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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024172007
(43)【公開日】2024-12-12
(54)【発明の名称】ワーク保持治具
(51)【国際特許分類】
C25D 17/08 20060101AFI20241205BHJP
【ＦＩ】
C25D17/08 R
C25D17/08 S
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023089413
(22)【出願日】2023-05-31
(71)【出願人】
【識別番号】000189327
【氏名又は名称】上村工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100145403
【弁理士】
【氏名又は名称】山尾 憲人
(74)【代理人】
【識別番号】100132241
【弁理士】
【氏名又は名称】岡部 博史
(72)【発明者】
【氏名】西元 一善
(72)【発明者】
【氏名】田中 達也
(72)【発明者】
【氏名】西中 豊
(57)【要約】
【課題】ワークと電気的接触端子との接続部にめっき液が浸入することによる不具合を解消できるとともに、ワークの剛性が低い場合であってもワークを弛みなく保持できる、ワーク保持治具を、提供すること。
【解決手段】バックパネルとフレーム体１２とを備えており、フレーム体１２は、環状の本体１３と導電部材１５と接触部材１６と内側シール部材１７と外側シール部材１８とを有しており、フレーム体１２は、両シール部材１７、１８の間に、周縁部１０１と導電部材１５と接触部材１６とを収容する密封空間を構成するようになっており、内側シール部材１７は、外側から、柱状部１７１とリップ部１７２とを有しており、柱状部１７１は、ワークを保持する際に周縁部に圧接するようにバックパネル側に突出しており、リップ部１７２は、柱状部１７１と同程度に突出しており且つ先端部が外向きに傾斜している。
【選択図】図５
【解決手段】バックパネルとフレーム体１２とを備えており、フレーム体１２は、環状の本体１３と導電部材１５と接触部材１６と内側シール部材１７と外側シール部材１８とを有しており、フレーム体１２は、両シール部材１７、１８の間に、周縁部１０１と導電部材１５と接触部材１６とを収容する密封空間を構成するようになっており、内側シール部材１７は、外側から、柱状部１７１とリップ部１７２とを有しており、柱状部１７１は、ワークを保持する際に周縁部に圧接するようにバックパネル側に突出しており、リップ部１７２は、柱状部１７１と同程度に突出しており且つ先端部が外向きに傾斜している。
【選択図】図５
【特許請求の範囲】
【請求項1】
電気めっき処理の被処理物である板状ワークを保持するためのワーク保持治具において、
バックパネルとフレーム体とを備えており、両者の間で前記ワークを保持するようになっており、
前記フレーム体は、前記バックパネルとの間で前記ワークの周縁部を保持するように前記バックパネルに取り付けられるようになっており、
前記フレーム体は、環状の本体と、該本体の内周に沿って設けられた導電部材と、前記ワークの前記周縁部に電気的接触できるように前記導電部材に電気的接続して前記導電部材に沿って設けられた接触部材と、前記接触部材より内側において前記本体の全周に渡って設けられた内側シール部材と、前記導電部材より外側において前記本体の全周に渡って設けられた外側シール部材と、を有しており、
前記フレーム体は、前記内側シール部材及び前記接触部材が前記ワークの前記周縁部に当接した状態で、前記内側シール部材と前記外側シール部材との間に、前記周縁部と、前記導電部材と、前記接触部材と、を収容する、密封空間を、構成するようになっており、
前記内側シール部材は、外側から、柱状部と、リップ部と、を有しており、
前記柱状部は、前記ワークを保持する際に前記ワークの前記周縁部に圧接するように、前記バックパネル側に突出しており、
前記リップ部は、前記柱状部と同程度に前記バックパネル側に突出しており、且つ、少なくとも先端部が外向きに傾斜している、
