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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024176178
(43)【公開日】2024-12-19
(54)【発明の名称】砥石及びその製造方法
(51)【国際特許分類】
B24D 7/06 20060101AFI20241212BHJP
B24D 5/00 20060101ALI20241212BHJP
B24D 7/00 20060101ALI20241212BHJP
B24D 5/06 20060101ALI20241212BHJP
B24D 3/00 20060101ALI20241212BHJP
【ＦＩ】
B24D7/06
B24D5/00 Z
B24D7/00 P
B24D5/06
B24D3/00 340
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023094518
(22)【出願日】2023-06-08
(71)【出願人】
【識別番号】398046921
【氏名又は名称】株式会社ナノテム
(74)【代理人】
【識別番号】100095407
【弁理士】
【氏名又は名称】木村 満
(74)【代理人】
【識別番号】100195648
【弁理士】
【氏名又は名称】小林 悠太
(74)【代理人】
【識別番号】100175019
【弁理士】
【氏名又は名称】白井 健朗
(74)【代理人】
【識別番号】100132883
【弁理士】
【氏名又は名称】森川 泰司
(72)【発明者】
【氏名】▲高▼田 篤
(72)【発明者】
【氏名】大橋 恭介
(72)【発明者】
【氏名】▲高▼田 大地
(72)【発明者】
【氏名】▲高▼田 大和
(72)【発明者】
【氏名】木村 悠生
(72)【発明者】
【氏名】渡辺 陸
(72)【発明者】
【氏名】保科 幸希
【テーマコード（参考）】
3C063
【Ｆターム（参考）】
3C063AA02
3C063AB03
3C063BA26
3C063BA27
3C063BD00
3C063BG04
3C063BG05
3C063BG10
(57)【要約】
【課題】強度を高めることができる砥石及びその製造方法を提供する。
【解決手段】被加工物を加工する加工面１０ａを有する砥石１０は、メッシュベース部３１、及び、メッシュベース部３１と一体形成され、メッシュベース部３１に対して交差する方向に延びるメッシュ立設部３５を有するメッシュ材３０と、メッシュ立設部３５に結合され、加工面１０ａに一部が位置して被加工物を加工する加工部１１と、を備える。メッシュベース部３１には、メッシュ立設部３５の根元部Ｒｔの周辺に位置する開口孔３１ａが形成されている。
【選択図】図２
【解決手段】被加工物を加工する加工面１０ａを有する砥石１０は、メッシュベース部３１、及び、メッシュベース部３１と一体形成され、メッシュベース部３１に対して交差する方向に延びるメッシュ立設部３５を有するメッシュ材３０と、メッシュ立設部３５に結合され、加工面１０ａに一部が位置して被加工物を加工する加工部１１と、を備える。メッシュベース部３１には、メッシュ立設部３５の根元部Ｒｔの周辺に位置する開口孔３１ａが形成されている。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被加工物を加工する加工面を有する砥石であって、
ベース部、及び、前記ベース部と一体形成され、前記ベース部に対して交差する方向に延びる立設部を有する基材と、
前記立設部に結合され、前記加工面に少なくとも一部が位置して被加工物を加工する加工部と、を備え、
前記ベース部には、前記立設部の根元部の周辺に位置する開口孔が形成されている、
砥石。
ベース部、及び、前記ベース部と一体形成され、前記ベース部に対して交差する方向に延びる立設部を有する基材と、
前記立設部に結合され、前記加工面に少なくとも一部が位置して被加工物を加工する加工部と、を備え、
前記ベース部には、前記立設部の根元部の周辺に位置する開口孔が形成されている、
砥石。
【請求項2】
前記基材は、メッシュ材である、
請求項１に記載の砥石。
請求項１に記載の砥石。
【請求項3】
前記砥石は、前記加工面に前記加工部を部分的に露出させつつ、前記基材が埋め込まれる充填材を備える、
請求項１又は２に記載の砥石。
請求項１又は２に記載の砥石。
【請求項4】
前記砥石は、前記加工面に前記加工部を部分的に露出させつつ、前記基材が埋め込まれる充填材を備え、
前記加工面は、円形又は円環の平面をなし、
前記ベース部は、円形又は円環のシート状をなし、
前記立設部は、前記根元部から遠い先端部に近づくにつれて前記加工面に交わる方向に前記ベース部から離れるように延びる、
請求項１又は２に記載の砥石。
