特開 2024-169659 センサ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024169659

(43)【公開日】2024-12-05

(54)【発明の名称】センサ装置

(51)【国際特許分類】

   G01S 7/481 20060101AFI20241128BHJP

【ＦＩ】

G01S7/481 A

【審査請求】有

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024166018

(22)【出願日】2024-09-25

(62)【分割の表示】P 2020076433の分割

【原出願日】2020-04-23

(71)【出願人】

【識別番号】000005016

【氏名又は名称】パイオニア株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】520001073

【氏名又は名称】パイオニアスマートセンシングイノベーションズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100110928

【弁理士】

【氏名又は名称】速水 進治

(74)【代理人】

【識別番号】100127236

【弁理士】

【氏名又は名称】天城 聡

(72)【発明者】

【氏名】植原 裕治

(57)【要約】

【課題】ヒータによって透過部に発生する熱の分布のばらつきを抑える。
【解決手段】透過部３００は、基材３１０、透明導電層３２０、第１端子３２２及び第２端子３２４を有している。透明導電層３２０は、少なくとも１層の酸化物半導体層を含んでいる。酸化物半導体層は、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）層である。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

電磁波を出射する光学装置と、
前記光学装置を収容する筐体と、
前記筐体に設けられ、前記光学装置の前記電磁波を透過させる透過部と、
を備え、
前記透過部は、透明導電層を有し、
前記透過部は、基材をさらに有し、
前記透過部は、前記筐体の一部である取付枠に取り付けられており、
前記基材のうち前記取付枠の内側全面を含む領域において、前記透明導電層は、前記基材の両面のうちの少なくとも一方の面の全体に設けられている、センサ装置。

【請求項2】

請求項１に記載のセンサ装置において、
前記透明導電層の少なくとも一部分は、前記透過部のうち前記電磁波が透過する領域に設けられている、センサ装置。

【請求項3】

請求項１又は２に記載のセンサ装置において、
前記透明導電層は、前記筐体の外側よりも内側の近くに位置している、センサ装置。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか一項に記載のセンサ装置において、
前記透明導電層に電気的に接続された第１端子と、
前記透明導電層に電気的に接続され、前記透明導電層の少なくとも一部分を挟んで前記第１端子に対向する第２端子と、
をさらに備え、
前記第１端子と前記第２端子とは、実質的に平行に延伸している、センサ装置。

【請求項5】

請求項４に記載のセンサ装置において、
前記第１端子の長さは、前記第２端子の長さの９５％以上１０５％以下である、センサ装置。

【請求項6】

請求項１～５のいずれか一項に記載のセンサ装置において、
前記透明導電層は、酸化物半導体層を含む、センサ装置。

【請求項7】

請求項６に記載のセンサ装置において、
前記酸化物半導体層は、ＩＴＯ層を含む、センサ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、センサ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）ミラー等の可動反射部を有するＬｉＤＡＲ（Ｌｉｇｈｔ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ Ａｎｄ Ｒａｎｇｉｎｇ）、ＲＡＤＡＲ（ＲＡｄｉｏ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ Ａｎｄ Ｒａｎｇｉｎｇ）等の光学装置が開発されている。光学装置は、可動反射部による赤外線等の電磁波の反射によって、光学装置の外部に位置する物体を走査する。

【0003】

特許文献１には、レーザレーダのレンズにヒータが設けられることが記載されている。ヒータによってレンズを加熱することで、レンズに付着した水滴の凍結が防止される。ヒータとしては、プリントよってレンズに焼き付けられた熱線ヒータや、レンズに貼り付けられたフィルム状ヒータが用いられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平５－１５７８３０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

例えば特許文献１に記載されているように、光学装置から出射される電磁波を透過させるための透過部を熱線ヒータやフィルム状ヒータによって加熱することがある。熱線ヒータやフィルム状ヒータは、当該ヒータによって電磁波が遮断されるため、透過部のうち電磁波が透過する領域からずらして配置する必要がある。しかしながら、この場合、ヒータによって透過部に発生する熱の分布に比較的大きなばらつきが生じ得る。

