特開 2024-171580 上下搬送機

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024171580

(43)【公開日】2024-12-12

(54)【発明の名称】上下搬送機

(51)【国際特許分類】

   B66B 5/16 20060101AFI20241205BHJP

   B66B 9/00 20060101ALI20241205BHJP

   F16D 63/00 20060101ALI20241205BHJP

【ＦＩ】

B66B5/16 Z

B66B9/00 D

F16D63/00 L

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023088662

(22)【出願日】2023-05-30

(71)【出願人】

【識別番号】392024909

【氏名又は名称】ホクショー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】240000327

【弁護士】

【氏名又は名称】弁護士法人クレオ国際法律特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】新橋 徹也

(72)【発明者】

【氏名】山岸 真大

【テーマコード（参考）】

3F301

3F304

3J058

【Ｆターム（参考）】

3F301AA12

3F301BC01

3F304AA07

3F304DA43

3F304DA47

3J058AA41

3J058BA40

3J058CC02

3J058CD03

3J058FA35

(57)【要約】

【課題】ディスクブレーキの周辺に結露や着氷を生じさせることを防止できる上下搬送機を提供する。
【解決手段】上下搬送機１０は、上下方向に延びる本体フレーム１２と、本体フレーム１２に沿って搬送台１５を移動させる駆動機構（１３）と、本体フレーム１２に対する搬送台１５の移動を制止させるディスクブレーキ４１と、制動力の制御のための流体をディスクブレーキ４１に送る流体通路４２と、流体通路４２を温める加温部（４６ｂ）と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

上下方向に延びる本体フレームと、
前記本体フレームに沿って搬送台を移動させる駆動機構と、
前記本体フレームに対する前記搬送台の移動を制止させるディスクブレーキと、
制動力の制御のための流体を前記ディスクブレーキに送る流体通路と、
前記流体通路を温める加温部と、を備えることを特徴とする上下搬送機。

【請求項2】

前記流体通路は、前記ディスクブレーキに接続される給排路と、前記流体を加圧する圧力供給源に接続される導入路と、前記給排路に対して前記導入路への接続と前記流体を排出する排出口への接続とを切り替える切替部と、を有し、
前記加温部は、前記導入路であることを特徴とする請求項１に記載の上下搬送機。

【請求項3】

前記導入路は、少なくとも一部が前記給排路と接した状態で並列されて前記加温部とされることを特徴とする請求項２に記載の上下搬送機。

【請求項4】

前記給排路と前記導入路とは、並列された箇所が熱伝導性テープの巻き付けにより固定されていることを特徴とする請求項３に記載の上下搬送機。

【請求項5】

前記本体フレームは、前記駆動機構および前記搬送台とともに箱体に覆われて設けられ、
前記箱体には、前記搬送台への搬送物の積み降ろしを行う搬送口が少なくとも２つ設けられ、
前記搬送口には、前記箱体の内部と外部とを遮断しつつ前記搬送口を開閉する搬送扉が設けられていることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の上下搬送機。

【請求項6】

前記搬送台には、前記搬送物を収容可能であってファンフィルターユニットが取り付けられた搬送筐体が設けられていることを特徴とする請求項５に記載の上下搬送機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、搬送物を上下方向に搬送する上下搬送機に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、搬送物を上下方向に搬送する上下搬送機が考えられている（例えば、特許文献１参照）。その上下搬送機では、搬送台を上下方向に移動可能とし、その搬送台を設定された搬送口に合わせた位置で適切に停止させて、搬送台に搬送物を載せたり搬送台から搬送物を降ろしたりすることで、搬送物を上下方向に搬送する。この上下搬送機では、ディスクブレーキを用いることにより、搬送台を適切な位置で停止させている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－２３０３８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記の従来の上下搬送機では、ディスクブレーキにおいて、空気等の流体の圧力を流体通路から導入することで制動力を得る構成とすることが考えられる。そのような構成のディスクブレーキでは、利用する流体の圧力を高めることにより制動力を高めることができ、搬送台の適切な位置での停止をより確実なものにできる。

【0005】

しかしながら、従来の上下搬送機では、ディスクブレーキで高い圧力の流体を用いると、ディスクブレーキの制動力を解除した際の流体の圧力変動が大きくなり、その流体を通す流体通路等を過度に冷却してしまい、流体通路等の周辺に結露や着氷を生じさせる虞がある。

