特開 2024-170176 流体カーテン供給装置、及びこれを備えたエッチング装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024170176

(43)【公開日】2024-12-06

(54)【発明の名称】流体カーテン供給装置、及びこれを備えたエッチング装置

(51)【国際特許分類】

   B05C 5/00 20060101AFI20241129BHJP

   B05C 11/00 20060101ALI20241129BHJP

   H01L 21/306 20060101ALI20241129BHJP

【ＦＩ】

B05C5/00 103

B05C11/00

H01L21/306 R

【審査請求】有

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023087195

(22)【出願日】2023-05-26

(71)【出願人】

【識別番号】520487808

【氏名又は名称】シャープディスプレイテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】荻野 和基

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 宣彦

【テーマコード（参考）】

4F041

4F042

5F043

【Ｆターム（参考）】

4F041AA02

4F041AA05

4F041AB01

4F041CA04

4F042AA02

4F042AA06

4F042AB00

4F042DF01

4F042DF24

4F042DH09

5F043DD13

5F043EE07

5F043EE36

(57)【要約】

【課題】スリット状の開口から吐出された流体の流体割れ状態を抑制する。
【解決手段】流体カーテン供給装置（１）は、基板（２０）を搬送する搬送ライン（２）と、搬送ライン（２）の幅方向に沿って延伸するスリット状の開口（１３）から搬送ライン（２）に向かって薬液（１４）をカーテン状に吐出する流体ナイフ（３）と、流体ナイフ（３）の開口（１３）からカーテン状に吐出されて搬送ライン（２）に向かう薬液（１４）が吐出方向に沿って割ける液割れ（１５）を検出する感圧シート（４）と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を搬送する搬送ラインと、
前記搬送ラインの幅方向に沿って延伸するスリット状の開口から前記搬送ラインに向かって流体をカーテン状に吐出する流体ナイフと、
前記流体ナイフの前記開口からカーテン状に吐出されて前記搬送ラインに向かう前記流体が吐出方向に沿って割ける流体割れ状態を検出する流体割れ検出部材と、を備える流体カーテン供給装置。

【請求項2】

前記流体割れ検出部材が、前記スリット状の開口から吐出された前記流体の吐出先に前記幅方向に沿って配置されて、前記開口から吐出された前記流体の圧力に応じて着色する感圧シートを含む、請求項１に記載の流体カーテン供給装置。

【請求項3】

前記流体ナイフ側に前記感圧シートが設けられた支持部材をさらに含む、請求項２に記載の流体カーテン供給装置。

【請求項4】

前記感圧シートが、前記搬送ラインに対して前記流体ナイフの反対側に配置される、請求項２に記載の流体カーテン供給装置。

【請求項5】

前記感圧シートは、前記流体割れ状態が発生した前記幅方向に沿った箇所において着色が抑制される、請求項２に記載の流体カーテン供給装置。

【請求項6】

前記搬送ラインと前記流体ナイフと前記感圧シートとが、前記幅方向に沿って傾斜して配置される、請求項２に記載の流体カーテン供給装置。

【請求項7】

前記流体が薬液を含み、
前記薬液に対する耐性を有して前記感圧シートを覆う耐薬液シートをさらに含む、請求項２に記載の流体カーテン供給装置。

【請求項8】

前記流体割れ検出部材が、前記スリット状の開口から吐出された前記流体の吐出先に前記幅方向に沿って配置されて、前記開口から吐出された前記流体の圧力を検出する圧力ラインセンサを含む、請求項１に記載の流体カーテン供給装置。

【請求項9】

前記流体が薬液を含み、
前記薬液に対する耐性を有して前記圧力ラインセンサを覆う耐薬液シートをさらに含む、請求項８に記載の流体カーテン供給装置。

【請求項10】

前記流体が液体を含み、
前記流体割れ検出部材が、前記開口からカーテン状に吐出された前記液体の側面に対向して前記幅方向に沿って配置された光学式ラインセンサを含む、請求項１に記載の流体カーテン供給装置。

【請求項11】

前記光学式ラインセンサが、前記開口からカーテン状に吐出された前記液体の前記側面に向かって前記幅方向に沿って光を照射する光源と、
前記幅方向に沿って配置されて前記液体の前記側面により反射された前記光を受光する受光部と、を含む、請求項１０に記載の流体カーテン供給装置。

【請求項12】

前記流体が薬液を含み、
前記流体割れ検出部材が、前記開口からカーテン状に吐出された前記薬液が塗布された前記基板に対向して前記幅方向に沿って配置された光学式ラインセンサを含む、請求項１に記載の流体カーテン供給装置。

【請求項13】

前記光学式ラインセンサが、前記開口からカーテン状に吐出された前記薬液が塗布された前記基板に向かって前記幅方向に沿って光を照射する光源と、
前記幅方向に沿って配置されて前記基板により反射された前記光を受光する受光部と、を含む、請求項１２に記載の流体カーテン供給装置。

