特開 2024-174805出願番号 特願 2024-59528
放熱材料、放熱部品、静電チャック及び放熱材料の製造方法
出願人 株式会社神戸製鋼所（識別番号 1199）
2026年 特許公開件数ランキング 164位 149件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 120位 159件（※）
公報発行日 2024年12月17
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-174805 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
特に入熱が大きい処理工程に好適に使用することができる放熱材料、該放熱材料を含む放熱部品、静電チャック、及び該放熱材料の製造方法
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】大きい入熱が与えられる処理工程において好適に使用される放熱部品用の放熱材料、放熱部品、該放熱部品を含む静電チャック、及び該放熱材料の製造方法を提供する。
【解決手段】放熱材料は、Ｍｏ相１とＴｉ相２とが共存しており、Ｔｉを３原子％以上５０原子％以下含有し、残部がＭｏである。また、放熱材料の製造方法は、Ｍｏを含む粉末と、Ｔｉを含む粉末とを混合して、混合物を得る混合工程と、この混合物を焼結する焼結工程と、を備える。
【選択図】図１
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、近時、半導体の高集積化が進み、エッチング時の入熱が大きくなりつつある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の目的は、放熱材料に係る下記［１］の構成により達成される。
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、大きい入熱が与えられる処理工程において好適に使用される放熱材料、放熱部品、該放熱部品を含む静電チャック、及び該放熱材料の製造方法を提供することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
図１は、本放熱材料の組織を走査型電子顕微鏡で撮影した図面代用写真である。
【図2】
図２は、本発明の静電チャックの一例を示す模式的断面図である。
【図3】
図３は、縦軸を熱伝導率とし、横軸を線膨張係数とした場合の、発明例及び比較例の測定結果を示すグラフ図である。
【図4】
図４は、縦軸を相対密度とし、横軸を合金化率とした場合の、相対密度と合金化率との関係を示すグラフ図である。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
１ Ｍｏ相
２ Ｔｉ相
１０ 静電チャック
１１ ベースプレート
１３ 冷媒流路
１２ セラミック層
１４ 電極
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