【0006】

本開示は、上記の事情に鑑みて為されたもので、ディスクブレーキの周辺に結露や着氷を生じさせることを防止できる上下搬送機を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記した目的を達成するために、本開示の上下搬送機は、上下方向に延びる本体フレームと、前記本体フレームに沿って搬送台を移動させる駆動機構と、前記本体フレームに対する前記搬送台の移動を制止させるディスクブレーキと、制動力の制御のための流体を前記ディスクブレーキに送る流体通路と、前記流体通路を温める加温部と、を備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0008】

このように構成された本開示の上下搬送機は、ディスクブレーキの周辺に結露や着氷を生じさせることを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本開示に係る上下搬送機を用いた上下搬送システムの構成を模式的に示す説明図である。

【図2】上下搬送機における搬送台の周辺の構成を示す説明図である。

【図3】流体通路に設けられた電磁弁の構成を示す説明図である。

【図4】電磁弁における切り替えの様子を示す説明図である。

【図5】流体通路の構成を示す説明図である。

【図6】流体通路において、導入分岐路と給排分岐路とにアルミテープが巻き付けられた様子を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下に、本開示に係る上下搬送機の一例としての実施例１の上下搬送システム１に用いられた上下搬送機１０について、図１から図６を参照しつつ説明する。

【実施例0011】

図１に示す上下搬送システム１は、上下方向の異なる位置へと搬送物２（図２参照）を搬送するもので、実施例１ではクリーンルームに設けられて、クリーンルーム内の上下方向の異なる位置へと搬送物２を搬送する。この上下搬送システム１は、上下方向に搬送物２を搬送する上下搬送機１０を備える。上下搬送機１０は、上下方向で異なる位置に複数の搬送位置１１が設定されており（実施例１では２つ）、以下では、個別に示す際には、上側を上側搬送位置１１Ｕとし、下側を下側搬送位置１１Ｄとする。

【0012】

また、上下搬送システム１は、上側搬送位置１１Ｕに対応して設けられた上側移載機３と、下側搬送位置１１Ｄに対応して設けられた下側移載機４と、を備える。実施例１の上下搬送システム１は、上側移載機３と下側移載機４とが上下搬送機１０を挟んで反対側に位置された所謂Ｚ型とされている。この上下搬送システム１は、いずれかの搬送位置１１から搬入された搬送物２を移動させて他の搬送位置１１から搬出させる。なお、上下搬送システム１は、上側移載機３と下側移載機４とが上下搬送機１０に対して一方の側に位置された所謂Ｃ型とされていてもよく、３つ以上の搬送位置と移載機とが設けられていてもよく、他の構成でもよく、実施例１の構成に限定されない。

【0013】

実施例１の上下搬送システム１では、全体を収容する箱体３０が設けられている。箱体３０は、上下搬送システム１で塵埃等が生じた場合であっても、その塵埃等がクリーンルームに漏れることを防ぐ。その箱体３０は、箱体本体部３１と上側箱体水平部３２と下側箱体水平部３３とを有する。箱体本体部３１は、上下方向に長尺な略直方体形状とされており、上下搬送機１０を全体に亘って覆うものとされている。この箱体本体部３１では、上側搬送口３４Ｕと下側搬送口３４Ｄとが設けられている。

【0014】

上側搬送口３４Ｕは、上下搬送機１０の上側搬送位置１１Ｕに合わせて箱体本体部３１を部分的に開口している。この上側搬送口３４Ｕは、上下搬送機１０と上側移載機３との間での搬送物２の移動を可能とする。実施例１の上側搬送口３４Ｕでは、開閉可能な上側搬送扉３５Ｕが設けられている。上側搬送扉３５Ｕは、開けられることで上側搬送口３４Ｕを介した搬送物２の移動を許すとともに、閉められることで上側搬送口３４Ｕを封止する。

【0015】

下側搬送口３４Ｄは、上下搬送機１０の下側搬送位置１１Ｄに合わせて箱体本体部３１を部分的に開口している。この下側搬送口３４Ｄは、上下搬送機１０と下側移載機４との間での搬送物２の移動を可能とする。実施例１の下側搬送口３４Ｄでは、開閉可能な下側搬送扉３５Ｄが設けられている。下側搬送扉３５Ｄは、開けられることで下側搬送口３４Ｄを介した搬送物２の移動を許すとともに、閉められることで下側搬送口３４Ｄを封止する。

