特開 2024-173323 液体吐出装置、及びヘッドユニットの故障診断方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024173323

(43)【公開日】2024-12-12

(54)【発明の名称】液体吐出装置、及びヘッドユニットの故障診断方法

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20241205BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20241205BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 301

B41J2/01 401

B41J2/01 451

B41J2/01 205

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023091667

(22)【出願日】2023-06-02

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100090387

【弁理士】

【氏名又は名称】布施 行夫

(74)【代理人】

【識別番号】100090398

【弁理士】

【氏名又は名称】大渕 美千栄

(74)【代理人】

【識別番号】100148323

【弁理士】

【氏名又は名称】川▲崎▼ 通

(74)【代理人】

【識別番号】100168860

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 充史

(72)【発明者】

【氏名】川上 雅之

(72)【発明者】

【氏名】小杉 康彦

(72)【発明者】

【氏名】松林 友大

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C056EA08

2C056EA20

2C056EB07

2C056EB30

2C056EB50

2C056EC07

2C056EC26

2C056EC28

2C056EC69

2C056EC79

2C056HA52

2C057AF61

2C057AG44

2C057AL25

2C057AP14

2C057AP34

2C057BA04

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】信頼性が高められた液体吐出装置を提供すること。
【解決手段】駆動信号を受けて液体を吐出する第１プリントヘッドと、第１プリントヘッドの温度を示す第１温度信号を取得し、第１温度信号に基づく温度情報信号を出力する温度情報出力回路と、温度情報信号に基づいて、プリントヘッドの状態を判定する状態判定回路と、を備え、第１プリントヘッドは、第１振動板に対して第１積層方向の他方側に位置し、第１圧力室の温度に対応する第１温度情報を取得し、第１温度信号として出力する第１温度検出部を有し、状態判定回路は、第１温度信号に応じた第１圧力室の温度が第１所定値を超えている場合、第１圧力室に貯留される液体が不足していると判定し、第１温度信号に応じた第１圧力室の温度が第１所定値を超えていない場合、第１圧力室に貯留される液体は不足していないと判定する、液体吐出装置。
【選択図】図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

温度情報信号に基づいて補正された駆動信号を出力する駆動回路と、
前記駆動信号を受けて液体を吐出する第１プリントヘッドと、
前記第１プリントヘッドの温度を示す第１温度信号を取得し、前記第１温度信号に基づく前記温度情報信号を出力する温度情報出力回路と、
前記温度情報信号に基づいて、前記第１プリントヘッドの状態を判定する状態判定回路と、
を備え、
前記第１プリントヘッドは、
第１電極、第２電極、及び第１圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、及び前記第１圧電体が積層される第１積層方向において、前記第１圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に位置し、前記駆動信号を受けて駆動する第１圧電素子と、
前記第１圧電素子に対して前記第１積層方向の一方側に位置し、前記第１圧電素子の駆動により変形する第１振動板と、
前記第１振動板に対して前記第１積層方向の一方側に位置し、液体が貯留されるとともに前記第１振動板の変形により容積が変化する第１圧力室が設けられている第１圧力室基板と、
前記第１圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出する第１ノズルと、
前記第１振動板に対して前記第１積層方向の他方側に位置し、前記第１圧力室の温度に対応する第１温度情報を取得し、前記第１温度信号として出力する第１温度検出部と、
を有し、
前記状態判定回路は、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が第１所定値を超えている場合、前記第１圧力室に貯留される液体が不足していると判定し、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が前記第１所定値を超えていない場合、前記第１圧力室に貯留される液体は不足していないと判定する、
ことを特徴とする液体吐出装置。

【請求項2】

前記駆動信号を受けて液体を吐出する第２プリントヘッドを備え、
前記温度情報出力回路は、前記第２プリントヘッドの温度を示す第２温度信号を取得し、前記第１温度信号と前記第２温度信号と基づく前記温度情報信号を出力し、
前記第２プリントヘッドは、
第３電極、第４電極、及び第２圧電体を含み、前記第３電極、前記第４電極、及び前記第２圧電体が積層される第２積層方向において、前記第２圧電体が前記第３電極と前記第４電極との間に位置し、前記駆動信号を受けて駆動する第２圧電素子と、
前記第２圧電素子に対して前記第２積層方向の一方側に位置し、前記第２圧電素子の駆動により変形する第２振動板と、
前記第２振動板に対して前記第２積層方向の一方側に位置し、液体が貯留されるとともに前記第２振動板の変形により容積が変化する第２圧力室が設けられている第２圧力室基板と、
前記第２圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出する第２ノズルと、
前記第２振動板に対して前記第２積層方向の他方側に位置し、前記第２圧力室の温度に対応する第２温度情報を取得し、前記第２温度信号として出力する第２温度検出部と、
を有し、
前記状態判定回路は、
前記第２温度信号に応じた前記第２圧力室の温度が前記第１所定値を超えている場合、前記第２圧力室に貯留される液体が不足していると判定し、
前記第２温度信号に応じた前記第２圧力室の温度が前記第１所定値を超えていない場合、前記第２圧力室に貯留される液体は不足していないと判定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。

【請求項3】

前記状態判定回路が、前記第１圧力室に貯留される液体が不足していると判定し、前記第２圧力室に貯留される液体は不足していないと判定した場合、前記第１プリントヘッドは、液体を吐出せず、前記第２プリントヘッドは、前記第１プリントヘッドを補完する、
ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。

【請求項4】

報知部を有し、
前記報知部は、前記状態判定回路が、前記第１圧力室に貯留される液体が不足していると判定し、前記第２圧力室に貯留される液体は不足していないと判定した場合、前記第１プリントヘッドの異常を報知する、
ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。

【請求項5】

前記状態判定回路は、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が前記第１所定値よも低い第２所定値未満の場合であって、前記第２温度信号に応じた前記第２圧力室の温度が前記第２所定値以上の場合、前記第１プリントヘッドに前記駆動信号を伝搬する伝搬経路に異常が生じたと判定する、
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の液体吐出装置。

【請求項6】

前記状態判定回路が、前記第１プリントヘッドに前記駆動信号を伝搬する前記伝搬経路に異常が生じたと判定した場合、前記第１プリントヘッドは、液体を吐出せず、前記第２プリントヘッドは、前記第１プリントヘッドを補完する、
ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出装置。

【請求項7】

報知部を有し、
前記報知部は、前記状態判定回路が、前記伝搬経路に異常が生じたと判定した場合、前記伝搬経路の異常を報知する、
ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出装置。

【請求項8】

第１電極、第２電極、及び第１圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、及び前記第１圧電体が積層される第１積層方向において、前記第１圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に位置し、駆動信号を受けて駆動する第１圧電素子と、
前記第１圧電素子に対して前記第１積層方向の一方側に位置し、前記第１圧電素子の駆動により変形する第１振動板と、
前記第１振動板に対して前記第１積層方向の一方側に位置し、液体が貯留されるとともに前記第１振動板の変形により容積が変化する第１圧力室が設けられている第１圧力室基板と、
前記第１圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出する第１ノズルと、
前記第１振動板に対して前記第１積層方向の他方側に位置し、前記第１圧力室の温度に対応する第１温度情報を取得し、第１温度信号として出力する第１温度検出部と、
を有する第１プリントヘッドを備えたヘッドユニットの故障診断方法であって、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が第１所定値を超えている場合、前記第１圧力室に貯留される液体が不足していると判定する工程と、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が前記第１所定値を超えていない場合、前記第１圧力室に貯留される液体は不足していないと判定する工程と、
を含むことを特徴とするヘッドユニットの故障診断方法。

【請求項9】

前記ヘッドユニットは、
第３電極、第４電極、及び第２圧電体を含み、前記第３電極、前記第４電極、及び前記
第２圧電体が積層される第２積層方向において、前記第２圧電体が前記第３電極と前記第４電極との間に位置し、前記駆動信号を受けて駆動する第２圧電素子と、
前記第２圧電素子に対して前記第２積層方向の一方側に位置し、前記第２圧電素子の駆動により変形する第２振動板と、
前記第２振動板に対して前記第２積層方向の一方側に位置し、液体が貯留されるとともに前記第２振動板の変形により容積が変化する第２圧力室が設けられている第２圧力室基板と、
前記第２圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出する第２ノズルと、
前記第２振動板に対して前記第２積層方向の他方側に位置し、前記第２圧力室の温度に対応する第２温度情報を取得し、第２温度信号として出力する第２温度検出部と、
を有する第２プリントヘッドを備え、
前記第２温度信号に応じた前記第２圧力室の温度が前記第１所定値を超えている場合、前記第２圧力室に貯留される液体が不足していると判定する工程と、
前記第２温度信号に応じた前記第２圧力室の温度が前記第１所定値を超えていない場合、前記第２圧力室に貯留される液体は不足していないと判定する工程と、
を含むことを特徴とする請求項８に記載のヘッドユニットの故障診断方法。

【請求項10】

前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が前記第１所定値よも低い第２所定値未満であって、前記第２温度信号に応じた前記第２圧力室の温度が前記第２所定値以上の場合、前記第１プリントヘッドに前記駆動信号を伝搬する伝搬経路に異常が生じていると判定する工程を含む、
ことを特徴とする請求項９に記載のヘッドユニットの故障診断方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体吐出装置、及びヘッドユニットの故障診断方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、圧電素子と、圧力室と、圧力室と連通するノズルとを有する液体吐出ヘッドを備え、圧電素子の駆動により圧力室の容積を変化させることで、圧力室に供給された液体をノズルから吐出する液体吐出装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－１２４５９９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、液体を吐出する液体吐出装置の信頼性をさらに高めるとの観点において、特許文献１に記載の技術のみでは十分でなく、改善の余地があった。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明に係る液体吐出装置の一態様は、
温度情報信号に基づいて補正された駆動信号を出力する駆動回路と、
前記駆動信号を受けて液体を吐出する第１プリントヘッドと、
前記第１プリントヘッドの温度を示す第１温度信号を取得し、前記第１温度信号に基づく前記温度情報信号を出力する温度情報出力回路と、
前記温度情報信号に基づいて、前記第１プリントヘッドの状態を判定する状態判定回路と、
を備え、
前記第１プリントヘッドは、
第１電極、第２電極、及び第１圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、及び前記第１圧電体が積層される第１積層方向において、前記第１圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に位置し、前記駆動信号を受けて駆動する第１圧電素子と、
前記第１圧電素子に対して前記第１積層方向の一方側に位置し、前記第１圧電素子の駆動により変形する第１振動板と、
前記第１振動板に対して前記第１積層方向の一方側に位置し、液体が貯留されるとともに前記第１振動板の変形により容積が変化する第１圧力室が設けられている第１圧力室基板と、
前記第１圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出する第１ノズルと、
前記第１振動板に対して前記第１積層方向の他方側に位置し、前記第１圧力室の温度に対応する第１温度情報を取得し、前記第１温度信号として出力する第１温度検出部と、
を有し、
前記状態判定回路は、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が第１所定値を超えている場合、前記第１圧力室に貯留される液体が不足していると判定し、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が前記第１所定値を超えていない場合、前記第１圧力室に貯留される液体は不足していないと判定する。

【0006】

本発明に係るヘッドユニットの故障診断方法一態様は、
第１電極、第２電極、及び第１圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、及び前記
第１圧電体が積層される第１積層方向において、前記第１圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に位置し、駆動信号を受けて駆動する第１圧電素子と、
前記第１圧電素子に対して前記第１積層方向の一方側に位置し、前記第１圧電素子の駆動により変形する第１振動板と、
前記第１振動板に対して前記第１積層方向の一方側に位置し、液体が貯留されるとともに前記第１振動板の変形により容積が変化する第１圧力室が設けられている第１圧力室基板と、
前記第１圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出する第１ノズルと、
前記第１振動板に対して前記第１積層方向の他方側に位置し、前記第１圧力室の温度に対応する第１温度情報を取得し、第１温度信号として出力する第１温度検出部と、
を有する第１プリントヘッドを備えたヘッドユニットの故障診断方法であって、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が第１所定値を超えている場合、前記第１圧力室に貯留される液体が不足していると判定する工程と、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が前記第１所定値を超えていない場合、前記第１圧力室に貯留される液体は不足していないと判定する工程と、
を含む。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】液体吐出装置の概略構成を示す図である。

【図2】プリントヘッドの構造を示す分解斜視図である。

【図3】プリントヘッドをＺ軸に沿って見た場合の平面図である。

【図4】図３に示すＡ－ａ断面を示す断面図である。

【図5】図４の要部の詳細を示す要部詳細図である。

【図6】図３に示すＢ－ｂ断面を示す断面図である。

【図7】液体吐出装置の機能構成を示す図である。

【図8】温度情報出力回路の構成の一例を示す図である。

【図9】状態判定回路の動作を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて説明する。用いる図面は説明の便宜上のものである。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

【0009】

１．液体吐出装置の構造
［液体吐出装置の構造］
図１は、液体吐出装置１の概略構成を示す図である。本実施形態の液体吐出装置１は、液体の一例としてのインクを吐出するプリントヘッド２２を搭載したキャリッジ２１が走査軸に沿って往復動し、搬送方向に沿って搬送される媒体Ｐに対してインクを吐出することで、媒体Ｐに所望画像を形成する所謂シリアル印刷方式のインクジェットプリンターである。また、液体吐出装置１における媒体Ｐとしては、印刷用紙、樹脂フィルム、布帛等の任意の印刷対象を用いることができる。なお、液体吐出装置１は、シリアル印刷方式のインクジェットプリンターに限るものではなく、ライン印刷方式のインクジェットプリンターであってもよい。また、液体吐出装置１は、インクジェットプリンターに限るものではなく、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料吐出装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物吐出装置、立体造形装置、及び捺染装置等であってもよい。

