知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024171861
(43)【公開日】2024-12-12
(54)【発明の名称】Ｘ線撮影装置
(51)【国際特許分類】
H01J 35/06 20060101AFI20241205BHJP
H01J 35/14 20060101ALI20241205BHJP
H01J 35/10 20060101ALI20241205BHJP
H01J 35/30 20060101ALI20241205BHJP
H01J 35/26 20060101ALI20241205BHJP
H05G 1/00 20060101ALI20241205BHJP
H05G 1/52 20060101ALI20241205BHJP
G01N 23/046 20180101ALI20241205BHJP
【ＦＩ】
H01J35/06 H
H01J35/14
H01J35/10 A
H01J35/30
H01J35/26
H05G1/00 D
H05G1/52 D
G01N23/046
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023089124
(22)【出願日】2023-05-30
(71)【出願人】
【識別番号】000001993
【氏名又は名称】株式会社島津製作所
(74)【代理人】
【識別番号】100104433
【弁理士】
【氏名又は名称】宮園 博一
(72)【発明者】
【氏名】藤田 遼
(72)【発明者】
【氏名】前田 裕樹
(72)【発明者】
【氏名】森本 直樹
【テーマコード（参考）】
2G001
4C092
【Ｆターム（参考）】
2G001AA01
2G001AA10
2G001BA11
2G001CA01
2G001DA09
2G001GA13
2G001HA08
2G001HA14
2G001JA02
2G001JA08
2G001LA11
2G001SA02
4C092AA01
4C092AB14
4C092AB15
4C092AC08
4C092BD04
4C092BD06
(57)【要約】
【課題】被写体の画像を確実に取得可能であるとともに、再構成した画像において被写体が不鮮明になるのを抑制することが可能なＸ線撮影装置を提供する。
【解決手段】このＸ線撮影装置１００は、Ｘ線管１と、Ｘ線管１から照射されて被写体９０を透過したＸ線９ａを検出する検出器２と、検出器２ら出力される検出信号に基づいて画像を生成する画像処理部５ｃと備えている。Ｘ線撮影装置１００は、複数の電子放出部１３の一部から電子線９ｂを放出させることにより、被写体９０の寸法に応じて、被写体９０側から見て、複数の電子線９ｂの各々の傾斜面１５１ｂ上の複数の焦点位置９４同士の距離９５ｂ（および距離９６ｂ）が異なるようにＸ線９ａを照射させる制御部８を備える。
【選択図】図３
【解決手段】このＸ線撮影装置１００は、Ｘ線管１と、Ｘ線管１から照射されて被写体９０を透過したＸ線９ａを検出する検出器２と、検出器２ら出力される検出信号に基づいて画像を生成する画像処理部５ｃと備えている。Ｘ線撮影装置１００は、複数の電子放出部１３の一部から電子線９ｂを放出させることにより、被写体９０の寸法に応じて、被写体９０側から見て、複数の電子線９ｂの各々の傾斜面１５１ｂ上の複数の焦点位置９４同士の距離９５ｂ（および距離９６ｂ）が異なるようにＸ線９ａを照射させる制御部８を備える。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
電子線を放出するための複数の電子源を各々が有し、基板上において第１方向および第１方向に直交する第２方向の各々に直線状に並ぶ複数の電子放出部と、前記複数の電子放出部の各々から別個に放出される複数の電子線を集束させる集束部と、前記集束部により別個の複数の焦点位置に集束させた前記複数の電子線の各々により発生されたＸ線を被写体に向けて照射するように傾斜した傾斜面を有するターゲットとを含むＸ線管と、
前記Ｘ線管から照射されて前記被写体を透過したＸ線を検出する検出器と、
前記検出器から出力される検出信号に基づいて画像を生成する画像処理部と、
前記複数の電子放出部の一部から電子線を放出させることにより、前記被写体の寸法に応じて、前記被写体側から見て、前記複数の電子線の各々の前記傾斜面上の前記複数の焦点位置同士の距離が異なるようにＸ線を照射させる制御部とを備える、Ｘ線撮影装置。
前記Ｘ線管から照射されて前記被写体を透過したＸ線を検出する検出器と、
前記検出器から出力される検出信号に基づいて画像を生成する画像処理部と、
前記複数の電子放出部の一部から電子線を放出させることにより、前記被写体の寸法に応じて、前記被写体側から見て、前記複数の電子線の各々の前記傾斜面上の前記複数の焦点位置同士の距離が異なるようにＸ線を照射させる制御部とを備える、Ｘ線撮影装置。
【請求項2】
前記制御部は、前記被写体の寸法に応じた前記複数の電子放出部の各々の照射パターンに基づいて、第１方向および第２方向の各々に直線状に並ぶ前記複数の電子放出部の一部として、第１方向として前記傾斜面から前記被写体に向かうＸ線の照射方向に直線状に並ぶ複数の一の電子放出部、および、第２方向として前記照射方向に直交する方向に直線状に並ぶ複数の他の電子放出部の少なくともいずれかから電子線を放出させる制御を行うように構成されている、請求項１に記載のＸ線撮影装置。
【請求項3】
前記制御部は、前記被写体として寸法が小さい小検査対象に応じた前記照射パターンの場合、隣り合う前記複数の一の電子放出部から、電子線を放出させる制御を行うように構成されている、請求項２に記載のＸ線撮影装置。
【請求項4】
前記制御部は、前記被写体として寸法が大きい大検査対象に応じた前記照射パターンの場合、前記複数の他の電子放出部、および、前記複数の一の電子放出部のうちの少なくとも１つおきに配置された一の電子放出部ごとに、の少なくともいずれかにより電子線を放出させる制御を行うように構成されている、請求項２に記載のＸ線撮影装置。
【請求項5】
前記複数の電子放出部の各々は、
前記ターゲット側から見て、前記照射方向を長手方向とする長方形状または楕円形状になるように並べられた複数の円錐形状の電子源と、
前記複数の円錐形状の電子源の各々から、電子を放出させるための電界を発生するゲート電極とを有する、請求項２に記載のＸ線撮影装置。
前記ターゲット側から見て、前記照射方向を長手方向とする長方形状または楕円形状になるように並べられた複数の円錐形状の電子源と、
前記複数の円錐形状の電子源の各々から、電子を放出させるための電界を発生するゲート電極とを有する、請求項２に記載のＸ線撮影装置。
【請求項6】
前記ターゲットは、前記集束部と前記ターゲットとが並ぶ方向に延びる回転軸線回りに回転するように構成されており、
前記制御部は、前記ターゲットを回転させながら、前記照射パターンに基づいて、前記複数の一の電子放出部、および、前記複数の他の電子放出部の少なくともいずれかから電子線を放出させる制御を行うように構成されている、請求項５に記載のＸ線撮影装置。
前記制御部は、前記ターゲットを回転させながら、前記照射パターンに基づいて、前記複数の一の電子放出部、および、前記複数の他の電子放出部の少なくともいずれかから電子線を放出させる制御を行うように構成されている、請求項５に記載のＸ線撮影装置。
【請求項7】
前記Ｘ線管は、前記ターゲットから照射されたＸ線が通過するＸ線透過窓をさらに含み、
前記傾斜面上の前記複数の焦点位置は、前記被写体側から見て、前記Ｘ線透過窓内に収まるように設けられている、請求項１に記載のＸ線撮影装置。
前記傾斜面上の前記複数の焦点位置は、前記被写体側から見て、前記Ｘ線透過窓内に収まるように設けられている、請求項１に記載のＸ線撮影装置。
【請求項8】
前記集束部は、第１方向および第２方向の各々に直線状に並ぶ前記複数の電子放出部のうちの第１方向として前記傾斜面から前記被写体に向かうＸ線の照射方向に並ぶ複数の一の電子放出部のそれぞれに対向するように配置された複数のレンズ部を有する、請求項１に記載のＸ線撮影装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、Ｘ線撮影装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、Ｘ線撮影装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【0003】
上記特許文献１には、Ｘ線撮影システム（Ｘ線撮影装置）が開示されている。このＸ線撮影システムは、撮影装置（検出器）と、Ｘ線放出装置（Ｘ線管）と、ドライバ（制御部）とを備えている。撮影装置は、Ｘ線放出装置から放出されて対象物を透過したＸ線を検出するように構成されている。ここで、Ｘ線撮影システムでは、撮影装置の検出結果に基づいて、対象物の画像が生成される。
【0004】
上記特許文献１のＸ線放出装置は、複数の電子放出構造体と、フォーカス構造体と、陽極とを含んでいる。
【0005】
上記特許文献１の複数の電子放出構造体の各々は、複数の電子源を有している。複数の電子放出構造体の各々は、ドライバにより制御されることによって、複数の電子源の各々から放出された電子を陽極に向けて電子ビーム（電子線）として照射するように構成されている。フォーカス構造体は、電子ビームを陽極上の１つの焦点位置に集束させるように構成されている。このような構成を含む複数の電子放出構造体の各々は、基板上に一定のピッチで並んでいる。
【0006】
上記特許文献１の陽極は、照射された電子によりＸ線を発生させるように構成されている。陽極は、電子ビームの照射方向において、複数の電子放出構造体の各々と対向する位置に配置されている。陽極は、電子ビームの照射方向に直交する方向に延びている。陽極は、照射された電子ビームにより発生したＸ線を対象物に向けて透過させるように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【特許文献1】特許第６２９５２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
