特開 2024-17585 インバータ制御装置、インバータ制御方法、インバータ制御プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024017585

(43)【公開日】2024-02-08

(54)【発明の名称】インバータ制御装置、インバータ制御方法、インバータ制御プログラム

(51)【国際特許分類】

   H02M 7/48 20070101AFI20240201BHJP

【ＦＩ】

H02M7/48 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022120318

(22)【出願日】2022-07-28

(71)【出願人】

【識別番号】000002107

【氏名又は名称】住友重機械工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105924

【弁理士】

【氏名又は名称】森下 賢樹

(74)【代理人】

【識別番号】100116274

【弁理士】

【氏名又は名称】富所 輝観夫

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 正志

(72)【発明者】

【氏名】木内 康太

【テーマコード（参考）】

5H770

【Ｆターム（参考）】

5H770BA01

5H770DA03

5H770EA01

5H770HA02Y

5H770KA01Y

5H770KA01Z

(57)【要約】

【課題】汎用性の高いインバータ制御装置等を提供する。
【解決手段】インバータ制御装置３０は、スイッチング素子１０Ｐ、１０Ｎの制御電極に印加される制御信号に応じて、直流を交流に変換するインバータ１０を制御するインバータ制御装置３０であって、インバータ１０から出力される交流を測定する電流センサ３１と、交流の周波数より高い第１遮断周波数を有し、それより高い高周波成分を測定された交流から抽出するハイパスフィルタ３３と、抽出された高周波成分を、測定された交流から差し引く反転部３４および加算器３５と、高周波成分が差し引かれた交流に基づいて、スイッチング素子１０Ｐ、１０Ｎを線形領域においてスイッチング動作させる制御信号を生成する制御信号生成部３６と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

スイッチング素子の制御電極に印加される制御信号に応じて、直流を交流に変換するインバータを制御するインバータ制御装置であって、
前記インバータから出力される前記交流を測定する交流測定部と、
前記交流の周波数より高い第１遮断周波数を有し、それより高い高周波成分を測定された前記交流から抽出するハイパスフィルタと、
抽出された前記高周波成分を、測定された前記交流から差し引く高周波除去部と、
前記高周波成分が差し引かれた前記交流に基づいて、前記スイッチング素子を線形領域においてスイッチング動作させる制御信号を生成する制御信号生成部と、
を備えるインバータ制御装置。

【請求項2】

前記制御信号生成部は、リニアアンプによって構成される、請求項１に記載のインバータ制御装置。

【請求項3】

スイッチング素子の制御電極に印加される制御信号に応じて、直流を交流に変換するインバータを制御するインバータ制御装置であって、
前記インバータから出力される前記交流を測定する交流測定部と、
前記交流の周波数より高い第１遮断周波数を有し、それより高い高周波成分を測定された前記交流から抽出する、ハードウェア実装されたハイパスフィルタと、
抽出された前記高周波成分を、測定された前記交流から差し引く、ハードウェア実装された高周波除去部と、
前記高周波成分が差し引かれた前記交流に基づいて前記制御信号を生成する制御信号生成部と、
を備えるインバータ制御装置。

【請求項4】

前記制御信号生成部は、前記高周波成分が差し引かれた前記交流に基づいて、前記制御信号としてのパルス幅変調信号を生成する、請求項３に記載のインバータ制御装置。

【請求項5】

前記制御信号生成部は、前記高周波成分が差し引かれた前記交流に基づいて、前記スイッチング素子を線形領域においてスイッチング動作させる前記制御信号としてのリニア制御信号を生成する、請求項３に記載のインバータ制御装置。

【請求項6】

前記第１遮断周波数より高い第２遮断周波数を有し、それより低い低周波成分を測定された前記交流から抽出するローパスフィルタを更に備え、
前記ハイパスフィルタは、前記第１遮断周波数より高い前記高周波成分を抽出された前記低周波成分から抽出し、
前記高周波除去部は、抽出された前記高周波成分を、抽出された前記低周波成分から差し引き、
前記制御信号生成部は、前記高周波成分が差し引かれた前記低周波成分に基づいて前記制御信号を生成する、
請求項１から５のいずれかに記載のインバータ制御装置。

