特開 2024-168566 着脱治具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024168566

(43)【公開日】2024-12-05

(54)【発明の名称】着脱治具

(51)【国際特許分類】

   F16K 27/00 20060101AFI20241128BHJP

【ＦＩ】

F16K27/00 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023085361

(22)【出願日】2023-05-24

(71)【出願人】

【識別番号】390033857

【氏名又は名称】株式会社フジキン

(74)【代理人】

【識別番号】110002468

【氏名又は名称】弁理士法人後藤特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】張 兆宏

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 好保

(72)【発明者】

【氏名】兼本 快

【テーマコード（参考）】

3H051

【Ｆターム（参考）】

3H051BB02

3H051BB03

3H051CC14

3H051CC15

3H051CC17

3H051FF01

(57)【要約】

【課題】作業性が悪い場所でも流体供給ユニットに対するバルブの着脱を容易に行うことができる着脱治具を提供する。
【解決手段】着脱治具１は、並列に設けられた一対のアーム２と、一対のアーム２の一端部を接続する接続部３と、一対のアーム２をアーム２の延在方向に沿ってそれぞれ貫通する一対の貫通孔４と、着脱治具１が流路ブロック１１０に装着された状態において、流路ブロック１１０に対して着脱治具１を位置決めする位置決め機構５と、を備え、着脱治具１が流路ブロック１１０に装着された状態において、一対の貫通孔４と一対のボルト孔１１１ａとは、それぞれ同軸に形成され、アクチュエータ１２０は、一対のアーム２及び接続部３により囲まれた収容領域Ｓに収容されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

流路及び一対のボルト孔が形成された流路ブロックと、高さ方向に沿って延在するように前記流路ブロックに設けられたアクチュエータと、を備えるバルブを流体供給ユニットに対し着脱するための着脱治具であって、
並列に設けられた一対のアームと、
一対の前記アームを接続する接続部と、
一対の前記アームを前記アームの延在方向に沿ってそれぞれ貫通する一対の貫通孔と、
一対の前記アームに設けられ、前記着脱治具が前記流路ブロックに装着された状態において、前記流路ブロックに対して前記着脱治具を位置決めする位置決め機構と、を備え、
前記着脱治具が前記流路ブロックに装着された状態において、平面視にて一対の前記ボルト孔は、それぞれ一対の前記貫通孔の領域内に位置し、前記アクチュエータは、一対の前記アーム及び前記接続部により囲まれた収容領域に収容され、
前記着脱治具が前記流路ブロックに装着された状態において、前記ボルト孔に挿通されたボルトを前記貫通孔に挿通されたレンチにより前記流体供給ユニットにねじ込むことで、前記バルブを前記流体供給ユニットに装着する、
着脱治具。

【請求項2】

前記位置決め機構は、
平面視において長手方向に沿って延在する前記流路ブロックの一対の第１側壁を挟持可能に前記アームの一端部から突出する一対の第１挟持部と、
平面視において幅方向に沿って延在する前記流路ブロックの一対の第２側壁を挟持可能にそれぞれ一対の前記アームの一端部から突出する一対の第２挟持部と、を有し、
前記着脱治具が前記流路ブロックに装着された状態において、一対の前記第１挟持部及び一対の前記第２挟持部は、それぞれ一対の前記第１側壁及び一対の前記第２側壁を挟持している、
請求項１に記載の着脱治具。

【請求項3】

前記位置決め機構は、それぞれ一対の前記アームの他端に形成された一対の当接部を有し、
前記流路ブロックは、一対の前記ボルト孔が形成されるとともに長手方向において前記アクチュエータを中心として対称的に形成された一対の下段面と、前記長手方向において前記アクチュエータを中心として対称的に形成された一対の上段面と、を有し、
前記着脱治具が前記流路ブロックに装着された状態において、一対の前記当接部は、それぞれ一対の前記上段面に当接している、
請求項１に記載の着脱治具。

【請求項4】

前記流路ブロックは、前記アクチュエータが取り付けられるように一対の前記上段面の間に設けられた取付台をさらに有し、
前記着脱治具が前記流路ブロックに装着された状態において、一対の前記アームは、前記取付台とは離間している、
請求項３に記載の着脱治具。

【請求項5】

一対の前記アーム及び前記接続部とは別体形成されるとともに正面視において前記収容領域と重ならず一対の前記アーム及び前記接続部と重なるように一対の前記アーム及び前記接続部の正面又は背面に設けられた補強部をさらに備える、
請求項１に記載の着脱治具。

