特開 2024-169128 ベイパーチャンバー、放熱装置及び電子機器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024169128

(43)【公開日】2024-12-05

(54)【発明の名称】ベイパーチャンバー、放熱装置及び電子機器

(51)【国際特許分類】

   F28D 15/02 20060101AFI20241128BHJP

   H01L 23/427 20060101ALI20241128BHJP

   H05K 7/20 20060101ALI20241128BHJP

【ＦＩ】

F28D15/02 102H

F28D15/02 101H

F28D15/02 L

H01L23/46 B

H05K7/20 Q

【審査請求】未請求

【請求項の数】18

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023086345

(22)【出願日】2023-05-25

(71)【出願人】

【識別番号】000002897

【氏名又は名称】大日本印刷株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120031

【弁理士】

【氏名又は名称】宮嶋 学

(74)【代理人】

【識別番号】100127465

【弁理士】

【氏名又は名称】堀田 幸裕

(74)【代理人】

【識別番号】100150717

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 和也

(72)【発明者】

【氏名】武田 利彦

(72)【発明者】

【氏名】太田 貴之

(72)【発明者】

【氏名】小田 和範

(72)【発明者】

【氏名】寺内 崇之

(72)【発明者】

【氏名】山木 誠

(72)【発明者】

【氏名】稲垣 雅史

【テーマコード（参考）】

5E322

5F136

【Ｆターム（参考）】

5E322AA06

5E322AA11

5E322DB12

5E322EA11

5E322FA01

5E322FA04

5F136CC14

5F136CC23

5F136CC24

5F136CC26

5F136FA03

(57)【要約】

【課題】デバイスの冷却効率を向上できるベイパーチャンバーを提供する。
【解決手段】本開示によるベイパーチャンバーは、基端部と、基端部から延びる第１枝部と、基端部から延びる第２枝部と、を備えている。第１枝部は、第１対向部を含み、第２枝部は、ベイパーチャンバーの厚さ方向において第１対向部に対向して離間した第２対向部を含んでいる。第１空間部及び第１液流路部は、基端部から第１対向部に延びている。第２空間部及び第２液流路部は、基端部から第２対向部に延びている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

作動流体が封入されるベイパーチャンバーであって、
基端部と、
前記基端部から延びる第１枝部であって、第１対向部を含む第１枝部と、
前記基端部から延びる第２枝部であって、前記ベイパーチャンバーの厚さ方向において前記第１対向部に対向して離間した第２対向部を含む第２枝部と、
前記基端部から前記第１対向部に延びる第１空間部と、
前記基端部から前記第１対向部に延びる第１液流路部と、
前記基端部から前記第２対向部に延びる第２空間部と、
前記基端部から前記第２対向部に延びる第２液流路部と、
を備えた、ベイパーチャンバー。

【請求項2】

前記第１空間部及び前記第２空間部は、前記基端部において互いに連通している、
請求項１に記載のベイパーチャンバー。

【請求項3】

前記第１枝部は、前記基端部とは反対側に位置する第１端部を含み、
前記第２枝部は、前記基端部とは反対側に位置する第２端部を含み、
前記第２端部は、前記第１端部よりも前記基端部から遠い位置に位置している、
請求項１又は２に記載のベイパーチャンバー。

【請求項4】

前記第１対向部及び前記第２対向部に、デバイスから熱を受けて前記作動流体が蒸発する蒸発領域が位置している、
請求項１又は２に記載のベイパーチャンバー。

【請求項5】

前記基端部に、デバイスから熱を受けて前記作動流体が蒸発する蒸発領域が位置している、
請求項１又は２に記載のベイパーチャンバー。

【請求項6】

前記第１空間部と前記第２空間部は、互いに分断されている、
請求項１又は２に記載のベイパーチャンバー。

【請求項7】

第１ベイパーチャンバー本体と、第２ベイパーチャンバー本体と、を備え、
前記第１ベイパーチャンバー本体は、前記基端部を構成する、前記第１枝部に連続状に接続された第１基端部と、前記第１枝部と、を含み、
前記第２ベイパーチャンバー本体は、前記基端部を構成する、前記第２枝部に連続状に接続された第２基端部と、前記第２枝部と、を含み、
前記第１基端部は、前記第２基端部に重なって接合されている、
請求項１又は２に記載のベイパーチャンバー。

【請求項8】

前記第１基端部は、第１連通部を含み、
前記第２基端部は、前記第１連通部に連通した第２連通部を含み、
前記第１連通部及び前記第２連通部は、前記第１空間部と前記第２空間部を連通している、
請求項７に記載のベイパーチャンバー。

【請求項9】

前記第１ベイパーチャンバー本体は、前記第１対向部と前記第１基端部との間で屈曲されている、
請求項７に記載のベイパーチャンバー。

【請求項10】

前記第２ベイパーチャンバー本体は、平坦状に形成されている、
請求項９に記載のベイパーチャンバー。

【請求項11】

前記基端部から延びるとともに前記第２枝部に対して前記第１枝部とは反対側に位置する第３枝部であって、前記ベイパーチャンバーの厚さ方向において前記第２対向部に対向して離間した第３対向部を含む第３枝部と、
前記第３対向部から前記基端部に延びる第３空間部と、
前記第３対向部から前記基端部に延びる第３液流路部と、
を更に備えた、請求項１又は２に記載のベイパーチャンバー。

【請求項12】

ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスに熱的に接続された、請求項１又は２に記載のベイパーチャンバーと、
を備えた、電子機器。

【請求項13】

請求項１又は２に記載のベイパーチャンバーと、
前記基端部に熱的に接続された放熱体と、
を備えた、放熱装置。

【請求項14】

前記放熱体は、前記基端部及び前記第２対向部に熱的に接続されている、
請求項１３に記載の放熱装置。

【請求項15】

前記第１枝部は、前記基端部とは反対側に位置する第１端部を含み、
前記第２枝部は、前記基端部とは反対側に位置する第２端部を含み、
前記第２端部は、前記第１端部よりも前記基端部から遠い位置に位置している、
請求項１３に記載の放熱装置。

【請求項16】

前記第１枝部は、前記第１対向部に対して前記基端部とは反対側に位置する第１延長部であって、前記第１対向部から延びる第１延長部を含み、
前記第２枝部は、前記第２対向部に対して前記基端部とは反対側に位置する第２延長部であって、前記第２対向部から延びる第２延長部を含み、
前記第１空間部及び前記第１液流路部は、前記第１対向部から前記第１延長部に延び、
前記第２空間部及び前記第２液流路部は、前記第２対向部から前記第２延長部に延び、
前記第１延長部及び前記第２延長部は互いに熱的に接続されている、
請求項１３に記載の放熱装置。

【請求項17】

前記第１延長部及び前記第２延長部は、ボルトを用いて放熱体に締結されている、
請求項１６に記載の放熱装置。

【請求項18】

ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスに熱的に接続された、請求項１３に記載の放熱装置と、
を備え、
前記デバイスは、前記第１対向部と前記第２対向部との間に位置している、電子機器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ベイパーチャンバー、放熱装置及び電子機器に関する。

【背景技術】

【0002】

モバイル端末等の電子機器には、発熱を伴う電子デバイスが用いられている。この電子デバイスの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）及びパワー半導体等が挙げられる。モバイル端末の例としては、携帯端末及びタブレット端末等が挙げられる。

【0003】

このような電子デバイスは、ヒートパイプ等の放熱装置によって冷却されている（例えば、特許文献１参照）。近年では、電子機器の薄型化のために、放熱装置の薄型化が求められている。放熱装置として、ヒートパイプより薄くできるベイパーチャンバーの開発が進められている。ベイパーチャンバーは、封入された作動流体が電子デバイスの熱を吸収して内部で拡散することにより、電子デバイスを冷却する。

【0004】

より具体的には、ベイパーチャンバー内の作動液は、電子デバイスに近接した部分（蒸発領域）で電子デバイスから熱を受ける。熱を受けた作動液は蒸発して、作動蒸気になる。その作動蒸気は、ベイパーチャンバー内に形成された蒸気流路部内で、蒸発領域から離れる方向に拡散する。拡散した作動蒸気は冷却されて凝縮し、作動液になる。ベイパーチャンバー内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられている。液流路部の毛細管作用によって作動液は蒸発領域に輸送される。蒸発領域において、作動液は、再び熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベイパーチャンバー内を還流する。このことにより、電子デバイスの熱がベイパーチャンバー内で拡散されて、ベイパーチャンバーから放出されている。このようにして、電子デバイスが冷却されている。しかしながら、電子デバイスの冷却効率の向上が求められている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】国際公開第２０１８／２２１３６９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本開示は、デバイスの冷却効率を向上できるベイパーチャンバー、放熱装置及び電子機器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

［１］本開示は、
作動流体が封入されるベイパーチャンバーであって、
基端部と、
前記基端部から延びる第１枝部であって、第１対向部を含む第１枝部と、
前記基端部から延びる第２枝部であって、前記ベイパーチャンバーの厚さ方向において前記第１対向部に対向して離間した第２対向部を含む第２枝部と、
前記基端部から前記第１対向部に延びる第１空間部と、
前記基端部から前記第１対向部に延びる第１液流路部と、
前記基端部から前記第２対向部に延びる第２空間部と、
前記基端部から前記第２対向部に延びる第２液流路部と、
を備えた、ベイパーチャンバーであってもよい。

【0008】

［２］本開示は、
前記第１空間部及び前記第２空間部は、前記基端部において互いに連通している、
［１］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

【0009】

［３］本開示は、
前記第１枝部は、前記基端部とは反対側に位置する第１端部を含み、
前記第２枝部は、前記基端部とは反対側に位置する第２端部を含み、
前記第２端部は、前記第１端部よりも前記基端部から遠い位置に位置している、
［１］又は［２］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

【0010】

［４］本開示は、
前記第１対向部及び前記第２対向部に、デバイスから熱を受けて前記作動流体が蒸発する蒸発領域が位置している、
［１］～［３］のいずれかに記載のベイパーチャンバーであってもよい。

【0011】

［５］本開示は、
前記基端部に、デバイスから熱を受けて前記作動流体が蒸発する蒸発領域が位置している、
［１］～［４］のいずれかに記載のベイパーチャンバーであってもよい。

【0012】

［６］本開示は、
前記第１空間部と前記第２空間部は、互いに分断されている、
［１］～［５］のいずれかに記載のベイパーチャンバーであってもよい。

【0013】

［７］本開示は、
第１ベイパーチャンバー本体と、第２ベイパーチャンバー本体と、を備え、
前記第１ベイパーチャンバー本体は、前記基端部を構成する、前記第１枝部に連続状に接続された第１基端部と、前記第１枝部と、を含み、
前記第２ベイパーチャンバー本体は、前記基端部を構成する、前記第２枝部に連続状に接続された第２基端部と、前記第２枝部と、を含み、
前記第１基端部は、前記第２基端部に重なって接合されている、
［１］～［６］のいずれかに記載のベイパーチャンバーであってもよい。

【0014】

［８］本開示は、
前記第１基端部は、第１連通部を含み、
前記第２基端部は、前記第１連通部に連通した第２連通部を含み、
第１連通部及び第２連通部は、前記第１空間部と前記第２空間部を連通している、
［７］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

【0015】

［９］本開示は、
前記第１ベイパーチャンバー本体は、前記第１対向部と前記第１基端部との間で屈曲されている、
［７］又は［８］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

【0016】

［１０］本開示は、
前記第２基端部と前記第２枝部により第２ベイパーチャンバー本体が構成され、
前記第２ベイパーチャンバー本体は、平坦状に形成されている、
［７］～［９］のいずれかに記載のベイパーチャンバーであってもよい。

【0017】

［１１］本開示は、
前記基端部から延びるとともに前記第２枝部に対して前記第１枝部とは反対側に位置する第３枝部であって、前記ベイパーチャンバーの厚さ方向において前記第２対向部に対向して離間した第３対向部を含む第３枝部と、
前記第３対向部から前記基端部に延びる第３空間部と、
前記第３対向部から前記基端部に延びる第３液流路部と、
を更に備えた、
［１］～［１０］のいずれかに記載のベイパーチャンバーであってもよい。

【0018】

［１２］本開示は、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスに熱的に接続された、［１］～［１１］のいずれかに記載のベイパーチャンバーと、
を備えた、電子機器であってもよい。

【0019】

［１３］本開示は、
［１］～［１１］のいずれかに記載のベイパーチャンバーと、
前記基端部に熱的に接続された放熱体と、
を備えた、放熱装置であってもよい。

【0020】

［１４］本開示は、
前記放熱体は、前記基端部及び前記第２対向部に熱的に接続されている、
［１３］に記載の放熱装置であってもよい。

【0021】

［１５］本開示は、
前記第１枝部は、前記基端部とは反対側に位置する第１端部を含み、
前記第２枝部は、前記基端部とは反対側に位置する第２端部を含み、
前記第２端部は、前記第１端部よりも前記基端部から遠い位置に位置している、
［１３］又は［１４］に記載の放熱装置であってもよい。

【0022】

［１６］本開示は、
前記第１枝部は、前記第１対向部に対して前記基端部とは反対側に位置する第１延長部であって、前記第１対向部から延びる第１延長部を含み、
前記第２枝部は、前記第２対向部に対して前記基端部とは反対側に位置する第２延長部であって、前記第２対向部から延びる第２延長部を含み、
前記第１空間部及び前記第１液流路部は、前記第１対向部から前記第１延長部に延び、
前記第２空間部及び前記第２液流路部は、前記第２対向部から前記第２延長部に延び、
前記第１延長部及び前記第２延長部は互いに熱的に接続されている、
［１３］～［１５］のいずれかに記載の放熱装置であってもよい。

【0023】

［１７］本開示は、
前記第１延長部及び前記第２延長部は、ボルトを用いて放熱体に締結されている、
［１６］に記載の放熱装置であってもよい。

【0024】

［１８］本開示は、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスに熱的に接続された、［１３］～［１７］のいずれかに記載の放熱装置と、
を備え、
前記デバイスは、前記第１対向部と前記第２対向部との間に位置している、
電子機器であってもよい。

