特開 2024-169884 パーツフィーダ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024169884

(43)【公開日】2024-12-06

(54)【発明の名称】パーツフィーダ

(51)【国際特許分類】

   B65G 47/14 20060101AFI20241129BHJP

   B65G 51/03 20060101ALI20241129BHJP

【ＦＩ】

B65G47/14 K

B65G51/03 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】1

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023086718

(22)【出願日】2023-05-26

(71)【出願人】

【識別番号】522087154

【氏名又は名称】合同会社ポーラス・コーポレーション

(74)【代理人】

【識別番号】110003155

【氏名又は名称】弁理士法人バリュープラス

(72)【発明者】

【氏名】蒲田 喜彦

【テーマコード（参考）】

3F080

【Ｆターム（参考）】

3F080AA13

3F080BA02

3F080BC07

3F080BF19

3F080BF28

3F080CE20

3F080DA18

3F080EA10

(57)【要約】

【課題】堆積状に供給された微細なワークを垂直方向の一層化と共に水平方向に単列化及び個別搬送することができなかった点を改善する。
【解決手段】上面開放され、内部を区画するための区画部材２Ａを分離部２Ｓとして設けた第１エアチャンバ２と、第１エアチャンバの傾斜下端部に配置され、上面開放され、内部を区画するための区画部材６Ａを分離部６Ｓとして設けた第２エアチャンバ６と、のそれぞれにおいて、上面開放面に設けられたポーラスプレート４，８と、各区画部に独立して空気が吸排気される吸排気部Ｐ１～Ｐ４と、第１エアチャンバ２及び第２エアチャンバ６を独立して傾斜させる傾斜部３，７とを備えた。
【効果】第１エアチャンバにおいて一層化を、第２エアチャンバにおいて単列化及び個別化を、連続して行うので高速かつ確実に単列及び個別搬送が可能となる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

堆積状に供給された極小のワークを一層化及び単列化して搬送するパーツフィーダであって、上面開放され、内部を複数に区画するための区画部材を分離部として設けた第１エアチャンバと、この第１エアチャンバの傾斜下端部に配置され、上面開放され、内部を複数に区画するための区画部材を分離部として設けた第２エアチャンバと、を有し、前記第１エアチャンバ及び前記第２エアチャンバのそれぞれにおいて、前記上面開放面に設けられ、その表裏面に亘ってワークよりさらに小さい多数の孔を有したポーラスプレートと、各区画部にそれぞれ設けられて独立して空気が吸排気される吸排気部と、該第１エアチャンバ及び該第２エアチャンバを独立して傾斜させる傾斜部とを備えたパーツフィーダ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、極めて小さい、例えば半導体素子や電子・電気素子のような部品が乱雑に搬送されて多層状、山積状、といったように堆積して部品（以下、ワークという）が重なった状態を一層に均して垂直方向にも水平方向にも単列化して個別搬送するパーツフィーダに関する。

【背景技術】

【0002】

昨今の電子部品、素子（以下、ワークという）などは極小化、極薄化が進んでいる。そうしたワークの製造工程では、最終的に出荷に至るまでには、個数の計数、個別の外観検査などの工程を経る。

【0003】

このとき、ワークが、多層状、山積状になっていると、例えば個数を計数する工程であれば、重なった塊を１個と認識されてしまうので、正確な個数を計数できず、また、例えば外観検査工程であれば、重なって隠れたワークについての外観検査ができず、さらに、例えば個別に移載させる場合は、重なって隠れたワークの移載残しが生じる。

【0004】

したがって、堆積状に供給されたワークは、水平方向にも垂直方向にも重なった状態を均して単列化して搬送する必要がある。従来では、堆積状に供給されたワークを一層化するための下記の技術が提案されている。

【0005】

例えば特許文献１（特開２０２０－１１１４６６号公報）には、ワークが接触した載置面や搬送面を揺動又は振動させたり、ヘラを用いたりする手法では、ワークを損傷する可能性あることから適してなく、堆積状のワークを一層化する有効な手立てが存在しないという課題を解決するために、次の構成とした一層化装置が開示されている。