ここで、上記特許文献１には明記されていないが、上記特許文献１のような従来のＸ線撮影システムでは、対象物が比較的小さい寸法である場合、小さい寸法の対象物にＸ線を確実に当てるために、複数の電子ビームの互いの焦点位置同士が近い方が望ましい。
【0009】
また、対象物が比較的大きい寸法である場合、複数の電子ビームの互いの焦点位置同士を離して、複数の電子ビームのうちの一の電子ビームによるＸ線が当たる撮影装置の範囲と他の電子ビームによるＸ線が当たる撮影装置の他の範囲とを離れた位置にすることが望ましい。すなわち、対象物が比較的大きい寸法である場合、一の電子線の焦点位置と他の電子線の焦点位置とを離していないことにより、同じような範囲にＸ線が照射されるので、撮影装置の検出精度によっては、撮影装置の複数の検出素子の同じ領域においてＸ線が検出されてしまう。このような場合、複数の画像を再構成する際、画像同士の位置が合っているにも関わらず、位置補正を行うことになるので、画像同士の位置ずれが発生してしまい再構成した画像が不鮮明になる。
【0010】
しかしながら、上記特許文献１のＸ線撮影システムでは、対象物の画像を撮影する際、複数の電子放出構造体の各々から別個に照射される複数の電子ビームの互いの焦点位置同士の距離は変わっていないので、小さい寸法の対象物に対しては対象物（被写体）の画像を確実に取得できない場合があるとともに、大きい寸法の対象物に対しては再構成した画像において対象物（被写体）が不鮮明になるという問題点がある。
【0011】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、被写体の画像を確実に取得可能であるとともに、再構成した画像において被写体が不鮮明になるのを抑制することが可能なＸ線撮影装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0012】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面におけるＸ線撮影装置は、電子線を放出するための複数の電子源を各々が有し、基板の表面上において第１方向および第１方向に直交する第２方向の各々に直線状に並ぶ複数の電子放出部と、複数の電子放出部の各々から別個に放出される複数の電子線を集束させる集束部と、集束部により別個の複数の焦点位置に集束させた複数の電子線の各々により発生されたＸ線を被写体に向けて照射するように傾斜した傾斜面を有するターゲットとを含むＸ線管と、Ｘ線管から照射されて被写体を透過したＸ線を検出する検出器と、検出器から出力される検出信号に基づいて画像を生成する画像処理部と、複数の電子放出部の一部から電子線を放出させることにより、被写体の寸法に応じて、被写体側から見て、複数の電子線の各々の傾斜面上の複数の焦点位置同士の距離が異なるようにＸ線を照射させる制御部とを備える。
【発明の効果】
【0013】
上記一の局面におけるＸ線撮影装置では、上記のように、複数の電子放出部の一部から電子線を放出させることにより、被写体の寸法に応じて、被写体側から見て、複数の電子線の各々の傾斜面上の複数の焦点位置同士の距離が異なるようにＸ線を照射させる制御部を設ける。これにより、被写体の寸法に応じて、複数の焦点位置同士の距離が異なるようにＸ線を照射させることにより、被写体が比較的小さい寸法である場合、被写体の寸法に合わせて、ターゲットの傾斜面上における焦点位置同士の距離を小さくすることができるので、複数の電子線の各々によりターゲットにおいて別個に発生した複数のＸ線を被写体を透過させて検出器に当たるようにすることができる。これにより、被写体の画像を確実に取得することができる。また、被写体が比較的大きい寸法である場合、電子線のターゲット上における焦点位置同士の距離を大きくすることができるので、複数の電子線の各々から発生したＸ線の検出器における検出範囲が同じにならないようにすることができる。したがって、取得された画像同士の位置ずれを抑制することができるので、被写体を撮影したＸ線画像を再構成した画像において被写体が不鮮明になるのを抑制することができる。これらにより、被写体の画像を確実に取得することができるとともに、再構成した画像において被写体が不鮮明になるのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1】第１実施形態のＸ線撮影装置の全体構成を示した模式図である。
【図2】第１実施形態のＸ線撮影装置の全体構成を上方から見た模式図である。
【図3】第１実施形態のＸ線撮影装置の基板上の複数の電子放出部を示した模式図である。
【図5】第１実施形態のＸ線撮影装置の集束部を示した模式図である。
【図6】第１実施形態のＸ線撮影装置のターゲットの傾斜面に放出される電子線と電子線により照射されるＸ線とを示した側面図である。
【図7】第１実施形態のＸ線撮影装置の一の電子放出部側の焦点位置とターゲットの傾斜面上の焦点位置とを示した模式図である。
【図8】第１実施形態のＸ線撮影装置のターゲットの傾斜面上の焦点位置を被写体側から見た側面図である。
【図9】第１実施形態のＸ線撮影装置の他の電子放出部側の焦点位置とターゲットの傾斜面上の焦点位置とを示した模式図である。
【図10】第１実施形態のＸ線撮影装置において小さな被写体の撮影を行う場合を示した模式図である。
【図11】第１実施形態のＸ線撮影装置において小さな被写体の撮影を行う場合における、一の電子放出部側の焦点位置とターゲットの傾斜面上の焦点位置とを示した模式図である。
【図12】第１実施形態のＸ線撮影装置において中位の被写体の撮影を行う場合を示した模式図である。
【図13】第１実施形態のＸ線撮影装置において中位の被写体の撮影を行う場合における、一の電子放出部側の焦点位置とターゲットの傾斜面上の焦点位置とを示した模式図である。
【図14】第１実施形態のＸ線撮影装置において大きな被写体の撮影を行う場合を示した模式図である。
【図15】第１実施形態のＸ線撮影装置において大きな被写体の撮影を行う場合における、他の電子放出部側の焦点位置とターゲットの傾斜面上の焦点位置とを示した模式図である。
【図16】第２実施形態のＸ線撮影装置の全体構成を示した模式図である。
【図17】第２実施形態のＸ線撮影装置の基板上の複数の電子放出部を示した模式図である。
【図18】第２実施形態のＸ線撮影装置においてかなり大きな被写体の撮影を行う場合を示した模式図である。
【図19】第２実施形態のＸ線撮影装置においてかなり大きな被写体の撮影を行う場合における、一の電子放出部および他の電子放出部側の照射パターンを示した模式図である。
【図20】第２実施形態のＸ線撮影装置において特大の被写体の撮影を行う場合を示した模式図である。
【図21】第２実施形態のＸ線撮影装置において特大の被写体の撮影を行う場合における、一の電子放出部および他の電子放出部側の照射パターンを示した模式図である。
【図22】第１および第２実施形態の変形例のＸ線撮影装置の基板上の複数の電子放出部を示した模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【0016】
【0017】
図１に示すように、Ｘ線撮影装置１００は、被写体９０のＣＴ画像を撮影する装置である。Ｘ線撮影装置１００は、たとえば、非破壊検査に用いられる。被写体９０は、たとえば、基板または電子部品などである。
【0018】
Ｘ線撮影装置１００は、Ｘ線管１と、検出器２と、被写体設置部３と、回転機構４と、主制御部５と、表示部６と、入力部７と、撮影制御部８とを備えている。なお、撮影制御部８は、特許請求の範囲の「制御部」の一例である。
【0019】
ここで、Ｘ線管１と検出器２とが並ぶ方向をＸ方向とし、Ｘ方向のうちの検出器２側をＸ１方向とし、Ｘ方向のうちのＸ線管１側をＸ２方向とする。上下方向をＺ方向とし、Ｚ方向のうちの上方向をＺ１方向とし、Ｚ方向のうちの下方向をＺ２方向とする。Ｘ方向およびＺ方向は、互いに直交している。Ｘ方向およびＺ方向に直交する方向をＹ方向とし、Ｙ方向のうちの一方をＹ１方向とし、Ｙ方向のうちの他方向をＹ２方向とする。なお、Ｘ方向は、特許請求の範囲の「第１方向」の一例である。また、Ｚ方向は、特許請求の範囲の「第２方向」の一例である。また、Ｘ１方向は、特許請求の範囲の「照射方向」の一例である。
【0020】
Ｘ線管１は、被写体設置部３に配置された被写体９０にＸ線９ａを照射するように構成されている。Ｘ線管１は、高電圧が印加されることにより、Ｘ線９ａを発生させるように構成されている。Ｘ線管１は、Ｘ方向において、被写体設置部３を介して、検出器２と対向している。Ｘ線管１と被写体設置部３と検出器２とが、Ｘ方向（水平方向）に並んで配置されている。なお、Ｘ線管１の詳細な構成は後に説明する。
【0021】
検出器２は、Ｘ線管１から出射されて被写体９０を透過したＸ線９ａを検出するように構成されている。Ｘ線管１から出射されたＸ線９ａは、検出器２の検出面に入射する。この際、被写体９０を透過してＸ線９ａにより、被写体９０が検出される。検出器２は、検出されたＸ線９ａを電気信号（検出信号）に変換するように構成されている。検出器２において検出された検出信号は、主制御部５に送られる。これにより、主制御部５において処理が行われることにより、被写体９０を撮影したＸ線画像が得られる。
【0022】
検出器２は、たとえば、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）である。検出器２は、複数の変換素子（図示せず）と複数の変換素子上に配置された画素電極（図示せず）とを含んでいる。複数の変換素子の各々は、互いに所定の周期（画素ピッチ）で、検出面内にマトリクス状に並んで配置されている。また、複数の画素電極の各々は、複数の変換素子の各々の位置に合わせて検出面内にマトリクス状に並んで配置されている。
【0023】
被写体設置部３は、被写体９０を設置するように構成されている。被写体設置部３は、被写体ステージである。被写体設置部３は、Ｘ線管１と検出器２との間に配置されている。
【0024】
回転機構４は、Ｚ方向に延びる回転中心軸線９１回りに被写体設置部３を回転させるように構成されている。すなわち、回転機構４は、Ｘ線管１および検出器２に対して被写体設置部３を相対的に回転させるように構成されている。これにより、回転機構４は、撮影制御部８からの信号に基づいて、被写体９０の撮影角度を変化させることが可能である。