前記加工面は、円形又は円環の平面をなし、
前記ベース部は、円形又は円環のシート状をなし、
前記立設部は、前記根元部から遠い先端部に近づくにつれて前記加工面に交わる方向に前記ベース部から離れるように延びる、
請求項１又は２に記載の砥石。
【請求項5】
前記砥石は、前記加工面に前記加工部を部分的に露出させつつ、前記基材が埋め込まれる充填材を備え、
前記加工面は、円柱状の前記砥石の外周面に形成され、
前記ベース部は円筒状をなし、
前記立設部は、前記根元部から遠い先端部に近づくにつれて前記砥石の径方向外側に向かうように延びる、
請求項１又は２に記載の砥石。
前記加工面は、円柱状の前記砥石の外周面に形成され、
前記ベース部は円筒状をなし、
前記立設部は、前記根元部から遠い先端部に近づくにつれて前記砥石の径方向外側に向かうように延びる、
請求項１又は２に記載の砥石。
【請求項6】
前記砥石は、前記加工面に前記加工部を部分的に露出させつつ、前記基材が埋め込まれる充填材を備え、
平板状をなす前記砥石の表面が前記加工面であり、
前記立設部は、前記根元部から遠い先端部に近づくにつれて前記加工面に向かうように延びている、
請求項１又は２に記載の砥石。
平板状をなす前記砥石の表面が前記加工面であり、
前記立設部は、前記根元部から遠い先端部に近づくにつれて前記加工面に向かうように延びている、
請求項１又は２に記載の砥石。
【請求項7】
請求項１又は２に記載の砥石の製造方法であって、
メッシュシート素材の一部に略コの字状に切り込みを入れる工程と、
前記メッシュシート素材の切り込みを入れた領域を立てるように折り曲げることにより前記メッシュシート素材に前記立設部と前記開口孔を形成して前記基材としてのメッシュ材を製造する工程と、を含む、
製造方法。
メッシュシート素材の一部に略コの字状に切り込みを入れる工程と、
前記メッシュシート素材の切り込みを入れた領域を立てるように折り曲げることにより前記メッシュシート素材に前記立設部と前記開口孔を形成して前記基材としてのメッシュ材を製造する工程と、を含む、
製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、砥石及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、特許文献１に記載の砥石は、加工面に複数の筒部が並べられた構造を有する。この筒部は、被加工物であるワークを加工するための複数の砥粒を含有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２０－４９５７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記特許文献１に記載の砥石では、砥石の強度に改善の余地がある。
【0005】
本発明は、上記実状を鑑みてなされたものであり、強度を高めることができる砥石及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る砥石は、被加工物を加工する加工面を有する砥石であって、ベース部、及び、前記ベース部と一体形成され、前記ベース部に対して交差する方向に延びる立設部を有する基材と、前記立設部に結合され、前記加工面に少なくとも一部が位置して被加工物を加工する加工部と、を備え、前記ベース部には、前記立設部の根元部の周辺に位置する開口孔が形成されている。
【0007】
また、前記基材は、メッシュ材である、ようにしてもよい。
【0008】
また、前記砥石は、前記加工面に前記加工部を部分的に露出させつつ、前記基材が埋め込まれる充填材を備える、ようにしてもよい。
【0009】
また、前記砥石は、前記加工面に前記加工部を部分的に露出させつつ、前記基材が埋め込まれる充填材を備え、前記加工面は、円形又は円環の平面をなし、前記ベース部は、円形又は円環のシート状をなし、前記立設部は、前記根元部から遠い先端部に近づくにつれて前記加工面に交わる方向に前記ベース部から離れるように延びる、ようにしてもよい。
【0010】
また、前記砥石は、前記加工面に前記加工部を部分的に露出させつつ、前記基材が埋め込まれる充填材を備え、前記加工面は、円柱状の前記砥石の外周面に形成され、前記ベース部は円筒状をなし、前記立設部は、前記根元部から遠い先端部に近づくにつれて前記砥石の径方向外側に向かうように延びる、ようにしてもよい。
【0011】
また、前記砥石は、前記加工面に前記加工部を部分的に露出させつつ、前記基材が埋め込まれる充填材を備え、平板状をなす前記砥石の表面が前記加工面であり、前記立設部は、前記根元部から遠い先端部に近づくにつれて前記加工面に向かうように延びている、ようにしてもよい。
【0012】
