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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024168223
(43)【公開日】2024-12-05
(54)【発明の名称】光インテグレータ
(51)【国際特許分類】
G02B 5/00 20060101AFI20241128BHJP
G02B 6/00 20060101ALN20241128BHJP
【ＦＩ】
G02B5/00 Z
G02B6/00 301
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023084711
(22)【出願日】2023-05-23
(71)【出願人】
【識別番号】000113263
【氏名又は名称】ＨＯＹＡ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100148895
【弁理士】
【氏名又は名称】荒木 佳幸
(72)【発明者】
【氏名】渡邊 浩明
(72)【発明者】
【氏名】木暮 靖男
【テーマコード（参考）】
2H038
2H042
【Ｆターム（参考）】
2H038BA03
2H038BA08
2H042AA19
(57)【要約】
【課題】軽量かつ安価でありながら、組み立てが容易で、かつ高い精度の反射面を有する光インテグレータを提供すること。
【解決手段】入射口から角柱状の中空部に入射する光を導光し、出射口から出射する光インテグレータが、中空部を取り囲むように配置される少なくとも３つ以上の同一の角柱状のユニットを備え、各ユニットは、中空部を向いて配置される平面部を有する枠部材と、平面部に載置され、光を反射して導光する薄板状の導光部材と、を備え、枠部材は、金属または樹脂から形成されている、ことを特徴とする。
【選択図】図１
【解決手段】入射口から角柱状の中空部に入射する光を導光し、出射口から出射する光インテグレータが、中空部を取り囲むように配置される少なくとも３つ以上の同一の角柱状のユニットを備え、各ユニットは、中空部を向いて配置される平面部を有する枠部材と、平面部に載置され、光を反射して導光する薄板状の導光部材と、を備え、枠部材は、金属または樹脂から形成されている、ことを特徴とする。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
入射口から角柱状の中空部に入射する光を導光し、出射口から出射する光インテグレータであって、
前記中空部を取り囲むように配置される少なくとも３つ以上の同一の角柱状のユニットを備え、
前記各ユニットは、
前記中空部を向いて配置される平面部を有する枠部材と、
前記平面部に載置され、前記光を反射して導光する薄板状の導光部材と、
を備え、
前記枠部材は、金属または樹脂から形成されている、
ことを特徴とする光インテグレータ。
前記中空部を取り囲むように配置される少なくとも３つ以上の同一の角柱状のユニットを備え、
前記各ユニットは、
前記中空部を向いて配置される平面部を有する枠部材と、
前記平面部に載置され、前記光を反射して導光する薄板状の導光部材と、
を備え、
前記枠部材は、金属または樹脂から形成されている、
ことを特徴とする光インテグレータ。
【請求項2】
前記導光部材は、鏡面加工が施された金属、樹脂、セラミックスまたはガラスから形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光インテグレータ。
【請求項3】
前記中空部は、横断面において三角形、四角形、五角形、六角形、七角形、または八角形の形状を呈することを特徴とする請求項１に記載の光インテグレータ。
【請求項4】
前記枠部材の前記平面部が、前記入射口から前記出射口に向かって拡がるように傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の光インテグレータ。
【請求項5】
前記導光部材は、一端部が折曲げられて形成された折曲部を有し、
前記折曲部は、前記入射口の周辺において、前記枠部材を覆うように配置される
ことを特徴とする請求項１に記載の光インテグレータ。
前記折曲部は、前記入射口の周辺において、前記枠部材を覆うように配置される
ことを特徴とする請求項１に記載の光インテグレータ。
【請求項6】
入射口から入射する光を導光し、出射口から出射する光インテグレータであって、
横断面において多角形の中空の内面を有する筒状の枠部材と、
前記内面を覆うように配置され、前記光を導光する導光部材と、
を備え、
前記枠部材は、横断面において、前記多角形の少なくとも１辺と接続するように、該少なくとも１辺から前記多角形の外側に向かって延びるスリットを有し、
前記導光部材は、前記多角形の各辺上に位置するミラー部と、前記ミラー部と連続する取付部と、を有し、
前記取付部が、前記スリットに挿入されることによって、前記導光部材が前記枠部材に取付けられている
ことを特徴とする光インテグレータ。
横断面において多角形の中空の内面を有する筒状の枠部材と、
前記内面を覆うように配置され、前記光を導光する導光部材と、
を備え、
前記枠部材は、横断面において、前記多角形の少なくとも１辺と接続するように、該少なくとも１辺から前記多角形の外側に向かって延びるスリットを有し、
前記導光部材は、前記多角形の各辺上に位置するミラー部と、前記ミラー部と連続する取付部と、を有し、
前記取付部が、前記スリットに挿入されることによって、前記導光部材が前記枠部材に取付けられている
ことを特徴とする光インテグレータ。
【請求項7】
前記枠部材は、横断面において、前記多角形の各辺を延長するように、各辺の一端部から外側に向かって延びる複数の前記スリットを有し、
前記導光部材は、前記ミラー部と前記取付部がそれぞれ形成された、矩形平板状の形状を呈し、前記取付部が前記各スリットに挿入されることによって、前記枠部材に取付けられている
ことを特徴とする請求項６に記載の光インテグレータ。
前記導光部材は、前記ミラー部と前記取付部がそれぞれ形成された、矩形平板状の形状を呈し、前記取付部が前記各スリットに挿入されることによって、前記枠部材に取付けられている
ことを特徴とする請求項６に記載の光インテグレータ。
【請求項8】
前記枠部材の前記内面が、前記入射口から前記出射口に向かって拡がるように傾斜しており、
前記枠部材は、横断面において、前記多角形の各辺を延長するように、各辺の一端部から外側に向かって延びる複数の前記スリットを有し、
前記導光部材は、前記ミラー部と前記取付部がそれぞれ形成された、台形平板状の形状を呈し、前記取付部が前記各スリットに挿入されることによって、前記枠部材に取付けられている
ことを特徴とする請求項６に記載の光インテグレータ。
前記枠部材は、横断面において、前記多角形の各辺を延長するように、各辺の一端部から外側に向かって延びる複数の前記スリットを有し、
前記導光部材は、前記ミラー部と前記取付部がそれぞれ形成された、台形平板状の形状を呈し、前記取付部が前記各スリットに挿入されることによって、前記枠部材に取付けられている
ことを特徴とする請求項６に記載の光インテグレータ。
【請求項9】
前記各導光部材は、一端部が折曲げられて形成された折曲部を有し、
前記各折曲部は、前記入射口の周辺において、前記枠部材を覆うように配置される
ことを特徴とする請求項６に記載の光インテグレータ。
前記各折曲部は、前記入射口の周辺において、前記枠部材を覆うように配置される
ことを特徴とする請求項６に記載の光インテグレータ。
【請求項10】
前記多角形が、三角形、四角形、五角形、六角形、七角形、または八角形のいずれかであることを特徴とする請求項６に記載の光インテグレータ。
【請求項11】
前記枠部材が、金属または樹脂から形成されていることを特徴とする請求項５に記載の光インテグレータ。
【請求項12】
前記導光部材が、鏡面加工が施された金属の薄板から形成されていることを特徴とする請求項６に記載の光インテグレータ。
【請求項13】
前記枠部材は、前記枠部材の側面から前記スリットに向かって延びるねじ穴を有し、
前記ねじ穴に挿通されるねじによって前記ミラー部の前記取付部が押圧され、前記ミラー部が前記枠部材の内面に対して付勢される
ことを特徴とする請求項６に記載の光インテグレータ。
前記ねじ穴に挿通されるねじによって前記ミラー部の前記取付部が押圧され、前記ミラー部が前記枠部材の内面に対して付勢される
ことを特徴とする請求項６に記載の光インテグレータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、入射口から入射する光を導光し、出射口から出射する光インテグレータに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、紫外光の照射によってレジストインク等を硬化する露光装置や液晶プロジェクタ等において光照射装置が使用されている。このような光照射装置においては、光源から出射された光の照度分布を均一にすることが求められるため、光インテグレータが使用されている。光インテグレータは、入射口から入射する光を導光してミキシングし、出射口から出射する光学部材である。
