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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024171261
(43)【公開日】2024-12-11
(54)【発明の名称】監視システム
(51)【国際特許分類】
B65G 54/02 20060101AFI20241204BHJP
H02P 25/064 20160101ALI20241204BHJP
【ＦＩ】
B65G54/02
H02P25/064
【審査請求】有
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023088238
(22)【出願日】2023-05-29
(71)【出願人】
【識別番号】000000918
【氏名又は名称】花王株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002170
【氏名又は名称】弁理士法人翔和国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】谷口 和也
【テーマコード（参考）】
3F021
5H540
【Ｆターム（参考）】
3F021AA07
3F021BA01
3F021CA01
3F021DA08
5H540AA01
5H540BA03
5H540BB01
5H540BB07
5H540BB09
5H540EE20
5H540FA04
5H540FC10
5H540GG07
(57)【要約】
【課題】搬送ステージ上を浮上して移動する搬送体の動作異常を予兆監視するとともに、該搬送ステージ上の障害物を検知することができる、監視システムを提供すること。
【解決手段】本発明に係る監視システム１０は、搬送ステージ２０と、該搬送ステージ２０上を移動する搬送体３０とを備えた搬送装置１００を監視する。搬送体３０は、磁石を有する。搬送ステージ２０は、磁力を電力により発生させて、前記磁石との相互作用により、搬送体３０を搬送ステージ２０から浮上させ且つ搬送ステージ２０上を移動させる磁力発生部を有している。監視システム１０は、搬送ステージ２０の法線方向において搬送体３０が浮上する領域を検出領域Ｒとする測域センサー２と、該測域センサー２の検知情報に基づき、搬送ステージ２０又は搬送体３０の異常を判定する異常判定部１４とを備えている。
【選択図】図１
【解決手段】本発明に係る監視システム１０は、搬送ステージ２０と、該搬送ステージ２０上を移動する搬送体３０とを備えた搬送装置１００を監視する。搬送体３０は、磁石を有する。搬送ステージ２０は、磁力を電力により発生させて、前記磁石との相互作用により、搬送体３０を搬送ステージ２０から浮上させ且つ搬送ステージ２０上を移動させる磁力発生部を有している。監視システム１０は、搬送ステージ２０の法線方向において搬送体３０が浮上する領域を検出領域Ｒとする測域センサー２と、該測域センサー２の検知情報に基づき、搬送ステージ２０又は搬送体３０の異常を判定する異常判定部１４とを備えている。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
搬送ステージと、該搬送ステージ上を移動する搬送体とを備えた搬送装置を監視する監視システムであって、
前記搬送体は、磁石を有し、
前記搬送ステージは、磁力を発生させて、前記搬送体が備える前記磁石との相互作用により、前記搬送体を該搬送ステージから該搬送ステージの法線方向に浮上させ且つ該搬送ステージ上を移動させる磁力発生部を有しており、
前記搬送ステージの法線方向において前記搬送体が浮上する領域を検出領域とする測域センサーと、
前記測域センサーの検知情報に基づき、前記搬送ステージ又は前記搬送体の異常を判定する異常判定部とを備えている、監視システム。
前記搬送体は、磁石を有し、
前記搬送ステージは、磁力を発生させて、前記搬送体が備える前記磁石との相互作用により、前記搬送体を該搬送ステージから該搬送ステージの法線方向に浮上させ且つ該搬送ステージ上を移動させる磁力発生部を有しており、
前記搬送ステージの法線方向において前記搬送体が浮上する領域を検出領域とする測域センサーと、
前記測域センサーの検知情報に基づき、前記搬送ステージ又は前記搬送体の異常を判定する異常判定部とを備えている、監視システム。
【請求項2】
前記搬送ステージを前記法線方向から視たときの前記検出領域について、該搬送ステージを構成する複数の区画毎に前記検知情報を取得する、請求項１に記載の監視システム。
【請求項3】
前記搬送体には、識別情報が付与されており、
前記搬送装置は、前記搬送ステージ上の前記搬送体の位置情報を取得する位置情報取得部を備えており、
前記識別情報及び前記位置情報の何れか一方又は双方と、前記検知情報とを、前記区画毎に取得する、情報統合部とを備えている、請求項２に記載の監視システム。
前記搬送装置は、前記搬送ステージ上の前記搬送体の位置情報を取得する位置情報取得部を備えており、
前記識別情報及び前記位置情報の何れか一方又は双方と、前記検知情報とを、前記区画毎に取得する、情報統合部とを備えている、請求項２に記載の監視システム。
【請求項4】
前記異常判定部は、前記区画毎の前記検知情報と、前記識別情報及び前記位置情報の何れか一方又は双方とに基づいて、前記異常の種類を推定する、請求項３に記載の監視システム。
【請求項5】
前記測域センサーは、前記法線方向の位置が異なる複数のセンサー部を備えている、請求項１～４の何れか１項に記載の監視システム。
【請求項6】
前記検知情報は、前記検出領域の前記法線方向の位置の情報を含み、
前記異常判定部は、前記検出領域の前記法線方向の位置の情報に基づいて、前記異常の種類を推定する、請求項４に記載の監視システム。
前記異常判定部は、前記検出領域の前記法線方向の位置の情報に基づいて、前記異常の種類を推定する、請求項４に記載の監視システム。
【請求項7】
前記異常の種類に応じて、警報の発生信号と、前記搬送装置の制御信号とを発する異常対応信号生成部を備えている、請求項３又は６に記載の監視システム。
【請求項8】
前記搬送ステージに対し、異なる位置に設置された前記測域センサーを複数備えており、
前記搬送ステージを前記法線方向から視たとき、複数の前記測域センサーそれぞれの前記検出領域どうしを合わせた複合検出領域が、該搬送ステージを少なくとも部分的に包含している、請求項１～７の何れか１項に記載の監視システム。
前記搬送ステージを前記法線方向から視たとき、複数の前記測域センサーそれぞれの前記検出領域どうしを合わせた複合検出領域が、該搬送ステージを少なくとも部分的に包含している、請求項１～７の何れか１項に記載の監視システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、搬送ステージと、該搬送ステージ上を移動する搬送体とを備えた搬送装置を監視する監視システムに関する。
【背景技術】
【0002】
搬送領域内で複数の搬送体が、レール等の無いトラックレスで走行する搬送装置が知られている。例えば特許文献１には、複数の磁石アレイを備えた可動式ステージ、及び線形で細長いコイルトレースを提供するコイルを備えた層を複数有する固定子ステージを備えた搬送装置が開示されている。この搬送装置は、コイルと磁石アレイとの相互作用によって生じる磁力によって、可動式ステージが、固定子ステージ上からＺ方向に浮上するとともに該固定子ステージ上でＸＹ方向に移動可能である。
【0003】
また特許文献２には、容器を積載した複数の搬送体と、該搬送体が移動するワークスペースと、該搬送体が積載した容器に対して処理操作を実施するユニット操作ステーションとを具備し、前記搬送体は前記ワークスペース内をトラックレスで移動可能になされており、個々の前記搬送体の経路を独立して設定可能である、システムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特表２０１４－５３１１８９号公報
【特許文献2】特表２０２１－５１３４８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１に開示の搬送装置は、可動式ステージが固定子ステージから浮上するものであるが、可動式ステージの動作異常を予兆監視すること、または固定子ステージ上の障害物を検知することについて、何ら検討されていない。また特許文献２は、搬送体が浮上して移動する技術を開示するものではなく、該搬送体の動作異常や搬送経路上の障害物の検知についても何ら検討されていない。
【0006】
本発明は、搬送ステージ上を浮上して移動する搬送体の動作異常を予兆監視するとともに、該搬送ステージ上の障害物を検知することができる、監視システムを提供することに関する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明は、搬送ステージと、該搬送ステージ上を移動する搬送体とを備えた搬送装置を監視する監視システムに関する。
一実施形態として、前記搬送体は、磁石を有することが好ましい。
一実施形態として、前記搬送ステージは、磁力を発生させて、前記搬送体が備える前記磁石との相互作用により、前記搬送体を該搬送ステージから該搬送ステージの法線方向に浮上させ且つ該搬送ステージ上を移動させる磁力発生部を有していることが好ましい。
一実施形態として、前記監視システムは、前記搬送ステージの法線方向において前記搬送体が浮上する領域を検出領域とする測域センサーと、
前記測域センサーの検知情報に基づき、前記搬送ステージ又は前記搬送体の異常を判定する異常判定部とを備えていることが好ましい。
一実施形態として、前記搬送体は、磁石を有することが好ましい。
一実施形態として、前記搬送ステージは、磁力を発生させて、前記搬送体が備える前記磁石との相互作用により、前記搬送体を該搬送ステージから該搬送ステージの法線方向に浮上させ且つ該搬送ステージ上を移動させる磁力発生部を有していることが好ましい。
一実施形態として、前記監視システムは、前記搬送ステージの法線方向において前記搬送体が浮上する領域を検出領域とする測域センサーと、
前記測域センサーの検知情報に基づき、前記搬送ステージ又は前記搬送体の異常を判定する異常判定部とを備えていることが好ましい。
【発明の効果】
【0008】
本発明の監視システムによれば、搬送ステージ上を浮上して移動する搬送体の動作異常を予兆監視するとともに、該搬送ステージ上の障害物を検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下本発明の監視システムを、その好ましい実施形態に基づき図面を参照しながら説明する。本実施形態の監視システム１０は、図１に示す搬送装置１００の動作等を監視する。本実施形態の搬送装置１００は、搬送ステージ２０と、該搬送ステージ２０上を移動する複数の搬送体３０と、該搬送体３０の移動を含む搬送装置１００の動作を制御する搬送装置制御部５０とを具備している。
