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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024172704
(43)【公開日】2024-12-12
(54)【発明の名称】真空バルブ
(51)【国際特許分類】
H01H 33/664 20060101AFI20241205BHJP
【ＦＩ】
H01H33/664 D
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023090590
(22)【出願日】2023-06-01
(71)【出願人】
【識別番号】000006013
【氏名又は名称】三菱電機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002941
【氏名又は名称】弁理士法人ぱるも特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】山口 弘覚
(72)【発明者】
【氏名】川田 将司
【テーマコード（参考）】
5G026
【Ｆターム（参考）】
5G026DA02
5G026DB01
(57)【要約】
【課題】製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる真空バルブを提供する。
【解決手段】電極部１０、２０は、電極棒６と、コイル９と、接点電極３とを有し、コイル９は、複数の分割コイル４が軸方向Ｙに積層して形成され、各分割コイル４は、電極棒６が挿入される環状の保持部４２と、保持部４２の径方向の外側に延出するとともに、周方向Ｚの一方に弧状に延びる円弧部４１を有する複数のアーム４０を備え、円弧部４１は、軸方向Ｙに貫通する貫通孔５０が形成され、コイル９は、分割コイル４の貫通孔５１が周方向Ｚの位置が一致するように軸方向Ｙに積層され、軸方向Ｙに並んだ貫通孔５１に挿入して設置されるとともに、接点電極３と接触する接触面５１を有する導電性を有するピン５を備える。
【選択図】図４
【解決手段】電極部１０、２０は、電極棒６と、コイル９と、接点電極３とを有し、コイル９は、複数の分割コイル４が軸方向Ｙに積層して形成され、各分割コイル４は、電極棒６が挿入される環状の保持部４２と、保持部４２の径方向の外側に延出するとともに、周方向Ｚの一方に弧状に延びる円弧部４１を有する複数のアーム４０を備え、円弧部４１は、軸方向Ｙに貫通する貫通孔５０が形成され、コイル９は、分割コイル４の貫通孔５１が周方向Ｚの位置が一致するように軸方向Ｙに積層され、軸方向Ｙに並んだ貫通孔５１に挿入して設置されるとともに、接点電極３と接触する接触面５１を有する導電性を有するピン５を備える。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記円弧部は、軸方向に貫通する貫通孔が形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記貫通孔が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、軸方向に並んだ前記貫通孔に挿入して設置されるとともに、前記接点電極と接触する接触面を有する導電性を有するピンを備えた真空バルブ。
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記円弧部は、軸方向に貫通する貫通孔が形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記貫通孔が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、軸方向に並んだ前記貫通孔に挿入して設置されるとともに、前記接点電極と接触する接触面を有する導電性を有するピンを備えた真空バルブ。
【請求項2】
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するように積層され、軸方向の一番上方に設置された前記分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するように積層され、軸方向の一番上方に設置された前記分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
【請求項3】
前記分割コイルの前記円弧部は、前記段差上面よりも前記先端側に、軸方向の下方に向かって斜めに形成された第２傾斜部を有し、
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部および前記第２傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するよう積層された請求項２に記載の真空バルブ。
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部および前記第２傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するよう積層された請求項２に記載の真空バルブ。
【請求項4】
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記段差下面の長さが、前記第２分割コイルの前記段差下面の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記段差下面の長さが、前記第２分割コイルの前記段差下面の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
【請求項5】
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続され接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度が、前記第２分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度よりも小さく形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続され接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度が、前記第２分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度よりも小さく形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
【請求項6】
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、
前記第１分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記第１分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記第２分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部となる部分保持部と、
前記部分保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する１つの第２アームを備え、
前記第２分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第３傾斜部を有し、前記第３傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第３傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、前記段差上面よりも前記先端側に、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第４傾斜部を有し、前記第４傾斜部よりも前記円弧部の先端側の先端上面と、前記段差上面とは平行に形成され、
前記第２分割コイルの前記円弧部の長さは、前記第１分割コイルの前記円弧部の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、最下層を前記第１分割コイルとし、前記第１分割コイルの１つの前記アームの上に１つの前記第２分割コイルをそれぞれ配置し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第３傾斜部とを接するように積層され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイル同士は、軸方向において離反して配置され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイルの前記部分保持部にて前記保持部が形成され、複数の前記第２分割コイルの前記先端上面は、前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、
前記第１分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記第１分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記第２分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部となる部分保持部と、
前記部分保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する１つの第２アームを備え、
前記第２分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第３傾斜部を有し、前記第３傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第３傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、前記段差上面よりも前記先端側に、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第４傾斜部を有し、前記第４傾斜部よりも前記円弧部の先端側の先端上面と、前記段差上面とは平行に形成され、
前記第２分割コイルの前記円弧部の長さは、前記第１分割コイルの前記円弧部の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、最下層を前記第１分割コイルとし、前記第１分割コイルの１つの前記アームの上に１つの前記第２分割コイルをそれぞれ配置し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第３傾斜部とを接するように積層され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイル同士は、軸方向において離反して配置され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイルの前記部分保持部にて前記保持部が形成され、複数の前記第２分割コイルの前記先端上面は、前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
【請求項7】