【請求項7】

スイッチング素子の制御電極に印加される制御信号に応じて、直流を交流に変換するインバータを制御するインバータ制御方法であって、
前記インバータから出力される前記交流を測定する交流測定ステップと、
前記交流の周波数より高い第１遮断周波数より高い高周波成分を、測定された前記交流から抽出する高周波抽出ステップと、
抽出された前記高周波成分を、測定された前記交流から差し引く高周波除去ステップと、
前記高周波成分が差し引かれた前記交流に基づいて、前記スイッチング素子を線形領域においてスイッチング動作させる制御信号を生成する制御信号生成ステップと、
を備えるインバータ制御方法。

【請求項8】

スイッチング素子の制御電極に印加される制御信号に応じて、直流を交流に変換するインバータを制御するインバータ制御プログラムであって、
前記インバータから出力される前記交流を測定する交流測定ステップと、
前記交流の周波数より高い第１遮断周波数より高い高周波成分を、測定された前記交流から抽出する高周波抽出ステップと、
抽出された前記高周波成分を、測定された前記交流から差し引く高周波除去ステップと、
前記高周波成分が差し引かれた前記交流に基づいて、前記スイッチング素子を線形領域においてスイッチング動作させる制御信号を生成する制御信号生成ステップと、
をコンピュータに実行させるインバータ制御プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はインバータ制御装置等に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、インバータのフィードバック制御系の発散を抑制するために、制御対象としての高調波の位相を調整する技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００８－２４５３４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１は、パルス幅変調（ＰＷＭ：Pulse Width Modulation）信号に応じてスイッチング素子がスイッチング動作を行うインバータを対象としており、ソフトウェア制御によって高調波の位相を調整する。このように特許文献１の技術は、ソフトウェアによるＰＷＭ制御に適用対象が限られる。

【0005】

本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、汎用性の高いインバータ制御装置等を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、本発明のある態様のインバータ制御装置は、スイッチング素子の制御電極に印加される制御信号に応じて、直流を交流に変換するインバータを制御するインバータ制御装置であって、インバータから出力される交流を測定する交流測定部と、交流の周波数より高い第１遮断周波数を有し、それより高い高周波成分を測定された交流から抽出するハイパスフィルタと、抽出された高周波成分を、測定された交流から差し引く高周波除去部と、高周波成分が差し引かれた交流に基づいて、スイッチング素子を線形領域においてスイッチング動作させる制御信号を生成する制御信号生成部と、を備える。

【0007】

本態様では、制御信号生成部が、ノイズとなりうる高周波成分が除去された交流のフィードバックに基づいて、高精度な制御信号を生成できる。本態様は、インバータのスイッチング素子を線形領域においてスイッチング動作させる「リニア制御」を対象とするが、ハイパスフィルタ、高周波除去部、制御信号生成部等の各機能は、ソフトウェアによってもハードウェアによっても実装可能であり汎用性が高い。

【0008】

本発明の別の態様もまた、インバータ制御装置である。この装置は、スイッチング素子の制御電極に印加される制御信号に応じて、直流を交流に変換するインバータを制御するインバータ制御装置であって、インバータから出力される交流を測定する交流測定部と、交流の周波数より高い第１遮断周波数を有し、それより高い高周波成分を測定された交流から抽出する、ハードウェア実装されたハイパスフィルタと、抽出された高周波成分を、測定された交流から差し引く、ハードウェア実装された高周波除去部と、高周波成分が差し引かれた交流に基づいて制御信号を生成する制御信号生成部と、を備える。

【0009】

本態様でも、制御信号生成部が、ノイズとなりうる高周波成分が除去された交流のフィードバックに基づいて、高精度な制御信号を生成できる。本態様は、ハードウェア実装されたハイパスフィルタおよび高周波除去部を対象とするが、制御信号生成部はリニア制御やＰＷＭ制御を含む各種の制御方式に対応可能であり汎用性が高い。

【0010】

本発明の更に別の態様は、インバータ制御方法である。この方法は、スイッチング素子の制御電極に印加される制御信号に応じて、直流を交流に変換するインバータを制御するインバータ制御方法であって、インバータから出力される交流を測定する交流測定ステップと、交流の周波数より高い第１遮断周波数より高い高周波成分を、測定された交流から抽出する高周波抽出ステップと、抽出された高周波成分を、測定された交流から差し引く高周波除去ステップと、高周波成分が差し引かれた交流に基づいて、スイッチング素子を線形領域においてスイッチング動作させる制御信号を生成する制御信号生成ステップと、を備える。