【請求項14】

請求項１から１３の何れか一項に記載の流体カーテン供給装置を備え、
前記流体が薬液を含み、
前記流体カーテン供給装置よりも下流側に配置され、前記開口からカーテン状に吐出された前記薬液が塗布された前記基板をシャワーによりエッチングするシャワー装置をさらに備えるエッチング装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、流体をカーテン状に吐出する流体カーテン供給装置、及びこれを備えたエッチング装置に関する。

【背景技術】

【0002】

基板を搬送する搬送ラインの幅方向に沿って延伸するスリット状の開口から搬送ラインに向かって薬液をカーテン状に吐出する流体カーテン供給装置が従来技術として知られている（特許文献１）。この流体カーテン供給装置は、薬液供給側の構造を圧力管理された複数本の薬液供給菅とする事で、カーテン状に吐出された薬液が吐出方向に沿って割ける液割れ状態を低減させることを目的としている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開2019-118863号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上述のような薬液供給側の構造を用いた場合でも、さらに液割れが発生する可能性がある。

【0005】

本開示の一態様は、スリット状の開口からカーテン状に吐出された流体が吐出方向に沿って割ける流体割れ状態を抑制することができる流体カーテン供給装置、及びこれを備えたエッチング装置を実現することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記の課題を解決するために、本開示の一態様に係る流体カーテン供給装置は、基板を搬送する搬送ラインと、前記搬送ラインの幅方向に沿って延伸するスリット状の開口から前記搬送ラインに向かって流体をカーテン状に吐出する流体ナイフと、前記流体ナイフの前記開口からカーテン状に吐出されて前記搬送ラインに向かう前記流体が吐出方向に沿って割ける流体割れ状態を検出する流体割れ検出部材と、を備える。

【0007】

上記の課題を解決するために、本開示の一態様に係るエッチング装置は、本開示の一態様に係る流体カーテン供給装置を備え、前記流体が薬液を含み、前記流体カーテン供給装置よりも下流側に配置され、前記開口からカーテン状に吐出された前記薬液が塗布された前記基板をシャワーによりエッチングするシャワー装置をさらに備える。

【発明の効果】

【0008】

本開示の一態様によれば、スリット状の開口からカーテン状に吐出された流体が吐出方向に沿って割ける流体割れ状態を抑制することができる流体カーテン供給装置、及びこれを備えたエッチング装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施形態１に係る流体カーテン供給装置の正面図である。

【図2】上記流体カーテン供給装置が設けられたエッチング装置の側面図である。

【図3】比較例に係る流体カーテン供給装置の要部正面図である。

【図4】比較例に係る流体カーテン供給装置の正面図である。

【図5】上記流体カーテン供給装置が設けられたエッチング装置の側面図である。

【図6】上記流体カーテン供給装置の正常時における正面図である。

【図7】上記流体カーテン供給装置の液割れ発生時における正面図である。

【図8】変形例に係る流体カーテン供給装置の正面図である。

【図9】上記流体カーテン供給装置に係るフィードバック動作を示すフローチャートである。

【図10】実施形態２に係る流体カーテン供給装置が設けられたエッチング装置の側面図である。

【図11】変形例に係る流体カーテン供給装置が設けられたエッチング装置の側面図である。

【図12】実施形態３に係る流体カーテン供給装置の斜視図である。

【図13】上記流体カーテン供給装置が設けられたエッチング装置の側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

〔実施形態１〕
以下、本開示の一実施形態について、詳細に説明する。図１は実施形態１に係る流体カーテン供給装置１の正面図である。図２は流体カーテン供給装置１が設けられたエッチング装置１１の側面図である。

【0011】

エッチング装置１１は、流体カーテン供給装置１と、流体カーテン供給装置１よりも下流側に配置されるシャワー装置１２と、を備える。

【0012】

流体カーテン供給装置１は、基板２０を搬送する搬送ライン２と、搬送ライン２の幅方向に沿って延伸するスリット状の開口１３から搬送ライン２に向かって薬液１４（流体）をカーテン状に吐出する液ナイフ３（流体ナイフ）と、を備える。搬送ライン２は、基板２０を搬送するために回転する複数のローラ１７と、複数のローラ１７を支持する軸１６とを含む。

【0013】

エッチング装置１１のシャワー装置１２は、液ナイフ３の開口１３からカーテン状に吐出された薬液１４が塗布された基板２０をシャワーによりエッチングする。搬送ライン２と液ナイフ３とは、搬送ライン２の幅方向に沿って傾斜して配置される。

【0014】

このように、基板２０はドライエリアからエッチング装置１１内に搬送ライン２により搬送される。そして、エッチング装置１１の入口に配置された流体カーテン供給装置１の液ナイフ３にて基板２０を薬液１４で均一に濡らしてから、シャワー装置１２からのシャワーで基板２０のエッチング処理を実施している。

