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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024168653
(43)【公開日】2024-12-05
(54)【発明の名称】ガルバノスキャナ
(51)【国際特許分類】
G02B 26/10 20060101AFI20241128BHJP
B23K 26/082 20140101ALI20241128BHJP
【ＦＩ】
G02B26/10 104Z
B23K26/082
【審査請求】未請求
【請求項の数】3
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023085513
(22)【出願日】2023-05-24
(71)【出願人】
【識別番号】000001007
【氏名又は名称】キヤノン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100126240
【弁理士】
【氏名又は名称】阿部 琢磨
(74)【代理人】
【識別番号】100223941
【弁理士】
【氏名又は名称】高橋 佳子
(74)【代理人】
【識別番号】100159695
【弁理士】
【氏名又は名称】中辻 七朗
(74)【代理人】
【識別番号】100172476
【弁理士】
【氏名又は名称】冨田 一史
(74)【代理人】
【識別番号】100126974
【弁理士】
【氏名又は名称】大朋 靖尚
(72)【発明者】
【氏名】鈴木 猛司
【テーマコード（参考）】
2H045
4E168
【Ｆターム（参考）】
2H045AB02
4E168CB04
4E168EA15
(57)【要約】
【課題】 ミラーの取り付け角度の自由度を向上させること。
【解決手段】 ステータと、ロータとミラーホルダと、ミラーと、を有し、前記ミラーホルダには、ロータ回転軸に対して垂直で、前記マウント部と接触する第１平面部と、前記ミラーホルダを前記マウント部に締結するための前記ロータの回転軸の平行方向に開けられた少なくとも２個の穴が設けられ、前記マウント部には、ロータ回転軸に対して垂直で、前記ミラーホルダの前記第１平面部と接触する第２平面部と、前記第２平面部に配置され前記ミラーホルダを前記マウント部に締結するための回転軸の平行方向に開けられた少なくとも３個のネジ穴と、前記ロータの回転軸の垂直方向に突出した凸部と、が設けられ、前記ステータは、前記凸部との接触により前記ロータの回転角度範囲を規制する凹部を有する。
【選択図】 図２
【解決手段】 ステータと、ロータとミラーホルダと、ミラーと、を有し、前記ミラーホルダには、ロータ回転軸に対して垂直で、前記マウント部と接触する第１平面部と、前記ミラーホルダを前記マウント部に締結するための前記ロータの回転軸の平行方向に開けられた少なくとも２個の穴が設けられ、前記マウント部には、ロータ回転軸に対して垂直で、前記ミラーホルダの前記第１平面部と接触する第２平面部と、前記第２平面部に配置され前記ミラーホルダを前記マウント部に締結するための回転軸の平行方向に開けられた少なくとも３個のネジ穴と、前記ロータの回転軸の垂直方向に突出した凸部と、が設けられ、前記ステータは、前記凸部との接触により前記ロータの回転角度範囲を規制する凹部を有する。
【選択図】 図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ステータと、
前記ステータに対して回動可能に支持され、先端にマウント部を有するロータと、
前記マウント部に設けられたミラーホルダと、
前記ミラーホルダに保持されたミラーと、
を有し、
前記ミラーホルダには、ロータ回転軸に対して垂直で、前記マウント部と接触する第１平面部と、前記ミラーホルダを前記マウント部に締結するための前記ロータの回転軸の平行方向に開けられた少なくとも２個の穴が設けられ、
前記マウント部には、ロータ回転軸に対して垂直で、前記ミラーホルダの前記第１平面部と接触する第２平面部と、前記第２平面部に配置され前記ミラーホルダを前記マウント部に締結するための回転軸の平行方向に開けられた少なくとも３個のネジ穴と、前記ロータの回転軸の垂直方向に突出した凸部と、が設けられ、
