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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024173085
(43)【公開日】2024-12-12
(54)【発明の名称】深さ測定装置、深さ測定方法及び深さ測定プログラム
(51)【国際特許分類】
G01B 15/00 20060101AFI20241205BHJP
【ＦＩ】
G01B15/00 H
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023091212
(22)【出願日】2023-06-01
(71)【出願人】
【識別番号】515086908
【氏名又は名称】株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング
(74)【代理人】
【識別番号】110002516
【氏名又は名称】弁理士法人白坂
(72)【発明者】
【氏名】相浦 弘樹
(72)【発明者】
【氏名】白石 有司
【テーマコード（参考）】
2F067
【Ｆターム（参考）】
2F067AA06
2F067AA24
2F067AA25
2F067BB04
2F067EE04
2F067HH04
2F067JJ03
2F067KK06
2F067NN06
2F067RR21
2F067RR24
2F067RR35
(57)【要約】
【課題】部材の間隔を取得することが可能な深さ測定装置、深さ測定方法及び深さ測定プログラムを提供する。
【解決手段】深さ測定装置は、透過Ｘ線画像を取得する第１取得部と、その透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置からＸ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までのＸ線源のスライド移動量と、基準位置から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの検出部における第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、Ｘ線源から検出部までの深さ方向の距離と、を取得する第２取得部と、第２取得部で取得した内容に基づいて、基準位置におけるＸ線源から、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得部と、第３取得部で取得した内容に基づいて、第１面と第２面との距離を取得する第４取得部と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】深さ測定装置は、透過Ｘ線画像を取得する第１取得部と、その透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置からＸ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までのＸ線源のスライド移動量と、基準位置から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの検出部における第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、Ｘ線源から検出部までの深さ方向の距離と、を取得する第２取得部と、第２取得部で取得した内容に基づいて、基準位置におけるＸ線源から、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得部と、第３取得部で取得した内容に基づいて、第１面と第２面との距離を取得する第４取得部と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
部材の第１面と、当該第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、前記深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部で得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得部と、
前記第１取得部で取得する透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置から前記Ｘ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの前記Ｘ線源のスライド移動量と、前記基準位置から前記所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの前記検出部における前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、前記Ｘ線源から前記検出部までの前記深さ方向の距離と、を取得する第２取得部と、
前記第２取得部で取得する前記スライド移動量と、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像の前記ズレ量と、前記深さ方向の距離とに基づいて、前記基準位置における前記Ｘ線源から、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得部と、
前記第３取得部で取得する、前記第１面に配した他の部材の深さと、前記第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、前記第１面と前記第２面との距離を取得する第４取得部と、
を備える深さ測定装置。
前記第１取得部で取得する透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置から前記Ｘ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの前記Ｘ線源のスライド移動量と、前記基準位置から前記所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの前記検出部における前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、前記Ｘ線源から前記検出部までの前記深さ方向の距離と、を取得する第２取得部と、
前記第２取得部で取得する前記スライド移動量と、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像の前記ズレ量と、前記深さ方向の距離とに基づいて、前記基準位置における前記Ｘ線源から、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得部と、
前記第３取得部で取得する、前記第１面に配した他の部材の深さと、前記第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、前記第１面と前記第２面との距離を取得する第４取得部と、
を備える深さ測定装置。
【請求項2】
前記第１面を有する部材と、前記第２面を有する部材とは、同一又は異なる部材であり、
前記第１面及び前記第２面それぞれに配する他の部材は、前記第１面を有する部材及び前記第２面を有する部材それぞれとＸ線吸収係数が異なる
請求項１に記載の深さ測定装置。
前記第１面及び前記第２面それぞれに配する他の部材は、前記第１面を有する部材及び前記第２面を有する部材それぞれとＸ線吸収係数が異なる
請求項１に記載の深さ測定装置。
【請求項3】
前記第３取得部は、前記スライド移動量をｄ、他の部材の像の前記ズレ量をｘ、前記深さ方向の距離をＬとすると、下式（１）により、他の部材までの深さａを取得する
請求項１に記載の深さ測定装置。
請求項１に記載の深さ測定装置。
【数1】
【請求項4】
前記第２取得部は、前記Ｘ線源を多段階に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく他の部材の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置を特定し、当該特定した位置と基準位置とに基づいて前記スライド移動量を取得する
請求項１に記載の深さ測定装置。
請求項１に記載の深さ測定装置。
【請求項5】
部材の第１面と、当該第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とは電磁波の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、前記深さの方向に対して交差する方向に照射源をスライド移動させつつ電磁波を照射して検出部で得られた透過画像を取得する第１取得部と、
前記第１取得部で取得する透過画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置から前記照射源を移動させて所定の透過画像を取得した位置までの前記照射源のスライド移動量と、前記基準位置から前記所定の透過画像を取得した位置までの前記検出部における前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、前記照射源から前記検出部までの前記深さ方向の距離と、を取得する第２取得部と、
前記第２取得部で取得する前記スライド移動量と、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像の前記ズレ量と、前記深さ方向の距離とに基づいて、前記基準位置における前記照射源から、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得部と、
前記第３取得部で取得する、前記第１面に配した他の部材の深さと、前記第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、前記第１面と前記第２面との距離を取得する第４取得部と、
を備える深さ測定装置。
前記第１取得部で取得する透過画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置から前記照射源を移動させて所定の透過画像を取得した位置までの前記照射源のスライド移動量と、前記基準位置から前記所定の透過画像を取得した位置までの前記検出部における前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、前記照射源から前記検出部までの前記深さ方向の距離と、を取得する第２取得部と、
前記第２取得部で取得する前記スライド移動量と、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像の前記ズレ量と、前記深さ方向の距離とに基づいて、前記基準位置における前記照射源から、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得部と、