搬送装置１００は、例えば、物品（搬送物５）を搬送ステージ２０上の作業領域に搬送し、該作業領域にて該物品に対し処理を行う工程を複数回行うことで、製品を完成させる生産方法に用いることができる。複数回行われる前記工程の処理の種類はそれぞれ異なっており、充填処理、組み立て処理、切断等の加工処理等が挙げられる。搬送ステージ２０上の作業領域は、これらの処理の何れかを行う領域である。
搬送装置１００は、例えば、物品（搬送物５）を搬送ステージ２０上の作業領域に搬送し、該作業領域にて該物品に対し処理を行う工程を複数回行うことで、製品を完成させる生産方法に用いることができる。複数回行われる前記工程の処理の種類はそれぞれ異なっており、充填処理、組み立て処理、切断等の加工処理等が挙げられる。搬送ステージ２０上の作業領域は、これらの処理の何れかを行う領域である。
【0011】
本実施形態の搬送装置１００は、搬送ステージ２０が水平面に接地されており、該搬送ステージ２０が水平方向に延在している。本実施形態の搬送ステージ２０は、Ｘ方向とこれに直交するＹ方向とを有し、Ｘ方向に長い矩形形状を有している。
本実施形態の搬送ステージ２０は、複数のセグメント２１によって構成されている。セグメント２１は、個々に電力が供給されて磁力を発生させる最小単位のハードウェアである。搬送ステージ２０は、単数又は複数のセグメント２１で構成することができる。また、搬送ステージ２０は、複数のセグメント２１を任意に並べて、所望の平面形状とすることができる。搬送ステージ２０を構成する複数のセグメント２１は、搬送Ｘ方向及びＹ方向それぞれに隣り合うセグメント２１どうしの間に隙間が無い状態で並べられている。
本実施形態の搬送ステージ２０において複数のセグメント２１が、Ｘ方向及びＹ方向の双方に並べられている。これらセグメント２１は、正方形の平面視形状を有している。各セグメント２１の上面は、略同一平面をなしている。これにより、搬送ステージ２０は、実質的にフラットな状態となっている。
本実施形態の搬送ステージ２０は、複数のセグメント２１によって構成されている。セグメント２１は、個々に電力が供給されて磁力を発生させる最小単位のハードウェアである。搬送ステージ２０は、単数又は複数のセグメント２１で構成することができる。また、搬送ステージ２０は、複数のセグメント２１を任意に並べて、所望の平面形状とすることができる。搬送ステージ２０を構成する複数のセグメント２１は、搬送Ｘ方向及びＹ方向それぞれに隣り合うセグメント２１どうしの間に隙間が無い状態で並べられている。
本実施形態の搬送ステージ２０において複数のセグメント２１が、Ｘ方向及びＹ方向の双方に並べられている。これらセグメント２１は、正方形の平面視形状を有している。各セグメント２１の上面は、略同一平面をなしている。これにより、搬送ステージ２０は、実質的にフラットな状態となっている。
【0012】
本実施形態のセグメント２１は、平板状のセグメント本体２２と、該セグメント本体２２内に設けられた磁力発生部２３とを備えている（図４参照）。本実施形態の磁力発生部２３は、セグメント本体２２の４辺の周縁に沿って配されたコイル２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄを含んで構成されており、電力によって磁力を発生させる。平面視においてこれらコイル２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄは、略矩形環状に配置されている。セグメント２１では、互いに対向する２個のコイル２３ａ，２３ｄが平行に配置されており、これらコイル２３ａ，２３ｄと直交する別の２個のコイル２３ｂ，２３ｃが互いに対向し且つ平行に配置されている。
【0013】
本実施形態の搬送体３０は、平板状の搬送本体３１と、該搬送本体３１の上面に設けられ且つ搬送物５を保持する保持部３５とを有している（図２参照）。この搬送本体３１は、丸みを帯びた角を有する略正方形の平面視形状を有している。搬送本体３１の平面視形状は、六角形又は円形等の形状であってもよい。
本実施形態の搬送体３０は、搬送物５として円筒状のボトル容器を搬送する。搬送物５の種類は特に限定されず、ボトル容器、チューブ容器、スクイズ容器、袋状容器、化粧料パレット等の各種容器であってもよい。またこれら容器に内容物が収容されていてもよく、収容されていなくともよい。本実施形態の搬送体３０は、保持部３５を具備するが、当該保持部３５を具備していなくともよい。
本実施形態の保持部３５は、搬送物５の底部を収容し得る筒部と、該筒部が立設された板部とを有し、該板部が搬送本体３１の上面に固定されている。以下、説明の便宜上、図２以外の図面には保持部３５の図示を省略している。
本実施形態の搬送体３０は、搬送物５として円筒状のボトル容器を搬送する。搬送物５の種類は特に限定されず、ボトル容器、チューブ容器、スクイズ容器、袋状容器、化粧料パレット等の各種容器であってもよい。またこれら容器に内容物が収容されていてもよく、収容されていなくともよい。本実施形態の搬送体３０は、保持部３５を具備するが、当該保持部３５を具備していなくともよい。
本実施形態の保持部３５は、搬送物５の底部を収容し得る筒部と、該筒部が立設された板部とを有し、該板部が搬送本体３１の上面に固定されている。以下、説明の便宜上、図２以外の図面には保持部３５の図示を省略している。
【0014】
本実施形態の搬送体３０は、識別可能になされており、識別情報が付与されている。識別情報は、個々の搬送体３０を識別するための情報であり、例えば文字、数字、記号やこれらの組み合わせによって表示されていてもよく、光学的又は電子的に読み取り可能に表示されるものであってもよい。例えば、バーコードやＱＲコード（登録商標）等の２次元コード、ＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification）タグ等の電子情報媒体等が用いられる。ＲＦＩＤタグは、ＲＦＩＤリーダー（ＲＦＩＤアンテナ）によって読み取ることができる。また、識別情報は、搬送体３０が有する磁石アレイ３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄの配列であってもよく、搬送体３０における特定の部分の形状（個々の搬送体３０に固有の形状）等であってもよい。
前記の識別情報は、搬送ステージ２０上の搬送体３０の映像に基づいて、該搬送体３０に付与されてもよい。例えば、搬送体３０に関するビデオストリームの分析に基づき、搬送体３０の挙動を監視且つ分析して、搬送体３０に関する複数の特徴と該搬送体３０の追跡とを関連付けた識別子（識別情報）を付与してもよい。
前記の識別情報は、搬送ステージ２０上の搬送体３０の映像に基づいて、該搬送体３０に付与されてもよい。例えば、搬送体３０に関するビデオストリームの分析に基づき、搬送体３０の挙動を監視且つ分析して、搬送体３０に関する複数の特徴と該搬送体３０の追跡とを関連付けた識別子（識別情報）を付与してもよい。
【0015】
搬送体３０は、搬送本体３１の内部に磁石（永久磁石）を備えている。より詳細には、搬送本体３１の内部に、搬送本体３１の４辺の周縁に沿って配された磁石アレイ３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを有している（図３参照）。
各磁石アレイ３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄは、略矩形環状に配置されている。搬送体３０では、互いに対向する２個の磁石アレイ３３ａ，３３ｄが平行に配置されており、これら磁石アレイ３３ａ，３３ｄと直交する別の２個の磁石アレイ３３ｂ，３３ｃが互いに対向し且つ平行に配置されている。
搬送体３０は、複数の磁石アレイに代えて、１個の磁石アレイを備えていてもよい。
各磁石アレイ３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄは、略矩形環状に配置されている。搬送体３０では、互いに対向する２個の磁石アレイ３３ａ，３３ｄが平行に配置されており、これら磁石アレイ３３ａ，３３ｄと直交する別の２個の磁石アレイ３３ｂ，３３ｃが互いに対向し且つ平行に配置されている。
搬送体３０は、複数の磁石アレイに代えて、１個の磁石アレイを備えていてもよい。
【0016】
搬送ステージ２０は、磁力を電力により発生させる磁力発生部２３を有している。この磁力と、搬送体３０の磁石アレイ３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄとの相互作用により、搬送体３０を、搬送ステージ２０から浮上させ且つ該搬送ステージ２０上を移動させることができる。より詳細には、搬送ステージ２０の各セグメント２１が備える磁力発生部２３に電力が供給されると、水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に磁力が発生する。この磁力によって、搬送体３０を、搬送ステージ２０（セグメント２１）の上面から浮上させるとともに、水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動させることができる。
搬送ステージ２０は、該ステージが具備する磁石の距離、角度、極性の向き又はこれらを組み合わせて変更することで、搬送体３０を移動させてもよい。
搬送ステージ２０は、該ステージが具備する磁石の距離、角度、極性の向き又はこれらを組み合わせて変更することで、搬送体３０を移動させてもよい。
【0017】
搬送体３０の移動方向は、セグメント２１が備える複数のコイル２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄへの電力の供給態様、例えば電力供給するコイルの組み合わせ等に応じて変化させることができる。これにより、各セグメント２１上において、各搬送体３０はＸ方向及びＹ方向の一方又は双方を組み合わせた方向に移動させることができる。例えば、Ｙ方向を前後方向とし、Ｘ方向を左右方向としたとき、前、後、左、右、及びこれらの斜め方向のうち選択された所望の方向に、搬送体３０を移動させることができる。例えば、図６に示すように、本実施形態の搬送体３０は、Ｘ方向に移動後、Ｙ方向に移動する経路Ｃ１，Ｃ２に沿って直進移動可能である他、Ｘ方向若しくはＹ方向に対して斜めの方向に直進移動する経路Ｃ３、又はＸ方向若しくはＹ方向に対して斜めの方向に湾曲移動する経路Ｃ４に移動可能である。
【0018】