【0006】

すなわち、特許文献１の一層化装置は、ワークの載置面に該ワークよりさらに小さい多数の孔を有すると共に内部が中空とされた載置台と、この載置台に接続されて該載置台の内部に正圧又は負圧を生じさせる吸排気機構と、載置台を揺動させる揺動機構と、吸排気機構と揺動機構とを駆動制御する制御部とを備えた構成とされている。

【0007】

しかしながら、特許文献１の一層化装置は、一層化するに際して堆積状のワーク全てを一斉に均す構成であったため、ワーク全てを（垂直方向に）一層化したとしても水平方向にも単列化してさらに個別搬送することができなかった。

【0008】

また、仮に特許文献１の一層化装置に通常のパーツフィーダを接続したとしても、特許文献１では上記のとおり水平方向に単列化できないことから通常のパーツフィーダに移載される際に、再堆積化する可能性があるとともに、通常のパーツフィーダの搬送路でワークが詰ってしまう可能性があった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】特開２０２０－１１１４６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

解決しようとする問題は、垂直方向の一層化と共に水平方向に単列化及び個別搬送することができなかった点、また、垂直方向に一層化した後に通常のパーツフィーダに移載しようとしてもワークが再堆積化する可能性及び通常のパーツフィーダの搬送路で水平方向に単列化できていないワークが集合して詰る可能性がある点である。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記課題を解決するため、本発明は、堆積状に供給された極小のワークを一層化及び単列化して搬送するパーツフィーダであって、上面開放され、内部を複数に区画するための区画部材を分離部として設けた第１エアチャンバと、この第１エアチャンバの傾斜下端部に配置され、上面開放され、内部を複数に区画するための区画部材を分離部として設けた第２エアチャンバと、を有し、前記第１エアチャンバ及び前記第２エアチャンバのそれぞれにおいて、前記上面開放面に設けられ、その表裏面に亘ってワークよりさらに小さい多数の孔を有したポーラスプレートと、各区画部にそれぞれ設けられて独立して空気が吸排気される吸排気部と、該第１エアチャンバ及び該第２エアチャンバを独立して傾斜させる傾斜部とを備えた構成とした。

【発明の効果】

【0012】

本発明は、第１エアチャンバ及び第２エアチャンバのそれぞれを区画し、ワークを浮上させて隣接する区画に移動させる際、分離部により、所定数のワークだけが隣接する区画に数度に分けて分散しつつ移動するので、結果として一層化、単列化及び個別搬送が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の第１実施例構成を示す概略図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は背面図である。

【図2】本発明の第１実施例構成を示す概略図であり、（ａ）は前方上方から見た部分分解斜視図、（ｂ）は前方下方から見た部分分解斜視図である。

【図3】本発明の第１実施例構成を示すブロック図である。

【図4】（ａ）～（ｆ）は本発明の第１実施例構成における動作を説明するための図である。

【図5】本発明の第２実施例構成を示す概略図であり、前方上方から見た部分分解斜視図である。

【図6】本発明の第２実施例構成を示すブロック図である。

【図7】（ａ）～（ｊ）は本発明の第２実施例構成における動作を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

本発明は、堆積状に供給されたワークを、垂直方向の一層化と共に水平方向に単列化及び個別搬送をするという目的を、上面開放され、内部を複数に区画するための区画部材を分離部として設けた第１エアチャンバと、この第１エアチャンバの傾斜下端部に配置され、上面開放され、内部を複数に区画するための区画部材を分離部として設けた第２エアチャンバと、を有し、前記第１エアチャンバ及び前記第２エアチャンバのそれぞれにおいて、前記上面開放面に設けられ、その表裏面に亘ってワークよりさらに小さい多数の孔を有したポーラスプレートと、各区画部にそれぞれ設けられて独立して空気が吸排気される吸排気部と、該第１エアチャンバ及び該第２エアチャンバを独立して傾斜させる傾斜部とを備えることで実現した。

【0015】

エアチャンバは区画され、各区画に対応した吸排気部が接続されている。そして、各区画を隔てる区画部材が本発明では分離部として機能している。エアチャンバの上面全域はポーラスプレートが設けられ、該エアチャンバ内外の空気の流通が可能となっている。

