特開 2024-175969 振動測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024175969

(43)【公開日】2024-12-19

(54)【発明の名称】振動測定装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/04 20060101AFI20241212BHJP

   G05D 1/43 20240101ALI20241212BHJP

   B61B 13/06 20060101ALI20241212BHJP

   G01H 17/00 20060101ALI20241212BHJP

   G01M 17/007 20060101ALN20241212BHJP

【ＦＩ】

B65G1/04 551A

G05D1/02 G

B61B13/06 H

G01H17/00 Z

G01M17/007 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023094119

(22)【出願日】2023-06-07

(71)【出願人】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】小川 大介

(72)【発明者】

【氏名】橋口 健信

(72)【発明者】

【氏名】冨田 大地

【テーマコード（参考）】

2G064

3F022

5H301

【Ｆターム（参考）】

2G064AA14

2G064AB01

2G064AB02

2G064BA02

2G064BA08

3F022EE05

3F022LL12

3F022MM61

3F022QQ00

5H301AA02

5H301AA09

5H301BB05

5H301EE02

5H301FF05

5H301FF11

5H301GG14

(57)【要約】

【課題】測定された振動の原因の分析を適切に行うための情報を出力することができる振動測定装置を提供する。
【解決手段】搬送車３に搭載される振動測定装置２０が、搬送車３に搭載される振動測定装置２０であって、振動を測定する振動測定部２１と、搬送車３の位置を示す位置情報を取得する位置情報取得部２２と、搬送車３の状態を示す搬送車状態情報を取得する状態情報取得部２３と、振動測定部２１による測定結果と搬送車状態情報と位置情報とを相互に関連付けて記録する記録部２４と、記録部２４に記録された情報を出力する出力部２５とを備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送車に搭載される振動測定装置であって、
振動を測定する振動測定部と、
前記搬送車の位置を示す位置情報を取得する位置情報取得部と、
前記搬送車の状態を示す搬送車状態情報を取得する状態情報取得部と、
前記振動測定部による測定結果と前記搬送車状態情報と前記位置情報とを相互に関連付けて記録する記録部と、
前記記録部に記録された情報を出力する出力部と、を備える、振動測定装置。

【請求項2】

前記搬送車状態情報は、前記搬送車の走行速度、前記搬送車の加速状態、前記搬送車が備える走行機構の動作状態、及び、前記搬送車が備えるセンサの検知状態、の少なくとも１つを含む、請求項１に記載の振動測定装置。

【請求項3】

前記振動測定部は、前記搬送車が搬送する容器に収容されている、請求項１又は２に記載の振動測定装置。

【請求項4】

前記容器は、前記搬送車が当該容器に収容して搬送する物品としての板状部材が挿入されるスロットを複数備え、
互いに異なる前記スロットに挿入される第１支持部材及び第２支持部材を備え、
前記振動測定部は、振動センサ、及び、前記振動センサによる前記測定結果を送信する送信機を備えると共に、前記第１支持部材に支持され、
前記記録部は、前記送信機から前記測定結果を受信する受信機、及び、前記受信機により受信した前記測定結果を記憶する記憶装置を備えると共に、前記第２支持部材に支持されている、請求項３に記載の振動測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送車に搭載される振動測定装置に関する。

【背景技術】

【0002】

このような振動測定装置の一例が、下記の特許文献１（特開２００８－１８１２４５号公報）に開示されている。以下、この背景技術の説明では、特許文献１における符号及び名称を括弧内に引用する。

【0003】

特許文献１の振動測定装置（振動測定器２１）は、走行経路（走行レール２）に沿って走行する搬送車（無人搬送車１０）に搭載される。また、この搬送車（１０）には、現在の走行位置を検出する走行位置検出センサー（２２）も搭載され、搬送車（１０）は、所定値以上の振動値が検出される走行位置を後続の搬送車（１０）に通信する。そして、搬送車（１０）は、先行の搬送車（１０）から所定値以上の振動値が検出される走行位置の通信があった場合には、その位置を走行する時に走行速度を減速させる制御を行う。また、搬送車（１０）は、自車の振動検出器（２１）によって所定値以上の振動値が検出された場合にも、自車の走行速度を減速させる制御を行う。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００８－１８１２４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１には、搬送車（１０）に振動測定装置（２１）及び走行位置検出センサー（２２）を搭載することで、例えば走行レールの損傷のように突発的な事態があったときでも、搬送車（１０）１台が通過すればその異常が確認できるため、振動による被害の拡大を防ぐことができると記載されている。