【請求項6】

一対の前記アームと一体形成された補強部をさらに備え、
前記収容領域は、一対の前記アーム、前記接続部及び前記補強部により囲まれている、
請求項１に記載の着脱治具。

【請求項7】

一対の前記アームは、アーム本体と、一対の前記アーム本体の間である内側とは反対側である外側に突出するように前記アーム本体の一端部に設けられた第１突出部と、を有し、
一対の前記貫通孔は、一対の前記第１突出部を貫通する一対の第１貫通孔から構成されている、
請求項１に記載の着脱治具。

【請求項8】

一対の前記アームは、一対の前記アーム本体の間である内側とは反対側である外側に突出するとともに前記第１突出部から離間するように前記アーム本体の他端部に設けられた第２突出部をさらに有し、
一対の前記第２突出部には、それぞれ一対の第２貫通孔が形成され、
前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とは、前記レンチが同時に挿通可能に形成されている、
請求項７に記載の着脱治具。

【請求項9】

前記流路ブロックは、前記アクチュエータが取り付けられるように一対の前記上段面の間に設けられた取付台をさらに有し、
一対の前記アームは、アーム本体と、一対の前記アーム本体の間である内側に突出するように前記アーム本体の一端部に設けられた第３突出部と、を有し、
前記着脱治具が前記流路ブロックに装着された状態において、一対の前記第３突出部は、前記取付台を挟持している、
請求項３に記載の着脱治具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、着脱治具に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、バルブがボルト締めにより流体供給ユニットに装着され、バルブがボルト緩めにより流体供給ユニットから取り外されることが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－８５４７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載の技術によれば、作業性が悪い場所ではボルト締め又はボルト緩めを行うことは困難であるため、流体供給ユニットに対するバルブの着脱は困難である。

【0005】

本発明は、この問題点に着目してなされたものであり、作業性が悪い場所でも流体供給ユニットに対するバルブの着脱を容易に行うことができる着脱治具を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のある態様によれば、流路及び一対のボルト孔が形成された流路ブロックと、高さ方向に沿って延在するように前記流路ブロックに設けられたアクチュエータと、を備えるバルブを流体供給ユニットに対し着脱するための着脱治具であって、並列に設けられた一対のアームと、一対の前記アームを接続する接続部と、一対の前記アームを前記アームの延在方向に沿ってそれぞれ貫通する一対の貫通孔と、一対の前記アームに設けられ、前記着脱治具が前記流路ブロックに装着された状態において、前記流路ブロックに対して前記着脱治具を位置決めする位置決め機構と、を備え、前記着脱治具が前記流路ブロックに装着された状態において、平面視にて一対の前記ボルト孔は、それぞれ一対の前記貫通孔の領域内に位置し、前記アクチュエータは、一対の前記アーム及び前記接続部により囲まれた収容領域に収容され、前記着脱治具が前記流路ブロックに装着された状態において、前記ボルト孔に挿通されたボルトを前記貫通孔に挿通されたレンチにより前記流体供給ユニットにねじ込むことで、前記バルブを前記流体供給ユニットに装着する着脱治具が提供される。

【発明の効果】

【0007】

この態様によれば、作業性が悪い場所でも流体供給ユニットに対するバルブの着脱を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、第１実施形態に係るバルブを示す斜視図である。

【図2】図２は、第１実施形態に係る着脱治具を示す斜視図である。

【図3】図３は、第１実施形態に係る着脱治具を示す背面図である。

【図4】図４は、第１実施形態に係る着脱治具を示す底面図である。

【図5】図５は、第１実施形態に係る着脱治具がバルブに装着された状態を示す斜視図である。

【図6】図６は、第１実施形態の変形例に係る着脱治具を示す斜視図である。

【図7】図７は、第１実施形態の変形例に係る着脱治具を示す底面図である。

【図8】図８は、第１実施形態の変形例に係る着脱治具がバルブに装着された状態を示す斜視図である。

【図9】図９は、第２実施形態に係るバルブを示す斜視図である。

【図10】図１０は、第２実施形態に係る着脱治具を示す斜視図である。

【図11】図１１は、第２実施形態に係る着脱治具がバルブに装着された状態を示す斜視図である。

【図12】図１２は、第２実施形態の変形例に係る着脱治具を示す斜視図である。

【図13】図１３は、第２実施形態の変形例に係る着脱治具がバルブに装着された状態を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。本明細書においては、全体を通じて、同一の要素には同一の符号を付する。

