特開 2024-168966 インクジェット記録装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024168966

(43)【公開日】2024-12-05

(54)【発明の名称】インクジェット記録装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/17 20060101AFI20241128BHJP

   B41J 2/18 20060101ALI20241128BHJP

   B41J 2/175 20060101ALI20241128BHJP

【ＦＩ】

B41J2/17 101

B41J2/18

B41J2/175 501

B41J2/175 201

B41J2/17 203

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023086063

(22)【出願日】2023-05-25

(71)【出願人】

【識別番号】000006150

【氏名又は名称】京セラドキュメントソリューションズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100111202

【弁理士】

【氏名又は名称】北村 周彦

(72)【発明者】

【氏名】藤田 俊貴

【テーマコード（参考）】

2C056

【Ｆターム（参考）】

2C056EA26

2C056EC15

2C056EC18

2C056FA13

2C056JC13

2C056KB10

2C056KB16

2C056KB25

(57)【要約】

【課題】インクジェットヘッドを含む流路でインクを循環させる場合にフィルターに溜まる汚染物を除去することを目的とする。
【解決手段】インクジェット記録装置は、液体タンク３３とインクジェットヘッド１２とに接続された供給流路３４及び回収流路３５と、供給流路３４に設けられた供給ポンプ３６と、液体タンク３３と供給ポンプ３６との間の供給流路３４に設けられた三方コック４１と、三方コック４１に接続された廃液タンク４０と、インクジェットヘッド１２、又は、三方コック４１とインクジェットヘッド１２との間の供給流路４５、に設けられたフィルターと、を備え、制御部２は、フィルターから汚染物を除去する汚染物除去動作時に、インクジェットヘッド１２と廃液タンク４０とを連通させるように三方コック４１を制御するとともに、インクジェットヘッド１２から廃液タンク４０に液体を流すように供給ポンプ３６を駆動する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体を貯留する液体タンクと、
インクジェットヘッドと、
前記液体タンクと前記インクジェットヘッドとに接続された供給流路と、
前記液体タンクと前記インクジェットヘッドとに接続された回収流路と、
前記供給流路に設けられた供給ポンプと、
前記液体タンクと前記供給ポンプとの間の前記供給流路に設けられた三方コックと、
前記三方コックに接続された廃液タンクと、
前記インクジェットヘッド、又は、前記三方コックと前記インクジェットヘッドとの間の前記供給流路、に設けられたフィルターと、
前記供給ポンプと前記三方コックとを制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
液体を循環させる循環動作時に、前記液体タンクと前記インクジェットヘッドとを連通させるように前記三方コックを制御するとともに、前記液体タンクから前記インクジェットヘッドに液体を流すように前記供給ポンプを駆動し、
前記フィルターから汚染物を除去する汚染物除去動作時に、前記インクジェットヘッドと前記廃液タンクとを連通させるように前記三方コックを制御するとともに、前記インクジェットヘッドから前記廃液タンクに液体を流すように前記供給ポンプを駆動することを特徴とするインクジェット記録装置。

【請求項2】

前記回収流路に回収ポンプが設けられ、
前記制御部は、前記汚染物除去動作時に、前記液体タンクから前記インクジェットヘッドに液体を流すように前記回収ポンプを駆動することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録装置。

【請求項3】

前記制御部は、前記循環動作時に、前記インクジェットヘッドから前記液体タンクに液体を流すように前記回収ポンプを駆動することを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、インクジェット記録装置に関する。

【背景技術】

【0002】

インクジェット記録装置においては、画像形成ジョブが実行されていない期間にインクジェットヘッドのノズル内のインクから水分が蒸発し、インクの粘度上昇によって、吐出速度が低下したり、ノズルが目詰まりしたりすることが考えられる。そこで、従来、インクジェットヘッドを含む流路でインクを循環させる技術が検討されている（例えば、特許文献１、２）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－５０３０１号公報

【特許文献2】特開２０１９－６４０８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

インクジェットヘッドを含む流路には、インクに含まれる気泡や不純物を除去するフィルターが設けられている。インクを循環させる場合、インクの流量が多くなるため、フィルターに溜まる気泡や不純物が増えて流路抵抗が増大し、吐出不良が発生しやすくなるという問題がある。