【0010】

ここで、以下の説明では、互いに直交する３つの空間軸であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を用い
て説明を行う。また、以下の説明において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のそれぞれに沿った方向の向きを特定する場合、図示するＸ軸に沿った方向を示す矢印の先端側を＋Ｘ側、起点側を－Ｘ側と称し、図示するＹ軸に沿った方向を示す矢印の先端側を＋Ｙ側、起点側を－Ｙ側と称し、図示するＺ軸に沿った方向を示す矢印の先端側を＋Ｚ側、起点側を－Ｚ側と称する。

【0011】

図１に示すように液体吐出装置１は、制御ユニット１０、ヘッドユニット２０、移動ユニット３０、搬送ユニット４０、及びインク容器９０を備える。

【0012】

インク容器９０には、媒体Ｐに吐出される複数種類のインクが貯留されている。このようなインクが貯留されるインク容器９０としては、インクカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、及びインクの補充が可能なインクタンク等を用いることができる。

【0013】

制御ユニット１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、ヘッドユニット２０を含む液体吐出装置１の各要素を制御する。

【0014】

ヘッドユニット２０は、キャリッジ２１、及び複数のプリントヘッド２２を含む。キャリッジ２１は、後述する移動ユニット３０に含まれる無端ベルト３２に固定されている。複数のプリントヘッド２２は、キャリッジ２１に搭載されている。また、複数のプリントヘッド２２のそれぞれには、制御ユニット１０が出力する制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈ、及び駆動信号ＣＯＭが入力される。さらに、複数のプリントヘッド２２のそれぞれには、インク容器９０に貯留されているインクが、不図示のチューブ等を介して供給される。プリントヘッド２２は、入力される制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈ及び駆動信号ＣＯＭに基づいて、インク容器９０から供給されるインクを吐出する。このとき、プリントヘッド２２がインク吐出するＺ軸に沿った方向であって、Ｚ軸に沿って－Ｚ側から＋Ｚ側に向かう方向を吐出方向と称する場合がある。

【0015】

移動ユニット３０は、キャリッジモーター３１、及び無端ベルト３２を含む。キャリッジモーター３１は、制御ユニット１０から入力される制御信号Ｃｔｒｌ－Ｃに基づいて動作する。無端ベルト３２は、Ｘ軸に沿って延在し、キャリッジモーター３１の動作に従って回転する。これにより、無端ベルト３２に固定されたキャリッジ２１がＸ軸に沿って移動する。すなわち、移動ユニット３０は、キャリッジ２１に搭載された複数のプリントヘッド２２をＸ軸に沿って往復動させる。ここで、以下の説明において、キャリッジ２１に搭載された複数のプリントヘッド２２が移動するＸ軸に沿った方向を走査方向と称する場合がある。

【0016】

搬送ユニット４０は、搬送モーター４１、及び搬送ローラー４２を含む。搬送モーター４１は、制御ユニット１０から入力される制御信号Ｃｔｒｌ－Ｔに基づいて動作する。搬送ローラー４２は、媒体Ｐを挟持した状態で、搬送モーター４１の動作に従って回転する。これにより、搬送ローラー４２に挟持された媒体ＰがＹ軸に沿って－Ｙ側から＋Ｙ側に向かい搬送される。すなわち、搬送ユニット４０は、媒体ＰをＹ軸に沿って－Ｙ側から＋Ｙ側に向かい搬送させる。ここで、以下の説明において、媒体Ｐが搬送される－Ｙ側から＋Ｙ側に向かう方向を搬送方向と称する場合がある。

【0017】

以上のように構成された液体吐出装置１は、移動ユニット３０が、キャリッジ２１の走査方向に沿った往復動を制御するとともに、搬送ユニット４０が、媒体Ｐの搬送方向に沿った方向に搬送を制御する。そして、キャリッジ２１の走査方向に沿った往復動と媒体Ｐの搬送方向への搬送とに連動して、キャリッジ２１に搭載されたプリントヘッド２２がイ
ンクを吐出する。その結果、プリントヘッド２２が吐出するインクを媒体Ｐの任意の表面に着弾させることができ、媒体Ｐに所望の画像が形成される。

【0018】

［吐出モジュールの構造］
次に、ヘッドユニット２０が有するプリントヘッド２２の構造の一例について説明する。図２は、プリントヘッド２２の構造を示す分解斜視図であり、図３は、プリントヘッド２２をＺ軸に沿って見た場合の平面図であり、図４は、図３に示すＡ－ａ断面を示す断面図であり、図５は、図４の要部の詳細を示す要部詳細図であり、図６は、図３に示すＢ－ｂ断面を示す断面図である。

【0019】

図２に示すように、プリントヘッド２２は、圧力室基板３１０、連通板３１５、ノズルプレート３２０、コンプライアンス基板３４５、後述する振動板３５０、後述する圧電素子６０、保護基板３３０、ケース部材３４０、及び配線基板４２０を有する。

【0020】

圧力室基板３１０は、例えば、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板等からなる。図３に示すように、圧力室基板３１０には、複数の圧力室３１２がＹ軸に沿って並ぶ圧力室列が、Ｘ軸に沿って２列配置されている。ここで、２列の圧力室列のうち、＋Ｘ側に位置する圧力室列を第１圧力室列と称し、第１圧力室列の－Ｘ側に位置する圧力室列を第２圧力室列と称する場合がある。なお、図３は、プリントヘッド２２をＺ軸に沿って見た場合の平面図であるが、圧力室基板３１０の周辺構成を図示し、保護基板３３０、ケース部材３４０等の図示を省略している。

【0021】

また、各圧力室列を構成する複数の圧力室３１２は、Ｘ軸に沿った位置が同じ位置となるように、Ｙ軸に沿った直線上に配置されている。そして、Ｙ軸に沿って互いに隣り合う圧力室３１２は、図６に示す隔壁３１１によって区画されている。もちろん、圧力室３１２の配置は特に限定されるものではなく、例えば、Ｙ軸に沿って並ぶ複数の圧力室３１２の配置が、各圧力室３１２を１つ置きにＸ軸に沿った方向においてずれて位置する所謂千鳥配置であってもよい。

【0022】

また、本実施形態の圧力室３１２は、＋Ｚ側から見た平面視においてＸ軸に沿った方向の長さがＹ軸に沿った方向の長さよりも長い、所謂長方形に形成されている。もちろん、＋Ｚ側からの平面視における圧力室３１２の形状は、長方形に限定されず、平行四辺形状、多角形状、円形状、オーバル形状等であってもよい。ここで、オーバル形状とは、長方形状を基本として長手方向の両端部を半円状とした形状をいい、角丸長方形状、楕円形状、卵形状などが含まれる。

【0023】

図２に示すように、圧力室基板３１０の＋Ｚ側には、連通板３１５と、ノズルプレート３２０及びコンプライアンス基板３４５とが積層されている。

【0024】

図２、図４、及び図５に示すように、連通板３１５には、圧力室３１２とノズル３２１とを連通するノズル連通路３１６が設けられている。また、連通板３１５には、複数の圧力室３１２が連通する共通液室となるマニホールド４００の一部を構成する第１マニホールド部３１７及び第２マニホールド部３１８が設けられている。第１マニホールド部３１７は、連通板３１５をＺ軸に沿った方向に貫通して設けられている。また、第２マニホールド部３１８は、連通板３１５をＺ軸に沿った方向に貫通することなく、＋Ｚ側の面に開口して設けられている。

【0025】

さらに、連通板３１５には、圧力室３１２のＸ軸に沿った方向の一方の端部に連通する供給連通路３１９が、圧力室３１２の各々に独立して設けられている。供給連通路３１９は、第２マニホールド部３１８と各圧力室３１２とを連通し、マニホールド４００内のイ
ンクを各圧力室３１２に供給する。

【0026】

連通板３１５としては、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、金属基板等を用いることができる。また、金属基板としては、例えば、ステンレス基板等が挙げられる。なお、連通板３１５は、熱膨張率が圧力室基板３１０と略同一の材料を用いることが好ましい。これにより、圧力室基板３１０及び連通板３１５の温度が変化した場合であっても、熱膨張率の違いに起因して圧力室基板３１０及び連通板３１５に反りが生じるおそれを低減できる。

【0027】

ノズルプレート３２０は、連通板３１５の圧力室基板３１０とは反対側、すなわち、＋Ｚ側の面に設けられている。ノズルプレート３２０には、各圧力室３１２にノズル連通路３１６を介して連通するノズル３２１が形成されている。

【0028】

本実施形態では、プリントヘッド２２は複数のノズル３２１を有し、複数のノズル３２１は、Ｙ軸に方向に沿って並んで配置されている。具体的には、ノズルプレート３２０には、複数のノズル３２１が列設されたノズル列がＸ軸に沿った方向に離れて２列で設けられている。この２列のノズル列が、第１圧力室列、第２圧力室列にそれぞれ対応している。また、各列の複数のノズル３２１は、Ｘ軸に沿った方向の位置が同じ位置となるように配置されている。なお、ノズル３２１の配置は特に限定されるものではなく、例えば、Ｙ軸に沿った方向に並んで配置されるノズル３２１は、１つ置きにＸ軸方向にずれた位置に配置されていてもよい。

【0029】

ノズルプレート３２０の材料としては、特に限定されず、例えば、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、金属基板を用いることができる。また、金属基板としては、例えば、ステンレス基板等が挙げられる。さらに、ノズルプレート３２０の材料としては、ポリイミド樹脂のような有機物などであってもよい。ただし、ノズルプレート３２０は、連通板３１５の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましい。これにより、ノズルプレート３２０及び連通板３１５の温度が変化した場合であっても、熱膨張率の違いに起因してノズルプレート３２０及び連通板３１５に反りが生じるおそれを低減できる。

【0030】

コンプライアンス基板３４５は、ノズルプレート３２０とともに、連通板３１５の圧力室基板３１０とは反対側、すなわち、＋Ｚ側の面に設けられている。このコンプライアンス基板３４５は、ノズルプレート３２０の周囲に設けられ、連通板３１５に設けられた第１マニホールド部３１７及び第２マニホールド部３１８の開口を封止する。コンプライアンス基板３４５は、可撓性を有する薄膜からなる封止膜３４６と、金属等の硬質の材料からなる固定基板３４７と、を含む。そして、固定基板３４７のマニホールド４００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部３４８となっている。このため、マニホールド４００の一方面は、可撓性を有する封止膜３４６のみで封止されたコンプライアンス部３４９となっている。

【0031】

一方、圧力室基板３１０のノズルプレート３２０等とは反対側、すなわち－Ｚ側の面には、振動板３５０と、この振動板３５０を撓み変形させて圧力室３１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧電素子６０とが積層されている。換言すると、振動板３５０は、圧電素子６０に対してＺ軸に沿った方向の＋Ｚ側に設けられ、圧力室基板３１０は振動板３５０に対してＺ軸に沿った方向の＋Ｚ側に設けられている。なお、図４は、プリントヘッド２２の全体構成を説明するための図であり、圧電素子６０の構成については簡略化している。

【0032】

さらに、圧力室基板３１０の－Ｚ側の面には、圧力室基板３１０と略同じ大きさを有す
る保護基板３３０が接着剤等によって接合されている。保護基板３３０は、圧電素子６０を保護する空間である保持部３３１を有する。保持部３３１は、Ｙ軸に沿った方向に並んで配置された圧電素子６０の列毎に独立して設けられた空間であって、Ｘ軸に沿った方向に２つ並んで形成されている。また、保護基板３３０には、Ｘ軸に沿った方向に並んで配置された２つの保持部３３１の間にＺ軸に沿った方向に貫通する貫通孔３３２が設けられている。

【0033】

また、保護基板３３０上には、複数の圧力室３１２に連通するマニホールド４００を圧力室基板３１０とともに画成するケース部材３４０が固定されている。ケース部材３４０は、－Ｚ側からの平面視において上述した連通板３１５と略同一形状を有し、保護基板３３０に接合されるとともに、上述した連通板３１５にも接合されている。

【0034】

このようなケース部材３４０は、保護基板３３０側に、圧力室基板３１０及び保護基板３３０を収容可能な深さの空間である収容部３４１を有する。収容部３４１は、保護基板３３０の圧力室基板３１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、収容部３４１に圧力室基板３１０及び保護基板３３０が収容された状態で、収容部３４１のノズルプレート３２０側の開口面が連通板３１５によって封止されている。

【0035】

また、ケース部材３４０には、Ｘ軸に沿った方向における収容部３４１の両外側のそれぞれには、第３マニホールド部３４２が画成されている。そして、連通板３１５に設けられた第１マニホールド部３１７及び第２マニホールド部３１８と、第３マニホールド部３４２と、によってマニホールド４００が構成されている。マニホールド４００は、Ｙ軸に沿った方向に亘って連続して設けられており、各圧力室３１２とマニホールド４００とを連通する供給連通路３１９は、Ｙ軸に沿った方向に並んで配置されている。

【0036】

また、ケース部材３４０には、マニホールド４００に連通して各マニホールド４００にインクを供給するための供給口３４４が設けられている。さらに、ケース部材３４０には、保護基板３３０の貫通孔３３２に連通して配線基板４２０が挿通される接続口３４３が設けられている。

【0037】

このようなプリントヘッド２２は、インク容器９０に貯留されたインクを供給口３４４から取り込む。そして、マニホールド４００からノズル３２１に至るまで内部を当該インクで満たした後、集積回路４２１から、圧力室３１２に対応するそれぞれの圧電素子６０に駆動信号ＣＯＭに基づく信号が供給される。これにより圧電素子６０とともに振動板３５０がたわみ変形し、各圧力室３１２内の圧力が高まり、各ノズル３２１からインクが吐出される。

【0038】

次に、上述した振動板３５０、圧電素子６０を含む、圧力室基板３１０の－Ｚ側に積層形成される構成について説明する。プリントヘッド２２は、圧力室基板３１０の－Ｚ側に積層される構成として、振動板３５０、圧電素子６０に加え、個別リード電極３９１、共通リード電極３９２、測定用リード電極３９３、及び抵抗配線４０１を有する。