【0003】
光インテグレータとしては、例えば、特許文献１に記載されているような中空インテグレータが知られている。特許文献１の中空インテグレータは、直方体状の４つのガラス板のぞれぞれの内側となる面に鏡面加工を施し、これらを直方体状の空隙を取り囲むように（中空部を形成するように）配置し、それぞれ隣接するガラス板の端部同士を接着剤で固定することにより作製される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特表２０１３－５３９０５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１の光インテグレータによれば、光源から空隙（中空部）に入射した光が、鏡面加工が施された光学作用面で繰り返し反射され、ミキシングされて出射されるため、均一な照度分布を有する出射光が得られる。
しかしながら、特許文献１の光インテグレータは、ガラス板を用いる構成であるため、重量が重くなる上に欠け易く、製造工程全体を通して慎重な取扱いが要求される。
また、外形加工されたガラス板に鏡面加工を施し、これらを正確に位置決めした上で接着固定する必要があるため、製造工程が複雑となり、多くの工数とコストがかかる、といった問題もある。
しかしながら、特許文献１の光インテグレータは、ガラス板を用いる構成であるため、重量が重くなる上に欠け易く、製造工程全体を通して慎重な取扱いが要求される。
また、外形加工されたガラス板に鏡面加工を施し、これらを正確に位置決めした上で接着固定する必要があるため、製造工程が複雑となり、多くの工数とコストがかかる、といった問題もある。
【0006】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、軽量かつ安価でありながら、組み立てが容易で、かつ高い精度の反射面を有する光インテグレータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記目的を達成するため、本発明の光インテグレータは、入射口から角柱状の中空部に入射する光を導光し、出射口から出射する光インテグレータであって、中空部を取り囲むように配置される少なくとも３つ以上の同一の角柱状のユニットを備え、各ユニットは、中空部を向いて配置される平面部を有する枠部材と、平面部に載置され、光を反射して導光する薄板状の導光部材と、を備え、枠部材は、金属または樹脂から形成されている、ことを特徴とする。
【0008】
このような構成によれば、少なくとも３つ以上の同一のユニットを中空部を取り囲むように配置し固定するだけで、各ユニットの導光部材が正確に位置決めされて固定される。また、枠部材が金属または樹脂から形成されているため、軽量かつ安価なものとなる。
【0009】
また、導光部材は、鏡面加工が施された金属、樹脂、セラミックスまたはガラスから形成されていることが望ましい。
【0010】
また、中空部は、横断面において三角形、四角形、五角形、六角形、七角形、または八角形の形状を呈することが望ましい。
【0011】
また、枠部材の平面部が、入射口から出射口に向かって拡がるように傾斜していることが望ましい。
【0012】
また、導光部材は、一端部が折曲げられて形成された折曲部を有し、折曲部は、入射口の周辺において、枠部材を覆うように配置されることが望ましい。
【0013】
また、別の観点からは、本発明の光インテグレータは、入射口から入射する光を導光し、出射口から出射する光インテグレータであって、横断面において多角形の中空の内面を有する筒状の枠部材と、内面を覆うように配置され光を導光する導光部材と、を備え、枠部材は、横断面において、多角形の少なくとも１辺と接続するように、該少なくとも１辺から多角形の外側に向かって延びるスリットを有し、導光部材は、多角形の各辺上に位置するミラー部と、ミラー部と連続する取付部と、を有し、取付部が、スリットに挿入されることによって、導光部材が枠部材に取付けられていることを特徴とする。
【0014】
また、枠部材は、横断面において、多角形の各辺を延長するように、各辺の一端部から外側に向かって延びる複数のスリットを有し、導光部材は、ミラー部と取付部がそれぞれ形成された、矩形平板状の形状を呈し、取付部が各スリットに挿入されることによって、枠部材に取付けられていることが望ましい。
【0015】
また、枠部材の内面が、入射口から出射口に向かって拡がるように傾斜しており、枠部材は、横断面において、多角形の各辺を延長するように、各辺の一端部から外側に向かって延びる複数のスリットを有し、導光部材は、ミラー部と取付部がそれぞれ形成された、台形平板状の形状を呈し、取付部が各スリットに挿入されることによって、枠部材に取付けられていることが望ましい。
【0016】
また、各導光部材は、一端部が折曲げられて形成された折曲部を有し、各折曲部は、入射口の周辺において、枠部材を覆うように配置されることが望ましい。
【0017】
また、多角形が、三角形、四角形、五角形、六角形、七角形、または八角形のいずれかであることが望ましい。
【0018】
また、枠部材が、金属または樹脂から形成されていることが望ましい。
【0019】
また、導光部材が、鏡面加工が施された金属の薄板から形成されていることが望ましい。
【0020】
また、枠部材は、枠部材の側面からスリットに向かって延びるねじ穴を有し、ねじ穴に挿通されるねじによってミラー部の取付部が押圧され、ミラー部が枠部材の内面に対して付勢されることが望ましい。
【発明の効果】
【0021】
以上のように、本発明の光インテグレータによれば、軽量かつ安価でありながら、組み立てが容易で、かつ高い精度の反射面を有する光インテグレータが実現される。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、図中同一又は相当部分には同一の符号を付してその説明は繰り返さない。
【0024】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る光インテグレータ１の構成を説明する図である。図１（ａ）は、光インテグレータ１を斜め上方から見たときの斜視図であり、図１（ｂ）は、光インテグレータ１を構成する４つの同一のユニット１０Ａ～１０Ｄのうちの１つ（図１（ａ）のユニット１０Ａ）を斜め上方から見たときの斜視図であり、図１（ｃ）は、ユニット１０Ａを、図１（ｂ）の逆方向から見たときの斜視図である。なお、本明細書においては、以下、各ユニット１０Ａ～１０Ｄを代表して、「ユニット１０」という場合がある。また、本明細書においては、図１の座標に示すように、光インテグレータ１を正面から見たときに、左右方向をＸ軸方向、上下方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向と定義して説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る光インテグレータ１の構成を説明する図である。図１（ａ）は、光インテグレータ１を斜め上方から見たときの斜視図であり、図１（ｂ）は、光インテグレータ１を構成する４つの同一のユニット１０Ａ～１０Ｄのうちの１つ（図１（ａ）のユニット１０Ａ）を斜め上方から見たときの斜視図であり、図１（ｃ）は、ユニット１０Ａを、図１（ｂ）の逆方向から見たときの斜視図である。なお、本明細書においては、以下、各ユニット１０Ａ～１０Ｄを代表して、「ユニット１０」という場合がある。また、本明細書においては、図１の座標に示すように、光インテグレータ１を正面から見たときに、左右方向をＸ軸方向、上下方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向と定義して説明する。
【0025】
図１（ａ）に示すように、本実施形態の光インテグレータ１は、４つの同一の直方体状のユニット１０Ａ～１０Ｄからなり、これらが１つの直方体状の中空部１８を取り囲むように配置された光学部材である。不図示の光源を光インテグレータ１の中空部１８の入射口（端面１２ａ側の開口）付近に配置すると、光源からの光が中空部１８によって導光され、中空部１８の出射口（端面１２ｂ側の開口）から出射されるようになっている。
【0026】
図１（ｂ）、（ｃ）に示すように、本実施形態のユニット１０は、金属製（例えば、アルミニウム）または樹脂製（例えば、ポリカーボネート）の直方体状の枠部材１２と、ミラー部１４（導光部材）と、から構成されている。
【0027】
枠部材１２は、ミラー部１４を保持するための部材であり、不図示の光源からの光が入射される側（Ｚ軸方向マイナス側）の端面１２ａと、光が出射される側（Ｚ軸方向プラス側）の端面１２ｂと、光インテグレータ１として組立てられたときに外側を向く外面１２ｃと、光インテグレータ１として組立てられたときに内側を向き、表面にミラー部１４が載置される内面１２ｄ（平面部）と、光インテグレータ１として組立てられたときに隣接するユニット１０の内面１２ｄと当接する第１側面１２ｅと、第１側面１２ｅと対向する第２側面１２ｆと、を有している。
