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特開2024-174676連続炉の制御方法、連続炉、及び、連続炉の制御プログラム
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024174676
(43)【公開日】2024-12-17
(54)【発明の名称】連続炉の制御方法、連続炉、及び、連続炉の制御プログラム
(51)【国際特許分類】
F27D 19/00 20060101AFI20241210BHJP
F27B 9/40 20060101ALI20241210BHJP
F27B 9/02 20060101ALI20241210BHJP
F27B 9/04 20060101ALI20241210BHJP
F27D 7/06 20060101ALI20241210BHJP
【ＦＩ】
F27D19/00 D
F27B9/40
F27B9/02
F27B9/04
F27D7/06 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】14
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023092631
(22)【出願日】2023-06-05
(71)【出願人】
【識別番号】000001993
【氏名又は名称】株式会社島津製作所
(74)【代理人】
【識別番号】100121382
【弁理士】
【氏名又は名称】山下 託嗣
(74)【代理人】
【識別番号】100221372
【弁理士】
【氏名又は名称】岡崎 信治
(72)【発明者】
【氏名】森元 陽介
【テーマコード（参考）】
4K050
4K056
4K063
【Ｆターム（参考）】
4K050AA04
4K050BA01
4K050BA07
4K050CA13
4K050CC07
4K050CG04
4K050EA04
4K050EA08
4K056AA11
4K056FA01
4K056FA11
4K063AA07
4K063AA15
4K063BA02
4K063BA03
4K063BA04
4K063CA03
4K063DA05
4K063DA33
(57)【要約】
【課題】熱処理を行う連続炉において、条件の異なる処理を行う処理室間のリークが生じないようにする。
【解決手段】対象物を処理可能な第１処理室１と、対象物を処理可能な第２処理室２と、第１処理室１と第２処理室２との間に配置された第１中間室３と、第１処理室１と第１中間室３との間を開閉する第１閉鎖機構３３と、第２処理室２と第１中間室３との間を開閉する第２閉鎖機構３４と、を備える連続炉１００の制御方法は、第１閉鎖機構３３及び第２閉鎖機構３４を閉じるステップと、第１閉鎖機構３３及び第２閉鎖機構３４を閉じるステップにおいて、第１中間室３のガス圧と第１処理室１のガス圧との差により第１閉鎖機構３３が閉じる方向に圧力がかかる、及び／又は、第１中間室３のガス圧と第２処理室２のガス圧との差により第２閉鎖機構３４が閉じる方向に圧力がかかるように、第１中間室３のガス圧を調整するステップとを含む。
【選択図】図１
【解決手段】対象物を処理可能な第１処理室１と、対象物を処理可能な第２処理室２と、第１処理室１と第２処理室２との間に配置された第１中間室３と、第１処理室１と第１中間室３との間を開閉する第１閉鎖機構３３と、第２処理室２と第１中間室３との間を開閉する第２閉鎖機構３４と、を備える連続炉１００の制御方法は、第１閉鎖機構３３及び第２閉鎖機構３４を閉じるステップと、第１閉鎖機構３３及び第２閉鎖機構３４を閉じるステップにおいて、第１中間室３のガス圧と第１処理室１のガス圧との差により第１閉鎖機構３３が閉じる方向に圧力がかかる、及び／又は、第１中間室３のガス圧と第２処理室２のガス圧との差により第２閉鎖機構３４が閉じる方向に圧力がかかるように、第１中間室３のガス圧を調整するステップとを含む。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
対象物を処理可能な第１処理室と、前記対象物を処理可能な第２処理室と、前記第１処理室と前記第２処理室との間に配置された中間室と、前記第１処理室と前記中間室との間を開閉する第１閉鎖機構と、前記第２処理室と前記中間室との間を開閉する第２閉鎖機構と、を備える連続炉の制御方法であって、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるステップと、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるステップにおいて、前記中間室のガス圧と前記第１処理室のガス圧との差により前記第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかる、及び／又は、前記中間室のガス圧と前記第２処理室のガス圧との差により前記第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、前記中間室のガス圧を調整するステップとを含む、方法。
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるステップと、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるステップにおいて、前記中間室のガス圧と前記第１処理室のガス圧との差により前記第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかる、及び／又は、前記中間室のガス圧と前記第２処理室のガス圧との差により前記第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、前記中間室のガス圧を調整するステップとを含む、方法。
【請求項2】
前記第１閉鎖機構が、前記中間室側から前記第１処理室側に駆動して前記第１処理室と前記中間室との間を閉じ、かつ、前記第２閉鎖機構が、前記中間室側から前記第２処理室側に駆動して前記第２処理室と前記中間室との間を閉じ、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるとき、前記中間室のガス圧が、前記第１処理室のガス圧及び前記第２処理室のガス圧よりも高いガス圧に調整される、請求項１に記載の方法。
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるとき、前記中間室のガス圧が、前記第１処理室のガス圧及び前記第２処理室のガス圧よりも高いガス圧に調整される、請求項１に記載の方法。
【請求項3】
前記第１閉鎖機構が、前記第１処理室側から前記中間室側に駆動して前記第１処理室と前記中間室との間を閉じ、かつ、前記第２閉鎖機構が、前記第２処理室側から前記中間室側に駆動して前記第２処理室と前記中間室との間を閉じ、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるとき、前記中間室のガス圧が、前記第１処理室のガス圧及び前記第２処理室のガス圧よりも低いガス圧に調整される、請求項１に記載の方法。
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるとき、前記中間室のガス圧が、前記第１処理室のガス圧及び前記第２処理室のガス圧よりも低いガス圧に調整される、請求項１に記載の方法。
【請求項4】
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を開くとき、前記第１処理室のガス圧、前記第２処理室のガス圧、及び前記中間室のガス圧が同一ガス圧に調整される、請求項１に記載の方法。
【請求項5】
前記連続炉は、前記第１処理室と前記第２処理室と前記中間室とを接続するバイパス配管と、前記バイパス配管を開閉する開閉装置とをさらに有するものであり、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を開くとき、前記開閉装置を開放することで、前記第１処理室のガス圧、前記第２処理室のガス圧、及び前記中間室のガス圧が同一ガス圧に調整される、請求項４に記載の方法。
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を開くとき、前記開閉装置を開放することで、前記第１処理室のガス圧、前記第２処理室のガス圧、及び前記中間室のガス圧が同一ガス圧に調整される、請求項４に記載の方法。
【請求項6】
前記第１処理室のガス圧と前記第２処理室のガス圧とは、－０．１ＭＰａ以上、１ＭＰａ未満の範囲内の圧力である、請求項１～５のいずれかに記載の方法。
【請求項7】
対象物を処理可能な第１処理室と、
前記対象物を処理可能な第２処理室と、
前記第１処理室と前記第２処理室との間に配置された中間室と、
前記第１処理室と前記中間室との間を開閉する第１閉鎖機構と、
前記第２処理室と前記中間室との間を開閉する第２閉鎖機構と、
前記第１処理室のガス圧を調整する第１圧力調整機構と、
前記第２処理室のガス圧を調整する第２圧力調整機構と、
前記中間室のガス圧を前記第１処理室及び前記第２処理室のガス圧とは独立して調整可能な第３圧力調整機構と、を備える、連続炉。
前記対象物を処理可能な第２処理室と、
前記第１処理室と前記第２処理室との間に配置された中間室と、
前記第１処理室と前記中間室との間を開閉する第１閉鎖機構と、
前記第２処理室と前記中間室との間を開閉する第２閉鎖機構と、
前記第１処理室のガス圧を調整する第１圧力調整機構と、
前記第２処理室のガス圧を調整する第２圧力調整機構と、
前記中間室のガス圧を前記第１処理室及び前記第２処理室のガス圧とは独立して調整可能な第３圧力調整機構と、を備える、連続炉。
【請求項8】
前記第１圧力調整機構、前記第２圧力調整機構、及び前記第３圧力調整機構と、前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構の開閉とを制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第１処理室のガス圧と前記中間室のガス圧との差により前記第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、及び／又は、前記第２処理室のガス圧と前記中間室のガス圧との差により前記第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、前記第３圧力調整機構を制御する、請求項７に記載の連続炉。
前記制御部は、前記第１処理室のガス圧と前記中間室のガス圧との差により前記第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、及び／又は、前記第２処理室のガス圧と前記中間室のガス圧との差により前記第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、前記第３圧力調整機構を制御する、請求項７に記載の連続炉。
【請求項9】
前記第１閉鎖機構が、前記中間室側から前記第１処理室側に駆動して前記第１処理室と前記中間室との間を閉じるものであり、かつ、前記第２閉鎖機構が、前記中間室側から前記第２処理室側に駆動して前記第２処理室と前記中間室との間を閉じるものであり、