【0025】
主制御部５は、Ｘ線撮影装置１００による被写体９０の撮影に関する制御を行うように構成されている。主制御部５は、処理部５ａと、記憶部５ｂと、画像処理部５ｃと、入出力部５ｄとを含んでいる。
【0026】
処理部５ａは、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などのプロセッサである。記憶部５ｂは、ＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｄｒｉｖｅ）、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）およびＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）などを有している。
【0027】
画像処理部５ｃは、ＧＰＵ（Ｇｒａｐｈｉｃｓ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）または画像処理用に構成されたＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ－Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）などのプロセッサである。
【0028】
画像処理部５ｃは、回転機構４により回転させる被写体９０に対して予め設定された複数の撮影角度の各々において、検出器２により検出された検出信号を検出器２から取得するように構成されている。画像処理部５ｃは、複数の撮影角度の各々の検出信号に基づいて、複数の撮影角度毎のＸ線画像を作成するように構成されている。画像処理部５ｃは、１回転分の複数の撮影角度毎に作成された複数のＸ線画像を再構成処理を実行することにより、ＣＴ画像を作成するように構成されている。このように、ＣＴ画像とは、様々な撮影角度で撮影された複数のＸ線画像に基づいて再構成処理により作成される。ＣＴ画像は、被写体９０の断層画像、または、３次元立体画像などの被写体９０の３次元構造を反映した画像である。再構成処理としては、逐次近似法などの処理が適宜用いられる。なお、ＣＴ画像は、特許請求の範囲の「画像」の一例である。
【0029】
画像処理部５ｃにより作成されたＸ線画像およびＣＴ画像の各々は、記憶部５ｂに記憶される。
【0030】
入出力部５ｄは、主制御部５に対する信号の入出力を行うための各種のインターフェースにより構成されている。入出力部５ｄは、表示部６および入力部７の各々と互いに接続されている。表示部６は、たとえば、液晶ディスプレイなどである。入力部７は、キーボードおよびマウスなどのデバイスである。主制御部５は、入出力部５ｄを介して、検出器２からの検出信号を取得するように構成されている。主制御部５は、入出力部５ｄを介して、撮影制御部８に対して撮影開始または撮影停止の指示などを送信するように構成されている。
【0031】
撮影制御部８は、主制御部５から送信される、被写体９０を撮影する際のＸ線管１の照射制御情報に基づいて、Ｘ線管１を制御するためのドライバである。また、撮影制御部８は、主制御部５から送信される、被写体９０を撮影する際の回転機構４の回転制御情報に基づいて、回転機構４を制御するためのドライバでもある。なお、撮影制御部８によるＸ線管１の制御については、Ｘ線管１の詳細な構成について説明した後に説明する。
【0032】
（Ｘ線管の詳細な構成）
図２に示すように、Ｘ線管１は、真空容器１１と、基板１２（図３を参照）と、複数の電子放出部１３と、集束部１４と、回転ターゲット１５と、Ｘ線透過窓１６と、コリメータ１７とを含んでいる。真空容器１１は、内部に真空の空間を有している。真空容器１１内には、基板１２、複数の電子放出部１３および集束部１４が収容されている。
図２に示すように、Ｘ線管１は、真空容器１１と、基板１２（図３を参照）と、複数の電子放出部１３と、集束部１４と、回転ターゲット１５と、Ｘ線透過窓１６と、コリメータ１７とを含んでいる。真空容器１１は、内部に真空の空間を有している。真空容器１１内には、基板１２、複数の電子放出部１３および集束部１４が収容されている。
【0033】
図３に示すように、基板１２は、シリコンおよびガラスなどにより形成された板状の部材である。基板１２のＹ１方向側の表面上には、複数（１５個）の電子放出部１３が形成されている。なお、電子放出部１３は、Ｚ方向において、２つ、または、４つ以上、基板１２の表面上に形成されてもよい。また、電子放出部１３は、Ｘ方向において、２つ～４つ、または、６つ以上、基板１２の表面上に形成されてもよい。
【0034】
〈電子放出部〉
複数の電子放出部１３の各々は、印加された電圧により電子線９ｂ（図４を参照）を放出するように構成されている。複数の電子放出部１３の各々は、基板１２上においてＸ方向およびＺ方向の各々に直線状に並んでいる。複数の電子放出部１３の各々は、Ｙ２方向側から見て、マトリクス状に配置されている。複数の電子放出部１３の各々は、同じ構造を有しているので、図３に示すＺｍ部分の位置に配置された電子放出部１３についてのみ説明する。
複数の電子放出部１３の各々は、印加された電圧により電子線９ｂ（図４を参照）を放出するように構成されている。複数の電子放出部１３の各々は、基板１２上においてＸ方向およびＺ方向の各々に直線状に並んでいる。複数の電子放出部１３の各々は、Ｙ２方向側から見て、マトリクス状に配置されている。複数の電子放出部１３の各々は、同じ構造を有しているので、図３に示すＺｍ部分の位置に配置された電子放出部１３についてのみ説明する。
【0035】
図４に示すように、電子放出部１３は、ゲート電極（図示せず）と、絶縁層（図示せず）と、複数の電子源１３１とを有している。ゲート電極、絶縁層および電子源１３１の各々は、基板１２上にエッチングにより一体的に形成されている。ゲート電極は、印加された電圧により、複数の電子源１３１の各々から電子を放出させるための電界を発生させるように構成されている。絶縁層は、複数の電子源１３１の各々を囲むことにより、複数の電子源１３１の各々の周囲を絶縁するように構成されている。
【0036】
複数の電子源１３１の各々は、電子放出部１３から電子線９ｂを放出するために、ゲート電極において印加された電圧により発生した電界のトンネル効果によって、電子を放出するように構成されている。複数の電子源１３１の各々は、円錐形状を有するスピント型電子源である。複数の電子源１３１の各々は、エミッタとも呼ばれる。複数の電子源１３１は、図４では説明の便宜上、１５個記載しているが、１００個以上、または、１０００個以上の複数の電子源１３１が、電子放出部１３に設けられている。これにより、１つの電子源１３１から照射された電子線９ｂにより発生するＸ線９ａの強度は弱いが、多数（１００個以上、または、１０００個以上）の電子源１３１から照射された電子線９ｂによりＸ線９ａを発生させることにより、所望の強度のＸ線９ａが照射される。
【0037】
【0038】
〈集束部〉
図５および図６に示すように、集束部１４は、複数の電子放出部１３の各々から別個に放出される複数の電子線９ｂを集束させるように構成されている。集束部１４は、複数（１５個）のレンズ部１４１を有する光学レンズである。なお、光学レンズの種類としては、電磁レンズ、静電レンズまたは集束電極などである。複数のレンズ部１４１の各々は、集束部１４を貫通する貫通孔を有している。複数のレンズ部１４１の各々は、集束部１４を貫通する貫通孔を通過する電子線９ｂに電場または磁場を与えるように構成されている。複数のレンズ部１４１の各々において、貫通孔を通過する電子線９ｂが、電場または磁場による引力および斥力によって集束する。また、複数のレンズ部１４１の数は、電子放出部１３の数に合わせていればよく、２個～１４個、または、１５個以上であってもよい。
図５および図６に示すように、集束部１４は、複数の電子放出部１３の各々から別個に放出される複数の電子線９ｂを集束させるように構成されている。集束部１４は、複数（１５個）のレンズ部１４１を有する光学レンズである。なお、光学レンズの種類としては、電磁レンズ、静電レンズまたは集束電極などである。複数のレンズ部１４１の各々は、集束部１４を貫通する貫通孔を有している。複数のレンズ部１４１の各々は、集束部１４を貫通する貫通孔を通過する電子線９ｂに電場または磁場を与えるように構成されている。複数のレンズ部１４１の各々において、貫通孔を通過する電子線９ｂが、電場または磁場による引力および斥力によって集束する。また、複数のレンズ部１４１の数は、電子放出部１３の数に合わせていればよく、２個～１４個、または、１５個以上であってもよい。
【0039】
複数のレンズ部１４１の各々は、Ｙ方向において、別個に複数の電子放出部１３と対向している。複数のレンズ部１４１の各々は、複数の電子放出部１３のうちのＸ方向に並ぶ複数の一の電子放出部１３の各々に別個に対向するように配置されているとともに、複数の電子放出部１３のうちのＺ方向に並ぶ複数の他の電子放出部１３の各々に別個に対向するように配置されている。複数のレンズ部１４１の各々は、複数の電子放出部１３の配置位置に合わせて、集束部１４にマトリクス状に配置されている。
【0040】
〈回転ターゲット〉
図６に示すように、回転ターゲット１５は、Ｚ方向（集束部１４と後述するターゲット１５ｂとが並ぶ方向）に延びる回転中心軸線９２（図２を参照）回りに回転しながら、電子線９ｂが照射されるように構成されている。具体的には、回転ターゲット１５は、回転駆動機構１５ａ（図２を参照）と、ターゲット１５ｂとを有している。回転駆動機構１５ａは、ターゲット１５ｂを回転させるための駆動源および駆動力伝達機構を有している。
図６に示すように、回転ターゲット１５は、Ｚ方向（集束部１４と後述するターゲット１５ｂとが並ぶ方向）に延びる回転中心軸線９２（図２を参照）回りに回転しながら、電子線９ｂが照射されるように構成されている。具体的には、回転ターゲット１５は、回転駆動機構１５ａ（図２を参照）と、ターゲット１５ｂとを有している。回転駆動機構１５ａは、ターゲット１５ｂを回転させるための駆動源および駆動力伝達機構を有している。