前記ステータは、前記凸部との接触により前記ロータの回転角度範囲を規制する凹部を有する、
ことを特徴とするガルバノスキャナ。
前記ステータに対して回動可能に支持され、先端にマウント部を有するロータと、
前記マウント部に設けられたミラーホルダと、
前記ミラーホルダに保持されたミラーと、
を有し、
前記ミラーホルダには、ロータ回転軸に対して垂直で、前記マウント部と接触する第１平面部と、前記ミラーホルダを前記マウント部に締結するための前記ロータの回転軸の平行方向に開けられた少なくとも２個の穴が設けられ、
前記マウント部には、ロータ回転軸に対して垂直で、前記ミラーホルダの前記第１平面部と接触する第２平面部と、前記第２平面部に配置され前記ミラーホルダを前記マウント部に締結するための回転軸の平行方向に開けられた少なくとも３個のネジ穴と、前記ロータの回転軸の垂直方向に突出した凸部と、が設けられ、
前記ステータは、前記凸部との接触により前記ロータの回転角度範囲を規制する凹部を有する、
ことを特徴とするガルバノスキャナ。
【請求項2】
前記ミラーホルダは、前記穴より内側に配置された勘合軸を有し
前記マウント部は、前記ネジ穴より内側に配置された勘合穴し、
前記勘合軸との前記勘合穴の勘合により前記ロータの回転軸に対して直交する方向の位置決めを行うことを特徴とする請求項１に記載のガルバノスキャナ。
前記マウント部は、前記ネジ穴より内側に配置された勘合穴し、
前記勘合軸との前記勘合穴の勘合により前記ロータの回転軸に対して直交する方向の位置決めを行うことを特徴とする請求項１に記載のガルバノスキャナ。
【請求項3】
前記ミラーホルダは、外径Ｒ１の第１円筒部を有し、
前記マウント部は、前記第２平面部と同一の稜線を有する外径Ｒ２の第２円筒部と、前記第２円筒部に対して前記第２平面部の法線反対方向に配置された外径Ｒ３の第３円筒部と、前記第３円筒部に対して、前記第２平面部の法線反対方向に配置され、前記ステータに対してロータを回動させるベアリングが接合される外径Ｒ４の第４円筒部を有し、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の関係が、
Ｒ１≧Ｒ２≧Ｒ３＞Ｒ４
を満たすことを特徴とする請求項１又は２に記載のガルバノスキャナ。
前記マウント部は、前記第２平面部と同一の稜線を有する外径Ｒ２の第２円筒部と、前記第２円筒部に対して前記第２平面部の法線反対方向に配置された外径Ｒ３の第３円筒部と、前記第３円筒部に対して、前記第２平面部の法線反対方向に配置され、前記ステータに対してロータを回動させるベアリングが接合される外径Ｒ４の第４円筒部を有し、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の関係が、
Ｒ１≧Ｒ２≧Ｒ３＞Ｒ４
を満たすことを特徴とする請求項１又は２に記載のガルバノスキャナ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ガルバノスキャナに関する。
【背景技術】
【0002】
レーザ穴あけ装置、レーザトリマ装置、レーザリペア装置などのレーザ加工装置（工作機械）においては、レーザ光をピンポイントで被対象物に照射するガルバノスキャナが使用されうる。ガルバノスキャナは、モータの回転軸に取り付けられたミラー（ガルバノミラー）の回転角度を制御しながら、かかるミラーでレーザ光を反射させて被対象物の目標位置に光を照射する。ガルバノスキャナには、生産性の観点から加工の高速性が求められる。一方で、一般にガルバノスキャナのモータを高速に動かそうとした場合には、指令値と実軌跡との乖離が大きくなり、加工精度が低下してしまう。すなわち、ガルバノスキャナには、高速性と指令値に対する追従性（応答性）の両立が求められる。
【0003】
本発明の比較例として、図６に示す比較例１のガルバノスキャナがある。図６は、比較例１のガルバノスキャナのミラー取り付け部を示した図である。ガルバノスキャナは、静止したステータに対して往復回転運動するロータが構成されており、ロータには円筒形状のシャフトが回転軸方向に飛び出すように構成されている。ミラーが固定されたミラーホルダは、本体とカバーから構成されており、ミラーホルダ本体とカバーでシャフトを挟むように締結固定される。シャフトには回転軸垂直方向に突出した凸部が構成されており、ステータ部の凹部との接触によりロータの回転運動範囲を規制することができる。