前記分割コイルの前記保持部は、径方向の外側に延びる切り欠き部が形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記切り欠き部が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、
前記電極棒は、前記切り欠き部に挿入される径方向の外側に突出し軸方向に延びる突起部を備え、
前記コイルの軸方向に並んだ前記切り欠き部に前記突起部が嵌合されている請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の真空バルブ。
前記コイルは、前記分割コイルの前記切り欠き部が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、
前記電極棒は、前記切り欠き部に挿入される径方向の外側に突出し軸方向に延びる突起部を備え、
前記コイルの軸方向に並んだ前記切り欠き部に前記突起部が嵌合されている請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項8】
前記接点電極と前記コイルとの間に、前記接点電極に当接して支持する補強部を備えた請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項9】
前記分割コイルの外周は、Ｒ加工にて形成された請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項10】
前記分割コイルは、銅、または銅合金にて形成された請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本願は、真空バルブに関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、真空遮断器及び真空開閉器等に搭載される真空バルブは、一般的に絶縁容器、シールド、固定側電極、固定側電極棒、固定側金属端板、可動側電極、可動側電極棒、ベローズカバー、ベローズ、可動側金属端板、ガイドで構成されている。前述の電極の種類に縦磁界電極があり、縦磁界電極は一般的に接点、コイル、電極棒で構成され、電流遮断時に接点間で発生するアークに対して平行な磁界を発生させ、アークを拡散して遮断する。例えば、従来の真空バルブでは、縦磁界電極に使用するコイルに関して、プレス加工で製作した複数枚のコイル電極片を積み重ねて形成することで、電極製作コストを低減している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開平４－１８８５２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
従来の真空バルブは、コイル電極片の構造では電極組立時の位置決めができず、製造の効率性が悪くなるという問題点があった。さらに、電極組立時の位置決めができなければ、組み立てられた電極構造に個体差が生じやすくなり、製造される真空バルブの性能にバラツキの発生および本来の縦磁界電極としての機能を損ない信頼性が低下するという問題点があった。
【0005】
本願は、上記のような課題を解決するための技術を開示するものであり、
製造の位置決めが容易となり、製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる真空バルブを提供することを目的とする。
製造の位置決めが容易となり、製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる真空バルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本願に開示される真空バルブは、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記円弧部は、軸方向に貫通する貫通孔が形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記貫通孔が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、軸方向に並んだ前記貫通孔に挿入して設置されるとともに、前記接点電極と接触する接触面を有する導電性を有するピンを備えたものである。
また、本願に開示される真空バルブは、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するように積層され、軸方向の一番上方に設置された前記分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である。
また、本願に開示される真空バルブは、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記段差下面の長さが、前記第２分割コイルの前記段差下面の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である。
また、本願に開示される真空バルブは、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続され接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度が、前記第２分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度よりも小さく形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である。
また、本願に開示される真空バルブは、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、
前記第１分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記第１分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記第２分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部となる部分保持部と、
前記部分保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する１つの第２アームを備え、
前記第２分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第３傾斜部を有し、前記第３傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第３傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、前記段差上面よりも前記先端側に、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第４傾斜部を有し、前記第４傾斜部よりも前記円弧部の先端側の先端上面と、前記段差上面とは平行に形成され、
前記第２分割コイルの前記円弧部の長さは、前記第１分割コイルの前記円弧部の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、最下層を前記第１分割コイルとし、前記第１分割コイルの１つの前記アームの上に１つの前記第２分割コイルをそれぞれ配置し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第３傾斜部とを接するように積層され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイル同士は、軸方向において離反して配置され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイルの前記部分保持部にて前記保持部が形成され、複数の前記第２分割コイルの前記先端上面は、前記接点電極と接触する接触面である。
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記円弧部は、軸方向に貫通する貫通孔が形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記貫通孔が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、軸方向に並んだ前記貫通孔に挿入して設置されるとともに、前記接点電極と接触する接触面を有する導電性を有するピンを備えたものである。
また、本願に開示される真空バルブは、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するように積層され、軸方向の一番上方に設置された前記分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である。
また、本願に開示される真空バルブは、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記段差下面の長さが、前記第２分割コイルの前記段差下面の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である。
また、本願に開示される真空バルブは、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続され接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度が、前記第２分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度よりも小さく形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である。
また、本願に開示される真空バルブは、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、
前記第１分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記第１分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記第２分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部となる部分保持部と、
前記部分保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する１つの第２アームを備え、
前記第２分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第３傾斜部を有し、前記第３傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第３傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、前記段差上面よりも前記先端側に、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第４傾斜部を有し、前記第４傾斜部よりも前記円弧部の先端側の先端上面と、前記段差上面とは平行に形成され、