【0006】

しかしながら、振動測定装置が搬送車に搭載されている場合、搬送車の加速及び減速などの搬送車の状態の影響を受けて搬送車の振動が大きくなっている場合もある。そのため、１台の搬送車で大きな振動が測定されたとしても、その振動が走行レールなどの走行経路の不具合によって発生しているとは断言できない。

【0007】

そこで、測定された振動の原因の分析を適切に行うことができるようにすることが求められる。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記に鑑みた、振動測定装置の特徴構成は、搬送車に搭載される振動測定装置であって、振動を測定する振動測定部と、前記搬送車の位置を示す位置情報を取得する位置情報取得部と、前記搬送車の状態を示す搬送車状態情報を取得する状態情報取得部と、前記振動測定部による測定結果と前記搬送車状態情報と前記位置情報とを相互に関連付けて記録する記録部と、前記記録部に記録された情報を出力する出力部とを備える点にある。

【0009】

本構成によれば、搬送車が走行した走行経路の各位置で測定した振動とその位置での搬送車の状態とを示す情報を取得できる。その結果、それらの情報の出力を受けたユーザは、振動が搬送車の走行経路のいずれの位置において大きくなるのか、及び、その際に搬送車がどのような状態であるのかといった情報を適切に把握できる。すなわち、本構成に係る振動測定装置によれば、測定された振動の原因の分析を適切に行うための情報を出力することができる。

【0010】

振動測定装置の更なる特徴と利点は、図面を参照して説明する実施形態についての以下
の記載から明確となる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】振動測定装置を用いた振動測定が行われる物品搬送設備の平面図

【図2】振動測定装置を搭載する搬送車の側面図

【図3】搬送車及び振動測定装置の構成を示す模式的ブロック図

【図4】案内輪の動作状態の説明図

【図5】案内輪の動作状態の説明図

【図6】搬送車の物体検知センサの検知エリアの説明図

【図7】搬送車の物体検知センサの検知エリアの説明図

【図8】容器及び振動測定装置の構成を示す模式的ブロック図

【発明を実施するための形態】

【0012】

振動測定装置２０の実施形態について図面に基づいて説明する。本実施形態では、物品を搬送する搬送車３に振動測定装置２０を搭載して、その振動測定装置２０が振動測定を行う例を説明する。図１は、振動測定装置２０を用いた振動測定が行われる物品搬送設備２００の平面図である。図２は、振動測定装置２０を搭載する搬送車３の側面図である。図３は、搬送車３及び振動測定装置２０の構成を示す模式的ブロック図である。図４及び図５は、搬送車３が備える案内輪１７の動作状態の説明図である。また、以下の説明では、走行経路１に沿った方向を走行方向Ｙ、水平面に沿うと共に走行方向Ｙに直交する方向を幅方向Ｘとする。上下方向Ｚは、走行方向Ｙ及び幅方向Ｘに直交する方向である。

【0013】

物品搬送設備２００は、天井に吊り下げ支持されて走行経路１に沿って設置された走行レール２と、走行レール２に吊り下げ支持されて走行レール２上を走行経路１に沿って走行し、容器Ｗを搬送する搬送車３とを備えている。つまり、本実施形態で説明する搬送車３は、所謂、天井搬送車である。搬送車３は、例えば、半導体基板の材料とされるウェハなどの物品を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）等を容器Ｗとして搬送する。

【0014】

図１に示すように、走行経路１は、例えば１つの環状の主経路１Ｍと、複数の処理装置２０２を経由する環状の複数の副経路１Ｓと、後述するメンテナンス領域Ｅ２に設けられるメンテナンス経路１Ｃとを備えている。走行経路１は一方通行である。搬送車３は、走行経路１を走行方向Ｙの上流側から走行方向Ｙの下流側に向かって走行する。また、走行経路１には、容器Ｗを搬送する場合に通る領域である搬送領域Ｅ１と、搬送車３のメンテナンスを行う場合に通る領域であるメンテナンス領域Ｅ２とが含まれている。メンテナンス領域Ｅ２には、例えば、メンテナンスのために、走行レール２に吊り下げられた搬送車３を地上側に降ろすためのメンテナンスリフタ２０４が配置されている。図４及び図５に示すように、搬送車３は、一対の走行レール２に案内される。

【0015】

処理装置２０２は、例えば露光処理やエッチング処理などの各種の処理を行うための半導体処理装置等である。その場合、物品搬送設備２００では上記ＦＯＵＰが容器Ｗとして搬送される。尚、容器Ｗ及びその容器Ｗに収容する物品は他の物でもよい。例えば、搬送車３は、半導体基板の製造過程においてウェハの露光処理に用いられるレチクルを物品とし、そのレチクルを収容するレチクルポッドを容器Ｗとして搬送してもよい。各処理装置２０２には、載置台２０３が併設されている。