さらに搬送体３０は、搬送ステージ２０（各セグメント２１）に対して該搬送ステージ２０の法線方向に浮上する。本実施形態では各搬送体３０は、搬送ステージ２０（各セグメント２１）に対して鉛直方向Ｚの上方に浮上する。斯かる搬送ステージ２０に対する鉛直方向Ｚは搬送ステージ２０に対する法線方向と一致する。当該法線方向及び鉛直方向ＺはＸ方向、Ｙ方向それぞれと直交する方向である。また、「平面視」とは、搬送ステージ２０に対する鉛直方向Ｚ上方から、搬送ステージ２０を見ることをいう。各搬送体３０が搬送ステージ２０（各セグメント２１）から浮上する浮上量は、略同じに設定されている。浮上量は、搬送ステージ２０の法線方向（以下、単に「法線方向」ともいう。）における該ステージ２０と搬送体３０の底面との間の距離である。すなわち本実施形態では鉛直方向Ｚにおける搬送体３０の底面と搬送ステージ２０との間の距離が、搬送体３０の浮上量である。搬送をより円滑化する観点から、搬送体３０の浮上量は、好ましくは３ｍｍ以上２０ｍｍ以下であり、より好ましくは１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下である。
搬送体３０は、搬送ステージ２０上において移動開始地点から目標地点（例えば図６に示すセグメント２１ａ）に到達するまでの経路（道筋）を任意に設定することができ、当該経路を個々の搬送体３０に応じて設定することができる。また前記経路は、必ずしも一義的に定められるものではなく、他の搬送体３０の移動や配置等に応じて任意の経路に適宜変更できるようになされている。経路の設定及び変更を含む、搬送ステージ２０上の搬送体３０の移動は、後述する搬送装置制御部５０によって制御される。搬送装置制御部５０は、ネットワークを介して、搬送ステージ２０（セグメント２１）と通信可能に接続されている。本実施形態では、搬送装置制御部５０の制御によって、搬送体３０の移動経路を設定又は変更する。搬送装置制御部５０は、搬送体３０とも通信可能に接続されていてもよい。
搬送体３０は、搬送ステージ２０上において移動開始地点から目標地点（例えば図６に示すセグメント２１ａ）に到達するまでの経路（道筋）を任意に設定することができ、当該経路を個々の搬送体３０に応じて設定することができる。また前記経路は、必ずしも一義的に定められるものではなく、他の搬送体３０の移動や配置等に応じて任意の経路に適宜変更できるようになされている。経路の設定及び変更を含む、搬送ステージ２０上の搬送体３０の移動は、後述する搬送装置制御部５０によって制御される。搬送装置制御部５０は、ネットワークを介して、搬送ステージ２０（セグメント２１）と通信可能に接続されている。本実施形態では、搬送装置制御部５０の制御によって、搬送体３０の移動経路を設定又は変更する。搬送装置制御部５０は、搬送体３０とも通信可能に接続されていてもよい。
【0019】
搬送ステージ２０の磁力発生部２３によって搬送体３０を浮上及び移動させる動作原理は、特許文献１に開示の固定子ステージのコイルによって、複数の磁石アレイを備えた可動式ステージを浮上及び移動させる原理と同様である。
【0020】
複数のセグメント２１の集合体である搬送ステージ２０は、搬送体３０よりも大きい面積（平面寸法）を有している。セグメント２１の面積（平面寸法）は、搬送体３０の面積（平面寸法）よりも大きくてもよく、同等でもよく、又は小さくてもよい。本実施形態のセグメント２１は、搬送体３０よりも大きい面積（平面寸法）を有している。搬送体３０の移動をより高精度に制御する観点から、正方形であるセグメント２１の一辺の長さは、略正方形である搬送体３０の一辺の長さの好ましくは２倍以上４倍以下である。
【0021】
搬送装置制御部５０は、通信モジュール５１、搬送情報取得部５２、及び搬送経路生成部５３を具備している（図５参照）。
通信モジュール５１は、後述する監視システム１０とともに、搬送ステージ２０及び搬送体３０と通信可能であり、監視システム１０からの信号、並びに搬送体３０の識別情報及び搬送ステージ２０上の位置情報を受信する。また通信モジュール５１は、搬送経路生成部５３が生成又は演算した各情報（後述する搬送体３０の経路情報又は経路変更情報等）を搬送ステージ２０（セグメント２１）に送信する。通信モジュール５１としては、例えば、ＬＴＥ、４Ｇ、又は５Ｇに対応した通信モジュールや、ＩＥＥＥ８０２．１１等の既存の規格に対応した通信モジュールを用いることができる。
通信モジュール５１は、後述する監視システム１０とともに、搬送ステージ２０及び搬送体３０と通信可能であり、監視システム１０からの信号、並びに搬送体３０の識別情報及び搬送ステージ２０上の位置情報を受信する。また通信モジュール５１は、搬送経路生成部５３が生成又は演算した各情報（後述する搬送体３０の経路情報又は経路変更情報等）を搬送ステージ２０（セグメント２１）に送信する。通信モジュール５１としては、例えば、ＬＴＥ、４Ｇ、又は５Ｇに対応した通信モジュールや、ＩＥＥＥ８０２．１１等の既存の規格に対応した通信モジュールを用いることができる。
【0022】
搬送情報取得部５２は、搬送体３０の識別情報及び位置情報を経時的に取得し、これを記録する。搬送体３０の位置情報は、搬送ステージ２０上の搬送体３０の座標位置に関する情報であり、搬送体３０が実際に位置した座標位置（以下、「実績座標位置」ともいう。）、及び予定される移動経路の座標位置（以下、「予定座標位置」ともいう。）の情報が含まれる。
本実施形態においてこれら座標位置は、搬送ステージ２０を平面視した場合のＸ方向の位置とＹ方向の位置（Ｘ，Ｙ）として示される。搬送装置１００の稼働中において搬送情報取得部５２は、搬送体３０の位置情報を、０.１～１秒毎に取得する。これにより、実績座標位置の経時的且つ連続的な変化（軌跡）を、搬送体３０が実際に移動した経路として示すこと（マッピング）ができる。
予定座標位置の情報は、搬送体３０の移動開始地点から目標地点までの予定経路を連続的に座標位置で示した情報である。移動開始地点及び目標開始地点それぞれは、搬送ステージ２０における座標位置で示される。これにより、搬送ステージ２０上の予定経路中の実績座標位置（現在地）を把握することができる。
予定座標位置の情報は、搬送経路生成部５３によって生成される。生成された予定座標位置は、各搬送体３０に設定される。また本実施形態の搬送装置１００は、監視システム１０から受信した制御信号に基づき、後述する異常対応部５４が予定座標位置の情報を変更して、搬送体３０の予定経路を変更する（後述する図８参照）。
本実施形態においてこれら座標位置は、搬送ステージ２０を平面視した場合のＸ方向の位置とＹ方向の位置（Ｘ，Ｙ）として示される。搬送装置１００の稼働中において搬送情報取得部５２は、搬送体３０の位置情報を、０.１～１秒毎に取得する。これにより、実績座標位置の経時的且つ連続的な変化（軌跡）を、搬送体３０が実際に移動した経路として示すこと（マッピング）ができる。
予定座標位置の情報は、搬送体３０の移動開始地点から目標地点までの予定経路を連続的に座標位置で示した情報である。移動開始地点及び目標開始地点それぞれは、搬送ステージ２０における座標位置で示される。これにより、搬送ステージ２０上の予定経路中の実績座標位置（現在地）を把握することができる。
予定座標位置の情報は、搬送経路生成部５３によって生成される。生成された予定座標位置は、各搬送体３０に設定される。また本実施形態の搬送装置１００は、監視システム１０から受信した制御信号に基づき、後述する異常対応部５４が予定座標位置の情報を変更して、搬送体３０の予定経路を変更する（後述する図８参照）。
【0023】
本実施形態の位置情報は、搬送ステージ２０を構成する複数の区画毎に取得することが好ましい。本実施形態において当該区画は、搬送ステージ２０のセグメント２１又は２個以上の複数のセグメント２１の集合体により構成される。例えば、正方形を形成する４個のセグメント２１の集合体を１個の区画と設定することができる。より詳細な位置情報を取得する観点から、搬送ステージ２０に設定される区画は、単数のセグメント２１毎であることが好ましい。
【0024】
搬送情報取得部５２は、搬送体３０の識別情報と該搬送体３０の位置情報とを関連付けて記録してもよい。本実施形態の搬送情報取得部５２は、これら識別情報と位置情報とを関連付けて記録する。より詳細には、本実施形態の搬送情報取得部５２は、搬送体３０ごとに該搬送体３０の識別情報とそれに対応する位置情報とを関連付けて記録する。識別情報及び位置情報は、搬送装置制御部５０の記録部（図示せず）に保存される。
【0025】
搬送経路生成部５３は、搬送ステージ２０上における搬送体３０の移動経路を生成又は変更する。搬送ステージ２０上の移動経路は、該ステージ２０上の搬送体３０の座標位置を連続させた軌道として設定することができる。
搬送経路生成部５３は、異常対応部５４を具備している。異常対応部５４は、監視システム１０から受信した制御信号に基づき、異常が生じた搬送体３０の退避、又は搬送装置１００の停止を実行する。また異常対応部５４は、監視システム１０から受信した制御信号に基づき、搬送体３０の移動経路を変更する。
搬送経路生成部５３及び異常対応部５４による移動経路の生成又は変更の実行は、公知のアルゴリズムを用いることができ、例えば、ダイクストラ法、Ａスターアルゴリズム等により実行される。搬送経路生成部５３は、一の搬送体３０の移動経路に関し、他の搬送体３０の現在位置、及び他の搬送体３０の所定時間先行した移動領域（予定座標位置）を障害物として設定し、該他の搬送体３０を回避する経路を生成又は変更可能になされている。
搬送経路生成部５３は、異常対応部５４を具備している。異常対応部５４は、監視システム１０から受信した制御信号に基づき、異常が生じた搬送体３０の退避、又は搬送装置１００の停止を実行する。また異常対応部５４は、監視システム１０から受信した制御信号に基づき、搬送体３０の移動経路を変更する。
搬送経路生成部５３及び異常対応部５４による移動経路の生成又は変更の実行は、公知のアルゴリズムを用いることができ、例えば、ダイクストラ法、Ａスターアルゴリズム等により実行される。搬送経路生成部５３は、一の搬送体３０の移動経路に関し、他の搬送体３０の現在位置、及び他の搬送体３０の所定時間先行した移動領域（予定座標位置）を障害物として設定し、該他の搬送体３０を回避する経路を生成又は変更可能になされている。
【0026】
次に、本実施形態の監視システム１０の詳細について説明する。本実施形態の監視システム１０は、測域センサー２と、該監視システム１０の動作を制御する監視制御部４とを備えている。
本実施形態の監視システム１０は、２台の測域センサー２を備えている。これら測域センサー２は、平面視において搬送ステージ２０のＹ方向両側の外方に設置されている（図１及び図６参照）。監視システム１０が備える測域センサー２の台数は特に制限されない。
本実施形態の監視システム１０は、２台の測域センサー２を備えている。これら測域センサー２は、平面視において搬送ステージ２０のＹ方向両側の外方に設置されている（図１及び図６参照）。監視システム１０が備える測域センサー２の台数は特に制限されない。
【0027】