【発明の効果】

【0025】

本開示によれば、デバイスの冷却効率を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】図１は、本開示の第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。

【図2】図２は、本開示の第１の実施の形態によるベイパーチャンバーを示す概略断面図である。

【図3】図３は、図２に示すベイパーチャンバーを示す平面図である。

【図4】図４は、図２のＡ－Ａ線断面図である。

【図5】図５は、図２のＢ－Ｂ線断面図である。

【図6】図６は、図２に示す基端部を示す断面図である。

【図7】図７は、図２に示す第１本体シートの第１本体面を示す平面図である。

【図8】図８は、図２に示す第１本体シートの第２本体面を示す平面図である。

【図9】図９は、図４の部分拡大断面図である。

【図10】図１０は、図７に示す液流路部の部分拡大平面図である。

【図11】図１１は、図２に示すベイパーチャンバーの変形例を示す概略断面図である。

【図12】図１２は、図２に示すベイパーチャンバーの他の変形例を示す概略断面図である。

【図13】図１３は、図２に示すベイパーチャンバーの他の変形例を示す概略断面図である。

【図14】図１４は、図１３に示すベイパーチャンバーの基端部を示す断面図である。

【図15】図１５は、本開示の第２の実施の形態による放熱装置を示す概略断面図である。

【図16】図１６は、図１５に示す放熱装置の変形例を示す概略断面図である。

【図17】図１７は、図１５に示す放熱装置の変形例を示す概略断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

以下、図面を参照して本開示の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

【0028】

本明細書において用いる、幾何学的条件と、物理的特性と、幾何学的条件又は物理的特性の程度を特定する用語と、幾何学的条件又は物理的特性を示す数値等については、厳密な意味に縛られることなく解釈してもよい。そして、これらの幾何学的条件、物理的特性、用語、及び数値などについては、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈してもよい。幾何学的条件を特定する用語の例としては、「長さ」、「角度」、「形状」、「平行」、「直交」及び「同一」等が挙げられる。さらに、図面を明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載している。しかしながら、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待できる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待できる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。

【0029】

（第１の実施の形態）
図１～図１４を用いて、本開示の第１の実施の形態によるベイパーチャンバー及び電子機器について説明する。本実施の形態によるベイパーチャンバー１は、発熱を伴う電子デバイスＤとともに電子機器ＥのハウジングＨに収容されており、電子デバイスＤを冷却するための部材である。電子機器Ｅの例としては、携帯端末及びタブレット端末等のモバイル端末等が挙げられる。電子デバイスＤの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）及びパワー半導体等が挙げられる。電子デバイスＤは、デバイスの一例であって、ベイパーチャンバー１の冷却対象であり、冷却対象装置と称する場合もある。

【0030】

ここではまず、本実施の形態によるベイパーチャンバー１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅは、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容された電子デバイスＤと、ベイパーチャンバー１と、を備えていてもよい。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベイパーチャンバー１は、ハウジングＨ内に収容されて、電子デバイスＤに熱的に接続されるように配置される。ベイパーチャンバー１は、電子機器Ｅの使用時に電子デバイスＤで発生する熱を受ける。ベイパーチャンバー１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベイパーチャンバー１の外部に放出し、電子デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合、電子デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。電子デバイスＤは、図２に示すように、基板Ｓに実装されていてもよい。しかしながら、電子デバイスＤは、基板Ｓに実装されていなくてもよい。熱的に接続とは、２つの物体が直接接しているか、又は後述するＴＩＭシート若しくは熱伝導性が良好な材料を介して接しており、互いに熱の移動が可能な状態に意図的にされていることを言う。熱伝導性が良好な材料は、熱伝導性が良好なグリース又は熱伝導性が良好な両面テープでもよい。

【0031】

次に、本実施の形態によるベイパーチャンバー１について説明する。

【0032】

図２に示すように、ベイパーチャンバー１は、作動流体２ａ、２ｂ（図７参照）が封入された密封空間３を備えていてもよい。密封空間３内の作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返すことにより、電子デバイスＤが冷却される。作動流体２ａ、２ｂは、水を含んでいてもよい。作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、及びその混合液が挙げられる。

【0033】

平面視において、ベイパーチャンバー１は任意の形状で形成されていてもよい。図３に示すように、ベイパーチャンバー１は、Ｚ方向で見たときに、Ｘ方向及びＹ方向に沿って矩形形状で形成されていてもよい。図３に示すベイパーチャンバー１は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよい。ベイパーチャンバー１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、ベイパーチャンバー１の平面形状が、Ｘ方向を長手方向とする矩形形状である例について説明する。この場合、後述する各ベイパーチャンバー本体５Ｐ、５Ｑ、後述する各シート１０Ｐ、２０Ｐ、１０Ｑ、２０Ｑ及び各本体シート３０Ｐ、３０Ｑは、ベイパーチャンバー１と同様の平面形状を有していてもよい。ベイパーチャンバー１の平面形状は、矩形形状に限られることはなく、円形形状、楕円形形状、Ｌ字形状又はＴ字形状等、任意の形状であってもよい。

【0034】

Ｘ方向は、第１方向の一例であり、図２及び図３における左右方向に相当する。Ｙ方向は、第２方向の一例であり、平面視でＸ方向に直交する方向である。Ｙ方向は、図３における上下方向に相当する。Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向とする。Ｚ方向は、図２における上下方向に相当しており、ベイパーチャンバー１の厚さ方向に相当している。

【0035】

平面視とは、Ｚ方向で見た状態であって、ベイパーチャンバー１が電子デバイスＤから熱を受ける面及び受けた熱を放出する面に直交する方向から見た状態である。本実施の形態による熱を受ける面とは、後述する第１シート１０Ｐの第１シート外面１０Ｐａ及び後述する第１シート１０Ｑの第１シート外面１０Ｑａに相当する。本実施の形態による熱を放出する面とは、第２シート２０Ｐの第２シート外面２０Ｐｂ及び第２シート２０Ｑの第２シート外面２０Ｑｂに相当する。後述する断面視は、特に説明がない場合には、Ｙ方向でベイパーチャンバー１の断面を見た状態を意味する用語として用いる。

【0036】

図２及び図３に示すように、ベイパーチャンバー１は、作動液２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動蒸気２ａが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を有している。作動蒸気２ａは、気体状態の作動流体であり、作動液２ｂは、液体状態の作動流体である。

【0037】

蒸発領域ＳＲは、平面視において電子デバイスＤと重なる領域であり、電子デバイスＤと熱的に接続される領域である。蒸発領域ＳＲの位置は任意である。蒸発領域ＳＲに電子デバイスＤからの熱を受けて作動液２ｂが蒸発して、作動蒸気２ａが生成される。電子デバイスＤからの熱は、平面視において電子デバイスＤに重なる領域だけではなく、電子デバイスＤが重なる領域の周辺にも移動し得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視において、電子デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含んでいてもよい。

【0038】

凝縮領域ＣＲは、平面視において電子デバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気２ａが熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、蒸発領域ＳＲの周囲の領域であってもよい。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が放出される。作動蒸気２ａは冷却されて凝縮し、作動液２ｂが生成される。

【0039】

図２に示すように、本実施の形態によるベイパーチャンバー１は、基端部６と、第１枝部７Ｐと、第２枝部７Ｑと、第１蒸気流路部５０Ｐと、第１液流路部６０Ｐと、第２蒸気流路部５０Ｑと、第２液流路部６０Ｑと、を備えていてもよい。

【0040】

基端部６は、第１枝部７Ｐ及び第２枝部７Ｑの基端となる部分である。断面視において、基端部６から２つの枝部７Ｐ、７Ｑが延びていてもよい。基端部６は、第１枝部７Ｐと第２枝部７Ｑの分岐位置から第１枝部７Ｐとは反対側に延びていてもよく、この分岐位置から第２枝部７Ｑとは反対側に延びていてもよい。本実施の形態による基端部６は、第１枝部７Ｐに連続状に接続された第１基端部４１Ｐと、第２枝部７Ｑに連続状に接続された第２基端部４１Ｑと、を含んでいてもよい。第１基端部４１Ｐは、第１枝部７Ｐと第２枝部７Ｑの分岐位置から第１枝部７Ｐとは反対側に延びていてもよい。第２基端部４１Ｑは、第１枝部７Ｐと第２枝部７Ｑの分岐位置から第２枝部７Ｑとは反対側に延びていてもよい。

【0041】

断面視において、第１枝部７Ｐは、基端部６から延びている。第１枝部７Ｐは、第１基端部４１Ｐから連続状に延びており、第１枝部７Ｐと第１基端部４１Ｐとにより第１ベイパーチャンバー本体５Ｐが構成されている。本実施の形態による第１枝部７Ｐは、第１対向部４２Ｐと、第１中間部４３Ｐと、を含んでいてもよい。

【0042】

断面視において、第２枝部７Ｑは、基端部６から延びている。第２枝部７Ｑは、第１枝部７Ｐとは異なる位置に向かって基端部６から延びている。第２枝部７Ｑは、第２基端部４１Ｑから連続状に延びており、第２枝部７Ｑと第２基端部４１Ｑとにより第２ベイパーチャンバー本体５Ｑが構成されている。本実施の形態による第２枝部７Ｑは、第２対向部４２Ｑを含んでいてもよい。第２対向部４２Ｑは、ベイパーチャンバー１の厚さ方向に相当するＺ方向において第１対向部４２Ｐに対向して離間している。第２枝部７Ｑは、平坦状に形成されていてもよい。

【0043】

図２に示すように、本実施の形態によるベイパーチャンバー１は、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐと、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑと、を含んでいてもよい。

【0044】

第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、上述した第１基端部４１Ｐと、上述した第１枝部７Ｐと、を含んでいる。第１枝部７Ｐは、第１対向部４２Ｐと、第１中間部４３Ｐと、を含んでいる。図３に示すように、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの平面形状がＸ方向を長手方向とする矩形形状である場合、第１基端部４１ＰのＹ方向長さ、第１対向部４２ＰのＹ方向長さ及び第１中間部４３ＰのＹ方向長さは等しくてもよい。この場合、第１基端部４１ＰのＹ方向長さ、第１対向部４２ＰのＹ方向長さ及び第１中間部４３ＰのＹ方向長さは、第１ベイパーチャンバー本体５ＰのＹ方向長さに相当する。

【0045】

第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、上述した第２基端部４１Ｑと、上述した第２枝部７Ｑと、を含んでいる。第２枝部７Ｑは、第２対向部４２Ｑを含んでいる。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの平面形状がＸ方向を長手方向とする矩形形状である場合、第２基端部４１ＱのＹ方向長さ、第２対向部４２ＱのＹ方向長さ及び第２中間部４３ＱのＹ方向長さは等しくてもよい。この場合、第２基端部４１ＱのＹ方向長さ、第２対向部４２ＱのＹ方向長さ及び第２中間部４３ＱのＹ方向長さは、第２ベイパーチャンバー本体５ＱのＹ方向長さに相当する。第２ベイパーチャンバー本体５ＱのＹ方向長さは、第１ベイパーチャンバー本体５ＰのＹ方向長さと等しくてもよい。

【0046】

第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１基端部４１Ｐが、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑと接合されていてもよい。第１基端部４１Ｐ及び第２基端部４１Ｑにより、上述した基端部６が構成されている。本実施の形態においては、第１対向部４２Ｐと第２対向部４２Ｑとの間に電子デバイスＤが位置していてもよい。

【0047】

次に、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐについてより詳細に説明する。

【0048】

断面視において、第１基端部４１Ｐは、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑに対向している。第１基端部４１Ｐは、第２基端部４１Ｑに接触していてもよく、重なっていてもよい。第１基端部４１Ｐは、第２基端部４１Ｑに接合されていてもよい。第１基端部４１Ｐは、Ｘ方向に沿って形成されていてもよい。

【0049】

本実施の形態においては、第１基端部４１Ｐに、凝縮領域ＣＲが位置していてもよい。このことにより、第１基端部４１Ｐにおいて、作動蒸気２ａからの熱が放出される。作動蒸気２ａは冷却されて凝縮し、作動液２ｂが生成される。

【0050】

第１対向部４２Ｐは、Ｚ方向において、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの後述する第２対向部４２Ｑに離間して対向している。第１対向部４２Ｐは電子デバイスＤに対向していてもよく、第１対向部４２Ｐに電子デバイスＤが熱的に接続されていてもよい。第１対向部４２Ｐに、上述した蒸発領域ＳＲが位置していてもよい。このため、第１対向部４２Ｐにおいて、電子デバイスＤからの熱を受けて作動蒸気２ａが生成される。第１対向部４２Ｐは、断面視において、Ｘ方向に沿って形成されていてもよい。

【0051】

第１中間部４３Ｐは、第１基端部４１Ｐと第１対向部４２Ｐとの間に位置している。断面視において、第１中間部４３Ｐは、第１基端部４１Ｐに対して傾斜していてもよく、第１対向部４２Ｐに対して傾斜していてもよい。しかしながら、第１中間部４３Ｐの形状は任意であり、例えば、第１中間部４３Ｐは、断面視において湾曲していてもよい。第１中間部４３Ｐが、凝縮領域ＣＲとして機能していてもよい。

【0052】

断面視において、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、第１基端部４１Ｐと第１対向部４２Ｐとの間で屈曲されていてもよい。第１ベイパーチャンバー本体５Ｐを構成する後述の第１シート１０Ｐ、第２シート２０Ｐ及び第１本体シート３０Ｐが屈曲されていてもよい。図２に示す例では、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、２つの異なる位置で屈曲されている。第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、第１基端部４１Ｐと第１中間部４３Ｐとの間で屈曲されているとともに、第１対向部４２Ｐと第１中間部４３Ｐとの間で屈曲されている。第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、Ｙ方向に延びる屈曲線（図示せず）に沿って屈曲されていてもよい。この場合、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、Ｙ方向に沿って平坦状に形成されていてもよい。

【0053】

断面視において、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１枝部７Ｐは、第１基端部４１Ｐとは反対側に位置する第１端部５Ｐａを含んでいてもよい。第１端部５Ｐａは、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの先端部に相当していてもよい。