【0041】
ターゲット１５ｂは、電子線９ｂが衝突することによりＸ線９ａを発生させるため、モリブデン、ロジウムまたはタングステンなどで形成された陽極部材である。ターゲット１５ｂは、Ｚ１方向側から見て、Ｙ１方向側に向かって半径が小さくなる円錐台形状を有している。ターゲット１５ｂは、Ｘ方向に沿って断面において、Ｘ１方向に交差するＹ２方向に向かって傾斜する傾斜面１５１ｂを有している。傾斜面１５１ｂは、集束部１４により別個の複数の焦点位置９４に集束させた複数の電子線９ｂの各々により発生されたＸ線９ａを被写体９０に向けて照射するように傾斜している。傾斜面１５１ｂ上の複数の焦点位置９４は、Ｘ１方向側（被写体９０側）から見て、Ｘ線透過窓１６内に収まるように設けられている。なお、図６では、説明の便宜上、Ｘ方向に並んだ複数の一の電子放出部１３のうちの中間に配置された一の電子放出部１３から電子線９ｂが放出された状態が示されている。
【0042】
〈Ｘ線透過窓およびコリメータ〉
Ｘ線透過窓１６は、ターゲット１５ｂから照射されたＸ線９ａが通過するように構成されている。コリメータ１７は、Ｘ線透過窓１６を透過してＸ１方向に向かって照射されたＸ線９ａの照射範囲を絞るための部材である。
Ｘ線透過窓１６は、ターゲット１５ｂから照射されたＸ線９ａが通過するように構成されている。コリメータ１７は、Ｘ線透過窓１６を透過してＸ１方向に向かって照射されたＸ線９ａの照射範囲を絞るための部材である。
【0043】
（撮影制御部の詳細な構成）
図７～図９に示すように、第１実施形態の撮影制御部８は、複数の電子放出部１３の一部から電子線９ｂを放出させることにより、被写体９０の寸法に応じて、被写体９０から（Ｘ１方向側から）見て、複数の電子線９ｂの各々の傾斜面１５１ｂ上の複数の焦点位置９４同士の距離（図８の距離９５ｂおよび図９の距離９６ｂ）が異なるようにＸ線９ａを照射する制御を行うように構成されている。すなわち、撮影制御部８は、ターゲット１５ｂを回転させながら、Ｘ線管１から送信される照射制御情報に含まれる照射パターンに基づいて、Ｘ方向に並んだ複数の一の電子放出部１３、および、Ｚ方向に並んだ複数の他の電子放出部１３の少なくともいずれかから電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。照射パターンは、記憶部５ｂに予め記憶されている。照射パターンは、主制御部５から撮影制御部８に送信される照射制御情報に含まれる情報である。
図７～図９に示すように、第１実施形態の撮影制御部８は、複数の電子放出部１３の一部から電子線９ｂを放出させることにより、被写体９０の寸法に応じて、被写体９０から（Ｘ１方向側から）見て、複数の電子線９ｂの各々の傾斜面１５１ｂ上の複数の焦点位置９４同士の距離（図８の距離９５ｂおよび図９の距離９６ｂ）が異なるようにＸ線９ａを照射する制御を行うように構成されている。すなわち、撮影制御部８は、ターゲット１５ｂを回転させながら、Ｘ線管１から送信される照射制御情報に含まれる照射パターンに基づいて、Ｘ方向に並んだ複数の一の電子放出部１３、および、Ｚ方向に並んだ複数の他の電子放出部１３の少なくともいずれかから電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。照射パターンは、記憶部５ｂに予め記憶されている。照射パターンは、主制御部５から撮影制御部８に送信される照射制御情報に含まれる情報である。
【0044】
〈焦点位置同士の距離〉
以下に、複数の焦点位置９４同士の距離が異なることについて説明する。
以下に、複数の焦点位置９４同士の距離が異なることについて説明する。
【0045】
図７に示すように、基板１２上の複数の電子放出部１３の各々において、Ｘ方向およびＺ方向における中心点が、基板１２上の焦点位置９４になる。ここで、説明の便宜上、基板１２上の複数の電子放出部１３のうちのＸ方向に並んだＣｏ列の複数の一の電子放出部１３について説明する。
【0046】
基板１２上において、Ｃｏ列の複数の一の電子放出部１３の各々の焦点位置９４同士の距離は距離９５ａである。ここで、傾斜面１５１ｂは、Ｘ方向に対してＹ１方向に向かって傾斜角度θ分だけ傾斜している。したがって、図７および図８に示すように、傾斜面１５１ｂ上において、Ｃｏ列の複数の一の電子放出部１３の各々の焦点位置９４同士の距離９５ｂは、距離９５ａとｔａｎθとを乗算した数値である。したがって、距離９５ｂは、距離９５ａよりも小さい。ここで、傾斜角度θは、４５度未満である。
【0047】
図９に示すように、基板１２上の複数の電子放出部１３の各々において、Ｘ方向およびＺ方向における中心点が、基板１２上の焦点位置９４になる。ここで、説明の便宜上、基板１２上の複数の電子放出部１３のうちのＸ方向に並んだＲｏ行の複数の他の電子放出部１３について説明する。
【0048】
基板１２上において、Ｒｏ行の複数の他の電子放出部１３の各々の焦点位置９４同士の距離は距離９６ａである。距離９６ａは、距離９５ａと同じである。ここで、傾斜面１５１ｂは、Ｚ方向におけるＲｏ行の範囲は略平面である。したがって、傾斜面１５１ｂ上において、複数の他の電子放出部１３は略直線状に並んでいるので、Ｒｏ行の複数の他の電子放出部１３の各々の焦点位置９４同士の距離９６ｂは、距離９６ａと同じである。一例として、距離９５ａおよび距離９６ａの各々が２．５ｍｍであり、かつ、傾斜角度θが１０度であるような場合、距離９５ｂは０．４４ｍｍになるとともに、距離９６ｂは２．５ｍｍになる。
【0049】
このように、Ｘ線管１では、基板１２上における距離９６ａと距離９５ａとは同じであるが、傾斜面１５１ｂの傾斜角度θを利用して、傾斜面１５１ｂ上における距離９６ｂと距離９５ｂとは異ならせている。
【0050】
したがって、複数の一の電子放出部１３の各々から電子線９ｂを放出した場合には、焦点位置９４同士の距離を距離９５ｂに短くして、同じような照射範囲にＸ線９ａを照射することが可能である。また、複数の他の電子放出部１３の各々から電子線９ｂを放出した場合には、焦点位置９４同士の距離を変えずに距離９６ｂのままなので、照射範囲同士の重なる範囲を小さくすることが可能である。
【0051】
上記したように、Ｘ線管１では、複数の電子放出部１３の各々の焦点位置９４を集束部１４において発生させる電場または磁場により変更せずに、焦点位置９４同士の距離を距離９５ｂおよび距離９６ｂの各々に変更することを実現している。したがって、焦点位置９４における収差の発生を抑制可能である。また、複数のレンズ部１４１の各々の貫通孔の数を増やすことにより、焦点位置９４同士の距離が距離９５ｂおよび距離９６ｂになるように構成を実現していないので、貫通孔が少ない分だけ、集束部１４の機械的強度の低下を抑制可能である。
【0052】
〈照射パターン〉
次に、図１０～図１５を参照して、被写体９０の寸法に応じた照射パターンに複数の焦点位置９４同士の距離が異なることについて説明する。すなわち、撮影制御部８は、被写体９０の寸法に応じて複数の電子放出部１３の各々の照射パターンに基づいて、マトリクス状に並ぶ複数の電子放出部１３の一部として、Ｘ１方向（傾斜面１５１ｂから被写体９０に向かうＸ線９ａの照射方向）に直線状に並ぶ複数の一の電子放出部１３、および、Ｚ方向（照射方向に直交する方向）に直線状に並ぶ複数の他の電子放出部１３の少なくともいずれかから電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。
次に、図１０～図１５を参照して、被写体９０の寸法に応じた照射パターンに複数の焦点位置９４同士の距離が異なることについて説明する。すなわち、撮影制御部８は、被写体９０の寸法に応じて複数の電子放出部１３の各々の照射パターンに基づいて、マトリクス状に並ぶ複数の電子放出部１３の一部として、Ｘ１方向（傾斜面１５１ｂから被写体９０に向かうＸ線９ａの照射方向）に直線状に並ぶ複数の一の電子放出部１３、および、Ｚ方向（照射方向に直交する方向）に直線状に並ぶ複数の他の電子放出部１３の少なくともいずれかから電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。
【0053】
〈小さい被写体の場合〉
図１０および図１１では、被写体９０の寸法が比較的小さい場合の照射パターンを示している。この場合、撮影制御部８は、被写体９０として寸法が小さい小検査対象に応じた照射パターンの場合、隣り合う複数の一の電子放出部１３から、電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。
図１０および図１１では、被写体９０の寸法が比較的小さい場合の照射パターンを示している。この場合、撮影制御部８は、被写体９０として寸法が小さい小検査対象に応じた照射パターンの場合、隣り合う複数の一の電子放出部１３から、電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。
【0054】
図１１に示す一例では、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、１番目に（図１１では１で示す）最もＸ１方向側に配置された一の電子放出部１３ａから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、予め設定された複数の撮影角度の各々において、検出器２により検出された検出信号を検出器２から取得するように構成されている。
【0055】
次に、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、２番目に（図１１では２で示す）１番目の一の電子放出部１３ａのＸ２方向側に隣り合う一の電子放出部１３ｂから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、予め設定された複数の撮影角度の各々において、検出器２により検出された検出信号を検出器２から取得するように構成されている。また、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、３番目に（図１１では３で示す）２番目の一の電子放出部１３ｂのＸ２方向側に隣り合う一の電子放出部１３ｃから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、予め設定された複数の撮影角度の各々において、検出器２により検出された検出信号を検出器２から取得するように構成されている。
