特開 2024-175657 接合方法、接合モジュール、接合装置、および接合設備

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024175657

(43)【公開日】2024-12-18

(54)【発明の名称】接合方法、接合モジュール、接合装置、および接合設備

(51)【国際特許分類】

   B29C 63/02 20060101AFI20241211BHJP

【ＦＩ】

B29C63/02

【審査請求】有

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024082470

(22)【出願日】2024-05-21

(31)【優先権主張番号】112120987

(32)【優先日】2023-06-06

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】514019132

【氏名又は名称】萬潤科技股▲ふん▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100099759

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 篤

(74)【代理人】

【識別番号】100123582

【弁理士】

【氏名又は名称】三橋 真二

(74)【代理人】

【識別番号】100112357

【弁理士】

【氏名又は名称】廣瀬 繁樹

(74)【代理人】

【識別番号】100114018

【弁理士】

【氏名又は名称】南山 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100153729

【弁理士】

【氏名又は名称】森本 有一

(72)【発明者】

【氏名】シー チュン ファー

(72)【発明者】

【氏名】ツァイ チュン ホン

(72)【発明者】

【氏名】チェン イェン ツオ

【テーマコード（参考）】

4F211

【Ｆターム（参考）】

4F211AG03

4F211SA03

4F211SC06

4F211SD01

4F211SD20

4F211SJ31

4F211SP04

(57)【要約】

【課題】接着部品をベース部品に貼り付ける接合方法を提供する。
【解決手段】接合方法は、接着部品Ａを有するキャリアテープＡ３を接合モジュールの第１の押圧機構の押圧アセンブリ３４４に搬送可能に巻き掛け、押圧アセンブリ３４４の曲げ部品３４４３を介してキャリアテープＡ３を曲げて、押圧アセンブリ３４４のローラ３４４２を駆動することにより、ローラ３４４２はキャリアテープＡ３を介して接着部品Ａの前端に間接的に当接して押圧し、接着部品Ａをベース部品Ｂの接合エリアＢ２１の接合開始点に接触させ、曲げ部品３４４３およびローラ３４４２を共に移動することにより、ローラ３４４２はキャリアテープＡ３上で回転しながらキャリアテープＡ３を押圧して接着部品Ａをベース部品Ｂの接合エリアＢ２１に貼り付け、ローラ３４４２の回転中に、曲げ部品３４４３はキャリアテープＡ３を介して接着部品ＡをキャリアテープＡ３から間接的にこすり落とす。
【選択図】図１２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

接合モジュールを含む接合設備を用いる接合方法であって、
接着部品を有するキャリアテープを前記接合モジュールの第１の押圧機構の押圧アセンブリに搬送可能に巻き掛け、前記押圧アセンブリの曲げ部品を介して前記キャリアテープを曲げて、前記曲げ部品により前記キャリアテープを入力部および出力部に区別し、
前記押圧アセンブリのローラを駆動することにより、前記ローラは前記キャリアテープを介して前記接着部品の前端に間接的に当接して押圧し、前記接着部品をベース部品の接合エリアの接合開始点に接触させ、
前記曲げ部品および前記ローラを共に移動することにより、前記ローラは前記キャリアテープ上で回転しながら前記キャリアテープを押圧して前記接着部品を前記ベース部品の前記接合エリアに前記接合開始点から前記接合エリアの接合終了点まで貼り付け、前記ローラの回転中に、前記曲げ部品は前記キャリアテープを介して前記接着部品を前記キャリアテープから間接的にこすり落とす、接合方法。

【請求項2】

前記曲げ部品の曲げ先端部が前記ベース部品の前記接合エリアの前記接合開始点に間接的に接触して押圧する場合において、前記接着部品の一部は前記ベース部品に貼り付けられており、前記接着部品の該一部の長さは、前記ローラの前記キャリアテープと接触する箇所と前記曲げ先端部との間の距離である、請求項１に記載の接合方法。

【請求項3】

前記キャリアテープの一部が搬送され、前記曲げ部品の曲げ先端部により曲げられ、前記出力部となると、前記キャリアテープの該一部は、前記ベース部品の前記接合エリアに貼り付けられた前記接着部品から剥離されている、請求項１に記載の接合方法。

【請求項4】

前記曲げ部品および前記ローラを共に移動する際、前記接合モジュールの第２の押圧機構の押圧部品も共に移動し、前記押圧部品は前記接着部品の上表面で回転しながら該上表面を直接的に押圧して前記接着部品を前記ベース部品の前記接合エリアに強固に貼り付ける、請求項１に記載の接合方法。

【請求項5】

接着部品を有するキャリアテープと共に使用され、前記接着部品をベース部品の接合エリアに貼り付けるための接合モジュールであって、
押圧アセンブリを含む第１の押圧機構を含み、
前記押圧アセンブリは、ローラおよび曲げ部品を含み、前記キャリアテープは、前記押圧アセンブリに搬送可能に巻き掛けられ、前記曲げ部品により入力部および出力部に区別され、
前記曲げ部品および前記ローラを共に移動することにより、前記曲げ部品は、前記キャリアテープを介して前記接着部品を前記キャリアテープからこすり落とし、前記接着部品を前記ベース部品の前記接合エリアに貼り付ける、接合モジュール。

【請求項6】

前記第１の押圧機構は、可動ステージをさらに含み、前記押圧アセンブリは、前記可動ステージに固定的に配置される取付座をさらに含み、前記ローラおよび前記曲げ部品は同軸で枢転可能に前記取付座に取り付けられ、前記曲げ部品は前記取付座に対して揺動可能である、請求項５に記載の接合モジュール。