【0016】

また、傾斜部はポーラスプレートを設けたエアチャンバを所定角度傾斜させるものであり、吸排気部による空気噴射により浮上したポーラスプレート上のワークの一方向から他方向への推進方向付けを行う。なお、本発明においてワークの一方向から他方向への推進力は、ワークの自重である。

【0017】

第２エアチャンバは、第１エアチャンバの傾斜による搬送方向下流において該第１エアチャンバの搬送方向と直交する方向にワークを搬送するように配置されている。すなわち、第１エアチャンバの搬送方向をＸ軸方向とした場合、第２エアチャンバの搬送方向はＹ軸方向ということである。

【0018】

そして、第２エアチャンバは、第１エアチャンバの傾斜の下流側が、搬送上流側となり、第１エアチャンバから送られて来たワークを、第２エアチャンバで受け取って上記のとおり直交状に方向を変えて搬送する。

【0019】

傾斜部と、吸排気部とは、制御部に接続されており、この制御部によりワークの大きさ（重さ）や全体量や切り分け量に応じて、傾斜部による傾斜角度や吸排気部による空気噴射圧や排気のオンとオフを含む吸排気の切り替えが制御される。このように構成することで、第１エアチャンバでは堆積状のワークを一定量ずつ切り分けて、広い区画に誘導して、ここで確実に一層化とワーク同士の分散を行い、第２エアチャンバでは一層化したワークを単列化して搬送し、下流側で個別に分離する。

【0020】

第１エアチャンバと第２エアチャンバには内部を区画する区画部材が分離部として設けられている。この区画部材はすなわち空気がポーラスプレートから噴射しない領域であり、空気の噴射によって浮遊したワークが傾斜によってその自重で速やかに移動するとき、分離部に移動すると空気噴射が無くなってポーラスプレート上に着地し、傾斜と自重によってのみ移動することとなり、ワークの移動速度が減速する。

【0021】

この減速により、第１エアチャンバにおいてはワークを適当な量に小分けして搬送することが可能となり、分離部を通過した領域で再び浮上と傾斜及びワークの自重により移動速度が加速し、このとき、ワークは上下前後左右に自在に揺れることで一層化される。

【0022】

一方、第２エアチャンバにおいては、小分けされて一層化されたワークがランダムな複数（２列から５列程度）の列をなして移動し、第１エアチャンバの搬送方向と直交する方向（前記列の延びる方向）に搬送されて分離部に到達すると、減速し、分離部を通過した領域で再び浮上と傾斜及びワークの自重により移動速度が加速し、このとき、ワークは単列化と個別化される。

【実施例0023】

以下、図１～図７を参照して本発明の具体的な第１及び第２実施例を説明する。本発明のパーツフィーダについての基本構成は第１実施例において説明する。第２実施例では、第１実施例と異なる構成について説明することとし、第１実施例と重複する構成についての説明は省略し、図示においては同じ参照符号を示す。

【0024】

（第１実施例）
図１～図４に示す本発明のパーツフィーダ１は、次の構成とされている。２は、上面が開放され、底面と４側面が閉塞した第１エアチャンバであり、上面開放面を上方から見ると、対向した１対の短辺、対向した１対の長辺でなり、短辺と長辺の長さの差が小さい長方形状とされている。なお、本例（第１、第２実施例）では、ワークＷは第１エアチャンバ２の長辺に沿った方向へ搬送される。

【0025】

また、第１エアチャンバ２は、内部が、第１実施例の場合、区画部材２Ａにより、領域Ｌ１と領域Ｌ２とに２分割されている。区画部材２Ａは、本発明では分離部２Ｓとされ、堆積したワークＷの切り分け機能を果たしている。

【0026】

第１エアチャンバ２の領域Ｌ１と領域Ｌ２のそれぞれの底面には、各々独立して稼働する吸排気部Ｐ１（領域Ｌ１に対応）、吸排気部Ｐ２（領域Ｌ２に対応）が、バルブを介して接続されている。

