特開 2024-170088 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024170088

(43)【公開日】2024-12-06

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20241129BHJP

   B25J 9/06 20060101ALI20241129BHJP

   B25J 15/00 20060101ALI20241129BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/06 D

B25J15/00 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023087055

(22)【出願日】2023-05-26

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(72)【発明者】

【氏名】栗林 保

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS24

3C707BS15

3C707BS26

3C707EV23

3C707MT02

3C707NS13

5F131AA02

5F131CA32

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA35

5F131DA36

5F131DA42

5F131DA43

5F131DB04

5F131DB22

5F131DB42

5F131DB52

5F131DB58

5F131DB62

5F131DB76

5F131DB86

5F131DB88

5F131GA14

(57)【要約】

【課題】搬送対象物が搬出される搬出場所から搬送対象物が搬入される搬入場所まで短時間でより多くの搬送対象物を搬送することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、搬送対象物が搭載されるハンド４、５と、ハンド４、５が連結されるアーム６と、搬送対象物が搭載可能であるとともにハンド４、５に対して昇降可能な搭載部材３７、３８と、アーム６に対してハンド４、５を回動させるハンド回動機構と、ハンド４、５に対して搭載部材３７、３８を昇降させる昇降機構３９とを備えている。ハンド４、５は、ハンド４、５と搭載部材３７、３８との間で搬送対象物の受渡しが可能となる受渡し可能位置４Ａ、５Ａまでアーム６に対して回動可能となっており、搭載部材３７、３８は、ハンド４、５と搭載部材３７、３８との間での搬送対象物の受渡し時にハンド４、５に対して昇降する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームが連結される本体部と、前記搬送対象物が搭載可能であるとともに前記ハンドに対して昇降可能な搭載部材と、前記アームに対して前記ハンドを回動させるハンド回動機構と、前記ハンドに対して前記搭載部材を昇降させる昇降機構とを備え、
前記ハンドは、前記アームよりも上側に配置され上下方向を回動の軸方向として前記アームに対して回動可能になっているとともに、前記ハンドと前記搭載部材との間で前記搬送対象物の受渡しが可能となる受渡し可能位置まで前記アームに対して回動可能となっており、
前記搭載部材は、前記ハンドと前記搭載部材との間での前記搬送対象物の受渡し時に前記ハンドに対して昇降することを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

前記アームは、前記ハンドが先端側に回動可能に連結される先端側アーム部と、前記先端側アーム部の基端側が先端側に回動可能に連結される支持側アーム部とを備え、
前記搭載部材は、前記先端側アーム部の基端側に前記昇降機構を介して取り付けられ、
前記受渡し可能位置に配置される前記ハンドは、上下方向において前記先端側アーム部と重なっていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。

【請求項3】

前記アームは、前記本体部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、前記第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される前記支持側アーム部としての第２アーム部と、前記第２アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される前記先端側アーム部としての第３アーム部とを備えることを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。

【請求項4】

前記受渡し可能位置に配置されているときに上下方向で重なる２個の前記ハンドと、上下方向で重なる２個の前記搭載部材と、２個の前記搭載部材を一緒に昇降させる１個の前記昇降機構とを備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。

【請求項5】

前記搬送対象物は、円板状に形成され、
上下方向から見たときの前記搭載部材の形状は、Ｕ形状になっていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。

【請求項6】

前記搭載部材に搭載される前記搬送対象物を吸引して前記搭載部材上で保持するための吸引機構を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送対象物を搬送するための産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハを搬送するための水平多関節型の産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体ウエハが搭載される２個のハンドと、２個のハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。この産業用ロボットは、半導体製造システムに組み込まれて使用されており、ＦＯＵＰと半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１５－３６１８６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の産業用ロボットが組み込まれる半導体製造システムでは、システムの生産効率を高めるために、産業用ロボットは、ＦＯＵＰと半導体ウエハ処理装置との間において、短時間でより多くの半導体ウエハを搬送できることが好ましい。