【0054】

図２に示すように、本実施の形態による第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、第１シート１０Ｐと、第２シート２０Ｐと、第１本体シート３０Ｐと、上述した第１蒸気流路部５０Ｐと、上述した第１液流路部６０Ｐと、を含んでいてもよい。

【0055】

図２に示すように、第１シート１０Ｐは、基端部６から第１枝部７Ｐにわたって形成されていてもよい。より具体的には、第１シート１０Ｐは、第１基端部４１Ｐから第１中間部４３Ｐを通って第１対向部４２Ｐに延びていてもよい。図２、図４及び図５に示すように、第１シート１０Ｐは、第１本体シート３０Ｐと第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの後述する第２本体シート３０Ｑとの間に位置していてもよい。第１シート１０Ｐは、第１本体シート３０Ｐと後述する第１シート１０Ｑとの間に位置していてもよい。

【0056】

図４及び図５に示すように、第１シート１０Ｐは、第１本体シート３０Ｐとは反対側に位置する第１シート外面１０Ｐａと、第１本体シート３０Ｐに対向する第１シート内面１０Ｐｂと、を含んでいる。第１シート外面１０Ｐａに、上述した電子デバイスＤが熱的に接続されていてもよい。第１シート外面１０Ｐａと電子デバイスＤとの間に、ＴＩＭ（Thermal Interface Material）シート７０（図１５参照）が介在されていてもよい。第１シート内面１０Ｐｂに、第１本体シート３０Ｐの後述する第１本体面３０Ｐａが接触して接合されていてもよい。第１シート１０Ｐは、実質的に一定の厚さを有していてもよい。

【0057】

図５及び図６に示すように、第１シート１０Ｐの第１シート外面１０Ｐａの一部分は、第１シート１０Ｑの後述する第１シート外面１０Ｑａに、恒久的に接合されていてもよい。より具体的には、第１シート外面１０Ｐａのうちの第１基端部４１Ｐに位置する部分が、第１シート外面１０Ｑａのうちの第２基端部４１Ｑに位置する部分に接合されていてもよい。

【0058】

図２に示すように、第２シート２０Ｐは、基端部６から第１枝部７Ｐにわたって形成されていてもよい。より具体的には、第２シート２０Ｐは、第１基端部４１Ｐから第１中間部４３Ｐを通って第１対向部４２Ｐに延びていてもよい。図２、図４及び図５に示すように、第２シート２０Ｐは、第１本体シート３０Ｐに対して、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの後述する第２本体シート３０Ｑとは反対側に位置していてもよい。

【0059】

図４及び図５に示すように、第２シート２０Ｐは、第１本体シート３０Ｐに対向する第２シート内面２０Ｐａと、第１本体シート３０Ｐとは反対側に位置する第２シート外面２０Ｐｂと、を含んでいる。第２シート内面２０Ｐａに、第１本体シート３０Ｐの後述する第２本体面３０Ｐｂが接触して接合されていてもよい。第２シート２０Ｐは、実質的に一定の厚さを有していてもよい。

【0060】

図２に示すように、第１本体シート３０Ｐは、基端部６から第１枝部７Ｐにわたって形成されていてもよい。より具体的には、第１本体シート３０Ｐは、第１基端部４１Ｐから第１中間部４３Ｐを通って第１対向部４２Ｐに延びている。図２、図４及び図５に示すように、第１本体シート３０Ｐは、第１シート１０Ｐと第２シート２０Ｐとの間に位置していてもよい。

【0061】

図４及び図５に示すように、第１本体シート３０Ｐは、第１本体面３０Ｐａと、第１本体面３０Ｐａとは反対側に位置する第２本体面３０Ｐｂと、を含んでいる。第１本体面３０Ｐａは、第１シート１０Ｐの第１シート内面１０Ｐｂに接触して接合されていてもよい。第２本体面３０Ｐｂは、第２シート２０Ｐの第２シート内面２０Ｐａに接触して接合されていてもよい。第１本体面３０Ｐａは、第１シート内面１０Ｐｂに恒久的に接合されていてもよい。同様に、第２本体面３０Ｐｂは、第２シート内面２０Ｐａに恒久的に接合されていてもよい。「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベイパーチャンバー１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に接合されていることを意味する用語として用いている。例えば、接合の例としては、ロウ付けによる接合、はんだ付けによる接合又は拡散接合などが挙げられる。

【0062】

第１本体シート３０Ｐは、第１蒸気流路部５０Ｐを画定している。より具体的には、図４、図５、図７及び図８に示すように、第１本体シート３０Ｐは、枠体部３２と、複数のランド部３３と、を含んでいてもよい。

【0063】

図７及び図８に示すように、枠体部３２は、平面視においてＸ方向及びＹ方向に沿って矩形枠形状に形成されている。ランド部３３は、平面視において枠体部３２の内側に位置している。ランド部３３の周囲に、第１蒸気流路部５０Ｐが位置している。枠体部３２及びランド部３３は、後述するエッチング工程においてエッチング処理されることなく、第１本体シート３０Ｐの材料が残る部分である。枠体部３２及びランド部３３は、第１本体面３０Ｐａ及び第２本体面３０Ｐｂを含んでおり、第１本体面３０Ｐａから第２本体面３０Ｐｂに延びている。枠体部３２と隣り合うランド部３３との間に、作動蒸気２ａが流れる後述の第１蒸気通路５１が形成されている。互いに隣り合うランド部３３の間に、作動蒸気２ａが流れる後述の蒸気通路５２が形成されている。

【0064】

第１本体シート３０Ｐのランド部３３は、基端部６から第１枝部７Ｐにわたって形成されていてもよい。より具体的には、ランド部３３は、第１基端部４１Ｐから第１中間部４３Ｐを通って第１対向部４２Ｐに延びていてもよい。ランド部３３は、平面視において、Ｘ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。ランド部３３の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。各ランド部３３は、互いに平行に位置していてもよい。ランド部３３は、図７及び図８に示すように枠体部３２から離間していてもよく、又は枠体部３２に接続されていてもよい。

【0065】

図９に示すように、ランド部３３の幅ｗ１は、例えば、１００μｍ～１５００μｍであってもよい。ここで、ランド部３３の幅ｗ１は、ランド部３３のＹ方向寸法である。幅ｗ１は、第１本体面３０Ｐａ及び第２本体面３０Ｐｂにおけるランド部３３の寸法である。

【0066】

枠体部３２及びランド部３３は、第１シート１０Ｐに接合されていてもよく、第２シート２０Ｐに接合されていてもよい。この場合、ベイパーチャンバー１の機械的強度を向上できる。第１本体シート３０Ｐの第１本体面３０Ｐａ及び第２本体面３０Ｐｂは、枠体部３２及び各ランド部３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。

【0067】

第１蒸気流路部５０Ｐは、第１空間部の一例である。第１蒸気流路部５０Ｐは、基端部６から第１枝部７Ｐにわたって形成されていてもよい。より具体的には、第１蒸気流路部５０Ｐは、図２に示すように、第１基端部４１Ｐから第１中間部４３Ｐを通って第１対向部４２Ｐに延びている。第１蒸気流路部５０Ｐは、第１本体シート３０Ｐにより形成されている。図２では、図面を明瞭にするために、ランド部３３が存在しない位置における断面が示されている。第１蒸気流路部５０Ｐに、作動流体２ａ、２ｂが封入されている。第１蒸気流路部５０Ｐは、主として、作動蒸気２ａが通る流路であってもよい。第１蒸気流路部５０Ｐに、作動液２ｂも通ってもよい。第１蒸気流路部５０Ｐは、密封空間３の一部を構成している。

【0068】

図４、図５、図７及び図８に示すように、本実施の形態による第１蒸気流路部５０Ｐは、第１蒸気通路５１と、複数の第２蒸気通路５２と、を含んでいてもよい。第１蒸気通路５１及び第２蒸気通路５２はそれぞれ、空間通路の一例である。第１蒸気通路５１は、互いに隣り合う枠体部３２とランド部３３との間に形成されている。第１蒸気通路５１の平面形状は、Ｘ方向及びＹ方向に沿って矩形枠形状になっていてもよい。第２蒸気通路５２は、互いに隣り合うランド部３３の間に形成されている。第２蒸気通路５２は、Ｙ方向に並んでいてもよい。第２蒸気通路５２の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。

【0069】

図４及び図５に示すように、第１蒸気通路５１及び第２蒸気通路５２はそれぞれ、第１本体シート３０Ｐの第１本体面３０Ｐａから第２本体面３０Ｐｂに延びていてもよく、第１本体シート３０Ｐを貫通していてもよい。第１蒸気通路５１及び第２蒸気通路５２はそれぞれ、第１本体面３０Ｐａにおいて第１シート１０Ｐで覆われていてもよく、第２本体面３０Ｐｂにおいて第２シート２０Ｐで覆われていてもよい。

【0070】

図９に示すように、蒸気通路５１、５２は、第１本体シート３０Ｐの第１本体面３０Ｐａに設けられた第１蒸気流路凹部５３と、第２本体面３０Ｐｂに設けられた第２蒸気流路凹部５４と、を含んでいてもよい。第１蒸気流路凹部５３と第２蒸気流路凹部５４とは接続されて連通している。

【0071】

第１蒸気流路凹部５３は、後述するエッチング工程において、第１本体シート３０Ｐの第１本体面３０Ｐａをエッチング処理することによって形成されていてもよい。第１蒸気流路凹部５３は、第１本体面３０Ｐａに凹状に形成されている。第１蒸気流路凹部５３の壁面は、湾曲状に形成されていてもよい。図９に示すように、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２は、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。幅ｗ２は、Ｙ方向寸法であって、第１本体面３０Ｐａにおける第１蒸気流路凹部５３の寸法である。

【0072】

第２蒸気流路凹部５４は、後述するエッチング工程において、第１本体シート３０の第２本体面３０Ｐｂをエッチング処理することによって形成されていてもよい。第２蒸気流路凹部５４は、第２本体面３０Ｐｂに凹状に形成されている。第２蒸気流路凹部５４の壁面は、湾曲状に形成されていてもよい。図９に示すように、第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ３は、上述した第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２と同様に、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。幅ｗ３は、Ｙ方向寸法であって、第２本体面３０Ｐｂにおける第２蒸気流路凹部５４の寸法である。

【0073】

図９に示すように、本実施の形態では、蒸気通路５１、５２の断面形状が、貫通部３４を含むように形成されている。貫通部３４は、蒸気流路凹部５３、５４の壁面が内側に張り出すように形成された稜線によって画定されている。貫通部３４の先端位置は、第１本体面３０Ｐａと第２本体面３０Ｐｂとの中間位置に位置していてもよい。あるいは、貫通部３４の先端位置は、第２本体面３０Ｐｂよりも第１本体面３０Ｐａに近い位置に位置していてもよく、又は、第１本体面３０Ｐａよりも第２本体面３０Ｐｂに近い位置に位置していてもよい。しかしながら、蒸気通路５１、５２の断面形状は、任意である。例えば、蒸気通路５１、５２の断面形状は、台形形状や平行四辺形形状であってもよく、又は樽形形状になっていてもよい。各蒸気通路５１、５２は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。図９は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路５１及び第２蒸気通路５２を拡大して示している。図９における後述する主流溝６１などの個数若しくは位置は、図４及び図５とでは、便宜上、異なっている。

【0074】

図示しないが、各蒸気通路５１、５２内に、ランド部３３を枠体部３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。互いに隣り合う２つのランド部３３を支持する支持部が設けられていてもよい。支持部は、第１蒸気流路部５０Ｐを拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。

【0075】

第１液流路部６０Ｐは、第１溝流路部の一例である。第１液流路部６０Ｐは、基端部６から第１枝部７Ｐにわたって形成されていてもよい。より具体的には、図２に示すように、第１基端部４１Ｐから第１中間部４３Ｐを通って第１対向部４２Ｐに延びている。第１液流路部６０Ｐは、第１蒸気流路部５０Ｐに連通していてもよい。第１液流路部６０Ｐは、第１本体シート３０Ｐの第１本体面３０Ｐａに形成されていてもよい。第１液流路部６０Ｐは、主として、作動液２ｂが通る流路であってもよい。第１液流路部６０Ｐに、作動蒸気２ａも通ってもよい。第１液流路部６０Ｐは、密封空間３の一部を構成している。

【0076】

第１液流路部６０Ｐは、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造として構成されている。第１液流路部６０Ｐは、ウィックと称する場合もある。この場合、第１本体シート３０Ｐは、第１ウィックシートとも称される。第１液流路部６０Ｐは、第１本体シート３０Ｐの各ランド部３３の第１本体面３０Ｐａに形成されていてもよい。図７等では図示していないが、枠体部３２の第１本体面３０Ｐａのうちの内側部分に、第１液流路部６０Ｐと同様な液流路部が形成されていてもよい。図示しないが、ランド部３３の第１本体面３０Ｐａの代わりに第２本体面３０Ｐｂに第１液流路部６０Ｐが形成されていてもよい。あるいは、ランド部３３の第１本体面３０Ｐａ及び第２本体面３０Ｐｂのそれぞれに、第１液流路部６０Ｐが形成されていてもよい。

【0077】

図１０に示すように、第１液流路部６０Ｐは、複数の主流溝６１と、複数の連絡溝６５と、を含んでいてもよい。主流溝６１及び連絡溝６５は、作動液２ｂが通る流路である。連絡溝６５は、主流溝６１と接続されて連通している。

【0078】

主流溝６１及び連絡溝６５は、ランド部３３の第１本体面３０Ｐａに位置していてもよい。主流溝６１及び連絡溝６５は、蒸気通路５１、５２に連通していてもよい。主流溝６１及び連絡溝６５は、第１シート１０Ｐの第１シート内面１０Ｐｂに覆われていてもよい。第１シート内面１０Ｐｂは、主流溝６１及び連絡溝６５に対向していてもよい。

【0079】

各主流溝６１は、図１０に示すように、Ｘ方向に延びている。主流溝６１は、Ｙ方向に並んでいる。主流溝６１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。主流溝６１の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。主流溝６１は、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。