前記第３取得部で取得する、前記第１面に配した他の部材の深さと、前記第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、前記第１面と前記第２面との距離を取得する第４取得部と、
を備える深さ測定装置。
【請求項6】
コンピュータが、
部材の第１面と、当該第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、前記深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部で得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得ステップと、
前記第１取得ステップで取得する透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置から前記Ｘ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの前記Ｘ線源のスライド移動量と、前記基準位置から前記所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの前記検出部における前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、前記Ｘ線源から前記検出部までの前記深さ方向の距離と、を取得する第２取得ステップと、
前記第２取得ステップで取得する前記スライド移動量と、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像の前記ズレ量と、前記深さ方向の距離とに基づいて、前記基準位置における前記Ｘ線源から、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得ステップと、
前記第３取得ステップで取得する、前記第１面に配した他の部材の深さと、前記第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、前記第１面と前記第２面との距離を取得する第４取得ステップと、
を実行する深さ測定方法。
部材の第１面と、当該第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、前記深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部で得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得ステップと、
前記第１取得ステップで取得する透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置から前記Ｘ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの前記Ｘ線源のスライド移動量と、前記基準位置から前記所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの前記検出部における前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、前記Ｘ線源から前記検出部までの前記深さ方向の距離と、を取得する第２取得ステップと、
前記第２取得ステップで取得する前記スライド移動量と、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像の前記ズレ量と、前記深さ方向の距離とに基づいて、前記基準位置における前記Ｘ線源から、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得ステップと、
前記第３取得ステップで取得する、前記第１面に配した他の部材の深さと、前記第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、前記第１面と前記第２面との距離を取得する第４取得ステップと、
を実行する深さ測定方法。
【請求項7】
コンピュータに、
部材の第１面と、当該第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、前記深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部で得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得機能と、
前記第１取得機能で取得する透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置から前記Ｘ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの前記Ｘ線源のスライド移動量と、前記基準位置から前記所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの前記検出部における前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、前記Ｘ線源から前記検出部までの前記深さ方向の距離と、を取得する第２取得機能と、
前記第２取得機能で取得する前記スライド移動量と、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像の前記ズレ量と、前記深さ方向の距離とに基づいて、前記基準位置における前記Ｘ線源から、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得機能と、
前記第３取得機能で取得する、前記第１面に配した他の部材の深さと、前記第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、前記第１面と前記第２面との距離を取得する第４取得機能と、
を実現させる深さ測定プログラム。
部材の第１面と、当該第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、前記深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部で得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得機能と、
前記第１取得機能で取得する透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置から前記Ｘ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの前記Ｘ線源のスライド移動量と、前記基準位置から前記所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの前記検出部における前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、前記Ｘ線源から前記検出部までの前記深さ方向の距離と、を取得する第２取得機能と、
前記第２取得機能で取得する前記スライド移動量と、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材の像の前記ズレ量と、前記深さ方向の距離とに基づいて、前記基準位置における前記Ｘ線源から、前記第１面及び前記第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得機能と、
前記第３取得機能で取得する、前記第１面に配した他の部材の深さと、前記第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、前記第１面と前記第２面との距離を取得する第４取得機能と、
を実現させる深さ測定プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、深さ測定装置、深さ測定方法及び深さ測定プログラムに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、Ｘ線を被検体に照射して得られた透過画像情報から断層像情報を生成する装置が存在する。その装置は、被検体が載置され、裏面にマークが形成されたテーブル部材と、テーブル部材に載置された被検体に放射線を照射するＸ線源とを備える。装置は、テーブル部材を回転させながら被検体にＸ線を照射し、画像上のマーク位置に基づいて回転振れの無い透過画像情報に補正する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００７－３０９６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に記載された装置は、回転振れの無い画像を生成するためにマークを利用する。
ところで、Ｘ線を被検体に照射する技術は、特許文献１に記載のように断層画像を生成する際に利用されるばかりでなく、種々の利用が可能である。例えば、第１部材と第２部材との面間隔を求めたり、１つの部材の厚さを求めたりする技術に利用可能である。
しかしながら、例えば、部材にＸ線吸収係数について特徴となるものがないと、透過Ｘ線画像では目印となるものがなく、部材の面を特定することができない。従来は、透過Ｘ線画像を用いて部材の面を把握することに基づいて、面間隔及び厚さ（間隔）を取得することができなかった。
ところで、Ｘ線を被検体に照射する技術は、特許文献１に記載のように断層画像を生成する際に利用されるばかりでなく、種々の利用が可能である。例えば、第１部材と第２部材との面間隔を求めたり、１つの部材の厚さを求めたりする技術に利用可能である。
しかしながら、例えば、部材にＸ線吸収係数について特徴となるものがないと、透過Ｘ線画像では目印となるものがなく、部材の面を特定することができない。従来は、透過Ｘ線画像を用いて部材の面を把握することに基づいて、面間隔及び厚さ（間隔）を取得することができなかった。
【0005】
本開示は、部材の間隔を取得することが可能な深さ測定装置、深さ測定方法及び深さ測定プログラムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
一態様の深さ測定装置は、部材の第１面と、その第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部で得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得部と、第１取得部で取得する透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置からＸ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までのＸ線源のスライド移動量と、基準位置から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの検出部における第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、Ｘ線源から検出部までの深さ方向の距離と、を取得する第２取得部と、第２取得部で取得するスライド移動量と、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、深さ方向の距離とに基づいて、基準位置におけるＸ線源から、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得部と、第３取得部で取得する、第１面に配した他の部材の深さと、第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、第１面と第２面との距離を取得する第４取得部と、を備える。