測域センサー２としては、投光部から照射されたレーザー光等の光が物体に反射又は遮光されることを受光部で検知するものを好適に用いることができる。例えば、レーザーレンジファインダ、光電センサー、光ファイバーセンサ等を用いることができる。レーザーレンジファインダは、筐体内に投光部と受光部が設けられており、投光部から発せられたレーザー光が物体に反射して受光部に戻ってくるまでの時間を計測し、搬送ステージを法線方向から視たとき（平面視したとき）の物体までの距離及び位置のデータを出力するものである。レーザーレンジファインダは、平面視において略扇状にレーザー光を走査する。斯かる略扇状の領域が法線方向から視たときの（平面視での）検出領域Ｒとなる（図１及び図６参照）。
本実施形態の測域センサー２は、レーザーレンジファインダであり、該測域センサー２が具備するセンサー部３が受光部となっている。平面視におけるレーザーレンジファイダによる検出領域Ｒの角度θ１（図１５参照）は、好ましくは０°超２７０°以下、より好ましくは６０°以上１８０°以下である。
また平面視において検出領域Ｒを線対称に二等分する中心線ＣＬを仮定したとき、検出領域Ｒの半径ｒと該中心線ＣＬとの間の角度θ２（図１５参照）は、好ましくは０°超１３５°以下、より好ましくは３０°以上９０°以下である。
本実施形態の測域センサー２は、レーザーレンジファインダであり、該測域センサー２が具備するセンサー部３が受光部となっている。平面視におけるレーザーレンジファイダによる検出領域Ｒの角度θ１（図１５参照）は、好ましくは０°超２７０°以下、より好ましくは６０°以上１８０°以下である。
また平面視において検出領域Ｒを線対称に二等分する中心線ＣＬを仮定したとき、検出領域Ｒの半径ｒと該中心線ＣＬとの間の角度θ２（図１５参照）は、好ましくは０°超１３５°以下、より好ましくは３０°以上９０°以下である。
【0028】
本実施形態の監視システム１０は、搬送ステージ２０のＹ方向両側に２台の測域センサー２が配されている。これら２台の測域センサー２はＸ方向の位置が異なっている（図１及び図６参照）。測域センサー２からのレーザー光が検出領域Ｒにおいて物体によって遮断されると、測域センサー２が物体を検知する。この場合、該物体よって、投光が届かない死角となる領域が生じるため、該物体と投光方向に重なり且つ投光方向において該物体よりも測域センサー２から遠い他の物体の検知が困難になることがある。投光方向に重なる複数の物体をより確実に検知する観点から、測域センサー２を複数台備える場合、検出領域Ｒ中央の投光方向Ｄ１（以下、「中央投光方向Ｄ１」ともいう。）に直交する方向から視て、搬送ステージ２０を挟んで互いの中央投光方向Ｄ１が逆向きになるように、測域センサー２が配置されることが好ましい。本実施形態では、中央投光方向Ｄ１がＹ方向に沿っている。この場合Ｘ方向から視て、搬送ステージ２０を挟んで互いの中央投光方向Ｄ１が逆向きになるように、測域センサー２が配置されることが好ましい（図６参照）。より詳細には、一方の測域センサー２の中央投光方向Ｄ１は、Ｙ方向の一方側に向かっており、他方の測域センサー２の中央投光方向Ｄ１は、Ｙ方向の他方側に向かっている。中央投光方向Ｄ１は、前述の検出領域Ｒの中心線（図１５参照）の延在方向と一致する。
【0029】
また中央投光方向Ｄ１が逆向きになるように、搬送ステージ２０を挟んで両側それぞれに測域センサー２を配置する場合、中央投光方向Ｄ１と直交する方向における測域センサー２の位置が異なっていることが好ましい。例えば、中央投光方向Ｄ１がＹ方向に沿っている場合、搬送ステージ２０を挟んで両側それぞれに配された測域センサー２は、Ｘ方向の位置が互いに異なっていることが好ましい。この場合、Ｙ方向に沿って３個の物体が並んでいても、Ｙ方向外方の２個の物体による投光の遮断がされ難くなり、該２個の物体に挟まれた他の物体を検知することができる。
【0030】
本実施形態の測域センサー２は、法線方向（鉛直方向Ｚ）の位置が異なる複数のセンサー部３を備えている。すなわち、法線方向（鉛直方向Ｚ）の位置がそれぞれ異なる検出領域Ｒを複数有している（図７参照）。法線方向の位置が異なるそれぞれの検出領域Ｒは、平面視において同形状且つ同面積である。
図７に示す測域センサー２は、法線方向において、搬送ステージ２０に最も近い第１センサー部３ａに対応する第１検出領域Ｒ１、該第１センサー部３ａよりも搬送ステージ２０から遠い第２センサー部３ｂに対応する第２検出領域Ｒ２、該第２センサー部３ｂよりも搬送ステージ２０から遠い第３センサー部３ｃに対応する第３検出領域Ｒ３が設定されている（図７参照）。
なお図７では、説明の便宜上、搬送ステージ２０と搬送体３０との間を非常に大きく図示している。
図７に示す測域センサー２は、法線方向において、搬送ステージ２０に最も近い第１センサー部３ａに対応する第１検出領域Ｒ１、該第１センサー部３ａよりも搬送ステージ２０から遠い第２センサー部３ｂに対応する第２検出領域Ｒ２、該第２センサー部３ｂよりも搬送ステージ２０から遠い第３センサー部３ｃに対応する第３検出領域Ｒ３が設定されている（図７参照）。
なお図７では、説明の便宜上、搬送ステージ２０と搬送体３０との間を非常に大きく図示している。
【0031】
測域センサー２は、法線方向（本実施形態では鉛直方向Ｚ）において該搬送ステージ２０の上面から離れた位置を検出領域Ｒとする。本実施形態の検出領域Ｒは、搬送ステージ２０の法線方向において搬送体３０が浮上する領域に設定される。すなわち、検出領域Ｒは、法線方向において浮上している搬送体３０の下面と搬送ステージ２０の上面の間の空間に設定される。搬送体３０が浮上する領域（以下、「浮上領域」ともいう。）は、正常に稼働した搬送装置１００において磁力によって浮上する搬送体３０の底面と搬送ステージ２０との間の領域である。検出領域Ｒは、搬送ステージ２０の上面と平行である。法線方向における検出領域Ｒの範囲は、好ましくは０．５ｍｍ以上３０ｍｍ以下、より好ましくは０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下である。当該範囲は、法線方向におけるレーザー光等の光の幅（スポット径）である。
法線方向における検出領域Ｒの位置は、浮上領域内であって、搬送ステージ２０の上面から離れた位置に設定される。また法線方向における検出領域Ｒの位置は、法線方向において正常に浮上する搬送体３０の底面と搬送ステージ２０との間に設定される。法線方向における検出領域Ｒの位置は、法線方向における該領域Ｒに対応するセンサー部３の位置である。
また、平面視における検出領域Ｒは、複数のセグメント２１を含む面積を有している。
法線方向における検出領域Ｒの位置は、浮上領域内であって、搬送ステージ２０の上面から離れた位置に設定される。また法線方向における検出領域Ｒの位置は、法線方向において正常に浮上する搬送体３０の底面と搬送ステージ２０との間に設定される。法線方向における検出領域Ｒの位置は、法線方向における該領域Ｒに対応するセンサー部３の位置である。
また、平面視における検出領域Ｒは、複数のセグメント２１を含む面積を有している。
【0032】
測域センサー２は、検出領域Ｒにおいて検知された物体の座標位置の情報を出力する。斯かる座標位置の情報は、検出領域Ｒにおける座標位置の情報であり、法線方向の位置が異なるセンサー部３ごとに出力される。この測域センサー２が出力する物体の座標位置を「検知座標位置」という。検知座標位置と搬送ステージ２０上の位置とを対応させる観点から、搬送ステージ２０を法線方向から視たとき（平面視したとき）の検出領域Ｒの座標位置及び座標範囲と、該搬送ステージ２０の座標位置及び座標範囲とを対応させることが好ましい。これにより、位置情報と同様に、検知座標位置を、搬送ステージ２０を法線方向から視たとき（平面視したとき）のＸ方向の位置とＹ方向の位置（Ｘ，Ｙ）として示すことができる。
【0033】
監視制御部４は、ネットワークを介して、搬送装置制御部５０と通信可能に接続されている。
監視制御部４は、通信モジュール１１、位置情報取得部１２、情報統合部１３、及び異常判定部１４を具備している。
通信モジュール１１は、測域センサー２及び搬送装置制御部５０それぞれと通信可能であり、測域センサー２が出力する検知座標位置、搬送装置制御部５０からの信号、並びに搬送情報取得部５２が取得した搬送体３０の識別情報及び位置情報を受信する。また通信モジュール１１は、異常判定部１４が生成又は演算した各情報（後述する異常対応信号生成部等）を搬送装置制御部５０に送信する。通信モジュール１１としては、上述した搬送装置制御部５０の通信モジュール５１と同様の通信モジュールを用いることができる。
監視制御部４は、通信モジュール１１、位置情報取得部１２、情報統合部１３、及び異常判定部１４を具備している。
通信モジュール１１は、測域センサー２及び搬送装置制御部５０それぞれと通信可能であり、測域センサー２が出力する検知座標位置、搬送装置制御部５０からの信号、並びに搬送情報取得部５２が取得した搬送体３０の識別情報及び位置情報を受信する。また通信モジュール１１は、異常判定部１４が生成又は演算した各情報（後述する異常対応信号生成部等）を搬送装置制御部５０に送信する。通信モジュール１１としては、上述した搬送装置制御部５０の通信モジュール５１と同様の通信モジュールを用いることができる。
【0034】
位置情報取得部１２は、測域センサー２が出力した検知座標位置を、測域センサー２が具備するセンサー部３の法線方向の位置と関連付けて記録する。斯かるセンサー部３の法線方向の位置は、該センサー部３に対応する検出領域Ｒの法線方向の位置である。本実施形態の測域センサー２は、法線方向の位置が異なる複数のセンサー部３を備えているので、検知座標位置がどのセンサー部３によって検知されたものであるのかを関連付ける。検知座標位置とセンサー部３の法線方向の位置とが関連付けられた情報を、以下、「検知情報」ともいう。このようにして、位置情報取得部１２は、検知情報を取得する。
【0035】
また位置情報取得部１２は、搬送ステージ２０を法線方向から視たときの検出領域Ｒについて、検知情報を、搬送ステージ２０を構成する複数の区画（単一のセグメント２１又は２個以上の複数のセグメント２１の集合体）毎に取得することが好ましい。これにより、検知情報、及び検知座標位置と平面視において重なる区画を把握することができる。例えば、搬送体３０から搬送物５が意図せず搬送ステージ２０上に落下した場合、法線方向において搬送ステージ２０に最も近いセンサー部３ａの検出領域Ｒ１で該搬送物５が検知される。この落下した搬送物５の検知情報に基づき、該搬送物５の落下地点を特定できるとともに、該落下地点が搬送ステージ２０におけるどの区画に該当するのかを把握することができる。この場合、搬送ステージ２０を法線方向から視たとき（平面視したとき）の検出領域Ｒの座標位置及び座標範囲と、該搬送ステージ２０の座標位置及び座標範囲とを対応させることが好ましい。
【0036】