【0010】

（第１実施形態）
［バルブの構成］
図１を参照しながら第１実施形態に係るバルブ１００の構成について説明する。

【0011】

図１は、第１実施形態に係るバルブ１００を示す斜視図である。図１において、バルブ１００の長手方向、幅方向及び高さ方向をそれぞれＸ軸に沿う方向、Ｙ軸に沿う方向及びＺ軸に沿う方向とする。以下、説明の便宜上、バルブ１００の長手方向、幅方向及び高さ方向を単に長手方向、幅方向及び高さ方向とも称する。

【0012】

図１に示すように、第１実施形態に係るバルブ１００は、流体機器としての二方弁であり、ボルト締めにより図示しない流体供給ユニットのベースブロックに装着され、ボルト緩めにより流体供給ユニットのベースブロックから取り外されるものである。流体供給ユニットは、図示しない半導体製造装置（ＣＶＤ装置、スパッタリング装置、エッチング装置等／図示しない）におけるプロセスガス又はパージガスの供給に用いられる。

【0013】

図１に示すように、バルブ１００は、流路としての流入流路及び流出流路（図示しない）が形成された流路ブロック１１０と、高さ方向に沿って延在するように流路ブロック１１０の中央に設けられた単一のアクチュエータ１２０と、を備える。

【0014】

流路ブロック１１０は、一対のボルト孔１１１ａが形成されるとともに長手方向においてアクチュエータ１２０を中心として対称的に形成された一対の下段面１１１と、長手方向においてアクチュエータ１２０を中心として対称的に形成された一対の上段面１１２と、アクチュエータ１２０が取り付けられるように一対の上段面１１２の間に設けられた取付台１１３と、を有する。

【0015】

一対の下段面１１１及び一対の上段面１１２は、それぞれ、高さ方向に沿って延在する一対の段差１１４を介して接続されている。一対のボルト孔１１１ａは、高さ方向に沿って延在するように流路ブロック１１０を貫通している。

【0016】

また、流路ブロック１１０は、長手方向に沿って延在する一対の第１側壁１１５と、幅方向に沿って延在する一対の第２側壁１１６と、をさらに有する。

【0017】

第１実施形態では、アクチュエータ１２０は、筒状（具体的には、円筒状）のエア供給式のアクチュエータから構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、圧電式のアクチュエータから構成されてもよい。

【0018】

［着脱治具の構成］
図１から図５を参照しながら第１実施形態に係る着脱治具１の構成について詳細に説明する。

【0019】

図２は、第１実施形態に係る着脱治具１を示す斜視図である。図３は、第１実施形態に係る着脱治具１を示す背面図である。図４は、第１実施形態に係る着脱治具１を示す底面図である。図５は、第１実施形態に係る着脱治具１がバルブ１００に装着された状態を示す斜視図である。

【0020】

図２から図５に示すように、第１実施形態に係る着脱治具１は、流体供給ユニットのベースブロックに対しバルブ１００を着脱するための補助治具である。着脱治具１は、一対のアーム２、接続部３、一対の貫通孔４、位置決め機構５及び補強部としての補強板６を備える。なお、位置決め機構５は、一対のアーム２及び接続部３とは一体形成されている。補強板６は、一対のアーム２及び接続部３とは別体形成されている。

【0021】

一対のアーム２は、並列に設けられている。第１実施形態では、一対のアーム２は、中空に構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、中実に構成されてもよい。

【0022】

接続部３は、一対のアーム２（具体的には、アーム２の他端部）を接続している。第１実施形態では、接続部３は、中空に構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、中実に構成されてもよい。

【0023】

図５に示すように、一対のアーム２及び接続部３により囲まれた領域は、アクチュエータ１２０を収容可能な収容領域Ｓである。

【0024】

図２及び図４に示すように、一対の貫通孔４は、一対のアーム２をアーム２の延在方向に沿ってそれぞれ貫通している。

【0025】

図２及び図４に示すように、位置決め機構５は、一対のアーム２に設けられ、着脱治具１が流路ブロック１１０に装着された状態において、流路ブロック１１０に対して着脱治具１を位置決めする機構である。また、位置決め機構５は、二対の第１挟持部としての第１挟持片５１、一対の第２挟持部としての第２挟持片５２及び一対の当接部としての当接面５３を有する。