上記目的を達成するため、本発明の第２の観点に係る砥石の製造方法は、メッシュシート素材の一部に略コの字状に切り込みを入れる工程と、前記メッシュシート素材の切り込みを入れた領域を立てるように折り曲げることにより前記メッシュシート素材に前記立設部と前記開口孔を形成して前記基材としてのメッシュ材を製造する工程と、を含む。
【発明の効果】
【0013】
本発明によれば、砥石の強度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1】（Ａ），（Ｂ）は本発明の第１実施形態に係る砥石の平面図である。
【図3】（Ａ），（Ｂ）は本発明の第１実施形態に係るメッシュ材の製造方法を示す図である。
【図4】本発明の第１実施形態に係る加工部の断面図である。
【図6】本発明の第２実施形態に係る砥石の斜視図である。
【図7】本発明の第２実施形態に係る砥石の加工面の平面展開図である。
【図9】（Ａ），（Ｂ）は、本発明の第２実施形態に係る加工部が配置されたメッシュ素材の平面図である。
【図10】本発明の第３実施形態に係る砥石の平面図である。
【図12】本発明の変形例に係る折り曲げ前のメッシュ素材の部分的な斜視図である。
【図13】本発明の変形例に係る折り曲げ後のメッシュ素材の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態に係る砥石について図面を参照して説明する。本実施形態の砥石は、底面で被加工物を加工する回転砥石である。
本発明の第１実施形態に係る砥石について図面を参照して説明する。本実施形態の砥石は、底面で被加工物を加工する回転砥石である。
【0016】
図１（Ａ）に示すように、砥石１０は円柱状又は円環状をなす。砥石１０は、砥石１０の底面に加工面１０ａを備える。加工面１０ａは、砥石１０の回転軸Ｏに直交する方向に延びる円形の平面状に形成されている。砥石１０は、砥石１０の中心軸と同軸の回転軸Ｏを中心に回転することにより、被加工物を加工、すなわち研磨又は研削する。被加工物は、例えば、セラミックス、シリコンウエハ、半導体基板、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）基板、放熱基板、シリコンカーバイド、アルミナ、サファイア又は金属等である。
【0017】
図１（Ｂ）及び図２に示すように、砥石１０は、複数の加工部１１と、メッシュ材３０と、充填材１９と、を備える。
メッシュ材３０は、本例では、金属、例えば、ステンレス製のシート状をなす。メッシュ材３０は、流体が通過可能な多孔体である。メッシュ材３０のメッシュ数は、＃１０～＃５００に設定されることが好ましい。メッシュ材３０は、可撓性を有する。
なお、メッシュ材３０の材質は、ステンレス以外の銅（例えば、黄銅）、ニッケル、アルミニウム等の金属製であってもよいし、金属以外のガラス、紙、不織布、織布又はカーボンファイバー等から形成されてもよい。
メッシュ材３０は、本例では、金属、例えば、ステンレス製のシート状をなす。メッシュ材３０は、流体が通過可能な多孔体である。メッシュ材３０のメッシュ数は、＃１０～＃５００に設定されることが好ましい。メッシュ材３０は、可撓性を有する。
なお、メッシュ材３０の材質は、ステンレス以外の銅（例えば、黄銅）、ニッケル、アルミニウム等の金属製であってもよいし、金属以外のガラス、紙、不織布、織布又はカーボンファイバー等から形成されてもよい。
【0018】
メッシュ材３０は、充填材１９に埋め込まれるメッシュベース部３１と、加工部１１の固定対象となる複数のメッシュ立設部３５と、を備える。メッシュベース部３１とメッシュ立設部３５は一体形成されている。すなわち、メッシュベース部３１とメッシュ立設部３５は、１枚のメッシュシート材に切り込みを入れて折り曲げることにより形成される。この製造方法は後述する。
【0019】
メッシュベース部３１は、円形のシート状をなしている。メッシュベース部３１には、複数の開口孔３１ａが形成されている。開口孔３１ａは、メッシュ立設部３５と同形状、本例では矩形状をなしている。開口孔３１ａとメッシュ立設部３５は一対一の関係で設けられている。
【0020】
複数のメッシュ立設部３５は、それぞれメッシュベース部３１に対して交差する方向に延びており、それぞれ加工部１１が結合されている。メッシュ立設部３５の根元部Ｒｔは、開口孔３１ａの縁部に連結されている。本例では、メッシュ立設部３５が開口孔３１ａ側のメッシュベース部３１に対して成す角θは、９０°に設定されている。
なお、成す角θは、９０°に限らず、１°～１７９°の範囲内でいくつに設定されてもよい。例えば、成す角θは、１０°～９０°に設定されてもよい。また、例えば、成す角θは、図５に示すように、４５°に設定されてもよい。
なお、成す角θは、９０°に限らず、１°～１７９°の範囲内でいくつに設定されてもよい。例えば、成す角θは、１０°～９０°に設定されてもよい。また、例えば、成す角θは、図５に示すように、４５°に設定されてもよい。