【0011】

なお、以上の構成要素の任意の組合せや、これらの表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラム等に変換したものも、本発明に包含される。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、汎用性の高いインバータ制御装置等を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】インバータ制御装置の構成を模式的に示す。

【図2】各周波数における交流の強度を模式的に示す。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下では、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（以下では実施形態ともいう）について詳細に説明する。説明および／または図面においては、同一または同等の構成要素、部材、処理等に同一の符号を付して重複する説明を省略する。図示される各部の縮尺や形状は、説明の簡易化のために便宜的に設定されており、特に言及がない限り限定的に解釈されるものではない。実施形態は例示であり、本発明の範囲を何ら限定するものではない。実施形態に記載される全ての特徴やそれらの組合せは、必ずしも本発明の本質的なものであるとは限らない。

【0015】

図１は、本発明の実施形態に係るインバータ制御装置３０の構成を模式的に示す。インバータ制御装置３０は、直流を交流に変換する直流交流変換器であるインバータ１０を制御する。インバータ１０は、正電位ラインＤＣＰから供給される直流の正電位または高電位と、負電位ラインＤＣＮから供給される直流の負電位または低電位の間の直流電圧を、６個のスイッチング素子によって３相（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）の交流電圧に変換する。

【0016】

インバータ１０は、正電位ラインＤＣＰとＵＶＷ各相の交流出力の間に接続される正電位側スイッチング素子群１０Ｐと、負電位ラインＤＣＮとＵＶＷ各相の交流出力の間に接続される負電位側スイッチング素子群１０Ｎを備える。正電位側スイッチング素子群１０Ｐは、ＵＶＷの各相に対応する三つの正電位側スイッチング素子を備える。負電位側スイッチング素子群１０Ｎは、ＵＶＷの各相に対応する三つの負電位側スイッチング素子を備える。

【0017】

正電位側スイッチング素子群１０Ｐおよび／または負電位側スイッチング素子群１０Ｎを構成する各スイッチング素子は、IGBT（Insulated Gate Bipolar Transistor：絶縁ゲートバイポーラトランジスタ）であるのが好ましいが、MOSFET（Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor：金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ）その他のFET（Field-Effect Transistor：電界効果トランジスタ）やバイポーラトランジスタ等の他のトランジスタまたはスイッチング素子でもよい。

【0018】

ＵＶＷの各相の正電位側スイッチング素子と、ＵＶＷの各相の負電位側スイッチング素子は、相補的にスイッチング制御されるＵＶＷの各相のスイッチング素子対を構成する。具体的には、図１における左側の正電位側スイッチング素子と負電位側スイッチング素子の対は、その接続点であるＵ相出力端子（「Ｕ」と図示されている）からＵ相の交流電圧を出力するＵ相インバータを構成し、図１における中央の正電位側スイッチング素子と負電位側スイッチング素子の対は、その接続点であるＶ相出力端子（「Ｖ」と図示されている）からＶ相の交流電圧を出力するＶ相インバータを構成し、図１における右側の正電位側スイッチング素子と負電位側スイッチング素子の対は、その接続点であるＷ相出力端子（「Ｗ」と図示されている）からＷ相の交流電圧を出力するＷ相インバータを構成する。Ｕ相インバータ、Ｖ相インバータ、Ｗ相インバータは、正電位ラインＤＣＰと負電位ラインＤＣＮの間に並列に設けられる。ＵＶＷの各相のインバータの構成は同様であるため、以下ではＵ相インバータ（１０の符号を付す）について代表的に説明する。

【0019】

Ｕ相インバータ１０は、直流の正電位を供給する正電位ラインＤＣＰおよび直流の負電位を供給する負電位ラインＤＣＮの間に設けられて、当該正電位および当該負電位の間で変動するＵ相の交流電圧を出力するＵ相出力端子「Ｕ」を備える。正電位ラインＤＣＰとＵ相出力端子「Ｕ」の間には正電位側スイッチング素子１０Ｐが接続され、負電位ラインＤＣＮとＵ相出力端子「Ｕ」の間には負電位側スイッチング素子１０Ｎが接続される。正電位側スイッチング素子１０Ｐおよび負電位側スイッチング素子１０Ｎは、それぞれの制御電極に後述するドライバ３７から印加される制御信号に応じて導通状態が切り替えられる。