【0026】

各対の第１挟持片５１は、アーム２の延在方向に沿って延在するように各アーム２の一端部から突出している。各対の第１挟持片５１は、一対の第１側壁１１５を挟持可能に設けられている。なお、各対の第１挟持片５１は、両者の間の間隔が一対の第１側壁１１５の間の間隔よりも小さく形成されてもよい。この場合に、各対の第１挟持片５１は、一対の第１側壁１１５を弾性力により挟持することができる。

【0027】

一対の第２挟持片５２は、アーム２の延在方向に沿って延在するようにそれぞれ一対のアーム２の一端部から突出している。一対の第２挟持片５２は、一対の第２側壁１１６を挟持可能に設けられている。なお、一対の第２挟持片５２は、両者の間の間隔が一対の第２側壁１１６の間の間隔よりも小さく形成されてもよい。この場合に、各対の第２挟持片５２は、一対の第２側壁１１６を弾性力により挟持することができる。各対の第１挟持片５１は、各第２挟持片５２の両側と接続されている。

【0028】

このように、第１挟持及び第２挟持部を、それぞれ肉厚が比較的小さい第１挟持片５１及び第２挟持片５２により構成することで、着脱治具１全体の小型化を図ることができるため、作業スペースが狭小な場所であっても、このような着脱治具１を用いて、流体供給ユニットのベースブロックに対しバルブ１００を容易に着脱することができる。

【0029】

一対の当接面５３は、それぞれ一対の上段面１１２と当接可能にそれぞれ一対のアーム２の他端に形成されている。

【0030】

図３に示すように、補強板６は、着脱治具１全体の強度を向上させるために、ねじ締により一対のアーム２及び接続部３に設けられた板材である。補強板６は、一対のアーム２及び接続部３の正面又は背面に設けられた略ｎ字型の補強板本体６１と、一対のアーム２を挟持するように補強板本体６１から折り曲げられた一対の挟持板６２と、を有する。

【0031】

正面視において、補強板本体６１は、収容領域Ｓと重ならず、一対のアーム２及び接続部３と重なるように設けられているため、補強板本体６１と収容領域Ｓとが干渉することを回避することができる。これにより、バルブ１００を流体供給ユニットのベースブロックに対し着脱する際に、収容領域Ｓにアクチュエータ１２０と干渉しない流体供給ユニットの配管が存在した場合であっても、当該配管と補強板本体６１（すなわち、着脱治具１）とが干渉することを回避することができる。この結果、着脱治具１の使用自由度を向上させることができる。

【0032】

そして、バルブ１００を流体供給ユニットのベースブロックに対し着脱する際に、着脱治具１をバルブ１００に被せるように一対のアーム２の一端部を流路ブロック１１０の下段面１１１及び上段面１１２に近接させる。

【0033】

そして、図５に示すように、着脱治具１がバルブ１００の流路ブロック１１０に装着された状態（以下、単に装着状態とも称する）において、二対の第１挟持片５１及び一対の第２挟持片５２は、それぞれ流路ブロック１１０における一対の第１側壁１１５及び一対の第２側壁１１６を挟持している。これにより、装着状態では、長手方向及び幅方向において、流路ブロック１１０に対し着脱治具１が位置決められている。

【0034】

また、装着状態において、一対の当接面５３は、それぞれ一対の上段面１１２に当接している。これにより、装着状態では、高さ方向における流路ブロック１１０に対する着脱治具１の装着方向において、流路ブロック１１０に対し着脱治具１が位置決めされている。

【0035】

第１実施形態では、一対の当接面５３は、装着状態において、それぞれ一対の上段面１１２と当接するように設けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、装着状態において、それぞれ一対の下段面１１１と当接するように設けられてもよい。

【0036】

このように、着脱治具１は、二対の第１挟持片５１、一対の第２挟持片５２及び一対の当接面５３を有する位置決め機構５を備えることで、流体供給ユニットのベースブロックに対するバルブ１００の着脱時において、着脱治具１を安定的にバルブ１００の流路ブロック１１０に装着することができる。このため、流体供給ユニットのベースブロックに対してバルブ１００を容易に着脱することができる。

【0037】

また、装着状態において、平面視にて一対のボルト孔１１１ａは、それぞれ一対の貫通孔４の領域内に位置する。具体的には、装着状態において、一対の貫通孔４、一対のボルト孔１１１ａ及び一対のボルトＢは、それぞれ同軸に形成されている。これにより、ボルト孔１１１ａに挿通されたボルトＢを、貫通孔４に挿通されたレンチ（図示しない／具体的には、六角レンチ）により容易に回転させることができるとともに、レンチの余計な動きを貫通孔４により抑制することができる。この結果、例えば、高所作業場所等の作業性が悪い場所でも、流体供給ユニットのベースブロックに対するバルブ１００の着脱を容易に行うことができる。特にベースブロックが鉛直面に設けられた流体供給ユニットに対してバルブ１００を容易に着脱することができる。