【0021】
図２に示すように、メッシュ立設部３５は、複数の加工部１１の厚さ方向の中心を通過することにより、加工部１１の芯材となる。加工部１１（正確には、後述する結合材１６）は、メッシュ立設部３５の孔内に入り込むことにより、アンカー効果によりメッシュ立設部３５に連結されている。
【0022】
複数の加工部１１は、加工面１０ａに交わる方向、本例では直交する方向に立てられる。複数の加工部１１は、円形の加工面１０ａの径方向Ｒに延びる破線状に形成され、加工面１０ａの周方向Ｃに並べられる。複数の加工部１１は、径方向Ｒ及び周方向Ｃに千鳥状に配列されている。各加工部１１は削られながら被加工物Ｗを研磨又は研削する。各加工部１１は、加工面１０ａの径方向Ｒ及び回転軸Ｏに沿う方向に延びる平板状をなす。各加工部１１は、それぞれ同一の形状及びサイズで形成されている。
【0023】
図４に示すように、加工部１１は、複数の砥粒１５と、結合材１６と、を備える。複数の砥粒１５は結合材１６内に分布している。砥粒１５は、例えば、ダイヤモンドである。なお、砥粒１５は、ダイヤモンドに限らず、立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）砥粒であってもよいし、ＣＢＮ砥粒とダイヤモンドを混合させてもよい。さらには、複数の砥粒１５は、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、又は溶融アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、若しくはこれらを混合したものであってもよい。結合材１６は、内部に複数の砥粒１５を保持する。結合材１６は、ニッケル、鉄、アルミニウム、銅等の金属、アルミニウム合金、青銅等の合金、フエノール樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂又はセラミック等により形成されている。
【0024】
図１に示すように、充填材１９は、砥石１０の全域にわたって充填され、複数の加工部１１が固定されたメッシュ材３０を内部に保持する。各加工部１１の先端部が加工面１０ａに露出した状態で各加工部１１を有する各メッシュ材３０が充填材１９に埋め込まれている。
充填材１９は、加工部１１よりも外力により変形しやすく、かつ加工時に加工部１１よりも摩耗しやすい材質により形成される。充填材１９は、例えば、樹脂、セラミック、ゴム等の超弾性材又はスポンジからなる。充填材１９は、流体が通過不能に形成されてもよいし、流体が通過可能な多孔質で形成されていてもよい。
充填材１９は、加工部１１よりも外力により変形しやすく、かつ加工時に加工部１１よりも摩耗しやすい材質により形成される。充填材１９は、例えば、樹脂、セラミック、ゴム等の超弾性材又はスポンジからなる。充填材１９は、流体が通過不能に形成されてもよいし、流体が通過可能な多孔質で形成されていてもよい。
【0025】
次に、砥石１０の製造方法について説明する。
まず、図３（Ａ）に示すように、メッシュシート素材３０Ａを用意する。そして、メッシュシート素材３０Ａに複数の加工部１１を結合させる。次に、メッシュシート素材３０Ａにおける加工部１１の周囲の一部を残して切り込み線Ｌ１～Ｌ３に沿って切り込みを入れる。切り込み線Ｌ１～Ｌ３は、加工部１１を囲む四角形のうち三辺に沿って形成されている。切り込み線Ｌ１～Ｌ３は、コの字状をなすように形成される。
まず、図３（Ａ）に示すように、メッシュシート素材３０Ａを用意する。そして、メッシュシート素材３０Ａに複数の加工部１１を結合させる。次に、メッシュシート素材３０Ａにおける加工部１１の周囲の一部を残して切り込み線Ｌ１～Ｌ３に沿って切り込みを入れる。切り込み線Ｌ１～Ｌ３は、加工部１１を囲む四角形のうち三辺に沿って形成されている。切り込み線Ｌ１～Ｌ３は、コの字状をなすように形成される。
【0026】
次に、図３（Ｂ）に示すように、メッシュシート素材３０Ａの切り込み線Ｌ１～Ｌ３に囲まれた部位を加工部１１とともに起こすように折り曲げる。具体的には、切り込み線Ｌ１～Ｌ３の開口部（四角形の残りの一辺）を折り線Ｌｆとして折ることで、メッシュ立設部３５が形成される。この際のメッシュ立設部３５を折り曲げる角度により、メッシュ立設部３５の成す角θが設定される。また、切り込み線Ｌ１～Ｌ３に囲まれた領域に開口孔３１ａが形成される。
加工部１１毎に切り込みを入れて折り曲げる。これにより、メッシュ材３０が完成する。そして、メッシュ材３０を充填材１９により覆うことにより、砥石１０が完成する。
なお、上述した製造方法において、メッシュシート素材３０Ａに加工部１１を結合させる工程とメッシュシート素材３０Ａに切り込みを入れる工程の順番は反対であってもよい。