ことを特徴とするワーク保持治具。
バックパネルとフレーム体とを備えており、両者の間で前記ワークを保持するようになっており、
前記フレーム体は、前記バックパネルとの間で前記ワークの周縁部を保持するように前記バックパネルに取り付けられるようになっており、
前記フレーム体は、環状の本体と、該本体の内周に沿って設けられた導電部材と、前記ワークの前記周縁部に電気的接触できるように前記導電部材に電気的接続して前記導電部材に沿って設けられた接触部材と、前記接触部材より内側において前記本体の全周に渡って設けられた内側シール部材と、前記導電部材より外側において前記本体の全周に渡って設けられた外側シール部材と、を有しており、
前記フレーム体は、前記内側シール部材及び前記接触部材が前記ワークの前記周縁部に当接した状態で、前記内側シール部材と前記外側シール部材との間に、前記周縁部と、前記導電部材と、前記接触部材と、を収容する、密封空間を、構成するようになっており、
前記内側シール部材は、外側から、柱状部と、リップ部と、を有しており、
前記柱状部は、前記ワークを保持する際に前記ワークの前記周縁部に圧接するように、前記バックパネル側に突出しており、
前記リップ部は、前記柱状部と同程度に前記バックパネル側に突出しており、且つ、少なくとも先端部が外向きに傾斜している、
ことを特徴とするワーク保持治具。
【請求項2】
前記柱状部は、突出先端に、内側に向けて前記リップ部に重なる位置まで延びたシート部を、更に有しており、
前記リップ部は、前記シート部に接するまで前記バックパネル側に突出している、
請求項１記載のワーク保持治具。
前記リップ部は、前記シート部に接するまで前記バックパネル側に突出している、
請求項１記載のワーク保持治具。
【請求項3】
前記内側シール部材は、前記柱状部より外側に、外側板部を有しており、
前記外側板部の表面には、前記接触部材の接触端子が当接している、
請求項１記載のワーク保持治具。
前記外側板部の表面には、前記接触部材の接触端子が当接している、
請求項１記載のワーク保持治具。
【請求項4】
更に、前記フレーム体は、前記密封空間に液体を継続的に流して前記接触部材を冷却する冷却機構を、備えている、
請求項１記載のワーク保持治具。
請求項１記載のワーク保持治具。
【請求項5】
前記冷却機構は、液注入口と、前記液注入口と前記密封空間とを連絡する流入通路と、液流出口と、前記液流出口と前記密封空間とを連絡する流出通路と、を有している、
請求項４記載のワーク保持治具。
請求項４記載のワーク保持治具。
【請求項6】
前記冷却機構は、液供給源からの供給ラインと前記液注入口とを接続するための注入接続ユニットを、備えており、
前記注入接続ユニットは、前記液注入口に対してパッキンを介して接続される注入口部と、前記注入口部を前記液注入口に対して押し付けたり引き離したりするシリンダ作動部と、を有している、
請求項５記載のワーク保持治具。
前記注入接続ユニットは、前記液注入口に対してパッキンを介して接続される注入口部と、前記注入口部を前記液注入口に対して押し付けたり引き離したりするシリンダ作動部と、を有している、
請求項５記載のワーク保持治具。
【請求項7】
前記冷却機構は、前記液流出口と排水ラインとを接続するための流出接続ユニットを、備えており、
前記流出接続ユニットは、前記液流出口に対してパッキンを介して接続される流出口部と、前記流出口部を前記液流出口に対して押し付けたり引き離したりするシリンダ作動部と、を有している、
請求項６記載のワーク保持治具。
前記流出接続ユニットは、前記液流出口に対してパッキンを介して接続される流出口部と、前記流出口部を前記液流出口に対して押し付けたり引き離したりするシリンダ作動部と、を有している、
請求項６記載のワーク保持治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、電気めっき処理の被処理物である矩形の板状ワークを保持するためのワーク保持治具に関する。前記ワークとしては、例えば、プリント基板、ウエハ、半導体基板（特に、Fan-Out Panel Level Package）が挙げられる。