【発明の効果】
【0007】
本開示の深さ測定装置、深さ測定方法及び深さ測定プログラムは、部材の間隔を取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】一実施形態に係る深さ測定装置について説明するための図である。
【図2】Ｘ線源、検出部及び計測対象の一例について説明するための図である。
【図3】一実施形態に係る深さ測定装置について説明するためのブロック図である。
【図4】透過Ｘ線画像に関連する他の部材の輪郭部について説明するための図である。（Ａ）は複数の他の部材を重ねた際の第１図、（Ｂ）は透過量について説明する第１図、（Ｃ）は複数の他の部材を重ねた際の第２図、（Ｄ）は透過量について説明する第２図である。
【図5】一実施形態に係る深さ測定方法について説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、一実施形態について説明する。
【0010】
［深さ測定装置１の概要］
まず、一実施形態に係る深さ測定装置１の概要について説明する。
図１は、一実施形態に係る深さ測定装置１について説明するための図である。
図２は、Ｘ線源２、検出部３及び計測対象２０の一例について説明するための図である。
まず、一実施形態に係る深さ測定装置１の概要について説明する。
図１は、一実施形態に係る深さ測定装置１について説明するための図である。
図２は、Ｘ線源２、検出部３及び計測対象２０の一例について説明するための図である。
【0011】
本開示では、トモシンセシス技術を応用した深度計測技術を提案する。具体的には、深さ測定装置１は、例えば、トモシンセシス技術を応用して、隣接する部材２００の間隔（面間隔）及び部材２００の厚さ等を測定する、すなわち深さを測定する構成等であってもよい。本開示では、面間隔及び厚さをまとめて「間隔」又は「距離」という場合がある。
【0012】
図１に例示するように、深さ測定装置１は、例えば、Ｘ線源２、Ｘ線検出部（検出部）３及び処理部１０を備える。
【0013】
Ｘ線源２は、対象に対して照射するＸ線を発生させるＸ線発生装置である。Ｘ線源２は、例えば、固定陽極Ｘ線管を備える。Ｘ線管の陽極には、例えば、ターゲットとして、タングステン、モリブデン等の金属が使用される。Ｘ線源２は、例えば、処理部１０の制御に基づいて、Ｘ線を透過させる計測対象２０の厚さ及び材質等に応じて、発生させるＸ線量（エネルギ量）を設定する。Ｘ線源２には、例えば、公知のＸ線用の照射装置が使用されてもよい。
計測対象２０は、例えば、金属部材を始めとする種々の材質からなる部材等であってもよい。
計測対象２０は、例えば、金属部材を始めとする種々の材質からなる部材等であってもよい。
【0014】
検出部３は、例えば、Ｘ線源２から照射された後、計測対象２０を透過したＸ線を検出する。検出部３は、例えば、計測対象２０を透過した透過Ｘ線の強度（一例として、線量及び照射線量等）を検出する。検出部３には、例えば、公知のＸ線用の検出装置が使用されてもよい。
【0015】
処理部１０は、例えば、Ｘ線源２及びＸ線検出部３それぞれとの間で情報の送受信を行ってもよい。処理部１０は、例えば、サーバ、デスクトップ及びラップトップ等のコンピュータ（情報処理装置）等であってもよい。
【0016】
すなわち、深さ測定装置１は、計測対象２０に対してＸ線源２からＸ線を照射し、検出部３で検出する。図２に例示するように、計測対象２０は、第１面２１１を備える部材２００と、第２面２２１を備える部材２００とを備える。それらの部材２００は、同一の部材であってもよく、異なる部材であってもよい。なお、図１には、計測対象２０として概略の形状を記載する。第１面２１１と第２面２２１とは、Ｘ線源２から検出部３へ向かう方向を深さ方向Ｙとすると、深さ方向Ｙに離れた異なる面であってもよい。第１面２１１及び第２面２２１それぞれには、部材２００とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材２３０が配される。
【0017】
Ｘ線源２は、基準位置から、深さ方向Ｙに対して交差する方向（交差方向Ｘ）に移動することが可能である。Ｘ線源２は、スライド移動しつつ計測対象２０に向けてＸ線を照射する。基準位置は、計測対象２０が配される位置に対応する位置等であってもよい。
検出部３は、Ｘ線を検出して、透過Ｘ線画像（透過Ｘ線画像情報）を生成する。
検出部３は、Ｘ線を検出して、透過Ｘ線画像（透過Ｘ線画像情報）を生成する。
【0018】
深さ測定装置１は、Ｘ線源２から検出部３までの深さ方向Ｙの距離Ｌを取得する。また、深さ測定装置１は、透過Ｘ線画像に基づいて、Ｘ線源２のスライド移動量ｄ１２と、検出部３における他の部材２３０の像のズレ量ｘ１２とを取得する。Ｘ線源２のスライド移動量ｄ１２は、基準位置ｄ１からＸ線源２を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置ｄ２までの移動量である。所定の透過Ｘ線画像は、他の部材２３０の像が明瞭に得られるような画像等であってもよい。他の部材２３０の像のズレ量ｘ１２は、Ｘ線源２のスライド移動量ｄ１２に応じて、検出部３において他の部材２３０の像を取得した際の、他の部材２３０の像の移動量である。すなわち、他の部材２３０の像のズレ量ｘ１２は、検出部３側における基準位置ｘ１から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置ｘ２までの他の部材２３０の像の移動量である。ここで、深さ測定装置１は、第１面２１１に配した他の部材２３０の像のズレ量ｘ１１２（図示せず）と、第２面２２１に配した他の部材２３０の像のズレ量ｘ２１２（図示せず）とを取得する。
【0019】
深さ測定装置１は、上述した、スライド移動量ｄ１２と、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０の像のズレ量ｘ１１２，ｘ２１２と、深さ方向の距離Ｌとに基づいて、基準位置ｄ１におけるＸ線源２から、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配して他の部材２３０までの深さａ１，ａ２を取得する。
深さ測定装置１は、第１面２１１に配した他の部材２３０の深さａ１と、第２面２２１に配した他の部材２３０の深さａ２とに基づいて、第１面２１１と第２面２２１との間隔（距離（隙量））を取得する。
深さ測定装置１は、第１面２１１に配した他の部材２３０の深さａ１と、第２面２２１に配した他の部材２３０の深さａ２とに基づいて、第１面２１１と第２面２２１との間隔（距離（隙量））を取得する。
【0020】
［深さ測定装置１の詳細］
次に、一実施形態に係る深さ測定装置１について詳細に説明する。ここでは特に、処理部１０について詳細に説明する。
図３は、一実施形態に係る深さ測定装置１について説明するためのブロック図である。
図４は、透過Ｘ線画像に関連する他の部材２３０の輪郭部について説明するための図である。図４（Ａ）は複数の他の部材２３０を重ねた際の第１図、図４（Ｂ）は透過量について説明する第１図、図４（Ｃ）は複数の他の部材２３０を重ねた際の第２図、図４（Ｄ）は透過量について説明する第２図である。
次に、一実施形態に係る深さ測定装置１について詳細に説明する。ここでは特に、処理部１０について詳細に説明する。
図３は、一実施形態に係る深さ測定装置１について説明するためのブロック図である。
図４は、透過Ｘ線画像に関連する他の部材２３０の輪郭部について説明するための図である。図４（Ａ）は複数の他の部材２３０を重ねた際の第１図、図４（Ｂ）は透過量について説明する第１図、図４（Ｃ）は複数の他の部材２３０を重ねた際の第２図、図４（Ｄ）は透過量について説明する第２図である。
【0021】
深さ測定装置１（処理部１０）は、例えば、通信部１２１、記憶部１２２、表示部１２３及び制御部１１０等を備える。通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３は、出力部の一実施形態であってもよい。制御部１１０は、例えば、Ｘ線源制御部１１１、第１取得部１１２、第２取得部１１３、第３取得部１１４、第４取得部１１５及び出力制御部１１６等を備える。制御部１１０は、例えば、深さ測定装置１（処理部１０）の演算処理装置等によって構成されてもよい。制御部１１０（例えば、演算処理装置等）は、例えば、記憶部１２２等に記憶される各種プログラム等を適宜読み出して実行することにより、各部の機能を実現してもよい。
【0022】
通信部１２１は、例えば、深さ測定装置１の外部にある装置（外部装置）等との間で種々の情報の送受信が可能な通信インターフェースである。通信部１２１は、例えば、Ｘ線源２及び検出部３と通信を行ってもよい。また、通信部１２１は、例えば、サーバ及びユーザ端末（図示せず）等と通信を行ってもよい。ユーザ端末は、例えば、深さ測定装置１のユーザが使用する端末であってもよく、デスクトップ、ラップトップ、タブレット及びスマートフォン等であってもよい。
【0023】
記憶部１２２は、例えば、種々の情報及びプログラムを記憶してもよい。記憶部１２２の一例は、メモリ、ソリッドステートドライブ及びハードディスクドライブ等であってもよい。なお、記憶部１２２は、例えば、クラウド上にある記憶領域及びサーバ等であってもよい。
【0024】
表示部１２３は、例えば、種々の文字、記号及び画像等を表示することが可能なディスプレイである。
【0025】
Ｘ線源制御部１１１は、通信部１２１を介して、Ｘ線源２を制御する。一例として、Ｘ線源制御部１１１は、Ｘ線源２をスライド移動させるよう制御する。図２に例示するように、スライド移動させる方向は、例えば、Ｘ線源２から検出部３に向かう深さ方向Ｙに対して交差する方向（交差方向Ｘ）、特には直交する方向等であってもよい。これにより、Ｘ線源制御部１１１は、Ｘ線源２をスライド移動させつつ、すなわち、Ｘ線源２を交差方向Ｘに多段階又は連続的に移動させつつ、そのＸ線源２から計測対象２０に対して複数回Ｘ線を照射させる。
【0026】