加工部１１毎に切り込みを入れて折り曲げる。これにより、メッシュ材３０が完成する。そして、メッシュ材３０を充填材１９により覆うことにより、砥石１０が完成する。
なお、上述した製造方法において、メッシュシート素材３０Ａに加工部１１を結合させる工程とメッシュシート素材３０Ａに切り込みを入れる工程の順番は反対であってもよい。
【0027】
（効果）
以上、説明した第１実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）被加工物Ｗを加工する加工面１０ａを有する砥石１０は、メッシュベース部３１、及び、メッシュベース部３１と一体形成され、メッシュベース部３１に対して交差する方向に延びるメッシュ立設部３５を有する基材の一例であるメッシュ材３０と、メッシュ立設部３５に結合され、加工面１０ａに一部が位置して被加工物Ｗを加工する加工部１１と、を備える。メッシュベース部３１には、メッシュ立設部３５の根元部Ｒｔの周辺に位置するメッシュ立設部３５と同形状の開口孔３１ａが形成されている。
この構成によれば、メッシュ材３０により、砥石１０の強度（耐破壊性能）を高めることができる。
また、メッシュベース部３１に対するメッシュ立設部３５の成す角θを調整することにより、砥石１０の厚さを簡単に調整可能である。例えば、成す角θを９０°に設定することにより加工部１１の寿命を最大化することができる。
以上、説明した第１実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）被加工物Ｗを加工する加工面１０ａを有する砥石１０は、メッシュベース部３１、及び、メッシュベース部３１と一体形成され、メッシュベース部３１に対して交差する方向に延びるメッシュ立設部３５を有する基材の一例であるメッシュ材３０と、メッシュ立設部３５に結合され、加工面１０ａに一部が位置して被加工物Ｗを加工する加工部１１と、を備える。メッシュベース部３１には、メッシュ立設部３５の根元部Ｒｔの周辺に位置するメッシュ立設部３５と同形状の開口孔３１ａが形成されている。
この構成によれば、メッシュ材３０により、砥石１０の強度（耐破壊性能）を高めることができる。
また、メッシュベース部３１に対するメッシュ立設部３５の成す角θを調整することにより、砥石１０の厚さを簡単に調整可能である。例えば、成す角θを９０°に設定することにより加工部１１の寿命を最大化することができる。
【0028】
（２）基材は、メッシュ材３０である。
この構成によれば、加工部１１がアンカー効果によりメッシュ立設部３５に強固に固定される。
この構成によれば、加工部１１がアンカー効果によりメッシュ立設部３５に強固に固定される。
【0029】
（３）砥石１０は、加工面１０ａに加工部１１を部分的に露出させつつ、メッシュ材３０が埋め込まれる充填材１９を備える。
この構成によれば、メッシュベース部３１が充填材１９の芯材となり、砥石１０の強度を高めることができる。
特に、充填材１９のうち開口孔３１ａを通過する部位は、充填材１９におけるメッシュベース部３１の表裏両側の部位同士を連結する。よって、砥石１０は開口孔３１ａにより一体的に構成される。
この構成によれば、メッシュベース部３１が充填材１９の芯材となり、砥石１０の強度を高めることができる。
特に、充填材１９のうち開口孔３１ａを通過する部位は、充填材１９におけるメッシュベース部３１の表裏両側の部位同士を連結する。よって、砥石１０は開口孔３１ａにより一体的に構成される。
【0030】
（４）加工面１０ａは、円形又は円環の平面をなす。メッシュベース部３１は、円形又は円環のシート状をなす。メッシュ立設部３５は、根元部Ｒｔから遠い先端部に近づくにつれて加工面１０ａに交わる方向にメッシュベース部３１から離れるように延びる。
この構成によれば、砥石１０の強度を高めることができる。
この構成によれば、砥石１０の強度を高めることができる。
【0031】
（５）砥石１０の製造方法は、メッシュシート素材３０Ａの一部に略コの字状に切り込みを入れる工程と、メッシュシート素材３０Ａの切り込みを入れた領域を立てるように折り曲げることによりメッシュシート素材３０Ａにメッシュ立設部３５と開口孔３１ａを形成してメッシュ材３０を製造する工程と、を含む。
この構成によれば、簡単に、強度の高い砥石１０を製造することができる。
この構成によれば、簡単に、強度の高い砥石１０を製造することができる。
【0032】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態に係る砥石について図面を参照して説明する。本実施形態に係る砥石は、外周面で被加工物を加工する回転砥石である。以下、第１実施形態との相違点を中心に説明する。
本発明の第２実施形態に係る砥石について図面を参照して説明する。本実施形態に係る砥石は、外周面で被加工物を加工する回転砥石である。以下、第１実施形態との相違点を中心に説明する。