【0080】

図１０に示すように、各連絡溝６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各連絡溝６５はＹ方向に延びており、主流溝６１に垂直に形成されている。連絡溝６５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、小さな流路断面積を有している。連絡溝６５の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。

【0081】

主流溝６１及び連絡溝６５は、後述するエッチング工程において、本体シート３０Ｐの第１本体面３０Ｐａをエッチング処理することによって形成されていてもよい。図９及び図１０に示すように、主流溝６１の幅ｗ４は、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２よりも小さくてもよい。幅ｗ４は、例えば、５μｍ～４００μｍであってもよい。幅ｗ４は、第１本体面３０Ｐａにおける主流溝６１の寸法を意味している。幅ｗ４は、主流溝６１のＹ方向寸法に相当している。連絡溝６５の幅ｗ５は、主流溝６１の幅ｗ４と等しくてもよく、又は異なっていてもよい。幅ｗ５は、第１本体面３０Ｐａにおける連絡溝６５の寸法を意味している。主流溝６１の深さｄ１は、例えば、３μｍ～３００μｍであってもよい。深さｄ１は、主流溝６１のＺ方向寸法に相当している。連絡溝６５の深さは、主流溝６１の深さｄ１と等しくてもよく、又は異なっていてもよい。連絡溝６５の深さは、連絡溝６５のＺ方向寸法に相当している。

【0082】

図１０に示すように、第１液流路部６０Ｐは、ランド部３３の第１本体面３０Ｐａに位置する複数の凸部６４を含んでいてもよい。凸部６４は、主流溝６１と連絡溝６５によって画定されていてもよく、又は、主流溝６１と連絡溝６５と蒸気通路５１、５２とによって画定されていてもよい。凸部６４は、平面視において、Ｘ方向が長手方向となるように矩形形状に形成されていてもよく、丸みを帯びた矩形形状に形成されていてもよい。凸部６４は、後述するエッチング工程においてエッチング処理されることなく、本体シート３０の材料が残る部分である。凸部６４は、第１シート１０Ｐの第１シート内面１０Ｐｂに接合されていてもよい。凸部６４は、千鳥状に位置していてもよい。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部６４が、Ｘ方向において互いにずれていてもよい。このずれ量は、Ｘ方向における凸部６４の配列ピッチの半分であってもよい。凸部６４の幅は、主流溝６１の幅ｗ４と等しくてもよく、又は異なっていてもよい。凸部６４の幅は、第１本体面３０ＰａにおけるＹ方向寸法に相当している。

【0083】

次に、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑについて説明する。

【0084】

断面視において、第２基端部４１Ｑは、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１基端部４１Ｐに対向している。第２基端部４１Ｑは、第１基端部４１Ｐに接触していてもよく、重なっていてもよい。第２基端部４１Ｑは、第１基端部４１Ｐに接合されていてもよい。第２基端部４１Ｑは、Ｘ方向に沿って形成されていてもよい。

【0085】

本実施の形態においては、第２基端部４１Ｑに、凝縮領域ＣＲが位置していてもよい。このことにより、第２基端部４１Ｑにおいて、作動蒸気２ａからの熱が放出される。作動蒸気２ａは冷却されて凝縮し、作動液２ｂが生成される。

【0086】

第２対向部４２Ｑは、Ｚ方向において、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの上述した第１対向部４２Ｐに離間して対向している。第２対向部４２Ｑは電子デバイスＤに対向していてもよく、第２対向部４２Ｑに、基板Ｓを介して電子デバイスＤが熱的に接続されていてもよい。第２対向部４２Ｑに、上述した蒸発領域ＳＲが位置していてもよい。このため、第２対向部４２Ｑにおいて、電子デバイスＤからの熱を受けて作動蒸気２ａが生成される。第２対向部４２Ｑは、断面視において、Ｘ方向に沿って形成されていてもよい。

【0087】

断面視において、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、屈曲されていなくてもよい。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、第２対向部４２Ｑから第２基端部４１Ｑにわたって平坦状に形成されていてもよい。第２基端部４１Ｑ及び第２対向部４２Ｑが、Ｘ方向に沿って直線状に形成されていてもよい。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、Ｘ方向及びＹ方向に沿って平坦状に形成されていてもよい。

【0088】

第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２枝部７Ｑは、第２基端部４１Ｑとは反対側に位置する第２端部５Ｑａを含んでいてもよい。第２端部５Ｑａは、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの先端部に相当していてもよい。

【0089】

平面視において、第２端部５Ｑａは、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの上述した第１端部５Ｐａと重なっていてもよい。この場合、第２ベイパーチャンバー本体５ＱのＸ方向長さは、屈曲前の第１ベイパーチャンバー本体５ＰのＸ方向長さよりも短くなっている。屈曲前の第１ベイパーチャンバー本体５ＰのＸ方向長さは、平面展開した第１ベイパーチャンバー本体５ＰのＸ方向長さに相当する。

【0090】

図２に示すように、本実施の形態による第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、第１シート１０Ｑと、第２シート２０Ｑと、第２本体シート３０Ｑと、第２蒸気流路部５０Ｑと、第２液流路部６０Ｑと、を含んでいてもよい。

【0091】

図２に示すように、第１シート１０Ｑは、基端部６から第２枝部７Ｑにわたって形成されていてもよい。より具体的には、第１シート１０Ｑは、第２基端部４１Ｑから第２対向部４２Ｑに延びていてもよい。図２、図４及び図５に示すように、第１シート１０Ｑは、第２本体シート３０Ｑと第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１本体シート３０Ｐとの間に位置していてもよい。第１シート１０Ｑは、第２本体シート３０Ｑと第１シート１０Ｐとの間に位置していてもよい。

【0092】

図４及び図５に示すように、第１シート１０Ｑは、第２本体シート３０Ｑとは反対側に位置する第１シート外面１０Ｑａと、第２本体シート３０Ｑに対向する第１シート内面１０Ｑｂと、を含んでいる。第１シート外面１０Ｑａに、上述した電子デバイスＤが熱的に接続されていてもよい。本実施の形態においては、第１シート外面１０Ｑａに、基板Ｓを介して電子デバイスＤが熱的に接続されていてもよい。第１シート外面１０Ｑａと基板Ｓとの間に、ＴＩＭシート７０（図１５参照）が介在されていてもよい。第１シート内面１０Ｑｂに、第２本体シート３０Ｑの後述する第１本体面３０Ｑａが接触して接合されていてもよい。第１シート１０Ｑは、実質的に一定の厚さを有していてもよい。

【0093】

図５及び図６に示すように、第１シート１０Ｑの第１シート外面１０Ｑａの一部分は、第１シート１０Ｐの第１シート外面１０Ｐａに、恒久的に接合されていてもよい。より具体的には、第１シート外面１０Ｑａのうちの第２基端部４１Ｑに位置する部分が、第１シート外面１０Ｐａのうちの第１基端部４１Ｐに位置する部分に接合されていてもよい。

【0094】

図２に示すように、第２シート２０Ｑは、基端部６から第２枝部７Ｑにわたって形成されていてもよい。より具体的には、第２シート２０Ｑは、第２基端部４１Ｑから第２対向部４２Ｑに延びていてもよい。図２、図４及び図５に示すように、第２シート２０Ｑは、第２本体シート３０Ｑに対して第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１本体シート３０Ｐとは反対側に位置していてもよい。第２シート２０Ｑは、第２本体シート３０Ｑに対して第１シート１０Ｑとは反対側に位置していてもよい。

【0095】

図４及び図５に示すように、第２シート２０Ｑは、第２本体シート３０Ｑに対向する第２シート内面２０Ｑａと、第２本体シート３０Ｑとは反対側に位置する第２シート外面２０Ｑｂと、を含んでいる。第２シート内面２０Ｑａに、第２本体シート３０Ｑの後述する第２本体面３０Ｑｂが接触して接合されていてもよい。第２シート２０Ｑは、実質的に一定の厚さを有していてもよい。

【0096】

図２に示すように、第２本体シート３０Ｑは、基端部６から第２枝部７Ｑにわたって形成されていてもよい。より具体的には、第２本体シート３０Ｑは、第２基端部４１Ｑから第２対向部４２Ｑに延びている。図２、図４及び図５に示すように、第２本体シート３０Ｑは、第１シート１０Ｑと第２シート２０Ｑとの間に位置していてもよい。

【0097】

図４及び図５に示すように、第２本体シート３０Ｑは、第１本体面３０Ｑａと、第１本体面３０Ｑａとは反対側に位置する第２本体面３０Ｑｂと、を含んでいる。第１本体面３０Ｑａは、第１シート１０Ｑの第１シート内面１０Ｑｂに接触して接合されていてもよい。第２本体面３０Ｑｂは、第２シート２０Ｑの第２シート内面２０Ｑａに接触して接合されていてもよい。第１本体面３０Ｑａは、第１シート内面１０Ｑｂに恒久的に接合されていてもよい。同様に、第２本体面３０Ｑｂは、第２シート内面２０Ｑａに恒久的に接合されていてもよい。

【0098】

第２本体シート３０Ｑは、第２蒸気流路部５０Ｑを画定している。第２本体シート３０Ｑは、上述した第１本体シート３０Ｐと同様に、枠体部３２と、複数のランド部３３と、を含んでいてもよい。枠体部３２及びランド部３３は、第１シート１０Ｑに接合されていてもよく、第２シート２０Ｑに接合されていてもよい。第２本体シート３０Ｑのランド部３３は、基端部６から第２枝部７Ｑにわたって形成されていてもよい。より具体的には、ランド部３３は、第２基端部４１Ｑから第２対向部４２Ｑに延びていてもよい。第２本体シート３０Ｑは、第１本体シート３０Ｐと同様に構成されているため、ここでは詳細な説明は省略する。

【0099】

第２蒸気流路部５０Ｑは、第２空間部の一例である。第２蒸気流路部５０Ｑは、基端部６から第２枝部７Ｑにわたって形成されていてもよい。より具体的には、第２蒸気流路部５０Ｑは、図２に示すように、第２基端部４１Ｑから第２対向部４２Ｑに延びている。第２蒸気流路部５０Ｑは、第２本体シート３０Ｑにより形成されている。第２蒸気流路部５０Ｑに、作動流体２ａ、２ｂが封入されている。第２蒸気流路部５０Ｑは、主として、作動蒸気２ａが通る流路であってもよい。第２蒸気流路部５０Ｑに、作動液２ｂも通ってもよい。第２蒸気流路部５０Ｑは、密封空間３の一部を構成している。

【0100】

第２蒸気流路部５０Ｑは、第１蒸気通路５１と、複数の第２蒸気通路５２と、を含んでいてもよい。第２蒸気流路部５０Ｑは、第１蒸気流路部５０Ｐと同様に構成される。このため、第２蒸気流路部５０Ｑの詳細な説明は省略する。

【0101】

第２液流路部６０Ｑは、第２溝流路部の一例である。第２液流路部６０Ｑは、基端部６から第２枝部７Ｑにわたって形成されていてもよい。より具体的には、図２に示すように、第２基端部４１Ｑから第２対向部４２Ｑに延びている。第２液流路部６０Ｑは、第２蒸気流路部５０Ｑに連通していてもよい。第２液流路部６０Ｑは、第２本体シート３０Ｑの第１本体面３０Ｑａに形成されていてもよい。第２液流路部６０Ｑは、主として、作動液２ｂが通る流路であってもよい。第２液流路部６０Ｑに、作動蒸気２ａも通ってもよい。第２液流路部６０Ｑは、密封空間３の一部を構成している。

【0102】

第２液流路部６０Ｑは、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造として構成されている。第２液流路部６０Ｑは、ウィックと称する場合もある。この場合、第２本体シート３０Ｑは、第２ウィックシートとも称される。第２液流路部６０Ｑは、第２本体シート３０Ｑの各ランド部３３の第１本体面３０Ｑａに形成されていてもよい。図７等では図示していないが、枠体部３２の第１本体面３０Ｑａのうちの内側部分に、第２液流路部６０Ｑと同様な液流路部が形成されていてもよい。図示しないが、ランド部３３の第１本体面３０Ｑａの代わりに第２本体面３０Ｑｂに第２液流路部６０Ｑが形成されていてもよい。あるいは、ランド部３３の第１本体面３０Ｑａ及び第２本体面３０Ｑｂのそれぞれに、第２液流路部６０Ｑが形成されていてもよい。

【0103】

第２液流路部６０Ｑは、複数の主流溝６１と、複数の連絡溝６５と、を含んでいてもよい。第２液流路部６０Ｑは、第１液流路部６０Ｐと同様に構成される。このため、第２液流路部６０Ｑの詳細な説明は省略する。

【0104】

第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１蒸気流路部５０Ｐと、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２蒸気流路部５０Ｑは、互いに連通していてもよい。

【0105】

より具体的には、図５及び図６に示すように、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、第１連通部５５ａを含んでいてもよい。第１連通部５５ａは、第１シート１０Ｐに形成されていてもよく、第１基端部４１Ｐに位置していてもよい。図５に示すように、第１シート１０Ｐに、複数の第１連通部５５ａが形成されていてもよい。第１連通部５５ａは、平面視で第１蒸気流路部５０Ｐの第１蒸気通路５１の一部又は第２蒸気通路５２の一部に重なっていてもよい。第１連通部５５ａは、第１蒸気流路部５０Ｐ及び第２蒸気流路部５０Ｑを連通していてもよい。第１連通部５５ａは、第１シート１０Ｐを貫通する開口であってもよい。第１連通部５５ａの平面形状は、矩形形状、円形形状又は楕円形形状等、任意の形状である。

【0106】

図５及び図６に示すように、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、第２連通部５５ｂを含んでいてもよい。第２連通部５５ｂは、第１シート１０Ｑに形成されていてもよく、第２基端部４１Ｑに位置していてもよい。図５に示すように、第１シート１０Ｑに、複数の第２連通部５５ｂが形成されていてもよい。第２連通部５５ｂは、平面視で第２蒸気流路部５０Ｑの第１蒸気通路５１の一部又は第２蒸気通路５２の一部に重なっていてもよい。第２連通部５５ｂは、第１蒸気流路部５０Ｐ及び第２蒸気流路部５０Ｑを連通していてもよい。第２連通部５５ｂは、第１シート１０Ｑを貫通する開口であってもよい。第２連通部５５ｂの平面形状は、矩形形状、円形形状又は楕円形形状等、任意の形状である。