【0039】

図４～図６に示すように、振動板３５０は、圧力室基板３１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜３５１と、弾性膜３５１上に設けられた酸化ジルコニウム膜からなる絶縁体膜３５２と、を含んで構成されている。圧力室３１２等の液体流路は、圧力室基板３１０を＋Ｚ側の面から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力室３１２等の液体流路の－Ｚ側の面は、弾性膜３５１で構成されている。なお、振動板３５０の構成は特に限定されるものではなく、例えば、弾性膜３５１と絶縁体膜３５２とのいずれか一方で構成されていてもよく、さらには、弾性膜３５１及び絶縁体膜３５２以外のその他の膜が含まれていてもよい。ここで、振動板３５０を構成するその他の膜の材料としては
、例えば、シリコン、窒化ケイ素等が挙げられる。

【0040】

圧電素子６０は、圧力室３１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーターとして機能する。この圧電素子６０は、振動板３５０側である＋Ｚ側から－Ｚ側に向かって順次積層された電極３６０と、圧電体３７０と、電極３８０とを有する。換言すると、圧電素子６０は、電極３６０、電極３８０、及び圧電体３７０を含み、電極３６０、電極３８０、及び圧電体３７０が積層されるＺ軸に沿った方向において、圧電体３７０が電極３６０と電極３８０との間に設けられている。

【0041】

電極３６０及び電極３８０は、いずれも配線基板４２０と電気的に接続されている。そして、配線基板４２０に実装される集積回路４２１から供給される信号が電極３６０に供給され、配線基板４２０を伝搬する基準電位の信号が電極３８０に供給されることで、圧電体３７０に、集積回路４２１から供給される信号と基準電位の信号とが供給される。そして、電極３６０と電極３８０との間に生じた電位差により圧電体３７０が変形する。この圧電体３７０の変形により、振動板３５０が変形又は振動し、振動板３５０の変形により圧力室３１２の容積が変化する。そして、圧力室３１２の容積変化によって生じた圧力の変化が、圧力室３１２に収容されているインクに付与されることで、圧力室３１２に収容されているインクが、ノズル連通路３１６を介してノズル３２１から吐出される。このとき、ノズル３２１から吐出されるインクの吐出量は、圧力室３１２の容積変化量となる。

【0042】

ここで、以下の説明において、圧電素子６０の内、電極３６０と電極３８０との間に電圧を印加した際に、圧電体３７０に圧電歪みが生じる部分を活性部４１０と称し、圧電体３７０に圧電歪みが生じない部分を非活性部４１５と称する。すなわち、圧電素子６０の内、圧電体３７０が電極３６０と電極３８０とで挟まれた部分が活性部４１０に相当し、圧電体３７０が電極３６０と電極３８０とで挟まれていない部分が非活性部４１５に相当する。また、圧電素子６０を駆動させた際、Ｚ軸に沿った方向に変位する部分を可撓部と称し、Ｚ軸に沿った方向に変位しない部分を非可撓部と称する。すなわち、圧電素子６０の内、圧力室３１２にＺ軸に沿った方向で対向する部分が可撓部に相当し、圧力室３１２の外側部分が非可撓部に相当する。なお、活性部４１０は能動部、非活性部４１５は非能動部と称する場合がある。

【0043】

一般的には、活性部４１０のいずれか一方の電極を活性部４１０毎に独立する個別電極とし、他方の電極を複数の活性部４１０に共通する共通電極として構成する。本実施形態では、集積回路４２１が出力する信号が供給される電極３６０を個別電極として構成し、配線基板４２０を伝搬する基準電位の信号が供給される電極３８０を共通電極として構成しているとして説明を行う。

【0044】

具体的には、電極３６０は、圧電体３７０に対して＋Ｚ側に設けられ、圧力室３１２毎に切り分けられて活性部４１０毎に独立する個別電極を構成する。すなわち、電極３６０は、複数の圧力室３１２に対して個別に設けられる。電極３６０は、Ｙ軸に沿った方向において、圧力室３１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、Ｙ軸に沿った方向において、電極３６０の端部は、圧力室３１２に対向する領域の内側に位置している。

【0045】

また、電極３６０の＋Ｘ側の端部３６０ａ及び－Ｘ側の端部３６０ｂは、それぞれ圧力室３１２の外側に配置されている。例えば、第１圧力室列では、図５に示すように、電極３６０の端部３６０ａは、圧力室３１２の＋Ｘ側の端部３１２ａよりも＋Ｘ側に配置されている。電極３６０の端部３６０ｂは、圧力室３１２の－Ｘ側の端部３１２ｂよりも－Ｘ側に配置されている。

【0046】

電極３６０の材料は特に限定されないが、例えば、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、金（Ａｕ）、チタン（Ｔｉ）といった金属、ＩＴＯと略される酸化インジウムスズといった導電性金属酸化物等の導電材料が用いられる。或いは、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、金（Ａｕ）、チタン（Ｔｉ）等の複数の材料が積層されて形成されてもよい。本実施形態では、電極３６０として白金（Ｐｔ）を用いた。

【0047】

圧電体３７０は、図３に示すように、Ｘ軸に沿った方向の長さを所定長さとして、Ｙ軸に沿った方向に亘って連続して設けられている。すなわち、圧電体３７０は、所定の厚さで圧力室３１２の並設方向に沿って連続して設けられている。圧電体３７０の厚さは特に限定されないが、１０００ナノメートルから４０００ナノメートル程度の厚さで形成される。

【0048】

また、図５に示すように、圧電体３７０のＸ軸に沿った方向の長さは、圧力室３１２の長手方向であるＸ軸に沿った方向の長さよりも長い。このため、圧力室３１２のＸ軸に沿った方向の両側では、圧電体３７０は、圧力室３１２の外側まで延在している。このように、圧電体３７０がＸ軸に沿った方向において圧力室３１２の外側まで延在していることで、振動板３５０の強度が向上する。したがって、活性部４１０を駆動させて圧電素子６０を変位させた際、振動板３５０や圧電素子６０にクラック等が発生するおそれを低減することができる。

【0049】

また、例えば、第１圧力室列では、図５に示すように、圧電体３７０の＋Ｘ側の端部３７０ａは、電極３６０の端部３６０ａよりも外側となる＋Ｘ側に位置している。すなわち、電極３６０の端部３６０ａは圧電体３７０によって覆われている。一方、圧電体３７０の－Ｘ側の端部３７０ｂは、電極３６０の端部３６０ｂよりも内側となる＋Ｘ側に位置しており、電極３６０の端部３６０ｂは、圧電体３７０では覆われていない。

【0050】

なお、圧電体３７０には、図３及び図６に示すように、各隔壁３１１に対応して他の領域よりも厚さが薄い部分である溝部３７１が形成されている。本実施形態の溝部３７１は、圧電体３７０をＺ軸に沿った方向に完全に除去することで形成されている。すなわち、圧電体３７０が他の領域よりも厚さの薄い部分を有するとは、圧電体３７０がＺ軸に沿った方向に完全に除去されたものも含む。もちろん、溝部３７１の底面に圧電体３７０が他の部分よりも薄く形成されていてもよい。

【0051】

また、溝部３７１のＹ軸に沿った方向の長さ、つまり溝部３７１の幅は、隔壁３１１の幅と同一もしくは、それより広くなっている。本実施形態では、溝部３７１の幅は、隔壁３１１の幅よりも広くなっている。このような溝部３７１は、－Ｚ側からの平面視において、矩形状となるように形成されている。もちろん、溝部３７１の－Ｚ側からの平面視した形状は、矩形状に限定されず、５角形以上の多角形状であってもよく、円形状や楕円形状等であってもよい。

【0052】

圧電体３７０に溝部３７１を設けることにより、振動板３５０の圧力室３１２のＹ軸に沿った方向の端部に対向する部分、いわゆる振動板３５０の腕部の剛性が抑えられるため、圧電素子６０をより良好に変位させることができる。

【0053】

圧電体３７０としては、電極３６０上に形成される電気機械変換作用を示す強誘電性セラミックス材料からなるペロブスカイト構造の結晶膜、所謂ペロブスカイト型結晶が挙げられる。圧電体３７０の材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電性圧電材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等を用いることができる。具体的には、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）、ジルコニウム酸鉛（ＰｂＺｒＯ３）
、チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ），ＴｉＯ３）、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）又は、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）（Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ３）等を用いることができる。本実施形態では、圧電体３７０として、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を用いた。

【0054】

また、圧電体３７０の材料としては、鉛を含む鉛系の圧電材料に限定されず、鉛を含まない非鉛系の圧電材料を用いることもできる。非鉛系の圧電材料としては、例えば、鉄酸ビスマス（（ＢｉＦｅＯ３）、略「ＢＦＯ」）、チタン酸バリウム（（ＢａＴｉＯ３）、略「ＢＴ」）、ニオブ酸カリウムナトリウム（（Ｋ，Ｎａ）（ＮｂＯ３）、略「ＫＮＮ」）、ニオブ酸カリウムナトリウムリチウム（（Ｋ，Ｎａ，Ｌｉ）（ＮｂＯ３））、ニオブ酸タンタル酸カリウムナトリウムリチウム（（Ｋ，Ｎａ，Ｌｉ）（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏ３）、チタン酸ビスマスカリウム（（Ｂｉ１／２Ｋ１／２）ＴｉＯ３、略「ＢＫＴ」）、チタン酸ビスマスナトリウム（（Ｂｉ１／２Ｎａ１／２）ＴｉＯ３、略「ＢＮＴ」）、マンガン酸ビスマス（ＢｉＭｎＯ３、略「ＢＭ」）、ビスマス、カリウム、チタン及び鉄を含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物（ｘ［（ＢｉｘＫ１－ｘ）ＴｉＯ３］－（１－ｘ）［ＢｉＦｅＯ３］、略「ＢＫＴ－ＢＦ」）、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物（（１－ｘ）［ＢｉＦｅＯ３］－ｘ［ＢａＴｉＯ３］、略「ＢＦＯ－ＢＴ」）や、これにマンガン、コバルト、クロムなどの金属を添加したもの（（１－ｘ）［Ｂｉ（Ｆｅ１－ｙＭｙ）Ｏ３］－ｘ［ＢａＴｉＯ３］（Ｍは、Ｍｎ、Ｃｏ又はＣｒ））等が挙げられる。

【0055】

電極３８０は、図３、図５、及び図６に示すように、圧電体３７０に対して、電極３６０とは反対側である－Ｚ側に設けられ、複数の活性部４１０に共通する共通電極を構成する。すなわち、電極３８０は、複数の圧力室３１２に対して共通に設けられている。電極３８０は、Ｘ軸に沿った方向の長さを所定長さとして、Ｙ軸に沿った方向に亘って連続して設けられている。この電極３８０は、溝部３７１の内面、すなわち圧電体３７０の溝部３７１の側面上及び溝部３７１の底面である絶縁体膜３５２上にも設けられている。なお、溝部３７１内に関しては、電極３８０は、溝部３７１の内面の一部のみに設けられていてもよく、溝部３７１の内面の全面に亘って設けられていなくてもよい。

【0056】

また、例えば、第１圧力室列では、図５に示すように、電極３８０の＋Ｘ側の端部３８０ａが、圧電体３７０で覆われている電極３６０の端部３６０ａよりも外側となるように＋Ｘ側に配置されている。すなわち、電極３８０の端部３８０ａは、圧力室３１２の端部３１２ａよりも外側となる＋Ｘ側で、電極３６０の端部３６０ａよりも外側となる＋Ｘ側に位置している。本実施形態では、電極３８０の端部３８０ａは、Ｘ軸に沿った方向において、圧電体３７０の端部３７０ａと実質的に一致している。このため、活性部４１０の＋Ｘ側の端部、すなわち活性部４１０と非活性部４１５との境界は、電極３６０の端部３６０ａによって規定されている。

【0057】

一方、電極３８０の－Ｘ側の端部３８０ｂは、圧力室３１２の－Ｘ側の端部３１２ｂよりも外側となる－Ｘ側であって、圧電体３７０の端部３７０ｂよりも内側となる＋Ｘ側に配置されている。上述のように圧電体３７０の端部３７０ｂは、電極３６０の端部３６０ｂよりも＋Ｘ側となる内側に位置している。したがって、電極３８０の端部３８０ｂは、電極３６０の端部３６０ｂよりも＋Ｘ側となる圧電体３７０上に位置している。このため、電極３８０の端部３８０ｂの－Ｘ側には、圧電体３７０の表面が露出された部分が存在する。

【0058】

このように電極３８０の端部３８０ｂは、圧電体３７０の端部３７０ｂ、及び電極３６０の端部３６０ｂよりも＋Ｘ側に配置されている。そのため、活性部４１０の－Ｘ側の端部、すなわち活性部４１０と非活性部４１５との境界は、電極３８０の端部３８０ｂによ
って規定される。

【0059】

電極３８０の材料は特に限定されないが、電極３６０と同様に、例えば、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、金（Ａｕ）、チタン（Ｔｉ）といった金属、ＩＴＯと略される酸化インジウムスズといった導電性金属酸化物等の導電材料が用いられる。或いは、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、金（Ａｕ）、チタン（Ｔｉ）等の複数の材料が積層されて形成されてもよい。本実施形態では、電極３８０としてイリジウム（Ｉｒ）を用いた。

【0060】

また、電極３８０の端部３８０ｂの外側、すなわち電極３８０の端部３８０ｂのさらに－Ｘ側には、電極３８０と同一層となるが、電極３８０とは電気的に不連続となる配線部３８５が設けられている。また、配線部３８５は、電極３８０の端部３８０ｂと接触しないように間隔を空けた状態で、圧電体３７０上から圧電体３７０よりも－Ｘ側に延設された電極３６０上に亘って形成されている。この配線部３８５は、活性部４１０毎に独立して設けられている。すなわち、配線部３８５は、Ｙ軸に沿った方向において所定の間隔で複数配置されている。なお、配線部３８５は、電極３８０とは別の層で形成されていてもよいが、電極３８０と同一層で形成することが好ましい。これにより、配線部３８５の製造工程を簡略化してコストの低減を図ることができる。

