特開 2024-175949 検査装置及び検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024175949

(43)【公開日】2024-12-19

(54)【発明の名称】検査装置及び検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/00 20060101AFI20241212BHJP

   H01G 13/00 20130101ALI20241212BHJP

【ＦＩ】

G01R31/00

H01G13/00 361Z

H01G13/00 361A

H01G13/00 361D

H01G13/00 361F

【審査請求】有

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023094077

(22)【出願日】2023-06-07

(71)【出願人】

【識別番号】591009705

【氏名又は名称】株式会社 東京ウエルズ

(74)【代理人】

【識別番号】100120031

【弁理士】

【氏名又は名称】宮嶋 学

(74)【代理人】

【識別番号】100127465

【弁理士】

【氏名又は名称】堀田 幸裕

(74)【代理人】

【識別番号】100130719

【弁理士】

【氏名又は名称】村越 卓

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 駿輔

(72)【発明者】

【氏名】小森 太陽

(72)【発明者】

【氏名】笹岡 嘉一

【テーマコード（参考）】

2G036

5E082

【Ｆターム（参考）】

2G036AA25

2G036AA27

2G036BB02

2G036CA06

5E082AB03

5E082AB09

5E082BC40

5E082FG26

5E082MM35

5E082MM38

(57)【要約】

【課題】コンデンサの異常を精度良く検出するのに有利な検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置は、コンデンサに電圧を印加して充電を行う電圧印加部と、充電中のコンデンサの電流を連続的に測定する電流測定部と、充電中の判定時間範囲における電流の測定値の対数と、電流の測定タイミングの対数とから導出される回帰直線Ｌｒに基づいて、コンデンサの異常を検出する異常検出部と、を備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

コンデンサに電圧を印加して充電を行う電圧印加部と、
前記充電中の前記コンデンサの電流を連続的に測定する電流測定部と、
前記充電中の判定時間範囲における前記電流の測定値の対数と、前記電流の測定タイミングの対数とから導出される回帰直線に基づいて、前記コンデンサの異常を検出する異常検出部と、
を備える検査装置。

【請求項2】

前記異常検出部は、前記回帰直線に対する前記電流の測定値の対数及び測定タイミングの対数の一致度に基づいて、前記コンデンサの異常を検出する請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記異常検出部は、前記判定時間範囲にわたって前記回帰直線を基準に定められる電流許容範囲の上限及び下限のうちの少なくともいずれか一方に対する、前記電流の測定値の対数の関係に基づいて、前記コンデンサの異常を検出する請求項１又は２に記載の検査装置。

【請求項4】

前記異常検出部は、
前記充電中の第１判定時間範囲における前記電流の測定値の対数と、前記電流の測定タイミングの対数とから導出される第１回帰直線に基づいて、前記コンデンサの異常を検出し、
前記充電中の第２判定時間範囲における前記電流の測定値の対数と、前記電流の測定タイミングの対数とから導出される第２回帰直線に基づいて、前記コンデンサの異常を検出する請求項１又は２に記載の検査装置。

【請求項5】

前記電圧印加部は、
第１の極性で前記コンデンサに電圧を印加して第１極性充電を行い、
前記第１極性充電後に前記第１の極性とは逆の極性である第２の極性で前記コンデンサに電圧を印加して第２極性充電を行い、
前記電流測定部は、
前記第１極性充電中の前記コンデンサの電流である第１極性電流を測定し、
前記第２極性充電中の前記コンデンサの電流である第２極性電流を測定し、
前記異常検出部は、
前記第１極性充電中の第１判定時間範囲における前記第１極性電流の測定値の対数と、前記第１極性電流の測定タイミングの対数とから導出される第１極性回帰直線に基づいて、前記コンデンサの異常を検出し、
前記第２極性充電中の第２判定時間範囲における前記第２極性電流の測定値の対数と、前記第２極性電流の測定タイミングの対数とから導出される第２極性回帰直線に基づいて、前記コンデンサの異常を検出する請求項１又は２に記載の検査装置。

【請求項6】

コンデンサに電圧を印加して充電を行う工程と、
前記充電中の前記コンデンサの電流を連続的に測定する工程と、
前記充電中の判定時間範囲における前記電流の測定値の対数と、前記電流の測定タイミングの対数とから導出される回帰直線に基づいて、前記コンデンサの異常を検出する工程と、
を含む検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、コンデンサの異常を検出する検査装置及び検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ＭＬＣＣ（Multi-Layer Ceramic Capacitor：積層セラミックコンデンサ）などのコンデンサやコンデンサを具備する電子部品は、通常、不良品を検出するための検査を受けた後に出荷される。特に近年では、高度な能力及び安全性が要求される自動車や通信機器などの装置において数多くのＭＬＣＣが使われるようになってきており、大量のＭＬＣＣの信頼性を、より高いレベルで保証する検査の実施が望まれている。

【0003】

そのような検査に関し、例えば特許文献１は、積層セラミックコンデンサ内の異物混入やピンホールなどの内部欠陥の検出やスクリーニングを短時間に実行することを目的とした欠陥検出装置を開示する。また特許文献２は、コンデンサの良否を短時間に判別することを目的とした良否判別方法を開示する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平０９－１５２４５５号公報

【特許文献2】特開２０００－２２８３３７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本開示は上述の事情に鑑みてなされたものであり、コンデンサの異常を精度良く検出するのに有利な技術を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一態様は、コンデンサに電圧を印加して充電を行う電圧印加部と、充電中のコンデンサの電流を連続的に測定する電流測定部と、充電中の判定時間範囲における電流の測定値の対数と、電流の測定タイミングの対数とから導出される回帰直線に基づいて、コンデンサの異常を検出する異常検出部と、を備える検査装置に関する。

【0007】

異常検出部は、回帰直線に対する電流の測定値の対数及び測定タイミングの対数の一致度に基づいて、コンデンサの異常を検出してもよい。

【0008】

異常検出部は、判定時間範囲にわたって回帰直線を基準に定められる電流許容範囲の上限及び下限のうちの少なくともいずれか一方に対する、電流の測定値の対数の関係に基づいて、コンデンサの異常を検出してもよい。

【0009】

異常検出部は、充電中の第１判定時間範囲における電流の測定値の対数と、電流の測定タイミングの対数とから導出される第１回帰直線に基づいて、コンデンサの異常を検出してもよく、充電中の第２判定時間範囲における電流の測定値の対数と、電流の測定タイミングの対数とから導出される第２回帰直線に基づいて、コンデンサの異常を検出してもよい。