また、第１側面１２ｅの内面１２ｄ側は、第１側面１２ｅから第２側面１２ｆに向かってミラー部１４の厚さに相当する高さだけ切り欠かれており、光インテグレータ１として組立てられたときに隣接するユニット１０のミラー部１４を収容する、ミラー収容部１２ｇが形成されている。
また、第１側面１２ｅの内面１２ｄ側は、第１側面１２ｅから第２側面１２ｆに向かってミラー部１４の厚さに相当する高さだけ切り欠かれており、光インテグレータ１として組立てられたときに隣接するユニット１０のミラー部１４を収容する、ミラー収容部１２ｇが形成されている。
【0028】
また、外面１２ｃと内面１２ｄの第２側面１２ｆ側には、外面１２ｃから内面１２ｄに貫通する段付き貫通穴１２ｈ、１２ｉが形成されており、第１側面１２ｅには、光インテグレータ１として組立てられたときに隣接するユニット１０の段付き貫通穴１２ｈ、１２ｉと連通するねじ穴１２ｊ、１２ｋが形成されている。
【0029】
ミラー部１４は、長方形の薄板状（例えば、厚さ０．５～０．７ｍｍ）の反射部材であり、例えば、金属（例えば、アルミニウム）の薄板に蒸着等によって鏡面加工を施すことによって形成される。本実施形態においては、ミラー面（反射面）を表にして、内面１２ｄのミラー収容部１２ｇ側の領域に載置され、接着剤等によって固定されている。なお、別の実施形態としては、ミラー部１４は、金属の薄板に代えて、ガラスの薄板に鏡面加工を施したものであってもよい。
【0030】
図１（ａ）に示すように、本実施形態の光インテグレータ１は、４つのユニット１０Ａ～１０Ｄを、中空部１８を形成するように配置し、これらを固定することによって組立てられる。
具体的には、ユニット１０Ａの第１側面１２ｅにユニット１０Ｂの内面１２ｄが当接するように配置し、ユニット１０Ｂの第１側面１２ｅにユニット１０Ｃの内面１２ｄが当接するように配置し、ユニット１０Ｃの第１側面１２ｅにユニット１０Ｄの内面１２ｄが当接するように配置し、ユニット１０Ｄの第１側面１２ｅにユニット１０Ａの内面１２ｄが当接するように配置し、各段付き貫通穴１２ｈ、１２ｉを介して、各ねじ穴１２ｊ、１２ｋに不図示の固定ねじを締結することによって、組立てられる。
なお、光インテグレータ１が組立てられると、ユニット１０Ｂのミラー部１４の一部（ミラー収容部１２ｇ側の端部周辺）がユニット１０Ａのミラー収容部１２ｇに収容され、ユニット１０Ｃのミラー部１４の一部（ミラー収容部１２ｇ側の端部周辺）がユニット１０Ｂのミラー収容部１２ｇに収容され、ユニット１０Ｄのミラー部１４の一部（ミラー収容部１２ｇ側の端部周辺）がユニット１０Ｃのミラー収容部１２ｇに収容され、ユニット１０Ａのミラー部１４の一部（ミラー収容部１２ｇ側の端部周辺）がユニット１０Ｄのミラー収容部１２ｇに収容され、直方体状の中空部１８を取り囲むように、各ユニット１０Ａ～１０Ｄのミラー部１４が配置される。
具体的には、ユニット１０Ａの第１側面１２ｅにユニット１０Ｂの内面１２ｄが当接するように配置し、ユニット１０Ｂの第１側面１２ｅにユニット１０Ｃの内面１２ｄが当接するように配置し、ユニット１０Ｃの第１側面１２ｅにユニット１０Ｄの内面１２ｄが当接するように配置し、ユニット１０Ｄの第１側面１２ｅにユニット１０Ａの内面１２ｄが当接するように配置し、各段付き貫通穴１２ｈ、１２ｉを介して、各ねじ穴１２ｊ、１２ｋに不図示の固定ねじを締結することによって、組立てられる。
なお、光インテグレータ１が組立てられると、ユニット１０Ｂのミラー部１４の一部（ミラー収容部１２ｇ側の端部周辺）がユニット１０Ａのミラー収容部１２ｇに収容され、ユニット１０Ｃのミラー部１４の一部（ミラー収容部１２ｇ側の端部周辺）がユニット１０Ｂのミラー収容部１２ｇに収容され、ユニット１０Ｄのミラー部１４の一部（ミラー収容部１２ｇ側の端部周辺）がユニット１０Ｃのミラー収容部１２ｇに収容され、ユニット１０Ａのミラー部１４の一部（ミラー収容部１２ｇ側の端部周辺）がユニット１０Ｄのミラー収容部１２ｇに収容され、直方体状の中空部１８を取り囲むように、各ユニット１０Ａ～１０Ｄのミラー部１４が配置される。
【0031】
このように、本実施形態の光インテグレータ１は、４つの同一のユニット１０Ａ～１０Ｄを中空部１８を取り囲むように配置し、ねじ止めするだけで、４つのユニット１０Ａ～１０Ｄが相互に位置決めされて固定され、各ユニット１０Ａ～１０Ｄのミラー部１４が正確な位置に配置される。また、枠部材１２は、金属または樹脂から形成され、ミラー部１４は、金属の薄板から形成されているため、軽量かつ安価なものとなる。
【0032】
以上が本実施形態の説明であるが、本発明は、上記の構成に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内において様々な変形が可能である。
【0033】
例えば、本実施形態の光インテグレータ１は、４つの同一の直方体状のユニット１０Ａ～１０Ｄを使用し、これらが１つの直方体状の中空部１８を取り囲むように配置する構成としたが、直方体状の中空部１８が４つのミラー部１４によって取り囲まれればよく、ユニット１０Ａ～１０Ｄの形状は、光インテグレータ１の仕様に応じて適宜変更されてもよい。
【0034】
また、中空部１８は、光をミキシングできる形状であれば、必ずしも直方体である必要はなく、例えば、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において多角形（三角形、四角形、五角形、六角形、七角形、または八角形）の中空部を有するものであればよい。なお、この場合、横断面の形状に応じて、使用されるユニット１０の数が変更される。
【0035】
また、本実施形態においては、ミラー部１４は、金属（例えば、アルミニウム）の薄板状の部材として説明したが、必ずしもこのような構成に限定されるものではなく、金属に代えて、例えば、樹脂、セラミック、ガラス等を使用することができる。
【0036】
（第２の実施形態）
図２は、本発明の第２の実施形態に係る光インテグレータ２の構成を説明する図である。図２（ａ）は、光インテグレータ２を斜め上方から見たときの斜視図であり、図２（ｂ）は、光インテグレータ２を構成する６つの同一のユニット２０Ａ～２０Ｆのうちの１つ（図２（ａ）のユニット２０Ａ）を斜め上方から見たときの斜視図である。なお、本明細書においては、以下、各ユニット２０Ａ～２０Ｆを代表して、「ユニット２０」という場合がある。また、本明細書においては、図２の座標に示すように、光インテグレータ２を正面から見たときに、左右方向をＸ軸方向、上下方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向と定義して説明する。
図２は、本発明の第２の実施形態に係る光インテグレータ２の構成を説明する図である。図２（ａ）は、光インテグレータ２を斜め上方から見たときの斜視図であり、図２（ｂ）は、光インテグレータ２を構成する６つの同一のユニット２０Ａ～２０Ｆのうちの１つ（図２（ａ）のユニット２０Ａ）を斜め上方から見たときの斜視図である。なお、本明細書においては、以下、各ユニット２０Ａ～２０Ｆを代表して、「ユニット２０」という場合がある。また、本明細書においては、図２の座標に示すように、光インテグレータ２を正面から見たときに、左右方向をＸ軸方向、上下方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向と定義して説明する。
【0037】
図２に示すように、本実施形態の光インテグレータ２は、Ｘ－Ｙ断面が台形の６つの四角柱状のユニット２０Ａ～２０Ｆから構成され、これらが１つの六角柱状の（つまり、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において六角形の）中空部２８を取り囲むように配置されている点で、第１の実施形態の光インテグレータ１とは異なっている。
【0038】
本実施形態の光インテグレータ２は、第１の実施形態の光インテグレータ１と同様、不図示の光源を光インテグレータ２の中空部２８の入射口（端面２２ａ側の開口）付近に配置すると、光源からの光が中空部２８によって導光され、中空部２８の出射口（端面２２ｂ側の開口）から出射されるようになっている。
【0039】
図２（ｂ）に示すように、本実施形態のユニット２０は、Ｘ－Ｙ断面が台形の四角柱状の枠部材２２と、ミラー部２４と、から構成されている。
【0040】
枠部材２２は、ミラー部２４を保持するための部材であり、不図示の光源からの光が入射される側（Ｚ軸方向マイナス側）の端面２２ａと、光が出射される側（Ｚ軸方向プラス側）の端面２２ｂと、光インテグレータ２として組立てられたときに外側を向く外面２２ｃと、光インテグレータ２として組立てられたときに内側を向き、表面にミラー部２４が載置される内面２２ｄと、光インテグレータ２として組立てられたときに隣接するユニット２０の内面２２ｄと当接する第１側面２２ｅと、第１側面２２ｅと対向する第２側面２２ｆと、を有している。