前記第３圧力調整機構は、前記中間室のガス圧を、前記第１処理室のガス圧及び前記第２処理室のガス圧よりも高いガス圧に調整する、請求項８に記載の連続炉。
前記第３圧力調整機構は、前記中間室のガス圧を、前記第１処理室のガス圧及び前記第２処理室のガス圧よりも高いガス圧に調整する、請求項８に記載の連続炉。
【請求項10】
前記第１閉鎖機構が、前記第１処理室側から前記中間室側に駆動して前記第１処理室と前記中間室との間を閉じるものであり、かつ、前記第２閉鎖機構が、前記第２処理室側から前記中間室側に駆動して前記第２処理室と前記中間室との間を閉じるものであり、
前記第３圧力調整機構は、前記中間室のガス圧を、前記第１処理室のガス圧及び前記第２処理室のガス圧よりも低いガス圧に調整する、請求項８に記載の連続炉。
前記第３圧力調整機構は、前記中間室のガス圧を、前記第１処理室のガス圧及び前記第２処理室のガス圧よりも低いガス圧に調整する、請求項８に記載の連続炉。
【請求項11】
前記第１圧力調整機構、前記第２圧力調整機構及び前記第３圧力調整機構は、前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を開くとき、前記第１処理室、前記第２処理室、及び前記中間室のガス圧を同一のガス圧に調整する、請求項７に記載の連続炉。
【請求項12】
前記第１処理室と、前記第２処理室と、前記中間室とを接続するバイパス配管と、
前記バイパス配管を開閉する開閉装置と、をさらに備え、
前記第１圧力調整機構、前記第２圧力調整機構及び前記第３圧力調整機構は、前記開閉装置を開放して、前記第１処理室、前記第２処理室、及び前記中間室のガス圧を同一ガス圧に調整する、請求項１１に記載の連続炉。
前記バイパス配管を開閉する開閉装置と、をさらに備え、
前記第１圧力調整機構、前記第２圧力調整機構及び前記第３圧力調整機構は、前記開閉装置を開放して、前記第１処理室、前記第２処理室、及び前記中間室のガス圧を同一ガス圧に調整する、請求項１１に記載の連続炉。
【請求項13】
前記第１処理室のガス圧及び前記第２処理室のガス圧は、－０．１ＭＰａ以上、１ＭＰａ未満の範囲内の圧力である、請求項７～１２のいずれかに記載の連続炉。
【請求項14】
対象物を処理可能な第１処理室と、前記対象物を処理可能な第２処理室と、前記第１処理室と前記第２処理室との間に配置された中間室と、前記第１処理室と前記中間室との間を開閉する第１閉鎖機構と、前記第２処理室と前記中間室との間を開閉する第２閉鎖機構と、を備える連続炉の機能をコンピュータに実行させる制御プログラムであって、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるステップと、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるステップにおいて、前記中間室のガス圧と前記第１処理室のガス圧との差により前記第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかる、及び／又は、前記中間室のガス圧と前記第２処理室のガス圧との差により前記第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、前記中間室のガス圧を調整するステップとをコンピュータに実行させる、制御プログラム。
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるステップと、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるステップにおいて、前記中間室のガス圧と前記第１処理室のガス圧との差により前記第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかる、及び／又は、前記中間室のガス圧と前記第２処理室のガス圧との差により前記第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、前記中間室のガス圧を調整するステップとをコンピュータに実行させる、制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、連続炉の制御方法、連続炉、及び、連続炉の制御プログラムに関する。
【背景技術】
【0002】
所定の対象物（例えば、金属粉末成形体、セラミックス粉末成形体等）に対して、それぞれが異なる条件（空間の雰囲気、圧力、温度等）の複数の処理を連続的に行う装置として、連続炉と呼ばれるものが知られている。
【0003】
例えば、金属粉末成形品を脱ワックスするために不活性ガスを循環させて加熱する脱ワックス室と、当該金属粉末成形品を真空焼結する真空焼結室と、脱ワックス室と真空焼結室との間に配置された中間室と、脱ワックス室と中間室とを開閉する扉と、中間室と真空焼結とを開閉する扉と、を備えた設備が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特許第６６０７３６８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
近年、連続炉で行う複数の処理のいくつかを高圧の雰囲気で行いたい要望がある。例えば、１０気圧近傍の雰囲気下で千数百度の温度で焼成を行いたい場合がある。しかしながら、従来の連続炉は、このような高い圧力を必要とする処理に対応できなかった。具体的には、従来の連続炉では以下の問題が生じる可能性があった。
【0006】
連続炉では、処理室と中間室とを隔てる扉を処理室又は中間室に密着させて、処理室と中間室とを空間的に分離する。処理室と中間室との間には圧力差があるため、扉には、この圧力差により処理室又は中間室から離れる方向に力が働く。扉を駆動する機構は、処理室と中間室との圧力差により扉に働く力に抗する力を扉に付与することで、処理室又は中間室に扉を密着させている。
【0007】
処理室の圧力が高い、すなわち、処理室と中間室との圧力差が大きくなると、扉に働く力が大きくなるため、扉を駆動する機構による力のみでは扉を処理室又は中間室に密着させることができず、処理室からリークが生じる可能性がある。処理室からリークが生じると、処理室を所望の圧力に維持することが困難になり、所望の処理を適切に行うことができなくなる可能性がある。
【0008】
本発明の目的は、処理室と中間室とを備える連続炉において、処理室が高圧となっても、処理室と中間室との間にリークが生じることを防止又は抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の好ましい実施形態による連続炉の制御方法は、対象物を処理可能な第１処理室と、対象物を処理可能な第２処理室と、第１処理室と第２処理室との間に配置された中間室と、第１処理室と中間室との間を開閉する第１閉鎖機構と、第２処理室と中間室との間を開閉する第２閉鎖機構と、を備える連続炉の制御方法であって、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構を閉じるステップと、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構を閉じるステップにおいて、中間室のガス圧と第１処理室のガス圧との差により第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかる、及び／又は、中間室のガス圧と第２処理室のガス圧との差により第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、中間室のガス圧を調整するステップとを含む。
【0010】
本発明の好ましい実施形態による連続炉は、対象物を処理可能な第１処理室と、対象物を処理可能な第２処理室と、第１処理室と第２処理室との間に配置された中間室と、第１処理室と中間室との間を開閉する第１閉鎖機構と、第２処理室と中間室との間を開閉する第２閉鎖機構と、第１処理室のガス圧を調整する第１圧力調整機構と、第２処理室のガス圧を調整する第２圧力調整機構と、中間室のガス圧を第１処理室及び第２処理室のガス圧とは独立して調整可能な第３圧力調整機構と、を備える。
【発明の効果】
【0011】
上記の連続炉およびその制御方法では、中間室のガス圧と第１処理室のガス圧との差により第１閉鎖機構が閉じる方向に第１閉鎖機構に圧力がかかるので、第１閉鎖機構を第１処理室と中間室とを連通している部分に対して、より確実に密着させることができる。または、中間室のガス圧と第２処理室のガス圧との差により第２閉鎖機構が閉じる方向に第２閉鎖機構に圧力がかかるので、第２閉鎖機構を第２処理室と中間室とを連通している部分に対して、より確実に密着させることができる。この結果、第１処理室及び／又は第２処理室を高圧に調整する場合であっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にガスのリークが生じることを防止又は抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】連続炉の構成を示す図である。
【図2】連続炉に備わるガスライン構成を示す図である。
【図3】連続炉の制御構成を示す図である。
【図4】連続炉の動作を示すフローチャートである（その１）。
【図5】連続炉の動作を示すフローチャートである（その２）。
【図6】変形例１の連続炉の構成を示す図である。
【図7】変形例２の連続炉の構成を示す図である。
【図8】他の実施形態の連続炉の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
＜１．概要＞
以下、連続炉１００を説明する。連続炉１００は、それぞれが独立して内部の圧力（ガス圧のことをいう、以下同様。）及び／又は温度を設定可能な複数の処理室を並べて配置した装置である。連続炉１００は、各処理室において、所定の対象物に対して異なる条件で熱処理などの処理を連続的に行うことができる。ここで、「連続的に処理を行う」とは、所定の対象物を外部に取り出すことなく、特定の処理室から他の処理室に対象物を搬送させて、特定の処理室と他の処理室とで個別の処理を実行することをいう。
以下、連続炉１００を説明する。連続炉１００は、それぞれが独立して内部の圧力（ガス圧のことをいう、以下同様。）及び／又は温度を設定可能な複数の処理室を並べて配置した装置である。連続炉１００は、各処理室において、所定の対象物に対して異なる条件で熱処理などの処理を連続的に行うことができる。ここで、「連続的に処理を行う」とは、所定の対象物を外部に取り出すことなく、特定の処理室から他の処理室に対象物を搬送させて、特定の処理室と他の処理室とで個別の処理を実行することをいう。
【0014】
連続炉１００において処理を行う所定の対象物は、例えば、金属粉末成形体、セラミックス粉末成形体などである。連続炉１００では、これら粉末成形体の焼結、脱脂などの熱処理を行うことができる。連続炉１００では、高温・高圧の条件下で対象物の処理が行われる。例えば、セラミックス粉末成形体の焼結は、１０気圧近傍（例えば、０．９ＭＰａ）の雰囲気下で、千数百度（例えば、１５００度）以上の温度で行われる。
【0015】
＜２．連続炉の構成＞
以下、図１を用いて、連続炉１００の構成を説明する。図１は、連続炉１００の構成を示す図である。図１に示すように、連続炉１００は、第１処理室１と、第２処理室２と、第１中間室３と、を主に備える。