【0005】

本発明は、上記事情を考慮し、インクジェットヘッドを含む流路でインクを循環させる場合にフィルターに溜まる汚染物を除去することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するため、本発明に係るインクジェット記録装置１は、液体を貯留する液体タンクと、インクジェットヘッドと、前記液体タンクと前記インクジェットヘッドとに接続された供給流路と、前記液体タンクと前記インクジェットヘッドとに接続された回収流路と、前記供給流路に設けられた供給ポンプと、前記液体タンクと前記供給ポンプとの間の前記供給流路に設けられた三方コックと、前記三方コックに接続された廃液タンクと、前記インクジェットヘッド、又は、前記三方コックと前記インクジェットヘッドとの間の前記供給流路、に設けられたフィルターと、前記供給ポンプと前記三方コックとを制御する制御部と、を備え、前記制御部は、液体を循環させる循環動作時に、前記液体タンクと前記インクジェットヘッドとを連通させるように前記三方コックを制御するとともに、前記液体タンクから前記インクジェットヘッドに液体を流すように前記供給ポンプを駆動し、前記フィルターから汚染物を除去する汚染物除去動作時に、前記インクジェットヘッドと前記廃液タンクとを連通させるように前記三方コックを制御するとともに、前記インクジェットヘッドから前記廃液タンクに液体を流すように前記供給ポンプを駆動する。

【0007】

前記インクジェット記録装置は、前記回収流路に回収ポンプが設けられ、前記制御部は、前記汚染物除去動作時に、前記液体タンクから前記インクジェットヘッドに液体を流すように前記回収ポンプを駆動してもよい。

【0008】

前記制御部は、前記循環動作時に、前記インクジェットヘッドから前記液体タンクに液体を流すように前記回収ポンプを駆動してもよい。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、インクジェットヘッドを含む流路でインクを循環させる場合にフィルターに溜まる汚染物を除去することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の一実施形態に係るインクジェット記録装置の内部構成を模式的に示す正面図である。

【図2】本発明の一実施形態に係る流路の構成を模式的に示す図である。

【図3】本発明の一実施形態に係る流路の構成を模式的に示す図である。

【図4】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの構成を示す断面図である。

【図5】本発明の一実施形態に係るノズルプレートの構成を示す断面図である。

【図6】本発明の一実施形態に係るインクジェット記録装置の電気的構成を示すブロック図である。

【図7】本発明の一実施形態に係る循環動作時のインクの流れを示す図である。

【図8】本発明の一実施形態に係る汚染物除去動作時のインクの流れを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、図面を参照しつつ本発明の一実施形態に係るインクジェット記録装置１について説明する。

【0012】

図１は、インクジェット記録装置１の内部構成を模式的に示す正面図である。図２、３は、流路３０の構成を模式的に示す図である。図４は、インクジェットヘッド１２の構成を示す断面図である。図５は、ノズルプレート１２Ｐの構成を示す断面図である。図６は、インクジェット記録装置１の電気的構成を示すブロック図である。以下、図１における紙面手前側をインクジェット記録装置１の正面側（前側）とし、左右の向きはインクジェット記録装置１を正面から見た方向を基準として説明する。各図において、Ｕ、Ｌｏ、Ｌ、Ｒ、Ｆｒ、Ｒｒは、それぞれ上、下、左、右、前、後を示す。

【0013】

インクジェット記録装置１（図１参照）は、直方体状の本体ハウジング３を備える。本体ハウジング３内の下部には、普通紙、コート紙等の枚葉のシートＳが収容される給紙カセット４と、給紙カセット４からシートＳを送り出す給紙ローラー５が設けられている。給紙カセット４の上方には、シートＳを吸着してＹ方向に搬送する搬送ユニット７が設けられている。搬送ユニット７の上方には、インクを吐出して画像を形成する作像ユニット６が設けられている。本体ハウジング３の（左）（右）上部には、画像が形成されたシートＳを排出する排出ローラー８と、排出されたシートＳが積載される排出トレイ９が設けられている。