【請求項7】

前記取付座はその両端に前記ローラの両端が枢転可能に取り付けられる２つのピボット部を有し、前記曲げ部品は２つのピボットアームを有し、前記ピボットアームは、前記ピボット部にそれぞれ位置が合い、その間に前記ローラを収容する取付空間を画成し、前記曲げ部品は、前記ピボットアームの反対側に位置し、テーパ状である曲げ前端部をさらに有し、前記曲げ部品および前記ローラは同軸で枢転可能に前記ピボット部に取り付けられている、請求項６に記載の接合モジュール。

【請求項8】

前記押圧アセンブリは、前記曲げ部品の両端にそれぞれ固定的に配置され、前記曲げ部品の前記両端と共に移動する２つの微調整部品と、前記微調整部品および前記ピボット部との間に接続され、前記曲げ部品を前記ピボット部に対して下方に回転するようにトルクを提供する２つの付勢部品と、前記ピボット部をそれぞれ通って延伸し、前記微調整部品とそれぞれ螺合することにより前記曲げ部品の角変位量を設定する２つのねじ込み部品と、をさらに含む、請求項７に記載の接合モジュール。

【請求項9】

第２の押圧機構をさらに含み、前記第２の押圧機構は、前記ベース部品に対して移動可能に操作され、前記接着部品上で回転し前記接着部品を前記ベース部品に直接的に押圧するローラの形である押圧部品を含む、請求項７に記載の接合モジュール。

【請求項10】

移動装置と共に使用する接合装置であって、
請求項６から請求項９のいずれか一項に記載の接合モジュールと、
キャリアテープおよびカバーテープを含むテープアセンブリが配置され、前記キャリアテープおよび前記カバーテープが巻き取られる第１の載置モジュールと、
前記移動装置に設置され、前記第１の載置モジュールの上下移動および回転を駆動する駆動モジュールと、
前記第１の載置モジュールに配置され、前記第１の載置モジュールに対して移動可能である第２の載置モジュールと、を含み、
前記接合モジュールは、前記第２の載置モジュールに配置される、接合装置。

【請求項11】

前記第１の載置モジュールは、直立座と、第１の搬送機構と、偏向修正機構と、駆動機構と、を含み、前記第１の搬送機構、前記偏向修正機構および前記駆動機構は、前記直立座に配置され、
前記第１の搬送機構は、前記テープアセンブリが配置されるテープリールと、前記カバーテープが巻き取られる第１のリールと、前記キャリアテープが巻き取られる第２のリールと、前記キャリアテープを前記第２の載置モジュールに向けてガイドする第１のガイドリールと、を含み、
前記偏向修正機構は、前記テープリールおよび前記第２のリールの間に介在し、上軸座と、下軸座と、前記上軸座および前記下軸座の間に枢転可能に接続する直立枢軸と、を含み、
前記駆動機構は、互いに間隔をおいており、平行に延伸する２つのスライドレールと、前記スライドレールの間に介在するねじ込みボルトと、前記ねじ込みボルトの回転を駆動するＸ軸ドライバと、を含み、
前記直立座は、前記直立座を通って延伸し、前記上軸座および前記下軸座の間に形成される第１の開口と、前記直立座を通って延伸し、前記スライドレールの間に形成される第２の開口と、を有する、請求項１０に記載の接合装置。

【請求項12】

前記第２の載置モジュールは、前記第１の載置モジュールに対して往復水平移動するようにスライド可能に前記第１の載置モジュールの駆動機構のスライドレールに配置され、直立プレートと、前記直立プレートに配置され、前記キャリアテープを搬送する第２の搬送機構と、を含み、
前記第２の搬送機構は、テープ巻取りルートに沿って前記キャリアテープを搬送するように動作するピンホイールと、前記ピンホイールと協働して前記キャリアテープを挟持するように前記ピンホールとは反対側に配置される当接ローラと、前記ピンホイールの片側に配置され、複数の回転シャフトを含む入力回転ピンアセンブリと、前記ピンホイールのもう片側に配置され、複数の回転シャフトを含む出力回転ピンアセンブリと、前記直立プレートとは反対側に配置され、前記入力回転ピンアセンブリの回転シャフトの一端に取り付けられる第１のカップリングブラケットと、前記直立プレートとは反対側に配置され、前記出力回転ピンアセンブリの回転シャフトおよび前記ピンホイールの一端に取り付けられる第２のカップリングブラケットと、を含む、請求項１０に記載の接合装置。

【請求項13】

請求項１から請求項４のいずれか一項の接合方法を実行する接合設備であって、
ベース部品の搬送ルートを有する搬送装置と、
前記搬送装置の上方に配置される移動装置と、
前記移動装置に接続し、前記移動装置によって移動される接合装置と、を含み、
前記接合装置は、前記接合モジュールを含む、接合設備。