また、本実施形態の枠部材２２の内面２２ｄの第１側面２２ｅ側は、内面２２ｄから外面２２ｃに向かってミラー部２４の厚さに相当する高さだけ切り欠かれており（低くなっており）、ミラー部２４を収容するミラー収容部２２ｇが形成されている。
また、本実施形態の枠部材２２の内面２２ｄの第１側面２２ｅ側は、内面２２ｄから外面２２ｃに向かってミラー部２４の厚さに相当する高さだけ切り欠かれており（低くなっており）、ミラー部２４を収容するミラー収容部２２ｇが形成されている。
【0041】
ミラー部２４は、第１の実施形態のミラー部１４と同様、長方形の薄板状の反射部材であり、例えば、金属（例えば、アルミニウム）の薄板に蒸着等によって鏡面加工を施すことによって形成される。本実施形態においては、ミラー面（反射面）を表にして、内面２２ｄのミラー収容部２２ｇに載置され、接着剤等によって固定されている。
【0042】
図２（ａ）に示すように、本実施形態の光インテグレータ２は、６つのユニット２０Ａ～２０Ｆを、中空部２８を形成するように配置し、これらを接着することによって組立てられる。
具体的には、ユニット２０Ａの第２側面２２ｆとユニット２０Ｂの外面２２ｃが連続し、ユニット２０Ｂの第１側面２２ｅがユニット２０Ａの内面２２ｄと当接するように配置し、ユニット２０Ｂの第２側面２２ｆとユニット２０Ｃの外面２２ｃが連続し、ユニット２０Ｃの第１側面２２ｅがユニット２０Ｂの内面２２ｄと当接するように配置し、ユニット２０Ｃの第２側面２２ｆとユニット２０Ｄの外面２２ｃが連続し、ユニット２０Ｄの第１側面２２ｅがユニット２０Ｃの内面２２ｄと当接するように配置し、ユニット２０Ｄの第２側面２２ｆとユニット２０Ｅの外面２２ｃが連続し、ユニット２０Ｅの第１側面２２ｅがユニット２０Ｄの内面２２ｄと当接するように配置し、ユニット２０Ｅの第２側面２２ｆとユニット２０Ｆの外面２２ｃが連続し、ユニット２０Ｆの第１側面２２ｅがユニット２０Ｅの内面２２ｄと当接するように配置し、ユニット２０Ｆの第２側面２２ｆとユニット２０Ａの外面２２ｃが連続し、ユニット２０Ａの第１側面２２ｅがユニット２０Ｆの内面２２ｄと当接するように配置し、各ユニット２０Ａ～２０Ｆの第１側面２２ｅを接着剤によって固定することによって組立てられる。
なお、光インテグレータ２が組立てられると、ユニット２０Ａのミラー部２４の一部（第２側面２２ｆ側の端部周辺）がユニット２０Ｂの第１側面２２ｅとの間に狭持され、ユニット２０Ｂのミラー部２４の一部（第２側面２２ｆ側の端部周辺）がユニット２０Ｃの第１側面２２ｅとの間に狭持され、ユニット２０Ｃのミラー部２４の一部（第２側面２２ｆ側の端部周辺）がユニット２０Ｄの第１側面２２ｅとの間に狭持され、ユニット２０Ｄのミラー部２４の一部（第２側面２２ｆ側の端部周辺）がユニット２０Ｅの第１側面２２ｅとの間に狭持され、ユニット２０Ｅのミラー部２４の一部（第２側面２２ｆ側の端部周辺）がユニット２０Ｆの第１側面２２ｅとの間に狭持され、ユニット２０Ｆのミラー部２４の一部（第２側面２２ｆ側の端部周辺）がユニット２０Ａの第１側面２２ｅとの間に狭持され、六角柱状の（つまり、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において六角形の）中空部２８を取り囲むように、各ユニット２０Ａ～２０Ｆのミラー部２４が配置される。
具体的には、ユニット２０Ａの第２側面２２ｆとユニット２０Ｂの外面２２ｃが連続し、ユニット２０Ｂの第１側面２２ｅがユニット２０Ａの内面２２ｄと当接するように配置し、ユニット２０Ｂの第２側面２２ｆとユニット２０Ｃの外面２２ｃが連続し、ユニット２０Ｃの第１側面２２ｅがユニット２０Ｂの内面２２ｄと当接するように配置し、ユニット２０Ｃの第２側面２２ｆとユニット２０Ｄの外面２２ｃが連続し、ユニット２０Ｄの第１側面２２ｅがユニット２０Ｃの内面２２ｄと当接するように配置し、ユニット２０Ｄの第２側面２２ｆとユニット２０Ｅの外面２２ｃが連続し、ユニット２０Ｅの第１側面２２ｅがユニット２０Ｄの内面２２ｄと当接するように配置し、ユニット２０Ｅの第２側面２２ｆとユニット２０Ｆの外面２２ｃが連続し、ユニット２０Ｆの第１側面２２ｅがユニット２０Ｅの内面２２ｄと当接するように配置し、ユニット２０Ｆの第２側面２２ｆとユニット２０Ａの外面２２ｃが連続し、ユニット２０Ａの第１側面２２ｅがユニット２０Ｆの内面２２ｄと当接するように配置し、各ユニット２０Ａ～２０Ｆの第１側面２２ｅを接着剤によって固定することによって組立てられる。
なお、光インテグレータ２が組立てられると、ユニット２０Ａのミラー部２４の一部（第２側面２２ｆ側の端部周辺）がユニット２０Ｂの第１側面２２ｅとの間に狭持され、ユニット２０Ｂのミラー部２４の一部（第２側面２２ｆ側の端部周辺）がユニット２０Ｃの第１側面２２ｅとの間に狭持され、ユニット２０Ｃのミラー部２４の一部（第２側面２２ｆ側の端部周辺）がユニット２０Ｄの第１側面２２ｅとの間に狭持され、ユニット２０Ｄのミラー部２４の一部（第２側面２２ｆ側の端部周辺）がユニット２０Ｅの第１側面２２ｅとの間に狭持され、ユニット２０Ｅのミラー部２４の一部（第２側面２２ｆ側の端部周辺）がユニット２０Ｆの第１側面２２ｅとの間に狭持され、ユニット２０Ｆのミラー部２４の一部（第２側面２２ｆ側の端部周辺）がユニット２０Ａの第１側面２２ｅとの間に狭持され、六角柱状の（つまり、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において六角形の）中空部２８を取り囲むように、各ユニット２０Ａ～２０Ｆのミラー部２４が配置される。
【0043】
このように、本実施形態の光インテグレータ２は、６つの同一のユニット２０Ａ～２０Ｆを中空部２８を取り囲むように配置し、接着するだけで、６つのミラー部２４が正確に位置決めされて固定される。また、本実施形態の光インテグレータ２においても、第１の実施形態の光インテグレータ１と同様、枠部材２２は、金属または樹脂から形成され、ミラー部２４は、金属の薄板から形成されているため、軽量かつ安価なものとなる。
【0044】
（第２の実施形態の変形例）
図３は、本発明の第２の実施形態に係る光インテグレータ２の変形例を説明する図であり、本変形例の光インテグレータ２´を斜め上方から見たときの斜視図である。図３に示すように、本変形例の光インテグレータ２´は、Ｘ－Ｙ断面が台形の７つの同一の四角柱状のユニット２０Ａ´～２０Ｇ´から構成され、これらが１つの七角柱状の（つまり、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において七角形の）中空部２８´を取り囲むように配置されている点で、第２の実施形態の光インテグレータ２とは異なっている。
つまり、本変形例の各ユニット２０Ａ´～２０Ｇ´は、第２の実施形態の各ユニット２０Ａ～２０Ｆと同様の構成であるが、枠部材２２´のＸ－Ｙ断面の形状（つまり、台形の各内角）が第２の実施形態の光インテグレータ２の枠部材２２とは異なっているため、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において七角形の中空部２８´が形成されている。
図３は、本発明の第２の実施形態に係る光インテグレータ２の変形例を説明する図であり、本変形例の光インテグレータ２´を斜め上方から見たときの斜視図である。図３に示すように、本変形例の光インテグレータ２´は、Ｘ－Ｙ断面が台形の７つの同一の四角柱状のユニット２０Ａ´～２０Ｇ´から構成され、これらが１つの七角柱状の（つまり、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において七角形の）中空部２８´を取り囲むように配置されている点で、第２の実施形態の光インテグレータ２とは異なっている。
つまり、本変形例の各ユニット２０Ａ´～２０Ｇ´は、第２の実施形態の各ユニット２０Ａ～２０Ｆと同様の構成であるが、枠部材２２´のＸ－Ｙ断面の形状（つまり、台形の各内角）が第２の実施形態の光インテグレータ２の枠部材２２とは異なっているため、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において七角形の中空部２８´が形成されている。
【0045】
このように（図１～図３に示すように）、枠部材（１２、２２、２２´）のＸ－Ｙ断面の形状に応じて、使用するユニット（１０、２０、２０´）数が変わるため、枠部材（１２、２２、２２´）のＸ－Ｙ断面の形状を適宜設定することにより、様々な断面形状（例えば、三角形、四角形、五角形、六角形、七角形、または八角形）の中空部（１８、２８、２８´）を形成することができる。
【0046】
（第３の実施形態）
