特開 2024-171573 作業支援方法および作業支援システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024171573

(43)【公開日】2024-12-12

(54)【発明の名称】作業支援方法および作業支援システム

(51)【国際特許分類】

   G06F 3/16 20060101AFI20241205BHJP

   H01L 21/02 20060101ALI20241205BHJP

   G05B 23/02 20060101ALI20241205BHJP

   G10L 15/22 20060101ALI20241205BHJP

   G10L 17/00 20130101ALI20241205BHJP

   G06F 3/01 20060101ALI20241205BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20241205BHJP

【ＦＩ】

G06F3/16 650

H01L21/02 Z

G05B23/02 X

G10L15/22 460Z

G10L17/00 200C

G06F3/01 570

H01L21/304 648Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023088650

(22)【出願日】2023-05-30

(71)【出願人】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(74)【代理人】

【識別番号】100088672

【弁理士】

【氏名又は名称】吉竹 英俊

(74)【代理人】

【識別番号】100088845

【弁理士】

【氏名又は名称】有田 貴弘

(72)【発明者】

【氏名】清水 進二

【テーマコード（参考）】

3C223

5E555

5F157

【Ｆターム（参考）】

3C223AA12

3C223AA13

3C223BA02

3C223BB01

3C223BB02

3C223BB08

3C223BB09

3C223BB11

3C223CC02

3C223DD03

3C223EB01

3C223EB02

3C223EB07

3C223FF43

3C223FF52

3C223GG01

3C223HH01

3C223HH02

3C223HH22

3C223HH23

5E555AA46

5E555AA54

5E555BA02

5E555BB02

5E555BC14

5E555CA42

5E555CA47

5E555CB64

5E555CB65

5E555CB66

5E555DA08

5E555DA09

5E555EA22

5E555EA23

5E555FA00

5F157AB02

5F157AB16

5F157AB33

5F157AB45

5F157AB49

5F157AB51

5F157AB64

5F157AB75

5F157AB90

5F157BB23

5F157BB45

5F157CE28

5F157CF40

5F157CF42

5F157CF44

5F157CF52

5F157DA01

5F157DC21

(57)【要約】

【課題】誤った音声認識による誤動作を防止することができる作業支援方法および作業支援システムを提供する。
【解決手段】基板処理装置のメンテナンス作業を行う作業者はスマートグラスを装着して音声による操作指示を発出する。スマートグラスはその音声を受音して音声認識によってテキスト化して表示する。作業者は、表示されたテキストを目視で確認し、その内容が正しければ手のジェスチャーによって確認結果が可であることを表現する。スマートグラスは、作業者のジェスチャーを撮像して解析し、確認結果が可である場合のみ操作指示のコマンドを作成して基板処理装置に送信する。スマートグラスが音声認識によってテキスト化した内容を表示し、作業者がその内容を確認しているため、誤った音声認識による誤動作を防止することができる。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

産業機器に対して所定の作業を行うときの作業支援方法であって、
受音部、表示部、撮像部および通信部を備えた携帯端末を装着した作業者から発出された音声による操作指示を前記受音部によって受音する受音工程と、
前記受音部によって受音された作業者の音声を解析して前記操作指示のテキストに変換する音声認識工程と、
前記表示部が前記操作指示のテキストを表示する表示工程と、
表示された前記操作指示のテキストを確認した作業者が身体の一部によって示した確認結果を検出して確認情報を取得する検出工程と、
前記確認情報を解析して前記確認結果が可である場合には、前記操作指示の指令情報を生成する動作解析工程と、
前記通信部が前記操作指示の指令情報を前記産業機器に送信する送信工程と、
を備える作業支援方法。

【請求項2】

請求項１記載の作業支援方法において、
前記検出工程では、前記撮像部が作業者のジェスチャーを撮像する作業支援方法。

【請求項3】

請求項１記載の作業支援方法において、
前記携帯端末は、前記携帯端末を装着した作業者の視線を追跡する視線追跡部をさらに備え、
前記検出工程では、作業者が視認している前記産業機器の部位を前記視線追跡部によって特定し、
前記動作解析工程では、前記操作指示のテキストの対象となる対象部位と作業者が視認している部位とが一致しているときには前記確認結果が可であると判定する作業支援方法。

【請求項4】

請求項１記載の作業支援方法において、
前記音声認識工程では、前記受音部によって受音された音声の声紋が予め登録された声紋と一致するときのみ音声解析を実行する作業支援方法。

【請求項5】

請求項１記載の作業支援方法において、
前記音声認識工程は、
前記受音部によって受音された作業者の音声に含まれる音素を音響モデルを用いて特定する音素特定工程と、
前記音素特定工程にて特定された音素の並びを言語モデルを用いて単語に変換する単語変換工程と、
を備え、
前記言語モデルには、前記産業機器に対する特定の作業に関連する用語のみが登録される作業支援方法。

【請求項6】

請求項１記載の作業支援方法において、
前記産業機器は、基板に所定の処理を行う基板処理装置である作業支援方法。

【請求項7】

請求項１から請求項６のいずれかに記載の作業支援方法において、
前記携帯端末は、スマートグラスである作業支援方法。

【請求項8】

産業機器に対して携帯端末を用いて所定の作業を行うときの作業支援システムであって、
前記携帯端末は、
前記携帯端末を装着した作業者から発出された音声による操作指示を受音する受音部と、
前記受音部によって受音された作業者の音声を解析して前記操作指示のテキストに変換する音声認識部と、
前記操作指示のテキストを表示する表示部と、
表示された前記操作指示のテキストを確認した作業者が身体の一部によって示した確認結果を検出して確認情報を取得する検出部と、
前記確認情報を解析して前記確認結果が可である場合には、前記操作指示の指令情報を生成する動作解析部と、
前記操作指示の指令情報を前記産業機器に送信する通信部と、
を備える作業支援システム。

【請求項9】

請求項８記載の作業支援システムにおいて、
前記検出部は、作業者のジェスチャーを撮像する撮像部を含む作業支援システム。

【請求項10】

請求項８記載の作業支援システムにおいて、
前記検出部は、前記携帯端末を装着した作業者の視線を追跡して作業者が視認している前記産業機器の部位を特定する視線追跡部を含み、
前記動作解析部は、前記操作指示のテキストの対象となる対象部位と作業者が視認している部位とが一致しているときには前記確認結果が可であると判定する作業支援システム。

【請求項11】

請求項８記載の作業支援システムにおいて、
前記音声認識部は、前記受音部によって受音された音声の声紋が予め登録された声紋と一致するときのみ音声解析を実行する作業支援システム。

【請求項12】

請求項８記載の作業支援システムにおいて、
前記音声認識部は、前記受音部によって受音された作業者の音声に含まれる音素を音響モデルを用いて特定するとともに、特定された音素の並びを言語モデルを用いて単語に変換し、
前記言語モデルには、前記産業機器に対する特定の作業に関連する用語のみが登録される作業支援システム。