【0056】
この場合、焦点位置９４同士の距離を距離９５ｂに短くしていることにより、同じような照射範囲にＸ線９ａを照射することができるので、寸法が比較的小さい被写体９０であっても、照射された複数のＸ線９ａの各々を被写体９０を透過して検出器２に当てることが可能である。
【0057】
画像処理部５ｃは、上記した処理で取得した複数の検出信号と、複数の検出信号の各々に対応付けられた一の電子放出部１３から放出された電子線９ｂの傾斜面１５１ｂ上の焦点位置９４の情報と、ＳＲＤ情報と、ＳＤＤ情報とを含む再構成情報に基づいて、検出信号に基づくＸ線画像における被写体９０の拡大率変化の補正処理、および、検出信号に基づくＸ線画像における被写体９０の投影像の位置の補正処理を行う。ここで、ＳＲＤ情報は、傾斜面１５１ｂ上の焦点位置９４から回転機構４の回転中心軸線９１の位置までの距離である。ＳＤＤ情報は、傾斜面１５１ｂ上の焦点位置９４から検出器２の検出面の位置までの距離である。回転機構４の回転中心軸線９１の位置までの距離は、予め記憶部５ｂに登録されている。検出器２の検出面の位置は、予め記憶部５ｂに登録されている。画像処理部５ｃは、補正後の複数のＸ線画像の各々に基づいて再構成処理を行うことにより、ＣＴ画像を生成するように構成されている。
【0058】
〈少し大きい（中位の）被写体の場合〉
図１２および図１３では、被写体９０の寸法が少し大きい（中位の）場合の照射パターンを示している。この場合、撮影制御部８は、被写体９０として寸法が少し大きい中検査対象に応じた照射パターンの場合、複数の一の電子放出部１３のうちの少なくとも１つおきに配置された一の電子放出部１３ごとに電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。これにより、傾斜面１５１ｂ上の焦点位置９４同士の距離が、距離９５ｂの２倍になる。なお、中検査対象は、特許請求の範囲の「大検査対象」の一例である。
図１２および図１３では、被写体９０の寸法が少し大きい（中位の）場合の照射パターンを示している。この場合、撮影制御部８は、被写体９０として寸法が少し大きい中検査対象に応じた照射パターンの場合、複数の一の電子放出部１３のうちの少なくとも１つおきに配置された一の電子放出部１３ごとに電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。これにより、傾斜面１５１ｂ上の焦点位置９４同士の距離が、距離９５ｂの２倍になる。なお、中検査対象は、特許請求の範囲の「大検査対象」の一例である。
【0059】
図１３に示す一例では、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、１番目に（図１３では１で示す）最もＸ１方向側に配置された一の電子放出部１３ａから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、予め設定された複数の撮影角度の各々において、検出器２により検出された検出信号を検出器２から取得するように構成されている。
【0060】
次に、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、２番目に（図１３では２で示す）１番目の一の電子放出部１３ａのＸ２方向側に１つおいて配置された一の電子放出部１３ｂから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、予め設定された複数の撮影角度の各々において、検出器２により検出された検出信号を検出器２から取得するように構成されている。また、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、３番目に（図１３では３で示す）２番目の一の電子放出部１３ｂのＸ２方向側に１つおいて配置された一の電子放出部１３ｃから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、予め設定された複数の撮影角度の各々において、検出器２により検出された検出信号を検出器２から取得するように構成されている。
【0061】
この場合、焦点位置９４同士の距離を距離９５ｂの２倍にしているので、照射範囲同士の重なる範囲を比較的小さくすることが可能である。ＣＴ画像の作成の処理に関しては、上記した処理と同じであるので、説明を省略する。
【0062】
〈大きい被写体の場合〉
図１４および図１５では、被写体９０の寸法が大きい場合の照射パターンを示している。この場合、撮影制御部８は、被写体９０として寸法が大きい大検査対象に応じた照射パターンの場合、複数の他の電子放出部１３により電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。これにより、傾斜面１５１ｂ上の焦点位置９４同士の距離が、距離９６ｂになる。
図１４および図１５では、被写体９０の寸法が大きい場合の照射パターンを示している。この場合、撮影制御部８は、被写体９０として寸法が大きい大検査対象に応じた照射パターンの場合、複数の他の電子放出部１３により電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。これにより、傾斜面１５１ｂ上の焦点位置９４同士の距離が、距離９６ｂになる。
【0063】
図１５に示す一例では、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、１番目に（図１５では１で示す）最もＺ１方向側に配置された他の電子放出部１３ａから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、予め設定された複数の撮影角度の各々において、検出器２により検出された検出信号を検出器２から取得するように構成されている。
【0064】
次に、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、２番目に（図１５では２で示す）１番目の他の電子放出部１３ａのＺ２方向側に隣り合う他の電子放出部１３ｂから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、予め設定された複数の撮影角度の各々において、検出器２により検出された検出信号を検出器２から取得するように構成されている。また、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、３番目に（図１５では３で示す）２番目の一の電子放出部１３ｂのＺ２方向側に隣り合う他の電子放出部１３ｃから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、予め設定された複数の撮影角度の各々において、検出器２により検出された検出信号を検出器２から取得するように構成されている。
【0065】
この場合、焦点位置９４同士の距離を距離９６ｂにしているので、照射範囲同士の重なる範囲を小さくすることが可能である。ＣＴ画像の作成の処理に関しては、上記した処理と同じであるので、説明を省略する。
【0066】
（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【0067】
第１実施形態では、上記のように、Ｘ線撮影装置１００は、複数の電子放出部１３の一部から電子線９ｂを放出させることにより、被写体９０の寸法に応じて、被写体９０側から見て、複数の電子線９ｂの各々の傾斜面１５１ｂ上の複数の焦点位置９４同士の距離９５ｂ（および距離９６ｂ）が異なるようにＸ線９ａを照射させる撮影制御部８を備えている。これにより、被写体９０の寸法に応じて、複数の焦点位置９４同士の距離９５ｂ（および距離９６ｂ）が異なるようにＸ線９ａを照射させることにより、被写体９０が比較的小さい寸法である場合、被写体９０の寸法に合わせて、ターゲット１５ｂの傾斜面１５１ｂ上における焦点位置９４同士の距離（距離９５ｂ）を小さくすることができるので、複数の電子線９ｂの各々によりターゲット１５ｂにおいて別個に発生した複数のＸ線９ａを被写体９０を透過させて検出器２に当たるようにすることができる。これにより、被写体９０の画像を確実に取得することができる。また、被写体９０が比較的大きい寸法である場合、電子線９ｂのターゲット１５ｂ上における焦点位置９４同士の距離（距離９６ｂ）を大きくすることができるので、複数の電子線Ｅｒの各々から発生したＸ線Ｒの検出器２における検出範囲が同じにならないようにすることができる。したがって、取得されたＸ線画像同士の位置ずれを抑制することができるので、被写体９０を撮影したＸ線画像を再構成した画像において被写体９０が不鮮明になるのを抑制することができる。これらにより、被写体９０の画像を確実に取得することができるとともに、再構成した画像において被写体９０が不鮮明になるのを抑制することができる。
【0068】
また、第１実施形態では、上記のように、撮影制御部８は、被写体９０の寸法に応じた複数の電子放出部１３の各々の照射パターンに基づいて、Ｘ方向（第１方向）およびＺ方向（第２方向）の各々に直線状に並ぶ複数の電子放出部１３の一部として、Ｘ方向（第１方向）として傾斜面１５１ｂから被写体９０に向かうＸ線９ａのＸ１方向（照射方向）に直線状に並ぶ複数の一の電子放出部１３、および、Ｚ方向（第２方向）としてＸ１方向（照射方向）に直交する方向に直線状に並ぶ複数の他の電子放出部１３の少なくともいずれかから電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。ここで、複数の一の電子放出部１３、および、複数の他の電子放出部１３の照射パターンに基づいて、複数の電子線９ｂの各々の傾斜面１５１ｂ上の複数の焦点位置９４同士の距離９５ｂ（および距離９６ｂ）が異なるようにＸ線９ａを照射させている。これにより、複数の一の電子放出部１３、および、複数の他の電子放出部１３の照射パターンを変更するだけで複数の焦点位置９４同士の距離（距離９５ｂおよび距離９６ｂ）が異なるという構成を実現しているので、集束部１４により中心位置から焦点位置をずらすという制御を行わなくても、複数の焦点位置９４同士の距離を異ならせることができる。この結果、焦点位置９４をずらす制御に起因して発生する電子線９ｂの収差の発生を抑制することができる。また、異なる複数の焦点位置９４同士の距離（距離９５ｂおよび距離９６ｂ）に合わせて集束部１４に個別にレンズ部１４１を設ける必要がないので、必要なレンズ部１４１の数の増大を抑制することができる。