【0005】

そこで、本発明の課題は、搬送対象物が搬出される搬出場所から搬送対象物が搬入される搬入場所まで短時間でより多くの搬送対象物を搬送することが可能な産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームが連結される本体部と、搬送対象物が搭載可能であるとともにハンドに対して昇降可能な搭載部材と、アームに対してハンドを回動させるハンド回動機構と、ハンドに対して搭載部材を昇降させる昇降機構とを備え、ハンドは、アームよりも上側に配置され上下方向を回動の軸方向としてアームに対して回動可能になっているとともに、ハンドと搭載部材との間で搬送対象物の受渡しが可能となる受渡し可能位置までアームに対して回動可能となっており、搭載部材は、ハンドと搭載部材との間での搬送対象物の受渡し時にハンドに対して昇降することを特徴とする。

【0007】

本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドに加えて、搬送対象物が搭載可能な搭載部材を備えている。また、本発明では、ハンドは、ハンドと搭載部材との間で搬送対象物の受渡しが可能となる受渡し可能位置までアームに対して回動可能となっており、搭載部材は、ハンドと搭載部材との間での搬送対象物の受渡し時にハンドに対して昇降する。そのため、本発明では、搬送対象物が搬出される搬出場所においてハンドおよび搭載部材に搬送対象物を搭載した状態で、搬送対象物が搬入される搬入場所に向かってハンド等を動作させることが可能になる。

【0008】

したがって、本発明では、搬出場所においてハンドのみに搬送対象物が搭載される場合と比較して、産業用ロボットによって搬出場所から搬入場所まで同じ枚数の搬送対象物を搬送するときの、ハンド等の動作回数を減らしたり、動作距離を短くしたりすることが可能になる。その結果、本発明では、搬出場所から搬入場所まで短時間でより多くの搬送対象物を搬送することが可能になる。

【0009】

本発明において、アームは、ハンドが先端側に回動可能に連結される先端側アーム部と、先端側アーム部の基端側が先端側に回動可能に連結される支持側アーム部とを備え、搭載部材は、先端側アーム部の基端側に昇降機構を介して取り付けられ、受渡し可能位置に配置されるハンドは、上下方向において先端側アーム部と重なっていることが好ましい。

【0010】

このように構成すると、たとえば、搭載部材が昇降機構を介して支持側アーム部や本体部に取り付けられている場合と比較して、ハンドと搭載部材との間での搬送対象物の受渡しをより短時間で行うことが可能になる。したがって、搬出場所から搬入場所まで短時間でさらに多くの搬送対象物を搬送することが可能になる。また、このように構成すると、たとえば、搭載部材が昇降機構を介して支持側アーム部や本体部に取り付けられている場合と比較して、産業用ロボットが動作するときの、産業用ロボットの各部分と搭載部材との干渉を防止しやすくなる。したがって、産業用ロボットが搭載部材を備えていても、搭載部材が昇降機構を介して支持側アーム部や本体部に取り付けられている場合と比較して、産業用ロボットの動作を簡素化することが可能になる。

【0011】

本発明において、たとえば、アームは、本体部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される支持側アーム部としての第２アーム部と、第２アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される先端側アーム部としての第３アーム部とを備えている。

【0012】

本発明において、たとえば、産業用ロボットは、受渡し可能位置に配置されているときに上下方向で重なる２個のハンドと、上下方向で重なる２個の搭載部材と、２個の搭載部材を一緒に昇降させる１個の昇降機構とを備えている。この場合には、１個の昇降機構によって２個の搭載部材を昇降させることが可能になるため、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。

【0013】

本発明において、たとえば、搬送対象物は、円板状に形成され、上下方向から見たときの搭載部材の形状は、Ｕ形状になっている。また、本発明において、産業用ロボットは、たとえば、搭載部材に搭載される搬送対象物を吸引して搭載部材上で保持するための吸引機構を備えている。

【発明の効果】

【0014】

以上のように、本発明の産業用ロボットでは、搬送対象物が搬出される搬出場所から搬送対象物が搬入される搬入場所まで短時間でより多くの搬送対象物を搬送することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットが使用される半導体製造システムの概略平面図である。

【図3】図１に示す産業用ロボットの平面図である。

【図4】図１に示す産業用ロボットの上端部の側面図である。

【図5】図１に示す産業用ロボットの構成を説明するためのブロック図である。

【図6】本発明の他の実施形態にかかる産業用ロボットの平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0017】