【0015】

図３は比較例に係る流体カーテン供給装置の要部正面図である。図４は比較例に係る流体カーテン供給装置の正面図である。図５は比較例に係る流体カーテン供給装置が設けられたエッチング装置の側面図である。前述した構成要素と同様の構成要素には同様の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。

【0016】

液ナイフ３にて基板２０に薬液１４を塗布する時、液ナイフ３による薬液１４の基板２０への掛かり方が不均一だと、薬液１４が当たらなかった基板２０の箇所がアンダーエッチングになり、テーパー起因の段切れ等の不良が発生する。

【0017】

エッチング装置１１内のフィルター詰まりによる液ナイフ３の流量低下、及び、エッチング装置１１が約２０°の傾斜搬送である事に起因して、液ナイフ３のスリット状の開口１３からカーテン状に吐出されて搬送ライン２に向かう薬液１４が吐出方向に沿って割ける液割れ１５が発生しやすい傾向がある。液ナイフ３に対して給液パイプ１９を通して３か所から薬液１４を供給している。図３に示すように、液ナイフ３の中を薬液１４が幅方向に流れる際に液ナイフ３の幅方向に沿った傾斜の影響で薬液１４が液ナイフ３の中を傾斜方向に沿って重力の作用に従って流れる。このため、液ナイフ３の中を流れる薬液１４の上流側の吐出が弱くなり、液割れ１５が発生しやすい傾向がある。
また、給液パイプ１９から液ナイフ３への３か所の供給口の直下の開口１３の箇所は液割れ１５が発生し難いが、供給口と供給口との間の開口１３の箇所は薬液１４が吐出され難く液割れ１５が発生しやすい傾向がある。そして、給液パイプ１９、スリット状の開口１３に異物が噛むと液割れ１５が発生する。この場合は、開口１３の幅方向の箇所を問わず液割れ１５が発生する。この液割れ１５の幅は例えば３ｃｍ～５ｃｍ程度である。このため、液ナイフ３への薬液１４の流量の管理だけでは液ナイフ３から吐出する薬液１４の一部に液割れ１５が発生していても捕捉出来ない。

【0018】

薬液１４の液割れ１５の有無を１日１回程度、短時間で目視確認している。しかしながら、同じ槽のエッチング装置１１内でシャワー装置１２によりシャワー吐出も行っている為、液割れ１５の有無の正確な判断が難しい。また、薬液１４の一部に液割れ１５が発生していても薬液１４の流量への反応が鈍く、短時間の目視で判断しづらい。このため、何らかの問題が発生し、薬液１４の吐出状態をじっくり目視確認すると液割れ１５が発生していた、ということが多々ある。

【0019】

そこで、本実施形態では、図１及び図２に示すように、液ナイフ３からの薬液１４の吐出先に基板２０の搬送とは関係ない板状の支持部材５を設置し、その支持部材５の上に、圧力に反応する感圧シート４を設け、感圧シート４と支持部材５とを組み合わせて目視確認をしやすくする。この感圧シート４は圧力に応じて着色するシートである。

【0020】

液ナイフ３は、液切りするエアナイフのような構成を有するのではなく、基板２０上に薬液１４を均一に塗布するために、薬液１４をカーテン状に吐出させている。この吐出が不均一であると基板２０の面内に塗布される薬液１４の液量が不均一になり、基板２０の面内でエッチングレートに差が出る。

【0021】

エッチング装置１１は、液ナイフ３の開口１３からカーテン状に吐出されて搬送ライン２に向かう薬液１４が吐出方向に沿って割ける液割れ１５（液割れ状態、流体割れ状態）を検出する感圧シート４（流体割れ検出部材）をさらに備える。

【0022】

このため、液ナイフ３の幅方向に沿って延伸するスリット状の開口１３からカーテン状に吐出された薬液１４が当たる感圧シート４の態様を目視することにより、薬液１４が吐出方向に沿って割ける液割れ１５を短時間で容易に確認することができる。この結果、薬液１４の液割れ状態を容易に抑制することができる。

【0023】

この感圧シート４は、液ナイフ３のスリット状の開口１３から吐出された薬液１４の吐出先に搬送ライン２の幅方向に沿って配置されて、開口１３から吐出された薬液１４の圧力に応じて着色する。

【0024】

これにより、開口１３から吐出された薬液１４が当たった感圧シート４の幅方向の箇所が着色する。薬液１４が当たらない感圧シート４の幅方向の箇所は着色が抑制される。このため、薬液１４が吐出方向に沿って割ける液割れ１５を短時間で容易に確認することができる。

【0025】

流体カーテン供給装置１は、液ナイフ３側に感圧シート４が設けられた支持部材５（流体割れ検出部材）をさらに備える。

【0026】

これにより、液ナイフ３の開口１３から吐出された薬液１４に対向する感圧シート４が支持部材５により支持される。このように、液ナイフ３の吐出先に薬液１４の圧力に反応して着色する感圧シート４を設けた支持部材５を設置し、液ナイフ３の吐出状態を短時間の目視で確認しやすくする。