【0016】

図２に示すように、搬送車３は、走行経路１に沿って天井から吊り下げ支持されて配置された走行レール２に案内されて走行経路１に沿って走行する走行機構５と、走行レール２の下方に位置して走行機構５に吊り下げ支持された搬送車本体１２とを備えている。また、搬送車３は、容器Ｗを吊り下げて保持する保持機構６と、保持機構６を昇降させる昇降機構７と備える。搬送車３は、図２に示すように、保持機構６を上昇させた状態で走行して容器Ｗを搬送する。

【0017】

図２、図４及び図５に示すように、それぞれの走行機構５には、電動式の走行用アクチュエータ３５にて回転駆動される一対の走行輪１５が備えられている。走行用アクチュエータ３５は、例えばモータ（走行用モータ）である。走行輪１５は、走行レール２のそれぞれの上面にて形成される走行面を転動する。また、詳細な図示は行っていないが、走行機構５には、上下方向Ｚに沿う軸心周り（上下軸心周り）で自由回転する一対の走行補助輪１６が、一対の走行レール２におけるそれぞれの内側面に接当する状態で備えられている。

【0018】

図４及び図５に示すように、走行経路１における分岐区間には、搬送車３の走行方向Ｙに沿った方向に延びる案内レール１３が備えられている。尚、図示は省略するが、走行経路１における合流区間にも同様の案内レール１３が備えられている。案内レール１３は、一対の案内面１４（第１案内面１４ａ，第２案内面１４ｂ）を備える。一対の案内面１４（第１案内面１４ａ，第２案内面１４ｂ）は、走行方向Ｙに直交する幅方向Ｘにおける互いに反対側を向くと共にそれぞれが走行方向Ｙに沿って延在する第１案内面１４ａ及び第２案内面１４ｂである。また、搬送車３には、上下方向Ｚに沿う縦軸心周り（上下軸心周り）に回転する案内輪１７が備えられている。案内輪１７は、左右一対の走行レール２の間の中央部に配置された案内レール１３よりも右方向及び左方向に位置変更可能に備えられ、案内レール１３の右側の案内面１４である第１案内面１４ａ、或いは左側の案内面１４である第２案内面１４ｂに接触して回転する。

【0019】

搬送車３が備える車両制御部４は、以下に説明するように、走行機構５に対して、分岐区間及び合流区間において案内輪１７を、一対の案内面１４の何れかに選択的に当接させるのかを切り替える切替動作を行わせる。

【0020】

図４は、搬送車３を分岐区間において走行方向Ｙに向かって右側の経路へ進行させる（本例では直進させる）場合の例である。この場合、車両制御部４は、案内輪１７を案内レール１３の第１案内面１４ａの側（走行方向Ｙに向かって右側）に位置させる。これにより、搬送車３は、案内レール１３の第１案内面１４ａと案内輪１７とが当接する状態で走行する。図４に示すように、搬送車３が分岐区間において右側（幅方向第１側Ｘ１）の経路を通って直進する場合、一対の走行レール２の内、左右一方側（ここでは左側）の走行レール２が途切れ、左側の走行輪１５及び走行補助輪１６が脱輪した状態となる。尚、図４では走行補助輪１６については簡略化のため記載を省略している。しかし、案内レール１３が案内輪１７を介して搬送車３の荷重を受止めて案内支持することで、搬送車３が走行レール２から脱落することが抑制され、搬送車３が分岐区間において直進走行できる。

【0021】

図５は、搬送車３を分岐区間において走行方向Ｙに向かって左側の経路へ進行させる（本例ではカーブ経路に沿って分岐させる）の例である。この場合、車両制御部４は、案内輪１７を案内レール１３の第２案内面１４ｂの側（走行方向Ｙに向かって左側）に位置させる。これにより、搬送車３は、案内レール１３の第２案内面１４ｂと案内輪１７とが当接する状態で案内される。図５に示すように、搬送車３が分岐区間において左側（幅方向第２側Ｘ２）の経路を通って分岐する場合、一対の走行レール２の内、左右一方側（ここでは右側）の走行レール２が途切れ、右側の走行輪１５及び走行補助輪１６が脱輪した状態となる。しかし、案内レール１３が案内輪１７を介して搬送車３の荷重を受止めて案内支持することで、搬送車３が走行レール２から脱落することが抑制され、搬送車３が分岐区間において分岐走行できる。

