特開 2024-171979 ダンパー部材の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024171979

(43)【公開日】2024-12-12

(54)【発明の名称】ダンパー部材の製造方法

(51)【国際特許分類】

   F16F 1/36 20060101AFI20241205BHJP

   B06B 1/04 20060101ALI20241205BHJP

   F16F 15/04 20060101ALI20241205BHJP

   G06F 3/01 20060101ALN20241205BHJP

【ＦＩ】

F16F1/36 B

B06B1/04 S

F16F15/04 Z

G06F3/01 560

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023089370

(22)【出願日】2023-05-31

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(74)【代理人】

【識別番号】100196140

【弁理士】

【氏名又は名称】岩垂 裕司

(72)【発明者】

【氏名】巣山 宏人

【テーマコード（参考）】

3J048

3J059

5D107

5E555

【Ｆターム（参考）】

3J048AA06

3J048AD16

3J048BD08

3J048DA03

3J048EA08

3J059AD04

3J059BA64

3J059BC07

3J059BD01

3J059CB09

3J059EA03

5D107CC09

5D107CC10

5D107FF10

5E555AA08

5E555BA01

5E555BA20

5E555BB01

5E555BB20

5E555BC04

5E555DA24

5E555DD06

5E555FA00

(57)【要約】

【課題】アクチュエータのダンパー部材を製造するために使用できる粘弾性体およびシートの種類の選択の自由度を高める。
【解決手段】アクチュエータ１の支持体２と可動体６とを接続するダンパー部材９は、粘弾性体９０の一方面に第１シート９１を接合し、他方面に第２シート９２を接合した部材である。ダンパー部材９の製造方法は、第１シート９１と第２シート９２との間に、充填口９８５を残して第１シート９１と第２シート９２との間の空隙９８８の周りを囲む枠状のスペーサ９８を介在させる組立工程ＳＴ１と、充填口９８５から空隙９８８に成形材料９５を充填する充填工程ＳＴ２と、成形材料９５を硬化させる硬化工程ＳＴ３と、を行う。充填工程ＳＴ２を行う間、スペーサ９８に設けられた第１電極Ｅ１と第２電極Ｅ２によって第１シート９１および第２シート９２に電圧を印加する。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

支持体と可動体とを接続するダンパー部材の製造方法であって、
前記ダンパー部材は、粘弾性体と、前記粘弾性体の一方面に接合されるとともに前記支持体と前記可動体の一方に接続される第１シートと、前記粘弾性体の他方面に接合されるとともに前記支持体と前記可動体の他方に接続される第２シートと、を備え、
前記第１シートと前記第２シートとの間に、充填口を残して前記第１シートと前記第２シートとの間の空隙の周りを囲む枠状のスペーサを介在させる組立工程と、
前記充填口から前記空隙に前記粘弾性体を成形するための成形材料を充填する充填工程と、
前記成形材料を硬化させる硬化工程と、を行い、
前記充填工程を行う間、前記第１シートの一端部および前記第２シートの一端部に接触する第１電極と、前記第１シートの他端部および前記第２シートの他端部に接触し且つ前記第１電極と絶縁された第２電極との間に電圧を印加することを特徴とするダンパー部材の製造方法。

【請求項2】

前記硬化工程を行う間、前記第１電極と前記第２電極との間に電圧を印加することを特徴とする請求項１に記載のダンパー部材の製造方法。

【請求項3】

前記第１電極および前記第２電極は、前記スペーサに設けられていることを特徴とする請求項１に記載のダンパー部材の製造方法。

【請求項4】

前記スペーサは、前記第１シートおよび前記第２シートに沿う方向で前記空隙を挟んで対向する第１枠部および第２枠部と、前記第１枠部と前記第２枠部の端部同士を接続する第３枠部と、を備え、
前記第１枠部に前記第１電極が設けられ、
前記第２枠部に前記第２電極が設けられ、
前記第３枠部は、絶縁体からなることを特徴とする請求項３に記載のダンパー部材の製造方法。

【請求項5】

前記組立工程では、表面に前記第１シートを配置した第１型部材と、表面に前記第２シートを配置した第２型部材との間に前記スペーサを挟むことを特徴とする請求項１に記載のダンパー部材の製造方法。

【請求項6】

前記成形材料の硬化後に、前記第１型部材、前記第２型部材、および前記スペーサを取り外す離型工程と、前記第１シートおよび前記第２シートごと前記粘弾性体を切断する切断工程と、を行うことを特徴とする請求項５に記載のダンパー部材の製造方法。