【0027】

支持部材５は、液ナイフ３と平行に配置することで、液ナイフ３との間の距離が幅方向に沿って一定となり、液ナイフ３との間の距離に基づく感圧シート４の圧力差が起こらない。

【0028】

感圧シート４は、搬送ライン２に対して液ナイフ３の反対側に配置される。

【0029】

これにより、基板２０が液ナイフ３の下に搬送される前又は搬送された後に、液ナイフ３から吐出された薬液１４が搬送ライン２を通過して感圧シート４に到達する。

【0030】

感圧シート４は、液割れ１５が発生した搬送ライン２の幅方向に沿った箇所において着色が抑制され、液割れ１５が発生しない幅方向に沿った箇所において着色が促進される。

【0031】

このため、感圧シート４の着色の態様を目視することにより、薬液１４の液割れ状態を短時間で容易に確認することができる。

【0032】

搬送ライン２と液ナイフ３と感圧シート４とは、搬送ライン２の幅方向に沿って傾斜して配置される。

【0033】

幅方向に沿って傾斜して配置されることにより発生しやすい液割れ状態を容易に確認することができる。また、幅方向に傾斜して配置すると、平らに配置するよりも搬送ライン２と液ナイフ３と感圧シート４との設置スペースを縮小することができる。また、搬送ライン２上の基板２０も幅方向に傾斜するので、液ナイフ３から基板２０に吐出された薬液１４が基板２０の傾斜方向に沿って重力の作用に従って流れる。このため、薬液１４が基板２０上に均一に塗布され、基板２０をムラなくエッチングすることができる。

【0034】

また、感圧シート４が設けられた支持部材５が幅方向に傾斜しているため、液ナイフ３から吐出された薬液１４が支持部材５の上に滞留しなくなり、薬液１４の自重で感圧シート４が着色するようなことも起こらない。
支持部材５は、薬液１４に対する耐性を有して感圧シート４を覆う耐薬液シート７（流体割れ検出部材）を含んでもよい。

【0035】

これにより、液ナイフ３の開口１３からカーテン状に吐出されて感圧シート４に向かう薬液１４の作用から感圧シート４を保護することができる。
感圧シート４を、耐薬液シート７でカバーすることで感圧シート４が薬液１４で劣化等することを防止できる。なお、耐薬液シート７が硬いと感圧シート４で薬液１４の圧力に反応できなくなるので、耐薬液シート７はある程度の柔軟性が必要である。

【0036】

図６は流体カーテン供給装置１の正常時における正面図である。図７は流体カーテン供給装置１の液割れ発生時における正面図である。前述した構成要素と同様の構成要素には同様の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。

【0037】

薬液１４が液ナイフ３から正常に吐出される正常時は、図６に示すように、液ナイフ３の幅方向に沿って延伸するスリット状の開口１３からカーテン状に吐出される薬液１４の流量が幅方向に沿って均一である。このため、支持部材５に設けられた感圧シート４が幅方向に均一に着色され、薬液１４の液割れ１５が発生していないことが短時間で目視により確認できる。

【0038】

液ナイフ３から吐出される薬液１４に液割れ１５が発生する異常時は、図７に示すように、薬液１４の液切れ１５が発生した感圧シート４の幅方向の箇所は、薬液１４が当たらず、薬液１４に基づく圧力が弱いため、着色されないか、又は、着色が薄くなる。また、薬液１４の流量が幅方向に不均一の場合は、感圧シート４の流量が少ない幅方向の箇所の着色は薄くなる。図７に示す例では、幅方向に傾斜する液ナイフ３から吐出される薬液１４の流量が、液割れ１５が生じた位置よりも昇り方向側で降り方向側よりも少なくなっている。このため、幅方向に傾斜する感圧シート４は、液割れ１５が生じた位置よりも昇り方向側で降り方向側よりも着色が薄くなる。

【0039】

感圧シート４は、圧力を可視化出来るシートであり、圧力測定フィルムともいう。感圧シート４は、シート全体が圧力を測定するセンサであり、面全体の圧力分布や面圧を一目で確認することができる。感圧シート４は圧力を受けると例えば赤く発色する。その発色濃度は圧力の大きさに応じて変化する。

【0040】

感圧シート４は、圧力に応じて着色した後、圧力が無くなっても着色が無くならない場合、繰り返し使用ができない。このため、目視確認毎に感圧シート４を交換する必要がある。感圧シート４は、圧力が無くなると着色が無くなって繰り返し使用できるシートであることが望ましく、この場合は交換不要となる。

【0041】

以上のように本実施の形態によれば、吐出により基板２０に塗布される薬液１４の液割れ１５の短時間での目視確認漏れを減らし、エッチング起因の不良を低減することができる。