【0014】

本体ハウジング３の内部には、給紙ローラー５から搬送ユニット７と作像ユニット６との間隙を経て排出ローラー８に至る搬送路１０が設けられている。搬送路１０は、シートＳを通過させる間隙を空けて互いに対向する板状部材を主体として形成されている。搬送路１０には、シートＳを挟持して搬送する搬送ローラー１７が設けられている。作像ユニット６よりも搬送方向Ｙ上流側には、レジストローラー１８が設けられている。

【0015】

搬送ユニット７は、無端の搬送ベルト２１と、支持板２３と、吸引部２４と、を備える。搬送ベルト２１は、多数の通気孔（図示省略）を有し、駆動ローラー２５と従動ローラー２２に巻き掛けられている。支持板２３は、多数の通気孔を有し、上面が搬送ベルト２１の内面に接触している。吸引部２４は、支持板２３の通気孔と搬送ベルト２１の通気孔を介して空気を吸引することでシートＳを搬送ベルト２１に吸着させる。モーターと減速ギアとを含む駆動部（図示省略）により駆動ローラー２５が反時計回り方向に駆動されることで搬送ベルト２１が反時計回り方向に回転し、搬送ベルト２１に吸着されたシートＳがＹ方向に搬送される。

【0016】

作像ユニット６（図１参照）は、ヘッドユニット１１Ｙ、１１Ｂｋ、１１Ｃ、１１Ｍ（ヘッドユニット１１と総称する）を備える。ヘッドユニット１１は、１つ以上のインクジェットヘッド１２（図２参照）、例えば、千鳥に配置された３つのインクジェットヘッド１２を備える。ヘッドユニット１１Ｙ、１１Ｂｋ、１１Ｃ、１１Ｍには、それぞれイエロー、ブラック、シアン、マゼンタのインクが充填されたインクコンテナ２０Ｙ、２０Ｂｋ、２０Ｃ、２０Ｍ（インクコンテナ２０と総称する）が流路３０（図２参照）を介して接続されている。

【0017】

図２では、１色のインクに対応する流路３０が図示されているが、本実施形態では４色のインクを用いるため、実際には４系統の流路３０が設けられている。また、図２では、１つのインクジェットヘッド１２が図示されているが、実際には１つのヘッドユニット１１に属する複数のインクジェットヘッド１２が１つのインクコンテナ２０に接続されている。

【0018】

制御部２（図１参照）は、演算部と記憶部とを備える（図示省略）。演算部は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）である。記憶部は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）等の記憶媒体を含む。演算部は、記憶部に記憶されている制御プログラムを読み出して実行することで各種処理を実施する。なお、制御部２は、ソフトウェアを用いない集積回路によって実現されてもよい。

【0019】

本体ハウジング３の上部には、表示操作部１９が設けられている（図１参照）。表示操作部１９は、表示パネルと、表示パネルに積層されたタッチパネルと、キーパッドと、を備える（図示省略）。制御部２は、インクジェット記録装置１の操作メニューやステータス等を表す画面を表示パネルに表示させ、タッチパネル及びキーパッドで検知された操作に応じてインクジェット記録装置１の各部を制御する。

【0020】

インクジェット記録装置１の基本的な画像形成動作は、次のとおりである。表示操作部１９や外部のコンピューター等からインクジェット記録装置１に画像形成ジョブが入力されると、給紙ローラー５が給紙カセット４から搬送路１０にシートＳを送り出し、回転が停止されたレジストローラー１８がシートＳの斜行を補正する。レジストローラー１８が所定のタイミングで搬送ユニット７にシートＳを送り出すと、搬送ユニット７が搬送ベルト２１にシートＳを吸着してＹ方向に搬送する。ノズル１２Ｎからインクが吐出され、シートＳに画像が形成される。排出ローラー８は、画像が形成されたシートＳを排出トレイ９に排出する。