【請求項13】

請求項８記載の作業支援システムにおいて、
前記産業機器は、基板に所定の処理を行う基板処理装置である作業支援システム。

【請求項14】

請求項８から請求項１３のいずれかに記載の作業支援システムにおいて、
前記携帯端末は、スマートグラスである作業支援システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板に所定の処理を行う基板処理装置等の産業機器に対してメンテナンス作業等の所定の作業を行うときの作業支援方法および作業支援システムに関する。基板処理装置によって処理対象となる基板には、例えば、半導体基板、液晶表示装置用基板、flat panel display（ＦＰＤ）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、または、太陽電池用基板などが含まれる。

【背景技術】

【0002】

従来より、半導体デバイスの製造工程では、半導体基板等の基板に対して種々の処理を行う基板処理装置が用いられている。基板処理装置としては、例えば基板洗浄装置、熱処理装置、検査装置等が使用されている。典型的には、広いクリーンルームに多数の基板処理装置が整然と配置されることが多い。それらの基板処理装置に対しては適宜のタイミングでメンテナンスが行われる。特許文献１には、クリーンルーム内に比較的高い密度で多数の基板処理装置を並べるとともに、基板処理装置のメンテナンスを行うことが記載されている。

【0003】

また、特許文献１には、作業者が基板処理装置にメンテナンスの指示を与えると、基板処理装置がメンテナンス動作（例えば、処理液ノズルからの処理液の吐出動作）を行うことが記載されている。従来の典型的なメンテナンス作業では、作業者がリモコンを手に持って手動で基板処理装置の各部位に対する操作を行っていたのであるが、近年では作業者がリモコンを持たずにスマートグラスを装着してメンテナンス作業を行うことも試みられている。作業者は、スマートグラス内に表示した操作パネルを使用したり音声認識やアイトラッキングによって操作を行う形態が検討されている。特許文献２には、作業者の発話が音声認識されてテキスト情報として携帯端末に表示されることが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２０－４８６６号公報

【特許文献2】特開２０２１－８３０７９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、音声認識においては、作業者の発話内容をスマートグラスが誤って解釈することがある。また、通常は１台の基板処理装置に複数の処理ユニットが搭載されており、複数人の作業者が１台の基板処理装置に対して同時にメンテナンス作業を行うことがある。このような場合に、スマートグラスを装着した作業者以外の別人の音声を認識するおそれがある。このように誤って認識された内容に従って基板処理装置が動作を行うと作業者が危険にさらされることがある。

【0006】

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、誤った音声認識による誤動作を防止することができる作業支援方法および作業支援システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するため、この発明の第１の態様は、産業機器に対して所定の作業を行うときの作業支援方法において、受音部、表示部、撮像部および通信部を備えた携帯端末を装着した作業者から発出された音声による操作指示を前記受音部によって受音する受音工程と、前記受音部によって受音された作業者の音声を解析して前記操作指示のテキストに変換する音声認識工程と、前記表示部が前記操作指示のテキストを表示する表示工程と、表示された前記操作指示のテキストを確認した作業者が身体の一部によって示した確認結果を検出して確認情報を取得する検出工程と、前記確認情報を解析して前記確認結果が可である場合には、前記操作指示の指令情報を生成する動作解析工程と、前記通信部が前記操作指示の指令情報を前記産業機器に送信する送信工程と、を備える。

【0008】

また、第２の態様は、第１の態様に係る作業支援方法において、前記検出工程では、前記撮像部が作業者のジェスチャーを撮像する。

【0009】

また、第３の態様は、第１または第２の態様に係る作業支援方法において、前記携帯端末は、前記携帯端末を装着した作業者の視線を追跡する視線追跡部をさらに備え、前記検出工程では、作業者が視認している前記産業機器の部位を前記視線追跡部によって特定し、前記動作解析工程では、前記操作指示のテキストの対象となる対象部位と作業者が視認している部位とが一致しているときには前記確認結果が可であると判定する。

【0010】

また、第４の態様は、第１から第３のいずれかの態様に係る作業支援方法において、前記音声認識工程では、前記受音部によって受音された音声の声紋が予め登録された声紋と一致するときのみ音声解析を実行する。

【0011】

また、第５の態様は、第１から第４のいずれかの態様に係る作業支援方法において、前記音声認識工程は、前記受音部によって受音された作業者の音声に含まれる音素を音響モデルを用いて特定する音素特定工程と、前記音素特定工程にて特定された音素の並びを言語モデルを用いて単語に変換する単語変換工程と、を備え、前記言語モデルには、前記産業機器に対する特定の作業に関連する用語のみが登録される。

【0012】

また、第６の態様は、第１から第５のいずれかの態様に係る作業支援方法において、前記産業機器は、基板に所定の処理を行う基板処理装置である。

【0013】

また、第７の態様は、第１から第６のいずれかの態様に係る作業支援方法において、前記携帯端末は、スマートグラスである。

【0014】

また、第８の態様は、産業機器に対して携帯端末を用いて所定の作業を行うときの作業支援システムにおいて、前記携帯端末は、前記携帯端末を装着した作業者から発出された音声による操作指示を受音する受音部と、前記受音部によって受音された作業者の音声を解析して前記操作指示のテキストに変換する音声認識部と、前記操作指示のテキストを表示する表示部と、表示された前記操作指示のテキストを確認した作業者が身体の一部によって示した確認結果を検出して確認情報を取得する検出部と、前記確認情報を解析して前記確認結果が可である場合には、前記操作指示の指令情報を生成する動作解析部と、前記操作指示の指令情報を前記産業機器に送信する通信部と、を備える。

【0015】

また、第９の態様は、第８の態様に係る作業支援システムにおいて、前記検出部は、作業者のジェスチャーを撮像する撮像部を含む。

【0016】

また、第１０の態様は、第８または第９の態様に係る作業支援システムにおいて、前記検出部は、前記携帯端末を装着した作業者の視線を追跡して作業者が視認している前記産業機器の部位を特定する視線追跡部を含み、前記動作解析部は、前記操作指示のテキストの対象となる対象部位と作業者が視認している部位とが一致しているときには前記確認結果が可であると判定する。

【0017】

また、第１１の態様は、第８から第１０のいずれかの態様に係る作業支援システムにおいて、前記音声認識部は、前記受音部によって受音された音声の声紋が予め登録された声紋と一致するときのみ音声解析を実行する。

【0018】

また、第１２の態様は、第８から第１１のいずれかの態様に係る作業支援システムにおいて、前記音声認識部は、前記受音部によって受音された作業者の音声に含まれる音素を音響モデルを用いて特定するとともに、特定された音素の並びを言語モデルを用いて単語に変換し、前記言語モデルには、前記産業機器に対する特定の作業に関連する用語のみが登録される。