前記第２分割コイルの前記円弧部の長さは、前記第１分割コイルの前記円弧部の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、最下層を前記第１分割コイルとし、前記第１分割コイルの１つの前記アームの上に１つの前記第２分割コイルをそれぞれ配置し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第３傾斜部とを接するように積層され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイル同士は、軸方向において離反して配置され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイルの前記部分保持部にて前記保持部が形成され、複数の前記第２分割コイルの前記先端上面は、前記接点電極と接触する接触面である。
【発明の効果】
【0007】
本願に開示される真空バルブによれば、
製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】実施の形態１による真空バルブの構成を示す断面図である。
【図5】実施の形態２による真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。
【図7】実施の形態２による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極の分解斜視図である。
【図8】実施の形態３による真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。
【図10】実施の形態３による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極の分解斜視図である。
【図11】実施の形態４による真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。
【図13】実施の形態４による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極の分解斜視図である。
【図14】実施の形態５による真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。
【図16】実施の形態５による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極の分解斜視図である。
【図17】実施の形態５による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極との組立状態を示す断面図である。
【図18】実施の形態６による真空バルブの第１分割コイルの構成を示す斜視図である。
【図19】実施の形態６による真空バルブの第２分割コイルの構成を示す斜視図である。
【図21】実施の形態６による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。
【図22】実施の形態７による真空バルブの第１分割コイルの構成を示す斜視図である。
【図23】実施の形態７による真空バルブの第２分割コイルの構成を示す斜視図である。
【図25】実施の形態７による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。
【図26】実施の形態８による真空バルブの第１分割コイルの構成を示す斜視図である。
【図27】実施の形態８による真空バルブの第２分割コイルの構成を示す斜視図である。
【図33】実施の形態８による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。
【図34】実施の形態９による真空バルブの第１分割コイルの構成を示す斜視図である。
【図35】実施の形態９による真空バルブの第２分割コイルの構成を示す斜視図である。
【図37】実施の形態９による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下の説明において、真空バルブ１００における各方向を、中心軸Ｑの方向を軸方向Ｙ、中心軸Ｑを中心とする周の方向を周方向Ｚとして示す。これらの方向は、真空バルブ１００を構成する各部分において同一であり、当該方向を基準として各方向を示して説明する。また、固定側電極部１０および可動側電極部２０の対向する側を、軸方向Ｙの上方、そして、反する側を軸方向Ｙの下方として説明する。
【0010】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１による真空バルブの構成を示す断面図である。図２は、図１に示した真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。図３は、図２に示した分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図４は、図１に示した真空バルブのコイルと電極棒と接点電極の分解斜視図である。
図１は、実施の形態１による真空バルブの構成を示す断面図である。図２は、図１に示した真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。図３は、図２に示した分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図４は、図１に示した真空バルブのコイルと電極棒と接点電極の分解斜視図である。
【0011】
図１に示すように、真空バルブ１００は、絶縁性を有する真空容器１と、真空容器１内に軸方向Ｙに対向して配置された一対の電極部としての固定側電極部１０および可動側電極部２０とを備える。真空容器１は、軸方向Ｙの両端に端板７を有し、真空容器１内にはシールド２を有する。固定側電極部１０および可動側電極部２０は、接点電極３、コイル９、電極棒６を備える。そして、可動側電極部２０側には、軸方向Ｙに移動するための、ベローズ１３、ベローズ１３のカバー１２、およびこれらをガイドするガイド１５を備える。コイル９は、分割コイル４が軸方向Ｙに複数枚積層されて形成される。電極棒６は、軸方向Ｙに突出する凸部６０を有する。
【0012】
分割コイル４は、図２に示すように、板状の部材にて形成され、電極棒６の凸部６０が挿入される環状の保持部４２と、保持部４２の径方向の外側に延出するとともに、周方向Ｚの一方、ここでは反時計回り方向に弧状に延びる円弧部４１を有するアーム４０が３個形成される。保持部４２は、電極棒６の凸部６０が挿入可能であればよく、凸部６０と同等の径または凸部６０よりも大きな径を有している。円弧部４１は、軸方向Ｙに貫通する貫通孔５０がそれぞれ形成される。
【0013】
そして、コイル９は、図３に示すように、分割コイル４の貫通孔５０が周方向Ｚの位置が一致するように軸方向Ｙに積層される（但し、貫通孔５０には後述するピン５が挿入されているため、図３には表れていない）。そして、軸方向Ｙに並んだ貫通孔５０に挿入して設置されるとともに、接点電極３と接触する接触面５１を有するピン５が設置されている。よって、ピン５は、導電性を有しており、分割コイル４を周方向Ｚの位置を固定するとともに給電を行うものである。
【0014】
このように形成された分割コイル４は、加工費が高価な機械加工（削り加工）ではなく、プレス加工にて形成可能である。よって、分割コイル４は、容易にプレス加工可能で、かつ電気伝導率が高い金属（例えば、銅）を母材にて形成される。また、複数のピン５は、コイル９の上端に設置され、ピン５の接触面５１が、接点電極３に当接し、コイル９に給電する。
【0015】
そして、各電極部１０、２０は、図１および図４に示すように、電極棒６の凸部６０に各分割コイル４の保持部４２が挿入して設置される。これにより、各分割コイル４の径方向へのズレを制限できる。そして、各分割コイル４の軸方向Ｙに並んで配置された貫通孔５０にピン５が設置される。これにより、各分割コイル４は、軸方向Ｙおよび周方向Ｚの位置が固定される。
【0016】
なお、複数の分割コイル４が軸方向Ｙに積層され形成されたコイル９は、固定側電極部１０および可動側電極部２０の両方に適用する例を示したが、これに限られることはなく、いずれか１方のみに適用してもよい。また、このことは、以下の実施の形態においても同様であるためその説明は適宜省略する。
【0017】
上記のように構成された実施の形態１の真空バルブによれば、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記円弧部は、軸方向に貫通する貫通孔が形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記貫通孔が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、軸方向に並んだ前記貫通孔に挿入して設置されるとともに、前記接点電極と接触する接触面を有する導電性を有するピンを備えたので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、貫通孔へのピンの挿入により周方向および軸方向の固定ができる。これにより、分割コイル同士の軸方向、周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、真空バルブの製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記円弧部は、軸方向に貫通する貫通孔が形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記貫通孔が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、軸方向に並んだ前記貫通孔に挿入して設置されるとともに、前記接点電極と接触する接触面を有する導電性を有するピンを備えたので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、貫通孔へのピンの挿入により周方向および軸方向の固定ができる。これにより、分割コイル同士の軸方向、周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、真空バルブの製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
【0018】
さらに、前記分割コイルは、銅、または銅合金にて形成されたので、
プレス加工が容易にでき、かつ、真空バルブの電気伝導率を向上できる。
プレス加工が容易にでき、かつ、真空バルブの電気伝導率を向上できる。
【0019】
実施の形態２．
図５は、実施の形態２による真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。図６は、図５に示した分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図７は、実施の形態２による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極の分解斜視図である。図において、上記実施の形態１と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。また、以後の各実施の形態においては、各電極部１０、２０の異なる部分を中心に説明し、同様の部分の説明は適宜省略する。