【背景技術】
【0002】
矩形の板状ワークを保持するためのワーク保持治具は、特許文献１～１２に示されるように、公知である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第５８９８５４０号公報
【特許文献2】特開２０１６－１８０１４８号公報
【特許文献3】特開２０１６－１５６０８４号公報
【特許文献4】特開平１１－１７２４９２号公報
【特許文献5】特開平１１－１４０６９４号公報
【特許文献6】特開平６－１０８２８５号公報
【特許文献7】特開平５－２４７６９２号公報
【特許文献8】特開平５－２２２５９０号公報
【特許文献9】特開平５－２１８０４８号公報
【特許文献10】特開２０２０－１１７７６３号公報
【特許文献11】特開２０２０－１１７７６４号公報
【特許文献12】特開２０２０－１１７７６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかるに、従来のワーク保持治具においては、下記のような不具合があった。
【0005】
（１）ワークと電気的接触端子との接続部にめっき液が浸入する可能性を、更に十分に排除することが望まれている。接続部にめっき液が浸入すると、接続部に金属が析出し、ワークと電気的接触端子とが癒着し、ワークをワーク保持治具から取り外すのが困難になる。
【0006】
（２）ワークの剛性が低い場合には、ワークの保持に弛みが生じる。
【0007】
（３）めっき処理のために通電を行うと、ワークと電気的接触端子との接続部に熱が発生し、それ故、電気抵抗が増加し、その結果、めっき処理のための電流が十分に流れなくなる。
【0008】
本発明は、上記不具合を解消できるワーク保持治具を提供することを、目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明は、電気めっき処理の被処理物である板状ワークを保持するためのワーク保持治具において、
バックパネルとフレーム体とを備えており、両者の間で前記ワークを保持するようになっており、
前記フレーム体は、前記バックパネルとの間で前記ワークの周縁部を保持するように前記バックパネルに取り付けられるようになっており、
前記フレーム体は、環状の本体と、該本体の内周に沿って設けられた導電部材と、前記ワークの前記周縁部に電気的接触できるように前記導電部材に電気的接続して前記導電部材に沿って設けられた接触部材と、前記接触部材より内側において前記本体の全周に渡って設けられた内側シール部材と、前記導電部材より外側において前記本体の全周に渡って設けられた外側シール部材と、を有しており、
前記フレーム体は、前記内側シール部材及び前記接触部材が前記ワークの前記周縁部に当接した状態で、前記内側シール部材と前記外側シール部材との間に、前記周縁部と、前記導電部材と、前記接触部材と、を収容する、密封空間を、構成するようになっており、
前記内側シール部材は、外側から、柱状部と、リップ部と、を有しており、
前記柱状部は、前記ワークを保持する際に前記ワークの前記周縁部に圧接するように、前記バックパネル側に突出しており、
前記リップ部は、前記柱状部と同程度に前記バックパネル側に突出しており、且つ、少なくとも先端部が外向きに傾斜している、
ことを特徴としている。
バックパネルとフレーム体とを備えており、両者の間で前記ワークを保持するようになっており、
前記フレーム体は、前記バックパネルとの間で前記ワークの周縁部を保持するように前記バックパネルに取り付けられるようになっており、
前記フレーム体は、環状の本体と、該本体の内周に沿って設けられた導電部材と、前記ワークの前記周縁部に電気的接触できるように前記導電部材に電気的接続して前記導電部材に沿って設けられた接触部材と、前記接触部材より内側において前記本体の全周に渡って設けられた内側シール部材と、前記導電部材より外側において前記本体の全周に渡って設けられた外側シール部材と、を有しており、
前記フレーム体は、前記内側シール部材及び前記接触部材が前記ワークの前記周縁部に当接した状態で、前記内側シール部材と前記外側シール部材との間に、前記周縁部と、前記導電部材と、前記接触部材と、を収容する、密封空間を、構成するようになっており、