【0020】

ドライバ３７は、正電位側スイッチング素子１０Ｐおよび負電位側スイッチング素子１０Ｎからなるスイッチング素子対の導通状態を相補的に切り替えるスイッチング制御を行うことで、正電位ラインＤＣＰおよび負電位ラインＤＣＮの間の直流電圧をＵ相の交流電圧に変換する。ここで「相補的に切り替える」とは、各相のスイッチング素子対が同時にオン状態にならないように制御することを意味する。換言すれば、各相の一方のスイッチング素子がオン状態の時は、当該各相の他方のスイッチング素子がオフ状態になるように制御することを意味する。但し、各相のスイッチング素子対が同時にオフ状態になることは許容される。Ｕ相について具体的には、正電位側スイッチング素子１０Ｐがオン状態の時は負電位側スイッチング素子１０Ｎがオフ状態に制御され、負電位側スイッチング素子１０Ｎがオン状態の時は正電位側スイッチング素子１０Ｐがオフ状態に制御される。このため、正電位側スイッチング素子１０Ｐがオン状態の時はＵ相出力端子「Ｕ」に正電位ラインＤＣＰの正電位が現われ、負電位側スイッチング素子１０Ｎがオン状態の時はＵ相出力端子「Ｕ」に負電位ラインＤＣＮの負電位が現われる。このようなスイッチング制御を周期的に繰り返すことで、Ｕ相出力端子「Ｕ」には正電位と負電位が交互に現われるため交流電圧（Ｕ相）が生成される。

【0021】

インバータ１０は直流電圧から変換した３相の交流電圧を、例えばＬＣフィルタ１１等を介してモータ２０に供給する。モータ２０は、例えば、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の３相のコイル（不図示）を持つ３相ブラシレスモータである。Ｕ相コイルにはＵ相インバータからのＵ相電圧が印加されてＵ相電流が流れ、Ｖ相コイルにはＶ相インバータからのＶ相電圧が印加されてＶ相電流が流れ、Ｗ相コイルにはＷ相インバータからのＷ相電圧が印加されてＷ相電流が流れる。ＵＶＷの各相のインバータ１０は、モータ２０のホール素子（不図示）が検知した回転子（不図示）の回転位置に基づいて、互いに位相が異なる交流電圧を各相のコイルに印加する。このように各相のコイルに印加された交流電圧は回転磁界を発生させ、磁石等を備える回転子を回転させることで所望の回転動力が得られる。なお、モータ２０は、交流電圧によって駆動される他のタイプのモータでもよい。また、モータ２０の相の数は３に限られず任意の自然数でよい。

【0022】

インバータ制御装置３０は、電流センサ３１と、ローパスフィルタ（ＬＰＦ：Low-Pass Filter）３２と、ハイパスフィルタ（ＨＰＦ：High-Pass Filter）３３と、反転部３４と、加算器３５と、制御信号生成部３６と、ドライバ３７を備える。これらの構成要素、特に、ローパスフィルタ３２、ハイパスフィルタ３３、反転部３４、加算器３５、制御信号生成部３６、ドライバ３７の一部または全部は、ソフトウェアを利用することなくハードウェアのみで実装（以下では簡潔に「ハードウェア実装」ともいう）されてもよいし、ソフトウェアおよび汎用ハードウェアの協働によって実装（以下では簡潔に「ソフトウェア実装」ともいう）されてもよい。

【0023】

典型的なユースケースでは、ハードウェア実装された構成要素はアナログ信号を処理するため、ハードウェア実装はアナログ実装と言い換えてもよい。同様に、典型的なユースケースでは、ソフトウェア実装された構成要素はデジタル信号を処理するため、ソフトウェア実装はデジタル実装と言い換えてもよい。ソフトウェアで実装される構成要素は、コンピュータの中央演算処理装置、メモリ、入力装置、出力装置、コンピュータに接続される周辺機器等のハードウェア資源と、それらを用いて実行されるソフトウェアの協働により実現される。コンピュータの種類や設置場所は問わず、上記の各構成要素は、単一のコンピュータのハードウェア資源で実現してもよいし、複数のコンピュータに分散したハードウェア資源を組み合わせて実現してもよい。