図５は、実施の形態２による真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。図６は、図５に示した分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図７は、実施の形態２による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極の分解斜視図である。図において、上記実施の形態１と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。また、以後の各実施の形態においては、各電極部１０、２０の異なる部分を中心に説明し、同様の部分の説明は適宜省略する。
【0020】
分割コイル４は、図５に示すように、アーム４０の円弧部４１には、それぞれ軸方向Ｙの上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部４３を有し、第１傾斜部４３よりも円弧部４１の先端側の段差上面４４と、第１傾斜部４３よりも反先端側の段差下面４５とは平行にて形成されている。そして、コイル９は、図６に示すように、分割コイル４の第１傾斜部４３が、上層と下層との分割コイル４において接するように積層される。そして、軸方向Ｙの一番上方に設置された分割コイル４の段差上面４４は接点電極３と接触する接触面５１となる。
【0021】
このように形成された分割コイル４は、加工費が高価な機械加工（削り加工）ではなく、プレス加工にて形成可能である。よって、分割コイル４は、容易にプレス加工可能で、かつ電気伝導率が高い金属（例えば、銅）を母材にて形成される。また、実施の形態１のように別部品としてピン５が必要なく、分割コイル４の積層のみにてコイル９を形成できるため、低コストになるとともに、作業性に優れている。そして、分割コイル４の上端の段差上面４４が接触面５１となり、接点電極３に当接し、コイル９に給電する。
【0022】
そして、各電極部１０、２０は、図７に示すように、電極棒６の凸部６０に各分割コイル４の保持部４２が挿入可能に設置される。これにより、各分割コイル４の径方向へのズレを制限できる。そして、各分割コイル４の第１傾斜部４３が上層と下層との分割コイル４において接するように積層されるため、各分割コイル４の反時計方向の周方向Ｚのズレを制限できる。
【0023】
上記のように構成された実施の形態２の真空バルブによれば、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するように積層され、軸方向の一番上方に設置された前記分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面であるので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、分割コイル同士の第１傾斜部の接触により、一方の周方向のズレを制限できる。これにより、分割コイル同士の一方の周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、真空バルブの製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するように積層され、軸方向の一番上方に設置された前記分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面であるので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、分割コイル同士の第１傾斜部の接触により、一方の周方向のズレを制限できる。これにより、分割コイル同士の一方の周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、真空バルブの製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
【0024】
実施の形態３．
図８は、実施の形態３による真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。図９は、図８に示した分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図１０は、実施の形態３による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極の分解斜視図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
図８は、実施の形態３による真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。図９は、図８に示した分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図１０は、実施の形態３による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極の分解斜視図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
【0025】
分割コイル４は、図８に示すように、アーム４０の円弧部４１には、段差上面４４よりも先端側に、軸方向Ｙの下方に向かって斜めに形成された第２傾斜部４６を備える。そして、コイル９は、図９に示すように、分割コイル４の第１傾斜部４３および第２傾斜部４６が、上層と下層との分割コイル４において接するよう積層される。そして、軸方向Ｙの一番上方に設置された分割コイル４の段差上面４４は接点電極３と接触する接触面５１となる。
【0026】
このように形成された分割コイル４は、加工費が高価な機械加工（削り加工）ではなく、プレス加工にて形成可能である。よって、分割コイル４は、容易にプレス加工可能で、かつ電気伝導率が高い金属（例えば、銅）を母材にて形成される。また、上記実施の形態２と同様に別部品としてピン５が必要なく、分割コイル４の積層のみにてコイル９を形成できるため、低コストになるとともに、作業性に優れている。そして、分割コイル４の上端の段差上面４４が接触面５１となり、接点電極３に当接し、コイル９に給電する。
【0027】
そして、各電極部１０、２０は、図１０に示すように、電極棒６の凸部６０に各分割コイル４の保持部４２が挿入可能に設置される。これにより、各分割コイル４の径方向へのズレを制限できる。そして、各分割コイル４の第１傾斜部４３および第２傾斜部４６が上層と下層との分割コイル４において接するように積層されるため、各分割コイル４の反時計方向および時計方向の両方の周方向Ｚのズレを制限できる。
【0028】
上記のように構成された実施の形態３の真空バルブによれば、
前記分割コイルの前記円弧部は、前記段差上面よりも前記先端側に、軸方向の下方に向かって斜めに形成された第２傾斜部を有し、
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部および前記第２傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するよう積層されたので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、分割コイル同士の第１傾斜部および第２傾斜部の接触により周方向のズレを制限できる。これにより、分割コイル同士の周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、真空バルブの製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
前記分割コイルの前記円弧部は、前記段差上面よりも前記先端側に、軸方向の下方に向かって斜めに形成された第２傾斜部を有し、
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部および前記第２傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するよう積層されたので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、分割コイル同士の第１傾斜部および第２傾斜部の接触により周方向のズレを制限できる。これにより、分割コイル同士の周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、真空バルブの製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
【0029】
実施の形態４．
図１１は、実施の形態４による真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。図１２は、図１１に示した分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図１３は、実施の形態４による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極の分解斜視図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
図１１は、実施の形態４による真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。図１２は、図１１に示した分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図１３は、実施の形態４による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極の分解斜視図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
【0030】
分割コイル４は、図１１に示すように、保持部４２に、径方向の外側に延びる切り欠き部４７を複数箇所に備える。そして、コイル９は、図１２に示すように、分割コイル４の切り欠き部４７が周方向Ｚの位置が一致するように軸方向Ｙに積層される。分割コイル４の第１傾斜部４３が、上層と下層との分割コイル４において接するよう積層される。そして、軸方向Ｙの一番上方に設置された分割コイル４の段差上面４４は接点電極３と接触する接触面５１となる。そして、図１３に示すように、電極棒６の凸部６０には、切り欠き部４７に挿入される径方向の外側に突出するとともに軸方向Ｙに延びる突起部６１を備える。
【0031】
このように形成された分割コイル４は、加工費が高価な機械加工（削り加工）ではなく、プレス加工にて形成可能である。よって、分割コイル４は、容易にプレス加工可能で、かつ電気伝導率が高い金属（例えば、銅）を母材にて形成される。また、上記各実施の形態と同様に別部品としてピン５が必要なく、分割コイル４の積層のみにてコイル９を形成できるため、低コストになるとともに、作業性に優れている。そして、分割コイル４の上端の段差上面４４が接触面５１となり、接点電極３に当接し、コイル９に給電する。
【0032】
そして、各電極部１０、２０は、図１３に示すように、電極棒６の凸部６０に各分割コイル４の保持部４２が挿入可能に設置されるとともに、電極棒６の凸部６０の突起部６１が各分割コイル４の切り欠き部４７に挿入可能に設置される。これにより、各分割コイル４の径方向および周方向へのズレを制限できる。
【0033】
なお、切り欠き部４７と突起部６１との関係は、以下の実施の形態においても同様であるため、その説明は適宜省略する。また、切り欠き部４７と突起部６１との関係は、特に、本実施の形態４に示した、分割コイル４同士が第１傾斜部４３の接触により、各分割コイル４の周方向Ｚの一方向のみのズレが制限されている構成の場合、特に有効的である。