情報統合部１３は、位置情報取得部１２が取得した検知情報と、搬送体３０の識別情報及び位置情報の何れか一方又は双方を、区画毎に取得する。これにより、搬送ステージ２０を法線方向から視たとき（平面視したとき）の検知情報（検知座標位置）と、搬送体３０の位置情報との関係を把握することができる。すなわち搬送ステージ２０を法線方向から視たときの、測域センサー２が検知した物体の位置と、搬送体３０の位置との関係を把握することができる。例えば測域センサー２が検知した物体が、浮上量が不足している搬送体３０である場合、検知情報の検知座標位置と、該搬送体３０の実績座標位置とが一致する。また、平面視における前述の落下した搬送物５の位置が、落下が生じていない他の搬送体３０の予定経路中（予定座標位置）に存するか否かを把握することができる。
本実施形態の情報統合部１３は、区画毎に取得した検知情報と、搬送体３０の識別情報及び位置情報の何れか一方又は双方とを、搬送ステージ２０上の座標位置としてマッピングし、これを統合情報として記録する。この統合情報は、監視システム１０の記録部（図示せず）に保存される。
本実施形態の情報統合部１３は、区画毎に取得した検知情報と、搬送体３０の識別情報及び位置情報の何れか一方又は双方とを、搬送ステージ２０上の座標位置としてマッピングし、これを統合情報として記録する。この統合情報は、監視システム１０の記録部（図示せず）に保存される。
【0037】
例えば情報統合部１３は、検知情報とともに、搬送体３０の識別情報及び位置情報の何れか一方又は双方を、単数のセグメント２１からなる区画毎に取得してもよい。この場合、単数のセグメント２１と単数の区画とを１対１で対応させられるので、監視制御部４又は搬送装置制御部５０が行う各種の制御処理がシンプルとなる点で好ましい。
また情報統合部１３は、単数のセグメント２１を複数の細区画に区分し、検知情報と、搬送体３０の識別情報及び位置情報の何れか一方又は双方を、細区画毎に取得してもよい。この場合、検知情報の分解能をより向上できるので、後述する異常対応部５４が実行する移動経路の生成又は変更の精度をより向上できる点で好ましい。
また情報統合部１３は、単数のセグメント２１を複数の細区画に区分し、検知情報と、搬送体３０の識別情報及び位置情報の何れか一方又は双方を、細区画毎に取得してもよい。この場合、検知情報の分解能をより向上できるので、後述する異常対応部５４が実行する移動経路の生成又は変更の精度をより向上できる点で好ましい。
【0038】
異常判定部１４は、検知情報に基づき、搬送ステージ２０又は搬送体３０の異常を判定する。本実施形態の異常判定部１４は、検知情報を含む統合情報に基づき、搬送ステージ２０又は搬送体３０の異常を判定する。本実施形態の異常判定部１４は、以下の事項を異常として判定する。
（１）搬送ステージ２０上の障害物９の発生
（２）搬送体３０の浮上量の低下
前記（１）の異常は、例えば落下した搬送物５が、搬送体３０の予定経路上にある場合、該搬送物５が搬送の障害物９となり得る。また意図せず磁力が消失して搬送ステージ２０上に落下した搬送体３０も障害物９となり得る。前者は搬送ステージ２０の異常となり、後者は搬送体３０の異常となる。異常判定部１４は、平面視において搬送ステージ２０を少なくとも部分的に包含する検出領域Ｒ内の、前記（１）の障害物９を１箇所又は複数箇所で検知することができる。
（１）搬送ステージ２０上の障害物９の発生
（２）搬送体３０の浮上量の低下
前記（１）の異常は、例えば落下した搬送物５が、搬送体３０の予定経路上にある場合、該搬送物５が搬送の障害物９となり得る。また意図せず磁力が消失して搬送ステージ２０上に落下した搬送体３０も障害物９となり得る。前者は搬送ステージ２０の異常となり、後者は搬送体３０の異常となる。異常判定部１４は、平面視において搬送ステージ２０を少なくとも部分的に包含する検出領域Ｒ内の、前記（１）の障害物９を１箇所又は複数箇所で検知することができる。
【0039】
前記（２）の異常は、搬送体３０が正常に浮上したときの浮上量（以下、「正常浮上量」ともいう。）に比して、搬送体３０の浮上量が低い状態を意味する。例えば、搬送体３０が具備するコイル、及び搬送ステージ２０を構成する単数又は複数のセグメント２１の少なくとも一方に故障又は該故障の予兆が生じると、浮上量の低下が生じ得る。すなわち前記（２）の原因には、搬送体３０及び搬送ステージ２０の少なくとも一方の故障の発生又はその予兆が含まれる。
異常判定部１４は、検出領域Ｒにおいて前記（２）の異常が生じた単数若しくは複数の搬送体３０又は区画を検知することができる。例えば、特定の区画で複数の搬送体３０の浮上量が低下する一方で、他の区画では当該搬送体３０の浮上量が正常である場合、当該特定の区画に故障又はその予兆となる不具合が生じたと考えられる。一方、特定の搬送体３０が、複数の区画にわたって浮上量の低下を生じている場合は、当該特定の搬送体３０が故障又はその予兆となる不具合を生じていると考えられる。
このように本実施形態の監視システム１０は、前記（２）の異常を検知することで、搬送体３０又は搬送ステージ２０の故障又はその予兆を監視することができる。
異常判定部１４は、検出領域Ｒにおいて前記（２）の異常が生じた単数若しくは複数の搬送体３０又は区画を検知することができる。例えば、特定の区画で複数の搬送体３０の浮上量が低下する一方で、他の区画では当該搬送体３０の浮上量が正常である場合、当該特定の区画に故障又はその予兆となる不具合が生じたと考えられる。一方、特定の搬送体３０が、複数の区画にわたって浮上量の低下を生じている場合は、当該特定の搬送体３０が故障又はその予兆となる不具合を生じていると考えられる。
このように本実施形態の監視システム１０は、前記（２）の異常を検知することで、搬送体３０又は搬送ステージ２０の故障又はその予兆を監視することができる。
【0040】
本実施形態の異常判定部１４は、検知情報に含まれる検出領域Ｒ（センサー部３）の法線方向の位置に基づき、測域センサー２が検知した物体が、障害物９であるか否かを判断することができる。例えば、図７に示すように、法線方向の位置が異なる複数のセンサー部３のうち、搬送ステージ２０に最も近い第１センサー部３ａの検出領域Ｒ１により物体が検知された場合、当該物体を障害物９として判定できる。すなわち、前記（１）の異常であると判断できる。以下、第１センサー部３ａに対応する検出領域Ｒ１を、「障害物検出領域」ともいう。
一方、第１センサー部３ａ以外のセンサー部３ｂ，３ｃの検出領域Ｒ２，Ｒ３で物体が検知された場合、当該物体は搬送ステージ２０から浮上していると判定でき、前記（２）の異常であると判断できる。以下、第１センサー部３ａ以外のセンサー部３ｂ，３ｃに対応する検出領域Ｒ２，Ｒ３を、「浮上検出領域」ともいう。
一方、第１センサー部３ａ以外のセンサー部３ｂ，３ｃの検出領域Ｒ２，Ｒ３で物体が検知された場合、当該物体は搬送ステージ２０から浮上していると判定でき、前記（２）の異常であると判断できる。以下、第１センサー部３ａ以外のセンサー部３ｂ，３ｃに対応する検出領域Ｒ２，Ｒ３を、「浮上検出領域」ともいう。
【0041】
前記（１）の異常判定をより容易とする観点から、法線方向における障害物検出領域Ｒ１と搬送ステージ２０との間の距離Ｌ１（図７参照）は、搬送体３０が正常に浮上したときの浮上量Ｌ１０に対して好ましくは１％以上２５％以下、より好ましくは５％以上１０％以下である。法線方向における障害物検出領域Ｒ１と搬送ステージ２０との間の距離Ｌ１（図７参照）は、好ましくは０．１ｍｍ以上２．０ｍｍ以下、より好ましくは０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下である。前記距離Ｌ１は、法線方向における搬送ステージ２０とセンサー部３との間の最小距離であり、測域センサー２が複数のセンサー部３を備える場合は、法線方向において最も搬送ステージ２０に近いセンサー部３ａと搬送ステージ２０との間の距離である。
【0042】
前記（２）の異常判定をより容易とする観点から、法線方向における浮上検出領域と搬送ステージ２０との間の距離Ｌ２（図７参照）は、搬送体３０が正常に浮上したときの浮上量Ｌ１０に対して好ましくは９０％以上９９％以下、より好ましくは９５％以上９８％以下である。法線方向における浮上検出領域と搬送ステージ２０との間の距離Ｌ２（図７参照）は、好ましくは１．５ｍｍ以上３．０ｍｍ以下、より好ましくは１．５ｍｍ以上２．０ｍｍ以下である。前記距離Ｌ２は、法線方向における搬送ステージ２０と浮上検出領域が設定されたセンサー部３との間の距離である。測域センサー２が複数のセンサー部３を備える場合、前記距離Ｌ２は、法線方向において最も搬送ステージ２０に近いセンサー部３ａ以外のセンサー部３ｂ，３ｃと搬送ステージ２０との間の距離である。
【0043】
本実施形態の浮上検出領域は、法線方向の位置が異なる複数領域Ｒ２，Ｒ３に設定されている。この場合、搬送体３０の浮上量の検知精度をより向上させる観点から、法線方向の位置が異なる浮上検出領域Ｒ２，Ｒ３どうし間の距離Ｌ３（図７参照）は、好ましくは０．１ｍｍ以上２．０ｍｍ以下、より好ましくは０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下である。前記距離Ｌ３は、法線方向に隣り合う浮上検出領域Ｒ２，Ｒ３間の距離である。
【0044】
本実施形態の異常判定部１４は、法線方向における検出領域Ｒの位置の情報に基づいて、すなわち検出領域Ｒが障害物検出領域Ｒ１であるか浮上検出領域Ｒ２，Ｒ３であるかによって、下記表１のように異常の種類を推定できる。すなわち、前記（１）又は（２）を推定することができる。
【0045】
【表1】
【0046】
前記（１）又は（２）の異常判定をより容易にする観点から、異常判定部１４は、区画毎の検知座標位置と、識別情報及び位置情報の何れか一方又は双方とに基づいて、異常の種類を推定することが好ましい。
例えば、障害物検出領域Ｒ１又は浮上検出領域における検知情報（検知座標位置）と、搬送体３０の位置情報とに基づき、該検出領域において検知された物体が、搬送体３０であるか搬送体３０以外のものであるかを推定することができる。より詳細には、検知情報の検知座標位置と搬送体３０の実績位置座標とが一致している場合、搬送体３０による異常であることが推定できる。また、検知情報の検知座標位置と搬送体３０の実績位置座標とが一致していない場合、搬送体３０以外のもの、例えば搬送物５による異常であることが推定できる。
本実施形態の異常判定部１４は、法線方向における検出領域Ｒの位置の情報（検出領域Ｒが障害物検出領域Ｒ１であるか浮上検出領域であるか）に加え、区画毎の検知情報と位置情報とに基づき、下記表２のように異常の種類を推定できる。
例えば、障害物検出領域Ｒ１又は浮上検出領域における検知情報（検知座標位置）と、搬送体３０の位置情報とに基づき、該検出領域において検知された物体が、搬送体３０であるか搬送体３０以外のものであるかを推定することができる。より詳細には、検知情報の検知座標位置と搬送体３０の実績位置座標とが一致している場合、搬送体３０による異常であることが推定できる。また、検知情報の検知座標位置と搬送体３０の実績位置座標とが一致していない場合、搬送体３０以外のもの、例えば搬送物５による異常であることが推定できる。