【0027】

３は、第１エアチャンバ２を傾斜させるために、例えば第１エアチャンバ２の一端部における外底面に設けた傾斜部である。この傾斜部３は、該第１エアチャンバ２の他方端を固定として傾斜部３を設けた一方端の上下動させることで、他方端を下り勾配とする該他方端の傾斜角度を変えるように構成されている。なお、この傾斜部３に関しては、第１エアチャンバ２を傾斜させることができれば、特に構成の限定はしない。

【0028】

４は、第１エアチャンバ２における上面の開放面に設けたポーラスプレートである。ポーラスプレート４は、その表裏面に亘って現行の最小サイズのワークＷよりさらに小さいサイズの多数の孔が形成されている。ポーラスプレート４は全領域一面に多数の孔を有したものであって区画されていないが、以下の説明では、このポーラスプレート４上において、上記の第１エアチャンバ２の領域Ｌ１、領域Ｌ２、分離部２Ｓを示している。

【0029】

５は、第１エアチャンバ２の４辺のうち１辺を除いた３辺には設けられた枠体である。この枠体５は、ポーラスプレート４上の４側面部の壁面として機能してワークＷの該ポーラスプレート４外への落下、散乱を予防するために設けられている。

【0030】

６は、第１エアチャンバ２の他端、つまり傾斜部３により下方に傾斜した側のやや下方に第１エアチャンバ２とは（接続や連結した部位がなく）独立して設けられた第２エアチャンバであり、上面開放面を上方から見ると、対向した１対の短辺、対向した１対の長辺でなり、短辺と長辺の長さの差が大きい長方形状とされている。なお、本例（第１、第２実施例）では、ワークＷは第２エアチャンバ２の長辺に沿った方向へ搬送される。つまり、第２エアチャンバ６は、第１エアチャンバ２によるワークＷの搬送方向（以下、「第１搬送方向」という）と直交する方向（以下、「第２搬送方向」という）にワークＷを搬送する。言い換えると、第１エアチャンバ２と第２エアチャンバ６の各々の長辺に沿った方向が直交しているということである。

【0031】

また、第２エアチャンバ６は、後述の傾斜部７によらず、対向する１対の長辺でなる両側面のうち第１エアチャンバ２側の一方側面が上方に（つまり、第１エアチャンバ２とは反対側の他方側面が下方に）なるように予め固定的に傾斜した状態となっている。

【0032】

第２エアチャンバ６は、上面が開放され、底面と４側面が閉塞しており、内部が区画部材６Ａにより、第２搬送方向の上流から領域Ｌ３と領域Ｌ４とに２分割されている。区画部材６Ａは、本発明では分離部６Ｓとされ、水平方向に集合したワークＷを個別に切り分ける機能を果たしている。

【0033】

第２エアチャンバ２の領域Ｌ３と領域Ｌ４のそれぞれの底面には、各々独立して稼働する吸排気部Ｐ３（領域Ｌ３に対応）、吸排気部Ｐ４（領域Ｌ５に対応）が、バルブを介して接続されている。

【0034】

７は、第２エアチャンバ６を傾斜させるために、例えば第２エアチャンバ６の、上流側、すなわち第１エアチャンバ２側の一端部における外底面に設けた傾斜部である。この傾斜部７は、該第２エアチャンバ２の他方端を固定として傾斜部７を設けた一方端を上下動させることで、他方端を下り勾配とする該他方端の傾斜角度を変えるように構成されている。なお、この傾斜部７に関しては、第２エアチャンバ６を傾斜させることができれば、特に構成の限定はしない。

【0035】

８は、第２エアチャンバ６における上面の開放面に設けたポーラスプレートである。ポーラスプレート８は、その表裏面に亘って現行の最小サイズのワークＷよりさらに小さいサイズの多数の孔が形成されている。ポーラスプレート８は全領域一面に多数の孔を有したものであって区画されていないが、以下の説明では、このポーラスプレート８上において、上記の第２エアチャンバ６の領域Ｌ３、領域Ｌ４、分離部６Ｓを示している。

【0036】

９は、第２エアチャンバ６の第１エアチャンバ２とは反対側の他方側面に設けた整列プレートである。この整列プレート９は、第２エアチャンバ６の他方側面を下方とする傾斜と角度を等しくして、つまり第２エアチャンバ６におけるポーラスプレート８の（上面における）ワークＷの搬送面と直交するように設けられている。