第１取得部１１２は、計測対象２０に対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源２をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部３で得られた透過Ｘ線画像を取得する。一例として、第１取得部１１２は、計測対象２０に対して、深さの方向Ｙに対して交差する方向ＸにＸ線源２をスライド移動させてＸ線を照射し、得られた透過Ｘ線画像に関する情報（透過Ｘ線画像情報）を、通信部１２１を介して取得してもよい。すなわち、第１取得部１１２は、Ｘ線の照射位置が異なる、複数の透過Ｘ線画像を取得する。
【0027】
計測対象２０は、部材２００の第１面２１１と、その第１面２１１に対して深さ方向に離れた、部材２００の第２面２２１とのそれぞれに、部材２００とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材２３０を配したものである。第１面２１１及び第２面２２１は、深さ方向Ｙの距離を測定する際の測定対象となる面である。第１面２１１と第２面２２１との間は、空間であってもよく、部材であってもよく、部材と空間との混合であってもよい。この場合の部材は、例えば、１つの部材の一方の面が第１面となり、一方の面の反対側の他方の面が第２面となるような場合である。部材と空間との混合は、例えば、第１面２１１を有する部材２００（第１部材２１０）と、第２面２２１を有する部材２００（第２部材２２０）との間に、空間を空けて、第３部材が配される構成であってもよく、又は、一例としてＵ字型形状を有する第１部材２１０（又は、第２部材２２０）の突起状先端部が配される構成であってもよい。
第１面２１１を有する部材２００（第１部材２１０）と、第２面２２１を有する部材２００（第２部材２２０）とは、同一又は異なる部材である。
第１面２１１を有する部材２００（第１部材２１０）と、第２面２２１を有する部材２００（第２部材２２０）とは、同一又は異なる部材である。
【0028】
第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配する他の部材２３０は、第１面２１１を有する部材２００（第１部材２１０）及び第２面２２１を有する部材２００（第２部材２２０）それぞれとＸ線吸収係数が異なる。すなわち、他の部材２３０は、第１面２１１を有する部材２００（第１部材２１０）及び第２面２２１を有する部材２００（第２部材２２０）それぞれのＸ線吸収係数に対して、値の大きな又は小さなＸ線吸収係数を有する部材であってもよい。第１面２１１に配する他の部材２３０と、第２面２２１に配する他の部材２３０とは、同一又は異なる部材であってもよい。
ここで一例として、第１面２１１を有する部材２００（第１部材２１０）及び第２面２２１を有する部材２００（第２部材２２０）は鋼材等であってもよく、他の部材２３０は鉛等から構成される部材であってもよい。なお、他の部材２３０は、種々の方法により部材２００に配することが可能である。一例として、他の部材２３０は、粘着テープ及び粘着剤等を利用して、部材２００に配することが可能である。
ここで一例として、第１面２１１を有する部材２００（第１部材２１０）及び第２面２２１を有する部材２００（第２部材２２０）は鋼材等であってもよく、他の部材２３０は鉛等から構成される部材であってもよい。なお、他の部材２３０は、種々の方法により部材２００に配することが可能である。一例として、他の部材２３０は、粘着テープ及び粘着剤等を利用して、部材２００に配することが可能である。
【0029】
なお、第１面２１１に配される他の部材２３０と、第２面２２１に配される他の部材２３０とは、深さ方向Ｙに対して対向（略対向）してもよく、Ｙ方向に対して交差するＸ方向に離れていてもよい。
【0030】
また、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配される他の部材２３０は、例えば、目印となるような平板形状であってもよい。この場合の一例として、第１面２１１に配される他の部材２３０と、第２面２２１に配される他の部材２３０とは、深さ方向Ｙから見た平面形状が異なっていてもよい。図４に例示する場合、他の部材２３０の形状は円形であるが、楕円形、矩形及び三角形等であってもよく、他の形状であってもよい。
【0031】
また、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配される他の部材２３０は、例えば、高さ方向（Ｙ方向）に対して段階的な厚さを有する形状（階段形状）であってもよい。一例として、階段形状の他の部材２３０は、平面サイズの異なる複数の他の部材を積層させること等により形成されてもよい。この場合、Ｘ線の強度を予め調整することなく計測対象２０に照射した場合でも、階段形状の厚さに応じたいずれかの段（例えば、より厚くなる段）において、部材２００とは明確に異なるような透過Ｘ線強度を得ることが可能になる。すなわち、透過Ｘ線画像の輝度において、部材２００と他の部材２３０とを区別しやすくすることが可能になる。
【0032】
又は、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配される他の部材２３０は、例えば、相対的により広い面を有する平板であり、その平板に１又は複数の孔部が形成されてもよい。一例として、第１面２１１に配される他の部材２３０の孔部と、第２面２２１に配される他の部材２３０の孔部とは、深さ方向Ｙから見た平面形状が異なっていてもよい。この場合、透過Ｘ線画像の輝度において、部材２００（他の部材２３０の孔部（開口））と他の部材２３０とを区別しやすくすることが可能になる。
【0033】
第２取得部１１３は、第１取得部１１２で取得する透過Ｘ線画像に基づいて、Ｘ線源２のスライド移動量ｄ１２と、他の部材２３０の像のズレ量ｘ１２と、Ｘ線源２から検出部３までの深さ方向Ｙの距離Ｌと、を取得する。
Ｘ線源２のスライド移動量ｄ１２は、計測対象２０が配される位置に対応する基準位置ｄ１からＸ線源２を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置ｄ２までのＸ線源２の移動量である。
他の部材２３０の像のズレ量ｘ１２は、計測対象２０が配される位置に対応する基準位置ｘ１から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置ｘ２までの、検出部３における第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０の像の位置のズレ量である。
なお、Ｘ線源２側の基準位置ｄ１と、位置ｄ２と、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０の位置Ｏ１，Ｏ２とで形成される三角形と、検出部３側の基準位置ｘ１と、位置ｘ２と、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０の位置Ｏ１，Ｏ２とで形成される三角形とは、相似形状となる。
Ｘ線源２のスライド移動量ｄ１２は、計測対象２０が配される位置に対応する基準位置ｄ１からＸ線源２を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置ｄ２までのＸ線源２の移動量である。
他の部材２３０の像のズレ量ｘ１２は、計測対象２０が配される位置に対応する基準位置ｘ１から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置ｘ２までの、検出部３における第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０の像の位置のズレ量である。
なお、Ｘ線源２側の基準位置ｄ１と、位置ｄ２と、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０の位置Ｏ１，Ｏ２とで形成される三角形と、検出部３側の基準位置ｘ１と、位置ｘ２と、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０の位置Ｏ１，Ｏ２とで形成される三角形とは、相似形状となる。
【0034】
第２取得部１１３は、Ｘ線源２を多段階に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく他の部材２３０の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置ｄ２を特定し、その特定した位置ｄ２と基準位置ｄ１とに基づいてスライド移動量ｄ１２を取得してもよい。
【0035】
ここで、Ｘ線源２をスライド移動させつつ他の部材２３０の像が記録された透過Ｘ線画像の複数を重ねる場合、他の部材２３０に対してＸ線源２の見掛けの移動量が小さい際には、複数の画像を重ねた他の部材２３０の輪郭部はより鮮明になると考えられる。同様に、他の部材２３０に対してＸ線源２の見掛けの移動量が大きい際には、画像を重ねた他の部材２３０の輪郭部はより不鮮明になると考えられる。
【0036】
他の部材２３０が深さ方向Ｙに対してより浅い位置（Ｘ線源２側により近い位置）に有る場合、その他の部材２３０からより近い位置をＸ線源２が移動する際（図２に例示する移動量ｄ１２が小さい場合）には、その他の部材２３０に対するＸ線源２の見掛けの移動量（例えば、検出部３に投影される他の部材２３０の像の－Ｘ方向への移動量）がより大きくなると考えられる。すなわちこの場合には、複数の画像を重ねた他の部材２３０の輪郭部はより不鮮明になると考えられる。
同様に、他の部材２３０が深さ方向Ｙに対してより浅い位置（Ｘ線源２側により近い位置）に有る場合、その他の部材２３０からより遠い位置をＸ線源２が移動する際（図２に例示する移動量ｄ１２が大きい場合）には、その他の部材２３０に対するＸ線源２の見掛けの移動量（例えば、検出部３３に投影される他の部材２３０の像の－Ｘ方向への移動量）がより小さくなると考えられる。すなわちこの場合には、複数の画像を重ねた他の部材２３０の輪郭部はより鮮明になると考えられる。
同様に、他の部材２３０が深さ方向Ｙに対してより浅い位置（Ｘ線源２側により近い位置）に有る場合、その他の部材２３０からより遠い位置をＸ線源２が移動する際（図２に例示する移動量ｄ１２が大きい場合）には、その他の部材２３０に対するＸ線源２の見掛けの移動量（例えば、検出部３３に投影される他の部材２３０の像の－Ｘ方向への移動量）がより小さくなると考えられる。すなわちこの場合には、複数の画像を重ねた他の部材２３０の輪郭部はより鮮明になると考えられる。
【0037】
また一方、他の部材２３０が深さ方向Ｙに対してより深い位置（検出部３側により近い位置）に有る場合、その他の部材２３０からより近い位置をＸ線源２が移動する際（図２に例示する移動量ｄ１２が小さい場合）には、その他の部材２３０に対するＸ線源２の見掛けの移動量（例えば、検出部３に投影される他の部材２３０の像の－Ｘ方向への移動量）がより小さくなると考えられる。すなわちこの場合には、画像を重ねた他の部材２３０の輪郭部はより鮮明になると考えられる。