【0061】

また、圧電素子６０を構成する電極３６０と電極３８０とには、電極３６０には個別リード電極３９１が接続され、電極３８０には駆動用共通電極である共通リード電極３９２がそれぞれ電気的に接続されている。個別リード電極３９１、及び共通リード電極３９２の圧電素子６０に接続された端部とは反対側の端部には、可撓性を有する配線基板４２０が電気的に接続されている。配線基板４２０には、制御ユニット１０、温度情報出力回路２６、及び不図示の複数の回路と接続するための複数の配線が形成されている。本実施形態において、配線基板４２０は、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）により構成されている。なお、ＦＰＣに代えて、ＦＦＣ（Flexible Flat Cable）など、可撓性を有する任意の基板により構成されてもよい。

【0062】

本実施形態では、個別リード電極３９１及び共通リード電極３９２は、保護基板３３０に形成された貫通孔３３２内に露出するように延設され、この貫通孔３３２内で配線基板４２０と電気的に接続されている。また、配線基板４２０には、圧電素子６０を駆動するための信号を出力する集積回路４２１が実装されている。

【0063】

個別リード電極３９１及び共通リード電極３９２は、本実施形態では、同一層からなるが、電気的に不連続となるように形成されている。これにより、個別リード電極３９１と共通リード電極３９２とをそれぞれ個別に形成する場合に比べて、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。もちろん、個別リード電極３９１と共通リード電極３９２とを異なる層で形成してもよい。

【0064】

個別リード電極３９１及び共通リード電極３９２の材料は、導電性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）等を用いることができる。本実施形態では、個別リード電極３９１及び共通リード電極３９２として金（Ａｕ）を用いた。また、個別リード電極３９１及び共通リード電極３９２は、電極３６０及び電極３８０や振動板３５０との密着性を向上する密着層を有してもよい。

【0065】

個別リード電極３９１は、活性部４１０毎、すなわち、電極３６０毎に設けられたものである。図５に示すように、例えば、第１圧力室列では、個別リード電極３９１は、配線部３８５を介して、圧電体３７０の外側に設けられた電極３６０の端部３６０ｂ付近に接続され、圧力室基板３１０上、実際には振動板３５０上まで－Ｘに沿った方向に引き出さ
れている。

【0066】

一方、図３に示すように、例えば、第１圧力室列では、共通リード電極３９２は、Ｙ軸に沿った方向の両端部において、圧電体３７０上の共通電極を構成する電極３８０上から振動板３５０上にまで－Ｘ側に引き出されている。また、共通リード電極３９２は、延設部３９２ａ、及び延設部３９２ｂを有する。図３、図５に示すように、例えば、第１圧力室列では、延設部３９２ａは、圧力室３１２の端部３１２ａに対応する領域にＹ軸に沿った方向に沿って延設され、延設部３９２ｂは、圧力室３１２の端部３１２ｂに対応する領域にＹ軸に沿った方向に沿って延設される。これら延設部３９２ａ、及び延設部３９２ｂは、複数の活性部４１０に対してＹ軸に沿った方向に亘って連続して設けられている。

【0067】

また、延設部３９２ａ、及び延設部３９２ｂは、Ｘ軸に沿った方向において、圧力室３１２の内側から圧力室３１２の外側まで延設されている。本実施形態では、圧電素子６０の活性部４１０は、圧力室３１２のＸ軸に沿った方向の両端部において圧力室３１２の外側まで延設されており、延設部３９２ａ、及び延設部３９２ｂは、この活性部４１０上を圧力室３１２の外側まで延設されている。

【0068】

図５に示すように、振動板３５０の－Ｚ側の面には、抵抗配線４０１が設けられる。抵抗配線４０１は、電気抵抗値が温度によって変化する特性を利用し、圧力室３１２の温度を検出する。このような抵抗配線４０１の材料としては、電気抵抗値が温度依存性を有する材料であって、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）等を用いることができる。このうち、白金（Ｐｔ）は、温度による抵抗値変化が大きく、また、安定性と精度が高い。さらに、白金（Ｐｔ）は、温度変化に対する抵抗値の変化の線形性も高い。係る観点から抵抗配線４０１の材料としては、白金（Ｐｔ）が好適に採用される。すなわち、抵抗配線４０１は、白金（Ｐｔ）を含んで構成されていることが好ましい。また、本実施形態では、抵抗配線４０１を、電極３６０と同層であって、電極３６０と電気的に不連続となるように、振動板３５０の－Ｚ側の面に積層形成されている。すなわち、抵抗配線４０１は、振動板３５０のＺ軸に沿った方向における－Ｚ側の面に積層された配線パターンを含み、当該配線パターンは、白金（Ｐｔ）を含む。

【0069】

図３に示すように、抵抗配線４０１の一端は測定用リード電極３９３ａと接続され、抵抗配線４０１の他端は測定用リード電極３９３ｂと接続されている。また、測定用リード電極３９３ａ，３９３ｂは、配線基板４２０と電気的に接続されている。これにより、抵抗配線４０１が検出した圧力室３１２の温度であって、圧力室３１２の温度によって変化する電気抵抗値に応じた電圧値の信号が、プリントヘッド２２から出力される。また、本実施形態では、抵抗配線４０１は、圧電体３７０に覆われており、Ｚ軸に沿った方向において、振動板３５０と圧電体３７０との間に位置している。

【0070】

抵抗配線４０１は、Ｘ軸に沿った方向において＋Ｘ側に位置する第１圧力室列側蛇行パターンと、Ｘ軸に沿った方向において－Ｘ側に位置する第２圧力室列側蛇行パターンと、を含む。第１圧力室列側蛇行パターンは、－Ｚ側から見て、第１圧力室列を構成する各圧力室３１２と連通する供給連通路３１９と重なるように位置し、Ｙ軸に沿った方向に蛇行している。第２圧力室列側蛇行パターンは、－Ｚ側から見て、第２圧力室列を構成する各圧力室３１２と連通する供給連通路３１９と重なるように位置し、Ｙ軸に沿った方向に蛇行している。すなわち、抵抗配線４０１は、複数の圧力室３１２が形成する第１圧力室列に対応する第１圧力室列側蛇行パターンと、複数の圧力室３１２が形成する第２圧力室列に対応する第２圧力室列側蛇行パターンと、を含む。

【0071】

また、図４、図５に示すように、圧力室３１２の－Ｚ側の端部と抵抗配線４０１とのＺ
軸に沿った方向における距離は、圧力室３１２のＺ軸に沿った方向における寸法より短い。また、例えば、第１圧力室列では、圧力室３１２の＋Ｘ側の端部３１２ａと抵抗配線４０１とのＸ軸に沿った方向における最長距離は、圧力室３１２のＸ軸に沿った方向における寸法より短い。このため、抵抗配線４０１の電気抵抗値は、圧力室３１２の温度変化に対応して変化しやすい。

【0072】

測定用リード電極３９３ａ及び測定用リード電極３９３ｂを含む測定用リード電極３９３は、本実施形態では、個別リード電極３９１及び共通リード電極３９２と同一層からなるが、電気的に不連続となるように形成されている。これにより、測定用リード電極３９３を、個別リード電極３９１及び共通リード電極３９２と個別に形成する場合に比べて、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。もちろん、測定用リード電極３９３を、個別リード電極３９１及び共通リード電極３９２と異なる層で形成するようにしてもよい。

【0073】

測定用リード電極３９３の材料は、導電性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）等を用いることができる。本実施形態では、測定用リード電極３９３として金（Ａｕ）を用いた。よって、測定用リード電極３９３の材料は、個別リード電極３９１及び共通リード電極３９２と同じ材料である。また、測定用リード電極３９３は、抵抗配線４０１や振動板３５０との密着性を向上する密着層を有していてもよい。

【0074】

以上のように、本実施形態では、測定用リード電極３９３は、保護基板３３０に形成された貫通孔３３２内に露出するように延設され、貫通孔３３２内で配線基板４２０と電気的に接続されている。これにより、圧力室３１２の温度によって変化する抵抗配線４０１の電気抵抗値が配線基板４２０を介してプリントヘッド２２から出力される。

【0075】

すなわち、本実施形態のヘッドユニット２０が有するプリントヘッド２２は、電極３６０、電極３８０、及び圧電体３７０を含み、電極３６０、電極３８０、及び圧電体３７０が積層されるＺ軸に沿った方向において、圧電体３７０が電極３６０と電極３８０との間に位置し、駆動信号ＣＯＭを受けて駆動する圧電素子６０と、圧電素子６０に対してＺ軸に沿った方向の一方側である＋Ｚ側に位置し、圧電素子６０の駆動により変形する振動板３５０と、振動板３５０に対してＺ軸に沿った方向の一方側である＋Ｚ側に位置し、振動板３５０の変形により容積が変化する圧力室３１２が設けられている圧力室基板３１０と、圧力室３１２の容積の変化に応じてインクを吐出するノズル３２１と、振動板３５０に対してＺ軸に沿った方向の他方側である－Ｚ側に位置し、圧力室３１２の温度に応じた温度を取得する抵抗配線４０１と、を含む。

【0076】

２．液体吐出装置の機能構成
［液体吐出装置の機能構成］
次に、液体吐出装置１の機能構成について説明する。図７は、液体吐出装置１の機能構成を示す図である。図７に示すように液体吐出装置１は、制御ユニット１０、ヘッドユニット２０、キャリッジモーター３１、搬送モーター４１、エンコーダーセンサー９２、及び報知回路９４を備える。

【0077】

制御ユニット１０は、駆動回路５０、基準電圧出力回路５２、状態判定回路５６、及び、制御回路１００を有する。制御回路１００は、例えば、ＣＰＵやＦＰＧＡ等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含む。制御回路１００には、液体吐出装置１の外部と通信可能に接続されたホストコンピューター等の外部機器から画像データ等を含む画像情報信号が入力される。制御回路１００は、入力される画像情報信号に基づいて、液体吐出
装置１を制御するための各種信号を生成し、対応する構成に出力する。

【0078】

具体例には、制御回路１００には、上述した画像情報信号に加えて、エンコーダーセンサー９２から、ヘッドユニット２０に含まれる上述したキャリッジ２１の走査位置に基づく検出信号が入力される。これにより、制御回路１００は、キャリッジ２１の走査位置であって、プリントヘッド２２を含むヘッドユニット２０の走査位置を把握する。制御回路１００は、入力される画像情報信号と、把握したヘッドユニット２０の走査位置とに応じた各種信号を生成し、対応する構成に出力する。

【0079】

詳細には、制御回路１００は、ヘッドユニット２０の走査位置に応じて、ヘッドユニット２０の走査軸に沿った移動を制御するための制御信号Ｃｔｒｌ－Ｃを生成し、キャリッジモーター３１に出力する。これにより、キャリッジモーター３１が動作し、キャリッジ２１に搭載されたヘッドユニット２０の走査軸に沿った移動、及び走査位置が制御される。また、制御回路１００は、媒体Ｐの搬送を制御するための制御信号Ｃｔｒｌ－Ｔを生成し、搬送モーター４１に出力する。これにより、搬送モーター４１が動作し、媒体Ｐの搬送方向に沿った移動が制御される。なお、制御信号Ｃｔｒｌ－Ｃは、不図示のドライバー回路を介して信号変換された後、キャリッジモーター３１に入力されてもよく、制御信号Ｃｔｒｌ－Ｔは、不図示のドライバー回路を介して信号変換された後、搬送モーター４１に入力されてもよい。

【0080】

また、制御回路１００は、外部機器から入力される画像情報信号と、ヘッドユニット２０の走査位置と、に基づいて、ヘッドユニット２０を制御するための制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈとして、印刷データ信号ＳＩ１～ＳＩｎ、チェンジ信号ＣＨ、ラッチ信号ＬＡＴ、及びクロック信号ＳＣＫを生成し、ヘッドユニット２０に出力する。

【0081】

さらに、制御回路１００は、所定のタイミングでヘッドユニット２０の温度を取得するための温度取得要求信号ＴＤを生成し、ヘッドユニット２０に出力する。これにより、制御回路１００には、温度取得要求信号ＴＤに応じたヘッドユニット２０の温度を含む温度情報信号ＴＩが入力される。制御回路１００は、入力される温度情報信号ＴＩに基づいて、ヘッドユニット２０の状態を把握するとともに、制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈ，Ｃｔｒｌ－Ｃ，Ｃｔｒｌ－Ｔを補正し、対応する構成に出力する。これにより、プリントヘッド２２の温度であって、温度情報信号ＴＩに応じて液体吐出装置１、及びヘッドユニット２０の動作が制御される。その結果、液体吐出装置１、及びヘッドユニット２０から吐出されるインクの吐出精度が向上する。

【0082】

また、ヘッドユニット２０から入力される温度情報信号ＴＩは、状態判定回路５６にも入力される。状態判定回路５６は、入力される温度情報信号ＴＩに基づいて、ヘッドユニット２０の状態であって、ヘッドユニット２０が有する後述するプリントヘッド２２－１～２２－ｎの状態を判定する。そして、状態判定回路５６は、判定結果に応じた状態信号ＳＳを生成し、制御回路１００に出力する。なお、状態判定回路５６におけるプリントヘッド２２－１～２２－ｎの状態の判定方法の詳細は後述する。

【0083】

また、制御回路１００は、制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈとして、デジタル信号である基駆動信号ｄＡ１を生成し、駆動回路５０に出力する。駆動回路５０は、駆動信号ＣＯＭとして、基駆動信号ｄＡ１によって規定される信号波形の駆動信号ＣＯＭを生成し、ヘッドユニット２０に出力する。