【0034】
上記のように構成された実施の形態４の真空バルブによれば、
前記分割コイルの前記保持部は、径方向の外側に延びる切り欠き部が形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記切り欠き部が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、
前記電極棒は、前記切り欠き部に挿入される径方向の外側に突出し軸方向に延びる突起部を備え、
前記コイルの軸方向に並んだ前記切り欠き部に前記突起部が嵌合されているので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒の突起部との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、保持部の切り欠き部と電極棒の突起部との嵌合により、周方向のズレを制限できる。これにより、分割コイル同士の周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、真空バルブの製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
前記分割コイルの前記保持部は、径方向の外側に延びる切り欠き部が形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記切り欠き部が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、
前記電極棒は、前記切り欠き部に挿入される径方向の外側に突出し軸方向に延びる突起部を備え、
前記コイルの軸方向に並んだ前記切り欠き部に前記突起部が嵌合されているので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒の突起部との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、保持部の切り欠き部と電極棒の突起部との嵌合により、周方向のズレを制限できる。これにより、分割コイル同士の周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、真空バルブの製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
【0035】
実施の形態５．
図１４は、実施の形態５による真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。図１５は、図１４に示した分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図１６は、実施の形態５による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。図１７は、図１６に示した真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部とを組み合わせた状態を示す断面図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
図１４は、実施の形態５による真空バルブの分割コイルの構成を示す斜視図である。図１５は、図１４に示した分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図１６は、実施の形態５による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。図１７は、図１６に示した真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部とを組み合わせた状態を示す断面図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
【0036】
分割コイル４は、図１４に示すように、分割コイル４の中央部分には、後述する補強部１６を設置するための保持部４２が段差下面４５よりも軸方向Ｙの下方に位置するように凹部４８が形成される。そして、コイル９は、図１５に示すように、分割コイル４の第１傾斜部４３が、上層と下層との分割コイル４において接するよう積層される。図１６に示すように、接点電極３とコイル９との間に、補強部１６を備える。
【0037】
このように形成された分割コイル４は、加工費が高価な機械加工（削り加工）ではなく、プレス加工にて形成可能である。よって、分割コイル４は、容易にプレス加工可能で、かつ電気伝導率が高い金属（例えば、銅）を母材にて形成される。また、上記各実施の形態と同様に別部品としてピン５が必要なく、分割コイル４の積層のみにてコイル９を形成できるため、低コストになるとともに、作業性に優れている。そして、分割コイル４の上端の段差上面４４が接触面５１となり、接点電極３に当接し、コイル９に給電する。
【0038】
そして、各電極部１０、２０は、図１６および図１７に示すように、電極棒６の凸部６０に各分割コイル４の保持部４２が挿入可能に設置されるとともに、電極棒６の凸部６０の突起部６１が各分割コイル４の切り欠き部４７に挿入可能に設置される。これにより、各分割コイル４の径方向および周方向へのズレを制限できる。そして、各分割コイル４の第１傾斜部４３が上層と下層との分割コイル４において接するように積層されるため、各分割コイル４の２反時計方向の周方向Ｚのズレを制限できる。
【0039】
さらに、補強部１６がコイル９の凹部４８に嵌まりこんで、接点電極３とコイル９との間に設置され、接点電極３に当接するため、コイル９の機械的な強度が向上する。なお、コイル９と補強部１６と接点電極３との関係は、以下の実施の形態においても同様であるため、その説明は適宜省略する。
【0040】
上記のように構成された実施の形態５の真空バルブによれば、上記各実施の形態と同様の効果を奏するとともに、
前記接点電極と前記コイルとの間に、前記接点電極に当接して支持する補強部を備えたので、
コイルの機械的な強度を向上できる。
前記接点電極と前記コイルとの間に、前記接点電極に当接して支持する補強部を備えたので、
コイルの機械的な強度を向上できる。
【0041】
実施の形態６．
図１８は、実施の形態６による真空バルブの第１分割コイルの構成を示す斜視図である。図１９は、実施の形態６による真空バルブの第２分割コイルの構成を示す斜視図である。図２０は、図１８および図１９に示した第１分割コイルおよび第２分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図２１は、実施の形態６による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
図１８は、実施の形態６による真空バルブの第１分割コイルの構成を示す斜視図である。図１９は、実施の形態６による真空バルブの第２分割コイルの構成を示す斜視図である。図２０は、図１８および図１９に示した第１分割コイルおよび第２分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図２１は、実施の形態６による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
【0042】
第１分割コイル４０１および第２分割コイル４０２は、図１８および図１９に示すよう、アーム４０の円弧部４１には、それぞれ軸方向Ｙの上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部４３を有し、第１傾斜部４３よりも円弧部４１の先端側の段差上面４４と、第１傾斜部４３よりも反先端側の段差下面４５とは平行にて形成されている。第１分割コイル４０１と第２分割コイル４０２との違いは、第１分割コイル４０１の段差下面４５の長さＷ１（図１８参照）が、第２分割コイル４０２の段差下面４５の長さＷ２（図１９参照）よりも長く形成される。
【0043】
そして、コイル９は、図２１に示すように、下層を第１分割コイル４０１と、上層を第２分割コイル４０２として軸方向Ｙに、第１分割コイル４０１の第１傾斜部４３と第２分割コイル４０２の第１傾斜部４３とが離反して積層される。そして、コイル９の状態において、第１分割コイル４０１の段差上面４４および第２分割コイル４０２の段差上面４４の軸方向Ｙの高さが同じ高さになるように形成される。よって、第１分割コイル４０１の段差上面４４および第２分割コイル４０２の段差上面４４はいずれも接点電極３と接触する接触面５１となる。
【0044】
このように形成された分割コイル４は、加工費が高価な機械加工（削り加工）ではなく、プレス加工にて形成可能である。よって、分割コイル４は、容易にプレス加工可能で、かつ電気伝導率が高い金属（例えば、銅）を母材にて形成される。また、上記各実施の形態と同様に別部品としてピン５が必要なく、第１分割コイル４０１および第２分割コイル４０２の積層のみにてコイル９を形成できるため、低コストになるとともに、作業性に優れている。そして、第１分割コイル４０１および第２分割コイル４０２の段差上面４４がいずれも接触面５１となり、接点電極３に当接し、コイル９に給電する。これにより、コイル９の電流経路を増加できるため、給電部分付近に発生する磁界が強くなり、遮断性能が向上する。
【0045】
そして、各電極部１０、２０は、図２１に示すように、電極棒６の凸部６０に各分割コイル４０１、４０２の保持部４２が挿入可能に設置されるとともに、電極棒６の凸部６０の突起部６１が各分割コイル４０１、４０２の切り欠き部４７に挿入可能に設置される。これにより、各分割コイル４０１、４０２の径方向および周方向へのズレを制限できる。そして、第１分割コイル４０１の段差上面４４と第２分割コイル４０２の段差上面４４とが軸方向Ｙにおいて同一の高さにて形成されているため、各分割コイル４０１、４０２の反時計方向の周方向Ｚのズレを制限できる。
【0046】
上記のように構成された実施の形態６の真空バルブによれば、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記段差下面の長さが、前記第２分割コイルの前記段差下面の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面であるので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、第１分割コイルの段差上面と第２分割コイルの段差上面とが軸方向において同一の高さにて形成されているため、一方の周方向のズレを制限できる。これにより、分割コイル同士の一方の周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記段差下面の長さが、前記第２分割コイルの前記段差下面の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面であるので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、第１分割コイルの段差上面と第２分割コイルの段差上面とが軸方向において同一の高さにて形成されているため、一方の周方向のズレを制限できる。これにより、分割コイル同士の一方の周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
【0047】
実施の形態７．