【請求項7】

前記粘弾性体は、シリコーンゴムからなることを特徴とする請求項１に記載のダンパー部材の製造方法。

【請求項8】

支持体と可動体とを接続するダンパー部材の製造方法であって、
前記ダンパー部材は、粘弾性体と、前記粘弾性体の一方面に接合されるとともに前記支持体と前記可動体の一方に接続される第１シートと、を備え、
前記第１シートを内面に配置した成形型を組み立てる組立工程と、
前記成形型に前記粘弾性体を成形するための成形材料を充填する充填工程と、
前記成形材料を硬化させる硬化工程と、を行い、
前記充填工程および前記硬化工程の少なくとも一部を行う間、前記第１シートの一端部に接触する第１電極と、前記第１シートの他端部に接触し且つ前記第１電極と絶縁された第２電極との間に電圧を印加することを特徴とするダンパー部材の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、可動体を支持体に接続するダンパー部材の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、磁気駆動機構によって振動を発生させる機器として、コイルが配置される支持体と、永久磁石が配置される可動体とをダンパー部材を介して接続したアクチュエータが記載される。ダンパー部材としては、シリコーンゲルなどの粘弾性体が使用される。シリコーンゲルは、それ自身が吸着性を有するため、取り扱いが難しい。そこで、特許文献１には、シリコーンゲルの表面に薄いシートを接合したものを製造し、シートを介して粘弾性体を可動体および支持体に接続する構成が記載される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－４５９９６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１では、ダンパー部材の表面に配置するシートとシリコーンゲルなどの粘弾性体とをプライマーを介して接着する。そのため、使用できるシートおよび粘弾性体は、プライマーを介して接着できる材質のものに限定され、使用できるシートおよび粘弾性体の種類が限定されるという問題がある。

【0005】

以上の問題点に鑑みて、本発明は、ダンパー部材を製造するために使用できる粘弾性体およびシートの種類の選択の自由度を高めることにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、本発明は、支持体と可動体とを接続するダンパー部材の製造方法であって、前記ダンパー部材は、粘弾性体と、前記粘弾性体の一方面に接合されるとともに前記支持体と前記可動体の一方に接続される第１シートと、前記粘弾性体の他方面に接合されるとともに前記支持体と前記可動体の他方に接続される第２シートと、を備え、前記第１シートと前記第２シートとの間に、充填口を残して前記第１シートと前記第２シートとの間の空隙の周りを囲む枠状のスペーサを介在させる組立工程と、前記充填口から前記空隙に前記粘弾性体を成形するための成形材料を充填する充填工程と、前記成形材料を硬化させる硬化工程と、を行い、前記充填工程を行う間、前記第１シートの一端部および前記第２シートの一端部に接触する第１電極と、前記第１シートの他端部および前記第２シートの他端部に接触し且つ前記第１電極と絶縁された第２電極との間に電圧を印加することを特徴とする。

【0007】

本発明によれば、２枚のシートの間に成形材料を充填し、硬化させることにより、粘弾性体の両面にシートが接合されたダンパー部材を製造する。その際、２枚のシートを互いに絶縁された一対の電極に接触させて電極間に電圧を印加させる。このようにすると、シートに印加された電圧によってシートの表面に極性基（－ＣＯＯＨ、－ＮＨなど）が発生する。極性基は、成形材料に含まれる反応基（－ＯＨなど）と反応して化学結合を形成するので、シートにプライマーを塗布しなくても、硬化した粘弾性体とシートとが直接接合されて粘弾性体からシートが剥がれなくなる。従って、プライマーが不要であり、シートと粘弾性体の種類をプライマーと相性の良い種類のものに限定する必要がない。よって、ダンパー部材を製造するために使用できる粘弾性体およびシートの種類の選択の自由度を
高めることができる。

【0008】

本発明において、前記硬化工程を行う間、前記第１電極と前記第２電極との間に電圧を印加することが好ましい。このように、充填工程だけでなく硬化工程の間も電圧を印加することにより、シートの表面における極性基の形成、および、反応基と極性基との化学結合を硬化工程の間も促進できる。従って、極性基の形成が不足して粘弾性体とシートとの接合強度が不足することを回避できる。

【0009】

本発明において、前記第１電極および前記第２電極は、前記スペーサに設けられていることが好ましい。例えば、前記スペーサは、前記第１シートおよび前記第２シートに沿う方向で前記空隙を挟んで対向する第１枠部および第２枠部と、前記第１枠部と前記第２枠部の端部同士を接続する第３枠部と、を備え、前記第１枠部に前記第１電極が設けられ、前記第２枠部に前記第２電極が設けられ、前記第３枠部は、絶縁体からなることが好ましい。このように、成形用の型部材として使用されるスペーサに電極を設けることにより、シートに接する電極を容易に設置することができる。また、成形用の空隙を挟んで対向するように電極を設置することができ、成形材料に接するシート全体に電圧を印加することができる。従って、粘弾性体の表面の大部分にシートを剥がれないように接合することができる。

【0010】

本発明において、前記組立工程では、表面に前記第１シートを配置した第１型部材と、表面に前記第２シートを配置した第２型部材との間に前記スペーサを挟むことが好ましい。このようにすると、可撓性のシートを型部材により支持できるので、決まった寸法の空隙を形成することができる。従って、粘弾性体を決まった厚さに成形して、その表面に薄いシートを接合したダンパー部材を製造できる。

【0011】

本発明において、前記成形材料の硬化後に、前記第１型部材、前記第２型部材、および前記スペーサを取り外す離型工程と、前記第１シートおよび前記第２シートごと前記粘弾性体を切断する切断工程と、を行うことが好ましい。このように、大型のシートの間に粘弾性体を成形した後に切断することにより、多数のダンパー部材を効率的に製造することができる。