同様に、他の部材２３０が深さ方向Ｙに対してより深い位置（検出部３側により近い位置）に有る場合、その他の部材２３０からより遠い位置をＸ線源２が移動する際（図２に例示する移動量ｄ１２が大きい場合）には、その他の部材２３０に対するＸ線源２の見掛けの移動量（例えば、検出部３に投影される他の部材２３０の像の－Ｘ方向への移動量）がより大きくなると考えられる。すなわちこの場合には、画像を重ねた他の部材２３０の輪郭部はより不鮮明になると考えられる。
同様に、他の部材２３０が深さ方向Ｙに対してより深い位置（検出部３側により近い位置）に有る場合、その他の部材２３０からより遠い位置をＸ線源２が移動する際（図２に例示する移動量ｄ１２が大きい場合）には、その他の部材２３０に対するＸ線源２の見掛けの移動量（例えば、検出部３に投影される他の部材２３０の像の－Ｘ方向への移動量）がより大きくなると考えられる。すなわちこの場合には、画像を重ねた他の部材２３０の輪郭部はより不鮮明になると考えられる。
【0038】
他の部材２３０の輪郭部は、例えば、Ｘ線の透過量に応じて特定される。Ｘ線の透過量がより少ない場合には他の部材２３０があること、またＸ線の透過量がより多い場合には他の部材２３０が無いことと推定が可能である。
したがって、複数の透過Ｘ線画像を重ねた場合、他の部材２３０の像の移動がより大きいと複数の他の部材２３０の像のずれが大きくなり（図４（Ａ）参照）、他の部材２３０の像の輪郭部がより不鮮明になり、他の部材２３０の輪郭部（他の部材２３０の像の周縁部）のＸ線透過量Ｔの差２３１がより緩やかな変動になる（図４（Ｂ）参照）。
同様に、複数の透過Ｘ線画像を重ねた場合、他の部材２３０の像の移動がより少ないと複数の他の部材２３０の像のずれが少なくなり（図４（Ｃ）参照）、他の部材２３０の像の輪郭部がより鮮明になり、他の部材２３０の輪郭部（他の部材２３０の像の周縁部）のＸ線透過量Ｔの差２３１がより急激な変動になる（図４（Ｄ）参照）。
したがって、複数の透過Ｘ線画像を重ねた場合、他の部材２３０の像の移動がより大きいと複数の他の部材２３０の像のずれが大きくなり（図４（Ａ）参照）、他の部材２３０の像の輪郭部がより不鮮明になり、他の部材２３０の輪郭部（他の部材２３０の像の周縁部）のＸ線透過量Ｔの差２３１がより緩やかな変動になる（図４（Ｂ）参照）。
同様に、複数の透過Ｘ線画像を重ねた場合、他の部材２３０の像の移動がより少ないと複数の他の部材２３０の像のずれが少なくなり（図４（Ｃ）参照）、他の部材２３０の像の輪郭部がより鮮明になり、他の部材２３０の輪郭部（他の部材２３０の像の周縁部）のＸ線透過量Ｔの差２３１がより急激な変動になる（図４（Ｄ）参照）。
【0039】
第２取得部１１３は、Ｘ線源２のスライド移動に応じた複数の透過Ｘ線画像を重ねた場合の、他の部材２３０の輪郭部の透過量Ｔの変化が予め設定された所定値以上の場合（例えば、透過量Ｔの変化の割合が閾値以上の場合）、検出部３側に投影される他の部材２３０の移動が最も少ない位置、すなわち、Ｘ線源２を基準位置ｄ１から移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置（所定位置）ｄ２として特定する。第２取得部１１３は、基準位置ｄ１と位置ｄ２とに基づいて、スライド移動量ｄ１２を取得する。すなわち、第２取得部１１３は、第１面２１１の他の部材２３０に基づいて、基準位置ｄ１及び位置ｄ２からスライド移動量ｄ１１２を取得する。また、第２取得部１１３は、第２面２２１の他の部材２３０に基づいて、基準位置ｄ１及び位置ｄ２からスライド移動量ｄ２１２を取得する。
なお、第２取得部１１３は、例えば、透過量Ｔとして、透過Ｘ線の強度又は輝度を利用してもよい。
なお、第２取得部１１３は、例えば、透過量Ｔとして、透過Ｘ線の強度又は輝度を利用してもよい。
【0040】
上記と同様に、第２取得部１１３は、透過Ｘ線画像に基づいて、位置ｄ１，ｄ２に応じた検出部３側の位置ｘ１，ｘ２を取得する。換言すると、第２取得部１１３は、透過Ｘ線画像に基づいて、スライド移動量ｄ１２に応じた他の像のズレ量ｘ１２を取得する。すなわち、第２取得部１１３は、第１面２１１に配した他の部材２３０の透過Ｘ線画像に基づいて、スライド移動量ｄ１１２に応じた他の像のズレ量ｘ１１２を取得する。また、第２取得部１１３は、第２面２２１に配した他の部材２３０の透過Ｘ線画像に基づいて、スライド移動量ｄ２１２に応じた他の像のズレ量ｘ２１２を取得する。
【0041】
第２取得部１１３は、Ｘ線源２と検出部３との深さ方向Ｙの距離Ｌについては、予め測定された値が入力される等により、取得することが可能である。
【0042】
第３取得部１１４は、第２取得部１１３で取得する、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０に応じたスライド移動量ｄ１２と、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０の像のズレ量ｘ１２と、深さ方向の距離Ｌとに基づいて、基準位置におけるＸ線源２から、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０までの深さａ（第１面２１１，第２面２２１までの深さ）を取得する。すなわち、第３取得部１１４は、スライド移動量をｄ１２、他の部材２３０の像のズレ量をｘ１２、深さ方向の距離をＬとすると、下式（１）により、他の部材２３０までの深さａ（第１面２１１，第２面２２１までの深さ）を取得してもよい。
【0043】
【数1】
【0044】
ここで、Ｘ線源２側の基準位置ｄ１と、位置ｄ２と、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０の位置Ｏ１，Ｏ２とで形成される三角形と、検出部３側の基準位置ｘ１と、位置ｘ２と、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０の位置Ｏ１，Ｏ２とで形成される三角形とは、相似形状となる。このため、上式（１）は、下式（２）から得ることが可能である。
ａ：（Ｌ－ａ）＝ｄ１２：ｘ１２・・・（２）
ａ：（Ｌ－ａ）＝ｄ１２：ｘ１２・・・（２）
【0045】
第３取得部１１４は、上式（１）を利用して、基準位置におけるＸ線源２から、第１面２１１に配された他の部材２３０までの深さａ１と、第２面２２１に配された他の部材２３０までの深さａ２とを取得することができる。
すなわち、第１面２１１に配された他の部材２３０の深さａ１（第１面２１１の深さ）を取得する場合、第１面２１１の他の部材２３０の像に応じたスライド移動量ｄ１１２と、第１面２１１に配した他の部材２３０の像のズレ量をｘ１１２とすると、上式（１）に基づいて、下式（３）により深さａ１を取得することが可能である。
すなわち、第１面２１１に配された他の部材２３０の深さａ１（第１面２１１の深さ）を取得する場合、第１面２１１の他の部材２３０の像に応じたスライド移動量ｄ１１２と、第１面２１１に配した他の部材２３０の像のズレ量をｘ１１２とすると、上式（１）に基づいて、下式（３）により深さａ１を取得することが可能である。
【0046】
【数2】
【0047】
同様に、第２面２２１に配された他の部材２３０の深さａ２（第２面２２１の深さ）を取得する場合、第２面２２１の他の部材２３０の像に応じたスライド移動量ｄ２１２と、第２面２２１に配した他の部材２３０の像のズレ量をｘ２１２とすると、上式（１）に基づいて、下式（４）により深さａ２を取得することが可能である。
【0048】
【数3】
【0049】
なお、第３取得部１１４は、上述したように第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配される他の部材２３０に孔部が形成された場合、上記と同様に、第１面２１１に配される他の部材２３０の孔部までの深さ（第１面２１１の深さ）と、第２面２２１に配される他の部材２３０の孔部までの深さ（第２面２２１の深さ）とを取得してもよい。
【0050】
第４取得部１１５は、第３取得部１１４で取得する、第１面２１１に配した他の部材２３０の深さａ１（第１面２１１の深さ）と、第２面２２１に配した他の部材２３０の深さａ２（第２面２２１の深さ）とに基づいて、第１面２１１と第２面２２１との間隔（距離）を取得する。第４取得部１１５は、深さａ１と深さａ２とに基づいて減算を行うことにより、第１面２１１と第２面２２１との深さ方向の間隔（距離（隙量））を取得することができる。
【0051】
出力制御部１１６は、例えば、第４取得部１１５で取得された第１面２１１と第２面２２１との間隔（距離）を出力するよう出力部を制御してもよい。出力部は、例えば、通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３等であってもよい。
すなわち、出力制御部１１６は、第１面２１１と第２面２２１との間隔（距離）に関する情報を外部装置（図示せず）に送信するよう通信部１２１を制御してもよい。外部装置は、例えば、サーバ及びユーザ端末等であってもよい。
出力制御部１１６は、第１面２１１と第２面２２１との間隔（距離）に関する情報を記憶するよう記憶部１２２を制御してもよい。
出力制御部１１６は、第１面２１１と第２面２２１との間隔（距離）を表示するよう表示部１２３を制御してもよい。
すなわち、出力制御部１１６は、第１面２１１と第２面２２１との間隔（距離）に関する情報を外部装置（図示せず）に送信するよう通信部１２１を制御してもよい。外部装置は、例えば、サーバ及びユーザ端末等であってもよい。
出力制御部１１６は、第１面２１１と第２面２２１との間隔（距離）に関する情報を記憶するよう記憶部１２２を制御してもよい。
出力制御部１１６は、第１面２１１と第２面２２１との間隔（距離）を表示するよう表示部１２３を制御してもよい。
【0052】
【0053】
ステップＳＴ１０１において、第１取得部１１２は、計測対象２０に対して、深さの方向Ｙに対して交差する方向ＸにＸ線源２をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部３で得られた透過Ｘ線画像を取得する。計測対象２０は、部材２００の第１面２１１と、その第１面２１１に対して深さ方向Ｙに離れた、部材２００の第２面２２１とのそれぞれに、部材２００とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材２３０を配したものである。ここで、第１面２１１を有する部材２００と、第２面２２１を有する部材２００とは、同一又は異なる部材である。また、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配する他の部材２３０は、第１面２１１を有する部材２００及び第２面２２１を有する部材２００それぞれとＸ線吸収係数が異なる。
【0054】
ステップＳＴ１０２において、第２取得部１１３は、ステップＳＴ１０１で取得する透過Ｘ線画像に基づいて、Ｘ線源２のスライド移動量ｄ１２と、他の部材２３０の像のズレ量ｘ１２と、Ｘ線源２から検出部３までの深さ方向Ｙの距離Ｌと、を取得する。