【0006】

本発明が解決しようとする課題としては、ヒータによって透過部に発生する熱の分布のばらつきを抑えることが一例として挙げられる。

【課題を解決するための手段】

【0007】

請求項１に記載の発明は、
電磁波を出射する光学装置と、
前記光学装置を収容する筐体と、
前記筐体に設けられ、前記光学装置の前記電磁波を透過させる透過部と、
を備え、
前記透過部は、透明導電層を有し、
前記透過部は、基材をさらに有し、
前記透過部は、前記筐体の一部である取付枠に取り付けられており、
前記基材のうち前記取付枠の内側全面を含む領域において、前記透明導電層は、前記基材の両面のうちの少なくとも一方の面の全体に設けられている、センサ装置である。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施形態に係るセンサ装置を斜め前から見た図である。

【図2】図１に示したセンサ装置の分解図である。

【図3】図１及び図２に示した透過部の第２面側の平面図である。

【図4】図３のＡ－Ａ断面図である。

【図5】比較形態１に係る透過部の第２面側の平面図である。

【図6】比較形態２に係る透過部の第２面側の平面図である。

【図7】実施形態に係る透過部、比較形態１に係る透過部及び比較形態２に係る透過部の各々における加熱による温度の時間変化を示すグラフである。

【図8】実施形態に係る透過部、比較形態１に係る透過部及び比較形態２に係る透過部の各々における風の吹き当てによる温度の時間変化を示すグラフである。

【図9】図１及び図２に示した筐体に収容される光学装置の動作の一例を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

【0010】

図１は、実施形態に係るセンサ装置１０を斜め前から見た図である。図２は、図１に示したセンサ装置１０の分解図である。なお、図２では、図１に示した筐体２００内に収容される光学装置１００を図示していない。

【0011】

センサ装置１０は、光学装置１００、筐体２００及び透過部３００を備えている。光学装置１００は、電磁波を出射する。筐体２００は、光学装置１００を収容している。透過部３００は、筐体２００に設けられている。透過部３００は、光学装置１００から出射された電磁波を透過させる。透過部３００は、第１面３０２及び第２面３０４を有している。透過部３００の第１面３０２及び第２面３０４は、互いに反対側にある。

【0012】

図１及び図２において、第１方向Ｘは、センサ装置１０の前後方向である。第１方向Ｘを示す矢印によって示される方向である第１方向Ｘの正方向は、センサ装置１０の前方向である。第１方向Ｘを示す矢印によって示される方向の反対方向である第１方向Ｘの負方向は、センサ装置１０の後方向である。第２方向Ｙは、第１方向Ｘに交差しており、具体的には直交している。第２方向Ｙは、センサ装置１０の左右方向である。第２方向Ｙを示す矢印によって示される方向である第２方向Ｙの正方向は、センサ装置１０の前方から見て右方向である。第２方向Ｙを示す矢印によって示される方向の反対方向である第２方向Ｙの負方向は、センサ装置１０の前方から見て左方向である。第３方向Ｚは、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの双方に交差しており、具体的には直交している。第３方向Ｚは、センサ装置１０の上下方向である。第３方向Ｚを示す矢印によって示される方向である第３方向Ｚの正方向は、センサ装置１０の上方向である。第３方向Ｚを示す矢印によって示される方向の反対方向である第３方向Ｚの負方向は、センサ装置１０の前方向である。

【0013】

光学装置１００は、所定位置から一方向、具体的には第１方向Ｘの正方向に向かうにつれて拡大する視野Ｆを有している。上記所定位置は、視野Ｆが拡大し始める起点である。また、上記所定位置は、筐体２００の内部に位置している。視野Ｆは、光学装置１００が物体等の対象を検出可能な領域である。例えば、光学装置１００は、上記所定位置から視野Ｆ内のいずれかの方向に向けて赤外線等の電磁波を出射可能になっている。

【0014】

光学装置１００は、筐体２００に取り外し可能に取り付けられていてもよいし、又は筐体２００から取り外し不可能に固定されていてもよい。光学装置１００が筐体２００に取り外し可能に取り付けられている場合、光学装置１００は、例えば、ネジ等の固定具によって筐体２００に固定されていてもよい。またこの場合、筐体２００は、光学装置１００が筐体２００に取り付けられていない状態で製造され、販売される等、使用されてもよい。光学装置１００が筐体２００から取り外し不可能に固定されている場合、光学装置１００は、例えば溶接等の接合処理によって、筐体２００と一体となって形成されていてもよい。