【0019】

また、第１３の態様は、第８から第１２のいずれかの態様に係る作業支援システムにおいて、前記産業機器は、基板に所定の処理を行う基板処理装置である。

【0020】

また、第１４の態様は、第８から第１３のいずれかの態様に係る作業支援システムにおいて、前記携帯端末は、スマートグラスである。

【発明の効果】

【0021】

第１から第７の態様に係る作業支援方法によれば、携帯端末を装着した作業者から発出された音声による操作指示を受音してテキストに変換して表示し、そのテキストを確認した作業者の確認結果が可である場合には、操作指示の指令情報を産業機器に送信するため、音声認識が間違っている場合に操作指示が産業機器に与えられることはなく、誤った音声認識による誤動作を防止することができる。

【0022】

特に、第４の態様に係る作業支援方法によれば、受音された音声の声紋が予め登録された声紋と一致するときのみ音声解析を実行するため、登録された作業者とは別人による操作指示が実行されるのをより確実に防止することができる。

【0023】

特に、第５の態様に係る作業支援方法によれば、言語モデルには、産業機器に対する特定の作業に関連する用語のみが登録されるため、作業者から発出された音声による操作指示をより精度良くかつ的確にテキストに変換することが可能となる。

【0024】

第８から第１４の態様に係る作業支援システムによれば、携帯端末を装着した作業者から発出された音声による操作指示を受音してテキストに変換して表示し、そのテキストを確認した作業者の確認結果が可である場合には、操作指示の指令情報を産業機器に送信するため、音声認識が間違っている場合に操作指示が産業機器に与えられることはなく、誤った音声認識による誤動作を防止することができる。

【0025】

特に、第１１の態様に係る作業支援システムによれば、受音された音声の声紋が予め登録された声紋と一致するときのみ音声解析を実行するため、登録された作業者とは別人による操作指示が実行されるのをより確実に防止することができる。

【0026】

特に、第１２の態様に係る作業支援システムによれば、言語モデルには、産業機器に対する特定の作業に関連する用語のみが登録されるため、作業者から発出された音声による操作指示をより精度良くかつ的確にテキストに変換することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明に係る作業支援システムの概略構成を模式的に示す図である。

【図2】基板処理装置の内部のレイアウトを説明するための平面図である。

【図3】処理ユニットの概略構成を示す平面図である。

【図4】処理ユニットの概略構成を示す側面図である。

【図5】スマートグラスの外観を示す斜視図である。

【図6】スマートグラス、サーバ、作業支援端末および基板処理装置の制御部の機能的構成を示すブロック図である。

【図7】本発明に係る作業支援方法の手順を示すフローチャートである。

【図8】音声認識部による音声認識プロセスを模式的に示す図である。

【図9】スマートグラスによるテキストの表示の一例を示す図である。

【図10】撮像部によって撮像された作業者のジェスチャーの一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。以下において、相対的または絶対的な位置関係を示す表現（例えば、「一方向に」、「一方向に沿って」、「平行」、「直交」、「中心」、「同心」、「同軸」、など）は、特に断らない限り、その位置関係を厳密に表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる範囲で相対的に角度または距離に関して変位された状態も表すものとする。また、等しい状態であることを示す表現（例えば、「同一」、「等しい」、「均質」、など）は、特に断らない限り、定量的に厳密に等しい状態を表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる差が存在する状態も表すものとする。また、形状を示す表現（例えば、「円形状」、「四角形状」、「円筒形状」、など）は、特に断らない限り、幾何学的に厳密にその形状を表すのみならず、同程度の効果が得られる範囲の形状を表すものとし、例えば凹凸または面取りなどを有していてもよい。また、構成要素を「備える」、「具える」、「具備する」、「含む」、「有する」、といった各表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的表現ではない。また、「Ａ、ＢおよびＣのうちの少なくとも一つ」という表現には、「Ａのみ」、「Ｂのみ」、「Ｃのみ」、「Ａ、ＢおよびＣのうち任意の２つ」、「Ａ、ＢおよびＣの全て」が含まれる。

【0029】

＜第１実施形態＞
図１は、本発明に係る作業支援システムの概略構成を模式的に示す図である。本発明に係る作業支援システムは、複数の基板処理装置４０と、スマートグラス１０と、サーバ７０と、作業支援端末８０と、を備える。スマートグラス１０および基板処理装置４０のコントローラは無線通信にて情報通信網５（例えば、インターネット）に接続されている。また、作業支援端末８０およびサーバ７０は有線にて情報通信網５に接続されている。情報通信網５に接続された機器間では相互に情報の送受信が可能であり、例えばスマートグラス１０と作業支援端末８０との間で情報の授受を行うことができる。なお、各機器と情報通信網５とを無線で接続するか有線で接続するかは上記の例に限定されるものではなく、適宜の形態とすることができる（例えば、作業支援端末８０と情報通信網５とを無線で接続しても良い）。

【0030】

複数の基板処理装置４０は、例えばクリーンルーム内に並べて配置されている。クリーンルームは、例えば半導体デバイスの製造工場内に設けられ、一定の空気清浄度が確保されるとともに温度および湿度が管理された部屋である。作業者は、クリーンルーム内にて基板処理装置４０に対して作業を行う。

【0031】

図２は、基板処理装置４０の内部のレイアウトを説明するための平面図である。基板処理装置４０は、半導体ウェハーなどの円板形状のシリコン基板である基板Ｗを１枚ずつ処理する枚葉式の基板洗浄装置である。基板処理装置４０は、インデクサ部４３と、複数の処理ユニット５０と、主搬送ロボット４８と、制御部４５と、を備える。

【0032】

インデクサ部４３は、複数（本実施形態では３つ）のロードポートＬＰおよびインデクサロボット４１を有する。各ロードポートＬＰには、処理ユニット５０で処理される複数枚の基板Ｗを収容するキャリアＣが載置される。キャリアＣの形態としては、基板Ｗを密閉空間に収納するＦＯＵＰ(front opening unified pod)の他に、ＳＭＩＦ(Standard Mechanical Inter Face)ポッドや収納した基板Ｗを外気に曝すＯＣ(open cassette)であっても良い。

【0033】

インデクサロボット４１は、キャリアＣと主搬送ロボット４８との間で基板Ｗを搬送する。インデクサロボット４１は、例えば多関節ロボットであり、複数のロードポートＬＰに載置されたいずれのキャリアＣに対しても基板Ｗの授受を行うことができる。

【0034】

また、主搬送ロボット４８は、インデクサロボット４１と処理ユニット５０との間で基板Ｗを搬送する。主搬送ロボット４８は、昇降動作、旋回動作および搬送アームの進退動作が可能に構成されている。インデクサロボット４１がキャリアＣから取り出した未処理の基板Ｗを主搬送ロボット４８が受け取って処理ユニット５０に搬入する。また、主搬送ロボット４８が処理ユニット５０から搬出した処理済みの基板Ｗをインデクサロボット４１が受け取ってキャリアＣに収納する。