前記内側シール部材は、外側から、柱状部と、リップ部と、を有しており、
前記柱状部は、前記ワークを保持する際に前記ワークの前記周縁部に圧接するように、前記バックパネル側に突出しており、
前記リップ部は、前記柱状部と同程度に前記バックパネル側に突出しており、且つ、少なくとも先端部が外向きに傾斜している、
ことを特徴としている。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、ワークと電気的接触端子との接続部にめっき液が浸入することによる不具合を解消できるとともに、ワークの剛性が低い場合であってもワークを弛みなく保持できる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本発明の第１実施形態のワーク保持治具の分解斜視図である。
【図6】冷却機構を備えたワーク保持治具の斜視図であり、作動前の冷却機構を示している。
【図9】内側シール部材がワークの周縁部に圧接される前後の状態を示す断面図である。
【図10】冷却機構を備えたワーク保持治具の斜視図であり、作動後の冷却機構を示している。
【発明を実施するための形態】
【0012】
［第１実施形態］
図１は、本発明のワーク保持治具１の分解斜視図である。ワーク保持治具１は、矩形のバックパネル１１と矩形のフレーム体１２とを備えており、両者の間で板状のワーク１０を保持するようになっている。バックパネル１１には、ワーク１０が重ねられるようになっている。フレーム体１２は、バックパネル１１との間でワーク１０の周縁部１０１を保持するようにバックパネル１１に取り付けられるようになっている。バックパネル１１及びフレーム体１２は、例えば塩化ビニル樹脂で構成されている。
図１は、本発明のワーク保持治具１の分解斜視図である。ワーク保持治具１は、矩形のバックパネル１１と矩形のフレーム体１２とを備えており、両者の間で板状のワーク１０を保持するようになっている。バックパネル１１には、ワーク１０が重ねられるようになっている。フレーム体１２は、バックパネル１１との間でワーク１０の周縁部１０１を保持するようにバックパネル１１に取り付けられるようになっている。バックパネル１１及びフレーム体１２は、例えば塩化ビニル樹脂で構成されている。
【0013】
図２は、図１のフレーム体１２のII矢視図である。フレーム体１２は、連結部３２を介してキャリアバー３１に連結されており、キャリアバー３１から吊り下げられたようになっている。図３及び図４は、図２のIII－III断面に相当する部分図であり、図３はバックパネル１１にフレーム体１２が取り付けられる前の状態を示しており、図４はバックパネル１１にフレーム体１２が取り付けられた後の状態を示している。すなわち、図４は、ワーク保持治具１がワーク１０を保持した状態を示している。図５は、図３の一部拡大図である。
【0014】
フレーム体１２は、矩形環状の本体１３と、導電部材１５（図５）と、接触部材１６と、内側シール部材１７と、外側シール部材１８と、を有している。導電部材１５は、本体１３の内周の４辺の内の上下に延びた対向する２辺に沿って設けられている。導電部材１５は、配線１９１に電気的接続した状態で配線１９１より内側に設けられた金属部材である。配線１９１は、外部電源（図示せず）に接続されており、キャリアバー３１を通って導電部材１５に沿うように延びている。接触部材１６は、ワーク１０の周縁部１０１に電気的接触できるように導電部材１５に電気的接続して導電部材１５に沿って設けられている。接触部材１６は、ボルト１６２によって内側から導電部材１５に固定されている。内側シール部材１７は、接触部材１６より内側において、本体１３の全周に渡って、設けられている。外側シール部材１８は、導電部材１５より外側において、本体１３の全周に渡って、設けられている。なお、導電部材１５のバックパネル１１側には、配線１９１をバックパネル１１側から覆う配線カバー１９２が設けられている。
【0015】