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の斜視図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１が使用される半導体製造システム９の概略平面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。図４は、図１に示す産業用ロボット１の上端部の側面図である。図５は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するためのブロック図である。

【0018】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するための水平多関節型のロボットである。ロボット１は、ウエハ２が搭載される２個のハンド４、５と、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結されるアーム６と、アーム６が連結される本体部７とを備えている。半導体ウエハ２は、円板状に形成されている。

【0019】

図２に示すように、ロボット１は、半導体製造システム９に組み込まれて使用される。半導体製造システム９は、ＥＦＥＭ１０と、ウエハ２に対して所定の処理を行う半導体ウエハ処理装置１１とを備えている。以下の説明では、上下方向（鉛直方向、図２のＺ方向）に直交する図２のＸ方向を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図２のＹ方向を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側である図２のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図２のＸ２方向側を「後ろ」側とする。

【0020】

ＥＦＥＭ１０は、半導体ウエハ処理装置１１の前側に配置されている。ロボット１は、ＥＦＥＭ１０の一部を構成している。ＥＦＥＭ１０は、ＦＯＵＰ１２を開閉する複数のロードポート１３と、ロボット１が収容される筺体１４とを備えている。ＦＯＵＰ１２は、ＳＥＭＩ規格に基づいて製造されており、ＦＯＵＰ１２には、たとえば、２５枚のウエハ２が収容可能となっている。ロードポート１３は、筺体１４の前側に配置されている。ＥＦＥＭ１０は、たとえば、左右方向に所定のピッチで配列される４個のロードポート１３を備えており、ＥＦＥＭ１０では、４個のＦＯＵＰ１２が左右方向に所定のピッチで配列される。ロボット１は、４個のＦＯＵＰ１２と半導体ウエハ処理装置１１との間でウエハ２を搬送する。

【0021】

アーム６は、本体部７に基端側が回動可能に連結される第１アーム部１７と、第１アーム部１７の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部１８と、第２アーム部１８の先端側に基端側が回動可能に連結される第３アーム部１９とを備えている。本形態のアーム６は、第１アーム部１７と第２アーム部１８と第３アーム部１９との３個のアーム部によって構成されており、アーム６の基端側が本体部７に回動可能に連結されている。アーム６は、水平方向に動作する。

【0022】

上下方向から見たときの第１アーム部１７、第２アーム部１８および第３アーム部１９の形状は、所定方向に細長い長円形状になっている。本体部７と第１アーム部１７と第２アーム部１８と第３アーム部１９とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。本体部７は、第１アーム部１７の基端側が回動可能に連結される昇降体２０（図１参照）と、昇降体２０を昇降可能に保持する筐体２１とを備えている。第１アーム部１７の基端側は、昇降体２０の上端部に回動可能に連結されている。

【0023】

ハンド４、５は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されている。ハンド４、５の基端部は、第３アーム部１９の先端側に回動可能に連結されている。ハンド４、５は、上下方向を回動の軸方向としてアーム６に対して回動可能になっている。本形態の第３アーム部１９は、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結される先端側アーム部となっており、第２アーム部１８は、先端側アーム部である第３アーム部１９の基端側が先端側に回動可能に連結される支持側アーム部となっている。

【0024】

第３アーム部１９に対するハンド４の回動中心と第３アーム部１９に対するハンド５の回動中心とは一致している。ハンド４、５は、第３アーム部１９に対して個別に回動可能となっている。ハンド４、５は、第３アーム部１９よりも上側に配置されている。すなわち、ハンド４、５は、アーム６よりも上側に配置されている。また、ハンド４は、ハンド５の上側に配置されている。ハンド４、５が所定の位置まで回動すると、ハンド４とハンド５とが上下方向で重なる。