【0107】

第２連通部５５ｂは、第１連通部５５ａに連通していてもよい。第２連通部５５ｂは、平面視で第１連通部５５ａに重なっていてもよい。このようにして、第１蒸気流路部５０Ｐ及び第２蒸気流路部５０Ｑが、第１連通部５５ａ及び第２連通部５５ｂを介して互いに連通していてもよい。

【0108】

各シート１０Ｐ、２０Ｐ、１０Ｑ、２０Ｑ及び各本体シート３０Ｐ、３０Ｑを構成する材料は、ベイパーチャンバー１としての放熱性能を確保できる程度に熱伝導率が良好な材料であれば、特に限られることはない。例えば、各シート１０Ｐ、２０Ｐ、１０Ｑ、２０Ｑ及び各本体シート３０Ｐ、３０Ｑは、金属材料で構成されていてもよい。例えば、各シート１０Ｐ、２０Ｐ、１０Ｑ、２０Ｑ及び各本体シート３０Ｐ、３０Ｑは、銅又は銅合金を含んでいてもよい。銅及び銅合金は、良好な熱伝導率と、作動流体として純水を使用する場合の耐腐食性と、を有している。銅の例としては、純銅及び無酸素銅（Ｃ１０２０）等が挙げられる。銅合金の例としては、錫を含む銅合金、チタンを含む銅合金（Ｃ１９９０等）、並びに、ニッケル、シリコン及びマグネシウムを含む銅合金であるコルソン系銅合金（Ｃ７０２５等）などが挙げられる。錫を含む銅合金は、例えば、りん青銅（Ｃ５２１０等）である。各シート１０Ｐ、２０Ｐ、１０Ｑ、２０Ｑは、本体シート３０Ｐ、３０Ｑと異なる材料を用いてもよい。

【0109】

図４に示す第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの厚さｔ１は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。厚さｔ１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気通路５１、５２を適切に確保できる。このため、ベイパーチャンバー１は適切に機能できる。一方、厚さｔ１を１０００μｍ以下にすることにより、厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。このため、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐを薄く形成できる。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの厚さは、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの厚さｔ１と等しくてもよい。しかしながら、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの厚さは、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの厚さｔ１と異なっていてもよい。例えば、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐ及び第２ベイパーチャンバー本体５Ｑのうちの一方を屈曲し、他方を屈曲しない場合、屈曲するベイパーチャンバー本体の厚さは、屈曲しないベイパーチャンバー本体の厚さよりも小さくてもよい。この場合、ベイパーチャンバーの屈曲を容易化でき、製造効率を向上できる。

【0110】

各本体シート３０Ｐ、３０Ｑの厚さは、各シート１０Ｐ、２０Ｐ、１０Ｑ、２０Ｑの厚さよりも厚くてもよい。本実施の形態においては、各シート１０Ｐ、２０Ｐ、１０Ｑ、２０Ｑの厚さが等しい例を示している。しかしながら、このことに限られることはなく、各シート１０Ｐ、２０Ｐ、１０Ｑ、２０Ｑの厚さは、異なっていてもよい。

【0111】

第１シート１０Ｐの厚さｔ２は、例えば、６μｍ～１００μｍであってもよい。第１シート１０Ｐの厚さｔ２を６μｍ以上にすることにより、第１シート１０Ｐの機械的強度及び長期信頼性を確保できる。一方、第１シート１０Ｐの厚さｔ２を１００μｍ以下にすることにより、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。第２シート２０Ｐの厚さｔ３は、第１シート１０Ｐの厚さｔ２と等しくてもよく、又は異なっていてもよい。第１シート１０Ｑの厚さも、第１シート１０Ｐの厚さと等しくてもよく、又は異なっていてもよい。第２シート２０Ｑの厚さも、第１シート１０Ｐの厚さと等しくてもよく、又は異なっていてもよい。第２シート２０Ｑの厚さは、第１シート１０Ｑの厚さと等しくてもよく、又は異なっていてもよい。例えば、第１シート１０Ｐ及び第２シート２０Ｐのうちの屈曲の内側に位置するシートの厚さを屈曲の外側に位置するシートの厚さよりも厚くしてもよい。この場合、屈曲後の蒸気通路５１、５２が潰れることを抑制でき、蒸気通路５１、５２の流路断面積を確保できる。このため、作動蒸気２ａをスムーズに第１基端部４１Ｐに輸送できる。

【0112】

第１本体シート３０Ｐの厚さｔ４は、例えば、５０μｍ～４００μｍであってもよい。第１本体シート３０Ｐの厚さｔ４を５０μｍ以上にすることにより、第１蒸気流路部５０Ｐを適切に確保できる。この場合、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、適切に機能できる。一方、第１本体シート３０Ｐの厚さｔ４を４００μｍ以下にすることにより、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。このため、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐを薄くできる。第１本体シート３０Ｐの厚さｔ４は、第１本体面３０Ｐａと第２本体面３０Ｐｂとの距離である。第２本体シート３０Ｑの厚さは、第１本体シート３０Ｐの厚さｔ４と等しくてもよく、又は異なっていてもよい。

【0113】

次に、このような構成からなる本実施の形態によるベイパーチャンバー１の製造方法について説明する。

【0114】

まず、準備工程として、第１シート１０Ｐ、第２シート２０Ｐ、第１シート１０Ｑ、第２シート２０Ｑ、第１本体シート３０Ｐ及び第２本体シート３０Ｑを準備する。準備工程は、各本体シート３０Ｐ、３０Ｑをエッチング処理により形成するエッチング工程を含んでいてもよい。エッチング工程において、各本体シート３０Ｐ、３０Ｑは、フォトリソグラフィー技術によるパターン状のレジスト膜（図示せず）を用いて、エッチング処理によって形成されてもよい。

【0115】

準備工程の後、第１接合工程として、第１シート１０Ｐ、第２シート２０Ｐ及び第１本体シート３０Ｐが恒久的に接合されて、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐが形成される。第１シート１０Ｑ、第２シート２０Ｑ及び第２本体シート３０Ｑが恒久的に接合されて、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑが形成される。

【0116】

第１接合工程の後、屈曲工程として、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐが屈曲される。より具体的には、第１対向部４２Ｐと第１中間部４３Ｐとの間で、Ｙ方向に延びる屈曲線に沿って第１ベイパーチャンバー本体５Ｐが屈曲される。第１中間部４３Ｐと第１基端部４１Ｐとの間で、Ｙ方向に延びる屈曲線に沿って第１ベイパーチャンバー本体５Ｐが屈曲される。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、屈曲されなくてもよい。

【0117】

屈曲工程の後、第２接合工程として、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１基端部４１Ｐと第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑが恒久的に接合される。

【0118】

第１接合工程の後、第２接合工程を行い、その後に屈曲工程を行ってもよい。この場合、第２接合工程において、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１基端部４１Ｐと第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑが接合される。第１対向部４２Ｐ及び第１中間部４３Ｐは、第２対向部４２Ｑに接合されない。

【0119】

第２接合工程の後、注入工程として、密封空間３が真空引きされるとともに、図示しない注入部から密封空間３に作動液２ｂが注入される。

【0120】

注入工程の後、封止工程として、注入部が封止される。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断され、密封空間３が密封される。作動液２ｂが封入された密封空間３が得られ、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することが防止される。

【0121】

以上のようにして、本実施の形態によるベイパーチャンバー１が得られる。

【0122】

次に、ベイパーチャンバー１の動作方法、すなわち、電子デバイスＤの冷却方法について説明する。

【0123】

上述のようにして得られたベイパーチャンバー１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置される。電子デバイスＤが発熱すると、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１対向部４２Ｐに位置する作動液２ｂと、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２対向部４２Ｑに位置する作動液２ｂが、電子デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発し、作動蒸気２ａが生成される。第１ベイパーチャンバー本体５Ｐ内で生成された作動蒸気２ａは、図７に示す実線矢印で示されているように、第１蒸気流路部５０Ｐを構成する第１蒸気通路５１及び第２蒸気通路５２を通って第１基端部４１Ｐに向かって拡散する。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑ内で生成された作動蒸気２ａは、第２蒸気流路部５０Ｑを構成する第１蒸気通路５１及び第２蒸気通路５２を通って第２基端部４１Ｑに向かって拡散する。

【0124】

第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１基端部４１Ｐにおいて、作動蒸気２ａは、主として第２シート２０Ｐに放熱して冷却される。第２シート２０Ｐが作動蒸気２ａから受けた熱は、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの周囲に放出される。同様に、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑにおいて、作動蒸気２ａは、第２シート２０Ｑに放熱して冷却される。第２シート２０Ｑが作動蒸気２ａから受けた熱は、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの周囲に放出される。

【0125】

作動蒸気２ａは、第１基端部４１Ｐ及び第２基端部４１Ｑにおいて第２シート２０Ｐ及び第２シート２０Ｑに放熱することにより、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失う。このことにより、作動蒸気２ａは凝縮し、作動液２ｂが生成される。一方、第１対向部４２Ｐ及び第２対向部４２Ｑでは作動液２ｂが蒸発し続けている。このため、第１基端部４１Ｐで凝縮した作動液２ｂは、第１対向部４２Ｐに輸送される。より具体的には、図７に示す破線矢印に示すように、作動液２ｂは、第１液流路部６０Ｐの主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲが位置する第１対向部４２Ｐに輸送される。同様に、第２対向部４２Ｑで凝縮した作動液２ｂは、第２対向部４２Ｑに輸送される。より具体的には、第２液流路部６０Ｑの主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲが位置する第２対向部４２Ｑに輸送される。

【0126】

第１対向部４２Ｐ及び第２対向部４２Ｑに達した作動液２ｂは、電子デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。そして、作動蒸気２ａは、各蒸気通路５１、５２内で拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流する。このことにより、電子デバイスＤの熱は、第１蒸気流路部５０Ｐ内の作動蒸気２ａの拡散及び第２蒸気流路部５０Ｑ内の作動蒸気２ａの拡散によって輸送されて、放出される。

【0127】

このようにして、本実施の形態によるベイパーチャンバー１が電子デバイスＤの熱を放出して、電子デバイスＤを冷却する。

【0128】

作動流体２ａ、２ｂが密封空間３内を還流している間、作動蒸気２ａの一部は、第１蒸気流路部５０Ｐと第２蒸気流路部５０Ｑとの間を往来する。より具体的には、第１蒸気流路部５０Ｐ内の作動流体２ａ、２ｂの一部が、第１連通部５５ａ及び第２連通部５５ｂを通って第２蒸気流路部５０Ｑに移動する。第２蒸気流路部５０Ｑ内の作動流体２ａ、２ｂの一部が、第２連通部５５ｂ及び第１連通部５５aを通って第１蒸気流路部５０Ｐに移動する。例えば、第１対向部４２Ｐにおける作動蒸気２ａの蒸発量が第２対向部４２Ｑにおける作動蒸気２ａの蒸発量よりも多い場合、第１蒸気流路部５０Ｐから第２蒸気流路部５０Ｑに作動蒸気２ａの一部が移動し得る。この場合、第１蒸気流路部５０Ｐ内の作動液２ｂの一部が、第２蒸気流路部５０Ｑに移動し得る。

【0129】

このように本実施の形態によれば、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２枝部７Ｑの第２対向部４２Ｑが、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１枝部７Ｐの第１対向部４２Ｐに対向して離間している。第１蒸気流路部５０Ｐ及び第１液流路部６０Ｐが、基端部６から第１対向部４２Ｐに延び、第２蒸気流路部５０Ｑ及び第２液流路部６０Ｑが、基端部６から第２対向部４２Ｑに延びている。このことにより、第１対向部４２Ｐと第２対向部４２Ｑに電子デバイスＤから熱を受けて作動液２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲが位置する場合、電子デバイスＤからの熱を第１対向部４２Ｐ及び第２対向部４２Ｑで吸収できる。このため、電子デバイスＤからの熱の吸収効率を向上でき、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

【0130】

本実施の形態によれば、第１蒸気流路部５０Ｐ及び第２蒸気流路部５０Ｑは、互いに連通している。このことにより、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの蒸発領域ＳＲの蒸発状況及び第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの蒸発領域ＳＲの蒸発状況に応じて、作動蒸気２ａ及び作動液２ｂは第１蒸気流路部５０Ｐと第２蒸気流路部５０Ｑとの間で往来できる。このため、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐ内の作動流体２ａ、２ｂの輸送量と第２ベイパーチャンバー本体５Ｑにおける作動流体２ａ、２ｂの輸送量とを調整できる。この結果、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

【0131】

本実施の形態によれば、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１基端部４１Ｐと、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑが重なっている。このことにより、第１基端部４１Ｐと第２基端部４１Ｑを重ねた状態で接合することができる。このため、第１基端部４１Ｐと第２基端部４１Ｑを容易に接合でき、ベイパーチャンバー１の製造効率を向上できる。

【0132】

本実施の形態によれば、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、第１基端部４１Ｐに位置する第１連通部５５ａを含み、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、第２基端部４１Ｑに位置する第２連通部５５ｂを含んでいる。第１連通部５５ａ及び第２連通部５５ｂは、第１蒸気流路部５０Ｐと第２蒸気流路部５０Ｑを連通している。このことにより、第１蒸気流路部５０Ｐと第２蒸気流路部５０Ｑを容易に連通できる。このため、より広い範囲に蒸発した作動蒸気２ａを拡散でき、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

【0133】

本実施の形態によれば、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、第１基端部４１Ｐと第１対向部４２Ｐとの間で屈曲されている。このことにより、第１対向部４２Ｐと、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２枝部７Ｑの第２対向部４２Ｑとを離間でき、第１対向部４２Ｐと第２対向部４２Ｑとの間に電子デバイスＤを位置できる。このため、電子デバイスＤのうちの第１対向部４２Ｐに対向する面及び第２対向部４２Ｑに対向する面から熱を吸収でき、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

