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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024169908
(43)【公開日】2024-12-06
(54)【発明の名称】慣性センサーモジュール、および電子機器
(51)【国際特許分類】
G01C 19/5628 20120101AFI20241129BHJP
G01P 15/08 20060101ALI20241129BHJP
G01P 15/18 20130101ALI20241129BHJP
【ＦＩ】
G01C19/5628
G01P15/08 102Z
G01P15/18
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023086769
(22)【出願日】2023-05-26
(71)【出願人】
【識別番号】000002369
【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100179475
【弁理士】
【氏名又は名称】仲井 智至
(74)【代理人】
【識別番号】100216253
【弁理士】
【氏名又は名称】松岡 宏紀
(74)【代理人】
【識別番号】100225901
【弁理士】
【氏名又は名称】今村 真之
(72)【発明者】
【氏名】佐久間 正泰
【テーマコード（参考）】
2F105
【Ｆターム（参考）】
2F105AA02
2F105BB09
(57)【要約】
【課題】外的変動が生じた場合でも、検出精度の信頼性が低下することを抑制できる慣性センサーモジュールを提供すること。
【解決手段】慣性センサーモジュール１００は、Ｚ軸回りの角速度を検出する第１慣性センサー１と、Ｚ軸回りの角速度を検出する第２慣性センサー２と、第１慣性センサー１と第２慣性センサー２とを搭載するインターポーザー４と、インターポーザー４を搭載し、インターポーザー４を介して第１慣性センサー１に電気的に接続される端子７と、インターポーザー４を介して第２慣性センサー２に電気的に接続される端子７と、を有する基板５と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】慣性センサーモジュール１００は、Ｚ軸回りの角速度を検出する第１慣性センサー１と、Ｚ軸回りの角速度を検出する第２慣性センサー２と、第１慣性センサー１と第２慣性センサー２とを搭載するインターポーザー４と、インターポーザー４を搭載し、インターポーザー４を介して第１慣性センサー１に電気的に接続される端子７と、インターポーザー４を介して第２慣性センサー２に電気的に接続される端子７と、を有する基板５と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１軸の物理量を検出する第１慣性センサーと、
前記第１軸の物理量を検出する第２慣性センサーと、
前記第１慣性センサーと前記第２慣性センサーとを搭載する第１基板と、
前記第１基板を搭載し、前記第１基板を介して前記第１慣性センサーに電気的に接続される第１端子と、前記第１基板を介して前記第２慣性センサーに電気的に接続される第２端子と、を有する第２基板と、を備える、
慣性センサーモジュール。
前記第１軸の物理量を検出する第２慣性センサーと、
前記第１慣性センサーと前記第２慣性センサーとを搭載する第１基板と、
前記第１基板を搭載し、前記第１基板を介して前記第１慣性センサーに電気的に接続される第１端子と、前記第１基板を介して前記第２慣性センサーに電気的に接続される第２端子と、を有する第２基板と、を備える、
慣性センサーモジュール。
【請求項2】
前記第１基板は、
前記第１慣性センサーと前記第１端子とを電気的に接続する第１導通部材と、
前記第２慣性センサーと前記第２端子とを電気的に接続する第２導通部材と、を備える、
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
前記第１慣性センサーと前記第１端子とを電気的に接続する第１導通部材と、
前記第２慣性センサーと前記第２端子とを電気的に接続する第２導通部材と、を備える、
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項3】
前記第１基板の弾性率は、前記第２基板の弾性率より大きい、
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項4】
前記第１基板の線膨張係数は、前記第２基板の線膨張係数より小さい、
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項5】
前記第１慣性センサーからの第１検出信号及び前記第２慣性センサーからの第２検出信号を処理する処理装置をさらに備える、
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項6】
前記処理装置は、前記第２基板に搭載される、
請求項５に記載の慣性センサーモジュール。
請求項５に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項7】
請求項１ないし請求項６に記載の慣性センサーモジュールを備える電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、慣性センサーモジュール、および、当該慣性センサーモジュールを備えた電子機器に関する。
【背景技術】
【0002】
加速度や角速度などを測定する慣性センサーモジュールとしては、例えば、特許文献１に記載のものが知られている。
特許文献１には、３軸の角速度センサーと３軸の加速度センサーとを収納する多軸の慣性センサー、１軸の角速度センサー、およびコネクターを搭載した回路基板が記載されている。
特許文献１には、３軸の角速度センサーと３軸の加速度センサーとを収納する多軸の慣性センサー、１軸の角速度センサー、およびコネクターを搭載した回路基板が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１９－１５８４２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
このような慣性センサーモジュールでは、温度変化や湿度変化などの外的変動が生じた場合において、検出精度の信頼性が担保されることが求められている。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本願の一態様に係る慣性センサーモジュールは、第１軸の物理量を検出する第１慣性センサーと、前記第１軸の物理量を検出する第２慣性センサーと、前記第１慣性センサーと前記第２慣性センサーとを搭載する第１基板と、前記第１基板を搭載し、前記第１基板を介して前記第１慣性センサーに電気的に接続される第１端子と、前記第１基板を介して前記第２慣性センサーに電気的に接続される第２端子と、を有する第２基板と、を備える。