【0084】

具体的には、制御回路１００が出力する基駆動信号ｄＡ１は、駆動回路５０に入力される。駆動回路５０は、入力される基駆動信号ｄＡ１をデジタル／アナログ信号変換した後、変換されたアナログ信号をＤ級増幅することで駆動信号ＣＯＭを生成し、ヘッドユニッ
ト２０に出力する。すなわち、制御回路１００は、温度情報信号ＴＩに基づいて補正した制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈとしての基駆動信号ｄＡ１を出力し、駆動回路５０は、温度情報信号ＴＩに基づいて補正された基駆動信号ｄＡ１に応じた補正された駆動信号ＣＯＭを出力する。ここで、制御回路１００が出力する基駆動信号ｄＡ１は、駆動信号ＣＯＭの信号波形を規定するデジタル信号であるとして説明を行うが、基駆動信号ｄＡ１は、駆動信号ＣＯＭの信号波形を規定することができればよく、アナログ信号であってもよい。また、駆動回路５０は、基駆動信号ｄＡ１によって規定される信号波形をＡ級増幅、Ｂ級増幅、ＡＢ級増幅することで、駆動信号ＣＯＭを生成してもよい。

【0085】

基準電圧出力回路５２は、基準電圧信号ＶＢＳを生成し、ヘッドユニット２０に出力する。この基準電圧信号ＶＢＳは、圧電素子６０の駆動の基準となる電圧値が一定の信号であって、共通電極である電極３８０に供給される。このような基準電圧信号ＶＢＳの電圧値は、例えば、グラウンド電位で一定の信号であってもよく、５．５Ｖや６Ｖ等の電位で一定であってもよい。

【0086】

また、制御回路１００は、駆動回路５０，基準電圧出力回路５２、及びヘッドユニット２０の動作状況を使用者に報知するための制御信号Ｃｔｒｌ－Ｍを生成し、報知回路９４に出力する。これにより、液体吐出装置１の動作状況が使用者に報知される。ここで、報知回路９４としては、使用者に液体吐出装置１の動作状況を報知できる構成であればよい。そのため、報知回路９４は、動作状況を視覚的に報知する液晶ディスプレイや発光素子を含んで構成されてもよく、聴覚的に報知するスピーカーやブザーを含んで構成されてもよい。

【0087】

ヘッドユニット２０は、複数のプリントヘッド２２としてのプリントヘッド２２－１～２２－ｎ、及び、温度情報出力回路２６を有する。また、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれは、駆動信号選択回路２００、温度検出回路２５０、及び複数の圧電素子６０を含む。

【0088】

プリントヘッド２２－１には、制御回路１００が出力する印刷データ信号ＳＩ１、チェンジ信号ＣＨ、ラッチ信号ＬＡＴ、クロック信号ＳＣＫ、駆動信号ＣＯＭ、及び基準電圧信号ＶＢＳが入力される。プリントヘッド２２－１に入力されたクロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、チェンジ信号ＣＨ、印刷データ信号ＳＩ１、及び駆動信号ＣＯＭは、駆動信号選択回路２００に入力される。

【0089】

駆動信号選択回路２００は、入力されるクロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、チェンジ信号ＣＨ、及び印刷データ信号ＳＩ１に基づいて、駆動信号ＣＯＭに含まれる信号波形を選択、又は非選択とすることで、複数の圧電素子６０のそれぞれに対応する駆動信号ＶＯＵＴを生成する。具体的には、駆動信号選択回路２００は、ラッチ信号ＬＡＴとチェンジ信号ＣＨとで規定されるタイミングにおいて、クロック信号ＳＣＫに同期して入力される印刷データ信号ＳＩにしたがって、駆動信号ＣＯＭに含まれる信号波形の選択、又は非選択を制御する。これにより、駆動信号選択回路２００は、複数の吐出部６００のそれぞれに対応する駆動信号ＶＯＵＴを生成し、対応する吐出部６００に出力する。

【0090】

駆動信号選択回路２００が出力する駆動信号ＶＯＵＴは、対応する圧電素子６０のそれぞれの一端であって、個別電極である電極３６０のそれぞれに供給される。このとき、複数の圧電素子６０の他端であって、共通電極である電極３８０には、基準電圧信号ＶＢＳが共通に入力されている。これにより、複数の圧電素子６０のそれぞれは、電極３６０に入力される駆動信号ＶＯＵＴと、電極３８０に入力される基準電圧信号ＶＢＳとの電位差により変位し、圧電素子６０の変位に応じた量のインクが、プリントヘッド２２－１が有する対応するノズル３２１から吐出される。ここで、駆動信号選択回路２００は、少なく
とも一部が、上述した集積回路４２１としてプリントヘッド２２－１の配線基板４２０に実装されていてもよい。

【0091】

また、プリントヘッド２２－１が有する温度検出回路２５０は、プリントヘッド２２－１の温度を検出する。そして、温度検出回路２５０は、検出したプリントヘッド２２－１の温度に応じた電圧値のヘッド温度情報ｔｃ１を取得し、取得したヘッド温度情報ｔｃ１を含むヘッド温度信号ＴＣ１を温度情報出力回路２６に出力する。ここで、プリントヘッド２２－１が有する温度検出回路２５０の少なくとも一部が、上述した抵抗配線４０１としてプリントヘッド２２－１に設けられている。すなわち、温度検出回路２５０が出力するプリントヘッド２２－１の温度に応じた電圧値のヘッド温度情報ｔｃ１には、温度によって変化する抵抗配線４０１の抵抗値に応じて変化する電圧値の情報が含まれる。

【0092】

また、プリントヘッド２２－２～２２－ｎは、入力される信号、及び出力する信号が異なるのみでプリントヘッド２２－１と同様の構成であり、同様の動作を実行する。具体的には、プリントヘッド２２－ｉ（ｉは２～ｎのいずれか）には、クロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、チェンジ信号ＣＨ、印刷データ信号ＳＩｉ、駆動信号ＣＯＭ、及び基準電圧信号ＶＢＳが入力される。そして、プリントヘッド２２－ｉが有する駆動信号選択回路２００は、入力されるクロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、チェンジ信号ＣＨ、及び印刷データ信号ＳＩｉに基づいて、駆動信号ＣＯＭの信号波形を選択、又は非選択とすることで、複数の圧電素子６０のそれぞれに対応する駆動信号ＶＯＵＴを生成し、対応する圧電素子６０の電極３６０に出力する。また、プリントヘッド２２－ｉが有する複数の圧電素子６０の電極３８０には、基準電圧信号ＶＢＳが共通に入力されている。これにより、プリントヘッド２２－ｉが有する複数の圧電素子６０が駆動し、圧電素子６０の駆動に応じた量のインクが、プリントヘッド２２－ｉが有するノズル３２１から吐出される。

【0093】

また、プリントヘッド２２－ｉが有する温度検出回路２５０は、プリントヘッド２２－ｉの温度に応じた電圧値のヘッド温度情報ｔｃｉを取得し、取得したヘッド温度情報ｔｃｉを含むヘッド温度信号ＴＣｉを温度情報出力回路２６に出力する。ここで、プリントヘッド２２－ｉが有する駆動信号選択回路２００の少なくとも一部が、上述した集積回路４２１として、プリントヘッド２２－ｉの配線基板４２０に実装され、プリントヘッド２２－ｉが有する温度検出回路２５０の少なくとも一部が、上述した抵抗配線４０１として、プリントヘッド２２－ｉに設けられている。

【0094】

ここで、以下の説明において、プリントヘッド２２－１～２２－ｎを区別する必要がない場合のプリントヘッド２２には、クロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、及びチェンジ信号ＣＨと、印刷データ信号ＳＩ１～ＳＩｎとしての印刷データ信号ＳＩと、駆動信号ＣＯＭと、基準電圧信号ＶＢＳと、が入力されるとして説明を行う。そして、プリントヘッド２２の温度検出回路２５０は、プリントヘッド２２の温度に応じた電圧値のヘッド温度情報ｔｃ１～ｔｃｎとしてのヘッド温度情報ｔｃを取得し、プリントヘッド２２は、取得したヘッド温度情報ｔｃを含むヘッド温度信号ＴＣ１～ＴＣｎとしてのヘッド温度信号ＴＣを出力するとして説明を行う。

【0095】

温度情報出力回路２６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれが出力するヘッド温度信号ＴＣ１～ＴＣｎと、制御回路１００が出力する温度取得要求信号ＴＤと、に応じて、温度情報信号ＴＩを生成し、制御回路１００に出力する。

【0096】

具体的には、温度情報出力回路２６は、ヘッド温度信号ＴＣ１～ＴＣｎを増幅するとともに、増幅したヘッド温度信号ＴＣ１～ＴＣｎを、制御回路１００から入力される温度取得要求信号ＴＤに応じて、選択する。そして、温度情報出力回路２６は、選択した増幅したヘッド温度信号ＴＣ１～ＴＣｎを、対応するプリントヘッド２２の温度に対応する応じ
た温度情報信号ＴＩに変換し、制御回路１００に出力する。

【0097】

以上のように、本実施形態の液体吐出装置１は、温度情報信号ＴＩに基づいて補正された駆動信号ＣＯＭを出力する駆動回路５０と、駆動信号ＣＯＭに応じた駆動信号ＶＯＵＴを受けて液体を吐出するプリントヘッド２２－１～２２－ｎと、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度を示すヘッド温度信号ＴＣ１～ＴＣｎを取得し、ヘッド温度信号ＴＣ１～ＴＣｎの少なくともいずれかに基づく温度情報信号ＴＩを出力する温度情報出力回路２６と、温度情報信号ＴＩに基づいて、対応するプリントヘッド２２－１～２２－ｎの状態を判定する状態判定回路５６と、使用者に情報を報知する報知回路９４と、を備える。

【0098】

［温度情報出力回路の構成］
次に、温度情報出力回路２６の構成、及び動作について説明する。図８は、温度情報出力回路２６の構成の一例を示す図である。温度情報出力回路２６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれから入力されるヘッド温度情報ｔｃ１～ｔｃｎのそれぞれを含むヘッド温度信号ＴＣ１～ＴＣｎを取得し、制御回路１００から入力される温度取得要求信号ＴＤに応じたプリントヘッド２２の温度を示す温度情報信号ＴＩを生成する。そして、温度情報出力回路２６は、生成した温度情報信号ＴＩを制御回路１００、及び状態判定回路５６に出力する。

【0099】

図８に示すように、温度情報出力回路２６は、制御回路５００、増幅回路５１０－１～５１０－ｎ、マルチプレクサー５３０、ＡＤ変換回路５４０、ＤＡ変換回路５６０、及び記憶回路５７０を含む。

【0100】

増幅回路５１０－１～５１０－ｎは、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに対応して設けられている。増幅回路５１０－１～５１０－ｎのそれぞれには、対応するプリントヘッド２２－１～２２－ｎが出力するヘッド温度信号ＴＣ１～ＴＣｎのそれぞれと、基準電位信号Ｖｒｅｆと、が入力される。増幅回路５１０－１～５１０－ｎのそれぞれは、基準電位信号Ｖｒｅｆの電圧値と、ヘッド温度信号ＴＣ１～ＴＣｎの電圧値であって、ヘッド温度情報ｔｃの電圧値と、の差分を増幅することでヘッド温度増幅信号ＡＴＣ１～ＡＴＣｎを生成し、出力する。すなわち、増幅回路５１０－１～５１０－ｎのそれぞれは、差動増幅回路を含む。

【0101】

具体的には、増幅回路５１０－１には、プリントヘッド２２－１が出力するヘッド温度信号ＴＣ１と、基準電位信号Ｖｒｅｆと、が入力される。増幅回路５１０－１は、入力されるヘッド温度信号ＴＣ１の電圧値と基準電位信号Ｖｒｅｆの電圧値との差分を増幅したヘッド温度増幅信号ＡＴＣ１を出力する。また、増幅回路５１０－ｊ（ｊは１～ｎのいずれか）には、プリントヘッド２２－ｊが出力するヘッド温度信号ＴＣｊと、基準電位信号Ｖｒｅｆと、が入力される。増幅回路５１０－ｊは、入力されるヘッド温度信号ＴＣｊの電圧値と基準電位信号Ｖｒｅｆの電圧値との差分を増幅したヘッド温度増幅信号ＡＴＣｊを出力する。ここで、増幅回路５１０－１～５１０－ｎはいずれも同様の構成であり、以下の説明において区別する必要がない場合、増幅回路５１０と称する場合がある。この場合において、増幅回路５１０には、ヘッド温度信号ＴＣ１～ＴＣｎとしてのヘッド温度信号ＴＣと、基準電位信号Ｖｒｅｆとが入力され、ヘッド温度増幅信号ＡＴＣ１～ＡＴＣｎとしてのヘッド温度増幅信号ＡＴＣを出力するとして説明を行う。

【0102】

増幅回路５１０－１～５１０－ｎのそれぞれが出力するヘッド温度増幅信号ＡＴＣ１～ＡＴＣｎは、マルチプレクサー５３０に入力される。また、マルチプレクサー５３０には、制御回路５００が出力するセレクト信号Ｓｅｌが入力される。マルチプレクサー５３０は、入力されるセレクト信号Ｓｅｌに従って、増幅回路５１０－１～５１０－ｎのそれぞれから入力されるヘッド温度増幅信号ＡＴＣ１～ＡＴＣｎのいずれかを選択し、選択温度
信号ＳＴＣとして出力する。

【0103】

ＡＤ変換回路５４０には、マルチプレクサー５３０が出力する選択温度信号ＳＴＣと、制御回路５００が出力するイネーブル信号ＥＮ１と、が入力される。ＡＤ変換回路５４０は、入力されるイネーブル信号ＥＮ１が有効である期間に入力される選択温度信号ＳＴＣをデジタル信号に変換し、制御回路５００に出力する。すなわち、ＡＤ変換回路５４０は、イネーブル信号ＥＮ１が有効である期間にマルチプレクサー５３０によって選択されたヘッド温度信号ＴＣに含まれるヘッド温度情報ｔｃの電圧値を、増幅回路５１０が増幅した電圧値に応じたデジタル信号であって、イネーブル信号ＥＮ１が有効である期間にマルチプレクサー５３０によって選択されたヘッド温度信号ＴＣに対応するプリントヘッド２２の温度に応じた電圧値のデジタル信号を生成し、制御回路５００に出力する。以下の説明では、ＡＤ変換回路５４０が出力するデジタル信号をデジタル温度情報ｄｔｃと称する。