【0134】

本実施の形態によれば、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、第２基端部４１Ｑから第２対向部４２Ｑにわたって平坦状に形成されている。より具体的には、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐが上述のように屈曲されている場合には第１対向部４２Ｐと第２対向部４２Ｑとの間に電子デバイスＤを位置できるため、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑを屈曲させることを不要にできる。このため、ベイパーチャンバー１の製造を容易化でき、製造効率を向上できる。

【0135】

第１変形例について説明する。

【0136】

上述した本実施の形態においては、平面視において、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２枝部７Ｑの第２端部５Ｑａは、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１枝部７Ｐの第１端部５Ｐａと重なっている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１１に示すように、第２端部５Ｑａは、第１端部５Ｐａよりも第２基端部４１Ｑから遠い位置に位置していてもよい。より具体的には、第２端部５Ｑａは、第１端部５Ｐａよりも第２基端部４１ＱからＸ方向に離れた位置に位置していてもよい。この場合、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの長さを長くできる。

【0137】

図１１に示す例では、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、第２対向部４２Ｑから延びる第２延長部４４Ｑを含んでいてもよい。第２延長部４４Ｑの先端に第２端部５Ｑａが位置している。断面視において、第２延長部４４Ｑは、第２対向部４２Ｑに対して第２基端部４１Ｑとは反対側に位置しており、第２対向部４２Ｑから、第２基端部４１Ｑとは反対側に延びている。第２蒸気流路部５０Ｑ及び第２液流路部６０Ｑは、第２対向部４２Ｑから第２延長部４４Ｑに延びている。第２延長部４４Ｑは凝縮領域ＣＲとして機能できる。この場合、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大でき、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。このため、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

【0138】

第２端部５Ｑａが第１端部５Ｐａよりも第２基端部４１Ｑから遠い位置に位置する場合、第２ベイパーチャンバー本体５ＱのＸ方向長さは、屈曲前の第１ベイパーチャンバー本体５ＰのＸ方向長さと等しくしてもよい。この場合、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第１シート１０Ｑ及び第２シート２０Ｑを、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１シート１０Ｐ及び第２シート２０Ｐと同じ大きさを有するシート材料で形成できる。このため、ベイパーチャンバー１の製造効率を向上できる。

【0139】

第２変形例について説明する。

【0140】

上述した本実施の形態においては、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１対向部４２Ｐ及び第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２対向部４２Ｑのそれぞれに、蒸発領域ＳＲが位置している例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１２に示すように、第１基端部４１Ｐ及び第２基端部４１Ｑに、蒸発領域ＳＲが位置していてもよい。図１２に示す例では、第１対向部４２Ｐ及び第２対向部４２Ｑに、凝縮領域ＣＲが位置していてもよい。第１中間部４３Ｐが、凝縮領域ＣＲとして機能していてもよい。

【0141】

図１２に示すように、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑに電子デバイスＤが熱的に接続されていてもよい。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２シート２０Ｑの第２シート外面２０Ｑｂ（図４参照）に、電子デバイスＤが熱的に接続されていてもよい。第２シート外面２０Ｑｂと電子デバイスＤとの間に、ＴＩＭシート７０（図１５参照）が介在されていてもよい。

【0142】

図１２には、第２液流路部６０Ｑが、第２本体シート３０Ｑのランド部３３の第２本体面３０Ｑｂ（図４参照）に形成されている例が示されている。しかしながら、ランド部３３の第２本体面３０Ｑｂの代わりに第１本体面３０Ｑａ（図４参照）に第２液流路部６０Ｑが形成されていてもよい。あるいは、ランド部３３の第１本体面３０Ｑａ及び第２本体面３０Ｑｂのそれぞれに、第２液流路部６０Ｑが形成されていてもよい。

【0143】

第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑにおいては、電子デバイスＤからの熱を受けて作動蒸気２ａが生成される。作動蒸気２ａは、第２蒸気流路部５０Ｑを構成する第１蒸気通路５１及び第２蒸気通路５２を通って、第２対向部４２Ｑに向かって拡散する。第２対向部４２Ｑにおいて、作動蒸気２ａは、第１シート１０Ｑ及び第２シート２０Ｑに放熱して冷却される。第１シート１０Ｑ及び第２シート２０Ｑが作動蒸気２ａから受けた熱は、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの周囲に放出される。放熱した作動蒸気２ａは凝縮し、作動液２ｂが生成される。作動液２ｂは、第２液流路部６０Ｑの主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲが位置する第２基端部４１Ｑに輸送される。

【0144】

電子デバイスＤから第２基端部４１Ｑが受けた熱の一部は、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１基端部４１Ｐに移動する。第１基端部４１Ｐにおいて、作動蒸気２ａが生成される。作動蒸気２ａは、第１蒸気流路部５０Ｐを構成する第１蒸気通路５１及び第２蒸気通路５２を通って、第１対向部４２Ｐに向かって拡散する。第１対向部４２Ｐにおいて、作動蒸気２ａは、第１シート１０Ｐ及び第２シート２０Ｐに放熱して冷却される。第１シート１０Ｐ及び第２シート２０Ｐが作動蒸気２ａから受けた熱は、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの周囲に放出される。放熱した作動蒸気２ａは凝縮し、作動液２ｂが生成される。作動液２ｂは、第１液流路部６０Ｐの主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲが位置する第１基端部４１Ｐに輸送される。

【0145】

第１基端部４１Ｐ及び第２基端部４１Ｑに蒸発領域ＳＲが位置していることにより、第１対向部４２Ｐ及び第２対向部４２Ｑは凝縮領域ＣＲとして機能できる。第１対向部４２Ｐと第２対向部４２Ｑが互いに離間していることにより、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大できる。このため、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上でき、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

【0146】

第３変形例について説明する。

【0147】

上述した第２変形例においては、基端部６から２つの枝部が延びている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１３及び図１４に示すように、基端部６から３つの枝部が延びていてもよい。

【0148】

本実施の形態によるベイパーチャンバー１は、基端部６と、第１枝部７Ｐと、第２枝部７Ｑと、第３枝部７Ｒと、第１蒸気流路部５０Ｐと、第１液流路部６０Ｐと、第２蒸気流路部５０Ｑと、第２液流路部６０Ｑと、第３蒸気流路部５０Ｒと、第３液流路部６０Ｒと、を備えていてもよい。

【0149】

基端部６は、第１枝部７Ｐ、第２枝部７Ｑ及び第３枝部７Ｒの基端となる部分である。本実施の形態による基端部６は、第１基端部４１Ｐと、第２基端部４１Ｑと、第３基端部４１Ｒと、を含んでいてもよい。第３基端部４１Ｒは、第３枝部７Ｒに連続状に接続されている。

【0150】

断面視において、第３枝部７Ｒは、基端部６から延びている。第３枝部７Ｒは、第１枝部７Ｐ及び第２枝部７Ｑとは異なる位置に向かって基端部６から延びている。第３枝部７Ｒは、第３基端部４１Ｒから連続状に延びており、第３枝部７Ｒと第３基端部４１Ｒとにより第３ベイパーチャンバー本体５Ｒが構成されている。第３枝部７Ｒは、第２枝部７Ｑに対して第１枝部７Ｐとは反対側に位置している。本実施の形態による第３枝部７Ｒは、第３対向部４２Ｒと、第３中間部４３Ｒと、を含んでいてもよい。第３対向部４２Ｒは、ベイパーチャンバー１の厚さ方向に相当するＺ方向において第２対向部４２Ｑに対向して離間している。第３ベイパーチャンバー本体５Ｒは、第３基端部４１Ｒと第３対向部４２Ｒとの間で屈曲されていてもよい。

【0151】

図１３に示すように、本実施の形態によるベイパーチャンバー１は、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐと、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑと、第３ベイパーチャンバー本体５Ｒと、を含んでいてもよい。第３ベイパーチャンバー本体５Ｒは、上述した第３基端部４１Ｒと、上述した第３枝部７Ｒと、を含んでいる。第３枝部７Ｒは、第３対向部４２Ｒと第３中間部４３Ｒと、を含んでいる。第３ベイパーチャンバー本体５Ｒの第３基端部４１Ｒが、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑと接合されていてもよい。第１基端部４１Ｐ、第２基端部４１Ｑ及び第３基端部４１Ｒにより、上述した基端部６が構成されている。本実施の形態においては、基端部６に電子デバイスＤが位置していてもよい。

【0152】

図１３に示すように、第３ベイパーチャンバー本体５Ｒは、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑに対して第１ベイパーチャンバー本体５Ｐとは反対側に位置している。第１ベイパーチャンバー本体５Ｐと第３ベイパーチャンバー本体５Ｒとの間に、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑが位置している。

【0153】

断面視において、第３基端部４１Ｒは、第２基端部４１Ｑに対向している。第３基端部４１Ｒは、第２基端部４１Ｑに接触していてもよく、重なっていてもよい。第３基端部４１Ｒは、第２基端部４１Ｑに接合されていてもよい。第３基端部４１Ｒは、Ｘ方向に沿って形成されていてもよい。

【0154】

第３対向部４２Ｒは、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの上述した第２対向部４２Ｑに離間して対向している。第３対向部４２Ｒは、断面視において、Ｘ方向に沿って形成されていてもよい。

【0155】

第３中間部４３Ｒは、第３基端部４１Ｒと第３対向部４２Ｒとの間に位置している。断面視において、第３中間部４３Ｒは、第３基端部４１Ｒに対して傾斜していてもよく、第３対向部４２Ｒに対して傾斜していてもよい。しかしながら、第３中間部４３Ｒの形状は任意であり、例えば、第３中間部４３Ｒは、断面視において、湾曲していてもよい。

【0156】

断面視において、第３ベイパーチャンバー本体５Ｒは、第３基端部４１Ｒと第３対向部４２Ｒとの間で屈曲されていてもよい。第３ベイパーチャンバー本体５Ｒを構成する後述の第１シート１０Ｒ、第２シート２０Ｒ及び第３本体シート３０Ｒが屈曲されていてもよい。図１３に示す例では、第３ベイパーチャンバー本体５Ｒは、２つの異なる位置で屈曲されている。第３ベイパーチャンバー本体５Ｒは、第３基端部４１Ｒと第３中間部４３Ｒとの間で屈曲されているとともに、第３対向部４２Ｒと第３中間部４３Ｒとの間で屈曲されている。このことにより、第３ベイパーチャンバー本体５Ｒの第３対向部４２Ｒと、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２対向部４２Ｑとを、離間できる。第３ベイパーチャンバー本体５Ｒは、Ｙ方向に延びる屈曲線（図示せず）に沿って屈曲されていてもよい。この場合、第３ベイパーチャンバー本体５Ｒは、Ｙ方向に沿って平坦状に形成されていてもよい。

【0157】

第３ベイパーチャンバー本体５Ｒは、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐ及び第２ベイパーチャンバー本体５Ｑと同様に、第１シート１０Ｒと、第２シート２０Ｒと、第３本体シート３０Ｒと、上述した第３蒸気流路部５０Ｒと、上述した第３液流路部６０Ｒと、を含んでいてもよい。

【0158】

図１３に示すように、第１シート１０Ｒは、基端部６から第３枝部７Ｒにわたって形成されていてもよい。より具体的には、第１シート１０Ｒは、第３基端部４１Ｒから第３中間部４３Ｒを通って第３対向部４２Ｒに延びていてもよい。第１シート１０Ｒは、第３本体シート３０Ｒと第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２本体シート３０Ｑとの間に位置していてもよい。第１シート１０Ｒは、第３本体シート３０Ｒと第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２シート２０Ｑとの間に位置していてもよい。

【0159】

図１４に示すように、第１シート１０Ｒは、第３本体シート３０Ｒとは反対側に位置する第１シート外面１０Ｒａと、第３本体シート３０Ｒに対向する第１シート内面１０Ｒｂと、を含んでいる。第１シート内面１０Ｒｂに、第３本体シート３０Ｒの後述する第１本体面３０Ｒａが接触して接合されていてもよい。第１シート１０Ｒは、実質的に一定の厚さを有していてもよい。

【0160】

第１シート１０Ｒの第１シート外面１０Ｒａの一部分は、第２シート２０Ｑの第２シート外面２０Ｑｂに、恒久的に接合されていてもよい。より具体的には、第１シート外面１０Ｒａのうちの第３基端部４１Ｒに位置する部分が、第２シート外面２０Ｑｂのうちの第２基端部４１Ｑに位置する部分に接合されていてもよい。

【0161】

図１３に示すように、第２シート２０Ｒは、基端部６から第３枝部７Ｒにわたって形成されていてもよい。より具体的には、第２シート２０Ｒは、第３基端部４１Ｒから第３中間部４３Ｒを通って第３対向部４２Ｒに延びていてもよい。第２シート２０Ｒは、第３本体シート３０Ｒに対して第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２本体シート３０Ｑとは反対側に位置していてもよい。第２シート２０Ｒは、第３本体シート３０Ｒに対して第１シート１０Ｒとは反対側に位置してもよい。

【0162】

図１４に示すように、第２シート２０Ｒは、第３本体シート３０Ｒに対向する第２シート内面２０Ｒａと、第３本体シート３０Ｒとは反対側に位置する第２シート外面２０Ｒｂと、を含んでいる。第２シート内面２０Ｒａに、第３本体シート３０Ｒの後述する第２本体面３０Ｒｂが接触して接合されていてもよい。第２シート２０Ｒは、実質的に一定の厚さを有していてもよい。

【0163】

図１３に示すように、第３本体シート３０Ｒは、基端部６から第３枝部７Ｒにわたって形成されていてもよい。より具体的には、第３本体シート３０Ｒは、第３基端部４１Ｒから第３中間部４３Ｒを通って第３対向部４２Ｒに延びていてもよい。第３本体シート３０Ｒは、第１シート１０Ｒと第２シート２０Ｒとの間に位置していてもよい。