【0004】
また、本発明の比較例として、図７に示す比較例２のガルバノスキャナがある。図７は、比較例２のガルバノスキャナのミラー取り付け部を示した図である。比較例２のガルバノスキャナは、ロータのシャフト先端に回転軸平行方向にネジ穴が構成されている。ミラーが固定されたミラーホルダにも回転軸平行方向に穴が構成されており、ミラーホルダをシャフト先端に締結固定する。ロータには凹部が構成されており、ステータから回転軸垂直方向に突出した凸部との接触によりロータの回転運動範囲を規制することができる。特許文献１の図３には、比較例１の構成のガルバノスキャナについて開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２００７－３２２５４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、比較例１のガルバノスキャナは、シャフトよりも外側にネジとミラーホルダが構成される必要がある。また、ミラーホルダとシャフトの接触面積を確保するために回転軸方向に一定の長さが必要となる。これにより、シャフト及びミラーホルダのイナーシャが大きくなり、ガルバノスキャナの動特性を悪化させてしまうおそれがある。
【0007】
また、比較例２のガルバノスキャナは、回転角度規制用の凹部がロータに構成されているため、ミラーホルダ固定用のネジ穴を配置する自由度がないという問題がある。比較例２の場合、ネジ穴が２個しか配置できないため、ミラーの取り付け角度選択自由度は０°と１８０°の２通りしかない。
【0008】
そこで、本発明は、ミラーの取り付け角度の自由度を向上させるうえで有利なガルバノスキャナを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのガルバノスキャナは、ステータと、前記ステータに対して回動可能に支持され、先端にマウント部を有するロータと、前記マウント部に設けられたミラーホルダと、前記ミラーホルダに保持されたミラーと、を有し、前記ミラーホルダには、ロータ回転軸に対して垂直で、前記マウント部と接触する第１平面部と、前記ミラーホルダを前記マウント部に締結するための前記ロータの回転軸の平行方向に開けられた少なくとも２個の穴が設けられ、前記マウント部には、ロータ回転軸に対して垂直で、前記ミラーホルダの前記第１平面部と接触する第２平面部と、前記第２平面部に配置され前記ミラーホルダを前記マウント部に締結するための回転軸の平行方向に開けられた少なくとも３個のネジ穴と、前記ロータの回転軸の垂直方向に突出した凸部と、が設けられ、前記ステータは、前記凸部との接触により前記ロータの回転角度範囲を規制する凹部を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、ミラーの取り付け角度の自由度を向上させるうえで有利なガルバノスキャナを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】第１実施形態のガルバノスキャナの断面図を示した図である。
【図2】第１実施形態のガルバノスキャナのミラー取り付け部を示した図である。
【図3】第２実施形態のガルバノスキャナのミラー取り付け部を示した図である。
【図4】第２実施形態のガルバノスキャナのミラーホルダを示した図である。
【図5】第３実施形態のガルバノスキャナのミラー取り付け部を示した図である。
【図6】比較例１のガルバノスキャナのミラー取り付け部を示した図である。
【図7】比較例２のガルバノスキャナのミラー取り付け部を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下に、本発明の好ましい実施形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。尚、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【0013】
＜第１実施形態＞