【0025】

ハンド４、５は、第３アーム部１９に連結される連結部２２と、ウエハ２が搭載されるウエハ搭載部２３と、ウエハ搭載部２３に搭載されるウエハ２を下側から支持する支持部材２４、２５とを備えている。連結部２２は、ハンド４、５の基端側部分を構成している。ウエハ搭載部２３は、ハンド４、５の先端側部分を構成しており、二股状に形成されている。ウエハ搭載部２３は、平板状に形成されている。ウエハ搭載部２３の厚さ方向は、上下方向と一致している。ウエハ搭載部２３は、連結部２２から水平方向に伸びている。支持部材２４、２５は、ウエハ搭載部２３の上面に固定されている。具体的には、支持部材２４は、ウエハ搭載部２３の先端側の上面の２箇所に固定され、支持部材２５は、ウエハ搭載部２３の基端側の上面の２箇所に固定されている。

【0026】

ロボット１は、第３アーム部１９に対してハンド４を回動させるハンド回動機構３０と、第３アーム部１９に対してハンド５を回動させるハンド回動機構３１とを備えている。すなわち、ロボット１は、アーム６に対してハンド４、５を回動させるハンド回動機構３０、３１を備えている。また、ロボット１は、昇降体２０と一緒にアーム６を昇降させるアーム昇降機構３２と、第１アーム部１７および第２アーム部１８を回動させて第１アーム部１７と第２アーム部１８とからなるアーム６の一部を伸縮させるアーム部駆動機構３３と、第２アーム部１８に対して第３アーム部１９を回動させる第３アーム部回動機構３４とを備えている。

【0027】

ハンド回動機構３０は、モータと、モータの動力を減速してハンド４に伝達するための減速機とを備えている。ハンド回動機構３１は、モータと、モータの動力を減速してハンド５に伝達するための減速機とを備えている。ハンド回動機構３０、３１のモータは、中空状に形成される第３アーム部１９の内部に配置されている。アーム昇降機構３２は、たとえば、モータおよびボールねじ等を備えている。アーム昇降機構３２は、筐体２１の内部に配置されている。

【0028】

アーム部駆動機構３３は、モータと、モータの動力を減速して第１アーム部１７および第２アーム部１８に伝達するための２個の減速機とを備えている。モータは、筐体２１の内部に配置されるとともに昇降体２０に保持されている。２個の減速機のうちの一方の減速機は、昇降体２０と第１アーム部１７とを繋ぐ関節部に配置され、他方の減速機は、第１アーム部１７と第２アーム部１８とを繋ぐ関節部に配置されている。第３アーム部回動機構３４は、モータと、モータの動力を減速して第３アーム部１９に伝達するための減速機とを備えている。モータは、中空状に形成される第２アーム部１８の内部に配置されている。減速機は、第２アーム部１８と第３アーム部１９とを繋ぐ関節部に配置されている。

【0029】

また、ロボット１は、ウエハ２が搭載可能であるとともにハンド４、５に対して昇降可能な搭載部材３７、３８と、ハンド４、５に対して搭載部材３７、３８を昇降させる昇降機構３９とを備えている。本形態のロボット１は、上下方向で重なる２個の搭載部材３７、３８と、２個の搭載部材３７、３８を一緒に昇降させる１個の昇降機構３９とを備えている。昇降機構３９は、エアシリンダである。したがって、以下の説明では、昇降機構３９を「エアシリンダ３９」とする。

【0030】

エアシリンダ３９は、エアシリンダ３９のロッドが上側に突出するように配置されている。エアシリンダ３９は、第３アーム部１９の基端側に取り付けられている。本形態では、上下方向から見たときの形状が半円弧状となる第３アーム部１９の基端の側面に、エアシリンダ３９の本体部が固定されている。エアシリンダ３９は、第３アーム部１９と一緒に第２アーム部１８に対して回動する。

【0031】

搭載部材３７、３８は、ハンド４、５、アーム６および本体部７に対して昇降可能となっている。搭載部材３７、３８は、平板状に形成されている。搭載部材３７、３８の厚さ方向は、上下方向と一致している。搭載部材３７、３８は、第３アーム部１９よりも上側に配置されている。搭載部材３７は、搭載部材３８の上側に配置されている。搭載部材３７と搭載部材３８とは、同形状に形成されている。上下方向から見たときに、搭載部材３８は、搭載部材３７と完全に重なっている。上下方向において、搭載部材３７と搭載部材３８との間には、隙間が形成されている。