【0010】

電圧印加部は、第１の極性でコンデンサに電圧を印加して第１極性充電を行ってもよく、第１極性充電後に第１の極性とは逆の極性である第２の極性でコンデンサに電圧を印加して第２極性充電を行ってもよく、電流測定部は、第１極性充電中のコンデンサの電流である第１極性電流を測定してもよく、第２極性充電中のコンデンサの電流である第２極性電流を測定してもよく、異常検出部は、第１極性充電中の第１判定時間範囲における第１極性電流の測定値の対数と、第１極性電流の測定タイミングの対数とから導出される第１極性回帰直線に基づいて、コンデンサの異常を検出してもよく、第２極性充電中の第２判定時間範囲における第２極性電流の測定値の対数と、第２極性電流の測定タイミングの対数とから導出される第２極性回帰直線に基づいて、コンデンサの異常を検出してもよい。

【0011】

本開示の他の態様は、コンデンサに電圧を印加して充電を行う工程と、充電中のコンデンサの電流を連続的に測定する工程と、充電中の判定時間範囲における電流の測定値の対数と、電流の測定タイミングの対数とから導出される回帰直線に基づいて、コンデンサの異常を検出する工程と、を含む検査方法に関する。

【発明の効果】

【0012】

本開示によれば、コンデンサの異常を精度良く検出できる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1A】図１Ａは、電子部品の検査システムの一例の概略を示す斜視図である。

【図1B】図１Ｂは、図１Ａに示す検査システムの正面図である。

【図2】図２は、検査装置の一例の構成を示す図である。

【図3】図３は、電子部品（コンデンサ）の漏れ電流の測定結果の一例を示すグラフ（真数グラフ）である。

【図4】図４は、電子部品（コンデンサ）の漏れ電流の測定結果の一例を示すグラフ（両対数グラフ）であり、第１の異常検出手法を説明するためのグラフである。

【図5】図５は、電子部品（コンデンサ）の漏れ電流の測定結果の一例を示すグラフ（両対数グラフ）であり、第２の異常検出手法を説明するためのグラフである。

【図6】図６は、コンデンサの一般的な電気特性の一例を示す「充電時間－測定電流」の両対数グラフである。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、図面を参照して本開示の例示的な実施形態について説明する。

【0015】

以下の説明における検査対象の電子部品Ｗは、コンデンサ自体であってもよいし、コンデンサを構成部品として具備する電子部品であってもよい。また検査対象のコンデンサの具体的な種類も限定されず、ＭＬＣＣ、タンタルコンデンサ、或いは他の一般的なコンデンサに対しても下記技術を適用しうる。

【0016】

［検査システム］
図１Ａは、電子部品の検査システム１０の一例の概略を示す斜視図である。図１Ｂは、図１Ａに示す検査システム１０の正面図である。なお図１Ｂでは、理解を容易にするため、図１Ａに示される構成要素の一部（例えば供給フィーダー１８、電子部品供給部１９及び制御部５５）の図示が省略されている。

【0017】

図１Ａ及び図１Ｂに示す検査システム１０は、構造体１０Ａ、構造体１０Ａの傾斜面１０ａに設けられるインデックステーブル１１、検査装置１３、電子部品排出部１４、排出経路１５及び回収装置１６を備える。

【0018】

インデックステーブル１１は、円盤形状を有し、回転軸１１ａを中心に間欠回転可能に設けられ、検査対象の電子部品を収容するための多数のポケット１２を有する。多数のポケット１２は、インデックステーブル１１の半径方向に複数の列（例えば１６列）を成し、各列において複数のポケット１２がインデックステーブル１１の円周方向に等角度間隔で配列される。

【0019】

インデックステーブル１１は、表面側及び裏面側の双方からインデックステーブルカバー６０により覆われている。表面側のインデックステーブルカバー６０は、隙間を介して隣り合って配置される第１表側カバー６１、第２表側カバー６２及び第３表側カバー６３を含む。検査対象の多数の電子部品は、供給フィーダー１８から電子部品供給部１９に供給され、電子部品供給部１９からインデックステーブルカバー６０（図１Ａ及び図１Ｂに示す例では第１表側カバー６１）を介してポケット１２に供給される。

【0020】

検査装置１３は、各ポケット１２に収容されている電子部品の電気的検査を行う。本例の検査装置１３は、常温（例えば５℃～３５℃）の環境下で電子部品の検査を行うこともできるが、後述のように各電子部品に対して熱負荷（例えば１００～１７０℃程度の熱負荷）を積極的に与えつつ電気的検査を行うことも可能である。検査装置１３の具体的な構成例については後述する（図２参照）。

【0021】

電子部品排出部１４は、検査装置１３による電気的検査を受けた後の電子部品を、例えば圧縮エアを利用し、排出経路１５を介して回収装置１６に排出する。回収装置１６は、複数の回収ボックス（図１Ａ及び図１Ｂに示す例では６つの回収ボックス）を有する。電子部品排出部１４は、電気的検査の結果に応じて、各電子部品をポケット１２（インデックステーブル１１）から対応の回収ボックスに向けて送り出す。電気的検査の結果、正常と判定される電子部品と、異常を有すると判定される電子部品とが別々の回収ボックスに排出されるように、電子部品排出部１４は制御部５５の制御下で作動する。なお電子部品排出部１４は、電子部品を、電気的検査の結果に基づく異常の種類や程度に応じて別々の回収ボックスに排出してもよいし、電気的検査の結果以外の条件に応じて別々の回収ボックスに排出してもよい。

【0022】

上述の検査システム１０によれば、各ポケット１２に検査対象の電子部品が収納されている状態でインデックステーブル１１が図１Ａ及び図１Ｂの時計回り方向に間欠回転されることで、各ポケット１２内の電子部品Ｗが下流に向けて徐々に搬送される。各ポケット１２内の電子部品Ｗは、搬送経路上の検査位置において検査装置１３による電気的検査を受け、当該検査の結果に応じて電子部品排出部１４、排出経路１５及び回収装置１６により分類回収される。