【0022】

図３に示すように、搬送車３は、上述した以外にも、位置検知センサ８と、速度センサ９と、物体検知センサ１０と、通信部１１とを備える。

【0023】

車両制御部４は、搬送車３の動作を制御する。例えば、車両制御部４は、物品搬送設備２００の全体を管理する設備制御部Ｈとの間で通信部１１を介してワイヤレス通信によって情報通信できる。そして、車両制御部４は、設備制御部Ｈからの搬送指令に基づいて、自律制御により搬送車３を走行させ、容器Ｗを異なる載置台２０３の間で搬送し、指定された載置台２０３の上方で停止して、保持機構６を昇降させることによって容器Ｗを移載する。

【0024】

位置検知センサ８は、搬送車３がどの位置にあるのかを検出するために用いられる。例えば、図３に示すように、走行経路１には、走行経路１における位置を示す位置指標Ｂが走行経路１に沿って配置されている。位置指標Ｂは、例えば一次元又は二次元バーコード等や、数字や文字が記載されたマーカーとすることができる。位置検知センサ８は、バーコードリーダや画像認識装置、数字や文字を認識する文字認識装置とすることができる。また、位置検知センサ８は、走行輪１５の車軸（図示せず）の回転角度を検出するセンサ等を用いて、搬送車３の走行距離を導出できる。そして、位置検知センサ８は、位置指標Ｂを検出してからの搬送車３の走行距離に基づいて、走行経路１における搬送車３の現在の位置を検出できる。位置検知センサ８によって検出された位置情報は、車両制御部４に伝達される。このようにして、搬送車３は、複数の位置指標Ｂを利用して、走行経路１における位置を検出できる。また、搬送車３は、検出された位置情報を設備制御部Ｈに逐次送信し、設備制御部Ｈは、その位置情報に基づいて生成した搬送指令を搬送車３に送信できる。

【0025】

速度センサ９は、搬送車３の走行速度を検出するために用いられる。速度センサ９は、例えば、走行輪１５の車軸（図示せず）の回転角度を検出するセンサ等を用いて実現できる。その場合、速度センサ９が、走行輪１５の車軸（図示せず）の回転角度に基づいて車軸の回転速度を導出し、その回転速度に基づいて搬送車３の走行速度を導出できる。そして、速度センサ９が、その導出した走行速度を車両制御部４に伝達すればよい。或いは、速度センサ９が、測定した走行輪１５の車軸（図示せず）の回転角度を車両制御部４に逐次伝達し、車両制御部４がその回転角度の値に基づいて搬送車３の走行速度を導出してもよい。

【0026】

物体検知センサ１０は、走行する搬送車３にとっての障害物となる物体を検知するために用いられる。例えば、走行経路１には、複数の搬送車３が存在し、同時に走行している。そのため、他の搬送車３との衝突を防止するために、搬送車３には、走行方向Ｙの前方における設定領域内に存在する物体を検出する物体検知センサ１０が設けられている。

【0027】

図６及び図７は、搬送車３の物体検知センサ１０の検知エリア１８を説明する図である。図６に示すように、搬送車３は、走行方向Ｙの前方が直線区間の場合、搬送車３の走行方向Ｙの前方に設定される検知エリア１８を、幅方向Ｘよりも、走行方向Ｙに沿って長く延びた形状にする。それに対して、図７に示すように、搬送車３は、搬送車３の走行方向Ｙの前方が曲線区間の場合、搬送車３の走行方向Ｙの前方に設定される検知エリア１８を、走行方向Ｙよりも、曲線形状の走行経路１に応じて幅方向Ｘに沿って長く延びた形状にする。

【0028】

次に、搬送車３に搭載される振動測定装置２０について説明する。図３に示すように、振動測定装置２０は、振動を測定する振動測定部２１と、搬送車３の位置を示す位置情報を取得する位置情報取得部２２と、搬送車３の状態を示す搬送車状態情報を取得する状態情報取得部２３と、振動測定部２１による測定結果と搬送車状態情報と位置情報とを相互に関連付けて記録する記録部２４と、記録部２４に記録された情報を出力する出力部２５とを備える。尚、振動測定装置２０は、情報の通信機能、情報の演算処理機能、情報の記憶機能などを備えており、後述するようにそれらの機能の少なくとも一部を利用して、振動測定部２１、位置情報取得部２２、状態情報取得部２３、記録部２４及び出力部２５の機能を実現してもよい。また、振動測定装置２０は、それらの機能が搭載された単一の装置によって実現されてもよく、或いは、それらの機能が搭載された複数の装置によって実現されてもよい。