【0038】

さらに、バルブ１００がベースブロックから取り外される際に、レンチにより緩められたボルトＢは、一時的に着脱治具１の貫通孔４に収容されるため、ボルトＢの脱落を防止することができる。

【0039】

くわえて、貫通孔４の下段面１１１に対向する端部と下段面１１１との間の領域は、一対の第１挟持片５１、第２挟持片５２及び段差１１４により囲まれている。これにより、バルブ１００がベースブロックから取り外される際に、レンチにより緩められたボルトＢは、貫通孔４に収容される前に貫通孔４の下段面１１１に対向する端部と下段面１１１との間の領域から脱落することを防止することができる。

【0040】

また、装着状態において、アクチュエータ１２０は、収容領域Ｓに収容されている。これにより、アクチュエータ１２０と着脱治具１とが干渉することを回避することができる。

【0041】

また、装着状態において、一対のアーム２は、取付台１１３とは離間している。これにより、バルブ１００を流体供給ユニットのベースブロックに対し着脱する際に、一対のアーム２と取付台１１３との間に流体供給ユニットの配管が存在した場合であっても、当該配管と一対のアーム２（すなわち、着脱治具１）とが干渉することを回避することができる。この結果、着脱治具１の使用自由度を向上させることができる。

【0042】

そして、装着状態において、ボルト孔１１１ａに挿通されたボルトＢを貫通孔４に挿通されたレンチにより流体供給ユニットのベースブロックにねじ込むことで、バルブ１００を流体供給ユニットのベースブロックに装着する。一方、装着状態において、ボルト孔１１１ａに挿通されたボルトＢを貫通孔４に挿通されたレンチにより流体供給ユニットのベースブロックから緩めることで、バルブ１００を流体供給ユニットのベースブロックから取り外す。

【0043】

（第１実施形態の変形例）
次に、図６から図８を参照しながら第１実施形態の変形例に係る着脱治具１の構成について説明する。なお、本変形例では、上述した第１実施形態と一致する点について省略し、主に上述した第１実施形態と相違する点について説明する。

【0044】

図６は、第１実施形態の変形例に係る着脱治具１を示す斜視図である。図７は、第１実施形態の変形例に係る着脱治具１を示す底面図である。図８は、第１実施形態の変形例に係る着脱治具１がバルブ１００に装着された状態を示す斜視図である。

【0045】

本変形例では、図６から図８に示すように、一対のアーム２は、アーム本体２１と、一対のアーム本体２１の間である内側とは反対側である外側に突出するようにアーム本体２１の一端部に設けられた第１突出部２２と、一対のアーム本体２１の間である内側とは反対側である外側に突出するとともに第１突出部２２から離間するようにアーム本体２１の他端部に設けられた第２突出部２３と、一対のアーム本体２１の間である内側に突出するようにアーム本体２１の一端部に設けられた第３突出部２４と、を有する。

【0046】

本変形例では、図６及び図８に示すように、一対の貫通孔４は、一対の第１突出部２２をアーム本体２１の延在方向に沿って貫通する一対の第１貫通孔４１から構成されている。一対の第２突出部２３には、それぞれ一対の第２貫通孔４２が形成されている。第１貫通孔４１と第２貫通孔４２とは、レンチが同時に挿通可能に形成されている。そして、着脱治具１が流路ブロック１１０に装着された状態（以下、単に装着状態とも称する）において、レンチは、第２貫通孔４２及び第１貫通孔４１を順に挿通して、ボルト孔１１１ａに挿通されたボルトＢを容易にねじ込む又は緩めることができる。なお、一対の第１貫通孔４１及び一対の第２貫通孔４２とは、それぞれ同軸に形成されることが好ましい。

【0047】

このように、一対の第１貫通孔４１及び一対の第２貫通孔４２を、一対のアーム本体２１ではなく、それぞれ互いに離間した一対の第１突出部２２及び一対の第２突出部２３に形成するため、一対のアーム本体２１における配列方向の幅を小さくすることができる。