【0069】
また、第１実施形態では、上記のように、撮影制御部８は、被写体９０として寸法が小さい小検査対象に応じた照射パターンの場合、隣り合う複数の一の電子放出部１３から、電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。ここで、複数の一の電子放出部１３は、傾斜面１５１ｂの傾斜方向に沿って並んでいるので、傾斜面１５１ｂの傾斜角度θが小さい（たとえば、４５度未満などの）場合、一の電子放出部１３から傾斜面１５１ｂに向かう方向における、隣り合う複数の一の電子放出部１３から放出された電子線９ｂの各々の傾斜面１５１ｂ上での焦点位置９４同士の距離９５ｂは、基板１２上での複数の一の電子放出部１３の各々の焦点位置９４同士の距離９５ａと比較して小さくなる。これにより、複数の電子線９ｂの各々によりターゲット１５ｂにおいて別個に発生した複数のＸ線９ａを同じような照射範囲に照射することができるので、複数のＸ線９ａの各々を小検査対象としての被写体９０に確実に当たるようにすることができる。
【0070】
また、第１実施形態では、上記のように、撮影制御部８は、被写体９０として寸法が大きい大検査対象に応じた照射パターンの場合、複数の他の電子放出部１３、および、複数の一の電子放出部１３のうちの少なくとも１つおきに配置された一の電子放出部１３ごとに、の少なくともいずれかにより電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。ここで、複数の他の電子放出部１３は、傾斜面１５１ｂの傾斜方向に沿って並んでおらず、傾斜方向に直交するＺ方向に直線状に並んでいるので、複数の他の電子放出部１３の傾斜面１５１ｂでの距離９６ｂは、傾斜角度θに応じて小さくならない。これにより、隣り合う複数の一の電子放出部１３同士の焦点位置９４同士の距離９５ｂと比較して、焦点位置９４同士の距離を大きくすることができる。この結果、複数の電子線Ｅｒの各々から発生したＸ線Ｒの検出器２における検出範囲が同じにならないようにすることができるので、複数のＸ線画像を再構成する場合、取得されたＸ線画像同士の位置ずれを抑制することができる。また、複数の一の電子放出部１３のうちの少なくとも１つおきに配置された一の電子放出部１３から電子線９ｂを照射することにより、焦点位置９４同士の距離９５ａと比較して、焦点位置９４同士の距離を大きくすることができるので、複数の電子線Ｅｒの各々から発生したＸ線Ｒの検出器２における検出範囲が同じにならないようにすることができる。この結果、複数の画像を再構成する場合、取得されたＸ線画像同士の位置ずれを抑制することができる。
【0071】
また、第１実施形態では、上記のように、複数の電子放出部１３の各々は、ターゲット１５ｂ側から見て、Ｘ１方向（照射方向）を長手方向とする長方形状になるように並べられた複数の円錐形状の電子源１３１を有している。複数の電子放出部１３の各々は、複数の円錐形状の電子源１３１の各々から、電子を放出させるための電界を発生するゲート電極とを有している。これにより、長方形状になるように複数の円錐形状の電子源１３１の各々を並べることにより、複数の円錐形状の電子源１３１の各々を正方形に並べた場合と比較して、短辺方向において複数の電子放出部１３を多く並べることができる。この結果、複数の他の電子放出部１３の各々から別個に放出された複数の電子線９ｂの各々のターゲット１５ｂ上の複数の焦点位置９４同士の距離９６ｂの設定の自由度を確保することができる。
【0072】
また、第１実施形態では、上記のように、ターゲット１５ｂは、集束部１４とターゲット１５ｂとが並ぶ方向に延びる回転中心軸線９２回りに回転するように構成されている。撮影制御部８は、ターゲット１５ｂを回転させながら、照射パターンに基づいて、複数の一の電子放出部１３、および、複数の他の電子放出部１３の少なくともいずれかから電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。これにより、長方形状になるように並べられた複数の円錐形状の電子源１３１の各々から放出された電子線９ｂは、複数の円錐形状の電子源１３１の各々を正方形に並べた場合と比較して、ターゲット１５ｂ上での回転方向における幅が小さくなるので、電子線９ｂが再度照射される回転方向における傾斜面１５１ｂ上の距離を確保することができる。この結果、電子線９ｂが再度照射されるまでの時間においてターゲット１５ｂの温度を下げることができるので、ターゲット１５ｂの溶融を抑制することができる。
【0073】
また、第１実施形態では、上記のように、Ｘ線管１は、ターゲット１５ｂから照射されたＸ線９ａが通過するＸ線透過窓１６を含んでいる。傾斜面１５１ｂ上の複数の焦点位置９４は、被写体９０側から見て、Ｘ線透過窓１６内に収まるように設けられている。これにより、焦点位置９４から照射される最も強度の高いＸ線９ａを確実に被写体９０に照射することができるので、被写体９０に当たるＸ線９ａの強度を確保することができる。
【0074】
また、第１実施形態では、上記のように、集束部１４は、Ｘ方向（第１方向）およびＺ方向（第２方向）の各々に直線状に並ぶ複数の電子放出部１３のうちのＸ方向（第１方向）として傾斜面１５１ｂから被写体９０に向かうＸ線９ａのＸ１方向（照射方向）に並ぶ複数の一の電子放出部１３のそれぞれに対向するように配置された複数のレンズ部１４１を有している。これにより、複数の電子放出部１３の各々から放出される電子線９ｂを１つのレンズ部１４１で複数の焦点位置９４に集束させる場合と比較して、個別に複数の焦点位置９４に集束させているので、傾斜面１５１ｂ上での電子線９ｂの収差の発生を抑制することができる。
【0075】
［第２実施形態］
図１６～図２１を参照して、第２実施形態によるＸ線撮影装置２００の構成について説明する。第２実施形態では、Ｘ線撮影装置２００において、寸法がさらに大きい被写体９０に合わせて、基板２１２のＹ２方向側の表面上に複数の電子放出部１３が形成されている。なお、第２実施形態では、第１実施形態と同じ構成については、詳細な説明を省略する。
図１６～図２１を参照して、第２実施形態によるＸ線撮影装置２００の構成について説明する。第２実施形態では、Ｘ線撮影装置２００において、寸法がさらに大きい被写体９０に合わせて、基板２１２のＹ２方向側の表面上に複数の電子放出部１３が形成されている。なお、第２実施形態では、第１実施形態と同じ構成については、詳細な説明を省略する。
【0076】
【0077】
図１６に示すように、Ｘ線撮影装置２００は、被写体９０のＣＴ画像を撮影する装置である。Ｘ線撮影装置２００は、Ｘ線管２０１と、検出器２と、被写体設置部３と、回転機構４と、主制御部５と、表示部６と、入力部７と、撮影制御部８とを備えている。なお、撮影制御部８は、特許請求の範囲の「制御部」の一例である。
【0078】
ここで、Ｘ線管１と検出器２とが並ぶ方向をＸ方向とし、Ｘ方向のうちの検出器２側をＸ１方向とし、Ｘ方向のうちのＸ線管１側をＸ２方向とする。上下方向をＺ方向とし、Ｚ方向のうちの上方向をＺ１方向とし、Ｚ方向のうちの下方向をＺ２方向とする。Ｘ方向およびＺ方向は、直交している。Ｘ方向およびＺ方向に直交する方向をＹ方向とし、Ｙ方向のうちの一方をＹ１方向とし、Ｙ方向のうちの他方向をＹ２方向とする。なお、Ｘ方向は、特許請求の範囲の「第１方向」の一例である。また、Ｚ方向は、特許請求の範囲の「第２方向」の一例である。また、Ｘ１方向は、特許請求の範囲の「照射方向」の一例である。
【0079】
（Ｘ線管の構成）
図１７に示すように、Ｘ線管２０１は、真空容器１１（図２を参照）と、基板２１２と、複数の電子放出部１３と、集束部（図示せず）と、回転ターゲット１５（図２を参照）と、Ｘ線透過窓１６（図２を参照）と、コリメータ１７（図２を参照）とを含んでいる。
図１７に示すように、Ｘ線管２０１は、真空容器１１（図２を参照）と、基板２１２と、複数の電子放出部１３と、集束部（図示せず）と、回転ターゲット１５（図２を参照）と、Ｘ線透過窓１６（図２を参照）と、コリメータ１７（図２を参照）とを含んでいる。
【0080】
基板２１２のＹ２方向側の表面上には、複数（４０個）の電子放出部１３が形成されている。なお、電子放出部１３は、Ｚ方向において、２つ～４つ、または、６つ以上、基板２１２の表面上に形成されてもよい。また、電子放出部１３は、Ｘ方向において、２つ～７つ、または、９つ以上、基板２１２の表面上に形成されてもよい。
【0081】
（撮影制御部の詳細な構成）
図１７に示すように、第２実施形態の撮影制御部８は、複数の電子放出部１３の一部から電子線９ｂを放出させることにより、被写体９０の寸法に応じて、被写体９０から（Ｘ１方向側から）見て、複数の電子線９ｂの各々の傾斜面１５１ｂ上の複数の焦点位置９４同士の距離（図８の距離９５ｂおよび図９の距離９６ｂ）が異なるようにＸ線９ａを照射する制御を行うように構成されている。すなわち、撮影制御部８は、ターゲット１５ｂを回転させながら、Ｘ線管２０１から送信される照射制御情報に含まれる照射パターンに基づいて、Ｘ方向に並んだ複数の一の電子放出部１３、および、Ｚ方向に並んだ複数の他の電子放出部１３の少なくともいずれかから電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。