【0016】

上側箱体水平部３２は、上側搬送口３４Ｕと、上側移載機３における上側搬送口３４Ｕの近傍と、を覆うもので、上側搬送口３４Ｕを取り囲むように上下搬送機１０に接続されている。この上側箱体水平部３２は、上側搬送口３４Ｕの近傍において、上下搬送機１０と上側移載機３との間で移動される際の搬送物２に触れることを防止する。下側箱体水平部３３は、下側搬送口３４Ｄと、下側移載機４における下側搬送口３４Ｄの近傍と、を覆うもので、下側搬送口３４Ｄを取り囲むように上下搬送機１０に接続されている。この下側箱体水平部３３は、下側搬送口３４Ｄの近傍において、上下搬送機１０と下側移載機４との間で移動される際の搬送物２に触れることを防止する。

【0017】

上下搬送機１０は、本体フレーム１２とモータ１３と主索タイミングベルト１４と搬送台１５とカウンターウエイト１６とを有する。本体フレーム１２は、上下方向に延びる略直方体形の枠状とされ、内側に搬送物２を上下方向に搬送する搬送空間１７を形成する。実施例１の本体フレーム１２（搬送空間１７）では、下部が下側搬送位置１１Ｄとされており、上部が上側搬送位置１１Ｕとされている。また、本体フレーム１２では、一対のガイドレール１８が設けられている。両ガイドレール１８は、本体フレーム１２の内側で上下方向に延びて設けられており、本体フレーム１２内での搬送台１５の移動を案内する。

【0018】

モータ１３は、上下搬送機１０における駆動源となるもので、本体フレーム１２の最上部に設置されている。このモータ１３は、回転軸１９等を介して伝達プーリ２０を回転駆動させることで、搬送台１５の上下方向に移動（昇降）のための駆動力を付与する。そのモータ１３は、例えばギヤードモータやパルスモータ等を用いることができ、実施例１ではエンコーダからの信号に基づいて回転位置や回転速度等を細かく制御できるサーボモータを用いている。このモータ１３は、制御部の制御下で操作部への操作等に合わせて適宜回転駆動される。

【0019】

伝達プーリ２０には、複数（実施例１では４本）の主索タイミングベルト１４が掛けられている。実施例１の各主索タイミングベルト１４は、ベルト歯付きのベルトとされており、伝達プーリ２０は、プーリ歯付きのプーリとされている。各主索タイミングベルト１４は、プーリ歯にベルト歯が噛み合わされた状態で対応する伝達プーリ２０にかけられることにより、モータ１３の回転駆動力が伝達される。その各主索タイミングベルト１４は、一端側が搬送空間１７内で互いに異なる位置を通されて、搬送台１５に接続されている。また、各主索タイミングベルト１４は、他端側が搬送空間１７内の端を通されて、カウンターウエイト１６に接続されている。このため、モータ１３は、伝達プーリ２０等を介して各主索タイミングベルト１４に回転駆動力を伝達することにより、物品を搬送する搬送台１５を搬送空間１７内で上下方向に移動させることができるとともに、その搬送空間１７内の任意の位置で停止させることができる。

【0020】

搬送台１５は、水平な状態で搬送物２を載せることができるもので、搬送空間１７内で上下方向に移動可能とされている。実施例１の搬送台１５は、搬送空間１７内に収まる箱状の搬送筐体２１が設けられ、その中に搬送物２を収容可能とされている。搬送台１５は、最上部に各主索タイミングベルト１４が接続されており、本体フレーム１２に設けられた一対のガイドレール１８に案内された状態で搬送空間１７内に吊るされている。これにより、搬送台１５は、姿勢を安定させたままで、搬送空間１７内を上下方向に移動することができる。

【0021】

搬送筐体２１は、搬送台１５上において、閉ざされた空間を形成するもので、開閉可能とされた２つの開閉扉２２が設けられている。両開閉扉２２は、開けられることで搬送筐体２１内とその外側との間で搬送物２の移動を可能とし、閉められることで搬送筐体２１を閉ざされた空間とする。