図４は、本発明の第３の実施形態に係る光インテグレータ３の構成を説明する図である。図４（ａ）は、光インテグレータ３を斜め上方から見たときの斜視図であり、図４（ｂ）は、光インテグレータ３の分解斜視図であり、図４（ｃ）は、図４（ａ）のねじ穴３２の位置においてＸＹ平面で切断したときの断面図である。なお、本明細書においては、図４の座標に示すように、光インテグレータ３を正面から見たときに、左右方向をＸ軸方向、上下方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向と定義して説明する。
図４は、本発明の第３の実施形態に係る光インテグレータ３の構成を説明する図である。図４（ａ）は、光インテグレータ３を斜め上方から見たときの斜視図であり、図４（ｂ）は、光インテグレータ３の分解斜視図であり、図４（ｃ）は、図４（ａ）のねじ穴３２の位置においてＸＹ平面で切断したときの断面図である。なお、本明細書においては、図４の座標に示すように、光インテグレータ３を正面から見たときに、左右方向をＸ軸方向、上下方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向と定義して説明する。
【0047】
図４に示すように、本実施形態の光インテグレータ３は、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において四角形の内面３６ａ～３６ｄを有する直方体状の筒状の枠部材３０と、各内面３６ａ～３６ｄを覆うように配置される導光部材３４ａ～３４ｄと、を備え、導光部材３４ａ～３４ｄが１つの直方体状の（つまり、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において四角形の）中空部３８を取り囲むように配置されている点で、第１の実施形態の光インテグレータ１とは異なっている。
【0048】
本実施形態の光インテグレータ３は、第１の実施形態の光インテグレータ１と同様、不図示の光源を光インテグレータ３の中空部３８の入射口（前面３０ａ側の開口）付近に配置すると、光源からの光が中空部３８によって導光され、中空部３８の出射口（背面３０ｂ側の開口）から出射されるようになっている。
【0049】
枠部材３０は、導光部材３４ａ～３４ｄを保持するための金属製（例えば、アルミニウム）または樹脂製（例えば、ポリカーボネート）の部材であり、不図示の光源からの光が入射される側（Ｚ軸方向マイナス側）の前面３０ａと、光が出射される側（Ｚ軸方向プラス側）の背面３０ｂと、底面３０ｃ（Ｙ軸方向プラス側の面）と、上面３０ｄ（Ｙ軸方向マイナス側の面）と、左側面３０ｅ（Ｘ軸方向マイナス側の面）と、右側面３０ｆ（Ｘ軸方向プラス側の面）と、を有している。
また、本実施形態の枠部材２２の中央部分には、Ｚ軸方向に貫通する中空部３８が形成されており、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において四角形の内面３６ａ～３６ｄが形成されている。
また、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において、各内面３６ａ～３６ｄと接続するように（連続するように）、各内面３６ａ～３６ｄ（つまり、横断面の四角形の各辺の一端部）から外側に向かって延びるスリット３７ａ～３７ｄが形成されている。つまり、本実施形態のスリット３７ａ～３７ｄは、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において、各内面３６ａ～３６ｄ（つまり、横断面の四角形の各辺）を延長するように（つまり、各内面３６ａ～３６ｄと同一平面上に）形成されている。
また、枠部材３０の底面３０ｃからスリット３７ａにわたって貫通し、また上面３０ｄからスリット３７ｃにわたって貫通し、また左側面３０ｅからスリット３７ｂにわたって貫通し、また右側面３０ｆからスリット３７ｄにわたって貫通する複数のねじ穴３２が形成されている（図４（ｃ））。
また、本実施形態の枠部材２２の中央部分には、Ｚ軸方向に貫通する中空部３８が形成されており、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において四角形の内面３６ａ～３６ｄが形成されている。
また、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において、各内面３６ａ～３６ｄと接続するように（連続するように）、各内面３６ａ～３６ｄ（つまり、横断面の四角形の各辺の一端部）から外側に向かって延びるスリット３７ａ～３７ｄが形成されている。つまり、本実施形態のスリット３７ａ～３７ｄは、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において、各内面３６ａ～３６ｄ（つまり、横断面の四角形の各辺）を延長するように（つまり、各内面３６ａ～３６ｄと同一平面上に）形成されている。
また、枠部材３０の底面３０ｃからスリット３７ａにわたって貫通し、また上面３０ｄからスリット３７ｃにわたって貫通し、また左側面３０ｅからスリット３７ｂにわたって貫通し、また右側面３０ｆからスリット３７ｄにわたって貫通する複数のねじ穴３２が形成されている（図４（ｃ））。
【0050】
導光部材３４ａ～３４ｄは、各内面３６ａ～３６ｄに沿って配置される長方形の薄板状の反射部材であり、例えば、金属（例えば、アルミニウム）の薄板に蒸着等によって鏡面加工を施すことによって形成される。本実施形態の導光部材３４ａ～３４ｄは、各内面３６ａ～３６ｄ（つまり、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において四角形の各辺）上に位置するミラー部３４ａ１～３４ｄ１と、各ミラー部３４ａ１～３４ｄ１と連続しスリット３７ａ～３７ｄに挿入される取付部３４ａ２～３４ｄ２と、を有している（図４（ｂ））。
【0051】
図４（ａ）に示すように、本実施形態の光インテグレータ３は、４つの導光部材３４ａ～３４ｄを、中空部３８を覆うように配置し、これらを固定することによって組立てられる。
具体的には、導光部材３４ａのミラー部３４ａ１が内面３６ａに位置するように、取付部３４ａ２をスリット３７ａに挿入し、導光部材３４ｂのミラー部３４ｂ１が内面３６ｂに位置するように、取付部３４ｂ２をスリット３７ｂに挿入し、導光部材３４ｃのミラー部３４ｃ１が内面３６ｃに位置するように、取付部３４ｃ２をスリット３７ｃに挿入し、導光部材３４ｄのミラー部３４ｄ１が内面３６ｄに位置するように、取付部３４ｄ２をスリット３７ｄに挿入する。
次いで、各ねじ穴３２に不図示の止めねじ（セットスクリュー）を挿入し、各導光部材３４ａ～３４ｄの取付部３４ａ２～３４ｄ２を止めねじによって押圧して固定する（図４（ｃ））。この結果、直方体状の中空部３８を取り囲むように、各ミラー部３４ａ１～３４ｄ１が位置決めされて、固定される。
具体的には、導光部材３４ａのミラー部３４ａ１が内面３６ａに位置するように、取付部３４ａ２をスリット３７ａに挿入し、導光部材３４ｂのミラー部３４ｂ１が内面３６ｂに位置するように、取付部３４ｂ２をスリット３７ｂに挿入し、導光部材３４ｃのミラー部３４ｃ１が内面３６ｃに位置するように、取付部３４ｃ２をスリット３７ｃに挿入し、導光部材３４ｄのミラー部３４ｄ１が内面３６ｄに位置するように、取付部３４ｄ２をスリット３７ｄに挿入する。
次いで、各ねじ穴３２に不図示の止めねじ（セットスクリュー）を挿入し、各導光部材３４ａ～３４ｄの取付部３４ａ２～３４ｄ２を止めねじによって押圧して固定する（図４（ｃ））。この結果、直方体状の中空部３８を取り囲むように、各ミラー部３４ａ１～３４ｄ１が位置決めされて、固定される。
【0052】
このように、本実施形態の光インテグレータ３は、４つの同一の導光部材３４ａ～３４ｄを中空部３８を取り囲むように配置し、ねじ止めするだけで、４つのミラー部３４ａ１～３４ｄ１が各内面３６ａ～３６ｄに正確に位置決めされて固定される。また、枠部材３０は、金属または樹脂から形成され、導光部材３４ａ～３４ｄは、金属の薄板から形成されているため、軽量かつ安価なものとなる。
【0053】
（第４の実施形態）
図５は、本発明の第４の実施形態に係る光インテグレータ４の構成を説明する図である。図５（ａ）は、光インテグレータ４を斜め上方から見たときの斜視図であり、図５（ｂ）は、光インテグレータ４の分解斜視図である。なお、本明細書においては、図５の座標に示すように、光インテグレータ４を正面から見たときに、左右方向をＸ軸方向、上下方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向と定義して説明する。
図５は、本発明の第４の実施形態に係る光インテグレータ４の構成を説明する図である。図５（ａ）は、光インテグレータ４を斜め上方から見たときの斜視図であり、図５（ｂ）は、光インテグレータ４の分解斜視図である。なお、本明細書においては、図５の座標に示すように、光インテグレータ４を正面から見たときに、左右方向をＸ軸方向、上下方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向と定義して説明する。