【0012】

本発明において、前記粘弾性体は、シリコーンゴムからなることが好ましい。シリコーンゴムは反応基を備えた成形材料（ゴム材料）から成形されるので、極性基が形成されたシートに直接接合することができる。また、シリコーンゴムは、ダンパー部材として用いた場合に共振を抑制するために適した特性を備えている。

【0013】

本発明の別態様は、支持体と可動体とを接続するダンパー部材の製造方法であって、前記ダンパー部材は、粘弾性体と、前記粘弾性体の一方面に接合されるとともに前記支持体と前記可動体の一方に接続される第１シートと、を備え、前記第１シートを内面に配置した成形型を組み立てる組立工程と、前記成形型に前記粘弾性体を成形するための成形材料を充填する充填工程と、前記成形材料を硬化させる硬化工程と、を行い、前記充填工程および前記硬化工程の少なくとも一部を行う間、前記第１シートの一端部に接触する第１電極と、前記第１シートの他端部に接触し且つ前記第１電極と絶縁された第２電極との間に電圧を印加することを特徴とする。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、成形時に成形材料に接するシートを互いに絶縁された一対の電極に接触させて電極間に電圧を印加させる。このようにすると、シートに印加された電圧によってシートの表面に極性基（－ＣＯＯＨ、－ＮＨなど）が発生する。極性基は、成形材料に含まれる反応基（－ＯＨ）と反応して化学結合を形成するので、シートにプライマーを塗
布しなくても、硬化した粘弾性体とシートとが直接接合されて粘弾性体からシートが剥がれなくなる。従って、プライマーが不要であり、シートと粘弾性体の種類をプライマーと相性の良い種類のものに限定する必要がない。よって、ダンパー部材を製造するために使用できる粘弾性体およびシートの種類の選択の自由度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】アクチュエータの外観斜視図である。

【図2】アクチュエータのＹＺ断面図である。

【図3】アクチュエータの分解斜視図である。

【図4】ケースを取り外したアクチュエータの分解斜視図である。

【図5】ケースを取り外した支持体の分解斜視図である。

【図6】ダンパー部材の斜視図である。

【図7】ダンパー部材の製造装置の説明図である。

【図8】ダンパー部材の製造工程の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係るダンパー部材の製造方法を説明する。

【0017】

（アクチュエータ）
図１～図５を参照して、ダンパー部材９を備えたアクチュエータ１の構成を説明する。図１は、アクチュエータ１の外観斜視図である。図２は、アクチュエータ１のＹＺ断面図である。図３は、アクチュエータ１の分解斜視図である。図４は、ケース３を取り外したアクチュエータ１の分解斜視図である。図５は、ケース３を取り外した支持体２の分解斜視図である。アクチュエータ１は、ケース３を備える支持体２と、可動体６と、支持体２と可動体６とを接続するダンパー部材９と、磁気駆動機構１０とを備える。可動体６は、ダンパー部材９を介して支持体２に支持される。

【0018】

本明細書において、第１方向Ｚ、第２方向Ｘ、第３方向Ｙの３方向は互いに直交する方向である。第２方向Ｘは、可動体６の移動方向（振動方向）と一致する。第２方向Ｘの一方側をＸ１方向とし、第２方向Ｘの他方側をＸ２方向とし、第１方向Ｚの一方側をＺ１方向とし、第１方向Ｚの他方側をＺ２方向とし、第３方向Ｙの一方側をＹ１方向とし、第３方向Ｙの他方側をＹ２方向とする。

【0019】

図１に示すように、アクチュエータ１は、第３方向Ｙに長手方向を向けた直方体形状である。図２に示すように、可動体６は、ケース３の内部に収容され、支持体２に対して第２方向Ｘに振動する。アクチュエータ１を手にした利用者は、ダンパー部材９および支持体２を介して可動体６の振動に対応する反力を受ける。従って、アクチュエータ１は、可動体６を振動させることによって情報を出力することができ、利用者に新たな感覚を体感させることができる。アクチュエータ１は、例えば、ゲーム機の操作部材等として利用される。

【0020】

支持体２は、ケース３、コイルホルダ４、コイル５、および給電基板１１を備える。図５に示すように、コイル５は、長円形の空芯コイルであり、コイルホルダ４に形成されたコイル配置孔４１０に保持される。図１および図３に示すように、支持体２において、ケース３は、コイルホルダ４にＺ１方向から重なる第１ケース部材３１と、コイルホルダ４にＺ２方向から重なる第２ケース部材３２を備える。第１ケース部材３１の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３１１に、第２ケース部材３２の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３２１が各々、連結されてケース３を構成する。

【0021】

図２に示すように、可動体６は、コイル５に対してＺ１方向に位置する磁性板からなる
第１ヨーク８１と、第１ヨーク８１のＺ２方向の面に保持された平板状の第１永久磁石７１とを備える。また、可動体６は、コイル５に対してＺ２方向に位置する磁性板からなる第２ヨーク８２と、第２ヨーク８２のＺ１方向の面に保持された平板状の第２永久磁石７２とを備える。