【0022】

この搬送筐体２１には、ＦＦＵ（ファンフィルターユニット）２３が設けられている。ＦＦＵ２３は、搬送筐体２１の周辺すなわち搬送空間１７内の空気を吸入し、各種のフィルタを通してから搬送筐体２１内に送り出す。ＦＦＵ２３では、送り出す空気がクリーンルームに求められる基準を満たすものとされている。このため、搬送筐体２１は、例え箱体本体部３１に囲まれた上下搬送機１０の搬送空間１７内の空気がクリーンルームに求められる基準を満たしていない場合であっても、搬送物２に塵埃等が付着することを避けることができる。

【0023】

この搬送筐体２１の内方には、機内搬送機２４が設けられている。この機内搬送機２４は、搬送物２を載せることができるとともに、後述する上側移載機３や下側移載機４と協働して搬送物２の搬送筐体２１への受け入れや搬送筐体２１からの運び出しを可能とする。実施例１の機内搬送機２４は、移送方向に延びつつそれに直交する方向で対向する一対のフレーム部材２４ａと、その両フレーム部材２４ａに回転可能に設けられた複数のコロ部２４ｂと、を有する。そのコロ部２４ｂは、両フレーム部材２４ａにおいて、移送方向に並列されて設けられ、搬送物２を載せる箇所を構成する（図２参照）。なお、機内搬送機２４は、搬送物２を載せるとともに、その受け入れや運び出しを可能とするものであれば、複数のローラを移送方向に並べて設けたローラコンベヤや、環状のベルトを移送方向に回転可能に設けたベルトコンベヤを用いてもよく、他の構成のものを用いてもよい。

【0024】

上側移載機３および下側移載機４は、それぞれが対応する下側搬送口３４Ｄまたは上側搬送口３４Ｕに搬入する搬送物２またはそこから搬出される搬送物２を移送する。上側移載機３および下側移載機４は、機内搬送機２４と同様に、移送方向に延びつつそれに直交する方向で対向する一対のフレーム部材３ａ、４ａと、その両フレーム部材３ａ、４ａに回転可能に設けられた複数のコロ部３ｂ、４ｂと、を有する。上側移載機３および下側移載機４は、制御部の制御下で、移送のための駆動およびその停止が可能とされており、載せられた搬送物２の移送およびその停止が可能とされている。なお、上側移載機３および下側移載機４は、搬送物２を移送するものであれば、複数のローラを移送方向に並べて設けたローラコンベヤや、環状のベルトを移送方向に回転可能に設けたベルトコンベヤを用いてもよく、他の構成のものを用いてもよい。

【0025】

この上下搬送システム１は、上側移載機３または下側移載機４の一方に載せられて搬送物２が対応する搬送位置１１まで移送され、上下搬送機１０で上下方向に他方の搬送位置１１まで搬送し、上側移載機３または下側移載機４の他方が対応する搬送位置１１から搬出される搬送物２を移送する。ここで、上側移載機３または下側移載機４と、上下搬送機１０の搬送台１５の搬送筐体２１の機内搬送機２４と、の間での搬送物２の移送は、各移載機３、４や機内搬送機２４による移動で行なってもよく、ロボットアーム等を用いてもよい。上下搬送機１０は、モータ１３の回転方向により設定された搬送方向へと搬送台１５を移動させることで、搬送物２を上下方向に搬送する。このことから、実施例１のモータ１３は、主索タイミングベルト１４、モータ１３、伝達プーリ２０等と協働して、本体フレーム１２に沿って搬送台１５を移動させる駆動機構として機能する。

【0026】

なお、実施例１の駆動機構は、モータ１３とプーリ歯付きの伝達プーリ２０とベルト歯付きの主索タイミングベルト１４とを用いているが、搬送空間１７内で搬送台１５を上下方向に移動（昇降）させるものであればよく、他の構成を用いてもよい。また、実施例１では、ベルト歯付きの主索タイミングベルト１４を用いているが、モータ１３の回転駆動力を上下方向への移動力として伝えるものであれば、ワイヤロープやチェーンや他の構成のものを用いてもよい。

【0027】

この上下搬送システム１では、上下搬送機１０と上側移載機３または下側移載機４との間で搬送物２を移動させる際、箱体本体部３１において対応する搬送口３４に設けられた搬送扉３５を開け、搬送物２の移動が終了するとその搬送扉３５を再び閉じる。これにより、上下搬送システム１では、上下搬送機１０で塵埃等を発生した場合であっても、その塵埃等が箱体本体部３１から排出される虞を大幅に低減できる。特に、実施例１の上下搬送システム１では、箱体本体部３１の各搬送口３４の近傍を覆うように上側箱体水平部３２、下側箱体水平部３３を設けていることから、塵埃等が箱体本体部３１から排出される虞を最小限とすることができる。