【0006】
本願の一態様に係る電子機器は、上記に記載の慣性センサーモジュールを備える。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】実施形態１に係る慣性センサーモジュールの斜視図。
【図3】慣性センサーモジュールのブロック図。
【図4】実施形態２に係る慣性計測装置の斜視図。
【図5】実施形態２に係る慣性計測装置の斜視図。
【図6】実施形態２に係る慣性計測装置の分解斜視図。
【図7】実施形態２に係る慣性センサーモジュールの斜視図。
【図8】実施形態３に係る電子機器の斜視図。
【図9】実施形態３に係る電子機器の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【0008】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
なお、以下の各図面では、各構成要素を見やすくするため、構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。
また、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸とする。また、Ｘ軸に平行な方向をＸ軸方向、Ｙ軸に平行な方向をＹ軸方向、Ｚ軸に平行な方向をＺ軸方向とも言う。また、各軸の矢印方向先端側をプラス側とも言い、反対側をマイナス側とも言う。また、Ｚ軸方向に見ることを平面視とも言い、Ｚ軸を含む断面に対してＹ軸方向から見ることを断面視とも言う。
なお、以下の各図面では、各構成要素を見やすくするため、構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。
また、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸とする。また、Ｘ軸に平行な方向をＸ軸方向、Ｙ軸に平行な方向をＹ軸方向、Ｚ軸に平行な方向をＺ軸方向とも言う。また、各軸の矢印方向先端側をプラス側とも言い、反対側をマイナス側とも言う。また、Ｚ軸方向に見ることを平面視とも言い、Ｚ軸を含む断面に対してＹ軸方向から見ることを断面視とも言う。
【0009】
さらに、以下の説明において、例えば「基板上に」との記載は、基板の上に接して配置される場合、基板の上に他の構造物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接して配置され、一部が他の構造物を介して配置される場合のいずれかを表すものとする。また、例えば「基板の上面」との記載は、基板のＺ軸方向プラス側の面、を示すものとする。また、例えば「基板の下面」との記載は、基板のＺ軸方向マイナス側の面、を示すものとする。
【0010】
１．実施形態１
本実施形態では、最初に、実施形態１に係る慣性センサーモジュール１００の基本的な構成について説明し、次に、応用的な構成について説明する。
本実施形態では、最初に、実施形態１に係る慣性センサーモジュール１００の基本的な構成について説明し、次に、応用的な構成について説明する。
【0011】
【0012】
図１に示すように、慣性センサーモジュール１００は、第１慣性センサー１、第２慣性センサー２、処理装置３、インターポーザー４、基板５、配線６、および端子７を備える。第１慣性センサー１と第２慣性センサー２とは、インターポーザー４に搭載され、インターポーザー４と処理装置３とは、基板５に搭載される。
【0013】
なお、本実施形態において、第１慣性センサー１は、第１慣性センサーの一例である。第２慣性センサー２は、第２慣性センサーの一例である。処理装置３は、処理装置の一例である。インターポーザー４は、第１基板の一例である。基板５は、第２基板の一例である。
【0014】
第１慣性センサー１および第２慣性センサー２は、それぞれ第１軸の物理量を検出して出力する慣性センサーである。
第１軸の物理量が、例えば、Ｚ軸回りの角速度の場合、第１慣性センサー１および第２慣性センサー２は、それぞれＺ軸回りの角速度を検出する角速度センサーである。
第１軸の物理量が、例えば、Ｚ軸回りの角速度の場合、第１慣性センサー１および第２慣性センサー２は、それぞれＺ軸回りの角速度を検出する角速度センサーである。
【0015】
第１慣性センサー１および第２慣性センサー２は、第１軸の物理量を検出するセンサー素子がパッケージに収容されたデバイスであり、それぞれ１つのチップとして構成されている。好適には、第１慣性センサー１および第２慣性センサー２は、それぞれセンサー素子と、検出回路と、出力回路とを、パッケージに収容する。
【0016】
第１慣性センサー１および第２慣性センサー２が、Ｚ軸回りの角速度を検出する角速度センサーの場合は、第１慣性センサー１および第２慣性センサー２のセンサー素子は、それぞれＺ軸回りの角速度を検出するセンサー素子である。
【0017】
第１慣性センサー１の検出回路は、センサー素子から出力される信号に対して検出処理を行い、出力回路は、検出処理によって得られた信号を第１検出信号をとして出力する。
第２慣性センサー２の検出回路は、センサー素子から出力される信号に対して検出処理を行い、出力回路は、検出処理によって得られた信号を第２検出信号をとして出力する。
第２慣性センサー２の検出回路は、センサー素子から出力される信号に対して検出処理を行い、出力回路は、検出処理によって得られた信号を第２検出信号をとして出力する。
【0018】
第１慣性センサー１および第２慣性センサー２は、それぞれＡ／Ｄコンバーターを有していてもよい。Ａ／Ｄコンバーターは、センサー素子から出力されるＺ軸回りの角速度信号に基づいて、デジタルの検出信号を生成する。
【0019】
なお、第１軸の物理量は、Ｚ軸回りの角速度に限定されない。第１軸の物理量は、Ｘ軸回りの角速度、Ｙ軸回りの角速度、Ｘ軸の加速度、Ｙ軸の加速度、Ｚ軸の加速度であってもよい。また、慣性センサーモジュール１００は、第１軸の物理量を検出する３個以上の慣性センサーを有していてもよい。
【0020】
また、第１慣性センサー１および第２慣性センサー２は、それぞれ１軸の慣性センサーおよび多軸の慣性センサーのどちらであってもよい。また、第１慣性センサー１および第２慣性センサー２は、同じ種類の慣性センサーまたは異なる種類の慣性センサーのどちらであってもよい。なお、１軸の慣性センサーおよび多軸の慣性センサー、ならびに、同じ種類の慣性センサーおよび異なる種類の慣性センサーについては、後述する応用的な構成で説明する。
【0021】