【0104】

制御回路５００は、要求解析部５０２、温度情報出力部５０４、及びメモリー制御部５０８を含む。制御回路５００には、温度取得要求信号ＴＤが入力される。そして、制御回路５００は、入力される温度取得要求信号ＴＤに応じたセレクト信号Ｓｅｌ、イネーブル信号ＥＮ１、及びデジタル基準電位信号ｄｖｒｅｆを出力する。これにより、制御回路５００は、温度情報出力回路２６に含まれる各種の構成を制御する。また、制御回路５００には、デジタル温度情報ｄｔｃが入力される。制御回路５００は、入力されるデジタル温度情報ｄｔｃに基づいて温度情報信号ＴＩを生成し、温度情報出力回路２６から出力する。

【0105】

具体的には、要求解析部５０２は、制御回路５００に入力される温度取得要求信号ＴＤを取得する。要求解析部５０２は、取得した温度取得要求信号ＴＤを解析し、解析結果に応じたデジタル基準電位信号ｄｖｒｅｆ、セレクト信号Ｓｅｌ、及びイネーブル信号ＥＮ１を生成する。制御回路５００は、要求解析部５０２が生成したデジタル基準電位信号ｄｖｒｅｆ、セレクト信号Ｓｅｌ、及びイネーブル信号ＥＮ１を、温度情報出力回路２６の対応する構成に出力する。

【0106】

温度情報出力部５０４は、制御回路５００に入力されるデジタル温度情報ｄｔｃを取得する。温度情報出力部５０４は、取得したデジタル温度情報ｄｔｃを、所定の変換関数を用いて、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度に応じた温度情報信号ＴＩに変換する。制御回路５００は、温度情報出力部５０４によって変換されたデジタル温度情報ｄｔｃに対応する温度情報信号ＴＩを、制御回路１００に出力する。ここで、温度情報出力部５０４が、取得したデジタル温度情報ｄｔｃを、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度に応じた温度情報信号ＴＩに変換する所定の変換関数としては、抵抗配線４０１の抵抗値の温度特性に準じた関数を用いることができる。すなわち、温度変化に対する抵抗値の変化の線形性が高い白金（Ｐｔ）が抵抗配線４０１として用いられる本実施形態の液体吐出装置１では、変換関数として一次関数を用いることができる。

【0107】

メモリー制御部５０８は、記憶回路５７０にアクセスするためのメモリー制御信号ＭＡを生成し、記憶回路５７０に出力するとともに、メモリー制御信号ＭＡに応じたて記憶回路５７０が出力するメモリー読出信号ＭＲを取得する。

【0108】

具体的には、記憶回路５７０には、上述した基準電位信号Ｖｒｅｆの電圧値の情報や、デジタル温度情報ｄｔｃを温度情報信号ＴＩに変換する際に用いる所定の変換関数の情報が記憶されている。さらに、記憶回路５７０には、抵抗配線４０１を含む各種構成のばらつきを補正するための補正値が記憶されていてもよい。

【0109】

メモリー制御部５０８は、記憶回路５７０に記憶されている基準電位信号Ｖｒｅｆの電圧値の情報や、デジタル温度情報ｄｔｃを温度情報信号ＴＩに変換する際に用いる所定の変換関数の情報を読み出すためのメモリー制御信号ＭＡを生成し、記憶回路５７０に出力する。記憶回路５７０は、入力されるメモリー制御信号ＭＡに応じて、基準電位信号Ｖｒｅｆの電圧値の情報や、デジタル温度情報ｄｔｃを温度情報信号ＴＩに変換する際に用いる所定の変換関数の情報を読み出し、読み出した情報を含むメモリー読出信号ＭＲを出力する。これにより、記憶回路５７０に記憶されている情報が、制御回路５００に読み出される。

【0110】

以上のように構成された温度情報出力回路２６は、例えば、集積回路として構成されることが好ましい。こりより、ヘッドユニット２０における温度情報出力回路２６の実装面積を小さくすることができ、その結果、ヘッドユニット２０の小型化が可能となる。この場合において、温度情報出力回路２６を構成する集積回路は、１つに限るものではなく複数であってもよい。

【0111】

［温度情報出力回路の動作］
次に、温度情報出力回路２６が出力する温度情報信号ＴＩが入力され、ヘッドユニット２０の状態であって、ヘッドユニット２０が有する後述するプリントヘッド２２－１～２２－ｎの状態を判定する状態判定回路５６の動作について説明する。

【0112】

図９は、状態判定回路５６の動作を説明するための図である。状態判定回路５６は、動作の開始に伴って、所定の初期化処理を実行する。具体的には、状態判定回路５６は、インク供給異常フラグＦｉｎｋ１～Ｆｉｎｋｎの論理レベル、ＣＯＭ配線異常フラグＦｃｌ１～Ｆｃｌｎの論理レベル、及び、駆動信号異常フラグＦｃｏｍの論理レベルを、いずれもＬレベルに初期化するとともに、変数ｐを“１”に初期化する（ステップＳ１０）。

【0113】

ここで、インク供給異常フラグＦｉｎｋ１～Ｆｉｎｋｎは、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの状態を示すフラグの１つであって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれにインクが正常に供給されているか否かを示すフラグである。具体的には、インク供給異常フラグＦｉｎｋ１は、プリントヘッド２２－１にインクが正常に供給されているか否かを示すフラグであって、インク供給異常フラグＦｉｎｋｉは、プリントヘッド２２－ｉにインクが正常に供給されているか否かを示すフラグである。以下の説明において、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれに正常にインクが供給されている場合のインク供給異常フラグＦｉｎｋ１～Ｆｉｎｋｎの論理レベルをＬレベル、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれに正常にインクが供給されていない場合のインク供給異常フラグＦｉｎｋ１～Ｆｉｎｋｎの論理レベルをＨレベルとして説明を行う。

【0114】

また、ＣＯＭ配線異常フラグＦｃｌ１～Ｆｃｌｎは、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの状態を示すフラグの１つであって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれに供給される駆動信号ＣＯＭが伝搬する伝搬経路が正常であるか否かを示すフラグである。具体的には、ＣＯＭ配線異常フラグＦｃｌ１は、プリントヘッド２２－１に供給される駆動信号ＣＯＭが伝搬する伝搬経路が正常であるか否かを示すフラグであって、ＣＯＭ配線異常フラグＦｃｌｉは、プリントヘッド２２－ｉに供給される駆動信号ＣＯＭが伝搬する伝搬経路が正常であるか否かを示すフラグである。以下の説明において、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれに供給される駆動信号ＣＯＭが伝搬する伝搬経路が正常な場合のＣＯＭ配線異常フラグＦｃｌ１～Ｆｃｌｎの論理レベルをＬレベル、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれに供給される駆動信号ＣＯＭが伝搬する伝搬経路が正常でない場合のＣＯＭ配線異常フラグＦｃｌ１～Ｆｃｌｎの論理レベルをＨレベルとして説明を行う。

【0115】

また、駆動信号異常フラグＦｃｏｍは、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの状態を示すフラグの１つであって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに共通に供給される駆動信号ＣＯＭが正常であるか否かを示す。具体的には、駆動信号異常フラグＦｃｏｍは、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに共通に供給される駆動信号ＣＯＭを、駆動回路５０が正常に出力しているか否か示すフラグである。以下の説明において、駆動回路５０が、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに共通に供給される駆動信号ＣＯＭを正常に出力している場合の駆動信号異常フラグＦｃｏｍの論理レベルをＬレベル、駆動回路５０が、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに共通に供給される駆動信号ＣＯＭを正常に出力していない場合の駆動信号異常フラグＦｃｏｍの論理レベルをＨレベルとして説明を行う。

【0116】

状態判定回路５６は、初期化処理が終了した後、温度情報出力回路２６が温度取得要求信号ＴＤに基づいて取得したプリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの温度に応じた温度情報信号ＴＩを取得する。ここで、以下の説明において、温度情報出力回路２６が出力する温度情報信号ＴＩの内、プリントヘッド２２－１の温度に応じた温度情報信号ＴＩを温度情報信号ＴＩ１と称し、プリントヘッド２２－ｉの温度に応じた温度情報信号ＴＩを温度情報信号ＴＩｉと称する。すなわち、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれに対応する温度情報信号ＴＩ１～ＴＩｎを取得する（ステップＳ２０）。

【0117】

そして、状態判定回路５６は、取得した温度情報信号ＴＩ１～ＴＩｎに基づくプリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの温度であって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの圧力室３１２の温度と、所定の閾値温度Ｔｈ１と比較する。

【0118】

具体的には、状態判定回路５６は、変数ｐが“１”であるが故に、温度情報信号ＴＩ１に基づくプリントヘッド２２－１の温度であって、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を超えているか否かを判定する（ステップＳ３０）。そして、状態判定回路５６が温度情報信号ＴＩ１に基づくプリントヘッド２２－１の温度であって、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を超えていると判定した場合（ステップＳ３０のＹ）、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２に貯留されるインクが不足していると判定し、インク供給異常フラグＦｉｎｋ１の論理レベルをＨレベルとする（ステップＳ４０）。一方で、状態判定回路５６が温度情報信号ＴＩ１に基づくプリントヘッド２２－１の温度であって、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を超えていないと判定した場合（ステップＳ３０のＮ）、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２に貯留されるインクは不足していないと判定し、インク供給異常フラグＦｉｎｋ１の論理レベルをＬレベルで保持する。

【0119】

その後、状態判定回路５６は、変数ｐがプリントヘッド２２の総数である“ｎ”未満であるか否かを判定し（ステップＳ５０）、状態判定回路５６が、変数ｐはプリントヘッド２２の総数である“ｎ”未満であると判定した場合（ステップＳ５０のＹ）、状態判定回路５６は、変数ｐに１を加算し、新たな変数ｐとして保持する（ステップＳ６０）。そして、状態判定回路５６は、変数ｐが“２”であるが故に、温度情報信号ＴＩ２に基づくプリントヘッド２２－２の温度であって、プリントヘッド２２－２の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を超えているか否かを判定する（ステップＳ３０）。

【0120】

すなわち、状態判定回路５６は、上述したステップＳ３０からステップＳ６０を繰り返し実行する。これにより、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度であって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を超えているか否かを個別に判定する。そして、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を
超えているか否かの判定結果に応じて、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの圧力室３１２に貯留されるインクが不足しているか否かを個別に判定し、判定結果に応じて、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれに対応するインク供給異常フラグＦｉｎｋ１の論理レベルを変更する。

【0121】

換言すれば、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度に応じた温度情報信号ＴＩ１であって、プリントヘッド２２－１が出力するヘッド温度信号ＴＣに応じたプリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を超えている場合、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２に貯留されるインクが不足していると判定し、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度に応じた温度情報信号ＴＩ１であって、プリントヘッド２２－１が出力するヘッド温度信号ＴＣに応じたプリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を超えていない場合、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２に貯留されるインクが不足していないと判定する。

【0122】

また、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２の温度に応じた温度情報信号ＴＩｉであって、プリントヘッド２２－ｉが出力するヘッド温度信号ＴＣに応じたプリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を超えている場合、プリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２に貯留されるインクが不足していると判定し、プリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２の温度に応じた温度情報信号ＴＩｉであって、プリントヘッド２２－ｉが出力するヘッド温度信号ＴＣに応じたプリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を超えていない場合、プリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２に貯留されるインクが不足していないと判定する。

【0123】

すなわち、本実施形態の液体吐出装置１は、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度に応じた温度情報信号ＴＩ１であって、プリントヘッド２２－１が出力するヘッド温度信号ＴＣに応じたプリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を超えている場合、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２に貯留されるインクが不足していると判定する工程と、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度に応じた温度情報信号ＴＩ１であって、プリントヘッド２２－１が出力するヘッド温度信号ＴＣに応じたプリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を超えていない場合、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２に貯留されるインクが不足していないと判定する工程とを含むヘッドユニット２０の故障診断方法を実行し、さらに、プリントヘッド２２－ｉ（ｉは２～ｎのいずれか）の圧力室３１２の温度に応じた温度情報信号ＴＩｉであって、プリントヘッド２２－ｉが出力するヘッド温度信号ＴＣに応じたプリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を超えている場合、プリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２に貯留されるインクが不足していると判定する工程と、プリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２の温度に応じた温度情報信号ＴＩｉであって、プリントヘッド２２－ｉが出力するヘッド温度信号ＴＣに応じたプリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１を超えていない場合、プリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２に貯留されるインクが不足していないと判定する工程とを含むヘッドユニット２０の故障診断方法を実行する。

【0124】

圧力室３１２に十分なインクが貯留されている場合、圧電素子６０の駆動により生じた熱は、圧力室３１２に貯留されるインクに伝導する。そして、圧電素子６０の駆動により圧力室３１２に貯留されるインクがノズル３２１から吐出されることで、インクに伝導した熱が放出される。一方で、圧力室３１２に十分なインクが貯留されていない場合、圧電素子６０の駆動により生じた熱は、圧力室３１２に貯留されるインクに伝導することなく蓄積される。その結果、圧電素子６０の温度が上昇し、圧電素子６０が設けられた振動板３５０に形成された抵抗配線４０１の検出温度が上昇する。