【0015】

透過部３００は、透過部３００の第１面３０２及び透過部３００の第２面３０４の双方とも平坦かつ平行なカバーとなっている。透過部３００の第２面３０４は、例えば両面テープ等の粘着剤によって、筐体２００の取付枠２１０に取り付けられている。これによって、透過部３００は、透過部３００の第１面３０２が透過部３００の第２面３０４に対して筐体２００の前側に配置されるように、筐体２００の前面側に配置されている。すなわち、透過部３００が筐体２００に取り付けられたとき、透過部３００の第１面３０２及び第２面３０４は、それぞれ、透過部３００の前面及び後面となっている。なお、透過部３００を筐体２００に取り付ける方法は、本実施形態に係る方法に限定されない。また、透過部３００は、筐体２００と一体となっていてもよい。さらに、透過部３００は、透過部３００の第１面３０２及び透過部３００の第２面３０４のうちの少なくとも一方が湾曲したレンズであってもよい。

【0016】

透過部３００は、光学装置１００の視野Ｆと交差している。本実施形態において、透過部３００は、透過部３００の上側部分が透過部３００の下側部分よりもセンサ装置１０の前方に側に位置するように、筐体２００の高さ方向に対して斜めに傾いている。言い換えると、透過部３００の下側部分は、透過部３００の上側部分よりも、視野Ｆの上記一方向において、視野Ｆの上記所定位置の近くに位置している。しかしながら、筐体２００に対する透過部３００の配置は、本実施形態に係る配置に限定されない。例えば、透過部３００は、筐体２００の高さ方向に平行に配置されていてもよい。

【0017】

図３は、図１及び図２に示した透過部３００の第２面３０４側の平面図である。図４は、図３のＡ－Ａ断面図である。

【0018】

透過部３００は、基材３１０、透明導電層３２０、第１端子３２２及び第２端子３２４を有している。

【0019】

基材３１０は、少なくとも、学装置１００から出射される電磁波の波長について、透明となっている。基材３１０が透明であるとは、例えば、光学装置１００から出射される電磁波が基材３１０に入射角０°で入射する場合において光学装置１００から出射される電磁波のピーク波長の透過率が８５％以上、好ましくは９０％以上、より好ましくは９５％以上であることを意味する。このピーク波長は、例えば、８５０ｎｍ以上９５０ｎｍ以下のいずれかの波長である。

【0020】

基材３１０は、電気絶縁性となっている。基材３１０は、例えば、ガラス基板などの無機材料からなっていている。ガラスとしては、例えば、強化ガラス、ガラスセラミック等が挙げられる。或いは、基材３１０は、樹脂フィルム等の有機材料からなっていてもよい。樹脂としては、例えば、ポリカーボネート、アクリル等が挙げられる。

【0021】

透明導電層３２０は、少なくとも、学装置１００から出射される電磁波の波長について、透明となっている。透明導電層３２０が透明であるとは、例えば、光学装置１００から出射される電磁波が透明導電層３２０に入射角０°で入射する場合において光学装置１００から出射される電磁波のピーク波長の透過率が８５％以上、好ましくは９０％以上、より好ましくは９５％以上であることを意味する。

【0022】

透明導電層３２０は、少なくとも１層の酸化物半導体層を含んでいる。酸化物半導体層は、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）層、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）層、ＩＷＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｕｎｇｓｔｅｎ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）層、ＺｎＯ（Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）層又はＩＧＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｇａｌｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）層である。タッチパネル等、幅広い分野で使用されていることで安定的な供給が可能であることや、－４０℃から氷を解かせるだけの熱を発生させることができること等の観点から、透明導電層３２０は、ＩＴＯ層を含むことが好ましい。透明導電層３２０は、酸化物半導体層に代えて、又は酸化物半導体層とともに、例えば、銀ナノワイヤー又はグラフェンを含んでいてもよい。