図２２は、実施の形態７による真空バルブの第１分割コイルの構成を示す斜視図である。図２３は、実施の形態７による真空バルブの第２分割コイルの構成を示す斜視図である。図２４は、図２２および図２３に示した第１分割コイルおよび第２分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図２５は、実施の形態７による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
図２２は、実施の形態７による真空バルブの第１分割コイルの構成を示す斜視図である。図２３は、実施の形態７による真空バルブの第２分割コイルの構成を示す斜視図である。図２４は、図２２および図２３に示した第１分割コイルおよび第２分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図２５は、実施の形態７による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
【0048】
第１分割コイル４１１および第２分割コイル４１２は、図２２および図２３に示すよう、アーム４０の円弧部４１には、それぞれ軸方向Ｙの上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部４３を有し、第１傾斜部４３よりも円弧部４１の先端側の段差上面４４と、第１傾斜部４３よりも反先端側の段差下面４５とは平行にて形成されている。第１分割コイル４１１と第２分割コイル４１２との違いは、第１分割コイル４１１の第１傾斜部４３の傾斜角度θ１（図２２参照）が、第２分割コイル４１２の第１傾斜部４３の傾斜角度θ２（図２３参照）よりも小さく形成される。
【0049】
そして、コイル９は、図２４に示すように、下層を第１分割コイル４１１と、上層を第２分割コイル４１２として軸方向Ｙに、第１分割コイル４０１の第１傾斜部４３と第２分割コイル４０２の第１傾斜部４３とが離反して積層される。そして、コイル９の状態において、第１分割コイル４１１の段差上面４４および第２分割コイル４１２の段差上面４４の軸方向Ｙの高さが同じ高さになるように形成される。よって、第１分割コイル４１１の段差上面４４および第２分割コイル４１２の段差上面４４はいずれも接点電極３と接触する接触面５１となる。
【0050】
このように形成された分割コイル４は、加工費が高価な機械加工（削り加工）ではなく、プレス加工にて形成可能である。よって、分割コイル４は、容易にプレス加工可能で、かつ電気伝導率が高い金属（例えば、銅）を母材にて形成される。また、上記各実施の形態と同様に別部品としてピン５が必要なく、第１分割コイル４１１および第２分割コイル４１２の積層のみにてコイル９を形成できるため、低コストになるとともに、作業性に優れている。そして、第１分割コイル４１１および第２分割コイル４１２の段差上面４４がいずれも接触面５１となり、接点電極３に当接し、コイル９に給電する。これにより、コイル９の電流経路を増加できるため、給電部分付近に発生する磁界が強くなり、遮断性能が向上する。
【0051】
そして、各電極部１０、２０は、図２１に示すように、電極棒６の凸部６０に各分割コイル４０１、４０２の保持部４２が挿入可能に設置されるとともに、電極棒６の凸部６０の突起部６１が各分割コイル４０１、４０２の切り欠き部４７に挿入可能に設置される。これにより、各分割コイル４０１、４０２の径方向および周方向へのズレを制限できる。そして、第１分割コイル４０１の段差上面４４と第２分割コイル４０２の段差上面４４とが軸方向Ｙにおいて同一の高さにて形成されているため、各分割コイル４０１、４０２の反時計方向の周方向Ｚのズレを制限できる。
【0052】
上記のように構成された実施の形態７の真空バルブによれば、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続され接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度が、前記第２分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度よりも小さく形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面であるので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、第１分割コイルの段差上面と第２分割コイルの段差上面とが軸方向において同一の高さにて形成されているため、一方の周方向のズレを制限できる。これにより、分割コイル同士の一方の周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、真空バルブの製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続され接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度が、前記第２分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度よりも小さく形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面であるので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、第１分割コイルの段差上面と第２分割コイルの段差上面とが軸方向において同一の高さにて形成されているため、一方の周方向のズレを制限できる。これにより、分割コイル同士の一方の周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、真空バルブの製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
【0053】
実施の形態８．
図２６は、実施の形態８による真空バルブの第１分割コイルの構成を示す斜視図である。図２７は、実施の形態８による真空バルブの第２分割コイルの構成を示す斜視図である。図２８から図３０は、図２２に示した第１分割コイル上に図２７に示した１つの第２分割コイルを設置した状態を示す斜視図である。図３１は、図２６および図２７に示した第１分割コイルおよび第２分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図３２は、図３１のコイルのうち、第２分割コイルのみを組み合わせた状態を示す斜視図である。図３３は、実施の形態８による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
図２６は、実施の形態８による真空バルブの第１分割コイルの構成を示す斜視図である。図２７は、実施の形態８による真空バルブの第２分割コイルの構成を示す斜視図である。図２８から図３０は、図２２に示した第１分割コイル上に図２７に示した１つの第２分割コイルを設置した状態を示す斜視図である。図３１は、図２６および図２７に示した第１分割コイルおよび第２分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図３２は、図３１のコイルのうち、第２分割コイルのみを組み合わせた状態を示す斜視図である。図３３は、実施の形態８による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
【0054】
第１分割コイル４２１は、図２６に示すように、アーム４０の円弧部４１には、それぞれ軸方向Ｙの上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部４３を有し、第１傾斜部４３よりも円弧部４１の先端側の段差上面４４と、第１傾斜部４３よりも反先端側の段差下面４５とは平行にて形成されている。
【0055】
第２分割コイル４２２は、図２７に示すように、電極棒６が挿入される環状の保持部４２の一部となる部分保持部４２０と、部分保持部４２０の径方向の外側に延出するとともに、周方向Ｚの一方、ここでは反時計方向に弧状に延びる円弧部４１０を有する１つの第２アーム４００を備える。第２分割コイル４２２の円弧部４１０は、軸方向Ｙの上方に向かって斜めに形成された第３傾斜部４３０を有し、第３傾斜部４３０よりも円弧部４１０の先端側の段差上面４４０と、第３傾斜部４３０よりも反先端側の段差下面４５０とは平行にて形成される。
【0056】
さらに、第２分割コイル４２２の円弧部４１０は、段差上面４４０よりも先端側に、軸方向Ｙの上方に向かって斜めに形成された第４傾斜部４９０を有し、第４傾斜部４９０よりも円弧部４１０の先端側に先端上面４８０と、段差上面４４０とは平行に形成されている。部分保持部４２０とは周方向Ｚの反する側に延在して他の第２分割コイル４２２の部分保持部４２０の外周に沿うように形成された外側保持部４４４を備える。そして、第２分割コイル４２２の円弧部４１０の長さは、第１分割コイル４２１の円弧部４１の長さよりも長く形成されている。
【0057】
第１分割コイル４２１に、１つの第２分割コイル４２２を積層した状態を、図２８から図３０に示す。図２９は、図２８の状態から反時計回りに周方向Ｚに１２０°回転された状態を示し、図３０は、図２８の状態から反時計回りに周方向Ｚに２４０°回転された状態を示している。第１分割コイル４２１の１つのアーム４０の第１傾斜部４３と、第２分割コイル４２２の第３傾斜部４３０が接するように積層される。この状態では、第２分割コイル４２２の第２アーム４００は、第１分割コイル４２１の他のアーム４０に干渉しないように構成されている。
【0058】
そして、図３１に示すように、コイル９は、第１分割コイル４２１の各アーム４０に、第２分割コイル４２２をそれぞれ配置し、第１分割コイル４２１の各アーム４０の第１傾斜部４３と各第２分割コイル４２２の第３傾斜部４３０とが接するように積層される。また、第１分割コイル４２１上に積層された、３つの第２分割コイル４２２同士は、軸方向Ｙに離反して配置されている。そして、軸方向Ｙの上方に設置された３つの第２分割コイル４２２の先端上面４８０がそれぞれ接点電極３と接触する接触面５１となる。
【0059】
さらに、また、第１分割コイル４２１上に積層された、３つの第２分割コイル４２２の部分保持部４２０および外側保持部４４４にて、電極棒６の凸部６０が挿入される環状の保持部４２が形成される。コイル９における、第１分割コイル４２１を除いた、３つの第２分割コイル４２２のみを組み合わせた状態を図３２に示す。
【0060】
そして、各電極部１０、２０は、図３３に示すように、電極棒６の凸部６０に各分割コイル４２１、４２２の保持部４２が挿入可能に設置されるとともに、電極棒６の凸部６０の突起部６１が各分割コイル４２１、４２２の切り欠き部４７に挿入可能に設置される。これにより、各分割コイル４２１、４２２の径方向および周方向へのズレを制限できる。そして、第１分割コイル４２１の第１傾斜部４３と各第２分割コイル４２２の第３傾斜部４３０とが接して配置されているため、反時計方向の周方向Ｚのズレを制限できる。
【0061】
さらに、第２分割コイル４２２の円弧部４１０の長さが、第１分割コイル４２１の長さよりも長く形成されているため、電流経路が長くでき、これにより発生する磁界が強くなることで遮断性能が向上できる。
【0062】
上記のように構成された実施の形態８の真空バルブによれば、
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、