【0054】
図５に示すように、本実施形態の光インテグレータ４は、各導光部材３４ａ～３４ｄの一端部（Ｚ軸方向マイナス側の端部）が略直角に折曲げられて形成された折曲部３４ａ３～３４ｄ３を有する点で、第３の実施形態の光インテグレータ３とは異なっている。
【0055】
図５（ａ）に示すように、本実施形態の光インテグレータ４は、各導光部材３４ａ～３４ｄの折曲部３４ａ３～３４ｄ３によって、枠部材３０の入射口（前面３０ａ側の開口）周辺が覆われるように構成される。
【0056】
従って、本実施形態の構成によれば、入射口付近に配置される光源からの光が枠部材３０に直接入射することを確実に防止することができるため、光源からの光に紫外光が含まれるような場合であっても、樹脂製の枠部材３０を劣化させることがない（つまり、樹脂製の枠部材３０を使用することができる）。
【0057】
（第５の実施形態）
図６は、本発明の第５の実施形態に係る光インテグレータ５の構成を説明する図である。図６（ａ）は、光インテグレータ５を前面５０ａ側からから見たときの斜視図であり、図６（ｂ）は、光インテグレータ５を背面５０ｂ側から見たときの斜視図である。なお、本明細書においては、図６の座標に示すように、光インテグレータ５を正面から見たときに、左右方向をＸ軸方向、上下方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向と定義して説明する。また、図６においては、理解を容易にする目的で、枠部材５０を薄いグレーで示し、枠部材５０の内部に収容される導光部材５４ａ～５４ｄを濃いグレーで示している。
図６は、本発明の第５の実施形態に係る光インテグレータ５の構成を説明する図である。図６（ａ）は、光インテグレータ５を前面５０ａ側からから見たときの斜視図であり、図６（ｂ）は、光インテグレータ５を背面５０ｂ側から見たときの斜視図である。なお、本明細書においては、図６の座標に示すように、光インテグレータ５を正面から見たときに、左右方向をＸ軸方向、上下方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向と定義して説明する。また、図６においては、理解を容易にする目的で、枠部材５０を薄いグレーで示し、枠部材５０の内部に収容される導光部材５４ａ～５４ｄを濃いグレーで示している。
【0058】
図５に示すように、本実施形態の光インテグレータ５は、枠部材５０の内面５６ａ～５６ｄが、入射口（前面５０ａ側の開口）から出射口（背面５０ｂ側の開口）に向かって拡がるように傾斜しており、各導光部材５４ａ～５４ｄが、台形平板状の形状を呈している点で、第３の実施形態の光インテグレータ３とは異なっている。
【0059】
このような構成によれば、入射口（前面５０ａ側の開口）から入射した光が導光部材５４ａ～５４ｄによって導光される際に、光軸（入射口の中心と出射口の中心を結ぶ直線）に対する傾きが小さくなるため、入射する光の入射角（入射光の角度成分）に対して、出射する光の出射角（出射光の角度成分）が小さくなる。つまり、ＮＡ（Numerical Aperture）変換の効果をもたせることが可能となる。
【0060】
（第６の実施形態）
図７は、本発明の第６の実施形態に係る光インテグレータ６の構成を説明する図であり、光インテグレータ６を前面６０ａ側からから見たときの正面図である。
図７に示すように、本実施形態の光インテグレータ６は、導光部材３４ａ～３４ｄに代えて、ミラー部６４ａ１、６４ｂ１と取付部６４ａ２、６４ｂ２が、金属（例えば、アルミニウム）の薄板を折曲げて一体的に形成された導光部材６４Ａと、ミラー部６４ｃ１、６４ｄ１と取付部６４ｃ２、６４ｄ２が、金属の薄板を折曲げて一体的に形成された導光部材６４Ｂと、を備え、枠部材６０が、内面６６ａ、６６ｄと接続するように（連続するように）内面６６ａ、６６ｄから外側（枠部材６０の右斜め下方向）に向かって延びるスリット６７Ａと、内面６６ｂ、６６ｃと接続するように（連続するように）内面６６ｂ、６６ｃから外側（枠部材６０の左斜め上方向）に向かって延びるスリット６７Ｂと、を有する点で、第３の実施形態の光インテグレータ３とは異なっている。つまり、本実施形態のスリット６７Ａは、内面６６ａ、６６ｄと接続しているが、内面６６ａ、６６ｄと同一平面上にはなく、スリット６７Ｂは、内面６６ｂ、６６ｃと接続しているが、内面６６ａ、６６ｄと同一平面上にはない。なお、本実施形態の導光部材６４Ａ、６４Ｂは同一の部材であり、回転対称に配置されるものである。
図７は、本発明の第６の実施形態に係る光インテグレータ６の構成を説明する図であり、光インテグレータ６を前面６０ａ側からから見たときの正面図である。
図７に示すように、本実施形態の光インテグレータ６は、導光部材３４ａ～３４ｄに代えて、ミラー部６４ａ１、６４ｂ１と取付部６４ａ２、６４ｂ２が、金属（例えば、アルミニウム）の薄板を折曲げて一体的に形成された導光部材６４Ａと、ミラー部６４ｃ１、６４ｄ１と取付部６４ｃ２、６４ｄ２が、金属の薄板を折曲げて一体的に形成された導光部材６４Ｂと、を備え、枠部材６０が、内面６６ａ、６６ｄと接続するように（連続するように）内面６６ａ、６６ｄから外側（枠部材６０の右斜め下方向）に向かって延びるスリット６７Ａと、内面６６ｂ、６６ｃと接続するように（連続するように）内面６６ｂ、６６ｃから外側（枠部材６０の左斜め上方向）に向かって延びるスリット６７Ｂと、を有する点で、第３の実施形態の光インテグレータ３とは異なっている。つまり、本実施形態のスリット６７Ａは、内面６６ａ、６６ｄと接続しているが、内面６６ａ、６６ｄと同一平面上にはなく、スリット６７Ｂは、内面６６ｂ、６６ｃと接続しているが、内面６６ａ、６６ｄと同一平面上にはない。なお、本実施形態の導光部材６４Ａ、６４Ｂは同一の部材であり、回転対称に配置されるものである。
【0061】
図７に示すように、本実施形態の光インテグレータ６においては、導光部材６４Ａの取付部６４ａ２と導光部材６４Ｂの取付部６４ｄ２を枠部材６０のスリット６７Ａに挿入し、導光部材６４Ａの取付部６４ｂ２と導光部材６４Ｂの取付部６４ｃ２を枠部材６０のスリット６７Ｂに挿入することによって、各ミラー部６４ａ１～６４ｄ１が各内面６６ａ～６６ｄ上に配置され、中空部６８が各ミラー部６４ａ１～６４ｄ１によって取り囲まれる。
【0062】
従って、本実施形態の構成によれば、各ミラー部６４ａ１～６４ｄ１が２つの導光部材６４Ａ、６４Ｂによって構成されるため、第３の実施形態と比較して、さらに組み立てが容易となる。
また、別の実施形態として、導光部材６４Ａ、６４Ｂを１つの部材として一体的に形成してもよい。この場合、１枚の金属の薄板を折曲げて、取付部６４ａ２、ミラー部６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１、６４ｄ１、取付部６４ｄ２を順に形成し、取付部６４ａ２、６４ｄ２をスリット６７Ａに挿入すればよい。なお、この場合、スリット６７Ｂは不要となる。
また、別の実施形態として、導光部材６４Ａ、６４Ｂを１つの部材として一体的に形成してもよい。この場合、１枚の金属の薄板を折曲げて、取付部６４ａ２、ミラー部６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１、６４ｄ１、取付部６４ｄ２を順に形成し、取付部６４ａ２、６４ｄ２をスリット６７Ａに挿入すればよい。なお、この場合、スリット６７Ｂは不要となる。
【0063】
（第７の実施形態）
図８は、本発明の第７の実施形態に係る光インテグレータ７の構成を説明する図であり、光インテグレータ７を前面７０ａ側からから見たときの正面図である。
図８に示すように、本実施形態の光インテグレータ７は、導光部材３４ａ～３４ｄに代えて、ミラー部７４ａ１、７４ｂ１と取付部７４ａ２が、金属（例えば、アルミニウム）の薄板を折曲げて一体的に形成された導光部材７４Ａと、ミラー部７４ｃ１、７４ｄ１と取付部７４ｃ２が、金属の薄板を折曲げて一体的に形成された導光部材７４Ｂと、を備え、枠部材７０が、内面７６ａと接続するように（連続するように）内面７６ａから外側（枠部材７０の右方向）に向かって延びるスリット７７Ａと、内面７６ｃと接続するように（連続するように）内面７６ｃから外側（枠部材７０の左方向）に向かって延びるスリット７７Ｂと、を有する点で、第３の実施形態の光インテグレータ３とは異なっている。つまり、本実施形態においては、内面７６ａと接続するように（連続するように）内面７６ａ（つまり、横断面の四角形の１辺の一端部）から外側に向かって延びるスリット７７Ａと、内面７６ｃと接続するように（連続するように）内面７６ｃ（つまり、横断面の四角形の１辺の一端部）から外側に向かって延びるスリット７７Ｂが形成されているが、内面７６ｂ、７６ｄと接続するスリットは形成されていない。なお、本実施形態の導光部材７４Ａ、７４Ｂは同一の部材であり、回転対称に配置されるものである。