【0125】

本実施形態の液体吐出装置１では、この抵抗配線４０１における検出温度の上昇に基づいて、圧力室３１２に十分なインクが貯留されているか否かであって、プリントヘッド２２に十分なインクが供給されているか否かを検出する。これにより、圧力室３１２の内部に十分な液体が貯留されていない状態で圧電素子６０が駆動するおそれが低減し、圧電素子６０や振動板３５０に異常が生じるそれが低減される。その結果、プリントヘッド２２－１～２２－ｎを有するヘッドユニット２０、及びヘッドユニット２０を備えた液体吐出装置１の信頼性を高めることができる。

【0126】

そして、状態判定回路５６が、変数ｐはプリントヘッド２２の総数である“ｎ”未満でないと判定した場合（ステップＳ５０のＮ）、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度に対応する温度情報信号ＴＩ１～ＴＩｎで規定される温度であって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの圧力室３１２の温度の全てが、所定の閾値温度Ｔｈ１よりも低い所定の閾値温度Ｔｈ２以上であるか否かを判定する（ステップＳ７０）。

【0127】

状態判定回路５６がプリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度に対応する温度情報信号ＴＩ１～ＴＩｎで規定される温度であって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの圧力室３１２の温度の全てが、所定の閾値温度Ｔｈ１よりも低い所定の閾値温度Ｔｈ２以上ではない判定した場合（ステップＳ７０のＮ）、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度に対応する温度情報信号ＴＩ１～ＴＩｎで規定される温度であって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの圧力室３１２の温度の全てが、所定の閾値温度Ｔｈ１よりも低い所定の閾値温度Ｔｈ２未満であるか否かを判定する（ステップＳ８０）。

【0128】

ここで、所定の閾値温度Ｔｈ２は、例えば、圧電素子６０に駆動信号ＣＯＭが供給された場合に最低限生じる発熱量に応じた温度に設定される。すなわち、状態判定回路５６が、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度に対応する温度情報信号ＴＩ１～ＴＩｎで規定される温度であって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの圧力室３１２の温度の全てが、所定の閾値温度Ｔｈ１よりも低い所定の閾値温度Ｔｈ２以上であると判定した場合（ステップＳ７０のＹ）、プリントヘッド２２－１～２２－２の全てに、正常な信号波形の駆動信号ＣＯＭが供給されている。

【0129】

したがって、状態判定回路５６は、駆動回路５０が、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに共通に供給される駆動信号ＣＯＭを正常に出力していると判定するとともに、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれに供給される駆動信号ＣＯＭが伝搬する伝搬経路も正常であると判定する。よって、状態判定回路５６が、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度に対応する温度情報信号ＴＩ１～ＴＩｎで規定される温度であって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの圧力室３１２の温度の全てが、所定の閾値温度Ｔｈ１よりも低い所定の閾値温度Ｔｈ２以上であると判定した場合、状態判定回路５６は、駆動信号異常フラグＦｃｏｍの論理レベルをＬレベルで保持するとともに、ＣＯＭ配線異常フラグＦｃｌ１～Ｆｃｌｐの論理レベルをＬレベルで保持する。

【0130】

また、状態判定回路５６が、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度に対応する温度情報信号ＴＩ１～ＴＩｎで規定される温度であって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの圧力室３１２の温度の全てが、所定の閾値温度Ｔｈ１よりも低い所定の閾値温度Ｔｈ２未満であると判定した場合（ステップＳ８０）、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに共通に供給される駆動信号ＣＯＭが異常であると判定する。すなわち、状態判定回路５６は、駆動回路５０が、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに共通に供給される駆動信号ＣＯＭを正常に出力していないと判定する。そのため、状態判定回路５６は、駆動信号異常フラグＦｃｏｍの論理レベルをＨレベルとする（ステップ
Ｓ９０）。

【0131】

状態判定回路５６が、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度に対応する温度情報信号ＴＩ１～ＴＩｎで規定される温度であって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの圧力室３１２の温度の全てが、所定の閾値温度Ｔｈ１よりも低い所定の閾値温度Ｔｈ２以上ではない判定し（ステップＳ７０のＮ）、且つ、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度に対応する温度情報信号ＴＩ１～ＴＩｎで規定される温度であって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの圧力室３１２の温度の全てが、所定の閾値温度Ｔｈ１よりも低い所定の閾値温度Ｔｈ２未満でないと判定した場合（ステップＳ８０のＮ）、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの内のいずれかには、駆動信号ＣＯＭが正常に供給され、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの内の異なるいずれかには、駆動信号ＣＯＭが正常に供給されていないと判定する。そのため、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに駆動信号ＣＯＭを伝搬する伝搬経路のいずれかに異常が生じていると判定する。そこで、状態判定回路５６は、変数ｐを“１”に初期化した後（ステップＳ１００）、異常が生じた駆動信号ＣＯＭの伝搬経路を特定する。

【0132】

具体的には、状態判定回路５６は、変数ｐが“１”であるが故に、温度情報信号ＴＩ１に基づくプリントヘッド２２－１の温度であって、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ２以上であるか否かを判定する（ステップＳ１１０）。そして、状態判定回路５６が温度情報信号ＴＩ１に基づくプリントヘッド２２－１の温度であって、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ２以上であると判定した場合（ステップＳ１１０のＹ）、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１に駆動信号ＣＯＭを伝搬する伝搬経路は正常であると判定し、ＣＯＭ配線異常フラグＦｃｌ１の論理レベルをＬレベルで保持する。

【0133】

一方で、状態判定回路５６が温度情報信号ＴＩ１に基づくプリントヘッド２２－１の温度であって、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ２未満であると判定した場合（ステップＳ１１０のＹ）、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１に駆動信号ＣＯＭを伝搬する伝搬経路が異常であると判定し、ＣＯＭ配線異常フラグＦｃｌ１の論理レベルをＨレベルとする。

【0134】

その後、状態判定回路５６は、変数ｐがプリントヘッド２２の総数である“ｎ”未満であるか否かを判定し（ステップＳ１３０）、状態判定回路５６が、変数ｐはプリントヘッド２２の総数である“ｎ”未満であると判定した場合（ステップＳ１３０のＹ）、状態判定回路５６は、変数ｐに１を加算し、新たな変数ｐとして保持する（ステップＳ１４０）。そして、状態判定回路５６は、変数ｐが“２”であるが故に、温度情報信号ＴＩ２に基づくプリントヘッド２２－２の温度であって、プリントヘッド２２－２の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ２以上であるか否かを判定する（ステップＳ１１０）。

【0135】

すなわち、状態判定回路５６は、上述したステップＳ１１０からステップＳ１４０を繰り返し実行する。これにより、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度であって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ２以上であるか否かを個別に判定する。そして、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ２以上であるか否かの判定結果に応じて、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれに駆動信号ＣＯＭを伝搬する伝搬経路に異常が生じているか否かを判定し、判定結果に応じて、ＣＯＭ配線異常フラグＦｃｌ１の論理レベルを変更する。

【0136】

すなわち、本実施形態の状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度に応じた温度情報信号ＴＩ１であって、プリントヘッド２２－１が出力するヘッド
温度信号ＴＣに応じたプリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ１よりも低い所定の閾値温度Ｔｈ２未満の場合であって、プリントヘッド２２－ｉ（ｉは２～ｎのいずれか）の圧力室３１２の温度に応じた温度情報信号ＴＩｉであって、プリントヘッド２２－ｉが出力するヘッド温度信号ＴＣに応じたプリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ２以上の場合、プリントヘッド２２－１に駆動信号ＣＯＭを伝搬する伝搬経路に異常が生じたと判定する。

【0137】

すなわち、本実施形態の液体吐出装置１は、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度に応じた温度情報信号ＴＩ１であって、プリントヘッド２２－１が出力するヘッド温度信号ＴＣに応じたプリントヘッド２２－１の圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ２未満であって、プリントヘッド２２－ｉ（ｉは２～ｎのいずれか）の圧力室３１２の温度に応じた温度情報信号ＴＩｉであって、プリントヘッド２２－ｉが出力するヘッド温度信号ＴＣに応じたプリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２の温度が、所定の閾値温度Ｔｈ２以上の場合、プリントヘッド２２－１に駆動信号ＣＯＭを伝搬する伝搬経路に異常が生じたと判定する工程を含むヘッドユニット２０の故障診断方法を実行する。

【0138】

以上のように、本実施形態の液体吐出装置１において状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの温度に基づいて、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに駆動信号ＣＯＭが供給されているか否かを判定する。このとき、本実施形態の液体吐出装置１では、温度検出回路２５０がプリントヘッド２２に対して個別に設けられているが故に、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの温度を個別に取得することができる。すなわち、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの温度に基づいて、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに駆動信号ＣＯＭが供給されているか否かを、個別に判定することができる。これにより、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに駆動信号ＣＯＭが供給されているか否かに加え、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに供給される駆動信号ＣＯＭに異常が生じた場合に、当該異常が、駆動信号ＣＯＭを出力する駆動回路５０に起因する異常なのか、駆動信号ＣＯＭが伝搬する伝搬経路に起因する異常なのかを判定することができる。したがって、液体吐出装置１の信頼性をさらに高めることができる。

【0139】

そして、状態判定回路５６が、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの温度に対応する温度情報信号ＴＩ１～ＴＩｎで規定される温度であって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの圧力室３１２の温度の全てが、所定の閾値温度Ｔｈ１よりも低い所定の閾値温度Ｔｈ２以上であると判定した場合（ステップＳ７０のＹ）、状態判定回路５６が、駆動信号異常フラグＦｃｏｍの論理レベルをＨレベルとした後、又は、状態判定回路５６が、変数ｐはプリントヘッド２２の総数である“ｎ”未満でないと判定した場合（ステップＳ１３０のＹ）、状態判定回路５６は、インク供給異常フラグＦｉｎｋ１～Ｆｉｎｋｎの論理レベル、ＣＯＭ配線異常フラグＦｃｌ１～Ｆｃｌｎの論理レベル、及び、駆動信号異常フラグＦｃｏｍの論理レベルに応じた状態信号ＳＳを生成し、制御回路１００に出力する（ステップＳ１５０）。

【0140】

制御回路１００は、入力される状態信号ＳＳから把握されるインク供給異常フラグＦｉｎｋ１～Ｆｉｎｋｎの論理レベル、ＣＯＭ配線異常フラグＦｃｌ１～Ｆｃｌｎの論理レベル、及び、駆動信号異常フラグＦｃｏｍの論理レベルに応じて、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの状態を把握する。

【0141】

そして、制御回路１００は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎの内、状態信号ＳＳに基づいて把握した異常が生じているプリントヘッド２２の動作を停止し、動作が停止したプリントヘッド２２を他のプリントヘッド２２によって補完するとともに、異常が生じた旨を使用者に報知する。

【0142】

すなわち、状態判定回路５６が、プリントヘッド２２－１の圧力室３１２に貯留される液体が不足していると判定し、プリントヘッド２２－ｉの圧力室３１２に貯留される液体は不足していないと判定した場合、制御回路１００は、プリントヘッド２２－１が、インクを吐出しないように制御するとともに、プリントヘッド２２－ｉがプリントヘッド２２－１を補完するように動作するように制御し、さらに、プリントヘッド２２－１の異常を、報知回路９４を介して使用者に報知する。また、状態判定回路５６が、プリントヘッド２２－１に駆動信号ＣＯＭを伝搬する伝搬経路に異常が生じたと判定し、プリントヘッド２２－ｉに駆動信号ＣＯＭを伝搬する伝搬経路に異常は生じていないと判定した場合、制御回路１００は、プリントヘッド２２－１が、インクを吐出しないように制御するとともに、プリントヘッド２２－ｉがプリントヘッド２２－１を補完するように動作するように制御し、さらに、プリントヘッド２２－１の異常を、報知回路９４を介して使用者に報知する。

【0143】

これにより、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのいずれかに異常が生じた場合であっても、液体吐出装置１は、動作を継続できることで、液体吐出装置１の信頼性を高めることができるとともに、当該異常を使用者に報知することで、当該場に対する適切な処理を促すことができ、液体吐出装置１の信頼性をさらに高めることができる。

【0144】

ここで、駆動信号ＣＯＭが駆動信号の一例であり、駆動信号ＶＯＵＴが駆動信号ＣＯＭの信号波形御を選択、又は非選択とすることで生成される点に鑑みると、駆動信号ＶＯＵＴもまた駆動信号の一例である。また、プリントヘッド２２－１が第１プリントヘッドの一例であり、プリントヘッド２２－１が出力するヘッド温度信号ＴＣ１が第１温度信号の一例であり、ヘッド温度信号ＴＣ１に含まれるヘッド温度情報ｔｃ１が第１温度情報の一例であり、プリントヘッド２２－１に含まれる電極３６０が第１電極の一例であり、電極３８０が第２電極の一例であり、圧電体３７０が第１圧電体の一例であり、圧電素子６０が第１圧電素子の一例であり、振動板３５０が第１振動板の一例であり、圧力室３１２が第１圧力室の一例であり、圧力室基板３１０が第１圧力室基板の一例であり、ノズル３２１が第１ノズルの一例であり、温度検出回路２５０、及び抵抗配線４０１が第１温度検出部の一例であり、電極３６０、圧電体３７０、及び電極３８０が積層されるＺ軸に沿った方向が第１積層方向の一例である。また、プリントヘッド２２－ｉが第２プリントヘッドの一例である。プリントヘッド２２－ｉが出力するヘッド温度信号ＴＣｉが第２温度信号の一例であり、ヘッド温度信号ＴＣｉに含まれるヘッド温度情報ｔｃｉが第２温度情報の一例であり、プリントヘッド２２－ｉに含まれる電極３６０が第３電極の一例であり、電極３８０が第４電極の一例であり、圧電体３７０が第２圧電体の一例であり、圧電素子６０が第２圧電素子の一例であり、振動板３５０が第２振動板の一例であり、圧力室３１２が第２圧力室の一例であり、圧力室基板３１０が第２圧力室基板の一例であり、ノズル３２１が第２ノズルの一例であり、温度検出回路２５０、及び抵抗配線４０１が第２温度検出部の一例であり、電極３６０、圧電体３７０、及び電極３８０が積層されるＺ軸に沿った方向が第２積層方向の一例である。また、所定の閾値温度Ｔｈ１が第１所定値の一例であり、所定の閾値温度Ｔｈ２が第２所定値の一例である。また、報知回路９４が報知部の一例である。