【0021】

次に、本実施形態の特徴的な構成について説明する。本実施形態に係るインクジェット記録装置１は、液体を貯留する液体タンク３３と、インクジェットヘッド１２と、液体タンク３３とインクジェットヘッド１２とに接続された供給流路３４と、液体タンク３３とインクジェットヘッド１２とに接続された回収流路３５と、供給流路３４に設けられた供給ポンプ３６と、液体タンク３３と供給ポンプ３６との間の供給流路３４に設けられた三方コック４１と、三方コック４１に接続された廃液タンク４０と、インクジェットヘッド１２、又は、三方コック４１とインクジェットヘッド１２との間の供給流路４５、に設けられたフィルター１４Ｂと、供給ポンプ３６と三方コック４１とを制御する制御部２と、を備え、制御部２は、液体を循環させる循環動作時に、液体タンク３３とインクジェットヘッド１２とを連通させるように三方コック４１を制御するとともに、液体タンク３３からインクジェットヘッド１２に液体を流すように供給ポンプ３６を駆動し、フィルター１４Ｂから汚染物を除去する汚染物除去動作時に、インクジェットヘッド１２と廃液タンク４０とを連通させるように三方コック４１を制御するとともに、インクジェットヘッド１２から廃液タンク４０に液体を流すように供給ポンプ３６を駆動する。
具体的には、以下のとおりである。

【0022】

[インクジェットヘッド]
インクジェットヘッド１２（図４参照）は、前後方向を長手方向とする直方体状の筐体１２Ｈと、筐体１２Ｈの底部に設けられたノズルプレート１２Ｐと、を備える。ノズルプレート１２Ｐには、供給ソケット１２Ｓ１と、回収ソケット１２Ｓ２と、が接続されている。ノズルプレート１２Ｐ（図５参照）は、供給ソケット１２Ｓ１から回収ソケット１２Ｓ２に至る共通流路１２Ｃと、前後方向に並ぶ多数のノズル１２Ｎと、共通流路１２Ｃから分岐して各ノズル１２Ｎに至る分岐流路１２Ｂと、各ノズル１２Ｎから共通流路１２Ｃに合流する合流流路１２Ｊと、を備えている。分岐流路１２Ｂ、合流流路１２Ｊには、それぞれフィルター１４Ｂ、フィルター１４Ｊが設けられている。フィルター１４Ｂ、１４Ｊは、気泡や不純物などの汚染物をインクから除去する。

【0023】

ノズル１２Ｎの吐出口１２Ａは、ノズルプレート１２Ｐの下面であるノズル面１２Ｆに設けられている。振動板１２Ｖは、分岐流路１２Ｂの内壁の一部を兼ねている。振動板１２Ｖには加圧素子１２Ｚが設けられている。加圧素子１２Ｚとしては、圧電素子、静電アクチュエーター、ヒーター等が用いられる。加圧素子１２Ｚには、加圧素子１２Ｚを駆動する駆動回路１２Ｄが接続されている。

【0024】

[流路]
流路３０（図２参照）には、液体タンク３３が設けられている。液体タンク３３は、例えば、インクを貯留するインクタンクである。インクは、例えば、顔料を水に分散させた水系顔料インクである。液体タンク３３には、補給流路３２を介してインクコンテナ２０が接続されている。補給流路３２には、インクコンテナ２０から液体タンク３３へインクを補給する補給ポンプ３１が設けられている。

【0025】

液体タンク３３とインクジェットヘッド１２との間には、供給流路３４と回収流路３５とが設けられている。供給流路３４の一端部は、液体タンク３３に接続され、供給流路３４の他端部は、供給ソケット１２Ｓ１に接続されている。回収流路３５の一端部は、回収ソケット１２Ｓ２に接続され、回収流路３５の他端部は、液体タンク３３に接続されている。液体タンク３３と供給流路３４とインクジェットヘッド１２と回収流路３５とにより、環状の流路３０が構成されている。供給流路３４には、供給ポンプ３６が設けられている。回収流路３５には、回収ポンプ３７が設けられている。供給ポンプ３６と回収ポンプ３７は、いずれも、正回転と逆回転が可能である。