【0028】

また、実施例１の上下搬送システム１では、搬送台１５に搬送筐体２１を設けており、搬送扉３５が開けられると対応する開閉扉２２が開けられて、上側移載機３または下側移載機４と搬送筐体２１（搬送台１５）との間での搬送物２の移動を可能とする。そして、上下搬送システム１では、搬送筐体２１に収容された状態で搬送物２が搬送台１５に載せられて上下搬送機１０により上下方向に移動される。その搬送筐体２１には、ＦＦＵ２３が設けられている。これらのことから、上下搬送システム１では、搬送物２がクリーンルームの基準を満たす搬送筐体２１内に収容されて上下方向に搬送されることとなり、上下搬送機１０で塵埃等を発生した場合であっても、その塵埃等の搬送物２への付着を防止できる。

【0029】

加えて、実施例１の上下搬送システム１では、駆動機構として、モータ１３とプーリ歯付きの伝達プーリ２０とベルト歯付きの主索タイミングベルト１４とを用いているため、ワイヤロープやチェーンとは異なり潤滑油を使用しなくてよいので、潤滑油による汚染を防止できる。また、実施例１の上下搬送システム１では、上記の駆動機構としているので、ワイヤロープやチェーンを用いる場合と比較して、静かな動作音とすることができる。

【0030】

次に、上下搬送機１０における搬送台１５（搬送筐体２１）の移動を停止させる構成について説明する。上下搬送機１０では、上記のように、搬送台１５が、本体フレーム１２の内方（搬送空間１７）で一対のガイドレール１８に沿って上下方向に移動可能とされている。この上下搬送機１０では、図２に示すように、本体フレーム１２の内方（搬送空間１７）において、任意の位置で適切に停止するために、ブレーキ機構４０が設けられている。実施例１のブレーキ機構４０は、搬送台１５（搬送筐体２１）の上部に設けられている。このブレーキ機構４０は、一対のガイドレール１８に個別に対応して対を為して設けられたディスクブレーキ４１と、その各ディスクブレーキ４１に制動力の制御のための流体を送る流体通路４２と、を有する。

【0031】

各ディスクブレーキ４１は、対応するガイドレール１８を挟み込むように対を為すブレーキパッド部４３と、その一対のブレーキパッド部４３を接近させてガイドレール１８を挟み込ませたり間隔を広げたりするように駆動する駆動部４４と、有する。その駆動部４４は、流体通路４２から高い圧力の流体が導入されると、その圧力に応じた力で両ブレーキパッド部４３を接近させてガイドレール１８を挟み込ませる。また、駆動部４４は、流体通路４２を経て圧力が開放されると、両ブレーキパッド部４３を離れさせてガイドレール１８の挟み込みを解除する。その流体通路４２は、各駆動部４４と、高い圧力の流体を生成（加圧）する圧力供給源４５と、を結ぶ可撓性を有する管であり、圧力供給源４５からの流体を各駆動部４４に導入したり、その各駆動部４４から流体を逃がして圧力を開放したりする。

【0032】

実施例１の流体通路４２は、圧力供給源４５に接続された導入路４６と、各ディスクブレーキ４１の駆動部４４に接続される給排路４７と、給排路４７と導入路４６との間に設けられた電磁弁４８と、を有する。導入路４６は、圧力供給源４５で高い圧力とされた流体を導き入れる。給排路４７は、圧力供給源４５からの高い圧力の流体を両駆動部４４に供給するとともに、その両駆動部４４からの流体を電磁弁４８へと逃がす。実施例１の給排路４７は、分岐箇所４７ａで２つの給排分岐路４７ｂに分岐されており、それぞれの給排分岐路４７ｂが対応する駆動部４４に向けて延びるものとされている。