【0023】

なお上述の図１Ａ及び図１Ｂに示す検査システム１０は、既知の技術に基づいて実現可能であり、当該検査システム１０の構成に関する更なる具体的な説明は省略される。なお本実施形態の検査システム１０は、一例として、特開２０２３－５２８２号公報に開示の装置と同様に構成されてもよい。

【0024】

［検査装置］
図２は、検査装置１３の一例の構成を示す図である。図２において、一部要素（例えばプローブホルダー４０及び電極ユニット３５）は断面で示されている。また図２ではインデックステーブル１１（ポケット１２を含む）等の図示が省略されているが、図２に示す各電子部品Ｗは、対応ポケット１２に収容されおり、インデックステーブル１１による搬送の途中の検査位置で間欠的に停止している状態にある。

【0025】

図２に示す検査装置１３は、複数のプローブユニット３０、プローブホルダー４０、及び電極ユニット３５を備える。

【0026】

プローブユニット３０の数は限定されないが、同時的に検査が行われる電子部品Ｗの数(例えばインデックステーブル１１の半径方向に並べられるポケット１２の数）に対応する数のプローブユニット３０が設けられる。各プローブユニット３０は、プローブ３１、圧縮ばね３２及びプローブベース３３を有する。プローブ３１、圧縮ばね３２及びプローブベース３３は、いずれも高い導電率を有する電気伝導体を含み、好ましくは高い熱伝導率を有する。プローブベース３３は、電気回路５０と電気的に接続される。圧縮ばね３２は、プローブ３１とプローブベース３３との間に位置し、プローブ３１及びプローブベース３３の各々と電気的に接続される。プローブ３１は、圧縮ばね３２から弾性力を受けつつプローブホルダー４０から進退可能に部分的に突出するように、プローブホルダー４０によって支持される。

【0027】

各プローブユニット３０を支持するプローブホルダー４０は、ホルダー本体４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄと、シート材４２ａ、４２ｂと、プローブヒーター４３とを含む積層構造を有する。ホルダー本体４１ａとホルダー本体４１ｂとの間にシート材４２ａが設けられ、ホルダー本体４１ｂとホルダー本体４１ｃとの間にプローブヒーター４３が設けられ、ホルダー本体４１ｃとホルダー本体４１ｄとの間にシート材４２ｂが設けられる。

【0028】

ホルダー本体４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄは、熱伝導率及び導電率が相対的に低く、例えばホトベール材によって構成される。一方、シート材４２ａ、４２ｂは、熱伝導率及び導電率が相対的に高く、例えばグラファイト材料によって構成される。プローブヒーター４３は、制御部５５の制御下で発熱可能であり、例えばラバーヒーターにより構成される。プローブヒーター４３からの熱は、シート材４２ａ、４２ｂを介し、各プローブユニット３０（特にプローブ３１）に効率的に伝えられる。

【0029】

電極ユニット３５は、電極３６、電極ベース３７及び電極ヒーター３８を含む積層構造を有する。電極３６は、電気回路５０と電気的に接続される。電極ベース３７は電極３６を支持する。電極ヒーター３８は、表面側及び裏面側の双方において電極ベース３７により覆われるように設けられ、制御部５５の制御下で発熱可能であり、例えばラバーヒーターにより構成される。電極ヒーター３８からの熱は、電極ベース３７を介し、電極３６に伝えられる。電極３６を電極ヒーター３８によって効率的に加熱する観点からは、電極ベース３７（特に電極ヒーター３８と電極３６との間に位置する部分）は伝熱性に優れた部材により構成されることが好ましい。

【0030】

電気回路５０は、各プローブユニット３０（図２に示す例ではプローブベース３３）及び電極３６に接続される。プローブ３１が検査対象の電子部品Ｗから離れている間、プローブユニット３０、電子部品Ｗ、電極ユニット３５（特に電極３６）及び電気回路５０は、全体として開回路構成をとる。一方、プローブ３１及び電極３６によって検査対象の電子部品Ｗが挟まれて当該電子部品Ｗにプローブ３１及び電極３６が接触することで、プローブユニット３０、電子部品Ｗ、電極ユニット３５（特に電極３６）及び電気回路５０を含む閉回路が構成される。

【0031】

本例の電気回路５０は、制御部５５の制御下で、電子部品Ｗ（コンデンサ）に電圧を印加して充電を行う電圧印加部５１として機能するとともに、充電中の電子部品Ｗ（コンデンサ）の電流を連続的に測定可能な電流測定部５２として機能する。特に、検査システム１０の一部として設けられる電気回路５０（電圧印加部５１）は、検査対象の電子部品Ｗに対し、比較的大きな電気的負荷を与えることができるように構成される。そのような電気的負荷の大きさは、制御部５５が電気回路５０（電圧印加部５１）を制御することで変更可能であり、例えば電子部品Ｗの定格電圧の数倍程度（例えば２．５倍）の直流電圧が電子部品Ｗに付与されてもよい。

【0032】

制御部５５は、電気回路５０（電流測定部５２）の測定結果に基づいて、各電子部品Ｗ（特にコンデンサ）の異常を検出する異常検出部として機能する。制御部５５による各電子部品Ｗの異常検出の具体的な方法例については後述する。

【0033】

上述の検査装置１３によれば、インデックステーブル１１が間欠的に停止している間に、検査位置に位置する各ポケット１２（図１Ａ参照）内の電子部品Ｗが、電極３６と対応のプローブ３１とによって挟まれる。なお電極３６及びプローブ３１によって電子部品Ｗを挟む際、電極３６及びプローブ３１が相対的に離れている状態から互いに近づけられるように、電極ユニット３５及び／又は各プローブユニット３０（ひいてはプローブホルダー４０）が図示しない装置によって移動されてもよい。

【0034】

そして電極３６及びプローブ３１により挟まれている電子部品Ｗに、電圧印加部５１として機能する電気回路５０によって検査用電圧が印加され、当該電子部品Ｗに流れる微少電流（漏れ電流）が電流測定部５２として機能する電気回路５０によって測定される。このようにして充電中の電子部品Ｗの漏れ電流は連続的に測定され、当該測定の結果が電気回路５０から制御部５５に送られる。