【0022】

図３および図４に示すように、第１ヨーク８１は、第１永久磁石７１が固定された平板部８１１と、平板部８１１の第２方向Ｘの両端からＺ２方向に折れ曲がった一対の連結部８１２を備える。一対の連結部８１２は、コイル５が保持されるコイルホルダ４の板部４１の第２方向Ｘの両側において第１方向Ｚに延びる。第２ヨーク８２は、第２永久磁石７２が固定された平板部８２１と、平板部８２１の第３方向Ｙの中間部分から第２方向Ｘの両側に張り出した一対の張り出し部８２２を備える。一対の張り出し部８２２には、第１ヨーク８１の一対の連結部８１２が溶接等の方法で連結される。

【0023】

支持体２に配置されるコイル５および可動体６に配置される永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）は、可動体６を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動機構１０を構成する。なお、本形態のアクチュエータ１は、上記のようにコイル５が支持体２に配置され、永久磁石が可動体６に配置されるが、コイル５と永久磁石の配置は逆であってもよい。

【0024】

第１永久磁石７１および第２永久磁石７２は各々、Ｚ１方向の部分とＺ２方向の部分が異なる極に着磁される。図５に示すように、コイル５は、第２方向Ｘで並列して第３方向Ｙに延在する２つの長辺部５１と、２つの長辺部５１の第３方向Ｙの両端を繋ぐ円弧状の２つの短辺部５２とを備える。コイル５の長辺部５１には、Ｚ１方向から第１ヨーク８１に保持された第１永久磁石７１が対向し、Ｚ２方向から第２ヨーク８２に保持された第２永久磁石７２が対向する。従って、磁気駆動機構１０は、可動体６を第２方向Ｘに振動させる駆動力を発生させる。

【0025】

図５に示すように、コイルホルダ４は、コイル配置孔４１０が形成された板部４１を備える。板部４１は、第２方向Ｘの両側の縁における第３方向Ｙの中央部分を第２方向Ｘの中央に向かって切り欠いた一対の切欠き部４２を備える。各切欠き部４２には、ヨークの連結部８１２が配置される（図３参照）。

【0026】

一対の切欠き部４２のＹ１方向において、板部４１のＹ１方向の端部４１１の外周縁からは、第２方向Ｘに延びる側板部４１３と、側板部４１３の両端に接続され第３方向Ｙに延びる側板部４１４、４１５が第１方向Ｚに突出する。また、切欠き部４２のＹ２方向において、板部４１のＹ２方向の端部４１２の外周縁からは、第２方向Ｘに延びる側板部４１７と、側板部４１７の両端に接続され第３方向Ｙに延びる側板部４１８、４１９が第１方向Ｚに突出する。

【0027】

側板部４１４、４１５の内面には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部４１４ｓ、４１５ｓが形成されている。同様に、側板部４１８、４１９の内面には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部４１８ｓ、４１９ｓが形成されている。凹部４１４ｓ、４１５ｓと凹部４１８ｓ、４１９ｓは、それぞれ、板部４１に対してＺ１方向およびＺ２方向に位置する内面にそれぞれ形成されている。

【0028】

給電基板１１は、側板部４１４、４１５のＹ１方向の端部に形成されたスリット４１４ｔ、４１５ｔに第２方向Ｘの両端部が挿入されることにより、コイルホルダ４のＹ１方向の側面に保持される。給電基板１１には、コイル５を構成するコイル線の端部５６、５７（図５参照）がハンダにより接続される。

【0029】

図２、図４、および図５に示すように、支持体２は、コイル５および板部４１にＺ１方向から重なる第１プレート４７と、コイル５および板部４１にＺ２方向から重なる第２プレート４８を備える。コイル５の空芯部５０に充填された接着剤によって、コイル５は、第１プレート４７、第２プレート４８、および板部４１に固定される。第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性材料からなる。例えば、第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性のステンレンス板からなる。従って、永久磁石の磁束は、第１プレート４７および第２プレート４８の影響を受けずに、コイル５と鎖交する。

【0030】

第１プレート４７は、第２方向Ｘの両端からＺ１方向に斜めに突出した爪部４７０を備える。爪部４７０は、側板部４１４、４１５、４１８、４１９に形成された溝状の凹部４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓの内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持される。第２プレート４８は、第２方向Ｘの両端からＺ２方向に斜めに突出した爪部４８０を備える。爪部４８０は、側板部４１４、４１５、４１８、４１９に形成された溝状の凹部４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓの内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持される。

【0031】

（ダンパー部材）
図６は、ダンパー部材９の斜視図である。図２、図６に示すように、ダンパー部材９は、粘弾性体９０と、粘弾性体９０の一方側の面に接合された第１シート９１と、粘弾性体９０の他方側の面に接合された第２シート９２を備える。図２に示すように、ダンパー部材９は、第１シート９１が可動体６に接し、第２シート９２が支持体２に接する。第１シート９１が可動体６に接着され、第２シート９２が支持体２に接着されることにより、ダンパー部材９を介して可動体６と支持体２とが接続される。

【0032】

図２に示すように、本形態では、ダンパー部材９は、第１ヨーク８１と第１プレート４７とが第１方向Ｚで対向する位置に配置される。また、ダンパー部材９は、第２ヨーク８２と第２プレート４８とが第１方向Ｚで対向する位置に配置される。本形態において、ダンパー部材９は、第１方向Ｚを厚さ方向とする平板状であり、厚さ方向の一方側の面に第１シート９１が配置され、厚さ方向の他方側の面に第２シート９２が配置される。ダンパー部材９は、粘弾性体９０が厚さ方向に圧縮された状態で可動体６と支持体２との間に配置される。