以下、図１を用いて、連続炉１００の構成を説明する。図１は、連続炉１００の構成を示す図である。図１に示すように、連続炉１００は、第１処理室１と、第２処理室２と、第１中間室３と、を主に備える。
【0016】
第１処理室１は、内部に第１空間ＳＰ１を有する円筒形状の処理炉である。第１処理室１は、第二種圧力容器であり、高温・高圧に耐えられる構造を有している。具体的には、第１処理室１は、－０．１ＭＰａ（真空）以上、１ＭＰａ（１０気圧）未満の圧力に耐えられる構造を有している。
【0017】
第１処理室１は、両端に開口を有している。第１処理室１の一端側の開口には、入口扉１１が設けられる。入口扉１１は、第１処理室１の一端側の開口を開閉する。入口扉１１を開いた状態においては、第１処理室１の一端側の開口を介して、外部と第１空間ＳＰ１とが連通する。入口扉１１を開いて外部と第１空間ＳＰ１とを連通させることで、連続炉１００で処理する対象物を第１空間ＳＰ１に設置できる。第１処理室１の他端側の開口は、第１中間室３の第１接続部分３１と連結されている。
【0018】
第１処理室１の第１空間ＳＰ１には、複数の第１搬送ローラ１２と、第１ヒータ１３と、が設けられる。複数の第１搬送ローラ１２は、第１空間ＳＰ１の底部において、第１空間ＳＰ１の長手方向に並んで設けられる。複数の第１搬送ローラ１２は、第１モータ１４（図３）により軸周りに回転可能となっている。
【0019】
第１空間ＳＰ１において、連続炉１００を用いて処理を行う対象物は、第１搬送ローラ１２に載置される。第１搬送ローラ１２が回転すると、第１搬送ローラ１２に載置された対象物が、当該第１搬送ローラ１２の回転に従って第１空間ＳＰ１内をその長手方向に搬送される。第１ヒータ１３は、第１空間ＳＰ１を加熱して、第１空間ＳＰ１を所定の温度とする。第１処理室１は、第１空間ＳＰ１の温度を測定する第１温度センサＴ１（図３）を有する。
【0020】
第２処理室２は、内部に第２空間ＳＰ２を有する円筒形状の処理炉である。第２処理室２は、第二種圧力容器であり、高温・高圧に耐えられる構造を有している。具体的には、第２処理室２は、－０．１ＭＰａ以上、１ＭＰａ未満の圧力に耐えられる構造を有している。
【0021】
第２処理室２は、両端に開口を有している。第２処理室２の一端側の開口は、第１中間室３の第２接続部分３２と連結されている。上記のように、第１中間室３の第１接続部分３１は、第１処理室１の他端側の開口と連結されている。従って、第１処理室１の第１空間ＳＰ１と第２処理室２の第２空間ＳＰ２とは、第１中間室３を介して接続されている。これにより、連続炉１００で処理する対象物を、第１空間ＳＰ１から第２空間ＳＰ２の方向へ、又はその逆方向に搬送することができる。第２処理室２の他端側の開口は、第２中間室４の第３接続部分４１と連結されている。
【0022】
第２処理室２の第２空間ＳＰ２には、複数の第２搬送ローラ２１と、第２ヒータ２２と、が設けられる。複数の第２搬送ローラ２１は、第２空間ＳＰ２の底部において、第２空間ＳＰ２の長手方向に並んで設けられる。複数の第２搬送ローラ２１は、第２モータ２３（図３）により軸周りに回転可能となっている。
【0023】
第２空間ＳＰ２において、第１空間ＳＰ１から搬送されてきた対象物は、第２搬送ローラ２１に載置される。第２搬送ローラ２１が回転すると、第２搬送ローラ２１に載置された対象物が、当該第２搬送ローラ２１の回転に従って第２空間ＳＰ２内をその長手方向に搬送される。第２ヒータ２２は、第２空間ＳＰ２を加熱して、第２空間ＳＰ２を所定の温度とする。第２処理室２は、第２空間ＳＰ２の温度を測定する第２温度センサＴ２（図３）を有する。
【0024】
第１中間室３は、第１処理室１と第２処理室２との間に配置される。具体的には、第１中間室３の第１接続部分３１と第１処理室１の他端側の開口とが連結される。第１中間室３の第２接続部分３２と第２処理室２の一端側の開口とが連結される。第１中間室３は、内部に第３空間ＳＰ３を有する。第３空間ＳＰ３には、第１閉鎖機構３３と、第２閉鎖機構３４と、が設けられる。第１閉鎖機構３３、第２閉鎖機構３４として、例えば、バルブや扉等が採用され得るので、以下では、第１バルブ３３、第２バルブ３４と表記する。
【0025】
第１バルブ３３は、第３空間ＳＰ３の第１接続部分３１側に配置され、第１処理室１の第１空間ＳＰ１と第１中間室３の第３空間ＳＰ３との間を開閉する。第１バルブ３３は、第１リンク機構３３ａを介して、第１バルブ駆動棒３５に接続される。第１バルブ駆動棒３５は、第１アクチュエータ３６（図３）によって、第３空間ＳＰ３内を上下に移動可能となっている。
【0026】
第１バルブ駆動棒３５を下方向に移動させると、第１バルブ３３が下方向に移動するとともに、第１リンク機構３３ａによって、第１バルブ３３が第１接続部分３１に密着される。第１バルブ３３の第１接続部分３１に密着する部分には、シール部材（Ｏリング）が設けられており、シール部材の弾性変形により、密着がなされる。シール部材は、第１接続部分３１側に設けられてもよい。
【0027】
これにより、第１処理室１の第１空間ＳＰ１と第１中間室３の第３空間ＳＰ３とが空間的に分離される。一方、第１バルブ駆動棒３５を上方向に移動させると、第１バルブ３３が第１接続部分３１から離れて上方向に移動する。これにより、第１空間ＳＰ１と第３空間ＳＰ３とが空間的に接続される。
【0028】
第２バルブ３４は、第３空間ＳＰ３の第２接続部分３２側に配置され、第２処理室２の第２空間ＳＰ２と第１中間室３の第３空間ＳＰ３との間を開閉する。第２バルブ３４は、第２リンク機構３４ａを介して、第１バルブ駆動棒３５に接続される。
【0029】
第１バルブ駆動棒３５を下方向に移動させると、第２バルブ３４が下方向に移動するとともに、第２リンク機構３４ａによって、第２バルブ３４が第２接続部分３２に密着される。第２バルブ３４の第２接続部分３２に密着する部分には、シール部材（Ｏリング）が設けられており、シール部材の弾性変形により、密着がなされる。シール部材は、第２接続部分３２側に設けられてもよい。
【0030】
これにより、第２処理室２の第２空間ＳＰ２と第１中間室３の第３空間ＳＰ３とが空間的に分離される。一方、第１バルブ駆動棒３５を上方向に移動させると、第２バルブ３４が第２接続部分３２から離れて上方向に移動する。これにより、第２空間ＳＰ２と第３空間ＳＰ３とが空間的に接続される。
【0031】
第１中間室３の第１接続部分３１には第３搬送ローラ３７が設けられ、第２接続部分３２には第４搬送ローラ３８が設けられる。第３搬送ローラ３７と第４搬送ローラ３８は、第３モータ３９（図３）により軸周りに回転可能となっている。第３搬送ローラ３７は、第１搬送ローラ１２により搬送されてきた対象物を、第１中間室３に導く。第４搬送ローラ３８は、第３搬送ローラ３７により第１中間室３に導かれた対象物を、第２処理室２の第２空間ＳＰ２へ搬送する。
【0032】
図１に示すように、連続炉１００は、第２中間室４と、最終処理室５と、を備える。第２中間室４は、第２処理室２と最終処理室５との間に配置される。具体的には、第２中間室４の第３接続部分４１と第２処理室２の他端側の開口とが連結される。第２中間室４の第４接続部分４２と最終処理室５の一端側の開口とが連結される。第２中間室４は、内部に第４空間ＳＰ４を有する。第４空間ＳＰ４には、第３閉鎖機構４３と、第４閉鎖機構４４と、が設けられる。第３閉鎖機構４３、第４閉鎖機構４４として、例えば、バルブや扉等が採用され得るので、以下では、第３バルブ４３、第４バルブ４４と表記する。
【0033】
第３バルブ４３は、第４空間ＳＰ４の第３接続部分４１側に配置され、第２処理室２の第２空間ＳＰ２と第２中間室４の第４空間ＳＰ４との間を開閉する。第３バルブ４３は、第３リンク機構４３ａを介して、第２バルブ駆動棒４５に接続される。第２バルブ駆動棒４５は、第２アクチュエータ４６（図３）によって、第３空間ＳＰ３内を上下に移動可能となっている。
【0034】
第２バルブ駆動棒４５を下方向に移動させると、第３バルブ４３が下方向に移動するとともに、第３リンク機構４３ａによって、第３バルブ４３が第３接続部分４１に密着される。第３バルブ４３の第３接続部分４１に密着する部分には、シール部材（Ｏリング）が設けられており、シール部材の弾性変形により、密着がなされる。シール部材は、第３接続部分４１側に設けられてもよい。
【0035】
これにより、第２処理室２の第２空間ＳＰ２と第２中間室４の第４空間ＳＰ４とが空間的に分離される。一方、第２バルブ駆動棒４５を上方向に移動させると、第３バルブ４３が第３接続部分４１から離れて上方向に移動する。これにより、第２空間ＳＰ２と第４空間ＳＰ４とが空間的に接続される。
【0036】
第４バルブ４４は、第４空間ＳＰ４の第４接続部分４２側に配置され、最終処理室５の第５空間ＳＰ５と第２中間室４の第４空間ＳＰ４との間を開閉する。第４バルブ４４は、第４リンク機構４４ａを介して、第２バルブ駆動棒４５に接続される。
【0037】
第２バルブ駆動棒４５を下方向に移動させると、第４バルブ４４が下方向に移動するとともに、第４リンク機構４４ａによって、第４バルブ４４が大きな力で第４接続部分４２に密着される。第４バルブ４４の第４接続部分４２に密着する部分には、シール部材（Ｏリング）が設けられており、シール部材の弾性変形により、密着がなされる。シール部材は、第４接続部分４２側に設けられてもよい。
【0038】
これにより、最終処理室５の第５空間ＳＰ５と第２中間室４の第４空間ＳＰ４とが空間的に分離される。一方、第２バルブ駆動棒４５を上方向に移動させると、第４バルブ４４が第４接続部分４２から離れて上方向に移動する。これにより、第５空間ＳＰ５と第４空間ＳＰ４とが空間的に接続される。
【0039】
第２中間室４の第３接続部分４１には第５搬送ローラ４７が設けられ、第４接続部分４２には第６搬送ローラ４８が設けられる。第５搬送ローラ４７と第６搬送ローラ４８は、第４モータ４９（図３）により軸周りに回転可能となっている。第５搬送ローラ４７は、第２搬送ローラ２１により搬送されてきた対象物を、第２中間室４に導く。第６搬送ローラ４８は、第５搬送ローラ４７により第２中間室４に導かれた対象物を、最終処理室５の第５空間ＳＰ５へ搬送する。
【0040】
最終処理室５は、内部に第５空間ＳＰ５を有する円筒形状の処理室である。最終処理室５は、両端に開口を有している。最終処理室５の一端側の開口は、第２中間室４の第４接続部分４２と接続されている。一方、最終処理室５の他端側の開口には、出口扉５１が設けられる。出口扉５１は、最終処理室５の他端側の開口を開閉する。出口扉５１を開いた状態においては、最終処理室５の他端側の開口を介して、外部と第５空間ＳＰ５とが連通する。出口扉５１を開いて外部と第５空間ＳＰ５とを連通させることで、連続炉１００で処理され第５空間ＳＰ５に搬送されてきた対象物を、外部に取り出すことができる。
【0041】
最終処理室５の第５空間ＳＰ５には、複数の第７搬送ローラ５２と、冷却装置５３と、が設けられる。複数の第７搬送ローラ５２は、第５空間ＳＰ５の底部において、第５空間ＳＰ５の長手方向に並んで設けられる。複数の第７搬送ローラ５２は、第５モータ５４（図３）により軸周りに回転可能となっている。冷却装置５３は、出口扉５１に設けられ、第５空間ＳＰ５に搬送されてきた対象物を冷却する。冷却装置５３は、例えば、ファンである。