第１軸は、第１慣性センサー１の検出軸ａ１の向きおよび第２慣性センサー２の検出軸ａ２の向きに一致する。なお、検出軸ａ１の向きおよび検出軸ａ２の向きは、慣性センサーモジュール１００の用途や目的などによって、適宜、設定する。検出軸ａ１の向きおよび検出軸ａ２の向きが決まると、検出軸ａ１の向きおよび検出軸ａ２の向きが、第１軸となる。
【0022】
例えば、慣性センサーモジュール１００を、自動車などの移動体に用いる場合、第１軸は、ヨー（yaw）角を算出するための軸とすることが好ましい。移動体の姿勢制御や位置計測などを行う場合、移動体のロール（roll）角、ピッチ（pitch）角、ヨー角のうち、特に、ヨー角を正確に算出することが、精度の向上に効果的だからである。
【0023】
ここで、移動体の直進方向をＸ軸、移動体の重力方向をＺ軸、Ｘ軸とＺ軸とに直交する方向をＹ軸としたとき、移動体のヨー角は、Ｚ軸回りの角速度を検出することで算出される。
したがって、慣性センサーモジュール１００を移動体に用いる場合、検出軸ａ１の向きおよび検出軸ａ２の向きは、Ｚ軸と一致するように設けるとよい。この場合、Ｚ軸が、第１軸となる。
したがって、慣性センサーモジュール１００を移動体に用いる場合、検出軸ａ１の向きおよび検出軸ａ２の向きは、Ｚ軸と一致するように設けるとよい。この場合、Ｚ軸が、第１軸となる。
【0024】
第１慣性センサー１の検出軸ａ１の向きをＺ軸と一致させることで、第１慣性センサー１は、Ｚ軸回りの角速度を検出し、Ｚ軸回りの角速度信号を出力するＺ軸角速度センサーとして機能する。
【0025】
第２慣性センサー２の検出軸ａ２の向きをＺ軸と一致させることで、第２慣性センサー２も、Ｚ軸回りの角速度を検出し、Ｚ軸回りの角速度信号を出力するＺ軸角速度センサーとして機能する。
【0026】
第１慣性センサー１および第２慣性センサー２は、インターポーザー４の上面に実装される。インターポーザー４の上面において、第１慣性センサー１の検出軸ａ１と第２慣性センサー２の検出軸ａ２の向きとは、それぞれＺ軸と一致するように設けられる。
【0027】
このように、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、Ｚ軸回りの角速度を検出する角速度センサーを２個有することで、Ｚ軸回りの角速度の検出に関してセンサーの冗長性を向上させることができる。さらには、Ｚ軸回りの角速度の検出に関してセンサーの検出精度を向上させることができる。
【0028】
インターポーザー４には、基板５よりも弾性率が大きいもの、およびまたは、基板５よりも線膨張率が小さいものを用いる。インターポーザー４としては、例えば、ガラス繊維を含んだエポキシ樹脂のような汎用樹脂を主体として構成されたガラスエポキシ基板を用いることができる。なお、インターポーザー４は、セラミック基板やコンポジット基板などの他のリジット基板であってもよい。
【0029】
インターポーザー４に、基板５よりも、弾性率が大きなものを用いた場合、慣性センサーモジュール１００に、外的変動としての物理的曲げ応力が印加された場合であっても、インターポーザー４の変形を抑制することができる。
【0030】
また、インターポーザー４に、基板５よりも、線膨張率が小さいものを用いた場合、慣性センサーモジュール１００に、外的変動としての温度変化が生じた場合であっても、インターポーザー４の変形を抑制することができる。
【0031】
また、インターポーザー４に、基板５よりも、線膨張率が小さいものを用いた場合、慣性センサーモジュール１００に、外的変動としての湿度変化が生じた場合であっても、インターポーザー４の変形を抑制することができる。
【0032】
したがって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、外的変動によって、インターポーザー４が変形して、それに伴い、第１慣性センサー１の検出軸ａ１の向き、およびまたは、第２慣性センサー２の検出軸ａ２の向きがＺ軸からずれることを抑制できる。よって、外的変動が生じた場合において、検出精度が低下することを抑制することができる。換言すると、第１慣性センサー１と第２慣性センサー２とをインターポーザー４に搭載することで、外的変動が生じた場合でも、検出精度の信頼性は、維持ないし担保される。
【0033】
なお、インターポーザー４は、基板５よりも弾性率が大きいこと、および、基板５よりも線膨張率が小さいこと、の両方の特徴を備える必要なない。インターポーザー４に具備させる特徴は、予想される外的変動に応じて、選択すればよい。
【0034】
図２に示すように、インターポーザー４は、貫通穴４１と、貫通穴４１内に設けられた導通部材４２と、導通部材４２と電気的に接続された電極４３および電極４４と、を有する。なお、導通部材４２は貫通穴４１内に設けられていたが、貫通穴４１に代えて図示しない非貫通穴内に導通部材４２は設けてもよい。換言すると、貫通穴４１は、複数の非貫通穴に分割されていてもよい。この場合、電極４３と電極４４との間は、複数の非貫通穴内の設けられた複数の導通部材４２と、複数の導通部材４２の間を接続する配線を介して、電気的に接続される。また、図２において、導通部材４２、電極４３および電極４４はＺ軸方向から見た平面視で重なっているが、電極４３および電極４４は互いに重ならなくてもよい。
【0035】
第１慣性センサー１は、インターポーザー４上に実装される。第１慣性センサー１は、下面に複数の電極１１を有し、当該電極１１がインターポーザー４の電極４３に接続するように、インターポーザー４上に実装される。
なお、第１慣性センサー１は、インターポーザー４と第１慣性センサー１との間に設けられた図示しない接着材などによって、インターポーザー４の上面に固定されてもよい。
なお、第１慣性センサー１は、インターポーザー４と第１慣性センサー１との間に設けられた図示しない接着材などによって、インターポーザー４の上面に固定されてもよい。
【0036】
第２慣性センサー２は、インターポーザー４上に実装される。第２慣性センサー２は、下面に複数の電極２１を有し、当該電極２１がインターポーザー４の電極４３に接続するように、インターポーザー４上に実装される。
なお、第２慣性センサー２は、インターポーザー４と第２慣性センサー２との間に設けられた図示しない接着材などによって、インターポーザー４の上面に固定されてもよい。
なお、第２慣性センサー２は、インターポーザー４と第２慣性センサー２との間に設けられた図示しない接着材などによって、インターポーザー４の上面に固定されてもよい。
【0037】
基板５の上面には、インターポーザー４と処理装置３とが実装される。
基板５の上面には、第１端子または第２端子としての端子７と、端子７に電気的に接続された配線６と、が設けられる。
基板５の上面には、第１端子または第２端子としての端子７と、端子７に電気的に接続された配線６と、が設けられる。