【0033】

ここで、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を備えた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性体９０として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。

【0034】

本形態では、粘弾性体９０は、フッ素重合型のシリコーンゴムである。あるいは、粘弾性体９０として、シリコーンゲルなどのゲル状部材を用いてもよい。この場合、例えば、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゴムやシリコーンゲルを用いることができる。針入度とは、ＪＩＳ－Ｋ－２２０７やＪＩＳ－Ｋ－２２２０で規定されているように、２５℃で９．３８ｇの総荷重をかけた１／４コーンの針が５秒間に入り込む深さを１／１０ｍｍ単位で表わした値であり、この値が小さいほど硬いことを意味する。

【0035】

第１シート９１および第２シート９２は、粘弾性体９０より薄いフィルム状のシートであり、可撓性を有する。第１シート９１および第２シート９２は各々、プラスチックシート、金属シート、金属シートとプラスチックシートとの積層シート等からなる。プラスチ
ックシートとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、二軸延伸ポリプロピレン（ＯＰＰ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、アクリル樹脂等からなるシートを用いることができる。

【0036】

第１シート９１および第２シート９２は、後述する化学結合によって粘弾性体９０に接合される。第１シート９１および第２シート９２は、粘弾性体９０と一緒に切断されることにより、可動体６と支持体２とが対向する箇所に配置可能な大きさに切断される。従って、第１シート９１および第２シート９２は、粘弾性体９０とサイズが同一または略同一である。

【0037】

（アクチュエータの動作）
アクチュエータ１において、給電基板１１を介してコイル５に給電すると、コイル５、第１永久磁石７１および第２永久磁石７２を備えた磁気駆動機構１０の駆動力によって、可動体６が第２方向Ｘに往復移動する。アクチュエータ１を手に持つ利用者は、アクチュエータ１からの振動に応じた感覚を体感でき、振動から情報を得ることができる。

【0038】

その際、コイル５に印加される駆動信号の信号波形については、利用者に体感させるべき振動に応じて周波数などを制御する。また、信号波形については極性を反転させるが、その際、極性が負の期間と正の期間とにおいて電圧の変化に対して緩急の差を設けることもできる。例えば、可動体６がＸ１に移動する際の加速度と可動体６が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動する際の加速度とを異ならせる。これにより、Ｘ１方向あるいはＸ２方向に移動するような感覚を利用者に体感させることができる。

【0039】

ダンパー部材９は、支持体２と可動体６とが可動体６の振動方向と直交する第１方向Ｚで対向する位置に配置される。従って、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、粘弾性体９０は、せん断方向に変形して共振を防止する。本形態では、粘弾性体９０は圧縮された状態で可動体６と支持体２との間に介在するので、可動体６の移動に確実に追従する。

【0040】

粘弾性体９０は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性体９０は、その厚さ方向に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい伸縮特性を備える。従って、粘弾性体９０では、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。

【0041】

（ダンパー部材の製造方法）
図７は、ダンパー部材９の製造に用いる製造装置の説明図である。図８は、ダンパー部材９の製造工程の説明図である。なお、ダンパー部材９を製造する際には、アクチュエータ１に組み込まれるサイズで製造することがある他、アクチュエータ１に組み込まれるサイズより大きなサイズで製造し、その後、裁断することもある。以下の説明では、後者の態様（アクチュエータ１に組み込まれるサイズに切断する態様）を説明するが、サイズに係わらず、「ダンパー部材９」「第１シート９１」「第２シート９２」「粘弾性体９０」として説明する。

【0042】

図７および図８に示すように、ダンパー部材９の製造装置は、第１型部材９６、スペーサ９８、および第２型部材９７を備える。第１型部材９６および第２型部材９７は、ガラス板等からなり、平板状である。スペーサ９８は枠状であり、所定の間隔を空けて配置される第１枠部９８１および第２枠部９８２と、第１枠部９８１と第２枠部９８２の端部同士を接続する第３枠部９８３を備える。図７に示す例では、第１枠部９８１と第２枠部９
８２は直線状であり、平行に延びている。第３枠部９８３は、第１枠部９８１および第２枠部９８２と直交する方向に延びている。

【0043】

ダンパー部材９の製造装置は、第１シート９１および第２シート９２の一端に接触する第１電極Ｅ１と、第１シート９１および第２シート９２の他端に接触し且つ第１電極Ｅ１と絶縁された第２電極Ｅ２を備える。第１電極Ｅ１および第２電極Ｅ２は、異なる極の電源端子に接続される。

【0044】

本形態では、スペーサ９８に第１電極Ｅ１および第２電極Ｅ２が設けられている。図７および図８には、第１枠部９８１に第１電極Ｅ１が設けられ、第２枠部９８２に第２電極Ｅ２が設けられ、第３枠部９８３は絶縁部材により構成された例を示す。例えば、第１枠部９８１と第２枠部９８２の各々において第１シート９１に接する部分、および第２シート９２に接する部分が金属などの導電性の材料からなるものとする。