【0024】

電流センサ３１は、インバータ１０から出力される交流を測定する交流測定部である。電流センサ３１は、インバータ１０から出力されるＵＶＷの３相の交流電流を全て測定してもよいし、そのうち少なくとも１相の交流電流を測定してもよい。電流センサ３１によって測定された交流電流の周波数を以下ではＦ_ＡＣと表す。

【0025】

ローパスフィルタ３２は、後述するハイパスフィルタ３３の第１遮断周波数Ｆ_Ｃ１より高い第２遮断周波数Ｆ_Ｃ２を有し、それより低い低周波成分を電流センサ３１によって測定された交流から抽出する。図２における破線は、ローパスフィルタ３２を通過した後の交流の各周波数における強度を模式的に示す。第２遮断周波数Ｆ_Ｃ２は交流周波数Ｆ_ＡＣより高く、それより高い周波数成分がローパスフィルタ３２によって減衰され、それより低い周波数成分がローパスフィルタ３２を通過する。インバータ１０から出力される周波数Ｆ_ＡＣの交流には、電源ノイズ等の高周波ノイズが定常的に重畳されうる。そこで、ローパスフィルタ３２が第２遮断周波数Ｆ_Ｃ２より高い電源ノイズ等を除去することで、インバータ制御装置３０によるフィードバック制御の精度が高められる。ローパスフィルタ３２は、インダクタ、コンデンサ、抵抗等の素子の組合せによってハードウェア実装されてもよいし、デジタルフィルタ等としてソフトウェア実装されてもよい。

【0026】

ハイパスフィルタ３３は、交流周波数Ｆ_ＡＣより高く第２遮断周波数Ｆ_Ｃ２より低い第１遮断周波数Ｆ_Ｃ１を有し、それより高い高周波成分を電流センサ３１によって測定された交流から抽出する。ハイパスフィルタ３３は、インダクタ、コンデンサ、抵抗等の素子の組合せによってハードウェア実装されてもよいし、デジタルフィルタ等としてソフトウェア実装されてもよい。

【0027】

本実施形態の例では、ハイパスフィルタ３３の前段に設けられるローパスフィルタ３２が第２遮断周波数Ｆ_Ｃ２より高い周波数成分を既に減衰させているため、ハイパスフィルタ３３は実質的に第１遮断周波数Ｆ_Ｃ１と第２遮断周波数Ｆ_Ｃ２の間の周波数帯域を選択的に抽出する。この周波数帯域には、図２において「外乱」と示されているように、ランダムノイズ等の外乱が混入または残存しうる。このような外乱は、第２遮断周波数Ｆ_Ｃ２より周波数が低いためローパスフィルタ３２では除去されず、インバータ制御装置３０によるフィードバック制御の精度に悪影響を及ぼす可能性がある。そこで、本実施形態では、ローパスフィルタ３２で除去しきれない外乱（交流周波数Ｆ_ＡＣおよび／または第１遮断周波数Ｆ_Ｃ１より周波数が高い成分という意味で、以下では「高周波成分」とも表す）が、ハイパスフィルタ３３によって選択的に抽出され、後段の反転部３４および加算器３５によって効果的に除去される。

【0028】

反転部３４は、ハイパスフィルタ３３によって選択的に抽出された高周波成分の正負を反転する。加算器３５は、反転部３４によって反転された高周波成分と、電流センサ３１によって測定されてローパスフィルタ３２を通過した交流を加算する。反転部３４によって正負が反転された高周波成分が加算器３５によって加算されることで、当該高周波成分（すなわち外乱）が元の交流から効果的に除去される。

【0029】

このように、反転部３４および加算器３５は、ハイパスフィルタ３３によって抽出された高周波成分を、電流センサ３１によって測定された交流から差し引く高周波除去部を構成する。なお、反転部３４および加算器３５の代わりに、ハイパスフィルタ３３によって選択的に抽出された高周波成分を、電流センサ３１によって測定されてローパスフィルタ３２を通過した交流から減算する減算器によって高周波除去部を構成してもよい。高周波除去部の機能は、ハードウェアで実装されてもよいし、ソフトウェアで実装されてもよい。

