５を位置決めするステップ（Ｓ２）をさらに備える。第１光学部品５は、ステージ（第１ステージ１２）に支持されている。ステージは、第１光学部品５が載置される載置面１２ａと、載置面１２ａから突出する突出部材１３とを含む。液冷式冷却器１１は、ステージに接続されている。第１光学部品５を位置決めするステップ（Ｓ２）は、第１光学部品５を突出部材１３に当接させることを含む。
【0157】
第１光学部品５が突出部材１３に当接すると、第１光学部品５の向きが定まる。そのため、第１光学部品５に対する第２光学部品７の相対配置の探索範囲を減少させることができる。第１光学部品５を冷却しながら、第１光学部品５に対する第２光学部品７の光軸調整をより短時間で行うことができる。
【0158】
実施の形態３．
図１５、図２１及び図２２を参照して、実施の形態３の光学部品の製造方法を説明する。本実施の形態の光学部品の製造方法は、第１光学部品５を製造する方法である。本実施の形態の光学部品の製造方法は、光学部品形成工程（Ｓ５１）と、光学部品検査工程（Ｓ５２）とを備える。
図１５、図２１及び図２２を参照して、実施の形態３の光学部品の製造方法を説明する。本実施の形態の光学部品の製造方法は、第１光学部品５を製造する方法である。本実施の形態の光学部品の製造方法は、光学部品形成工程（Ｓ５１）と、光学部品検査工程（Ｓ５２）とを備える。
【0159】
光学部品形成工程（Ｓ５１）は、第１光学部品５を形成するステップである。図２２を参照して、第１光学部品５がレーザダイオードである場合の光学部品形成工程（Ｓ５１）を説明する。光学部品形成工程（Ｓ５１）は、半導体層形成工程（Ｓ５５）と、電極形成工程（Ｓ５６）と、チップ分離工程（Ｓ５７）とを含む。
【0160】
半導体層形成工程（Ｓ５５）では、半導体ウエハのようなウエハ上に、発光層を含む半導体層を形成する。ウエハと半導体層とを含む積層体が得られる。半導体層は、例えば、有機金属気相成長（ＭＯＣＶＤ）法または分子線エピタキシー（ＭＢＥ）法などによって形成される。
【0161】
電極形成工程（Ｓ５６）では、蒸着法等によって、半導体層上にｐ型電極及びｎ型電極を形成する。ｐ型電極及びｎ型電極のうちの一つは、ウエハ上に形成されてもよい。
【0162】
チップ分離工程（Ｓ５７）では、積層体を、複数のチップに分割する。複数のチップの各々が、第１光学部品５としてのレーザダイオードである。
【0163】
図２１を参照して、光学部品検査工程（Ｓ５２）では、光学部品形成工程（Ｓ５１）において形成された第１光学部品５を検査する。光学部品検査工程（Ｓ５２）は、図１５に示される実施の形態１または実施の形態２の光学部品の検査方法である。具体的には、光学部品検査工程（Ｓ５２）は、図１５に示されるように、第１光学部品５と第２光学部品７との間の光軸調整を行うステップ（Ｓ４１）と、第１光学部品５の特性を測定するステップ（Ｓ４２）と、第１光学部品５を選別するステップ（Ｓ４３）とを含む。
【0164】
本実施の形態の光学部品の製造方法の効果を説明する。
本実施の形態の光学部品の製造方法は、第１光学部品５を形成するステップ（Ｓ５１）と、第１光学部品５を検査するステップ（Ｓ５２）とを備える。第１光学部品５を検査するステップ（Ｓ５２）は、実施の形態１または実施の形態２の光軸調整方法を行うステップ（Ｓ４１）と、第１光学部品５の特性を測定するステップ（Ｓ４２）とを含む。
本実施の形態の光学部品の製造方法は、第１光学部品５を形成するステップ（Ｓ５１）と、第１光学部品５を検査するステップ（Ｓ５２）とを備える。第１光学部品５を検査するステップ（Ｓ５２）は、実施の形態１または実施の形態２の光軸調整方法を行うステップ（Ｓ４１）と、第１光学部品５の特性を測定するステップ（Ｓ４２）とを含む。
【0165】
そのため、第１光学部品５を冷却しながら、第１光学部品５をより短時間で検査することができる。第１光学部品５の生産性が向上する。
【0166】
以下、本開示の諸態様を付記としてまとめて記載する。
（付記１）
第１光学部品を支持する第１ステージと、
第１ステージを冷却する液冷式冷却器と、
第１光学部品から出力された光をコリメート光に変換するコリメートレンズと、
コリメート光を第２光学部品に集光する集光レンズと、
第２光学部品を支持する第２ステージと、
第１光学部品から第２光学部品に結合した光の強度を測定する光検出器と、
第１ステージまたは第２ステージの少なくとも一つに接続されており、かつ、第１光学部品に対する第２光学部品の相対角度を調整する角度調整部とを備える、光軸調整装置。
（付記２）
第１ステージまたは第２ステージの少なくとも一つに接続されており、かつ、第１光学部品に対する第２光学部品の相対位置を調整する位置調整部をさらに備える、付記１に記載の光軸調整装置。
（付記３）
光学部品位置決め機構をさらに備え、
第１ステージは、第１光学部品が載置される載置面と、載置面から突出する突出部材とを含み、
光学部品位置決め機構は、第１光学部品を突出部材に当接させる、付記１または付記２に記載の光軸調整装置。
（付記４）
付記１から付記３のいずれかに記載の光軸調整装置と、