【0042】
連続炉１００は、制御装置６を備える。制御装置６は、ＣＰＵ、記憶装置（ＲＡＭ、ＲＯＭ、ＳＳＤ、ＨＤＤなど）、各種インタフェースなどにより構成されたコンピュータシステムである、図３に示すように、制御装置６は、記憶部６１と、制御部６２と、を有する。図３は、連続炉１００の制御構成を示す図である。
【0043】
記憶部６１は、上記コンピュータシステムの記憶装置の記憶領域であり、連続炉１００を制御するためのコンピュータプログラム、連続炉１００の制御に必要な各種設定値などを記憶する。制御部６２は、上記コンピュータシステムのＣＰＵ、記憶装置の一部、各種インタフェースにより構成され、連続炉１００の各構成要素を制御する。制御部６２は、記憶部６１に記憶されたコンピュータプログラムを実行して、連続炉１００を制御する。その他、制御部６２は、連続炉１００の制御の一部をハードウェアとして実現してもよい。
【0044】
＜３．連続炉のガスライン構成＞
次に、図２を用いて、連続炉１００に備わるガスライン構成を説明する。図２は、連続炉１００に備わるガスライン構成を示す図である。連続炉１００において、第１処理室１、第２処理室２、最終処理室５のそれぞれに、第１ガスラインＧＬ１と、第２ガスラインＧＬ２と、排気ラインＰＬと、が設けられる。また、各処理室には、各処理室の内部空間（第１空間ＳＰ１、第２空間ＳＰ２、第５空間ＳＰ５）の圧力を測定する第１圧力計Ｇ１が設けられる。
次に、図２を用いて、連続炉１００に備わるガスライン構成を説明する。図２は、連続炉１００に備わるガスライン構成を示す図である。連続炉１００において、第１処理室１、第２処理室２、最終処理室５のそれぞれに、第１ガスラインＧＬ１と、第２ガスラインＧＬ２と、排気ラインＰＬと、が設けられる。また、各処理室には、各処理室の内部空間（第１空間ＳＰ１、第２空間ＳＰ２、第５空間ＳＰ５）の圧力を測定する第１圧力計Ｇ１が設けられる。
【0045】
第１ガスラインＧＬ１には、第１開閉装置Ｖ１を介して、第１ガス供給源ＧＳ１が接続される。第１開閉装置Ｖ１は、例えば、電磁バルブなどのバルブである。第１ガスラインＧＬ１は、第１ガス供給源ＧＳ１から供給されるガスを、各処理室の内部空間に導入する。第１ガス供給源ＧＳ１は、例えば、窒素などの不活性ガス、各処理室において対象物の処理で用いるガス、これらの混合ガスを供給する。
【0046】
第１ガス供給源ＧＳ１は、例えば、ガスボンベと、ガスボンベに接続された流量制御装置（例えば、マスフローコントローラなど）などを含む。第１ガス供給源ＧＳ１は、各処理室で用いる最大圧力（例えば、１ＭＰａ）よりも高い圧力でガスを供給する。なお、第１ガス供給源ＧＳ１は、各処理室で異なっており、各処理室で異なるガスを供給可能となっていてもよい。
【0047】
上記の構成では、第１開閉装置Ｖ１を開けると、対象物の処理に用いるガスが、第１ガス供給源ＧＳ１から各処理室の内部空間に供給される。一方、第１開閉装置Ｖ１を閉じると、各処理室の内部空間へのガスの供給が停止する。
【0048】
第２ガスラインＧＬ２は、第２開閉装置Ｖ２を介して、外部に接続される。第２開閉装置Ｖ２は、例えば、電磁バルブなどのバルブである。第２ガスラインＧＬ２は、各処理室の内部空間のガスを外部に排出する。具体的には、第２開閉装置Ｖ２を開けると、各処理室の内部空間と外部との圧力差によって、内部空間に存在するガスが排出される。一方、第２開閉装置Ｖ２を閉じると、内部空間からのガスの排出が停止する。
【0049】
排気ラインＰＬは、ポンプＲＰに接続される。排気ラインＰＬは、ポンプＲＰにより、各処理室の内部空間を排気する。
【0050】
図２に示すガスライン構成では、第１ガスラインＧＬ１から内部空間に供給されるガス量と、内部空間から第２ガスラインＧＬ２を通じて外部に排出するガス量と、をバランスさせることにより、各処理室の内部空間の圧力を所望の圧力で安定させることができる。各処理室に、第１ガスラインＧＬ１、第２ガスラインＧＬ２、及び排気ラインＰＬを設けることで、各処理室の内部空間において、他の処理室とは独立した所望の圧力を有する所望のガス雰囲気を作り出すことができる。従って、例えば、第１ガスラインＧＬ１、第２ガスラインＧＬ２、第１開閉装置Ｖ１、第２開閉装置Ｖ２及び排気ラインＰＬ等は、各処理室の圧力を調整する圧力調整機構を構成しており、各処理室に対して独立した圧力調整機構が設けられていることになる。
【0051】
一方、第１中間室３、第２中間室４のそれぞれには、第３ガスラインＧＬ３と、第４ガスラインＧＬ４と、が設けられる。また、各中間室には、各中間室の内部空間（第３空間ＳＰ３、第４空間ＳＰ４）の圧力を測定する第２圧力計Ｇ２が設けられる。
【0052】
第３ガスラインＧＬ３には、第３開閉装置Ｖ３を介して、第２ガス供給源ＧＳ２が接続される。第３開閉装置Ｖ３は、例えば、電磁バルブなどのバルブである。第３ガスラインＧＬ３は、第２ガス供給源ＧＳ２から供給されるガスを、各処理室の内部空間に導入する。第２ガス供給源ＧＳ２は、例えば、窒素などの不活性ガスを供給する。
【0053】
第２ガス供給源ＧＳ２は、例えば、ガスボンベと、ガスボンベに接続された流量制御装置などを含む。第２ガス供給源ＧＳ２は、各中間室の最大圧力（例えば、１ＭＰａ）よりも高い圧力でガスを供給する。
【0054】
上記の構成では、第３開閉装置Ｖ３を開けると、不活性ガスが、第２ガス供給源ＧＳ２から各中間室の内部空間に供給される。一方、第３開閉装置Ｖ３を閉じると、各中間室の内部空間へのガスの供給が停止する。
【0055】
第４ガスラインＧＬ４は、第４開閉装置Ｖ４を介して、外部に接続される。第４開閉装置Ｖ４は、例えば、電磁バルブなどのバルブである。第４ガスラインＧＬ４は、各中間室の内部空間のガスを外部に排出する。具体的には、第４開閉装置Ｖ４を開けると、各中間室の内部空間と外部との圧力差によって、内部空間に存在するガスが排出される。一方、第４開閉装置Ｖ４を閉じると、内部空間からのガスの排出が停止する。
【0056】
上記のガスライン構成では、第３ガスラインＧＬ３から内部空間に供給されるガス量と、内部空間から第４ガスラインＧＬ４を通じて外部に排出するガス量と、をバランスさせることにより、各中間室の内部空間の圧力を所望の圧力で安定させることができる。従って、例えば、第３ガスラインＧＬ３、第４ガスラインＧＬ４、第２ガス供給源ＧＳ２、第３開閉装置Ｖ３、第４開閉装置Ｖ４等は圧力調整機構を構成しており、この圧力調整機構は、各処理室に設けられた圧力調整機構によって調整される各処理室の圧力とは独立して、中間室の圧力を調整可能である。
【0057】
＜４．制御構成＞
以下、図３を用いて、連続炉１００の制御構成を説明する。制御装置６には、第１モータ１４が接続されている。制御部６２は、第１モータ１４を制御することで第１搬送ローラ１２の回転を制御し、第１空間ＳＰ１における対象物の搬送を制御する。制御装置６には、第２モータ２３が接続されている。制御部６２は、第２モータ２３を制御することで第２搬送ローラ２１の回転を制御し、第２空間ＳＰ２における対象物の搬送を制御する。制御装置６には、第３モータ３９が接続されている。制御部６２は、第３モータ３９を制御することで第３搬送ローラ３７及び第４搬送ローラ３８の回転を制御し、第１空間ＳＰ１から第２空間ＳＰ２への対象物の搬送を制御する。
以下、図３を用いて、連続炉１００の制御構成を説明する。制御装置６には、第１モータ１４が接続されている。制御部６２は、第１モータ１４を制御することで第１搬送ローラ１２の回転を制御し、第１空間ＳＰ１における対象物の搬送を制御する。制御装置６には、第２モータ２３が接続されている。制御部６２は、第２モータ２３を制御することで第２搬送ローラ２１の回転を制御し、第２空間ＳＰ２における対象物の搬送を制御する。制御装置６には、第３モータ３９が接続されている。制御部６２は、第３モータ３９を制御することで第３搬送ローラ３７及び第４搬送ローラ３８の回転を制御し、第１空間ＳＰ１から第２空間ＳＰ２への対象物の搬送を制御する。
【0058】
制御装置６には、第４モータ４９が接続されている。制御部６２は、第４モータ４９を制御することで第５搬送ローラ４７及び第６搬送ローラ４８の回転を制御し、第２空間ＳＰ２から第３空間ＳＰ３への対象物の搬送を制御する。制御装置６には、第５モータ５４が接続されている。制御部６２は、第５モータ５４を制御することで第７搬送ローラ５２の回転を制御し、第３空間ＳＰ３における対象物の搬送を制御する。
【0059】
制御装置６には、第１アクチュエータ３６が接続されている。制御部６２は、第１アクチュエータ３６を制御することで第１バルブ駆動棒３５の上下方向の移動を制御し、第１バルブ３３及び第２バルブ３４の開閉を制御する。制御装置６には、第２アクチュエータ４６が接続されている。制御部６２は、第２アクチュエータ４６を制御することで第２バルブ駆動棒４５の上下方向の移動を制御し、第３バルブ４３及び第４バルブ４４の開閉を制御する。第１アクチュエータ３６、第２アクチュエータ４６は、例えば、エアの圧力で駆動されるエアシリンダである。
【0060】
制御装置６には、第１ヒータ１３が接続されている。制御部６２は、第１空間ＳＰ１において行われる処理の条件として設定された設定温度と、第１温度センサＴ１により測定された第１空間ＳＰ１の実測温度と、に基づいて第１ヒータ１３に出力する電力量を制御する。これにより、第１空間ＳＰ１を上記の設定温度とすることができる。
【0061】
制御装置６には、第２ヒータ２２が接続されている。制御部６２は、第２空間ＳＰ２において行われる処理の条件として設定された設定温度と、第２温度センサＴ２により測定された第２空間ＳＰ２の実測温度と、に基づいて第２ヒータ２２に出力する電力量を制御する。これにより、第２空間ＳＰ２を上記の設定温度とすることができる。
【0062】
制御装置６には、冷却装置５３が接続されている。制御部６２は、冷却装置５３を制御して、第３空間ＳＰ３に搬送されてきた対象物を冷却する。なお、第３空間ＳＰ３内の対象物の温度を測定する温度センサを最終処理室５に設け、この温度に基づいて冷却装置５３を制御し、対象物の冷却速度を調整可能としてもよい。
【0063】
制御装置６には、第１ガス供給源ＧＳ１、第１開閉装置Ｖ１、第２開閉装置Ｖ２、ポンプＲＰが接続されている。制御部６２は、第１処理室１の第１空間ＳＰ１において行われる処理の条件として設定された設定圧力と、第１空間ＳＰ１の実測圧力と、に基づいて第１ガス供給源ＧＳ１から供給するガスの流量、第１開閉装置Ｖ１の開閉、第２開閉装置Ｖ２の開閉、及び／又は、ポンプＲＰを制御する。これにより、第１空間ＳＰ１を上記の設定圧力とすることができる。
【0064】
また、制御部６２は、第２処理室２の第２空間ＳＰ２において行われる処理の条件として設定された設定圧力と、第２空間ＳＰ２の実測圧力と、に基づいて第１ガス供給源ＧＳ１から供給するガスの流量、第１開閉装置Ｖ１の開閉、第２開閉装置Ｖ２の開閉、及び／又は、ポンプＲＰを制御する。これにより、第２空間ＳＰ２を上記の設定圧力とすることができる。
【0065】
さらに、制御部６２は、最終処理室５の第５空間ＳＰ５の設定圧力と、第５空間ＳＰ５の実測圧力と、に基づいて第１ガス供給源ＧＳ１から供給するガスの流量、第１開閉装置Ｖ１の開閉、第２開閉装置Ｖ２の開閉、及び／又は、ポンプＲＰを制御する。これにより、第５空間ＳＰ５を上記の設定圧力とすることができる。
