特開 2024-168054 リニアアクチュエータ及び移動プラットフォーム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024168054

(43)【公開日】2024-12-05

(54)【発明の名称】リニアアクチュエータ及び移動プラットフォーム

(51)【国際特許分類】

   H02K 41/03 20060101AFI20241128BHJP

   G09B 9/00 20060101ALI20241128BHJP

【ＦＩ】

H02K41/03 A

G09B9/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023084447

(22)【出願日】2023-05-23

(71)【出願人】

【識別番号】000004330

【氏名又は名称】日本無線株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100161207

【弁理士】

【氏名又は名称】西澤 和純

(74)【代理人】

【識別番号】100196689

【弁理士】

【氏名又は名称】鎌田 康一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100189348

【弁理士】

【氏名又は名称】古都 智

(74)【代理人】

【識別番号】100206391

【弁理士】

【氏名又は名称】柏野 由布子

(72)【発明者】

【氏名】小川 慶太朗

(72)【発明者】

【氏名】吉原 拓実

【テーマコード（参考）】

5H641

【Ｆターム（参考）】

5H641BB06

5H641BB16

5H641GG03

5H641HH02

5H641JA02

5H641JA09

5H641JB04

(57)【要約】

【課題】コイル部の放熱を効率よく行うことが可能なリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】リニアアクチュエータ４は、コイル部１１、及び、コイル部１１に対して一方向に移動可能とされた磁石部１２を有するリニアモータ１０と、コイル部１１が固定された第一ケース部２１、及び、磁石部１２が固定された第二ケース部２２を含み、コイル部１１及び磁石部１２を収容するケース２０と、を備える。第一ケース部２１と第二ケース部２２とは、一方向に相対的に移動可能に連結される。第二ケース部２２に、コイル部１１をケース２０の外側に露出させる開口２３，２４が形成されている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

コイル部、及び、前記コイル部に対して一方向に移動可能とされた磁石部を有するリニアモータと、
前記コイル部が固定された第一ケース部、及び、前記磁石部が固定された第二ケース部を含み、前記コイル部及び前記磁石部を収容するケースと、を備え、
前記第一ケース部と前記第二ケース部とは、前記一方向に相対的に移動可能に連結され、
前記第一ケース部及び前記第二ケース部の少なくとも一方に、前記コイル部を前記ケースの外側に露出させる開口が形成されているリニアアクチュエータ。

【請求項2】

前記開口を通して前記ケースの内外に空気を流す送風機を備える請求項１に記載のリニアアクチュエータ。

【請求項3】

前記開口に配置されるエアフィルタを備える請求項１又は請求項２に記載のリニアアクチュエータ。

【請求項4】

前記第一ケース部と前記第二ケース部との間には、前記第一ケース部と前記第二ケース部とが前記一方向にずれて位置した状態で、前記ケースの内部空間が前記ケースの外側につながる隙間開口が形成され、
前記隙間開口を覆うように前記第一ケース部と前記第二ケース部とにわたって設けられ、前記前記一方向に伸縮可能である伸縮カバーを備える請求項１又は請求項２に記載のリニアアクチュエータ。

【請求項5】

ベースと、
ベースの上方に配置されるプラットフォームと、
前記ベースと前記プラットフォームとを連結する複数の請求項１又は請求項２に記載のリニアアクチュエータと、を備え、
複数の前記リニアアクチュエータが伸縮することで前記プラットフォームが前記ベースに対して６自由度で運動する移動プラットフォーム。

【請求項6】

前記ケースの前記開口が、前記ベース側に向いている請求項５に記載の移動プラットフォーム。

【請求項7】

前記第一ケース部及び前記第二ケース部のうち前記開口を有する一方のケース部が、前記プラットフォームに取り付けられ、
前記第一ケース部及び前記第二ケース部のうち他方のケース部が、前記ベースに取り付けられる請求項５に記載の移動プラットフォーム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、リニアアクチュエータ及び移動プラットフォームに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、プラットフォーム（上部プラットフォーム）をベース（下部フレーム）上において６自由度で運動させる移動プラットフォームが開示されている。特許文献１の移動プラットフォームでは、プラットフォームをベース上で運動させるアクチュエータとして、リニアモータを含むリニアアクチュエータが採用されている。特許文献１のリニアアクチュエータでは、リニアモータのコイル部（コイルアレイ）がケースの内側に密閉されている。また、当該ケースの外面には、ケース内部の熱をケースの外側の空間に放散するためのフィンが設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２００４／０７５３８２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１のリニアアクチュエータでは、リニアモータのコイル部がケースの内側に密閉されているため、ケースの外面にフィンが設けられているだけでは、リニアモータのコイル部の放熱が不十分である。コイル部の放熱が不十分であることで、リニアアクチュエータ及びこれを備える移動プラットフォームを長時間継続して使用することが難しい。