Ｘ線源２のスライド移動量ｄ１２は、計測対象２０が配される位置に対応する基準位置ｄ１からＸ線源２を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置ｄ２までのＸ線源２の移動量である。すなわち、Ｘ線源２のスライド移動量ｄ１２は、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０に応じた移動量ｄ１１２，ｄ２１２である。
他の部材２３０の像のズレ量ｘ１２は、基準位置ｘ１から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置ｘ２までの検出部３における第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０の像の位置のズレ量ｘ１１２，ｘ２１２である。
第２取得部１１３は、Ｘ線源２を多段階に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく他の部材２３０の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置ｄ２を特定し、その特定した位置ｄ２と基準位置ｄ１とに基づいてスライド移動量ｄ１２を取得してもよい。
同様に、第２取得部１１３は、検出部３側において、複数の透過Ｘ線画像に基づく他の部材２３０の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置ｘ２を特定し、その特定した位置ｘ２と基準位置ｘ１とに基づいて他の部材２３０の位置のズレ量ｘ１２を取得してもよい。
Ｘ線源２のスライド移動量ｄ１２は、計測対象２０が配される位置に対応する基準位置ｄ１からＸ線源２を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置ｄ２までのＸ線源２の移動量である。すなわち、Ｘ線源２のスライド移動量ｄ１２は、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０に応じた移動量ｄ１１２，ｄ２１２である。
他の部材２３０の像のズレ量ｘ１２は、基準位置ｘ１から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置ｘ２までの検出部３における第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０の像の位置のズレ量ｘ１１２，ｘ２１２である。
第２取得部１１３は、Ｘ線源２を多段階に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく他の部材２３０の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置ｄ２を特定し、その特定した位置ｄ２と基準位置ｄ１とに基づいてスライド移動量ｄ１２を取得してもよい。
同様に、第２取得部１１３は、検出部３側において、複数の透過Ｘ線画像に基づく他の部材２３０の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置ｘ２を特定し、その特定した位置ｘ２と基準位置ｘ１とに基づいて他の部材２３０の位置のズレ量ｘ１２を取得してもよい。
【0055】
ステップＳＴ１０３において、第３取得部１１４は、ステップＳＴ１０２で取得する、スライド移動量ｄ１２（ｄ１１２，ｄ２１２）と、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０の像のズレ量ｘ１２（ｘ１１２，ｘ２１２）と、深さ方向Ｙの距離Ｌとに基づいて、基準位置におけるＸ線源２から、第１面２１１及び第２面２２１それぞれに配した他の部材２３０までの深さａを取得する。第３取得部１１４は、スライド移動量をｄ１２（ｄ１１２，ｄ２１２）、他の部材２３０の像のズレ量をｘ１２（ｘ１１２，ｘ２１２）、深さ方向の距離をＬとすると、上式（１）（式（３）及び式（４））により、他の部材２３０までの深さａ（ａ１，ａ２）を取得してもよい。
【0056】
ステップＳＴ１０４において、第４取得部１１５は、第３取得部１１４で取得する、第１面２１１に配した他の部材２３０の深さａ１と、第２面２２１に配した他の部材２３０の深さａ２とに基づいて、第１面２１１と第２面２２１との間隔（距離）を取得する。
【0057】
［機能及び回路について］
次に、上述した深さ測定装置１の機能及び回路について説明する。
深さ測定装置１の各部は、コンピュータの演算処理装置等の機能として実現されてもよい。すなわち、深さ測定装置１のＸ線源制御部１１１、第１取得部１１２、第２取得部１１３、第３取得部１１４、第４取得部１１５及び出力制御部１１６（制御部１１０）は、コンピュータの演算処理装置等によるＸ線源制御機能、第１取得機能、第２取得機能、第３取得機能、第４取得機能及び出力制御機能（制御機能）としてそれぞれ実現されてもよい。
深さ測定プログラムは、上述した各機能をコンピュータに実現させることができる。深さ測定プログラムは、例えば、メモリ、ソリッドステートドライブ、ハードディスクドライブ又は光ディスク等の、コンピュータで読み取り可能な非一時的な記録媒体等に記録されていてもよい。記録媒体は、例えば、非一時的なコンピュータ可読媒体と言い換えてもよい。
また、上述したように、深さ測定装置１の各部は、コンピュータの演算処理装置等で実現されてもよい。その演算処理装置等は、例えば、集積回路等によって構成される。このため、深さ測定装置１の各部は、演算処理装置等を構成する回路として実現されてもよい。すなわち、深さ測定装置１のＸ線源制御部１１１、第１取得部１１２、第２取得部１１３、第３取得部１１４、第４取得部１１５及び出力制御部１１６（制御部１１０）は、コンピュータの演算処理装置等を構成するＸ線源制御回路、第１取得回路、第２取得回路、第３取得回路、第４取得回路及び出力制御回路（制御回路）として実現されてもよい。
また、深さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、演算処理装置等の機能を含む通信機能、記憶機能及び表示機能（出力機能）として実現されてもよい。また、深さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、集積回路等によって構成されることにより通信回路、記憶回路及び表示回路（出力回路）として実現されてもよい。また、深さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、複数のデバイスによって構成されることにより通信装置、記憶装置及び表示装置（出力装置）として構成されてもよい。
次に、上述した深さ測定装置１の機能及び回路について説明する。
深さ測定装置１の各部は、コンピュータの演算処理装置等の機能として実現されてもよい。すなわち、深さ測定装置１のＸ線源制御部１１１、第１取得部１１２、第２取得部１１３、第３取得部１１４、第４取得部１１５及び出力制御部１１６（制御部１１０）は、コンピュータの演算処理装置等によるＸ線源制御機能、第１取得機能、第２取得機能、第３取得機能、第４取得機能及び出力制御機能（制御機能）としてそれぞれ実現されてもよい。
深さ測定プログラムは、上述した各機能をコンピュータに実現させることができる。深さ測定プログラムは、例えば、メモリ、ソリッドステートドライブ、ハードディスクドライブ又は光ディスク等の、コンピュータで読み取り可能な非一時的な記録媒体等に記録されていてもよい。記録媒体は、例えば、非一時的なコンピュータ可読媒体と言い換えてもよい。
また、上述したように、深さ測定装置１の各部は、コンピュータの演算処理装置等で実現されてもよい。その演算処理装置等は、例えば、集積回路等によって構成される。このため、深さ測定装置１の各部は、演算処理装置等を構成する回路として実現されてもよい。すなわち、深さ測定装置１のＸ線源制御部１１１、第１取得部１１２、第２取得部１１３、第３取得部１１４、第４取得部１１５及び出力制御部１１６（制御部１１０）は、コンピュータの演算処理装置等を構成するＸ線源制御回路、第１取得回路、第２取得回路、第３取得回路、第４取得回路及び出力制御回路（制御回路）として実現されてもよい。
また、深さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、演算処理装置等の機能を含む通信機能、記憶機能及び表示機能（出力機能）として実現されてもよい。また、深さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、集積回路等によって構成されることにより通信回路、記憶回路及び表示回路（出力回路）として実現されてもよい。また、深さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、複数のデバイスによって構成されることにより通信装置、記憶装置及び表示装置（出力装置）として構成されてもよい。
【0058】
深さ測定装置１は、上述した複数の各部のうち１又は任意の複数を組み合わせることが可能である。
本開示では、「情報」の文言を使用しているが、「情報」の文言は「データ」と言い換えることができ、「データ」の文言は「情報」と言い換えることができる。
本開示では、「情報」の文言を使用しているが、「情報」の文言は「データ」と言い換えることができ、「データ」の文言は「情報」と言い換えることができる。
【0059】
［変形例］
上述した実施形態では、Ｘ線を利用した装置について説明した。しかしながら、本開示の深さ測定装置１等では、Ｘ線を利用するばかりでなく、種々の波長（波長域）の光及び放射線（電磁波）を利用してもよい。この場合、深さ測定装置１等は、例えば、赤外光、可視光及び紫外光等の光、並びに、放射線を照射源から計測対象２０に照射することに応じて透過画像を取得し、上述した実施形態と同様に深さを取得してもよい。種々の波長（波長域）を利用して透過画像を取得し、また深さを取得する部材２００の一例は、半導体等を始めとする種々の材質からなる部材であってもよい。
上述した実施形態では、Ｘ線を利用した装置について説明した。しかしながら、本開示の深さ測定装置１等では、Ｘ線を利用するばかりでなく、種々の波長（波長域）の光及び放射線（電磁波）を利用してもよい。この場合、深さ測定装置１等は、例えば、赤外光、可視光及び紫外光等の光、並びに、放射線を照射源から計測対象２０に照射することに応じて透過画像を取得し、上述した実施形態と同様に深さを取得してもよい。種々の波長（波長域）を利用して透過画像を取得し、また深さを取得する部材２００の一例は、半導体等を始めとする種々の材質からなる部材であってもよい。
【0060】
［本実施形態の態様及び効果］