【0048】

また、レンチは、第２貫通孔４２及び第１貫通孔４１を順に挿通するため、レンチを第１貫通孔４１に挿通させる際にアーム本体２１に対するレンチの傾きが第２貫通孔４２により抑制され、一対の第２突出部２３が設けられておらず一対の第１貫通孔４１がそれぞれ一対の第１突出部２２に形成された場合に比べ、レンチを容易に第１貫通孔４１に挿通させることができる。この結果、レンチが周辺の流体制御機器と干渉してしまうことを抑制することができる。

【0049】

本変形例では、アーム２は、第１突出部２２及び第２突出部２３を有して構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、第２突出部２３を有しておらず、第１突出部２２のみを有して構成されてもよい。

【0050】

本変形例では、図６及び図８に示すように、各対の第１挟持片５１は、アーム本体２１の一端部のみならず、第１突出部２２及び第３突出部２４から突出している。一対の第２挟持片５２は、それぞれ一対の第１突出部２２の第２突出部２３側とは反対側から突出している。

【0051】

着脱治具１がバルブ１００の流路ブロック１１０に装着された状態において、一対の第３突出部２４は、取付台１１３を挟持している。これにより、装着状態を安定的にすることができる。本変形例では、各第３突出部２４は、互いに離間した一対の突出片２４１から構成されている。なお、一対の第３突出部２４は、位置決め機構５の一部を構成してもよい。

【0052】

上述した第１実施形態では、補強部は、一対のアーム２及び接続部３とは別体である補強板６から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、一対のアーム２と一体形成された補強板６Ａ（図６参照）から構成されてもよい。

【0053】

この場合に、一対のアーム２と別体形成された補強板６に比べ、着脱治具１を容易に形成することができる。そして、補強板６Ａは、正面視において、収容領域Ｓと重なるように一対のアーム２及び接続部３と接続されている。そして、装着状態において、アクチュエータ１２０は、一対のアーム２、接続部３及び補強板６Ａにより囲まれた収容領域Ｓに収容されている。

【0054】

そして、着脱治具１を用いて流体供給ユニットのベースブロックに対してバルブ１００を着脱する際に、レンチは、第１貫通孔４１及び第２貫通孔４２の両方を挿通させて、ボルト孔１１１ａに挿通されたボルトＢを容易に回転させることができる。

【0055】

（第２実施形態）
［バルブの構成］
次に、図９を参照しながら第２実施形態に係るバルブ１００について説明する。なお、第２実施形態では、上述した第１実施形態と一致する点について省略し、主に上述した第１実施形態と相違する点について説明する。

【0056】

図９は、第２実施形態に係るバルブ１００を示す斜視図である。

【0057】

上述した第１実施形態では、バルブ１００は、単一のアクチュエータ１２０を備えて構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、二つのアクチュエータ１２０（図９参照）を備えて構成されてもよい。この場合に、図９に示すように、第２実施形態に係るバルブ１００は、流体機器としての三方弁である。二つのアクチュエータ１２０は、取付台１１３Ａに取り付けられている。なお、第２実施形態に係る取付台１１３Ａは、長手方向の幅が第１実施形態に係る取付台１１３における長手方向の幅よりも大きく形成されている。

【0058】

［着脱治具の構成］
次に、図１０及び図１１を参照しながら第２実施形態に係る着脱治具１について説明する。なお、第２実施形態では、上述した第１実施形態と一致する点について省略し、主に上述した第１実施形態と相違する点について説明する。

【0059】

図１０は、第２実施形態に係る着脱治具１を示す斜視図である。図１１は、第２実施形態に係る着脱治具１がバルブ１００に装着された状態を示す斜視図である。

【0060】

図１０及び図１１に示すように、第２実施形態に係る接続部３は、第２実施形態に係る取付台１１３Ａと対応し、長さ（すなわち、一対のアーム２間の間隔）が第１実施形態に係る接続部３の長さよりも大きく形成されている。これにより、第２実施形態に係る収容領域Ｓは、第１実施形態に係る収容領域Ｓよりも大きく、二つのアクチュエータ１２０を収容することが可能である。

【0061】

（第２実施形態の変形例）
次に、図１２及び図１３を参照しながら第２実施形態の変形例に係る着脱治具１の構成について説明する。なお、本変形例では、上述した第１実施形態の変形例と一致する点について省略し、主に上述した第１実施形態の変形例と相違する点について説明する。

【0062】

図１２は、第２実施形態の変形例に係る着脱治具１を示す斜視図である。図１３は、第２実施形態の変形例に係る着脱治具１がバルブ１００に装着された状態を示す斜視図である。