【0005】

本発明は、上述した事情に鑑みたものであって、コイル部の放熱を効率よく行うことが可能なリニアアクチュエータ及びこれを備えた移動プラットフォームを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様によるリニアアクチュエータは、コイル部、及び、前記コイル部に対して一方向に移動可能とされた磁石部を有するリニアモータと、前記コイル部が固定された第一ケース部、及び、前記磁石部が固定された第二ケース部を含み、前記コイル部及び前記磁石部を収容するケースと、を備える。前記第一ケース部と前記第二ケース部とは、前記一方向に相対的に移動可能に連結される。前記第一ケース部及び前記第二ケース部の少なくとも一方に、前記コイル部を前記ケースの外側に露出させる開口が形成されている。

【0007】

本発明の一態様による移動プラットフォームは、ベースと、ベースの上方に配置されるプラットフォームと、前記ベースと前記プラットフォームとを連結する複数の前記リニアアクチュエータと、を備える。複数の前記リニアアクチュエータが伸縮することで前記プラットフォームが前記ベースに対して６自由度で運動する。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、リニアアクチュエータのコイル部の放熱を効率よく行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の第一実施形態に係る移動プラットフォームを上側から見た斜視図である。

【図2】図１の移動プラットフォームを下側から見た斜視図である。

【図3】図１、図２の移動プラットフォームに備えるリニアアクチュエータを示す斜視図である。

【図4】図３のリニアアクチュエータを示す断面図である。

【図5】図３、図４のリニアアクチュエータの分解斜視図である。

【図6】本発明の第二実施形態に係る移動プラットフォームの要部を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

〔第一実施形態〕
以下、図１～図５を参照して本発明の第一実施形態について説明する。
本実施形態に係る移動プラットフォームは、ドライビングシミュレータ、フライトシミュレータなどに用いられる。図１、図２に示すように、移動プラットフォーム１は、ベース２と、プラットフォーム３と、複数のリニアアクチュエータ４と、を備える。

【0011】

ベース２は、移動プラットフォーム１の設置面に載置される。なお、ベース２は、例えば設置面と一体とされてもよい。
プラットフォーム３は、ベース２の上方に配置される。プラットフォーム３上には、ドライビングシミュレータ用の運転席や自動車、フライトシミュレータ用の操縦室などが設けられる。

【0012】

複数のリニアアクチュエータ４は、ベース２とプラットフォーム３とを連結する。各リニアアクチュエータ４は、所定の直線方向Ｄ１（一方向Ｄ１）に伸縮可能である。一方向Ｄ１における各リニアアクチュエータ４の第一端は、第一コネクタ５１を介してベース２に接続される。各リニアアクチュエータ４の第二端は、第二コネクタ５２を介してプラットフォーム３に接続される。第一、第二コネクタ５１，５２は、それぞれリニアアクチュエータ４をベース２、プラットフォーム３に対して回転自在に接続する。これら複数のリニアアクチュエータ４が適宜伸縮することで、プラットフォーム３がベース２に対して６自由度で運動する。すなわち、プラットフォーム３が、ベース２に対して互いに直交する３つの直線方向にそれぞれ平行移動する、すなわち、前後方向、左右方向、上下方向の並進運動をする。また、プラットフォーム３は、ベース２に対して互いに直交する３つの軸線回りに回転する、すなわち、ロール、ピッチ、ヨーの回転運動をする。
本実施形態の移動プラットフォーム１は、リニアアクチュエータ４を６つ備えるヘキサポッドである。

【0013】

次に、本実施形態に係るリニアアクチュエータ４の具体的な構成について説明する。
図３～図５に示すように、リニアアクチュエータ４は、リニアモータ１０と、ケース２０と、を備える。