本実施形態の異常判定部１４は、法線方向における検出領域Ｒの位置の情報（検出領域Ｒが障害物検出領域Ｒ１であるか浮上検出領域であるか）に加え、区画毎の検知情報と位置情報とに基づき、下記表２のように異常の種類を推定できる。
【0047】
【表2】
【0048】
また検出領域Ｒにおいて複数の物体を検知し、該複数の物体が検知された区画が同一である場合、異常判定部１４は、当該区画に異常が生じたことが推定できる。また、特定の区画にて搬送体３０の浮上量が低下する一方、他の区画にて搬送体３０の浮上量が回復した場合、当該特定の区画に異常が生じたことが推定できる。これらの異常は、前記区画を構成するセグメント２１のコイルや電気系統に異常が生じたことを推定できる。斯かる異常を、「区画異常」ともいう。
区画異常の推定に関し、区画が単数のセグメント２１からなると、異常が生じたセグメント２１を容易に特定できる点で好ましい。
区画異常の推定に関し、区画が単数のセグメント２１からなると、異常が生じたセグメント２１を容易に特定できる点で好ましい。
【0049】
本実施形態の異常判定部１４は、推定した異常の種類の情報に基づき、該異常に対応するための信号を発する異常対応信号生成部１５を備えている。異常対応信号生成部１５は、異常の種類に応じて、警報の発生信号と搬送装置１００に対する制御信号とを発する。
例えば、異常対応信号生成部１５が警報の発生信号を発すると、監視制御部４に備えられたスピーカーを介して警報を発する。あるいは監視制御部４に備えられたディスプレイ等の表示手段に、警報情報を表示し、警報を発する。前記信号により発生される警報は、視覚的な情報であってもよく、聴覚的な情報であってもよい。
例えば、異常対応信号生成部１５が警報の発生信号を発すると、監視制御部４に備えられたスピーカーを介して警報を発する。あるいは監視制御部４に備えられたディスプレイ等の表示手段に、警報情報を表示し、警報を発する。前記信号により発生される警報は、視覚的な情報であってもよく、聴覚的な情報であってもよい。
【0050】
装置１００に対する制御信号は、前記（１）の障害物９の落下地点と推定される検知座標位置の情報、又は前記（２）の浮上量が低下した搬送体３０の識別情報とその浮上量の情報を含む。斯かる情報を含む制御信号が搬送装置制御部５０に受信されると、該制御信号に基づき、搬送装置制御部５０の異常対応部５４が、搬送装置１００の稼働又は動作を変更する。図８に、搬送装置１００の動作を変更する形態を図示する。斯かる動作は、搬送体３０の移動経路（予定経路）の変更又は退避経路の設定に関する。当該移動経路の目標地点はセグメント２１ａに設定されている。
【0051】
例えば制御信号が前記（１）の障害物９の落下地点と推定される検知座標位置の情報を含む場合、異常対応部５４が検知座標位置の情報に基づき、搬送体３０の予定経路を迂回経路に変更するか、又は搬送装置１００の稼働を停止するかを判断する。
異常対応部５４は、検知座標位置が搬送体３０の予定経路Ｃ１０上にない場合は、該予定経路Ｃ１０のまま搬送体３０を走行させる。一方、検知座標位置が予定経路Ｃ１０上にある場合は、予定経路Ｃ１０を変更し、検知座標位置を避けた迂回経路Ｃ１１を構築できるか否かを判断する。迂回経路Ｃ１１を構築できる場合、異常対応部５４は、予定経路Ｃ１０の予定座標位置を迂回経路Ｃ１１の座標位置に変更して、該予定経路を変更する（図８参照）。検知座標位置が他の搬送体３０の予定経路に干渉する等して、該検知座標位置を避けた迂回経路を構築できない場合は、搬送装置１００の稼働の停止を実行する。
異常対応部５４は、検知座標位置が搬送体３０の予定経路Ｃ１０上にない場合は、該予定経路Ｃ１０のまま搬送体３０を走行させる。一方、検知座標位置が予定経路Ｃ１０上にある場合は、予定経路Ｃ１０を変更し、検知座標位置を避けた迂回経路Ｃ１１を構築できるか否かを判断する。迂回経路Ｃ１１を構築できる場合、異常対応部５４は、予定経路Ｃ１０の予定座標位置を迂回経路Ｃ１１の座標位置に変更して、該予定経路を変更する（図８参照）。検知座標位置が他の搬送体３０の予定経路に干渉する等して、該検知座標位置を避けた迂回経路を構築できない場合は、搬送装置１００の稼働の停止を実行する。
【0052】
制御信号が前記（２）の搬送体３０の識別情報と該搬送体３０の浮上量の情報とを含む場合であって、区画異常でない場合、異常対応部５４が、搬送体３０の浮上量の情報に基づき、浮上量が低下した搬送体３０を特定する。そして浮上量が低下した搬送体３０を搬送ステージ２０上の特定の箇所に退避させるか、又は退避させないで搬送を続行させるかを判断する。より詳細には、搬送体３０の浮上量が極端に少ない場合は、搬送体３０の目標地点を退避地点ｂに設定して、予定経路Ｃ１３を退避経路Ｃ１４に変更する（図８参照）。これにより、搬送体３０の落下を予知しつつ、該落下による他の搬送体３０の予定経路Ｃ１２への干渉を予め防ぐことができる。この場合、退避地点ｂは所定の座標位置又は区画（例えば単数のセグメント２１）毎に設定することができる。
また、浮上量の減少幅が搬送に影響しない程度である場合は、搬送体３０の搬送を続行させる。なお、当該搬送体３０について、同じ経路を繰り返し移動させるように設定されている場合、１サイクルの移動を終えて当初の移動開始地点に復帰させる代わりに、当該搬送体３０を別の位置（退避地点ｂ）に移動させ且つ待機させてもよい。浮上量が減少した搬送体３０を別の位置に移動させた後、監視制御部４に備えられたディスプレイ等の表示手段に、該搬送体３０を別の位置に待機させている旨の情報を表示してもよい。斯かる制御は、１サイクルの移動の終了のタイミングに代えて、搬送体３０の移動経路を切り替えるタイミング、又は搬送装置１００のメンテナンスのタイミングで実施してもよい。
また浮上量が減少した搬送体３０又は区画異常が多数ある場合は、搬送装置１００の稼働の停止を実行する。
また、浮上量の減少幅が搬送に影響しない程度である場合は、搬送体３０の搬送を続行させる。なお、当該搬送体３０について、同じ経路を繰り返し移動させるように設定されている場合、１サイクルの移動を終えて当初の移動開始地点に復帰させる代わりに、当該搬送体３０を別の位置（退避地点ｂ）に移動させ且つ待機させてもよい。浮上量が減少した搬送体３０を別の位置に移動させた後、監視制御部４に備えられたディスプレイ等の表示手段に、該搬送体３０を別の位置に待機させている旨の情報を表示してもよい。斯かる制御は、１サイクルの移動の終了のタイミングに代えて、搬送体３０の移動経路を切り替えるタイミング、又は搬送装置１００のメンテナンスのタイミングで実施してもよい。
また浮上量が減少した搬送体３０又は区画異常が多数ある場合は、搬送装置１００の稼働の停止を実行する。
【0053】
上述した監視システム１０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、フラッシュメモリ、カメラ、表示部、ユーザーが入力操作を行う入力装置等を含んで構成される。ＣＰＵは、画像表示のためのグラフィックスプロセッサ（Graphics Processing Unit（GPU））、High-Definition（HD）ビデオ等のエンコーディング及びデコーディングを行うマルチメディアプロセッサ、ディスプレイを制御するディスプレイコントローラ、及び給電及び充電を制御するためのパワーマネジメントIntegrated Circuit（IC）等を含んでもよい。監視システム１０が備える表示部には、表示と操作の機能を兼ねたタッチパネル等を用いてもよい。
また監視システム１０は、人為的に操作されてもよい。この場合、入力装置としては、タッチパネルやキーボード、キーパッド、タッチパッド、マウス、マイクロフォン等が挙げられる。
搬送装置制御部５０も、監視システム１０と同様の上記構成とすることができる。
また監視システム１０は、人為的に操作されてもよい。この場合、入力装置としては、タッチパネルやキーボード、キーパッド、タッチパッド、マウス、マイクロフォン等が挙げられる。
搬送装置制御部５０も、監視システム１０と同様の上記構成とすることができる。
【0054】
監視システム１０の各部（異常判定部１４等）が行う処理は、ＣＰＵがＲＯＭやディスクなどに格納されたプログラムをＲＡＭに展開して実行することにより実現される。前記処理は、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）により実現されてもよく、ＡＳＩＣとＦＰＧＡの組み合わせにより実現されてもよい。
搬送装置制御部５０の各部（異常対応部５４等）が行う処理も、上記と同様の態様で実現される。
搬送装置制御部５０の各部（異常対応部５４等）が行う処理も、上記と同様の態様で実現される。
【0055】
本実施形態の監視システム１０は、搬送装置１００の動作の監視以外に、該搬送装置１００を用いた生産方法の動作管理に用いることができる。
図９及び図１０に示す形態では、搬送体３０に載置された搬送物５である容器に対し、作業装置Ｗ２,Ｗが作業を行っている。
図９に示す作業装置Ｗ２は、搬送物５である容器にキャップを取り付ける取り付け装置Ｗ２である。このキャップは、内周面に螺条部が形成されており、開口部を有する容器の口首部の外周面に形成された螺条部と、螺合可能である。取り付け装置Ｗ２は、キャップを把持し且つ昇降可能な把持ハンド６３を具備する。把持ハンド６３に把持されたキャップの中心軸と、容器の中心軸とを重ねた状態で、搬送体３０が重心を中心に回転するとともに、キャップを把持した状態の把持ハンド６３が下降する。これにより、口首部とキャプとを螺合させることができる。一方、取り付け装置Ｗ２においてキャップの中心軸と、容器の中心軸とがずれた状態で、把持ハンド６３が下降すると、該把持ハンド６３と容器とが接触し、該ハンド６３によって容器及びこれを積載する搬送体３０が下方に押し込まれる。監視システム１０は、把持ハンド６３の押し込みに起因する搬送体３０の浮上量の減少を検出領域Ｒによって検出することができる。これにより取り付け装置Ｗ２の動作異常を検知することができる。
また、取り付け装置Ｗ２が嵌合によりキャップを容器に取り付けるものである場合、把持ハンド６３の下降により、容器及びこれを積載する搬送体３０が下方に押し込まれる。特に嵌合不良時は、把持ハンド６３の押し込みが過度になり易いので、該押し込みによる搬送体３０の浮上量の減少を検出領域Ｒによって検出することができる。
図９及び図１０に示す形態では、搬送体３０に載置された搬送物５である容器に対し、作業装置Ｗ２,Ｗが作業を行っている。