フレーム体１２は、図４の状態で、すなわち、内側シール部材１７及び接触部材１６がワーク１０の周縁部１０１に当接した状態で、内側シール部材１７と外側シール部材１８との間（図４中の範囲Ｗ）に、周縁部１０１と、導電部材１５と、接触部材１６と、を収容する、密封空間５を、構成するようになっている。内側シール部材１７は、例えば、シリコンゴムで構成されている。内側シール部材１７は、ワーク１０の周縁部１０１に、圧縮されて密着する。なお、図４において、フレーム体１２は、バックパネル１１の周縁部１１９にボルト１３１によって固定されることにより、バックパネル１１に取り付けられている。
【0016】
接触部材１６は、ワーク１０の周縁部１０１に電気的接触するための多数の並設された板バネ状接触端子１６１を有する、櫛状接触部材である。なお、接触部材１６は、接触端子１６１の復元力が弱くなった時に交換される。接触端子１６１は、例えば、銅に金をコーティングして構成されている。
【0017】
（内側シール部材１７）
内側シール部材１７は、図５に示されるように、外側から、柱状部１７１と、リップ部１７２と、を有している。更に、好ましくは、内側シール部材１７は、シート部１７３と、外側板部１７４と、を有している。柱状部１７１は、ワーク１０を保持する際にワーク１０の周縁部１０１に圧接するように、すなわち、高さＨだけ、バックパネル１１側に突出している。リップ部１７２は、柱状部１７１と同程度にバックパネル１１側に突出している。また、リップ部１７２は、少なくとも先端部の内側に傾斜面１７２１を有しており、これにより、少なくとも先端部が外向きに傾斜している。シート部１７３は、柱状部１７１の先端から内側に向けて、リップ部１７２に重なる位置まで延びている。この場合、リップ部１７２は、シート部１７３に接するまでバックパネル１１側に突出している。また、外側板部１７４は、柱状部１７１より外側に設けられており、外側板部１７４の表面には、接触部材１６の接触端子１６１が当接している。
内側シール部材１７は、図５に示されるように、外側から、柱状部１７１と、リップ部１７２と、を有している。更に、好ましくは、内側シール部材１７は、シート部１７３と、外側板部１７４と、を有している。柱状部１７１は、ワーク１０を保持する際にワーク１０の周縁部１０１に圧接するように、すなわち、高さＨだけ、バックパネル１１側に突出している。リップ部１７２は、柱状部１７１と同程度にバックパネル１１側に突出している。また、リップ部１７２は、少なくとも先端部の内側に傾斜面１７２１を有しており、これにより、少なくとも先端部が外向きに傾斜している。シート部１７３は、柱状部１７１の先端から内側に向けて、リップ部１７２に重なる位置まで延びている。この場合、リップ部１７２は、シート部１７３に接するまでバックパネル１１側に突出している。また、外側板部１７４は、柱状部１７１より外側に設けられており、外側板部１７４の表面には、接触部材１６の接触端子１６１が当接している。
【0018】
（冷却機構２）
ワーク保持治具１は、図６及び図７に示されるように、冷却機構２を備えている。すなわち、フレーム体１２は、密封空間５に液体を継続的に流して接触部材１６を冷却する冷却機構２を、備えている。冷却機構２は、図７に示されるように、液注入口２１と、液注入口２１と密封空間５とを連絡する流入通路２２と、液流出口２３と、液流出口２３と密封空間５とを連絡する流出通路２４と、を有している。更に、冷却機構２は、液供給源（図示せず）からの供給ライン２５と液注入口２１とを接続するための注入接続ユニット２６を、備えており、また、液流出口２３と排水ライン２７とを接続するための流出接続ユニット２８を、備えている。なお、図６は、冷却機構２を備えたワーク保持治具１の斜視図である。図６では、冷却機構２は作動前の状態にある。図７は、図６のVII矢視図であるが、ユニット２６、２８の図示を省略している。図８は、図６のVIII矢視略図である。注入接続ユニット２６は、液注入口２１に対してパッキン２６１を介して接続される注入口部２６２と、注入口部２６２を液注入口２１に対して押し付けたり引き離したりするシリンダ作動部２６３と、を有している。流出接続ユニット２８は、液流出口２３に対してパッキン２８１を介して接続される流出口部２８２と、流出口部２８２を液流出口２３に対して押し付けたり引き離したりするシリンダ作動部２８３と、を有している。