図８は、本発明の第７の実施形態に係る光インテグレータ７の構成を説明する図であり、光インテグレータ７を前面７０ａ側からから見たときの正面図である。
図８に示すように、本実施形態の光インテグレータ７は、導光部材３４ａ～３４ｄに代えて、ミラー部７４ａ１、７４ｂ１と取付部７４ａ２が、金属（例えば、アルミニウム）の薄板を折曲げて一体的に形成された導光部材７４Ａと、ミラー部７４ｃ１、７４ｄ１と取付部７４ｃ２が、金属の薄板を折曲げて一体的に形成された導光部材７４Ｂと、を備え、枠部材７０が、内面７６ａと接続するように（連続するように）内面７６ａから外側（枠部材７０の右方向）に向かって延びるスリット７７Ａと、内面７６ｃと接続するように（連続するように）内面７６ｃから外側（枠部材７０の左方向）に向かって延びるスリット７７Ｂと、を有する点で、第３の実施形態の光インテグレータ３とは異なっている。つまり、本実施形態においては、内面７６ａと接続するように（連続するように）内面７６ａ（つまり、横断面の四角形の１辺の一端部）から外側に向かって延びるスリット７７Ａと、内面７６ｃと接続するように（連続するように）内面７６ｃ（つまり、横断面の四角形の１辺の一端部）から外側に向かって延びるスリット７７Ｂが形成されているが、内面７６ｂ、７６ｄと接続するスリットは形成されていない。なお、本実施形態の導光部材７４Ａ、７４Ｂは同一の部材であり、回転対称に配置されるものである。
【0064】
図８に示すように、本実施形態の光インテグレータ７においては、導光部材７４Ａの取付部７４ａ２を枠部材７０のスリット７７Ａに挿入し、導光部材７４Ｂの取付部７４ｃ２を枠部材７０のスリット７７Ｂに挿入することによって、各ミラー部７４ａ１～７４ｄ１が各内面７６ａ～７６ｄ上に配置され、中空部７８が各ミラー部７４ａ１～７４ｄ１によって取り囲まれる。
【0065】
従って、本実施形態の構成によれば、各ミラー部７４ａ１～７４ｄ１が２つの導光部材７４Ａ、７４Ｂによって構成されるため、第３の実施形態と比較して、さらに組み立てが容易となる。
また、別の実施形態として、導光部材７４Ａ、７４Ｂを１つの部材として一体的に形成してもよい。この場合、１枚の金属の薄板を折曲げて、取付部７４ａ２、ミラー部７４ａ１、７４ｂ１、７４ｃ１、７４ｄ１を順に形成し、取付部７４ａ２をスリット７７Ａに挿入すればよい。なお、この場合、スリット７７Ｂは不要となる。
また、別の実施形態として、導光部材７４Ａ、７４Ｂを１つの部材として一体的に形成してもよい。この場合、１枚の金属の薄板を折曲げて、取付部７４ａ２、ミラー部７４ａ１、７４ｂ１、７４ｃ１、７４ｄ１を順に形成し、取付部７４ａ２をスリット７７Ａに挿入すればよい。なお、この場合、スリット７７Ｂは不要となる。
【0066】
（第８の実施形態）
図９は、本発明の第８の実施形態に係る光インテグレータ８の構成を説明する図であり、光インテグレータ８を前面８０ａ側から見たときの正面図である。
図９に示すように、本実施形態の光インテグレータ８は、第２の実施形態の６つの四角柱状のユニット２０Ａ～２０Ｆの枠部材２２が一体的に形成された、六角柱状の筒状の枠部材８０を備え、導光部材８４ａ～８４ｆ（第２の実施形態のミラー部２４に相当）を各スリット８７ａ～８７ｆ（第２の実施形態のミラー収容部２２ｇに相当）に挿入して組立てる点で、第２の実施形態の光インテグレータ２とは異なっている。
図９は、本発明の第８の実施形態に係る光インテグレータ８の構成を説明する図であり、光インテグレータ８を前面８０ａ側から見たときの正面図である。
図９に示すように、本実施形態の光インテグレータ８は、第２の実施形態の６つの四角柱状のユニット２０Ａ～２０Ｆの枠部材２２が一体的に形成された、六角柱状の筒状の枠部材８０を備え、導光部材８４ａ～８４ｆ（第２の実施形態のミラー部２４に相当）を各スリット８７ａ～８７ｆ（第２の実施形態のミラー収容部２２ｇに相当）に挿入して組立てる点で、第２の実施形態の光インテグレータ２とは異なっている。
【0067】
より具体的には、本実施形態の光インテグレータ８は、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において六角形の内面８６ａ～８６ｆを有する六角柱状の筒状の枠部材８０と、各内面８６ａ～８６ｆを覆うように配置される導光部材８４ａ～８４ｆと、を備え、導光部材８４ａ～８４ｆが１つの六角柱状の（つまり、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において六角形の）中空部８８を取り囲むように配置される。
【0068】
枠部材８０は、導光部材８４ａ～８４ｆを保持するための金属製（例えば、アルミニウム）または樹脂製（例えば、ポリカーボネート）の部材であり、不図示の光源からの光が入射される側（Ｚ軸方向マイナス側）の前面８０ａと、光が出射される側（Ｚ軸方向プラス側）の背面８０ｂ（図９において不図示）と、６つの側面８１ａ～８１ｆと、を有している。
また、本実施形態の枠部材８０の中央部分には、Ｚ軸方向に貫通する中空部８８が形成されており、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において六角形の内面８６ａ～８６ｆが形成されている。
また、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において、各内面８６ａ～８６ｆと接続するように（連続するように）、各内面８６ａ～８６ｆ（つまり、横断面の六角形の各辺の一端部）から外側に向かって延びるスリット８７ａ～８７ｆが形成されている。つまり、本実施形態のスリット８７ａ～８７ｆは、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において、各内面８６ａ～８６ｆ（つまり、横断面の六角形の各辺）を延長するように（つまり、各内面８６ａ～８６ｆと同一平面上に）形成されている。
また、本実施形態の枠部材８０の中央部分には、Ｚ軸方向に貫通する中空部８８が形成されており、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において六角形の内面８６ａ～８６ｆが形成されている。
また、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において、各内面８６ａ～８６ｆと接続するように（連続するように）、各内面８６ａ～８６ｆ（つまり、横断面の六角形の各辺の一端部）から外側に向かって延びるスリット８７ａ～８７ｆが形成されている。つまり、本実施形態のスリット８７ａ～８７ｆは、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において、各内面８６ａ～８６ｆ（つまり、横断面の六角形の各辺）を延長するように（つまり、各内面８６ａ～８６ｆと同一平面上に）形成されている。
【0069】
導光部材８４ａ～８４ｆは、各内面８６ａ～８６ｆに沿って配置される長方形の薄板状の反射部材であり、例えば、金属（例えば、アルミニウム）の薄板に蒸着等によって鏡面加工を施すことによって形成される。本実施形態の導光部材８４ａ～８４ｆは、各内面８６ａ～８６ｆ（つまり、横断面（Ｘ－Ｙ平面）において六角形の各辺）上に位置するミラー部８４ａ１～８４ｆ１と、各ミラー部８４ａ１～８４ｆ１と連続しスリット８７ａ～８７ｆに挿入される取付部８４ａ２～８４ｆ２と、を有している。
【0070】
図９に示すように、本実施形態の光インテグレータ８は、６つの導光部材８４ａ～８４ｆを、中空部８８を覆うように配置し、これらを接着固定することによって組立てられる。
具体的には、まず導光部材８４ａ～８４ｆの裏面側（各内面８６ａ～８６ｆと対向する側）に接着剤を塗布し、導光部材８４ａのミラー部８４ａ１が内面８６ａに位置するように、取付部８４ａ２をスリット８７ａに挿入し、導光部材８４ｂのミラー部８４ｂ１が内面８６ｂに位置するように、取付部８４ｂ２をスリット８７ｂに挿入し、導光部材８４ｃのミラー部８４ｃ１が内面８６ｃに位置するように、取付部８４ｃ２をスリット８７ｃに挿入し、導光部材８４ｄのミラー部８４ｄ１が内面８６ｄに位置するように、取付部８４ｄ２をスリット８７ｄに挿入し、導光部材８４ｅのミラー部８４ｅ１が内面８６ｅに位置するように、取付部８４ｅ２をスリット８７ｅに挿入し、導光部材８４ｆのミラー部８４ｆ１が内面８６ｆに位置するように、取付部８４ｆ２をスリット８７ｆに挿入する。
各導光部材８４ａ～８４ｆを各スリット８７ａ～８７ｆに挿入することにより、各導光部材８４ａ～８４ｆは各スリット８７ａ～８７ｆ内に狭持され、接着剤が固化することにより固定される。この結果、六角柱状の中空部８８を取り囲むように、各ミラー部８４ａ１～８４ｆ１が配置、固定される。