【0066】
制御装置６には、第２ガス供給源ＧＳ２、第３開閉装置Ｖ３、第４開閉装置Ｖ４が接続されている。制御部６２は、第１中間室３の第３空間ＳＰ３の設定圧力と、第３空間ＳＰ３の実測圧力と、に基づいて第２ガス供給源ＧＳ２から供給するガスの流量、第３開閉装置Ｖ３の開閉、及び／又は、第４開閉装置Ｖ４の開閉を制御する。これにより、第３空間ＳＰ３を上記の設定圧力とすることができる。
【0067】
すなわち、制御装置６は、第１バルブ３３および第２バルブ３４を閉じるとき、第１中間室３のガス圧と第１処理室１のガス圧との差により第１バルブ３３が閉じる方向に圧力がかかる、及び／又は、第１中間室３のガス圧と第２処理室２のガス圧との差により第２バルブ３４が閉じる方向に圧力がかかるように、第１中間室３のガス圧を設定して調整する。具体的には、本実施形態では、第１バルブ３３が、第１中間室３側から第１処理室１側に駆動して第１処理室１と第１中間室３との間を閉じ、かつ、第２バルブ３４が、第１中間室３側から第２処理室２側に駆動して第２処理室２と第１中間室３との間を閉じる構成であることから、第１中間室３のガス圧は、第１処理室１のガス圧及び第２処理室２のガス圧よりも高いガス圧に調整される。従って、特に限定されないが、第１中間室３のガス圧は、設定された第１処理室１のガス圧及び第２処理室２のガス圧の大きいほうのガス圧に所定のガス圧を加算することで算出することができる。
【0068】
また、制御部６２は、第２中間室４の第４空間ＳＰ４の設定圧力と、第４空間ＳＰ４の実測圧力と、に基づいて第２ガス供給源ＧＳ２から供給するガスの流量、第３開閉装置Ｖ３の開閉、及び／又は、第４開閉装置Ｖ４の開閉を制御する。これにより、第２空間ＳＰ２を上記の設定圧力とすることができる。
【0069】
すなわち、制御装置６は、第３バルブ４３および第４バルブ４４を閉じるとき、第２中間室４のガス圧と第２処理室２のガス圧との差により第３バルブ４３が閉じる方向に圧力がかかる、及び／又は、第２中間室４のガス圧と最終処理室５のガス圧との差により第４バルブ４４が閉じる方向に圧力がかかるように、第２中間室４のガス圧を設定して調整する。具体的には、本実施形態では、第３バルブ４３が、第２中間室４側から第２処理室２側に駆動して第２処理室２と第２中間室４との間を閉じ、かつ、第４バルブ４４が、第２中間室４側から最終処理室５側に駆動して最終処理室５と第２中間室４との間を閉じる構成であることから、第２中間室４のガス圧は、第２処理室２のガス圧及び最終処理室５のガス圧よりも高いガス圧に調整される。
【0070】
＜５．連続炉の動作＞
以下、図４及び図５を用いて、連続炉１００において対象物を処理する動作を説明する。図４及び図５は、連続炉１００の動作を示すフローチャートである。まず、制御部６２は、第１処理室１の第１空間ＳＰ１、第１中間室３の第３空間ＳＰ３、第２処理室２の第２空間ＳＰ２、第２中間室４の第４空間ＳＰ４、及び、最終処理室５の第５空間ＳＰ５を空間的に分離する（ステップＳ１）。
以下、図４及び図５を用いて、連続炉１００において対象物を処理する動作を説明する。図４及び図５は、連続炉１００の動作を示すフローチャートである。まず、制御部６２は、第１処理室１の第１空間ＳＰ１、第１中間室３の第３空間ＳＰ３、第２処理室２の第２空間ＳＰ２、第２中間室４の第４空間ＳＰ４、及び、最終処理室５の第５空間ＳＰ５を空間的に分離する（ステップＳ１）。
【0071】
具体的には、制御部６２は、第１アクチュエータ３６により第１バルブ駆動棒３５を下方向に移動させて第１バルブ３３と第２バルブ３４とを下方向に移動させ、第１バルブ３３を第１中間室３の第１接続部分３１に接触させ、第２バルブ３４を第２接続部分３２に接触させる。この状態で、制御部６２は、第１アクチュエータ３６により第１バルブ駆動棒３５をさらに下方向に移動させて、第１バルブ３３を第１接続部分３１に所定の力で密着させ、第２バルブ３４を第２接続部分３２に所定の力で密着させる。
【0072】
これにより、第１バルブ３３により第１処理室１と第１中間室３との間が閉じられ（第１バルブ３３が閉状態となり）、第２バルブ３４により第２処理室２と第１中間室３との間が閉じられる（第２バルブ３４が閉状態とある）。この結果、第１処理室１の第１空間ＳＰ１と、第２処理室２の第２空間ＳＰ２と、第１中間室３の第３空間ＳＰ３と、が空間的に分離され、第１空間ＳＰ１と第２空間ＳＰ２と第３空間ＳＰ３とで、独立して個別の圧力と温度とを設定可能となる。
【0073】
また、制御部６２は、第１バルブ３３及び第２バルブ３４の制御と同様に、第２アクチュエータ４６により第２バルブ駆動棒４５を下方向に移動させて第３バルブ４３と第４バルブ４４とを下方向に移動させて、第３バルブ４３を第１接続部分３１に所定の力で密着させ、第２バルブ３４を第２接続部分３２に所定の力で密着させる。これにより、第３バルブ４３により第２処理室２と第２中間室４との間が閉じられ（第３バルブ４３が閉状態となり）、第４バルブ４４により最終処理室５と第２中間室４との間が閉じられる（第４バルブ４４が閉状態となる）。この結果、第２処理室２の第２空間ＳＰ２と、最終処理室５の第５空間ＳＰ５と、第２中間室４の第４空間ＳＰ４と、が空間的に分離され、第２空間ＳＰ２と第４空間ＳＰ４と第５空間ＳＰ５とで、独立して個別の圧力と温度とを設定可能となる。
【0074】
次に、制御部６２は、第２ガス供給源ＧＳ２から第１中間室３の第３空間ＳＰ３へガスを導入して、第３空間ＳＰ３の圧力を、第１処理室１の第１空間ＳＰ１の設定圧力、及び、第２処理室２の第２空間ＳＰ２の設定圧力よりも大きい圧力とする。また、第２ガス供給源ＧＳ２から第２中間室４の第４空間ＳＰ４へガスを導入して、第４空間ＳＰ４の圧力を、第２処理室２の第２空間ＳＰ２の設定圧力、及び、最終処理室５の第５空間ＳＰ５の設定圧力よりも大きい圧力とする（ステップＳ２）。
【0075】
例えば、対象物の処理を行うための第１空間ＳＰ１の設定圧力を第１圧力Ｐ１とし、第２空間ＳＰ２の設定圧力を第２圧力Ｐ２とした場合、制御部６２は、第１中間室３の第３空間ＳＰ３の圧力を、第１圧力Ｐ１よりも大きく、かつ、第２圧力Ｐ２よりも大きい圧力とする。より具体的には、第１圧力Ｐ１を０．８ＭＰａ、第２圧力Ｐ２を０．５ＭＰａとした場合、第３空間ＳＰ３の圧力を０．９ＭＰａと設定できる。その結果、第１中間室３の圧力と第１処理室１の圧力との差圧により、第１バルブ３３が閉じる方向に圧力がかかるので、第１バルブ３３に設けられているシール部材の弾性圧縮の程度が大きくなり、より強固に第１バルブ３３が第１接続部分３１に密着する。同様に、第１中間室３の圧力と第２処理室２の圧力との差圧により、第２バルブ３４が閉じる方向に圧力がかかるので、第２バルブ３４に設けられているシール部材の弾性圧縮の程度が大きくなり、より強固に第２バルブ３４が第２接続部分３２に密着する。
【0076】
また、同様に、最終処理室５の第５空間ＳＰ５の設定圧力を第５圧力Ｐ５とした場合、制御部６２は、第２中間室４の第４空間ＳＰ４の圧力を、第２空間ＳＰ２の設定圧力である第２圧力Ｐ２よりも大きく、かつ、第５圧力Ｐ５よりも大きい圧力とする。その結果、第２中間室４の圧力と第２処理室２の圧力との差圧により、第３バルブ４３が閉じる方向に圧力がかかるので、第３バルブ４３に設けられているシール部材の弾性圧縮の程度が大きくなり、より強固に第３バルブ４３が第３接続部分４１に密着する。同様に、第２中間室４の圧力と最終処理室５の圧力との差圧により、第４バルブ４４が閉じる方向に圧力がかかるので、第４バルブ４４に設けられているシール部材の弾性圧縮の程度が大きくなり、より強固に第４バルブ４４が第４接続部分４２に密着する。
【0077】
第１処理室１の第１空間ＳＰ１、第２処理室２の第２空間ＳＰ２、第１中間室３の第３空間ＳＰ３、第２中間室４の第４空間ＳＰ４、及び最終処理室５の第５空間ＳＰ５を空間的に分離後、第１処理室１の一端側の開口に設けられた入口扉１１を開けて、処理を実行する対象物を、第１処理室１の第１空間ＳＰ１に設けられた第１搬送ローラ１２上に設置する（ステップＳ３）。
【0078】
その後、制御部６２は、第１処理室１の第１空間ＳＰ１を対象物に対して処理（熱処理）を行うために設定した設定温度及び設定圧力とし（ステップＳ４）、対象物に対して処理を実行する（ステップＳ５）。
【0079】
具体的には、制御部６２は、上記の設定温度と、第１温度センサＴ１により測定された第１空間ＳＰ１の実測温度と、に基づいて第１ヒータ１３に出力する電力量を制御して、第１空間ＳＰ１を設定温度とする。また、制御部６２は、上記の設定圧力と、第１空間ＳＰ１の実測圧力と、に基づいて第１ガス供給源ＧＳ１から供給するガスの流量、第１開閉装置Ｖ１の開閉、第２開閉装置Ｖ２の開閉、及び／又は、ポンプＲＰを制御して、第１空間ＳＰ１を設定圧力とする。
【0080】
また、第２処理室２にて対象物に処理を行うために、制御部６２は、第２処理室２の第２空間ＳＰ２をこの処理のための設定温度、設定圧力とする制御を行ってもよい。具体的には、制御部６２は、上記の設定温度と、第２温度センサＴ２により測定された第２空間ＳＰ２の実測温度と、に基づいて第２ヒータ２２に出力する電力量を制御して、第２空間ＳＰ２を設定温度とする。また、制御部６２は、上記の設定圧力と、第２空間ＳＰ２の実測圧力と、に基づいて第１ガス供給源ＧＳ１から供給するガスの流量、第１開閉装置Ｖ１の開閉、第２開閉装置Ｖ２の開閉、及び／又は、ポンプＲＰを制御して、第２空間ＳＰ２を設定圧力とする。
【0081】
なお、第２空間ＳＰ２を設定温度、設定圧力とする制御は、第１空間ＳＰ１を設定温度、設定圧力とする制御（すなわち、ステップＳ４）と並行して実行されてもよいし、第１空間ＳＰ１～第５空間ＳＰ５を分離する処理（すなわち、ステップＳ２）を実行後に開始されてもよい。
【0082】
第１処理室１にて処理を実行中、制御部６２は、予め設定された時間だけ、第１処理室１にて対象物に対して処理を実行したか否かを判断する（ステップＳ６）。対象物に対する処理が設定された時間だけ実行されていない場合（ステップＳ６で「Ｎｏ」）、制御部６２は、第１空間ＳＰ１の設定温度、設定圧力をそのまま維持して、対象物に対する処理を継続する。
【0083】
一方、対象物に対する処理が設定された時間だけ実行された場合（ステップＳ６で「Ｙｅｓ」）、制御部６２は、第１処理室１にて処理した後の対象物を、第１処理室１の第１空間ＳＰ１から、第２処理室２の第２空間ＳＰ２へと搬送する。この対象物の搬送に際して、以下の工程が実行される。
【0084】
まず、制御部６２は、第１処理室１の第１空間ＳＰ１、第２処理室２の第２空間ＳＰ２、及び、第１中間室３の第３空間ＳＰ３を同一の圧力とする（ステップＳ７）。具体的には、制御部６２は、第１圧力計Ｇ１及び第２圧力計Ｇ２が同じ圧力となるよう、第１ガス供給源ＧＳ１及び／又は第２ガス供給源ＧＳ２から供給するガス量、第１開閉装置Ｖ１～第４開閉装置Ｖ４の開閉、及び／又はポンプＲＰを制御して、第１空間ＳＰ１～第３空間ＳＰ３の圧力を同一とする。
【0085】
なお、ステップＳ７の実行時には、第２空間ＳＰ２は、第２処理室２で実行する処理のための設定圧力となっている場合が多く、第２処理室２における対象物の処理は今後も実行される。従って、ステップＳ７では、第１空間ＳＰ１～第３空間ＳＰ３の圧力は、第２空間ＳＰ２の設定圧力と同一とすることが好ましい。これにより、後の工程により第１バルブ３３及び第２バルブ３４を開けることで第１空間ＳＰ１～第３空間ＳＰ３が空間的に接続されても、第２空間ＳＰ２に形成された雰囲気（圧力、温度）が大きく変化することを抑制できる。その結果、第２処理室２で実行する処理のための圧力及び温度に第２空間ＳＰ２を再度設定するための時間を短縮できる。