【0030】

図２における実線は、ハイパスフィルタ３３によって選択的に抽出された第１遮断周波数Ｆ_Ｃ１と第２遮断周波数Ｆ_Ｃ２の間の外乱が、ローパスフィルタ３２通過後の交流（破線）から、反転部３４および加算器３５によって除去された後の交流の各周波数における強度を模式的に示す。ローパスフィルタ３２の通過後には存在した高周波成分としての外乱が、ハイパスフィルタ３３、反転部３４、加算器３５によって効果的に除去されていることが分かる。このように、本実施形態によれば、ローパスフィルタ３２によって定常的な電源ノイズ等を除去できるだけでなく、ハイパスフィルタ３３、反転部３４、加算器３５によって非定常的または突発的な外乱等も除去できるため、インバータ制御装置３０によるフィードバック制御の精度が高められる。

【0031】

制御信号生成部３６は、加算器３５または高周波除去部によって高周波成分（外乱）が差し引かれた交流に基づいて、ドライバ３７を通じてインバータ１０におけるスイッチング素子１０Ｐ、１０Ｎの制御電極に印加される制御信号を生成する。スイッチング素子１０Ｐ、１０Ｎがゲートを制御電極とするトランジスタである場合、制御信号生成部３６はゲート信号を制御信号として生成する。

【0032】

制御信号生成部３６は、スイッチング素子１０Ｐ、１０Ｎを（飽和領域ではない）線形領域においてスイッチング動作させるリニア制御信号を生成してもよい。このようなリニア制御信号生成部は、ドライバ３７の機能も備えるリニアアンプ等によってハードウェア実装されてもよいし、ソフトウェア実装されてもよい。前述のように、ローパスフィルタ３２、ハイパスフィルタ３３、反転部３４、加算器３５も、ハードウェア実装およびソフトウェア実装のいずれにも対応可能である。このため、電流センサ３１を除くインバータ制御装置３０の大半の構成要素３２～３７について、全てハードウェア実装にしてもよいし、全てソフトウェア実装にしてもよいし、ハードウェア実装とソフトウェア実装を組み合わせてもよい。

【0033】

また、制御信号生成部３６は、スイッチング素子１０Ｐ、１０Ｎの制御電極に印加される制御信号としてパルス幅変調信号（ＰＷＭ信号）を生成してもよい。このようなＰＷＭ制御信号生成部は、典型的にはソフトウェア実装される。このため、従来のＰＷＭ制御信号生成部に付随する構成要素（例えば、特許文献１における高調波位相調整部）は、ソフトウェア実装されるのが一般的であった。前述のように、本実施形態によれば、ローパスフィルタ３２、ハイパスフィルタ３３、反転部３４、加算器３５等のＰＷＭ制御信号生成部（制御信号生成部３６）に付随する構成要素を、従来の慣習に則ってソフトウェア実装してもよいがハードウェア実装することもできるため、インバータ制御装置３０の汎用性や柔軟性が高まる。

【0034】

以上のように、本実施形態に係るインバータ制御装置３０は、汎用性や柔軟性が高いだけでなく、ローパスフィルタ３２では除去できない外乱等の高周波成分を効果的に除去できるため、インバータ１０ひいてはモータ２０に対して高精度なフィードバック制御を提供できる。このため、本実施形態に係るインバータ制御装置３０は、精緻な位置制御や速度制御が求められる精密位置決め装置、例えば、半導体製造装置において処理対象の半導体ウエハ等が載置されたテーブルまたはステージを精緻に駆動するステージ装置等に好適である。

【0035】

以上、本発明を実施形態に基づいて説明した。例示としての実施形態における各構成要素や各処理の組合せには様々な変形例が可能であり、そのような変形例が本発明の範囲に含まれることは当業者にとって自明である。

【0036】

なお、実施形態で説明した各装置や各方法の構成、作用、機能は、ハードウェア資源またはソフトウェア資源によって、あるいは、ハードウェア資源とソフトウェア資源の協働によって実現できる。ハードウェア資源としては、例えば、プロセッサ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、各種の集積回路を利用できる。ソフトウェア資源としては、例えば、オペレーティングシステム、アプリケーション等のプログラムを利用できる。

【符号の説明】

【0037】

１０ インバータ、１０Ｐ 正電位側スイッチング素子、１０Ｎ 負電位側スイッチング素子、２０ モータ、３０ インバータ制御装置、３１ 電流センサ、３２ ローパスフィルタ、３３ ハイパスフィルタ、３４ 反転部、３５ 加算器、３６ 制御信号生成部、３７ ドライバ。

【図1】

【図2】