【0063】

図１２及び図１３に示すように、第２実施形態の変形例に係る接続部３は、第２実施形態に係る取付台１１３Ａと対応し、長さ（すなわち、一対のアーム２間の間隔）が第１実施形態の変形体に係る接続部３の長さよりも大きく形成されている。これにより、第２実施形態の変形例に係る収容領域Ｓは、第１実施形態の変形例に係る収容領域Ｓよりも大きく、二つのアクチュエータ１２０を収容することが可能である。

【0064】

（作用効果）
次に、各実施形態及び各変形例による作用効果について説明する。

【0065】

（１）着脱治具１は、流路及び一対のボルト孔１１１ａが形成された流路ブロック１１０と、高さ方向に沿って延在するように流路ブロック１１０に設けられたアクチュエータ１２０と、を備えるバルブ１００を流体供給ユニットのベースブロックに対し着脱するための着脱治具１であって、並列に設けられた一対のアーム２と、一対のアーム２を接続する接続部３と、一対のアーム２をアーム２の延在方向に沿ってそれぞれ貫通する一対の貫通孔４と、一対のアーム２に設けられ、着脱治具１が流路ブロック１１０に装着された状態において、流路ブロック１１０に対して着脱治具１を位置決めする位置決め機構５と、を備え、着脱治具１が流路ブロック１１０に装着された状態において、平面視にて一対のボルト孔１１１ａは、それぞれ一対の貫通孔４の領域内に位置し、アクチュエータ１２０は、一対のアーム２及び接続部３により囲まれた収容領域Ｓに収容され、着脱治具１が流路ブロック１１０に装着された状態において、ボルト孔１１１ａに挿通されたボルトＢを貫通孔４に挿通されたレンチにより流体供給ユニットのベースブロックにねじ込むことで、バルブ１００を流体供給ユニットのベースブロックに装着する。

【0066】

この構成によれば、着脱治具１は、位置決め機構５を備えるため、流体供給ユニットのベースブロックに対するバルブ１００の着脱時において、着脱治具１を安定的にバルブ１００の流路ブロック１１０に装着することができる。これにより、流体供給ユニットのベースブロックに対してバルブ１００を容易に着脱することができる。

【0067】

また、ボルト孔１１１ａに挿通されたボルトＢを、貫通孔４に挿通されたレンチにより容易に回転させることができるとともに、レンチの余計な動きを貫通孔４により抑制することができる。この結果、例えば、高所作業場所等の作業性が悪い場所でも、流体供給ユニットのベースブロックに対するバルブ１００の着脱を容易に行うことができる。特にベースブロックが鉛直面に設けられた流体供給ユニットに対してバルブ１００を容易に着脱することができる。

【0068】

さらに、バルブ１００がベースブロックから取り外される際に、レンチにより緩められたボルトＢは、一時的に着脱治具１の貫通孔４に収容されるため、ボルトＢの脱落を防止することができる。

【0069】

くわえて、装着状態において、アクチュエータ１２０は、収容領域Ｓに収容されているため、アクチュエータ１２０と着脱治具１とが干渉することを回避することができる。

【0070】

（２）位置決め機構５は、平面視において長手方向に沿って延在する流路ブロック１１０の一対の第１側壁１１５を挟持可能にアーム２の一端部から突出する一対の第１挟持片５１と、平面視において幅方向に沿って延在する流路ブロック１１０の一対の第２側壁１１６を挟持可能にそれぞれ一対のアーム２の一端部から突出する一対の第２挟持片５２と、を有し、着脱治具１が流路ブロック１１０に装着された状態において、一対の第１挟持片５１及び一対の第２挟持片５２は、それぞれ一対の第１側壁１１５及び一対の第２側壁１１６を挟持している。

【0071】

この構成によれば、装着状態では、長手方向及び幅方向において、流路ブロック１１０に対し着脱治具１が位置決められている。

【0072】

（３）位置決め機構５は、それぞれ一対のアーム２の他端に形成された一対の当接面５３を有し、流路ブロック１１０は、一対のボルト孔１１１ａが形成されるとともに長手方向においてアクチュエータ１２０を中心として対称的に形成された一対の下段面１１１と、長手方向においてアクチュエータ１２０を中心として対称的に形成された一対の上段面１１２と、を有し、着脱治具１が流路ブロック１１０に装着された状態において、一対の当接面５３は、それぞれ一対の上段面１１２に当接している。