次に、本実施形態の一態様及び各態様が奏する効果について説明する。なお、以下に記載する各態様は出願時の一例であり、本実施形態は以下に記載する態様に限定されることはない。すなわち、本実施形態は以下に記載する各態様に限定されることはなく、上述した各部を適宜組み合わせて実現されてもよい。また、下位の態様は、それよりも上位の態様のいずれでも引用できる場合がある。
また、以下に記載する効果は一例であり、各態様が奏する効果は以下に記載するものに限定されることはない。また、各態様は、例えば、以下に記載する少なくとも１つの効果を奏してもよい。
次に、本実施形態の一態様及び各態様が奏する効果について説明する。なお、以下に記載する各態様は出願時の一例であり、本実施形態は以下に記載する態様に限定されることはない。すなわち、本実施形態は以下に記載する各態様に限定されることはなく、上述した各部を適宜組み合わせて実現されてもよい。また、下位の態様は、それよりも上位の態様のいずれでも引用できる場合がある。
また、以下に記載する効果は一例であり、各態様が奏する効果は以下に記載するものに限定されることはない。また、各態様は、例えば、以下に記載する少なくとも１つの効果を奏してもよい。
【0061】
（態様１）
一態様の深さ測定装置は、部材の第１面と、その第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部で得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得部と、第１取得部で取得する透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置からＸ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までのＸ線源のスライド移動量と、基準位置から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの検出部における第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、Ｘ線源から検出部までの深さ方向の距離と、を取得する第２取得部と、第２取得部で取得するスライド移動量と、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、深さ方向の距離とに基づいて、基準位置におけるＸ線源から、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得部と、第３取得部で取得する、第１面に配した他の部材の深さと、第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、第１面と第２面との距離を取得する第４取得部と、を備える。
これにより、深さ測定装置は、計測対象における部材の間隔を取得することができる。また、深さ測定装置は、他の部材を測定対象の面（第１面及び第２面）に配するだけで、トモシンセシス技術を利用して第１面と第２面との間隔（距離（隙量））を取得できるので、相対的により短い時間で且つ定量的に測定することができる。
すなわち、深さ測定装置は、異なる部材（例えば、第１部材及び第２部材）において、第１部材に配された第１面と、第２部材に配された第２面との間の間隔（距離）を取得することができる。なお、第１部材の第１面と第２部材の第２面とは、対向してもよく、又は、対向しなくともよい。対向しない場合とは、第１部材の第１面と、第２部材の第２面との間に、第１部材及び第２部材とは異なる第３部材が配される場合等であってもよい。
また、深さ測定装置は、同一の部材の異なる面（第１面及び第２面）の間隔、一例としてＵ字型を形成した部材の先端部における異なる面の間隔、及び、任意の形状の部材の厚さ（部材の第１面と、その部材において第１面とは反対側となる第２面との距離）を取得することができる。
また、深さ測定装置は、他の部材を配する位置を適宜調整することにより、任意の位置の面間隔を取得することができる。
一態様の深さ測定装置は、部材の第１面と、その第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部で得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得部と、第１取得部で取得する透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置からＸ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までのＸ線源のスライド移動量と、基準位置から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの検出部における第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、Ｘ線源から検出部までの深さ方向の距離と、を取得する第２取得部と、第２取得部で取得するスライド移動量と、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、深さ方向の距離とに基づいて、基準位置におけるＸ線源から、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得部と、第３取得部で取得する、第１面に配した他の部材の深さと、第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、第１面と第２面との距離を取得する第４取得部と、を備える。
これにより、深さ測定装置は、計測対象における部材の間隔を取得することができる。また、深さ測定装置は、他の部材を測定対象の面（第１面及び第２面）に配するだけで、トモシンセシス技術を利用して第１面と第２面との間隔（距離（隙量））を取得できるので、相対的により短い時間で且つ定量的に測定することができる。
すなわち、深さ測定装置は、異なる部材（例えば、第１部材及び第２部材）において、第１部材に配された第１面と、第２部材に配された第２面との間の間隔（距離）を取得することができる。なお、第１部材の第１面と第２部材の第２面とは、対向してもよく、又は、対向しなくともよい。対向しない場合とは、第１部材の第１面と、第２部材の第２面との間に、第１部材及び第２部材とは異なる第３部材が配される場合等であってもよい。
また、深さ測定装置は、同一の部材の異なる面（第１面及び第２面）の間隔、一例としてＵ字型を形成した部材の先端部における異なる面の間隔、及び、任意の形状の部材の厚さ（部材の第１面と、その部材において第１面とは反対側となる第２面との距離）を取得することができる。
また、深さ測定装置は、他の部材を配する位置を適宜調整することにより、任意の位置の面間隔を取得することができる。
【0062】
（態様２）
一態様の深さ測定装置では、第１面を有する部材と、第２面を有する部材とは、同一又は異なる部材であり、第１面及び第２面それぞれに配する他の部材は、第１面を有する部材及び第２面を有する部材それぞれとＸ線吸収係数が異なることとしてもよい。
これにより、深さ測定装置は、異なる部材の面間隔及び同一の部材の面間隔を取得することができる。また、深さ測定装置は、Ｘ線の吸収係数を部材と他の部材とで異なることとすることにより、検出部で得られる透過Ｘ線画像において部材と他の部材とを区別することができる。
一態様の深さ測定装置では、第１面を有する部材と、第２面を有する部材とは、同一又は異なる部材であり、第１面及び第２面それぞれに配する他の部材は、第１面を有する部材及び第２面を有する部材それぞれとＸ線吸収係数が異なることとしてもよい。
これにより、深さ測定装置は、異なる部材の面間隔及び同一の部材の面間隔を取得することができる。また、深さ測定装置は、Ｘ線の吸収係数を部材と他の部材とで異なることとすることにより、検出部で得られる透過Ｘ線画像において部材と他の部材とを区別することができる。
【0063】
（態様３）
一態様の深さ測定装置では、第３取得部は、スライド移動量をｄ、他の部材の像のズレ量をｘ、深さ方向の距離をＬとすると、上式（１）（式（３）及び式（４））により、他の部材までの深さａを取得することとしてもよい。
これにより、深さ測定装置は、算出式を利用して、基準位置におけるＸ線源から、第１面に配された他の部材までの深さａ１と、第２面に配された他の部材までの深さａ２とを取得することができる。深さ測定装置は、深さａ１と深さａ２とに基づいて減算を行うことにより、第１面と第２面との深さ方向の距離を取得することができる。
一態様の深さ測定装置では、第３取得部は、スライド移動量をｄ、他の部材の像のズレ量をｘ、深さ方向の距離をＬとすると、上式（１）（式（３）及び式（４））により、他の部材までの深さａを取得することとしてもよい。
これにより、深さ測定装置は、算出式を利用して、基準位置におけるＸ線源から、第１面に配された他の部材までの深さａ１と、第２面に配された他の部材までの深さａ２とを取得することができる。深さ測定装置は、深さａ１と深さａ２とに基づいて減算を行うことにより、第１面と第２面との深さ方向の距離を取得することができる。
【0064】
（態様４）
一態様の深さ測定装置では、第２取得部は、Ｘ線源を多段階に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく他の部材の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置を特定し、その特定した位置と基準位置とに基づいてスライド移動量を取得することとしてもよい。
これにより、深さ測定装置は、トモシンセシス技術を利用して得た複数の透過Ｘ線画像を重ねた際の、他の部材の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の場合、他の部材に焦点が合っていると推定することができる。深さ測定装置は、その推定に基づいてスライド移動量を取得することができる。
一態様の深さ測定装置では、第２取得部は、Ｘ線源を多段階に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく他の部材の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置を特定し、その特定した位置と基準位置とに基づいてスライド移動量を取得することとしてもよい。
これにより、深さ測定装置は、トモシンセシス技術を利用して得た複数の透過Ｘ線画像を重ねた際の、他の部材の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の場合、他の部材に焦点が合っていると推定することができる。深さ測定装置は、その推定に基づいてスライド移動量を取得することができる。
【0065】
（態様５）