【0045】

ダンパー部材９の製造工程は、図８に示すように、組立工程ＳＴ１、充填工程ＳＴ２、硬化工程ＳＴ３、離型工程ＳＴ４、および切断工程ＳＴ５を含む。まず、組立工程ＳＴ１において、表面９６０に第１シート９１を配置した第１型部材９６と、表面９７０に第２シート９２を配置した第２型部材９７との間にスペーサ９８を挟んだ状態に組み立てる。その際、例えば、第１型部材９６と第１シート９１との間、および第２型部材９７と第２シート９２との間に、揮発性の有機溶剤を介在させる。これにより、有機溶剤の表面張力によって、第１型部材９６と第１シート９１とが密着し、第２型部材９７と第２シート９２とが密着する。

【0046】

組立工程ＳＴ１により、スペーサ９８は、充填口９８５を残して第１シート９１と第２シート９２との間の空隙９８８の周りを囲んだ状態となる。かかる状態は、拘束部材（図示せず）等によって、第１型部材９６と第２型部材９７とを両側から締め付けて第１シート９１と第２シート９２をスペーサ９８に密着させることによって維持される。図８に示すように、スペーサ９８は、第３枠部９３が下端に位置し、第１枠部９８１と第２枠部９８２における第３枠部９８３とは反対側の端部の間が上方に開口する充填口９８５となる。第１シート９１の端部９１５、および第２シート９２の端部９２５は、スペーサ９８の充填口９８５よりも上方に延びている。

【0047】

充填工程ＳＴ２では、第１シート９１の端部９１５および第２シート９２の端部９２５の間から充填口９８５を介して空隙９８８に硬化前の成形材料９５を充填する。しかる後に、充填口９８５を上板９８４で塞ぐ。本形態では、粘弾性体９０としてシリコーンゴムを成形する。従って、成形材料９５として、液状のゴム材料を空隙９８８に充填する。

【0048】

上記のように、本発明では、粘弾性体９０として各種の材料からなるものを用いることができる。粘弾性体９０としてシリコーンゲルなどのゲル状部材を成形する場合、成形材料９５として、ゲル材料を空隙９８８に充填する。成形材料９５としては、２液混合型であり、常温硬化性を有する成形材料、加熱硬化型の成形材料を用いることができる。あるいは、付加反応型、もしくは、縮合反応型の成形材料を用いることもできる。

【0049】

図８に示すように、充填工程ＳＴ２は、互いに絶縁された第１電極Ｅ１および第２電極Ｅ２を介して第１シート９１および第２シート９２に所定の電圧を印加しながら行う。例えば、４０ｋＨｚ以上の高周波、高電圧を第１シート９１および第２シート９２に印加しながら充填工程ＳＴ２を行う。

【0050】

硬化工程ＳＴ３では、成形材料９５を硬化させ、粘弾性体９０とする。成形材料９５が熱硬化性の場合、第１型部材９６および第２型部材９７を介して成形材料９５を加熱しな
がら硬化させる。成形材料９５が常温硬化性の場合、加熱することなく常温で成形材料９５を硬化させる。いずれの場合も、硬化工程ＳＴ３を行う間に、第１型部材９６と第１シート９１との間、および第２型部材９７と第２シート９２との間から有機溶剤が蒸発して逃げる。

【0051】

ここで、本形態では、充填工程ＳＴ２だけでなく、硬化工程ＳＴ３を行う間も、第１電極Ｅ１および第２電極Ｅ２を介して第１シート９１および第２シート９２に所定の電圧を印加する。第１シート９１および第２シート９２に上記のような高周波、高電圧を印加することにより、第１シート９１および第２シート９２の表面に極性基（例えば、－ＣＯＯＨ、－ＮＨ、＞Ｃ＝Ｏ、－ＣＯＨなど）が発生する。従って、発生した極性基と、成形材料９５に含まれる反応基（例えば、－ＯＨ）との化学結合が形成され、第１シート９１および第２シート９２は、粘弾性体９０の表面に接合される。

【0052】

離型工程ＳＴ４では、第１型部材９６、第２型部材９７、および上板９８４を取り外して、スペーサ９８から粘弾性体９０を取り外す。本形態において、スペーサ９８において空隙９８８に面する部分（すなわち、成形材料９５に接する部分）を４フッ化エチレン樹脂等のフッ素樹脂からなる態様にした場合には、離型工程ＳＴ４において、粘弾性体９０を容易に取り外すことができる。

【0053】

切断工程ＳＴ５では、ダンパー部材９をアクチュエータ１の可動体６と支持体２とを接続するために適した所定のサイズに裁断する。

【0054】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、アクチュエータ１の支持体２と可動体６とを接続するダンパー部材９は、粘弾性体９０と、粘弾性体９０の一方面に接合されるとともに支持体２と可動体６の一方に接続される第１シート９１と、粘弾性体９０の他方面に接合されるとともに支持体２と可動体６の他方に接続される第２シート９２と、を備える。本形態は、上記のダンパー部材９の製造方法であって、第１シート９１と第２シート９２との間に、充填口９８５を残して第１シート９１と第２シート９２との間の空隙９８８の周りを囲む枠状のスペーサ９８を介在させる組立工程ＳＴ１と、充填口９８５から空隙９８８に粘弾性体９０を成形するための成形材料９５を充填する充填工程ＳＴ２と、成形材料９５を硬化させる硬化工程ＳＴ３と、を行う。充填工程ＳＴ２を行う間、第１シート９１の一端部および第２シート９２の一端部に接触する第１電極Ｅ１と、第１シート９１の他端部および第２シート９２の他端部に接触し且つ第１電極Ｅ１と絶縁された第２電極Ｅ２との間に電圧を印加する。