【0042】

図８は変形例に係る流体カーテン供給装置１Ａの正面図である。前述した構成要素と同様の構成要素には同様の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。

【0043】

流体カーテン供給装置１Ａは、スリット状の開口１３から吐出された薬液１４の吐出先に幅方向に沿って配置されて、開口１３から吐出された薬液１４の圧力を検出する圧力ラインセンサ６（流体割れ検出部材）を含む。

【0044】

このため、液ナイフ３の開口１３からカーテン状に吐出された薬液１４が当たる圧力ラインセンサ６の出力を検出することにより、薬液１４が吐出方向に沿って割ける液割れ１５を容易に確認することができる。この結果、薬液１４の液割れ状態を容易に抑制することができる。

【0045】

圧力ラインセンサ６は、搬送ライン２の幅方向に沿って配列された複数の圧力センサを含む。搬送ライン２の幅方向に沿って配置された支持部材５Ａの上に圧力センサをライン状に配置して圧力ラインセンサ６を構成してもよい。

【0046】

流体カーテン供給装置１Ａは、薬液１４に対する耐性を有して圧力ラインセンサ６を覆う図１に示す耐薬液シート７（流体割れ検出部材）をさらに含んでもよい。

【0047】

これにより、液ナイフ３の開口１３からカーテン状に吐出されて圧力ラインセンサ６に向かう薬液１４の作用から圧力ラインセンサ６を保護することができる。

【0048】

圧力ラインセンサ６を、耐薬液シートでカバーすることで圧力ラインセンサ６が薬液１４で劣化等することを防止できる。なお、耐薬液シートが硬いと圧力ラインセンサ６で薬液１４の圧力をセンシングできなくなるので、耐薬液シートはある程度の柔軟性が必要である。

【0049】

圧力ラインセンサ６のセンシング結果をモニター等に表示させ、薬液１４の液割れ１５の有無や流量を確認することができる。また、圧力ラインセンサ６のセンシング結果をモニター等に表示させるのではなく、圧力ラインセンサ６で薬液１４の液割れ１５を感知した場合、異常アラームを鳴らしてもよいし、薬液１４を液ナイフ３に供給する装置へのフィードバックを行い、薬液１４の液割れ１５を解消するために当該装置を自動復旧させるように構成してもよい。
図９は流体カーテン供給装置１Ａに係るフィードバック動作を示すフローチャートである。前述した構成要素と同様の構成要素には同様の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。
流体カーテン供給装置１Ａは、圧力ラインセンサ６の出力を監視してフィードバックするフィードバック部２１を備えてもよい。
まず、圧力ラインセンサ６の出力をフィードバック部２１がモニターして液割れ１５を監視する（ステップＳ１）。そして、圧力ラインセンサ６の出力に基づいて液割れ１５が発生しているか否かをフィードバック部２１が判断する（ステップＳ２）。
液割れ１５が発生しているとフィードバック部２１が判断したときは（ステップＳ２でＹＥＳ）、フィードバック部２１は異常アラーム信号を発生する（ステップＳ３）。そして、フィードバック部２１により発生された異常アラーム信号に基づいて、液ナイフ３はスリット状の開口１３からの薬液１４の吐出を停止する（ステップＳ４）。その後、手動又は自動による液割れ１５に対する対策が実施される（ステップＳ５）。そして、液ナイフ３はスリット状の開口１３からの薬液１４の吐出を実施する（ステップＳ６）。
液割れ１５が発生していないとフィードバック部２１が判断したときは（ステップＳ２でＮＯ）、ステップＳ６に移る。
液ナイフ３は、薬液１４に限らず、水等の液体を吐出してもよいし、エアー等の気体を吐出してもよい。この場合、感圧シート４は、水等の液体又はエアー等の気体に基づく圧力に応じて着色する。圧力ラインセンサ６は、水等の液体又はエアー等の気体に基づく圧力を検出する。

【0050】

〔実施形態２〕
図１０は実施形態２に係る流体カーテン供給装置１Ｂが設けられたエッチング装置１１Ｂの側面図である。前述した構成要素と同様の構成要素には同様の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。

【0051】

エッチング装置１１Ｂは、流体カーテン供給装置１Ｂと、流体カーテン供給装置１Ｂよりも下流側に配置されるシャワー装置１２と、を備える。

【0052】

エッチング装置１１Ｂは、液ナイフ３の幅方向に沿って延伸するスリット状の開口１３からカーテン状に吐出された薬液１４の側面に対向して幅方向に沿って配置された光学式ラインセンサ８（流体割れ検出部材）を含む。

【0053】

これにより、液ナイフ３の開口１３からカーテン状に吐出された薬液１４の側面に対向して幅方向に沿って配置された光学式ラインセンサ８からの出力に基づいて、薬液１４が吐出方向に沿って割ける液割れ１５を検出することができる。