図９に示す作業装置Ｗ２は、搬送物５である容器にキャップを取り付ける取り付け装置Ｗ２である。このキャップは、内周面に螺条部が形成されており、開口部を有する容器の口首部の外周面に形成された螺条部と、螺合可能である。取り付け装置Ｗ２は、キャップを把持し且つ昇降可能な把持ハンド６３を具備する。把持ハンド６３に把持されたキャップの中心軸と、容器の中心軸とを重ねた状態で、搬送体３０が重心を中心に回転するとともに、キャップを把持した状態の把持ハンド６３が下降する。これにより、口首部とキャプとを螺合させることができる。一方、取り付け装置Ｗ２においてキャップの中心軸と、容器の中心軸とがずれた状態で、把持ハンド６３が下降すると、該把持ハンド６３と容器とが接触し、該ハンド６３によって容器及びこれを積載する搬送体３０が下方に押し込まれる。監視システム１０は、把持ハンド６３の押し込みに起因する搬送体３０の浮上量の減少を検出領域Ｒによって検出することができる。これにより取り付け装置Ｗ２の動作異常を検知することができる。
また、取り付け装置Ｗ２が嵌合によりキャップを容器に取り付けるものである場合、把持ハンド６３の下降により、容器及びこれを積載する搬送体３０が下方に押し込まれる。特に嵌合不良時は、把持ハンド６３の押し込みが過度になり易いので、該押し込みによる搬送体３０の浮上量の減少を検出領域Ｒによって検出することができる。
【0056】
本実施形態の監視システム１０は、搬送ステージ２０上に設けられた支持台２５上に搬送体３０を移動させ、該支持台２５において作業装置Ｗが搬送物に対し作業を行う生産方法に用いることができる。図１０に示す作業装置Ｗは、搬送物５である容器本体の内部に内容物を充填する充填装置である。図１０に示す形態では、搬送ステージ２０上に支持台２５が設けられており、該支持台２５の上方に作業装置Ｗの作業部が設置されている。搬送体３０は浮上量が、法線方向における第２検出領域Ｒ２の位置よりも大きい場合に、支持台２５上に移動することができ、第２検出領域Ｒ２の位置に浮上量が満たない場合は、支持台２５上に移動することができない。これにより監視システム１０は、支持台２５上で行われる作業装置Ｗによる作業処理の有無を、浮上量によって搬送体３０毎に把握することができる。また、支持台２５上での作業は、搬送体３０に対し下方に押し込む力が生じる作業に好ましく適用することができる。斯かる作業としては、搬送体３０上の搬送物５に対してキャップ等のパーツを下方に押し込む嵌合等が挙げられる。
なお、図１０に示す形態において支持台２５は、搬送装置１００の磁力に影響しない材質により構成されている。
なお、図１０に示す形態において支持台２５は、搬送装置１００の磁力に影響しない材質により構成されている。
【0057】
本発明の監視システムは、上述した実施形態に限定されない。以下に、本発明に係る監視システムの別の実施形態について説明する。以下では、別の実施形態について、図１～図８に示す実施形態と異なる構成部分を主として説明し、同様の構成部分は同一の符号を付して説明を省略する。特に説明しない構成部分は、図１～図８に示す実施形態についての説明が適宜適用される。
【0058】
上述した実施形態の監視システム１０は、搬送ステージ２０に対し、異なる位置に設置された測域センサー２を複数備えている（図６参照）。この場合、平面視において複数の検出領域Ｒどうしを合わせた複合検出領域ＴＲが形成される。複合検出領域ＴＲは、複数の検出領域Ｒが平面視において部分的に重複してもよい。また平面視において、複合検出領域ＴＲは、搬送ステージ２０を少なくとも部分的に包含していればよい。
搬送体３０が走行する領域全体に亘って測域センサー２による検出を行う観点から、搬送ステージ２０を法線方向から視たとき（平面視したとき）、複合検出領域ＴＲが、該搬送ステージ２０の全域を網羅していることが好ましい。斯かる観点から、複数の測域センサー２ｃ，２ｄは、搬送ステージ２０の輪郭の対角線上に位置していることが好ましい〔図１１（ａ）及び（ｂ）参照〕。
また監視システム１０は、２個超の測域センサー２を具備していてもよい〔図１１（ｂ）参照〕。この場合、例えば搬送ステージ２０の輪郭の各角部近傍に、測域センサー２を配置してもよい。
搬送体３０が走行する領域全体に亘って測域センサー２による検出を行う観点から、搬送ステージ２０を法線方向から視たとき（平面視したとき）、複合検出領域ＴＲが、該搬送ステージ２０の全域を網羅していることが好ましい。斯かる観点から、複数の測域センサー２ｃ，２ｄは、搬送ステージ２０の輪郭の対角線上に位置していることが好ましい〔図１１（ａ）及び（ｂ）参照〕。
また監視システム１０は、２個超の測域センサー２を具備していてもよい〔図１１（ｂ）参照〕。この場合、例えば搬送ステージ２０の輪郭の各角部近傍に、測域センサー２を配置してもよい。
【0059】
搬送体３０が走行する領域全体に亘って測域センサー２による検出を行う観点から、測域センサー２は可動であってもよい。例えば、図１１（ｃ）に示すように、測域センサー２は回動可能なものであってもよく、移動可能なものであってもよい。
前者の場合、モーター等の駆動源（図示せず）によって鉛直軸回りに回動可能になされている。また後者の場合、一方向に延びるレールを備えたスライド機構７によって、該一方向に往復移動可能になされている。
前者の場合、モーター等の駆動源（図示せず）によって鉛直軸回りに回動可能になされている。また後者の場合、一方向に延びるレールを備えたスライド機構７によって、該一方向に往復移動可能になされている。
【0060】
また監視システム１０が測域センサー２を複数備えている場合、測域センサー２間で法線方向における検出領域Ｒの位置が異なっていてもよい。例えば図１２に示す監視システムでは、一方の測域センサー２ｆの検出領域Ｒａが、法線方向（鉛直方向Ｚ）において他方の測域センサー２ｅの検出領域Ｒｂ，Ｒｃ間に位置している。
【0061】
監視システムは、測域センサー２に加えて、画像処理装置６を備えていてもよい〔図１３（ａ）及び（ｂ）参照〕。画像処理装置６は、カメラ等の撮像手段と、通信モジュールと、画像処理部とを備えている（図示せず）。画像処理装置６が備える通信モジュールは、監視制御部４が備える通信モジュール１１と同様の構成とすることができる。
本実施形態の撮像手段は、搬送ステージ２０の法線方向（鉛直方向）に離れた位置に設置されており、該搬送ステージ２０上を撮像できるようになされている。撮像手段は、監視制御部４の位置情報取得部１２が取得した検知座標位置の情報に基づき、該座標位置を含む領域を撮像する。
画像処理部は、撮像手段が撮像した画像について、パターンマッチング法、色面積測定等の画像処理を行い、画像に映る物体の特徴から、該物体が搬送物５であるか否かの判定、又は搬送物５の種類の判定を行う。また、画像処理部は、搬送物５に表示されたバーコード等の二次元コードを読み取ることで、前記物体が搬送物５であるか否かの判定、又は搬送物５の種類の判定を実行してもよい。
本実施形態の撮像手段は、搬送ステージ２０の法線方向（鉛直方向）に離れた位置に設置されており、該搬送ステージ２０上を撮像できるようになされている。撮像手段は、監視制御部４の位置情報取得部１２が取得した検知座標位置の情報に基づき、該座標位置を含む領域を撮像する。
画像処理部は、撮像手段が撮像した画像について、パターンマッチング法、色面積測定等の画像処理を行い、画像に映る物体の特徴から、該物体が搬送物５であるか否かの判定、又は搬送物５の種類の判定を行う。また、画像処理部は、搬送物５に表示されたバーコード等の二次元コードを読み取ることで、前記物体が搬送物５であるか否かの判定、又は搬送物５の種類の判定を実行してもよい。
【0062】
本実施形態の監視システムは、撮像手段が撮像する領域６Ｒ（以下、「撮像領域６Ｒ」ともいう。）内に搬送体３０が存在する場合〔図１３（ａ）参照〕、画像処理部は、撮像領域６Ｒの座標範囲の情報を搬送装置制御部５０に送信する。搬送装置制御部５０の異常対応部５４は、撮像領域６Ｒの座標範囲の情報に基づき、該撮像領域６Ｒから搬送体３０を退避させる、又は撮像領域６Ｒ内への侵入を防止する退避信号を生成し、これを搬送ステージ２０上の搬送体３０に送信する。退避信号は、撮像領域６Ｒの座標範囲外に搬送体３０を誘導するための信号である。退避信号によって、搬送体３０を撮像領域６Ｒ外に移動させた後、撮像手段は撮像領域６Ｒを撮像する〔図１３（ｂ）参照〕。これにより、搬送体３０又は該搬送体３０に積載された搬送物５が画像に映りこまないので、背景との差分処理を行い易くなり、前述したパターンマッチング法等の画像処理の精度をより向上させることができる。
【0063】
次に、上述した図１～図８に示す実施形態の監視システム１０を用いた、搬送装置１００の監視工程のフローを、図１４を用いて説明する。
本実施形態の監視工程は、先ず監視システム１０を稼働して、その一環として測域センサー２も起動する（ステップＳ１）。図１４に示すフローでは、搬送装置１００の稼動を省略している。搬送装置１００の稼働は、ステップＳ１の後に行うことが好ましい。続くステップＳ２では、測域センサー２が検出領域Ｒにおける物体の有無を検知する。本実施形態の監視システム１０は、Ｘ方向及びＹ方向からなる平面に対し、検出領域Ｒの範囲でレーザー光を走査する。測域センサー２による検知が無い場合、ステップＳ２を繰り返す。ステップＳ２は０．２回／秒以上１００００回／秒以下の頻度で実行される。
本実施形態の監視工程は、先ず監視システム１０を稼働して、その一環として測域センサー２も起動する（ステップＳ１）。図１４に示すフローでは、搬送装置１００の稼動を省略している。搬送装置１００の稼働は、ステップＳ１の後に行うことが好ましい。続くステップＳ２では、測域センサー２が検出領域Ｒにおける物体の有無を検知する。本実施形態の監視システム１０は、Ｘ方向及びＹ方向からなる平面に対し、検出領域Ｒの範囲でレーザー光を走査する。測域センサー２による検知が無い場合、ステップＳ２を繰り返す。ステップＳ２は０．２回／秒以上１００００回／秒以下の頻度で実行される。
【0064】
ステップＳ２において測域センサー２が物体を検知した場合、すなわち測域センサー２によって検出領域Ｒに物体が検知された場合、ステップＳ３に進む。ステップＳ３では、監視制御部４の異常判定部１４が、区間（セグメント２１）毎の検知情報（法線方向における検出領域Ｒの位置及び検知座標位置）の情報と、識別情報及び位置情報の何れか一方又は双方とに基づいて、異常の種類を推測する。すなわち、前記（１）の異常であるか、前記（２）の異常であるかを推測する。
ステップＳ３において前記（１）の異常と推測した場合、ステップＳ４に進む。ステップＳ４では、ステップＳ３で推定された前記（１）の異常の検知座標位置及び検出領域Ｒの法線方向の位置の情報に基づき、異常対応信号生成部１５が警報の発生信号及び制御信号を発する。
ステップＳ３において前記（１）の異常と推測した場合、ステップＳ４に進む。ステップＳ４では、ステップＳ３で推定された前記（１）の異常の検知座標位置及び検出領域Ｒの法線方向の位置の情報に基づき、異常対応信号生成部１５が警報の発生信号及び制御信号を発する。
【0065】
続くステップＳ５では、制御信号に基づき、検知座標位置が搬送体３０の予定経路上にあるか否かを、異常対応部５４が判定する。検知座標位置が予定経路上にない場合は、ステップＳ２に戻る。この場合、搬送体３０は予定経路に沿った走行が維持される。