【0055】

本形態の製造方法では、２枚のシート（第１シート９１、第２シート９２）の間に成形材料９５を充填し、硬化させることにより、粘弾性体９０の両面にシートが接合されたダンパー部材９を製造する。その際、２枚のシートを互いに絶縁された一対の電極（第１電極Ｅ１、第２電極Ｅ２）に接触させて電極間に電圧を印加させる。これにより、シートの表面に極性基（－ＣＯＯＨ、－ＮＨなど）が発生する。極性基は、成形材料９５に含まれる反応基（－ＯＨなど）と反応して化学結合を形成するので、シートにプライマーを塗布しなくても、硬化した粘弾性体９０とシートとが直接接合されて粘弾性体９０からシートが剥がれなくなる。従って、プライマーが不要であり、シートと粘弾性体９０の種類をプライマーと相性の良い種類のものに限定する必要がない。よって、ダンパー部材９を製造するために使用できる粘弾性体９０（第１シート９１、第２シート９２）およびシートの種類の選択の自由度を高めることができる。

【0056】

本形態では、充填工程ＳＴ２だけでなく硬化工程ＳＴ３の間も電圧を印加する。これにより、シートの表面における極性基の形成、および、反応基と極性基との化学結合を硬化
工程ＳＴ３の間も促進できる。従って、極性基の形成が不足して粘弾性体９０とシートとの接合強度が不足することを回避できる。なお、電圧を印加する期間は、充填工程ＳＴ２の開始から硬化工程ＳＴ３の終了までの期間の一部であってもよい。

【0057】

本形態では、第１電極Ｅ１および第２電極Ｅ２は、スペーサ９８に設けられている。例えば、スペーサ９８は、第１シート９１および第２シート９２に沿う方向で空隙９８８を挟んで対向する第１枠部９８１および第２枠部９８２と、第１枠部９８１と第２枠部９８２の端部同士を接続する第３枠部９８３と、を備える枠状の部材であり、第１枠部９８１に第１電極Ｅ１が設けられ、第２枠部９８２に第２電極Ｅ２が設けられている。第３枠部９８３は、絶縁体からなる。このように、成形用の型部材として使用されるスペーサ９８に電極を設けることにより、シートに接する電極を容易に設置することができる。また、成形用の空隙９８８を挟んで対向するように電極を設置できるので、成形材料９５に接する第１シート９１および第２シート９２の全範囲に電圧を印加することができる。従って、粘弾性体９０の表面の全範囲に第１シート９１および第２シート９２を剥がれないように接合することができる。

【0058】

本形態では、組立工程ＳＴ１では、表面に第１シート９１を配置した第１型部材９６と、表面に第２シート９２を配置した第２型部材９７との間にスペーサ９８を挟む。従って、可撓性のシートを型部材により支持できるので、決まった寸法の空隙９８８を形成することができる。従って、粘弾性体９０を決まった厚さに成形して、その表面に薄いシートを接合したダンパー部材９を製造できる。

【0059】

なお、ダンパー部材９の製造装置は、上記の形態に限定されるものではない。すなわち、第１シート９１と第２シート９２との間の空隙９８８に成形材料９５を充填して硬化させることができ、その間、第１シート９１と第２シート９２にそれぞれ、電極を接続して、各シートの一端部と他端部との間に高周波、高電圧の電圧を印加できるものであればよい。

【0060】

本形態では、成形材料９５の硬化後に、第１型部材９６、第２型部材９７、およびスペーサ９８を取り外す離型工程ＳＴ４と、第１シート９１および第２シート９２ごと粘弾性体９０を切断する切断工程ＳＴ５と、を行う。このように、大型のシートの間に粘弾性体９０を成形した後に切断することにより、多数のダンパー部材９を効率的に製造することができる。

【0061】

本形態では、粘弾性体９０は、シリコーンゴムからなる。シリコーンゴムは反応基を備えた成形材料９５（ゴム材料）から成形されるので、極性基が形成されたシートに直接接合することができる。また、シリコーンゴムは、ダンパー部材９として用いた場合に共振を抑制するために適した特性を備えている。

【0062】

（他の実施形態）
本発明の実施形態としては、以下の形態を採用することができる。
（１）支持体と可動体とを接続するダンパー部材の製造方法であって、
前記ダンパー部材は、粘弾性体と、前記粘弾性体の一方面に接合されるとともに前記支持体と前記可動体の一方に接続される第１シートと、前記粘弾性体の他方面に接合されるとともに前記支持体と前記可動体の他方に接続される第２シートと、を備え、
前記第１シートと前記第２シートとの間に、充填口を残して前記第１シートと前記第２シートとの間の空隙の周りを囲む枠状のスペーサを介在させる組立工程と、
前記充填口から前記空隙に前記粘弾性体を成形するための成形材料を充填する充填工程と、
前記成形材料を硬化させる硬化工程と、を行い、
前記充填工程を行う間、前記第１シートの一端部および前記第２シートの一端部に接触する第１電極と、前記第１シートの他端部および前記第２シートの他端部に接触し且つ前記第１電極と絶縁された第２電極との間に電圧を印加することを特徴とするダンパー部材の製造方法。