【請求項14】

前記搬送装置は、前記搬送ルートを画成する供給レールを含み、
前記移動装置は、前記搬送装置の上方に配置され、Ｘ軸方向に延伸する梁と、前記梁の両側に配置される２つの柱と、前記梁に配置されるスライドレールおよびＸ軸ドライバと、を含み、
前記接合装置は、前記搬送装置の前記供給レールの上方に配置され、前記移動装置の前記スライドレールにスライド可能に配置され、所定のルートに沿って前記搬送ルートに対して移動するように前記Ｘ軸ドライバによって駆動され、
前記接合設備は、マシンベースに配置される荷重測定装置と、前記接合装置の片側に配置されるアライメント検出ユニットと、を含み、前記荷重測定装置は、前記搬送装置の片側に位置し、前記所定のルートに位置し、前記アライメント検出ユニットは、前記接合モジュールと前記搬送ルートとの位置合わせを検出するＺ軸検出器を有する、請求項１３に記載の接合設備。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、接合方法、接合モジュール、接合装置、および接合設備に関し、より具体的には、自動製造プロセスにおいて、接着部品をベース部品に貼り付ける接合方法、接合モジュール、接合装置、および接合設備に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１（台湾特許第Ｉ７６７６１１号公報）には、従来の接合方法および接合設備が開示されている。この従来の接合方法は、自動製造プロセスにおいて粘着性のサーマルパッドをベース部品に貼り付けるための物であり、この従来の接合設備は、その従来の接合方法を実行するためのものである。従来のＩＣパッケージ工程は、基板上に接着剤を塗布し、ダイを基板に貼り付け、サーマルパッドをダイおよび基板を被覆するように基板に貼り付け、ヒートシンクでサーマルパッドを被覆する。具体的には、サーマルパッドの両面にはそれぞれカバーフィルムが設けられていて、接合設備を用いて１面のカバーフィルムを剥がして該面を基板に貼り付けた後、他の面のカバーフイルムを剥がす。接合設備は、水平方向に延伸するスライドレールが設けられている従動部品を偏向させるように動作可能な４リンクのリンク構造を有する偏向修正機構と、スライドレールにスライド可能に配置され、リールを支持する直立座を有するリール機構と、貼付先端部を有する貼付部品と、を含む。サーマルパッドを有するキャリアテープは、リール機構および貼付部品に搬送可能に巻き掛けられ、貼付部品により入力部および出力部に区分される。直立座がスライドレールに沿ってキャリアテープの入力部に向かって水平移動し、かつ、キャリアテープがリール機構で搬送されることにより、サーマルパッドは貼付部品によりキャリアテープから剥がされると同時にベース部品に貼り付けられる。

【0003】

特許文献２（台湾実用新案第Ｍ６３３３５７号公報）に開示されている従来のサーマルパッドの接合装置および接合設備において、キャリアテープの供給経路にキャリアテープを入力側および出力側に区分する、丸軸形状の貼付ヘッドが配置される。貼付ヘッドは、リール軸の軸線を中心に動作位置に揺動し、サーマルパッドをキャリアテープから剥がしてベース部品に貼り付ける。

【0004】

特許文献１の貼付部品の貼付先端部および特許文献２の丸軸形状の貼付ヘッドは、サーマルパッドをキャリアテープから剥がすと同時にサーマルパットをベース部品に貼り付ける。製品の機能の違いにより、ベース部品の表面の接合条件が多様化する中、特許文献１の貼付先端部または特許文献２の貼付ヘッドは、一部のベース部品の接合工程に適用できない場合もある。したがって、さまざまなベース部品に対応できる接合方法、接合モジュール、接合装置、および接合設備の開発が求められている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】台湾特許第Ｉ７６７６１１号公報

【特許文献2】台湾実用新案第Ｍ６３３３５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

したがって、本発明の目的は、従来技術の欠点を少なくとも１つ軽減することができる接合方法、接合モジュール、接合装置、および接合設備を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の接合方法は、接合モジュールを含む接合設備を用いる。接合方法は、接着部品を有するキャリアテープを接合モジュールの第１の押圧機構の押圧アセンブリに搬送可能に巻き掛け、押圧アセンブリの曲げ部品を介してキャリアテープを曲げて、曲げ部品によりキャリアテープを入力部および出力部に区別し、押圧アセンブリのローラを駆動することにより、ローラはキャリアテープを介して接着部品の前端に間接的に当接して押圧し、接着部品をベース部品の接合エリアの接合開始点に接触させ、曲げ部品およびローラを共に移動することにより、ローラはキャリアテープ上で回転しながらキャリアテープを押圧して接着部品をベース部品の接合エリアに接合開始点から接合エリアの接合終了点まで貼り付け、ローラの回転中に、曲げ部品はキャリアテープを介して接着部品をキャリアテープから間接的にこすり落とす。

【0008】

本発明の接合モジュールは、接着部品を有するキャリアテープと共に使用され、接着部品をベース部品の接合エリアに貼り付けるためである。接合モジュールは、押圧アセンブリを含む第１の押圧機構を含み、押圧アセンブリは、ローラおよび曲げ部品を含み、キャリアテープは、押圧アセンブリに搬送可能に巻き掛けられ、曲げ部品により入力部および出力部に区別される。曲げ部品およびローラを共に移動することにより、曲げ部品は、キャリアテープを介して接着部品をキャリアテープからこすり落とし、接着部品をベース部品の接合エリアに貼り付ける。

【0009】

本発明の接合装置は、移動装置と共に使用する。接合装置は、上記の接合モジュールと、キャリアテープおよびカバーテープを含むテープアセンブリが配置され、キャリアテープおよびカバーテープが巻き取られる第１の載置モジュールと、移動装置に設置され、第１の載置モジュールの上下移動および回転を駆動する駆動モジュールと、第１の載置モジュールに配置され、第１の載置モジュールに対して移動可能である第２の載置モジュールと、を含む。接合モジュールは、第２の載置モジュールに配置される。

【0010】

本発明の接合設備は、上記の接合方法を実行する接合設備である。接合設備は、ベース部品の搬送ルートを有する搬送装置と、搬送装置の上方に配置される移動装置と、移動装置に接続し、移動装置によって移動される接合装置と、を含む。接合装置は、接合モジュールを含む。

【発明の効果】

【0011】

押圧アセンブリのローラは、キャリアテープを介して接着部品の前端に間接的に当接して押圧し、接着部品をベース部品の接合エリアの接合開始点に接触させて、キャリアテープ上で回転し、接着部品をベース部品の接合エリアに接合開始点から接合終了点まで貼り付け、さらに、ローラの回転中に、曲げ部品は、キャリアテープを介して接着部品をキャリアテープから間接的にこすり落とすことによって、接着部品は、気泡を発生させることなく、ベース部品の接合エリアに平坦かつ強固的に貼り付けられる。