【0023】

透明導電層３２０のうち第２面３０４側の面、すなわち筐体２００の内側に位置する面は、不図示の反射防止（ＡＲ）コートによって覆われていてもよい。ＡＲコートが設けられていることによって、光学装置１００から出射された電磁波が透過部３００の第２面３０４によって反射されることを抑制することができる。なお、ＡＲコートは、透明導電層３２０のうち第１面３０２側の面や基材３１０の第１面３０２にも設けられていてもよい。

【0024】

透明導電層３２０は、基材３１０の両面のうちの少なくとも一方の面の全体に設けられている。本実施形態では、透明導電層３２０は、基材３１０の両面のうち筐体２００の内側に位置する面の全体に設けられている。例えば、透明導電層３２０は、マスクを用いない蒸着によって基材３１０の両面のうちの少なくとも一方の面上に形成されている。したがって、マスクを用いる蒸着又はリソグラフィを用いるパターニングによって透明導電層３２０が形成されると比較して、透明導電層３２０を安価に形成することができる。しかしながら、透明導電層３２０は、マスクを用いる蒸着又はリソグラフィを用いるパターニングによって透明導電層３２０は形成されてもよい。

【0025】

また、透明導電層３２０は、筐体２００の外側よりも内側の近くに位置している。したがって、透明導電層３２０が筐体２００の内側よりも外側の近くに位置している場合と比較して、透明導電層３２０が外気に曝されることによる透明導電層３２０の劣化を抑制することができる。しかしながら、透明導電層３２０は、筐体２００の内側よりも外側の近くに位置していてもよい。

【0026】

透明導電層３２０の少なくとも一部分は、透過部３００のうち光学装置１００から出射される電磁波が透過する領域に設けられている。言い換えると、透過部３００のうち光学装置１００から出射される電磁波が透過する領域であっても、ヒータ、すなわち透明導電層３２０を設けることができる。仮に、熱線ヒータやフィルム状ヒータが用いられた場合、当該ヒータによって電磁波が遮断される。このため、熱線ヒータやフィルム状ヒータは、透過部のうち電磁波が透過する領域からずらして配置する必要がある。しかしながら、この場合、ヒータによって透過部に発生する熱の分布に比較的大きなばらつきが生じ得る。これに対して、本実施形態では、上述したように、透過部３００のうち光学装置１００から出射される電磁波が透過する領域であっても、ヒータ、すなわち透明導電層３２０を設けることができる。したがって、透明導電層３２０によって透過部３００に発生する熱の分布のばらつきを抑えることができる。

【0027】

第１端子３２２は、透明導電層３２０に電気的に接続されている。第１端子３２２は、透過部３００の幅方向、すなわち第２方向Ｙに沿って長尺状となっている。

【0028】

第２端子３２４は、透明導電層３２０に電気的に接続されている。第２端子３２４は、透過部３００の幅方向、すなわち第２方向Ｙに沿って長尺状となっている。

【0029】

第２端子３２４は、透明導電層３２０の少なくとも一部分、具体的には透明導電層３２０のうち光学装置１００から出射される電磁波が透過する部分を挟んで、第１端子３２２に対向している。第１端子３２２及び第２端子３２４は、実質的に平行に延伸している。第１端子３２２及び第２端子３２４が実質的に平行に延伸しているとは、第１端子３２２及び第２端子３２４が厳密に平行になっている場合だけでなく、第１端子３２２及び第２端子３２４の一方が第１端子３２２及び第２端子３２４の他方に対して例えば３°以下の角度傾いていることも意味する。本実施形態においては、例えば、第１端子３２２及び第２端子３２４が第２方向Ｙにおいて短尺状である場合と比較して、第１端子３２２と第２端子３２４との間において第２方向Ｙに広い範囲に電流を流すことができる。