一態様の深さ測定装置は、部材の第１面と、その第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とは電磁波の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、深さの方向に対して交差する方向に照射源をスライド移動させつつ電磁波を照射して検出部で得られた透過画像を取得する第１取得部と、第１取得部で取得する透過画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置から照射源を移動させて所定の透過画像を取得した位置までの照射源のスライド移動量と、基準位置から所定の透過画像を取得した位置までの検出部における第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、照射源から検出部までの深さ方向の距離と、を取得する第２取得部と、第２取得部で取得するスライド移動量と、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、深さ方向の距離とに基づいて、基準位置における照射源から、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得部と、第３取得部で取得する、第１面に配した他の部材の深さと、第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、第１面と第２面との距離を取得する第４取得部と、を備える。
これにより、深さ測定装置は、上述した一態様と同様の効果を奏することができる。
一態様の深さ測定装置は、部材の第１面と、その第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とは電磁波の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、深さの方向に対して交差する方向に照射源をスライド移動させつつ電磁波を照射して検出部で得られた透過画像を取得する第１取得部と、第１取得部で取得する透過画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置から照射源を移動させて所定の透過画像を取得した位置までの照射源のスライド移動量と、基準位置から所定の透過画像を取得した位置までの検出部における第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、照射源から検出部までの深さ方向の距離と、を取得する第２取得部と、第２取得部で取得するスライド移動量と、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、深さ方向の距離とに基づいて、基準位置における照射源から、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得部と、第３取得部で取得する、第１面に配した他の部材の深さと、第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、第１面と第２面との距離を取得する第４取得部と、を備える。
これにより、深さ測定装置は、上述した一態様と同様の効果を奏することができる。
【0066】
（態様６）
一態様の深さ測定方法では、コンピュータが、部材の第１面と、その第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部で得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得ステップと、第１取得ステップで取得する透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置からＸ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までのＸ線源のスライド移動量と、基準位置から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの検出部における第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、Ｘ線源から検出部までの深さ方向の距離と、を取得する第２取得ステップと、第２取得ステップで取得するスライド移動量と、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、深さ方向の距離とに基づいて、基準位置におけるＸ線源から、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得ステップと、第３取得ステップで取得する、第１面に配した他の部材の深さと、第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、第１面と第２面との距離を取得する第４取得ステップと、を実行する。
これにより、深さ測定方法は、上述した一態様の深さ測定装置と同様の効果を奏することができる。
一態様の深さ測定方法では、コンピュータが、部材の第１面と、その第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部で得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得ステップと、第１取得ステップで取得する透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置からＸ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までのＸ線源のスライド移動量と、基準位置から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの検出部における第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、Ｘ線源から検出部までの深さ方向の距離と、を取得する第２取得ステップと、第２取得ステップで取得するスライド移動量と、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、深さ方向の距離とに基づいて、基準位置におけるＸ線源から、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得ステップと、第３取得ステップで取得する、第１面に配した他の部材の深さと、第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、第１面と第２面との距離を取得する第４取得ステップと、を実行する。
これにより、深さ測定方法は、上述した一態様の深さ測定装置と同様の効果を奏することができる。
【0067】
（態様７）
一態様の深さ測定プログラムは、コンピュータに、部材の第１面と、その第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部で得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得機能と、第１取得機能で取得する透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置からＸ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までのＸ線源のスライド移動量と、基準位置から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの検出部における第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、Ｘ線源から検出部までの深さ方向の距離と、を取得する第２取得機能と、第２取得機能で取得するスライド移動量と、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、深さ方向の距離とに基づいて、基準位置におけるＸ線源から、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得機能と、第３取得機能で取得する、第１面に配した他の部材の深さと、第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、第１面と第２面との距離を取得する第４取得機能と、を実現させる。
これにより、深さ測定プログラムは、上述した一態様の深さ測定装置と同様の効果を奏することができる。
一態様の深さ測定プログラムは、コンピュータに、部材の第１面と、その第１面に対して深さ方向に離れた、部材の第２面とのそれぞれに、部材とはＸ線の吸収係数の異なる他の部材を配した計測対象に対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させつつＸ線を照射して検出部で得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得機能と、第１取得機能で取得する透過Ｘ線画像に基づいて、計測対象が配される位置に対応する基準位置からＸ線源を移動させて所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までのＸ線源のスライド移動量と、基準位置から所定の透過Ｘ線画像を取得した位置までの検出部における第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、Ｘ線源から検出部までの深さ方向の距離と、を取得する第２取得機能と、第２取得機能で取得するスライド移動量と、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材の像のズレ量と、深さ方向の距離とに基づいて、基準位置におけるＸ線源から、第１面及び第２面それぞれに配した他の部材までの深さを取得する第３取得機能と、第３取得機能で取得する、第１面に配した他の部材の深さと、第２面に配した他の部材の深さとに基づいて、第１面と第２面との距離を取得する第４取得機能と、を実現させる。
これにより、深さ測定プログラムは、上述した一態様の深さ測定装置と同様の効果を奏することができる。
【符号の説明】
【0068】
１ 深さ測定装置
２ Ｘ線源
３ 検出部
１０ 処理部
１１０ 制御部
１１１ Ｘ線源制御部
１１２ 第１取得部
１１３ 第２取得部
１１４ 第３取得部
１１５ 第４取得部
１１６ 出力制御部
１２１ 通信部
１２２ 記憶部
１２３ 表示部
２０ 計測対象
２００ 部材
２１０ 第１部材
２２０ 第２部材
２３０ 他の部材
２３１ Ｘ線透過量の差
２ Ｘ線源
３ 検出部
１０ 処理部
１１０ 制御部
１１１ Ｘ線源制御部
１１２ 第１取得部
１１３ 第２取得部
１１４ 第３取得部
１１５ 第４取得部
１１６ 出力制御部
１２１ 通信部
１２２ 記憶部
１２３ 表示部
２０ 計測対象
２００ 部材
２１０ 第１部材
２２０ 第２部材
２３０ 他の部材
２３１ Ｘ線透過量の差
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】