第２光学部品に光学的に接続されており、かつ、第１光学部品の特性を測定する光学部品特性測定器とを備える、光学部品の検査装置。
（付記５）
第１光学部品はレーザダイオードであり、
第２光学部品は光ファイバであり、
第１光学部品の特性は、レーザダイオードの光学的特性または電気的特性である、付記４に記載の光学部品の検査装置。
（付記６）
コリメートレンズと集光レンズとに対して第１光学部品と第２光学部品とを配置するステップを備え、コリメートレンズは第１光学部品から出力された光をコリメート光に変換し、集光レンズはコリメート光を第２光学部品に集光し、第１光学部品は液冷式冷却器によって冷却され、
第１光学部品に対する第２光学部品の相対角度を変化させながら、第１光学部品から第２光学部品に結合する光の強度が最大となる最大光強度相対角度を探索するステップを備え、
最大光強度相対角度を探索するステップは、
第１相対角度から第２相対角度まで第１設定走査条件で相対角度を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第１相対角度から第２相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第１最大光強度相対角度を求めるステップと、
第２相対角度から第１相対角度まで第１設定走査条件と走査方向以外が同一である第２設定走査条件で相対角度を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第２相対角度から第１相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第２最大光強度相対角度を求めるステップと、
第１最大光強度相対角度と第２最大光強度相対角度との中央角度を最大光強度相対角度として算出するステップとを含む、光軸調整方法。
（付記７）
第１光学部品に対する第２光学部品の相対位置を変化させながら、第１光学部品から第２光学部品に結合する光の強度が最大となる最大光強度相対位置を探索するステップをさらに備え、
最大光強度相対位置を探索するステップは、
第１相対位置から第２相対位置まで第３設定走査条件で相対位置を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第１相対角度から第２相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第１最大光強度相対位置を求めるステップと、
第２相対位置から第１相対位置まで第３設定走査条件と走査方向以外が同一である第４設定走査条件で相対位置を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第２相対角度から第１相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第２最大光強度相対位置を求めるステップと、
第１最大光強度相対位置と第２最大光強度相対位置の中央位置を最大光強度相対位置として算出するステップとを含む、付記６に記載の光軸調整方法。
（付記８）
第１光学部品を位置決めするステップをさらに備え、
第１光学部品は、ステージに支持されており、ステージは、第１光学部品が載置される載置面と、載置面から突出する突出部材とを含み、
液冷式冷却器は、ステージに接続されており、
第１光学部品を位置決めするステップは、第１光学部品を突出部材に当接させることを含む、付記６または付記７に記載の光軸調整方法。
（付記９）
第１光学部品を形成するステップと、
第１光学部品を検査するステップとを備え、
第１光学部品を検査するステップは、付記６から付記８のいずれかに記載の光軸調整方法を行うステップと、第１光学部品の特性を測定するステップとを含む、光学部品の製造方法。
（付記１）
第１光学部品を支持する第１ステージと、
第１ステージを冷却する液冷式冷却器と、
第１光学部品から出力された光をコリメート光に変換するコリメートレンズと、
コリメート光を第２光学部品に集光する集光レンズと、
第２光学部品を支持する第２ステージと、
第１光学部品から第２光学部品に結合した光の強度を測定する光検出器と、
第１ステージまたは第２ステージの少なくとも一つに接続されており、かつ、第１光学部品に対する第２光学部品の相対角度を調整する角度調整部とを備える、光軸調整装置。
（付記２）
第１ステージまたは第２ステージの少なくとも一つに接続されており、かつ、第１光学部品に対する第２光学部品の相対位置を調整する位置調整部をさらに備える、付記１に記載の光軸調整装置。
（付記３）
光学部品位置決め機構をさらに備え、
第１ステージは、第１光学部品が載置される載置面と、載置面から突出する突出部材とを含み、
光学部品位置決め機構は、第１光学部品を突出部材に当接させる、付記１または付記２に記載の光軸調整装置。
（付記４）
付記１から付記３のいずれかに記載の光軸調整装置と、
第２光学部品に光学的に接続されており、かつ、第１光学部品の特性を測定する光学部品特性測定器とを備える、光学部品の検査装置。