【0054】

光学式ラインセンサ８は、液ナイフ３の開口１３からカーテン状に吐出された薬液１４の側面に向かって幅方向に沿って光を照射する光源９と、幅方向に沿って配置されて薬液１４の側面により反射された光を受光する受光部１０と、を含む。

【0055】

これにより、液ナイフ３の開口１３からカーテン状に吐出された薬液１４の側面によって反射された光を受光した受光部１０からの出力に基づいて、薬液１４が吐出方向に沿って割ける液割れ１５態を検出することができる。

【0056】

このように、光源９からの光を、液ナイフ３から吐出された薬液１４に当てて、薬液１４の側面で反射させる。薬液１４がある部分とない部分とでは光源９からの光の反射率が異なるため、その反射率の差をセンシングして薬液１４の液割れ１５の有無を確認する。

【0057】

実施形態１の構成では、液ナイフ３から吐出された薬液１４が基板２０に塗布されている最中は薬液が搬送ライン２を通過して感圧シート４等に到達しないので、薬液１４の液切れ１５を感圧シート４により常時監視することは困難である。しかしながら、この実施形態２の構成では、液ナイフ３から吐出された薬液１４が基板２０に塗布されている最中も、光学式ラインセンサ８により薬液１４の側面により反射された光を受光できるので、薬液１４の液切れ１５を常時監視することができる。

【0058】

図１０に示される光源９の位置と受光部１０の位置とは逆の位置で構成してもよい。

【0059】

図１１は変形例に係る流体カーテン供給装置１Ｃの正面図である。前述した構成要素と同様の構成要素には同様の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。

【0060】

エッチング装置１１Ｃは、流体カーテン供給装置１Ｃと、流体カーテン供給装置１Ｃよりも下流側に配置されるシャワー装置１２と、を備える。

【0061】

光学式ラインセンサ８は、液ナイフ３の開口１３からカーテン状に吐出された薬液１４の側面に向かって幅方向に沿って光を照射する光源９と、幅方向に沿って配置されて薬液１４の側面を透過した光を受光する受光部１０と、を含んでもよい。

【0062】

この場合、光源９と受光部１０とは、薬液１４を挟んだ両側に配置される。尚、図１１では、受光部１０を搬送ライン２の下側に配置しているが、搬送ライン２と液ナイフ３の間に配置してもよい。

【0063】

エッチング装置１１Ｃも同様に、光学式ラインセンサ８のセンシング結果をモニター等に表示させ、薬液１４の液割れ１５の有無や流量を確認することができる。また、光学式ラインセンサ８のセンシング結果をモニター等に表示させるのではなく、光学式ラインセンサ８で薬液１４の液割れ１５を感知した場合、異常アラームを鳴らしてもよいし、薬液１４を液ナイフ３に供給する装置へのフィードバックを行い、薬液１４の液割れ１５を解消するために当該装置を自動復旧させるように構成してもよい。

【0064】

〔実施形態３〕
図１２は実施形態３に係る流体カーテン供給装置１Ｄの斜視図である。図１３は流体カーテン供給装置１Ｄが設けられたエッチング装置１１Ｄの側面図である。前述した構成要素と同様の構成要素には同様の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。

【0065】

エッチング装置１１Ｄは、流体カーテン供給装置１Ｄと、流体カーテン供給装置１Ｄよりも下流側に配置されるシャワー装置１２と、を備える。

【0066】

流体カーテン供給装置１Ｄは、搬送ライン２の幅方向に沿って延伸するスリット状の開口１３からカーテン状に吐出された薬液１４が塗布された基板２０に対向して幅方向に沿って配置された光学式ラインセンサ８Ｄ（流体割れ検出部材）を含む。
これにより、開口１３から吐出された薬液１４が塗布された基板２０に対向して幅方向に沿って配置された光学式ラインセンサ８Ｄからの出力に基づいて、液ナイフ３から吐出された薬液１４が吐出方向に沿って割ける液割れ１５に起因する液割れ領域１５Ｃを検出することができる。

【0067】

光学式ラインセンサ８Ｄは、開口１３からカーテン状に吐出された薬液１４が塗布された基板２０に向かって幅方向に沿って光を照射する光源９Ｄと、幅方向に沿って配置されて基板２０により反射された光を受光する受光部１０Ｄと、を含む。
これにより、開口１３から吐出された薬液１４が塗布された基板２０により反射された受光部１０Ｄからの出力に基づいて、液ナイフ３から吐出された薬液１４が吐出方向に沿って割ける液割れ１５に基づく液割れ領域１５Ｃを検出することができる。

【0068】

このように、光源９Ｄからの光を基板２０上の薬液１４で反射させる。薬液１４がある部分と無い部分（液割れ領域１５Ｃ）とでは光の反射率が異なるため、その差をセンシングして液割れに基づく液割れ領域１５Ｃの有無を確認する。この実施形態３の構成では、液ナイフ３から吐出された薬液１４が基板２０に塗布されている状態を、光学式ラインセンサ８Ｄにより、薬液１４が塗布された基板２０の表面により反射された光を受光できるので、薬液１４の液切れ１５を監視することができる。