【0035】

電子部品Ｗの漏れ電流の連続的な測定は任意の時間間隔で実行可能であるが、電子部品Ｗの異常の有無の判定精度を上げる観点からは、できるだけ短い時間間隔で、電子部品Ｗの漏れ電流の測定が連続的に行われることが好ましい。一般的な測定装置によれば、電子部品Ｗの漏れ電流の測定が１０ｍｓ（ミリ秒）～１００ｍｓ程度の時間間隔で行われるのが通常である。一方、本実施形態の検査システム１０は、１０ｍｓよりも短い時間間隔で電子部品Ｗの漏れ電流の連続測定を行うことも可能であり、例えば５ｍｓ以下（より好ましくは１ｍｓ以下）の時間間隔で電子部品Ｗの漏れ電流の測定を連続的に行うことによって、一般的な測定装置による通常測定では検出が難しい電子部品Ｗの異常も、精度良く検出することが可能である。

【0036】

なお、熱的な負荷がかけられた状態の電子部品Ｗの電気特性（漏れ電流特性）を測定する場合には、電極ヒーター３８及び／又はプローブヒーター４３が制御部５５の制御下で所望温度に加熱される。これにより電極３６及び／又はプローブ３１が加熱され、電極３６及びプローブ３１が電子部品Ｗに接触している間に、電子部品Ｗに対する電圧印加及び漏れ電流測定とともに、電子部品Ｗの加熱（熱的負荷の適用）を行うことできる。

【0037】

制御部５５は、電気回路５０から提供される各電子部品Ｗの漏れ電流の測定結果に基づいて、各電子部品Ｗの異常の有無を判定する。

【0038】

［検査方法］
図３は、電子部品Ｗ（コンデンサ）の漏れ電流の測定結果の一例を示すグラフ（真数グラフ）である。図３のＸ軸は測定開始（原点（Ｏ））からの経過時間である充電時間（ミリ秒（ｍｓ））を示し、Ｙ軸は電子部品Ｗの漏れ電流の測定値（アンペア（Ａ））を示す。

【0039】

図３には、電子部品Ｗ（コンデンサ）に一定の直流電圧を印加して充電を行った際の、異常を含まない正常な電子部品（すなわち「良品」）の漏れ電流の測定結果と、異常を有する電子部品（すなわち「不良品」）の漏れ電流の測定結果とが示されている。

【0040】

本件発明者は、充電時におけるコンデンサ（例えばＭＬＣＣ）の電気特性（特に漏れ電流特性）の挙動について研究を重ねた結果、コンデンサが、充電中に一時的な異常挙動を示すことがある事実を新たに発見した（図３の符号「Ａｂ」参照）。

【0041】

このような異常挙動は、コンデンサの漏れ電流の測定値の変化によって把握可能であるが、必ずしも一定せず、また変化量も小さいことがある。また、異常挙動をある時間（例えば数十ミリ秒～数秒）示した後に正常な挙動に戻り、その後は良品のように振る舞うコンデンサが存在することを、本件発明者は新たに発見した。

【0042】

なお漏れ電流の測定ピーク値に基づいてコンデンサの異常を検出する従来の検査装置では、漏れ電流が突発的に増大する異常を検出するのには適しているが、漏れ電流が低減する異常を検出するのには必ずしも適していない。またコンデンサの絶縁性は劣化していないが、何らかの理由により漏れ電流が安定しない異常を有するコンデンサに対しても、従来の検査装置では必ずしも十分には対応できない。

【0043】

さらに近年ではＭＬＣＣの大容量化が進んでいるが、大容量化に伴ってＭＬＣＣのセラミック層が薄くなる傾向があり、スクリーニング検査のためにＭＬＣＣに高電圧を印加することが難しくなっている。そのため、ＭＬＣＣ（コンデンサ）に対する印加電圧を低く抑えつつ、信頼性の高いスクリーニング検査を実現する技術が求められている。

【0044】

例えば特許文献１の装置は、充電中のコンデンサに発生する急峻なパルス状の異常電流（漏れ電流）を検出する。このような特許文献１の装置は、充電中の漏れ電流が安定的な挙動を示す場合には有効だが、漏れ電流の単位時間当たり変化が比較的激しい場合には異常電流を信頼度良く検出することが難しい。また特許文献１の装置は、コンデンサの漏れ電流が低減する異常を検出することができない。

【0045】

また特許文献２の装置は、コンデンサの実測電流値及び規格選別電流値から定められる評価関数が、上及び下のいずれに関して凸の曲線を描くかに基づいて、コンデンサの良否を判定する。しかしながら特許文献２の装置は、特許文献２（段落００１２参照）にも記載されているように、コンデンサの実測電流値の一時的な変化についてはノイズとして扱い、異常としては検出しない。また特許文献１の装置は、コンデンサの漏れ電流が低減する異常を検出することができない。

【0046】

本件発明者は、上述の知見を踏まえて研究を重ねた結果、従来装置では検出できないコンデンサ異常であっても、有効に精度良く検出することが可能な新たな技術を見出した。すなわち、電子部品Ｗ（コンデンサ）の充電中の判定時間範囲における電子部品Ｗの電流（漏れ電流）の測定値の対数と、当該電流の測定タイミングの対数とから導出される回帰直線に基づいて、コンデンサの異常を精度良く検出する新たな手法が見出された。当該手法によれば、異常を有するコンデンサが充電中に一時的に示す異常挙動を、精度良く検出することができる。特に異常挙動の変化量が小さくても、或いは、異常挙動が限られた時間（例えば数十ミリ秒～数秒）しか続かなくても、そのような異常挙動を精度良く検出することが可能である。

【0047】

そのような異常検出手法は様々なバリエーションが考えられるが、いずれの異常検出手法も回帰直線に基づいてコンデンサの異常挙動を検出することが可能である。以下に、そのような異常検出手法の典型例を示すが、下記の典型例とは異なる形態で回帰直線を利用する異常検出手法も本開示内容に含まれる。

【0048】

［第１の異常検出手法］
図４は、電子部品Ｗの漏れ電流の測定結果の一例を示すグラフ（両対数グラフ）であり、第１の異常検出手法を説明するためのグラフである。図４のＸ軸及びＹ軸は対数目盛りに基づいており、図４のＸ軸は測定開始（原点（Ｏ））からの経過時間である充電時間（ミリ秒）を対数で示し、Ｙ軸は電子部品Ｗの漏れ電流の測定値（アンペア）を対数で示す。