【0164】

図１４に示すように、第３本体シート３０Ｒは、第１本体面３０Ｒａと、第１本体面３０Ｒａとは反対側に位置する第２本体面３０Ｒｂと、を含んでいる。第１本体面３０Ｒａに、第１シート１０Ｒが接触して恒久的に接合されていてもよい。第２本体面３０Ｒｂに、第２シート２０Ｒが接触して恒久的に接合されていてもよい。

【0165】

第３本体シート３０Ｒは、第３蒸気流路部５０Ｒを画定している。第３本体シート３０Ｒは、上述した第１本体シート３０Ｐと同様に、枠体部３２と、複数のランド部３３と、を含んでいてもよい。枠体部３２及びランド部３３は、第１シート１０Ｒに接合されていてもよく、第２シート２０Ｒに接合されていてもよい。第３本体シート３０Ｒのランド部３３は、基端部６から第３枝部７Ｒにわたって形成されていてもよい。より具体的には、ランド部３３は、第３基端部４１Ｒから第３中間部４３Ｒを通って第３対向部４２Ｒに延びていてもよい。第３本体シート３０Ｒは、第１本体シート３０Ｐと同様に構成されているため、ここでは詳細な説明は省略する。

【0166】

第３蒸気流路部５０Ｒは、第３空間部の一例である。第３蒸気流路部５０Ｒは、基端部６から第３枝部７Ｒにわたって形成されていてもよい。より具体的には、第３蒸気流路部５０Ｒは、図１３に示すように、第３基端部４１Ｒから第３中間部４３Ｒを通って第３対向部４２Ｒに延びている。第３蒸気流路部５０Ｒは、第３本体シート３０Ｒにより形成されており、第３蒸気流路部５０Ｒに、作動流体２ａ、２ｂが封入されている。第３蒸気流路部５０Ｒは、主として、作動蒸気２ａが通る流路であってもよい。第３蒸気流路部５０Ｒに、作動液２ｂも通ってもよい。第３蒸気流路部５０Ｒは、密封空間３の一部を構成している。

【0167】

第３蒸気流路部５０Ｒは、第１蒸気通路５１と、複数の第２蒸気通路５２と、を含んでいてもよい。第３蒸気流路部５０Ｒは、第１蒸気流路部５０Ｐと同様に構成される。このため、第３蒸気流路部５０Ｒの詳細な説明は省略する。

【0168】

第３ベイパーチャンバー本体５Ｒの第３蒸気流路部５０Ｒは、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２蒸気流路部５０Ｑと連通していてもよい。

【0169】

より具体的には、図１３及び図１４に示すように、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、第３連通部５５ｃを含んでいてもよい。第３連通部５５ｃは、第２シート２０Ｑに形成されていてもよく、第２基端部４１Ｑに位置していてもよい。第２シート２０Ｑに、複数の第３連通部５５ｃが形成されていてもよい。第３連通部５５ｃは、平面視で第２蒸気流路部５０Ｑの第１蒸気通路５１の一部又は第２蒸気通路５２の一部に重なっていてもよい。第３連通部５５ｃは、第２蒸気流路部５０Ｑ及び第３蒸気流路部５０Ｒを連通していてもよい。第３連通部５５ｃは、第２シート２０Ｑを貫通する開口であってもよい。第３連通部５５ｃの平面形状は、矩形形状、円形形状又は楕円形形状等、任意の形状である。

【0170】

第３ベイパーチャンバー本体５Ｒは、第４連通部５５ｄを含んでいてもよい。第４連通部５５ｄは、第１シート１０Ｒに形成されていてもよく、第３基端部４１Ｒに位置していてもよい。第１シート１０Ｒに、複数の第４連通部５５ｄが形成されていてもよい。第４連通部５５ｄは、平面視で第３蒸気流路部５０Ｒの第１蒸気通路５１の一部又は第２蒸気通路５２の一部に重なっていてもよい。第４連通部５５ｄは、第２蒸気流路部５０Ｑ及び第３蒸気流路部５０Ｒを連通していてもよい。第４連通部５５ｄは、第１シート１０Ｒを貫通する開口であってもよい。第４連通部５５ｄの平面形状は、矩形形状、円形形状又は楕円形形状等、任意の形状である。

【0171】

第３液流路部６０Ｒは、第３溝流路部の一例である。第３液流路部６０Ｒは、基端部６から第３枝部７Ｒにわたって形成されていてもよい。より具体的には、図１３に示すように、第３基端部４１Ｒから第３中間部４３Ｒを通って第３対向部４２Ｒに延びていてもよい。第３液流路部６０Ｒは、第３蒸気流路部５０Ｒに連通していてもよい。第３液流路部６０Ｒは、主として、作動液２ｂが通る流路であってもよい。第３液流路部６０Ｒに、作動蒸気２ａも通ってもよい。第３液流路部６０Ｒは、密封空間３の一部を構成している。

【0172】

第３液流路部６０Ｒは、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造として構成されている。第３液流路部６０Ｒは、ウィックと称する場合もある。この場合、第３本体シート３０Ｒは、第３ウィックシートとも称される。第３液流路部６０Ｒは、第３本体シート３０Ｒの各ランド部３３の第２本体面３０Ｒｂに形成されていてもよい。図１３等では図示していないが、枠体部３２の第２本体面３０Ｒｂのうちの内側部分に、第３液流路部６０Ｒと同様な液流路部が形成されていてもよい。図示しないが、ランド部３３の第２本体面３０Ｒｂの代わりに第１本体面３０Ｒａに第３液流路部６０Ｒが形成されていてもよい。あるいは、ランド部３３の第１本体面３０Ｒａ及び第２本体面３０Ｒｂのそれぞれに、第３液流路部６０Ｒが形成されていてもよい。

【0173】

第３液流路部６０Ｒは、複数の主流溝６１と、複数の連絡溝６５と、を含んでいてもよい。第３液流路部６０Ｒは、第１液流路部６０Ｐと同様に構成される。このため、第３液流路部６０Ｒの詳細な説明は省略する。

【0174】

図１３に示すように、第１基端部４１Ｐ、第２基端部４１Ｑ及び第３基端部４１Ｒに、蒸発領域ＳＲが位置していてもよい。第１対向部４２Ｐ、第２対向部４２Ｑ及び第３対向部４２Ｒに、凝縮領域ＣＲが位置していてもよい。第１中間部４３Ｐ及び第３中間部４３Ｒが、凝縮領域ＣＲとして機能していてもよい。第３ベイパーチャンバー本体５Ｒの第３基端部４１Ｒに電子デバイスＤが熱的に接続されていてもよい。第３ベイパーチャンバー本体５Ｒの第２シート２０Ｒに、電子デバイスＤが熱的に接続されていてもよい。第３ベイパーチャンバー本体５Ｒの第２シート２０Ｒの第２シート外面２０Ｒｂ（図１４参照）に、電子デバイスＤが熱的に接続されていてもよい。第２シート外面２０Ｒｂと電子デバイスＤとの間に、ＴＩＭシート７０（図１５参照）が介在されていてもよい。

【0175】

図１２に示す例と同様にして、第１基端部４１Ｐ、第２基端部４１Ｑ及び第３基端部４１Ｒにおいて、電子デバイスＤからの熱を受けて作動蒸気２ａが生成される。作動蒸気２ａは、蒸気流路部５０Ｐ～５０Ｒを通って、第１対向部４２Ｐ、第２対向部４２Ｑ及び第３対向部４２Ｒに向かって拡散する。第１対向部４２Ｐ、第２対向部４２Ｑ及び第３対向部４２Ｒにおいて、作動蒸気２ａは放熱して冷却される。作動蒸気２ａから受けた熱は、各ベイパーチャンバー本体５Ｐ、５Ｑ、５Ｒの周囲に放出される。放熱した作動蒸気２ａは凝縮し、作動液２ｂが生成される。作動液２ｂは、液流路部６０Ｐ～６０Ｒの主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲが位置する第１基端部４１Ｐ、第２基端部４１Ｑ及び第３基端部４１Ｒに輸送される。

【0176】

第１基端部４１Ｐ、第２基端部４１Ｑ及び第３基端部４１Ｒに蒸発領域ＳＲが位置していることにより、第１対向部４２Ｐ、第２対向部４２Ｑ及び第３対向部４２Ｒは凝縮領域ＣＲとして機能できる。第１対向部４２Ｐと第２対向部４２Ｑが互いに離間しているとともに、第２対向部４２Ｑと第３対向部４２Ｒが互いに離間していることにより、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大できる。このため、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上でき、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

【0177】

第４変形例について説明する。

【0178】

上述した本実施の形態においては、第１蒸気流路部５０Ｐと第２蒸気流路部５０Ｑが互いに連通している例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、第１蒸気流路部５０Ｐと第２蒸気流路部５０Ｑは、互いに分断されていてもよい。例えば、図５及び図６に示す第１連通部５５ａが第１シート１０Ｐに形成されていなくてもよい。図５及び図６に示す第２連通部５５ｂが第１シート１０Ｑに形成されていなくてもよい。この場合においても、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐ内の作動流体２ａ、２ｂは、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１蒸気流路部５０Ｐ及び第１液流路部６０Ｐで還流できる。このため、電子デバイスＤの熱を拡散させて電子デバイスＤを冷却できる。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑ内の作動流体２ａ、２ｂは、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２蒸気流路部５０Ｑ及び第２液流路部６０Ｑで還流できる。このため、電子デバイスＤの熱を拡散させて電子デバイスＤを冷却できる。第１蒸気流路部５０Ｐと第２蒸気流路部５０Ｑが互いに分断される場合、第１蒸気流路部５０Ｐ内の作動流体２ａ、２ｂの量と、第２蒸気流路部５０Ｑ内の作動流体２ａ、２ｂの量を一定に保つことができる。このことにより、第１蒸気流路部５０Ｐ及び第２蒸気流路部５０Ｑの一方に作動流体２ａ、２ｂが偏って存在して他方で作動流体２ａ、２ｂが不足することを抑制できる。

【0179】

第５変形例について説明する。

【0180】

上述した本実施の形態においては、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１液流路部６０Ｐが、毛細管作用を有する主流溝６１及び連絡溝６５を含んでいる例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、第１液流路部６０Ｐは、金属メッシュ又は多孔質焼結体などにより形成されたウィック部材（図示せず）を含んでいてもよい。ウィック部材が金属メッシュで形成される場合、銅線又はステンレス線を、平織、綾織、平畳織又は綾畳織等の形状で金属メッシュを形成してもよい。ウィック部材は、毛細管作用を発揮することにより、作動液２ｂに、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を与えることができるように構成されている。

【0181】

ウィック部材は、第１蒸気流路部５０Ｐの第１蒸気通路５１内及び第２蒸気通路５２内に位置していてもよい。この場合、ウィック部材は、ランド部３３の周囲に位置していてもよい。第１液流路部６０Ｐがウィック部材を含む場合、第１本体シート３０Ｐが、ランド部３３を含んでいなくてもよい。この場合、ウィック部材は、枠体部３２で囲まれた空間部として構成される第１蒸気流路部５０Ｐ内に位置していてもよい。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑについても同様である。

【0182】

第６変形例について説明する。

【0183】

上述した本実施の形態においては、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１本体シート３０Ｐが枠体部３２を含み、枠体部３２が第１シート１０Ｐ及び第２シート２０Ｐに接合されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、第１本体シート３０Ｐは枠体部３２を含んでいなくてもよい。この場合、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの周縁部において、第１シート１０Ｐ及び第２シート２０Ｐが、第１本体シート３０Ｐを介在させることなく直接的に接合されていてもよい。第１シート１０Ｐ及び第２シート２０Ｐは、周縁部において屈曲されて、例えばレーザ溶接されていてもよい。第１シート１０Ｐ及び第２シート２０Ｐが全周にわたって直接的に接合されていてもよい。第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの周縁部は、平面視において、第１本体シート３０Ｐの枠体部３２に対応する部分に相当する。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑについても同様である。本変形例において、第１液流路部６０Ｐは、上述したウィック部材で構成されていてもよい。この場合、第１本体シート３０Ｐは、ランド部３３を含んでいなくてもよい。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑについても同様である。

【0184】

第７変形例について説明する。

【0185】

上述した本実施の形態においては、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１シート１０Ｐと第２シート２０Ｐとの間に、１枚の第１本体シート３０Ｐが位置している例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。第１シート１０Ｐと第２シート２０Ｐとの間に、複数枚の第１本体シート３０Ｐが位置していてもよい。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２本体シート３０Ｑについても同様である。図１３及び図１４に示す第３ベイパーチャンバー本体５Ｒの第３本体シート３０Ｒについても同様である。第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１本体シート３０Ｐの枚数と、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２本体シート３０Ｑの枚数は、互いに異なっていてもよい。

【0186】

第８変形例について説明する。

【0187】

上述した本実施の形態においては、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１液流路部６０Ｐ及び第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２液流路部６０Ｑがそれぞれ、毛細管作用を有する主流溝６１及び連絡溝６５を含む例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、第１液流路部６０Ｐ及び第２液流路部６０Ｑのうちの一方が、主流溝６１及び連絡溝６５を含み、他方が、上述したウィック部材を含んでいてもよい。

【0188】

第９変形例について説明する。

【0189】

上述した本実施の形態においては、基端部６が、第１基端部４１Ｐと第２基端部４１Ｑとを含み、第１基端部４１Ｐと第２基端部４１Ｑが、互いに重なって接合されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、基端部６は、第１基端部４１Ｐ及び第２基端部４１Ｑの一方を含み、他方を含んでいなくてもよい。このことにより、ベイパーチャンバー１の基端部６の厚さを薄くできる。

【0190】

より具体的には、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、第１基端部４１Ｐを含んでいなくてもよい。この場合、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１枝部７Ｐは、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑから延びていてもよい。あるいは、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、第２基端部４１Ｑを含んでいなくてもよい。この場合、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２枝部７Ｑは、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１基端部４１Ｐから延びていてもよい。

【0191】

（第２の実施の形態）
次に、図１５～図１７を用いて、本開示の第２の実施の形態によるベイパーチャンバー、放熱装置及び電子機器について説明する。

【0192】

図１５～図１７に示す第２の実施の形態においては、第２ベイパーチャンバー本体の第２基端部に、放熱体が熱的に接続されている点が主に異なる。他の構成は、図１～図１４に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図１５～図１７において、図１～図１４に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0193】