【0030】

第１端子３２２の長さと第２端子３２４の長さとは実質的に等しいことが好ましい。例えば、第２端子３２４の長さは、第１端子３２２の長さの９５％以上１０５％以下、好ましくは９７％以上１０３％以下となっている。例えば、第１端子３２２の長さと第２端子３２４の長さとが異なる場合、第１端子３２２の長さと第２端子３２４の長さとが等しい場合と比較して、第１端子３２２と第２端子３２４との間を流れる電流の経路長のばらつきが大きくなり、透明導電層３２０を均一に温めにくくなる。これに対して、第１端子３２２の長さと第２端子３２４の長さとが等しい場合、第１端子３２２の長さと第２端子３２４の長さとが異なる場合と比較して、第１端子３２２と第２端子３２４との間を流れる電流の経路長のばらつきを抑えることができ、透明導電層３２０を均一に温めやすくなる。

【0031】

透明導電層３２０、第１端子３２２及び第２端子３２４は、第１端子３２２と第２端子３２４との間に１０Ｖの電圧を印加した場合に、例えば、０．７Ａ以上０．９Ａ以下の電流が流れるように設けられるようにすることができる。

【0032】

図５は、比較形態１に係る透過部３００Ａの第２面３０４側の平面図である。比較形態１に係る透過部３００Ａは、以下の点を除いて、実施形態に係る透過部３００と同様である。

【0033】

透過部３００Ａは、基材３１０に設けられた配線３６０Ａを有している。配線３６０Ａは、透過部３００の基材３１０のうち電磁波が透過する領域のほぼ全周を囲んでいる。配線３６０Ａは、銅箔等の金属からなっている。

【0034】

図６は、比較形態２に係る透過部３００Ｂの第２面３０４側の平面図である。比較形態２に係る透過部３００Ｂは、以下の点を除いて、実施形態に係る透過部３００と同様である。

【0035】

透過部３００Ｂは、基材３１０に設けられた配線３６０Ｂを有している。配線３６０Ｂは、基材３１０の第２方向Ｙの一方側における一辺を除いて透過部３００の基材３１０のうち電磁波が透過する領域のほぼ全周を囲んでいる。配線３６０Ｂは、銅箔等の金属からなっている。

【0036】

図７は、実施形態に係る透過部３００、比較形態１に係る透過部３００Ａ及び比較形態２に係る透過部３００Ｂの各々における加熱による温度の時間変化を示すグラフである。

【0037】

図７に示す例では、実施形態に係る透過部３００、比較形態１に係る透過部３００Ａ及び比較形態２に係る透過部３００Ｂを２５℃雰囲気下に置いた。図７において、グラフの横軸は、各透過部の加熱時間を示している。またグラフの縦軸は、各透過部の温度を示している。図７の実施形態、比較形態１及び比較形態２の各々のプロットは、実施形態に係る透過部３００の最低温度、比較形態１に係る透過部３００Ａの最低温度及び比較形態２に係る透過部３００Ｂの最低温度をそれぞれ示している。

【0038】

実施形態に係る透過部３００では、第１端子３２２及び第２端子３２４の間にＤＣ１０Ｖを印加した。比較形態１に係る透過部３００Ａでは、配線３６０ＡにＤＣ１２Ｖを印加した。比較形態２に係る透過部３００Ｂでは、配線３６０ＢにＤＣ１２Ｖを印加した。

【0039】

図７のグラフに示すように、実施形態に係る透過部３００では、加熱開始から１３分５６秒後に、最高温度、すなわち初期温度から５８．４５℃だけ高い温度に達した。比較形態１に係る透過部３００Ａでは、加熱開始から１６分５３秒後に最高温度、すなわち初期温度から３８．８℃だけ高い温度に達した。比較形態２に係る透過部３００Ｂでは、加熱開始から２０分１秒後に最高温度、すなわち初期温度から２０．２℃だけ高い温度に達した。

【0040】

図７のグラフに示すように、実施形態に係る透過部３００では、初期時刻から２５秒後に、初期温度から１０℃だけ高い温度に達した。比較形態１に係る透過部３００Ａでは、初期時刻から１３８秒後に、初期温度から１０℃だけ高い温度に達した。比較形態２に係る透過部３００Ｂでは、初期時刻から２１５秒後に、初期温度から１０℃だけ高い温度に達した。