図１は、本実施形態のガルバノスキャナ（ガルバノモータ）１００の図である。本実施形態のガルバノスキャナ１００は、図１に示すように、ステータユニット１１４（ステータ）に対してロータユニット１１５（ロータ）がベアリング１０９によって回動可能に支持されている。ステータユニット１１４は、凹部１１７が設けられたモータケース１１２、ヨーク１１１、コイル１１０、エンコーダ１１３を有する。ロータユニット１１５は、シャフトＯＵＴ１０５、磁石１０６、シャフトＩＮ１０７、スケール１０８、ピン１０４を有する。磁石１０６、コイル１１０、ヨーク１１１は、磁気回路を構成しており、コイル１１０に投入される電力は、磁気回路によりロータユニット１１５の回転運動に変換される。スケール１０８、エンコーダ１１３を有する光学式エンコーダは、ロータユニット１１５の回転変位を検出する。ロータユニット１１５の先端（マウント部）には、ミラーホルダ１０２が設けられ、ミラーホルダ１０２は、ミラー１０１を保持する。ミラーユニット１１６は、ネジ１０３によってロータ回転軸Ａと平行方向に締結されており、回転するミラー１０１に光を反射させることで光を走査する。
図１は、本実施形態のガルバノスキャナ（ガルバノモータ）１００の図である。本実施形態のガルバノスキャナ１００は、図１に示すように、ステータユニット１１４（ステータ）に対してロータユニット１１５（ロータ）がベアリング１０９によって回動可能に支持されている。ステータユニット１１４は、凹部１１７が設けられたモータケース１１２、ヨーク１１１、コイル１１０、エンコーダ１１３を有する。ロータユニット１１５は、シャフトＯＵＴ１０５、磁石１０６、シャフトＩＮ１０７、スケール１０８、ピン１０４を有する。磁石１０６、コイル１１０、ヨーク１１１は、磁気回路を構成しており、コイル１１０に投入される電力は、磁気回路によりロータユニット１１５の回転運動に変換される。スケール１０８、エンコーダ１１３を有する光学式エンコーダは、ロータユニット１１５の回転変位を検出する。ロータユニット１１５の先端（マウント部）には、ミラーホルダ１０２が設けられ、ミラーホルダ１０２は、ミラー１０１を保持する。ミラーユニット１１６は、ネジ１０３によってロータ回転軸Ａと平行方向に締結されており、回転するミラー１０１に光を反射させることで光を走査する。
【0014】
図２は、本実施形態のガルバノスキャナ１００のミラー取り付け部の拡大図である。図２に示すように、ロータユニット１１５のシャフトＯＵＴ１０５先端には、ロータ回転軸Ａに垂直な平面部ＳＲ（第２平面部）が設けられている。シャフトＯＵＴ１０５円筒側面には、回転軸垂直方向に突出したピン１０４（凸部）が配置されており、モータケース１１２に設けられた凹部１１７との接触により回転角度範囲が規制される。平面部ＳＲには、６個のネジ穴１２１が６０度ピッチで回転軸平行方向に設けられている。一方、ミラーホルダ１０２には、ミラー１０１が接着固定されており、ロータ側平面部ＳＲと接触する平面部ＳＭ（第１平面部）が設けられている。また、ミラーホルダ１０２にはシャフトＯＵＴ１０５のネジ穴１２１にネジ１０３で締結固定するための２個の穴１２２が設けられている。
【0015】
本実施形態におけるガルバノスキャナ１００には、下記の２点の特徴がある。１点目は、シャフトＯＵＴの平面部ＳＲに６個の回転軸平行方向に開けられたネジ穴１２１を設けている点である。本構成によりミラーホルダ１０２の２つの穴１２２と対になるネジ穴１２１を選択することで、ミラーユニット１１６の取り付け方位を６０度ピッチ６方位から選択することが可能である。また、回転軸平行方向に締結する本実施形態の構造は、比較例１のようにシャフトよりも大きく飛び出したネジ及びミラーホルダの構造よりも軽量化が可能になる。２点目は、シャフトＯＵＴ１０５に回転角度範囲規制用のピン１０４を設けている点である。比較例２ではロータ側に凹部１１７を設けているため、一か所当たり約５０～６０°の角度が必要な凹部により、ネジ穴の数が制限されてしまう。本実施例のようにロータ側にピンを設けることで、十分な数のネジ穴を構成することができる。
【0016】
このように、本実施形態では、ロータ及びミラーホルダのイナーシャ（慣性モーメント）を低減し、ガルバノスキャナ１００の動特性を向上すると同時に、ミラー取り付け方位自由度を確保することができる。なお、本実施形態では、シャフトＯＵＴ平面部ＳＲに６個のネジ穴、ミラーホルダに２個の穴を設けているが、これに限定される事なく、例えば、ミラーホルダに３個や４個の穴を設けても良い。すなわち、平面部ＳＲに３個以上のネジ穴、ミラーホルダに２個以上の穴を設けることでミラー取り付け自由度が得られる。
