発明の名称 表面測定装置、加工装置及び表面測定方法
出願人 株式会社三井ハイテック (識別番号 144038)
特許公開件数ランキング 3836 位(4件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1741 位(9件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2024-168717
公報発行日 2024年12月5
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-168717
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