【0033】
図６、図７及び図８に示すように、砥石２１０は、複数の加工部２１１と、充填材２１９と、メッシュ材２３０と、を備える。加工部２１１、充填材２１９及びメッシュ材２３０は、上記第１実施形態の加工部１１、充填材１９及びメッシュ材３０と同様の材質で形成される。砥石２１０は、略円柱状をなす。砥石２１０の加工面２１０ａは、砥石２１０の外周面に形成されている。図７は、加工面２１０ａを平面に展開した図である。
各加工部２１１のうち加工面２１０ａに露出する部位は、周方向Ｃに長く、回転軸Ｏの方向に短い略長方形形状をなす。よって、加工抵抗が小さくなる。
各加工部２１１のうち加工面２１０ａに露出する部位は、周方向Ｃに長く、回転軸Ｏの方向に短い略長方形形状をなす。よって、加工抵抗が小さくなる。
【0034】
複数の加工部２１１は、加工面２１０ａに仮想的に描かれる複数の螺旋Ｌａ（図８参照）上に配置されている。複数の螺旋Ｌａは、回転軸Ｏの方向に並べられている。
【0035】
図８に示すように、メッシュ材２３０は、開口孔２３１ａが形成されるメッシュベース部２３１と、複数のメッシュ立設部２３５と、を備える。メッシュベース部２３１は、円筒状をなす。メッシュ立設部２３５は、その根元部Ｒｔから先端部に近づくにつれて径方向Ｒの外側へ延びる。メッシュ立設部２３５は、回転軸Ｏの方向と径方向Ｒに傾斜するように形成されている。メッシュ立設部２３５の成す角θは、４５°に設定されている。なお、メッシュ立設部２３５の成す角θは、４５°に限らず、例えば、１０°～９０°であってもよい。
メッシュ立設部２３５、開口孔２３１ａ及び加工部２１１は、それぞれ菱形をなしている。
メッシュ立設部２３５、開口孔２３１ａ及び加工部２１１は、それぞれ菱形をなしている。
【0036】
次に、砥石２１０の製造方法について説明する。
まず、図９（Ａ）に示すように、メッシュシート素材２３Ａを用意する。そして、メッシュシート素材２３Ａに複数の加工部２１１を結合させる。複数の加工部２１１は、それぞれ菱形板状をなし、メッシュシート素材２３Ａに千鳥状に配置されている。
次に、図９（Ｂ）に示すように、メッシュシート素材２３Ａにおける加工部２１１の周囲の一部を残して切り込み線Ｌ４～Ｌ６に沿って切り込みを入れる。切り込み線Ｌ４～Ｌ６は菱形のうち三辺に沿って形成されている。切り込み線Ｌ４～Ｌ６は、略コの字状をなすように形成される。
まず、図９（Ａ）に示すように、メッシュシート素材２３Ａを用意する。そして、メッシュシート素材２３Ａに複数の加工部２１１を結合させる。複数の加工部２１１は、それぞれ菱形板状をなし、メッシュシート素材２３Ａに千鳥状に配置されている。
次に、図９（Ｂ）に示すように、メッシュシート素材２３Ａにおける加工部２１１の周囲の一部を残して切り込み線Ｌ４～Ｌ６に沿って切り込みを入れる。切り込み線Ｌ４～Ｌ６は菱形のうち三辺に沿って形成されている。切り込み線Ｌ４～Ｌ６は、略コの字状をなすように形成される。
【0037】
次に、メッシュシート素材２３Ａの切り込み線Ｌ４～Ｌ６に囲まれた部位を加工部２１１とともに起こすように折り曲げる。具体的には、切り込み線Ｌ４～Ｌ６の開口部（菱形の残りの一辺）を折り線Ｌｆとして折る。これにより、メッシュ材２３０が完成する。そして、メッシュ材２３０を充填材２１９により覆うことにより、砥石２１０が完成する。
【0038】
（効果）
以上、説明した第２実施形態によれば、以下の効果を奏する。
加工面２１０ａは、円柱状の砥石２１０の外周面に形成される。メッシュベース部２３１は円筒状をなす。メッシュ立設部２３５は、根元部Ｒｔから遠い先端部に近づくにつれて砥石２１０の径方向Ｒの外側に向かうように延びる。
この構成によれば、砥石１０の強度を高めることができる。
以上、説明した第２実施形態によれば、以下の効果を奏する。
加工面２１０ａは、円柱状の砥石２１０の外周面に形成される。メッシュベース部２３１は円筒状をなす。メッシュ立設部２３５は、根元部Ｒｔから遠い先端部に近づくにつれて砥石２１０の径方向Ｒの外側に向かうように延びる。
この構成によれば、砥石１０の強度を高めることができる。
【0039】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態に係る砥石について図面を参照して説明する。本実施形態に係る砥石はプレート状に構成される。以下、第１実施形態との相違点を中心に説明する。
本発明の第３実施形態に係る砥石について図面を参照して説明する。本実施形態に係る砥石はプレート状に構成される。以下、第１実施形態との相違点を中心に説明する。
【0040】