【0049】

図４には、電子部品Ｗ（コンデンサ）に一定の直流電圧を印加して充電を行った際の、異常を含まない正常な電子部品（すなわち「良品」）の漏れ電流の測定結果と、異常を有する電子部品（すなわち「不良品」）の漏れ電流の測定結果とが示されている。また図４には、良品及び不良品の測定結果から最小二乗法に基づいて得られる「回帰直線Ｌｒ」が示されている。

【0050】

第１の異常検出手法に基づく検査方法によれば、制御部５５の制御下で、充電工程、電流測定工程、及び異常検出工程が行われる。

【0051】

充電工程において、電子部品Ｗ（コンデンサ）は、図２に示すプローブ３１及び電極３６によって挟まれている状態で、電気回路５０（電圧印加部５１）により電圧が印加されて充電が行われる。電流測定工程では、充電中の電子部品Ｗの電流（コンデンサの漏れ電流）が、電気回路５０（電流測定部５２）によって連続的に測定される。このように電流測定工程及び充電工程は並行的に行われる。

【0052】

そして異常検出工程では、制御部５５（異常検出部）によって、充電中の判定時間範囲Ｔｖにおける漏れ電流の測定値の対数と、漏れ電流の測定タイミングの対数とから導出される回帰直線Ｌｒに基づいて、電子部品Ｗ（コンデンサ）の異常が検出される。より具体的には、制御部５５は、回帰直線Ｌｒに対する漏れ電流の測定値の対数及び測定タイミングの対数の一致度に基づいて、電子部品Ｗの異常を検出する。

【0053】

ここで言う「判定時間範囲Ｔｖ」は、電子部品Ｗの異常の有無の判定を行うのに適した時間範囲であり、具体的には、回帰直線Ｌｒに対する良品の測定結果の一致度が高い時間範囲に設定される。最適な判定時間範囲Ｔｖは、電子部品Ｗの漏れ電流特性や電子部品Ｗに対する印加電圧の影響下で決められ、一例として充電開始（図４の原点「Ｏ」参照）後の２００ｍｓ～１５００ｍｓの時間範囲に設定されてもよい。

【0054】

「回帰直線Ｌｒに対する漏れ電流の測定値の対数及び測定タイミングの対数の一致度」は、典型的には、最小二乗法に基づく決定係数として算出される。決定係数の具体的な算出方法は限定されず、既知の演算式を使って決定係数を算出することが可能である。

【0055】

例えば、電子部品Ｗが良品の場合、「回帰直線Ｌｒに対する漏れ電流の測定値の対数及び測定タイミングの対数の一致度」は相対的に高くなり、最小二乗法に基づく決定係数（寄与率）の値も相対的に大きくなる。漏れ電流の測定値の対数及び測定タイミングの対数が回帰直線Ｌｒに完全に一致するケースの決定係数が「１００％」で表される場合、良品の電子部品Ｗの決定係数は、例えば９５．０％以上（一例として９９．０％以上）を示すことができる。

【0056】

一方、電子部品Ｗが不良品の場合、「回帰直線Ｌｒに対する漏れ電流の測定値の対数及び測定タイミングの対数の一致度」は相対的に低くなり、決定係数の値も相対的に小さくなり、例えば９５．０％よりも小さい値（一例として９９．０％よりも小さい値）を示すことができる。

【0057】

上述のように決定係数に基づいて検査対象の電子部品Ｗを良品又は不良品に分類できるが、良品及び不良品の分類基準となる決定係数の閾値は、実際の異常の許容度に応じて適宜設定される。すなわち当該閾値が「１００％」に近い値になるほど、異常の有無の判定が厳しくなって些細な異常も許容されなくなり、その結果、電子部品Ｗが不良品と判定される割合が増える傾向となる。

【0058】

そのため電子部品Ｗの電気特性（漏れ電流特性）の正常さの信頼性に対する要求が高くなるほど、良品及び不良品の分類基準となる決定係数の閾値は「１００％」に近い値に設定される。近年の先端技術において要求される高度な信頼性を満たすには、当該決定係数の閾値は、例えば「９９．０％」或いはそれ以上の値に設定されることが求められることもある。

【0059】

このように「回帰直線Ｌｒに対する漏れ電流の測定値の対数及び測定タイミングの対数の一致度」は、漏れ電流の測定値の対数及び測定タイミングの対数の直線性を表し、最小二乗法に基づく決定係数として表現可能である。ただし「充電時間－測定電流」の両対数グラフ上における直線性を直接的又は間接的に評価可能な他の任意の手法に基づいて、「回帰直線Ｌｒに対する漏れ電流の測定値の対数及び測定タイミングの対数の一致度」が求められてもよい。

【0060】

例えば制御部５５（異常検出部）は、回帰直線Ｌｒに対する漏れ電流の測定値の対数及び測定タイミングの対数の「不一致度」を任意の手法で求め、当該不一致度に基づいて電子部品Ｗの異常を検出してもよい。また制御部５５（異常検出部）は、充電時間中の一部の時間範囲（判定時間範囲Ｔｖ）に関してのみ、検査対象の電子部品Ｗの漏れ電流の測定値のデータを抜き取ってもよい。この場合、制御部５５は、抜き取った漏れ電流の測定値の対数と、当該漏れ電流の測定タイミングの対数とから導出される回帰直線Ｌｒに基づいて、電子部品Ｗの異常を検出してもよい。

【0061】

制御部５５は、上述の一連の工程を含む検査の結果に基づいて電子部品排出部１４を制御し、異常があると判定された電子部品Ｗと、異常があると判定されなかった電子部品Ｗとを、排出経路１５を介して回収装置１６の別々の回収ボックスに排出する。

【0062】

［第２の異常検出手法］
第２の異常検出手法に関する以下の説明において、上述の第１の異常検出手法（図４参照）と同様の処理についてはその詳細な説明を省略する。

【0063】

図５は、電子部品Ｗの漏れ電流の測定結果の一例を示すグラフ（両対数グラフ）であり、第２の異常検出手法を説明するためのグラフである。図５のＸ軸及びＹ軸は対数目盛りによって表されており、図５のＸ軸は測定開始（原点（Ｏ））からの経過時間である充電時間（ミリ秒）を対数で示し、Ｙ軸は電子部品Ｗの漏れ電流の測定値（アンペア）を対数で示す。

【0064】

図５には、良品である電子部品の測定結果と、不良品である電子部品の測定結果とが示されるとともに、良品及び不良品の測定結果に基づいて得られる回帰直線Ｌｒが示されている。さらに図５には、電流許容範囲の上限Ｂ１及び下限Ｂ２が示されている。