【0038】
インターポーザー４は、下面の電極４４が、基板５の端子７と接続するように、基板５上に実装される。なお、インターポーザー４は、基板５とインターポーザー４との間に設けられた図示しない接着材などによって、基板５の上面に固定されてもよい。第１慣性センサー１は、インターポーザー４の導通部材４２を介して基板５の端子７に電気的に接続される。ここで、導通部材４２は貫通穴４１に設けてもよいし、内非貫通穴内に設けてもよい。第２慣性センサー２は、インターポーザー４の導通部材４２を介して基板５の端子７に電気的に接続される。ここで、導通部材４２は貫通穴４１に設けてもよいし、内非貫通穴内に設けてもよい。
【0039】
処理装置３は、下面に複数の電極３１を有する。
処理装置３は、電極３１が基板５の端子７に接続するように、基板５上に実装される。なお、処理装置３は、基板５と処理装置３との間に設けられた図示しない接着材などによって、基板５の上面に固定されてもよい。
処理装置３は、電極３１が基板５の端子７に接続するように、基板５上に実装される。なお、処理装置３は、基板５と処理装置３との間に設けられた図示しない接着材などによって、基板５の上面に固定されてもよい。
【0040】
処理装置３は、例えばＭＣＵ（Micro Controller Unit）であり、１チップのＩＣとして構成されている。第１慣性センサー１及び第２慣性センサー２は、インターポーザー４の導通部材４２及び基板５の配線６により処理装置３と接続されている。
【0041】
処理装置３０は、第１慣性センサー１からの第１検出信号及び第２慣性センサー２からの第２検出信号の読み取り処理を行う。
処理装置３０は、第１慣性センサー１から出力される第１検出信号が入力され、第１検出信号に基づく第１検出データを生成し、第２慣性センサー２から出力される第２検出信号が入力され、第２検出信号に基づく第２検出データを生成する。
また、処理装置３は、第１検出信号及び第２検出信号に対して各種の演算処理を行う。当該演算処理は、例えば、平均化処理である。なお、処理装置３は、温度特性やミスアライメントなどを補正する機能を備えてもよい。
処理装置３０は、第１慣性センサー１から出力される第１検出信号が入力され、第１検出信号に基づく第１検出データを生成し、第２慣性センサー２から出力される第２検出信号が入力され、第２検出信号に基づく第２検出データを生成する。
また、処理装置３は、第１検出信号及び第２検出信号に対して各種の演算処理を行う。当該演算処理は、例えば、平均化処理である。なお、処理装置３は、温度特性やミスアライメントなどを補正する機能を備えてもよい。
【0042】
また、処理装置３は、不揮発性メモリーを含む記憶部などを内蔵する。記憶部は、平均化処理などの各種機能を実行するためのプログラムやデータを記憶する。
【0043】
１．２．慣性センサーモジュールの応用的な構成
１．２．１．応用構成１
応用構成１に係る慣性センサーモジュール１００は、第１慣性センサー１および第２慣性センサー２の種類と検出軸の数とが異なる。
図３は、応用構成１に係る慣性センサーモジュール１００の構成を示すブロック図である。
１．２．１．応用構成１
応用構成１に係る慣性センサーモジュール１００は、第１慣性センサー１および第２慣性センサー２の種類と検出軸の数とが異なる。
図３は、応用構成１に係る慣性センサーモジュール１００の構成を示すブロック図である。
【0044】
応用構成１に係る慣性センサーモジュール１００は、第１慣性センサー１として１軸の水晶ジャイロセンサー１ｓと、第２慣性センサー２として多軸の６ＤｏＦ（Degrees of Freedom）センサー２ｓと、を備える。
【0045】
水晶ジャイロセンサー１ｓと６ＤｏＦセンサー２ｓとは、インターポーザー４上に実装され、インターポーザー４と処理装置３とは、基板５上に実装される。
【0046】
１軸の水晶ジャイロセンサー１ｓは、具体的には、振動する物体に加わるコリオリの力から角速度を検出する共振周波数変化型水晶ジャイロであり、第２慣性センサー２よりも高精度の角速度センサーである。
【0047】
６ＤｏＦセンサー２ｓは、３軸の角速度センサー２２と３軸の加速度センサー２３とを搭載した多軸の慣性センサーである。換言すると、１軸の水晶ジャイロセンサー１ｓと６ＤｏＦセンサー２ｓとは、検出軸の数が異なる。
【0048】
また、６ＤｏＦセンサー２ｓにおいて、角速度センサー２２は、静電容量変化型Ｓｉ（シリコン）－ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）角速度センサーであり、加速度センサー２３は、静電容量変化型Ｓｉ－ＭＥＭＳ加速度センサーである。換言すると、水晶ジャイロセンサー１ｓと６ＤｏＦセンサー２ｓとは、センサーの種類が異なる。
【0049】
なお、水晶ジャイロセンサー１ｓは、静電容量変化型Ｓｉ－ＭＥＭＳを複数個用いたマルチセンサーやＦＯＧ（Fiber Optic Gyro）などであってよい。また、６ＤｏＦセンサー２ｓの角速度センサー２２は、水晶ジャイロなどであってもよく、加速度センサー２３は、水晶加速度センサー、ピエゾ抵抗型加速度センサー、および熱検知型加速度センサーであってもよい。
【0050】
６ＤｏＦセンサー２ｓの角速度センサー２２は、Ｘ軸角速度センサー２２ｘ、Ｙ軸角速度センサー２２ｙ、およびＺ軸角速度センサー２２ｚを含む。
Ｘ軸角速度センサー２２ｘは、Ｘ軸回りの角速度を検出し、第１の角速度信号を出力する。Ｙ軸角速度センサー２２ｙは、Ｙ軸回りの角速度を検出し、第２の角速度信号を出力する。Ｚ軸角速度センサー２２ｚは、Ｚ軸回りの角速度を検出し、第３の角速度信号を出力する。
Ｘ軸角速度センサー２２ｘは、Ｘ軸回りの角速度を検出し、第１の角速度信号を出力する。Ｙ軸角速度センサー２２ｙは、Ｙ軸回りの角速度を検出し、第２の角速度信号を出力する。Ｚ軸角速度センサー２２ｚは、Ｚ軸回りの角速度を検出し、第３の角速度信号を出力する。
【0051】
６ＤｏＦセンサー２ｓの加速度センサー２３は、Ｘ軸加速度センサー２３ｘ、Ｙ軸加速度センサー２３ｙ、およびＺ軸加速度センサー２３ｚを含む。
Ｘ軸加速度センサー２３ｘは、Ｘ軸方向での加速度を検出し、第１の加速度信号を出力する。Ｙ軸加速度センサー２３ｙは、Ｙ軸方向での加速度を検出し、第２の加速度信号を出力する。Ｚ軸加速度センサー２３ｚは、Ｚ軸方向での加速度を検出し、第３の加速度信号を出力する。
Ｘ軸加速度センサー２３ｘは、Ｘ軸方向での加速度を検出し、第１の加速度信号を出力する。Ｙ軸加速度センサー２３ｙは、Ｙ軸方向での加速度を検出し、第２の加速度信号を出力する。Ｚ軸加速度センサー２３ｚは、Ｚ軸方向での加速度を検出し、第３の加速度信号を出力する。
【0052】
応用構成１に係る慣性センサーモジュール１００は、例えば、上述した自動車に用いることができる。