【0012】

本発明の他の特徴及び利点は、添付の図面を参照する以下の実施形態の詳細な説明において明白になる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】ベース部品および接着部品の模式図である。

【図2】テープアセンブリの斜視図である。

【図3】本発明の一実施形態に係る接合設備が示される断片的な斜視図である。

【図4】接合設備の接合装置が示される斜視図である。

【図5】テープアセンブリが設置されている接合装置が示される正面図である。

【図6】接合装置の分解斜視図である。

【図7】接合装置の接合モジュールが示される正面図である。

【図8】図７と同様の正面図であり、明瞭化のため、第１の接続部品および第２の接続部品が省略されている。

【図9】接合モジュールの押圧アセンブリが示される斜視図である。

【図10】押圧アセンブリの部分断面側面図である。

【図11】押圧アセンブリの模式図であり、接合設備の接合動作が示される。

【図12】押圧アセンブリの模式図であり、接合設備の接合動作が示される。

【図13】押圧アセンブリの模式図であり、接合設備の接合動作が示される。

【図14】押圧アセンブリの模式図であり、接合設備の接合動作が示される。

【発明を実施するための形態】

【0014】

本明細書において、「上」、「下」、「左」、「右」、「前」、「後」などの方向性のある用語は、図面と併せて本発明の実施形態における複数の構成要素の相対位置を例示的に説明するためだけに使用され、本発明の実施の範囲を限定することを意図するものではない。

【0015】

図１を参照すると、本発明の一実施形態に係る接合設備は、接着部品Ａをベース部品Ｂに貼り付けるように適用される。接着部品Ａは、矩形のサーマルパッドであってもよく、下面に粘着部Ａ１を有し、上面に非粘着部Ａ２を有する。ベース部品Ｂは、矩形の基板Ｂ１上にダイＢ２が設けされているチップであってもよい。基板Ｂ１上には、受動部品や回路などの電子素子Ｂ１１が配置されて基板Ｂ１から突出している。ダイＢ２は、上面に接合エリアＢ２１を有し、電子素子Ｂ１１は、接合エリアＢ２１より突出している。

【0016】

図１および図２を参照すると、複数の接着部品Ａは、キャリアテープＡ３に剥離可能に配置され、カバーテープＡ４により被覆されており、すなわち、キャリアテープＡ３およびカバーテープＡ４は協働して接着部品Ａを囲む。接着部品Ａは、互いに間隔をおいてキャリアテープＡ３の長さ方向に配列されている。接着部品Ａのそれぞれは、粘着部Ａ１がカバーテープＡ４の非粘着層に剥離可能に貼り付けられ、非粘着部Ａ２がキャリアテープＡ３の粘着層に剥離可能に貼り付けられるように配置される。キャリアテープＡ３およびカバーテープＡ４が軸孔Ａ３１を有するスリーブＡ３２に巻き取られ、テープアセンブリＡ３３を形成する。

【0017】

図３を参照すると、本実施形態の接合設備は、搬送装置１と、移動装置２と、接合装置３と、荷重測定装置４と、アライメント検出ユニット５と、を含む。搬送装置１と、移動装置２と、接合装置３と、荷重測定装置４と、アライメント検出ユニット５とは、マシンベース６に配置される。搬送装置１は、ベース部品Ｂの搬送ルートを画成する供給レール１１を含む。移動装置２は、搬送装置１の上方に配置され、Ｘ軸方向に延伸する梁２１と、梁２１の両側に配置される２つの柱２２と、梁２１に配置されるスライドレール２３およびＸ軸ドライバ２４（例えば、リニアモータ）と、を含む。接合装置３は、搬送装置１の供給レール１１の上方に配置され、移動装置２の梁２１のスライドレール２３にスライド可能に配置され、所定のルートに沿って搬送ルートに対して移動するようにＸ軸ドライバ２４によって駆動される。荷重測定装置４は、マシンベース６に配置され、搬送装置１の片側に位置し、所定のルートに位置する。アライメント検出ユニット５は、接合装置３の片側に配置され、Ｚ軸方向の検出を行うＺ軸検出器５１（例えば、ＣＣＤレンズ）と、光源５２と、を含む。

【0018】

具体的には、搬送装置１は、Ｙ軸方向に延伸し、互いに間隔をおいている２つの横ブラケット１２と、横ブラケット１２の内側にそれぞれ配置され、ドライバ１３によって駆動されてその間に供給レール１１を形成する２つのベルト１４と、供給レール１１によって画成される搬送ルートに配置され、Ｚ軸方向に移動するように駆動される治具１５と、を含む。ベース部品Ｂは、供給レール１１上で搬送されるキャリア７と共に搬送され、治具１５によって上昇されるように治具１５の上方の位置に停止する。

【0019】

図２から図６を参照すると、接合装置３は、テープアセンブリＡ３３が配置され、キャリアテープＡ３およびカバーテープＡ４が巻き取られる第１の載置モジュール３１と、移動装置２に配置され、第１の載置モジュール３１の上下移動（Ｚ軸移動）および回転を駆動する駆動モジュール３２と、第１の載置モジュール３１に配置され、第１の載置モジュール３１に対してＸ軸方向に移動可能である第２の載置モジュール３３と、第２の載置モジュール３３に配置され、キャリアテープＡ３が巻き掛けられ、接着部品Ａをベース部品Ｂに貼り付けるための接合モジュール３４と、を含む。