【0035】

基板処理装置４０においては、例えば、３個の処理ユニット５０が積層されて１つの積層体（タワー）を構成する。そして、主搬送ロボット４８の周囲に例えば４つの積層体が配置される。すなわち、１つの基板処理装置４０は、例えば１２個（＝３×４）の処理ユニット５０を含む。図２では、３段に重ねられた処理ユニット５０の１段が概略的に示されている。なお、基板処理装置４０における処理ユニット５０の数量は、１２個に限定されるものではなく、適宜変更されてもよい。

【0036】

主搬送ロボット４８は、処理ユニット５０が積層された４個の積層体の中央に設置されている。主搬送ロボット４８は、インデクサロボット４１から受け取った処理対象となる基板Ｗをいずれかの処理ユニット５０の処理カップ５５の内側に搬入する。また、主搬送ロボット４８は、それぞれの処理ユニット５０から処理済みの基板Ｗを搬出してインデクサロボット４１に渡す。

【0037】

また、基板処理装置４０は、制御部４５を備える。制御部４５は、一般的なコンピュータであり、装置内に設けられた上記のインデクサロボット４１、主搬送ロボット４８および各処理ユニット５０に設けられた機構の動作を制御する。制御部４５は、装置の壁面に設けられた入出力インターフェイスであるタッチパネルおよび装置外部と通信を行う通信部を有する。なお、図２では、図示の便宜上、制御部４５をインデクサ部４３内に記載しているが、これに限定されるものではなく、制御部４５は基板処理装置４０内の適宜の位置に設けられる。

【0038】

以下、基板処理装置４０に搭載された１２個の処理ユニット５０のうちの１つについて説明するが、他の処理ユニット５０についても、ノズルの配置位置関係が異なること以外は、同様の構成を有する。

【0039】

処理ユニット５０は、１枚の基板Ｗに対して処理液を吐出して洗浄処理を行う。処理液とは、各種の薬液および純水を含む概念の用語である。薬液としては、例えば、エッチング処理を行うための液、または、パーティクルを除去するための液などが含まれ、具体的には、ＳＣ－１液（水酸化アンモニウムと過酸化水素水と純水との混合溶液）、ＳＣ－２液（塩酸と過酸化水素水と純水との混合溶液）、または、フッ酸などが用いられる。

【0040】

図３は、処理ユニット５０の概略構成を示す平面図である。また、図４は、処理ユニット５０の概略構成を示す側面図である。処理ユニット５０は、処理チャンバー５１、回転保持部５６、処理液ノズル（第１ノズル）６０、スプレーノズル（第２ノズル）６５、および、カップ５５を備える。処理チャンバー５１は、中空の筐体である。処理チャンバー５１の内側に、回転保持部５６、処理液ノズル６０、スプレーノズル６５、および、カップ５５等が設けられる。

【0041】

処理チャンバー５１の側壁には、搬出入口５２が設けられる。搬出入口５２は、シャッター５３によって開閉される。シャッター５３が搬出入口５２を開放している状態にて、主搬送ロボット４８が搬出入口５２から処理液チャンバー５１に対して基板Ｗの搬入および搬出を行う。基板Ｗの処理中はシャッター５３が搬出入口５２を閉鎖する。シャッター５３によって搬出入口５２が閉鎖されると、処理チャンバー５１内は半密閉空間となる。

【0042】

処理チャンバー５１の天井部にはＦＦＵ（ファン・フィルタ・ユニット）５４が設けられている。ＦＦＵ５４は、処理チャンバー５１の天井から処理チャンバー５１内に向けて清浄空気を供給する。これにより、処理チャンバー５１内には、上方から下方へと向かう清浄空気のダウンフローが形成される。処理チャンバー５１内に供給された気体は処理チャンバー５１の底部に設けられた排気ダクト５９から排出される。

【0043】

回転保持部５６は、スピンチャック５７およびスピンモータ５８を備える。スピンチャック５７は、基板Ｗを水平姿勢（基板Ｗの主面の法線が鉛直方向に沿う姿勢）にて保持する基板保持部である。スピンチャック５７は、例えば真空吸着式のチャックである。スピンチャック５７は、基板Ｗの下面の中央部を吸着保持する。なお、スピンチャック５７は、基板Ｗの端縁部を把持する挟持式のメカニカルチャックなどの他の形態のチャックであってもよい。

【0044】

スピンチャック５７は、基板Ｗの直径よりも小さな径の円板形状を有する。基板Ｗの下面がスピンチャック５７に吸着保持された状態では、基板Ｗの周縁部が、スピンチャック５７の外周端よりも外側にはみ出ている。

【0045】

スピンチャック５７は、モータ軸を介してスピンモータ５８と連結される。すなわち、スピンモータ５８のモータ軸の上端がスピンチャック５７の下面中央部に接続される。スピンチャック５７に基板Ｗが吸着保持されている状態にてスピンモータ５８がモータ軸を回転させると、鉛直方向に沿った回転軸まわりで水平面内にて基板Ｗおよびスピンチャック５７が回転する。

【0046】

スピンチャック５７の周囲を囲むようにカップ５５が設けられる。カップ５５は、図示省略の昇降機構によって昇降可能とされる。カップ５５は概略円筒形状を有しており、カップ５５の上部は上に向かうほどスピンチャック５７に近付くように傾斜している。ただし、カップ５５の上端部分の内径は基板Ｗの直径よりも大きい。基板Ｗの処理時には、カップ５５の上端はスピンチャック５７に保持された基板Ｗの高さ位置よりも高い。従って、処理中に回転保持部５６によって回転される基板Ｗから遠心力によって飛散した液体はカップ５５によって受け止められて回収される。カップ５５によって回収された液体はカップ５５の底部に設けられた図示省略の排液管から排出される。なお、カップ５５は、回収口を目的別に複数設けた多段構造のものであっても良い。

【0047】

処理液ノズル６０は、ノズル先端部６１、スイングアーム６２およびスイングモータ６３を備える。処理液ノズル６０は、例えば連続流の状態で処理液を吐出するストレートノズルである。ノズル先端部６１は、ほぼ水平方向に延びるスイングアーム６２の先端に取り付けられている。ノズル先端部６１には、図外の処理液供給源から処理液が供給されるとともに、図示省略の吐出口が形成されており、その吐出口から処理液が吐出される。スイングアーム６２はスイングモータ６３によって、鉛直方向に沿った揺動軸Ａ１の周りにて水平面内で揺動される。スイングモータ６３は、例えばパルスモータである。