【0037】

整列プレート９は、ワークＷのポーラスプレート８外への落下、散乱を予防すると共に、第１エアチャンバ２から搬送されたワークＷを、第２エアチャンバ６の他方側面へ下る勾配の傾斜により該整列プレート９に当接させることで、第２搬送方向において直線状に整列させる機能を果たしている。

【0038】

１０は、吸排気部Ｐ１～Ｐ４、傾斜部３，７の駆動を制御する制御部である。以下、この制御部１０によるパーツフィーダ１の動作制御とワークＷの搬送状況とを図４を参照して説明する。

【0039】

制御部１０は、ワークＷの大きさ及び重さに応じて、予め第１エアチャンバ２を傾斜部３により第２エアチャンバ６側が下方となるように、第２エアチャンバ６を傾斜部７により第１エアチャンバ２側と反対の端部が下方になるように、各々所定角度で傾斜させておく。この状態で図４（ａ）に示すように領域Ｌ１にワークＷが堆積状に供給される。

【0040】

領域Ｌ１にワークＷが堆積状に供給されると、制御部１０は、領域Ｌ１～Ｌ４に対応する吸排気部Ｐ１～Ｐ４を動作させて第１エアチャンバ２及び第２エアチャンバ６内を正圧にする。これにより分離部２Ｓ，６Ｓを除くポーラスプレート４，８全域から空気が噴出する。制御部１０は、吸排気部Ｐ２は吸排気部Ｐ１より圧力が高く、吸排気部Ｐ４は吸排気部Ｐ３より圧力が高くなるように制御する。この理由は後述する。

【0041】

図４（ｂ）において、領域Ｌ１に供給されたワークＷは、ポーラスプレート４から噴出する空気の圧力で浮上しようとして、堆積山が崩れ、裾野の面積が広がり、かつ第１エアチャンバ２の傾斜に促されて、堆積山の裾野の一部が、分離部２Ｓに移動する。分離部２Ｓでは、区画部材２Ａによってポーラスプレート４の孔を塞いでいる。よって、第１エアチャンバ２の正圧の影響でワークＷは浮上せず、第１エアチャンバ２の傾斜のみによる移動となり、分離部２Ｓにて第１搬送方向の移動速度は減速する。

【0042】

そして、ワークＷは減速するものの、第１エアチャンバ２の傾斜で移動は続けているから、しばらくすると、分離部２Ｓから領域Ｌ２に移動する。ここで吸排気部Ｐ２（領域Ｌ２）の圧力は吸排気部Ｐ１（領域Ｌ１）よりも高く設定しているので、領域Ｌ２に移動したワークＷは、ポーラスプレート４に着地しようとする方向の重さが、ほぼ全て傾斜方向に作用することになり、第１搬送方向に速やかに移動する。

【0043】

分離部２Ｓにおける減速と、領域Ｌ２による第１搬送方向への加速移動により、一定少量にワークＷが分離され、個別に上下左右に微細に揺れつつ（踊りつつ）第１搬送方向に移動し、これにより一定少量のワークＷは確実に一層化される。図４（ｃ）は、図４（ｂ）から数秒経過した状態を示している。

【0044】

図４（ｃ）に示す状態から数秒経過すると、第１エアチャンバ２の領域Ｌ２における傾斜下端位置にあるワークＷは、第２エアチャンバ６の領域Ｌ３に移動する。領域Ｌ３に移動したワークＷは、第２エアチャンバ６の第１搬送方向の該第１エアチャンバ２側と反対の側面を下方とする傾斜により、図４（ｄ）に示すように整列プレート９に当接する。

【0045】

第２エアチャンバ６は、上記のとおり傾斜部７により第２搬送方向の下流側（第１エアチャンバ２とは反対側の端部）に下り勾配となる傾斜が設けられているから、ワークＷは整列プレート９に当接した状態で個別に上下左右に微細に揺れつつ（踊りつつ）第２搬送方向に移動する。この移動中にほぼ全てのワークＷが単列化される。