図１７に示すように、第２実施形態の撮影制御部８は、複数の電子放出部１３の一部から電子線９ｂを放出させることにより、被写体９０の寸法に応じて、被写体９０から（Ｘ１方向側から）見て、複数の電子線９ｂの各々の傾斜面１５１ｂ上の複数の焦点位置９４同士の距離（図８の距離９５ｂおよび図９の距離９６ｂ）が異なるようにＸ線９ａを照射する制御を行うように構成されている。すなわち、撮影制御部８は、ターゲット１５ｂを回転させながら、Ｘ線管２０１から送信される照射制御情報に含まれる照射パターンに基づいて、Ｘ方向に並んだ複数の一の電子放出部１３、および、Ｚ方向に並んだ複数の他の電子放出部１３の少なくともいずれかから電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。
【0082】
【0083】
〈大きい被写体の場合〉
図１８および図１９では、被写体９０の寸法が大きい場合の照射パターンを示している。この場合、撮影制御部８は、被写体９０として寸法が大きい大検査対象に応じた照射パターンの場合、複数の他の電子放出部１３、および、複数の一の電子放出部１３のうちの少なくとも１つおきに配置された一の電子放出部１３ごとに、の両方により電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。
図１８および図１９では、被写体９０の寸法が大きい場合の照射パターンを示している。この場合、撮影制御部８は、被写体９０として寸法が大きい大検査対象に応じた照射パターンの場合、複数の他の電子放出部１３、および、複数の一の電子放出部１３のうちの少なくとも１つおきに配置された一の電子放出部１３ごとに、の両方により電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。
【0084】
図１９に示す一例では、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、１番目（図１９では１で示す）の他の電子放出部１３ａから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、検出信号を検出器２から取得するように構成されている。
【0085】
次に、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、２番目に（図１９では２で示す）１番目の他の電子放出部１３ａに対して、Ｚ１方向側の隣の列であり、かつ、Ｘ２方向側の端部の一の電子放出部１３ｂから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、検出信号を検出器２から取得するように構成されている。また、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、３番目に（図１９では３で示す）、２番目の一の電子放出部１３ｂと同じ列であり、かつ、１番目の他の電子放出部１３に隣り合う他の電子放出部１３ｃから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、検出信号を検出器２から取得するように構成されている。
【0086】
また、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、４番目に（図１９では４で示す）、３番目の他の電子放出部１３ｃと同じ列であり、かつ、３番目の他の電子放出部１３ｃに対してＸ１方向側に２つ分離れた位置に配置された一の電子放出部１３ｄから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、検出信号を検出器２から取得するように構成されている。
【0087】
また、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、５番目に（図１９では５で示す）、３番目の他の電子放出部１３ｃと隣り合う５番目の他の電子放出部１３ｅから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、検出信号を検出器２から取得するように構成されている。
【0088】
〈特大の被写体の場合〉
図２０および図２１では、被写体９０の寸法が特大の場合の照射パターンを示している。この場合、撮影制御部８は、被写体９０として寸法が特大の大検査対象に応じた照射パターンの場合、複数の他の電子放出部１３、および、複数の一の電子放出部１３のうちの少なくとも１つおきに配置された一の電子放出部１３ごとに、の両方により電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。
図２０および図２１では、被写体９０の寸法が特大の場合の照射パターンを示している。この場合、撮影制御部８は、被写体９０として寸法が特大の大検査対象に応じた照射パターンの場合、複数の他の電子放出部１３、および、複数の一の電子放出部１３のうちの少なくとも１つおきに配置された一の電子放出部１３ごとに、の両方により電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている。
【0089】
図２１に示す一例では、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、１番目（図２１では１で示す）の他の電子放出部１３ａから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、検出信号を検出器２から取得するように構成されている。
【0090】
次に、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、２番目に（図２１では２で示す）１番目の他の電子放出部１３ａに対して１つ分離れた位置に配置された他の電子放出部１３ｂから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、検出信号を検出器２から取得するように構成されている。また、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、３番目に（図２１では３で示す）、２番目の一の電子放出部１３ｂと同じ列のＸ１方向側の端部の一の電子放出部１３ｃから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、検出信号を検出器２から取得するように構成されている。
【0091】
また、撮影制御部８は、被写体９０を回転させながら、４番目に（図２１では４で示す）、２番目の他の電子放出部１３ｂに対して１つ分離れた位置に配置された他の電子放出部１３ｄから電子線９ｂを放出させて傾斜面１５１ｂにおいてＸ線９ａを発生させる制御を行うように構成されている。この際、画像処理部５ｃは、検出信号を検出器２から取得するように構成されている。
【0092】
なお、第２実施形態のその他の構成は、第１実施形態と同様の構成を有しているので、説明を省略する。
【0093】
（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【0094】
第２実施形態では、第１実施形態と同様に、Ｘ線撮影装置２００は、複数の電子放出部１３の一部から電子線９ｂを放出させることにより、被写体９０の寸法に応じて、被写体９０側から見て、複数の電子線９ｂの各々の傾斜面１５１ｂ上の複数の焦点位置９４同士の距離９５ｂ（および距離９６ｂ）が異なるようにＸ線９ａを照射させる撮影制御部８を備えている。これにより、被写体９０の画像を確実に取得することができるとともに、再構成した画像において被写体９０が不鮮明になるのを抑制することができる。なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態の効果と同様であるので、説明を省略する。
【0095】
［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【0096】
たとえば、上記第１および第２実施形態では、複数の電子放出部１３の各々は、Ｙ１方向側から見て、マトリクス状に配置されている例を示したが本発明はこれに限られない。本発明では、図２２に示す変形例に示すように、複数の電子放出部１３の各々は、Ｙ１方向側から見て、十字状に配置されていてもよい。
【0097】
また、上記第１および第２実施形態では、回転ターゲット１５は、回転駆動機構１５ａ（図２を参照）と、ターゲット１５ｂとを有している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ターゲットは、回転しなくてもよい。
【0098】
また、上記第１および第２実施形態では、Ｘ線撮影装置１００（２００）は、たとえば、非破壊検査に用いられる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、Ｘ線撮影装置は、たとえば、非破壊検査以外の用途に用いられてもよい。
【0099】
また、第１および第２実施形態では、上記のように、複数の電子放出部１３の各々は、ターゲット１５ｂ側から見て、Ｘ１方向（照射方向）を長手方向とする長方形状になるように並べられた複数の円錐形状の電子源１３１を有している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、複数の電子放出部の各々は、ターゲット側から見て、照射方向を長手方向とする楕円形状になるように並べられてもよい。この場合、集束部のレンズ部の形状は円形状であるので、複数の電子放出部の各々から放出された電子線の集束しやすくすることができる。
【0100】
［態様］
上記した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
上記した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
【0101】
（項目１）
電子線９ｂを放出するための複数の電子源１３１を各々が有し、基板１２（２１２）上において第１方向（Ｘ方向）および第１方向（Ｘ方向）に直交する第２方向（Ｚ方向）の各々に直線状に並ぶ複数の電子放出部１３と、前記複数の電子放出部１３の各々から別個に放出される複数の電子線９ｂを集束させる集束部１４と、前記集束部１４により別個の複数の焦点位置９４に集束させた前記複数の電子線９ｂの各々により発生されたＸ線９ａを被写体９０に向けて照射するように傾斜した傾斜面１５１ｂを有するターゲット１５ｂとを含むＸ線管１と、