【0017】
＜第２実施形態＞
次に、図３及び図４に基づいて本実施形態のガルバノスキャナについて説明する。図３は、本実施形態のガルバノスキャナのミラー取り付け部を示した図である。本実施形態のガルバノスキャナの基本的な構成は第１実施形態と同様であるため、言及しない点については第１実施形態に従う。本実施形態のガルバノスキャナは、図３に示すように、シャフトＯＵＴ１０５の平面部ＳＲ中央に勘合位置決め用の勘合穴１３１が設けられている。一方、図４に示すように、ミラーホルダ１０２の平面部ＳＭ中央には勘合位置決め用の勘合軸１３２が設けられている。ミラーホルダ１０２をシャフトＯＵＴ１０５にネジ締結すると、勘合穴１３１と勘合軸１３２が嵌め合うことで回転軸垂直方向（直交する方向）に高精度に位置決めすることができる。回転軸に対するミラーホルダ及びミラーの重心がずれているとロータ回転動作時に振動やミラーの倒れが発生するため、これを防ぐことが可能になる。本実施形態の特徴は、締結用のネジ穴及び穴よりも、勘合穴及び勘合軸が中央に配置されている点である。勘合部によるイナーシャ増加はなくガルバノスキャナの動特性改善が可能であり、ミラー取り付け方位自由度も確保されている。
次に、図３及び図４に基づいて本実施形態のガルバノスキャナについて説明する。図３は、本実施形態のガルバノスキャナのミラー取り付け部を示した図である。本実施形態のガルバノスキャナの基本的な構成は第１実施形態と同様であるため、言及しない点については第１実施形態に従う。本実施形態のガルバノスキャナは、図３に示すように、シャフトＯＵＴ１０５の平面部ＳＲ中央に勘合位置決め用の勘合穴１３１が設けられている。一方、図４に示すように、ミラーホルダ１０２の平面部ＳＭ中央には勘合位置決め用の勘合軸１３２が設けられている。ミラーホルダ１０２をシャフトＯＵＴ１０５にネジ締結すると、勘合穴１３１と勘合軸１３２が嵌め合うことで回転軸垂直方向（直交する方向）に高精度に位置決めすることができる。回転軸に対するミラーホルダ及びミラーの重心がずれているとロータ回転動作時に振動やミラーの倒れが発生するため、これを防ぐことが可能になる。本実施形態の特徴は、締結用のネジ穴及び穴よりも、勘合穴及び勘合軸が中央に配置されている点である。勘合部によるイナーシャ増加はなくガルバノスキャナの動特性改善が可能であり、ミラー取り付け方位自由度も確保されている。
【0018】
＜第３実施形態＞
次に、図５に基づいて本実施形態のガルバノスキャナについて説明する。図５は、本実施形態のガルバノスキャナのミラー取り付け部を示した図である。本実施形態のガルバノスキャナの基本的な構成は第１実施形態及び第２実施形態と同様であるため、言及しない点については第１実施形態又は第２実施形態に従う。本実施形態のガルバノスキャナは、図５に示すようにシャフトＯＵＴ１０５の側面円筒に複数の段差が設けられており、イナーシャを最小化する構造になっている。以下では、イナーシャを最小化する構造の寸法制約について説明する。
次に、図５に基づいて本実施形態のガルバノスキャナについて説明する。図５は、本実施形態のガルバノスキャナのミラー取り付け部を示した図である。本実施形態のガルバノスキャナの基本的な構成は第１実施形態及び第２実施形態と同様であるため、言及しない点については第１実施形態又は第２実施形態に従う。本実施形態のガルバノスキャナは、図５に示すようにシャフトＯＵＴ１０５の側面円筒に複数の段差が設けられており、イナーシャを最小化する構造になっている。以下では、イナーシャを最小化する構造の寸法制約について説明する。
【0019】
まず初めにミラーホルダ１０２の側面円筒（第１円筒部）の外径Ｒ１は、ミラー１０１の厚み、ミラー保持部１４１寸法、ネジ１０３のねじ頭寸法を考慮した穴１２２の位置及び大きさに制約され、穴１２２に対して最小の肉厚を確保して決定される。次にシャフトＯＵＴ１０５の側面円筒（第３円筒部）の外径Ｒ３は、シャフトＯＵＴ１０５のネジ穴１２１に対して最小の肉厚を確保して決定される。ミラーホルダの穴１２２の径よりもシャフトＯＵＴのネジ穴１２１の径の方が僅かに小さいため、外径Ｒ３は外径Ｒ１より小さくすることができる。