【0046】

その後、ワークが領域Ｌ３から分離部６Ｓに到達すると、上記分離部２Ｓのときと同様に、第２搬送方向における移動速度が減速し、該分離部６Ｓを超えて領域Ｌ４に移動する際には吸排気部Ｐ４＞吸排気部Ｐ３の圧力差により加速して、図４（ｅ）に示すように、個別に分離されて単列化された状態で領域Ｌ４を移動することとなる。

【0047】

図４（ｆ）に示すように、領域Ｌ３のワークＷが領域Ｌ４に全て移動するタイミングで、次のワークＷ群が第１エアチャンバ２の領域Ｌ２から移動し、以降、該第１エアチャンバ２の領域Ｌ１にあるワークＷが全て領域Ｌ４の下流端へ搬送されるまで、図４（ｄ）以降が繰り返される。

【0048】

（第２実施例）
図５～図７に示す第２実施例におけるパーツフィーダ１は、次の点が第１実施例の構成と異なる。第１エアチャンバ２が領域Ｌ１，Ｌ２に加えて、第１搬送方向の最下流位置に領域Ｌ５が形成され、この領域Ｌ５に相当する第１エアチャンバ２の底面部に、制御部１０で制御される吸排気部Ｐ５が接続されている点。第１エアチャンバ２においては、領域Ｌ２と領域Ｌ５の境部位に通過センサＳ１が、第２エアチャンバ６においては、領域Ｌ３における分離部６Ｓの直前部位に通過センサＳ２が、それぞれ設けられている点。

【0049】

第２実施例における動作について図７を用いて説明する。なお、図７において、吸排気部Ｐ２，Ｐ５を停止した場合で、ワークＷがポーラスプレート４に着地している状態のワークＷは浮上中のワークＷと見分けが容易になるように黒塗りとした。

【0050】

制御部１０は、ワークＷの大きさ及び重さに応じて、予め第１エアチャンバ２を傾斜部３により第２エアチャンバ６側が下方となるように、第２エアチャンバ６を傾斜部７により第１エアチャンバ２側と反対の端部が下方になるように、各々所定角度で傾斜させておく。この状態で図７（ａ）に示すように領域Ｌ１にワークＷが堆積状に供給される。

【0051】

領域Ｌ１にワークＷが堆積状に供給されると、領域Ｌ１～Ｌ５に対応する吸排気部Ｐ１～Ｐ５を動作させて第１エアチャンバ２及び第２エアチャンバ６内を正圧とする。これにより分離部２Ｓ，６Ｓを除くポーラスプレート４，８全域から空気が噴出する。制御部１０は、吸排気部Ｐ２は吸排気部Ｐ１より圧力が高く、吸排気部Ｐ４は吸排気部Ｐ３より圧力が高くなるように制御する。吸排気部Ｐ２と吸排気部Ｐ５は同圧とする。

【0052】

図７（ｂ）において、領域Ｌ１に供給されたワークＷは、ポーラスプレート４から噴出する空気の圧力で浮上しようとして、堆積山が崩れ、裾野の面積が広がり、かつ第１エアチャンバ２の傾斜に促されて、堆積山の裾野の一部が、分離部２Ｓに移動する。分離部２Ｓでは、区画部材２Ａによってポーラスプレート４の孔を塞いでいる。よって、第１エアチャンバ２の正圧の影響でワークＷは浮上せず、第１エアチャンバ２の傾斜のみによる移動となり、分離部２Ｓにて第１搬送方向の移動速度は減速する。

【0053】

そして、ワークＷは減速するものの、第１エアチャンバ２の傾斜で移動は続けているから、しばらくすると、分離部２Ｓから領域Ｌ２に移動する。ここで吸排気部Ｐ２（領域Ｌ２）の圧力は吸排気部Ｐ１（領域Ｌ１）よりも高く設定しているので、領域Ｌ２に移動したワークＷは、ポーラスプレート４に着地しようとする方向の重さが、ほぼ全て傾斜方向に作用することになり、第１搬送方向に速やかに移動する。

【0054】

分離部２Ｓにおける減速と、領域Ｌ２による第１搬送方向への加速移動により、一定少量にワークＷが分離され、個別に上下左右に微細に揺れつつ（踊りつつ）第１搬送方向に移動し、これにより一定少量のワークＷが確実に一層化される。図７（ｃ）は、図７（ｂ）から数秒経過した状態を示している。