【0014】

リニアモータ１０は、コイル部１１及び磁石部１２を有する。磁石部１２は、コイル部１１への通電に応じてコイル部１１に対して所定の直線方向Ｄ１（一方向Ｄ１）に移動可能となっている。本実施形態のリニアモータ１０は、ロッド方式のリニアモータ１０である。このため、コイル部１１は一方向Ｄ１に延びる筒状に形成されている。また、磁石部１２は一方向Ｄ１に延びてコイル部１１に挿通されるロッド状に形成されている。

【0015】

ケース２０は、上記したリニアモータ１０のコイル部１１及び磁石部１２を収容する。ケース２０は、コイル部１１が固定された第一ケース部２１、及び、磁石部１２が固定された第二ケース部２２を含む。

【0016】

本実施形態の第一ケース部２１は、第一ベース壁部２１１と、２つの第一側壁部２１２と、１つの第一端壁部２１３と、を含む。第一ベース壁部２１１は、平面視で一方向Ｄ１を長手方向とする長方形の板状に形成されている（図１参照）。２つの第一側壁部２１２は、平面視した第一ベース壁部２１１の短手方向の両端に設けられ、それぞれ板厚方向の一方側に向く第一ベース壁部２１１の主面２１１ａ（第一主面２１１ａ）から突出する。２つの第一側壁部２１２は、それぞれ第一ベース壁部２１１の長手方向全体にわたって設けられている。１つの第一端壁部２１３は、平面視した第一ベース壁部２１１の長手方向の一端に設けられ、第一ベース壁部２１１の第一主面２１１ａから突出する。これら２つの第一側壁部２１２及び１つの第一端壁部２１３によって、第一ベース壁部２１１の第一主面２１１ａが囲まれる。これにより、第一ケース部２１は、第一ベース壁部２１１の第一主面２１１ａを底面とする箱状に形成される。
リニアモータ１０のコイル部１１は、第一ベース壁部２１１の第一主面２１１ａに固定される。

【0017】

第二ケース部２２は、第二ベース壁部２２１と、２つの第二側壁部２２２と、２つの第二端壁部２２３と、を含む。第二ベース壁部２２１は、平面視で一方向Ｄ１を長手方向とする長方形の板状に形成されている。２つの第二側壁部２２２は、平面視した第二ベース壁部２２１の短手方向の両端に設けられ、それぞれ板厚方向の一方側に向く第二ベース壁部２２１の主面２２１ａ（第二主面２２１ａ）から突出する。２つの第二側壁部２２２は、それぞれ第二ベース壁部２２１の長手方向全体にわたって設けられている。２つの第二端壁部２２３は、平面視した第二ベース壁部２２１の長手方向の両端に設けられ、それぞれ第二ベース壁部２２１の第二主面２２１ａから突出する。これら２つの第二側壁部２２２及び２つの第二端壁部２２３によって、第二ベース壁部２２１の第二主面２２１ａが囲まれる。これにより、第二ケース部２２は、第二ベース壁部２２１の第二主面２２１ａを底面とする箱状に形成される。

【0018】

第二ケース部２２には、ケース２０に収容されたコイル部１１をケース２０の外側に露出させる開口２３，２４が形成されている。第二ケース部２２の開口２３，２４には、第二ベース壁部２２１に形成された第一開口２３と、２つの第二側壁部２２２に形成された第二開口２４と、がある。第一開口２３は、平面視で第二ベース壁部２２１と同様に一方向Ｄ１を長手方向とする長方形状に形成されている。第一開口２３の形成により、第二ベース壁部２２１は平面視で矩形環状に形成されている。第二開口２４は、各第二側壁部２２２に複数形成されている。図示例において、複数の第二開口２４は一方向Ｄ１に間隔をあけて並んでいる。
第二ケース部２２に開口２３，２４が形成されていることで、第二ケース部２２の重量は、第一ケース部２１の重量よりも軽い。

【0019】

リニアモータ１０のロッド状の磁石部１２は、第二ベース壁部２２１の第二主面２２１ａ上に配置される。具体的には、ロッド状の磁石部１２の両端が２つの第二端壁部２２３に固定されることで、第二ベース壁部２２１の第二主面２２１ａ上に間隔をあけて配置される。なお、図５において、磁石部１２は、コイル部１１に挿通される前の状態で第二ケース部２２に固定されているが、実際には、コイル部１１に挿通された後に第二ケース部２２に固定される。