【0086】
第１空間ＳＰ１～第３空間ＳＰ３を同一の圧力とした後、制御部６２は、第１バルブ３３の第１接続部分３１への密着を解除して第１処理室１と第１中間室３との間を開放し（第１バルブ３３を開状態とし）、第２バルブ３４の第２接続部分３２への密着を解除して第２処理室２と第１中間室３との間を開放する（第２バルブ３４を開状態とする）（ステップＳ８）。
【0087】
具体的には、制御部６２は、第１アクチュエータ３６により第１バルブ駆動棒３５を上方向に移動させて第１バルブ３３と第２バルブ３４とを上方向に移動させ、第１バルブ３３を第１接続部分３１から離間させ、第２バルブ３４を第２接続部分３２から離間させる。これにより、第１処理室１の第１空間ＳＰ１と、第２処理室２の第２空間ＳＰ２と、第１中間室３の第３空間ＳＰ３と、が空間的に接続される。この結果、第１処理室１で処理後の対象物を、第１処理室１の第１空間ＳＰ１から第２処理室２の第２空間ＳＰ２へと搬送可能となる。
【0088】
上記のように、第１空間ＳＰ１～第３空間ＳＰ３を同一の圧力とした後に、第１バルブ３３と第２バルブ３４とを開状態とすることにより、第１空間ＳＰ１と第３空間ＳＰ３の圧力差により生じる力に抗して第１バルブ３３を第１接続部分３１から離間させ、第２空間ＳＰ２と第３空間ＳＰ３の圧力差により生じる力に抗して第２バルブ３４を第２接続部分３２から離間させる必要がなくなる。この結果、これらバルブの駆動部分（例えば、第１リンク機構３３ａ、第２リンク機構３４ａ、第１バルブ駆動棒３５、第１アクチュエータ３６など）に大きな負荷がかかることを抑制できる。
【0089】
第１バルブ３３及び第２バルブ３４を開状態として、第１空間ＳＰ１～第３空間ＳＰ３を接続した後、制御部６２は、第１処理室１にて処理後の対象物を、第１処理室１の第１空間ＳＰ１から第２処理室２の第２空間ＳＰ２へと搬送する（ステップＳ９）。具体的には、制御部６２は、第１モータ１４により第１搬送ローラ１２を回転させて、対象物を第１空間ＳＰ１から第１中間室３の第３空間ＳＰ３へと搬送する。その後、制御部６２は、第３モータ３９により第３搬送ローラ３７及び第４搬送ローラ３８を回転させて、対象物を第３空間ＳＰ３から第２処理室２の第２空間ＳＰ２へ搬送する。
【0090】
対象物を第２空間ＳＰ２へ搬送後、制御部６２は、第１バルブ３３及び第２バルブ３４を閉状態として、第１処理室１の第１空間ＳＰ１と、第１中間室３の第３空間ＳＰ３と、第２処理室２の第２空間ＳＰ２と、を空間的に分離する（図５のステップＳ１０）。第１バルブ３３及び第２バルブ３４を閉状態とする際の具体的な制御は、上記のステップＳ１にて説明したのと同様であるので、ここではその説明を省略する。
【0091】
その後、必要に応じて、第２処理室２の第２空間ＳＰ２を対象物に対して処理を行うために設定した設定温度及び設定圧力とし、第２空間ＳＰ２に搬送された対象物に対して処理を実行する（ステップＳ１１）。
【0092】
第２処理室２にて処理を実行中、制御部６２は、予め設定された時間だけ、第２処理室２にて対象物に対して処理を実行したか否かを判断する（ステップＳ１２）。対象物に対する処理が設定された時間だけ実行されていない場合（ステップＳ１２で「Ｎｏ」）、制御部６２は、第２空間ＳＰ２の設定温度、設定圧力をそのまま維持して、対象物に対する処理を継続する。
【0093】
一方、対象物に対する処理が設定された時間だけ実行された場合（ステップＳ１２で「Ｙｅｓ」）、制御部６２は、第２処理室２にて処理した後の対象物を、第２処理室２の第２空間ＳＰ２から、最終処理室５の第５空間ＳＰ５へと搬送する。この対象物の搬送に際して、以下の工程が実行される。
【0094】
まず、制御部６２は、第２処理室２の第２空間ＳＰ２、第２中間室４の第４空間ＳＰ４、及び、最終処理室５の第５空間ＳＰ５を同一の圧力とする（ステップＳ１３）。具体的には、制御部６２は、第１圧力計Ｇ１及び第２圧力計Ｇ２が同じ圧力となるよう、第１ガス供給源ＧＳ１及び／又は第２ガス供給源ＧＳ２から供給するガス量、第１開閉装置Ｖ１～第４開閉装置Ｖ４の開閉、及び／又はポンプＲＰを制御して、第２空間ＳＰ２、第４空間ＳＰ４、第５空間ＳＰ５の圧力を同一とする。この場合も、上記のステップＳ７と同様に、これら空間の圧力を、第２空間ＳＰ２の設定圧力と同一とすることが好ましい。
【0095】
第２空間ＳＰ２、第４空間ＳＰ４、第５空間ＳＰ５を同一の圧力とした後、制御部６２は、第３バルブ４３の第３接続部分４１への密着を解除して第２処理室２と第２中間室４との間を開放し（第３バルブ４３を開状態とし）、第４バルブ４４の第４接続部分４２への密着を解除して最終処理室５と第２中間室４との間を開放する（第４バルブ４４を開状態とする）（ステップＳ１４）。
【0096】
具体的には、制御部６２は、第２アクチュエータ４６により第２バルブ駆動棒４５を上方向に移動させて第３バルブ４３と第４バルブ４４とを上方向に移動させ、第３バルブ４３を第３接続部分４１から離間させ、第４バルブ４４を第４接続部分４２から離間させる。これにより、第２処理室２の第２空間ＳＰ２と、第２中間室４の第４空間ＳＰ４と、最終処理室５の第５空間ＳＰ５と、が空間的に接続される。この結果、第２処理室２で処理後の対象物を、第２処理室２の第２空間ＳＰ２から最終処理室５の第５空間ＳＰ５へと搬送可能となる。
【0097】
上記のように、第２空間ＳＰ２、第４空間ＳＰ４、第５空間ＳＰ５を同一の圧力とした後に、第３バルブ４３と第４バルブ４４とを開状態とすることにより、第３バルブ４３を第３接続部分４１から離間させるため、第４バルブ４４を第４接続部分４２から離間させるために大きな力を必要としない。この結果、これらバルブの駆動部分に大きな負荷がかかることを抑制できる。
【0098】
第３バルブ４３及び第４バルブ４４を開状態として、第２空間ＳＰ２、第４空間ＳＰ４、第５空間ＳＰ５を接続した後、制御部６２は、第２処理室２にて処理後の対象物を、第２処理室２の第２空間ＳＰ２から最終処理室５の第５空間ＳＰ５へと搬送する（ステップＳ１５）。具体的には、制御部６２は、第２モータ２３により第２搬送ローラ２１を回転させて、対象物を第２空間ＳＰ２から第２中間室４の第４空間ＳＰ４へと搬送する。その後、制御部６２は、第４モータ４９により第５搬送ローラ４７及び第６搬送ローラ４８を回転させて、対象物を第４空間ＳＰ４から最終処理室５の第５空間ＳＰ５へ搬送する。
【0099】
対象物を第５空間ＳＰ５へ搬送後、制御部６２は、第３バルブ４３及び第４バルブ４４を閉状態として、第２処理室２の第２空間ＳＰ２と、第２中間室４の第４空間ＳＰ４と、最終処理室５の第５空間ＳＰ５と、を空間的に分離する（ステップＳ１６）。第３バルブ４３及び第４バルブ４４を閉状態とする際の具体的な制御は、上記のステップＳ１にて説明したのと同様であるので、ここではその説明を省略する。
【0100】
その後、必要に応じて、最終処理室５の第５空間ＳＰ５を対象物に対して処理を行うために設定した設定圧力とし、第５空間ＳＰ５に搬送された対象物に対して処理を実行する（ステップＳ１７）。具体的には、制御部６２は、冷却装置５３を駆動して、第５空間ＳＰ５に搬送された対象物を冷却する。対象物が十分に冷却された後に、最終処理室５の他端側の開口に設けられた出口扉５１を開けて、冷却後の対象物を外部に取り出す。
【0101】
このように、連続炉１００では、各処理室で対象物に対して処理を行うために、第１バルブ３３～第４バルブ４４によって各処理室と各中間室とを空間的に分離する場合に、各中間室の内部空間（第３空間ＳＰ３、第４空間ＳＰ４）の圧力を、各処理室の内部空間（第１空間ＳＰ１、第２空間ＳＰ２、第５空間ＳＰ５）の圧力よりも高い圧力としている。このため、各中間室と各処理室との間に圧力差が生じ、この圧力差により、第１バルブ３３～第４バルブ４４にはこれらバルブを中間室から処理室への方向に押す力が生じる。この圧力差に起因して生じるバルブを押す力が、バルブ駆動棒によりこれらバルブを中間室の接続部分へ押す力に加わって、第１バルブ３３～第４バルブ４４を対応する中間室の接続部分（第１接続部分３１～第４接続部分４２）により強い力で確実に密着させることができる。つまり、第１バルブ３３～第４バルブ４４に設けられたシール部材の弾性変形量を大きくすることができる。この結果、各処理室が高圧となっても、各処理室と各中間室とを確実に閉じることができるので、処理室と中間室との間にリークが生じないようにできる。
【0102】
＜６．変形例１＞
上記の連続炉１００では、各処理室と各中間室の第１空間ＳＰ１～第５空間ＳＰ５を接続する場合に、これら空間を同一の圧力とした状態で、第１バルブ３３～第４バルブ４４を駆動して開状態としていた。変形例１の連続炉１００は、第１空間ＳＰ１～第５空間ＳＰ５の圧力をより確実に同一とできる構成を有する。
上記の連続炉１００では、各処理室と各中間室の第１空間ＳＰ１～第５空間ＳＰ５を接続する場合に、これら空間を同一の圧力とした状態で、第１バルブ３３～第４バルブ４４を駆動して開状態としていた。変形例１の連続炉１００は、第１空間ＳＰ１～第５空間ＳＰ５の圧力をより確実に同一とできる構成を有する。
【0103】
具体的には、変形例１の連続炉１００は、図６に示すように、第１処理室１の第１空間ＳＰ１と第１中間室３の第３空間ＳＰ３とを接続する第１バイパス配管ＢＰ１と、第１中間室３の第３空間ＳＰ３と第２処理室２の第２空間ＳＰ２とを接続する第２バイパス配管ＢＰ２と、第２処理室２の第２空間ＳＰ２と第２中間室４の第４空間ＳＰ４とを接続する第３バイパス配管ＢＰ３と、第２中間室４の第４空間ＳＰ４と最終処理室５の第５空間ＳＰ５とを接続する第４バイパス配管ＢＰ４と、をさらに備えている。図６は、変形例１の連続炉１００の構成を示す図である。
【0104】
また、第１バイパス配管ＢＰ１には、第１バイパス配管ＢＰ１を開閉する第５開閉装置Ｖ５が設けられる。第２バイパス配管ＢＰ２には、第２バイパス配管ＢＰ２を開閉する第６開閉装置Ｖ６が設けられる。第３バイパス配管ＢＰ３には、第３バイパス配管ＢＰ３を開閉する第７開閉装置Ｖ７が設けられる。第４バイパス配管ＢＰ４には、第４バイパス配管ＢＰ４を開閉する第８開閉装置Ｖ８が設けられる。第５開閉装置Ｖ５～第８開閉装置Ｖ８は、例えば、電磁バルブなどのバルブである。
【0105】
変形例１の連続炉１００では、各処理室と各中間室の第１空間ＳＰ１～第５空間ＳＰ５を接続する場合に、制御部６２は、上記と同様に、第１空間ＳＰ１～第５空間ＳＰ５にガスを導入、及び／又は、これら空間からガスを排出して、第１空間ＳＰ１～第５空間ＳＰ５の圧力をほぼ同一としておく。その後、制御部６２は、第５開閉装置Ｖ５～第８開閉装置Ｖ８のうち必要なものを開状態として、第１バイパス配管ＢＰ１～第４バイパス配管ＢＰ４のうち必要なものをガス流通可能な状態とする。
【0106】
具体的には、第１バルブ３３及び第２バルブ３４を開状態とするために、第１空間ＳＰ１～第３空間ＳＰ３の圧力を同一とする場合には、制御部６２は、第５開閉装置Ｖ５と第６開閉装置Ｖ６とを開状態として、第１バイパス配管ＢＰ１と第２バイパス配管ＢＰ２をガス流通可能な状態とする。第１バイパス配管ＢＰ１と第２バイパス配管ＢＰ２がガス流通可能な状態となると、第１空間ＳＰ１～第３空間ＳＰ３の圧力に差があったとしても、その圧力差に応じたガス流が第１バイパス配管ＢＰ１及び／又は第２バイパス配管ＢＰ２に生じて、第１空間ＳＰ１～第３空間ＳＰ３の圧力をより確実に同一とできる。