【0033】

電磁弁４８は、図３に示すように、導入口５１と給排口５２と排出口５３と切替動作部５４とを有する。導入口５１は、導入路４６が接続される箇所であり、圧力供給源４５からの流体を電磁弁４８内へと導くことができる。給排口５２は、給排路４７が接続される箇所であり、電磁弁４８内に導かれた流体を他の箇所へと供給できるとともに、他の箇所からの流体を電磁弁４８内へと導くことができる。排出口５３は、電磁弁４８内に導かれた流体を周辺に排出することができる。切替動作部５４は、制御に応じて電磁弁４８内での通路を切り替える。詳細には、切替動作部５４は、図４に示すように、導入口５１と給排口５２とが通じた状態（矢印Ａ１参照）と、給排口５２と排出口５３とが通じた状態（矢印Ａ２参照）と、を切り替えることができる。

【0034】

このブレーキ機構４０は、電磁弁４８において、切替動作部５４が導入口５１と給排口５２とを通じた状態（図４の矢印Ａ１参照）とされることで、圧力供給源４５からの高い圧力の流体が各駆動部４４に供給される。これにより、ブレーキ機構４０は、各駆動部４４が一対のディスクブレーキ４１を接近させて対応するガイドレール１８を挟み込み、搬送台１５（搬送筐体２１）の移動を停止させることができる。また、ブレーキ機構４０は、電磁弁４８において、切替動作部５４が給排口５２と排出口５３とを通じた状態（図４の矢印Ａ２参照）とされることで、各駆動部４４が排出口５３を経て外部に通じることとなり、供給された高い圧力の流体を周辺に排出できる。これにより、ブレーキ機構４０は、各駆動部４４の圧力を解放でき、一対のディスクブレーキ４１を対応するガイドレール１８から離れさせることができ、搬送台１５（搬送筐体２１）の制動力を解除できる。ブレーキ機構４０は、利用する流体の圧力を高めることにより制動力を高めることができ、搬送台１５（搬送筐体２１）の適切な位置での停止をより確実なものにできる。このため、電磁弁４８は、給排路４７に対して導入路４６への接続と排出口５３への接続とを切り替える切替部として機能する。

【0035】

このブレーキ機構４０では、流体通路４２が以下のように設けられている。先ず、圧力供給源４５は、図２に示すように、上下搬送機１０やその周辺において、固定されて設置されている。このため、流体通路４２の導入路４６は、固定された圧力供給源４５と、上下搬送機１０の本体フレーム１２の内方（搬送空間１７）で移動される搬送台１５と、を繋ぐものとされている。その導入路４６は、本体フレーム１２に沿って配置された後に、本体フレーム１２の内方（搬送空間１７）で搬送台１５へと延びるものとされて、ブレーキ機構４０が設けられた搬送台１５の上部に向けて延びている。そして、導入路４６では、図５に示すように、搬送台１５の上部において、電磁弁４８側へと直接延びるのではなく、分岐箇所４６ａで２つの導入分岐路４６ｂに分岐させて、その各導入分岐路４６ｂを対応する駆動部４４へ向けて個別に延びている。その各導入分岐路４６ｂは、同じく駆動部４４へと延びる給排路４７の給排分岐路４７ｂに接触した状態で並列されている。実施例１の各導入分岐路４６ｂは、図６に示すように、並列する給排分岐路４７ｂとともに熱伝導性テープの一例としてのアルミテープ４９が巻き付けられることより、互いに密接した状態とされている。この各導入分岐路４６ｂは、対応する駆動部４４の近傍を通した後に、電磁弁４８の導入口５１の近傍へと延ばされて合流箇所４６ｃで合流されてから、導入口５１に接続されている。なお、図６では、導入分岐路４６ｂと給排分岐路４７ｂとの一部をアルミテープ４９で巻き付けた様子を示しているが、各給排分岐路４７ｂの略全域に亘って各導入分岐路４６ｂとともに巻き付けるようにアルミテープ４９を設けることができる。また、実施例１では、アルミテープ４９で巻き付けているが、熱伝導性を有するテープであって導入分岐路４６ｂと給排分岐路４７ｂとを巻き付けることができるものであればよく、実施例１の構成に限定されない。