【0055】

図７（ｃ）に示す状態から数秒経過すると、第１エアチャンバ２における領域Ｌ５の傾斜下端位置にあるワークＷは、第２エアチャンバ６の領域Ｌ３に移動する。領域Ｌ３に移動したワークＷは、第２エアチャンバ６の第１搬送方向の該第１エアチャンバ２側と反対の側面を下方とする傾斜により、図７（ｄ）に示すように整列プレート９に当接する。

【0056】

第２実施例では、図７（ｄ）に示す状態では、領域Ｌ３にワークＷが残存していると共に既に領域Ｌ５の傾斜下端位置にワークＷが位置している。このとき、通過センサＳ２で領域Ｌ３においてワークＷの存在を検知し、かつ、かつ通過センサＳ１で領域Ｌ５においてワークＷの存在を検知している状態となり、制御部１０は、領域Ｌ２及び領域Ｌ５の排気（正圧付与）を停止し、ワークＷをポーラスプレート４上に着地させ、減速させる。

【0057】

この状態で、制御部１０が、通過センサＳ２のＯＦＦ、つまり領域Ｌ３にワークＷが存在しなくなったことを検知すると、図７（ｅ）に示すように、吸排気部Ｐ５をＯＮ、すなわち領域Ｌ５から排気して、図７（ｆ）に示すように、該領域Ｌ５にあるワークＷを第２エアチャンバ６の領域Ｌ３に移動させる。

【0058】

第２エアチャンバ６は、上記のとおり傾斜部７により第２搬送方向の下流側（第１エアチャンバ２とは反対側の端部）に下り勾配となる傾斜が設けられているから、ワークＷは整列プレート９に当接した状態で個別に上下左右に微細に揺れつつ（踊りつつ）第２搬送方向に移動する。この移動中にほぼ全てのワークＷが単列化される。

【0059】

第２実施例では、図７（ｆ）の状態において、領域Ｌ５のワークＷを第２エアチャンバ６の領域Ｌ３に移動させることで、領域Ｌ５に搬送余地が生じるので、制御部１０は、図７（ｇ）に示すように、領域Ｌ５にワークＷを搬送すべく吸排気部Ｐ２及びＰ５を排気稼働する。

【0060】

このとき、未だ通過センサＳ２がＯＮであるために、制御部１０は、図７（ｈ）に示すように通過センサＳ２がＯＦＦになるまで、吸排気部Ｐ２及びＰ５の排気を停止する。以降、第１エアチャンバ２の領域Ｌ１にあるワークＷが全て領域Ｌ４の下流端へ搬送されるまで、図７（ｅ）以降が繰り返される。

【0061】

以上、説明したように、本発明のパーツフィーダ１は、ポーラスプレート４，８を用いて第１エアチャンバ２、第２エアチャンバ６内をそれぞれ正圧化して空気を噴射してワークＷを浮上させ、かつ第１エアチャンバ２、第２エアチャンバ６においてそれぞれの搬送方向途中に分離部２Ｓ、６Ｓを設けることで、第１エアチャンバ２において第１搬送方向に搬送しつつ一層化を図り、第２エアチャンバ６において第１搬送方向と直交する第２搬送方向に搬送しつつ単列化及び個別分離搬送が可能となった。

【0062】

なお、上記実施例では、吸排気部Ｐ１～Ｐ５は、いずれも排気する又は排気を停止する動作でしか使用していないが、傾斜による自重によらず積極的にかつ確実にワークＷを停止（上記実施例では減速）させるために、吸気を行うようにしても構わない。

【符号の説明】

【0063】

１ パーツフィーダ
２ 第１エアチャンバ
２Ａ 区画部材
２Ｓ 分離部
３ 傾斜部
４ ポーラスプレート
６ 第２エアチャンバ
６Ａ 区画部材
６Ｓ 分離部
７ 傾斜部
８ ポーラスプレート
９ 整列プレート
１０ 制御部
Ｌ１～Ｌ５ 領域
Ｐ１～Ｐ５ 吸排気部
Ｓ１，Ｓ２ 通過センサ
Ｗ ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】