【0029】

振動測定部２１は、振動の振幅、周波数、加速度等の振動を表す物理量を測定できるセンサを用いて実現できる。また、振動測定部２１は、例えば、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向の互いに直交する３方向の振動を測定可能な構成であってもよい。或いは、振動測定部２１は、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうちの２方向又は１方向の振動を測定可能な構成であってもよい。振動測定部２１は、振動の測定結果と共にその測定結果が取得された時刻についての時刻情報を取得してもよい。

【0030】

位置情報取得部２２は、搬送車３の位置を示す位置情報を取得する。例えば、位置情報取得部２２は、振動測定装置２０が備える情報通信機能を利用して、搬送車３の位置検知センサ８で検知された搬送車３の位置を示す位置情報を取得する。位置情報取得部２２は、位置情報と共にその位置情報が検知された時刻についての時刻情報を取得してもよい。

【0031】

状態情報取得部２３は、搬送車３の状態を示す搬送車状態情報を取得する。例えば、状態情報取得部２３は、振動測定装置２０が備える情報の通信機能を利用して、搬送車３で測定された搬送車状態情報を取得する。状態情報取得部２３は、搬送車状態情報と共にその搬送車状態情報が得られた時刻についての時刻情報を取得してもよい。

【0032】

搬送車状態情報は、搬送車３の走行速度、搬送車３の加速状態、搬送車３が備える動作機構の動作状態、及び、搬送車３が備えるセンサ（例えば物体検知センサ１０など）の検知状態、の少なくとも１つを含む。

【0033】

搬送車３の走行速度は、搬送車３の速度センサ９で測定された値である。搬送車３の加速状態（すなわち、加速している状態、減速している状態、等速状態などを示す加速度）は、搬送車３の速度センサ９で測定された走行速度の変化を演算して決定できる。搬送車３の車両制御部４が搬送車３の加速状態の演算を行って、その演算された加速状態を振動測定装置２０の状態情報取得部２３が取得してもよい。或いは、振動測定装置２０の状態情報取得部２３が、取得した搬送車３の走行速度から、振動測定装置２０の演算処理機能を利用して加速状態を演算してもよい。例えば、搬送車３が加速している場合及び減速している場合には搬送車３の振動は比較的大きくなり、搬送車３が等速で走行している場合には搬送車３の振動は比較的小さくなると考えられる。

【0034】

搬送車３が備える動作機構の動作状態は、搬送車３の走行機構５、保持機構６及び昇降機構７などの動作機構の動作状態についての情報である。例えば、搬送車３は、走行機構５の一部として、図４及び図５に示した案内輪１７を備えており、その動作は車両制御部４によって制御される。そして、状態情報取得部２３は、案内輪１７が走行方向Ｙに向かって右側及び左側の何れに位置しているのかを示す情報を搬送車３の車両制御部４から取得できる。尚、動作状態は、案内輪１７（すなわち、走行機構５）の状態に限定されない。例えば、昇降機構７の動作状態、保持機構６の動作状態などでもよい。例えば、走行機構５の案内輪１７が動作した場合（すなわち、案内輪１７の位置が左右で切り替わった場合）には搬送車３の振動は比較的大きくなると考えられる。

【0035】

搬送車３が備える物体検知センサ１０の検知状態は、例えば、図６及び図７に示した物体検知センサ１０の検知エリア１８の形状についての情報や、物体を検知しているか否かの情報などである。搬送車３の物体検知センサ１０の検知エリア１８をどのような状態にするのかは車両制御部４によって制御される。また、物体検知センサ１０が物体を検知しているか否かの情報は車両制御部４に伝達される。そして、状態情報取得部２３は、搬送車３の物体検知センサ１０の検知状態についての情報を搬送車３の車両制御部４から取得できる。例えば、物体検知センサ１０が物体を検知した場合には、搬送車３が減速する等の理由により搬送車３の振動は比較的大きくなると考えられる。

【0036】

以上のように、状態情報取得部２３は、搬送車状態情報として、振動測定部２１が測定する振動に影響する可能性がある搬送車３の挙動を示す情報を取得できる。従って、ユーザは、そのような搬送車状態情報を参照することで、振動が搬送車３の状態の影響を強く受けているか否かの分析が容易になる。

【0037】

記録部２４は、振動測定部２１による測定結果（振動情報）と搬送車状態情報と位置情報とを相互に関連付けて記録する。記録部２４は、振動測定装置２０が備える情報の記憶機能を利用して実現できる。例えば、上述したように振動測定部２１による測定結果と搬送車状態情報と位置情報とが何れも時刻情報に関連付けられている場合、記録部２４は、同じ時刻又は所定の時刻範囲内の振動測定部２１による測定結果と搬送車状態情報と位置情報とを相互に関連付けて記録できる。尚、それらの情報が時刻情報に関連付けられていない場合、記録部２４は、同時又は所定時間内に記録した振動測定部２１による測定結果と搬送車状態情報と位置情報とを一つのデータセットとして相互に関連付けて記録すればよい。