【0036】

ブレーキ機構４０は、上記のような構成とされていることから、給排路４７や電磁弁４８（特にその排出口５３）に結露（水滴の付着）や着氷（外表面の凍結）が生じることを防止できる。これは、以下のことによる。先ず、ブレーキ機構４０は、上記のように、制動力を解除する際には、切替動作部５４の切り替えによって、駆動部４４から給排路４７を経て電磁弁４８の排出口５３へと通じた状態とされることで、供給された高い圧力の流体を周辺に排出する。すると、ブレーキ機構４０は、駆動部４４から給排路４７を経て電磁弁４８の排出口５３に至る経路の圧力が急激に減少するので、その経路の周辺の空気を急激に冷却させる。このため、ブレーキ機構４０は、上記の経路において、空気中に露出する箇所となる給排路４７や排出口５３に結露や着氷が生じる虞がある。

【0037】

これに対して、ブレーキ機構４０は、給排路４７における両給排分岐路４７ｂに、導入路４６の各導入分岐路４６ｂを接触させている。ここで、導入路４６は、上記のように圧力供給源４５から高い圧力の流体を電磁弁４８へと導入することから、高い温度とされている。このため、ブレーキ機構４０は、両給排分岐路４７ｂに導入路４６の各導入分岐路４６ｂを接触させることにより、両給排分岐路４７ｂを温めることができる。これにより、ブレーキ機構４０は、制動力を解除する際に、駆動部４４から給排路４７を経て電磁弁４８の排出口５３に至る経路から高い圧力の流体を周辺に排出しても、その経路が過度に冷却されることを防止でき、結露や着氷の発生を防ぐことができる。これにより、上下搬送システム１は、結露や着氷に起因する水滴等がクリーンルーム内に浮遊することを防止でき、クリーンルームを汚染することを防止できる。

【0038】

特に、実施例１のブレーキ機構４０は、各導入分岐路４６ｂと各給排分岐路４７ｂとをアルミテープ４９で巻き付けて密着させているので、各導入分岐路４６ｂの熱を各給排分岐路４７ｂへと効率よく伝えることができ、より効果的に結露や着氷の発生を防ぐことができる。このため、導入路４６（各導入分岐路４６ｂ）は、給排路４７（両給排分岐路４７ｂ）を温める加温部として機能する。ここで、温める観点からは、各給排分岐路４７ｂを断熱材で覆うことも考えられるが、断熱材は塵埃を発生させるものが多いことから、本開示のようにアルミテープ４９を用いることで、クリーンルームの汚染の可能性を低減できる。

【0039】

本開示に係る上下搬送機の一実施例の上下搬送機１０は、以下の各作用効果を得ることができる。

【0040】

上下搬送機１０は、上下方向に延びる本体フレーム１２と、それに沿って搬送台１５を移動させる駆動機構としてのモータ１３と、本体フレーム１２に対する搬送台１５の移動を制止させるディスクブレーキ４１と、を備える。また、上下搬送機１０は、制動力の制御のための流体をディスクブレーキ４１に送る流体通路４２と、その流体通路４２を温める加温部（実施例１では導入路４６の各導入分岐路４６ｂ）と、を備える。このため、上下搬送機１０は、ディスクブレーキ４１の制動力を解除する際に流体通路４２から高い圧力の流体を周辺に排出しても、流体通路４２が過度に冷却されることを防止でき、結露や着氷の発生を防ぐことができる。

【0041】

また、上下搬送機１０は、流体通路４２が、ディスクブレーキ４１に接続される給排路４７と、流体を加圧する圧力供給源４５に接続される導入路４６と、給排路４７に対して導入路４６への接続と流体を排出する排出口５３への接続とを切り替える切替部（電磁弁４８）と、を有する。そして、上下搬送機１０は、導入路４６を加温部としている。このため、上下搬送機１０は、流体通路４２を温めるためだけに別途加温部を設ける必要がなく、簡易な構成にできるとともに製造コストを抑制できる。

【0042】

さらに、上下搬送機１０は、導入路４６が、少なくとも一部が給排路４７と接した状態で並列されて加温部とされる。この上下搬送機１０は、導入路４６が、圧力供給源４５から高い圧力の流体を切替部まで送るものであるので、切替部での切り替え状態に拘わらず、常に高い圧力の流体が通っており高い温度とされている。また、上下搬送機１０は、制動力を解除する際に、ディスクブレーキ４１から給排路４７を経て電磁弁４８の排出口５３に至る経路から高い圧力の流体を周辺に排出するので、その経路の圧力が減少して周辺の空気を冷却させる。このため、上下搬送機１０は、温度変化する給排路４７を、常に高い温度の導入路４６で温めることができ、結露や着氷の発生をより効果的に防ぐことができる。