【0032】

搭載部材３７、３８の厚さは、ウエハ搭載部２３の厚さとほぼ等しくなっているか、あるいは、ウエハ搭載部２３の厚さよりも若干薄くなっている。搭載部材３７と搭載部材３８との上下方向のピッチは、ハンド４とハンド５とが上下方向で重なっているときの、ハンド４のウエハ搭載部２３とハンド５のウエハ搭載部２３との上下方向のピッチとほぼ等しくなっている。また、搭載部材３７と搭載部材３８との上下方向のピッチは、ウエハ搭載部２３の厚さよりも広くなっている。

【0033】

上下方向から見たときの搭載部材３７の形状は、Ｕ形状になっており、搭載部材３７は、互いに平行な直線状の２個の直線部３７ａと、２個の直線部３７ａを繋ぐ曲線状の曲線部３７ｂとから構成されている。同様に、上下方向から見たときの搭載部材３８の形状は、Ｕ形状になっており、搭載部材３８は、互いに平行な直線状の２個の直線部３８ａと、２個の直線部３８ａを繋ぐ曲線状の曲線部３８ｂとから構成されている。

【0034】

曲線部３７ｂと曲線部３８ｂとは、スペーサ部材４０を介して互いに固定されている。スペーサ部材４０の上面は、曲線部３７ｂの中心部の下面に固定され、スペーサ部材４０の下面は、曲線部３８ｂの中心部の上面に固定されている。搭載部材３７、３８は、連結部材４１を介してエアシリンダ３９に取り付けられている。すなわち、搭載部材３７、３８は、連結部材４１およびエアシリンダ３９を介して第３アーム部１９の基端側に取り付けられている。

【0035】

上下方向から見たときの形状が長円形状をなす第３アーム部１９の長手方向のうちの第３アーム部１９の基端が配置される側を第１方向側とし、その反対側（すなわち、第３アーム部１９の先端が配置される側）を第２方向側とすると、曲線部３７ｂ、３８ｂは、第３アーム部１９の基端よりも第１方向側に配置されている。連結部材４１の第１方向側の端部は、曲線部３８ｂの中心部の下面に固定され、連結部材４１の第２方向側の端部は、エアシリンダ３９のロッドの上端面に固定されている。

【0036】

搭載部材３７、３８は、第３アーム部１９の長手方向と直線部３７ａ、３８ａの長手方向とが一致するように配置されている。２個の直線部３７ａは、曲線部３７ｂから第２方向側に伸び、２個の直線部３８ａは、曲線部３８ｂから第２方向側に伸びている。直線部３７ａ、３８ａの先端（第２方向側端）は、第３アーム部１９の長手方向において、第３アーム部１９の基端と先端との間に配置されている。たとえば、直線部３７ａ、３８ａの先端は、第３アーム部１９の長手方向において、第３アーム部１９の中心とほぼ同じ位置に配置されている。

【0037】

２個の直線部３７ａは、第３アーム部１９の短手方向において第３アーム部１９よりも外側に配置されており、第３アーム部１９の基端側部分は、第３アーム部１９の短手方向において２個の直線部３７ａの間に配置されている。同様に、２個の直線部３８ａは、第３アーム部１９の短手方向において第３アーム部１９よりも外側に配置されており、第３アーム部１９の基端側部分は、第３アーム部１９の短手方向において２個の直線部３８ａの間に配置されている。上下方向から見たときに、第３アーム部１９の短手方向における搭載部材３７、３８の中心は、第３アーム部１９の短手方向における第３アーム部１９の中心とほぼ一致している。

【0038】

搭載部材３７、３８が下降しているときには、搭載部材３８は、ハンド５のウエハ搭載部２３よりも下側に配置され、搭載部材３７は、ハンド５のウエハ搭載部２３よりも上側であって、かつ、ハンド４のウエハ搭載部２３よりも下側に配置されている（図４（Ａ）参照）。また、このときには、搭載部材３７は、ハンド５の支持部材２４、２５よりも上側に配置されている。

【0039】

搭載部材３７、３８が上昇しているときには、搭載部材３７は、ハンド４のウエハ搭載部２３よりも上側に配置され、搭載部材３８は、ハンド５のウエハ搭載部２３よりも上側であって、かつ、ハンド４のウエハ搭載部２３よりも下側に配置されている（図４（Ｂ）参照）。また、このときには、搭載部材３７は、ハンド４の支持部材２４、２５よりも上側に配置され、搭載部材３８は、ハンド５の支持部材２４、２５よりも上側に配置されている。なお、連結部材４１は、搭載部材３７、３８が上昇していてもハンド５と干渉しない位置に配置されている。