【0038】

尚、振動情報は、振動測定部２１が測定した振動の振幅、周波数、加速度等の振動を表す物理量であってもよいし、それらに対して演算を行った値であってもよい。例えば、振動情報は、振動波形から演算される実効値（RMS：root mean square）などであってもよい。

【0039】

このように、記録部２４は、少なくとも搬送車３の位置を示す位置情報と搬送車３で測定された振動を示す振動情報とが関連付けられた搬送車走行データ、或いは、少なくとも搬送車３の位置を示す位置情報と搬送車３で測定された振動を示す振動情報と搬送車３の状態を示す搬送車状態情報とが関連付けられたデータである搬送車走行データを記録できる。搬送車走行データに含まれる位置情報、振動情報及び搬送車状態情報には、時刻情報が関連付けられていてもよい。また、記録部２４は、搬送車３が走行途中に通過した位置の情報を、搬送車３が走行した走行経路１のマップのデータである経路マップデータとして記録できる。搬送車３が走行途中に通過した位置の情報には、時刻情報が関連付けられていてもよい。

【0040】

出力部２５は、記録部２４に記録された情報を出力する。例えば、出力部２５は、振動測定装置２０が備える情報の通信機能を利用して、振動測定装置２０と通信可能な他の装置に対して、記録部２４に記録された情報を出力できる。尚、出力部２５は、情報を他の装置へ送信する態様で出力するだけでなく、表示装置４１への情報の表示出力や、紙への印字出力、可搬型の記憶装置への情報出力などを行ってもよい。

【0041】

以上のように、本実施形態の振動測定装置２０を用いれば、搬送車３が走行した走行経路１の各位置で測定した振動とその位置での搬送車３の状態とを示す情報を取得できる。その結果、それらの情報の出力を受けたユーザは、振動が搬送車３の走行経路１のいずれの位置において大きくなるのか、及び、その際に搬送車３がどのような状態であるのかといった情報を適切に把握できる。すなわち、本実施形態に係る振動測定装置２０によれば、測定された振動の原因の分析を適切に行うための情報を出力することができる。

【0042】

次に、容器Ｗへの振動測定装置２０の設置例について説明する。図８は、容器Ｗ及び振動測定装置２０の構成を示す模式的ブロック図である。振動測定装置２０は、搬送車３が搬送する容器Ｗに収容されている。そして、搬送車３がこの容器Ｗを搬送しながら（すなわち、走行しながら）、振動測定装置２０が振動測定を行う。つまり、振動測定装置２０の振動測定部２１は、搬送車３が容器Ｗに物品を収容して走行している間にその物品に伝わる振動に近い振動を測定できる。

【0043】

図示するように、容器Ｗは縦断面が矩形又はそれに近い形状をした箱型になっている。容器Ｗの側面の一つはドア（図示せず）によって開閉可能になっており、そのドアが開かれた状態で容器Ｗの内部への物品の収容及び内部からの物品の取り出しが可能になっている。図８に示す容器Ｗに収容されている物品としての板状部材３０は、例えば実際のウェハ又はそれを模した部材などである。このように、図８に示すように、容器Ｗの内部に振動測定装置２０だけを収容した状態、或いは、容器Ｗに振動測定装置２０を収容すると共に容器Ｗに板状部材３０を収容した状態で、搬送車３を走行させてもよい。

【0044】

容器Ｗは、その内部に、搬送車３が当該容器Ｗに収容して搬送する物品としての板状部材３０などを挿入できるスロット１９を複数備える。具体的には、容器Ｗの内面には、複数の仕切部２７が上下方向に並んで設けられている。そして、それらの仕切部２７同士の間がスロット１９となる。

【0045】

図８に示す振動測定装置２０は、そのような既存の容器Ｗの内部構造を変更することなく、容器Ｗの内部に設置できるように構成されている。具体的には、振動測定装置２０は、２つの装置に、位置情報取得部２２、状態情報取得部２３、記録部２４及び出力部２５の機能を分けて搭載している。一方の装置は振動測定部２１を備え、他方の装置は情報処理装置Ｃを備える。情報処理装置Ｃは、情報の通信機能、情報の記憶機能、情報の演算処理機能などを備える持ち運び可能なコンピュータ装置やタブレット端末などを用いて実現できる。