【0048】

スイングモータ６３がスイングアーム６２を揺動させることにより、ノズル先端部６１は回転保持部５６に保持された基板Ｗの上方の処理位置とカップ５５よりも外側の待機位置との間で円弧状の軌跡を描いて移動する。ノズル先端部６１が処理位置に位置しているときに、処理液ノズル６０が回転保持部５６に保持された基板Ｗに薬液を吐出することによって、例えば基板Ｗの洗浄処理が進行する。また、処理液ノズル６０が基板Ｗに純水を吐出することによって、基板Ｗの純水リンス処理が進行する。なお、ノズル先端部６１の位置を検知するためのエンコーダをスイングモータ６３に付設するようにしても良い。

【0049】

一方、スプレーノズル６５は、ノズル先端部６６、スイングアーム６７およびスイングモータ６８を備える。スプレーノズル６５は、例えば処理液と加圧した気体とを混合して液滴を生成し、その液滴と気体との混合流体を基板Ｗに噴射する二流体ノズルである。ノズル先端部６６は、ほぼ水平方向に延びるスイングアーム６７の先端に取り付けられている。ノズル先端部６６には、図外の処理液供給源および気体供給源から処理液および加圧気体が供給され、それらはノズル先端部６１の内部または外部にて混合されて混合流体を形成する。スイングアーム６７はスイングモータ６８によって、鉛直方向に沿った揺動軸Ａ２の周りにて水平面内で揺動される。スイングモータ６８は、例えばパルスモータである。

【0050】

スイングモータ６８がスイングアーム６７を揺動させることにより、ノズル先端部６６は回転保持部５６に保持された基板Ｗの上方の処理位置とカップ５５よりも外側の待機位置との間で円弧状の軌跡を描いて移動する。ノズル先端部６６が処理位置に位置しているときに、スプレーノズル６５が回転保持部５６に保持された基板Ｗに混合流体を吐出することによって、例えば基板Ｗの洗浄処理が進行する。なお、ノズル先端部６６の位置を検知するためのエンコーダをスイングモータ６８に付設するようにしても良い。

【0051】

図３に示すように、処理液ノズル６０の回動動作とスプレーノズル６５の回動動作とは相互に干渉するおそれがある。すなわち、処理液ノズル６０が処理位置に位置しているときに、スプレーノズル６５も基板Ｗの上方に移動すると双方が衝突するおそれがある。このため、処理液ノズル６０またはスプレーノズル６５のいずれか一方が処理位置に位置しているときには、他方が動作できなくなるようなインターロックが設けられている。

【0052】

基板処理装置４０に対して操作等の作業を行う作業者はスマートグラス１０を装着する。スマートグラス１０は、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）方式のウェアラブル端末の一種である。スマートグラス１０は、ＡＲ（Augmented Reality：拡張現実）またはＭＲ（Mixed Reality：複合現実）を実現するためのデバイスでもある。スマートグラス１０としては、例えば、マイクロソフト社製の「HoloLens」（登録商標）を用いることができる。

【0053】

図５は、スマートグラス１０の外観を示す斜視図である。スマートグラス１０は、バイザー１１およびヘッドバンド１２を備える。作業者はヘッドバンド１２を頭に付けることによってスマートグラス１０を装着する。作業者は、自らの頭の大きさに合わせてヘッドバンド１２の長さを調整することが可能とされている。また、ヘッドバンド１２には、電源ボタン、明るさボタンおよびボリュームボタン等が設けられている。

【0054】

バイザー１１は、各種センサーとディスプレイとを含む。そのディスプレイは、シースルーホログラフィックレンズである。すなわち、ディスプレイはホログラムによって立体映像を作業者の視野空間に表示することが可能であるとともに、通常の眼鏡レンズと同じように現実の物体からの光を透過する。従って、スマートグラス１０を装着した作業者は、ディスプレイを通して現実の物体を視認しつつ表示された立体映像を見ることも可能である。

【0055】

バイザー１１のセンサーには、例えば主にバイザー１１の前方を撮像する複数の可視光カメラ、作業者の視線を追跡する赤外線カメラ、対象物までの距離を測定する深度センサー、および、慣性測定センサー等が含まれる。赤外線カメラは、スマートグラス１０の装着者の眼球の動きを測定して視線を追跡する。深度センサーは、例えば、ＴｏＦ(Time of Flight)方式によって対象物までの距離を測定する。慣性測定センサーは、加速度計、ジャイロスコープ、磁力計等によって構成される。

【0056】

また、スマートグラス１０には、ＣＰＵ、メモリおよび記憶部等を備えたコンピュータが内蔵されている。スマートグラス１０には、無線通信機構も設けられており、スマートグラス１０のコンピュータはその無線通信機構を使用して情報通信網５に接続する。さらに、スマートグラス１０には、マイクロフォン、スピーカーおよびバッテリー等も設けられている。

【0057】

図６は、スマートグラス１０、サーバ７０、作業支援端末８０および基板処理装置４０の制御部４５の機能的構成を示すブロック図である。スマートグラス１０は、撮像部２１、通信部２２、表示部２３、受音部２４および視線追跡部２５を備える。撮像部２１は、上述したバイザー１１に設けられた可視光カメラを含む。撮像部２１は、例えば前方および斜め前方を撮像する４台の可視光カメラを含んでおり、スマートグラス１０を装着した作業者の視野範囲を撮像することができる。

【0058】

通信部２２は、上述したスマートグラス１０の無線通信機構を含む。通信部２２は、情報通信網５を介して作業支援端末８０およびサーバ７０とデータの送受信を行う。また、通信部２２は、近距離であれば基板処理装置４０の制御部４５と直接にデータの送受信を行うことも可能である。すなわち、通信部２２は、直接にまたは情報通信網５を介して基板処理装置４０の制御部４５にデータやコマンドを送信することができる。

【0059】

表示部２３は、上述したバイザー１１のディスプレイを含む。表示部２３はホログラフィック処理装置を有しており、ホログラム技術によって所定の空間位置に立体映像を表示する。なお、表示部２３が表示する立体映像は三次元形状のものに限定されず、ドキュメントのような二次元のものであっても良い。

【0060】

受音部２４は、上述したスマートグラス１０のマイクロフォンを含む。受音部２４は、スマートグラス１０に届いた音を電気信号に変換する。よって、受音部２４は、スマートグラス１０を装着した作業者から発出された音声を集音して電気信号に変換することができる。受音部２４から出力され電気信号は、スマートグラス１０の記憶部に格納されても良い（つまり、音声を録音するようにしても良い）。

【0061】

視線追跡部２５は、作業者の眼球の動きを測定する２台の赤外線カメラを含む。視線追跡部２５は、２台の赤外線カメラによって作業者の視線を追跡するアイトラッキング機能を有する。スマートグラス１０を装着した作業者は、アイトラッキング機能によって視線による操作を行うこともできる。