【0069】

尚、実際の生産に用いる基板において、メタルパターン等による反射率の変化が課題になる場合は、メタルパターンが無い又はメタルパターンを全面に形成したテスト用基板により薬液１４の液切れ１５に起因する液割れ領域１５Ｃを確認してもよい。または、光源９Ｄから基板２０に向かう光と基板２０で反射された受光部１０Ｄに向かう光との間の角度を調整し、当該角度を臨界角以下に設定する事により、光源９Ｄから基板２０に向かう光を基板２０に塗布された薬液１４の表面で全反射させ、液割れ領域１５Ｃを確認してもよい。

【0070】

光学式ラインセンサ８Ｄのセンシング結果をモニター等に表示させ、薬液１４の液割れ１５の有無や流量を確認することができる。また、光学式ラインセンサ８Ｄのセンシング結果をモニター等に表示させるのではなく、光学式ラインセンサ８Ｄで薬液１４の液割れ１５を感知した場合、異常アラームを鳴らしてもよいし、薬液１４を液ナイフ３に供給する装置へのフィードバックを行い、薬液１４の液割れ１５を解消するために当該装置を自動復旧させるように構成してもよい。
実施形態１～３のように、薬液１４の液切れ１５の状態監視は、吐出された薬液１４の状態監視と、吐出された薬液１４が塗布された基板２０上の状態監視との２つの方式が考えられる。

【0071】

〔まとめ〕
本開示の態様１に係る流体カーテン供給装置１・１Ａ・１Ｂ・１Ｃ・１Ｄは、基板２０を搬送する搬送ライン２と、搬送ライン２の幅方向に沿って延伸するスリット状の開口１３から前記搬送ライン２に向かって流体（薬液１４）をカーテン状に吐出する流体ナイフ（液ナイフ３）と、前記流体ナイフの前記開口１３からカーテン状に吐出されて前記搬送ライン２に向かう流体が吐出方向に沿って割ける流体割れ状態を検出する流体割れ検出部材（感圧シート４・圧力ラインセンサ６・光学式ラインセンサ８・８Ｄ）と、を備える。

【0072】

上記の構成によれば、流体ナイフの開口からカーテン状に吐出された流体が当たる流体割れ検出部材の態様を確認することにより、流体が吐出方向に沿って割ける流体割れ状態を短時間で容易に確認することができる。

【0073】

本開示の態様２に係る流体カーテン供給装置１は、上記態様１において、前記流体割れ検出部材が、前記スリット状の開口１３から吐出された前記流体（薬液１４）の吐出先に前記幅方向に沿って配置されて、前記開口１３から吐出された前記流体の圧力に応じて着色する感圧シート４を含んでもよい。

【0074】

上記の構成によれば、スリット状の開口から吐出された流体が当たった感圧シートの幅方向の箇所は着色する。流体が当たらない感圧シートの幅方向の箇所は着色が抑制される。

【0075】

本開示の態様３に係る流体カーテン供給装置１は、上記態様２において、前記流体ナイフ（液ナイフ３）側に前記感圧シート４が設けられた支持部材５をさらに含んでもよい。

【0076】

上記の構成によれば、流体ナイフの開口から吐出された流体に対向する感圧シートが支持部材により支持される。

【0077】

本開示の態様４に係る流体カーテン供給装置１は、上記態様２において、前記感圧シート４が、前記搬送ライン２に対して前記流体ナイフ（液ナイフ３）の反対側に配置されてもよい。

【0078】

上記の構成によれば、基板が流体ナイフの下に搬送される前又は後に、流体ナイフから吐出された流体が搬送ラインを通過して感圧シートに到達する。

【0079】

本開示の態様５に係る流体カーテン供給装置１は、上記態様２において、前記感圧シート４は、前記流体割れ状態が発生した前記幅方向に沿った箇所において着色が抑制される。
上記の構成によれば、感圧シートの着色の態様を目視することにより、流体の流体割れ状態を短時間で容易に確認することができる。

【0080】

本開示の態様６に係る流体カーテン供給装置１は、上記態様２において、前記搬送ライン２と前記流体ナイフ（液ナイフ３）と前記感圧シート４とが、前記幅方向に沿って傾斜して配置されてもよい。

【0081】

上記の構成によれば、幅方向に沿って傾斜して配置されることにより発生しやすい流体割れ状態を容易に確認することができる。

【0082】

本開示の態様７に係る流体カーテン供給装置１は、上記態様２において、前記流体が薬液１４を含み、前記薬液１４に対する耐性を有して前記感圧シート４を覆う耐薬液シートをさらに含んでもよい。