ワーク保持治具１は、図６及び図７に示されるように、冷却機構２を備えている。すなわち、フレーム体１２は、密封空間５に液体を継続的に流して接触部材１６を冷却する冷却機構２を、備えている。冷却機構２は、図７に示されるように、液注入口２１と、液注入口２１と密封空間５とを連絡する流入通路２２と、液流出口２３と、液流出口２３と密封空間５とを連絡する流出通路２４と、を有している。更に、冷却機構２は、液供給源（図示せず）からの供給ライン２５と液注入口２１とを接続するための注入接続ユニット２６を、備えており、また、液流出口２３と排水ライン２７とを接続するための流出接続ユニット２８を、備えている。なお、図６は、冷却機構２を備えたワーク保持治具１の斜視図である。図６では、冷却機構２は作動前の状態にある。図７は、図６のVII矢視図であるが、ユニット２６、２８の図示を省略している。図８は、図６のVIII矢視略図である。注入接続ユニット２６は、液注入口２１に対してパッキン２６１を介して接続される注入口部２６２と、注入口部２６２を液注入口２１に対して押し付けたり引き離したりするシリンダ作動部２６３と、を有している。流出接続ユニット２８は、液流出口２３に対してパッキン２８１を介して接続される流出口部２８２と、流出口部２８２を液流出口２３に対して押し付けたり引き離したりするシリンダ作動部２８３と、を有している。
【0019】
（作用効果）
本実施形態のワーク保持治具１によれば、次のような作用効果を発揮できる。
（１）フレーム体１２がワーク１０を保持するようにバックパネル１１に取り付けられると、図９に示されるように、内側シール部材１７がワーク１０の周縁部１０１に圧接されるので、次のような作用効果を発揮できる。
本実施形態のワーク保持治具１によれば、次のような作用効果を発揮できる。
（１）フレーム体１２がワーク１０を保持するようにバックパネル１１に取り付けられると、図９に示されるように、内側シール部材１７がワーク１０の周縁部１０１に圧接されるので、次のような作用効果を発揮できる。
【0020】
(1-1)リップ部１７２が外向きに撓むので、リップ部１７２によってワーク１０に対して外向きの力が働く。よって、ワーク１０が低い剛性を有する場合であっても、ワーク１０を弛みなく保持できる。
【0021】
(1-2)シート部１７３も、リップ部１７２と共に、外向きに撓むので、シート部１７３によってもワーク１０に対して外向きの力が働く。特に、シート部１７３は、ワーク１０との接触面積がリップ部１７２よりも大きいので、シート部１７３による外向きの力はリップ部１７２による外向きの力を大きく補強する。したがって、ワーク１０が低い剛性を有する場合はもちろん、ワーク１０の表面が極端に平滑である場合やワーク１０の表面が微細な凹凸を有する場合であっても、ワーク１０を弛みなく保持できる。
【0022】
したがって、本実施形態のワーク保持治具１によれば、保持しにくいワーク１０であっても、ワーク１０を弛みなく保持できる。
【0023】
(1-3)リップ部１７２がワーク１０の周縁部１０１に圧接されるので、密封空間５へのめっき液の浸入を防止できる。
【0024】
(1-4)シート部１７３もワーク１０の周縁部１０１に圧接されるので、密封空間５へのめっき液の浸入を良好に防止できる。
【0025】
(1-5)柱状部１７１もワーク１０の周縁部１０１に圧接されるので、密封空間５へのめっき液の浸入を確実に防止できる。
【0026】
(1-6)外側板部１７４の表面には、接触部材１６の接触端子１６１が当接しているので、図９に示されるように、外側板部１７４は、接触端子１６１をワーク１０の周縁部１０１に強く密着させることができる。よって、仮にめっき液が浸入してきたとしても、めっき液が接触端子１６１に触れるのを防止できる。なお、図９は、内側シール部材１７がワーク１０の周縁部１０１に圧接される前後の状態を示している。
【0027】