【0062】

また、スマートグラス１０は、音声認識部３１および動作解析部３６を備える。これらの音声認識部３１および動作解析部３６は、スマートグラス１０のＣＰＵが所定の処理プログラムを実行することによって実現される機能処理部である。音声認識部３１および動作解析部３６の処理内容についてはさらに後述する。

【0063】

基板処理装置４０の制御部４５は、スイングモータ６３等の処理ユニット５０に設けられた機構の動作を制御する。基板処理装置４０の制御部４５は、スマートグラス１０の通信部２２と通信可能であり、スマートグラス１０から送信された操作指示のコマンドに従って処理ユニット５０に設けられた各種機構の動作を制御することも可能である。

【0064】

作業支援端末８０およびサーバ７０は、例えば基板処理装置４０を製造してその保守点検を請け負うベンダーの工場内に設置されている。作業支援端末８０およびサーバ７０は、情報通信網５を介してスマートグラス１０と通信可能とされている。また、作業支援端末８０とサーバ７０とは情報通信網５を介して相互に通信可能とされている。

【0065】

作業支援端末８０およびサーバ７０は、一般的なコンピュータシステムである。すなわち、作業支援端末８０およびサーバ７０は、各種演算処理を行う回路であるＣＰＵ、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ、制御用ソフトウェアやデータなどを記憶しておく記憶部（例えば、磁気ディスクまたはＳＳＤ）および情報通信網５と通信を行う通信部を備えている。

【0066】

作業支援端末８０は、例えばベンダー側の作業支援員がクリーンルーム内の作業者の作業を支援するためのコンピュータである。作業支援員は、作業支援端末８０からクリーンルーム内の作業者が装着するスマートグラス１０に種々の情報を送信することができる。

【0067】

サーバ７０は、本発明に係る作業支援システムにおいて、スマートグラス１０および作業支援端末８０からのリクエストに応じて所定の処理を実行するコンピュータである。サーバ７０は、比較的容量の大きな記憶部７４を備えている。スマートグラス１０および作業支援端末８０によって作成された大きなサイズのデータは記憶部７４に格納されても良い。なお、サーバ７０および作業支援端末８０は必須の要素ではない。

【0068】

次に、上述した構成を有する作業支援システムを用いた作業支援方法について説明する。図７は、本発明に係る作業支援方法の手順を示すフローチャートである。本実施形態においては、スマートグラス１０を装着した作業者が基板処理装置４０に対してメンテナンス作業を行う。具体的な基板処理装置４０に対するメンテナンス作業の項目としては、例えば処理液ノズル６０に対する処理位置の教示（ティーチング）、スピンチャック５７の交換、主搬送ロボット４８のアームに対するティーチング等が例示される。作業者は、従前のようにリモコンを手に持って操作を行うのではなく、スマートグラス１０を用いて基板処理装置４０の各部位に対する操作を行う。特に、本実施形態においては、作業者は音声によって操作を行う。

【0069】

まず、スマートグラス１０を装着した作業者が音声による操作指示を発出する（ステップＳ１）。例えば、処理液ノズル６０に対するティーチングを行う場合には、作業者は「インチング プラス ８ピクセル」のように発話する。また、例えば、スピンチャック５７の交換後の調整を行う場合には、作業者は「チャック オープン」のような音声を発出する。

【0070】

作業者が発出した音声はスマートグラス１０の受音部２４によって受音される（ステップＳ２）。受音された音声は受音部２４によって電気信号に変換される。

【0071】

次に、受音部２４が受音した音声を音声認識部３１が音声認識によってテキスト化する（ステップＳ３）。音声認識部３１は、受音部２４によって受音された作業者の音声を解析して操作指示のテキストに変換するのである。

【0072】

図８は、音声認識部３１による音声認識プロセスを模式的に示す図である。作業者が発出した音声は受音部２４によって受音されて電気信号に変換され、さらにその音声信号から特徴量が抽出されてコンピュータが認識しやすい音声データに変換される（音響分析）。人間は多少の雑音が混じった音声であっても聞き取ることができるが、コンピュータはそのままでは音声を認識することが困難な場合もあるため、コンピュータが認識しやすいように音声データを加工するのである。

【0073】

次に、音声認識部３１は音声データから音素を特定する。音素とは、音韻の最小単位である。音声認識部３１は、受音部２４によって受音された作業者の音声に含まれる音素を音響モデルを用いて特定する。音響モデルは、上記の音響分析によって抽出された音声信号の特徴と事前に学習しておいたデータとを照らし合わせて、入力された音声に最も近い音素を抽出するモジュールである。例えば、図８に示すように、作業者が「オープン」という音声を発出したときには、音声認識部３１は音響モデルを用いて作業者の音声に含まれる音素（音素列）を”o-p-u-n”のように特定する。

【0074】

音響モデルを用いて特定された音素列は単なる音素の羅列にすぎないため、音声認識部３１はその特定された音素の並びを言語モデルを用いて意味のある単語に変換する。言語モデルは、予め蓄積された単語情報に基づいて、特定された音素から最も出現度合いの確立が高い単語を抽出して出力するモジュールである。例えば、図８に示すような音素の並びが特定されたときには、音声認識部３１は言語モデルを用いて作業者が発出した音声は”OPEN”という単語であると特定する。なお、音素の並びを単語に変換するに際して、言語モデルに加えて予め蓄積された単語情報を登録した音声辞書を用いるようにしても良い。

【0075】

以上のような音声認識プロセスを経て作業者の音声がテキストに変換される。図７に戻り、スマートグラス１０の表示部２３が得られた操作指示のテキストを表示する（ステップＳ４）。図９は、スマートグラス１０によるテキストの表示の一例を示す図である。スマートグラス１０の表示部２３は、音声認識によって得られた操作指示のテキストを立体映像として表示する。図９の例では、作業者の音声を解析して得られた”inching plus 8 pixels”が立体映像として表示されることとなる。

【0076】

スマートグラス１０を装着した作業者は、表示された操作指示のテキストを目視で確認する。そして、第１実施形態では、作業者は確認結果の可否について、すなわち表示されたテキストが発話の通りであるか否かについて例えば手のジェスチャー（或いはフィンガーアクション）によって表現する。作業者によって示されたジェスチャーはスマートグラス１０の撮像部２１によって撮像されて検出される（ステップＳ５）。すなわち、第１実施形態においては、撮像部２１が作業者によって示された確認結果を検出して確認情報（ジェスチャー）を取得する検出部として機能する。図１０は、撮像部２１によって撮像された作業者のジェスチャーの一例を示す図である。

【0077】

次に、スマートグラス１０の動作解析部３６が取得された確認情報を解析して確認結果の可否を判定する。第１実施形態においては、動作解析部３６が撮像部２１によって撮像された作業者のジェスチャーを解析して表示されたテキストの正否について判定する。具体的には、例えば、確認結果が可の場合と否の場合のそれぞれについて大量の手のジェスチャーを撮像した画像のデータを学習したモデルを構築しておき、そのモデルを用いて可否の判定を行うようにすれば良い。