【0083】

上記の構成によれば、流体ナイフの開口からカーテン状に吐出されて感圧シートに向かう薬液の作用から感圧シートを保護することができる。

【0084】

本開示の態様８に係る流体カーテン供給装置１Ａは、上記態様１において、前記流体割れ検出部材が、前記スリット状の開口１３から吐出された前記流体（薬液１４）の吐出先に前記幅方向に沿って配置されて、前記開口１３から吐出された前記流体の圧力を検出する圧力ラインセンサ６を含んでもよい。

【0085】

上記の構成によれば、流体ナイフの開口からカーテン状に吐出された流体が当たる圧力ラインセンサの出力を検出することにより、流体が吐出方向に沿って割ける流体割れ状態を容易に確認することができる。この結果、流体の流体割れ状態を容易に抑制することができる。

【0086】

本開示の態様９に係る流体カーテン供給装置１Ａは、上記態様８において、前記流体が薬液１４を含み、前記薬液１４に対する耐性を有して前記圧力ラインセンサ６を覆う耐薬液シートをさらに含んでもよい。

【0087】

上記の構成によれば、流体ナイフの開口からカーテン状に吐出されて圧力ラインセンサに向かう流体の作用から圧力ラインセンサを保護することができる。

【0088】

本開示の態様１０に係る流体カーテン供給装置１Ｂ・１Ｃは、上記態様１において、前記流体が液体（薬液１４）を含み、前記流体割れ検出部材が、前記開口１３からカーテン状に吐出された前記液体の側面に対向して前記幅方向に沿って配置された光学式ラインセンサ８を含んでもよい。

【0089】

上記の構成によれば、流体ナイフの開口からカーテン状に吐出された液体の側面に対向して幅方向に沿って配置された光学式ラインセンサからの出力に基づいて、液体が吐出方向に沿って割ける液割れ状態を検出することができる。

【0090】

本開示の態様１１に係る流体カーテン供給装置１Ｂは、上記態様１０において、前記光学式ラインセンサ８が、前記開口１３からカーテン状に吐出された前記液体（薬液１４）の前記側面に向かって前記幅方向に沿って光を照射する光源９と、前記幅方向に沿って配置されて前記液体の前記側面により反射された前記光を受光する受光部１０と、を含んでもよい。

【0091】

上記の構成によれば、流体ナイフの開口からカーテン状に吐出された液体の側面によって反射された光を受光した受光部からの出力に基づいて、液体が吐出方向に沿って割ける液割れ状態を検出することができる。

【0092】

本開示の態様１２に係る流体カーテン供給装置１Ｄは、上記態様１において、前記流体が薬液１４を含み、前記流体割れ検出部材が、前記開口１３からカーテン状に吐出された前記薬液１４が塗布された前記基板２０に対向して前記幅方向に沿って配置された光学式ラインセンサ８Ｄを含んでもよい。

【0093】

上記の構成によれば、流体ナイフの開口から吐出された薬液が塗布された基板に対向して幅方向に沿って配置された光学式ラインセンサからの出力に基づいて、流体ナイフから吐出された薬液が吐出方向に沿って割ける液割れ状態を検出することができる。

【0094】

本開示の態様１３に係る流体カーテン供給装置１Ｄは、上記態様１２において、前記光学式ラインセンサ８Ｄが、前記開口１３からカーテン状に吐出された前記薬液１４が塗布された前記基板２０に向かって前記幅方向に沿って光を照射する光源９Ｄと、前記幅方向に沿って配置されて前記基板２０により反射された前記光を受光する受光部１０Ｄと、を含んでもよい。

【0095】

上記の構成によれば、流体ナイフの開口から吐出された薬液が塗布された基板により反射された受光部からの出力に基づいて、流体ナイフから吐出された薬液が吐出方向に沿って割ける液割れ状態を検出することができる。

【0096】

本開示の態様１４に係るエッチング装置１１・１１Ｂ・１１Ｃ・１１Ｄは、本開示の態様１から１３の何れか一態様に記載の流体カーテン供給装置１・１Ａ・１Ｂ・１Ｃ・１Ｄを備え、前記流体が薬液１４を含み、前記流体カーテン供給装置１・１Ａ・１Ｂ・１Ｃ・１Ｄよりも下流側に配置され、前記開口１３からカーテン状に吐出された前記薬液１４が塗布された前記基板２０をシャワーによりエッチングするシャワー装置１２をさらに備える。

【0097】

本開示は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本開示の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

【符号の説明】

【0098】

１ 流体カーテン供給装置
２ 搬送ライン
３ 液ナイフ（流体ナイフ）
４ 感圧シート（流体割れ検出部材）
５ 支持部材
６ 圧力ラインセンサ（流体割れ検出部材）
７ 耐薬液シート
８ 光学式ラインセンサ（流体割れ検出部材）
９ 光源（光学式ラインセンサ、流体割れ検出部材）
１０ 受光部（光学式ラインセンサ、流体割れ検出部材）
１１ エッチング装置
１２ シャワー装置
１３ 開口
１４ 薬液（流体）
１５ 液割れ（流体割れ）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】