【0020】

上記した第一ケース部２１と第二ケース部２２とは、第一ベース壁部２１１の第一主面２１１ａと第二ベース壁部２２１の第二主面２２１ａとが対向するように、重ねて配置される。この状態では、コイル部１１全体及び磁石部１２の大半が第一ベース壁部２１１と第二ベース壁部２２１との間に配置される。これにより、コイル部１１及び磁石部１２がケース２０に収容される。また、この状態において、コイル部１１は、第二ケース部２２に形成された開口２３，２４によってケース２０の外側に露出する。

【0021】

第一ケース部２１と第二ケース部２２とは、一方向Ｄ１に相対的に移動可能に連結される。具体的に、リニアアクチュエータ４は、第一ケース部２１及び第二ケース部２２を一方向Ｄ１に相互に移動可能に連結するガイド機構３０をさらに備える。ガイド機構３０は、ガイドレール３１と、ガイドレール３１に対して一方向Ｄ１に移動可能に取り付けられるガイドブロック３２と、を有する。

【0022】

本実施形態においては、ガイドレール３１が第一ケース部２１に設けられ、ガイドブロック３２が第二ケース部２２に設けられている。具体的に、ガイドレール３１は、第一ケース部２１の２つの第一側壁部２１２の突出方向の先端に設けられ、一方向Ｄ１に延びている。一方、ガイドブロック３２は、第二ケース部２２の２つの第二側壁部２２２の突出方向の先端に設けられている。また、ガイドブロック３２は、同一の第二側壁部２２２に対して、一方向Ｄ１に間隔をあけて複数（図示例では２つ）並んでいる。これにより、同一のガイドレール３１に、複数のガイドブロック３２が取り付けられる。
なお、例えば、ガイドレール３１が第二ケース部２２に設けられ、ガイドブロック３２が第一ケース部２１に設けられてもよい。

【0023】

以上のように構成されるリニアアクチュエータ４では、リニアモータ１０のコイル部１１への通電に応じて磁石部１２がコイル部１１に対して一方向Ｄ１に移動することで、第一、第二ケース部２１，２２が一方向Ｄ１に相対的に移動する。これにより、リニアアクチュエータ４が伸縮する。
また、リニアアクチュエータ４においては、第一、第二ケース部２１，２２が一方向Ｄ１に相対的に移動しても、コイル部１１の大半が、第二ケース部２２の開口２３，２４（特に第一開口２３）を通してケース２０の外側に露出する。

【0024】

リニアアクチュエータ４は、例えば、一方向Ｄ１におけるコイル部１１と磁石部１２との相対的な移動長さを検出するリニアエンコーダをさらに備えてよい。この場合、当該リニアエンコーダによってコイル部１１と磁石部１２との相対的な移動長さを検出することにより、リニアアクチュエータ４を正確に伸縮させることができる。

【0025】

図１、図２に示すように、移動プラットフォーム１においては、上記したリニアアクチュエータ４の第一ケース部２１（他方のケース部）が、第一コネクタ５１を介してベース２に取り付けられる。一方、開口２３，２４を有するリニアアクチュエータ４の第二ケース部２２（一方のケース部）が、第二コネクタ５２を介してプラットフォーム３に取り付けられる。

【0026】

また、移動プラットフォーム１において、上記したリニアアクチュエータ４は、ケース２０の開口２３，２４（第一、第二開口２３，２４）がプラットフォーム３側に向かないように配置される。すなわち、ケース２０の開口２３，２４は上方に向いていない。具体的に、ケース２０の第一開口２３は、ベース２側に向いている、すなわち下方に向いている。また、ケース２０の第二開口２４は、側方に向いている。

【0027】

以上説明したように、第一実施形態のリニアアクチュエータ４では、コイル部１１がケース２０の開口２３，２４を通してケース２０の外側に露出している。このため、ケース２０の開口２３，２４を通して、コイル部１１の熱を効率よくケース２０の外側に逃がすことができる。これにより、リニアアクチュエータ４をより長い時間継続して使用することが可能となる。

【0028】

また、第一実施形態の移動プラットフォーム１は、上記したように、コイル部１１の熱を効率よくケース２０の外側に逃がすことが可能なリニアアクチュエータ４を備える。これにより、移動プラットフォーム１をより長い時間継続して使用することが可能となる。