ステップＳ５において、検知座標位置が搬送体３０の予定経路上にある場合は、ステップＳ６に進み、該検知座標位置を避けた迂回経路に変更可能か否かを搬送装置制御部５０の異常対応部５４が判定する。ステップＳ６において迂回経路に変更可能であると判定した場合は、ステップＳ７に進み、予定座標位置を迂回経路の座標位置に変更して、該迂回経路に変更する。これにより、搬送体３０は、迂回経路に沿って走行する。そしてステップＳ７の後、ステップＳ２に戻る。
ステップＳ６において迂回経路に変更できない場合は、ステップＳ１３に進み、搬送装置１００の稼動を停止する。
ステップＳ５において、検知座標位置が搬送体３０の予定経路上にある場合は、ステップＳ６に進み、該検知座標位置を避けた迂回経路に変更可能か否かを搬送装置制御部５０の異常対応部５４が判定する。ステップＳ６において迂回経路に変更可能であると判定した場合は、ステップＳ７に進み、予定座標位置を迂回経路の座標位置に変更して、該迂回経路に変更する。これにより、搬送体３０は、迂回経路に沿って走行する。そしてステップＳ７の後、ステップＳ２に戻る。
ステップＳ６において迂回経路に変更できない場合は、ステップＳ１３に進み、搬送装置１００の稼動を停止する。
【0066】
ステップＳ３において、異常の種類を前記（２）の異常と推測した場合、ステップＳ８に進む。ステップＳ８では、ステップＳ３で推定された前記（２）の異常の検知座標位置、搬送体３０の識別情報及び位置情報に基づき、異常判定部１４が区画異常であるか否かを判定する。区画異常は、測域センサー２によって複数回検知された検知情報について、これら検知座標位置が同一の区画である場合、又は特定の区画で浮上量が低下する一方、他の区画で該浮上量が回復した場合に、これを区画異常と判定することができる。ステップＳ８において区画異常と判定された場合、ステップＳ９に進み、異常対応信号生成部１５が警報の発生信号と制御信号とを発信する。このステップＳ９の後、ステップＳ６に進む。ステップＳ６では、制御信号に基づき、異常対応部５４が、区画異常と判定された区画を避けた迂回経路に変更可能か否かを判定する。このステップＳ６以降は、上記と同様のフローとなる。
【0067】
ステップＳ８において区画異常ではないと判定された場合、ステップＳ１０に進み、異常対応信号生成部１５が制御信号を発信する。続くステップＳ１１では、制御信号を受信した異常対応部５４が、浮上量が低下した搬送体３０を退避させるか否かを判定する。ステップＳ１１において搬送体３０を退避させる場合、ステップＳ１２に進む。ステップＳ１２では、異常対応信号生成部１５が、浮上量が低下した搬送体３０を退避させる退避信号及び警報の発生信号を発する。このステップＳ１２の後、ステップＳ２に戻る。これにより、浮上量が低下した搬送体３０を退避させつつ、搬送装置１００の稼働を継続する。
ステップＳ１２では、制御信号を受信した直後のタイミングで退避信号を発してもよく、適宜のタイミングで退避信号を発してもよい。例えば、搬送体３０が同じ経路を繰り返し移動させる設定になっている場合、該搬送体３０が１サイクルの移動を終えたタイミングで、異常対応信号生成部１５が退避信号を発してもよい。また、斯かるタイミングに代えて、搬送体３０の移動経路を切り替えるタイミング、又は搬送装置１００のメンテナンスのタイミングで退避信号を発してもよい。
ステップＳ１１において搬送体３０を退避させることができないと判定された場合、ステップＳ１３に進み、搬送装置１００の稼動を停止する。
ステップＳ１２では、制御信号を受信した直後のタイミングで退避信号を発してもよく、適宜のタイミングで退避信号を発してもよい。例えば、搬送体３０が同じ経路を繰り返し移動させる設定になっている場合、該搬送体３０が１サイクルの移動を終えたタイミングで、異常対応信号生成部１５が退避信号を発してもよい。また、斯かるタイミングに代えて、搬送体３０の移動経路を切り替えるタイミング、又は搬送装置１００のメンテナンスのタイミングで退避信号を発してもよい。
ステップＳ１１において搬送体３０を退避させることができないと判定された場合、ステップＳ１３に進み、搬送装置１００の稼動を停止する。
【0068】
以上、本発明をその好ましい実施形態に基づき説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されない。
例えば、上述した実施形態の監視システム１０は、複数台の測域センサー２を備えるものであったが、測域センサー２を１台のみ備えるものであってもよい。
例えば、上述した実施形態の監視システム１０は、複数台の測域センサー２を備えるものであったが、測域センサー２を１台のみ備えるものであってもよい。
【符号の説明】
【0069】
２ 測域センサー
３ センサー部
３ａ 第１センサー部
３ｂ 第２センサー部
３ｃ 第３センサー部
４ 監視制御部
５ 搬送物
６ 画像処理装置
７ スライド機構
９ 障害物
１０ 監視システム
１１ 通信モジュール
１２ 位置情報取得部
１３ 情報統合部
１４ 異常判定部
１５ 異常対応信号生成部
２０ 搬送ステージ
２１ セグメント
２２ セグメント本体
２３ 磁力発生部
２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ コイル
２５ 支持台
３０ 搬送体
３１ 搬送本体
３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ 磁石アレイ
３５ 保持部
５０ 搬送装置制御部
５１ 通信モジュール
５２ 搬送情報取得部
５３ 搬送経路生成部
６３ 把持ハンド
１００ 搬送装置
ｂ 退避地点
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４ 経路
Ｃ１０，Ｃ１２，Ｃ１３ 予定経路
Ｃ１１ 迂回経路
Ｃ１４ 退避経路
Ｄ１ 投光方向
Ｒ 検出領域
Ｒ１ 第１検出領域
Ｒ２ 第２検出領域
Ｒ３ 第３検出領域
ＴＲ 複合検出領域
Ｗ 作業装置
Ｗ２ 取り付け装置
３ センサー部
３ａ 第１センサー部
３ｂ 第２センサー部
３ｃ 第３センサー部
４ 監視制御部
５ 搬送物
６ 画像処理装置
７ スライド機構
９ 障害物
１０ 監視システム
１１ 通信モジュール
１２ 位置情報取得部
１３ 情報統合部
１４ 異常判定部
１５ 異常対応信号生成部
２０ 搬送ステージ
２１ セグメント
２２ セグメント本体
２３ 磁力発生部
２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ コイル
２５ 支持台
３０ 搬送体
３１ 搬送本体
３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ 磁石アレイ
３５ 保持部
５０ 搬送装置制御部
５１ 通信モジュール
５２ 搬送情報取得部
５３ 搬送経路生成部
６３ 把持ハンド
１００ 搬送装置
ｂ 退避地点
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４ 経路
Ｃ１０，Ｃ１２，Ｃ１３ 予定経路
Ｃ１１ 迂回経路
Ｃ１４ 退避経路
Ｄ１ 投光方向
Ｒ 検出領域
Ｒ１ 第１検出領域
Ｒ２ 第２検出領域
Ｒ３ 第３検出領域
ＴＲ 複合検出領域
Ｗ 作業装置
Ｗ２ 取り付け装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【手続補正書】
【提出日】2024-09-11
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
搬送ステージと、該搬送ステージ上を移動する搬送体とを備えた搬送装置を監視する監視システムであって、
前記搬送体は、磁石を有し、
前記搬送ステージは、磁力を発生させて、前記搬送体が備える前記磁石との相互作用により、前記搬送体を該搬送ステージから該搬送ステージの法線方向に浮上させ且つ該搬送ステージ上を移動させる磁力発生部を有しており、
前記搬送ステージの法線方向において前記搬送体が浮上する領域を検出領域とする測域センサーと、
前記測域センサーの検知情報に基づき、前記搬送ステージ又は前記搬送体の異常を判定する異常判定部とを備えている、監視システム。
前記搬送体は、磁石を有し、
前記搬送ステージは、磁力を発生させて、前記搬送体が備える前記磁石との相互作用により、前記搬送体を該搬送ステージから該搬送ステージの法線方向に浮上させ且つ該搬送ステージ上を移動させる磁力発生部を有しており、
前記搬送ステージの法線方向において前記搬送体が浮上する領域を検出領域とする測域センサーと、
前記測域センサーの検知情報に基づき、前記搬送ステージ又は前記搬送体の異常を判定する異常判定部とを備えている、監視システム。
【請求項2】
前記搬送ステージを前記法線方向から視たときの前記検出領域について、該搬送ステージを構成する複数の区画毎に前記検知情報を取得する、請求項１に記載の監視システム。
【請求項3】
前記搬送体には、識別情報が付与されており、
前記搬送装置は、前記搬送ステージ上の前記搬送体の位置情報を取得する位置情報取得部を備えており、
前記識別情報及び前記位置情報の何れか一方又は双方と、前記検知情報とを、前記区画毎に取得する、情報統合部とを備えている、請求項２に記載の監視システム。
前記搬送装置は、前記搬送ステージ上の前記搬送体の位置情報を取得する位置情報取得部を備えており、
前記識別情報及び前記位置情報の何れか一方又は双方と、前記検知情報とを、前記区画毎に取得する、情報統合部とを備えている、請求項２に記載の監視システム。
【請求項4】
前記異常判定部は、前記区画毎の前記検知情報と、前記識別情報及び前記位置情報の何れか一方又は双方とに基づいて、前記異常の種類を推定する、請求項３に記載の監視システム。
【請求項5】
前記測域センサーは、前記法線方向の位置が異なる複数のセンサー部を備えている、請求項１～４の何れか１項に記載の監視システム。
【請求項6】
前記検知情報は、前記検出領域の前記法線方向の位置の情報を含み、
前記異常判定部は、前記検出領域の前記法線方向の位置の情報に基づいて、前記異常の種類を推定する、請求項４に記載の監視システム。
前記異常判定部は、前記検出領域の前記法線方向の位置の情報に基づいて、前記異常の種類を推定する、請求項４に記載の監視システム。
【請求項7】
前記異常の種類に応じて、警報の発生信号と、前記搬送装置の制御信号とを発する異常対応信号生成部を備えている、請求項３又は６に記載の監視システム。
【請求項8】
前記搬送ステージに対し、異なる位置に設置された前記測域センサーを複数備えており、
前記搬送ステージを前記法線方向から視たとき、複数の前記測域センサーそれぞれの前記検出領域どうしを合わせた複合検出領域が、該搬送ステージを少なくとも部分的に包含している、請求項１又は２に記載の監視システム。
前記搬送ステージを前記法線方向から視たとき、複数の前記測域センサーそれぞれの前記検出領域どうしを合わせた複合検出領域が、該搬送ステージを少なくとも部分的に包含している、請求項１又は２に記載の監視システム。