この場合、第１軸は、ヨー角を算出するための軸、すなわち、Ｚ軸とする。
したがって、水晶ジャイロセンサー１ｓの検出軸ａ１の方向と、Ｚ軸角速度センサー２２ｚの検出軸ａ２の方向とは、それぞれＺ軸と一致するように設けられる。なお、第１軸は、Ｚ軸に限定されない。用途や目的などに応じて、適宜、Ｘ軸またはＹ軸としてもよい。
この場合、第１軸は、ヨー角を算出するための軸、すなわち、Ｚ軸とする。
したがって、水晶ジャイロセンサー１ｓの検出軸ａ１の方向と、Ｚ軸角速度センサー２２ｚの検出軸ａ２の方向とは、それぞれＺ軸と一致するように設けられる。なお、第１軸は、Ｚ軸に限定されない。用途や目的などに応じて、適宜、Ｘ軸またはＹ軸としてもよい。
【0053】
応用構成１に係る慣性センサーモジュール１００は、水晶ジャイロセンサー１ｓと６ＤｏＦセンサー２ｓとが、インターポーザー４上に実装され、インターポーザー４と処理装置３とが、基板５上に実装される。
したがって、応用構成１に係る慣性センサーモジュール１００によれば、外的変動が生じた場合でも、水晶ジャイロセンサー１ｓおよびまたは６ＤｏＦセンサー２ｓの検出精度が低下することが抑制される。よって、外的変動が生じた場合でも、慣性センサーモジュール１００の検出精度の信頼性が維持ないし担保される。
したがって、応用構成１に係る慣性センサーモジュール１００によれば、外的変動が生じた場合でも、水晶ジャイロセンサー１ｓおよびまたは６ＤｏＦセンサー２ｓの検出精度が低下することが抑制される。よって、外的変動が生じた場合でも、慣性センサーモジュール１００の検出精度の信頼性が維持ないし担保される。
【0054】
また、応用構成１に係る慣性センサーモジュール１００は、Ｚ軸回りの角速度を検出する角速度センサーとして、水晶ジャイロセンサー１ｓおよびＺ軸角速度センサー２２ｚの複数の角速度センサーを有することで、Ｚ軸回りの角速度の検出に関してセンサーの冗長性を向上させることができる。
【0055】
さらには、第１慣性センサー１に、第２慣性センサー２よりも高精度の１軸の水晶ジャイロセンサー１ｓを用いることで、検出精度を向上させることができる。この点について、本出願人は、本発明者等の実験によって、１軸の水晶ジャイロセンサー１ｓと６ＤｏＦセンサー２ｓとを用いた場合、それらを単独で用いた場合よりも、検出精度を向上させることができる、という知見を得ている。
【0056】
さらには、１軸の水晶ジャイロセンサー１ｓと６ＤｏＦセンサー２ｓとを備えた慣性センサーモジュール１００は、３軸の水晶ジャイロセンサーよりも安価であるが、高価な３軸の水晶ジャイロセンサーと同等の検出精度を実現することができる。したがって、実用性が高く、産業上の利用価値が高い慣性センサーモジュール１００を実現できる。
【0057】
１．２．２．応用構成２
応用構成２に係る慣性センサーモジュール１００は、第１慣性センサー１および第２慣性センサー２の種類およびまたは検出軸の数が同じである。
応用構成２に係る慣性センサーモジュール１００は、第１慣性センサー１および第２慣性センサー２の種類およびまたは検出軸の数が同じである。
【0058】
具体的には、応用構成２に係る慣性センサーモジュール１００は、第１慣性センサー１として６ＤｏＦセンサー２ｓと、第２慣性センサー２として６ＤｏＦセンサー２ｓと、を備える。
【0059】
または、応用構成２に係る慣性センサーモジュール１００は、第１慣性センサー１として１軸の水晶ジャイロセンサー１ｓと、第２慣性センサー２として１軸の水晶ジャイロセンサー１ｓと、を備える。
【0060】
または、応用構成２に係る慣性センサーモジュール１００は、第１慣性センサー１として３軸の角速度センサーと、第２慣性センサー２として３軸の角速度センサーと、を備える。
【0061】
または、応用構成２に係る慣性センサーモジュール１００は、第１慣性センサー１として３軸の加速度センサーと、第２慣性センサー２として３軸の加速度センサーと、を備える。
【0062】
応用構成２に係る慣性センサーモジュール１００において、第１軸は、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸のいずれであってもよい。
また、応用構成２に係る慣性センサーモジュール１００において、第１慣性センサー１と第２慣性センサー２とが検出する第１軸の物理量は、Ｘ軸回りの角速度、Ｙ軸回りの角速度、Ｚ軸回りの角速度、Ｘ軸方向の加速度、Ｙ軸方向の加速度、Ｚ軸方向の加速度のいずれかであってもよい。
また、応用構成２に係る慣性センサーモジュール１００において、第１慣性センサー１と第２慣性センサー２とが検出する第１軸の物理量は、Ｘ軸回りの角速度、Ｙ軸回りの角速度、Ｚ軸回りの角速度、Ｘ軸方向の加速度、Ｙ軸方向の加速度、Ｚ軸方向の加速度のいずれかであってもよい。
【0063】
応用構成２に係る慣性センサーモジュール１００は、第１慣性センサー１および第２慣性センサー２の２つの慣性センサーを有するが、３つ以上の慣性センサーを有してもよい。
【0064】
以上、述べたとおり、本実施形態の慣性センサーモジュール１００によれば、以下の効果を得ることができる。
本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、第１軸の物理量としてのＺ軸回りの角速度を検出する第１慣性センサー１と、Ｚ軸回りの角速度を検出する第２慣性センサー２と、第１慣性センサー１と第２慣性センサー２とを搭載する第１基板としてのインターポーザー４と、インターポーザー４を搭載し、インターポーザー４を介して第１慣性センサー１に電気的に接続される第１端子としての端子７と、インターポーザー４を介して第２慣性センサー２に電気的に接続される第２端子としての端子７と、を有する第２基板としての基板５と、を備える。
本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、第１軸の物理量としてのＺ軸回りの角速度を検出する第１慣性センサー１と、Ｚ軸回りの角速度を検出する第２慣性センサー２と、第１慣性センサー１と第２慣性センサー２とを搭載する第１基板としてのインターポーザー４と、インターポーザー４を搭載し、インターポーザー４を介して第１慣性センサー１に電気的に接続される第１端子としての端子７と、インターポーザー４を介して第２慣性センサー２に電気的に接続される第２端子としての端子７と、を有する第２基板としての基板５と、を備える。
【0065】
このように、慣性センサーモジュール１００は、Ｚ軸回りの角速度を検出する第１慣性センサー１とＺ軸回りの角速度を検出する第２慣性センサー２とをインターポーザー４に搭載し、インターポーザー４を基板５に搭載する。