前記Ｘ線管１から照射されて前記被写体９０を透過したＸ線９ａを検出する検出器２と、
前記検出器２から出力される検出信号に基づいて画像を生成する画像処理部５ｃと、
前記複数の電子放出部１３の一部から電子線９ｂを放出させることにより、前記被写体９０の寸法に応じて、前記被写体９０側から見て、前記複数の電子線９ｂの各々の前記傾斜面１５１ｂ上の前記複数の焦点位置９４同士の距離９５ｂ（および距離９６ｂ）が異なるようにＸ線９ａを照射させる制御部（撮影制御部８）とを備える、Ｘ線撮影装置１００（２００）。
電子線９ｂを放出するための複数の電子源１３１を各々が有し、基板１２（２１２）上において第１方向（Ｘ方向）および第１方向（Ｘ方向）に直交する第２方向（Ｚ方向）の各々に直線状に並ぶ複数の電子放出部１３と、前記複数の電子放出部１３の各々から別個に放出される複数の電子線９ｂを集束させる集束部１４と、前記集束部１４により別個の複数の焦点位置９４に集束させた前記複数の電子線９ｂの各々により発生されたＸ線９ａを被写体９０に向けて照射するように傾斜した傾斜面１５１ｂを有するターゲット１５ｂとを含むＸ線管１と、
前記Ｘ線管１から照射されて前記被写体９０を透過したＸ線９ａを検出する検出器２と、
前記検出器２から出力される検出信号に基づいて画像を生成する画像処理部５ｃと、
前記複数の電子放出部１３の一部から電子線９ｂを放出させることにより、前記被写体９０の寸法に応じて、前記被写体９０側から見て、前記複数の電子線９ｂの各々の前記傾斜面１５１ｂ上の前記複数の焦点位置９４同士の距離９５ｂ（および距離９６ｂ）が異なるようにＸ線９ａを照射させる制御部（撮影制御部８）とを備える、Ｘ線撮影装置１００（２００）。
【0102】
（項目２）
前記制御部（撮影制御部８）は、前記被写体９０の寸法に応じた前記複数の電子放出部１３の各々の照射パターンに基づいて、第１方向（Ｘ方向）および第２方向（Ｚ方向）の各々に直線状に並ぶ前記複数の電子放出部１３の一部として、第１方向（Ｘ方向）として前記傾斜面１５１ｂから前記被写体９０に向かうＸ線９ａの照射方向（Ｘ１方向）に直線状に並ぶ複数の一の電子放出部１３、および、第２方向（Ｚ方向）として前記照射方向（Ｘ１方向）に直交する方向に直線状に並ぶ複数の他の電子放出部１３の少なくともいずれかから電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている、項目１に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
前記制御部（撮影制御部８）は、前記被写体９０の寸法に応じた前記複数の電子放出部１３の各々の照射パターンに基づいて、第１方向（Ｘ方向）および第２方向（Ｚ方向）の各々に直線状に並ぶ前記複数の電子放出部１３の一部として、第１方向（Ｘ方向）として前記傾斜面１５１ｂから前記被写体９０に向かうＸ線９ａの照射方向（Ｘ１方向）に直線状に並ぶ複数の一の電子放出部１３、および、第２方向（Ｚ方向）として前記照射方向（Ｘ１方向）に直交する方向に直線状に並ぶ複数の他の電子放出部１３の少なくともいずれかから電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている、項目１に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
【0103】
（項目３）
前記制御部（撮影制御部８）は、前記被写体９０として寸法が小さい小検査対象に応じた前記照射パターンの場合、隣り合う前記複数の一の電子放出部１３から、電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている、項目２に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
前記制御部（撮影制御部８）は、前記被写体９０として寸法が小さい小検査対象に応じた前記照射パターンの場合、隣り合う前記複数の一の電子放出部１３から、電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている、項目２に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
【0104】
（項目４）
前記制御部（撮影制御部８）は、前記被写体９０として寸法が大きい大検査対象に応じた前記照射パターンの場合、前記複数の他の電子放出部１３、および、前記複数の一の電子放出部１３のうちの少なくとも１つおきに配置された一の電子放出部１３ごとに、の少なくともいずれかにより電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている、項目２に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
前記制御部（撮影制御部８）は、前記被写体９０として寸法が大きい大検査対象に応じた前記照射パターンの場合、前記複数の他の電子放出部１３、および、前記複数の一の電子放出部１３のうちの少なくとも１つおきに配置された一の電子放出部１３ごとに、の少なくともいずれかにより電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている、項目２に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
【0105】
（項目５）
前記複数の電子放出部１３の各々は、
前記ターゲット１５ｂ側から見て、前記照射方向（Ｘ１方向）を長手方向とする長方形状または楕円形状になるように並べられた複数の円錐形状の電子源１３１と、
前記複数の円錐形状の電子源１３１の各々から、電子を放出させるための電界を発生するゲート電極とを有する、項目２に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
前記複数の電子放出部１３の各々は、
前記ターゲット１５ｂ側から見て、前記照射方向（Ｘ１方向）を長手方向とする長方形状または楕円形状になるように並べられた複数の円錐形状の電子源１３１と、
前記複数の円錐形状の電子源１３１の各々から、電子を放出させるための電界を発生するゲート電極とを有する、項目２に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
【0106】
（項目６）
前記ターゲット１５ｂは、前記集束部１４と前記ターゲット１５ｂが並ぶ方向に延びる回転中心軸線９２回りに回転するように構成されており、
前記制御部（撮影制御部８）は、前記ターゲット１５ｂを回転させながら、前記照射パターンに基づいて、前記複数の一の電子放出部１３、および、前記複数の他の電子放出部１３の少なくともいずれかから電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている、項目５に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
前記ターゲット１５ｂは、前記集束部１４と前記ターゲット１５ｂが並ぶ方向に延びる回転中心軸線９２回りに回転するように構成されており、
前記制御部（撮影制御部８）は、前記ターゲット１５ｂを回転させながら、前記照射パターンに基づいて、前記複数の一の電子放出部１３、および、前記複数の他の電子放出部１３の少なくともいずれかから電子線９ｂを放出させる制御を行うように構成されている、項目５に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
【0107】
（項目７）
前記Ｘ線管１は、前記ターゲット１５ｂから照射されたＸ線９ａが通過するＸ線透過窓１６をさらに含み、
前記傾斜面１５１ｂ上の前記複数の焦点位置９４は、前記被写体９０側から見て、前記Ｘ線透過窓１６内に収まるように設けられている、項目１に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
前記Ｘ線管１は、前記ターゲット１５ｂから照射されたＸ線９ａが通過するＸ線透過窓１６をさらに含み、
前記傾斜面１５１ｂ上の前記複数の焦点位置９４は、前記被写体９０側から見て、前記Ｘ線透過窓１６内に収まるように設けられている、項目１に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
【0108】
（項目８）
前記集束部１４は、第１方向（Ｘ方向）および第２方向（Ｚ方向）の各々に直線状に並ぶ前記複数の電子放出部１３のうちの第１方向（Ｘ方向）として前記傾斜面１５１ｂから前記被写体９０に向かうＸ線９ａの照射方向（Ｘ１方向）に並ぶ複数の一の電子放出部１３のそれぞれに対向するように配置された複数のレンズ部１４１を有する、項目１に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
前記集束部１４は、第１方向（Ｘ方向）および第２方向（Ｚ方向）の各々に直線状に並ぶ前記複数の電子放出部１３のうちの第１方向（Ｘ方向）として前記傾斜面１５１ｂから前記被写体９０に向かうＸ線９ａの照射方向（Ｘ１方向）に並ぶ複数の一の電子放出部１３のそれぞれに対向するように配置された複数のレンズ部１４１を有する、項目１に記載のＸ線撮影装置１００（２００）。
【符号の説明】
【0109】
１、２０１ Ｘ線管
２ 検出器
５ｃ 画像処理部
８ 撮影制御部（制御部）
９ａ Ｘ線
９ｂ 電子線
１２、２１２ 基板
１３ 電子放出部
１４ 集束部
１５ｂ ターゲット
１６ Ｘ線透過窓
９０ 被写体
９２ 回転中心軸線
９４ 焦点位置
９５ｂ 距離
９６ｂ 距離
１００、２００ Ｘ線撮影装置
１３１ 電子源
１４１ レンズ部
１５１ｂ 傾斜面
２ 検出器
５ｃ 画像処理部
８ 撮影制御部（制御部）
９ａ Ｘ線
９ｂ 電子線
１２、２１２ 基板
１３ 電子放出部
１４ 集束部
１５ｂ ターゲット
１６ Ｘ線透過窓
９０ 被写体
９２ 回転中心軸線
９４ 焦点位置
９５ｂ 距離
９６ｂ 距離
１００、２００ Ｘ線撮影装置
１３１ 電子源
１４１ レンズ部
１５１ｂ 傾斜面
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】