【0043】

上下搬送機１０は、給排路４７と導入路４６との並列された箇所を熱伝導性テープとしてのアルミテープ４９の巻き付けにより固定している。このため、上下搬送機１０は、導入路４６の熱を給排路４７へと効率よく伝えることができ、より効果的に結露や着氷の発生を防ぐことができる。

【0044】

上下搬送機１０は、本体フレーム１２を、駆動機構としてのモータ１３および搬送台１５とともに箱体３０で覆って設け、箱体３０には、搬送台１５への搬送物２の積み降ろしを行う搬送口３４を少なくとも２つ設けている。そして、上下搬送機１０は、搬送口３４に、箱体３０の内部と外部とを遮断しつつ搬送口３４を開閉する搬送扉３５を設けている。このため、上下搬送機１０は、塵埃等を発生させた場合であっても、その塵埃等が箱体本体部３１から排出される虞を大幅に低減できる。

【0045】

上下搬送機１０は、搬送台１５に搬送物２を収容可能であってファンフィルターユニット２３を取り付けた搬送筐体２１を設けている。このため、上下搬送機１０は、塵埃等を発生させた場合であっても、その塵埃等の搬送物２への付着を防止でき、搬送物２をクリーンルームの基準を満たす搬送筐体２１内に収容させて上下方向に搬送することができる。

【0046】

したがって、本開示に係る上下搬送機としての実施例１の上下搬送機１０は、ディスクブレーキ４１の周辺に結露や着氷を生じさせることを防止できる。

【0047】

以上、本開示の上下搬送機を実施例１に基づき説明してきたが、具体的な構成については実施例１に限られるものではなく、特許請求の範囲の各請求項に係る発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。

【0048】

例えば、実施例１では、導入路４６の各導入分岐路４６ｂを加温部としている。しかしながら、加温部は、流体通路４２、好適には給排路４７（両給排分岐路４７ｂ）を温めるものであれば、他の熱源を用いてもよく、実施例１の構成に限定されない。

【0049】

また、実施例１では、上下搬送機１０を箱体３０の箱体本体部３１に収容する構成としていたが、設置される環境や求められる仕様に応じて箱体３０（箱体本体部３１）を適宜設ければよく、実施例１の構成に限定されない。すなわち、上下搬送機１０（上下搬送システム１）は、設置されたクリーンルームに求められる基準に応じて、箱体３０（箱体本体部３１）の構造を適宜設定、例えば、搬送口の位置や搬送扉の有無や構造等を適宜設定したりすることができる。加えて、上下搬送機１０（上下搬送システム１）は、クリーンルーム以外の場所でも設置することができ、その場合には箱体３０（箱体本体部３１）に内部と外部とを遮断しつつ搬送口を開閉する搬送扉を設けないものとすることができる。この場合であっても、上下搬送機１０（上下搬送システム１）１は、結露や着氷に起因する水滴等が周辺に浮遊することを防止でき、周辺を汚染することを防止できる。

【0050】

さらに、実施例１では、搬送台１５の搬送筐体２１にＦＦＵ２３を設けている。しかしながら、上下搬送機１０では、設置される環境や求められる仕様に応じてＦＦＵを設ける、例えば、ＦＦＵを箱体本体部３１に設けるものとしてもよく、他の構成としてもよく、実施例１の構成に限定されない。加えて、上下搬送機１０では、搬送台１５に搬送筐体２１や機内搬送機２４を設けていたが、搬送台１５が搬送物２の積み降ろしを可能とするとともにその搬送物２を載せた状態で上下方向に移動可能とされていれば、搬送筐体２１や機内搬送機２４は適宜設けても設けなくてもよく、他の構成としてもよい。

【符号の説明】

【0051】

１０ 上下搬送機 ２ 搬送物 １２ 本体フレーム １３ （一例としての駆動機構を構成する）モータ １５ 搬送台 ２１ 搬送筐体 ２３ ファンフィルターユニット ３０ 箱体 ３４ 搬送口 ３５ 搬送扉 ４１ ディスクブレーキ ４２ 流体通路 ４５ 圧力供給源 ４６ 導入路 ４６ｂ （加温部の一例としての）導入分岐路 ４７ 給排路 ５３ 排出口 ４８ （切替部の一例としての）電磁弁 ４９ （熱伝導性テープの一例としての）アルミテープ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】