【0145】

３．作用効果
以上のように、本実施形態の液体吐出装置１では、状態判定回路５６が、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの振動板３５０に形成された抵抗配線４０１における検出温度の上昇に基づいて、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの圧力室３１２に十分なインクが貯留されているか否かであって、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに十分なインクが供給されているか否かを個別に検出することができる。これにより、圧力室３１２の内部に十分な液体が貯留されていない状態で圧電素子６０が駆動するおそれが
低減し、圧電素子６０や振動板３５０に異常が生じるそれが低減される。その結果、プリントヘッド２２－１～２２－ｎを有するヘッドユニット２０、及びヘッドユニット２０を備えた液体吐出装置１の信頼性を高めることができる。

【0146】

また、本実施形態の液体吐出装置１では、状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの温度に基づいて、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに駆動信号ＣＯＭが供給されているか否かを判定する。このとき、本実施形態の液体吐出装置１では、温度検出回路２５０がプリントヘッド２２に対して個別に設けられているが故に、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの温度を個別に取得することができる。すなわち、本実施形態の液体吐出装置１が備える状態判定回路５６は、プリントヘッド２２－１～２２－ｎのそれぞれの温度に基づいて、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに駆動信号ＣＯＭが供給されているか否かを、個別に判定することができる。これにより、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに駆動信号ＣＯＭが供給されているか否かに加え、プリントヘッド２２－１～２２－ｎに供給される駆動信号ＣＯＭに異常が生じた場合に、当該異常が、駆動信号ＣＯＭを出力する駆動回路５０に起因する異常なのか、駆動信号ＣＯＭが伝搬する伝搬経路に起因する異常なのかを判定することができる。したがって、液体吐出装置１の信頼性をさらに高めることができる。

【0147】

以上、実施形態及び変形例について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。例えば、上記の実施形態を適宜組み合わせることも可能である。

【0148】

本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

【0149】

上述した実施形態から以下の内容が導き出される。

【0150】

液体吐出装置の一態様は、
温度情報信号に基づいて補正された駆動信号を出力する駆動回路と、
前記駆動信号を受けて液体を吐出する第１プリントヘッドと、
前記第１プリントヘッドの温度を示す第１温度信号を取得し、前記第１温度信号に基づく前記温度情報信号を出力する温度情報出力回路と、
前記温度情報信号に基づいて、前記第１プリントヘッドの状態を判定する状態判定回路と、
を備え、
前記第１プリントヘッドは、
第１電極、第２電極、及び第１圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、及び前記第１圧電体が積層される第１積層方向において、前記第１圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に位置し、前記駆動信号を受けて駆動する第１圧電素子と、
前記第１圧電素子に対して前記第１積層方向の一方側に位置し、前記第１圧電素子の駆動により変形する第１振動板と、
前記第１振動板に対して前記第１積層方向の一方側に位置し、液体が貯留されるとともに前記第１振動板の変形により容積が変化する第１圧力室が設けられている第１圧力室基板と、
前記第１圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出する第１ノズルと、
前記第１振動板に対して前記第１積層方向の他方側に位置し、前記第１圧力室の温度に
対応する第１温度情報を取得し、前記第１温度信号として出力する第１温度検出部と、
を有し、
前記状態判定回路は、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が第１所定値を超えている場合、前記第１圧力室に貯留される液体が不足していると判定し、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が前記第１所定値を超えていない場合、前記第１圧力室に貯留される液体は不足していないと判定する。

【0151】

この液体吐出装置によれば、温度検出部の温度上昇に基づいて、圧力室に液体が充填されているか否かを検出することができ、液体吐出装置の信頼性を高めることができる。

【0152】

上記液体吐出装置の一態様において、
前記駆動信号を受けて液体を吐出する第２プリントヘッドを備え、
前記温度情報出力回路は、前記第２プリントヘッドの温度を示す第２温度信号を取得し、前記第１温度信号と前記第２温度信号と基づく前記温度情報信号を出力し、
前記第２プリントヘッドは、
第３電極、第４電極、及び第２圧電体を含み、前記第３電極、前記第４電極、及び前記第２圧電体が積層される第２積層方向において、前記第２圧電体が前記第３電極と前記第４電極との間に位置し、前記駆動信号を受けて駆動する第２圧電素子と、
前記第２圧電素子に対して前記第２積層方向の一方側に位置し、前記第２圧電素子の駆動により変形する第２振動板と、
前記第２振動板に対して前記第２積層方向の一方側に位置し、液体が貯留されるとともに前記第２振動板の変形により容積が変化する第２圧力室が設けられている第２圧力室基板と、
前記第２圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出する第２ノズルと、
前記第２振動板に対して前記第２積層方向の他方側に位置し、前記第２圧力室の温度に対応する第２温度情報を取得し、前記第２温度信号として出力する第２温度検出部と、
を有し、
前記状態判定回路は、
前記第２温度信号に応じた前記第２圧力室の温度が前記第１所定値を超えている場合、前記第２圧力室に貯留される液体が不足していると判定し、
前記第２温度信号に応じた前記第２圧力室の温度が前記第１所定値を超えていない場合、前記第２圧力室に貯留される液体は不足していないと判定してもよい。

【0153】

この液体吐出装置によれば、複数のプリントヘッドを有する場合に、複数のプリントヘッド毎に、温度検出部の温度上昇に基づいて、圧力室に液体が充填されているか否かを検出することができ、液体吐出装置の信頼性をさらに高めることができる。

【0154】

上記液体吐出装置の一態様において、
前記状態判定回路が、前記第１圧力室に貯留される液体が不足していると判定し、前記第２圧力室に貯留される液体は不足していないと判定した場合、前記第１プリントヘッドは、液体を吐出せず、前記第２プリントヘッドは、前記第１プリントヘッドを補完してもよい。

【0155】

この液体吐出装置によれば、一方のプリントヘッドに液体が貯留されていない場合であっても、他方のプリントヘッドを用いて液体の吐出を継続することができる。これにより、液体吐出装置に不用意な動作の停止が生じるおそれが低減される。

【0156】

上記液体吐出装置の一態様において、
報知部を有し、
前記報知部は、前記状態判定回路が、前記第１圧力室に貯留される液体が不足していると判定し、前記第２圧力室に貯留される液体は不足していないと判定した場合、前記第１プリントヘッドの異常を報知してもよい。

【0157】

この液体吐出装置によれば、使用者に適切なメンテナンスを促すことができる。

【0158】

上記液体吐出装置の一態様において、
前記状態判定回路は、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が前記第１所定値よも低い第２所定値未満の場合であって、前記第２温度信号に応じた前記第２圧力室の温度が前記第２所定値以上の場合、前記第１プリントヘッドに前記駆動信号を伝搬する伝搬経路に異常が生じたと判定してもよい。

【0159】

この液体吐出装置によれば、温度変化に応じて、圧電素子が駆動しているか否かを判定することができるとともに、複数のプリントヘッドの内の一方のみの温度が上昇しないことから、駆動信号が伝搬する伝搬経路の異常を特定することができる。これにより、液体吐出装置の信頼性をさらに高めることができる。

【0160】

上記液体吐出装置の一態様において、
前記状態判定回路が、前記第１プリントヘッドに前記駆動信号を伝搬する前記伝搬経路に異常が生じたと判定した場合、前記第１プリントヘッドは、液体を吐出せず、前記第２プリントヘッドは、前記第１プリントヘッドを補完してもよい。

【0161】

この液体吐出装置によれば、一方のプリントヘッドに液体が貯留されていない場合であっても、他方のプリントヘッドを用いて液体の吐出を継続することができる。これにより、液体吐出装置に不用意な動作の停止が生じるおそれが低減される。

【0162】

上記液体吐出装置の一態様において、
報知部を有し、
前記報知部は、前記状態判定回路が、前記伝搬経路に異常が生じたと判定した場合、前記伝搬経路の異常を報知してもよい。

【0163】

この液体吐出装置によれば、使用者に適切なメンテナンスを促すことができる。

【0164】

ヘッドユニットの故障診断方法の一態様は、
第１電極、第２電極、及び第１圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、及び前記第１圧電体が積層される第１積層方向において、前記第１圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に位置し、駆動信号を受けて駆動する第１圧電素子と、
前記第１圧電素子に対して前記第１積層方向の一方側に位置し、前記第１圧電素子の駆動により変形する第１振動板と、
前記第１振動板に対して前記第１積層方向の一方側に位置し、液体が貯留されるとともに前記第１振動板の変形により容積が変化する第１圧力室が設けられている第１圧力室基板と、
前記第１圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出する第１ノズルと、
前記第１振動板に対して前記第１積層方向の他方側に位置し、前記第１圧力室の温度に対応する第１温度情報を取得し、第１温度信号として出力する第１温度検出部と、
を有する第１プリントヘッドを備えたヘッドユニットの故障診断方法であって、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が第１所定値を超えている場合、前記第１圧力室に貯留される液体が不足していると判定する工程と、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が前記第１所定値を超えていない場合
、前記第１圧力室に貯留される液体は不足していないと判定する工程と、
を含む。

【0165】

このヘッドユニットの故障診断方法によれば、温度検出部の温度上昇に基づいて、圧力室に液体が充填されているか否かを検出することができ、ヘッドユニットの信頼性を高めることができる。

【0166】

上記ヘッドユニットの故障診断方法の一態様において、
前記ヘッドユニットは、
第３電極、第４電極、及び第２圧電体を含み、前記第３電極、前記第４電極、及び前記第２圧電体が積層される第２積層方向において、前記第２圧電体が前記第３電極と前記第４電極との間に位置し、前記駆動信号を受けて駆動する第２圧電素子と、
前記第２圧電素子に対して前記第２積層方向の一方側に位置し、前記第２圧電素子の駆動により変形する第２振動板と、
前記第２振動板に対して前記第２積層方向の一方側に位置し、液体が貯留されるとともに前記第２振動板の変形により容積が変化する第２圧力室が設けられている第２圧力室基板と、
前記第２圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出する第２ノズルと、
前記第２振動板に対して前記第２積層方向の他方側に位置し、前記第２圧力室の温度に対応する第２温度情報を取得し、第２温度信号として出力する第２温度検出部と、
を有する第２プリントヘッドを備え、
前記第２温度信号に応じた前記第２圧力室の温度が前記第１所定値を超えている場合、前記第２圧力室に貯留される液体が不足していると判定する工程と、
前記第２温度信号に応じた前記第２圧力室の温度が前記第１所定値を超えていない場合、前記第２圧力室に貯留される液体は不足していないと判定する工程と、
を含んでもよい。

【0167】

このヘッドユニットの故障診断方法によれば、複数のプリントヘッドを有する場合に、複数のプリントヘッド毎に、温度検出部の温度上昇に基づいて、圧力室に液体が充填されているか否かを検出することができ、ヘッドユニットの信頼性をさらに高めることができる。

【0168】

上記ヘッドユニットの故障診断方法の一態様において、
前記第１温度信号に応じた前記第１圧力室の温度が前記第１所定値よも低い第２所定値未満であって、前記第２温度信号に応じた前記第２圧力室の温度が前記第２所定値以上の場合、前記第１プリントヘッドに前記駆動信号を伝搬する伝搬経路に異常が生じていると判定する工程を含んでもよい。

【0169】

このヘッドユニットの故障診断方法によれば、温度変化に応じて、圧電素子が駆動しているか否かを判定することができるとともに、複数のプリントヘッドの内の一方のみの温度が上昇しないことから、駆動信号が伝搬する伝搬経路の異常を特定することができる。これにより、ヘッドユニットの信頼性をさらに高めることができる。

【符号の説明】

【0170】

１…液体吐出装置、１０…制御ユニット、２０…ヘッドユニット、２１…キャリッジ、２２…プリントヘッド、２６…温度情報出力回路、３０…移動ユニット、３１…キャリッジモーター、３２…無端ベルト、４０…搬送ユニット、４１…搬送モーター、４２…搬送ローラー、５０…駆動回路、５２…基準電圧出力回路、５６…状態判定回路、６０…圧電素子、９０…インク容器、９２…エンコーダーセンサー、９４…報知回路、１００…制御回路、２００…駆動信号選択回路、２５０…温度検出回路、３１０…圧力室基板、３１１
…隔壁、３１２…圧力室、３１２ａ，３１２ｂ…端部、３１５…連通板、３１６…ノズル連通路、３１７…第１マニホールド部、３１８…第２マニホールド部、３１９…供給連通路、３２０…ノズルプレート、３２１…ノズル、３３０…保護基板、３３１…保持部、３３２…貫通孔、３４０…ケース部材、３４１…収容部、３４２…第３マニホールド部、３４３…接続口、３４４…供給口、３４５…コンプライアンス基板、３４６…封止膜、３４７…固定基板、３４８…開口部、３４９…コンプライアンス部、３５０…振動板、３５１…弾性膜、３５２…絶縁体膜、３６０…電極、３６０ａ，３６０ｂ…端部、３７０…圧電体、３７０ａ，３７０ｂ…端部、３７１…溝部、３８０…電極、３８０ａ，３８０ｂ…端部、３８５…配線部、３９１…個別リード電極、３９２…共通リード電極、３９２ａ，３９２ｂ…延設部、３９３…測定用リード電極、３９３ａ，３９３ｂ…測定用リード電極、４００…マニホールド、４０１…抵抗配線、４１０…活性部、４１５…非活性部、４２０…配線基板、４２１…集積回路、５００…制御回路、５０２…要求解析部、５０４…温度情報出力部、５０８…メモリー制御部、５１０…増幅回路、５３０…マルチプレクサー、５４０…ＡＤ変換回路、５６０…ＤＡ変換回路、５７０…記憶回路、６００…吐出部、Ｐ…媒体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】