（付記５）
第１光学部品はレーザダイオードであり、
第２光学部品は光ファイバであり、
第１光学部品の特性は、レーザダイオードの光学的特性または電気的特性である、付記４に記載の光学部品の検査装置。
（付記６）
コリメートレンズと集光レンズとに対して第１光学部品と第２光学部品とを配置するステップを備え、コリメートレンズは第１光学部品から出力された光をコリメート光に変換し、集光レンズはコリメート光を第２光学部品に集光し、第１光学部品は液冷式冷却器によって冷却され、
第１光学部品に対する第２光学部品の相対角度を変化させながら、第１光学部品から第２光学部品に結合する光の強度が最大となる最大光強度相対角度を探索するステップを備え、
最大光強度相対角度を探索するステップは、
第１相対角度から第２相対角度まで第１設定走査条件で相対角度を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第１相対角度から第２相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第１最大光強度相対角度を求めるステップと、
第２相対角度から第１相対角度まで第１設定走査条件と走査方向以外が同一である第２設定走査条件で相対角度を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第２相対角度から第１相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第２最大光強度相対角度を求めるステップと、
第１最大光強度相対角度と第２最大光強度相対角度との中央角度を最大光強度相対角度として算出するステップとを含む、光軸調整方法。
（付記７）
第１光学部品に対する第２光学部品の相対位置を変化させながら、第１光学部品から第２光学部品に結合する光の強度が最大となる最大光強度相対位置を探索するステップをさらに備え、
最大光強度相対位置を探索するステップは、
第１相対位置から第２相対位置まで第３設定走査条件で相対位置を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第１相対角度から第２相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第１最大光強度相対位置を求めるステップと、
第２相対位置から第１相対位置まで第３設定走査条件と走査方向以外が同一である第４設定走査条件で相対位置を変化させながら、走査時間と光の強度との関係を取得し、第２相対角度から第１相対角度まで走査速度が一定であると仮定した場合の第２最大光強度相対位置を求めるステップと、
第１最大光強度相対位置と第２最大光強度相対位置の中央位置を最大光強度相対位置として算出するステップとを含む、付記６に記載の光軸調整方法。
（付記８）
第１光学部品を位置決めするステップをさらに備え、
第１光学部品は、ステージに支持されており、ステージは、第１光学部品が載置される載置面と、載置面から突出する突出部材とを含み、
液冷式冷却器は、ステージに接続されており、
第１光学部品を位置決めするステップは、第１光学部品を突出部材に当接させることを含む、付記６または付記７に記載の光軸調整方法。
（付記９）
第１光学部品を形成するステップと、
第１光学部品を検査するステップとを備え、
第１光学部品を検査するステップは、付記６から付記８のいずれかに記載の光軸調整方法を行うステップと、第１光学部品の特性を測定するステップとを含む、光学部品の製造方法。
【0167】
今回開示された実施の形態１－３及びそれらの変形例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は、上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。
【符号の説明】
【0168】
１ 光軸調整装置、２ 検査装置、５ 第１光学部品、６ レーザダイオード、７ 第２光学部品、８ 光ファイバ、８ａ コア、８ｂ クラッド、１０ ベース、１０ａ 上面、１１ 液冷式冷却器、１２ 第１ステージ、１２ａ 載置面、１３ 突出部材、１４ コリメートレンズ、１５ 第１ホルダ、１６ 冷却液循環装置、１７ 駆動電源、２０ 第２ステージ、２１ Ｘステージ、２２ Ｙステージ、２３ θＸステージ、２４ θＹステージ、２５ ステージ駆動部、２６ 集光レンズ、２７ 第２ホルダ、３０ 光スイッチ、３１ 光検出器、３２ 光学部品特性測定器、３４ ステージコントローラ、３５ Ａ／Ｄ変換器、３６ 制御部、３７ 駆動部コントローラ、４０ 光学部品位置決め機構、４１ 駆動部、４２ 押さえ部材、１０１ｅ，１０１ｓ，１０２ｅ，１０２ｓ，１０３ｅ，１０３ｓ，１０４ｅ，１０４ｓ，１０５ｅ，１０５ｓ，１０６ｅ，１０６ｓ，１１１ｅ，１１１ｓ，１１２ｅ，１１２ｓ，１１３ｅ，１１３ｓ，１１４ｅ，１１４ｓ，１１５ｅ，１１５ｓ，１１６ｅ，１１６ｓ 相対配置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】