【0041】

図７の結果より、透明導電層によって形成されたヒータは、配線によって形成されたヒータに比して、より短い時間でより高い温度に透過部を加熱することができるといえる。

【0042】

図８は、実施形態に係る透過部３００、比較形態１に係る透過部３００Ａ及び比較形態２に係る透過部３００Ｂの各々における風の吹き当てによる温度の時間変化を示すグラフである。

【0043】

実施形態に係る透過部３００では、第１端子３２２及び第２端子３２４の間にＤＣ１０Ｖを印加した。比較形態１に係る透過部３００Ａでは、配線３６０ＡにＤＣ１０Ｖを印加した。電圧を印加しながら実施形態に係る透過部３００及び比較形態１に係る透過部３００Ａの各々から１５ｃｍだけ離れた位置からエアガンによって風速４５～８２ｋｍ／ｈの風を吹き当てた。

【0044】

図８のグラフに示すように、比較形態１に係る透過部３００Ａでは、風の吹き当てによって透過部３００の温度が気温に近い温度まで低下した。これに対して、実施形態に係る透過部３００では、風が吹き当てられても、気温より約２０℃だけ高い温度が維持された。

【0045】

図８の結果より、透明導電層によって形成されたヒータの方が、配線によって形成されたヒータよりも、風による透過部の温度の低下を抑制することができるといえる。

【0046】

図９は、図１及び図２に示した筐体２００に収容される光学装置１００の動作の一例を説明するための図である。

【0047】

光学装置１００は、送信部１１０、可動反射部１２０、受信部１３０及びビームスプリッタ１４０を備えている。図９では、送信部１１０、可動反射部１２０、受信部１３０及びビームスプリッタ１４０は、模式的に、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの双方に平行な一平面内に位置している。しかしながら、実際のレイアウトにおいては、送信部１１０、可動反射部１２０、受信部１３０及びビームスプリッタ１４０は、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの双方に平行な一平面内に位置していなくてもよいし、又は第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの双方に平行な一平面内に位置していてもよい。

【0048】

図９では、送信部１１０、可動反射部１２０、受信部１３０及びビームスプリッタ１４０を伝搬する電磁波は、破線によって示されている。

【0049】

送信部１１０は、電磁波を送信する。一例において、送信部１１０によって送信される電磁波は、光、具体的には、赤外線である。しかしながら、送信部１１０によって送信される電磁波は、赤外線の波長と異なる波長の光（例えば、可視光線又は紫外線）であってもよいし、又は光の波長と異なる波長の電磁波（例えば、電波）であってもよい。一例において、送信部１１０は、パルス波を送信する。しかしながら、送信部１１０は、連続波（ＣＷ）を送信してもよい。一例において、送信部１１０は、電気的エネルギー（例えば、電流）を電磁波に変換可能な素子（例えば、レーザダイオード（ＬＤ））である。

【0050】

送信部１１０から送信された電磁波は、ビームスプリッタ１４０を透過して可動反射部１２０に入射し、可動反射部１２０によって反射される。可動反射部１２０は、例えば、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）ミラーである。可動反射部１２０は、上記所定位置に位置している。

【0051】

可動反射部１２０によって反射された電磁波は、透過部３００を透過してセンサ装置１０の外部に向けて出射される。センサ装置１０の外部に向けて出射された電磁波は、センサ装置１０の外部に存在する物体等の対象（図９では不図示）に入射し、対象によって反射され、又は散乱される。対象によって反射され、又は散乱された電磁波は、透過部３００を透過して可動反射部１２０に入射する。可動反射部１２０に入射した電磁波は、可動反射部１２０による反射及びビームスプリッタ１４０による反射を順に経て、受信部１３０に入射する。受信部１３０は、受信部１３０に入射した電磁波を受信する。一例において、受信部１３０は、電磁波を電気的エネルギー（例えば、電流）に変換可能な素子（例えば、アバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ））である。