【0029】

また、第一実施形態の移動プラットフォーム１では、ケース２０の開口２３，２４が上方に向いていない。特に、ケース２０の第二開口２４が下方に向いている。このため、塵埃がケース２０の開口２３，２４を通してケース２０の内側に入り込んでリニアモータ１０（特に、コイル部１１と磁石部１２との隙間）に到達することを抑制することができる。したがって、塵埃に起因したリニアモータ１０の不具合を抑制することができる。

【0030】

また、第一実施形態の移動プラットフォーム１では、第一ケース部２１（他方のケース部）がベース２に取り付けられ、開口２３，２４の形成により軽量化が図れられた第二ケース部２２（一方のケース部）がプラットフォーム３に取り付けられる。これにより、リニアモータ１０の駆動力が小さくても、プラットフォーム３を容易に駆動することができる。

【0031】

〔第二実施形態〕
次に、図６を参照して本発明の第二実施形態について説明する。以降の説明において、既に説明したものと共通する構成については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。

【0032】

図６に示すように、第二実施形態の移動プラットフォーム１Ｄは、第一実施形態と同様に、ベース２とプラットフォーム３とを連結するリニアアクチュエータ４Ｄを備える。また、第二実施形態のリニアアクチュエータ４Ｄは、第一実施形態と同様に、コイル部１１及び磁石部１２を含むリニアモータ１０と、第一ケース部２１及び第二ケース部２２を含むケース２０と、を備える。

【0033】

ただし、第二実施形態のリニアアクチュエータ４Ｄでは、第一ケース部２１にもコイル部１１をケース２０の外側に露出させる開口２５（第三開口２５）が形成されている。図６において、第三開口２５は、第一ベース壁部２１１に形成されている。第三開口２５は、第一ベース壁部２１１のうちコイル部１１の取り付けを阻害しない位置に形成されている。図６に例示する移動プラットフォーム１Ｄにおいては、第三開口２５が上方に向いている。なお、第三開口２５は、例えば第一ケース部２１の第一側壁部２１２や第一端壁部２１３に形成されてもよい。

【0034】

第二実施形態のリニアアクチュエータ４Ｄは、第一、第二ケース部２１，２２に形成された開口２３～２５（第一～第三開口２３～２５）を通してケース２０の内外に空気を流す送風機４１をさらに備える。送風機４１の具体例としては、例えばシロッコファン、プロペラファンなどが挙げられる。図６において、送風機４１は、第一ケース部２１の第三開口２５に設けられている。送風機４１は、第三開口２５を通して空気をケース２０の内側に向けて流してもよいし、第三開口２５を通して空気をケース２０の外側に向けて流してもよい。

【0035】

第二実施形態のリニアアクチュエータ４Ｄは、エアフィルタ４２をさらに備える。エアフィルタ４２は、空気を通過させることができると共に、空気中に浮遊する塵埃を捉えることができる。エアフィルタ４２は、例えば不織布などであってよい。図６において、エアフィルタ４２は、第一ケース部２１の第三開口２５に配置されている。エアフィルタ４２は、例えば第三開口２５に対して着脱可能であってよい。

【0036】

第二実施形態のリニアアクチュエータ４Ｄは、伸縮カバー４３をさらに備える。伸縮カバー４３は、ケース２０の隙間開口２６を覆う。

【0037】

ケース２０の隙間開口２６は、第一ケース部２１と第二ケース部２２とが一方向Ｄ１にずれて位置した状態で、第一ケース部２１と第二ケース部２２との間に形成され、ケース２０の内部空間がケース２０の外側につながる開口である。ケース２０の隙間開口２６には、一方向Ｄ１において第一ケース部２１から張り出す第二ケース部２２の部位に位置する第一隙間開口２６１と、一方向Ｄ１において第二ケース部２２から張り出す第一ケース部２１の部位に位置する第二隙間開口２６２と、がある。磁石部１２の一部は、第一隙間開口２６１を通してケース２０の外側に露出する。
図６に例示する移動プラットフォーム１Ｄにおいては、第一隙間開口２６１が上方（プラットフォーム３側）に向いており、第二隙間開口２６２が下方（ベース２側）に向いている。