【0065】

第２の異常検出手法に基づく検査方法においても、充電工程、電流測定工程、及び異常検出工程が行われ、特に充電工程及び電流測定工程は、上述の第１の異常検出手法に基づく検査方法と同様に行われる。

【0066】

ただし第２の異常検出手法に基づく異常検出工程では、制御部５５（異常検出部）によって、判定時間範囲Ｔｖにおける電子部品Ｗの漏れ電流の測定値の対数が、回帰直線Ｌｒを基準に定められる電流許容範囲に含まれるか否かが判定される。すなわち、判定時間範囲Ｔｖにわたって回帰直線Ｌｒを基準に定められる電流許容範囲の上限Ｂ１及び下限Ｂ２のうちの少なくともいずれか一方に対する、漏れ電流の測定値の対数の関係に基づいて、電子部品Ｗ（コンデンサ）の異常が検出される。

【0067】

図５の両対数グラフにおいて、符号「Ｂ１」で示されるライン（上限）と、符号「Ｂ２」で示されるライン（下限）との間の領域が電流許容範囲に相当し、判定時間範囲Ｔｖにおいて回帰直線Ｌｒは当該領域（電流許容範囲）に存在する。

【0068】

上述のように電流許容範囲（上限Ｂ１及び下限Ｂ２）に基づいて検査対象の電子部品Ｗを良品又は不良品に分類できるが、電流許容範囲を定める上限Ｂ１及び下限Ｂ２は、良品及び不良品の分類基準となる閾値に相当し、実際の異常の許容度に応じて適宜設定される。すなわち電流許容範囲の上限Ｂ１及び下限Ｂ２が回帰直線Ｌｒに近い値になるほど、異常の有無の判定が厳しくなって些細な異常も許容されなくなり、電子部品Ｗが不良品と判定される割合が増える傾向となる。そのため電子部品Ｗの電気特性（漏れ電流特性）の正常さの信頼性に対する要求が高くなるほど、良品及び不良品の分類基準となる電流許容範囲の上限Ｂ１及び下限Ｂ２は回帰直線Ｌｒに近い値に設定される。

【0069】

電流許容範囲の上限Ｂ１及び下限Ｂ２の具体的な決め方は限定されない。例えば、測定電流（図５のＹ軸参照）に関する回帰直線Ｌｒとの差が、電流許容範囲の上限Ｂ１と下限Ｂ２との間で互いに同じ値であってもよいし、異なる値であってもよい。また回帰直線Ｌｒと、電流許容範囲の上限Ｂ１又は下限Ｂ２との間の測定電流に関する差は、判定時間範囲Ｔｖの全体にわたって同じであってもよいし、同じでなくてもよい。したがって「充電時間－測定電流」の両対数グラフ（図５参照）において、電流許容範囲の上限Ｂ１を示すライン及び下限Ｂ２を示すラインは、回帰直線Ｌｒと平行であってもよいし、非平行であってもよい。

【0070】

また判定時間範囲Ｔｖから選択される複数の離散的な時間タイミングにおける回帰直線Ｌｒの値（測定電流に関するＹ軸の値）から、電流許容範囲の上限Ｂ１及び下限Ｂ２が決められてもよい。例えば、判定時間範囲Ｔｖの「開始時間タイミング（始点）」及び「終了時間タイミング（終点）」の２点に関し、電流許容範囲の上限Ｂ１及び下限Ｂ２が回帰直線Ｌｒに基づいて定められてもよい。この場合、「充電時間－測定電流」の両対数グラフ（図５参照）において、電流許容範囲の上限Ｂ１に関するこれらの２点（始点及び終点）を通る直線によって、判定時間範囲Ｔｖの全体にわたる電流許容範囲の上限Ｂ１が定められてもよい。同様に、「充電時間－測定電流」の両対数グラフにおいて、電流許容範囲の下限Ｂ２に関するこれらの２点（始点及び終点）を通る直線によって、判定時間範囲Ｔｖの全体にわたる電流許容範囲の下限Ｂ２が定められてもよい。

【0071】

また制御部５５（異常検出部）は、電流許容範囲の上限Ｂ１及び下限Ｂ２のうちの一方のみを回帰直線Ｌｒとは異なる値に設定してもよい。この場合、電流許容範囲の上限Ｂ１及び下限Ｂ２のうちの他方は、回帰直線Ｌｒと同じ値に設定されてもよい。

【0072】

制御部５５は、上述の異常検出工程において、判定時間範囲Ｔｖにおける電子部品Ｗの測定電流の全体が電流許容範囲内（例えば境界（上限Ｂ１及び下限Ｂ２）を含む）にある場合には、当該電子部品Ｗに異常はないと判定することができる。一方、判定時間範囲Ｔｖにおける電子部品Ｗの測定電流の少なくとも一部が電流許容範囲外（例えば境界（上限Ｂ１及び下限Ｂ２）を含まない）にある場合には、当該電子部品Ｗが異常を有すると判定することができる。

【0073】

そして制御部５５は、上述の一連の工程を含む検査の結果に基づいて電子部品排出部１４を制御し、異常があると判定された電子部品Ｗと、異常があると判定されなかった電子部品Ｗとを、排出経路１５を介して回収装置１６の別々の回収ボックスに排出する。

【0074】

［異常検出手法の応用例］
上述の第１及び第２の異常検出手法（図４及び図５参照）或いは回帰直線Ｌｒに基づく他の検出手法は、電子部品Ｗの検査方法に対して以下のように応用されることで、電子部品Ｗの異常を精度良く検出することが可能である。

【0075】

［応用例１］
図６は、コンデンサの一般的な電気特性の一例を示す「充電時間－測定電流」の両対数グラフである。

【0076】

コンデンサに一定の直流電圧を印加して充電を行った際のコンデンサの充電時間の対数と漏れ電流の対数との間の相関は、充電時間の全体にわたって必ずしも一定ではなく、固有の直線性（比例関係）を示す複数の段階（図６の「Ｐ１」～「Ｐ３」参照）が存在する。図６に示す例では、コンデンサの漏れ電流がほぼ一定である第１段階Ｐ１と、漏れ電流が急激に低減する第２段階Ｐ２と、漏れ電流が第１段階Ｐ１よりも急激且つ第２段階Ｐ２よりも緩やかに低減する第３段階Ｐ３とが存在する。図６に示す両対数グラフにおいて、第１段階Ｐ１～第３段階Ｐ３のいずれにおいても「充電時間－測定電流」は比例的な相関を示すが、「充電時間－測定電流」の比例的相関の割合（すなわち直線性の傾き）が第１段階Ｐ１～第３段階Ｐ３の相互間で異なる。