【0020】

第１の載置モジュール３１は、プレート状の直立座３１１と、第１の搬送機構３１２と、偏向修正機構３１３と、駆動機構３１４と、を含む。第１の搬送機構３１２と、偏向修正機構３１３と、駆動機構３１４とは、直立座３１１の同一側面に配置される。第１の搬送機構３１２は、テープアセンブリＡ３３が配置されるテープリール３１２１と、カバーテープＡ４が巻き取られる第１のリール３１２２と、キャリアテープＡ３が巻き取られる第２のリール３１２３と、キャリアテープＡ３を第２の載置モジュールに向けてガイドする第１のガイドリール３１２４と、を含む。偏向修正機構３１３は、テープリール３１２１および第２のリール３１２３の間に介在し、上軸座３１３１と、下軸座３１３２と、Ｚ軸方向に延伸し、上軸座３１３１および下軸座３１３２の間に枢転可能に接続する直立枢軸３１３３と、を含む。駆動機構３１４は、Ｚ軸方向に互いに間隔をおいており、Ｘ軸方向に互いに平行に延伸する２つのスライドレール３１４１と、スライドレール３１４１の間に介在するねじ込みボルト３１４２と、ねじ込みボルト３１４２の回転を駆動するＸ軸ドライバ３１４３と、を含む。直立座３１１は、直立座３１１を通って延伸し、上軸座３１３１および下軸座３１３２の間に形成される第１の開口３１３４と、直立座３１１を通って延伸し、スライドレール３１４１の間に形成される第２の開口３１４４と、を有する。

【0021】

図３、図５および図６を参照すると、駆動モジュール３２は、移動装置２の梁２１に配置され、Ｘ軸ドライバ２４によって駆動されてスライドレール２３上でＸ軸方向に移動する。駆動モジュール３２は、直立レール座３２１と、Ｚ軸ドライバ３２２によって駆動されてＺ軸方向に移動するＺ軸スライド座３２３と、Ｚ軸スライド座３２３に配置される突出座３２４と、突出座３２４に配置されるトルクドライバ３２５（例えば、トルクモータ）と、を含む。偏向修正機構３１３は、テープリール３１２１および第２のリール３１２３の間に介在するため、直立座３１１が偏向すると、直立座３１１の左右の偏向を実質的に同一にし、トルクドライバ３２５をバランス状態に保つことができる。直立座３２１および第１の載置モジュール３１の直立枢軸３１３３は、直立座３１１の両側にそれぞれ配置される。突出座３２４は、第１の開口３１３４を通って延伸し、直立枢軸３１３３は、突出座３２４内に配置される。トルクドライバ３２５は、直立枢軸３１３３の一端と結合することにより、直立枢軸３１３３の回転を駆動し、直立座３１１をＺ軸スライド座３２３に対して偏向させる。

【0022】

図６を参照すると、第２の載置モジュール３３は、第１の載置モジュール３１の駆動機構３１４の２つのスライドレール３１４１にスライド可能に配置され、Ｘ軸ドライバ３１４３によって駆動されて第１の載置モジュール３１に対してＸ軸方向に往復水平移動する。第２の載置モジュール３３は、直立プレート３３１と、直立プレート３３１の片側に配置され、キャリアテープＡ３を搬送する第２の搬送機構３３２と、ねじ込みナット座３３３と、を含む。

【0023】

ねじ込みナット座３３３は、直立プレート３３１の第２の搬送機構３３２と反対する他の片側に配置され、第１の載置モジュール３１のねじ込みボルト３１４２と螺合することにより、第２の載置モジュール３３の移動を駆動する。第２の搬送機構３３２は、テープ巻取りルートに沿ってキャリアテープＡ３を搬送するようにモータドライバ３３２１によって駆動されるピンホイール３３２２と、シリンダドライバ３３２３によって駆動されるピンホイール３３２２と協働してキャリアテープＡ３を挟持するようにピンホイール３３２２とは反対側に配置される当接ローラ３３２４と、ピンホイール３３２２の片側に配置され、複数の回転シャフトを含む入力回転ピンアセンブリ３３２５と、ピンホイール３３２２のもう片側に配置され、複数の回転シャフトを含む出力回転ピンアセンブリ３３２６と、直立プレート３３１とは反対側に配置され、入力回転ピンアセンブリ３３２５の回転シャフトの一端に取り付けられる第１のカップリングブラケット３３２７と、直立プレート３３１とは反対側に配置され、出力回転ピンアセンブリ３３２６の回転シャフトおよびピンホイールの一端に取り付けられる第２のカップリングブラケット３３２８と、を含む。

【0024】

図５および図８を参照すると、接合モジュール３４は、直立プレート３３１に配置され、直立プレート３３１と共にＺ軸方向およびＸ軸方向に移動する。接合モジュール３４は、モジュール座３４１と、第１の押圧機構３４２と、第２の押圧機構３４３と、を含む。第１の押圧機構３４２と、第２の押圧機構３４３とは、モジュール座３４１に配置される。キャリアテープＡ３は、第１の押圧機構３４２を通過するように搬送され、入力部Ａ３４と出力部Ａ３５とに区別される。具体的には、モジュール座３４１には、入力部Ａ３４側に配置される入力端ガイド部品３４１１と、出力部Ａ３５側に配置される出力側ガイド部品３４１２と、キャリアテープＡ３の入力部Ａ３４のテープ巻取りルート近傍に配置される検知素子３４１３と、キャリアテープＡ３の出力部Ａ３５のテープ巻取りルート近傍に配置される第１のイオナイザ３４１４と、を有する。第２の押圧機構３４３は、モジュール座３４１のキャリアテープＡ３のテープ巻取りルート側に配置され、別体のドライバ３４３１（例えば、スライドシリンダ）によって駆動されて鉛直方向に対して傾斜した軸で移動可能なローラの形である押圧部品３４３２と、押圧部品３４３２の第１の押圧機構３４２と反対する側に配置される第２のイオナイザ３４３３と、を含む。具体的には、入力側ガイド部品３４１１および出力側ガイド部品３４１２はそれぞれ、丸棒状であり、モジュール座３４１に配置される一端と、第１の接続部品３４１５に配置される他の一端と、を有する。モジュール座３４１は、Ｙ軸方向に第１の接続部品３４１５と間隔をおいている。第１の接続部品３４１５は、第１のカップリングブラケット３３２７と、モジュール座３４１からＹ軸方向に突出する位置決め座３４１６とに固定的に接続し、第２の接続部品３４１７を介して第２のカップリングブラケット３３２８に固定的に接続することにより、モジュール座３４１および第１の接続部品３４１５は、入力側ガイド部品３４１１および出力側ガイド部品３４１２を通過するキャリアテープＡ３の両側を水平状態に保つようにしっかりと支持することができる。