したがって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、曲げ応力の印加や温度変化や湿度変化などの外的変動が生じた場合でも、第１慣性センサー１およびまたは第２慣性センサー２の検出精度の信頼性が低下することを抑制できる。よって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００によれば、外的変動が生じた場合でも、慣性センサーモジュール１００の検出精度の信頼性が維持ないし担保される。
したがって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、曲げ応力の印加や温度変化や湿度変化などの外的変動が生じた場合でも、第１慣性センサー１およびまたは第２慣性センサー２の検出精度の信頼性が低下することを抑制できる。よって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００によれば、外的変動が生じた場合でも、慣性センサーモジュール１００の検出精度の信頼性が維持ないし担保される。
【0066】
本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、さらに、第１基板としてのインターポーザー４は、第１慣性センサー１と第１端子しての端子７とを電気的に接続する第１導通部材としての導通部材４２と、第２慣性センサー２と第２端子としての端子７とを電気的に接続する第２導通部材としての導通部材４２と、を備える。
【0067】
このように、慣性センサーモジュール１００は、第１慣性センサー１は、インターポーザー４の導通部材４２を介して、端子７に電気的に接続され、第２慣性センサー２は、インターポーザー４の導通部材４２を介して、端子７に電気的に接続される。
したがって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、曲げ応力の印加や温度変化や湿度変化などの外的変動が生じた場合でも、電気的な接続の信頼性が維持されるため、検出精度の信頼性が低下することを抑制できる。
したがって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、曲げ応力の印加や温度変化や湿度変化などの外的変動が生じた場合でも、電気的な接続の信頼性が維持されるため、検出精度の信頼性が低下することを抑制できる。
【0068】
本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、さらに、第１基板としてのインターポーザー４の弾性率は、第２基板としての基板５の弾性率より大きい。
このように、インターポーザー４に、基板５よりも弾性率が大きいものを用いた場合、慣性センサーモジュール１００に、外的変動としての物理的曲げ応力が印加された場合であっても、インターポーザー４の変形を抑制することができる。
したがって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、外的変動によって、インターポーザー４が変形して、それに伴い、第１慣性センサー１の第１軸としての検出軸ａ１の向き、およびまたは、第２慣性センサー２の第１軸としての検出軸ａ２の向きがＺ軸からずれることで、検出精度が低下することを抑制できる。
このように、インターポーザー４に、基板５よりも弾性率が大きいものを用いた場合、慣性センサーモジュール１００に、外的変動としての物理的曲げ応力が印加された場合であっても、インターポーザー４の変形を抑制することができる。
したがって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、外的変動によって、インターポーザー４が変形して、それに伴い、第１慣性センサー１の第１軸としての検出軸ａ１の向き、およびまたは、第２慣性センサー２の第１軸としての検出軸ａ２の向きがＺ軸からずれることで、検出精度が低下することを抑制できる。
【0069】
本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、さらに、第１基板としてのインターポーザー４の線膨張係数は、第２基板としての基板５の線膨張係数より小さい。
このように、インターポーザー４に、基板５よりも線膨張率が小さいものを用いた場合、慣性センサーモジュール１００に、外的変動としての温度変化や湿度変化が生じた場合であっても、インターポーザー４の変形を抑制することができる。
したがって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、外的変動によって、インターポーザー４が変形して、それに伴い、第１慣性センサー１の第１軸としての検出軸ａ１の向き、およびまたは、第２慣性センサー２の第１軸としての検出軸ａ２の向きがＺ軸からずれることで、検出精度が低下することを抑制できる。
このように、インターポーザー４に、基板５よりも線膨張率が小さいものを用いた場合、慣性センサーモジュール１００に、外的変動としての温度変化や湿度変化が生じた場合であっても、インターポーザー４の変形を抑制することができる。
したがって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、外的変動によって、インターポーザー４が変形して、それに伴い、第１慣性センサー１の第１軸としての検出軸ａ１の向き、およびまたは、第２慣性センサー２の第１軸としての検出軸ａ２の向きがＺ軸からずれることで、検出精度が低下することを抑制できる。
【0070】
本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、さらに、第１慣性センサー１からの第１検出信号および第２慣性センサー２からの第２検出信号を処理する処理装置３をさらに備える。
したがって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、信頼性の高い処理を実行することができる。
したがって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、信頼性の高い処理を実行することができる。
【0071】
本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、さらに、処理装置３は、第２基板としての基板５に搭載される。
このように、処理装置３は、インターポーザー４には搭載されない。
したがって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、処理装置３がインターポーザー４に搭載される場合よりも、慣性センサーモジュール１００に、外的変動が印加された場合のインターポーザー４の変形を抑制することができる。