図１５に示すように、本実施の形態による放熱装置８０は、ベイパーチャンバー１と、放熱体８１と、を備えている。

【0194】

より具体的には、本実施の形態によるベイパーチャンバー１は、上述した図２等に示すベイパーチャンバー１と同様に構成されていてもよい。平面視において、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２端部５Ｑａは、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの上述した第１端部５Ｐａと重なっていてもよい。

【0195】

ベイパーチャンバー１に、放熱体８１が設けられている。ベイパーチャンバー１及び放熱体８１は、本実施の形態による放熱装置８０を構成している。放熱装置８０は、発熱を伴う電子デバイスＤとともに電子機器Ｅ（図１参照）のハウジングＨに収容されてもよい。この場合、電子機器Ｅは、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容された電子デバイスＤと、ベイパーチャンバー１を含む放熱装置８０と、を備えていてもよい。放熱装置８０のベイパーチャンバー１が、電子デバイスＤに熱的に接続されていてもよい。

【0196】

放熱体８１は、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑに熱的に接続されていてもよい。放熱体８１は、第２シート２０Ｑの第２シート外面２０Ｑｂ（図４又は図６参照）に熱的に接続されていてもよい。本実施の形態による放熱体８１は、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑ及び第２対向部４２Ｑに熱的に接続されていてもよい。放熱体８１は、第２対向部４２Ｑから第２基端部４１Ｑにわたって第２シート外面２０Ｑｂに熱的に接続されていてもよい。

【0197】

本実施の形態においては、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１対向部４２Ｐ及び第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２対向部４２Ｑに、蒸発領域ＳＲが位置していてもよい。第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１基端部４１Ｐ及び第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑに、凝縮領域ＣＲが位置していてもよい。第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１中間部４３Ｐは、凝縮領域ＣＲとして機能していてもよい。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２対向部４２Ｑも、凝縮領域ＣＲとして機能していてもよい。第２対向部４２Ｑが、蒸発領域ＳＲとして機能するとともに凝縮領域ＣＲとして機能してもよい。この場合、蒸発領域ＳＲと凝縮領域ＣＲの一部分とが重なっていてもよい。

【0198】

放熱体８１は、ベイパーチャンバー１の放熱を促進するように構成されている。放熱体８１は、ヒートシンクであってもよい。ヒートシンクは、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２シート外面２０Ｑｂに接触したベースと、ベースから延びる複数の突起部（いずれも図示せず）と、を含んでいてもよい。突起部はフィンとも称される。第２ベイパーチャンバー本体５Ｑと放熱体８１との間に、ＴＩＭシート７０が介在されていてもよい。放熱体８１は、ヒートシンクであることに限られることはない。例えば、放熱体８１は、水を冷却媒体として用いた冷却装置であってもよい。あるいは、放熱体８１は、金属材料で形成されたブロック状の部材であってもよい。あるいは、放熱体８１は、上述したハウジングＨを構成する部材であってもよい。

【0199】

第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの蒸発領域ＳＲにおいて生成された作動蒸気２ａは、第１基端部４１Ｐに向かって拡散する。第１基端部４１Ｐに達した作動蒸気２ａの一部は、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑに達する。第２基端部４１Ｑに達した作動蒸気２ａは、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２シート２０Ｑに放熱して凝縮される。第１基端部４１Ｐ内の作動蒸気２ａの一部は、第２シート２０Ｐに放熱して凝縮される。

【0200】

第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの蒸発領域ＳＲにおいて生成された作動蒸気２ａは、第２基端部４１Ｑに向かって拡散する。第２基端部４１Ｑに達した作動蒸気２ａは、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２シート２０Ｑに放熱して凝縮される。第２蒸気流路部５０Ｑ内の作動蒸気２ａの一部は、第２対向部４２Ｑにおいても、第２シート２０Ｑに放熱して凝縮される。

【0201】

第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２シート２０Ｑが受けた熱は放熱体８１に伝わる。放熱体８１が受けた熱は、放熱体８１の周囲空間に放出される。このようにして、放熱体８１は、第２シート２０Ｑから受けた熱を輸送する。

【0202】

このように本実施の形態によれば、放熱体８１が、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑに熱的に接続されている。このことにより、第２基端部４１Ｑにおいて、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの作動蒸気２ａ及び第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの作動蒸気２ａから第２シート２０Ｑを介して放熱体８１に熱を放出できる。放熱体８１は作動蒸気２ａから受けた熱を輸送し、周囲に放出できる。このため、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上でき、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

【0203】

本実施の形態によれば、放熱体８１が、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑ及び第２対向部４２Ｑに熱的に接続されている。このことにより、第２対向部４２Ｑにおいても、作動蒸気２ａから第２シート２０Ｑを介して放熱体８１に熱を放出できる。このため、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上でき、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

【0204】

第１０変形例について説明する。

【0205】

上述した本実施の形態においては、平面視において、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２端部５Ｑａは、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの上述した第１端部５Ｐａと重なっている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１６に示すように、第２端部５Ｑａは、第１端部５Ｐａよりも第２基端部４１Ｑから遠い位置に位置していてもよい。より具体的には、第２端部５Ｑａは、第１端部５Ｐａよりも第２基端部４１ＱからＸ方向に離れた位置に位置していてもよい。この場合、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの長さを長くできる。

【0206】

図１６に示す例では、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、第２対向部４２Ｑから延びる第２延長部４４Ｑを含んでいてもよい。第２延長部４４Ｑの先端に第２端部５Ｑａが位置している。断面視において、第２延長部４４Ｑは、第２対向部４２Ｑに対して第２基端部４１Ｑとは反対側に位置しており、第２対向部４２Ｑから、第２基端部４１Ｑとは反対側に延びている。第２蒸気流路部５０Ｑ及び第２液流路部６０Ｑは、第２対向部４２Ｑから第２延長部４４Ｑに延びている。第２延長部４４Ｑは凝縮領域ＣＲとして機能できる。この場合、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大でき、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。このため、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

【0207】

放熱体８１は、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２基端部４１Ｑ及び第２対向部４２Ｑだけでなく、第２延長部４４Ｑにも熱的に接続されていてもよい。この場合、ベイパーチャンバー１から放熱体８１への放熱面積を増大でき、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。このため、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

【0208】

第２端部５Ｑａが第１端部５Ｐａよりも第２基端部４１Ｑから遠い位置に位置する場合、第２ベイパーチャンバー本体５ＱのＸ方向長さは、屈曲前の第１ベイパーチャンバー本体５ＰのＸ方向長さと等しくしてもよい。この場合、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第１シート１０Ｑ及び第２シート２０Ｑを、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１シート１０Ｐ及び第２シート２０Ｐと同じ大きさを有するシート材料で形成できる。このため、ベイパーチャンバー１の製造効率を向上できる。

【0209】

第１１変形例について説明する。

【0210】

例えば、図１７に示すように、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、第１対向部４２Ｐから延びる第１延長部４４Ｐを含むとともに、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑは、第２対向部４２Ｑから延びる第２延長部４４Ｑを含んでいてもよい。

【0211】

断面視において、第１延長部４４Ｐは、第１対向部４２Ｐに対して第１基端部４１Ｐとは反対側に位置しており、第１対向部４２Ｐから、第１基端部４１Ｐとは反対側に延びている。第１蒸気流路部５０Ｐ及び第１液流路部６０Ｐは、第１対向部４２Ｐから第１延長部４４Ｐに延びている。第１延長部４４Ｐは凝縮領域ＣＲとして機能できる。

【0212】

図１７に示す例では、第１対向部４２Ｐと第１延長部４４Ｐとの間に第４中間部４５Ｐが位置している。断面視において、第４中間部４５Ｐは、第１対向部４２Ｐに対して傾斜していてもよく、第１延長部４４Ｐに対して傾斜していてもよい。しかしながら、第４中間部４５Ｐの形状は任意であり、例えば、第４中間部４５Ｐは、断面視において、湾曲していてもよい。

【0213】

断面視において、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、第１対向部４２Ｐと第１延長部４４Ｐとの間で屈曲されていてもよい。第１ベイパーチャンバー本体５Ｐは、第１対向部４２Ｐと第４中間部４５Ｐとの間で屈曲されているとともに、第４中間部４５Ｐと第１延長部４４Ｐとの間で屈曲されている。

【0214】

断面視において、第２延長部４４Ｑは、第２対向部４２Ｑに対して第２基端部４１Ｑとは反対側に位置しており、第２対向部４２Ｑから、第２基端部４１Ｑとは反対側に延びている。第２蒸気流路部５０Ｑ及び第２液流路部６０Ｑは、第２対向部４２Ｑから第２延長部４４Ｑに延びている。第２延長部４４Ｑは凝縮領域ＣＲとして機能できる。

【0215】

第１延長部４４Ｐ及び第２延長部４４Ｑは、互いに熱的に接続されていてもよい。第１延長部４４Ｐと第２延長部４４Ｑとの間に、ＴＩＭシート７０が介在されていてもよい。第１延長部４４Ｐに、第１連通部５５ａ等のような連通部は形成されていなくてもよい。第２延長部４４Ｑに、連通部は形成されていなくてもよい。

【0216】

第１延長部４４Ｐ及び第２延長部４４Ｑは、ボルト８２を用いて放熱体８１に締結されていてもよい。

【0217】

より具体的には、第１延長部４４Ｐに位置する第１本体シート３０Ｐに第１ボルト穴８３ａが形成されていてもよい。第１延長部４４Ｐにおいて、第１本体シート３０Ｐの枠体部３２は、幅広に形成されていてもよい。第２延長部４４Ｑに位置する第２本体シート３０Ｑに第２ボルト穴８３ｂが形成されていてもよい。第２延長部４４Ｑにおいて、第２本体シート３０Ｑの枠体部３２は、幅広に形成されていてもよい。放熱体８１に、ねじ穴８３ｃが形成されていてもよい。平面視において、第１ボルト穴８３ａ、第２ボルト穴８３ｂ及びねじ穴８３ｃは重なっている。

【0218】

第１ボルト穴８３ａ及び第２ボルト穴８３ｂにボルト８２が挿入されて、放熱体８１のねじ穴８３ｃにネジ係合している。このようにして、ボルト８２を用いて、第１延長部４４Ｐ及び第２延長部４４Ｑが放熱体８１に締結されて取り付けられている。ＴＩＭシート７０にも、ボルト８２が貫通するための穴７１が形成されていてもよい。ボルト８２は、熱伝導率が良好な材料であれば、特に限られることはないが、例えば、金属材料で構成されていてもよい。

【0219】

第１延長部４４Ｐと第２延長部４４Ｑを締結する前に、電子デバイスＤを第１対向部４２Ｐと第２対向部４２Ｑとの間に位置させてもよい。例えば、第１基端部４１Ｐを支点にして第１延長部４４Ｐを持ち上げるように第１ベイパーチャンバー本体５Ｐを弾性変形させてもよい。この場合、第１対向部４２Ｐと第２対向部４２Ｑとの間の空間に、電子デバイスＤを挿入できる。

【0220】

第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの蒸発領域ＳＲにおいて生成された作動蒸気２ａの一部は、第１延長部４４Ｐに達する。第１延長部４４Ｐにおいて、作動蒸気２ａは、第２シート２０Ｐに放熱して凝縮される。作動蒸気２ａから第２シート２０Ｐが受けた熱は、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２延長部４４Ｑを介して放熱体８１に放出される。第２シート２０Ｐが受けた熱の一部は、ボルト８２に伝わり、ボルト８２から放熱体８１に放出される。

【0221】

第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの蒸発領域ＳＲにおいて生成された作動蒸気２ａの一部は、第２延長部４４Ｑに達する。第２延長部４４Ｑにおいて、作動蒸気２ａは、第２シート２０Ｑに放熱して凝縮される。作動蒸気２ａから第２シート２０Ｑが受けた熱は、放熱体８１に放出される。第２シート２０Ｑが受けた熱の一部は、ボルト８２に伝わり、ボルト８２から放熱体８１に放出される。

【0222】

図１７に示す変形例によれば、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの第１延長部４４Ｐと、第２ベイパーチャンバー本体５Ｑの第２延長部４４Ｑが、互いに熱的に接続されている。このことにより、第１延長部４４Ｐに達した作動蒸気２ａの熱を、第２延長部４４Ｑを介して放熱体８１に放出できる。このため、第１ベイパーチャンバー本体５Ｐの放熱面積を増大でき、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

【0223】

図１７に示す例によれば、第１延長部４４Ｐ及び第２延長部４４Ｑが、ボルト８２を用いて放熱体８１に締結されている。このことにより、第１延長部４４Ｐに達した作動蒸気２ａの熱の一部が、ボルト８２を介して放熱体８１に放出できる。第２延長部４４Ｑに達した作動蒸気２ａの熱の一部が、ボルト８２を介して放熱体８１に放出できる。このため、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上でき、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

【0224】

本開示は上記各実施の形態及び各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施の形態及び各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。各実施の形態及び各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

【符号の説明】

【0225】

１ ベイパーチャンバー
２ａ 作動蒸気
２ｂ 作動液
５Ｐ 第１ベイパーチャンバー本体
５Ｐａ 第１端部
５Ｑ 第２ベイパーチャンバー本体
５Ｑａ 第２端部
６ 基端部
７Ｐ 第１枝部
７Ｑ 第２枝部
７Ｒ 第３枝部
４１Ｐ 第１基端部
４１Ｑ 第２基端部
４２Ｐ 第１対向部
４２Ｑ 第２対向部
４２Ｒ 第３対向部
４４Ｐ 第１延長部
４４Ｑ 第２延長部
５０Ｐ 第１蒸気流路部
５０Ｑ 第２蒸気流路部
５０Ｒ 第３蒸気流路部
５５ａ 第１連通部
５５ｂ 第２連通部
６０Ｐ 第１液流路部
６０Ｑ 第２液流路部
６０Ｒ 第３液流路部
８０ 放熱装置
８１ 放熱体
８２ ボルト

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】