図１０及び図１１に示すように、砥石３１０は、複数の加工部３１１と、充填材３１９と、メッシュ材３３０と、を備える。加工部３１１、充填材３１９及びメッシュ材３３０は、上記第１実施形態の加工部１１、充填材１９及びメッシュ材３０と同様の材質で形成される。砥石３１０は、板状、本例では、長方形板状をなす。砥石３１０の加工面３１０ａは砥石３１０の表面に形成されている。以下、砥石３１０の長手方向をＸ方向と規定し、砥石３１０の短手方向をＹ方向と規定する。
【0041】
複数の加工部３１１は、ＸとＹ方向に傾斜する方向に延び、Ｘ方向に間隔を持って並べられている。このように、各加工部３１１が傾斜していることにより、加工時に砥石３１０が被加工物に対してＸ方向に移動する場合とＹ方向に移動する場合とで加工量の差を小さくすることができる。
なお、加工部３１１は、本例に限らず、ＸとＹ方向の何れか一方向に延び、ＸとＹ方向の何れか他方向に並んでいてもよい。
また、加工部３１１は破線状に形成されてもよい。
なお、加工部３１１は、本例に限らず、ＸとＹ方向の何れか一方向に延び、ＸとＹ方向の何れか他方向に並んでいてもよい。
また、加工部３１１は破線状に形成されてもよい。
【0042】
図１１に示すように、メッシュ材３３０は、開口孔３３１ａが形成されるメッシュベース部３３１と、加工部３１１が固定される複数のメッシュ立設部３３５と、を備える。砥石３１０の製造方法は、上記砥石１０，２１０の製造方法と同様である。
【0043】
（効果）
以上、説明した第３実施形態によれば、以下の効果を奏する。
砥石３１０は平板状をなす。砥石３１０の表面が加工面３１０ａである。メッシュ立設部３３５は、根元部Ｒｔから遠い先端部に近づくにつれて加工面３１０ａに向かうように延びている。
この構成によれば、砥石１０の強度を高めることができる。
以上、説明した第３実施形態によれば、以下の効果を奏する。
砥石３１０は平板状をなす。砥石３１０の表面が加工面３１０ａである。メッシュ立設部３３５は、根元部Ｒｔから遠い先端部に近づくにつれて加工面３１０ａに向かうように延びている。
この構成によれば、砥石１０の強度を高めることができる。
【0044】
なお、本発明は以上の実施形態及び図面によって限定されるものではない。本発明の要旨を変更しない範囲で、適宜、変更（構成要素の削除も含む）を加えることが可能である。以下に、変形の一例を説明する。
【0045】
（変形例）
メッシュベース部３１，２３１，３３１に対するメッシュ立設部３５，２３５，３３５の立て方は、上記各実施形態に限らない。例えば、図１２に示すように、矩形波状の切り込み線Ｌ７をメッシュシート素材４３Ａに入れる。切り込み線Ｌ７に三方向から囲まれた領域４３２には加工部４１１が固定されている。そして、メッシュシート素材４３Ａの切り込み線Ｌ７に囲まれた領域４３２を加工部４１１とともに折り曲げて起こす。ここで、切り込み線Ｌ７の振幅方向はＨ方向と規定し、この振幅方向に直交する方向はＬ方向と規定する。このとき、図１２の矢印Ａｒ１，Ａｒ２に示すように、Ｌ方向に隣り合う２つの領域４３２は、Ｈ方向において互いに反対側に起こされる。これにより、図１３に示すように、メッシュ材４３０が完成する。メッシュ材４３０は、メッシュベース部４３１と、領域４３２に対応するメッシュ立設部４３５と、を備える。各メッシュ立設部４３５の上端部は、Ｌ方向から見て互いに重なるように位置する。言い換えると、各メッシュ立設部４３５は、Ｌ方向から見て、上下反転した略Ｖ字状をなすように交差している。最後に、加工部４１１とメッシュ材４３０が充填材に覆われて、砥石が完成する。
メッシュベース部３１，２３１，３３１に対するメッシュ立設部３５，２３５，３３５の立て方は、上記各実施形態に限らない。例えば、図１２に示すように、矩形波状の切り込み線Ｌ７をメッシュシート素材４３Ａに入れる。切り込み線Ｌ７に三方向から囲まれた領域４３２には加工部４１１が固定されている。そして、メッシュシート素材４３Ａの切り込み線Ｌ７に囲まれた領域４３２を加工部４１１とともに折り曲げて起こす。ここで、切り込み線Ｌ７の振幅方向はＨ方向と規定し、この振幅方向に直交する方向はＬ方向と規定する。このとき、図１２の矢印Ａｒ１，Ａｒ２に示すように、Ｌ方向に隣り合う２つの領域４３２は、Ｈ方向において互いに反対側に起こされる。これにより、図１３に示すように、メッシュ材４３０が完成する。メッシュ材４３０は、メッシュベース部４３１と、領域４３２に対応するメッシュ立設部４３５と、を備える。各メッシュ立設部４３５の上端部は、Ｌ方向から見て互いに重なるように位置する。言い換えると、各メッシュ立設部４３５は、Ｌ方向から見て、上下反転した略Ｖ字状をなすように交差している。最後に、加工部４１１とメッシュ材４３０が充填材に覆われて、砥石が完成する。
【0046】
上記各実施形態において、メッシュ立設部３５，２３５，３３５，４３５の形状は適宜変更可能であり、三角形、五角形、六角形等の多角形であってもよいし、円形、楕円形であってもよい。メッシュ立設部３５，２３５，３３５，４３５はＶ字状に折り曲げられていてもよい。この場合、加工部１１，２１１，３１１，４１１もＶ字状をなす。