【0040】

ハンド４は、ハンド４と搭載部材３７との間でウエハ２の受渡しが可能となる受渡し可能位置４Ａまでアーム６に対して回動可能となっている。ハンド５は、ハンド５と搭載部材３８との間でウエハ２の受渡しが可能となる受渡し可能位置５Ａまでアーム６に対して回動可能となっている。受渡し可能位置４Ａに配置されるハンド４は、上下方向において第３アーム部１９と重なっている。同様に、受渡し可能位置５Ａに配置されるハンド５は、上下方向において第３アーム部１９と重なっている。受渡し可能位置４Ａに配置されるハンド４と受渡し可能位置５Ａに配置されるハンド５とは、上下方向で重なっている。すなわち、２個のハンド４、５は、受渡し可能位置４Ａ、５Ａに配置されているときに上下方向で重なっている。

【0041】

受渡し可能位置４Ａ、５Ａにハンド４、５が配置されているときには、第３アーム部１９の長手方向とハンド４、５の長手方向とが一致している。また、受渡し可能位置４Ａ、５Ａにハンド４、５が配置されているときには、２個の直線部３７ａ、３８ａは、第３アーム部１９の短手方向においてハンド４、５よりも外側に配置されている。また、受渡し可能位置４Ａ、５Ａにハンド４、５が配置されているときには、曲線部３７ｂ、３８ｂの大半部分は、ハンド４、５よりも第１方向側に配置されており、上下方向から見たときに、ハンド４、５と搭載部材３７、３８とが重なっていない。

【0042】

ハンド４から搭載部材３７へのウエハ２の受渡し時には、搭載部材３７、３８が下降している状態で、ウエハ２が搭載されているハンド４が受渡し可能位置４Ａまで回動する（図４（Ａ）参照）。その後、搭載部材３７、３８が上昇する。搭載部材３７、３８が上昇すると、ハンド４に搭載されるウエハ２が搭載部材３７に搭載される（図４（Ｂ）参照）。搭載部材３７からハンド４へのウエハ２の受渡し時には、搭載部材３７、３８が上昇している状態で、ハンド４が受渡し可能位置４Ａまで回動する（図４（Ｂ）参照）。その後、搭載部材３７、３８が下降する。搭載部材３７、３８が下降すると、搭載部材３７に搭載されるウエハ２がハンド４に搭載される（図４（Ａ）参照）。すなわち、搭載部材３７は、ハンド４と搭載部材３７との間でのウエハ２の受渡し時に昇降する。

【0043】

同様に、ハンド５から搭載部材３８へのウエハ２の受渡し時には、搭載部材３７、３８が下降している状態で、ウエハ２が搭載されているハンド５が受渡し可能位置５Ａまで回動してから、搭載部材３７、３８が上昇する。搭載部材３７、３８が上昇すると、ハンド５に搭載されるウエハ２が搭載部材３８に搭載される。搭載部材３８からハンド５へのウエハ２の受渡し時には、搭載部材３７、３８が上昇している状態で、ハンド５が受渡し可能位置５Ａまで回動してから、搭載部材３７、３８が下降する。搭載部材３７、３８が下降すると、搭載部材３８に搭載されるウエハ２がハンド５に搭載される。すなわち、搭載部材３８は、ハンド５と搭載部材３８との間でのウエハ２の受渡し時に昇降する。

【0044】

また、ハンド４、５から搭載部材３７、３８へのウエハ２の受渡し時には、搭載部材３７、３８が下降している状態で、ウエハ２が搭載されているハンド４、５が受渡し可能位置４Ａ、５Ａまで回動してから、搭載部材３７、３８が上昇する。搭載部材３７、３８が上昇すると、ハンド４、５に搭載されるウエハ２が搭載部材３７、３８に搭載される。搭載部材３７、３８からハンド４、５へのウエハ２の受渡し時には、搭載部材３７、３８が上昇している状態で、ハンド４、５が受渡し可能位置４Ａ、５Ａまで回動する。その後、搭載部材３７、３８が下降する。搭載部材３７、３８が下降すると、搭載部材３７、３８に搭載されるウエハ２がハンド４、５に搭載される。すなわち、搭載部材３７、３８は、ハンド４、５と搭載部材３７、３８との間でのウエハ２の受渡し時に昇降する。