【0020】
次に、シャフトＯＵＴ１０５の側面円筒（第２円筒部）の外径Ｒ２は、ミラーホルダ１０２の着座安定性を考慮して外径Ｒ１と同一とするのが望ましい。すなわち、マウント部は、第２平面部と同一の稜線を有する外径Ｒ２の第２円筒部でありうる。ただし、着座安定性よりもイナーシャを優先する場合はＲ３と同一にしても構わない。最後に、シャフトＯＵＴ１０５の側面円筒（第４円筒部）の外径Ｒ４は不図示のベアリング１０９の内輪内側面と接合される面である。第３円筒部は、第２円筒部に対して第２平面部の法線反対方向に配置される。また、第４円筒部は、第３円筒部に対して、第２平面部の法線反対方向に配置される。ベアリングはイナーシャの観点から回転ガイド機能及び耐久性を満たす最小のものであるのが望ましい。結果的に外径Ｒ４は外径Ｒ３よりも小さくなる。
【0021】
以上により、各円筒部の外径は、
Ｒ１≧Ｒ２≧Ｒ３＞Ｒ４ ・・・（１）
を満たす関係となる。
Ｒ１≧Ｒ２≧Ｒ３＞Ｒ４ ・・・（１）
を満たす関係となる。
【0022】
さらに、ミラーホルダ着座安定性を優先する場合には、
Ｒ１＝Ｒ２＞Ｒ３＞Ｒ４ ・・・（２）
を満たす関係となる。
Ｒ１＝Ｒ２＞Ｒ３＞Ｒ４ ・・・（２）
を満たす関係となる。
【0023】
一方、イナーシャ最小化を優先する場合には、
Ｒ１＞Ｒ２＝Ｒ３＞Ｒ４ ・・・（３）
を満たす関係となる。
Ｒ１＞Ｒ２＝Ｒ３＞Ｒ４ ・・・（３）
を満たす関係となる。
【0024】
このように、本実施形態では適切な寸法制約条件を考慮して側面円筒外径を選択することで、ロータ及びミラーホルダのイナーシャを低減してガルバノスキャナの動特性を向上しつつ、ミラー取り付け方位自由度を確保することができる。
【0025】
＜物品の製造方法の実施形態＞
以上に説明した実施形態に係るガルバノスキャナは、物品製造方法に使用しうる。当該物品製造方法は、当該ガルバノスキャナ装置を用いて物体（対象物）の加工を行う加工工程と、当該工程で加工を行われた物体を処理する工程と、を含みうる。加工工程では、ガルバノスキャナ装置により角度制御されたミラーで反射されたレーザ光を物体に照射することで物体の加工を行う。以上に説明した実施形態に係るガルバノスキャナを用いることで、レーザ加工の精度もしくは生産性を向上させることができる。また、当該処理は、例えば、当該加工とは異なる加工、搬送、検査、選別、組立（組付）、および包装のうちの少なくともいずれか一つを含みうる。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストのうちの少なくとも１つにおいて有利である。
以上に説明した実施形態に係るガルバノスキャナは、物品製造方法に使用しうる。当該物品製造方法は、当該ガルバノスキャナ装置を用いて物体（対象物）の加工を行う加工工程と、当該工程で加工を行われた物体を処理する工程と、を含みうる。加工工程では、ガルバノスキャナ装置により角度制御されたミラーで反射されたレーザ光を物体に照射することで物体の加工を行う。以上に説明した実施形態に係るガルバノスキャナを用いることで、レーザ加工の精度もしくは生産性を向上させることができる。また、当該処理は、例えば、当該加工とは異なる加工、搬送、検査、選別、組立（組付）、および包装のうちの少なくともいずれか一つを含みうる。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストのうちの少なくとも１つにおいて有利である。
【符号の説明】
【0026】
１００ ガルバノスキャナ
１０１ ミラーと、
１０２ ミラーホルダ
１０４ ピン（凸部）
１０９ ベアリング
１１４ ステータユニット（ステータ）
１１５ ロータ
１１７ 凹部
１２１ ネジ穴
１２２ 穴
Ａ ロータ回転軸
ＳＭ 平面部（第１平面部）
ＳＲ 平面部（第２平面部）
１０１ ミラーと、
１０２ ミラーホルダ
１０４ ピン（凸部）
１０９ ベアリング
１１４ ステータユニット（ステータ）
１１５ ロータ
１１７ 凹部
１２１ ネジ穴
１２２ 穴
Ａ ロータ回転軸
ＳＭ 平面部（第１平面部）
ＳＲ 平面部（第２平面部）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】