【0052】

センサ装置１０は、例えば、ＬｉＤＡＲ（Ｌｉｇｈｔ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ Ａｎｄ Ｒａｎｇｉｎｇ）である。一例において、センサ装置１０は、ＴｏＦ（Ｔｉｍｅ ｏｆ Ｆｌｉｇｈｔ）に基づいて、センサ装置１０と、センサ装置１０の外部に存在する物体等の対象と、の間の距離を測定する。この例において、センサ装置１０は、センサ装置１０から電磁波が送信された時間（例えば、送信部１１０から電磁波が送信された時間）と、センサ装置１０から送信され、かつセンサ装置１０の外部に存在する対象によって反射され、又は散乱された電磁波がセンサ装置１０によって受信された時間（例えば、受信部１３０によって電磁波が受信された時間）と、の差に基づいて、上記距離を算出する。

【0053】

第３方向Ｚの正方向から見て、視野Ｆは、センサ装置１０の前方（第１方向Ｘの正方向）に向かうにつれて広がっている。具体的には、可動反射部１２０は、軸１２２の周りに揺動可能になっている。軸１２２は、第３方向Ｚに沿って延伸している。光学装置１００の視野Ｆは、可動反射部１２０の最大揺動角に応じて決定されている。第３方向Ｚの正方向から見て、可動反射部１２０が反時計回りに光学装置１００の最大揺動角だけ揺動したとき、送信部１１０から送信され、かつ可動反射部１２０によって反射された電磁波は、視野Ｆの一端部（図９における視野Ｆの左側端部）を通過する。第３方向Ｚの正方向から見て、可動反射部１２０が時計回りに光学装置１００の最大揺動角だけ揺動したとき、送信部１１０から送信され、かつ可動反射部１２０によって反射された電磁波は、視野Ｆの上記一端部の反対側の他端部（図９における視野Ｆの右側端部）を通過する。第３方向Ｚの正方向から見て、可動反射部１２０の揺動角が０°であるとき、送信部１１０から送信され、かつ可動反射部１２０によって反射された電磁波は、視野Ｆの中心を通過する。

【0054】

可動反射部１２０は、上記一方向（第１方向Ｘの正方向）及び軸１２２の延伸方向（第３方向Ｚ）の双方に交差する、具体的には直交する方向（第２方向Ｙ）に沿って延伸する軸（不図示）の周りにも揺動可能になっている。したがって、第２方向Ｙの正方向又は負方向から見て、視野Ｆは、センサ装置１０の前方（第１方向Ｘの正方向）に向かうにつれて広がっている。

【0055】

本実施形態において、光学装置１００は、コアキシャル型ＬｉＤＡＲとなっている。すなわち、光学装置１００から出射される電磁波（可動反射部１２０によって光学装置１００の外部に向けて出射された電磁波）が通過する軸と、光学装置１００に戻る電磁波（光学装置１００から出射されて、光学装置１００の外部に存在する対象によって反射され、又は散乱されて、可動反射部１２０に入射する電磁波）が通過する軸と、が一致している。しかしながら、光学装置１００は、バイアキシャル型ＬｉＤＡＲであってもよい。すなわち、光学装置１００は、可動反射部１２０を有していなくてもよい。この場合、光学装置１００から出射される電磁波が通過する軸と、光学装置１００に戻る電磁波（光学装置１００から出射されて、光学装置１００の外部に存在する対象によって反射され、又は散乱されて、光学装置１００に入射する電磁波）が通過する軸と、が互いにずれるようになる。

【0056】

以上、図面を参照して実施形態及び実施例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

【0057】

例えば、本実施形態では、光学装置１００の視野Ｆは、ＬｉＤＡＲ等の光走査装置の視野である。しかしながら、光学装置１００の視野Ｆは、カメラ等の撮像装置の視野であってもよい。

【符号の説明】

【0058】

１０ センサ装置
１００ 光学装置
１１０ 送信部
１２０ 可動反射部
１２２ 軸
１３０ 受信部
１４０ ビームスプリッタ
２００ 筐体
２１０ 取付枠
３００ 透過部
３００Ａ 透過部
３００Ｂ 透過部
３０２ 第１面
３０４ 第２面
３１０ 基材
３２０ 透明導電層
３２２ 第１端子
３２４ 第２端子
３６０Ａ 配線
３６０Ｂ 配線
Ｆ 視野
Ｘ 第１方向
Ｙ 第２方向
Ｚ 第３方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】