したがって、本実施形態のワーク保持治具１によれば、密封空間５へのめっき液の浸入を十分に防止できるので、めっき液に起因した金属がワーク１０の周縁部１０１や接触部材１６に析出するのを、防止できる。その結果、めっき処理後のワーク１０をワーク保持治具１から取り外す際に、ワーク１０や接触部材１６が損傷するのを防止できる。
【0028】
（２）外側板部１７４の表面には、接触部材１６の接触端子１６１が当接しているので、図９に示されるように、外側板部１７４は、接触端子１６１をワーク１０の周縁部１０１に強く密着させることができる。よって、接触端子１６１とワーク１０との電気的接続の確実性を向上できる。
【0029】
（３）図１０は、冷却機構２を備えたワーク保持治具１の斜視図であり、作動後の冷却機構２を示している。図１１は、図１０のＸＩ矢視略図である。図１０及び図１１に示されるように、冷却機構２を作動させると、密封空間５内を水が流れ続ける。すなわち、シリンダ作動部２６３を作動させて注入口部２６２を液注入口２１に対して押し付けるとともに、シリンダ作動部２８３を作動させて流出口部２８２を液流出口２３に対して押し付け、この状態において、液供給源から供給ライン２５を通して水を供給すると、水は、液注入口２１から流入し、密封空間５内を満たしながら流れ、液流出口２３から流出し、排水ライン２７を通って排出され、その結果、密封空間５内を水が流れ続ける。よって、ワーク１０の周縁部１０１と接触部材１６との接続部を常に新鮮な水で冷却することができる。したがって、当該接続部に熱が発生するのを十分に防止でき、その結果、めっき処理のための電流が十分に流れなくなるという不具合を解消できる。
【0030】
［別の実施形態］
（１）本発明のワーク保持治具１は、注入接続ユニット２６及び流出接続ユニット２８を有していなくてもよく、密封空間５が水で満たされていればよい。
（１）本発明のワーク保持治具１は、注入接続ユニット２６及び流出接続ユニット２８を有していなくてもよく、密封空間５が水で満たされていればよい。
【0031】
（２）注入接続ユニット２６及び流出接続ユニット２８の左右の配置は、逆でもよい。
【0032】
（３）内側シール部材１７は、シート部１７３及び／又は外側板部１７４を有していなくてもよい。
【0033】
（４）導電部材１５は、好ましくは、本体１３の内周の４辺全てに沿って設けられる。
【0034】
（５）板状ワーク１０は、矩形ではなく、円形又は多角形又はその他の形状を有してもよい。なお、その場合は、それに対応して、バックパネル１１及びフレーム体１２も、矩形ではなく、円形又は多角形又はその他の形状を有する。
【産業上の利用可能性】
【0035】
本発明のワーク保持治具は、ワークと電気的接触端子との接続部にめっき液が浸入することによる不具合を解消できるとともに、ワークの剛性が低い場合であってもワークを弛みなく保持できるので、産業上の利用価値が大である。
【符号の説明】
【0036】
１ ワーク保持治具
１０ ワーク
１０１ 周縁部
１１ バックパネル
１２ フレーム体
１３ 本体
１５ 導電部材
１６ 接触部材
１６１ 接触端子
１７ 内側シール部材
１７１ 柱状部
１７２ リップ部
１７３ シート部
１７４ 外側板部
１８ 外側シール部材
２ 冷却機構
２１ 液注入口
２２ 流入通路
２３ 液流出口
２４ 流出通路
２５ 供給ライン
２６ 注入接続ユニット
２６１ パッキン
２６２ 注入口部
２６３ シリンダ作動部
２７ 排水ライン
２８ 流出接続ユニット
２８１ パッキン
２８２ 流出口部
２８３ シリンダ作動部
１０ ワーク
１０１ 周縁部
１１ バックパネル
１２ フレーム体
１３ 本体
１５ 導電部材
１６ 接触部材
１６１ 接触端子
１７ 内側シール部材
１７１ 柱状部
１７２ リップ部
１７３ シート部
１７４ 外側板部
１８ 外側シール部材
２ 冷却機構
２１ 液注入口
２２ 流入通路
２３ 液流出口
２４ 流出通路
２５ 供給ライン
２６ 注入接続ユニット
２６１ パッキン
２６２ 注入口部
２６３ シリンダ作動部
２７ 排水ライン
２８ 流出接続ユニット
２８１ パッキン
２８２ 流出口部
２８３ シリンダ作動部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】