【0063】

（２）前記硬化工程を行う間、前記第１電極と前記第２電極との間に電圧を印加することを特徴とする上記（１）のダンパー部材の製造方法。

【0064】

（３）前記第１電極および前記第２電極は、前記スペーサに設けられていることを特徴とする上記（１）（２）のいずれかのダンパー部材の製造方法。

【0065】

（４）前記スペーサは、前記第１シートおよび前記第２シートに沿う方向で前記空隙を挟んで対向する第１枠部および第２枠部と、前記第１枠部と前記第２枠部の端部同士を接続する第３枠部と、を備え、
前記第１枠部に前記第１電極が設けられ、
前記第２枠部に前記第２電極が設けられ、
前記第３枠部は、絶縁体からなることを特徴とする上記（３）のダンパー部材の製造方法。

【0066】

（５）前記組立工程では、表面に前記第１シートを配置した第１型部材と、表面に前記第２シートを配置した第２型部材との間に前記スペーサを挟むことを特徴とする上記（１）から（４）のうちのいずれかのダンパー部材の製造方法。

【0067】

（６）前記成形材料の硬化後に、前記第１型部材、前記第２型部材、および前記スペーサを取り外す離型工程と、前記第１シートおよび前記第２シートごと前記粘弾性体を切断する切断工程と、を行うことを特徴とする上記（５）のダンパー部材の製造方法。

【0068】

（７）前記粘弾性体は、シリコーンゴムからなることを特徴とする上記（１）から（６）のうちのいずれかの記載のダンパー部材の製造方法。

【0069】

上記各形態は、粘弾性体の両面にシートを接合したダンパー部材を用いるものであったが、粘弾性体の片面にシートを接合したダンパー部材を用いることもできる。この場合でも、シートが接合された面を吸着してダンパー部材を搬送できるので、ダンパー部材の取り扱いを容易にすることができる。粘弾性体の片面（一方面）にシート（第１シート）を接合したダンパー部材の製造方法は、以下の形態（８）を採用することができる。なお、以下の形態（８）における成形型は、上記の形態における第１型部材９６、第２型部材９７、およびスペーサ９８を用いたものであってもよく、他の形態であってもよい。

【0070】

（８）支持体と可動体とを接続するダンパー部材の製造方法であって、
前記ダンパー部材は、粘弾性体と、前記粘弾性体の一方面に接合されるとともに前記支持体と前記可動体の一方に接続される第１シートと、を備え、
前記第１シートを内面に配置した成形型を組み立てる組立工程と、
前記成形型に前記粘弾性体を成形するための成形材料を充填する充填工程と、
前記成形材料を硬化させる硬化工程と、を行い、
前記充填工程および前記硬化工程の少なくとも一部を行う間、前記第１シートの一端部に接触する第１電極と、前記第１シートの他端部に接触し且つ前記第１電極と絶縁された第２電極との間に電圧を印加することを特徴とするダンパー部材の製造方法。

【0071】

（８）の形態において、上記形態と同様に、充填工程の開始から硬化工程が終了するまでの間、電圧を印加し続けることが好ましい。また、粘弾性体は、シリコーンゴムからな
るものとすることができる。

【0072】

上記各形態において、ダンパー部材は、板状のものに限定されるものではない。例えば、円筒形の粘弾性体の内周面と外周面にシートを接合したものであってもよい。このような形態でも、高周波、高電圧をシートに印加しながら粘弾性体を硬化させてシートに接合することができる。

【符号の説明】

【0073】

１…アクチュエータ、２…支持体、３…ケース、４…コイルホルダ、５…コイル、６…可動体、９…ダンパー部材、１０…磁気駆動機構、１１…給電基板、３１…第１ケース部材、３２…第２ケース部材、４１…板部、４２…切欠き部、４７…第１プレート、４８…第２プレート、５０…空芯部、５１…長辺部、５２…短辺部、５６、５７…コイル線の端部、７１…第１永久磁石、７２…第２永久磁石、８１…第１ヨーク、８２…第２ヨーク、９０…粘弾性体、９１…第１シート、９２…第２シート、９５…成形材料、９６…第１型部材、９７…第１型部材、９８…スペーサ、３１１…側板部、３２１…側板部、４１０…コイル配置孔、４１１、４１２…端部、４１３、４１４、４１５、４１７、４１８、４１９…側板部、４１４ｔ、４１５ｔ…スリット、４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓ…凹部、４７０、４８０…爪部、８１１…平板部、８１２…連結部、８２１…平板部、８２２…張り出し部、９１５、９２５…端部、９６０、９７０…表面、９８１…第１枠部、９８２…第２枠部、９８３…第３枠部、９８４…上板、９８５…充填口、９８８…空隙、Ｅ１…第１電極、Ｅ２…第２電極

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】