【0073】

この構成によれば、装着状態では、高さ方向における流路ブロック１１０に対する着脱治具１の装着方向において、流路ブロック１１０に対し着脱治具１が位置決めされている。

【0074】

（４）流路ブロック１１０は、アクチュエータ１２０が取り付けられるように一対の上段面１１２の間に設けられた取付台１１３をさらに有し、着脱治具１が流路ブロック１１０に装着された状態において、一対のアーム２は、取付台１１３とは離間している。

【0075】

この構成によれば、バルブ１００を流体供給ユニットのベースブロックに対し着脱する際に、一対のアーム２と取付台１１３との間に流体供給ユニットの配管が存在した場合であっても、当該配管と一対のアーム２（すなわち、着脱治具１）とが干渉することを回避することができる。この結果、着脱治具１の使用自由度を向上させることができる。

【0076】

（５）着脱治具１は、一対のアーム２及び接続部３とは別体形成されるとともに正面視において収容領域Ｓと重ならず一対のアーム２及び接続部３と重なるように一対のアーム２及び接続部３の正面又は背面に設けられた補強板６をさらに備える。

【0077】

この構成によれば、着脱治具１全体の強度を向上させるとともに正面視において補強板６と収容領域Ｓとが干渉することを回避することができる。これにより、バルブ１００を流体供給ユニットのベースブロックに対し着脱する際に、収容領域Ｓにアクチュエータ１２０と干渉しない流体供給ユニットの配管が存在した場合であっても、当該配管と補強板６（すなわち、着脱治具１）とが干渉することを回避することができる。この結果、着脱治具１の使用自由度を向上させることができる。

【0078】

（６）着脱治具１は、一対のアーム２と一体形成された補強板６をさらに備え、収容領域Ｓは、一対のアーム２、接続部３及び補強板６により囲まれている。

【0079】

この構成によれば、一対のアーム２と別体形成された補強板６に比べ、着脱治具１を容易に形成することができる。

【0080】

（７）一対のアーム２は、アーム本体２１と、一対のアーム本体２１の間である内側とは反対側である外側に突出するようにアーム本体２１の一端部に設けられた第１突出部２２と、を有し、一対の貫通孔４は、一対の第１突出部２２を貫通する一対の第１貫通孔４１から構成されている。

【0081】

この構成によれば、一対の第１貫通孔４１を、一対のアーム本体２１ではなく、それぞれ、一対のアーム本体２１の一端部のそれぞれに設けられた一対の第１突出部２２に形成するため、一対のアーム本体２１における配列方向の幅を小さくすることができる。

【0082】

（８）一対のアーム２は、一対のアーム本体２１の間である内側とは反対側である外側に突出するとともに第１突出部２２から離間するようにアーム本体２１の他端部に設けられた第２突出部２３をさらに有し、一対の第２突出部２３には、それぞれ一対の第２貫通孔４２が形成され、第１貫通孔４１と第２貫通孔４２とは、レンチが同時に挿通可能に形成されている。

【0083】

この構成によれば、一対の第２貫通孔４２を、一対のアーム本体２１ではなく、それぞれ、一対のアーム本体２１の他端部のそれぞれに設けられた一対の第２突出部２３に形成するため、一対のアーム本体２１における配列方向の幅を小さくすることができる。

【0084】

また、レンチは、第２貫通孔４２及び第１貫通孔４１を順に挿通するため、レンチを第１貫通孔４１に挿通させる際にアーム本体２１に対するレンチの傾きが第２貫通孔４２により抑制され、一対の第２突出部２３が設けられておらず一対の第１貫通孔４１がそれぞれ一対の第１突出部２２に形成された場合に比べ、レンチを容易に第１貫通孔４１に挿通させることができる。この結果、レンチが周辺の流体制御機器と干渉してしまうことを抑制することができる。

【0085】

（９）流路ブロック１１０は、アクチュエータ１２０が取り付けられるように一対の上段面１１２の間に設けられた取付台１１３をさらに有し、一対のアーム２は、アーム本体２１と、一対のアーム本体２１の間である内側に突出するようにアーム本体２１の一端部に設けられた第３突出部２４と、を有し、着脱治具１が流路ブロック１１０に装着された状態において、一対の第３突出部２４は、取付台１１３を挟持している。

【0086】

この構成によれば、装着状態を安定的にすることができる。

【0087】

以上、本実施形態について説明したが、上述した実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上述した実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。

【符号の説明】

【0088】

１ 着脱治具
２ アーム
３ 接続部
４ 貫通孔
５ 位置決め機構
１００ バルブ
１１０ 流路ブロック
１１１ ボルト孔
１２０ アクチュエータ
Ｂ ボルト
Ｓ 収容領域

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】