このように、処理装置３は、インターポーザー４には搭載されない。
したがって、本実施形態の慣性センサーモジュール１００は、処理装置３がインターポーザー４に搭載される場合よりも、慣性センサーモジュール１００に、外的変動が印加された場合のインターポーザー４の変形を抑制することができる。
【0072】
２．実施形態２
実施形態２では、慣性センサーモジュール１００を備えた慣性計測装置（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）２００について、説明する。
実施形態２では、慣性センサーモジュール１００を備えた慣性計測装置（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）２００について、説明する。
【0073】
２．１．慣性計測装置の概要
慣性計測装置２００は、例えば、自動車やスマートフォンなどの被装着装置に搭載され、被装着装置の姿勢や挙動などを検出するために用いられる。
慣性計測装置２００は、例えば、自動車やスマートフォンなどの被装着装置に搭載され、被装着装置の姿勢や挙動などを検出するために用いられる。
【0074】
図４は、実施形態２に係る慣性計測装置２００の斜視図であり、慣性計測装置２００が、被装着装置の被装着面９０に固定される状態を示す図である。図５は、慣性計測装置２００を被装着面９０側からみた斜視図である。
【0075】
実施形態２において、慣性計測装置２００は、平面形状が四角形状の直方体であり、四角形の対角方向に位置する２ヶ所の頂点近傍に、固定部としてのネジ穴２０２が形成されている。慣性計測装置２００は、ネジ穴２０２に通したネジ２０５によって、被装着装置の被装着面９０に固定され、使用される。なお、上述した慣性計測装置２００の形状および固定方法は、一例であり、使用用途などに応じて相応しい形状や固定方法を採用できる。
【0076】
図５に示すように、慣性計測装置２００の被装着面９０側の面には、開口部２０４が形成される。開口部２０４の内部には、プラグ型のコネクター８が配置される。
コネクター８は、並列に配置された複数のピンを有する。コネクター８には、被装着装置から図示しないソケット型のコネクターが接続される。コネクター８を介して、慣性計測装置２００と被装着装置との間で、慣性計測装置２００への電力供給や被装着装置への検出データ出力などを含む、電気信号の送受信が行われる。
コネクター８は、並列に配置された複数のピンを有する。コネクター８には、被装着装置から図示しないソケット型のコネクターが接続される。コネクター８を介して、慣性計測装置２００と被装着装置との間で、慣性計測装置２００への電力供給や被装着装置への検出データ出力などを含む、電気信号の送受信が行われる。
【0077】
【0078】
図６に示すように、慣性計測装置２００は、アウターケース２０１、環状の緩衝材２０６、慣性センサーユニット２０７を備える。換言すると、慣性計測装置２００は、アウターケース２０１の内部に、環状の緩衝材２０６を介在させて、慣性センサーユニット２０７を搭載する。慣性センサーユニット２０７は、インナーケース２０８と慣性センサーモジュール１００とを含む。
【0079】
アウターケース２０１の外形は、平面形状が四角形状の直方体であり、正方形の対角線方向に位置する２ヶ所の頂点近傍に、それぞれネジ穴２０２が形成されている。なお、アウターケース２０１の外形の平面形状は、例えば６角形や８角形などの多角形であってもよい。
【0080】
２．３．慣性センサーモジュールの構成
図７は、慣性計測装置２００に搭載された慣性センサーモジュール１００の斜視図である。
実施形態２に係る慣性センサーモジュール１００は、基板５にコネクター８、ＧＰＳ（Global Positioning System）モジュール９、およびその他の回路部品を有する点で、実施形態１に係る慣性センサーモジュール１００と異なる。なお、実施形態１と同じ構成には、同じ符号を付して、説明を省略する。
図７は、慣性計測装置２００に搭載された慣性センサーモジュール１００の斜視図である。
実施形態２に係る慣性センサーモジュール１００は、基板５にコネクター８、ＧＰＳ（Global Positioning System）モジュール９、およびその他の回路部品を有する点で、実施形態１に係る慣性センサーモジュール１００と異なる。なお、実施形態１と同じ構成には、同じ符号を付して、説明を省略する。
【0081】
基板５の上面には、第１慣性センサー１および第２慣性センサー２を搭載するインターポーザー４と、処理装置３と、コネクター８と、ＧＰＳモジュール９と、その他の回路部品と、が実装される。
【0082】
コネクター８は、プラグ型のコネクターであり、複数のピンからなる外部接続用の端子を備えている。また、コネクター８は、このような形態に限定されない。例えば、コネクター８は、リード、接続電極、光コネクター、または非接触型コネクターであってもよい。
【0083】
慣性センサーモジュール１００は、温度センサー、磁気センサー、キャパシタなどを有していてもよい。なお、温度センサーや磁気センサーを実装する場合は、インターポーザー４に実装する。温度センサーや磁気センサーは、第１慣性センサー１および第２慣性センサー２の近くに配置する方が、正確な測定ができるからである。
【0084】
このように実施形態２の慣性計測装置２００は、慣性センサーモジュール１００を備える。慣性センサーモジュール１００は、曲げ応力の印加や温度変化や湿度変化などの外的変動が印加されても、検出精度の信頼性が維持ないし担保される。
したがって、実施形態２の慣性計測装置２００によれば、外的変動が印加された場合において、検出精度の信頼性が維持ないし担保される慣性計測装置２００を実現できる。
したがって、実施形態２の慣性計測装置２００によれば、外的変動が印加された場合において、検出精度の信頼性が維持ないし担保される慣性計測装置２００を実現できる。
【0085】
３．実施形態３
実施形態３では、慣性センサーモジュール１００を備えた電子機器を説明する。
以下では、電子機器の例として、自動車などの移動体の例と、スマートフォンなどの携帯機器の例と、を説明する。
実施形態３では、慣性センサーモジュール１００を備えた電子機器を説明する。
以下では、電子機器の例として、自動車などの移動体の例と、スマートフォンなどの携帯機器の例と、を説明する。
【0086】
３．１．移動体の概要
図８は、実施形態３に係る電子機器としての移動体の斜視図であり、移動体の一例としての自動車１１００の構成を示す図である。
図８は、実施形態３に係る電子機器としての移動体の斜視図であり、移動体の一例としての自動車１１００の構成を示す図である。
【0087】
自動車１１００は、慣性センサーモジュール１００を備えた慣性計測装置２００を搭載する。