【0025】

第１の押圧機構３４２は、例えば空気圧シリンダであるＺ軸ドライバ３４２１と、Ｚ軸ドライバ３４２１により駆動されてＺ軸方向に移動する可動ステージ３４２２と、可動ステージ３４２２の下方に配置され、可動ステージ３４２２と共に移動する押圧アセンブリ３４４と、を含む。Ｚ軸ドライバ３４２１は、位置決め座３４１６から延伸する懸垂部品３４１８に固定的に配置される上端と、可動ステージ３４２２に接続し、可動ステージ３４２２を押圧する下端と、を有する。ピストンロッド３４２３は、懸垂部品３４１８および可動ステージ３４２２の間に配置され、Ｚ軸ドライバ３４２１によって駆動されて可動ステージ３４２２をＺ軸方向に移動する。ガイドフード３４２４は、可動ステージ３４２２の下方に配置される。ガイドフード３４２４は、キャリアテープＡ３と間隔をおいており、キャリアテープＡ３のテープ巻取りルートをガイドする傾斜ガイド面３４２５を有する。

【0026】

図９および図１０を参照すると、押圧アセンブリ３４４は、可動ステージ３４２２に固定的に配置される取付座３４４１と、両端が取付座３４４１に枢転可能に取り付けられるローラ３４４２と、両端が取付座３４４１に枢転可能に取り付けられ、ローラ３４４２とは同軸であり、取付座３４４１に対して揺動可能である曲げ部品３４４３と、を含む。取付座３４４１は、Ｙ軸方向に延伸し、その両端にローラ３４４２の両端が枢転可能に取り付けられる２つのピボット部３４４４を有する。曲げ部品３４４３は、２つのピボットアーム３４４６を有し、ピボットアーム３４４６はピボット部３４４４にそれぞれ位置が合い、その間にローラ３４４２を収容する取付空間３４４７を画成する。したがって、曲げ部品３４４３およびローラ３４４２は、互いに同軸でピボット部３４４４に枢転可能に取り付けられている。曲げ部品３４４３は、ピボットアーム３４４６の反対側に位置し、９０度未満の角度を有するテーパ状である曲げ先端部３４４３１をさらに有する。押圧アセンブリ３４４は、曲げ部品３４４３の両端にそれぞれ固定的に配置され、曲げ部品３４４３の両端と共に移動する２つの微調整部品３４４５と、微調整部品３４４５とピボット部３４４４との間に接続され、曲げ部品３４４３をピボット部３４４４に対して反時計回りに下方に回転するようにトルクを提供する２つの付勢部品３４４８（例えば、コイルばね）と、ピボット部３４４４の２つの貫通孔３４５０をそれぞれ通って延伸し、微調整部品３４４５とそれぞれ螺合することにより曲げ部品３４４３の角変位量を設定する２つのねじ込み部品３４４９（例えば、ねじ込みボルト）と、をさらに含む。

【0027】

図２および図５を参照すると、操作時、テープアセンブリＡ３３は、テープリール３１２1に巻き取られ、ピンホイール３３２２の動作により、キャリアテープＡ３は第１のガイドリール３１２４を通過し、カバーテープＡ４はキャリアテープＡ３から剥離され、第１のリール３１２２に巻き取られる。キャリアテープＡ３は、接着部品Ａが下方に向いた状態で供給され、入力回転ピンアセンブリ３３２５の回転シャフトおよび入力端ガイド部品３４１１を通過し、検知素子３４１３によって検知され、押圧アセンブリ３４４および曲げ部品３４４３を通過し、押圧アセンブリ３４４と第２の押圧機構３４３の押圧部品３４３２との間にある曲げ先端部３４４３１によって曲げられ上方に延伸し、出力側ガイド部品３４１２を通過し、当接ローラ３３２４に当接されながらピンホイール３３２２を通過し、第２のリール３１２３に巻き取られる。キャリアテープ供給過程において、第１のイオナイザ３４１４がキャリアテープＡ３上の静電気を除去する。第１の押圧機構３４２を通して、キャリアテープＡ３は、曲げ部品３４４３により、入力側ガイド部品３４１１側の入力部Ａ３４および出力側ガイド部品１２側の出力部Ａ３５に区別される。

【0028】

図３を参照すると、移動機構２の梁２１のスライドレール２３に沿った接合装置３のＸ軸移動および駆動モジュール３２のＺ軸移動により、接合装置３の接合モジュール３４は、荷重測定装置４がその荷重および力を測定するために迅速に移動され、搬送装置１と位置合わせされる。アライメント検出ユニット５のＺ軸検出器５１は、接合モジュール３４と搬送ルートとの位置合わせを検出する。