前記第１分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記第１分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記第２分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部となる部分保持部と、
前記部分保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する１つの第２アームを備え、
前記第２分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第３傾斜部を有し、前記第３傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第３傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、前記段差上面よりも前記先端側に、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第４傾斜部を有し、前記第４傾斜部よりも前記円弧部の先端側の先端上面と、前記段差上面とは平行に形成され、
前記第２分割コイルの前記円弧部の長さは、前記第１分割コイルの前記円弧部の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、最下層を前記第１分割コイルとし、前記第１分割コイルの１つの前記アームの上に１つの前記第２分割コイルをそれぞれ配置し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第３傾斜部とを接するように積層され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイル同士は、軸方向において離反して配置され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイルの前記部分保持部にて前記保持部が形成され、複数の前記第２分割コイルの前記先端上面は、前記接点電極と接触する接触面であるので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、第１分割コイルの第１傾斜部と第２分割コイルの第３傾斜部との接触により、一方の周方向のズレを制限できる。これにより、分割コイル同士の一方の周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、真空バルブの製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
さらに、電流経路が長くでき、これにより発生する磁界が強くなることで遮断性能が向上できる。
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、
前記第１分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記第１分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記第２分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部となる部分保持部と、
前記部分保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する１つの第２アームを備え、
前記第２分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第３傾斜部を有し、前記第３傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第３傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、前記段差上面よりも前記先端側に、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第４傾斜部を有し、前記第４傾斜部よりも前記円弧部の先端側の先端上面と、前記段差上面とは平行に形成され、
前記第２分割コイルの前記円弧部の長さは、前記第１分割コイルの前記円弧部の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、最下層を前記第１分割コイルとし、前記第１分割コイルの１つの前記アームの上に１つの前記第２分割コイルをそれぞれ配置し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第３傾斜部とを接するように積層され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイル同士は、軸方向において離反して配置され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイルの前記部分保持部にて前記保持部が形成され、複数の前記第２分割コイルの前記先端上面は、前記接点電極と接触する接触面であるので、
分割コイル同士を、保持部と電極棒との嵌合により、径方向へのズレを制限でき、さらに、第１分割コイルの第１傾斜部と第２分割コイルの第３傾斜部との接触により、一方の周方向のズレを制限できる。これにより、分割コイル同士の一方の周方向、および、径方向の位置決めができ、縦磁界電極の組立性が向上する。よって、真空バルブの製造の効率性を向上できるとともに、信頼性を向上できる。
さらに、分割コイルを上記のような形状とすることで、プレス加工で製造することが可能となり、縦磁界電極を組み込んだ真空バルブの製造コストを低減できる。
さらに、電流経路が長くでき、これにより発生する磁界が強くなることで遮断性能が向上できる。
【0063】
実施の形態９．
図３４は、実施の形態９による真空バルブの第１分割コイルの構成を示す斜視図である。図３５は、実施の形態９による真空バルブの第２分割コイルの構成を示す斜視図である。図３６は、図３４および図３５に示した第１分割コイルおよび第２分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図３７は、実施の形態９による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
図３４は、実施の形態９による真空バルブの第１分割コイルの構成を示す斜視図である。図３５は、実施の形態９による真空バルブの第２分割コイルの構成を示す斜視図である。図３６は、図３４および図３５に示した第１分割コイルおよび第２分割コイルにて形成する真空バルブのコイルの構成を示す斜視図である。図３７は、実施の形態９による真空バルブのコイルと電極棒と接点電極と補強部との分解斜視図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
【0064】
本実施の形態９おいて、上記実施の形態８との異なる部分は、各図３４から図３７において示すように、第１分割コイルの円弧部４１および保持部の外周側、および、第２分割コイルの円弧部４１および外側保持部の外周側に、Ｒ加工Ａが施されている。このように、Ｒ加工Ａを施すことでエッジ部分がなくなり、電界が緩和され、耐電圧性能が向上する。なお、本実施の形態９では、上記実施の形態８と同様の構成の例を示したが、これに限られることはなく、他の実施の形態においても同様にＲ加工を行うことが可能であり、同様の効果を奏することができる。
【0065】
上記のように構成された実施の形態９の真空バルブによれば、上記各実施の形態と同様の効果を奏するとともに、
前記分割コイルの外周は、Ｒ加工にて形成されたので、
電界が緩和され、耐電圧性能を向上できる。
前記分割コイルの外周は、Ｒ加工にて形成されたので、
電界が緩和され、耐電圧性能を向上できる。
【0066】
本願は、様々な例示的な実施の形態及び実施例が記載されているが、１つ、または複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、及び機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。
従って、例示されていない無数の変形例が、本願に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも１つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも１つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。
従って、例示されていない無数の変形例が、本願に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも１つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも１つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。
【0067】
以下、本開示の諸態様を付記としてまとめて記載する。
【0068】
（付記１）
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記円弧部は、軸方向に貫通する貫通孔が形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記貫通孔が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、軸方向に並んだ前記貫通孔に挿入して設置されるとともに、前記接点電極と接触する接触面を有する導電性を有するピンを備えた真空バルブ。
（付記２）
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するように積層され、軸方向の一番上方に設置された前記分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
（付記３）
前記分割コイルの前記円弧部は、前記段差上面よりも前記先端側に、軸方向の下方に向かって斜めに形成された第２傾斜部を有し、
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部および前記第２傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するよう積層された付記２に記載の真空バルブ。
（付記４）
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記段差下面の長さが、前記第２分割コイルの前記段差下面の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
（付記５）
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続され接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度が、前記第２分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度よりも小さく形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
（付記６）