慣性計測装置２００は、車体１１０１の姿勢を検出して、検出信号を出力する。検出信号は、角速度信号および加速度信号を含む。慣性計測装置２００の検出信号は、車体１１０１の姿勢を制御する車体姿勢制御装置１１０２に供給される。
車体姿勢制御装置１１０２は、その信号に基づいて車体１１０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１１０３のブレーキを制御したりする。
慣性計測装置２００は、車体１１０１の姿勢を検出して、検出信号を出力する。検出信号は、角速度信号および加速度信号を含む。慣性計測装置２００の検出信号は、車体１１０１の姿勢を制御する車体姿勢制御装置１１０２に供給される。
車体姿勢制御装置１１０２は、その信号に基づいて車体１１０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１１０３のブレーキを制御したりする。
【0088】
また、慣性計測装置２００の検出信号は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、ＴＰＭＳ（Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、自動運転用慣性航法の制御機器、およびハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等のＥＣＵ（Electronic Control Unit）などにおいて、活用してもよい。
【0089】
また、慣性計測装置２００は、自動車１１００以外の他の移動体に搭載してもよい。例えば、二足歩行ロボット、電車、ラジコン飛行機、ラジコンヘリコプター、ドローン、農業機械、建築機械などの移動体に、慣性計測装置２００を搭載する。これによって、移動体は、慣性計測装置２００の検出信号を、移動体の姿勢制御や位置計測などに活用できる。
【0090】
このように本実施形態において、自動車１１００などの移動体は、慣性センサーモジュール１００を備えた慣性計測装置２００を搭載する。慣性センサーモジュール１００は、曲げ応力の印加や温度変化や湿度変化などの外的変動が印加されても、検出精度の信頼性を維持ないし担保することができる。
したがって、本実施形態によれば、慣性センサーモジュール１００を備えた移動体の信頼性を向上させることができる。
したがって、本実施形態によれば、慣性センサーモジュール１００を備えた移動体の信頼性を向上させることができる。
【0091】
３．２．携帯機器の概要
図９は、実施形態３に係る電子機器としての携帯機器の斜視図であり、携帯機器の一例としてのスマートフォン１２００の構成を示す図である。
図９は、実施形態３に係る電子機器としての携帯機器の斜視図であり、携帯機器の一例としてのスマートフォン１２００の構成を示す図である。
【0092】
スマートフォン１２００は、慣性センサーモジュール１００を備えた慣性計測装置２００を搭載する。
慣性計測装置２００によって検出された検出信号は、制御回路１２０１に出力され、制御回路１２０１は、受信した検出信号からスマートフォン１２００の姿勢や挙動を認識して、表示部１２０２に表示されている表示画像を変化させたり、警告音や効果音を鳴らしたり、振動モーターを駆動して本体を振動させることができる。
慣性計測装置２００によって検出された検出信号は、制御回路１２０１に出力され、制御回路１２０１は、受信した検出信号からスマートフォン１２００の姿勢や挙動を認識して、表示部１２０２に表示されている表示画像を変化させたり、警告音や効果音を鳴らしたり、振動モーターを駆動して本体を振動させることができる。
【0093】
また、慣性計測装置２００は、スマートフォン１２００以外の他の携帯機器に搭載してもよい。例えば、スマートウオッチ、携帯型の活動量計、ＨＭＤ（Head Mounted Display）、モバイルＰＣ（Personal Computer）、タブレットＰＣ、カメラ、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）などの携帯機器に、慣性計測装置２００を搭載してもよい。これによって、携帯機器は、慣性計測装置２００からの検出信号によって、携帯機器の姿勢や挙動を認識して、表示画像を変化させたり、警告音や効果音を鳴らしたり、振動モーターを駆動して本体を振動させたりなどをすることができる。
【0094】
このように本実施形態において、スマートフォン１２００などの携帯機器は、慣性センサーモジュール１００を備えた慣性計測装置２００を搭載する。慣性センサーモジュール１００は、曲げ応力の印加や温度変化や湿度変化などの外的変動が印加されても、検出精度の信頼性を維持ないし担保することができる。
したがって、本実施形態によれば、慣性センサーモジュール１００を備えた携帯機器の信頼性を向上させることができる。
したがって、本実施形態によれば、慣性センサーモジュール１００を備えた携帯機器の信頼性を向上させることができる。
【0095】
以上、述べたとおり、本実施形態の電子機器としての自動車１１００およびスマートフォン１２００は、上述した慣性センサーモジュール１００を備える。
したがって、自動車１１００およびスマートフォン１２００の信頼性を向上させることができる。
したがって、自動車１１００およびスマートフォン１２００の信頼性を向上させることができる。
【0096】
以上、好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されない。また、本発明の各部の構成は、上述の実施形態の同様の機能を発揮する任意の構成に置換でき、また、任意の構成を付加できる。
【符号の説明】
【0097】
１…第１慣性センサー、１ｓ…水晶ジャイロセンサー、１１…電極、２…第２慣性センサー、２ｓ…６ＤｏＦセンサー、２１…電極、２２…角速度センサー、２２ｘ…Ｘ軸角速度センサー、２２ｙ…Ｙ軸角速度センサー、２２ｚ…Ｚ軸角速度センサー、２３…加速度センサー、２３ｘ…Ｘ軸加速度センサー、２３ｙ…Ｙ軸加速度センサー、２３ｚ…Ｚ軸加速度センサー、３…処理装置、３１…電極、４…インターポーザー、４１…貫通穴、４２…導通部材、４３，４４…電極、５…基板、６…配線、７…端子、８コネクター、９…ＧＰＳモジュール、９０…被装着面、１００…慣性センサーモジュール、２００…慣性計測装置、２０１…アウターケース、２０２…ネジ穴、２０４…開口部、２０５…ネジ、２０６…緩衝材、２０７…慣性センサーユニット、２０８…インナーケース、１１００…自動車、１１０１…車体、１１０２…車体姿勢制御装置、１１０３…車輪、１２００…スマートフォン、１２０１…制御回路、１２０２…表示部、ａ１，ａ２…検出軸。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】