【0077】

制御部５５（異常検出部）は、段階毎に判定時間範囲Ｔｖ及び回帰直線Ｌｒを設定することで、電子部品Ｗ（コンデンサ）の異常を段階毎に検出することができる。

【0078】

すなわち制御部５５は、充電中の第１判定時間範囲における電子部品Ｗの漏れ電流の測定値の対数と、当該漏れ電流の測定タイミングの対数とから導出される第１回帰直線に基づいて、第１判定時間範囲における電子部品Ｗの異常を検出することができる。その一方で、制御部５５は、充電中の第２判定時間範囲における電子部品Ｗの漏れ電流の測定値の対数と、当該漏れ電流の測定タイミングの対数とから導出される第２回帰直線に基づいて、第２判定時間範囲における電子部品Ｗの異常を検出することができる。

【0079】

ここでの「第１判定時間範囲」及び「第２判定時間範囲」をお互いに異なる段階（図６の第１段階Ｐ１、第２段階Ｐ２及び第３段階Ｐ３参照）に設定することで、複数の段階の各々における電子部品Ｗの異常を検出できる。なおコンデンサの充電時間と漏れ電流との間の相関に３つ以上の段階が存在する場合には、３つ以上の判定時間範囲がそれぞれの段階に割り当てられるように設定されてもよい。

【0080】

例えば図６に示す例において、第１段階Ｐ１に「第１判定時間範囲Ｔｖ１」を設定し、第２段階Ｐ２に「第２判定時間範囲Ｔｖ２」を設定し、第３段階Ｐ３に「第３判定時間範囲Ｔｖ３」を設定してもよい。この場合、第１判定時間範囲Ｔｖ１における漏れ電流の測定結果に基づいて第１回帰直線Ｌｒ１が決められ、第２判定時間範囲Ｔｖ２における漏れ電流の測定結果に基づいて第２回帰直線Ｌｒ２が決められ、第３判定時間範囲Ｔｖ３における漏れ電流の測定結果に基づいて第３回帰直線Ｌｒ３が決められる。そして上述の異常検出手法（図４及び図５参照）を使って、第１回帰直線Ｌｒ１に基づいて第１判定時間範囲Ｔｖ１における電子部品Ｗの異常を検出でき、第２回帰直線Ｌｒ２に基づいて第２判定時間範囲Ｔｖ２における電子部品Ｗの異常を検出でき、第３回帰直線Ｌｒ３に基づいて第３判定時間範囲Ｔｖ３における電子部品Ｗの異常を検出できる。

【0081】

なお「第１判定時間範囲」及び「第２判定時間範囲」は共通の段階に設定されてもよい。例えば比較的長い時間範囲を占めるある１つの段階（図6の第３段階Ｐ３参照）において、「第１判定時間範囲」及び「第２判定時間範囲」（及び第３以降の判定時間範囲）が設定されてもよい。

【0082】

［応用例２］
検査装置１３は、各電子部品Ｗに対して複数回の電気的検査を行ってもよい。そのような複数回の電気的検査は、各電子部品Ｗに検査用電圧を印加する際の電流（直流電流）の極性（プラス極及びマイナス極の向き）が互いに異なる２回の電気的検査を含んでもよい。

【0083】

すなわち電気回路５０（電圧印加部５１；図２参照）は、第１の極性で電子部品Ｗ（コンデンサ）に電圧を印加して第１極性充電を行い、第１極性充電後に第１の極性とは逆の極性である第２の極性で当該電子部品Ｗに電圧を印加して第２極性充電を行ってもよい。この場合、電気回路５０（電流測定部５２）は、第１極性充電中の電子部品Ｗの漏れ電流である第１極性電流を測定し、第２極性充電中の電子部品Ｗの漏れ電流である第２極性電流を測定する。そして制御部５５（異常検出部）は、第１極性充電中の第１判定時間範囲における第１極性電流の測定値の対数と、第１極性電流の測定タイミングの対数とから導出される第１極性回帰直線に基づいて、電子部品Ｗ（コンデンサ）の異常を検出することができる。同様に、制御部５５は、第２極性充電中の第２判定時間範囲における第２極性電流の測定値の対数と、第２極性電流の測定タイミングの対数とから導出される第２極性回帰直線に基づいて、電子部品Ｗ（コンデンサ）の異常を検出することができる。なお電子部品Ｗに負の電圧を印加した場合（例えば第２極性充電の場合）には電子部品Ｗの漏れ電流（例えば第２極性電流）の測定値も負の値になるため、回帰直線は、漏れ電流の測定値の絶対値の対数から導出されてもよい。

【0084】

電子部品Ｗのコンデンサは、印加電流の極性に応じて特有の電気的特性を示すことがあり、第１の極性の電圧印加を受けた場合及び第２の極性の電圧印加を受けた場合の一方のみにおいて、漏れ電流の異常挙動を示すことがある。検査対象の電子部品Ｗがそのような極性を持っていても、本応用例のように第１の極性及び第２の極性の各々に関して電気的検査を行うことで、電子部品Ｗの異常を確実に検出することができる。

【0085】

以上説明したように上述の検査装置１３及び検査方法によれば、充電中の判定時間範囲Ｔｖにおける電子部品Ｗの漏れ電流の測定値の対数と、当該漏れ電流の測定タイミングの対数とから導出される回帰直線Ｌｒに基づいて、電子部品Ｗ（コンデンサ）の異常を検出できる。

【0086】

特に、異常を有する電子部品Ｗが充電中に一時的にのみ異常挙動を示す場合であっても、上述の検査装置１３及び検査方法によれば、そのような電子部品Ｗの異常を適切に検出できる。また電子部品Ｗの漏れ電流の挙動が一定せず、当該漏れ電流の変化量が小さい場合であっても、上述の検査装置１３及び検査方法によれば、そのような電子部品Ｗの異常を適切に検出できる。