【0029】

図７および図１１を参照すると、キャリアテープＡ３は、間欠的に搬送され、各回の移動では１つの接着部品Ａに対応する距離だけを移動する。具体的には、接着部品Ａが下方に向いた状態で供給されるキャリアテープＡ３が検知素子３４１３を通過し接着部品Ａが検知素子３４１３によって検知されると、次回の移動において、接着部品Ａは、接着部品Ａの前端が押圧アセンブリ３４４のローラ３４４２と位置合わせされるようにキャリアテープＡ３と共に移動され、それと同時に、曲げ部品３４４３は、付勢部品３４４８の作用により付勢され、ねじ込み部品３４４９の貫通孔３４５０との螺合により、曲げ先端部３４４３１が下方に傾斜し、曲げ部品３４４３のローラ３４４２に近接する一端が曲げ部品のローラ３４４２から離れて曲げ先端部３４４３１のある一端がより高い。

【0030】

図７および図１２を参照すると、本実施形態において、ベース部品Ｂは、基板Ｂ１にダイＢ２が設けられているものである。基板Ｂ１では、受電部品や回路などの電子素子Ｂ１１がダイＢ２に隣接して設けられており、電子素子Ｂ１１は、ダイＢ２の接合エリアＢ２１より突出している。接合モジュール３４の動作中に、Ｚ軸ドライバ３４２１（図８を参照）は動作し、可動ステージ３４２２および押圧アセンブリ３４４のローラ３４４２を下方に移動するように駆動し、ローラ３４４２はキャリアテープＡ３を介して接着部品Ａの前端に間接的に当接して押圧し、接着部品Ａをベース部品Ｂの接合エリアＢ２１の接合開始点に接触させる。同時に、曲げ先端部３４４３１は、突出した電子素子Ｂ１１により、２つのピボットアーム３４４６により画成される回転軸を中心に時計回りに回転し、付勢部品３４４８は、微調整部品３４４５によって圧縮され、曲げ先端部３４４３１は電子素子Ｂ１１を避けるように上方に回転し、電子素子Ｂ１１は、曲げ先端部３４４３１の下方に位置し、キャリアテープＡ３により曲げ先端部３４４３１と間隔をおいているため、接着部品Ａをベース部品Ｂに貼り付ける際のローラ３４４２の回転および押圧を妨げない。

【0031】

図７および図１３を参照すると、接着部品Ａの先端縁がベース部品Ｂの接合エリアＢ２１の前端側の接合開始点に接触し貼り付けられた後、接合モジュール３４は、Ｘ軸ドライバ３１４３により駆動されて、Ｘ軸方向にキャリアテープＡ３の入力部Ａ３４に向かって水平に移動することにより、押圧アセンブリ３４４のローラ３４４２は、キャリアテープＡ３上で回転しながらキャリアテープＡ３を押圧して、接着部品Ａの後端縁がベース部品Ｂの接合エリアＢ２１の後端側に接触して貼り付けられるまで、接着部品Ａをベース部品Ｂの接合エリアＢ２１に貼り付ける。これにより、接着部品Ａの接合工程において、気泡が押し出される。ローラ３４４２の回転中に、キャリアテープＡ３は、出力部Ａ３５に向かって連続的に搬送され、曲げ先端部３４４３１によって曲げられ、曲げ部品３４４３は、ローラ３４４２と共にＸ軸方向に移動し電子素子Ｂ１１を通過し、そして、付勢部品３４４８の動作により反時計回りに回転し、曲げ先端部３４４３１は、下方に傾斜し、接合エリアＢ２１の前端側の接合開始点を間接的に接続し押圧する。ローラ３４４２の回転と同時に、曲げ先端部３４４３１は、ベース部品Ｂの接合エリアＢ２１の後端側の接合終了点に到達するまで、キャリアテープＡ３を介して接着部品ＡをキャリアテープＡ３から間接的にこすり落とし、接着部品Ａをベース部品Ｂの接合エリアＢ２１を平坦かつ強固に貼り付ける。ローラ３４４２の回転中に、第２の押圧機構３４３の押圧部品３４３２も、ローラ３４４２と共にＸ軸方向に移動する。曲げ先端部３４４３１が接着部品Ａをこすり落とす際、押圧部品３４３２は、曲げ先端部３４４３１に向かって傾斜するように駆動され、電子素子Ｂ１１を通過すると、ベース部位Ｂの接合エリアＢ２１の接合開始点に到達する。

【0032】

図７および図１４を参照すると、曲げ部品３４４３の曲げ先端部３４４３１がベース部品Ｂの接合エリアＢ２１の接合開始点に間接的に接触し押圧している場合において、接着部品Ａの一部はベース部品Ｂに貼り付けられており、接着部位Ａの該一部の長さは、ローラ３４４２のキャリアテープＡ３と接触する箇所と曲げ先端部３４４３１との間の距離である。また、曲げ先端部３４４３１がキャリアテープＡ３の入力部Ａ３４に向かってＸ軸方向に移動することで、キャリアテープＡ３の一部が出力部Ａ３５に向かって搬送され、曲げ先端部３４４３１により曲げられ、出力部Ａ３５となり、キャリアテープＡ３の該一部は、ベース部品Ｂの接合エリアＢ２１に貼り付けられた接着部品Ａから剥離されている。押圧部品３４３２がローラ３４４２および曲げ部品３４４３の曲げ先端部３４４３１と共にＸ軸方向に移動する際、押圧部品３４３２は、ベース部品Ｂの接合エリアＢ２１の接合終了点に到達するまで、接着部品Ａの上表面で回転しながら該上表面を直接的に押圧して、接着部品Ａをベース部品Ｂの接合エリアＢ２１に強固に貼り付ける。