【0045】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ロボット１は、ハンド４、５に加えて搭載部材３７、３８を備えている。また、本形態では、ハンド４、５は、ハンド４、５と搭載部材３７、３８との間でウエハ２の受渡しが可能となる受渡し可能位置４Ａ、５Ａまでアーム６に対して回動可能となっており、ロボット１では、搭載部材３７、３８が昇降して、ハンド４、５と搭載部材３７、３８との間でウエハ２の受渡しが行われる。そのため、本形態では、ＦＯＵＰ１２においてハンド４、５および搭載部材３７、３８にウエハ２を搭載した状態で、半導体ウエハ処理装置１１までハンド４、５等を動作させたり、半導体ウエハ処理装置１１においてハンド４、５および搭載部材３７、３８にウエハ２を搭載した状態で、ＦＯＵＰ１２までハンド４、５等を動作させたりすることが可能になる。

【0046】

したがって、本形態では、ＦＯＵＰ１２や半導体ウエハ処理装置１１においてハンド４、５のみにウエハ２が搭載される場合と比較して、ロボット１によってＦＯＵＰ１２と半導体ウエハ処理装置１１との間で同じ枚数のウエハ２を搬送する場合の、ハンド４、５等の動作回数を減らしたり、動作距離を短くしたりすることが可能になる。その結果、本形態では、ＦＯＵＰ１２と半導体ウエハ処理装置１１との間において短時間でより多くのウエハ２を搬送することが可能になる。

【0047】

本形態では、搭載部材３７、３８は、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結される第３アーム部１９の基端側にエアシリンダ３９等を介して取り付けられている。そのため、本形態では、たとえば、搭載部材３７、３８がエアシリンダ３９を介して第１アーム部１７、第２アーム部１８または本体部７に取り付けられている場合と比較して、ハンド４、５と搭載部材３７、３８との間でのウエハ２の受渡しをより短時間で行うことが可能になる。したがって、本形態では、ＦＯＵＰ１２と半導体ウエハ処理装置１１との間において短時間でさらに多くのウエハ２を搬送することが可能になる。

【0048】

また、本形態では、搭載部材３７、３８が第３アーム部１９の基端側にエアシリンダ３９等を介して取り付けられているため、たとえば、搭載部材３７、３８がエアシリンダ３９を介して第１アーム部１７、第２アーム部１８または本体部７に取り付けられている場合と比較して、ロボット１が動作するときの、ロボット１の各部分と搭載部材３７、３８との干渉を防止しやすくなる。したがって、本形態では、ロボット１が搭載部材３７、３８を備えていても、ロボット１の動作を簡素化することが可能になる。また、本形態では、１個のエアシリンダ３９によって２個の搭載部材３７、３８を昇降させているため、ロボット１の構成を簡素化することが可能になる。

【0049】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0050】

上述した形態において、ロボット１は、搭載部材３７、３８に搭載されるウエハ２を吸引して搭載部材３７、３８上で保持するための吸引機構４５（図５参照）を備えていても良い。この場合には、図６に示すように、上下方向から見たときの搭載部材３７、３８の形状は、第３アーム部１９の長手方向に伸びる直線状となっていても良い。図６に示すように、上下方向から見たときに、直線状に形成される搭載部材３７、３８は、ウエハ搭載部２３の二股部分に入り込んでおり、上下方向から見たときに、ハンド４、５と搭載部材３７、３８とが重なっていない。

【0051】

図６に示す例では、搭載部材３７の先端部３７ｅにウエハ２を吸引するための吸引穴が形成されている。先端部３７ｅは、搭載部材３７に搭載されるウエハ２の中心部の下側に配置されており、ウエハ２の中心部が先端部３７ｅに吸引される。同様に、搭載部材３８に搭載されるウエハ２の中心部の下側に配置される搭載部材３８の先端部にウエハ２を吸引するための吸引穴が形成されており、ウエハ２の中心部が搭載部材３８の先端部に吸引される。