【0107】
一方、第３バルブ４３及び第４バルブ４４を開状態とするために、第２空間ＳＰ２、第４空間ＳＰ４、第５空間ＳＰ５の圧力を同一とする場合には、制御部６２は、第７開閉装置Ｖ７と第８開閉装置Ｖ８とを開状態として、第３バイパス配管ＢＰ３と第４バイパス配管ＢＰ４をガス流通可能な状態とする。第３バイパス配管ＢＰ３と第４バイパス配管ＢＰ４がガス流通可能な状態となると、第２空間ＳＰ２、第４空間ＳＰ４、第５空間ＳＰ５の圧力に差があったとしても、その圧力差に応じたガス流が第３バイパス配管ＢＰ３及び／又は第４バイパス配管ＢＰ４に生じて、第２空間ＳＰ２、第４空間ＳＰ４、第５空間ＳＰ５の圧力をより確実に同一とできる。
【0108】
＜７．変形例２＞
上記の連続炉１００では、第１バルブ３３～第４バルブ４４は、各中間室の内部空間（第３空間ＳＰ３、第４空間ＳＰ４）の内部に配置されていた。しかし、これに限られず、変形例２の連続炉１００では、図７に示すように、これらバルブを処理室に配置する。具体的には、第１バルブ３３を第１処理室１の第１中間室３側に配置し、第２バルブ３４を第２処理室２の第１中間室３側に配置する。第１バルブ３３は、第３バルブ駆動棒３５ａの上下方向の移動により開閉される。第２バルブ３４は、第４バルブ駆動棒３５ｂの上下方向の移動により開閉される。図７は、変形例２の連続炉１００の構成を示す図である。
上記の連続炉１００では、第１バルブ３３～第４バルブ４４は、各中間室の内部空間（第３空間ＳＰ３、第４空間ＳＰ４）の内部に配置されていた。しかし、これに限られず、変形例２の連続炉１００では、図７に示すように、これらバルブを処理室に配置する。具体的には、第１バルブ３３を第１処理室１の第１中間室３側に配置し、第２バルブ３４を第２処理室２の第１中間室３側に配置する。第１バルブ３３は、第３バルブ駆動棒３５ａの上下方向の移動により開閉される。第２バルブ３４は、第４バルブ駆動棒３５ｂの上下方向の移動により開閉される。図７は、変形例２の連続炉１００の構成を示す図である。
【0109】
変形例２の連続炉１００では、制御部６２は、第１バルブ３３を第１処理室１の第１中間室３との接続部分に密着させて第１処理室１と第１中間室３との間を閉じる。また、制御部６２は、第２バルブ３４を第２処理室２の第１中間室３との接続部分に密着させて第２処理室と第１中間室３との間を閉じる。つまり、第１バルブ３３が、第１処理室１側から第１中間室３側に駆動して第１処理室１と第１中間室３との間を閉じ、かつ、第２バルブ３４が、第２処理室２側から第１中間室３側に駆動して第２処理室２と第１中間室３との間を閉じる。
【0110】
また、制御部６２は、第１バルブ３３及び第２バルブ３４を閉状態とする場合には、第１中間室３の第３空間ＳＰ３の圧力を、第１処理室１の第１空間ＳＰ１の設定圧力よりも低く、かつ、第２処理室２の第２空間ＳＰ２の設定圧力よりも低くする。これにより、第１空間ＳＰ１と第３空間ＳＰ３との圧力差により、第１バルブ３３が閉じる方向に圧力をかけることができるので、第１バルブ３３を第１処理室１の第１中間室３との接続部分に密着させる力を大きくできる。また、第２空間ＳＰ２と第３空間ＳＰ３との圧力差により、第２バルブ３４が閉じる方向に圧力をかけることができるので、第２バルブ３４を第２処理室２の第１中間室３との接続部分に密着させる力を大きくできる。
【0111】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【0112】
【0113】
（Ｂ）連続炉１００に含まれる処理室の構成は、上記にて示したような、第１処理室１と、第２処理室２と、最終処理室５と、のみを含む構成に限られない。例えば、図８に示すように、第２処理室２の他端側に、中間室を介することなく、第３処理室７をさらに連結できる。図８は、他の実施形態の連続炉１００の構成を示す図である。
【0114】
（Ｃ）本発明の連続炉の制御方法は、図１や図７において、第１中間室３専用の圧力調整機構（つまり、第３ガスラインＧＬ３、第４ガスラインＧＬ４、第２ガス供給源ＧＳ２、第３開閉装置Ｖ３、第４開閉装置Ｖ４等）を備えない連続炉でも実現が可能である。この場合、第１中間室３の圧力を、第１処理室１の圧力及び第２処理室２の圧力よりも大きく又は小さく設定する際に、まず、第１バルブ３３及び第２バルブ３４を開いた状態で、第１処理室１又は第２処理室２の圧力調整機構を使用して、第１中間室３の圧力を設定する。その後、第１バルブ３３及び第２バルブ３４を閉じて、第１処理室１の圧力および第２処理室２の圧力をそれぞれの圧力調整機構を使用して設定する。
【0115】
なお、連続炉１００の最終段階に存在する最終処理室５も、第１処理室１及び第２処理室２とは別の処理室であり、第３処理室の一例であるとみることもできる。また、第１処理室１、第２処理室２も、複数存在してもよい。
【0116】
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
【0117】
（第１態様）対象物を処理可能な第１処理室と、対象物を処理可能な第２処理室と、第１処理室と第２処理室との間に配置された中間室と、第１処理室と中間室との間を開閉する第１閉鎖機構と、第２処理室と中間室との間を開閉する第２閉鎖機構と、を備える連続炉の制御方法であって、この制御方法は、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構を閉じるステップと、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構を閉じるステップにおいて、中間室のガス圧と第１処理室のガス圧との差により第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかる、及び／又は、中間室のガス圧と第２処理室のガス圧との差により第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、中間室のガス圧を調整するステップとを含む。
【0118】
第１態様に係る連続炉の制御方法では、中間室と第１処理室との間に圧力差が生じ、この圧力差により第１バルブが閉じる方向に第１バルブに力が付与されるので、第１バルブを第１処理室と中間室とを連通している開口部分に、より確実に密着させることができる。また、中間室と第２処理室との間に圧力差が生じ、この圧力差により第２バルブが閉じる方向に第２バルブに力が付与されるので、第２バルブを第２処理室と中間室とを連通している開口部分に、より確実に密着させることができる。この結果、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
【0119】
（第２態様）第１態様に係る連続炉の制御方法において、第１閉鎖機構が、中間室側から第１処理室側に駆動して第１処理室と中間室との間を閉じ、かつ、第２閉鎖機構が、中間室側から第２処理室側に駆動して第２処理室と中間室との間を閉じる。第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構を閉じるとき、中間室のガス圧が、第１処理室のガス圧及び第２処理室のガス圧よりも高いガス圧に調整される。
これにより、第１態様と同様に、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
これにより、第１態様と同様に、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
【0120】
（第３態様）第１態様に係る連続炉の制御方法において、第１閉鎖機構が、第１処理室側から中間室側に駆動して第１処理室と中間室との間を閉じ、かつ、第２閉鎖機構が、第２処理室側から中間室側に駆動して第２処理室と中間室との間を閉じる。第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構を閉じるとき、中間室のガス圧が、第１処理室のガス圧及び第２処理室のガス圧よりも低いガス圧に調整される。
これにより、第１態様と同様に、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
これにより、第１態様と同様に、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
【0121】
（第４態様）第１態様～第３態様のいずれかに係る連続炉の制御方法において、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構を開くとき、第１処理室のガス圧、第２処理室のガス圧、及び中間室のガス圧が同一ガス圧に調整される。
この場合、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構の駆動機構に大きな負荷がかかることを抑制できる。
この場合、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構の駆動機構に大きな負荷がかかることを抑制できる。
【0122】
（第５態様）第４態様に係る連続炉の制御方法において、連続炉は、第１処理室と第２処理室と中間室とを接続するバイパス配管と、バイパス配管を開閉する開閉装置とをさらに有するものであり、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構を開くとき、開閉装置を開放することで、第１処理室のガス圧、第２処理室のガス圧、及び中間室のガス圧が同一ガス圧に調整される。
この場合、第１処理室、第２処理室、及び中間室の圧力をより確実に同一とできるので、第４態様と同様に、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構の駆動機構に大きな負荷がかかることを抑制できる。
この場合、第１処理室、第２処理室、及び中間室の圧力をより確実に同一とできるので、第４態様と同様に、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構の駆動機構に大きな負荷がかかることを抑制できる。
【0123】
（第６態様）第１態様～第５態様のいずれかに係る連続炉の制御方法において、第１処理室のガス圧と第２処理室のガス圧とは、－０．１ＭＰａ以上、１ＭＰａ未満の範囲内の圧力である。
すなわち、第１処理室および第２処理室を高圧に設定して処理が実行されることから、ガスのリークの課題がより顕著となるが、第１態様と同様に、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
すなわち、第１処理室および第２処理室を高圧に設定して処理が実行されることから、ガスのリークの課題がより顕著となるが、第１態様と同様に、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
【0124】