【0078】

例えば、図１０に示すような親指と人差し指で輪をつくるジェスチャーは確認結果が可の場合のジェスチャーである。動作解析部３６は、図１０に示すようなジェスチャーを解析したときには確認結果が可である、つまり作業者が表示されたテキストを承認したものと判定する。この場合、ステップＳ６からステップＳ７に進み、スマートグラス１０が音声認識によって得られた操作指示のテキストに従った操作指示のコマンドを生成する。そして、スマートグラス１０の通信部２２が基板処理装置４０の制御部４５に当該操作指示のコマンドを送信する。上記の例であれば、”inching plus 8 pixels”という内容の操作指示のコマンドがスマートグラス１０から基板処理装置４０の制御部４５に送信されることとなる。

【0079】

スマートグラス１０から操作指示のコマンドを受信した制御部４５はそのコマンドを実行する。例えば、上記の内容のコマンドを受信したときには、制御部４５はスイングモータ６３を８ピクセル分だけ動作させて処理液ノズル６０を寸動させる。

【0080】

一方、例えば、両手の人差し指を交差させて×印をつくるジェスチャーは確認結果が否である場合のジェスチャーである。動作解析部３６は、そのようなジェスチャーを解析したときには確認結果が否である、つまり作業者が表示されたテキストについて不承認であると判定する。この場合、ステップＳ６からステップＳ８に進み、スマートグラス１０は操作をキャンセルする。具体的には、スマートグラス１０は音声認識によって得られた操作指示のテキストを一旦削除し、スマートグラス１０から基板処理装置４０へのコマンド送信も実行されない。従って、基板処理装置４０の部位が動作を行うこともない。

【0081】

第１実施形態においては、スマートグラス１０を装着した作業者から発出された音声による操作指示をそのスマートグラス１０が受音して音声認識によってテキスト化して表示している。作業者は、表示されたテキストを目視で確認し、その内容が正しければ手のジェスチャーによって確認結果が可であることを表現する。スマートグラス１０は、作業者のジェスチャーを撮像して解析し、確認結果が可である場合のみ操作指示のコマンドを基板処理装置４０に送信している。

【0082】

スマートグラス１０が受音した音声を音声認識によってテキスト化した内容を表示し、作業者がその内容を確認しているため、間違って音声認識された操作指示が基板処理装置４０に与えられることが防止される。このため、作業者が発出した音声による操作指示をスマートグラス１０が誤って解釈したとしても、その誤った解釈内容に沿って基板処理装置４０が誤動作するのを防止することができる。

【0083】

また、基板処理装置４０に搭載された複数の処理ユニット５０に対して複数人の作業者が同時にメンテナンス作業を行うこともある。このような場合、スマートグラス１０を装着した作業者とは別人から発出された音声を当該スマートグラス１０が受音してテキスト化するおそれがある。第１実施形態では、スマートグラス１０がテキスト化した内容を表示して作業者がその内容を確認しているため、別人の音声をスマートグラス１０が受音してテキスト化したような場合であっても、作業者は間違いに気づいて別人による操作指示が実行されるのを停止させることができる。よって、別人から発出された音声による基板処理装置４０の誤動作を防止することができる。すなわち、第１実施形態のようにすれば、誤った音声認識による基板処理装置４０の誤動作を防止することができ、その結果作業者の安全を確保することが可能となる。

【0084】

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。第２実施形態における作業支援システムの全体構成、および、基板処理装置４０の構成は第１実施形態と同じである。また、第２実施形態における作業支援方法の手順も概ね第１実施形態と同じである。第１実施形態では作業者が手のジェスチャーによってテキスト化された内容の確認結果を表現していたが、第２実施形態ではアイトラッキングによって確認結果の可否を判定している。

【0085】

第１実施形態と同様に、スマートグラス１０を装着した作業者から発出された音声による操作指示をそのスマートグラス１０が受音して音声認識によってテキスト化して表示する。例えば、作業者が「チャック オープン」と発話すると、それがスマートグラス１０によってテキスト化されて”chuck open”と表示される。第２実施形態においては、作業者は、表示された操作指示のテキストを目視で確認し、その内容が正しければ操作対象となる部位に視線を移す。例えば、”chuck open”と表示されたテキストの内容が正しければ、作業者は操作対象となる部位であるスピンチャック５７を視る。スマートグラス１０の視線追跡部２５は、作業者の視線を追跡してその視線がどこに向いているかを認識し、作業者が視認している基板処理装置４０の部位を特定する。なお、スマートグラス１０による部位の特定は、例えばスマートグラス１０が備えるＶＰＳ(Visual Positioning System)機能を用いて予め基板処理装置４０の各部位の位置情報を登録しておき、その位置情報を用いることにより実行することができる。第２実施形態においては、視線追跡部２５が作業者によって示された確認結果を検出して確認情報（視線の向き）を取得する検出部として機能する。

【0086】

次に、第２実施形態においては、スマートグラス１０の動作解析部３６が作業者の視線の向きに基づいて確認結果の可否を判定する。具体的には、動作解析部３６は、表示されている操作指示のテキストの対象となる対象部位と作業者が視認している部位とが一致しているか否かを解析し、双方が一致しているときには確認結果が可である（テキストは正しい）と判定する。例えば、”chuck open”という操作指示のテキストの対象部位はスピンチャック５７であり、作業者が視認している部位もスピンチャック５７であれば、双方が一致しているため、動作解析部３６は確認結果が可であると判定する。この場合、スマートグラス１０の通信部２２が基板処理装置４０の制御部４５に操作指示のコマンドを送信し、制御部４５はそのコマンドを実行する。

【0087】

一方、表示されている操作指示のテキストの対象部位と作業者が視認している部位とが一致していない場合には、動作解析部３６は確認結果が否である（テキストは間違っている）と判定する。この場合、スマートグラス１０は操作をキャンセルし、基板処理装置４０の部位は動作しない。

【0088】

第２実施形態においては、スマートグラス１０を装着した作業者から発出された音声による操作指示をそのスマートグラス１０が受音して音声認識によってテキスト化して表示している。作業者は、表示されたテキストを目視で確認し、その内容が正しければ視線の向きによって確認結果が可であることを表現する。スマートグラス１０は、作業者の視線の向きを追跡して解析し、確認結果が可である場合のみ操作指示のコマンドを基板処理装置４０に送信している。

【0089】

第１実施形態と同様に、スマートグラス１０が受音した音声を音声認識によってテキスト化した内容を表示し、作業者がその内容を確認しているため、間違って音声認識された操作指示が基板処理装置４０に与えられることが防止される。このため、第２実施形態のようにしても、誤った音声認識による基板処理装置４０の誤動作を防止することができる。