【0033】

他の実施形態において、第１の押圧機構３４２の曲げ部品３４４３およびローラ３４４２を用いて接合工程を実行することにより、気泡を発生させることなく、接着部品Ａをベース部品Ｂの接合エリアＢ２１に強固に貼り付けることができる。したがって、第２の押圧機構３４３の押圧部品３４３２は省略されてもよい。押圧部品３４３２は、接着部品Ａをベース部品Ｂの接合エリアＢ２１により安定して強固に貼り付けることができる。さらに、接着部品Ａをこすり落とす際、曲げ先端部３４４３１は、下方に傾斜せずに、水平に設置されてもよい。また、接合エリアＢ２１より突出している電子素子Ｂ１１が省略される場合において、曲げ部品３４４３は取付座３４４１に固定的に配置されてもよい。さらに、さまざまなキャリアテープＡ３の接合工程に応じて、キャリアテープＡ３は、ローラ３４４３、曲げ部品３４４３の曲げ先端部３４４３１、および押圧部品３４３２のうちの１つに巻き掛けられ、曲げられてもよく、これによって、異なる接合方法に対応し、異なる接合効果を有することができる。キャリアテープＡ３は、片面に接着性を有するものであってもよい。

【0034】

図示されているように、押圧アセンブリ３４４のローラ３４４２は、キャリアテープＡ３を介して接着部品Ａの前端に間接的に当接して押圧し、接着部品Ａをベース部品Ｂの接合エリアＢ２１の接合開始点に接触させて、キャリアテープＡ３上で回転し、接着部品Ａをベース部品Ｂの接合エリアＢ２１に接合開始点から接合終了点まで貼り付け、さらに、ローラ３４４２の回転中に、曲げ部品３４４３は、キャリアテープＡ３を介して接着部品ＡをキャリアテープＡ３から間接的にこすり落とすことによって、接着部品Ａは、気泡を発生させることなく、ベース部品Ｂの接合エリアＢ２１に平坦かつ強固的に貼り付けられる。

【0035】

上記の説明では、説明の目的のために、実施形態の完全な理解を提供するために多数の特定の詳細が述べられた。しかしながら、当業者であれば、一又はそれ以上の他の実施形態が具体的な詳細を示さなくとも実施され得ることが明らかである。また、本明細書における「一実施形態」「一つの実施形態」を示す説明において、序数などの表示を伴う説明は全て、特定の態様、構造、特徴を有する本発明の具体的な実施に含まれ得るものであることと理解されたい。更に、本明細書において、時には複数の変化例が一つの実施形態、図面、又はこれらの説明に組み込まれているが、これは本明細書を合理化させるためのもので、本発明の多面性が理解されることを目的としたものであり、また、一実施形態における一又はそれ以上の特徴あるいは特定の具体例は、適切な場合には、本発明の実施において、他の実施形態における一またはそれ以上の特徴あるいは特定の具体例と共に実施され得る。

【0036】

以上、本発明の実施形態および変化例を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、最も広い解釈の精神および範囲内に含まれる様々な構成として、全ての修飾および均等な構成を包含するものとする。

【符号の説明】

【0037】

１ 搬送装置
１１ 供給レール
１２ 横ブラケット
１３ ドライバ
１４ ベルト
１５ 治具
２ 移動装置
２１ 梁
２２ 柱
２３ スライドレール
２４ Ｘ軸ドライバ
３ 接合装置
３１ 第１の載置モジュール
３１１ 直立座
３１２ 第１の搬送機構
３１２１ テープリール
３１２２ 第１のリール
３１２３ 第２のリール
３１２４ 第１のガイドリール
３１３ 偏向修正機構
３１３１ 上軸座
３１３２ 下軸座
３１３３ 直立枢軸
３１３４ 第１の開口
３１４ 駆動機構
３１４１ スライドレール
３１４２ ねじ込みボルト
３１４３ Ｘ軸ドライバ
３１４４ 第２の開口
３２ 駆動モジュール
３２１ 直立レール座
３２２ Ｚ軸ドライバ
３２３ Ｚ軸スライド座
３２４ 突出座
３２５ トルクドライバ
３３ 第２の載置モジュール
３３１ 直立プレート
３３２ 第２の搬送機構
３３２１ モータドライバ
３３２２ ピンホイール
３３２３ シリンダドライバ
３３２４ 当接ローラ
３３２５ 入力回転ピンアセンブリ
３３２６ 出力回転ピンアセンブリ
３３２７ 第１のカップリングブラケット
３３２８ 第２のカップリングブラケット
３３３ ねじ込みナット座
３４ 接合モジュール
３４１ モジュール座
３４１１ 入力側ガイド部品
３４１２ 出力側ガイド部品
３４１３ 検知素子
３４１４ 第１のイオナイザ
３４１５ 第１の接続部品
３４１６ 位置決め座
３４１７ 第２の接続部品
３４１８ 懸垂部品
３４２ 第１の押圧機構
３４２１ Ｚ軸ドライバ
３４２２ 可動ステージ
３４２３ ピストンロッド
３４２４ ガイドフード
３４２５ 傾斜ガイド面
３４３ 第２の押圧機構
３４３１ ドライバ
３４３２ 押圧部品
３４３３ 第２のイオナイザ
３４４ 押圧アセンブリ
３４４１ 取付座
３４４２ ローラ
３４４３ 曲げ部品
３４４３１ 曲げ先端部
３４４４ ピボット部
３４４５ 微調整部品
３４４６ ピボットアーム
３４４７ 取付空間
３４４８ 付勢部品
３４４９ ねじ込み部品
３４５０ 貫通孔
４ 荷重測定装置
５ アライメント検出ユニット
５１ Ｚ軸検出器
５２ 光源
６ マシンベース
７ キャリア
Ａ 接着部品
Ａ１ 粘着部
Ａ２ 非粘着部
Ａ３ キャリアテープ
Ａ３１ 軸孔
Ａ３２ スリーブ
Ａ３３ テープアセンブリ
Ａ３４ 入力部
Ａ３５ 出力部
Ａ４ カバーテープ
Ｂ ベース部品
Ｂ１ 基板
Ｂ１１ 電子素子
Ｂ２ ダイ
Ｂ２１ 接合エリア

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】