【0038】

第二実施形態のリニアアクチュエータ４Ｄにおいて、伸縮カバー４３は、第一ケース部２１と第二ケース部２２とにわたって設けられ、上方に向く第一隙間開口２６１を覆う。ケース２０に取り付けられた伸縮カバー４３は、一方向Ｄ１に伸縮可能である。図６に例示する伸縮カバー４３は、蛇腹状に形成されていることで、一方向Ｄ１に伸縮可能となっている。

【0039】

第二実施形態のリニアアクチュエータ４Ｄ及び移動プラットフォーム１Ｄによれば、第一実施形態と同様の効果を奏する。
また、第二実施形態のリニアアクチュエータ４Ｄは、第一、第二ケース部２１，２２に形成された開口２３～２５（第一～第三開口２３～２５）を通してケース２０の内外に空気を流す送風機４１を備える。当該送風機４１によってケース２０の内外に空気が流れることで、コイル部１１の熱をさらに効率よくケース２０の外側に排出することができる。

【0040】

また、第二実施形態の移動プラットフォーム１Ｄでは、送風機４１が、ベース２に取り付けられる第一ケース部２１に設けられ、プラットフォーム３に取り付けられる第二ケース部２２に設けられていない。これにより、リニアモータ１０によるプラットフォーム３の駆動が、送風機４１の重さによって阻害されることを防止できる。

【0041】

また、第二実施形態のリニアアクチュエータ４Ｄは、第一ケース部２１の第三開口２５に配置されるエアフィルタ４２を備える。このため、ケース２０の外側において空気中に浮遊する塵埃を、エアフィルタ４２において捉えることができる。このため、塵埃がケース２０の第三開口２５を通してケース２０の内側に入り込むことを抑制又は防止することができる。特に、上方からケース２０に向けて落下する塵埃が、上方に向く第三開口２５を通してケース２０の内側に入り込むことを抑制又は防止することができる。これにより、ケース２０の外側の塵埃がリニアモータ１０（特に、コイル部１１と磁石部１２との隙間）に到達することを効果的に抑制又は防止することができる。したがって、塵埃に起因したリニアモータ１０の不具合を抑制することができる。

【0042】

また、第二実施形態のリニアアクチュエータ４Ｄは、ケース２０の第一隙間開口２６１を覆うように第一ケース部２１と第二ケース部２２とにわたって設けられ、一方向Ｄ１に伸縮可能な伸縮カバー４３を備える。これにより、塵埃がケース２０の第一隙間開口２６１を通してケース２０の内側に入り込んでリニアモータ１０（特に、コイル部１１と磁石部１２との隙間）に到達することを抑制又は防止することができる。したがって、塵埃に起因したリニアモータ１０の不具合を抑制することができる。
また、伸縮カバー４３が一方向Ｄ１に伸縮可能であるため、伸縮カバー４３が第一、第二ケース部２１，２２の一方向Ｄ１への相対的な移動を妨げることも防止できる。

【0043】

第二実施形態において、送風機４１は、例えば第二ケース部２２の第一開口２３や第二開口２４に設けられてもよい。

【0044】

第二実施形態において、エアフィルタ４２は、例えば第二ケース部２２の第一開口２３や第二開口２４に配置されてもよい。

【0045】

第二実施形態において、伸縮カバー４３は、例えば第二隙間開口２６２を覆ってもよい。

【0046】

以上、本発明の詳細について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることができる。

【0047】

本発明のリニアアクチュエータにおいて、コイル部１１をケース２０の外側に露出させる開口は、例えば第一ケース部２１にのみ形成されてもよい。

【0048】

本発明の移動プラットフォームにおいては、例えば、第一ケース部２１がプラットフォーム３に取り付けられ、第二ケース部２２がベース２に取り付けられてもよい。

【0049】

本発明のリニアアクチュエータには、ロッド方式のリニアモータが適用されることに限らず、例えば平板方式のリニアモータが適用されてもよい。

【符号の説明】

【0050】

１，１Ｄ 移動プラットフォーム
２ ベース
３ プラットフォーム
４，４Ｄ リニアアクチュエータ
１０ リニアモータ
１１ コイル部
１２ 磁石部
２０ ケース
２１ 第一ケース部
２２ 第二ケース部
２３ 第一開口（開口）
２４ 第二開口（開口）
２５ 第三開口（開口）
２６ 隙間開口
４１ 送風機
４２ エアフィルタ
４３ 伸縮カバー
５１ 第一コネクタ
５２ 第二コネクタ
Ｄ１ 一方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】