【0052】

上述した形態において、アーム６は、第１アーム部１７と第２アーム部１８との２個のアーム部によって構成されていても良い。この場合には、第２アーム部１８の先端側にハンド４、５が回動可能に連結されている。また、搭載部材３７、３８は、第２アーム部１８の基端側にエアシリンダ３９等を介して取り付けられている。この場合の第２アーム部１８は先端側アーム部であり、第１アーム部１７は支持側アーム部である。

【0053】

上述した形態において、搭載部材３７、３８は、エアシリンダ３９等を介して第２アーム部１８に取り付けられていても良いし、第１アーム部１７に取り付けられていても良い。また、搭載部材３７、３８は、エアシリンダ３９等を介して本体部７に取り付けられていても良い。また、上述した形態において、昇降機構３９は、エアシリンダでなくても良い。この場合には、昇降機構３９は、たとえば、モータおよびボールねじ等を備えている。

【0054】

上述した形態において、ロボット１が有する搭載部材の数は、１個であっても良いし、３個以上であっても良い。また、上述した形態において、第３アーム部１９の先端側に、１個のハンドが取り付けられても良いし、３個以上のハンドが取り付けられていても良い。さらに、上述した形態において、ロボット１は、ウエハ２以外の搬送対象物を搬送しても良い。この場合には、搬送対象物は、円板状に形成されていなくても良い。

【0055】

（本技術の構成）
なお、本技術は以下のような構成を取ることが可能である。
（１）搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームが連結される本体部と、前記搬送対象物が搭載可能であるとともに前記ハンドに対して昇降可能な搭載部材と、前記アームに対して前記ハンドを回動させるハンド回動機構と、前記ハンドに対して前記搭載部材を昇降させる昇降機構とを備え、
前記ハンドは、前記アームよりも上側に配置され上下方向を回動の軸方向として前記アームに対して回動可能になっているとともに、前記ハンドと前記搭載部材との間で前記搬送対象物の受渡しが可能となる受渡し可能位置まで前記アームに対して回動可能となっており、
前記搭載部材は、前記ハンドと前記搭載部材との間での前記搬送対象物の受渡し時に前記ハンドに対して昇降することを特徴とする産業用ロボット。
（２）前記アームは、前記ハンドが先端側に回動可能に連結される先端側アーム部と、前記先端側アーム部の基端側が先端側に回動可能に連結される支持側アーム部とを備え、
前記搭載部材は、前記先端側アーム部の基端側に前記昇降機構を介して取り付けられ、
前記受渡し可能位置に配置される前記ハンドは、上下方向において前記先端側アーム部と重なっていることを特徴とする（１）記載の産業用ロボット。
（３）前記アームは、前記本体部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、前記第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される前記支持側アーム部としての第２アーム部と、前記第２アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される前記先端側アーム部としての第３アーム部とを備えることを特徴とする（２）記載の産業用ロボット。
（４）前記受渡し可能位置に配置されているときに上下方向で重なる２個の前記ハンドと、上下方向で重なる２個の前記搭載部材と、２個の前記搭載部材を一緒に昇降させる１個の前記昇降機構とを備えることを特徴とする（１）から（３）のいずれかに記載の産業用ロボット。
（５）前記搬送対象物は、円板状に形成され、
上下方向から見たときの前記搭載部材の形状は、Ｕ形状になっていることを特徴とする（１）から（４）のいずれかに記載の産業用ロボット。
（６）前記搭載部材に搭載される前記搬送対象物を吸引して前記搭載部材上で保持するための吸引機構を備えることを特徴とする（１）から（５）のいずれかに記載の産業用ロボット。

【符号の説明】

【0056】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
４、５ ハンド
４Ａ、５Ａ 受渡し可能位置
６ アーム
７ 本体部
１７ 第１アーム部
１８ 第２アーム部（支持側アーム部）
１９ 第３アーム部（先端側アーム部）
３０、３１ ハンド回動機構
３７、３８ 搭載部材
３９ エアシリンダ（昇降機構）
４５ 吸引機構

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】