【0026】

［三方コック、廃液タンク］
液体タンク３３と供給ポンプ３６との間の供給流路３０には、三方コック４１が設けられている。三方コック４１には、廃液流路４２を介して廃液タンク４０が接続されている。三方コック４１は、第１状態と第２状態とに切り替え可能である。第１状態では、三方コック４１は、液体タンク３３とインクジェットヘッド１２とを連通させ、廃液流路４２を閉鎖する。第２状態では、三方コック４１は、インクジェットヘッド１２と廃液タンク４０とを連通させ、液体タンク３３側の供給流路３４を閉鎖する。

【0027】

図７は、循環動作時のインクの流れを示す図である。制御部２は、所定のタイミングで循環動作を実行する。循環動作は、例えば、定期的に実行されてもよく、画像形成が行われない期間が所定期間以上継続した場合に実行されてもよい。また、画像形成と並行して循環動作が行われてもよい。

【0028】

循環動作時（図２、７参照）において、制御部２は、三方コック４１を第１状態に切り替えるとともに、供給ポンプ３６と回収ポンプ３７を正回転させる。すると、液体タンク３３から順に供給流路３４、供給ソケット１２Ｓ１（図４参照）、共通流路１２Ｃ、分岐流路１２Ｂ、合流流路１２Ｊ、共通流路１２Ｃ、回収ソケット１２Ｓ２、回収流路３５を経て液体タンク３３へとインクが循環する。循環動作により、ノズル１２Ｎ付近でのインクの粘度上昇が抑制される。

【0029】

循環動作時に、フィルター１４Ｂ、１４Ｊは、循環するインクから気泡や不純物等の汚染物を除去する。フィルター１４Ｂは、フィルター１４Ｊよりもインクの循環方向上流側に設けられているため、フィルター１４Ｊよりも汚染物が溜まりやすい。顔料インクの場合、顔料等の成分が凝集したものが不純物としてフィルター１４Ｂに溜まる傾向がある。

【0030】

図８は、汚染物除去動作時のインクの流れを示す図である。制御部２は、所定のタイミングで汚染物除去動作を実行する。汚染物除去動作は、例えば、定期的に実行されてもよく、画像形成が行われない期間が所定期間以上継続した場合に実行されてもよい。

【0031】

汚染物除去動作時（図３、８参照）において、制御部２は、三方コック４１を第２状態に切り替えるとともに、供給ポンプ３６と回収ポンプ３７を逆回転させる。すると、液体タンク３３から順に回収流路３５、回収ソケット１２Ｓ２、共通流路１２Ｃ、合流流路１２Ｊ、分岐流路１２Ｂ、供給ソケット１２Ｓ１、供給流路３４、三方コック４１を経て廃液タンク４０へとインクが逆流する。フィルター１４Ｂに溜まっていた汚染物は、逆流するインクによって押し流され、廃液タンク４０に排出される。

【0032】

以上説明した本実施形態に係るインクジェット記録装置１によれば、液体を貯留する液体タンク３３と、インクジェットヘッド１２と、液体タンク３３とインクジェットヘッド１２とに接続された供給流路３４と、液体タンク３３とインクジェットヘッド１２とに接続された回収流路３５と、供給流路３４に設けられた供給ポンプ３６と、液体タンク３３と供給ポンプ３６との間の供給流路３４に設けられた三方コック４１と、三方コック４１に接続された廃液タンク４０と、インクジェットヘッド１２、又は、三方コック４１とインクジェットヘッド１２との間の供給流路４５、に設けられたフィルター１４Ｂと、供給ポンプ３６と三方コック４１とを制御する制御部２と、を備え、制御部２は、液体を循環させる循環動作時に、液体タンク３３とインクジェットヘッド１２とを連通させるように三方コック４１を制御するとともに、液体タンク３３からインクジェットヘッド１２に液体を流すように供給ポンプ３６を駆動し、フィルター１４Ｂから汚染物を除去する汚染物除去動作時に、インクジェットヘッド１２と廃液タンク４０とを連通させるように三方コック４１を制御するとともに、インクジェットヘッド１２から廃液タンク４０に液体を流すように供給ポンプ３６を駆動する。