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、
前記第１分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記第１分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記第２分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部となる部分保持部と、
前記部分保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する１つの第２アームを備え、
前記第２分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第３傾斜部を有し、前記第３傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第３傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、前記段差上面よりも前記先端側に、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第４傾斜部を有し、前記第４傾斜部よりも前記円弧部の先端側の先端上面と、前記段差上面とは平行に形成され、
前記第２分割コイルの前記円弧部の長さは、前記第１分割コイルの前記円弧部の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、最下層を前記第１分割コイルとし、前記第１分割コイルの１つの前記アームの上に１つの前記第２分割コイルをそれぞれ配置し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第３傾斜部とを接するように積層され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイル同士は、軸方向において離反して配置され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイルの前記部分保持部にて前記保持部が形成され、複数の前記第２分割コイルの前記先端上面は、前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
（付記７）
前記分割コイルの前記保持部は、径方向の外側に延びる切り欠き部が形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記切り欠き部が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、
前記電極棒は、前記切り欠き部に挿入される径方向の外側に突出し軸方向に延びる突起部を備え、
前記コイルの軸方向に並んだ前記切り欠き部に前記突起部が嵌合されている付記１から付記６のいずれか１項に記載の真空バルブ。
（付記８）
前記接点電極と前記コイルとの間に、前記接点電極に当接して支持する補強部を備えた付記１から付記７のいずれか１項に記載の真空バルブ。
（付記９）
前記分割コイルの外周は、Ｒ加工にて形成された付記１から付記８のいずれか１項に記載の真空バルブ。
（付記１０）
前記分割コイルは、銅、または銅合金にて形成された付記１から付記９のいずれか１項に記載の真空バルブ。
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記円弧部は、軸方向に貫通する貫通孔が形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記貫通孔が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、軸方向に並んだ前記貫通孔に挿入して設置されるとともに、前記接点電極と接触する接触面を有する導電性を有するピンを備えた真空バルブ。
（付記２）
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するように積層され、軸方向の一番上方に設置された前記分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
（付記３）
前記分割コイルの前記円弧部は、前記段差上面よりも前記先端側に、軸方向の下方に向かって斜めに形成された第２傾斜部を有し、
前記コイルは、前記分割コイルの前記第１傾斜部および前記第２傾斜部が、上層と下層との前記分割コイルにおいて接するよう積層された付記２に記載の真空バルブ。
（付記４）
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記段差下面の長さが、前記第２分割コイルの前記段差下面の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
（付記５）
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続され接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
各前記分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度が、前記第２分割コイルの前記第１傾斜部の傾斜角度よりも小さく形成され、
前記コイルは、下層を前記第１分割コイルと、上層を前記第２分割コイルとして軸方向に、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第１傾斜部とが離反して積層され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面の軸方向の高さが同じ高さに形成され、前記第１分割コイルの前記段差上面および前記第２分割コイルの前記段差上面は前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
（付記６）
真空容器内に軸方向に対向して配置され、電極棒により互いに接離可能に設けられた一対の電極部を備えた真空バルブにおいて、
少なくとも一方の前記電極部は、前記電極棒に設置されるコイルと、前記コイルと接続される接点電極とを有し、
前記コイルは、複数の分割コイルが軸方向に積層して形成され、
前記分割コイルは、第１分割コイルおよび第２分割コイルの２種類を有し、
前記第１分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部と、
前記保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する複数のアームを備え、
前記第１分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第１傾斜部を有し、前記第１傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第１傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、
前記第２分割コイルは、前記電極棒が挿入される環状の保持部となる部分保持部と、
前記部分保持部の径方向の外側に延出するとともに、周方向の一方に弧状に延びる円弧部を有する１つの第２アームを備え、
前記第２分割コイルの前記円弧部は、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第３傾斜部を有し、前記第３傾斜部よりも前記円弧部の先端側の段差上面と、前記第３傾斜部よりも反先端側の段差下面とは平行にて形成され、前記段差上面よりも前記先端側に、軸方向の上方に向かって斜めに形成された第４傾斜部を有し、前記第４傾斜部よりも前記円弧部の先端側の先端上面と、前記段差上面とは平行に形成され、
前記第２分割コイルの前記円弧部の長さは、前記第１分割コイルの前記円弧部の長さよりも長く形成され、
前記コイルは、最下層を前記第１分割コイルとし、前記第１分割コイルの１つの前記アームの上に１つの前記第２分割コイルをそれぞれ配置し、前記第１分割コイルの前記第１傾斜部と前記第２分割コイルの前記第３傾斜部とを接するように積層され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイル同士は、軸方向において離反して配置され、前記第１分割コイルの上に積層された複数の前記第２分割コイルの前記部分保持部にて前記保持部が形成され、複数の前記第２分割コイルの前記先端上面は、前記接点電極と接触する接触面である真空バルブ。
（付記７）
前記分割コイルの前記保持部は、径方向の外側に延びる切り欠き部が形成され、
前記コイルは、前記分割コイルの前記切り欠き部が周方向の位置が一致するように軸方向に積層され、
前記電極棒は、前記切り欠き部に挿入される径方向の外側に突出し軸方向に延びる突起部を備え、
前記コイルの軸方向に並んだ前記切り欠き部に前記突起部が嵌合されている付記１から付記６のいずれか１項に記載の真空バルブ。
（付記８）
前記接点電極と前記コイルとの間に、前記接点電極に当接して支持する補強部を備えた付記１から付記７のいずれか１項に記載の真空バルブ。
（付記９）
前記分割コイルの外周は、Ｒ加工にて形成された付記１から付記８のいずれか１項に記載の真空バルブ。
（付記１０）
前記分割コイルは、銅、または銅合金にて形成された付記１から付記９のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【符号の説明】
【0069】
１ 真空容器、１２ カバー、１３ ベローズ、１５ ガイド、１６ 補強部、
１０ 固定側電極部、１００ 真空バルブ、２ シールド、２０ 可動側電極部、
３ 接点電極、４ 分割コイル、４０１ 第１分割コイル、４０２ 第２分割コイル、
４１１ 第１分割コイル、４１２ 第２分割コイル、４２１ 第１分割コイル、
４２２ 第２分割コイル、４０ アーム、４００ 第２アーム、４１ 円弧部、
４１０ 円弧部、４２ 保持部、４２０ 部分保持部、４３ 第１傾斜部、
４３０ 第３傾斜部、４４ 段差上面、４４０ 段差上面、４５ 段差下面、
４５０ 段差下面、４６ 第２傾斜部、４７ 切り欠き部、４８ 凹部、
４８０ 先端上面、４９０ 第４傾斜部、５ ピン、５０ 貫通孔、５１ 接触面、
６ 電極棒、６１ 突起部、６０ 凸部、７ 端板、Ａ Ｒ加工、Ｑ 中心軸、
Ｙ 軸方向、Ｚ 周方向、θ１ 傾斜角度、θ２ 傾斜角度、Ｗ１ 長さ、Ｗ２ 長さ。
１０ 固定側電極部、１００ 真空バルブ、２ シールド、２０ 可動側電極部、
３ 接点電極、４ 分割コイル、４０１ 第１分割コイル、４０２ 第２分割コイル、
４１１ 第１分割コイル、４１２ 第２分割コイル、４２１ 第１分割コイル、
４２２ 第２分割コイル、４０ アーム、４００ 第２アーム、４１ 円弧部、
４１０ 円弧部、４２ 保持部、４２０ 部分保持部、４３ 第１傾斜部、
４３０ 第３傾斜部、４４ 段差上面、４４０ 段差上面、４５ 段差下面、
４５０ 段差下面、４６ 第２傾斜部、４７ 切り欠き部、４８ 凹部、
４８０ 先端上面、４９０ 第４傾斜部、５ ピン、５０ 貫通孔、５１ 接触面、
６ 電極棒、６１ 突起部、６０ 凸部、７ 端板、Ａ Ｒ加工、Ｑ 中心軸、
Ｙ 軸方向、Ｚ 周方向、θ１ 傾斜角度、θ２ 傾斜角度、Ｗ１ 長さ、Ｗ２ 長さ。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【図37】