【0046】

振動測定装置２０は、互いに異なるスロット１９に挿入される第１支持部材３１及び第２支持部材３２を備える。そして、振動測定部２１は、振動センサ２１ａ、及び、振動センサ２１ａによる測定結果を送信する送信機２１ｂを備えると共に、第１支持部材３１に支持される。例えば、振動センサ２１ａは、上述したような加速度センサを用いて実現できる。

【0047】

第２支持部材３２には、情報処理装置Ｃが支持される。情報処理装置Ｃは、位置情報取得部２２と、状態情報取得部２３と、記録部２４と、出力部２５とを備える。記録部２４は、送信機２１ｂから測定結果を受信する受信機２４ａ、及び、受信機２４ａにより受信した測定結果を記憶するフラッシュメモリ等の記録装置２４ｂを備えると共に、第２支持部材３２に支持される。この場合、送信機２１ｂと受信機２４ａとの間の通信は、有線でもよいし、或いは、無線でもよい。

【0048】

第１支持部材３１に支持される振動測定部２１の送信機２１ｂと、第２支持部材３２に支持される記録部２４の受信機２４ａとの間は、例えばＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）等の各種の通信規格に則った通信を行うように構成されている。そして、振動センサ２１ａの測定結果が記録装置２４ｂに逐次記録される。

【0049】

図８に示す例では、振動測定装置２０が備える振動測定部２１、位置情報取得部２２、状態情報取得部２３、記録部２４及び出力部２５の機能のうち、振動測定部２１の機能を第１支持部材３１に搭載し、位置情報取得部２２、状態情報取得部２３、記録部２４及び出力部２５の機能を第２支持部材３２に搭載し、第１支持部材３１と第２支持部材３２とを別々のスロット１９に挿入している。このような構成を採用することで、容器Ｗの内部に、振動測定装置２０が備える振動測定部２１、位置情報取得部２２、状態情報取得部２３、記録部２４及び出力部２５を容易に設置できる。

【0050】

第１支持部材３１及び第２支持部材３２をどのスロット１９に挿入するのかは適宜変更可能である。例えば、振動測定部２１を支持する第１支持部材３１を、最も振動が大きくなると考えられるスロット１９に挿入してもよい。

【0051】

以上のように、容器Ｗが備える複数のスロット１９には、搬送対象である物品としての板状部材３０を挿入することもできるし、振動測定部２１が備える振動センサ２１ａを支持する第１支持部材３１を挿入することもできる。つまり、容器Ｗの内部で、搬送対象である物品としての板状部材３０と同じ環境に振動センサ２１ａを配置できる。そのため、振動センサ２１ａを支持する第１支持部材３１がスロット１９に挿入された状態で容器Ｗが搬送車３に搬送された場合、振動測定部２１は、搬送対象である物品としての板状部材３０に作用する振動に近い振動を測定できる。更に、特別な振動測定用の搬送車３を用意しなくても、任意の搬送車３で振動測定を行うことができる振動測定装置２０を実現できる。また、本実施形態によれば、振動センサ２１ａを支持する第１支持部材３１と、受信機２４ａ及び記録装置２４ｂを支持する第２支持部材３２とが、互いに別部材であって且つ異なるスロット１９に挿入されているため、振動センサ２１ａによる振動の測定に受信機２４ａ及び記録装置２４ｂが与える影響を少なく抑えることができ、振動測定の精度を高め易いという利点がある。

【0052】

〔その他の実施形態〕
次に、振動測定装置２０のその他の実施形態について説明する。

【0053】

（１）上記の実施形態では、搬送車３が天井搬送車である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、搬送車３は、AGV（Automatic Guided Vehicle）、STV（ソーティング・トランスファー・ビークル）、スタッカクレーン、自律走行搬送ロボットＡＭＲ（Autonomous Mobile Robot）でもよい。

【0054】

（２）上記実施形態では、位置検知センサ８が、走行経路１における位置を示す位置指標Ｂに基づいて搬送車３の位置を検出する例を説明したが、位置検知センサ８が他の手段によって搬送車３の位置を検出してもよい。例えば、位置検知センサ８は、ＧＮＳＳ（Global Navigation Satellite System）を構築するＧＮＳＳ衛星からの信号を受信して、搬送車３の位置を検出してもよい。

【0055】

（３）上記実施形態において、搬送車状態情報の内容は適宜変更可能である。例えば、搬送車３が備える各種のセンサの検知状態についての情報を含んでもよい。搬送車３が備える各種のセンサの例としては、容器Ｗを保持する保持機構６の動作状態を検出するセンサ、保持機構６を昇降させる昇降機構７の動作状態を検出するセンサなどがある。