具体的には、まず導光部材８４ａ～８４ｆの裏面側（各内面８６ａ～８６ｆと対向する側）に接着剤を塗布し、導光部材８４ａのミラー部８４ａ１が内面８６ａに位置するように、取付部８４ａ２をスリット８７ａに挿入し、導光部材８４ｂのミラー部８４ｂ１が内面８６ｂに位置するように、取付部８４ｂ２をスリット８７ｂに挿入し、導光部材８４ｃのミラー部８４ｃ１が内面８６ｃに位置するように、取付部８４ｃ２をスリット８７ｃに挿入し、導光部材８４ｄのミラー部８４ｄ１が内面８６ｄに位置するように、取付部８４ｄ２をスリット８７ｄに挿入し、導光部材８４ｅのミラー部８４ｅ１が内面８６ｅに位置するように、取付部８４ｅ２をスリット８７ｅに挿入し、導光部材８４ｆのミラー部８４ｆ１が内面８６ｆに位置するように、取付部８４ｆ２をスリット８７ｆに挿入する。
各導光部材８４ａ～８４ｆを各スリット８７ａ～８７ｆに挿入することにより、各導光部材８４ａ～８４ｆは各スリット８７ａ～８７ｆ内に狭持され、接着剤が固化することにより固定される。この結果、六角柱状の中空部８８を取り囲むように、各ミラー部８４ａ１～８４ｆ１が配置、固定される。
【0071】
このように、本実施形態の光インテグレータ８は、６つの同一の導光部材８４ａ～８４ｆを中空部８８を取り囲むように配置する（挿入する）だけで、６つのミラー部８４ａ１～８４ｆ１が各内面８６ａ～８６ｆに正確に位置決めされて固定される。また、枠部材８０は、金属または樹脂から形成され、導光部材８４ａ～８４ｆは、金属の薄板から形成されているため、軽量かつ安価なものとなる。
【0072】
なお、今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【0073】
１ ：光インテグレータ
２ ：光インテグレータ
２´ ：光インテグレータ
３ ：光インテグレータ
４ ：光インテグレータ
５ ：光インテグレータ
６ ：光インテグレータ
７ ：光インテグレータ
８ ：光インテグレータ
１０ ：ユニット
１０Ａ ：ユニット
１０Ｂ ：ユニット
１０Ｃ ：ユニット
１０Ｄ ：ユニット
１２ ：枠部材
１２ａ ：端面
１２ｂ ：端面
１２ｃ ：外面
１２ｄ ：内面
１２ｅ ：第１側面
１２ｆ ：第２側面
１２ｇ ：ミラー収容部
１２ｈ ：段付き貫通穴
１２ｉ ：段付き貫通穴
１２ｊ ：ねじ穴
１２ｋ ：ねじ穴
１４ ：ミラー部
１８ ：中空部
２０ ：ユニット
２０Ａ ：ユニット
２０Ｂ ：ユニット
２０Ｃ ：ユニット
２０Ｄ ：ユニット
２０Ｅ ：ユニット
２０Ｆ ：ユニット
２０Ａ´ ：ユニット
２０Ｂ´ ：ユニット
２０Ｃ´ ：ユニット
２０Ｄ´ ：ユニット
２０Ｅ´ ：ユニット
２０Ｆ´ ：ユニット
２０Ｇ´ ：ユニット
２２ ：枠部材
２２´ ：枠部材
２２ａ ：端面
２２ｂ ：端面
２２ｃ ：外面
２２ｄ ：内面
２２ｅ ：第１側面
２２ｆ ：第２側面
２２ｇ ：ミラー収容部
２４ ：ミラー部
２８ ：中空部
２８´ ：中空部
３０ ：枠部材
３０ａ ：前面
３０ｂ ：背面
３０ｃ ：底面
３０ｄ ：上面
３０ｅ ：左側面
３０ｆ ：右側面
３２ ：ねじ穴
３４ａ ：導光部材
３４ａ１ ：ミラー部
３４ａ２ ：取付部
３４ａ３ ：折曲部
３４ｂ ：導光部材
３４ｂ１ ：ミラー部
３４ｂ２ ：取付部
３４ｃ ：導光部材
３４ｃ１ ：ミラー部
３４ｃ２ ：取付部
３４ｄ ：導光部材
３４ｄ１ ：ミラー部
３４ｄ２ ：取付部
３６ａ ：内面
３６ｂ ：内面
３６ｃ ：内面
３６ｄ ：内面
３７ａ ：スリット
３７ｂ ：スリット
３７ｃ ：スリット
３７ｄ ：スリット
３８ ：中空部
５０ ：枠部材
５０ａ ：前面
５０ｂ ：背面
５４ａ ：導光部材
５４ｂ ：導光部材
５４ｃ ：導光部材
５４ｄ ：導光部材
５６ａ ：内面
５６ｂ ：内面
５６ｃ ：内面
５６ｄ ：内面
６０ ：枠部材
６０ａ ：前面
６４Ａ ：導光部材
６４Ｂ ：導光部材
６４ａ１ ：ミラー部
６４ａ２ ：取付部
６４ｂ１ ：ミラー部
６４ｂ２ ：取付部
６４ｃ１ ：ミラー部
６４ｃ２ ：取付部
６４ｄ１ ：ミラー部
６４ｄ２ ：取付部
６６ａ ：内面
６６ｂ ：内面
６６ｃ ：内面
６６ｄ ：内面
６７Ａ ：スリット
６７Ｂ ：スリット
６８ ：中空部
７０ ：枠部材
７０ａ ：前面
７４Ａ ：導光部材
７４Ｂ ：導光部材
７４ａ１ ：ミラー部
７４ａ２ ：取付部
７４ｂ１ ：ミラー部
７４ｃ ：取付部
７４ｃ１ ：ミラー部
７４ｃ２ ：取付部
７４ｄ１ ：ミラー部
７６ａ ：内面
７６ｂ ：内面
７６ｃ ：内面
７６ｄ ：内面
７７Ａ ：スリット
７７Ｂ ：スリット
７８ ：中空部
８０ ：枠部材
８０ａ ：前面
８０ｂ ：背面
８１ａ ：側面
８１ｂ ：側面
８１ｃ ：側面
８１ｄ ：側面
８１ｅ ：側面
８１ｆ ：側面
８４ａ ：導光部材
８４ａ１ ：ミラー部
８４ａ２ ：取付部
８４ｂ ：導光部材
８４ｂ１ ：ミラー部
８４ｂ２ ：取付部
８４ｃ ：導光部材
８４ｃ１ ：ミラー部
８４ｃ２ ：取付部
８４ｄ ：導光部材
８４ｄ１ ：ミラー部
８４ｄ２ ：取付部
８４ｅ ：導光部材
８４ｅ１ ：ミラー部
８４ｅ２ ：取付部
８４ｆ ：導光部材
８４ｆ１ ：ミラー部
８４ｆ２ ：取付部
８６ａ ：内面
８６ｂ ：内面
８６ｃ ：内面
８６ｄ ：内面
８６ｅ ：内面
８６ｆ ：内面
８７ａ ：スリット
８７ｂ ：スリット
８７ｃ ：スリット
８７ｄ ：スリット
８７ｅ ：スリット
８７ｆ ：スリット
８８ ：中空部
２ ：光インテグレータ
２´ ：光インテグレータ
３ ：光インテグレータ
４ ：光インテグレータ
５ ：光インテグレータ
６ ：光インテグレータ
７ ：光インテグレータ
８ ：光インテグレータ
１０ ：ユニット
１０Ａ ：ユニット
１０Ｂ ：ユニット
１０Ｃ ：ユニット
１０Ｄ ：ユニット
１２ ：枠部材
１２ａ ：端面
１２ｂ ：端面
１２ｃ ：外面
１２ｄ ：内面
１２ｅ ：第１側面
１２ｆ ：第２側面
１２ｇ ：ミラー収容部
１２ｈ ：段付き貫通穴
１２ｉ ：段付き貫通穴
１２ｊ ：ねじ穴
１２ｋ ：ねじ穴
１４ ：ミラー部
１８ ：中空部
２０ ：ユニット
２０Ａ ：ユニット
２０Ｂ ：ユニット
２０Ｃ ：ユニット
２０Ｄ ：ユニット
２０Ｅ ：ユニット
２０Ｆ ：ユニット
２０Ａ´ ：ユニット
２０Ｂ´ ：ユニット
２０Ｃ´ ：ユニット
２０Ｄ´ ：ユニット
２０Ｅ´ ：ユニット
２０Ｆ´ ：ユニット
２０Ｇ´ ：ユニット
２２ ：枠部材
２２´ ：枠部材
２２ａ ：端面
２２ｂ ：端面
２２ｃ ：外面
２２ｄ ：内面
２２ｅ ：第１側面
２２ｆ ：第２側面
２２ｇ ：ミラー収容部
２４ ：ミラー部
２８ ：中空部
２８´ ：中空部
３０ ：枠部材
３０ａ ：前面
３０ｂ ：背面
３０ｃ ：底面
３０ｄ ：上面
３０ｅ ：左側面
３０ｆ ：右側面
３２ ：ねじ穴
３４ａ ：導光部材
３４ａ１ ：ミラー部
３４ａ２ ：取付部
３４ａ３ ：折曲部
３４ｂ ：導光部材
３４ｂ１ ：ミラー部
３４ｂ２ ：取付部
３４ｃ ：導光部材
３４ｃ１ ：ミラー部
３４ｃ２ ：取付部
３４ｄ ：導光部材
３４ｄ１ ：ミラー部
３４ｄ２ ：取付部
３６ａ ：内面
３６ｂ ：内面
３６ｃ ：内面
３６ｄ ：内面
３７ａ ：スリット
３７ｂ ：スリット
３７ｃ ：スリット
３７ｄ ：スリット
３８ ：中空部
５０ ：枠部材
５０ａ ：前面
５０ｂ ：背面
５４ａ ：導光部材
５４ｂ ：導光部材
５４ｃ ：導光部材
５４ｄ ：導光部材
５６ａ ：内面
５６ｂ ：内面
５６ｃ ：内面
５６ｄ ：内面
６０ ：枠部材
６０ａ ：前面
６４Ａ ：導光部材
６４Ｂ ：導光部材
６４ａ１ ：ミラー部
６４ａ２ ：取付部
６４ｂ１ ：ミラー部
６４ｂ２ ：取付部
６４ｃ１ ：ミラー部
６４ｃ２ ：取付部
６４ｄ１ ：ミラー部
６４ｄ２ ：取付部
６６ａ ：内面
６６ｂ ：内面
６６ｃ ：内面
６６ｄ ：内面
６７Ａ ：スリット
６７Ｂ ：スリット
６８ ：中空部
７０ ：枠部材
７０ａ ：前面
７４Ａ ：導光部材
７４Ｂ ：導光部材
７４ａ１ ：ミラー部
７４ａ２ ：取付部
７４ｂ１ ：ミラー部
７４ｃ ：取付部
７４ｃ１ ：ミラー部
７４ｃ２ ：取付部
７４ｄ１ ：ミラー部
７６ａ ：内面
７６ｂ ：内面
７６ｃ ：内面
７６ｄ ：内面
７７Ａ ：スリット
７７Ｂ ：スリット
７８ ：中空部
８０ ：枠部材
８０ａ ：前面
８０ｂ ：背面
８１ａ ：側面
８１ｂ ：側面
８１ｃ ：側面
８１ｄ ：側面
８１ｅ ：側面
８１ｆ ：側面
８４ａ ：導光部材
８４ａ１ ：ミラー部
８４ａ２ ：取付部
８４ｂ ：導光部材
８４ｂ１ ：ミラー部
８４ｂ２ ：取付部
８４ｃ ：導光部材
８４ｃ１ ：ミラー部
８４ｃ２ ：取付部
８４ｄ ：導光部材
８４ｄ１ ：ミラー部
８４ｄ２ ：取付部
８４ｅ ：導光部材
８４ｅ１ ：ミラー部
８４ｅ２ ：取付部
８４ｆ ：導光部材
８４ｆ１ ：ミラー部
８４ｆ２ ：取付部
８６ａ ：内面
８６ｂ ：内面
８６ｃ ：内面
８６ｄ ：内面
８６ｅ ：内面
８６ｆ ：内面
８７ａ ：スリット
８７ｂ ：スリット
８７ｃ ：スリット
８７ｄ ：スリット
８７ｅ ：スリット
８７ｆ ：スリット
８８ ：中空部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】