特に、上記第１実施形態において、メッシュ立設部３５は、加工面１０ａの径方向Ｒ全域にわたって延びる長方形シート状をなしていてもよい。
また、上記第２実施形態において、メッシュ立設部２３５は、加工面２１０ａの回転軸Ｏの方向全域にわたって延びる長方形シート状をなしていてもよい。
また、加工部１１，２１１，３１１，４１１は、メッシュ立設部３５，２３５，３３５，４３５の一部に結合されてもよい。また、１つのメッシュ立設部３５，２３５，３３５，４３５に複数の加工部１１，２１１，３１１，４１１が固定されていてもよい。
特に、上記第１実施形態において、メッシュ立設部３５は、加工面１０ａの径方向Ｒ全域にわたって延びる長方形シート状をなしていてもよい。
また、上記第２実施形態において、メッシュ立設部２３５は、加工面２１０ａの回転軸Ｏの方向全域にわたって延びる長方形シート状をなしていてもよい。
また、加工部１１，２１１，３１１，４１１は、メッシュ立設部３５，２３５，３３５，４３５の一部に結合されてもよい。また、１つのメッシュ立設部３５，２３５，３３５，４３５に複数の加工部１１，２１１，３１１，４１１が固定されていてもよい。
【0047】
上記各実施形態において、砥石１０，２１０，３１０は、グラインダーディスクとして構成されてもよい。
砥石２１０は、複数の加工部２１１を周方向に１列に並べた切断砥石であってもよい。
また、各メッシュ立設部３５，２３５，３３５，４３５は、互いに部分的に重なり合うようにメッシュベース部３１，２３１，３３１，４３１に対して傾斜していてもよい。
砥石２１０は、複数の加工部２１１を周方向に１列に並べた切断砥石であってもよい。
また、各メッシュ立設部３５，２３５，３３５，４３５は、互いに部分的に重なり合うようにメッシュベース部３１，２３１，３３１，４３１に対して傾斜していてもよい。
【0048】
加工部１１，２１１，３１１，４１１は複数の砥粒１５を含有していなくてもよい。この場合、加工部１１，２１１，３１１，４１１は超硬合金等の金属から構成されてもよい。
充填材１９，２１９，３１９は省略されてもよい。
メッシュ立設部３５，２３５，３３５，４３５には折り目又はシワが形成されていてもよい。これにより、加工部１１，２１１，３１１，４１１は、より強固にメッシュ立設部３５，２３５，３３５，４３５に固定される。
充填材１９，２１９，３１９は省略されてもよい。
メッシュ立設部３５，２３５，３３５，４３５には折り目又はシワが形成されていてもよい。これにより、加工部１１，２１１，３１１，４１１は、より強固にメッシュ立設部３５，２３５，３３５，４３５に固定される。
【0049】
上記各実施形態においては、基板としてメッシュ材３０，２３０，３３０，４３０が採用されていたが、基板としてメッシュ材以外、例えば、孔がない基材、例えば、樹脂板又は金属板であってもよい。
【0050】
充填材１９，２１９，３１９は、ゴム等の超弾性材、又はスポンジにて形成されてもよい。この場合に、特に、成す角θが９０°未満（例えば、２０°～８０°）に設定されることにより、加工部１１，２１１，３１１，４１１が被加工物に押されて弾性的に変形しやすい。よって、加工面が被加工物の凹凸に合わせて変形可能となる。
上記第１と第２実施形態が組み合わされて、砥石は、外周面と底面の両方で加工可能に構成されてもよい。
上記第１と第２実施形態が組み合わされて、砥石は、外周面と底面の両方で加工可能に構成されてもよい。
【符号の説明】
【0051】
１０，２１０，３１０ 砥石
１０ａ，２１０ａ，３１０ａ 加工面
１１，２１１，３１１，４１１ 加工部
１５ 砥粒
１６ 結合材
１９，２１９，３１９ 充填材
３０，２３０，３３０，４３０ メッシュ材
３０Ａ，２３Ａ，４３Ａ メッシュシート素材
３１，２３１，３３１，４３１ メッシュベース部
３１ａ，２３１ａ，３３１ａ 開口孔
３５，２３５，３３５，４３５ メッシュ立設部
４３２ 領域
Ｃ 周方向
Ｏ 回転軸
Ｒ 径方向
Ｌ１～Ｌ７ 切り込み線
Ｗ 被加工物
Ｌａ 螺旋
Ｒｔ 根元部
１０ａ，２１０ａ，３１０ａ 加工面
１１，２１１，３１１，４１１ 加工部
１５ 砥粒
１６ 結合材
１９，２１９，３１９ 充填材
３０，２３０，３３０，４３０ メッシュ材
３０Ａ，２３Ａ，４３Ａ メッシュシート素材
３１，２３１，３３１，４３１ メッシュベース部
３１ａ，２３１ａ，３３１ａ 開口孔
３５，２３５，３３５，４３５ メッシュ立設部
４３２ 領域
Ｃ 周方向
Ｏ 回転軸
Ｒ 径方向
Ｌ１～Ｌ７ 切り込み線
Ｗ 被加工物
Ｌａ 螺旋
Ｒｔ 根元部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