【0090】

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。第３実施形態における作業支援システムの全体構成、および、基板処理装置４０の構成は第１実施形態と同じである。また、第３実施形態における作業支援方法の手順も概ね第１実施形態と同じである。

【0091】

第３実施形態においては、作業者が発出した音声をスマートグラス１０が受音して音声認識によりテキスト化するときに、受音した音声の声紋が予め登録された作業者の声紋と一致するときのみ音声認識プロセスを実行する。声紋とは、音声を周波数分析した結果をソナグラムで表したものである。具体的には、例えば、音声認識プロセスにて音素を特定するのに使用する音響モデル（図８）に予め作業者の声紋を登録しておく。音声認識部３１は、受音した音声を周波数分析して得られる声紋と予め音響モデルに登録されている声紋とを比較する。そして、双方の差分が一定の閾値以下であるときのみ、音声認識部３１は、音声を発した作業者が予め登録されている作業者と同一人物であると判定して受音した音声を音声認識によってテキスト化する。声紋によるチェックを行う点以外の残余の事項は第１実施形態と同じである。

【0092】

第３実施形態においては、受音部によって受音された音声の声紋が予め登録された声紋と一致するときのみ音声解析を実行している。これにより、作業者とは別人から発出された音声をスマートグラス１０が受音してテキスト化する可能性を低減することができ、別人による操作指示が実行されるのをより確実に防止することができる。その結果、第３実施形態のようにすれば、誤った音声認識による基板処理装置４０の誤動作をより確実に防止することができる。

【0093】

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。第４実施形態における作業支援システムの全体構成、および、基板処理装置４０の構成は第１実施形態と同じである。また、第４実施形態における作業支援方法の手順も概ね第１実施形態と同じである。

【0094】

第４実施形態においては、音声認識プロセスにて単語を抽出するときに使用する言語モデル（図８）に、基板処理装置４０に対するメンテナンス作業に関連する用語のみを登録しておく。例えば、処理液ノズル６０に対するティーチングに関連する「インチング」およびスピンチャック５７の交換に関連する「チャック」等の用語のみを言語モデルに登録しておく。当該言語モデルを用いることにより、音声認識部３１は、基板処理装置４０に対するメンテナンス作業に関連する用語のみを単語として特定することとなる。その結果、基板処理装置４０に対するメンテナンス時に作業者から発出される音声をより高い精度にて正確にテキスト化することが可能となる。言語モデルに特定の作業に関連する用語のみを登録しておく点以外の残余の事項は第１実施形態と同じである。

【0095】

典型的には、音声認識に使用する汎用的な言語モデルには、音声を様々な状況に最適な文章に変換できるように大量の単語を学習させている。第４実施形態においては、基板処理装置４０に対する特定の作業に関連する用語のみを言語モデルに登録している。すなわち、本来であれば言語モデルには可能な限り大量の単語を登録しておくところ、第４実施形態では敢えて言語モデルに登録する単語を特定のものに特化して絞り込んでいるのである。これにより、基板処理装置４０に対するメンテナンス作業時という限られた状況下においては、作業者から発出された音声による操作指示をより精度良くかつ的確にテキスト化することが可能となる。その結果、誤った音声認識による基板処理装置４０の誤動作をより確実に防止することができる。また、言語モデルがコンパクト化されているため、音声認識の処理効率を高めてより短い時間でテキスト化することができる。

【0096】

＜変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、第１実施形態では作業者のジェスチャーを解析し、第２実施形態ではアイトラッキングを用いていたが、これらの双方を用いてテキスト化された内容の確認結果の可否を判定するようにしても良い。すなわち、作業者のジェスチャーを解析するのに加えて、作業者の視線の向きを追跡して確認結果の可否を判定するようにしても良い。

【0097】

また、表示されたテキストの確認結果について、作業者は手のジェスチャーまたは視線以外の手法によって可否を表現するようにしても良い。例えば、作業者はスマートグラス１０を装着した頭の動作によって確認結果を示すようにしても良い。すなわち、作業者が身体の一部によって確認結果を示す形態であれば良い。

【0098】

また、第４実施形態では、言語モデルに特定の作業に関連する用語のみを登録するようにしていたが、作業の項目毎に当該作業に特化した言語モデルを用意するようにしても良い。例えば、処理液ノズル６０に対するティーチングに関連する用語のみを登録した第１言語モデル、スピンチャック５７の交換に関連する用語のみを登録した第２言語モデル、および、主搬送ロボット４８のアームに対するティーチングに関連する用語のみを登録した第３言語モデルを用意しておく。そして、作業者は、実行しようとしているメンテナンス作業の項目に応じて最適な言語モデルを選択する。例えば、スピンチャック５７の交換を行おうとする作業者は上記の第２言語モデルを選択する。言語モデルの選択は例えばスマートグラス１０から行うようにすれば良い。このようにすれば、言語モデルが作業者の実行しようとしている作業に特化したものとなっているため、作業者から発出された音声による操作指示をより精度良くかつ正確にテキスト化することができる。

【0099】

また、上記各実施形態においては、作業者はスマートグラス１０を使用していたが、これに限定されるものではなく、スマートグラス１０に代えてタブレット端末やスマートフォン等の携帯端末を用いるようにしても良い。すなわち、撮像部および通信部等を備えた携帯端末であれば良い。もっとも、タブレット端末等を使用するとそれを持つ作業者の手が塞がることになるため、スマートグラス１０等のウェアラブル端末を用いるのが好ましい。

【0100】

また、基板処理装置４０は基板洗浄装置に限定されるものではなく、熱処理装置、露光装置、塗布現像装置、計測装置または検査装置等の基板に所定の処理を行う装置であれば良い。基板処理装置４０が基板洗浄装置である場合には、基板を１枚ずつ洗浄する枚葉式の洗浄装置であっても良いし、複数の基板を一括して洗浄するバッチ式の洗浄装置であっても良い。

【0101】

さらに、本発明に係る作業支援技術の対象となるのは、基板処理装置に限定されるものではなく、何らかの動作を行う作動部を備えた産業機器であれば良い。このような産業機器としては、例えば、印刷処理装置、成膜装置、医療用装置、および、外観検査装置等が例示される。

【符号の説明】

【0102】

５ 情報通信網
１０ スマートグラス
２１ 撮像部
２２ 通信部
２３ 表示部
２４ 受音部
２５ 視線追跡部
３１ 音声認識部
３６ 動作解析部
４０ 基板処理装置
４５ 制御部
４８ 主搬送ロボット
５０ 処理ユニット
５６ 回転保持部
５７ スピンチャック
６０ 処理液ノズル
６３ スイングモータ
６５ スプレーノズル
７０ サーバ
８０ 作業支援端末
Ｗ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】