【0056】

（４）上記実施形態では、容器Ｗに実際のウェハ又はそれを模した基板などである板状部材３０を収容した状態で搬送車３を走行させる例を説明したが、容器Ｗに収容する板状部材３０の数は適宜変更可能である。例えば、容器Ｗに板状部材３０を収容しなくてもよい。或いは、搬送車３が実際にウェハを物品として搬送する場合の容器Ｗの重量と近くなるように、板状部材３０の収容枚数を調節してもよい。

【0057】

（５）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

【0058】

〔上記実施形態の概要〕
以下、上記において説明した振動測定装置の概要について説明する。

【0059】

振動測定装置は、搬送車に搭載される振動測定装置であって、振動を測定する振動測定部と、前記搬送車の位置を示す位置情報を取得する位置情報取得部と、前記搬送車の状態を示す搬送車状態情報を取得する状態情報取得部と、前記振動測定部による測定結果と前記搬送車状態情報と前記位置情報とを相互に関連付けて記録する記録部と、前記記録部に記録された情報を出力する出力部とを備える。

【0060】

本構成によれば、搬送車が走行した走行経路の各位置で測定した振動とその位置での搬送車の状態とを示す情報を取得できる。その結果、それらの情報の出力を受けたユーザは、振動が搬送車の走行経路のいずれの位置において大きくなるのか、及び、その際に搬送車がどのような状態であるのかといった情報を適切に把握できる。すなわち、本構成に係る振動測定装置によれば、測定された振動の原因の分析を適切に行うための情報を出力することができる。

【0061】

ここで、前記搬送車状態情報は、前記搬送車の走行速度、前記搬送車の加速状態、前記搬送車が備える走行機構の動作状態、及び、前記搬送車が備えるセンサの検知状態、の少なくとも１つを含むと好適である。

【0062】

本構成によれば、振動測定部が測定する振動に影響する可能性がある搬送車の挙動を示す情報を、搬送車状態情報として取得できる。従って、ユーザは、そのような搬送車状態情報を参照することで、振動が搬送車の状態の影響を強く受けているか否かの分析が容易になる。

【0063】

また、前記振動測定部は、前記搬送車が搬送する容器に収容されていると好適である。

【0064】

本構成によれば、振動測定部は、搬送中の容器の内部での振動を測定できる。つまり、振動測定部は、搬送車が容器に物品を収容して走行している間にその物品に伝わる振動に近い振動を測定できる。

【0065】

また、前記容器は、前記搬送車が当該容器に収容して搬送する物品としての板状部材が挿入されるスロットを複数備え、互いに異なる前記スロットに挿入される第１支持部材及び第２支持部材を備え、前記振動測定部は、振動センサ、及び、前記振動センサによる前記測定結果を送信する送信機を備えると共に、前記第１支持部材に支持され、前記記録部は、前記送信機から前記測定結果を受信する受信機、及び、前記受信機により受信した前記測定結果を記憶する記憶装置を備えると共に、前記第２支持部材に支持されていると好適である。

【0066】

本構成によれば、第１支持部材及び第２支持部材をスロットに挿入することで、容器内に振動測定部及び記録部を容易に設置できる。
また本構成によれば、容器が備える複数のスロットには、搬送対象である物品としての板状部材を挿入することもできるし、振動測定部が備える振動センサを支持する第１支持部材を挿入することもできる。つまり、容器の内部で、搬送対象である物品としての板状部材と同じ環境に振動センサを配置できる。そのため、振動センサを支持する第１支持部材がスロットに挿入された状態で容器が搬送車に搬送された場合、振動測定部は、搬送対象である物品としての板状部材に作用する振動に近い振動を測定できる。更に、特別な振動測定用の搬送車を用意しなくても、任意の搬送車で振動測定を行うことができる振動測定装置を実現できる。
また、本構成によれば、振動センサを支持する第１支持部材と、受信機及び記憶装置を支持する第２支持部材とが、互いに別部材であって且つ異なるスロットに挿入されているため、振動センサによる振動の測定に受信機及び記憶装置が与える影響を少なく抑えることができ、振動測定の精度を高め易いという利点がある。

【産業上の利用可能性】

【0067】

本発明は、測定された振動の原因の分析を適切に行うための情報を出力することができる振動測定装置に利用できる。

【符号の説明】

【0068】

３ ：搬送車
５ ：走行機構
１９ ：スロット
２０ ：振動測定装置
２１ ：振動測定部
２１ａ ：振動センサ
２１ｂ ：送信機
２２ ：位置情報取得部
２３ ：状態情報取得部
２４ ：記録部
２４ａ ：受信機
２５ ：出力部
３０ ：板状部材
３１ ：第１支持部材
３２ ：第２支持部材
Ｗ ：容器

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】