（第７態様）連続炉は、対象物を処理可能な第１処理室と、対象物を処理可能な第２処理室と、第１処理室と第２処理室との間に配置された中間室と、第１処理室と中間室との間を開閉する第１閉鎖機構と、第２処理室と中間室との間を開閉する第２閉鎖機構と、第１処理室のガス圧を調整する第１圧力調整機構と、第２処理室のガス圧を調整する第２圧力調整機構と、中間室のガス圧を第１処理室及び第２処理室のガス圧とは独立して調整可能な第３圧力調整機構と、を備える。
【0125】
第７態様に係る連続炉では、中間室のガス圧を独立して調整することができるので、中間室のガス圧を調整することにより、第１処理室のガス圧と中間室のガス圧との差により第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、及び／又は、第２処理室のガス圧と中間室のガス圧との差により第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるようにすることができる。第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
【0126】
（第８態様）第７態様に係る連続炉において、第１圧力調整機構、第２圧力調整機構、及び第３圧力調整機構と、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構の開閉とを制御する制御部をさらに備え、制御部は、第１処理室のガス圧と中間室のガス圧との差により第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、及び／又は、第２処理室のガス圧と中間室のガス圧との差により第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、第３圧力調整機構を制御する。
【0127】
この場合、中間室と第１処理室との間に圧力差が生じ、この圧力差により第１バルブが閉じる方向に第１バルブに力が付与されるので、第１バルブを第１処理室と中間室とを連通している開口部分に、より確実に密着させることができる。また、中間室と第２処理室との間に圧力差が生じ、この圧力差により第２バルブが閉じる方向に第２バルブに力が付与されるので、第２バルブを第２処理室と中間室とを連通している開口部分に、より確実に密着させることができる。この結果、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
【0128】
（第９態様）第８態様に係る連続炉において、第１閉鎖機構が、中間室側から第１処理室側に駆動して第１処理室と中間室との間を閉じるものであり、かつ、第２閉鎖機構が、中間室側から第２処理室側に駆動して第２処理室と中間室との間を閉じるものであり、第３圧力調整機構は、中間室のガス圧を、第１処理室のガス圧及び第２処理室のガス圧よりも高いガス圧に調整する。
これにより、第８態様と同様に、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
これにより、第８態様と同様に、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
【0129】
（第１０態様）第８態様に係る連続炉において、第１閉鎖機構が、第１処理室側から中間室側に駆動して第１処理室と中間室との間を閉じるものであり、かつ、第２閉鎖機構が、第２処理室側から中間室側に駆動して第２処理室と中間室との間を閉じるものであり、第３圧力調整機構は、中間室のガス圧を、第１処理室のガス圧及び第２処理室のガス圧よりも低いガス圧に調整する。
これにより、第８態様と同様に、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
これにより、第８態様と同様に、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
【0130】
（第１１態様）第７態様～第１０のいずれかに係る連続炉において、第１圧力調整機構、第２圧力調整機構及び第３圧力調整機構は、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構を開くとき、第１処理室、第２処理室、及び中間室のガス圧を同一のガス圧に調整する。
この場合、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構の駆動機構に大きな負荷がかかることを抑制できる。
この場合、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構の駆動機構に大きな負荷がかかることを抑制できる。
【0131】
（第１２態様）第１１態様に係る連続炉において、第１処理室と、第２処理室と、中間室とを接続するバイパス配管と、バイパス配管を開閉する開閉装置と、をさらに備え、第１圧力調整機構、第２圧力調整機構及び第３圧力調整機構は、開閉装置を開放して、第１処理室、第２処理室、及び中間室のガス圧を同一ガス圧に調整する。
この場合、第１処理室、第２処理室、及び中間室の圧力をより確実に同一とできるので、第１１態様と同様に、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構の駆動機構に大きな負荷がかかることを抑制できる。
この場合、第１処理室、第２処理室、及び中間室の圧力をより確実に同一とできるので、第１１態様と同様に、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構の駆動機構に大きな負荷がかかることを抑制できる。
【0132】
（第１３態様）第７態様～第１２のいずれかに係る連続炉において、第１処理室のガス圧及び第２処理室のガス圧は、－０．１ＭＰａ以上、１ＭＰａ未満の範囲内の圧力である。
すなわち、第１処理室および第２処理室を高圧に設定して処理が実行されることから、ガスのリークの課題がより顕著となるが、第１態様と同様に、第１態様と同様に、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
すなわち、第１処理室および第２処理室を高圧に設定して処理が実行されることから、ガスのリークの課題がより顕著となるが、第１態様と同様に、第１態様と同様に、第１処理室及び／又は第２処理室が高圧となっても、第１処理室と中間室とをより確実に閉じ、第２処理室と中間室とをより確実に閉じることができるので、これら処理室と中間室との間にリークが生じることを抑制又は防止できる。
【0133】
（第１４態様）対象物を処理可能な第１処理室と、対象物を処理可能な第２処理室と、第１処理室と第２処理室との間に配置された中間室と、第１処理室と中間室との間を開閉する第１閉鎖機構と、第２処理室と中間室との間を開閉する第２閉鎖機構と、を備える連続炉の機能をコンピュータに実行させる制御プログラムであって、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構を閉じるステップと、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構を閉じるステップにおいて、中間室のガス圧と第１処理室のガス圧との差により第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかる、及び／又は、中間室のガス圧と第２処理室のガス圧との差により第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、中間室のガス圧を調整するステップとをコンピュータに実行させる。
【符号の説明】
【0134】
１００ ：連続炉
１ ：第１処理室
１１ ：入口扉
１２ ：第１搬送ローラ
１３ ：第１ヒータ
１４ ：第１モータ
２ ：第２処理室
２１ ：第２搬送ローラ
２２ ：第２ヒータ
２３ ：第２モータ
３ ：第１中間室
３１ ：第１接続部分
３２ ：第２接続部分
３３ ：第１バルブ
３３ａ ：第１リンク機構
３４ ：第２バルブ
３４ａ ：第２リンク機構
３５ ：第１バルブ駆動棒
３５ａ ：第３バルブ駆動棒
３５ｂ ：第４バルブ駆動棒
３６ ：第１アクチュエータ
３７ ：第３搬送ローラ
３８ ：第４搬送ローラ
３９ ：第３モータ
４ ：第２中間室
４１ ：第３接続部分
４２ ：第４接続部分
４３ ：第３バルブ
４３ａ ：第３リンク機構
４４ ：第４バルブ
４４ａ ：第４リンク機構
４５ ：第２バルブ駆動棒
４６ ：第２アクチュエータ
４７ ：第５搬送ローラ
４８ ：第６搬送ローラ
４９ ：第４モータ
５ ：最終処理室
５１ ：出口扉
５２ ：第７搬送ローラ
５３ ：冷却装置
５４ ：第５モータ
６ ：制御装置
６１ ：記憶部
６２ ：制御部
７ ：第３処理室
ＢＰ１ ：第１バイパス配管
ＢＰ２ ：第２バイパス配管
ＢＰ３ ：第３バイパス配管
ＢＰ４ ：第４バイパス配管
Ｇ１ ：第１圧力計
Ｇ２ ：第２圧力計
ＧＬ１ ：第１ガスライン
ＧＬ２ ：第２ガスライン
ＧＬ３ ：第３ガスライン
ＧＬ４ ：第４ガスライン
ＧＳ１ ：第１ガス供給源
ＧＳ２ ：第２ガス供給源
ＰＬ ：排気ライン
ＲＰ ：ポンプ
ＳＰ１ ：第１空間
ＳＰ２ ：第２空間
ＳＰ３ ：第３空間
ＳＰ４ ：第４空間
ＳＰ５ ：第５空間
Ｔ１ ：第１温度センサ
Ｔ２ ：第２温度センサ
Ｖ１ ：第１開閉装置
Ｖ２ ：第２開閉装置
Ｖ３ ：第３開閉装置
Ｖ４ ：第４開閉装置
Ｖ５ ：第５開閉装置
Ｖ６ ：第６開閉装置
Ｖ７ ：第７開閉装置
Ｖ８ ：第８開閉装置
１ ：第１処理室
１１ ：入口扉
１２ ：第１搬送ローラ
１３ ：第１ヒータ
１４ ：第１モータ
２ ：第２処理室
２１ ：第２搬送ローラ
２２ ：第２ヒータ
２３ ：第２モータ
３ ：第１中間室
３１ ：第１接続部分
３２ ：第２接続部分
３３ ：第１バルブ
３３ａ ：第１リンク機構
３４ ：第２バルブ
３４ａ ：第２リンク機構
３５ ：第１バルブ駆動棒
３５ａ ：第３バルブ駆動棒
３５ｂ ：第４バルブ駆動棒
３６ ：第１アクチュエータ
３７ ：第３搬送ローラ
３８ ：第４搬送ローラ
３９ ：第３モータ
４ ：第２中間室
４１ ：第３接続部分
４２ ：第４接続部分
４３ ：第３バルブ
４３ａ ：第３リンク機構
４４ ：第４バルブ
４４ａ ：第４リンク機構
４５ ：第２バルブ駆動棒
４６ ：第２アクチュエータ
４７ ：第５搬送ローラ
４８ ：第６搬送ローラ
４９ ：第４モータ
５ ：最終処理室
５１ ：出口扉
５２ ：第７搬送ローラ
５３ ：冷却装置
５４ ：第５モータ
６ ：制御装置
６１ ：記憶部
６２ ：制御部
７ ：第３処理室
ＢＰ１ ：第１バイパス配管
ＢＰ２ ：第２バイパス配管
ＢＰ３ ：第３バイパス配管
ＢＰ４ ：第４バイパス配管
Ｇ１ ：第１圧力計
Ｇ２ ：第２圧力計
ＧＬ１ ：第１ガスライン
ＧＬ２ ：第２ガスライン
ＧＬ３ ：第３ガスライン
ＧＬ４ ：第４ガスライン
ＧＳ１ ：第１ガス供給源
ＧＳ２ ：第２ガス供給源
ＰＬ ：排気ライン
ＲＰ ：ポンプ
ＳＰ１ ：第１空間
ＳＰ２ ：第２空間
ＳＰ３ ：第３空間
ＳＰ４ ：第４空間
ＳＰ５ ：第５空間
Ｔ１ ：第１温度センサ
Ｔ２ ：第２温度センサ
Ｖ１ ：第１開閉装置
Ｖ２ ：第２開閉装置
Ｖ３ ：第３開閉装置
Ｖ４ ：第４開閉装置
Ｖ５ ：第５開閉装置
Ｖ６ ：第６開閉装置
Ｖ７ ：第７開閉装置
Ｖ８ ：第８開閉装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】