特開2024-174187IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

基板処理装置および基板搬送方法

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】基板を支持する複数のハンドを有する搬送機構を備える基板処理装置、および複数のハンドを有する搬送機構による基板搬送方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００は、１枚の基板Ｗをそれぞれ支持する１０個の第１支持部を有する第１支持部群を備え、複数枚の基板が載置される基板載置部２９と、基板を処理する複数個の処理ユニット２１と、１枚の基板をそれぞれ支持する５つの第１ハンド９を有し、複数枚の基板を収容するキャリアＣから基板載置部に基板を搬送する第１搬送機構７と、１枚の基板をそれぞれ支持する２つの第２ハンド２５を有し、基板載置部から複数個の処理ユニットに基板を搬送する第２搬送機構２３と、を備える。
【選択図】図２

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一基板を支持する複数のハンドを有する搬送機構を備える基板処理装置、および複数のハンドを有する搬送機構による基板搬送方法を提供する。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

この発明の一１枚の基板をそれぞれ支持する１０個の第１支持部を有する第１支持部群を備え、複数枚の前記基板が載置される基板載置部と、前記基板を処理する複数個の処理ユニットと、１枚の基板をそれぞれ支持する５つの第１ハンドを有し、複数枚の前記基板を収容するキャリアから前記基板載置部に前記基板を搬送する第１搬送機構と、１枚の基板をそれぞれ支持する２つの第２ハンドを有し、前記基板載置部から前・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の基板処理装置の内部を示す平面図である。
【図2】 図１のＩＩ－ＩＩ線に沿った断面図である。
【図3】 図１のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図4】 本基板処理装置を示す側面図である。
【図5】 本処理ユニットの内部を示す側面図である。
【図6】 本基板処理装置の第１搬送機構、基板載置部、および、第２搬送機構を示す側面図である。
【図7】 本基板処理装置が実行する第１基板搬送方法の全体的な流れの一例を示す図である。
【図8】 本基板処理装置が実行する第１基板搬送方法の前段を示すフローチャートである。
【図9】 本基板処理装置が実行する第１基板搬送方法の後段を示すフローチャートである。
【図10】 本基板処理装置が実行する第２基板搬送方法の全体的な流れの一例を示す図である。
【図11】 本基板処理装置が実行する第２基板搬送方法の前段を示すフローチャートである。
【図12】 本基板処理装置が実行する第２基板搬送方法の後段を示すフローチャートである。
【図13】 本基板処理装置が実行する第１基板搬送方法を一般化して説明するための図である。
【図14】 本第２搬送機構が２Ｎ個の第２ハンドを備える場合において、第２ハンドの総数と、第１基板搬送方法で使用する第２ハンドの数と、第２基板搬送方法で使用する第２ハンドの数との関係を示す図である。
【図15】 本第２搬送機構がＮ＋１個の第２ハンドを備え、Ｎが奇数の場合において、第２ハンドの総数と、第１基板搬送方法で使用する第２ハンドの数と、第２基板搬送方法で使用する第２ハンドの数との関係を示す図である。
【図16】 本第２搬送機構がＮ＋１個の第２ハンドを備え、Ｎが偶数の場合において、第２ハンドの総数と、第１基板搬送方法で使用する第２ハンドの数と、第２基板搬送方法で使用する第２ハンドの数との関係を示す図である。

選択図 図2出願人が指定した本件の代表的な図

７…第１搬送機構 ９…第１ハンド ２１、２１Ａ、２１Ｂ、２１＿１～２１＿Ｎ…処理ユニット ２３、２３Ｌ、２３Ｕ…第２搬送機構（搬送機構） ２５、ＨＡ～ＨＤ、Ｈ＿Ｆ、Ｈ＿Ｓ、Ｈ＿１～Ｈ－Ｍ …第２ハンド（ハンド、第１非共用ハンド、第２非共用ハンド、共用ハンド） ２９、２９Ｌ、２９Ｕ…基板載置部 １００…基板処理装置 ２００…制御部

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