【0033】

この構成によれば、インクジェットヘッド１２を含む流路３０でインクを循環させる場合にフィルター１４Ｂに溜まる汚染物を除去することができる。また、液体が顔料インクの場合、顔料等が凝集したものが汚染物としてフィルター１４Ｂに溜まる傾向があるため、本実施形態に係るインクジェット記録装置１は、顔料インクを用いる場合に顕著な効果を発揮する。

【0034】

なお、上記実施形態において、汚染物除去動作時に供給ポンプ３６を駆動せずに回収ポンプ３７のみを駆動したと仮定すると、インクジェットヘッド１２内部の流体抵抗によりインクジェットヘッド１２内部の圧力が高まって、ノズル１２Ｎからインクが漏出するおそれがある。一方、汚染物除去動作時に回収ポンプ３７を駆動せずに供給ポンプ３６のみを駆動した場合、インクジェットヘッド１２内部の圧力が高まることはないから、ノズル１２Ｎからインクが漏出するおそれはない。よって、汚染物除去動作時には、少なくとも供給ポンプ３６を駆動することが望ましい。換言すれば、インクジェット記録装置１は、回収ポンプ３７を備えていなくてもよい。

【0035】

また、本実施形態に係るインクジェット記録装置１によれば、回収流路３５に回収ポンプ３７が設けられ、制御部２は、汚染物除去動作時に、液体タンク３３からインクジェットヘッド１２に液体を流すように回収ポンプ３７を駆動する。この構成によれば、回収ポンプ３７を備えない場合と比べて、汚染物除去動作時の液体輸送能力を高めることができる。

【0036】

また、本実施形態に係るインクジェット記録装置１によれば、制御部２は、循環動作時に、インクジェットヘッド１２から液体タンク３３に液体を流すように回収ポンプ３７を駆動する。この構成によれば、回収ポンプ３７を駆動しない場合と比べて循環動作時の液体輸送能力を高めることができる。

【0037】

なお、循環動作時に回収ポンプ３７を駆動せずに供給ポンプ３６のみを駆動したと仮定すると、インクジェットヘッド１２内部の流体抵抗によりインクジェットヘッド１２内部の圧力が高まって、ノズル１２Ｎからインクが漏出するおそれがある。一方、循環動作時に供給ポンプ３６と回収ポンプ３７を駆動した場合、回収ポンプ３７によってインクジェットヘッド１２からインクが引き出されるため、インクジェットヘッド１２内部の圧力が高まることはなく、ノズル１２Ｎからインクが漏出するおそれはない。このことからも、循環動作時に供給ポンプ３６と回収ポンプ３７の両方を駆動することが望ましい。

【0038】

上記実施形態は以下のように変形されてもよい。

【0039】

上記実施形態では、インクジェットヘッド１２の分岐流路１２Ｂに設けられたフィルター１４Ｂから汚染物が除去される例が示されたが、分岐流路１２Ｂよりもインク供給方向上流側の共通流路１２Ｃ、又は、三方コック４１とインクジェットヘッド１２との間の供給流路３４にフィルター１４Ｂが設けられていてもよい。この場合も、フィルター１４Ｂから汚染物を除去することができる。あるいは、フィルター１４Ｂは、設けられていなくてもよい。この場合には、フィルター１４Ｊに溜まった汚染物が除去される。

【0040】

上記実施形態では、インクジェット記録装置１に本発明を適用した例が示されたが、インク以外の液体を吐出するインクジェット方式の液体吐出装置に本発明が適用されてもよい。例えば、シートＳの下地処理を行うための処理液、電気回路の形成に用いられる導体を分散した液体、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）パネルの製造に用いられる発光材料、捺染の染料、３Ｄプリンターによる立体物の形成に用いられる液化した樹脂やセラミックスなど、を吐出する液体吐出装置に本発明が適用されてもよい。

【符号の説明】

【0041】

１ インクジェット記録装置
２ 制御部
１２ インクジェットヘッド
１４Ｂ フィルター
３３ 液体タンク
３４ 供給流路
３５ 回収流路
３６ 供給ポンプ
３７ 回収ポンプ
４１ 三方コック
４０ 廃液タンク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】