【0087】

また上述の検査装置１３及び検査方法によれば、電子部品Ｗの漏れ電流が増大する異常だけではなく、当該漏れ電流が低減する異常も検出できる。また検査対象の電子部品Ｗに印加される検査用電圧が低くても、電子部品Ｗの異常を信頼性良く検出することができる。

【0088】

また正常な状態であっても単位時間当たりの漏れ電流が比較的激しく変動する電子部品Ｗが検査対象とされることがあるが、上述の第２の異常検出手法（図５参照）によれば、そのような電子部品Ｗの異常も精度良く検出することが可能である。すなわち、電子部品Ｗの正常状態の漏れ電流の変動の大きさを考慮して電流許容範囲の上限Ｂ１及び／又は下限Ｂ２を決めることによって、正常状態の漏れ電流の変動が「異常」として検出されるのを防ぎつつ、電子部品Ｗの真の「異常」を検出することが可能である。また、そのような第２の異常検出手法によれば、「電子部品Ｗ（コンデンサ）の絶縁性は劣化していないが、何らかの理由により漏れ電流が安定しない異常」も検出することが可能である。

【0089】

本明細書で開示されている実施形態及び変形例はすべての点で例示に過ぎず限定的には解釈されないことに留意されるべきである。上述の実施形態及び変形例は、添付の特許請求の範囲及びその趣旨を逸脱することなく、様々な形態での省略、置換及び変更が可能である。例えば上述の実施形態及び変形例が全体的に又は部分的に組み合わされてもよく、また上述以外の実施形態が上述の実施形態又は変形例と組み合わされてもよい。また、本明細書に記載された本開示の効果は例示に過ぎず、その他の効果がもたらされてもよい。

【0090】

上述の技術的思想を具現化する技術的カテゴリーは限定されない。例えば上述の装置を製造する方法或いは使用する方法に含まれる１又は複数の手順（ステップ）をコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラムによって、上述の技術的思想が具現化されてもよい。またそのようなコンピュータプログラムが記録されたコンピュータが読み取り可能な非一時的（non-transitory）な記録媒体によって、上述の技術的思想が具現化されてもよい。

【符号の説明】

【0091】

１０ 検査システム、１０Ａ 構造体、１０ａ 傾斜面、１１ インデックステーブル、１１ａ 回転軸、１２ ポケット、１３ 検査装置、１４ 電子部品排出部、１５ 排出経路、１６ 回収装置、１８ 供給フィーダー、１９ 電子部品供給部、３０ プローブユニット、３１ プローブ、３２ 圧縮ばね、３３ プローブベース、３５ 電極ユニット、３６ 電極、３７ 電極ベース、３８ 電極ヒーター、４０ プローブホルダー、４１ａ ホルダー本体、４１ｂ ホルダー本体、４１ｃ ホルダー本体、４１ｄ ホルダー本体、４２ａ シート材、４２ｂ シート材、４３ プローブヒーター、５０ 電気回路、５１ 電圧印加部、５２ 電流測定部、５５ 制御部、６０ インデックステーブルカバー、６１ 第１表側カバー、６２ 第２表側カバー、６３ 第３表側カバー、Ｂ１ 上限、Ｂ２ 下限、Ｌｒ 回帰直線、Ｌｒ１ 第１回帰直線、Ｌｒ２ 第２回帰直線、Ｌｒ３ 第３回帰直線、Ｐ１ 第１段階、Ｐ２ 第２段階、Ｐ３ 第３段階、Ｔｖ 判定時間範囲、Ｔｖ１ 第１判定時間範囲、Ｔｖ２ 第２判定時間範囲、Ｔｖ３ 第３判定時間範囲、Ｗ 電子部品

【図1A】

【図1B】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【手続補正書】

【提出日】2024-08-26

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

コンデンサに電圧を印加して充電を行う電圧印加部と、
前記充電中の前記コンデンサの電流を連続的に測定する電流測定部と、
前記充電中の判定時間範囲における前記電流の測定値の対数と、前記電流の測定タイミングの対数とから導出される回帰直線に基づいて、前記コンデンサの異常を検出する異常検出部と、
を備える検査装置。

【請求項2】

前記異常検出部は、前記回帰直線に対する前記電流の測定値の対数及び測定タイミングの対数の一致度に基づいて、前記コンデンサの異常を検出する請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記異常検出部は、前記判定時間範囲にわたって前記回帰直線を基準に定められる電流許容範囲の上限及び下限のうちの少なくともいずれか一方に対する、前記電流の測定値の対数の関係に基づいて、前記コンデンサの異常を検出する請求項２に記載の検査装置。

【請求項4】

前記異常検出部は、
前記充電中の第１判定時間範囲における前記電流の測定値の対数と、前記電流の測定タイミングの対数とから導出される第１回帰直線に基づいて、前記コンデンサの異常を検出し、
前記充電中の第２判定時間範囲における前記電流の測定値の対数と、前記電流の測定タイミングの対数とから導出される第２回帰直線に基づいて、前記コンデンサの異常を検出する請求項１又は２に記載の検査装置。

【請求項5】

前記電圧印加部は、
第１の極性で前記コンデンサに電圧を印加して第１極性充電を行い、
前記第１極性充電後に前記第１の極性とは逆の極性である第２の極性で前記コンデンサに電圧を印加して第２極性充電を行い、
前記電流測定部は、
前記第１極性充電中の前記コンデンサの電流である第１極性電流を測定し、
前記第２極性充電中の前記コンデンサの電流である第２極性電流を測定し、
前記異常検出部は、
前記第１極性充電中の第１判定時間範囲における前記第１極性電流の測定値の対数と、前記第１極性電流の測定タイミングの対数とから導出される第１極性回帰直線に基づいて、前記コンデンサの異常を検出し、
前記第２極性充電中の第２判定時間範囲における前記第２極性電流の測定値の対数と、前記第２極性電流の測定タイミングの対数とから導出される第２極性回帰直線に基づいて、前記コンデンサの異常を検出する請求項１又は２に記載の検査装置。

【請求項6】

コンデンサに電圧を印加して充電を行う工程と、
前記充電中の前記コンデンサの電流を連続的に測定する工程と、
前記充電中の判定時間範囲における前記電流の測定値の対数と、前記電流の測定タイミングの対数とから導出される回帰直線に基づいて、前記コンデンサの異常を検出する工程と、
を含む検査方法。